CN113423856B - 掩模装置、掩模板及框架 - Google Patents

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Abstract

一种掩模装置(10)、掩模板(1)和框架(2)。掩模装置包括框架和第一掩模板，框架包括内边缘(21)、外边缘(22)和多个安装槽(23)，第一掩模板包括基板(11)和从基板的周边向外凸出延伸的多个夹持部(13)，多个夹持部被配置为一一对应地安装在多个安装槽中，从而基板安装在框架的内边缘上。夹持部包括与基板连接的第一部分(131)，第一部分具有弧形部(1310)，弧形部在基板的侧面(110)上的正投影位于夹持部整体在基板的侧面上的正投影内。

Description

掩模装置、掩模板及框架
技术领域
本公开至少一实施例涉及一种掩模装置、掩模板和框架。
背景技术
蒸镀方法是薄膜沉积常用的方法之一，在薄膜蒸镀过程中，通常会使用掩模装置。有机发光二极管显示面板由于具有自主发光、功耗低、显示亮度高、宽视角、响应速度快等一系列的优点，越来越受到市场的欢迎。例如，有机发光二极管显示面板中的有机发光层，通常可以通过蒸镀的方法形成。随着市场的需求，有机发光二极管显示面板的应用已经从手机、电脑等扩展到可穿戴领域，而随之而来的便是对有机发光二极管显示面板的形状要求的多样化，显示面板形状从普通的矩形逐渐变成圆形或多边形等其它不规则的形状。显示面板形状的多样性对制造显示面板所使用的蒸镀掩模板提出了较高的要求。
发明内容
本公开至少一实施例提供一种掩模装置，该掩模装置包括：框架和第一掩模板。框架包括内边缘、外边缘和多个安装槽；第一掩模板包括基板、设置在所述基板上的至少一个第一掩模开口和从所述基板的至少部分周边向外凸出延伸的多个夹持部；所述多个夹持部被配置为一一对应地安装在所述多个安装槽中，从而所述基板被配置为安装在所述框架的内边缘上；所述夹持部沿从所述基板到远离所述基板延伸的方向为第一方向，垂直于所述第一方向的方向为第二方向；所述多个夹持部中的至少一个所述夹持部包括与所述基板连接的第一部分，沿所述第一方向，所述第一部分的至少部分的在所述第二方向上的尺寸逐渐减小；所述第一部分的至少部分能够伸进与该夹持部对应的安装槽内，使得所述基板与所述框架的内边缘在所述基板的平行于所述第一方向的面所在的平面上的正投影之间的间隙小于所述至少一个所述夹持部的所述第一部分在第一方向上的尺寸。
例如，在本公开一实施例提供的掩模装置中，所述第一掩模板与所述内边缘在所述第一掩模板所在的平面上的投影基本相接。
例如，在本公开一实施例提供的掩模装置中，所述多个夹持部中的至少一个夹持部还包括位于所述第一部分的远离所述基板的一侧且沿远离所述基板方向凸出延伸的第二部分，所述第一部分包括侧边，所述第一部分的侧边朝向与该夹持部相邻的所述夹持部，所述第一部分的所述侧边具有与所述基板平滑连接且朝向所述夹持部凹陷的弧形部；所述基板的周边包括侧面，所述基板的所述侧面上设置有所述多个夹持部且所述侧面面向所述框架的内边缘；所述弧形部在所述基板的所述侧面所在的平面上的正投影位于所述至少一个夹持部整体在所述基板的所述侧面所在的平面上的正投影内。
例如，在本公开一实施例提供的掩模装置中，所有所述多个夹持部的形状和尺寸相同，所有所述弧形部的形状和尺寸相同；所述弧形部的在所述第一方向上的尺寸和所述夹持部的在所述第一方向上的最大尺寸的比为0.15～0.2。
例如，在本公开一实施例提供的掩模装置中，在所述基板所在的平面上，所述弧形部与所述基板的所述侧面的连接点位于所述第二部分的远离所述基板的边缘在所述基板的侧面上的正投影内；所述弧形部与所述基板的所述侧面的连接点位于与该夹持部对应的安装槽在所述基板的所述侧面的正投影内。
例如，在本公开一实施例提供的掩模装置中，所述基板的侧面包括位于所述多个夹持部中相邻两个之间的平面，所述平面在所述内边缘所在平面上的正投影与所述框架的内边缘重叠，所述弧形部与所述框架的内边缘不接触。
例如，在本公开一实施例提供的掩模装置中，沿所述第一方向，所述至少一个夹持部的第二部分在所述第二方向的宽度逐渐减增大；所述至少一个夹持部的所述第一部分整体在所述第二方向上的宽度逐渐减小，或者，所述至少一个夹持部的所述第一部分的在所述第二方向上的宽度先逐渐减小后逐渐增大。
例如，在本公开一实施例提供的掩模装置中，所述多个夹持部的每个的第二部分在所述第一掩模板所在平面上的平面形状为倒梯形。
例如，在本公开一实施例提供的掩模装置中，所述多个安装槽的每个包括：主体部和至少一个扩展部。至少一个扩展部与所述主体部相通；所述主体部包括靠近所述内边缘的第一部分和远离所述内边缘的第二部分，所述主体部的第一部分与所述主体部的第二部分相通，所述扩展部位于所述主体部的第一部分的面向相邻的安装槽的侧面且沿远离所述主体部的方向延伸；所述扩展部包括外轮廓，所述外轮廓与所述内边缘相接。
例如，在本公开一实施例提供的掩模装置中，所述弧形部配置为整体位于与该夹持部对应的所述安装槽中，且所述弧形部的至少部分配置为被容纳于所述扩展部中。
例如，在本公开一实施例提供的掩模装置中，所述基板的侧面包括位于多个夹持部中相邻两个之间的平面，所述平面在所述内边缘所在平面上的正投影与所述内边缘重叠，所述倒角与所述框架的内边缘不接触。
例如，在本公开一实施例提供的掩模装置中，沿所述第二方向且沿从靠近所述主体部到远离所述主体部的方向，所述扩展部的在所述第一方向上的尺寸逐渐减小。
例如，在本公开一实施例提供的掩模装置中，所述多个夹持部的每个包括在所述基板的平行于所述第一方向的平面上的平面形状为矩形或倒梯形的部分，所述倒梯形包括靠近所述基板的第一边以及远离所述基板的第二边，所述第一边小于所述第二边。
例如，在本公开一实施例提供的掩模装置中所述多个安装槽的每个的在所述第二方向上的最大宽度大于所述多个夹持部的每个的在所述第二方向上的最大宽度，且所述多个安装槽的每个的所述最大宽度与所述多个夹持部的每个的所述最大宽度的差的范围为0.5mm～1mm。
例如，在本公开一实施例提供的掩模装置中，所述多个安装槽的在垂直于所述第一掩模板所在平面的方向上的深度大于或等于所述夹持部的在垂直于所述第一掩模板所在平面的方向上的厚度。
本公开至少一实施例还提供一种掩模板，该掩模板包括：基板、位于在所述基板上的至少一个第一掩模开口，以及多个夹持部；多个夹持部从所述基板的至少部分周边向外凸出延伸，其中，所述夹持部沿从所述基板到远离所述基板延伸的方向为第一方向，垂直于所述第一方向的方向为第二方向；所述多个夹持部中的至少一个所述夹持部包括与所述基板连接的第一部分；沿所述第一方向，所述至少一个夹持部的第一部分的至少部分在所述第二方向上的宽度逐渐减小。
例如，在本公开一实施例提供的掩模板中，所述第一部分包括侧边，所述第一部分的侧边朝向与该夹持部相邻的所述夹持部，所述第一部分的所述侧边具有与所述基板平滑连接且朝向所述夹持部凹陷的弧形部；所述基板的周边包括侧面，所述侧面与所述基板的平行于所述第一方向的面相交，所述基板的所述侧面上设置有所述多个夹持部；所述弧形部在所述基板的所述侧面所在的平面上的正投影位于所述至少一个夹持部在所述基板的所述侧面所在的平面上的正投影内。
例如，在本公开一实施例提供的掩模板中，所述多个夹持部中的至少一个夹持部还包括位于所述第一部分的远离所述基板的一侧且沿远离所述基板方向凸出延伸的第二部分；所述弧形部与所述基板侧面的连接点位于所述第二部分的远离所述基板的边缘在所述基板侧面上的正投影内。
例如，在本公开一实施例提供的掩模板中，在所述第二方向上，所述至少一个夹持部的第二部分在所述第二方向上的宽度逐渐增大；整个所述至少一个夹持部的第一部分在所述第二方向上的宽度逐渐减小，或者，所述至少一个夹持部的所述第一部分的在所述第二方向上的宽度先逐渐减小后逐渐增大。
例如，在本公开一实施例提供的掩模板中，所述至少一个夹持部的第二部分在所述基板所在平面上的平面形状为倒梯形。
本公开至少一实施例还提供一种掩模板，该掩模板包括：多个安装槽和主体部；所述多个安装槽中的至少一个安装槽包括：主体部和至少一个扩展部；至少一个扩展部与所述主体部相通，其中，所述主体部包括靠近所述内边缘的第一部分和远离所述内边缘的第二部分，所述主体部的第一部分与所述主体部的第二部分相通，所述扩展部位于所述主体部的第一部分的面向相邻的安装槽的侧面且沿远离所述主体部的方向延伸；所述扩展部包括外轮廓，所述外轮廓与所述内边缘相接。
例如，在本公开一实施例提供的掩模板中，沿所述第二方向且沿从靠近所述主体部到远离所述主体部的方向，所述扩展部的在所述第一方向上的尺寸逐渐减小。
附图说明
为了更清楚地说明本公开实施例的技术方案，下面将对实施例的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅涉及本公开的一些实施例，而非对本公开的限制。
图1为本公开一实施例提供的一种掩模装置的平面示意图；
图2A为本公开一实施例提供的一种掩模装置的局部结构示意图；
图2B为图2A所示的掩模装置的掩模板的平面示意图；
图2C为图2B的一种局部放大示意图；
图2D为图2B的另一种局部放大示意图；
图3A为本公开一实施例提供的另一种掩模装置的局部结构示意图；
图3B为图3A所示的掩模装置的掩模板的平面示意图；
图3C为图3A所示的掩模装置的框架的局部放大示意图；
图3D为图3B的局部放大示意图；
图3E为一种掩模装置的平面示意图；
图4为本公开一实施例提供的又一种掩模装置的局部结构示意图；
图5为本公开一实施例提供的又一种掩模装置的局部结构示意图。
具体实施方式
为使本公开实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本公开实施例的附图，对本公开实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。以下所描述的实施例是本公开的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本公开的实施例，本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其它实施例，都属于本公开保护的范围。
除非另作定义，此处使用的技术术语或者科学术语应当为本发明所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本公开中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。同样，“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现在该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。
蒸镀掩模板通常安装于掩模框架上，可以通过掩模框架的多个夹持结构对掩模板边缘的夹持部进行夹持。由于制作工艺的限制，掩模板边缘的夹持部的底部通常存在倒角，该倒角与掩模框架的夹持结构接触而位于掩模板的靠近掩模框架的边缘与掩模框架之间，使得掩模板的靠近掩模框架的边缘与掩模框架结合得不够严密，两者之间存在较大缝隙。这种情况下，在蒸镀过程中，蒸镀材料会沉积到蒸镀掩模版表面以及通过该较大缝隙沉积到例如待蒸镀面板的玻璃基板四周边缘上，这可能造成颗粒污染，易引起封装失效，例如引发封装薄膜翘楚等不良。
本公开至少一实施例提供一种掩模装置，该掩模装置包括：框架和第一掩模板。框架包括内边缘、外边缘和多个安装槽；第一掩模板包括基板、设置在所述基板上的至少一个第一掩模开口和从所述基板的至少部分周边向外凸出延伸的多个夹持部；所述多个夹持部被配置为一一对应地安装在所述多个安装槽中，从而所述基板被配置为安装在所述框架的内边缘上；所述夹持部沿从所述基板到远离所述基板延伸的方向为第一方向，垂直于所述第一方向的方向为第二方向；所述多个夹持部中的至少一个所述夹持部包括与所述基板连接的第一部分，沿所述第一方向，所述第一部分的至少部分的在所述第二方向上的尺寸逐渐减小；所述第一部分的至少部分能够伸进与该夹持部对应的安装槽内，使得所述基板与所述框架的内边缘在所述基板的平行于所述第一方向的面所在的平面上的正投影之间的间隙小于所述至少一个所述夹持部的所述第一部分在第一方向上的尺寸。
例如，第一掩模板与内边缘在第一掩模板所在的平面上的投影之间的缝隙小于2mm。例如，该“缝隙小于2mm”包括狭缝小于1.5mm、1.2mm、1mm、0.8mm、0.5mm、0.3mm等，或者为0(即狭缝不存在的情形)。
示例性地，图1为本公开一实施例提供的一种掩模装置的平面示意图，图2A为本公开一实施例提供的一种掩模装置的局部结构示意图，图2B为图2A所示的掩模装置的掩模板的平面示意图，图2C为图2B的一种局部放大示意图。例如，图2A为图1的局部101的一种放大示意图。
如图1和图2A所示，掩模装置10包括框架2和第一掩模板1。框架2包括内边缘21、外边缘22和多个安装槽23。第一掩模板1包括基板11、设置在所述基板上的至少一个第一掩模开口12和从基板11的至少部分周边向外凸出延伸的多个夹持部13，多个夹持部13一一对应地安装在多个安装槽23中，从而基板11被安装在框架2上。夹持部13沿从基板11到远离基板11延伸的方向为第一方向，垂直于第一方向的方向为第二方向；多个夹持部13中的至少一个夹持部包括与基板11连接的第一部分131，例如，在图2C所示的实施例中，沿第一方向，整个第一部分131的在第二方向上的尺寸逐渐减小；第一部分131的至少部分能够伸进与该夹持部13对应的安装槽23内，即，多个夹持部13的每个与基板11的连接处位于与该夹持部13对应的安装槽23内，使得基板11与框架2的内边缘21在基板11的平行于第一方向的面所在的平面上的正投影之间的间隙小于所述至少一个夹持部13的第一部分131在第一方向上的尺寸。
例如，第一掩模板1与内边缘21在第一掩模板1所在的平面上的投影之间的缝隙3小于2mm。也就是，基板11的靠近框架2的边缘与框架的内边缘21之间的缝隙3在第一掩模板1所在的平面上的宽度小于2mm。
在多个夹持部13的每个与基板11的连接处常常存在由于制作工艺例如刻蚀工艺导致的倒角，由于该第一部分131的设计，使得该倒角被包含于第一部分131中，例如该倒角为第一部分131的靠近基板11的一端，至少部分整个第一部分131位于与该夹持部13对应的安装槽23中，从而可以使得至少部分倒角位于与该夹持部13对应的安装槽23中。因此，本公开至少一实施例提供的掩模装置能够减小第一掩模板1与框架的内边缘21在第一掩模板1所在的平面上的投影之间的间隙，从而第一掩模板1与框架2结合得更加严密。例如掩模装置10为蒸镀掩模装置，从而该掩模装置10能够防止或改善在蒸镀过程中该缝隙过大而导致的问题，这些问题包括例如蒸镀材料通过该缝隙沉积到蒸镀掩模版表面以及待蒸镀面板的玻璃基板四周边缘上，造成颗粒污染，易引起封装失效，例如引发封装薄膜翘楚等不良。即使在由于制作工艺例如刻蚀工艺导致在多个夹持部的每个与基板11的连接处存在刻蚀倒角的情况下，也能够防止或改善在蒸镀过程中上述缝隙过大而导致的问题。
例如，图2A所示的第一掩模板包括多个圆形的第一掩模开口12，例如，每个开口对应于母板中的一个显示面板(子板)的显示区域，例如，圆形显示区域。在其他实施例中，掩模开口12的形状也可以为其他形状，例如矩形、扇形或不规则图形等，根据实际构图的需要设计第一掩模开口12的形状，本公开实施对此不作限定。
例如，在一个实施例中，第一掩模板1与内边缘21在第一掩模板1所在的平面上的投影基本相接，即，基板11与内边缘21之间的缝隙3的宽度基本为零，或者，第一掩模板1与内边缘21在第一掩模板1所在的平面上的投影的重叠区域的面积大于等于0，即第一掩模板1与内边缘21之间不存在空气层或缝隙。这样可以达到更严密的组装效果，更好地防止该缝隙所导致的上述技术问题。
需要说明的是，框架2包括内侧区域24，多个安装槽23是在内侧区域24的表面上凹陷的凹槽。内边缘21即框架的内框边，为框架的靠近基板11的边。第一掩模板1的多个夹持部从基板11的周边向外凸出指的是向远离11基板的方向凸出。
在一个实施例中，如图2A-图2C所示，多个夹持部13的至少一个夹持部13，例如每个夹持部13，还包括位于第一部分131的远离基板11的一侧且沿远离基板11方向凸出延伸的第二部分132，第二部分132与基板11的第一部分131连接。例如，在图2C所示的实施例中，沿第一方向，每个夹持部13的第一部分131整体在第二方向上的宽度逐渐减小。基板11的周边包括侧面110，基侧面110上设置有多个夹持部13且侧面110面向框架2的内边缘21。第一部分131包括侧边，第一部分131的侧边朝向与该夹持部13相邻的夹持部13；第一部分131的侧边具有与基板11平滑连接且朝向夹持部13凹陷的弧形部1310。位置B为弧形部1310与基板11的侧面110的交点，位置C为第一部分131与第二部分132交界处。即沿第一方向且从位置B到位置C，每个夹持部13的第一部分131整体在第二方向上的宽度逐渐减小。例如，在图2A-图2C所示的实施例中，第一部分131的面向与该夹持部13对应的安装槽23的侧壁230的两侧均具有弧形部1310。如图2A所示，由于向内凹陷的弧形部1310整体在第二方向上的宽度沿第一方向逐渐减小，从而能够将该夹持部13的与基板11连接的一端整体收缩至与之对应的安装槽23中，即该夹持部13的与基板11连接的一端完全位于与之对应的安装槽23中，从而减小第一掩模板1与内边缘21在第一掩模板1所在的平面上的投影之间的缝隙3，以实现上述技术效果。或者，如图2D所示，每个夹持部13的第一部分131的在第二方向上的宽度先逐渐减小后逐渐增大。位置B为弧形部1310与基板11的侧面110的交点，位置C处第一部分131的在第二方向上的宽度最小，位置D为第一部分131与第二部分132交界处。沿第一方向，由位置B到位置C，每个夹持部13的第一部分131的在第二方向上的宽度逐渐减小；由位置C到位置D，每个夹持部13的第一部分131的在第二方向上的宽度逐渐增大。
例如，弧形部1310在基板11的侧面所在的平面上的正投影位于至少一个夹持部13整体在基板11的侧面110所在的平面上的正投影内，以保证夹持部13整体均位于安装槽23中，从而使上述缝隙3接近于零。
例如，结合图2A和图2C，在至少一个示例中，对于多个夹持部13的每个，在第一掩模板1所在的平面上，弧形部1310与基板11的侧面110(如图1所示，基板11的靠近框架2的内边缘21的边)的连接点B与夹持部13的第二部分132的边缘点A(第二部分132的远离基板的一端的边缘上的靠近与之对应的安装槽23的侧壁230的点)位于同一垂直于内边缘23的直线上，例如直线l，弧形部1310与基板11的侧面110的连接点B位于与该夹持部13对应的安装槽23内。也就是，弧形部1310在基板11的侧面110所在的平面上的正投影位于至少一个夹持部13整体在基板11的侧面110所在的平面上的正投影内，即，弧形部1310与基板11的侧面110的连接点B位于第二部分132的远离基板11的边缘在基板11的侧面110上的正投影内；弧形部1310与基板11的侧面110的连接点B位于与该夹持部13对应的安装槽23在基板11的侧面110的正投影内。以保证将整个弧形部1310完全置于与其对应的安装槽23内，从而减小上述缝隙3，保证基板11和框架2的内边缘21更紧密的贴合。
如此，能够达到保证将整个弧形部1310完全置于与其对应的安装槽23内，从而减小上述缝隙3的技术效果。
需要说明的是，根据工艺精度的要求或者特殊设计的要求，弧形部1310与基板11的侧面110的连接点也可以位于第二部分132的远离基板11的边缘在基板11的侧面110上的正投影的远离夹持部13的一侧，即弧形部1310与基板11的侧面110的连接点可以位于第二部分132的远离基板的一端的外侧。
例如，所有多个夹持部13的形状和尺寸相同，所有弧形部的形状和尺寸相同；弧形部1310的在第一方向上的尺寸d和夹持部13的在第一方向上的最大尺寸h的比为0.15～0.2，然而本公开实施例对此不作限定，可根据具体需要对夹持部13的尺寸进行设计。
例如，基板11的侧面110包括位于多个夹持部13中相邻两个之间的平面1101，平面即图2C中基板11的侧面110的位于多个夹持部13中相邻的两个夹持部13之间的部分，该平面1101面向框架2。如图2A所示，平面1101在内边缘21所在平面上的正投影与框架2的内边缘21重叠，弧形部1310与其对应的安装槽23的侧壁230不接触，弧形部1310与框架2的内边缘21不接触以进一步保证将整个弧形部1310完全置于与其对应的安装槽23内，从而减小上述缝隙3。
例如，如图2C所示，在第一方向上，多个夹持部13的每个的第二部分132在第二方向上的宽度w逐渐增大，即在与第一方向相反的方向上，夹持部1的每个的第二部分132在第二方向上的宽度w逐渐减小，这有利于夹持部13的第二部分132与弧形部131平滑衔接，从而将夹持部13的与基板11连接的一端收缩至与之对应的安装槽23中，以减小上述缝隙3。
例如，如图2A-图2C所示，多个夹持部13的每个的第二部分132的平行于第一方向的截面的形状为倒梯形。这种情况易于制作，当然，不限于是倒梯形，本公开实施例对此不作限定。
例如，如图2C所示，在至少一个示例中，所有多个夹持部13的形状和尺寸相同，所有弧形部1310的形状和尺寸相同；弧形部1310的在第一方向上的尺寸d和夹持部13的在第一方向上的最大尺寸h的比为0.15～0.2。例如，夹持部13的在第一方向上的最大尺寸h为10mm～15mm，弧形部1310的曲率半径为0.2mm～3mm；该倒梯形的远离基板11的上底的宽度为8mm～15mm，该倒梯形的靠近基板11的下底的宽度为6mm～13mm，该倒梯形的在第一方向上的高度为7.7mm～12.7mm。该倒梯形的腰与第一方向的夹角θ大于等于9°，该夹角θ太小不利于弧形部结合从而使整个弧形部1310都位于安装槽内。当然，上述尺寸是示例性的，可根据实际所需要的夹持部13的尺寸进行改变，因此本公开实施对上述尺寸不作限定。
例如，如图2A所示，多个安装槽23的每个在第二方向上的最大宽度d1大于多个夹持部13的每个在第二方向上的最大宽度d2，且多个安装槽23的每个的最大宽度d1与多个夹持部13的每个的最大宽度d2的差的范围为0.5mm～1mm，以能够较容易地将夹持部13的每个安装进入安装槽23内，并且为夹持部13在安装槽23内的热胀冷缩留有空间。在本示例中，安装槽23的在基板11的平行于第一方向上的面所在的平面上的正投影为矩形，因此安装槽23的每个在垂直于多个夹持部13的每个的延伸方向(图中的横向)上的最大宽度d1为该矩形安装槽的横向宽度。夹持部13的第二部分132的平行于第一方向的截面的形状为倒梯形，夹持部13的每个在垂直于多个夹持部的每个的延伸方向上的最大宽度d2为第二部分132的较宽底边的横向宽度。
例如，多个安装槽23的在垂直于第一掩模板1所在平面的方向上的深度大于或等于夹持部13的在垂直于第一掩模板1所在平面的方向上的厚度，使得夹持部13稳定地固定于与其对应的安装槽23内，以及可以提高由框架2和第一掩模板1构成的掩模装置10的整体平坦度。例如，在垂直于第一掩模板1所在平面的方向上，第一掩模板1的厚度与夹持部的厚度相等，均大于等于100μm。需要说明的是，第一掩模板所在平面是指基板11的平行于第一方向的面所在的平面。
例如，如图1和图2A所示，框架2包括内侧区域24和至少部分围绕内侧区域24的(即位于框架的周边区域)减薄区25，减薄区25在垂直于基板11方向上的厚度小于框架2的内侧区域24在垂直于基板11方向上的厚度。例如，减薄区25在垂直于基板11方向上的厚度为几百微米，例如200μm～300μm，比内侧区域24在垂直于基板11方向上的厚度小几百微米。一方面，减薄区25有利于掩模装置的薄化。框架2还包括位于减薄区25中的多个蒸镀安装槽26，例如多个蒸镀安装槽26间隔排列，在利用掩模装置10进行蒸镀过程中，多个蒸镀安装槽26用于与蒸镀设备中的多个固定结构匹配，将多个固定结构一一对应地安装于多个蒸镀安装槽26中，以实现将掩模装置10安装固定于蒸镀设备中。
图3A为本公开一实施例提供的另一种掩模装置的局部结构示意图，图3B为图3A和3C所示的掩模装置的掩模板的平面示意图，图3C为图3A所示的掩模装置的框架的局部放大示意图，图3D为图3B的局部放大示意图。例如，图3A为图1的局部101的另一种放大示意图。
如图3A和图3C所示，多个安装槽23的每个包括主体部231和至少一个扩展部232。主体部231包括靠近内边缘21的第一部分2311和远离内边缘21的第二部分2312，主体部231的第一部分2311与主体部231的第二部分2312相通，扩展部232位于主体部231的第一部分2311的面向相邻的安装槽23的侧面且沿远离主体部231的方向延伸；扩展部232包括外轮廓2321，外轮廓2321与内边缘21相接。例如，在本实施例中，多个安装槽23的每个包括两个扩展部232。如此，整个夹持部13(包括由于工艺限制导致的夹持部13与基板11相接处存在的倒角)可被容纳于与之对应的扩展部232内，从而减小第一掩模板1与内边缘21在第一掩模板1所在的平面上的投影之间的缝隙3，能够防止或改善在蒸镀过程中上述缝隙3过大而导致的问题。
例如，如图3A所示，在本实施例中，弧形部为多个夹持部13的每个在与基板11的连接处的倒角133，该倒角133可以是由工艺限制导致的。倒角133的至少部分被容纳于扩展部232中，从而使得倒角133的一部分位于与该夹持部13对应的安装槽23中，以减小上述缝隙3。例如，整个倒角133完全被容纳于扩展部232中，从而很好地达到减小第一掩模板1与内边缘21在第一掩模板1所在的平面上的投影之间的缝隙的效果，使该缝隙几乎为零。图3E为一种掩模装置的平面示意图，在图3E所示的掩模装置中，由于倒角133无法置于安装槽233中，因此第一掩模板111与内边缘210在第一掩模板1所在的平面上的投影之间存在较大的缝隙30，本公开实施例提供的掩模装置10能够避免这一问题。
例如，结合图3A和图3D，基板11的侧面110包括位于多个夹持部13中相邻两个之间的平面1101，平面1101在框架2的内边缘21所在平面上的正投影与内边缘21重叠，倒角133与框架2的内边缘21不接触，以进一步保证将整个倒角133完全置于与其对应的安装槽23内，从而减小上述缝隙3。
需要说明的是，对于基板11的侧面110和平面1101的解释与之前的实施例中的相同。
如图3A和图3C所示，扩展部232包括沿远离基板11的方向凸起的弧形。该弧形有利于提供充分的容纳倒角133的空间，从而能够保证将整个倒角133完全容纳于扩展部232中。
例如，沿第二方向且沿从靠近主体部231到远离主体部231的方向，扩展部232的在第一方向上的尺寸逐渐减小。从而，扩展部232的尺寸的变化趋势与倒角133的尺寸在第一方向上的变化趋势一致，能够减小扩展部232与倒角133之间的缝隙4，有利于使多个夹持部13的每个与与其对应的安装槽23的结合更加严密性和紧凑，利于提高掩模装置10的稳定性。当然，在其他实施例中，扩展部232的上述的在主体部231的延伸方向上的高度也可以保持不变。
例如，多个夹持部13的每个的第二部分132的平行于第一方向的截面的形状为矩形，如图3D中的位于倒角133(在该实施例中，为所述弧形部)的远离基板11的一侧的矩形部分(即图3D中位于虚线上方的部分)，即第二部分132的平行于第一方向的截面的形状为矩形。或者，在其他实施例中，多个夹持部13的每个包括在第一掩模板1所在平面上的平面形状为倒梯形的部分，该倒梯形包括靠近基板11的第一边以及远离基板11的第二边，第一边小于第二边，即图3D中的第二部分132被该倒梯形所替换。与倒梯形的第一边大于第二边的情形相比，本实施例有利于夹持部13的靠近基板11的一端被容纳于与其对应的安装槽23中，同时，有利于夹持部13与该安装槽23结合的稳定性。
图3A-图3D所示的实施例的其他特征均与图2A-图2C中的相同，请参考之前的描述。
图4为本公开一实施例提供的又一种掩模装置的局部结构示意图。图4所示的掩模装置包括了图2A中的第一掩模板，还包括了图3A中的框架。因此，在图4所示的实施例中，多个夹持部13的每个具有与基板11连接的第一部分131和沿远离基板11方向凸出延伸的第二部分132，第一部分131在至少一侧边具有与基板连接且向内凹陷的弧形部1310。并且，多个安装槽23的每个包括：主体部231和至少一个扩展部232。至少一个扩展部232与主体部231相通，位于主体部231的侧边且与所述内边缘21相接，沿与所述主体部231的延伸方向垂直的方向向外延伸。整个弧形部1310位于与其对应的安装槽23内，弧形部1310的至少部分位于与之对应的扩展部232内，从而减小第一掩模板1与内边缘21在第一掩模板1所在的平面上的投影之间的缝隙，达到与上述实施例相同或相似的技术效果。
在不冲突的情况下，上述实施例的特征之间可以进行组合以得到其他的实施例。
例如，图5为本公开至少一实施例提供的又一种掩模装置的示意图。如图5所示，本公开至少一实施例提供的掩模装置还包括至少一个第二掩模板20，例如本实施例所示的掩模装置包括多个第二掩模板20，多个第二掩模板20的每个分别位于多个安装槽23中相邻的两个之间。多个第二掩模板20层叠在第一掩模板上且直接固定在框架2上；多个第二掩模板20的每个包括至少一个第二掩模开口202，至少一个第二掩模开口202与第一掩模开口12至少部分重叠。第二掩模开口202的形状和大小与第一掩模开口12的形状和大小相匹配，通过利用第二掩模开口202和第一掩模开口12的相互配合来限制蒸镀薄膜的蒸镀区域以形成所需要的蒸镀图案，例如像素区域图案。
例如，第一掩模板和层叠在第一掩模板上的第二掩模板均直接固定在框架上，一方面，避免了两层掩模板由于二者之间的焊接从而导致的力学变化，如上所述该力学变化例如会导致第一掩模板和第二掩模板产生变形或者表面产生褶皱。通过该掩模装置对待要蒸镀的对象例如蒸镀基板进行蒸镀，可以避免由于掩模装置的像素开孔位置的偏移从而导致的有机薄膜蒸镀位置的偏移，从而可以避免所制备的显示产品的显示画面出现混色的不良现象，提高了显示产品的质量。另一方面，由于第一掩模板和层叠在第一掩模板上的第二掩模板均直接固定在框架上，因此，第一掩模板和第二掩模板之间不会产生紧密的贴合，第一掩模板和第二掩模板之间具有合适的间距，从而有利于蒸镀过程中清洗药液的流淌，因此可以有效改善蒸镀过程中清洗药液残留在第一掩模板和第二掩模板之间的不良现象。
第二掩模板20为精细金属掩模板。例如，第二掩模开口202的平面形状为常规矩形，因此，第二掩模板20自身的张网精度和平坦度等会比较好，不易出现变形、褶皱、像素开口位置偏移等不良现象。第二掩模板20的材料例如包括铜、铝、铜合金、铝合金、因瓦合金、镍铁合金等任意适合的材料，本实施例对此不做具体的限定。
例如，第二掩模板20的厚度为20μm～40μm。第二掩模板20的厚度过小不利于张网后的第二掩模板20的稳定。例如，第二掩模板20的平面形状整体为矩形，例如为条形。第二掩模板20的两边同时张网，即沿第二掩模板20的延伸方向，同时从第二掩模板20的两端对其施加力的作用使第二掩模板20展开并拉紧，这有利于调整张网精度和控制张网变形，以使夹持部与安装槽焊接后结构稳定，有利于延长掩模装置的使用寿命。
例如，如图1和图2A所示，框架2包括内侧区域24和至少部分围绕内侧区域24的(即位于框架的周边区域)减薄区25，减薄区25在垂直于基板11方向上的厚度小于框架2的内侧区域24在垂直于基板11方向上的厚度。减薄区25的尺寸请见之前的描述。例如，第二掩模板20通过焊接固定于框架2上，例如焊接于多个安装槽23中相邻的两个之间的内侧区域24上。此时，由于减薄区25的厚度比内侧区域24小，因此在垂直于基板11的方向上，减薄区25与内侧区域24存在高度差，可以将第二掩模板20的延伸至内侧区域24外侧(靠近减薄区25的一侧)的边缘部分203向下按压至与减薄区25贴合，例如可通过在与减薄区25贴合的边缘部分203上设置压片而将第二掩模板20的边缘部分203更好地固定，从而使第二掩模板20的张网更加稳定。因此，一方面，减薄区25有利于掩模装置的薄化；另一方面，减薄区25还有利于使第二掩模板20的张网更加稳定、固定更加牢固。
本公开至少一实施例还提供一种掩模装置的制作方法，参考图2A-图2C，该制作方法包括：在框架2上形成多个安装槽23，框架2包括内边缘21和外边缘22；在基板11上形成多个第一掩模开口12和从基板11的至少部分周边向外凸出延伸的至少一个夹持部13；将多个夹持部13一一对应地安装在多个安装槽23中，从而将基板11安装到框架2上。夹持部13沿从基板11到远离基板11延伸的方向为第一方向，垂直于第一方向的方向为第二方向；多个夹持部13中的至少一个夹持部包括与基板11连接的第一部分131，例如，在图2C所示的实施例中，沿第一方向，整个第一部分131的在第二方向上的尺寸逐渐减小；第一部分131的至少部分能够伸进与该夹持部13对应的安装槽23内，即，多个夹持部13的每个与基板11的连接处位于与该夹持部13对应的安装槽23内，使得基板11与框架2的内边缘21在基板11的平行于第一方向的面所在的平面上的正投影之间的间隙小于所述至少一个夹持部13的第一部分131在第一方向上的尺寸。例如，多个夹持部13的每个与基板11的连接处位于与该夹持部13对应的安装槽23内，第一掩模板1与内边缘21之间的缝隙3小于2mm。
例如，在一个实施例中，第一掩模板1与内边缘21在第一掩模板1所在的平面上的投影基本相接，即，基板11与内边缘21之间的缝隙3的宽度基本为零，或者，第一掩模板1与内边缘21在第一掩模板1所在的平面上的投影的重叠区域的面积大于等于0，以达到更严密的组装效果，更好地防止该缝隙3所导致的上述技术问题。
例如，通过构图工艺例如光刻工艺形成多个夹持部13和多个安装槽23的图案。例如，如图2A-图2C所示，多个夹持部13的至少一个夹持部13，例如每个夹持部13，还包括位于第一部分131的远离基板11的一侧且沿远离基板11方向凸出延伸的第二部分132，第二部分132与基板11的第一部分131连接。例如，在图2C所示的实施例中，沿第一方向，每个夹持部13的第一部分131整体在第二方向上的宽度逐渐减小。第一部分131包括侧边，第一部分131的侧边朝向与该夹持部13相邻的夹持部13；第一部分131的侧边具有与基板11平滑连接且朝向夹持部13凹陷的弧形部1310。基板11的周边包括侧面110，基侧面110上设置有多个夹持部13且侧面110面向框架2的内边缘21；弧形部1310在基板11的侧面所在的平面上的正投影位于至少一个夹持部13整体在基板11的侧面110所在的平面上的正投影内。例如，在图2A-图2C所示的实施例中，第一部分131的面向与该夹持部13对应的安装槽23的侧壁230的两侧均具有弧形部1310。由于向内凹陷的弧形部1310整体在第二方向上的宽度沿第一方向逐渐减小，从而能够将该夹持部13的与基板11连接的一端整体收缩至与之对应的安装槽23中，即该夹持部13的与基板11连接的一端完全位于与之对应的安装槽23中，从而减小第一掩模板1与内边缘21在第一掩模板1所在的平面上的投影之间的缝隙3，达到上述技术效果。
在将多个夹持部13一一对应地安装在多个安装槽23中之后所得到的掩模装置中，例如，如图2A和图2C所示，对于多个夹持部13的每个，在第一掩模板1所在的平面上，弧形部1310与基板11的侧面110(如图1所示，基板11的靠近框架2的内边缘21的边)的连接点B与夹持部13的第二部分132的边缘点A(第二部分132的远离基板的一端的边缘上的靠近与之对应的安装槽23的侧壁230的点)位于同一垂直于内边缘23的直线上，例如直线l，弧形部1310与基板11的侧面110的连接点B位于与该夹持部13对应的安装槽23内，以保证将整个弧形部1310完全置于与其对应的安装槽23内，从而减小上述缝隙3。
需要说明的是，在基板所在的平面上，弧形部与基板侧边的连接点是指：弧形部在该连接点处的切线刚好位于基板侧面上。
例如，基板11的侧面110包括位于多个夹持部13中相邻两个之间的平面1101，平面1101即图2C中基板11的侧面110的位于多个夹持部13中相邻的两个之间的部分。如图2A所示，平面1101在内边缘21所在平面上的正投影与内边缘21重叠，弧形部1310与其对应的安装槽23的侧壁230不接触，以进一步保证将整个弧形部1310完全置于与其对应的安装槽23内，从而减小上述缝隙3。
例如，如图2C所示，在第一方向上，多个夹持部13的每个的第二部分132在垂直于第一方向上的宽度w逐渐减小，以利于与弧形部131平滑相接。
例如，如图2A-图2C所示，多个夹持部13的每个的第二部分132在第一掩模板1所在平面上的平面形状为倒梯形，即第二部分132的平行于第一方向的截面的形状为倒梯形。
通过本公开实施例提供的制作方法得到的图2A-图2C所示的掩模装置的上述特征及其技术效果以及其他未提及的结构特征及其技术效果均与之前关于掩模装置的实施例的相同，请参考之前的描述。
另一个实施例提供的制作方法与上述制作方法的区别在于，通过构图工艺得到的多个安装槽的每个的形状与之前的实施例中的不同，通过构图工艺得到的多个夹持部的每个的形状与之前的不同。如图3A-图3D所示，多个安装槽23的每个包括：主体部231和至少一个扩展部232。主体部231包括靠近内边缘21的第一部分2311和远离内边缘21的第二部分2312，主体部231的第一部分2311与主体部231的第二部分2312相通，扩展部232位于主体部231的第一部分2311的面向相邻的安装槽23的侧面且沿远离主体部231的方向延伸；扩展部232包括外轮廓2321，外轮廓2321与内边缘21相接。例如，在本实施例中，多个安装槽23的每个包括两个扩展部232。如此，夹持部13与基板11的连接处的由于制作工艺限制而产生的倒角133(例如，在本实施例中，弧形部也可以为由于制作工艺限制而产生的倒角，在其他实施例中，弧形部可以为特意按上述关于弧形部的特征而进行设计的结构)可被容纳于与之对应的扩展部232内，从而减小第一掩模板1与内边缘21在第一掩模板1所在的平面上的投影之间的缝隙3，达到上述技术效果。
例如，结合图3A和图3D，基板11的侧面110包括位于多个夹持部13中相邻两个之间的平面1101，平面1101在框架2的内边缘21所在平面上的正投影与内边缘21重叠，倒角133与框架2的内边缘21不接触，以进一步保证将整个倒角133完全置于与其对应的安装槽23内，从而减小上述缝隙3。
如图3A和图3C所示，扩展部232包括沿远离基板11的方向凸起的弧形。该弧形有利于提供充分的容纳倒角133的空间，从而能够保证将整个倒角133完全容纳于扩展部232中。
例如，在沿第二方向且沿从靠近主体部231到远离主体部231的方向，扩展部232的在第一方向上的尺寸逐渐减小。从而，从而，扩展部232的尺寸的变化趋势与倒角133的尺寸在第一方向上的变化趋势一致，能够减小扩展部232与倒角133之间的缝隙4，有利于使多个夹持部13的每个与与其对应的安装槽23的结合更加严密性和紧凑，利于提高掩模装置10的稳定性。
例如，多个夹持部13的每个包括在第一掩模板1所在平面上的平面形状为矩形的部分，如图3D中的位于倒角133的远离基板11的一侧的第二部分132的沿第一方向的截面的形状为矩形。或者，在其他实施例中，多个夹持部13的第二部分132的沿第一方向的截面的形状为倒梯形的部分，该倒梯形包括靠近基板11的第一边以及远离基板11的第二边，第一边小于第二边，即图3D中的第二部分132被该倒梯形所替换。与倒梯形的第一边大于第二边的情形相比，本实施例有利于夹持部13的靠近基板11的一端被容纳于与其对应的安装槽23中，同时，有利于夹持部13与该安装槽23结合的稳定性。
通过本公开实施例提供的制作方法得到的图3A-图3C所示的掩模装置的上述特征及其技术效果以及其他未提及的结构特征及其技术效果均与之前关于掩模装置的实施例的相同，请参考之前的描述。
例如，如图5所示，本公开又一实施例提供的掩模装置的制作方法还包括：提供至少一个第二掩模板20，至少一个第二掩模板20的每个分别位于多个安装槽23中相邻的两个之间；将至少一个第二掩模板20层叠设置于第一掩模板1上且直接固定在框架2上；至少一个第二掩模板20的每个包括至少一个第二掩模开口202，至少一个第二掩模开口202与第一掩模开口12至少部分重叠。例如，掩模装置包括多个第二掩模板20。例如，通过焊接方法将至少一个第二掩模板20固定在框架2上。关于第二掩模板20的其他特征以及设置至少一个第二掩模板20的技术效果请参考之前实施例中的描述。
本公开至少一实施例还提供一种掩模板，该掩模板包括：基板、位于在所述基板上的至少一个第一掩模开口，以及多个夹持部；多个夹持部从所述基板的至少部分周边向外凸出延伸，其中，所述夹持部沿从所述基板到远离所述基板延伸的方向为第一方向，垂直于所述第一方向的方向为第二方向；所述多个夹持部中的至少一个所述夹持部包括与所述基板连接的第一部分；沿所述第一方向，所述至少一个夹持部的第一部分的至少部分在所述第二方向上的宽度逐渐减小。
示范性地，如图2A-2C所示，第一掩模板1包括基板11、设置在所述基板上的至少一个第一掩模开口12和从基板11的至少部分周边向外凸出延伸的多个夹持部13；夹持部13沿从基板11到远离基板11延伸的方向为第一方向，垂直于第一方向的方向为第二方向；多个夹持部13中的至少一个夹持部13包括与基板11连接的第一部分；沿第一方向，至少一个夹持部13的第一部分的至少部分在第二方向上的宽度逐渐减小。如图2C所示，位置B为弧形部1310与基板11的侧面110的交点，位置C为第一部分131与第二部分132交界处。即沿第一方向且从位置B到位置C，每个夹持部13的第一部分131整体在第二方向上的宽度逐渐减小。又例如，在图2D所示的实施例中，每个夹持部13的第一部分131的在第二方向上的宽度先逐渐减小后逐渐增大。位置B为弧形部1310与基板11的侧面110的交点，位置C处第一部分131的在第二方向上的宽度最小，位置D为第一部分131与第二部分132交界处。沿第一方向，由位置B到位置C，每个夹持部13的第一部分131的在第二方向上的宽度逐渐减小；沿第一方向且由位置C到位置D，每个夹持部13的第一部分131的在第二方向上的宽度逐渐增大。在本公开实施例提供的掩模板中，由于向内凹陷的弧形部1310的至少部分在第二方向上的宽度沿第一方向逐渐减小，当将掩模板安装到框架上时，能够将该夹持部13的与基板11连接的一端整体收缩至与之对应的安装槽中，对安装槽的形状要求较低，从而减小该掩模板与框架之间的缝隙。
例如，第一部分131包括侧边，第一部分131的侧边朝向与该夹持部13相邻的夹持部13；第一部分131的侧边具有与基板11平滑连接且朝向夹持部13凹陷的弧形部1310。基板11的周边包括侧面110，侧面110与基板11的平行于第一方向的面相交，侧面110上设置有多个夹持部13；弧形部1310在基板11的侧面110所在的平面上的正投影位于至少一个夹持部13整体在基板11的侧面110所在的平面上的正投影内，以保证夹持部13整体均位于安装槽23中，从而使该掩模板与框架之间的缝隙接近于零。
例如，如图2C所示，多个夹持部13的至少一个夹持部13，例如每个夹持部13，包括位于第一部分131的远离基板11的一侧且沿远离基板11方向凸出延伸的第二部分132，第二部分132与基板11的第一部分131连接。弧形部1310与基板11的侧面110的连接点B位于所述第二部分的远离所述基板的边缘在所述基板侧面上的正投影内。即，弧形部11与基板11的侧面110的连接点B位于第二部分132的远离基板11的边缘A在基板11的侧面110所在的平面上的正投影的靠近夹持部13的一侧，以保证夹持部13整体均位于安装槽23中，将整个弧形部1310完全置于与其对应的安装槽内，从而使该掩模板与框架之间的缝隙接近于零。
例如，如图2C所示，沿第一方向且从位置B到位置C，每个夹持部13的第一部分131整体在第二方向上的宽度逐渐减小，从而将夹持部13的与基板11连接的一端收缩至与之对应的安装槽23中，以利于减小上述掩模板与框架之间的缝隙；或者，如图2D所示，每个夹持部13的第一部分131的在第二方向上的宽度先逐渐减小后逐渐增大。位置B为弧形部1310与基板11的侧面110的交点，位置C处第一部分131的在第二方向上的宽度最小，位置D为第一部分131与第二部分132交界处。沿第一方向，由位置B到位置C，每个夹持部13的第一部分131的在第二方向上的宽度逐渐减小；由位置C到位置D，每个夹持部13的第一部分131的在第二方向上的宽度逐渐增大，同样利于减小上述掩模板与框架之间的缝隙。并且，在第二方向上，每个夹持部13的第二部分132在第二方上的宽度w逐渐增大，即在与第一方向相反的方向上，夹持部1的每个的第二部分132在第二方向上的宽度w逐渐减小，这有利于夹持部13的第二部分132与弧形部131平滑衔接。
例如，如图2A-图2C所示，多个夹持部13的每个的第二部分132在第一掩模板1所在平面上的平面形状为倒梯形。这种情况易于制作，当然，不限于是倒梯形，本公开实施例对此不作限定。
本开实施例中，掩模板的其他未提及的特征均与掩模装置实施例中的第一掩模板的特征相同，可参考之前的描述，在此不再赘述。
本公开至少一实施例还提供一种框架，该框架包括：多个安装槽，其中，所述多个安装槽中的至少一个安装槽包括：主体部和至少一个扩展部；至少一个扩展部与所述主体部相通，其中，所述主体部包括靠近所述内边缘的第一部分和远离所述内边缘的第二部分，所述主体部的第一部分与所述主体部的第二部分相通，所述扩展部位于所述主体部的第一部分的面向相邻的安装槽的侧面且沿远离所述主体部的方向延伸；所述扩展部包括外轮廓，所述外轮廓与所述内边缘相接。
示例性地，如图3A和图3C所示，多个安装槽23的每个包括主体部231和至少一个扩展部232。主体部231包括靠近内边缘21的第一部分2311和远离内边缘21的第二部分2312，主体部231的第一部分2311与主体部231的第二部分2312相通，扩展部232位于主体部231的第一部分2311的面向相邻的安装槽23的侧面且沿远离主体部231的方向延伸；扩展部232包括外轮廓2321，外轮廓2321与内边缘21相接。例如，在本实施例中，多个安装槽23的每个包括两个扩展部232。多个安装槽23可用于容纳需要安装在该框架上的掩模板的夹持部13，从而将掩模板安装于框架上。由于制作工艺的限制，掩模板的夹持部常常具有倒角133，如此，倒角133可被容纳于与之对应的扩展部232内，从而使整个夹持部13被容纳于安装槽23中，减小了第一掩模板1与内边缘21在第一掩模板1所在的平面上的投影之间的缝隙，能够防止或改善在蒸镀过程中上述缝隙过大而导致的安装不稳定、堆积灰尘等问题。
例如，沿第二方向且沿从靠近主体部231到远离主体部231的方向，扩展部232的在第一方向上的尺寸逐渐减小。从而，扩展部232的尺寸的变化趋势与倒角133的尺寸在第一方向上的变化趋势一致，能够减小扩展部232与倒角133之间的缝隙4，有利于使多个夹持部13的每个与与其对应的安装槽23的结合更加严密性和紧凑，利于提高掩模装置10的稳定性。当然，在其他实施例中，扩展部232的上述的在主体部231的延伸方向上的高度也可以保持不变。
本开实施例中，框架的其他未提及的特征均与掩模装置实施例中的掩模板的特征相同，可参考之前的描述，在此不再赘述。
以上所述仅是本公开的示范性实施方式，而非用于限制本公开的保护范围，本公开的保护范围根据权利要求书所界定的范围确定。

Claims (15)

1.一种掩模装置，包括：
框架，包括内边缘、外边缘和多个安装槽；
第一掩模板，包括基板、设置在所述基板上的至少一个第一掩模开口和从所述基板的至少部分周边向外凸出延伸的多个夹持部，其中，
所述多个夹持部被配置为一一对应地安装在所述多个安装槽中，从而所述基板被配置为安装在所述框架的内边缘上；
所述夹持部沿从所述基板到远离所述基板延伸的方向为第一方向，垂直于所述第一方向的方向为第二方向；所述多个夹持部中的至少一个所述夹持部包括与所述基板连接的第一部分，沿所述第一方向，所述第一部分的至少部分的在所述第二方向上的尺寸逐渐减小；所述第一部分的侧边具有与所述基板平滑连接且向内凹陷的弧形部；
所述第一部分的至少部分能够伸进与该夹持部对应的安装槽内，使得所述基板与所述框架的内边缘在所述基板的平行于所述第一方向的面所在的平面上的正投影之间的间隙小于所述至少一个所述夹持部的所述第一部分在第一方向上的尺寸，且所述弧形部完全位于所述安装槽内且与所述安装槽的侧壁不接触。
2.根据权利要求1所述的掩模装置，其中，所述第一掩模板与所述内边缘在所述第一掩模板所在的平面上的投影基本相接。
3.根据权利要求1或2所述的掩模装置，其中，所述多个夹持部中的至少一个夹持部还包括位于所述第一部分的远离所述基板的一侧且沿远离所述基板方向凸出延伸的第二部分，
所述基板的周边包括侧面，所述基板的所述侧面上设置有所述多个夹持部且所述侧面面向所述框架的内边缘；所述弧形部在所述基板的所述侧面所在的平面上的正投影位于所述至少一个夹持部整体在所述基板的所述侧面所在的平面上的正投影内。
4.根据权利要求3所述掩模装置，其中，所有所述多个夹持部的形状和尺寸相同，所有所述弧形部的形状和尺寸相同；
所述弧形部的在所述第一方向上的尺寸和所述夹持部的在所述第一方向上的最大尺寸的比为0.15～0.2。
5.根据权利要求3所述的掩模装置，其中，在所述基板所在的平面上，所述弧形部与所述基板的所述侧面的连接点位于所述第二部分的远离所述基板的边缘在所述基板的侧面上的正投影内；所述弧形部与所述基板的所述侧面的连接点位于与该夹持部对应的安装槽在所述基板的所述侧面的正投影内。
6.根据权利要求5所述的掩模装置，其中，所述基板的侧面包括位于所述多个夹持部中相邻两个夹持部之间的平面，该平面在所述内边缘所在平面上的正投影与所述框架的内边缘重叠，所述弧形部与所述框架的内边缘不接触。
7.根据权利要求3所述的掩模装置，其中，沿所述第一方向，所述至少一个夹持部的第二部分在所述第二方向的宽度逐渐减增大；所述至少一个夹持部的所述第一部分整体在所述第二方向上的宽度逐渐减小，或者，所述至少一个夹持部的所述第一部分的在所述第二方向上的宽度先逐渐减小后逐渐增大。
8.根据权利要求7所述的掩模装置，其中，所述至少一个夹持部的第二部分在所述基板所在平面上的平面形状为倒梯形。
9.根据权利要求1所述的掩模装置，其中，所述多个安装槽中的至少一个安装槽包括：
主体部；
至少一个扩展部，与所述主体部相通，其中，所述主体部包括靠近所述内边缘的第一部分和远离所述内边缘的第二部分，所述主体部的第一部分与所述主体部的第二部分相通，所述扩展部位于所述主体部的第一部分的面向相邻的安装槽的侧面且沿远离所述主体部的方向延伸；所述扩展部包括外轮廓，所述外轮廓与所述内边缘相接。
10.根据权利要求9所述的掩模装置，其中，所述弧形部配置为整体位于与该夹持部对应的所述安装槽中，且所述弧形部的至少部分配置为被容纳于所述扩展部中。
11.根据权利要求10所述的掩模装置，其中，所述基板的侧面包括位于多个夹持部中相邻两个之间的平面，所述平面在所述内边缘所在平面上的正投影与所述内边缘重叠，所述弧形部与所述框架的内边缘不接触。
12.根据权利要求9-11任一所述的掩模装置，其中，沿所述第二方向且沿从靠近所述主体部到远离所述主体部的方向，所述扩展部的在所述第一方向上的尺寸逐渐减小。
13.根据权利要求9-11任一所述的掩模装置，其中，所述多个夹持部的每个的所述第二部分的平行于所述第一方向的截面的形状为矩形或倒梯形，所述倒梯形包括靠近所述基板的第一边以及远离所述基板的第二边，所述第一边小于所述第二边。
14.根据权利要求1-2和9-11任一所述的掩模装置，其中，所述多个安装槽的每个的在所述第二方向上的最大宽度大于所述多个夹持部的每个的在所述第二方向上的最大宽度，且所述多个安装槽的每个的所述最大宽度与所述多个夹持部的每个的所述最大宽度的差的范围为0.5mm～1mm。
15.根据权利要求1-2和9-11任一所述的掩模装置，其中，所述多个安装槽的在垂直于所述第一掩模板所在平面的方向上的深度大于或等于所述夹持部的在垂直于所述第一掩模板所在平面的方向上的厚度。
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