TW201505096A - 沈積遮罩及包含該沈積遮罩之遮罩總成 - Google Patents

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Abstract

一種用於沈積的遮罩包含：一遮罩主體，延伸於一第一方向上並具有一第一厚度，且包含在該第一方向上彼此相對之複數個端部，當在該第一方向上對該遮罩施加一張力時，該等端部受到一框架支撐；以及複數個主動圖案，該等主動圖案在該遮罩主體之一中心區域中在該第一方向上彼此間隔開，該等主動圖案並具有一第二厚度，該第二厚度小於該第一厚度。

Description

沈積遮罩及包含該沈積遮罩之遮罩總成
本發明係關於一種遮罩及一種遮罩總成。更具體而言，本發明係關於一種用於沈積一有機層之遮罩及一種遮罩總成。
一般而言，作為平板顯示器之代表性實例，具有有機發光顯示器、液晶顯示器、電漿顯示面板等。
在此等平板顯示器中，為製造有機發光顯示器，形成具有一特定圖案之一電極、一有機發光層等。可例如藉由一種利用一遮罩總成之沈積方法而執行用於形成該電極及該有機發光層等之方法。
更具體而言，有機發光顯示器包含：複數個畫素，該等畫素係為顯示影像之基本單元，其以一矩陣形式排列於一基板上；以及一有機發光二極體，該有機發光二極體具有依序設置之一陽極、一第一電極、一陰極及一第二電極，其中每一畫素皆具有分別發出彩色光(例如紅色、綠色、藍色、或白色)之有機發光層。有機發光層之有機材料極易受到濕氣、氧氣等之影響，因而在形成有機發光層之一製程期間及在形成有機發光層之後皆對有機發光層與濕氣進行完全隔離。因此，可能難以利用一般光刻 製程來執行圖案化。因此，利用一遮罩來形成有機發光層，在該遮罩中界定有圖案開口以使沈積材料僅透過與其每一圖案對應之部分。
本發明之一或多個實例性實施例提供一種用於沈積的遮罩及一種包含該用於沈積的遮罩之遮罩總成，該遮罩控制該遮罩之一主動圖案(active pattern)由於施加至該遮罩之一張力而造成之變形。
一實例性實施例提供一種用於沈積的遮罩，包含：一遮罩主體，延伸於一第一方向上並具有一第一厚度，且包含在該第一方向上彼此相對之複數個端部，當在該第一方向上對該遮罩施加一張力時，該等端部受到一框架支撐；以及複數個主動圖案，該等主動圖案在該遮罩主體之一中心區域中在該第一方向上彼此間隔開，該等主動圖案並具有一第二厚度，該第二厚度小於該第一厚度。
該遮罩可更包含一第一虛設圖案(dummy pattern)，該第一虛設圖案位於該等主動圖案中在該第一方向上之一最外側主動圖案與該遮罩主體之一端部之間，該第一虛設圖案並具有一第三厚度，該第三厚度介於該第一厚度與該第二厚度之間。
該遮罩可更包含複數個第一虛設圖案，該等第一虛設圖案位於該等主動圖案中在該第一方向上之一最外側主動圖案與該遮罩主體之一端部之間，該等第一虛設圖案並具有一第三厚度，該第三厚度介於該第一厚度與該第二厚度之間。
複數個主動開口可界定在該等主動圖案之中的一主動圖案中，複數個第一虛設開口可界定在該第一虛設圖案中，且相鄰之主動開口 間之一第一距離小於相鄰之第一虛設開口間之一第二距離。
該遮罩可更包含一第二虛設圖案，位於該等主動圖案中相鄰之主動圖案之間。
該第二虛設圖案可具有該第二厚度。
該第二虛設圖案可具有該第三厚度。
該遮罩可更包含複數個第二虛設圖案，該等第二虛設圖案分別位於該等主動圖案中相鄰之主動圖案之間。
複數個主動開口可界定在該等主動圖案之中的一主動圖案中，複數個第二虛設開口可界定在該第二虛設圖案中，且該等相鄰之主動開口間之一第一距離小於相鄰之第二虛設開口間之一第三距離。
另一實例性實施例提供一種遮罩總成，包含：一框架，在該框架中界定有一開口；以及至少一個遮罩，當在該第一方向上對該遮罩施加該張力之同時在該第一方向上彼此相對之該等遮罩端部受到該框架支撐時，該等主動圖案交疊該框架中之該開口。
該遮罩總成可更包含複數個遮罩，該等遮罩排列於與該第一方向交叉之一第二方向上，其中該等遮罩之該等主動圖案交疊該框架中之該開口。
根據一或多個實例性實施例，提供用於沈積的遮罩及包含該用於沈積的遮罩之遮罩總成，該遮罩控制該遮罩之該主動圖案由於施加至該遮罩之一張力而造成之變形。該遮罩主體所具有之一厚度大於由該遮罩之主動圖案所界定之一厚度，因此會提高該遮罩主體之剛性。一第一虛設圖案設置於該遮罩之一長度方向上之最外側主動圖案與該遮罩主體之該端 部之間，且一第二虛設圖案設置於相鄰之主動圖案之間，各該虛設圖案所具有一厚度小於該遮罩主體之厚度，因此施加至該主動圖案之張力被第一虛設圖案及/或第二虛設圖案分散或吸收，且由於在該遮罩之一長度方向上對該遮罩施加張力而造成之該主動圖案之變形得到控制。
100‧‧‧框架
110‧‧‧開口
120‧‧‧第一支撐件
130‧‧‧第二支撐件
200‧‧‧遮罩
200a‧‧‧端部
202‧‧‧遮罩
203‧‧‧遮罩
210‧‧‧遮罩主體
220‧‧‧主動圖案
221‧‧‧主動開口
230‧‧‧第一虛設圖案
231‧‧‧第一虛設開口
240‧‧‧第二虛設圖案
241‧‧‧第二虛設開口
L1‧‧‧第一距離
L2‧‧‧第二距離
L3‧‧‧第三距離
T1‧‧‧第一厚度
T2‧‧‧第二厚度
T3‧‧‧第三厚度
x‧‧‧第一方向
y‧‧‧第二方向
藉由參照附圖更詳細地闡述本發明之實例性實施例，本發明之以上及其他特徵將變得更為顯而易見，在附圖中：第1圖係為根據本發明之一遮罩總成之一實例性實施例之分解立體圖；第2圖係為第1圖所示遮罩總成之俯視平面圖；第3圖係為根據本發明之一遮罩總成所包含之一遮罩之一實例性實施例之俯視平面圖；第4圖係為以第3圖所示線IV-IV截取之剖視圖；第5圖係為根據本發明之一遮罩之另一實例性實施例之俯視平面圖；第6圖係為以第5圖所示線VI-VI截取之剖視圖；以及第7圖係為根據本發明之一遮罩之再一實例性實施例之俯視平面圖。
以下將參照其中顯示本發明實例性實施例之附圖來更充分地闡述本發明。如熟習此項技術者應理解，所述之實例性實施例可以諸多不同形式修改，此皆不背離本發明之精神或範圍。
因此，該等附圖及說明應視為例示性的而非限制性的。通篇 說明書中相同之參考編號標示相同之元件。本文中所用之用語「及/或」包含相關列出項其中之一或多個項之任意及所有組合。
在各種實例性實施例中，相同之參考編號用於具有相同配置之元件，並將在一個實例性實施例中進行代表性闡述，而在其他實例性實施例中，將闡述僅與該一個實例性實施例之該等元件不同之元件。
為更佳地理解及易於說明起見，在附圖中任意地例示圖中所示每一組件之尺寸及厚度，但本發明並非僅限於所例示者。
在附圖中，為清晰起見，誇大層、膜、面板、區域等之厚度。為更佳地理解及易於說明起見，在該等附圖中擴大該等層、膜、面板、區域等之厚度。應理解，當闡述一元件(例如一層、膜、區域、或基板)係位於另一元件「上」時，該元件可直接位於該另一元件上，抑或亦可存在中間元件。
此外，除非明確地進行相反之闡述，否則用語「包含(comprise)」及其變型(例如「包含(comprises)」或「包含(comprising)」)應被理解成暗指包含所述元件但並不排除任何其他元件。本說明書通篇中，應理解，用語「位於...上(on)」及類似用語係為一般性地使用，而並非必定與一重力參考方向相關。
應理解，儘管本文中可能使用用語「第一」、「第二」、「第三」等來描述各種元件、組件、區域、層及/或區段，然而該等元件、組件、區域、層及/或區段不應受限於該等用語。該等用語僅係用於區分各個元件、組件、區域、層或區段。因此，在不背離本發明之教示內容之條件下，下文中所論述之一第一元件、組件、區域、層或區段亦可被稱為一第二元件、 組件、區域、層或區段。
考量到所述及之量測及與對特定量之量測相關聯之誤差(即，量測系統之限制)，本文所用之「大約(about)」或「近似(approximately)」包含所述值且意指處於由此項技術中之通常知識者所確定之特定值之一可接受偏差範圍內。舉例而言，「大約(about)」可意指處於一或多個標準偏差以內，抑或處於所述值之±30%、20%、10%、5%以內。
除非另外定義，否則本文所用之全部用語(包括技術及科學用語)之意義皆與本發明所屬技術領域中之通常知識者所通常理解之意義相同。更應理解，該等用語(例如在常用字典中所定義之用語)應被解釋為具有與其在相關技術背景中之意義一致之意義，且除非本文中進行明確定義，否則不應將其解釋為具有理想化或過於正式之意義。
除非本文中另外指明或明顯與上下文相矛盾，否則本文所述之所有方法皆可以一合適之順序來執行。除非另外說明，否則所用之任意及所有實例或實例性語言(例如，「例如(such as)」)僅旨在更佳地例示本發明，而並非限制本發明之範圍。在本說明書中，本文中所用之任何語言皆不應被視為指示任何未提及之元件係對實踐本發明至關重要。
可藉由一種利用一遮罩總成之沈積方法來利用一種用於形成一有機發光顯示器之一電極、一有機發光層等的方法。
已使用一種包含具有複數個開口之一框架及具有一帶形狀且對應於該等開口之複數個遮罩之遮罩總成，其中該帶形狀之二端部固定至該框架。可藉由對一遮罩施加張力而將該遮罩固定至該框架。然而，在該遮罩中所界定之圖案開口之形狀可能會由於施加至該遮罩之張力而變 形。因此，期望利用一改良之遮罩總成，以減小或有效地防止在該遮罩中所界定之圖案開口之一形狀之變形。
以下，將參照附圖來詳細地闡述本發明。
將參照第1圖至第4圖來闡述根據本發明之一遮罩總成。
第1圖係為根據本發明之一遮罩總成之一實例性實施例之分解立體圖。第2圖係為第1圖所示之遮罩總成之俯視平面圖。
如第1圖及第2圖所示，該遮罩總成包含一框架100及複數個遮罩200。
一開口110界定於框架100中。框架100固定並支撐各該遮罩200之各自端部。當遮罩200固定至框架100並受框架100支撐時，框架100中之開口110暴露出遮罩200。框架100包含：一對第一支撐件120，該對第一支撐件120在一第一方向(x)上面對彼此並在該對支撐件120之間具有開口110；以及一對第二支撐件130，該對第二支撐件130在與該第一方向(x)交叉之一第二方向(y)上面對彼此，並在該對第二支撐件130之間具有開口110。一遮罩200之相對之二端部200a被支撐於第一支撐件120處。例如，在一個實例性實施例中，當在該第一方向(x)上對遮罩200施加一張力時，藉由利用一固定方法(例如焊接)而將遮罩200之相對端部200a支撐於框架100之第一支撐件120處。
在根據本發明之遮罩總成之所示實例性實施例之框架100中，第一支撐件120形成具有一實質上四邊形形狀之框架100之一長邊，且第二支撐件130形成框架100之一短邊。然而，在一替代實例性實施例中，根據本發明之遮罩總成之框架、第一支撐件120與第二支撐件130可具有實 質上相同之長度。
此外，根據本發明之遮罩總成之另一實例性實施例中之框架可具有一多邊形或圓形形狀而非四邊形形狀。
當在該第一方向(x)上對遮罩200施加一張力時，固定至框架100之遮罩200支撐於框架100上。因此，框架100會由於在第一方向(x)上施加至遮罩200之張力而在第一方向(x)(亦即，遮罩200之一伸長方向)上經受一壓縮力。因框架100經受一壓縮力，故框架100可包含具有顯著之剛性之一金屬材料(例如不銹鋼)，俾減小或有效地防止框架100由於遮罩200之壓縮力而變形。
遮罩200具有在第一方向(x)上延伸之一帶形狀或棒形狀，且在第一方向(x)上對遮罩200施加張力之狀態下，遮罩200之相對之端部200a會被支撐至框架100。在遮罩總成中提供有多個遮罩200，該等遮罩200在與該第一方向(x)交叉之第二方向(y)上設置並支撐於框架100處。遮罩200可在該第二方向(y)上排列成彼此接觸或彼此間隔開。
第3圖係為根據本發明之一遮罩總成中所包含之一遮罩之一實例性實施例的俯視平面圖。第4圖係為以第3圖所示線IV-IV截取之剖視圖。
如第3圖及第4圖所示，遮罩200包含一遮罩主體210、一主動圖案220、一第一虛設圖案230、以及一第二虛設圖案240。
遮罩主體210具有在第一方向(x)上延伸之一帶形狀，並設置於框架100之開口110中，並且支撐於框架100上。沿該第一方向(x)在一中心區域中分開設置之複數個主動圖案220形成於遮罩主體210上。
遮罩主體210具有一第一厚度T1。第一厚度T1可係為遮罩主 體210之一最大厚度或總體厚度。例如，在一個實例性實施例中，遮罩主體210可具有為約10微米(μm)至約60微米之一第一厚度T1，且第一厚度T1可實質上係為30微米。
遮罩200之複數個主動圖案200係彼此分隔開並設置於第一方向(x)上。主動圖案220可對應於一個有機發光顯示器。由於該等主動圖案220位於一單個遮罩200中，故可藉由一單一製程而在將用於製造有機發光顯示器之一母基板上同時提供若干有機發光顯示器之多個圖案。亦即，遮罩200之主動圖案220對應於構成一有機發光顯示器之圖案之沈積區域。主動圖案220包含一開口圖案，該開口圖案穿透遮罩200之一厚度，俾使構成有機發光顯示器之有機發光圖案可經由主動圖案220而設置於一母基板上。具有條帶型(stripe-type)開口圖案之複數個主動開口221界定於遮罩主體210中的主動圖案220處。
主動圖案220自遮罩主體210之一表面凹陷，以界定小於第一厚度T1之一第二厚度T2。例如，在一個實例性實施例中，遮罩200可在主動圖案220處具有為約5微米至約50微米之第二厚度T2，且第二厚度T2可實質上係為10微米。主動圖案220可由具有第二厚度T2之遮罩主體210其中之一或多個部分來界定及/或由遮罩主體210之此等部分所界定之主動開口221來界定。
根據本發明之遮罩總成中所包含之遮罩200之實例性實施例之主動圖案220的主動開口221具有一條帶形狀，但並非僅限於此。根據本發明之一遮罩總成中所包含之遮罩之另一實例性實施例之主動開口221可具有各種形狀，例如一離散點形狀或多邊形形狀。
一第一虛設圖案230設置成與複數個主動圖案220中在第一 方向(x)上設置於遮罩200之一最外側的主動圖案220相鄰。
第一虛設圖案230設置於主動圖案220與遮罩主體210之一端部200a之間。第一虛設圖案230可具有不同於主動圖案220之一形狀。第一虛設圖案230具有自遮罩主體210之表面凹陷之一形狀，以界定一第三厚度T3。遮罩200在第一虛設圖案230處具有第三厚度，且第三厚度T3介於第一厚度T1與第二厚度T2之間。例如，在一個實例性實施例中，遮罩200可在第一虛設圖案230處具有約為10微米至約50微米之一第三厚度T3，且第三厚度T3可實質上係為20微米。
遮罩200可包含多個第一虛設圖案230。如第3圖及第4圖所示，三個第一虛設圖案230分別設置於最外側主動圖案220與遮罩主體210之端部200a之間。該等第一虛設圖案230可具有不同之形狀。
儘管第3圖及第4圖例示三個第一虛設圖案230，然而本發明並非僅限於此。在另一實例性實施例中，可具有多於或少於三個第一虛設圖案230(例如一個、二個或四個第一虛設圖案230)。
第一虛設圖案230具有穿透遮罩200之一開口圖案。具有條帶型開口圖案之複數個第一虛設開口231界定於遮罩主體210中之第一虛設圖案230處。
根據本發明之一遮罩總成中所包含之遮罩200之實例性實施例之第一虛設圖案230的第一虛設開口231具有一條帶形狀，但並非僅限於此。根據本發明之一遮罩總成中所包含之遮罩之實例性實施例之第一虛設開口231可具有各種形狀，例如一離散點形狀或多邊形形狀。第一虛設圖案230可由具有第三厚度T3之遮罩主體210其中之一或多個部分及/或由遮罩主 體210之此等部分所界定之第一虛設開口231來界定。
第二虛設圖案240設置於該等主動圖案220中相鄰之主動圖案220之間。第二虛設圖案240具有穿透遮罩200之一開口圖案。具有條帶型開口圖案之複數個第二虛設開口241界定於遮罩主體210中之第二虛設圖案240處。第二虛設圖案240可由具有第三厚度T3之遮罩主體210其中之一或多個部分及/或由遮罩主體210之此等部分所界定之第二虛設開口241來界定。
存在多個分別設置於相鄰主動圖案220之間之第二虛設圖案240。
第二虛設圖案240自遮罩主體210之表面凹陷，並界定由第一虛設圖案230所界定之相同之第三厚度T3。
根據本發明之一遮罩總成中所包含之遮罩200之實例性實施例之第二虛設圖案240的第二虛設開口241具有一條帶形狀，但並非僅限於此。根據本發明之一遮罩總成中所包含之遮罩之另一實例性實施例之第二虛設開口241可具有各種形狀，例如一離散點形狀或多邊形形狀。
如上所述，在根據本發明之一遮罩總成之遮罩200之實例性實施例中，遮罩主體210具有大於由主動圖案220所界定之第二厚度T2之第一厚度T1，因此遮罩主體210之剛性得到提高，且當在第一方向(x)上對遮罩200施加張力時，由於該張力造成之主動圖案220之變形會得到控制。
此外，關於根據本發明之一遮罩總成之遮罩200之實例性實施例，第一虛設圖案230設置於最外側主動圖案220與遮罩主體210之端部200a之間，並具有介於由主動圖案220所界定之第二厚度T2與遮罩主體210之第一厚度T1之間之第三厚度T3，因此當在第一方向(x)上對遮罩200施 加張力時，第一虛設圖案230由於該張力而實質上變形，施加至主動圖案220之張力會被第一虛設圖案230分散或吸收，並使得由於在第一方向(x)上施加之張力而造成之主動圖案220之變形得到控制。
此外，關於本發明之一遮罩總成之遮罩200之實例性實施例，第二虛設圖案240設置於相鄰之主動圖案220之間，並界定介於由主動圖案220所界定之第二厚度T2與遮罩主體210之第一厚度T1之間，因此當在第一方向(x)上對遮罩200施加張力時，第二虛設圖案240會由於該張力而變形，施加至主動圖案220之張力被第二虛設圖案240分散或吸收，並使得由於在第一方向(x)上施加之張力而造成之主動圖案220之變形得到控制。
亦即，當在第一方向(x)上對遮罩200施加張力時，第一虛設圖案230由於該張力而實質上變形，隨後第二虛設圖案240由於經第一虛設圖案230分散之張力而變形，並使施加至主動圖案220之張力再次被分散，藉此使得由於在第一方向(x)上施加之張力而造成之用於沈積有機層之主動圖案220之變形得到實質之控制。
如上所述，根據本發明之一遮罩總成之遮罩200之實例性實施例包含第一虛設圖案230及第二虛設圖案240，第一虛設圖案230及第二虛設圖案240各自界定介於遮罩主體210之第一厚度T1與由主動圖案220所界定之第二厚度T2之間之第三厚度T3，因此當遮罩200固定至框架100時，施加至遮罩200之張力會被第一虛設圖案230及第二虛設圖案240連續地分散，並使得由於張力造成之主動圖案220之變形得到控制。亦即，提供用於控制因施加至遮罩200之張力而造成之主動圖案220之變形的遮罩200以及包含該遮罩200之遮罩總成。
現在，將參照第5圖及第6圖來闡述根據一第二實例性實施例 之一遮罩。
將闡述與第一實例性實施例不同之部分，且不再闡述之部分遵循第一實例性實施例。為更佳地理解及易於說明起見，第二實例性實施例之與第一實例性實施例相同之組成元件將具有相同之參考編號。
第5圖係為根據本發明之一遮罩之另一實例性實施例之俯視平面圖。第6圖係為以第5圖所示線VI-VI截取之剖視圖。
如第5圖及第6圖所示，遮罩202包含一遮罩主體210、一主動圖案220、一第一虛設圖案230、及一第二虛設圖案240。
第二虛設圖案240自遮罩主體210之表面凹陷，並用以界定與主動圖案220相同之第二厚度T2。
如以上類似地闡述，關於根據本發明之遮罩202之實例性實施例，第二虛設圖案240設置於相鄰之主動圖案220之間，並界定與主動圖案220相同之第二厚度T2，因此當在第一方向(x)上對遮罩202施加張力時，第二虛設圖案240會由於該張力而變形，施加至主動圖案220之張力被分散，且使得由於在第一方向(x)上施加之張力而造成之主動圖案220之變形得到控制。
亦即，當在第一方向(x)上對遮罩202施加張力時，第一虛設圖案230由於該張力而實質上變形，第二虛設圖案240由於經第一虛設圖案230分散之張力而變形，施加至主動圖案220之張力被再次分散，且使得由於在該第一方向(x)上施加之張力而造成之用於沈積有機層之主動圖案之變形得到實質控制。
如上所述，因根據本發明之遮罩202之實例性實施例包含具 有與主動圖案220相同之第二厚度T2之第二虛設圖案240，故當遮罩202固定至框架100時，施加至遮罩202之張力會被第一虛設圖案230及第二虛設圖案240連續地分散，且由於張力而造成之主動圖案220之變形得到控制。亦即，提供用於控制由於施加至遮罩202之張力而造成之主動圖案220之變形之遮罩202。
將參照第7圖來闡述根據再一實例性實施例之一遮罩。
將闡述與第3圖及第4圖所示實例性實施例之不同之部分，且為便於闡釋起見，不再對相同之部分予以贅述。為更佳地理解及易於說明起見，第7圖所示實例性實施例之與第3圖及第4圖所示實例性實施例相同之組成元件將具有相同之參考編號。
第7圖係為根據本發明之一遮罩之再一實例性實施例之俯視平面圖。
如第7圖所示，遮罩203包含一遮罩主體210、一主動圖案220、一第一虛設圖案230、及一第二虛設圖案240。
相鄰之主動開口221間之一間隙界定一第一距離L1，且相鄰之第一虛設開口231間之一間隙界定一第二距離L2。第一距離L1小於第二距離L2。該距離係垂直於主動開口221及第一虛設開口231之一延伸方向。
此外，相鄰之第二虛設開口241間之一間隙界定一第三距離L3。第一距離L1小於第三距離L3。
第三距離L3可等於或不同於第二距離L2。
如上所述，關於根據本發明之遮罩203之實例性實施例，第三距離L3及第二距離L2分別大於第一距離L1，因此當在第一方向(x)上對 遮罩203施加張力時，該張力會被第一虛設圖案230及第二虛設圖案240分散，且由於在第一方向(x)上對遮罩203施加之張力而造成之主動圖案220之變形得到控制。
亦即，當在第一方向(x)上對遮罩203施加張力時，該張力會被第一虛設圖案230及第二虛設圖案240分散，因此會使由於在第一方向(x)上施加之張力而造成之用於沈積有機層之主動圖案220之變形得到實質控制。
如上所述，關於根據本發明之遮罩203之實例性實施例，施加至遮罩203之張力會被第一虛設圖案230及第二虛設圖案240連續地分散，進而控制由於該張力而造成之主動圖案220之變形。
亦即，提供用於控制由於施加至遮罩203之張力而造成之主動圖案220之變形之遮罩203。
儘管已結合當前被視為可行之實例性實施例闡述了本發明，然而應理解，本發明並非僅限於所揭露之實施例，而是相反，旨在涵蓋包含於隨附申請專利範圍之精神及範圍內之各種潤飾及等效設置。
200‧‧‧遮罩
200a‧‧‧相對之端部
210‧‧‧遮罩主體
220‧‧‧主動圖案
221‧‧‧主動開口
230‧‧‧第一虛設圖案
231‧‧‧第一虛設開口
240‧‧‧第二虛設圖案
241‧‧‧第二虛設開口
x‧‧‧第一方向
y‧‧‧第二方向

Claims (10)

  1. 一種用於沈積的遮罩，包含：一遮罩主體，延伸於一第一方向上並具有一第一厚度，且包含在該第一方向上彼此相對之複數個端部，當在該第一方向上對該遮罩施加一張力時，該等端部受到一框架支撐；以及複數個主動圖案(active pattern)，該等主動圖案在該遮罩主體之一中心區域中在該第一方向上彼此間隔開，該等主動圖案並具有一第二厚度，該第二厚度小於該第一厚度。
  2. 如請求項1所述之遮罩，更包含一第一虛設圖案(dummy pattern)，該第一虛設圖案位於該等主動圖案中在該第一方向上之一最外側主動圖案與該遮罩主體的該等端部的其中之一之間，該第一虛設圖案並具有一第三厚度，該第三厚度介於該第一厚度與該第二厚度之間。
  3. 如請求項1所述之遮罩，更包含複數個第一虛設圖案，該等第一虛設圖案位於該等主動圖案中在該第一方向上之一最外側主動圖案與該遮罩主體的該等端部的其中之一之間，該等第一虛設圖案並具有一第三厚度，該第三厚度介於該第一厚度與該第二厚度之間。
  4. 如請求項2所述之遮罩，其中複數個主動開口，界定在該等主動圖案之中的一主動圖案中，複數個第一虛設開口，界定在該第一虛設圖案中，以及相鄰之主動開口間之一第一距離小於相鄰之第一虛設開口間之一第二距離。
  5. 如請求項2所述之遮罩，更包含：一第二虛設圖案，位於該等主動圖案中相鄰之主動圖案之間。
  6. 如請求項5所述之遮罩，其中該第二虛設圖案具有該第二厚度。
  7. 如請求項5所述之遮罩，其中該第二虛設圖案具有該第三厚度。
  8. 如請求項5所述之遮罩，更包含複數個第二虛設圖案，該等第二虛設圖案分別位於該等主動圖案中相鄰之主動圖案之間。
  9. 如請求項5所述之遮罩，其中複數個主動開口，界定在該等主動圖案之中的一主動圖案中，複數個第二虛設開口，界定在該第二虛設圖案中，以及該等相鄰之主動開口間之一第一距離小於相鄰之第二虛設開口間之一第三距離。
  10. 一種遮罩總成，包含：一框架，在該框架中界定有一開口；以及如請求項1所述之遮罩，其中當在該第一方向上對該遮罩施加該張力之同時在該第一方向上彼此相對之該遮罩主體的該等端部受到該框架支撐時，該等主動圖案交疊該框架中之該開口。
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