KR102608420B1 - 증착용 마스크, 표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법 - Google Patents

증착용 마스크, 표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명의 일 실시예는 클램프에 의해 클램핑된 상태로 제1 방향으로 인장되는 증착용 마스크에 있어서,복수개의 패턴홀을 구비하는 패턴부와, 클램프에 의해 클램핑되는 돌출부와, 패턴부를 향하는 방향으로 인입된 인입부가 형성되는 클램핑부를 포함하고, 패턴부는, 제1 방향을 기준으로 적어도 일부가 돌출부에 중첩되며, 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 돌출부에서 인입부를 향하는 방향으로 갈수록 면적이 작아지는 차단부를 포함하는 증착용 마스크를 개시한다.

Description

증착용 마스크, 표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법{mask for deposition, apparatus for manufacturing display apparatus and method of manufacturing display apparatus}
본 발명의 실시예들은 장치 및 방법에 관한 것으로써, 더 상세하게는 증착용 마스크, 표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법에 관한 것이다.
이동성을 기반으로하는 전자 기기가 폭 넓게 사용되고 있다. 이동용 전자 기기로는 모바일 폰과 같은 소형 전자 기기 이외에도 최근 들어 태블릿 PC가 널리 사용되고 있다.
이와 같은 이동형 전자 기기는 다양한 기능을 지원하기 위하여, 이미지 또는 영상과 같은 시각 정보를 사용자에게 제공하기 위하여 디스플레이 장치를 포함한다. 최근, 디스플레이 장치를 구동하기 위한 기타 부품들이 소형화됨에 따라, 디스플레이 장치가 전자 기기에서 차지하는 비중이 점차 증가하고 있는 추세이며, 평평한 상태에서 소정의 각도를 갖도록 구부릴 수 있는 구조도 개발되고 있다.
표시 장치에 증착되는 유기물이나 전극으로 사용되는 금속 등은 진공 분위기에서 해당 물질을 기판 상에 증착하여 박막을 형성하는 진공 증착법을 사용하여 제조된다. 진공 증착법은 진공챔버 내부에 유기 박막을 성막시킬 기판을 위치시키고, 형성될 박막 등의 패턴과 동일한 패턴을 가지는 증착용 마스크를 밀착시킨 후, 증착 소스를 이용하여 유기물을 증발 또는 승화시켜 기판에 증착시키는 방법으로 수행된다.
최근들어 표시 장치는 대형화될 것이 요구되고 있다. 이에 따라, 증착용 마스크 또한 기존보다 크게 제작되고 있다. 또한 고해상도의 구현을 위해서는 쉐도우 현상(shadow effect)을 줄이는 것이 중요한 데, 이를 위해 증착 공정 시 증착용 마스크는 기판과 밀착해야 하고, 그 두께도 얇게 제작되어야 한다.
일반적으로, 증착용 마스크와 기판이 서로 밀착하여 증착용 마스크와 기판 사이에 간극이 발생하지 않는 구조를 얻기 위하여, 증착용 마스크의 양 단에는 인장력이 가해져 평평한 상태로 프레임에 설치된다.
전술한 배경기술은 발명자가 본 발명의 실시예들의 도출을 위해 보유하고 있었거나, 도출 과정에서 습득한 기술 정보로서, 반드시 본 발명의 실시예들의 출원 전에 일반 공중에게 공개된 공지기술이라 할 수는 없다.
그러나, 증착용 마스크의 두께가 얇아짐에 따라, 증착용 마스크의 양 단을 인장시키는 과정에서 인장력이 가해지는 부위와 가해지지 않는 영역 사이에 힘의 불균형이 초래되며, 이에 따라 증착용 마스크에 주름이 형성된다. 본 발명의 실시예들은 증착용 마스크에 형성되는 주름을 최소화하여 증착 공정 시 기판과 밀착하여 기판과 증착용 마스크 사이에 발생하는 간극을 최소화할 수 있는 증착용 마스크, 표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법을 제공한다.
본 발명의 일 실시예는 클램프에 의해 클램핑된 상태로 제1 방향으로 인장되는 증착용 마스크에 있어서,복수개의 패턴홀을 구비하는 패턴부와, 클램프에 의해 클램핑되는 돌출부와, 패턴부를 향하는 방향으로 인입된 인입부가 형성되는 클램핑부를 포함하고, 패턴부는, 제1 방향을 기준으로 적어도 일부가 돌출부에 중첩되며, 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 돌출부에서 인입부를 향하는 방향으로 갈수록 점진적으로 면적이 작아지는 차단부를 포함하는 증착용 마스크를 개시한다.
본 실시예에 있어서, 복수개의 패턴홀은 각각 서로 대응하는 면적을 가질 수 있다.
본 실시예에 있어서, 제1 방향을 기준으로 돌출부와 중첩되는 패턴홀의 개수는 제1 방향을 기준으로 인입부와 중첩되는 패턴홀의 개수보다 적을 수 있다.
본 실시예에 있어서, 제2 방향을 따라 인입부에서 돌출부를 향하는 방향으로 갈수록 제1 방향을 따라 늘어선 패턴홀의 개수는 점진적으로 줄어들 수 있다.
본 실시예에 있어서, 차단부는 제1 방향을 따라 클램핑부에서 패턴부를 향하는 방향으로 갈수록 점진적으로 면적이 작아지는, 증착용 마스크.
본 실시예에 있어서, 차단부는 제1 방향 및 제2 방향을 따라 다단(多段) 형상으로 구비될 수 있다.
본 발명의 다른 실시예는 기판과 대향하도록 배치되는 마스크 프레임 조립체와, 마스크 프레임 조립체에 대향하도록 배치되는 증착원을 포함하고, 마스크 프레임 조립체는, 중앙에 개구부를 갖는 프레임과, 기판과 대향하도록 배치되고, 양 단부가 클램프에 의해 클램핑된 상태로 제1 방향으로 인장되어 프레임에 설치되는 증착용 마스크와, 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장되어 증착용 마스크의 일부를 가리며, 증착용 마스크를 지지하는 지지스틱을 포함하고, 증착용 마스크는, 복수개의 패턴홀을 구비하는 패턴부와, 클램프에 의해 클램핑되는 돌출부와, 패턴부를 향하는 방향으로 인입된 인입부가 형성되는 클램핑부를 포함하고, 패턴부는 제1 방향을 기준으로 적어도 일부가 돌출부에 중첩되며, 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 돌출부에서 인입부를 향하는 방향으로 갈수록 점진적으로 면적이 작아지는 차단부를 포함하는 표시 장치의 제조 장치를 개시한다.
본 실시예에 있어서, 복수개의 패턴홀은 각각 서로 대응하는 면적을 가질 수 있다.
본 실시예에 있어서, 제1 방향을 기준으로 돌출부와 중첩되는 패턴홀의 개수는 제1 방향을 기준으로 인입부와 중첩되는 패턴홀의 개수보다 적을 수 있다.
본 실시예에 있어서, 제2 방향을 따라 인입부에서 돌출부를 향하는 방향으로 갈수록 제1 방향을 따라 늘어선 패턴홀의 개수는 점진적으로 줄어들 수 있다.
본 실시예에 있어서, 차단부는 제1 방향을 따라 클램핑부에서 패턴부를 향하는 방향으로 갈수록 점진적으로 면적이 작아지는, 증착용 마스크.
본 실시예에 있어서, 차단부는 제1 방향 및 제2 방향을 따라 다단(多段) 형상으로 구비될 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예는 챔버 내부에 기판 및 마스크 프레임 조립체를 장입시키는 단계와, 기판과 마스크 프레임 조립체를 정렬하는 단계와, 증착원에서 분사되는 증착 물질을 상기 마스크 프레임 조립체로 통과시켜 상기 기판 상에 상기 증착 물질을 증착시키는 단계를 포함하고, 마스크 프레임 조립체는, 중앙에 개구부를 갖는 프레임과, 기판과 대향하도록 배치되고, 양 단부가 클램프에 의해 클램핑된 상태로 제1 방향으로 인장되어 프레임에 설치되는 증착용 마스크와, 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장되어 증착용 마스크의 일부를 가리며, 증착용 마스크를 지지하는 지지스틱을 포함하고, 복수개의 패턴홀을 구비하는 패턴부와, 클램프에 의해 클램핑되는 돌출부와, 패턴부를 향하는 방향으로 인입된 인입부가 형성되는 클램핑부를 포함하고, 패턴부는 제1 방향을 기준으로 적어도 일부가 돌출부에 중첩되며, 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 돌출부에서 인입부를 향하는 방향으로 갈수록 점진적으로 면적이 작아지는 차단부를 포함하는 표시 장치의 제조 방법을 개시한다.
본 실시예에 있어서, 복수개의 패턴홀은 각각 서로 대응하는 면적을 가질 수 있다.
본 실시예에 있어서, 제1 방향을 기준으로 돌출부와 중첩되는 패턴홀의 개수는 제1 방향을 기준으로 인입부와 중첩되는 패턴홀의 개수보다 적을 수 있다.
본 실시예에 있어서, 제2 방향을 따라 인입부에서 돌출부를 향하는 방향으로 갈수록 제1 방향을 따라 늘어선 패턴홀의 개수는 점진적으로 줄어들 수 있다.
본 실시예에 있어서, 차단부는 제1 방향을 따라 클램핑부에서 패턴부를 향하는 방향으로 갈수록 점진적으로 면적이 작아지는, 증착용 마스크.
본 실시예에 있어서, 차단부는 제1 방향 및 제2 방향을 따라 다단(多段) 형상으로 구비될 수 있다.
전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점이 이하의 도면, 특허청구범위 및 발명의 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다.
상기와 같이 이루어진 본 발명의 실시예들에 따르면, 증착용 마스크에 형성되는 주름을 완화하여 기판과 증착용 마스크 사이에 형성되는 간극을 최소화할 수 있으며, 이를 통해 쉐도우 현상을 방지하여 고해상도 표시 장치의 제작이 가능한 증착용 마스크, 표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법을 구현할 수 있다.
물론 이러한 효과에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착용 마스크를 개략적으로 나타내는 사시도이다.
도 2는 종래 기술에 의한 증착용 마스크의 일 예시를 나타내는 평면도이다.
도 3a는 도 1에 도시된 증착용 마스크를 나타내는 평면도이다.
도 3b는 도 3a에 도시된 증착용 마스크의 A 부분을 확대하여 나타내는 확대평면도이다.
도 4는 도 3a에 도시된 증착용 마스크의 다른 변형예를 나타내는 평면도이다.
도 5는 도 2에 도시된 종래 기술에 의한 증착용 마스크의 주름 높이를 측정한 그래프이다.
도 6는 도 3a에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 증착용 마스크의 주름 높이를 측정한 그래프이다.
도 7은 도 3a에 도시된 증착용 마스크의 또 다른 변형예를 나타내는 평면도이다.
도 8은 도 1에 도시된 증착용 마스크를 포함하는 마스크 프레임 조립체를 개략적으로 나타내는 사시도이다.
도 9는 도 8에 도시된 마스크 프레임 조립체를 포함하는 표시 장치의 제조 장치를 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 10은 도 9에 도시된 표시 장치의 제조 장치를 통하여 제조된 표시 장치를 보여주는 평면도이다.
도 11은 도 10의 XI-XI선을 따라 취한 단면도이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다.
이하의 실시예에서, 제1, 제2 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다. 또한, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 또한, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다.
또한, 도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다. 또한, 어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 증착용 마스크(도 1의 120)를 자세하게 설명하기 이전에, 먼저 도 2를 참조하여 종래의 증착용 마스크(120P)에 대해 간략히 설명하기로 한다.
도 2는 종래 기술에 의한 증착용 마스크의 일 예시를 나타내는 평면도이다.
도 2를 참조하면, 증착용 마스크(120p)는 표시 장치의 기판(도 9의 11 참조)에 유기물이나 금속을 증착하는 공정에서 사용되며, 쉐도우 현상을 방지하기 위해 양 단부가 클램프에 의해 클램핑되어 팽팽한 상태로 프레임(도 8의 110 참조)에 용접된다.
여기서, "쉐도우 현상"이란 기판과 증착용 마스크(120p)가 서로 밀착되지 않고 그 중간에 간극이 형성됨에 따라, 증착 물질이 증착되어야 할 기판 상의 기 설정된 유효 영역 이외의 다른 영역에 증착 물질이 증착됨으로써 디스플레이 불량을 일으키는 현상을 일컫는다.
상세히, 클램프는 프레임(110)에 증착용 마스크(120p)를 용접하기 이전에 증착용 마스크(120p)의 클램핑부(122p) 중 돌출부(122a_p)를 클램핑하고, 클램핑한 상태로 증착용 마스크(120p)의 중심에서 멀어지는 방향으로 인장력(F)을 가해 증착용 마스크(120p)를 팽팽하게 잡아 당긴다. 그 이후, 증착용 마스크(120p)의 양 단부가 프레임(110)에 안착된 상태로 프레임(110)과 증착용 마스크(120p)를 결합하는 용접 공정을 거친다.
프레임(110)과 증착용 마스크(120p)는 용접부(140p)를 통해 서로 결합될 수 있다. 여기서, 용접부(140p)를 점선으로 표시한 이유는, 도 2에 나타난 증착용 마스크(120p)의 경우 아직 프레임(110)에 결합되기 이전의 모습을 나타내기 때문이다.
용접 공정 이후에는, 프레임(110)의 바깥으로 돌출되는 증착용 마스크(120p)의 양 단부 중 일부는 제거되는데, 구체적으로는 용접부(140p)보다 외곽에 위치하는 클램핑부(122p)가 제거될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착용 마스크를 개략적으로 나타내는 사시도이고, 도 3a는 도 1에 도시된 증착용 마스크를 나타내는 평면도이고, 도 3b는 도 3a에 도시된 증착용 마스크의 A 부분을 확대하여 나타내는 확대평면도이며, 도 4는 도 3a에 도시된 증착용 마스크의 다른 변형예를 나타내는 평면도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 증착용 마스크(120)는 패턴부(121)와 클램핑부(122)를 포함할 수 있다. 여기서, 도 1에 도시된 증착용 마스크(120)는 전술한 바와 같이 아직 프레임(110)과 결합되지 않아 용접부(140)가 형성되기 이전의 상태이므로, 용접부(140)를 점선으로 표시하였다.
패턴부(121)는 증착 물질을 통과시키는 복수개의 패턴홀(121h)을 구비한다. 복수개의 패턴홀(121h)들은 서로 대응하는 면적을 갖도록 동일한 형상으로 형성될 수 있다. 도 1은 직사각형의 패턴홀(121h)만을 도시하나, 본 발명의 실시예들은 이에 한정되지 않는다. 즉, 패턴홀(121h)은 다각형, 원형 또는 타원형 등의 다양한 형상으로 형성될 수 있다. 단, 이하에서는 설명의 편의를 위해 패턴홀(121h)이 직사각형일 경우를 중심으로 설명하기로 한다.
다음으로, 클램핑부(122)는 증착용 마스크의 양 단부에 위치하며, 인장 시 클램프(미도시)에 의해 클램핑되는 영역이다. 클램핑부(122)는 실제로 클램프에 의해 클램핑되는 돌출부(122a)와, 클램프에 의해 클램핑되지 않는 인입부(122b)를 포함할 수 있다. 인입부(122b)는 패턴부(121)를 향하는 방향으로 인입되도록 형성될 수 있다. 일반적으로 인입부(122b)의 내주면은 증착용 마스크(120)에 가해지는 인장력으로 인해 증착용 마스크(120)가 변형되거나 파손되는 것을 방지하기 위해 곡면으로 형성되는 것이 바람직하나, 이에 한정되지는 않으며, 하나 이상의 절곡점을 갖도록 형성될 수도 있다.
상세히, 패턴부(121)는 제1 방향(Y축 방향)을 기준으로 적어도 일부가 돌출부(122a)에 중첩되며, 제1 방향과 교차하는 제2 방향(X축 방향)을 따라 돌출부(122a)에서 인입부(122b)를 향하는 방향으로 갈수록 점진적으로 면적이 작아지는 차단부(121c)를 포함할 수 있다.
차단부(121c)는 증착용 마스크(120)의 패턴부(121)를 제외한 나머지 영역, 즉 증착용 마스크(120)의 본체와 연결될 수 있다. 즉, 차단부(121c)는 증착용 마스크(120)의 본체의 일부로써, 예를 들어 증착용 마스크(120)가 인바 합금(invar alloy)로 제조될 경우 차단부(121c) 또한 인바 합금으로 형성될 수 있다.
즉, 차단부(121c)는 클램핑부(122)의 돌출부(122a)와 동일한 물성으로 제조될 수 있으며, 돌출부(122a)에 인장력(F)이 가해질 경우 돌출부(122a)와 함께 인장력(F)을 받을 수 있다.
한편, 차단부(121c)는 제1 방향을 기준으로 인입부(122b)와는 일부가 중첩되거나 중첩되지 않을 수 있다. 어떠한 경우에도, 차단부(121c)는 제2 방향을 따라 인입부(122b)의 중심을 향해 점진적으로 작아지는 면적을 갖도록 형성되므로, 차단부(121c)와 돌출부(122a)가 서로 중첩되는 영역은 언제나 인입부(122b)와 서로 중첩되는 영역보다 넓도록 형성될 수 있다.
구체적으로 설명하면, 도 3a는 돌출부(122a)에 제1 방향으로 인장력(F)이 가해지는 모습을 나타내며, 도 3b는 돌출부(122a)에 가해진 인장력(F)이 제1 방향을 기준으로 돌출부(122a)와 중첩되는 패턴부(121)의 부근에 상대적으로 많이 가해지는 모습을 나타낸다.
차단부(121c)는 상대적으로 인장력(F)이 많이 가해지는 영역에 구비된다. 따라서, 차단부(121c)는 돌출부(122a)에 가해지는 인장력의 상당 부분을 흡수하여 패턴부(121)까지 인장력(F)이 전달되는 것을 방지할 수 있다. 한편, 인입부(122b)에는 인장력(F)이 가해지지 않으므로, 상대적으로 작은 면적을 갖는 차단부(121c)로도 돌출부(122a) 측으로부터 전달되어 오는 인장력(F)을 효과적으로 흡수할 수 있다.
즉, 실질적으로 제1 방향을 따라 인입부(122b)와 중첩되는 패턴부(121)의 일부 영역에는 인장력(F)이 거의 전달되지 않으므로, 차단부(121c)와 인입부(122b)가 서로 중첩되지 않는 구조를 가질 수도 있다.
다음으로, 차단부(121c)와 돌출부(122a)가 서로 중첩되는 구조를 갖되, 차단부(121c)는 인입부(122b)의 중심으로 갈수록 점진적으로 작아지는 면적을 갖는 이유를 상세히 설명하기로 한다.
다시 도 2를 참조하면, 종래의 증착용 마스크(120p)는 도 3a 및 도 3b의 차단부(121c)를 구비하지 않으며, 대신 그 위치에 패턴홀(121h_p)이 형성되어 있다. 이러한 구조를 갖는 증착용 마스크(120p)에 인장력(F)을 가하면, 제1 방향을 기준으로 돌출부(122a_p)와 중첩되는 패턴부(121)의 일 영역과, 제1 방향을 기준으로 인입부(122b_p)와 중첩되는 패턴부(121)의 다른 영역 사이에는 불균일한 인장력(F)의 분포가 형성된다. 이러한 경우, 서로 다른 영역에 상이한 인장력(F)이 가해짐에 따라, 각 영역의 변형율이 상이해지고, 이에 따라 증착용 마스크(120p)의 표면에 주름이 형성될 수 있다.
본 발명의 실시예들은 바로 이러한 패턴부(121)에 가해지는 불균일한 인장력(F)의 분포를 개선할 수 있는 구조를 제공할 수 있다. 즉, 제1 방향을 기준으로 인장력(F)이 직접적으로 가해지는 돌출부(122a_p)와 중첩되는 패턴부(121)의 일 영역에는 상대적으로 면적이 넓은 차단부(121c)를 구비하여 인장력(F)을 상대적으로 많이 흡수할 수 있다.
반면, 제1 방향을 기준으로 인장력(F)이 직접적으로 가해지지는 않으나, 간접적으로 인장력(F)의 영향을 받는 인입부(121b_p)와 중첩되는 패턴부(121)의 다른 영역에는 상대적으로 면적이 작은 차단부(121c)를 구비함으로써 상대적으로 작은 인장력(F)을 흡수 할 수 있다.
즉, 차단부(121c)는 돌출부(122a)에서 인입부(122b)를 향하는 방향으로 갈수록 점진적으로 면적이 작아지는 구조를 갖는다. 이는, 제1 방향을 기준으로 돌출부(122a)와 중첩되는 패턴홀(121h)의 개수는 제1 방향을 기준으로 인입부(122b)와 중첩되는 패턴홀(121h)의 개수보다 적음을 의미한다.
전술한 바와 같이, 복수개의 패턴홀(121h)은 서로 대응하는 면적을 갖도록 형성되므로, 제1 방향을 따라 적은 개수의 패턴홀(121h)이 형성되는 영역, 즉 제1 방향을 기준으로 차단부(121c)의 넓이가 넓은 영역은 돌출부(122a)에 가해지는 인장력(F)을 충분히 흡수할 있는 강성(rigidity)을 가질 수 있다.
이러한 구조에 따르면, 패턴부(121)에 불균일한 인장력(F)이 전달되는 것을 방지할 수 있으며, 이에 따라 증착용 마스크(120)에 가해지는 불균일한 인장력(F)의 분포로 인해 발생했던 주름을 방지하는 효과를 얻을 수 있다.
도 1 및 도 3a는 차단부(121c)가 제1 방향 및 제2 방향을 따라 다단(多段) 형상으로 구비된 모습을 나타내나, 본 발명의 실시예는 이에 한정되지 않는다. 즉, 전술한 바와 같이 상대적으로 인장력(F)이 많이 가해지는 영역에는 넓은 면적의 차단부(121c)가 형성되는 것이 바람직하며, 반면 상대적으로 인장력(F)이 적게 가해지는 영역에는 상대적으로 작은 면적을 갖는 차단부(121c)를 구비하는 것이 바람직하다. 예를 들어, 도 4에 나타난 바와 같이 차단부(221c)는 경사진 형태로 형성될 수도 있다.
전술한 구조를 갖는 본 발명의 일 실시예에 따른 증착용 마스크(120)를 사용함으로써 얻을 수 있는 구체적인 효과에 대해서는 이하 도 5와 도 6를 참조하도록 한다.
도 5는 도 2에 도시된 종래 기술에 의한 증착용 마스크의 주름 높이를 측정한 그래프이고, 도 6는 도 3a에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 증착용 마스크의 주름 높이를 측정한 그래프이다.
먼저 도 5를 참조하면, 도 2에 나타난 바와 같이 차단부(121c)를 구비하지 않는 종래의 증착용 마스크(120p)의 경우, 주름의 Peak to Peak (최고점과 최저점의 차이) 수치가 601㎛로 나타났다.
반면, 도 6을 참조하면, 도1 및 도 3a에 나타난 바와 같이 차단부(121c)를 구비하는 본 발명의 일 실시예에 따른 증착용 마스크(120)의 경우, 주름의 Peak to Peak 수치가 538㎛로써, 종래의 증착용 마스크(120P)보다 주름 현상을 약 10.5% 개선할 수 있다. 도 5 및 도 6에 나타난 자료들은 모두 실험적 데이터로써, 도 2의 종래의 증착용 마스크(120p)와, 도 1 및 도 3a에 나타난 본 발명의 일 실시예에 따른 증착용 마스크(120)를 비교한 데이터이다.
따라서, 전술한 바와 같은 증착용 마스크(120)의 구조에 의하면, 증착용 마스크(120)에 가해지는 인장력에 의해 발생하는 주름 현상을 개선할 수 있다. 또한, 증착용 마스크(120)의 주름 현상을 개선함에 따라, 증착 공정에서 기판과 증착용 마스크(120) 사이에 형성되는 간극을 줄일 수 있으며, 이를 통해 쉐도우 현상을 개선하여 디스플레이 불량을 줄일 수 있다.
도 7은 도 3a에 도시된 증착용 마스크의 또 다른 변형예를 나타내는 평면도이다.
다른 실시예로써, 도 7을 참조하면, 증착용 마스크(320)는 도 1 및 도 3a에 나타난 증착용 마스크(120) 두 개를 연결한 형태로 구성될 수도 있다. 하지만, 본 발명의 실시예들은 이에 한정되지 않으며, 도 1 및 도 3a에 나타난 증착용 마스크(120)를 복수개의 연결한 형태로 구성될 수도 있다. 즉, 증착용 마스크(320)는 복수개의 패턴부(321)를 구비하며, 이에 따라 복수개의 돌출부(322a) 및 복수개의 인입부(322b)를 구비할 수 있다.
이러한 구조를 갖는 증착용 마스크(320) 또한, 제1 방향(Y축 방향)을 기준으로 돌출부(322a)와 중첩되는 패턴부(321)의 일 영역에는 인입부(322b)와 중첩되는 패턴부(321)의 다른 영역보다 상대적으로 넓은 면적의 차단부(321c)가 형성될 수 있다.
도 7에 나타난 차단부(321c)는 전술한 도 1 및 도 3a에 나타난 본 발명의 일 실시예에 따른 증착용 마스크(120)의 차단부(121c)의 구조와 동일한 바, 이를 원용하기로 한다.
도 8은 도 1의 증착용 마스크를 포함하는 마스크 프레임 조립체를 개략적으로 나타내는 사시도이다.
도 8을 참조하면, 마스크 프레임 조립체(100)는 프레임(110)과 증착용 마스크(120) 및 지지스틱(130)을 포함한다.
프레임(110)은 금속 또는 합성수지 등으로 제조될 수 있으며, 사각 형상으로 하나 이상의 개구를 갖도록 형성되어 있으나, 본 발명의 실시예들은 이에 한정되지 아니하며, 원형 또는 육각형 등의 다양한 형태로 형성될 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위해서 사각틀의 형상을 가지는 경우를 중심으로 설명하기로 한다.
프레임(110)은 X축 방향으로 연장되는 한 쌍의 제1 프레임(111)과 Y축 방향으로 연장되어 제1 프레임(111)을 연결하는 한 쌍의 제2 프레임(112)을 구비할 수 있다. 제1 프레임(111)과 제2 프레임(112)은 개구부를 형성할 수 있다.
지지스틱(130)은 X축 방향으로 연장되어 프레임(110)의 개구부를 가로질러 프레임(110)과 연결될 수 있다. 지지스틱(130)의 양 단부는 제2 프레임(112)의 홈(113)에 삽입되어 고정될 수 있다. 지지스틱(130)은 용접으로 홈(113)에 고정되거나, 접착 물질이 부착되어 홈(113)에 고정될 수 있다.
증착용 마스크(120)는 복수개의 패턴홀(121h)을 구비하는 패턴부(121)와, 클램프에 의해 클램핑되는 돌출부(122a)와, 패턴부(121)를 향하는 방향으로 인입된 인입부(122b)가 형성되는 클램핑부(122)를 포함할 수 있다. 도 8의 증착용 마스크(120)의 구조는 전술한 도 1 및 도 3a의 증착용 마스크(120)의 구조와 동일한 바, 이를 원용하여 여기서는 약술하기로 한다.
지지스틱(130)은 복수개의 증착용 마스크(120)를 지지할 수 있다. 또한, 지지스틱(130)은 증착용 마스크(120)의 일부를 가릴 수 있다. 따라서, 지지스틱(130)에 의해 가려지지 않은 증착용 마스크(120)의 일부를 통해서는 증착 물질이 통과할 수 있는 반면, 지지스틱(130)에 의해 가려지는 증착용 마스크(120)의 다른 부분에서는 지지스틱(130)에 의해 증착 물질이 통과하지 못하도록 차단될 수 있다. 또한, 지지스틱(130)은 증착용 마스크(120)의 자중을 분산시켜 증착용 마스크(120)의 처짐을 방지할 수 있다.
지지스틱(130) 약한 자성을 가지는 재료로 제작될 수 있다. 예를들어, 스테인리스스틸(SUS)로 제작될 수 있다. 지지스틱(130)의 일면은 증착용 마스크(120)와 접촉한다. 만약, 지지스틱(130)이 강한 자성을 갖는 재료로 제작되면, 정전척(도 9의 180)과 지지스틱(130) 사이에 강한 인력이 작용하여 기판(도 9의 11)과 증착용 마스크(120) 사이에 간극이 발생하거나 증착용 마스크(120)의 패턴부(121)가 기판(11)에 정확하게 정렬되지 않는다. 따라서, 지지스틱(130)은 마스크 프레임 조립체(100)와 기판(11)을 밀착시키며, 정확한 얼라인을 위해서 자성이 약한 재료로 제작될 수 있다.
도 9는 도 8의 증착용 마스크 프레임 조립체를 포함하는 표시 장치의 제조 장치를 개략적으로 나타내는 단면도이다.
표시 장치의 제조 장치(10)는 마스크 프레임 조립체(100), 증착원(200), 챔버(161), 서포터(162), 정전척(180) 및 비젼부(182)를 포함할 수 있다. 이때, 마스크 프레임 조립체(100)는 도 8에 도시된 마스크 프레임 조립체(100)와 동일하므로, 이를 원용하여 이하에서는 마스크 프레임 조립체(100)에 대한 설명은 생략하기로 한다.
증착원(200)은 마스크 프레임 조립체(100)와 대향하도록 배치될 수 있으며, 마스크 프레임 조립체(100)와 대향하도록 배치된 증착원(200)의 일 부분은 개구되도록 형성될 수 있다. 또한, 증착원(200)은 증착 물질에 열을 가하는 히터(미도시)를 포함할 수 있다.
증착원(200)의 내부에는 증착 물질이 수납될 수 있다. 이때, 증착 물질은 승화 또는 기화하는 물질로 무기물, 금속 및 유기물 중 하나 이상을 포함할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 증착 물질이 유기물인 경우를 중심으로 설명하기로 한다.
챔버(161)의 내부에는 밀폐 공간이 형성될 수 있으며, 일부가 개방될 수 있다. 이때, 챔버(161)의 개방된 부분에는 게이트밸브(161a) 등이 설치되어 개방된 부분을 개폐할 수 있다.
서포터(162)에는 마스크 프레임 조립체(100)가 안착될 수 있다. 이때, 서포터(162)는 마스크 프레임 조립체(100)를 회전시키거나 선형 운동시킬 수 있다.
정전척(180)은 기판(11)을 마스크 프레임 조립체(100)에 정렬할 수 있다. 정전척(180)은 전자기력을 이용하여 기판(11)을 흡착한 후에 마스크 프레임 조립체(100) 상에 정렬한다. 이‹š, 비젼부(182)를 이용하여 기판(11)을 마스크 프레임 조립체(100)에 정확하게 정렬할 수 있다.
상기와 같은 표시 장치 제조 장치(10)는 기판(11)을 지지시킨 상태에서 증착 물질을 기판(11)에 증착할 수 있다. 다른 실시예로써 기판(11)과 증착원(200)이 서로 상대 운동함으로써 증착물질을 기판(11)에 증착하는 것도 가능하다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 기판(11)을 지지시킨 상태에서 증착물질을 기판(11)에 증착시키는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
챔버(161)에는 압력조절부(190)가 연결될 수 있다. 이때, 압력조절부(190)는 챔버(161)와 연결되는 연결배관(191)과, 연결배관(191)에 설치되는 펌프(192)를 포함할 수 있다.
상기와 같은 표시장치 제조 장치(10)는 유기층, 무기층 또는 금속층 등을 형성할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 표시장치 제조 장치(10)가 유기층을 형성하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. 특히 이하에서는 유기층 중 중간층(도 11의 28-2)을 형성하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
구체적으로, 표시 장치의 제조 장치(10)의 작동을 살펴보면, 외부로부터 기판(11) 및 마스크 프레임 조립체(100)를 챔버(161) 내부로 장입하여 각각 서포터(162)에 지지시킬 수 있다.
이후 비젼부(182)를 통하여 마스크 프레임 조립체(100)와 기판(11)의 위치를 측정한 후 정전척(180)을 이용하여 기판(11)과 마스크 프레임 조립체(100)를 정렬시킬 수 있다. 이때, 비젼부(182)는 마스크 프레임 조립체(100)와 기판(11)을 촬영하는 카메라를 포함할 수 있다.
정전척(180)은 기판(11)과 마스크 프레임 조립체(100)를 전자기력을 이용하여 흡착할 수 있다. 이때, 정전척(180)은 기판(11)과 마스크 프레임 조립체(100) 사이의 간극을 최소화하여 기판(11)과 마스크 프레임 조립체(100)를 서로 밀착시킬 수 있다.
마스크 프레임 조립체(100)와 기판(11)의 위치를 정렬한 후 증착원(200)을 가동하여 증착 물질을 기화 또는 승화시킬 수 있다. 이때, 증착 물질은 복수개의 증착용 마스크(120)의 패턴홀(121h)을통과하여 기판(11)에 증착될 수 있다. 이후 증착이 완료된 기판(11)을 챔버(161) 외부로 인출하여 다음 공정을 수행할 수 있다.
도 10은 도 9에 도시된 표시 장치의 제조 장치를 통하여 제조된 표시 장치를 보여주는 평면도이고, 도 11은 도 10의 XI-XI선을 따라 취한 단면도이다.
도 10 및 도 11을 참고하면, 표시 장치(20)는 기판(21) 상에서 표시 영역(DA)과 표시 영역(DA)의 외곽에 위치하는 비표시 영역(미표기)을 포함할 수 있다. 표시 영역(DA)에는 발광부(D)가 배치되고, 비표시 영역에는 전원 배선(미도시) 등이 배치될 수 있다. 또한, 비표시 영역에는 패드부(C)가 배치될 수 있다.
표시 장치(20)는 기판(21) 및 발광부(D)를 포함할 수 있다. 또한, 표시 장치(20)는 발광부(D)의 상부에 형성되는 박막 봉지층(E) 을 포함할 수 있다. 이때, 기판(21)은 플라스틱재를 사용할 수 있으며, SUS, Ti과 같은 금속재를 사용할 수도 있다. 또한, 기판(21)은 폴리이미드(PI, Polyimide)를 사용할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 기판(21)이 폴리이미드로 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
기판(21) 상에는 발광부(D)가 형성될 수 있다. 이때, 발광부(D)에는 박막 트랜지스터(TFT)가 구비되고, 이들을 덮도록 패시베이션막(27)이 형성되며, 이 패시베이션막(27) 상에 유기 발광 소자(28)가 형성될 수 있다.
이때, 기판(21)은 유리 재질을 사용할 수 있는 데, 반드시 이에 한정되지 않으며, 플라스틱재를 사용할 수도 있으며, SUS, Ti과 같은 금속재를 사용할 수도 있다. 또한, 기판(21)은 폴리이미드(PI, Polyimide)를 사용할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 기판(21)이 유리 재질로 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
기판(21)의 상면에는 유기화합물 및/또는 무기화합물로 이루어진 버퍼층(22)이 더 형성되는 데, SiOx(x≥1), SiNx(x≥1)로 형성될 수 있다.
이 버퍼층(22) 상에 소정의 패턴으로 배열된 활성층(23)이 형성된 후, 활성층(23)이 게이트 절연층(24)에 의해 매립된다. 활성층(23)은 소스 영역(23-1)과 드레인 영역(23-2)을 갖고, 그 사이에 채널 영역(23-2)을 더 포함한다.
이러한 활성층(23)은 다양한 물질을 함유하도록 형성될 수 있다. 예를 들면, 활성층(23)은 비정질 실리콘 또는 결정질 실리콘과 같은 무기 반도체 물질을 함유할 수 있다. 다른 예로서 활성층(23)은 산화물 반도체를 함유할 수 있다. 또 다른 예로서, 활성층(23)은 유기 반도체 물질을 함유할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 활성층(23)이 비정질 실리콘으로 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
이러한 활성층(23)은 버퍼층(22) 상에 비정질 실리콘막을 형성한 후, 이를 결정화하여 다결정질 실리콘막으로 형성하고, 이 다결정질 실리콘막을 패터닝하여 형성할 수 있다. 상기 활성층(23)은 구동 TFT(미도시), 스위칭 TFT(미도시) 등 TFT 종류에 따라, 그 소스 영역(23-1) 및 드레인 영역(23-2)이 불순물에 의해 도핑된다.
게이트 절연층(24)의 상면에는 활성층(23)과 대응되는 게이트 전극(25)과 이를 매립하는 층간 절연층(26)이 형성된다.
그리고, 층간 절연층(26)과 게이트 절연층(24)에 콘택홀(H1)을 형성한 후, 층간 절연층(26) 상에 소스 전극(27-1) 및 드레인 전극(27-2)을 각각 소스 영역(23-1) 및 드레인 영역(23-2)에 콘택되도록 형성한다.
이렇게 형성된 상기 박막 트랜지스터의 상부로는 패시베이션막(27)이 형성되고, 이 패시베이션막(27) 상부에 유기 발광 소자(28, OLED)의 화소 전극(28-1)이 형성된다. 이 화소 전극(28-1)은 패시베이션막(27)에 형성된 비아 홀(H2)에 의해 TFT의 드레인 전극(27-2)에 콘택된다. 상기 패시베이션막(27)은 무기물 및/또는 유기물, 단층 또는 2개층 이상으로 형성될 수 있는 데, 하부 막의 굴곡에 관계없이 상면이 평탄하게 되도록 평탄화막으로 형성될 수도 있는 반면, 하부에 위치한 막의 굴곡을 따라 굴곡이 가도록 형성될 수 있다. 그리고, 이 패시베이션막(27)은, 공진 효과를 달성할 수 있도록 투명 절연체로 형성되는 것이 바람직하다.
패시베이션막(27) 상에 화소 전극(28-1)을 형성한 후에는 이 화소 전극(28-1) 및 패시베이션막(27)을 덮도록 화소 정의막(29)이 유기물 및/또는 무기물에 의해 형성되고, 화소 전극(28-1)이 노출되도록 개구된다.
그리고, 적어도 상기 화소 전극(28-1) 상에 중간층(28-2) 및 대향 전극(28-3)이 형성된다.
화소 전극(28-1)은 애노드 전극의 기능을 하고, 대향 전극(28-3)은 캐소오드 전극의 기능을 하는 데, 물론, 이들 화소 전극(28-1)과 대향 전극(28-3)의 극성은 반대로 되어도 무방하다.
화소 전극(28-1)과 대향 전극(28-3)은 상기 중간층(28-2)에 의해 서로 절연되어 있으며, 중간층(28-2)에 서로 다른 극성의 전압을 가해 유기 발광층에서 발광이 이뤄지도록 한다.
중간층(28-2)은 유기 발광층을 구비할 수 있다. 선택적인 다른 예로서, 중간층(28-2)은 유기 발광층(organic emission layer)을 구비하고, 그 외에 정공 주입층(HIL:hole injection layer), 정공 수송층(hole transport layer), 전자 수송층(electron transport layer) 및 전자 주입층(electron injection layer) 중 적어도 하나를 더 구비할 수 있다. 본 실시예는 이에 한정되지 아니하고, 중간층(28-2)이 유기 발광층을 구비하고, 기타 다양한 기능층(미도시)을 더 구비할 수 있다.
이때, 상기와 같은 중간층(28-2)은 상기에서 설명한 증착용 마스크(120)와, 증착용 마스크(120)를 포함하는 표시 장치의 제조 장치(10)를 이용하여 형성될 수 있다.
한편, 하나의 단위 화소는 복수의 부화소로 이루어지는데, 복수의 부화소는 다양한 색의 빛을 방출할 수 있다. 예를 들면 복수의 부화소는 각각 적색, 녹색 및 청색의 빛을 방출하는 부화소를 구비할 수 있고, 적색, 녹색, 청색 및 백색의 빛을 방출하는 부화소(미표기)를 구비할 수 있다.
한편, 상기와 같은 박막 봉지층(E)은 복수의 무기층들을 포함하거나, 무기층 및 유기층을 포함할 수 있다.
박막 봉지층(E)의 상기 유기층은 고분자로 형성되며, 바람직하게는 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리이미드, 폴라카보네이트, 에폭시, 폴리에틸렌 및 폴리아크릴레이트 중 어느 하나로 형성되는 단일막 또는 적층막일 수 있다. 더욱 바람직하게는, 상기 유기층은 폴리아크릴레이트로 형성될 수 있으며, 구체적으로는 디아크릴레이트계 모노머와 트리아크릴레이트계 모노머를 포함하는 모노머 조성물이 고분자화된 것을 포함할 수 있다. 상기 모노머 조성물에 모노아크릴레이트계 모노머가 더 포함될 수 있다. 또한, 상기 모노머 조성물에 TPO와 같은 공지의 광개시제가 더욱 포함될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.
박막 봉지층(E)의 상기 무기층은 금속 산화물 또는 금속 질화물을 포함하는 단일막 또는 적층막일 수 있다. 구체적으로, 상기 무기층은 SiNx, Al2O3, SiO2, TiO2 중 어느 하나를 포함할 수 있다.
박막 봉지층(E) 중 외부로 노출된 최상층은 유기 발광 소자에 대한 투습을 방지하기 위하여 무기층으로 형성될 수 있다.
박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 무기층 사이에 적어도 하나의 유기층이 삽입된 샌드위치 구조를 적어도 하나 포함할 수 있다. 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 유기층 사이에 적어도 하나의 무기층이 삽입된 샌드위치 구조를 적어도 하나 포함할 수 있다. 또 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 무기층 사이에 적어도 하나의 유기층이 삽입된 샌드위치 구조 및 적어도 2개의 유기층 사이에 적어도 하나의 무기층이 삽입된 샌드위치 구조를 포함할 수도 있다.
박막 봉지층(E)은 유기 발광 소자(OLED)의 상부로부터 순차적으로 제1 무기층, 제1 유기층, 제2 무기층을 포함할 수 있다.
다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 유기 발광 소자(OLED)의 상부로부터 순차적으로 제1 무기층, 제1 유기층, 제2 무기층, 제2 유기층, 제3 무기층을 포함할 수 있다.
또 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 상기 유기 발광 소자(OLED)의 상부로부터 순차적으로 제1 무기층, 제1 유기층, 제2 무기층, 상기 제2 유기층, 제3 무기층, 제3 유기층, 제4 무기층을 포함할 수 있다.
유기 발광 소자(OLED)와 제1 무기층 사이에 LiF를 포함하는 할로겐화 금속층이 추가로 포함될 수 있다. 상기 할로겐화 금속층은 제1 무기층을 스퍼터링 방식으로 형성할 때 상기 유기 발광 소자(OLED)가 손상되는 것을 방지할 수 있다.
제1 유기층은 제2 무기층 보다 면적이 좁게 할 수 있으며, 상기 제2 유기층도 제3 무기층 보다 면적이 좁을 수 있다.
따라서 표시 장치(20)는 정밀한 패턴을 형성하는 중간층(28-2)을 구비하고, 중간층(28-2)이 정확한 위치에 증착되어 형성됨으로써 정밀한 이미지 구현이 가능하다. 또한, 표시 장치(20)는 반복적으로 중간층(28-2)을 증착하더라도 일정한 패턴을 형성함으로써 지속적인 생산에 따라 균일한 품질을 나타낸다.
이와 같이 본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 하여 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 실시예의 변형이 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
10: 표시 장치의 제조 장치 121b: 인입부
20: 표시 장치 121c: 차단부
100: 마스크 프레임 조립체 122: 클램핑부
110: 프레임 130: 지지스틱
120: 증착용 마스크 140: 용접부
121: 패턴부 200: 증착원
121a: 돌출부

Claims (18)

  1. 클램프에 의해 클램핑된 상태로 제1 방향으로 인장되는 증착용 마스크에 있어서,
    복수개의 패턴홀을 구비하는 패턴부; 및
    상기 클램프에 의해 클램핑되는 돌출부와, 상기 패턴부를 향하는 방향으로 인입된 인입부를 구비한 클램핑부;를 포함하고,
    상기 패턴부는,
    상기 제1 방향을 기준으로 적어도 일부가 상기 돌출부에 중첩되며, 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 상기 돌출부에서 상기 인입부를 향하는 방향으로 갈수록 면적이 작아지는 차단부를 포함하고,
    복수개의 상기 패턴홀은 각각 서로 대응하는 면적을 갖으며,
    상기 제1 방향을 기준으로 상기 돌출부와 중첩되는 상기 패턴홀의 개수는 상기 제1 방향을 기준으로 상기 인입부와 중첩되는 상기 패턴홀의 개수보다 적은, 증착용 마스크.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 제2 방향을 따라 상기 인입부에서 상기 돌출부를 향하는 방향으로 갈수록 상기 제1 방향을 따라 늘어선 상기 패턴홀의 개수는 점진적으로 줄어드는, 증착용 마스크.
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 차단부는 상기 제1 방향을 따라 상기 클램핑부에서 상기 패턴부를 향하는 방향으로 갈수록 점진적으로 면적이 작아지는, 증착용 마스크.
  6. 제1 항에 있어서,
    상기 차단부는 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향을 따라 다단(多段) 형상으로 구비되는, 증착용 마스크.
  7. 기판과 대향하도록 배치되는 마스크 프레임 조립체; 및
    상기 마스크 프레임 조립체에 대향하도록 배치되는 증착원;을 포함하고,
    상기 마스크 프레임 조립체는,
    중앙에 개구부를 갖는 프레임과,
    상기 기판과 대향하도록 배치되고, 양 단부가 클램프에 의해 클램핑된 상태로 제1 방향으로 인장되어 상기 프레임에 설치되는 증착용 마스크와,
    상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장되어 상기 증착용 마스크의 일부를 가리며, 상기 증착용 마스크를 지지하는 지지스틱을 포함하고,
    상기 증착용 마스크는,
    복수개의 패턴홀을 구비하는 패턴부와, 상기 클램프에 의해 클램핑되는 돌출부와, 상기 패턴부를 향하는 방향으로 인입된 인입부를 구비한 클램핑부를 포함하고,
    상기 패턴부는 상기 제1 방향을 기준으로 적어도 일부가 상기 돌출부에 중첩되며, 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 상기 돌출부에서 상기 인입부를 향하는 방향으로 갈수록 면적이 작아지는 차단부를 포함하고,
    복수개의 상기 패턴홀은 각각 서로 대응하는 면적을 갖으며,
    상기 제1 방향을 기준으로 상기 돌출부와 중첩되는 상기 패턴홀의 개수는 상기 제1 방향을 기준으로 상기 인입부와 중첩되는 상기 패턴홀의 개수보다 적은, 표시 장치의 제조 장치.
  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 제7 항에 있어서,
    상기 제2 방향을 따라 상기 인입부에서 상기 돌출부를 향하는 방향으로 갈수록 상기 제1 방향을 따라 늘어선 상기 패턴홀의 개수는 점진적으로 줄어드는, 표시 장치의 제조 장치.
  11. 제7 항에 있어서,
    상기 차단부는 상기 제1 방향을 따라 상기 클램핑부에서 상기 패턴부를 향하는 방향으로 갈수록 점진적으로 면적이 작아지는, 표시 장치의 제조 장치.
  12. 제7 항에 있어서,
    상기 차단부는 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향을 따라 다단(多段) 형상으로 구비되는, 표시 장치의 제조 장치.
  13. 챔버 내부에 기판 및 마스크 프레임 조립체를 장입시키는 단계;
    상기 기판과 상기 마스크 프레임 조립체를 정렬하는 단계; 및
    증착원에서 분사되는 증착 물질을 상기 마스크 프레임 조립체로 통과시켜 상기 기판 상에 상기 증착 물질을 증착시키는 단계;를 포함하고,
    상기 마스크 프레임 조립체는,
    중앙에 개구부를 갖는 프레임과,
    상기 기판과 대향하도록 배치되고, 양 단부가 클램프에 의해 클램핑된 상태로 제1 방향으로 인장되어 상기 프레임에 설치되는 증착용 마스크와,
    상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장되어 상기 증착용 마스크의 일부를 가리며, 상기 증착용 마스크를 지지하는 지지스틱을 포함하고,
    상기 증착용 마스크는,
    복수개의 패턴홀을 구비하는 패턴부와, 상기 클램프에 의해 클램핑되는 돌출부와, 상기 패턴부를 향하는 방향으로 인입된 인입부를 구비한 클램핑부를 포함하고,
    상기 패턴부는 상기 제1 방향을 기준으로 적어도 일부가 상기 돌출부에 중첩되며, 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 상기 돌출부에서 상기 인입부를 향하는 방향으로 갈수록 면적이 작아지는 차단부를 포함하고,
    복수개의 상기 패턴홀은 각각 서로 대응하는 면적을 갖으며,
    상기 제1 방향을 기준으로 상기 돌출부와 중첩되는 상기 패턴홀의 개수는 상기 제1 방향을 기준으로 상기 인입부와 중첩되는 상기 패턴홀의 개수보다 적은, 표시 장치의 제조 방법.
  14. 삭제
  15. 삭제
  16. 제13 항에 있어서,
    상기 제2 방향을 따라 상기 인입부에서 상기 돌출부를 향하는 방향으로 갈수록 상기 제1 방향을 따라 늘어선 상기 패턴홀의 개수는 점진적으로 줄어드는, 표시 장치의 제조 방법.
  17. 제13 항에 있어서,
    상기 차단부는 상기 제1 방향을 따라 상기 클램핑부에서 상기 패턴부를 향하는 방향으로 갈수록 점진적으로 면적이 작아지는, 표시 장치의 제조 방법.
  18. 제13 항에 있어서,
    상기 차단부는 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향을 따라 다단(多段) 형상으로 구비되는, 표시 장치의 제조 방법.
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