KR101899093B1 - 증착 마스크의 제조 장치 - Google Patents

증착 마스크의 제조 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR101899093B1
KR101899093B1 KR1020120011423A KR20120011423A KR101899093B1 KR 101899093 B1 KR101899093 B1 KR 101899093B1 KR 1020120011423 A KR1020120011423 A KR 1020120011423A KR 20120011423 A KR20120011423 A KR 20120011423A KR 101899093 B1 KR101899093 B1 KR 101899093B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
clamper
mask sheet
mask
end portion
divided
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
KR1020120011423A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20130090249A (ko
Inventor
김용환
Original Assignee
삼성디스플레이 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성디스플레이 주식회사 filed Critical 삼성디스플레이 주식회사
Priority to KR1020120011423A priority Critical patent/KR101899093B1/ko
Priority to US13/712,912 priority patent/US9409203B2/en
Priority to TW102102218A priority patent/TWI571523B/zh
Priority to CN201310041989.6A priority patent/CN103243294B/zh
Publication of KR20130090249A publication Critical patent/KR20130090249A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101899093B1 publication Critical patent/KR101899093B1/ko
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B12/00—Arrangements for controlling delivery; Arrangements for controlling the spray area
    • B05B12/16—Arrangements for controlling delivery; Arrangements for controlling the spray area for controlling the spray area
    • B05B12/20—Masking elements, i.e. elements defining uncoated areas on an object to be coated
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C21/00—Accessories or implements for use in connection with applying liquids or other fluent materials to surfaces, not provided for in groups B05C1/00 - B05C19/00
    • B05C21/005—Masking devices
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
    • C23C14/042—Coating on selected surface areas, e.g. using masks using masks
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
    • C23C16/042—Coating on selected surface areas, e.g. using masks using masks
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)

Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 증착 마스크의 제조 장치는 핀 홀이 형성되어 있는 분할 마스크 시트의 단부를 고정하는 복수개의 클램퍼, 상기 클램퍼에 설치되어 있으며 상기 핀 홀에 삽입되는 클램핑 핀, 상기 클램핑 핀을 승강시키는 승강기를 포함할 수 있다. 따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 마스크의 제조 장치는 분할 마스크 시트를 고정하는 클램퍼에 흡착 홈과 클램핑 핀을 설치함으로써, 분할 마스크 시트가 마스크 프레임에 로딩되기 전에 평평하게 펴져 있는 상태로 클램핑을 할 수 있다. 따라서, 분할 마스크 시트를 클램핑하는 단계에서 발생하는 주름 및 미스 클램핑 현상을 제거할 수 있다.

Description

증착 마스크의 제조 장치{MANUFACTURING DEVICE OF DEPOSITION MASK}
본 발명은 증착 마스크의 제조 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 유기 발광 표시 장치의 제조에 사용되는 증착 마스크의 제조 장치에 관한 것이다.
유기 발광 표시 장치는 두 개의 전극과 그 사이에 위치하는 유기 발광층을 포함하며, 하나의 전극으로부터 주입된 전자(electron)와 다른 전극으로부터 주입된 정공(hole)이 유기 발광 부재에서 결합하여 여기자(exciton)를 형성하고, 여기자가 에너지를 방출하면서 발광한다.
이러한 유기 발광층을 형성하기 위해서는 유기물을 기판 위에 증착해야 하며, 이를 위해 유기물이 채워져 있는 증착원을 가열하여 유기물을 증발시켜 기판 위로 분사시킨다. 이 때, 증발하여 분사된 유기물을 특정 패턴으로 증착시키기 위하여 특정 위치에 개구부를 형성하여 증착이 되게 하고 나머지 위치는 금속 재질로 된 차단부로 가리는 증착 마스크를 사용한다. 이러한 증착 마스크는 제조 방법에 따라 원장 방식의 원장 마스크와 분할 방식의 분할 마스크로 나뉜다. 원장 방식은 원장 마스크 시트를 원장 마스크 제조 장치의 상하좌우에 설치된 클램퍼를 이용하여 사방으로 인장력을 인가한 후에 원장 마스크 시트를 마스크 프레임에 용접하여 증착 마스크를 제조하는 방법이고, 분할 방식은 셀(Cell) 단위로 분할한 분할 마스크 시트의 양단부를 분할 마스크 제조 장치의 양단에 설치된 클램퍼를 이용하여 양단 방향으로 인장력을 인가한 후에 분할 마스크 시트를 마스크 프레임에 용접하여 증착 마스크를 제조하는 방법이다.
특히 분할 방식은 양품을 선별하여 사용할 수 있고, 수선(repair)이 용이하므로 양산에 주로 적용되고 있다. 그러나, 분할 마스크는 분할 마스크 시트의 양단부를 클램퍼에 물려 인장력을 인가하므로 분할 마스크 시트의 양단부를 중심으로 주름이 발생할 수 있다. 이는 박막의 분할 마스크 시트를 클램핑하는 경우에 클램퍼가 클램핑하는 힘을 박막의 분할 마스크 시트가 견디지 못해 분할 마스크의 양단부를 중심으로 주름이 발생하는 것이다. 주름이 발생하지 않도록 클램핑하는 힘을 약하게 할 수 있으나, 클램핑하는 힘이 약한 경우에는 정확한 인장력을 인가하지 못하고 클램핑이 풀릴 수도 있다.
또한, 분할 마스크 시트의 길이 방향으로 이미 주름이 발생한 경우 분할 마스크 시트의 양단부에 인장력을 인가하면서 클램핑을 하여 주름을 제거할 수 있으나, 분할 마스크 시트의 폭방향으로 이미 주름이 발생한 경우에는 분할 마스크 시트의 양단부에 인장력을 인가하여도 주름을 제거할 수 없다.
또한, 분할 마스크 시트는 마스크 프레임에 탑재되기 전에 스테이지에서 진공으로 고정되어 있으나, 클램퍼가 분할 마스크 시트를 클램핑하면서 분할 마스크 시트의 위치가 약간 변경될 수 있어 정확한 위치에서 분할 마스크 시트의 양단부를 클램핑하지 못할 수 있다.
본 발명은 전술한 배경 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 클램핑 시 분할 마스크 시트에 주름이 발생하는 것을 방지하고 미스 클램핑을 억제하는 증착 마스크의 제조 장치를 제공한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 증착 마스크의 제조 장치는 핀 홀이 형성되어 있는 분할 마스크 시트의 단부를 고정하는 복수개의 클램퍼, 상기 클램퍼에 설치되어 있으며 상기 핀 홀에 삽입되는 클램핑 핀, 상기 클램핑 핀을 승강시키는 승강기를 포함할 수 있다.
상기 클램퍼는 상기 분할 마스크 시트의 단부의 상면과 접촉하는 상부 클램퍼, 상기 분할 마스크 시트의 단부의 하면과 접촉하는 하부 클램퍼를 포함하고, 상기 하부 클램퍼에는 상기 분할 마스크 시트의 단부를 흡착하는 흡착 홈이 형성되어 있을 수 있다.
상기 흡착 홈에는 상기 클램핑 핀이 위치하고 있을 수 있다.
상기 하부 클램퍼에는 상기 클램핑 핀이 승강할 수 있는 승강 구멍이 형성되어 있을 수 있다.
상기 승강기는 상기 승강 구멍을 통해 상기 클램핑 핀과 연결되어 있을 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 분할 마스크 시트를 고정하는 클램퍼에 흡착 홈과 클램핑 핀을 설치함으로써, 분할 마스크 시트가 마스크 프레임에 로딩되기 전에 평평하게 펴져 있는 상태로 클램핑을 할 수 있다. 따라서, 분할 마스크 시트를 클램핑하는 단계에서 발생하는 주름 및 미스 클램핑 현상을 제거할 수 있다.
또한, 4개의 사선 방향으로 분할 마스크 시트를 인장하므로 분할 마스크 시트 자체의 폭 방향의 주름도 제거할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 마스크의 제조 장치의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 마스크의 제조 장치에 사용되는 증착 마스크의 평면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 마스크의 제조 장치의 클램퍼의 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 마스크의 제조 장치의 단면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 마스크의 제조 장치를 이용하여 증착 마스크에서 주름을 제거하는 방법을 도시한 도면이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.
또한, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다.
또한, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
그러면 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 마스크에 대하여 도 1 내지 도 5를 참고로 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 마스크의 제조 장치의 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 마스크의 제조 장치에 사용되는 증착 마스크의 평면도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 마스크의 제조 장치의 클램퍼의 사시도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 마스크의 제조 장치의 단면도이다.
도 1 내지 도 4에 도시한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 마스크의 제조 장치는 핀 홀(12a, 13a, 14a, 15a)이 형성되어 있는 분할 마스크 시트(10)의 단부를 고정하는 복수개의 클램퍼(100), 클램퍼(100)에 설치되어 있으며 핀 홀(12a, 13a, 14a, 15a)에 삽입되는 클램핑 핀(200), 클램핑 핀(200)을 승강시키는 승강기(300)를 포함한다.
분할 마스크 시트(10)는 마스크 패턴(1)이 형성되어 있는 마스크 본체(11), 마스크 본체(11)의 좌측 상단으로 돌출되는 좌측 상단부(12), 마스크 본체(11)의 좌측 하단으로 돌출되며 좌측 상단부(12)와 이격되어 있는 좌측 하단부(13), 마스크 본체(11)의 우측 상단으로 돌출되는 우측 상단부(14), 마스크 본체(11)의 우측 하단으로 돌출되며 우측 상단부(14)와 이격되어 있는 우측 하단부(15)를 포함한다. 그리고, 좌측 상단부(12), 좌측 하단부(13), 우측 상단부(14) 및 우측 하단부(15)에는 핀 홀(12a, 13a, 14a, 15a)이 각각 형성되어 있다.
복수개의 클램퍼(100)는 분할 마스크 시트(10)의 좌측 상단부(12)를 고정하는 좌측 상단 클램퍼(110), 분할 마스크 시트(10)의 좌측 하단부(13)를 고정하는 좌측 하단 클램퍼(120), 분할 마스크 시트(10)의 우측 상단부(14)를 고정하는 우측 상단 클램퍼(130) 및 분할 마스크 시트(10)의 우측 하단부(15)를 고정하는 우측 하단 클램퍼(140)를 포함한다.
이러한 4개의 클램퍼(110, 120, 130, 140)가 분할 마스크 시트(10)에 사방으로 인장력을 인가하며 분할 마스크 시트(10)를 고정함으로써 분할 마스크 시트(10)에 주름에 발생하는 것을 억제한다.
4개의 클램퍼(110, 120, 130, 140) 중 좌측 상단 클램퍼(110)를 기준으로 이하에서 그 구조에 대해 상세히 설명하며, 나머지 3개의 클램퍼(120, 130, 140)의 구조는 좌측 상단 클램퍼(110)의 구조와 동일하다.
좌측 상단 클램퍼(110)는 분할 마스크 시트(10)의 좌측 상단부(12)의 상면과 접촉하는 상부 클램퍼(111), 분할 마스크 시트(10)의 좌측 상단부(12)의 하면과 접촉하는 하부 클램퍼(112)를 포함한다.
하부 클램퍼(112)에는 분할 마스크 시트(10)의 좌측 상단부(12)를 흡착하는 흡착 홈(112a)이 형성되어 있다. 흡착 홈(112a)은 흡착 홈(112a)의 내벽에 형성된 진공관(112b)을 통해 진공을 형성하는 진공 장치(400)에 연결되어 있다.
이러한 흡착 홈(112a)을 이용하여 분할 마스크 시트(10)의 좌측 상단부(12)를 흡착하여 고정함으로써 분할 마스크 시트(10)가 클램퍼(100)에 보다 편평하게 로딩되므로 클램핑 시 분할 마스크 시트(10)에 주름이 발생하는 것을 억제하고 미스 클램핑 현상을 제거할 수 있다.
이러한 흡착 홈(112a)에는 클램핑 핀(210)이 위치하고 있다. 클램핑 핀(210)은 분할 마스크 시트(10)의 좌측 상단부(12)에 형성된 핀 홀(12a)에 삽입되어 분할 마스크 시트(10)를 고정한다. 상부 클램퍼(111)에는 클램핑 핀(210)이 삽입될 수 있는 삽입 홈(111a)이 형성되어 있다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 마스크의 제조 장치를 이용하여 증착 마스크에서 주름을 제거하는 방법을 도시한 도면이다.
도 5에 도시한 바와 같이, 분할 마스크 시트(10)의 좌측 상단부(12), 좌측 하단부(13), 우측 상단부(14) 및 우측 하단부(15)에 형성된 핀 홀(12a, 13a, 14a, 14a)에 각각 클램핑 핀(210, 220, 230, 240)을 삽입하고, 클램핑 핀(210, 220, 230, 240)이 핀 홀(12a, 13a, 14a, 14a)의 사선 방향에 배치되도록 한다. 즉, 분할 마스크 시트(10)의 좌측 상단부(12)에 형성된 핀 홀(12a)에 삽입된 클램핑 핀(210)은 핀 홀(12a) 내부의 좌측 상부에 배치되고, 분할 마스크 시트(10)의 좌측 하단부(13)에 형성된 핀 홀(13a)에 삽입된 클램핑 핀(220)은 핀 홀(13a) 내부의 좌측 하부에 배치되고, 분할 마스크 시트(10)의 우측 상단부(14)에 형성된 핀 홀(14a)에 삽입된 클램핑 핀(230)은 핀 홀(14a) 내부의 우측 상부에 배치되고, 분할 마스크 시트(10)의 우측 하단부(15)에 형성된 핀 홀(15a)에 삽입된 클램핑 핀(240)은 핀 홀(15a) 내부의 우측 하부에 배치된다.
따라서, 클램핑 핀(210, 220, 230, 240)은 분할 마스크 시트(10)를 4개의 사선 방향(A, B, C, D)으로 인장하게 되므로, 분할 마스크 시트(10)의 길이 방향(L)과 폭 방향(W)으로 분할 마스크 시트(10)를 당기게 되어 분할 마스크 시트(10)에서 주름이 발생하는 것을 억제할 수 있다.
이와 같이, 분할 마스크 시트(10)가 마스크 프레임에 로딩되기 전에 자체적으로 발생하는 주름을 클램핑 핀(210, 220, 230, 240)을 이용하여 사선 방향으로 펴지게 하고, 이렇게 분할 마스크 시트(10)가 펴진 상태에서 클램핑을 하게 되므로 클랭핑 시 발생하는 주름을 효과적으로 제거할 수 있다.
또한, 클램핀 핀(210, 220, 230, 240)을 이용하여 4개의 사선 방향으로 분할 마스크 시트(10)를 인장하므로 분할 마스크 시트(10)의 폭 방향(W)의 주름도 제거할 수 있다.
한편, 하부 클램퍼(112)에는 클램핑 핀(210)이 승강할 수 있는 승강 구멍(112c)이 형성되어 있다. 승강 구멍(112c)은 흡착 홈(112a)의 바닥면에 형성되어 있다.
승강기(300)는 승강 구멍(112c)을 통해 클램핑 핀(210)과 연결되어 있으며, 승강기(300)를 이용하여 클램핑 핀(210)을 승강시킬 수 있다. 이러한 승강기(300)는 압축기 등을 포함할 수 있다.
분할 마스크 시트(10)의 두께가 두껍거나 분할 마스크 자체의 주름이 작은 경우에는 클랭핑 핀을 사용하지 않는 것이 바람직하므로 승강기(300)를 이용하여 클램핑 핀(210)을 승강 구멍(112c)으로 하강시켜 클램퍼(100)만으로 분할 마스크 시트(10)를 고정할 수 있다.
본 발명을 앞서 기재한 바에 따라 바람직한 실시예를 통해 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며 다음에 기재하는 특허청구범위의 개념과 범위를 벗어나지 않는 한, 다양한 수정 및 변형이 가능하다는 것을 본 발명이 속하는 기술 분야에 종사하는 자들은 쉽게 이해할 것이다.
10: 분할 마스트 시트 100: 클램퍼
200: 클램핑 핀 300: 승강기

Claims (6)

  1. 핀 홀이 형성되어 있는 분할 마스크 시트의 단부를 고정하는 복수개의 클램퍼,
    상기 클램퍼에 설치되어 있으며 상기 핀 홀에 삽입되는 클램핑 핀,
    상기 클램핑 핀을 승강시키는 승강기
    를 포함하고,
    상기 클램퍼는
    상기 분할 마스크 시트의 단부의 상면과 접촉하는 상부 클램퍼,
    상기 분할 마스크 시트의 단부의 하면과 접촉하는 하부 클램퍼
    를 포함하고,
    상기 하부 클램퍼에는 상기 분할 마스크 시트의 단부를 흡착하는 흡착 홈이 형성되어 있는 증착 마스크의 제조 장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에서,
    상기 흡착 홈에는 상기 클램핑 핀이 위치하고 있는 증착 마스크의 제조 장치.
  4. 제3항에서,
    상기 하부 클램퍼에는 상기 클램핑 핀이 승강할 수 있는 승강 구멍이 형성되어 있는 증착 마스크의 제조 장치.
  5. 제4항에서,
    상기 상부 클램퍼에는 상기 클램핑 핀이 삽입될 수 있는 삽입 홈이 형성되어 있는 증착 마스크의 제조 장치.
  6. 제4항에서,
    상기 승강기는 상기 승강 구멍을 통해 상기 클램핑 핀과 연결되어 있는 증착 마스크의 제조 장치.
KR1020120011423A 2012-02-03 2012-02-03 증착 마스크의 제조 장치 Active KR101899093B1 (ko)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020120011423A KR101899093B1 (ko) 2012-02-03 2012-02-03 증착 마스크의 제조 장치
US13/712,912 US9409203B2 (en) 2012-02-03 2012-12-12 Device for manufacture including a deposition mask
TW102102218A TWI571523B (zh) 2012-02-03 2013-01-21 用於包含沉積遮罩之製程之裝置
CN201310041989.6A CN103243294B (zh) 2012-02-03 2013-02-01 包括沉积掩模的制造装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020120011423A KR101899093B1 (ko) 2012-02-03 2012-02-03 증착 마스크의 제조 장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20130090249A KR20130090249A (ko) 2013-08-13
KR101899093B1 true KR101899093B1 (ko) 2018-09-17

Family

ID=48901782

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020120011423A Active KR101899093B1 (ko) 2012-02-03 2012-02-03 증착 마스크의 제조 장치

Country Status (4)

Country Link
US (1) US9409203B2 (ko)
KR (1) KR101899093B1 (ko)
CN (1) CN103243294B (ko)
TW (1) TWI571523B (ko)

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101813549B1 (ko) * 2011-05-06 2018-01-02 삼성디스플레이 주식회사 분할 마스크와 그 분할 마스크를 포함한 마스크 프레임 조립체의 조립장치
KR102366569B1 (ko) * 2015-07-01 2022-02-25 삼성디스플레이 주식회사 박막 증착용 마스크 인장 용접 장치
KR102608420B1 (ko) * 2016-03-09 2023-12-01 삼성디스플레이 주식회사 증착용 마스크, 표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법
CN106148892B (zh) * 2016-07-25 2019-04-02 京东方科技集团股份有限公司 一种子掩膜版的张网方法及掩膜版、基板、显示装置
KR102640221B1 (ko) * 2016-09-22 2024-02-23 삼성디스플레이 주식회사 분할 마스크의 제조 방법
CN106367718B (zh) * 2016-12-05 2018-10-30 京东方科技集团股份有限公司 一种掩膜板及其组装方法
CN106702318B (zh) * 2016-12-12 2018-11-23 京东方科技集团股份有限公司 掩膜框架及制造方法和掩膜板
JP6531856B2 (ja) * 2018-05-09 2019-06-19 大日本印刷株式会社 蒸着マスクの寸法測定方法、蒸着マスクの張力付与装置および蒸着マスクの寸法測定装置
KR102241770B1 (ko) * 2018-07-20 2021-04-19 주식회사 오럼머티리얼 프레임 일체형 마스크의 제조 방법
CN113423856B (zh) * 2019-11-05 2023-04-18 京东方科技集团股份有限公司 掩模装置、掩模板及框架
CN111394692B (zh) * 2020-05-09 2022-05-13 京东方科技集团股份有限公司 掩膜版
CN111952485B (zh) * 2020-08-20 2023-12-19 京东方科技集团股份有限公司 掩模板张网组件及张网装置、张网方法
JP2023109093A (ja) * 2022-01-26 2023-08-07 大日本印刷株式会社 マスク装置の製造装置、マスク及びマスク装置の製造方法

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005139493A (ja) * 2003-11-05 2005-06-02 Kansai Tlo Kk マスク着脱装置

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR0162964B1 (ko) 1995-12-30 1999-01-15 석진철 유압브레이커 치즐용 재료의 제조방법
EP1437926B1 (en) 2001-08-24 2008-08-27 Dai Nippon Printing Co., Ltd. Multi-face forming mask device for vacuum deposition
US20040163592A1 (en) 2003-02-20 2004-08-26 Tohoku Poineer Corporation Mask for vacuum deposition and organic EL display panel manufactured by using the same
JP4656886B2 (ja) 2004-07-23 2011-03-23 大日本印刷株式会社 金属薄板の枠貼り方法及び装置
KR20060104287A (ko) 2005-03-30 2006-10-09 엘지전자 주식회사 유기전계발광표시소자용 마스크의 클램핑 장치 및 방법
US20070148337A1 (en) * 2005-12-22 2007-06-28 Nichols Jonathan A Flame-perforated aperture masks
KR100774289B1 (ko) 2006-02-17 2007-11-08 주식회사 대우일렉트로닉스 유기물 증착 장치
KR100947442B1 (ko) 2007-11-20 2010-03-12 삼성모바일디스플레이주식회사 수직 증착형 마스크 제조장치 및 이를 이용한 수직 증착형마스크의 제조방법
KR101450728B1 (ko) 2008-05-28 2014-10-14 삼성디스플레이 주식회사 마스크 조립체 및 그의 제조 방법

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005139493A (ja) * 2003-11-05 2005-06-02 Kansai Tlo Kk マスク着脱装置

Also Published As

Publication number Publication date
TW201339348A (zh) 2013-10-01
US20130199443A1 (en) 2013-08-08
CN103243294A (zh) 2013-08-14
TWI571523B (zh) 2017-02-21
US9409203B2 (en) 2016-08-09
CN103243294B (zh) 2017-03-01
KR20130090249A (ko) 2013-08-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101899093B1 (ko) 증착 마스크의 제조 장치
US8951387B2 (en) Method and apparatus for peeling protection film for flat display panel
KR102219210B1 (ko) 단위 마스크 및 마스크 조립체
US8925480B2 (en) Mask stick and method of assembling a mask frame assembly by using the mask stick
US10081173B2 (en) Film peeling apparatus and a method of peeling film
KR100671658B1 (ko) 마스크 프레임 및 이를 사용한 마스크 고정방법
KR101813549B1 (ko) 분할 마스크와 그 분할 마스크를 포함한 마스크 프레임 조립체의 조립장치
TWI581057B (zh) 遮罩拉緊裝置、遮罩薄片、以及包含其之遮罩製造系統
US9039478B2 (en) Apparatus for manufacturing deposition mask assembly for flat panel display
KR102068222B1 (ko) 증착용 마스크 제조방법
US9530961B2 (en) Mask assembly for deposition, deposition apparatus, and method employing the same
WO2018120382A1 (zh) 精细掩膜板及其制作方法
US10553795B2 (en) Flexible display device manufacturing method and manufacturing apparatus
JP2020073726A5 (ko)
JP2018110109A (ja) 電界発光表示装置及びその製造方法
KR101481095B1 (ko) 기판의 클램핑 장치
JP2001068267A5 (ko)
KR102056368B1 (ko) 플렉서블 표시 장치의 제조 방법
TWI559595B (zh) 製造有機發光顯示裝置之方法
JP2008066269A (ja) 表示素子製造用マスク
KR20060021213A (ko) 도너 기판의 제조 방법 및 그를 이용한 유기 전계 발광소자의 제조 방법
KR20090103012A (ko) 유기전계발광소자의 제조장치 및 제조방법
KR20060102838A (ko) 마스크 프레임
KR101994676B1 (ko) 유기발광다이오드 표시장치의 제조 방법
KR20070020940A (ko) 마스크 스트레칭 장치

Legal Events

Date Code Title Description
PA0109 Patent application

St.27 status event code: A-0-1-A10-A12-nap-PA0109

N231 Notification of change of applicant
PN2301 Change of applicant

St.27 status event code: A-3-3-R10-R13-asn-PN2301

St.27 status event code: A-3-3-R10-R11-asn-PN2301

PG1501 Laying open of application

St.27 status event code: A-1-1-Q10-Q12-nap-PG1501

R18-X000 Changes to party contact information recorded

St.27 status event code: A-3-3-R10-R18-oth-X000

A201 Request for examination
PA0201 Request for examination

St.27 status event code: A-1-2-D10-D11-exm-PA0201

E902 Notification of reason for refusal
PE0902 Notice of grounds for rejection

St.27 status event code: A-1-2-D10-D21-exm-PE0902

E13-X000 Pre-grant limitation requested

St.27 status event code: A-2-3-E10-E13-lim-X000

P11-X000 Amendment of application requested

St.27 status event code: A-2-2-P10-P11-nap-X000

P13-X000 Application amended

St.27 status event code: A-2-2-P10-P13-nap-X000

E701 Decision to grant or registration of patent right
PE0701 Decision of registration

St.27 status event code: A-1-2-D10-D22-exm-PE0701

GRNT Written decision to grant
PR0701 Registration of establishment

St.27 status event code: A-2-4-F10-F11-exm-PR0701

PR1002 Payment of registration fee

St.27 status event code: A-2-2-U10-U11-oth-PR1002

Fee payment year number: 1

PG1601 Publication of registration

St.27 status event code: A-4-4-Q10-Q13-nap-PG1601

R18-X000 Changes to party contact information recorded

St.27 status event code: A-5-5-R10-R18-oth-X000

PR1001 Payment of annual fee

St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001

Fee payment year number: 4

PR1001 Payment of annual fee

St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001

Fee payment year number: 5

PR1001 Payment of annual fee

St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001

Fee payment year number: 6

P22-X000 Classification modified

St.27 status event code: A-4-4-P10-P22-nap-X000

PR1001 Payment of annual fee

St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001

Fee payment year number: 7

PR1001 Payment of annual fee

St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001

Fee payment year number: 8