CN107740040B - 掩膜版组件及蒸镀装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了掩膜版组件及蒸镀装置，以用于制作异形显示面板，提高异形显示面板的制作效率，降低成本。本发明实施例提供的一种掩膜版组件包括框架和第一条形板，第一条形板固定于框架上且沿第一方向延伸；其中：第一条形板包括第一区域和第二区域，在平行于第一条形板的表面且垂直于第一方向的方向上，第一区域的宽度大于第二区域的宽度。

Description

掩膜版组件及蒸镀装置
技术领域
本发明涉及OLED(Organic Light-Emitting Diode，有机发光二级管)显示装置制作技术领域，特别是涉及掩膜版组件及蒸镀装置。
背景技术
OLED显示面板由于具有薄、轻、宽视角、主动发光、发光颜色连续可调、成本低、响应速度快、能耗小、驱动电压低、工作温度范围宽、生产工艺简单、发光效率高及可柔性显示等诸多优点，已被列为极具发展前景的下一代显示技术。
OLED显示面板在制作时，很多层结构都需要采用蒸镀工艺制作，在进行蒸镀工艺时，需要使用蒸镀掩膜版作为蒸镀掩膜在蒸镀靶材上形成蒸镀图案。随着OLED技术的发展，显示装置逐渐趋于窄边框甚至无边框，从美观以及产品质量角度考虑，显示面板不再仅限于矩形等规则的形状，异形显示面板逐渐出现在人们的视野中。
现有技术中，与现有蒸镀区域为规则形状的掩膜版相比，在制作异形显示面板时，蒸镀工艺中使用的掩膜版的蒸镀区域也需要为异形蒸镀区域，制作掩膜版的成本较高。因此，对于本领域技术人员来说，如何降低制作异形显示面板时使用的掩膜版的成本是亟待解决的技术问题。
发明内容
本发明实施例的目的是提供掩膜版组件及蒸镀装置，以用于制作异形显示面板，提高异形显示面板的制作效率。
本发明实施例提供的一种掩膜版组件包括：
框架；
第一条形板，所述第一条形板固定于所述框架上且沿第一方向延伸；其中：
所述第一条形板包括第一区域和第二区域，在平行于所述第一条形板的表面且垂直于所述第一方向的方向上，所述第一区域的宽度大于所述第二区域的宽度。
该实施例中，掩膜版组件的第一条形板包括宽度不同的第一区域和第二区域，具体的，可以根据要蒸镀的显示面板的形状结构设计第一条形板的形状，相邻的第一条形板以及框架形成异形蒸镀区域，用于制作异形显示面板。无需蒸镀的位置可以与第一区域相对，通过合理的设计第一区域与第二区域的位置和形状，可以通过一次蒸镀工艺形成需要的异形蒸镀图案，制作异形显示面板的效率较高。
本发明实施例提供的另一种掩膜版组件包括：
框架；
第一条形板，所述第一条形板固定于所述框架上且沿第一方向延伸；
第一掩膜版，所述第一掩膜版位于所述第一条形板背离所述框架的一侧，所述第一掩膜版包括至少一个预设区域，所述预设区域包括至少一个开口区；
其中：
所述第一条形板包括第一区域和第二区域，在平行于所述第一条形板的表面且垂直于所述第一方向的方向上，所述第一区域的宽度大于所述第二区域的宽度。
该实施例中，掩膜版组件的第一条形板包括宽度不同的第一区域和第二区域，具体的，可以根据要蒸镀的显示面板的形状结构设计第一条形板的形状，相邻的第一条形板以及第一掩膜版的开口区形成异形蒸镀区域，用于制作异形显示面板。通过合理的设计第一区域与第二区域的位置和形状，可以通过一次蒸镀工艺形成设计的异形蒸镀图案，制作异形显示面板的效率较高。
本发明的该实施例中，第一掩膜版的开口区可以统一设计成矩形，通过设计第一条形板的形状，即可形成不同的异形蒸镀区域。相对于在第一掩膜版上制作异形开口区，用于蒸镀异形显示面板，该方案还可以简化第一掩膜版的结构，由于第一掩膜版的制作成本要高于第一条形板，从而，该方案还可以节约成本。
本发明实施例还提供的一种蒸镀装置包括：
蒸镀源；
掩膜版组件，所述掩膜版组件为上述任一技术方案所述的掩膜版组件，其中：
所述蒸镀源朝向所述掩膜版组件发送蒸镀物，所述蒸镀物通过所述掩膜版组件蒸镀至蒸镀靶材。
在具体的实施例中，采用本发明实施例的蒸镀装置可以制作异形显示面板，即显示面板作为蒸镀靶材进行蒸镀，通过一次蒸镀工艺即可完成异形显示面板蒸镀膜层的制作，采用该实施例的蒸镀装置制作异形显示面板的效率较高。
附图说明
图1为现有技术一实施例掩膜版组件结构示意图；
图2为现有技术一实施例第一条形板结构示意图；
图3为现有技术一实施例第二条形板结构示意图；
图4为本发明第一实施例掩膜版组件的结构示意图；
图5为本发明第二实施例第一条形板的结构示意图；
图6为本发明第三实施例第一条形板的结构示意图；
图7为本发明第四实施例第一条形板的结构示意图；
图8为本发明第五实施例第一条形板的结构示意图；
图9为本发明第六实施例掩膜版组件的结构示意图；
图10为本发明第七实施例掩膜版组件的结构示意图；
图11为本发明第八实施例第二条形板的结构示意图；
图12为本发明第九实施例第二条形板的结构示意图；
图13为本发明第十实施例第一条形板的结构示意图；
图14为本发明第十一实施例掩膜版组件的结构示意图；
图15为本发明第十二实施例掩膜版组件的结构示意图；
图16为本发明第十三实施例第一条形板的结构示意图；
图17为本发明第十四实施例第一条形板的结构示意图；
图18为本发明第十五实施例第一条形板的结构示意图；
图19为本发明第十六实施例第一条形板的结构示意图；
图20为本发明第十七实施例掩膜版组件的结构示意图；
图21为本发明第十八实施例掩膜版组件的结构示意图；
图22为本发明第十九实施例第二条形板的结构示意图；
图23为本发明第二十实施例第二条形板的结构示意图；
图24为本发明第二十一实施例第一条形板的结构示意图；
图25为本发明第二十二实施例掩膜版组件的结构示意图；
图26为本发明第二十三实施例掩膜版组件的结构示意图；
图27为本发明第二十四实施例蒸镀装置的结构示意图。
附图标记：
现有技术部分：
01-框架； 02-第一条形板；
03-第二条形板； 04-蒸镀区域；
本发明部分：
11-框架； 12-第一条形板；
121-第一区域； 122-第二区域；
123-第一凹凸结构； 124-第二凹凸结构；
13-第二条形板； 131-第三区域；
132-第四区域； 133-第三凹凸结构；
134-第四凹凸结构； 14-蒸镀区域；
21-框架； 22-第一条形板；
221-第一区域； 222-第二区域；
223-第一凹凸结构； 224-第二凹凸结构；
23-第二条形板； 231-第三区域；
232-第四区域； 233-第三凹凸结构；
234-第四凹凸结构； 24-蒸镀区域；
25-第一掩膜版； 251-开口区；
100-蒸镀源； 200-掩膜版组件；
300-蒸镀靶材。
具体实施方式
为用于制作异形显示面板，提高异形显示面板的制作效率，本发明实施例提供了掩膜版组件及蒸镀装置。为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，以下举实施例对本发明作进一步详细说明。
请参考图1至图3，现有技术中，掩膜版组件的结构通常包括框架01和固定于框架01的第一条形板02和第二条形板03，该第一条形板02与第二条形板03分别沿第一方向和第二方向延伸，具体的，第一方向与第二方向相交。如图2和图3所示，第一条形板02与第二条形板03均为立方体条状结构，因此，第一条形板02与第二条形板03相交形成的蒸镀区域04均为规则的矩形区域，不适用于制作异形显示面板。
如图4和图5所示，本发明实施例提供的一种掩膜版组件包括框架11和第一条形板12，第一条形板12固定于框架11上且沿第一方向延伸；其中：第一条形板12包括第一区域121和第二区域122，在平行于第一条形板12的表面且垂直于第一方向的方向上，第一区域121的宽度大于第二区域122的宽度。
该实施例中，掩膜版组件的第一条形板12包括宽度不同的第一区域121和第二区域122。具体请参考图5，第一条形板的第一区域121的宽度为L1，第二区域122的宽度为L2，满足：L1＞L2。具体的，可以根据要蒸镀的异形显示面板的形状结构设计第一条形板12的形状。相邻的第一条形板12与框架11形成异形蒸镀区域14，用于制作异形显示面板。无需蒸镀的位置可以与第一区域121相对，通过合理的设计第一区域121与第二区域122的位置和形状，可以通过一次蒸镀工艺形成需要的异形蒸镀图案，制作异形显示面板的效率较高，节约成本。
其中，第一条形板12与框架11的固定方式不做具体限制，例如，可以为焊接连接，可以为粘接连接，也可以为一体成型结构。
请参考图6和图7，在优选的实施例中，第一条形板12在沿第一方向的侧边上具有第一凹凸结构123。
该实施例中，如图6所示，第一条形板12可以在沿第一方向的一个侧边具有第一凹凸结构123，如图7所示，也可以在沿第一方向的两个侧边均具有第一凹凸结构123。更具体的，当第一条形板12的两个侧边均具有第一凹凸结构123时，两个侧边的第一凹凸结构123呈镜像对称设置。每个第一条形板12的侧边包括的第一凹凸结构123的数量不做具体限制，可以为一个、两个或者多个。具体的，每个第一凹凸结构123包括的凹部和凸部的数量也不做具体限制，如图6和图7所示的第一条形结构的第一凹凸结构123，可以认为包括两个凸部和一个凹部。
请参考图8，另一实施例中，第一条形板12在沿第一方向的一侧边上具有第一凹凸结构123，另一侧边上具有第二凹凸结构124。
该实施例中，第一凹凸结构123与第二凹凸结构124的具体图案可以相同也可以不同。请参考图9，具体应用过程中，一条第一条形板12的第一凹凸结构123与相邻的第一条形板12的第二凹凸结构124对应于同一异形蒸镀区域14的两侧，构成一个整体的异形蒸镀区域14。因此，可以根据需求，使第一凹凸结构123与第二凹凸结构124的图案不同。
请参考图10和图11，优选的实施例中，掩膜版组件还包括固定于框架11的第二条形板13，第二条形板13沿第二方向延伸，第一方向与第二方向相交；第二条形板13包括第三区域131和第四区域132，在平行于第二条形板13的表面且垂直于第二方向的方向上，第三区域131的宽度大于第四区域132的宽度。
该实施例中，第一条形板12与第二条形板13相交，形成异形蒸镀区域14，第二条形板13包括宽度不同的第三区域131和第四区域132，则，可以根据需要蒸镀的显示面板的形状结构设计第二条形板13的形状。该实施例中，第一条形板12与第二条形板13的形状均可以根据产品需求进行调整，可以使显示面板的周边均根据需求设计异形结构，提高异形显示面板的灵活性，进一步的对于较为复杂的异形蒸镀图案，也可以通过一次蒸镀工艺制作，进一步的提高了制作异形显示面板的效率。
具体的，第二条形板13与第一条形板12以及与框架11的固定方式也不限，可以为焊接连接；可以为粘接连接；也可以为一体成型结构；或者第一条形板12和第二条形板13分别与框架11焊接，而第一条形板12与第二条形板13插接；或者，第一条形板12与第二条形板13一体成型，第一条形板12和第二条形板13再与框架11焊接，与可以根据制作工艺以及产品需求具体设计各部分的连接方式。
请继续参考图11，第二条形板13在沿第二方向的侧边上具有第三凹凸结构133。
该实施例中，与第一条形板12的结构类似，第二条形板13可以在沿第二方向的一个侧边具有第三凹凸结构133，也可以在沿第二方向的两个侧边均具有第三凹凸结构133。更具体的，如图11所示，当第二条形板13的两个侧边均具有第三凹凸结构133时，两个侧边的第三凹凸结构133呈镜像对称设置。每个第二条形板13的侧边包括的第三凹凸结构133的数量不做具体限制，可以为一个、两个或者多个。具体的，每个第三凹凸结构133包括的凹部和凸部的数量也不做具体限制，如图11所示的第二条形板13，可以认为包括两个凸部和一个凹部。
请参考图12，另一具体的实施例中，第二条形板13在沿第二方向的一侧边上具有第三凹凸结构133，另一侧边上具有第四凹凸结构134。
该实施例中，第三凹凸结构133与第四凹凸结构134的具体图案可以相同也可以不同。如图12所示，第三凹凸结构133与第四凹凸结构134的具体图案不同。
具体应用过程中，一条第二条形板13的第三凹凸结构133与相邻的第二条形板13的第四凹凸结构134对应于同一异形蒸镀区域14的两侧，进一步的，可以与第一条形板12的第一凹凸结构123和第二凹凸结构124共同构成一个整体的异形蒸镀图案。因此，可以根据需求，分别设计第一凹凸结构123、第二凹凸结构124、第三凹凸结构133和第四凹凸结构134。
请继续参考图10，优选的实施例中，掩膜版组件包括多条第一条形板12和多条第二条形板13，第一条形板12与第二条形板13相互交叉限定多个区域。
该实施例中，第一条形板12和第二条形板13均为多条，则可以限定出多个异形蒸镀区域14，则可以利用该掩膜组件在一次蒸镀工艺中蒸镀多个异形显示面板，进一步的提高制作异形显示面板的效率。
优选的实施例中，第一条形板12与第二条形板13一体成型。则将一体成型的第一条形板12与第二条形板13固定于框架11即可形成掩膜版组件，可以提高制作掩膜版组件的效率，且可以提高掩膜版组件的整体性，进而提高利用该掩膜版组件进行蒸镀的蒸镀效果。
请参考图6，可选的实施例中，第一凹凸结构123沿第一方向的两端包括弧形结构。
具体的，该实施例中的弧形结构为凹弧结构，对应形成的异形蒸镀区域14可以在角位置形成圆角，用于制作具有圆角结构的异形显示面板。
此外，请参考图8，前述实施例中的第二凹凸结构124沿第一方向的两端也可以包括弧形结构。则在实际使用中，请参考图9，两个相邻的第一条形板12之间构成的蒸镀区域14的四个角位置均为圆角结构，可以用于制作四个角均为圆角结构的异形显示面板。
当然，在具体的实施例中，第二条形板13的第三凹凸结构133以及第四凹凸结构134沿第二方向的两端也可以分别包括弧形结构，与上述结构和效果类似，此处不进行赘述。
请继续参考图13，另一可选的实施例中，第一凹凸结构123沿第一方向的中间包括凸起结构。
值得说明的是，该实施例中的“沿第一方向的中间”应该理解为第一凹凸结构123非两端的区域，而不应理解为第一凹凸结构123的正中间，即，不应理解为凸起结构两侧的第一凹凸结构123沿第一方向的长度相同。如图13所示的第一条形板12，第一凹凸结构123的凸起结构并未位于第一凹凸结构123的正中间。对应该凸起结构形成的异形蒸镀区域14可以在侧边位置形成挖槽，用于制作侧边具有挖槽结构的异形显示面板。具体的，异形显示面板在该挖槽结构对应的位置可以设置摄像头、闪光灯或者听筒等结构。
具体的，前述实施例中的第二凹凸结构124沿第一方向的中间也可以包括凸起结构，则在实际使用中，两个相邻的第一条形板12之间构成的蒸镀区域14的相对的侧边位置均可以设置有挖槽，可以制作需要在多侧设置挖槽结构的异形显示面板。
当然，在具体的实施例中，第二条形板13的第三凹凸结构133以及第四凹凸结构134沿第二方向的中间也可以分别包括凸起结构，与上述结构和效果类似，此处不进行赘述。
更优的实施例中，第一条形板12的第一凹凸结构123可以在沿第一方向的两端包括弧形结构，且中间包括凸起结构，即可以在具有圆角结构的异形显示面板的侧边设置有挖槽结构。当然，第二凹凸结构124也可以在沿第一方向的两端包括弧形结构，且中间包括凸起结构，例如图8所示的第二凹凸结构124。
对于第二条形板13的第三凹凸结构133和第四凹凸结构134也分别可以在沿第二方向的两端包括弧形结构，且中间包括凸起结构。
具体的实施例中，第一条形板12与第二条形板13的形状可以根据实际需求进行设计搭配，例如，如图9所示，一个具体的实施例中，在一个蒸镀区域14内，可以使一条第一条形板12的第一凹凸结构123包括弧形结构和凸起结构，另一条第一条形板12的第二凹凸结构124包括弧形结构，两条第二条形板13均不具有凹凸结构，则可以形成既具有圆角又具有挖槽的异形显示面板，具体的，该挖槽可以用于设置听筒结构；或者，如图14所示，另一个具体的实施例中，在一个蒸镀区域14内，使第一条形板12的第一凹凸结构123包括两个尺寸不同的凸起结构，另一条第一条形板12不具有第二凹凸结构124，一条第二条形板13的第三凹凸结构133包括弧形结构，另一条第二条形板13的第四凹凸结构134也包括弧形结构，也可以形成既具有圆角又具有挖槽的显示面板，该实施例中包括两个挖槽，具体的可以分别用于设置听筒结构和摄像头结构。
请参考图15和图16，本发明实施例提供的另一种掩膜版组件包括框架21、第一条形板22和第一掩膜版25，第一条形板22固定于框架21上且沿第一方向延伸；第一掩膜版25位于第一条形板22背离框架21的一侧，第一掩膜版25包括至少一个预设区域，预设区域包括至少一个开口区251；其中：
第一条形板22包括第一区域221和第二区域222，在平行于第一条形板22的表面且垂直于第一方向的方向上，第一区域221的宽度大于第二区域222的宽度。
值得说明的是，图15所示的掩膜版组件仅示出了一个第一掩膜版25，其余第一掩膜版21省略，以便于展示框架21和第一条形板22。
该实施例中，掩膜版组件的第一条形板22包括宽度不同的第一区域221和第二区域222。具体请参考图16，第一条形板的第一区域221的宽度为L1，第二区域222的宽度为L2，满足：L1＞L2。具体的，可以根据要蒸镀的异形显示面板的形状结构设计第一条形板22的形状。相邻的第一条形板22与第一掩膜版25的开口区251形成异形蒸镀区域24，用于制作异形显示面板。通过合理的设计第一区域221与第二区域222的位置和形状，可以通过一次蒸镀工艺形成需要的异形蒸镀图案，制作异形显示面板的效率较高。
该实施例中，第一掩膜版25的开口区251可以统一设计成矩形，通过设计第一条形板22的形状，即可形成不同的异形蒸镀区域24。相对于在第一掩膜版25上制作异形开口区，用于蒸镀异形显示面板，该方案可以简化第一掩膜版25的结构，由于第一掩膜版25的制作成本要高于第一条形板22，因此，该方案还可以节约成本。
其中，第一条形板22与框架21的固定方式不做具体限制，例如，可以为焊接连接，可以为粘接连接，也可以为一体成型结构。
请参考图17和图18，在优选的实施例中，第一条形板22沿第一方向的侧边上具有第一凹凸结构223；在垂直于第一掩膜版25表面的方向上，第一条形板22上的第一凹凸结构223覆盖预设区域的至少一个开口区251的至少部分区域。
该实施例中，如图17所示，第一条形板22可以在沿第一方向的一个侧边具有第一凹凸结构223，如图18所示，也可以在沿第一方向的两个侧边均具有第一凹凸结构223。更具体的，当第一条形板22的两个侧边均具有第一凹凸结构223时，两个侧边的第一凹凸结构223呈镜像对称设置。每个第一条形板22的侧边包括的第一凹凸结构223的数量不做具体限制，可以为一个、两个或者多个。具体的，每个第一凹凸结构223包括的凹部和凸部的数量也不做具体限制，如图17和图18所示的第一条形结构，可以认为第一凹凸结构223包括两个凸部和一个凹部。第一凹凸结构223覆盖预设区域的至少一个开口区251的至少部分区域，则第一凹凸结构223与第一掩膜版25可以共同构成异形的蒸镀区域24。
请参考图19，优选的实施例中，第一条形板22在沿第一方向的一侧边上具有第一凹凸结构223，另一侧边上具有第二凹凸结构224；在垂直于第一掩膜版25表面的方向上，第一条形板22上的第二凹凸结构224覆盖预设区域的至少一个开口区251的至少部分区域。
该实施例中，第一凹凸结构223与第二凹凸结构224的具体图案可以相同也可以不同。请参考图20，具体应用过程中，一条第一条形板22的第一凹凸结构223与相邻的第一条形板22的第二凹凸结构224对应于同一异形蒸镀区域24的两侧，构成一个整体的异形蒸镀区域24。因此，可以根据需求，使第一凹凸结构223与第二凹凸结构224的图案不同。第二凹凸结构224覆盖预设区域的至少一个开口区251的至少部分区域。则第一凹凸结构223、第二凹凸结构224与第一掩膜版25可以共同构成异形的蒸镀区域24。
请继续参考图20，优选的实施例中，沿第一方向上，第一条形板22上的第一凹凸结构223与第一掩膜版25上的预设区域一一对应。
该实施例中，第一掩膜版25的每一个预设区域均对应有第一凹凸结构223，以使第一掩膜版25形成的每个蒸镀区域24均为异形的蒸镀区域24，且保持蒸镀产品的一致性。此外，第一条形板22具有第二凹凸结构224时，沿第一方向上，第二凹凸结构224与第一掩膜版25上的预设区域也一一对应。
请参考图21和图22，掩膜版组件还包括固定于框架21的第二条形板23，第二条形板23沿第二方向延伸，第一方向与第二方向相交；第二条形板23包括第三区域231和第四区域232，在平行于第二条形板23的表面且垂直于第二方向的方向上，第三区域231的宽度大于第四区域232的宽度。
该实施例中，第一条形板22与第二条形板23相交，可以与第一掩膜版25的开口区251形成异形蒸镀区域24，第二条形板23包括宽度不同的第三区域231和第四区域232，则，可以根据需要蒸镀的显示面板的形状结构设计第二条形板23的形状。该实施例中，第一条形板22与第二条形板23的形状均可以根据产品需求进行调整，可以使显示面板的周边均可以根据需求设计异形结构，提高异形显示面板的形状的灵活性，进一步的，对于较为复杂的异形蒸镀图案，也可以通过一次蒸镀工艺制作，可以进一步提高制作异形显示面板的效率。
具体的，第二条形板23与第一条形板22以及与框架21的固定方式也不限，可以为焊接连接；可以为粘接连接；也可以为一体成型结构；或者第一条形板22和第二条形板23分别与框架21焊接，而第一条形板22与第二条形板23插接；或者，第一条形板22与第二条形板23一体成型，第一条形板22和第二条形板23再与框架21焊接，具体应用时可以根据制作工艺以及产品需求具体设计各部分的连接方式。
请继续参考图22，第二条形板23在沿第二方向的侧边上具有第三凹凸结构233；在垂直于第一掩膜版25表面的方向上，第二条形板23上的第三凹凸结构233覆盖预设区域的至少一个开口区251的至少部分区域。
该实施例中，与第一条形板22的结构类似，第二条形板23可以在沿第二方向的一个侧边具有第三凹凸结构233，也可以在沿第二方向的两个侧边均具有第三凹凸结构233。更具体的，如图22所示，当第二条形板23的两个侧边均具有第三凹凸结构233时，两个侧边的第三凹凸结构233呈镜像对称设置。每个第二条形板23的侧边包括的第三凹凸结构233的数量不做具体限制，可以为一个、两个或者多个。具体的，每个第三凹凸结构233包括的凹部和凸部的数量也不做具体限制，如图22所示的第二条形板23，可以认为包括两个凸部和一个凹部。
请参考图23，另一实施例中，第二条形板23在沿第二方向的一侧边上具有第三凹凸结构233，另一侧边上具有第四凹凸结构234；在垂直于第一掩膜版25表面的方向上，第二条形板23上的第四凹凸结构234覆盖预设区域的至少一个开口区251的至少部分区域。
该实施例中，第三凹凸结构233与第四凹凸结构234的具体图案可以相同也可以不同。如图23所示，第三凹凸结构233与第四凹凸结构234的具体图案不同。
具体应用过程中，一条第二条形板23的第三凹凸结构233与相邻的第二条形板23的第四凹凸结构234对应于同一异形蒸镀区域24的两侧，进一步的，可以与第一条形板22的第一凹凸结构223和第二凹凸结构224共同构成一个整体的异形蒸镀图案。因此，可以根据需求，分别设计第一凹凸结构223、第二凹凸结构224、第三凹凸结构233和第四凹凸结构234。
另一优选的实施例中，沿第一方向上，第二条形板23上的第三凹凸结构233与第一掩膜版25上的预设区域一一对应。
该实施例中，第一掩膜版25的每一个预设区域均对应有第三凹凸结构233，以使第一条形板22、第二条形板23和第一掩膜版25共同形成的每个蒸镀区域24均为异形蒸镀区域24，且保持蒸镀产品的一致性。此外，第二条形板23具有第四凹凸结构234时，沿第二方向上，第四凹凸结构234与第一掩膜版25上的预设区域也一一对应。
请继续参考图21，优选的实施例中，掩膜版组件包括多条第一条形板22和多条第二条形板23，第一条形板22和第二条形板23相互交叉限定出中空区域，该中空区域与第一掩膜版25上的至少一个预设区域相对。
该实施例中，第一条形板22和第二条形板23均为多条，则可以限定出多个与异形蒸镀区域24相对的中空区域，该中空区域与第一掩膜版25的开口区251相对，可以形成异形蒸镀区域24，则可以利用该掩膜组件在一次蒸镀工艺中蒸镀多个异形显示面板，进一步的提高了制作异形显示面板的效率。
优选的实施例中，第一条形板22与第二条形板23一体成型。则将一体成型的第一条形板22与第二条形板23固定于框架21即可，可以提高制作掩膜版组件的效率，且提高掩膜版组件的整体性，进而提高利用该掩膜版组件进行蒸镀的蒸镀效果。
请参考图17，可选的实施例中，第一凹凸结构223沿第一方向的两端包括弧形结构。
具体的，该实施例中的弧形结构为凹弧结构，对应形成的异形蒸镀区域24可以在角位置形成圆角，用于制作具有圆角结构的异形显示面板。具体的，请参考图19，前述实施例中的第二凹凸结构224沿第一方向的两端也可以包括弧形结构。则在实际使用中，请参考图20，两个相邻的第一条形板22之间构成的蒸镀区域24的四个角位置均为圆角结构，可以用于制作四个角均为圆角结构的异形显示面板。
当然，在具体的实施例中，第二条形板23的第三凹凸结构233以及第四凹凸结构234沿第二方向的两端也可以分别包括弧形结构，与上述结构和效果类似，此处不进行赘述。
请继续参考图24，另一可选的实施例中，第一凹凸结构223沿第一方向的中间包括凸起结构。
值得说明的是，该实施例中的“沿第一方向的中间”应该理解为第一凹凸结构223非两端的区域，而不应理解为第一凹凸结构223的正中间，即，不应理解为凸起结构两侧的第一凹凸结构223沿第一方向的长度相同。如图24所示的第一条形板23，第一凹凸结构223的凸起结构并未位于第一凹凸结构223的正中间。对应该凸起结构形成的异形蒸镀区域24可以在侧边位置形成挖槽，用于制作侧边具有挖槽结构的异形显示面板。具体的，异形显示面板在该挖槽结构对应的位置可以设置摄像头、闪光灯或者听筒等结构。
具体的，前述实施例中的第二凹凸结构224沿第一方向的中间也可以包括凸起结构，则在实际使用中，两个相邻的第一条形板22之间构成的蒸镀区域24的相对的侧边位置均可以设置有挖槽，可以制作需要在多侧设置挖槽结构的异形显示面板。
当然，在具体的实施例中，第二条形板23的第三凹凸结构233以及第四凹凸结构234沿第二方向的中间也可以分别包括凸起结构，与上述结构和效果类似，此处不进行赘述。
更优的实施例中，第一条形板22的第一凹凸结构223可以在沿第一方向的两端包括弧形结构，且中间包括凸起结构，即可以在具有圆角结构的异形显示面板的侧边设置有挖槽结构。当然，第二凹凸结构224也可以在沿第一方向的两端包括弧形结构，且中间包括凸起结构，例如图19所示的第二凹凸结构224。
对于第二条形板23的第三凹凸结构233和第四凹凸结构234也分别可以在沿第二方向的两端包括弧形结构，且中间包括凸起结构。
具体的实施例中，第一条形板22与第二条形板23的形状可以根据实际需求进行设计搭配，例如，如图20所示，一个具体的实施例中，在一个蒸镀区域24内，可以使一条第一条形板22的第一凹凸结构223包括弧形结构和凸起结构，另一条第一条形板22的第二凹凸结构224包括弧形结构，两条第二条形板23均不具有凹凸结构，则可以形成既具有圆角又具有挖槽的异形显示面板，具体的该挖槽可以用于设置听筒结构；或者，如图25所示，另一个具体的实施例中，在一个蒸镀区域24内，使第一条形板22的第一凹凸结构223包括两个尺寸不同的凸起结构，另一条第一条形板22不具有第二凹凸结构224，一条第二条形板23的第三凹凸结构233包括弧形结构，另一条第二条形板23的第四凹凸结构234也包括弧形结构，也可以形成既具有圆角又具有挖槽的显示面板，该实施例中制作的异形显示面板可以包括两个挖槽结构，具体的可以分别用于设置听筒结构和摄像头结构。
本发明的实施例中，第一掩膜版25的类型也不做具体限制，例如，第一掩膜版25为公共掩膜版，预设区域只包括一个开口区251。该掩膜版组件可以作为公共掩膜版(Commonmask，简称CMM)使用，提高制作异形显示面板的效率。
在另一实施例中，第一掩膜版25为精细掩膜版，第一掩膜版25的预设区域包括多个开口区251。
该掩膜版组件可以作为精细掩膜版(Fine Metal Mask，简称FMM)使用，例如用于蒸镀显示面板的发光层。精细掩膜版的制作成本较高，每制作一个精细掩膜版均需要进行仿真模拟，并制作相应的模具，若在精细掩膜版上制作图形用以形成异形蒸镀区域24，则每对应一种显示面板均需要设计一种精细掩膜版，且制作一种模具，成本高且耗时长。而第一条形板22和第二条形板23的成本较低，制作工艺简单，故该方案不仅可以提高制作异形显示面板的效率，还可以降低异形显示面板的制作成本。
请继续参考图25，第一掩膜版25沿第二方向延伸，掩膜版组件包括多条第一掩膜版25，各第一掩膜版25分别位于相邻的两条第二条形板23之间，且第一条形板22位于第二条形板23和第一掩膜版25之间。
该实施例中，第一条形板22可以用于支撑第一掩膜版25，使第一掩膜版25保持平整，第一掩膜版25的中部不易出现凹陷的情况，可以使第一掩膜版25与蒸镀靶材之间的间距保持恒定，从而使蒸镀的膜层厚度均匀，提高蒸镀膜层的质量。
优选的实施例中，第一条形板22的厚度大于第二条形板23的厚度。由于第一条形板22与第一掩膜版25接触，起到支撑第一掩膜版25的作用，因此，需要具有一定的刚度才能较好的支撑第一掩膜版25，因此需要使第一条形板22的厚度较大。而第二条形板23主要起到制作设定蒸镀图案的作用，因此，对其自身的刚度无太高的要求，厚度可以设计的较薄，且，厚度设计的较薄可以缩小第一掩膜版25与蒸镀靶材之间的间距，从而可以减少由于蒸镀材料从第一掩膜版25与蒸镀靶材之间的缝隙进入到非蒸镀区域形成的阴影区，进一步的提高了蒸镀的膜层的质量。
发明人经过大量的计算和分析，认为在可选的实施例中，第一条形板的厚度范围为50μm～200μm，第二条形板的厚度范围为20μm～40μm。例如，第一条形板的厚度可以选择：55μm、58μm、60μm、65μm、70μm、74μm、78μm、80μm、85μm、90μm、95μm、98μm、100μm、110μm、120μm、124μm、125μm、130μm、136μm、140μm、145μm、150μm、155μm、160μm、170μm、180μm或者190μm等等。第一条形板22的具体厚度的选择，可以根据支撑的第一掩膜版的尺寸和质量以及第一条形板的其余尺寸以及材质的选择等情况综合考虑，进行选择。第二条形板的厚度可以选择：22μm、25μm、28μm、30μm、31μm、34μm、35μm或者38μm等。第二条形板的厚度的选择也可以根据掩膜版组件的整体尺寸以及自身的材质等情况进行选择。
请参考图26，在另一具体的实施例中，第一掩膜版25也可以沿第二方向延伸，该实施例中，各第一掩膜版25分别位于相邻的两条第一条形板22之间，且第二条形板23位于第一条形板22和第一掩膜版25之间。该实施例中，第二条形板23起到支撑第一掩膜版25的作用，且更优的，第二条形板23的厚度大于第一条形板22的厚度，以保证第二条形板23的支撑效果。
优选的实施例中，第一条形板和第一掩膜版在室温下的平均热膨胀系数小于15×10-6/℃。在具体应用中，第一条形板和第一掩膜版在室温下的平均热膨胀系数需要设计的较小，以保证掩膜版组件形状的稳定性，以防掩膜版组件发生形变。若掩膜版组件发生形变，则蒸镀区域的形状也会改变，降低蒸镀产品的质量，甚至带来蒸镀失败的问题。
优选的，第一条形板和第一掩膜版的材料为铁镍合金。铁镍合金的刚性较好，不易发生变形，因此，优选使用铁镍合金制作掩膜版组件。
本发明实施例还提供的一种蒸镀装置，包括蒸镀源和掩膜版组件，如图27所示，是本发明实施例提供的一种蒸镀装置的示意图，其中，蒸镀装置包括蒸镀源100和掩膜版组件200，掩膜版组件为上述任一技术方案的掩膜版组件，其中：蒸镀100朝向掩膜版组件200发送蒸镀物，蒸镀物通过掩膜版组件蒸镀至蒸镀靶材300。
在具体的实施例中，采用本发明实施例的蒸镀装置可以制作异形显示面板，即显示面板作为蒸镀靶材进行蒸镀，通过一次蒸镀工艺即可完成异形显示面板蒸镀膜层的制作，采用该实施例的蒸镀装置制作异形显示面板的效率较高。
显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (26)

1.一种掩膜版组件，其特征在于，包括：
框架；
第一条形板，所述第一条形板固定于所述框架上且沿第一方向延伸；其中：
所述第一条形板包括第一区域和第二区域，在平行于所述第一条形板的表面且垂直于所述第一方向的方向上，所述第一区域的宽度大于所述第二区域的宽度；
所述第一条形板在沿所述第一方向的一侧边上具有第一凹凸结构，另一侧边上具有第二凹凸结构。
2.根据权利要求1所述的掩膜版组件，其特征在于，所述掩膜版组件还包括固定于所述框架的第二条形板，所述第二条形板沿第二方向延伸，所述第一方向与所述第二方向相交；
所述第二条形板包括第三区域和第四区域，在平行于所述第二条形板的表面且垂直于所述第二方向的方向上，所述第三区域的宽度大于所述第四区域的宽度。
3.根据权利要求2所述的掩膜版组件，其特征在于，所述第二条形板在沿所述第二方向的侧边上具有第三凹凸结构。
4.根据权利要求3所述的掩膜版组件，其特征在于，所述第二条形板在沿所述第二方向的一侧边上具有第三凹凸结构，另一侧边上具有第四凹凸结构。
5.根据权利要求3所述的掩膜版组件，其特征在于，所述掩膜版组件包括多条第一条形板和多条第二条形板，所述第一条形板与所述第二条形板相互交叉限定多个区域。
6.根据权利要求2所述的掩膜版组件，其特征在于，所述第一条形板与所述第二条形板一体成型。
7.根据权利要求1所述的掩膜版组件，其特征在于，所述第一凹凸结构沿所述第一方向的两端包括弧形结构。
8.根据权利要求1所述的掩膜版组件，其特征在于，所述第一凹凸结构沿所述第一方向的中间包括凸起结构。
9.一种掩膜版组件，其特征在于，包括：
框架；
第一条形板，所述第一条形板固定于所述框架上且沿第一方向延伸；
第一掩膜版，所述第一掩膜版位于所述第一条形板背离所述框架的一侧，所述第一掩膜版包括至少一个预设区域，所述预设区域包括至少一个开口区；
其中：
所述第一条形板包括第一区域和第二区域，在平行于所述第一条形板的表面且垂直于所述第一方向的方向上，所述第一区域的宽度大于所述第二区域的宽度；
所述第一条形板在沿所述第一方向的一侧边上具有第一凹凸结构，另一侧边上具有第二凹凸结构；
在垂直于所述第一掩膜版表面的方向上，所述第一条形板上的所述第一凹凸结构覆盖所述预设区域的至少一个所述开口区的至少部分区域；所述第一条形板上的所述第二凹凸结构覆盖所述预设区域的至少一个所述开口区的至少部分区域。
10.根据权利要求9所述的掩膜版组件，其特征在于，沿所述第一方向上，所述第一条形板上的所述第一凹凸结构与所述第一掩膜版上的所述预设区域一一对应。
11.根据权利要求9所述的掩膜版组件，其特征在于，所述掩膜版组件还包括固定于所述框架的第二条形板，所述第二条形板沿第二方向延伸，所述第一方向与所述第二方向相交；
所述第二条形板包括第三区域和第四区域，在平行于所述第二条形板的表面且垂直于所述第二方向的方向上，所述第三区域的宽度大于所述第四区域的宽度。
12.根据权利要求11所述的掩膜版组件，其特征在于，所述第二条形板在沿所述第二方向的侧边上具有第三凹凸结构；
在垂直于所述第一掩膜版表面的方向上，所述第二条形板上的所述第三凹凸结构覆盖所述预设区域的至少一个所述开口区的至少部分区域。
13.根据权利要求12所述的掩膜版组件，其特征在于，沿所述第一方向上，所述第二条形板上的所述第三凹凸结构与所述第一掩膜版上的所述预设区域一一对应。
14.根据权利要求13所述的掩膜版组件，其特征在于，所述第二条形板在沿所述第二方向的一侧边上具有第三凹凸结构，另一侧边上具有第四凹凸结构；
在垂直于所述第一掩膜版表面的方向上，所述第二条形板上的所述第四凹凸结构覆盖所述预设区域的至少一个所述开口区的至少部分区域。
15.根据权利要求11所述的掩膜版组件，其特征在于，所述掩膜版组件包括多条所述第一条形板和多条所述第二条形板，所述第一条形板和所述第二条形板相互交叉限定出中空区域，所述中空区域与所述第一掩膜版上的所述至少一个预设区域相对。
16.根据权利要求11所述的掩膜版组件，其特征在于，所述第一条形板和所述第二条形板一体成型。
17.根据权利要求9所述的掩膜版组件，其特征在于，所述第一掩膜版为公共掩膜版，所述预设区域只包括一个所述开口区。
18.根据权利要求9所述的掩膜版组件，其特征在于，所述第一掩膜版为精细掩膜版，所述第一掩膜版的所述预设区域包括多个所述开口区。
19.根据权利要求11所述的掩膜版组件，其特征在于，所述第一掩膜版沿所述第二方向延伸，所述掩膜版组件包括多条所述第一掩膜版，各所述第一掩膜版分别位于相邻的两条所述第二条形板之间，且所述第一条形板位于所述第二条形板和所述第一掩膜版之间。
20.根据权利要求19所述的掩膜版组件，其特征在于，所述第一条形板的厚度大于所述第二条形板的厚度。
21.根据权利要求20所述的掩膜版组件，其特征在于，所述第一条形板的厚度范围为50μm～200μm，所述第二条形板的厚度范围为20μm～40μm。
22.根据权利要求9所述的掩膜版组件，其特征在于，所述第一凹凸结构沿所述第一方向的两端包括弧形结构。
23.根据权利要求9所述的掩膜版组件，其特征在于，所述第一凹凸结构沿所述第一方向的中间包括凸起结构。
24.根据权利要求9所述的掩膜版组件，其特征在于，所述第一条形板和所述第一掩膜版在室温下的平均热膨胀系数小于15×10-6/℃。
25.根据权利要求9所述的掩膜版组件，其特征在于，所述第一条形板和所述第一掩膜版的材料为铁镍合金。
26.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：
蒸镀源；
掩膜版组件，所述掩膜版组件为所述权利要求1～25任一项所述的掩膜版组件，其中：
所述蒸镀源朝向所述掩膜版组件发送蒸镀物，所述蒸镀物通过所述掩膜版组件蒸镀至蒸镀靶材。
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