KR101135544B1 - 마스크 조립체, 이의 제조 방법 및 이를 이용한 평판표시장치용 증착 장치 - Google Patents

마스크 조립체, 이의 제조 방법 및 이를 이용한 평판표시장치용 증착 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR101135544B1
KR101135544B1 KR1020090089699A KR20090089699A KR101135544B1 KR 101135544 B1 KR101135544 B1 KR 101135544B1 KR 1020090089699 A KR1020090089699 A KR 1020090089699A KR 20090089699 A KR20090089699 A KR 20090089699A KR 101135544 B1 KR101135544 B1 KR 101135544B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
mask
pattern
open
opening
openings
Prior art date
Application number
KR1020090089699A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20110032284A (ko
Inventor
고정우
이쿠노리 코바야시
이상신
Original Assignee
삼성모바일디스플레이주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성모바일디스플레이주식회사 filed Critical 삼성모바일디스플레이주식회사
Priority to KR1020090089699A priority Critical patent/KR101135544B1/ko
Priority to JP2009299158A priority patent/JP5356210B2/ja
Priority to US12/659,059 priority patent/US20110067630A1/en
Priority to TW099122949A priority patent/TWI463022B/zh
Priority to CN2010102487589A priority patent/CN102023474B/zh
Priority to EP10175029.7A priority patent/EP2298952B1/en
Publication of KR20110032284A publication Critical patent/KR20110032284A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101135544B1 publication Critical patent/KR101135544B1/ko
Priority to US14/019,979 priority patent/US9284638B2/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
    • G03F1/50—Mask blanks not covered by G03F1/20 - G03F1/34; Preparation thereof
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
    • C23C14/042—Coating on selected surface areas, e.g. using masks using masks
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C21/00—Accessories or implements for use in connection with applying liquids or other fluent materials to surfaces, not provided for in groups B05C1/00 - B05C19/00
    • B05C21/005—Masking devices
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
    • G03F1/60—Substrates
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T156/00—Adhesive bonding and miscellaneous chemical manufacture
    • Y10T156/10—Methods of surface bonding and/or assembly therefor

Abstract

본 발명은 마스크 조립체, 이의 제조 방법 및 이를 이용한 평판표시장치용 증착 장치에 관한 것으로, 증착 공정 시 공정 챔버의 내부 온도에 의해 일정 패턴으로 형성된 개구부의 위치 또는 형태가 변형되는 것을 방지하여, 기판 상에 고정세 패턴이 안정적으로 증착되도록 할 수 있는 마스크 조립체, 이의 제조 방법 및 이를 이용한 평판표시장치용 증착 장치에 관한 것이다.
본 발명은 다수의 제 1 개구부가 형성된 오픈 마스크; 및 상기 오픈 마스크와 접합되며, 상기 제 1 개구부 내측에 위치하는 다수의 제 2 개구부가 형성되는 패턴 마스크를 포함하며, 상기 오픈 마스크는 상기 패턴 마스크와 비교하여 상대적으로 작은 열팽창 계수를 갖는 물질로 형성되는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체에 관한 것이다.
또한, 본 발명은 다수의 제 1 개구부가 형성된 오픈 마스크를 제공하고, 상기 제 1 개구부와 비교하여 상대적으로 작은 면적을 가지는 다수의 제 2 개구부가 형성된 패턴 마스크를 제공하고, 상기 제 2 개구부가 상기 제 1 개구부의 내측에 위치하도록 상기 오픈 마스크와 패턴 마스크를 정렬시키고, 상기 오픈 마스크와 패턴 마스크를 접합시키는 것을 포함하며, 상기 오픈 마스크를 상기 패턴 마스크와 비교하여 상대적으로 작은 열팽창 계수를 가지는 물질로 형성하는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체의 제조 방법에 관한 것이다.
또한, 본 발명은 공정 챔버; 상기 공정 챔버의 일측에 위치하는 증발원; 상 기 증발원과 기판 사이에 위치하며, 다수의 제 1 개구부가 형성된 오픈 마스크 및 상기 오픈 마스크와 접합되며, 상기 제 1 개구부 내측에 위치하는 다수의 제 2 개구부가 형성되는 패턴 마스크를 포함하는 마스크 조립체; 및 상기 기판 및 마스크 조립체를 지지하기 위한 홀더를 포함하며, 상기 마스크 조립체의 오픈 마스크는 상기 패턴 마스크와 비교하여 상대적으로 작은 열팽창 계수를 갖는 물질로 형성되는 것을 특징으로 하는 평판표시장치용 증착 장치에 관한 것이다.
마스크 조립체, 열팽창 계수

Description

마스크 조립체, 이의 제조 방법 및 이를 이용한 평판표시장치용 증착 장치{Mask Assembly, Fabrication method of the same and Deposition Apparatus using the same for Flat Panel Display device}
본 발명은 마스크 조립체, 이의 제조 방법 및 이를 이용한 평판표시장치용 증착 장치에 관한 것으로, 증착 공정 시 공정 챔버의 내부 온도에 의해 일정 패턴으로 형성된 개구부의 위치 또는 형태가 변형되는 것을 방지하여, 기판 상에 고정세 패턴이 안정적으로 증착되도록 할 수 있는 마스크 조립체, 이의 제조 방법 및 이를 이용한 평판표시장치용 증착 장치에 관한 것이다.
평판 표시 장치(Flat Panel Display device)는 경량 및 박형 등의 특성으로 인하여, 음극선관 표시 장치(Cathode-ray Tube Display device)를 대체하는 표시 장치로 사용되고 있으며, 대표적인 예로서 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display device; LCD)와 유기전계발광표시장치(Organic Light Emitting diode Display device; OLED)가 있다. 이 중, 유기전계발광표시장치는 액정표시장치에 비하여 휘도 특성 및 시야각 특성이 우수하고 백라이트(Backlight)를 필요로 하지 않아 초박형으로 구현할 수 있다는 장점이 있다.
이와 같은 유기전계발광표시장치는 유기박막에 음극(Cathode)으로부터 주입되는 전자(Electron)과 양극(Anode)으로부터 주입되는 정공(Hole)이 재결합하여 여기자를 형성하고, 형성된 여기자로부터의 에너지에 의해 특정한 파장의 빛이 발생되는 현상을 이용한 표시 장치이다.
상기 유기전계발광표시장치는 유리, 스테인레스 스틸 또는 합성 수지로 형성된 기판 상에 음극, 양극 및 유기박막 등을 선택적으로 형성하기 위하여, 포토리소그라피 방법 또는 일정 패턴으로 형성된 다수의 슬릿(slit)을 포함하는 마스크 조립체를 이용한 증착법을 사용하다. 이 중, 상기 포토리소그라피 방법은 일부 영역에 포토레지스터를 도포한 후, 습식 식각 또는 건식 식각하는 방법으로 상기 포토레지스터를 박리하는 과정 및 식각 공정에서 수분이 유입될 수 있으므로, 상기 유기박막과 같이 수분에 의해 열화 될 수 있는 물질은 상기 마스크 조립체를 이용한 증착법이 주로 사용된다.
상기와 같은 유기전계발광표시장치는 풀-컬러(full-color)를 디스플레이하기 위하여 R, G, B 유기 발광층을 포함하는 유기전계발광소자를 형성하고 있으며, 상기 마스크 조립체를 이용한 증착법은 일정 패턴으로 형성된 다수의 개구부를 포함하는 상기 마스크 조립체를 증착 대상물이 형성될 기판과 증발원 사이에 정렬시켜, 상기 증착 대상물이 상기 마스크 조립체의 개구부를 통해 상기 기판에 증착되도록 함으로써, 상기 마스크 조립체에 형성된 다수의 개구부가 가지는 일정 패턴과 동일한 패턴을 상기 기판 상에 증착하는 방법이므로, 고해상도의 풀-컬러(full-color) 유기전계발광표시장치를 제조하기 위해서는 상기 마스크 조립체와 기판이 정밀하게 정렬되어야 한다. 여기서, 상기 마스크 조립체의 개구부 위치 정밀도를 향상시키기 위하여, 상기 마스크 조립체는 일정 패턴의 개구부가 형성되는 패턴 마스크 및 상기 패턴 마스크를 지지하기 위한 프레임 마스크를 포함할 수 있다.
상기와 같은 마스크 조립체는 식각 공정을 통해 개구부를 형성하는 에칭법 또는 전기 분해를 이용한 전주법에 의해 제조되고 있으나, 상기 에칭법은 소재의 두께에 의해 구현 가능한 개구부의 폭 및 각 개구부 사이의 간격이 결정됨에 따라 고정세 패턴을 가지는 다수의 개구부를 형성하는데 한계를 가지며, 상기 전주법은 상기 에칭법에 비하여 상대적으로 높은 정밀도의 개구부를 제조할 수 있는 반면, 상기 전주법에 사용되는 소재가 상기 에칭법과 비교하여 상대적으로 열팽창 계수가 높은 편이어서 상기 전주법에 의해 제조된 마스크 조립체는 증착 공정 시 공정 챔버의 내부 온도에 의해 상기 마스크 조립체에 형성된 개구부의 위치 또는 형태가 변형되는 문제점이 있다.
본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 고정세 패턴을 가지는 다수의 개구부를 포함하는 마스크 조립체의 열적 안정성을 향상시켜, 증착 공정 시 공정 챔버의 내부 온도에 의해 상기 마스크 조립체의 개구부 위치 및 형태가 변형되는 것을 방지할 수 있는 마스크 조립체, 이의 제조 방법 및 이를 이용한 평판표시장치용 증착 장치를 제공함에 목적이 있다.
본 발명의 상기 목적은 다수의 제 1 개구부가 형성된 오픈 마스크; 및 상기 오픈 마스크와 접합되며, 상기 제 1 개구부 내측에 위치하는 다수의 제 2 개구부가 형성되는 패턴 마스크를 포함하며, 상기 오픈 마스크는 상기 패턴 마스크와 비교하 여 상대적으로 작은 열팽창 계수를 갖는 물질로 형성되는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체에 의해 달성된다.
또한, 본 발명의 상기 목적은 다수의 제 1 개구부가 형성된 오픈 마스크를 제공하고, 상기 제 1 개구부와 비교하여 상대적으로 작은 면적을 가지는 다수의 제 2 개구부가 형성된 패턴 마스크를 제공하고, 상기 제 2 개구부가 상기 제 1 개구부의 내측에 위치하도록 상기 오픈 마스크와 패턴 마스크를 정렬시키고, 상기 오픈 마스크와 패턴 마스크를 접합시키는 것을 포함하며, 상기 오픈 마스크를 상기 패턴 마스크와 비교하여 상대적으로 작은 열팽창 계수를 가지는 물질로 형성하는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체의 제조 방법에 의해 달성된다.
또한, 본 발명의 상기 목적은 공정 챔버; 상기 공정 챔버의 일측에 위치하는 증발원; 상기 증발원과 기판 사이에 위치하며, 다수의 제 1 개구부가 형성된 오픈 마스크 및 상기 오픈 마스크와 접합되며, 상기 제 1 개구부 내측에 위치하는 다수의 제 2 개구부가 형성되는 패턴 마스크를 포함하는 마스크 조립체; 및 상기 기판 및 마스크 조립체를 지지하기 위한 홀더를 포함하며, 상기 마스크 조립체의 오픈 마스크는 상기 패턴 마스크와 비교하여 상대적으로 작은 열팽창 계수를 갖는 물질로 형성되는 것을 특징으로 하는 평판표시장치용 증착 장치에 의해 달성된다.
따라서, 본 발명에 따른 평판표시장치용 증착 장치는 기판에 형성될 박막과 동일 패턴을 가지는 다수의 개구부가 형성된 패턴 마스크 및 상기 패턴 마스크와 접합되며, 상기 패턴 마스크와 비교하여 상대적으로 낮은 열팽창 계수를 가지는 물 질로 형성되는 오픈 마스크를 포함하는 마스크 조립체를 이용하여 기판 상에 박막을 증착시킴으로써, 상기 기판 상에 고정세 패턴의 박막을 안정적으로 증착시킬 수 있는 효과가 있다.
본 발명의 상기 목적과 기술적 구성 및 그에 따른 작용 효과에 관한 자세한 사항은 본 발명의 바람직한 실시 예를 도시하고 있는 도면을 참조한 이하 상세한 설명에 의해 더욱 명확하게 이해될 것이다. 또한, 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조 번호들은 동일한 구성 요소를 나타내는 것이며, 도면에 있어서 층 및 영역의 길이, 두께 등은 편의를 위하여 과장되어 표현될 수 있다.
(실시 예)
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 평판표시장치용 증착 장치(100)를 나타낸 개략도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 평판표시장치용 증착 장치(100)는 공정 챔버(110), 상기 공정 챔버(110)의 일측에 위치하는 증발원(120), 상기 증발원(120)과 기판(S) 사이에 위치하는 마스크 조립체(200) 및 상기 기판(S)을 지지하기 위한 홀더(130)를 포함한다. 여기서, 본 발명의 실시 예에 따른 평판표시장치용 증착 장치(100)는 상기 기판(S)과 마스크 조립체(200) 사이를 밀착시키기 위한 밀착 수단(300)을 더 포함할 수 있다.
상기 공정 챔버(110)는 상기 기판(S) 상에 일정 패턴의 박막을 증착시키기 위한 증착 공정이 수행될 수 있는 공간을 제공하기 위한 것이며, 상기 증발원(120) 은 상기 기판(S) 상에 증착될 증착 대상물을 저장 및 분사하기 위한 것이다. 여기서, 상기 공정 챔버(110)의 일측에 위치할 수 있으며, 상기 기판(S) 상에 증착 대상물이 균일하게 분사될 수 있도록 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 공정 챔버(110)의 하부에 위치하는 것이 바람직하다.
상기 홀더(130)는 상기 기판(S) 및 마스크 조립체(200)를 지지하여 증착 공정 동안 상기 기판(S) 및 마스크 조립체(200)의 위치가 변경되지 않도록 하기 위한 것으로, 상기 기판(S)을 지지하기 위한 제 1 홀더(132) 및 상기 마스크 조립체(200)를 지지하기 위한 제 2 홀더(134)를 포함할 수 있다. 여기서, 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 증발원(120)이 상기 공정 챔버(110)의 하부에 위치하는 경우, 상기 기판(S)이 상기 마스크 조립체(200) 상에 위치시키고, 상기 마스크 조립체(200)가 상기 홀더(130)에 의해 지지되도록 하여, 하나의 홀더(130)에 의해 상기 기판(S) 및 마스크 조립체(200)가 지지되도록 할 수도 있다.
상기 마스크 조립체(200)는 상기 증발원(120)으로부터 분사된 증착 대상물이 상기 기판(S) 상에 일정 패턴의 박막으로 증착될 수 있도록 하기 위한 것으로, 상기 기판(S) 상에 형성될 박막과 동일한 패턴의 개구부가 형성된 패턴 마스크(220) 및 상기 패턴 마스크(200)과 접합되는 오픈 마스크(210)를 포함한다.
도 2a는 본 발명의 실시 예에 따른 평판표시장치용 증착 장치(100)의 마스크 조립체(200)를 나타낸 분리 사시도이며, 도 2b는 본 발명의 실시 예에 따른 평판표시장치용 증착 장치(100)의 마스크 조립체(200)를 나타낸 평면도이다.
도 2a 및 2b를 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 평판표시장치용 증착 장 치(100)의 마스크 조립체(200)는 다수의 제 1 개구부(215)가 형성된 오픈 마스크(210) 및 상기 오픈 마스크(215)와 접합되며, 상기 제 1 개구부(215) 내측에 위치하는 다수의 제 2 개구부(225)가 형성된 패턴 마스크(220)를 포함한다. 여기서, 상기 패턴 마스크(220)의 제 2 개구부(225)는 도 2a 및 2b에 도시된 바와 같이, 각 제 1 개구부(215) 내측에 다수 개가 위치할 수 있으며, 이와는 달리 각 제 1 개구부(215) 내측에 하나의 제 2 개구부(225)가 위치할 수도 있다.
상기 패턴 마스크(220)의 제 2 개구부(225)는 상기 기판(S) 상에 형성될 박막과 동일 패턴을 가지도록 형성되며, 고정세 패턴이 형성될 수 있도록 전기 분해를 이용한 전주법으로 형성되는 것이 바람직하다.
상기 오픈 마스크(210)는 상기 패턴 마스크(220)와 접합되어 증착 공정 시 상기 공정 챔버(110)의 내부 온도에 의해 상기 패턴 마스크(220)의 제 2 개구부의 위치 및 형태가 변형되는 것을 방지하기 위한 것으로, 상기 패턴 마스크(220)보다 상대적으로 낮은 열팽창 계수를 가지는 물질로 형성되어, 증착 공정 시 상기 패턴 마스크(220)의 열팽창을 억제한다. 여기서, 상기 오픈 마스크(210)와 패턴 마스크(220) 사이의 접합은 점착법, 납땜 및 용접 중 어느 하나일 수 있으며, 증착 공정 시 공정 챔버(100)의 내부 온도를 고려하여 용접인 것이 바람직하다.
상기 오픈 마스크(210)의 제 1 개구부(215) 사이에 위치하는 영역은 상기 패턴 마스크(220)이 아래쪽으로 처지는 것을 방지하는 지지대 역할을 하며, 상기 오픈 마스크(210)와 패턴 마스크(220)를 보다 견고히 접착하기 위하여, 상기 오픈 마스크(210)와 패턴 마스크(220)는 상기 오픈 마스크(210)와 패턴 마스크(220)의 가 장 자리에 위치하는 제 1 용접점(P1) 및 상기 오픈 마스크(210)의 제 1 개구부(215) 사이에 위치하는 제 2 용접점(P2)를 통해 접합되는 것이 바람직하다. 여기서, 상기 오픈 마스크(210)와 패턴 마스크(220)이 용이하게 정렬 및 접합될 수 있도록 상기 오픈 마스크(210)와 패턴 마스크(220)는 동일 폭과 길이, 즉 동일 크기를 가지는 것이 더욱 바람직하다.
상기 마스크 조립체(200)는 상기 오픈 마스크(210) 및 패턴 마스크(220)와 상기 홀더(130)가 용이하게 결합할 수 있도록 상기 오픈 마스크(210)과 접합되며, 상기 오픈 마스크(210)의 모든 제 1 개구부(215)가 내측에 위치하는 제 3 개구부(235)가 형성되는 프레임 마스크(230)를 더 포함한다.
도 2a 및 2b를 참조하여, 본 발명의 실시 예에 따른 평판표시장치용 증착 장치(100)에 사용되는 마스크 조립체(200)의 제조 방법을 살펴보면, 먼저 다수의 제 1 개구부(215)가 형성된 오픈 마스크(210) 및 상기 제 1 개구부(215)와 비교하여 상대적으로 작은 면적을 가지는 다수의 제 2 개구부(225)가 형성된 패턴 마스크(220)를 제공한다. 여기서, 상기 패턴 마스크(220)는 고정세 패턴이 형성될 수 있도록 전기 분해를 이용한 전주법으로 형성할 수 있으며, 이 경우, 통상적으로 전주법에 사용되는 소재가 열팽창 계수가 12.8×10-6인 니켈(Ni)인 점을 고려하여, 상기 오픈 마스크(210)는 상기 니켈(Ni)보다 상대적으로 낮은 열팽창 계수 2.0×10-6를 가지는 인바(Invar)인 것이 바람직하다.
이어서, 상기 패턴 마스크(220)의 제 2 개구부(225)가 상기 오픈 마스 크(210)의 제 1 개구부(215) 내측에 위치하도록 상기 오픈 마스크(210)과 패턴 마스크(220)를 정렬시키고, 상기 오픈 마스크(210)과 패턴 마스크(220)을 접합시킨다. 여기서, 상기 오픈 마스크(210)와 패턴 마스크(220)의 접합은 점착법, 납땜 또는 용접 중 어느 하나일 수 있으며, 증착 공정이 고온 상태에서 진행되는 점을 고려하여 용접인 것이 바람직하다.
또한, 상기 오픈 마스크(210)과 패턴 마스크(220) 사이가 보다 견고히 접합될 수 있도록, 상기 오픈 마스크(210)과 패턴 마스크(220)는 상기 오픈 마스크(210) 및 패턴 마스크(220)의 가장 자리를 용접시키는 제 1 용접 공정 및 상기 오픈 마스크(210)의 제 1 개구부(215) 사이의 영역을 용접시키는 제 2 용접 공정에 의해 상기 오픈 마스크(210)과 패턴 마스크(220)를 접합하는 것이 바람직하며, 상기 오픈 마스크(210)와 패턴 마스크(220)의 접합 공정 시 상기 오픈 마스크(210)의 제 1 개구부(215)와 패턴 마스크(220)의 제 2 개구부(225)의 정렬이 흩트려지지 않도록, 상기 제 1 용접 공정을 통해 상기 오픈 마스크(210) 및 패턴 마스크(220)의 가장 영역을 용접하여 상기 제 1 용접점(P1)을 형성하고, 상기 제 2 용접 공정을 통해 상기 오픈 마스크(210)의 제 1 개구부(215) 사이의 영역을 용접하여 상기 제 2 용접점(P2)를 형성하는 것이 더욱 바람직하다.
여기서, 상기 오픈 마스크(210)와 패턴 마스크(220)의 정렬 및 결합 공정을 용이하게 수행할 수 있도록 상기 오픈 마스크(210)와 패턴 마스크(220)는 동일 폭과 길이, 즉 동일 크기를 가지는 것이 바람직하다.
다음으로, 상기 오픈 마스크(210) 및 패턴 마스크(220)를 지지하며, 제 3 개 구부(235)가 형성된 프레임 마스크(230)를 제공하고, 상기 제 3 개구부(235) 내측에 상기 오픈 마스크(210)의 모든 제 1 개구부(215)가 위치하도록 상기 오픈 마스크(210)과 프레임 마스크(230)를 정렬시키고, 상기 오픈 마스크(210)와 프레임 마스크(230)를 접합시킨다.
여기서, 상기 오픈 마스크(210)와 패턴 마스크(220)의 정렬 및 접합이 용이하도록, 상기 오픈 마스크(210)와 패턴 마스크(220)의 접합시킨 후, 상기 오픈 마스크(210)와 프레임 마스크(230)를 접합시키는 것이 바람직하다.
결과적으로, 본 발명의 실시 예에 따른 평판표시장치용 증착 장치는 기판에 형성될 박막과 동일 패턴을 가지는 다수의 개구부가 형성된 패턴 마스크 및 상기 패턴 마스크와 접합되며, 상기 패턴 마스크와 비교하여 상대적으로 낮은 열팽창 계수를 가지는 물질로 형성되는 오픈 마스크를 포함하는 마스크 조립체를 이용하여 기판 상에 박막을 증착시킴으로써, 증착 공정 시 공정 챔버의 내부 온도에 의해 상기 패턴 마스크의 개구부의 위치 및 형태가 변형되는 것을 방지한다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 평판표시장치용 증착 장치를 나타낸 개략도이다.
도 2a는 본 발명의 실시 예에 따른 평판표시장치용 증착 장치의 마스크 조립체를 나타낸 분리 사시도이다.
도 2b는 본 발명의 실시 예에 따른 평판표시장치용 증착 장치의 마스크 조립체를 나타낸 평면도이다.
<도면 주요 부호에 대한 부호의 설명>
110 : 공정 챔버 120 : 증발원
130 : 홀더 200 : 마스크 조립체
210 : 오픈 마스크 215 : 제 1 개구부
220 : 패턴 마스크 225 : 제 2 개구부
230 : 프레임 마스크

Claims (20)

  1. 다수의 제 1 개구부가 형성된 오픈 마스크; 및
    상기 오픈 마스크와 접합되며, 상기 제 1 개구부 내측에 위치하는 다수의 제 2 개구부가 형성되는 패턴 마스크를 포함하며,
    상기 오픈 마스크는 상기 패턴 마스크와 비교하여 상대적으로 작은 열팽창 계수를 갖는 물질로 형성되며,
    상기 오픈 마스크와 상기 패턴 마스크는 상기 오픈 마스크와 상기 패턴 마스크의 가장 자리에 위치하는 제 1 용접점 및 상기 오픈 마스크의 상기 제 1 개구부 사이에 위치하는 제 2 용접점을 통해 접합되며,
    상기 제 2 용접점과 대응하는 상기 오픈 마스크의 상기 제1 개구부 사이에 위치하는 영역은 상기 패턴 마스크를 지지하며,
    상기 오픈 마스크와 상기 패턴 마스크는 동일 크기를 가지는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 패턴 마스크는 전주법에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 패턴 마스크의 제 2 개구부는 기판 상에 형성될 박막과 동일 패턴을 가지는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 오픈 마스크와 접합되며, 상기 제 1 개구부가 내측에 위치하는 제 3 개구부가 형성된 프레임 마스크를 더 포함하는 마스크 조립체.
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 다수의 제 1 개구부가 형성된 오픈 마스크를 제공하고,
    상기 제 1 개구부와 비교하여 상대적으로 작은 면적을 가지는 다수의 제 2 개구부가 형성된 패턴 마스크를 제공하고,
    상기 제 2 개구부가 상기 제 1 개구부의 내측에 위치하고 상기 오픈 마스크의 상기 제 1 개구부 사이에 위치하는 영역이 상기 패턴 마스크를 지지하도록 상기 오픈 마스크와 패턴 마스크를 정렬시키고,
    상기 오픈 마스크와 상기 패턴 마스크의 가장 자리를 용접하는 제 1 용접 공정 및 상기 오픈 마스크의 상기 제 1 개구부 사이에 위치하는 영역과 상기 패턴 마스크를 요접하는 제 2 용접 공정을 통해 상기 오픈 마스크와 패턴 마스크를 접합시키는 것을 포함하며,
    상기 오픈 마스크를 상기 패턴 마스크와 비교하여 상대적으로 작은 열팽창 계수를 가지는 물질로 형성하며,
    상기 오픈 마스크 및 상기 패턴 마스크가 서로 동일 크기를 가지도록 형성하는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체의 제조 방법.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 패턴 마스크를 전주법으로 형성하는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체 의 제조 방법.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 패턴 마스크의 제 2 개구부를 기판에 형성될 박막과 동일한 패턴으로 형성하는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체의 제조 방법.
  10. 삭제
  11. 삭제
  12. 제 7 항에 있어서,
    상기 제 1 용접 공정이 종료된 이후, 상기 제 2 용접 공정을 수행하는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체의 제조 방법.
  13. 제 7 항에 있어서,
    상기 제 3 개구부가 형성된 프레임 마스크를 제공하고,
    상기 제 3 개구부 내측에 모든 제 1 개구부가 위치하도록 상기 프레임 마스크와 오픈 마스크를 정렬시키고,
    상기 프레임 마스크와 오픈 마스크를 접합시키는 것을 더 포함하는 마스크 조립체의 제조 방법.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 오픈 마스크와 패턴 마스크의 접합시킨 후, 상기 프레임 마스크와 오픈 마스크를 접합시키는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체의 제조 방법.
  15. 공정 챔버;
    상기 공정 챔버의 일측에 위치하는 증발원;
    상기 증발원과 기판 사이에 위치하며, 다수의 제 1 개구부가 형성된 오픈 마스크 및 상기 오픈 마스크와 접합되며, 상기 제 1 개구부 내측에 위치하는 다수의 제 2 개구부가 형성되는 패턴 마스크를 포함하는 마스크 조립체; 및
    상기 기판 및 마스크 조립체를 지지하기 위한 홀더를 포함하며,
    상기 마스크 조립체의 오픈 마스크는 상기 패턴 마스크와 비교하여 상대적으로 작은 열팽창 계수를 갖는 물질로 형성되며,
    상기 오픈 마스크와 상기 패턴 마스크는 상기 오픈 마스크와 상기 패턴 마스크의 가장 자리에 위치하는 제 1 용접점 및 상기 오픈 마스크의 상기 제 1 개구부 사이에 위치하는 제 2 용접점을 통해 접합되며,
    상기 제 2 용접점과 대응하는 상기 오픈 마스크의 상기 제 1 개구부 사이에 위치하는 영역은 상기 패턴 마스크를 지지하며,
    상기 마스크 조립체의 상기 오픈 마스크 및 상기 패턴 마스크는 동일 크기를 가지는 것을 특징으로 하는 평판표시장치용 증착 장치.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 마스크 조립체의 패턴 마스크는 전주법에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 평판표시장치용 증착 장치.
  17. 제 15 항에 있어서,
    상기 패턴 마스크의 제 2 개구부는 공정 챔버에서 상기 기판 상에 형성될 박막과 동일 패턴을 가지는 것을 특징으로 하는 평판표시장치용 증착 장치.
  18. 제 15 항에 있어서,
    상기 마스크 조립체는 상기 오픈 마스크와 접합되며, 상기 제 1 개구부가 내측에 위치하는 제 3 개구부가 형성된 프레임 마스크를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시장치용 증착 장치.
  19. 삭제
  20. 삭제
KR1020090089699A 2009-09-22 2009-09-22 마스크 조립체, 이의 제조 방법 및 이를 이용한 평판표시장치용 증착 장치 KR101135544B1 (ko)

Priority Applications (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020090089699A KR101135544B1 (ko) 2009-09-22 2009-09-22 마스크 조립체, 이의 제조 방법 및 이를 이용한 평판표시장치용 증착 장치
JP2009299158A JP5356210B2 (ja) 2009-09-22 2009-12-29 マスク組立体、その製造方法及びそれを用いた平板表示装置用蒸着装置
US12/659,059 US20110067630A1 (en) 2009-09-22 2010-02-24 Mask assembly, deposition apparatus for flat panel displays including the same, and associated methods
TW099122949A TWI463022B (zh) 2009-09-22 2010-07-13 遮罩組件及其製造方法
CN2010102487589A CN102023474B (zh) 2009-09-22 2010-08-06 掩模组件、其制造方法及用于平板显示器的沉积装置
EP10175029.7A EP2298952B1 (en) 2009-09-22 2010-09-02 Mask Assembly.
US14/019,979 US9284638B2 (en) 2009-09-22 2013-09-06 Method of fabricating mask assembly

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020090089699A KR101135544B1 (ko) 2009-09-22 2009-09-22 마스크 조립체, 이의 제조 방법 및 이를 이용한 평판표시장치용 증착 장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20110032284A KR20110032284A (ko) 2011-03-30
KR101135544B1 true KR101135544B1 (ko) 2012-04-17

Family

ID=42937821

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020090089699A KR101135544B1 (ko) 2009-09-22 2009-09-22 마스크 조립체, 이의 제조 방법 및 이를 이용한 평판표시장치용 증착 장치

Country Status (6)

Country Link
US (2) US20110067630A1 (ko)
EP (1) EP2298952B1 (ko)
JP (1) JP5356210B2 (ko)
KR (1) KR101135544B1 (ko)
CN (1) CN102023474B (ko)
TW (1) TWI463022B (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20150045769A (ko) * 2013-10-21 2015-04-29 삼성디스플레이 주식회사 마스크 조립체 및 이를 포함하는 평판 표시 장치용 증착 장치

Families Citing this family (64)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101030030B1 (ko) 2009-12-11 2011-04-20 삼성모바일디스플레이주식회사 마스크 조립체
KR101182239B1 (ko) * 2010-03-17 2012-09-12 삼성디스플레이 주식회사 마스크 및 이를 포함하는 마스크 조립체
KR101820020B1 (ko) * 2011-04-25 2018-01-19 삼성디스플레이 주식회사 박막 증착용 마스크 프레임 어셈블리
KR101813549B1 (ko) * 2011-05-06 2018-01-02 삼성디스플레이 주식회사 분할 마스크와 그 분할 마스크를 포함한 마스크 프레임 조립체의 조립장치
TW201314283A (zh) * 2011-09-21 2013-04-01 Ri-Yang Wang 顯示幕遮罩結構及其製法
TWI622662B (zh) * 2012-01-12 2018-05-01 大日本印刷股份有限公司 蒸鍍遮罩準備體
KR101879831B1 (ko) * 2012-03-21 2018-07-20 삼성디스플레이 주식회사 플렉시블 표시 장치, 유기 발광 표시 장치 및 플렉시블 표시 장치용 원장 기판
KR101565736B1 (ko) * 2012-07-09 2015-11-03 샤프 가부시키가이샤 마스크 유닛 및 증착 장치
CN103668052A (zh) * 2012-09-07 2014-03-26 昆山允升吉光电科技有限公司 一种复合掩模板组件
KR102097706B1 (ko) * 2013-06-19 2020-04-07 삼성디스플레이 주식회사 증착용 마스크 조립체
JP6078818B2 (ja) * 2013-07-02 2017-02-15 株式会社ブイ・テクノロジー 成膜マスク及び成膜マスクの製造方法
TWM508803U (zh) * 2013-11-20 2015-09-11 Applied Materials Inc 用於製造有機發光二極體（ｏｌｅｄ）的陶瓷遮罩組件
JP6418440B2 (ja) * 2014-06-03 2018-11-07 Ｔｉａｎｍａ Ｊａｐａｎ株式会社 メタルマスク及びメタルマスクの製造方法並びにメタルマスクを用いた成膜方法
WO2016011575A1 (zh) * 2014-07-21 2016-01-28 安徽省大富光电科技有限公司 复合掩膜板及其制造方法、复合掩膜板组件
KR20170084314A (ko) * 2014-11-17 2017-07-19 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 코팅 프로세스 및 웨브 코팅 설비를 위한 개별 마스크를 구비한 마스킹 어레인지먼트
WO2016190192A1 (ja) * 2015-05-25 2016-12-01 富士フイルム株式会社 光電変換素子および色素増感太陽電池
KR102366570B1 (ko) * 2015-06-19 2022-02-25 삼성디스플레이 주식회사 마스크 프레임 조립체 및 그 제조방법
WO2017020272A1 (en) * 2015-08-05 2017-02-09 Applied Materials, Inc. A shadow mask for organic light emitting diode manufacture
CN105132861A (zh) * 2015-10-13 2015-12-09 京东方科技集团股份有限公司 一种蒸镀掩膜版以及蒸镀设备
CN106637072A (zh) * 2015-10-30 2017-05-10 上海和辉光电有限公司 一种高精度金属掩膜装置及其制造方法
KR102549358B1 (ko) 2015-11-02 2023-06-29 삼성디스플레이 주식회사 증착 마스크 조립체 및 이를 이용한 표시 장치의 제조 방법
KR102432350B1 (ko) * 2015-11-06 2022-08-16 삼성디스플레이 주식회사 마스크 프레임 조립체, 이를 포함하는 증착 장치 및 표시 장치의 제조 방법
KR102586048B1 (ko) * 2016-01-12 2023-10-10 삼성디스플레이 주식회사 마스크 조립체, 이의 제조방법 및 이를 포함한 표시 장치의 제조장치
KR102527224B1 (ko) 2016-03-31 2023-05-02 삼성디스플레이 주식회사 마스크 프레임 조립체 및 이를 이용한 디스플레이 장치의 제조방법
JP6722512B2 (ja) * 2016-05-23 2020-07-15 マクセルホールディングス株式会社 蒸着マスクおよびその製造方法
CN105839052A (zh) * 2016-06-17 2016-08-10 京东方科技集团股份有限公司 掩膜板以及掩膜板的组装方法
KR102616578B1 (ko) * 2016-06-24 2023-12-22 삼성디스플레이 주식회사 박막 증착용 마스크 어셈블리와, 이의 제조 방법
CN106086782B (zh) * 2016-06-28 2018-10-23 京东方科技集团股份有限公司 一种掩膜版组件及其安装方法、蒸镀装置
CN205688000U (zh) * 2016-06-29 2016-11-16 鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 一种掩膜板
CN106019819A (zh) * 2016-07-22 2016-10-12 京东方科技集团股份有限公司 掩膜板及其制作方法
CN106319447B (zh) * 2016-09-21 2018-11-13 昆山国显光电有限公司 蒸镀掩膜板及其制作方法
CN106271167B (zh) * 2016-09-26 2019-03-29 京东方科技集团股份有限公司 一种金属掩膜板焊接贴合器件及其焊接方法
CN106399934A (zh) * 2016-10-14 2017-02-15 深圳市华星光电技术有限公司 异形oled产品蒸镀掩模板
KR20180083459A (ko) * 2017-01-12 2018-07-23 삼성디스플레이 주식회사 증착용 마스크 어셈블리
JP2018127705A (ja) * 2017-02-10 2018-08-16 株式会社ジャパンディスプレイ 蒸着マスク
CN206706184U (zh) * 2017-05-12 2017-12-05 京东方科技集团股份有限公司 掩模板以及掩模片
CN107422598B (zh) * 2017-06-02 2020-08-25 昆山国显光电有限公司 掩膜板及其制作方法
JP6998139B2 (ja) * 2017-06-28 2022-01-18 株式会社ジャパンディスプレイ 蒸着マスク
TWI649787B (zh) * 2017-07-12 2019-02-01 林義溢 多層式遮罩
KR102300029B1 (ko) * 2017-07-27 2021-09-09 삼성디스플레이 주식회사 마스크 프레임 조립체와 이의 제조 방법 및 표시 장치의 제조 방법
JP6963014B2 (ja) * 2017-08-23 2021-11-05 シャープ株式会社 蒸着マスク、表示パネルの製造方法、及び表示パネル
US20190074343A1 (en) * 2017-09-04 2019-03-07 Applied Materials, Inc. Fmm process for high res fmm
CN107740040B (zh) * 2017-09-08 2019-09-24 上海天马有机发光显示技术有限公司 掩膜版组件及蒸镀装置
CN109652759B (zh) * 2017-10-12 2021-04-27 上海和辉光电股份有限公司 一种金属掩膜板的制作方法和金属掩膜板
CN107653435A (zh) * 2017-10-25 2018-02-02 信利（惠州）智能显示有限公司 掩膜装置及其掩膜组件、掩膜板
TWI772559B (zh) * 2017-11-22 2022-08-01 日商麥克賽爾股份有限公司 蒸鍍遮罩及其製造方法
CN107858645B (zh) * 2017-12-15 2019-10-01 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 金属掩膜板
CN107916397B (zh) * 2018-01-02 2020-03-10 京东方科技集团股份有限公司 一种掩膜板、定位基板、掩膜板组件及蒸镀装置
KR102574297B1 (ko) * 2018-03-29 2023-09-04 삼성디스플레이 주식회사 증착용 마스크 어셈블리 및 이를 사용하여 제조된 유기 발광 표시 장치
CN108385058B (zh) * 2018-05-31 2020-06-09 京东方科技集团股份有限公司 掩膜板和掩膜板的制造方法
KR101909582B1 (ko) * 2018-06-04 2018-10-18 주식회사 케이피에스 풀 사이즈 마스크 조립체와 그 제조방법
CN108866476B (zh) * 2018-06-29 2020-03-10 京东方科技集团股份有限公司 掩膜版及其制作方法、蒸镀方法、显示屏
KR20200065142A (ko) 2018-11-29 2020-06-09 삼성디스플레이 주식회사 마스크 조립체 및 이의 제조 방법
US11773477B2 (en) * 2018-12-25 2023-10-03 Dai Nippon Printing Co., Ltd. Deposition mask
EP3674436B1 (en) * 2018-12-25 2024-03-13 Dai Nippon Printing Co., Ltd. Deposition mask
CN109554665B (zh) 2019-01-22 2021-01-15 京东方科技集团股份有限公司 一种蒸镀方法、蒸镀掩膜模组、显示面板及显示装置
KR20200092524A (ko) 2019-01-24 2020-08-04 삼성디스플레이 주식회사 박막 증착용 마스크 프레임 어셈블리
KR20200096877A (ko) * 2019-02-06 2020-08-14 다이니폰 인사츠 가부시키가이샤 증착 마스크 장치, 마스크 지지 기구 및 증착 마스크 장치의 제조 방법
CN109750256B (zh) 2019-03-25 2020-12-18 京东方科技集团股份有限公司 掩膜组件的制备方法、掩膜组件
KR20210026168A (ko) * 2019-08-29 2021-03-10 주식회사 오럼머티리얼 마스크 지지 템플릿, 마스크 지지 템플릿의 제조 방법 및 프레임 일체형 마스크의 제조 방법
US20220372615A1 (en) * 2019-11-12 2022-11-24 Chengdu Boe Optoelectronics Technology Co., Ltd. Mask
KR20210092366A (ko) * 2020-01-15 2021-07-26 삼성디스플레이 주식회사 마스크
JP2021175824A (ja) * 2020-03-13 2021-11-04 大日本印刷株式会社 有機デバイスの製造装置の蒸着室の評価方法、評価方法で用いられる標準マスク装置及び標準基板、標準マスク装置の製造方法、評価方法で評価された蒸着室を備える有機デバイスの製造装置、評価方法で評価された蒸着室において形成された蒸着層を備える有機デバイス、並びに有機デバイスの製造装置の蒸着室のメンテナンス方法
KR20220004893A (ko) * 2020-07-03 2022-01-12 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004323888A (ja) * 2003-04-23 2004-11-18 Dainippon Printing Co Ltd 蒸着マスク及び蒸着方法
KR20060058456A (ko) * 2004-11-25 2006-05-30 삼성에스디아이 주식회사 평판표시장치의 박막 증착용 마스크 및 그의 제조방법
JP2008196002A (ja) 2007-02-13 2008-08-28 Seiko Epson Corp 蒸着マスクおよび蒸着マスクの製造方法
KR20090053418A (ko) * 2007-11-23 2009-05-27 삼성모바일디스플레이주식회사 평판 표시장치의 박막 증착용 마스크 조립체

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3574012A (en) * 1969-01-06 1971-04-06 Aerojet General Co Trimetallic masks and method
JP2000012238A (ja) * 1998-06-29 2000-01-14 Futaba Corp 有機ｅｌ素子、有機ｅｌ素子製造用マスク及び有機ｅｌ素子の製造方法
JP2002055461A (ja) * 2000-05-29 2002-02-20 Tokyo Process Service Kk メタルマスクの製造方法
DE60228599D1 (de) * 2001-08-24 2008-10-09 Dainippon Printing Co Ltd Maskeneinrichtung zur bildung mehrerer seiten für die vakuumablagerung
KR100490534B1 (ko) * 2001-12-05 2005-05-17 삼성에스디아이 주식회사 유기 전자 발광 소자의 박막 증착용 마스크 프레임 조립체
JP4440563B2 (ja) * 2002-06-03 2010-03-24 三星モバイルディスプレイ株式會社 有機電子発光素子の薄膜蒸着用マスクフレーム組立体
KR100534580B1 (ko) * 2003-03-27 2005-12-07 삼성에스디아이 주식회사 표시장치용 증착 마스크 및 그의 제조방법
JP4475496B2 (ja) * 2003-05-21 2010-06-09 九州日立マクセル株式会社 有機ｅｌ素子用の蒸着マスクとその製造方法
JP2005146338A (ja) * 2003-11-14 2005-06-09 Sony Corp 蒸着マスク
JP4604593B2 (ja) * 2004-07-30 2011-01-05 ソニー株式会社 メタルマスクの製造方法
KR100708654B1 (ko) * 2004-11-18 2007-04-18 삼성에스디아이 주식회사 마스크 조립체 및 이를 이용한 마스크 프레임 조립체
JP2007173107A (ja) * 2005-12-22 2007-07-05 Kyocera Corp マスク、マスク固定装置、及びマスクを使用して製造するディスプレイの製造方法
WO2007133252A2 (en) * 2006-05-10 2007-11-22 Advantech Global, Ltd. Tensioned aperture mask and method of mounting

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004323888A (ja) * 2003-04-23 2004-11-18 Dainippon Printing Co Ltd 蒸着マスク及び蒸着方法
KR20060058456A (ko) * 2004-11-25 2006-05-30 삼성에스디아이 주식회사 평판표시장치의 박막 증착용 마스크 및 그의 제조방법
JP2008196002A (ja) 2007-02-13 2008-08-28 Seiko Epson Corp 蒸着マスクおよび蒸着マスクの製造方法
KR20090053418A (ko) * 2007-11-23 2009-05-27 삼성모바일디스플레이주식회사 평판 표시장치의 박막 증착용 마스크 조립체

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20150045769A (ko) * 2013-10-21 2015-04-29 삼성디스플레이 주식회사 마스크 조립체 및 이를 포함하는 평판 표시 장치용 증착 장치
KR102207840B1 (ko) * 2013-10-21 2021-01-26 삼성디스플레이 주식회사 마스크 조립체 및 이를 포함하는 평판 표시 장치용 증착 장치

Also Published As

Publication number Publication date
JP5356210B2 (ja) 2013-12-04
KR20110032284A (ko) 2011-03-30
CN102023474B (zh) 2012-11-14
CN102023474A (zh) 2011-04-20
TW201111525A (en) 2011-04-01
US20110067630A1 (en) 2011-03-24
TWI463022B (zh) 2014-12-01
US9284638B2 (en) 2016-03-15
JP2011068978A (ja) 2011-04-07
US20140000792A1 (en) 2014-01-02
EP2298952B1 (en) 2014-06-11
EP2298952A1 (en) 2011-03-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101135544B1 (ko) 마스크 조립체, 이의 제조 방법 및 이를 이용한 평판표시장치용 증착 장치
KR101117645B1 (ko) 마스크 조립체 및 이를 이용한 평판표시장치용 증착 장치
KR101450728B1 (ko) 마스크 조립체 및 그의 제조 방법
TWI541994B (zh) 分割遮罩及利用該分割遮罩組裝遮罩框架組件之方法
KR102014479B1 (ko) 단위 마스크 스트립 및 이를 이용한 유기 발광 표시장치의 제조방법
TWI541368B (zh) 遮罩框架組件、製造該遮罩框架組件之方法、以及使用該遮罩框架組件製造有機發光顯示裝置之方法
KR101049804B1 (ko) 증착 장치용 마스크 밀착 수단 및 이를 이용한 증착 장치
JP4006173B2 (ja) メタルマスク構造体及びその製造方法
US20100267227A1 (en) Mask frame assembly for thin film deposition and associated methods
US9376743B2 (en) Method of manufacturing mask for deposition
KR100853544B1 (ko) 평판 표시장치 박막 증착용 마스크 프레임 조립체 및 이를이용한 증착장비
KR20120069396A (ko) 증착용 마스크 프레임 조립체, 이의 제조 방법 및 이를 이용한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법
US9263707B2 (en) Mask assembly and method of fabricating organic light emitting display device using the same
KR20100101919A (ko) 박막 증착용 마스크 프레임 조립체 및 이를 이용한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법
JP2006244746A (ja) マスク構造体およびそれを用いた蒸着方法、並びに有機発光素子の製造方法
KR102640219B1 (ko) 분할 마스크
KR20150071445A (ko) 증발원 및 이를 포함하는 증착장치
KR20020030135A (ko) 유기 ｅｌ 소자의 증착마스크와 이를 이용한 증착방법 및그 장치
KR100683709B1 (ko) 박막 증착용 마스크 프레임 어셈블리 및 그 제조방법
KR20170038551A (ko) 증착 마스크 및 그 제조방법

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
AMND Amendment
E601 Decision to refuse application
X091 Application refused [patent]
AMND Amendment
X701 Decision to grant (after re-examination)
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160329

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180403

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190401

Year of fee payment: 8