KR101899093B1 - 증착 마스크의 제조 장치 - Google Patents

증착 마스크의 제조 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 증착 마스크의 제조 장치는 핀 홀이 형성되어 있는 분할 마스크 시트의 단부를 고정하는 복수개의 클램퍼, 상기 클램퍼에 설치되어 있으며 상기 핀 홀에 삽입되는 클램핑 핀, 상기 클램핑 핀을 승강시키는 승강기를 포함할 수 있다. 따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 마스크의 제조 장치는 분할 마스크 시트를 고정하는 클램퍼에 흡착 홈과 클램핑 핀을 설치함으로써, 분할 마스크 시트가 마스크 프레임에 로딩되기 전에 평평하게 펴져 있는 상태로 클램핑을 할 수 있다. 따라서, 분할 마스크 시트를 클램핑하는 단계에서 발생하는 주름 및 미스 클램핑 현상을 제거할 수 있다.

Description

증착 마스크의 제조 장치{MANUFACTURING DEVICE OF DEPOSITION MASK}
본 발명은 증착 마스크의 제조 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 유기 발광 표시 장치의 제조에 사용되는 증착 마스크의 제조 장치에 관한 것이다.
유기 발광 표시 장치는 두 개의 전극과 그 사이에 위치하는 유기 발광층을 포함하며, 하나의 전극으로부터 주입된 전자(electron)와 다른 전극으로부터 주입된 정공(hole)이 유기 발광 부재에서 결합하여 여기자(exciton)를 형성하고, 여기자가 에너지를 방출하면서 발광한다.
이러한 유기 발광층을 형성하기 위해서는 유기물을 기판 위에 증착해야 하며, 이를 위해 유기물이 채워져 있는 증착원을 가열하여 유기물을 증발시켜 기판 위로 분사시킨다. 이 때, 증발하여 분사된 유기물을 특정 패턴으로 증착시키기 위하여 특정 위치에 개구부를 형성하여 증착이 되게 하고 나머지 위치는 금속 재질로 된 차단부로 가리는 증착 마스크를 사용한다. 이러한 증착 마스크는 제조 방법에 따라 원장 방식의 원장 마스크와 분할 방식의 분할 마스크로 나뉜다. 원장 방식은 원장 마스크 시트를 원장 마스크 제조 장치의 상하좌우에 설치된 클램퍼를 이용하여 사방으로 인장력을 인가한 후에 원장 마스크 시트를 마스크 프레임에 용접하여 증착 마스크를 제조하는 방법이고, 분할 방식은 셀(Cell) 단위로 분할한 분할 마스크 시트의 양단부를 분할 마스크 제조 장치의 양단에 설치된 클램퍼를 이용하여 양단 방향으로 인장력을 인가한 후에 분할 마스크 시트를 마스크 프레임에 용접하여 증착 마스크를 제조하는 방법이다.
특히 분할 방식은 양품을 선별하여 사용할 수 있고, 수선(repair)이 용이하므로 양산에 주로 적용되고 있다. 그러나, 분할 마스크는 분할 마스크 시트의 양단부를 클램퍼에 물려 인장력을 인가하므로 분할 마스크 시트의 양단부를 중심으로 주름이 발생할 수 있다. 이는 박막의 분할 마스크 시트를 클램핑하는 경우에 클램퍼가 클램핑하는 힘을 박막의 분할 마스크 시트가 견디지 못해 분할 마스크의 양단부를 중심으로 주름이 발생하는 것이다. 주름이 발생하지 않도록 클램핑하는 힘을 약하게 할 수 있으나, 클램핑하는 힘이 약한 경우에는 정확한 인장력을 인가하지 못하고 클램핑이 풀릴 수도 있다.
또한, 분할 마스크 시트의 길이 방향으로 이미 주름이 발생한 경우 분할 마스크 시트의 양단부에 인장력을 인가하면서 클램핑을 하여 주름을 제거할 수 있으나, 분할 마스크 시트의 폭방향으로 이미 주름이 발생한 경우에는 분할 마스크 시트의 양단부에 인장력을 인가하여도 주름을 제거할 수 없다.
또한, 분할 마스크 시트는 마스크 프레임에 탑재되기 전에 스테이지에서 진공으로 고정되어 있으나, 클램퍼가 분할 마스크 시트를 클램핑하면서 분할 마스크 시트의 위치가 약간 변경될 수 있어 정확한 위치에서 분할 마스크 시트의 양단부를 클램핑하지 못할 수 있다.
본 발명은 전술한 배경 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 클램핑 시 분할 마스크 시트에 주름이 발생하는 것을 방지하고 미스 클램핑을 억제하는 증착 마스크의 제조 장치를 제공한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 증착 마스크의 제조 장치는 핀 홀이 형성되어 있는 분할 마스크 시트의 단부를 고정하는 복수개의 클램퍼, 상기 클램퍼에 설치되어 있으며 상기 핀 홀에 삽입되는 클램핑 핀, 상기 클램핑 핀을 승강시키는 승강기를 포함할 수 있다.
상기 클램퍼는 상기 분할 마스크 시트의 단부의 상면과 접촉하는 상부 클램퍼, 상기 분할 마스크 시트의 단부의 하면과 접촉하는 하부 클램퍼를 포함하고, 상기 하부 클램퍼에는 상기 분할 마스크 시트의 단부를 흡착하는 흡착 홈이 형성되어 있을 수 있다.
상기 흡착 홈에는 상기 클램핑 핀이 위치하고 있을 수 있다.
상기 하부 클램퍼에는 상기 클램핑 핀이 승강할 수 있는 승강 구멍이 형성되어 있을 수 있다.
상기 승강기는 상기 승강 구멍을 통해 상기 클램핑 핀과 연결되어 있을 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 분할 마스크 시트를 고정하는 클램퍼에 흡착 홈과 클램핑 핀을 설치함으로써, 분할 마스크 시트가 마스크 프레임에 로딩되기 전에 평평하게 펴져 있는 상태로 클램핑을 할 수 있다. 따라서, 분할 마스크 시트를 클램핑하는 단계에서 발생하는 주름 및 미스 클램핑 현상을 제거할 수 있다.
또한, 4개의 사선 방향으로 분할 마스크 시트를 인장하므로 분할 마스크 시트 자체의 폭 방향의 주름도 제거할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 마스크의 제조 장치의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 마스크의 제조 장치에 사용되는 증착 마스크의 평면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 마스크의 제조 장치의 클램퍼의 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 마스크의 제조 장치의 단면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 마스크의 제조 장치를 이용하여 증착 마스크에서 주름을 제거하는 방법을 도시한 도면이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.
또한, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다.
또한, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
그러면 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 마스크에 대하여 도 1 내지 도 5를 참고로 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 마스크의 제조 장치의 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 마스크의 제조 장치에 사용되는 증착 마스크의 평면도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 마스크의 제조 장치의 클램퍼의 사시도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 마스크의 제조 장치의 단면도이다.
도 1 내지 도 4에 도시한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 마스크의 제조 장치는 핀 홀(12a, 13a, 14a, 15a)이 형성되어 있는 분할 마스크 시트(10)의 단부를 고정하는 복수개의 클램퍼(100), 클램퍼(100)에 설치되어 있으며 핀 홀(12a, 13a, 14a, 15a)에 삽입되는 클램핑 핀(200), 클램핑 핀(200)을 승강시키는 승강기(300)를 포함한다.
분할 마스크 시트(10)는 마스크 패턴(1)이 형성되어 있는 마스크 본체(11), 마스크 본체(11)의 좌측 상단으로 돌출되는 좌측 상단부(12), 마스크 본체(11)의 좌측 하단으로 돌출되며 좌측 상단부(12)와 이격되어 있는 좌측 하단부(13), 마스크 본체(11)의 우측 상단으로 돌출되는 우측 상단부(14), 마스크 본체(11)의 우측 하단으로 돌출되며 우측 상단부(14)와 이격되어 있는 우측 하단부(15)를 포함한다. 그리고, 좌측 상단부(12), 좌측 하단부(13), 우측 상단부(14) 및 우측 하단부(15)에는 핀 홀(12a, 13a, 14a, 15a)이 각각 형성되어 있다.
복수개의 클램퍼(100)는 분할 마스크 시트(10)의 좌측 상단부(12)를 고정하는 좌측 상단 클램퍼(110), 분할 마스크 시트(10)의 좌측 하단부(13)를 고정하는 좌측 하단 클램퍼(120), 분할 마스크 시트(10)의 우측 상단부(14)를 고정하는 우측 상단 클램퍼(130) 및 분할 마스크 시트(10)의 우측 하단부(15)를 고정하는 우측 하단 클램퍼(140)를 포함한다.
이러한 4개의 클램퍼(110, 120, 130, 140)가 분할 마스크 시트(10)에 사방으로 인장력을 인가하며 분할 마스크 시트(10)를 고정함으로써 분할 마스크 시트(10)에 주름에 발생하는 것을 억제한다.
4개의 클램퍼(110, 120, 130, 140) 중 좌측 상단 클램퍼(110)를 기준으로 이하에서 그 구조에 대해 상세히 설명하며, 나머지 3개의 클램퍼(120, 130, 140)의 구조는 좌측 상단 클램퍼(110)의 구조와 동일하다.
좌측 상단 클램퍼(110)는 분할 마스크 시트(10)의 좌측 상단부(12)의 상면과 접촉하는 상부 클램퍼(111), 분할 마스크 시트(10)의 좌측 상단부(12)의 하면과 접촉하는 하부 클램퍼(112)를 포함한다.
하부 클램퍼(112)에는 분할 마스크 시트(10)의 좌측 상단부(12)를 흡착하는 흡착 홈(112a)이 형성되어 있다. 흡착 홈(112a)은 흡착 홈(112a)의 내벽에 형성된 진공관(112b)을 통해 진공을 형성하는 진공 장치(400)에 연결되어 있다.
이러한 흡착 홈(112a)을 이용하여 분할 마스크 시트(10)의 좌측 상단부(12)를 흡착하여 고정함으로써 분할 마스크 시트(10)가 클램퍼(100)에 보다 편평하게 로딩되므로 클램핑 시 분할 마스크 시트(10)에 주름이 발생하는 것을 억제하고 미스 클램핑 현상을 제거할 수 있다.
이러한 흡착 홈(112a)에는 클램핑 핀(210)이 위치하고 있다. 클램핑 핀(210)은 분할 마스크 시트(10)의 좌측 상단부(12)에 형성된 핀 홀(12a)에 삽입되어 분할 마스크 시트(10)를 고정한다. 상부 클램퍼(111)에는 클램핑 핀(210)이 삽입될 수 있는 삽입 홈(111a)이 형성되어 있다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 마스크의 제조 장치를 이용하여 증착 마스크에서 주름을 제거하는 방법을 도시한 도면이다.
도 5에 도시한 바와 같이, 분할 마스크 시트(10)의 좌측 상단부(12), 좌측 하단부(13), 우측 상단부(14) 및 우측 하단부(15)에 형성된 핀 홀(12a, 13a, 14a, 14a)에 각각 클램핑 핀(210, 220, 230, 240)을 삽입하고, 클램핑 핀(210, 220, 230, 240)이 핀 홀(12a, 13a, 14a, 14a)의 사선 방향에 배치되도록 한다. 즉, 분할 마스크 시트(10)의 좌측 상단부(12)에 형성된 핀 홀(12a)에 삽입된 클램핑 핀(210)은 핀 홀(12a) 내부의 좌측 상부에 배치되고, 분할 마스크 시트(10)의 좌측 하단부(13)에 형성된 핀 홀(13a)에 삽입된 클램핑 핀(220)은 핀 홀(13a) 내부의 좌측 하부에 배치되고, 분할 마스크 시트(10)의 우측 상단부(14)에 형성된 핀 홀(14a)에 삽입된 클램핑 핀(230)은 핀 홀(14a) 내부의 우측 상부에 배치되고, 분할 마스크 시트(10)의 우측 하단부(15)에 형성된 핀 홀(15a)에 삽입된 클램핑 핀(240)은 핀 홀(15a) 내부의 우측 하부에 배치된다.
따라서, 클램핑 핀(210, 220, 230, 240)은 분할 마스크 시트(10)를 4개의 사선 방향(A, B, C, D)으로 인장하게 되므로, 분할 마스크 시트(10)의 길이 방향(L)과 폭 방향(W)으로 분할 마스크 시트(10)를 당기게 되어 분할 마스크 시트(10)에서 주름이 발생하는 것을 억제할 수 있다.
이와 같이, 분할 마스크 시트(10)가 마스크 프레임에 로딩되기 전에 자체적으로 발생하는 주름을 클램핑 핀(210, 220, 230, 240)을 이용하여 사선 방향으로 펴지게 하고, 이렇게 분할 마스크 시트(10)가 펴진 상태에서 클램핑을 하게 되므로 클랭핑 시 발생하는 주름을 효과적으로 제거할 수 있다.
또한, 클램핀 핀(210, 220, 230, 240)을 이용하여 4개의 사선 방향으로 분할 마스크 시트(10)를 인장하므로 분할 마스크 시트(10)의 폭 방향(W)의 주름도 제거할 수 있다.
한편, 하부 클램퍼(112)에는 클램핑 핀(210)이 승강할 수 있는 승강 구멍(112c)이 형성되어 있다. 승강 구멍(112c)은 흡착 홈(112a)의 바닥면에 형성되어 있다.
승강기(300)는 승강 구멍(112c)을 통해 클램핑 핀(210)과 연결되어 있으며, 승강기(300)를 이용하여 클램핑 핀(210)을 승강시킬 수 있다. 이러한 승강기(300)는 압축기 등을 포함할 수 있다.
분할 마스크 시트(10)의 두께가 두껍거나 분할 마스크 자체의 주름이 작은 경우에는 클랭핑 핀을 사용하지 않는 것이 바람직하므로 승강기(300)를 이용하여 클램핑 핀(210)을 승강 구멍(112c)으로 하강시켜 클램퍼(100)만으로 분할 마스크 시트(10)를 고정할 수 있다.
본 발명을 앞서 기재한 바에 따라 바람직한 실시예를 통해 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며 다음에 기재하는 특허청구범위의 개념과 범위를 벗어나지 않는 한, 다양한 수정 및 변형이 가능하다는 것을 본 발명이 속하는 기술 분야에 종사하는 자들은 쉽게 이해할 것이다.
10: 분할 마스트 시트 100: 클램퍼
200: 클램핑 핀 300: 승강기

Claims (6)

  1. 핀 홀이 형성되어 있는 분할 마스크 시트의 단부를 고정하는 복수개의 클램퍼,
    상기 클램퍼에 설치되어 있으며 상기 핀 홀에 삽입되는 클램핑 핀,
    상기 클램핑 핀을 승강시키는 승강기
    를 포함하고,
    상기 클램퍼는
    상기 분할 마스크 시트의 단부의 상면과 접촉하는 상부 클램퍼,
    상기 분할 마스크 시트의 단부의 하면과 접촉하는 하부 클램퍼
    를 포함하고,
    상기 하부 클램퍼에는 상기 분할 마스크 시트의 단부를 흡착하는 흡착 홈이 형성되어 있는 증착 마스크의 제조 장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에서,
    상기 흡착 홈에는 상기 클램핑 핀이 위치하고 있는 증착 마스크의 제조 장치.
  4. 제3항에서,
    상기 하부 클램퍼에는 상기 클램핑 핀이 승강할 수 있는 승강 구멍이 형성되어 있는 증착 마스크의 제조 장치.
  5. 제4항에서,
    상기 상부 클램퍼에는 상기 클램핑 핀이 삽입될 수 있는 삽입 홈이 형성되어 있는 증착 마스크의 제조 장치.
  6. 제4항에서,
    상기 승강기는 상기 승강 구멍을 통해 상기 클램핑 핀과 연결되어 있는 증착 마스크의 제조 장치.
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