KR102586049B1 - 마스크 프레임 조립체, 표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법 - Google Patents

마스크 프레임 조립체, 표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 마스크 프레임 조립체, 표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법을 개시한다. 본 발명은 개구부를 가지는 프레임와, 상기 개구부를 제1 방향으로 가로질러 양단이 상기 프레임과 연결되는 제1 지지바와, 상기 제1 지지바와 교차하도록 상기 개구부를 제2 방향으로 가로질러 상기 프레임에 설치되며, 양단은 상기 프레임에 고정되는 분할 마스크 및 상기 제1 지지바에 설치되며, 상기 제1 지지바 보다 자성의 크기가 큰 제2 지지바를 포함한다.

Description

마스크 프레임 조립체, 표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법 {Mask frame assembly, apparatus for manufacturing display apparatus and method of manufacturing display apparatus }
본 발명의 실시예들은 장치 및 방법에 관한 것으로서, 더 상세하게는 마스크 프레임 조립체, 표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법 에 관한 것이다.
이동성을 기반으로하는 전자 기기가 폭 넓게 사용되고 있다. 이동용 전자 기기로는 모바일 폰과 같은 소형 전자 기기 이외에도 최근 들어 태블릿 PC가 널리 사용되고 있다.
이와 같은 이동형 전자 기기는 다양한 기능을 지원하기 위하여, 이미지 또는 영상과 같은 시각 정보를 사용자에게 제공하기 위하여 디스플레이 장치를 포함한다. 최근, 디스플레이 장치를 구동하기 위한 기타 부품들이 소형화됨에 따라, 디스플레이 장치가 전자 기기에서 차지하는 비중이 점차 증가하고 있는 추세이며, 평평한 상태에서 소정의 각도를 갖도록 구부릴 수 있는 구조도 개발되고 있다.
표시 장치는 유기물이나 전극으로 사용되는 금속 등은 진공 분위기에서 해당 물질을 기판 상에 증착하여 박막을 형성하는 진공 증착법을 사용하여 제조된다. 진공 증착법은 진공챔버 내부에 유기 박막을 성막시킬 기판을 위치시키고, 형성될 박막 등의 패턴과 동일한 패턴을 가지는 마스크를 밀착시킨 후, 증착 소스를 이용하여 유기물을 증발 또는 승화시켜 기판에 증착시키는 방법으로 행해진다.
고해상도 디스플레이 장치를 제작하기 위해서는 마스크와 기판 사이를 밀착시켜서 쉐도우 효과를 제거해야 한다.
전술한 배경기술은 발명자가 본 발명의 도출을 위해 보유하고 있었거나, 본 발명의 도출 과정에서 습득한 기술 정보로서, 반드시 본 발명의 출원 전에 일반 공중에게 공개된 공지기술이라 할 수는 없다.
그러나, 고해상도를 위해 마스크의 두께는 얇아지나, 그에 따라 기판과 마스크 사이의 간극이 발생한다. 본 발명의 실시예들은 기판과 마스크 프레임 조립체 사이의 간극을 최소화 하여 기판에 정밀한 증착 패턴을 성막하는 마스크 프레임 조립체, 표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법을 제공한다.
본 발명의 일 측면은, 개구부를 가지는 프레임와, 상기 개구부를 제1 방향으로 가로질러 양단이 상기 프레임과 연결되는 제1 지지바와, 상기 제1 지지바와 교차하도록 상기 개구부를 제2 방향으로 가로질러 상기 프레임에 설치되며, 양단은 상기 프레임에 고정되는 분할 마스크 및 상기 제1 지지바에 설치되며, 상기 제1 지지바 보다 자성의 크기가 큰 제2 지지바를 포함하는, 마스크 프레임 조립체를 제공한다.
또한, 상기 제1 지지바의 일면은 상기 분할 마스크가 지지되고, 상기 제1 지지바의 타면은 상기 제2 지지바가 고정될 수 있다.
또한, 상기 제1 지지바와 상기 제2 지지바는 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향과 수직하는 제3 방향으로의 두께를 가지고, 상기 제1 지지바의 두께는 상기 제2 지지바의 두께보다 클 수 있다.
또한, 상기 제1 지지바는 적어도 하나 이상의 상기 제2 지지바가 상기 제1 방향으로 연장될 수 있다.
또한, 상기 제2 지지바는 상기 제2 지지바의 적어도 일부가 상기 제1 지지바의 홈에 삽입되어 고정될 수 있다.
또한, 상기 제2 지지바는 상기 제1 지지바의 길이방향의 중심에서 상기 제1 지지바의 양단으로 갈수록 두께가 감소할 수 있다.
또한, 상기 제2 지지바는 상기 제2 방향으로의 폭을 가지고, 상기 제1 지지바의 길이방향의 중심에서 상기 제1 지지바의 양단으로 갈수록 상기 제2 지지바의 폭이 감소할 수 있다.
본 발명의 다른 측면은, 기판과 대향하도록 배치되는 마스크 프레임 조립체와, 상기 마스크 프레임 조립체를 지지하는 서포터와, 상기 기판을 흡착하여 상기 마스크 프레임 조립체에 정렬하는 정전척 및 상기 마스크 프레임 조립체와 대향하도록 배치되어 상기 기판으로 증착물질을 분사하는 증착원을 포함하고, 상기 마스크 프레임 조립체는, 개구부를 가지는 프레임과, 상기 개구부를 제1 방향으로 가로질러 양단이 상기 프레임과 연결되는 제1 지지바와, 상기 제1 지지바와 교차하도록 상기 개구부를 제2 방향으로 가로질러 상기 프레임에 설치되며, 양단은 상기 프레임에 고정되는 분할 마스크 및 상기 제1 지지바에 설치되며, 상기 제1 지지바 보다 자성의 크기가 큰 제2 지지바를 포함하는, 표시 장치의 제조 장치를 제공한다.
또한, 상기 마스크 프레임 조립체와 상기 정전척 사이에 상기 기판이 배치되고, 상기 정전척과 상기 제2 지지바 사이의 인력은 상기 정전척과 상기 제1 지지바 사이의 인력보다 강할 수 있다.
또한, 상기 정전척과 제2 지지바 사이의 인력은 상기 제1 지지바의 길이방향의 중심에서 상기 제1 지지바의 양단으로 갈수록 감소할 수 있다.
또한, 상기 제1 지지바의 일면은 상기 분할 마스크가 지지되고, 상기 제1 지지바의 타면은 상기 제2 지지바가 고정될 수 있다.
또한, 상기 제1 지지바와 상기 제2 지지바는 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향과 수직하는 제3 방향으로의 두께를 가지고, 상기 제1 지지바의 두께는 상기 제2 지지바의 두께보다 클 수 있다.
또한, 상기 제1 지지바는 적어도 하나 이상의 상기 제2 지지바가 상기 제1 방향으로 연장될 수 있다.
또한, 상기 제2 지지바는 상기 제2 지지바의 적어도 일부가 상기 제1 지지바의 홈에 삽입되어 고정될 수 있다.
또한, 상기 제2 지지바는 상기 제1 지지바의 길이방향의 중심에서 상기 제1 지지바의 양단으로 갈수록 두께가 감소할 수 있다.
또한, 상기 제2 지지바는 상기 제2 방향으로의 폭을 가지고, 상기 제1 지지바의 길이방향의 중심에서 상기 제1 지지바의 양단으로 갈수록 상기 제2 지지바의 폭이 감소할 수 있다.
본 발명의 또 다른 측면은, 기판 및 마스크 프레임 조립체를 챔버 내부로 장입하는 단계와, 정전척이 상기 기판을 상기 마스크 프레임 조립체에 정렬하는 단계와, 증착원에서 증착물질을 분사하는 단계 및 상기 증착물질이 상기 마스크 프레임 조립체를 통과하여 상기 기판에 증착되는 단계를 포함하고, 상기 마스크 프레임 조립체는, 개구부를 가지는 프레임과, 상기 개구부를 제1 방향으로 가로질러 양단이 상기 프레임과 연결되는 제1 지지바와, 상기 제1 지지바와 교차하도록 상기 개구부를 제2 방향으로 가로질러 상기 프레임에 설치되며, 양단은 상기 프레임에 고정되는 분할 마스크 및 상기 제1 지지바에 설치되며, 상기 제1 지지바 보다 자성의 크기가 큰 제2 지지바를 포함하는, 표시 장치의 제조 방법을 제공한다.
또한, 상기 정전척이 상기 기판을 상기 마스크 프레임 조립체에 정렬하는 단계는, 상기 정전척과 상기 제2 지지바 사이의 인력이 상기 정전척과 상기 제1 지지바 사이의 인력보다 강할 수 있다.
또한, 상기 정전척이 상기 기판을 상기 마스크 프레임 조립체에 정렬하는 단계는, 상기 정전척과 제2 지지바 사이의 인력이 상기 제1 지지바의 길이방향의 중심에서 상기 제1 지지바의 양단으로 갈수록 감소할 수 있다.
또한, 상기 제1 지지바는 적어도 하나 이상의 상기 제2 지지바가 상기 제1 방향으로 연장될 수 있다.
전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점이 이하의 도면, 특허청구범위 및 발명의 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다.
본 발명의 실시예들에 관한 마스크 프레임 조립체, 표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법은 기판과 마스크 프레임 조립체 사이의 간극을 최소화하여 증착공정의 효율이 향상될 수 있다. 물론 이러한 효과에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 프레임 조립체를 도시한 사시도이다.
도 2는 도 1의 제1 지지바와 제2 지지바를 도시한 저면도이다.
도 3은 도 2의 Ⅲ-Ⅲ 따라 취한 단면도이다.
도 4a 내지 도4c는 도 3의 제1 지지바와 제2 지지바의 변형예를 도시한 단면도이다.
도 5는 도 2의 제1 지지바와 제2 지지바의 변형예를 도시한 저면도이다.
도 6a는 도5의 Ⅵa-Ⅵa를 따라 취한 단면도이고, 도 6b는 도 5의 Ⅵb-Ⅵb를 따라 취한 단면도이다.
도 7은 도 2의 제1 지지바와 제2 지지바의 다른 변형예를 도시한 저면도이다.
도 8a은 도 7의 Ⅷa-Ⅷa를 따라 취한 단면도이고, 도 8b는 도 7의 Ⅷb-Ⅷb를 따라 취한 단면도이다.
도 9 및 도 10은 도 2의 제1 지지바와 제2 지지바의 또 다른 변형예를 도시한 측면도이다.
도 11은 도 1의 마스크 프레임 조립체를 포함하는 표시 장치의 제조 장치를 도시한 개념도이다.
도 12는 도 11의 표시 장치의 제조 장치를 이용하여 제조되는 표시 장치의 일 서브 픽셀을 도시한 단면도이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
이하의 실시예에서, 제1, 제2 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다.
이하의 실시예에서, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
이하의 실시예에서, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다.
이하의 실시예에서, 막, 영역, 구성 요소 등의 부분이 다른 부분 위에 또는 상에 있다고 할 때, 다른 부분의 바로 위에 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 있는 경우도 포함한다.
도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
이하의 실시예에서, x축, y축 및 z축은 직교 좌표계 상의 세 축으로 한정되지 않고, 이를 포함하는 넓은 의미로 해석될 수 있다. 예를 들어, x축, y축 및 z축은 서로 직교할 수도 있지만, 서로 직교하지 않는 서로 다른 방향을 지칭할 수도 있다.
어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 프레임 조립체(100)를 도시한 사시도이고, 도 2는 도 1의 제1 지지바(130)와 제2 지지바(140)를 도시한 저면도이며, 도 3은 도 2의 Ⅲ-Ⅲ 따라 취한 단면도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 마스크 프레임 조립체(100)는 프레임(110), 제1 지지바(130), 제2 지지바(140) 및 복수개의 분할 마스크(150)를 포함한다.
프레임(110)은 금속 또는 합성수지 등으로 제조될 수 있으며, 사각 형상으로 하나 이상의 개구를 갖도록 형성되어 있으나, 일 실시의 사상은 이에 제한되지 아니하며, 원형 또는 육각형 등의 다양한 형태로 형성될 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위해서 사각틀의 형상을 가지는 경우를 중심으로 설명하기로 한다.
프레임(110)은 X축 방향인 제1 방향으로 연장되는 한 쌍의 제1 프레임(111)과 제1 프레임(111)을 연결하는 한 쌍의 제2 프레임(112)을 구비할 수 있다. 제1 프레임(111)과 제2 프레임(112)은 개구부를 형성할 수 있다.
제1 지지바(130)는 프레임(110)의 개구부를 가로질러 프레임(110)과 연결될 수 있다. 제1 지지바(130)는 제1 방향으로 제2 프레임(112)에 연결될 수 있다. 제1 지지바(130)의 양단은 제2 프레임(112)의 제1 홈(113)에 삽입되어 고정될 수 있다. 제1 지지바(130)는 용접으로 제1 홈(113)에 고정되거나, 접착물질이 부착되어 제1 홈(113)에 고정될 수 있다.
제1 지지바(130)는 복수개의 분할 마스크(150)를 지지할 수 있다. 제1 지지바(130)는 분할 마스크(150)의 리브부(152)를 지지할 수 있다. 제1 지지바(130)는 분할 마스크(150)의 자중을 분산시켜서 분할 마스크(150)의 처짐을 방지할 수 있다.
제1 지지바(130) 약한 자성을 가지는 재료로 제작될 수 있다. 예를들어, 스테인리스스틸(SUS)로 제작될 수 있다. 제1 지지바(130)의 일면은 분할 마스크(150)와 접촉한다. 제1 지지바(130)가 강한 자성을 가지는 재료로 제작되면, 정전척(도11참조)과 제1 지지바(130) 사이에 강한 인력이 작용하여 기판(11, 도 11참조)과 분할 마스크(150) 사이에 간극이 발생하거나 분할 마스크(150)의 패턴부(151)가 기판(11)에 정확하게 정렬되지 않는다. 따라서, 제1 지지바(130)는 마스크 프레임 조립체(100)와 기판(11)을 밀착시키며, 정확한 얼라인을 위해서 자성이 약한 재료로 제작될 수 있다.
제2 지지바(140)는 제1 지지바(130)와 결합할 수 있다. 제2 지지바(140)는 제1 방향으로 연속적으로 배치될 수 있다. 제2 지지바(140)는 제1 지지바(130)의 타면에 설치될 수 있다. 즉, 분할 마스크(150)와 마주보도록 제1 지지바(130)에 고정될 수 있다.
제2 지지바(140)는 제2 프레임(112)의 제2 홈(114)에 삽입되어 고정될 수 있다. 제2 지지바(140)는 용접으로 제2 홈(114)에 고정되거나, 접착물질이 부착되어 제2 홈(114)에 고정될 수 있다.
제2 지지바(140)는 제1 지지바(130) 보다 자성의 크기가 큰 재료로 제작될 수 있다. 예를 들어, 제2 지지바(140)는 인바(INVAR)나 철(Fe), 코발트(Co), 니켈(Ni) 및 그 합금으로 제작될 수 있다. 또한, 제2 지지바(140)는 철(Fe), 코발트(Co), 니켈(Ni) 중 적어도 하나의 함량이 제1 지지바(130) 보다 높은 함량을 가지도록 제작될 수 있다.
상술한 바와 같이 제1 지지바(130)는 약한 자성을 가지므로 정전척(180, 도 11참조)에 자기장을 가하더라도, 기판(11)과 분할 마스크(150) 사이에 간극이 발생할 수 있다. 제2 지지바(140)는 정전척(180)과 강한 인력을 가지므로, 기판(11)과 분할 마스크(150) 사이의 간극을 최소화 할 수 있다.
도 3을 참조하면, 제1 지지바(130)와 제2 지지바(140)는 제1 방향 및 제2 방향에 수직한 제3 방향으로 각각 두께를 가질 수 있다. 제1 지지바(130)의 두께(d1)는 제2 지지바(140)의 두께(d2)보다 크게 제작될 수 있다. 제1 지지바(130)는 복수개의 분할 마스크(150)를 지지해야 하는바 강성을 가지기 위해 소정의 두께를 가져야 한다. 제2 지지바(140)는 제1 지지바(130)의 처짐을 방지하기 위해서 제1 지지바(130)의 두께(d1) 보다 작은 두께(d2)로 형성 될 수 있다.
도 4a 내지 도4c는 도 3의 제1 지지바(130)와 제2 지지바(140)의 변형예를 도시한 단면도이다.
도 4a를 참조하면, 제2 지지바(141)는 제2 지지바(141)의 적어도 일부가 제1 지지바(131)에 삽입되도록 설치될 수 있다. 제2 지지바(141)는 제1 지지바(131)의 홈에 삽입될 수 있다. 제2 지지바(141)는 제1 지지바(131)에 포함되도록 삽입되어, 증착 공정시에 증착물질을 기판에 정확하게 증착할 수 있다.
상세히, 증착공정시에 증착물질이 분사되면, 증착물질은 이웃하는 제1 지지바(131) 사이를 통과한다. 제2 지지바(141)가 제1 지지바(131)에서 돌출되면 제2 지지바(141)는 증착물질의 이동방향을 방해하여 증착의 정확도가 저하 될수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 지지바(131)의 두께(d3)는 제2 지지바(140)의 두께(d4)보다 크게 형성되고, 제2 지지바(140)가 제1 지지바(130)에 삽입되어, 제1 지지바(130)와 제2 지지바(140)는 플랫한 면을 형성할 수 있다. 즉, 제1 지지바(130)에서 돌출되는 부분을 제거하여 증착공정의 효율을 향상시킬 수 있다.
도 4b를 참조하면, 제2 지지바(142)는 복수개로 제1 지지바(132)에 설치될 수 있다. 제2 지지바(142)는 제1 지지바(132)의 가장자리에 고정될 수 있다. 제1 지지바(132)의 가장자리는 분할 마스크(150)의 리브부(152)와 패턴부(151)의 경계영역에 정렬된다. 제2 지지바(142)는 제1 지지바(132)의 가장자리에 설치되어 패턴부(151)의 경계영역에서 기판(11)과 분할 마스크(150)의 밀착성을 향상시킬 수 있다.
도 4c를 참조하면, 제2 지지바(143)는 복수개로 제1 지지바(133)에 삽입되도록 설치될 수 있다. 제2 지지바(143)는 제1 지지바(133)의 가장자리에 설치되어 패턴부(151)의 경계영역에서 기판(11)과 분할 마스크(150)의 밀착성을 향상시킬 수 있으며, 제1 지지바(133)에서 돌출되는 부분을 제거하여 증착의 정확도를 향상시킬 수 있다.
다시 도 1을 참조하면, 마스크 프레임 조립체(100)는 복수개의 분할 마스크(150)를 구비할 수 있다. 분할 마스크(150)는 제1 지지바(130)와 교차하도록 프레임(110)의 개구부를 제2 방향으로 가로질러 설치될 수 있다.
분할 마스크(150)는 증착물질이 통과하는 패턴부(151)와 패턴부(151)를 지지하는 리브부(152)를 구비할 수 있다. 제1 지지바(130)는 리브부(152)에 지지되어 분할 마스크(150)의 처짐을 방지할 수있다.
분할 마스크(150)는 제2 방향으로 인장되어 프레임(110)에 고정될 수 있다. 분할 마스크(150)의 양단은 용접부(153)에 의해 제1 프레임(111)에 고정될 수 있다.
도 5는 도 2의 제1 지지바(130)와 제2 지지바(140)의 변형예를 도시한 저면도이고, 도 6a는 도5의 Ⅵa-Ⅵa를 따라 취한 단면도이고, 도 6b는 도 5의 Ⅵb-Ⅵb를 따라 취한 단면도이다.
도 5, 도6a 및 도 6b를 참조하면, 제2 지지바(240)의 두께는 제1 지지바(230)의 길이방향의 중심에서 제1 지지바(230)의 양단으로 갈수록 감소하게 설치될 수 있다.
상세히, 제2 지지바(240)는 제1 지지바(230)의 단부에서는 t1의 두께를 가지나, 제1 지지바(230)의 중앙에서는 t2의 두께를 가질 수 있다. 제1 지지바(230)의 길이방향의 중앙은 프레임(110)의 개구에 위치하므로, 자중에 의해서 처짐이 발생할 수 있다. 제1 지지바(230)의 중앙에서는 제2 지지바(240)의 두께를 얇게 형성하여 제2 지지바(240)의 자중으로 인한 처짐을 최소화 할 수 있다.
제2 지지바(240)의 폭은 제1 지지바(230)의 길이방향의 중심에서 제1 지지바(230)의 양단으로 갈수록 감소할 수 있다. 분할 마스크(150)는 프레임(110)의 개구의 중심에서 처짐이 발생하므로, 프레임(110)의 가운데에서 강한 인력이 형성되어야 한다. 즉, 제2 지지바(240)는 제1 지지바(230)의 중심에서 정전척(180)과 강한 인력을 발생하여 분할 마스크(150)와 기판(11) 사이의 간극을 최소화 하여야 한다.
제2 지지바(240)는 제2 방향으로의 폭을 가진다. 제2 지지바(240)의 폭은 제1 지지바(230)의 길이방향의 중심에서 단부보다 넓게 형성하여, 제1 지지바(230)의 길이방향의 중심에서 정전척(180)과 강한 인력을 형성할 수 있다.
도 7은 도 2의 제1 지지바(130)와 제2 지지바(140)의 다른 변형예를 도시한 저면도이고, 도 8a은 도 7의 Ⅷa-Ⅷa를 따라 취한 단면도이고, 도 8b는 도 7의 Ⅷb-Ⅷb를 따라 취한 단면도이다.
도 7, 도 8a 및 도 8b를 참조하면, 제2 지지바(340)는 제1 방향으로 이격되어 배치될 수 있다. 예를들어, 제2 지지바(340)는 양단에 설치되는 제2a 지지바(341)와 제2a 지지바(341)에 이격되어 배치되는 제2b 지지바(342) 및 제1 지지바(330)의 길이방향의 중앙에 배치되는 제2c 지지바(343)를 구비할 수 있다.
제2 지지바(340)의 두께는 제1 지지바(330)의 길이방향의 중심에서 제1 지지바(330)의 양단으로 갈수록 감소하게 설치될 수 있다 .
제2a 지지바(341)의 두께(t3)는 제2b 지지바(342)의 두께보다 크게 형성되고, 제2b 지지바(342)의 두께는 제2c 지지바(343)의 두께(t4)보다 크게 형성될 수 있다. 제2c 지지바(343)의 두께를 얇게 형성하여 제1 지지바(330)의 처짐을 방지할 수 있다.
제2 지지바(340)의 폭은 제1 지지바(330)의 길이방향의 중심에서 제1 지지바(330)의 양단으로 갈수록 감소할 수 있다.
제2a 지지바(341)의 폭은 제2b 지지바(342)의 폭보다 작게 형성되고, 제2b 지지바(342)의 폭은 제2c 지지바(343)의 폭보다 작게 형성될 수 있다. 그리하여 제2 지지바(340)는 제1 지지바(330)의 중심에서 정전척(180)과 강한 인력을 발생하여 분할 마스크(150)와 기판(11) 사이의 간극을 최소화 할 수 있다.
도 9 및 도 10은 도 2의 제1 지지바(130)와 제2 지지바(140)의 또 다른 변형예를 도시한 측면도이다.
도 9를 참조하면, 제2 지지바(440)는 제1 지지바(430)의 길이방향의 중심에서 두께가 두껍게 형성하고 제1 지지바(430)의 단부로 갈수록 두께가 얇게 형성될 수 있다. 제2 지지바(440)는 제1 지지바(430)의 중심에서 정전척(180)과 강한 인력을 발생하여 분할 마스크(150)와 기판(11) 사이의 간극을 최소화할 수 있다.
도 10을 참조하면, 제2 지지바(540)는 제1 지지바(530)에 삽입되도록 설치되어, 제1 지지바(530)의 표면에서 제2 지지바(540)가 돌출되지 않도록 형성될 수 있다.
도 11은 도 1의 마스크 프레임 조립체(100)를 포함하는 표시 장치의 제조 장치(10)를 도시한 개념도이다.
표시장치 제조 장치(10)는 마스크 프레임 조립체(100), 챔버(161), 서포터(162), 증착 소스(170), 정전척(180) 및 비젼부(182)를 포함할 수 있다. 이때, 마스크 프레임 조립체(100)는 도 1에 도시된 마스크 프레임 조립체일 수 있다.
챔버(161)는 내부에 공간이 형성될 수 있으며, 일부가 개방될 수 있다. 이때, 챔버(161)의 개방된 부분에는 게이트밸브(161a) 등이 설치되어 개방된 부분을 개폐할 수 있다.
서포터(162)는 마스크 프레임 조립체(100)가 안착될 수 있다. 이때, 서포터(162)는 마스크 프레임 조립체(100)를 회전시키거나 선형 운동시킬 수 있다.
증착 소스(170)는 증착물질이 내부에 삽입되어 기화되거나 승화될 수 있다. 이때, 기화되거나 승화된 증착물질은 복수개의 분할 마스크(150)를 통하여 기판(11)에 증착될 수 있다.
정전척(180)은 기판(11)을 마스크 프레임 조립체(100)에 정렬할 수 있다. 정전척(180)은 전자기력을 이용하여 기판(11)을 흡착한 후에 마스크 프레임 조립체(100) 상에 정렬한다. 이‹š, 비젼부(182)를 이용하여 기판(11)을 마스크 프레임 조립체(100)에 정확하게 정렬할 수 있다.
상기와 같은 표시 장치 제조 장치(10)는 기판(11)을 지지시킨 상태에서 증착물질을 기판(11)에 증착할 수 있다. 다른 실시예로써 기판(11)과 증착 소스(170)가 서로 상대 운동함으로써 증착물질을 기판(11)에 증착하는 것도 가능하다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 기판(11)을 지지시킨 상태에서 증착물질을 기판(11)에 증착시키는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
챔버(161)에는 압력조절부(190)가 연결될 수 있다. 이때, 압력조절부(190)는 챔버(161)와 연결되는 연결배관(191)과, 연결배관(191)에 설치되는 펌프(192)를 포함할 수 있다.
상기와 같은 표시장치 제조 장치(10)는 유기층, 무기층 또는 금속층 등을 형성할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 표시장치 제조 장치(10)가 유기층을 형성하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. 특히 이하에서는 유기층 중 중간층(682)을 형성하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
구체적으로 표시장치 제조 장치(10)의 작동을 살펴보면, 외부로부터 기판(11) 및 마스크 프레임 조립체(100)를 챔버(161) 내부로 장입하여 각각 서포터(162)에 지지시킬 수 있다.
이후 비젼부(182)를 통하여 마스크 프레임 조립체(100)와 기판(11)의 위치를 측정한 후 정전척(180)을 이용하여 기판(11)과 마스크 프레임 조립체(100)를 정렬시킬 수 있다. 이때, 비젼부(182)는 마스크 프레임 조립체(100)와 기판(11)을 촬영하는 카메라를 포함할 수 있다.
정전척(180)은 기판(11)과 마스크 프레임 조립체(100)를 전자기력을 이용하여 흡착할 수 있다. 이때, 기판(11)과 마스크 프레임 조립체(100) 사이의 간극을 최소화하여야 한다. 마스크 프레임 조립체(100)는 자성이 강한 제2 지지바(140)를 제1 지지바(130)의 일면에 설치하여 정전척(180)과 강한 인력을 형성할 수 있다. 즉, 제2 지지바(140)와 정전척(180) 사이의 인력은 마스크 프레임 조립체(100)와 기판(11)을 밀착시킬 수 있다.
마스크 프레임 조립체(100)와 기판(11)의 위치를 정렬한 후 증착 소스(170)를 가동하여 증착물질을 기화 또는 승화시킬 수 있다. 이때, 증착물질은 제1 지지바(130) 사이와 제2 지지바(140) 사이를 통과하고, 복수개의 분할 마스크(150)의 패턴부(151)를 통과하여 기판(11)에 증착될 수 있다. 이후 증착이 완료된 기판(11)을 챔버(161) 외부로 인출하여 다음 공정을 수행할 수 있다.
고해상도 표시장치를 생산하기 위해서는 기판(11)에 증착 패턴이 정밀하게 증착되어야 한다. 쉐도우 효과를 최소화하여 정밀하게 증착하기 위해서 분할 마스크(150)의 두께는 최소화 하여야 한다. 그러나 분할 마스크(150)의 두께가 얇아지면, 분할 마스크(150)와 정전척(180)의 인력이 약해진다. 이는 기판(11)과 마스크 프레임 조립체(100) 사이에 간극을 생성하여 쉐도우 효과가 발생할 수 있다.
분할 마스크(150)의 두께가 얇아지면서, 분할 마스크(150)를 지지하는 제1 지지바(130)는 자성이 약한 재료로 제작되어야 한다. 만약, 제1 지지바(130)가 강한 자성을 띄게 되면 정전척(180)과 제1 지지바(130)에 강한 인력이 발생한다. 즉, 기판(11)이 분할 마스크(150)에 정렬되지 않은 상태에서 인력이 발생하여 기판(11)과 분할 마스크(150)의 밀착성이 저하된다.
마스크 프레임 조립체(100)는 기판(11)과 분할 마스크(150) 사이의 간극을 최소화하여 증착공정의 효율이 향상될 수 있다. 제1 지지바(130)는 약한 자성을 가지도록 형성되어 기판(11)이 마스크 프레임 조립체(100)에 정확하게 정렬을 할 수 있다. 제2 지지바(140)는 제1 지지바(130)보다 강한 자성을 가지도록 형성되어 마스크 프레임 조립체(100)와 기판(11) 사이의 간극을 최소화 할 수 있다.
마스크 프레임 조립체(100)는 제2 지지바(140)가 제1 지지바(130)의 길이방향의 중심에서 양단으로 두께가 증가하도록 형성되어, 분할 마스크(150) 또는 제1 지지바(130)의 처짐을 최소화 할 수 있다.
마스크 프레임 조립체(100)는 제2 지지바(140)가 제1 지지바(130)의 길이방향의 중심에서 양단으로 폭이 작아지도록 형성되어, 분할 마스크(150) 또는 제1 지지바(130)의 처짐을 최소화 할 수 있다.
도 12는 도 11의 표시 장치의 제조 장치(10)를 이용하여 제조되는 표시 장치(600)의 일 서브 픽셀을 도시한 단면도이다.
여기서, 서브 픽셀들은 적어도 하나의 박막 트랜지스터(TFT)와, 유기 발광 소자(organic light emitting display device, OLED)를 가질 수 있다. 박막 트랜지스터는 반드시 도 12의 구조로만 가능한 것은 아니며, 그 수와 구조는 다양하게 변형가능하다. 도 12를 참조 하면, 표시 장치(600)는 기판(610), 표시부(D), 봉지층(E) 및 보호층(P)을 포함할 수 있다.
기판(610)은 플렉서블한 절연성 소재로 형성될 수 있다. 예컨대, 기판(610)은 폴리이미드(polyimide, PI)나, 폴리 카보네이트(polycarbonate, PC)나, 폴리 에테르 설폰(polyethersulphone, PES)이나, 폴리에틸렌 테레프탈레이트(polyethylene terephthalate, PET)나, 폴리에틸렌 나프탈레이트(polyethylenenaphthalate, PEN)나, 폴리아릴레이트(polyarylate, PAR)나, 유리섬유 강화플라스틱(fiber glass reinforced plastic, FRP) 등의 고분자 기판일 수 있다.
일 실시예에 있어서, 기판(610)은 휘어질 수 있는 두께를 가지는 글래스 기판일 수 있다. 기판(610)은 금속재를 사용할 수도 있다. 기판(610)은 투명하거나, 반투명하거나, 불투명할 수 있다.
기판(610)의 상면에는 유기화합물 및/또는 무기화합물로 이루어진 버퍼층(620)이 더 형성될 수 있다. 버퍼층(620)은 산소와 수분을 차단하고, 기판(610)의 표면을 평탄하게 할 수 있다.
버퍼층(620)은 실리콘 옥사이드(SiOx), 실리콘 나이트라이드(SiNx), 실리콘 옥시나이트라이드(SiOxNy), 알루미늄 옥사이드(AlOx), 알루미늄나이트라이드(AlOxNy) 등의 무기물, 또는, 아크릴, 폴리이미드, 폴리에스테르 등의 유기물 중에서 선택된 어느 하나로 형성될 수 있다.
버퍼층(620) 상에는 박막 트랜지스터(thin film transistor, TFT)가 형성될 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 있어서, 박막 트랜지스터는 탑 게이트 트랜지스터(top gate transistor)를 설명하나, 바텀 게이트 트랜지스터(bottom gate transistor) 등 다른 구조의 박막 트랜지스터가 구비될 수 있다.
버퍼층(620) 상에 소정의 패턴으로 배열된 활성층(630)이 형성된 후, 활성층(630)이 게이트 절연층(640)에 의해 매립된다. 활성층(630)은 소스 영역(631)과 드레인 영역(633)을 갖고, 그 사이에 채널 영역(632)을 더 포함한다.
활성층(630)은 다양한 물질을 함유하도록 형성될 수 있다. 예를 들면, 활성층(630)은 비정질 실리콘 또는 결정질 실리콘과 같은 무기 반도체 물질을 함유할 수 있다. 다른 예로서 활성층(630)은 산화물 반도체를 함유할 수 있다. 예를 들면, 산화물 반도체는 아연(Zn), 인듐(In), 갈륨(Ga), 주석(Sn) 카드뮴(Cd), 게르마늄(Ge), 또는 하프늄(Hf) 과 같은 12, 13, 14족 금속 원소 및 이들의 조합에서 선택된 물질의 산화물을 포함할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 활성층(630)이 비정질 실리콘으로 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
게이트 절연층(640)의 상면에는 활성층(630)과 대응되는 게이트 전극(650)과 이를 매립하는 층간 절연층(660)이 형성된다.
층간 절연층(660)과 게이트 절연층(640)에 콘택홀(H1)을 형성한 후, 층간 절연층(660) 상에 소스 전극(671) 및 드레인 전극(672)을 각각 소스 영역(631) 및 드레인 영역(633)에 콘택되도록 형성한다.
이렇게 형성된 박막 트랜지스터(TFT)의 상부로는 패시베이션막(670)이 형성되고, 패시베이션막(670) 상부에 유기 발광 소자(OLED)의 화소 전극(681)이 형성된다.
화소 전극(681)은 (반)투명전극 또는 반사전극일 수 있다. (반)투명전극일 경우, 예컨대 인듐틴옥사이드(ITO; indium tin oxide), 인듐징크옥사이드(IZO; indium zinc oxide), 징크옥사이드(ZnO; zinc oxide), 인듐옥사이드(In2O3 indium oxide), 인듐갈륨옥사이드(IGO; indium gallium oxide) 또는 알루미늄징크옥사이드(AZO; aluminium zinc oxide)로 형성될 수 있다. 반사전극일 경우에는 Ag, Mg, Al, Pt, Pd, Au, Ni, Nd, Ir, Cr 또는 이들의 화합물 등으로 형성된 반사막과, ITO, IZO, ZnO 또는 In2O3로 형성된 막을 포함할 수 있다. 물론 화소 전극(681)의 구성 및 재료가 이에 한정되는 것은 아니며 다양한 변형이 가능하다.
화소 전극(681)은 패시베이션막(670)에 형성된 비아 홀(H2)에 의해 박막 트랜지스터의 드레인 전극(672)에 콘택된다. 패시베이션막(670)은 무기물 및/또는 유기물, 단층 또는 2개층 이상으로 형성될 수 있는 데, 하부 막의 굴곡에 관계없이 상면이 평탄하게 되도록 평탄화막으로 형성될 수도 있는 반면, 하부에 위치한 막의 굴곡을 따라 굴곡이 가도록 형성될 수 있다. 그리고, 패시베이션막(670)은, 공진 효과를 달성할 수 있도록 투명 절연체로 형성되는 것이 바람직하다.
패시베이션막(670) 상에 화소 전극(681)을 형성한 후에는 이 화소 전극(681) 및 패시베이션막(670)을 덮도록 화소 정의막(690)은 유기물 및/또는 무기물에 의해 형성되고, 화소 전극(681)이 노출되도록 개구된다.
그리고, 적어도 상기 화소 전극(681) 상에 중간층(682) 및 대향 전극(683)이 형성된다.
화소 전극(681)은 애노드 전극의 기능을 하고, 대향 전극(683)은 캐소오드 전극의 기능을 하는 데, 물론, 이들 화소 전극(681)과 대향 전극(683)의 극성은 반대로 되어도 무방하다.
화소 전극(681)과 대향 전극(683)은 상기 중간층(682)에 의해 서로 절연되어 있으며, 중간층(682)에 서로 다른 극성의 전압을 가해 유기 발광층에서 발광이 이뤄지도록 한다.
중간층(682)은 유기 발광층을 구비할 수 있다. 선택적인 다른 예로서, 중간층(682)은 유기 발광층(organic emission layer)을 구비하고, 그 외에 정공 주입층(HIL:hole injection layer), 정공 수송층(HTL:hole transport layer), 전자 수송층(ETL:electron transport layer) 및 전자 주입층(EIL:electron injection layer) 중 적어도 하나를 더 구비할 수 있다.
상술한 실시예에서는 유기 발광층이 각 픽셀별로 별도의 발광 물질이 형성된 경우를 예로 설명하였으나, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 유기 발광층은 픽셀의 위치에 관계 없이 전체 픽셀에 공통으로 형성될 수 있다. 이때, 유기 발광층은 예를 들어, 적색, 녹색 및 청색의 빛을 방출하는 발광 물질을 포함하는 층이 수직으로 적층되거나 혼합되어 형성될 수 있다. 물론, 백색광을 방출할 수 있다면 다른 색의 조합이 가능함은 물론이다. 또한, 상기 방출된 백색광을 소정의 컬러로 변환하는 색변환층이나, 컬러 필터를 더 구비할 수 있다.
기판(610)에 표시부(D)가 형성된 후, 표시부(D) 상에 봉지층(E)을 형성할 수 있다. 봉지층(E)은 복수의 무기층들을 포함하거나, 무기층 및 유기층을 포함할 수 있다.
구체적으로 봉지층(E)의 유기층은 고분자로 형성되며, 바람직하게는 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리이미드, 폴라카보네이트, 에폭시, 폴리에틸렌 및 폴리아크릴레이트 중 어느 하나로 형성되는 단일막 또는 적층막일 수 있다. 바람직하게는, 유기층은 폴리아크릴레이트로 형성될 수 있으며, 구체적으로는 디아크릴레이트계 모노머와 트리아크릴레이트계 모노머를 포함하는 모노머 조성물이 고분자화된 것을 포함한다. 상기 모노머 조성물에 모노아크릴레이트계 모노머가 더 포함될 수 있다. 또한, 상기 모노머 조성물에 TPO와 같은 공지의 광개시제가 더욱 포함될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니여 에폭시, 폴리이미드, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리카보네이트, 폴리에틸렌, 폴리아크릴레이트를 포함 할 수 있다.
봉지층(E)의 무기층은 금속 산화물 또는 금속 질화물을 포함하는 단일막 또는 적층막일 수 있다. 구체적으로, 상기 무기층은 실리콘 옥사이드(SiO2), 실리콘 나이트 라이드(SiNx), 알루미늄 옥사이드(Al2O3), 티타늄 옥사이드(TiO2), 지르코늄 옥사이드(ZrOx), 징크 옥사이드(ZnO) 중 어느 하나를 포함할 수 있다.
봉지층(E) 중 외부로 노출된 최상층은 유기 발광 소자에 대한 투습을 방지하기 위하여 무기층으로 형성될 수 있다.
봉지층(E)은 적어도 2개의 무기층 사이에 적어도 하나의 유기층이 삽입된 샌드위치 구조를 적어도 하나 포함할 수 있다. 다른 예로서, 봉지층(E)은 적어도 2개의 유기층 사이에 적어도 하나의 무기층이 삽입된 샌드위치 구조를 적어도 하나 포함할 수 있다. 예를들어, 봉지층(E)은 유기 발광 소자(OLED)의 상부로부터 순차적으로 제1 무기층(U1), 제1 유기층(O1), 제2 무기층(U2), 제2 유기층(O2), 제3 무기층(U3) 및 제3 유기층(O3)을 포함할 수 있다.
유기 발광 소자(OLED)와 제1 무기층 사이에 LiF를 포함하는 할로겐화 금속층이 추가로 포함될 수 있다. 상기 할로겐화 금속층은 제1 무기층을 스퍼터링 방식으로 형성할 때 상기 유기 발광 소자(OLED)가 손상되는 것을 방지할 수 있다.
제1 유기층은 제2 무기층 보다 면적이 좁게 할 수 있으며, 상기 제2 유기층도 제3 무기층 보다 면적이 좁을 수 있다.
이때, 봉지층(E)은 상기에 한정되는 것은 아니며 무기층과 유기층이 다양한 형태로 적층되는 모든 구조를 포함할 수 있다.
봉지층(E)의 상부에는 보호층(P)이 형성될 수 있다. 보호층(P)은 다양한 방법으로 형성될 수 있다. 예를 들면, 보호층(P)은 스퍼터링 방법, 이온빔 증착 방법(Ion beam deposiotn), 증발법(Evaporation), 일반적인 화학 기상 증착 방법 등을 통하여 형성될 수 있다.
보호층(P)은 질화실리콘(SiNx), 질화산화실리콘(SiOxNy), 산화티타늄(TIOx), 질화티타늄(TINx), 질화산화티타늄(TiOxNy), 산화지르코늄(ZrOx), 질화탄탈륨(TaNx), 산화탄탈륨(TaNx), 산화하프늄(HfOx), 산화알루미늄(AlOx) 등의 금속계 산화물 또는 질화물 계열을 포함할 수 있다.
보호층(P)은 봉지층(E)의 측면을 완전히 감싸도록 형성될 수 있다. 따라서 보호층(P)은 봉지층(E)을 수분이나 산소로부터 차단함으로써 봉지층(E)의 수명을 증대시킬 수 있다.
표시 장치(200)는 유연성을 가지는 플렉서블한 표시 장치와 강성을 가지는 표시 장치에 적용될 수 있다.
이와 같이 본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 하여 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 실시예의 변형이 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
표시 장치의 제조 장치:10
기판:11
마스크 프레임 조립체: 100
프레임:110
제1 지지바:130 내지 133, 230, 330, 430, 530
제2 지지바: 140 내지 143, 240, 340, 440, 540
분할 마스크: 150

Claims (20)

  1. 개구부를 가지는 프레임;
    상기 개구부를 제1 방향으로 가로질러 양단이 상기 프레임과 연결되는 제1 지지바;
    상기 제1 지지바와 교차하도록 상기 개구부를 제2 방향으로 가로질러 상기 프레임에 설치되며, 양단은 상기 프레임에 고정되는 분할 마스크; 및
    상기 제1 지지바에 설치되며, 상기 제1 지지바 보다 자성의 크기가 크고, 상기 제1 지지바의 길이방향의 중심에서 상기 제1 지지바의 양단으로 갈수록 두께가 감소하는, 제2 지지바;를 포함하는, 마스크 프레임 조립체.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 지지바의 일면은 상기 분할 마스크가 지지되고, 상기 제1 지지바의 타면은 상기 제2 지지바가 고정되는, 마스크 프레임 조립체.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 지지바와 상기 제2 지지바는 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향과 수직하는 제3 방향으로의 두께를 가지고,
    상기 제1 지지바의 두께는 상기 제2 지지바의 두께보다 큰, 마스크 프레임 조립체.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 지지바는,
    적어도 하나 이상의 상기 제2 지지바가 상기 제1 방향으로 연장되는, 마스크 프레임 조립체.
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 제2 지지바는
    상기 제2 지지바의 적어도 일부가 상기 제1 지지바의 홈에 삽입되어 고정되는, 마스크 프레임 조립체.
  6. 삭제
  7. 개구부를 가지는 프레임;
    상기 개구부를 제1 방향으로 가로질러 양단이 상기 프레임과 연결되는 제1 지지바;
    상기 제1 지지바와 교차하도록 상기 개구부를 제2 방향으로 가로질러 상기 프레임에 설치되며, 양단은 상기 프레임에 고정되는 분할 마스크; 및
    상기 제1 지지바에 설치되며, 상기 제1 지지바 보다 자성의 크기가 크고, 상기 제2 방향으로의 폭을 가지고, 상기 제1 지지바의 길이방향의 중심에서 상기 제1 지지바의 양단으로 갈수록 폭이 감소하는, 제2 지지바;를 포함하는, 마스크 프레임 조립체.
  8. 기판과 대향하도록 배치되는 마스크 프레임 조립체;
    상기 마스크 프레임 조립체를 지지하는 서포터;
    상기 기판을 흡착하여 상기 마스크 프레임 조립체에 정렬하는 정전척; 및
    상기 마스크 프레임 조립체와 대향하도록 배치되어 상기 기판으로 증착물질을 분사하는 증착원;을 포함하고,
    상기 마스크 프레임 조립체는,
    개구부를 가지는 프레임;
    상기 개구부를 제1 방향으로 가로질러 양단이 상기 프레임과 연결되는 제1 지지바;
    상기 제1 지지바와 교차하도록 상기 개구부를 제2 방향으로 가로질러 상기 프레임에 설치되며, 양단은 상기 프레임에 고정되는 분할 마스크; 및
    상기 제1 지지바에 설치되며, 상기 제1 지지바 보다 자성의 크기가 큰 제2 지지바;를 포함하며,
    상기 정전척과 상기 제2 지지바 사이의 인력은 상기 정전척과 상기 제1 지지바 사이의 인력보다 강한, 표시 장치의 제조 장치.
  9. 제8 항에 있어서,
    상기 마스크 프레임 조립체와 상기 정전척 사이에 상기 기판이 배치되는, 표시 장치의 제조 장치.
  10. 제8항에 있어서,
    상기 정전척과 제2 지지바 사이의 인력은 상기 제1 지지바의 길이방향의 중심에서 상기 제1 지지바의 양단으로 갈수록 감소하는, 표시 장치의 제조 장치.
  11. 제8 항에 있어서,
    상기 제1 지지바의 일면은 상기 분할 마스크가 지지되고, 상기 제1 지지바의 타면은 상기 제2 지지바가 고정되는, 표시 장치의 제조 장치.
  12. 제8 항에 있어서,
    상기 제1 지지바와 상기 제2 지지바는 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향과 수직하는 제3 방향으로의 두께를 가지고,
    상기 제1 지지바의 두께는 상기 제2 지지바의 두께보다 큰, 표시 장치의 제조 장치.
  13. 제8 항에 있어서,
    상기 제1 지지바는,
    적어도 하나 이상의 상기 제2 지지바가 상기 제1 방향으로 연장되는, 표시 장치의 제조 장치.
  14. 제8 항에 있어서,
    상기 제2 지지바는
    상기 제2 지지바의 적어도 일부가 상기 제1 지지바의 홈에 삽입되어 고정되는, 표시 장치의 제조 장치.
  15. 기판과 대향하도록 배치되는 마스크 프레임 조립체;
    상기 마스크 프레임 조립체를 지지하는 서포터;
    상기 기판을 흡착하여 상기 마스크 프레임 조립체에 정렬하는 정전척; 및
    상기 마스크 프레임 조립체와 대향하도록 배치되어 상기 기판으로 증착물질을 분사하는 증착원;을 포함하고,
    상기 마스크 프레임 조립체는,
    개구부를 가지는 프레임;
    상기 개구부를 제1 방향으로 가로질러 양단이 상기 프레임과 연결되는 제1 지지바;
    상기 제1 지지바와 교차하도록 상기 개구부를 제2 방향으로 가로질러 상기 프레임에 설치되며, 양단은 상기 프레임에 고정되는 분할 마스크; 및
    상기 제1 지지바에 설치되며, 상기 제1 지지바 보다 자성의 크기가 크고, 상기 제1 지지바의 길이방향의 중심에서 상기 제1 지지바의 양단으로 갈수록 두께가 감소하는, 제2지지바;를 포함하는, 표시 장치의 제조 장치.
  16. 기판과 대향하도록 배치되는 마스크 프레임 조립체;
    상기 마스크 프레임 조립체를 지지하는 서포터;
    상기 기판을 흡착하여 상기 마스크 프레임 조립체에 정렬하는 정전척; 및
    상기 마스크 프레임 조립체와 대향하도록 배치되어 상기 기판으로 증착물질을 분사하는 증착원;을 포함하고,
    상기 마스크 프레임 조립체는,
    개구부를 가지는 프레임;
    상기 개구부를 제1 방향으로 가로질러 양단이 상기 프레임과 연결되는 제1 지지바;
    상기 제1 지지바와 교차하도록 상기 개구부를 제2 방향으로 가로질러 상기 프레임에 설치되며, 양단은 상기 프레임에 고정되는 분할 마스크; 및
    상기 제1 지지바에 설치되며, 상기 제1 지지바 보다 자성의 크기가 크고, 상기 제2 방향으로의 폭을 가지고, 상기 제1 지지바의 길이방향의 중심에서 상기 제1 지지바의 양단으로 갈수록 폭이 감소하는, 제2 지지바;를 포함하는, 표시 장치의 제조 장치.
  17. 기판 및 마스크 프레임 조립체를 챔버 내부로 장입하는 단계;
    정전척이 상기 기판을 상기 마스크 프레임 조립체에 정렬하는 단계;
    증착원에서 증착물질을 분사하는 단계; 및
    상기 증착물질이 상기 마스크 프레임 조립체를 통과하여 상기 기판에 증착되는 단계;를 포함하고,
    상기 마스크 프레임 조립체는,
    개구부를 가지는 프레임;
    상기 개구부를 제1 방향으로 가로질러 양단이 상기 프레임과 연결되는 제1 지지바;
    상기 제1 지지바와 교차하도록 상기 개구부를 제2 방향으로 가로질러 상기 프레임에 설치되며, 양단은 상기 프레임에 고정되는 분할 마스크; 및
    상기 제1 지지바에 설치되며, 상기 제1 지지바 보다 자성의 크기가 큰 제2 지지바;를 포함하며,
    상기 정전척과 상기 제2 지지바 사이의 인력이 상기 정전척과 상기 제1 지지바 사이의 인력보다 강한, 표시 장치의 제조 방법.
  18. 삭제
  19. 제17 항에 있어서,
    상기 정전척이 상기 기판을 상기 마스크 프레임 조립체에 정렬하는 단계는,
    상기 정전척과 제2 지지바 사이의 인력이 상기 제1 지지바의 길이방향의 중심에서 상기 제1 지지바의 양단으로 갈수록 감소하는, 표시 장치의 제조 방법.
  20. 제17 항에 있어서,
    상기 제1 지지바는,
    적어도 하나 이상의 상기 제2 지지바가 상기 제1 방향으로 연장되는, 표시 장치의 제조 방법.
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