KR102207840B1 - 마스크 조립체 및 이를 포함하는 평판 표시 장치용 증착 장치 - Google Patents

마스크 조립체 및 이를 포함하는 평판 표시 장치용 증착 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체는 하나 또는 복수 개의 패턴이 형성되어 있는 패턴 마스크, 그리고 패턴 마스크에 접착되어 있는 지지층을 포함하고, 지지층은 지지층을 관통하는 복수 개의 미세 슬릿을 포함하고, 패턴의 크기는 미세 슬릿의 크기보다 더 크고, 하나의 패턴에 대응하는 부분에 복수 개의 미세 슬릿이 배치되어 있다.

Description

마스크 조립체 및 이를 포함하는 평판 표시 장치용 증착 장치{MASK ASSEMBLY AND DEPOSITION APPARATUS FOR FLAT PANEL DISPLAY INCLUDING THE SAME}
본 발명은 마스크 조립체 및 이를 포함하는 평판 표시 장치용 증착 장치에 관한 것이다.
평판 표시 장치(Flat Panel Display device)는 경량 및 박형 등의 특성으로 인하여, 음극선관 표시 장치(Cathode-ray Tube Display device)를 대체하는 표시 장치로 사용되고 있으며, 대표적인 예로서 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display device; LCD)와 유기 발광 표시장치(Organic Light Emitting diode Display device; OLED)가 있다.
이러한 평판 표시 장치는 유리, 스테인레스 스틸 또는 합성 수지로 형성된 기판 상에 배선, 전극 및 유기 박막 등을 선택적으로 형성하기 위하여, 포토리소그라피 방법 또는 다수의 패턴이 형성된 마스크 조립체를 이용한 증착법을 사용한다.
한편, 고 해상도의 평판 표시 장치에 대응하기 위하여 마스크의 두께를 얇게 형성한다. 마스크의 두께가 감소함에 따라 마스크의 강도가 약해져 마스크가 쳐지는 현상이 발생한다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 마스크의 쳐짐 현상을 방지하는 마스크 조립체 및 이를 포함하는 평판 표시 장치용 증착 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체는 하나 또는 복수 개의 패턴이 형성되어 있는 패턴 마스크, 그리고 패턴 마스크에 접착되어 있는 지지층을 포함하고, 지지층은 지지층을 관통하는 복수 개의 미세 슬릿을 포함하고, 패턴의 크기는 미세 슬릿의 크기보다 더 크고, 하나의 패턴에 대응하는 부분에 복수 개의 미세 슬릿이 배치되어 있다.
지지층은 패턴 마스크의 상부에 접착되어 있을 수 있다.
지지층은 패턴 마스크의 하부에 접착되어 있을 수 있다.
지지층은 패턴 마스크의 상부에 접착되어 있는 상부 지지층 및 패턴 마스크의 하부에 접착되어 있는 하부 지지층을 포함할 수 있다.
미세 슬릿은 상부 지지층에 형성되어 있는 상부 미세 슬릿 및 하부 지지층에 형성되어 있는 하부 미세 슬릿을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시 장치용 증착 장치는 챔버, 챔버 내부에 배치되어 있는 증착원, 챔버 내부에 배치되어 있으며, 증착원과 마주하는 마스크 조립체, 그리고 마스크 조립체를 지지하며, 개구부를 포함하는 마스크 프레임을 포함하고, 마스크 조립체는 또는 복수 개의 패턴이 형성되어 있는 패턴 마스크, 및 패턴 마스크에 접착되어 있는 지지층을 포함하고, 지지층은 지지층을 관통하는 복수 개의 미세 슬릿을 포함하고, 패턴의 크기는 미세 슬릿의 크기보다 더 크고, 하나의 패턴에 대응하는 부분에 복수 개의 미세 슬릿이 배치되어 있다.
지지층의 가장자리는 패턴 마스크의 가장자리의 안쪽에 위치할 수 있다.
마스크 프레임은 제1 단차를 포함하고, 지지층의 가장자리는 제1 단차에 위치하고, 패턴 마스크의 가장자리는 마스크 프레임 위에 위치할 수 있다.
하부 지지층의 가장자리는 패턴 마스크의 가장자리의 안쪽에 위치하고, 상부 지지층의 가장자리는 패턴 마스크의 가장자리의 바깥쪽에 위치할 수 있다.
마스크 프레임은 서로 이어진 제1 단차 및 제2 단차를 포함하고, 하부 지지층의 가장자리는 제1 단차에 위치하고, 패턴 마스크의 가장자리는 제2 단차에 위치하고, 상부 지지층의 가장자리는 마스크 프레임 위에 위치할 수 있다.
이와 같이 본 발명의 실시예에 따르면, 패턴이 형성된 패턴 마스크에 패턴보다 크기가 작은 복수의 미세 슬릿이 형성된 지지층을 접착하여 패턴 마스크가 휘어지는 현상을 방지할 수 있다.
또한, 이러한 지지층에 의해 강도가 증가하여 증착 공정 시, 여러 가지 환경 조건에 의해 패턴 마스크가 파손되는 현상을 감소시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시 장치용 증착 장치를 도시한 개략도이다.
도 2는 도 1의 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체를 나타낸 사시도이다.
도 3은 도 2의 Ⅲ-Ⅲ선을 잘라 도시한 단면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 지지층의 평면의 일부를 나타낸 도면이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 지지층의 평면의 일부를 나타낸 도면이다.
도 6 은 본 발명을 다른 실시예에 따른 마스크 조립체를 나타낸 사시도이다.
도 7은 도 6의 Ⅶ-Ⅶ선을 잘라 도시한 단면도이다.
도 8은 본 발명을 또 다른 실시예에 따른 마스크 조립체를 나타낸 사시도이다.
도 9는 도 8의 Ⅸ-Ⅸ선을 잘라 도시한 단면도이다.
도 10은 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 프레임 위에 마스크 조립체의 배치 구조를 나타낸 도면이다.
도 11은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 마스크 프레임 위에 마스크 조립체의 배치 구조를 나타낸 도면이다.
첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 여기서 설명되는 실시예에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예들은 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다.
도면들에 있어서, 층 및 영역들의 두께는 명확성을 기하기 위하여 과장된 것이다. 또한, 층이 다른 층 또는 기판 "상"에 있다고 언급되는 경우에 그것은 다른 층 또는 기판 상에 직접 형성될 수 있거나 또는 그들 사이에 제3의 층이 개재될 수도 있다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호로 표시된 부분들은 동일한 구성요소들을 의미한다.
도 1 내지 도 4를 참고하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시 장치용 증착 장치에 대해서 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시 장치용 증착 장치를 도시한 개략도이고, 도 2는 도 1의 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체를 나타낸 사시도이고, 도 3은 도 2의 Ⅲ-Ⅲ선을 잘라 도시한 단면도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 지지층의 평면의 일부를 나타낸 도면이다.
도 1 내지 도 4를 참고하면, 본 실시예에 따른 평판 표시 장치용 증착 장치는 챔버(500), 챔버(500)의 내부에 위치하는 증착원(510) 및 마스크 조립체(400)를 포함한다. 증착원(510)과 마스크 조립체(400)는 서로 마주하고 있다.
또한, 본 실시예에 따른 평판 표시 장치용 증착 장치는 마스크 조립체(400)를 지지하는 마스크 프레임(100) 및 마스크 프레임(100)을 고정하는 고정 부재(520)를 포함한다.
마스크 프레임(100)은 개구부(150)를 포함하고, 마스크 조립체(400)는 마스크 프레임(100) 위에 위치한다.
마스크 조립체(400)는 하나 또는 복수 개의 패턴(210)이 형성되어 있는 패턴 마스크(200) 및 복수 개의 미세 슬릿(310)이 형성되어 있는 지지층(300)을 포함한다.
패턴 마스크(200)는 금속 박막으로 형성된 미세 금속 마스크(Fine Metal Mask)일 수 있으며, 스테인레스 스틸(Steel Use Stainless; SUS), 인바(Invar), 니켈, 코발트 및 이들의 합금으로 이루어진 그룹에서 선택된 어느 하나로 형성될 수 있다.
지지층(300)은 패턴 마스크(200)의 상부에 접착되어 있고, 패턴 마스크(200)가 휘어지는 것을 방지한다. 지지층(300)의 미세 슬릿(310)은 바둑판 형상으로 배열되어 있다. 미세 슬릿(310)의 크기는 패턴(210)의 크기보다 작다.
미세 슬릿(310)은 지지층(300)을 관통하며, 패턴 마스크(200)의 하나의 패턴(210)에 대응하는 부분에 복수 개의 미세 슬릿(310)이 배치되어 있다. 미세 슬릿(310)은 패턴 마스크(200)의 패턴(210)이 형성되지 않은 부분에도 배치되어 있다. 하지만, 이에 한정하지 않고, 패턴 마스크(200)의 패턴(210)이 형성되지 않은 부분에는 미세 슬릿(310)이 배치되어 있지 않을 수도 있다.
미세 슬릿(310)은 수십 나노미터(nonometer) 내지 수십 마이크로미터(micrometer)의 크기로 형성될 수 있다. 본 실시예에서는 미세 슬릿(310)의 형상이 원형이지만, 이에 한정하지 않고, 사각형, 마름모, 육각형 또는 다른 임의의 형상 등 다양한 형상일 수 있다.
본 실시예에 따른 평판 표시 장치용 증착 장치를 이용한 박막 증착 과정을 살펴보면 다음과 같다.
패턴 마스크(200)와 지지층(300)을 포함하는 마스크 조립체(400)를 마스크 프레임(100) 위에 위치시킨 후, 마스크 조립체(400) 위에 기판(S)을 위치시킨다. 여기서, 별도의 홀더(도시하지 않음) 또는 지지대(도시하지 않음)을 사용하여 기판(S)과 패턴 마스크(200)이 일정 간격만큼 이격 되도록 위치시킬 수도 있다.
이어서, 마스크 조립체(400)와 마주하는 증착원(510)으로부터 증착 물질이 분사 또는 증발되면, 증착 물질이 마스크 프레임(100)의 개구부(150)를 통과하고, 패턴 마스크(200)의 패턴(210)에 의해 기판(S)에 일정한 패턴을 가지도록 증착 물질이 증착되어 박막이 형성된다.
여기서, 고 해상도의 표시 장치에 대응하기 위하여 패턴 마스크(200)의 두께를 얇게 하는데, 이 경우 패턴 마스크(200)의 강도가 약해져 패턴 마스크(200) 자체의 무게 및 기판(S)의 무게에 의해 패턴 마스크(200)가 아래로 쳐지는 현상 즉, 휘어지게 된다.
본 실시예에 따른 평판 표시 장치용 증착 장치에서는 패턴 마스크(200)와 지지층(300)을 포함하는 마스크 조립체(400)를 사용함으로써, 패턴 마스크(200)가 휘어지는 것을 방지할 수 있다. 증착 물질은 지지층(300)에 형성된 미세 슬릿(310)을 통하여 기판(S)으로 이동한다.
또한, 지지층(300)에 의해 마스크 조립체(400)의 강도가 증가하여 증착 공정 시, 여러 가지 환경 조건에 의해 패턴 마스크(200)가 파손되는 현상을 감소시킬 수 있다. 이에 따라, 기존의 패턴 마스크(200)만 사용할 경우보다 마스크 조립체(400)의 수명이 증가하게 되어 원가 절감 및 생산성이 향상하는 효과가 있다.
한편, 지지층(300)의 미세 슬릿(310)은 다양한 형태로 배열될 수 있다. 이에 대해, 도 5를 참고하여 설명한다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 지지층의 평면의 일부를 나타낸 도면이다.
도 5를 참고하면, 지지층(300)의 미세 슬릿(310)은 지그재그 형태로 배열될 수 있다. 하지만, 이에 한정하지 않고 지지층(300)의 미세 슬릿(310)은 다양한 형태로 배열될 수 있다.
한편, 마스크 조립체(400)는 도 1에 따른 평판 표시 장치의 증착 장치와 다르게 다양한 구조를 포함할 수 있다. 이에 대해 도 6 내지 도 9를 참고하여 상세하게 설명한다.
도 6 은 본 발명을 다른 실시예에 따른 마스크 조립체를 나타낸 사시도이고, 도 7은 도 6의 Ⅶ-Ⅶ선을 잘라 도시한 단면도이다.
도 6 및 도 7을 참고하면, 본 실시예에 따른 마스크 조립체의 구조는 도 1의 마스크 조립체와 비교하여 지지층의 위치만 다르고 나머지 구조는 동일하다. 이에, 동일한 구조의 설명은 생략한다.
본 실시예에 따른 마스크 조립체(400)는 하나 또는 복수 개의 패턴(210)이 형성되어 있는 패턴 마스크(200) 및 복수 개의 미세 슬릿(310)이 형성되어 있는 지지층(300)을 포함한다. 미세 슬릿(310)은 지지층(300)을 관통한다.
여기서, 지지층(300)은 패턴 마스크(200)의 하부에 접착되어 있고, 패턴 마스크(200)가 휘어지는 것을 방지하고, 마스크 조립체(400)의 강도를 향상시킨다.
도 8은 본 발명을 또 다른 실시예에 따른 마스크 조립체를 나타낸 사시도이고, 도 9는 도 8의 Ⅸ-Ⅸ선을 잘라 도시한 단면도이다.
도 8 및 도 9를 참고하면, 본 실시예에 따른 마스크 조립체의 구조는 도 1의 마스크 조립체와 비교하여 지지층의 위치만 다르고 나머지 구조는 동일하다. 이에, 동일한 구조의 설명은 생략한다.
본 실시예에 따른 마스크 조립체(400)는 하나 또는 복수 개의 패턴(210)이 형성되어 있는 패턴 마스크(200), 패턴 마스크(200)의 상부에 접착되어 있는 상부 지지층(350) 및 패턴 마스크(200)의 하부에 접착되어 있는 하부 지지층(360)을 포함한다.
상부 지지층(350)은 상부 지지층(300)을 관통하는 복수 개의 상부 미세 슬릿(351)이 형성되어 있고, 하부 지지층(360)은 하부 지지층(360)을 관통하는 복수 개의 하부 미세 슬릿(361)이 형성되어 있다. 이러한 상부 지지층(350)과 하부 지지층(360)은 패턴 마스크(200)가 휘어지는 것을 방지하고, 마스크 조립체(400)의 강도를 향상시킨다.
상부 지지층(350)과 하부 지지층(360)은 재질이 동일할 수 있다.
상부 미세 슬릿(351) 및 하부 미세 슬릿(361)의 크기는 패턴(210)의 크기보다 작다. 상부 미세 슬릿(351) 및 하부 미세 슬릿(361)은 각각 바둑판 형상으로 배열되어 있다. 하지만, 이에 한정하지 않고, 상부 미세 슬릿(351) 및 하부 미세 슬릿(361)은 각각 지그재그 형상 등 다양한 형태로 배열될 수 있다.
패턴 마스크(200)의 하나의 패턴(210)에 대응하는 부분에 복수 개의 상부 미세 슬릿(351)과 복수 개의 하부 미세 슬릿(361)이 배치되어 있다. 상부 미세 슬릿(351) 및 하부 미세 슬릿(361)은 각각은 패턴 마스크(200)의 패턴(210)이 형성되지 않은 부분에도 배치되어 있다. 하지만, 이에 한정하지 않고, 패턴 마스크(200)의 패턴(210)이 형성되지 않은 부분에는 상부 미세 슬릿(351) 및 하부 미세 슬릿(361)이 배치되어 있지 않을 수도 있다.
상부 미세 슬릿(351) 및 하부 미세 슬릿(361)은 각각 수십 나노미터(nonometer) 내지 수십 마이크로미터(micrometer)의 크기로 형성될 수 있다. 상부 미세 슬릿(351) 및 하부 미세 슬릿(361)은 크기와 형상이 동일할 수 있다.
본 실시예에서는 상부 미세 슬릿(351) 및 하부 미세 슬릿(361)의 형상이 원형이지만, 이에 한정하지 않고, 사각형, 마름모, 육각형 또는 다른 임의의 형상 등 다양한 형상일 수 있다. 또한, 상부 미세 슬릿(351) 및 하부 미세 슬릿(361)은 크기와 형상이 서로 다를 수 있다.
한편, 마스크 조립체(400)를 마스크 프레임(100) 위에 위치시킬 때, 도 1에 따른 평판 표시 장치의 증착 장치와 다른 형태로 위치시킬 수 있다.
이에 대해 도 10 및 도 11을 참고하여 상세하게 설명한다.
도 10은 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 프레임 위에 마스크 조립체의 배치 구조를 나타낸 도면이다.
도 10을 참고하면, 마스크 조립체(400)는 마스크 프레임(100) 위에 배치되어 있다.
마스크 조립체(400)는 패턴 마스크(200)와 패턴 마스크(200)의 하부에 부착된 지지층(300)을 포함한다. 여기서, 패턴 마스크(200)와 지지층(300)의 재질 및 형상은 도 1에 따른 평판 표시 장치의 증착 장치의 패턴 마스크(200)와 지지층(300)의 재질 및 형상과 동일하다.
지지층(300)의 크기는 패턴 마스크(200)의 크기보다 더 작다. 즉, 지지층(300)의 가장자리는 패턴 마스크(200)의 가장자리의 안쪽에 위치한다.
마스크 프레임(100)은 제1 단차(110)가 형성되어 있다. 제1 단차(110)에는 지지층(300)의 가장자리가 위치하고, 마스크 프레임(100) 위에는 패턴 마스크(200)의 가장자리가 위치한다.
이와 같은 구조로 마스크 조립체(400)를 마스크 프레임(100)에 오차 없이 배치시킬 수 있다.
도 11은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 마스크 프레임 위에 마스크 조립체의 배치 구조를 나타낸 도면이다.
도 11을 참고하면, 마스크 조립체(400)는 마스크 프레임(100) 위에 배치되어 있다.
마스크 조립체(400)는 패턴 마스크(200), 패턴 마스크(200)의 상부에 접착되어 있는 상부 지지층(350) 및 패턴 마스크(200)의 하부에 접착되어 있는 하부 지지층(360)을 포함한다. 여기서, 패턴 마스크(200), 상부 지지층(350) 및 하부 지지층(360)의 재질 및 형상은 도 8에 따른 패턴 마스크(200)와 지지층(300)의 재질 및 형상과 동일하다.
하부 지지층(360)의 크기는 패턴 마스크(200)의 크기보다 더 작고, 상부 지지층(350)의 크기는 패턴 마스크(200)의 크기보다 더 크다. 즉, 하부 지지층(360)의 가장자리는 패턴 마스크(200)의 가장자리의 안쪽에 위치하고, 상부 지지층(350)의 가장자리는 패턴 마스크(200)의 가장자리의 바깥쪽에 위치한다.
마스크 프레임(100)은 서로 이어지는 제1 단차(110) 및 제2 단차(120)가 형성되어 있다. 제1 단차(110)에는 하부 지지층(360)의 가장자리가 위치하고, 제2 단차(120)에는 패턴 마스크(200)의 가장자리가 위치하며, 마스크 프레임(100) 위에는 상부 지지층(350)의 가장자리가 위치한다.
이와 같은 구조로 마스크 조립체(400)를 마스크 프레임(100)에 오차 없이 배치시킬 수 있다.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.
100: 마스크 프레임 200: 패턴 마스크
210: 패턴 300: 지지층
310: 미세 슬릿 350: 상부 지지층
351: 상부 미세 슬릿 360: 하부 지지층
361: 하부 미세 슬릿 400: 마스크 조립체
500: 챔버 510: 증착원

Claims (14)

  1. 하나 또는 복수 개의 패턴이 형성되어 있는 패턴 마스크, 그리고
    상기 패턴 마스크에 접착되어 있는 지지층을 포함하고,
    상기 지지층은 상기 지지층을 관통하는 복수 개의 미세 슬릿을 포함하고,
    상기 패턴의 크기는 상기 미세 슬릿의 크기보다 더 크고,
    하나의 상기 패턴에 대응하는 부분에 복수 개의 상기 미세 슬릿이 배치되어 있고,
    상기 지지층은 상기 패턴 마스크의 상부에 접착되어 있는 상부 지지층 및 상기 패턴 마스크의 하부에 접착되어 있는 하부 지지층을 포함하는 마스크 조립체.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제1항에서,
    상기 미세 슬릿은 상기 상부 지지층에 형성되어 있는 상부 미세 슬릿 및 상기 하부 지지층에 형성되어 있는 하부 미세 슬릿을 포함하는 마스크 조립체.
  6. 챔버,
    상기 챔버 내부에 배치되어 있는 증착원,
    상기 챔버 내부에 배치되어 있으며, 상기 증착원과 마주하는 마스크 조립체, 그리고
    상기 마스크 조립체를 지지하며, 개구부를 포함하는 마스크 프레임을 포함하고,
    상기 마스크 조립체는
    하나 또는 복수 개의 패턴이 형성되어 있는 패턴 마스크, 및
    상기 패턴 마스크에 접착되어 있는 지지층을 포함하고,
    상기 지지층은 상기 지지층을 관통하는 복수 개의 미세 슬릿을 포함하고,
    상기 패턴의 크기는 상기 미세 슬릿의 크기보다 더 크고,
    하나의 상기 패턴에 대응하는 부분에 복수 개의 상기 미세 슬릿이 배치되어 있고,
    상기 지지층은 상기 패턴 마스크의 상부에 접착되어 있는 상부 지지층 및 상기 패턴 마스크의 하부에 접착되어 있는 하부 지지층을 포함하는 평판 표시 장치용 증착 장치.
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 제6항에서,
    상기 지지층의 가장자리는 상기 패턴 마스크의 가장자리의 안쪽에 위치하는 평판 표시 장치용 증착 장치.
  10. 제9항에서,
    상기 마스크 프레임은 제1 단차를 포함하고,
    상기 지지층의 가장자리는 제1 단차에 위치하고,
    상기 패턴 마스크의 가장자리는 상기 마스크 프레임 위에 위치하는 평판 표시 장치용 증착 장치.
  11. 삭제
  12. 제6항에서,
    상기 미세 슬릿은 상기 상부 지지층에 형성되어 있는 상부 미세 슬릿 및 상기 하부 지지층에 형성되어 있는 하부 미세 슬릿을 포함하는 평판 표시 장치용 증착 장치.
  13. 제12항에서,
    상기 하부 지지층의 가장자리는 상기 패턴 마스크의 가장자리의 안쪽에 위치하고,
    상기 상부 지지층의 가장자리는 상기 패턴 마스크의 가장자리의 바깥쪽에 위치하는 평판 표시 장치용 증착 장치.
  14. 제13항에서,
    상기 마스크 프레임은 서로 이어진 제1 단차 및 제2 단차를 포함하고,
    상기 하부 지지층의 가장자리는 상기 제1 단차에 위치하고,
    상기 패턴 마스크의 가장자리는 상기 제2 단차에 위치하고,
    상기 상부 지지층의 가장자리는 상기 마스크 프레임 위에 위치하는 평판 표시 장치용 증착 장치.
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