KR102427674B1

KR102427674B1 - 마스크 조립체 및 이를 이용한 표시 장치의 제조장치

Info

Publication number: KR102427674B1
Application number: KR1020150053136A
Authority: KR
Inventors: 김정훈; 김진영; 정우영
Original assignee: 삼성디스플레이 주식회사
Priority date: 2015-04-15
Filing date: 2015-04-15
Publication date: 2022-08-02
Also published as: KR20160123434A

Abstract

본 발명은 마스크 조립체 및 표시 장치의 제조장치를 개시한다. 본 발명은, 제1 개구부가 형성된 바디부와, 상기 제1 개구부로부터 이격되도록 상기 바디부에 형성되며, 자력을 저감시키도록 형성된 제2 개구부를 포함한다.

Description

마스크 조립체 및 이를 이용한 표시 장치의 제조장치{Mask assembly and manufacturing apparatus for a display apparatus using the same}

본 발명의 실시예들은 장치에 관한 것으로서, 더 상세하게는 마스크 조립체 및 이를 이용한 표시 장치의 제조장치에 관한 것이다.

이동성을 기반으로 하는 전자 기기가 폭 넓게 사용되고 있다. 이동용 전자 기기로는 모바일 폰과 같은 소형 전자 기기 이외에도 최근 들어 태블릿 PC가 널리 사용되고 있다.

이와 같은 이동형 전자 기기는 다양한 기능을 지원하기 위하여, 이미지 또는 영상과 같은 시각 정보를 사용자에게 제공하기 위하여 표시부를 포함한다. 최근, 표시부를 구동하기 위한 기타 부품들이 소형화됨에 따라, 표시부가 전자 기기에서 차지하는 비중이 점차 증가하고 있는 추세이며, 평평한 상태에서 소정의 각도를 갖도록 구부릴 수 있는 구조도 개발되고 있다.

본 발명의 실시예들은 마스크 조립체 및 이를 이용한 표시 장치의 제조장치를 제공한다.

본 발명의 일 실시예는 제1 개구부가 형성된 바디부와, 상기 제1 개구부로부터 이격되도록 상기 바디부에 형성되며, 자력을 저감시키도록 형성된 제2 개구부를 포함하는 마스크 조립체를 개시한다.

본 실시예에 있어서, 상기 제2 개구부의 일부는 상기 제1 개구부의 외면으로부터 일정 간격 이격되도록 형성될 수 있다.

본 실시예에 있어서, 상기 제2 개구부는 상기 제1 개구부의 중심으로부터 서로 대칭되도록 형성될 수 있다.

본 실시예에 있어서, 상기 제2 개구부 폭은 상기 제1 개구부의 중심으로부터 양단으로 갈수록 상이하게 형성될 수 있다.

본 실시예에 있어서, 상기 제2 개구부의 폭은 상기 제1 개구부의 중심으로부터 양단으로 갈수록 커질 수 있다.

본 실시예에 있어서, 상기 제1 개구부는 원형으로 형성되며, 상기 제2 개구부의 일부분은 원주의 일부를 형성할 수 있다.

본 발명의 다른 실시예는, 마스크 조립체와, 상기 마스크 조립체가 안착하는 안착부와, 상기 마스크 조립체에 증착 물질을 제1 기판으로 분사하는 증착원과, 상기 제1 기판으로부터 이격되도록 배치되어 상기 마스크 조립체를 자력을 통하여 상기 제1 기판에 밀착시키는 자력부를 포함하고, 상기 마스크 조립체는, 제1 개구부가 형성된 바디부와, 상기 제1 개구부로부터 이격되도록 상기 바디부에 형성되며, 자력을 저감시키도록 형성된 제2 개구부를 포함하는 표시 장치의 제조장치를 개시한다.

본 실시예에 있어서, 상기 제2 개구부는, 상기 자력부의 길이 방향에 대해서 일정 각도를 형성하는 상기 바디부 부분에 배치될 수 있다.

본 실시예에 있어서, 상기 제2 개구부는 상기 자력부의 길이 방향과 수직한 방향에 형성될 수 있다.

전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점이 이하의 도면, 특허청구범위 및 발명의 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다.

이러한 일반적이고 구체적인 측면이 시스템, 방법, 컴퓨터 프로그램, 또는 어떠한 시스템, 방법, 컴퓨터 프로그램의 조합을 사용하여 실시될 수 있다.

본 발명의 실시예들에 관한 마스크 조립체 및 이를 이용한 표시 장치의 제조장치는 증착물질을 정밀하게 증착하는 것이 가능하다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치를 보여주는 개념도이다.
도 2는 도 1에 도시된 마스크 조립체를 보여주는 사시도이다.
도 3은 도 1에 도시된 표시 장치의 제조장치로 제조한 표시 장치의 일부를 보여주는 단면도이다.

본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.

이하의 실시예에서, 제1, 제2 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다.

이하의 실시예에서, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.

이하의 실시예에서, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다.

이하의 실시예에서, 막, 영역, 구성 요소 등의 부분이 다른 부분 위에 또는 상에 있다고 할 때, 다른 부분의 바로 위에 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 있는 경우도 포함한다.

도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.

이하의 실시예에서, x축, y축 및 z축은 직교 좌표계 상의 세 축으로 한정되지 않고, 이를 포함하는 넓은 의미로 해석될 수 있다. 예를 들어, x축, y축 및 z축은 서로 직교할 수도 있지만, 서로 직교하지 않는 서로 다른 방향을 지칭할 수도 있다.

어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수 있다.

도 1 내지 도 3을 참고하면, 표시 장치의 제조장치(100)는 마스크 조립체(120), 챔버(110), 안착부(150), 증착원(140), 자력부(130) 및 압력조절부(160)를 포함할 수 있다.

챔버(110)는 내부에 공간이 형성될 수 있으며, 일측이 개방되도록 형성될 수 있다. 이때, 챔버(110)의 개방된 부분에는 게이트밸브(110a) 등이 설치됨으로써 챔버(110)의 개방된 부분을 개폐할 수 있다.

마스크 조립체(120)는 다양한 형태로 형성될 수 있다. 예를 들면, 마스크 조립체(120)는 하나의 플레이트 형 부재로 형성될 수 있다. 다른 실시예로써 마스크 조립체(120)는 마스크 프레임과 상기 마스크 프레임에 설치되는 복수개의 마스크를 포함하는 것도 가능하다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 마스크 조립체(120)가 하나의 플레이트 형 부재로 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.

마스크 조립체(120)는 제1 개구부(122)가 형성된 바디부(121)와, 제1 개구부(122)로부터 이격되도록 형성되는 제2 개구부(123)를 포함할 수 있다.

제1 개구부(122)는 복수개 구비되어 바디부(121)에 서로 이격되도록 배치될 수 있다. 이때, 제1 개구부(122)는 하나의 군(Group)을 형성할 수 있다. 구체적으로 하나의 군을 형성하는 제1 개구부(122)는 제1 기판(11)의 표시 영역에 대응되도록 배열될 수 있다.

제1 개구부(122)의 형상은 다양하게 형성될 수 있다. 예를 들면, 제1 개구부(122)의 형상은 원형으로 형성될 수 있다. 또한, 제1 개구부(122)의 형상은 타원으로 형성될 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1 개구부(122)의 형상이 원형인 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.

제2 개구부(123)는 바디부(121)에 형성될 수 있으며, 특히 제2 개구부(123)는 홀 형태로 형성될 수 있다. 제2 개구부(123)는 제1 개구부(122)의 주변에 배치될 수 있다. 이때, 제2 개구부(123)의 형상은 다양하게 형성될 수 있다. 예를 들면, 제2 개구부(123)는 일부는 원주 형상 또는 제1 개구부(122)의 형상과 동일 또는 유사하게 형성될 수 있다.(도 2의 (a) 내지 (f) 참고) 또한, 제2 개구부(123)의 다른 부분은 직선 형태로 형성될 수 있다. 이때, 제2 개구부(123)는 자력부(130)의 길이 방향과 수직한 일 부분이 직선으로 형성될 수 있다. 제2 개구부(123)는 자력부(130)의 길이 방향과 수직한 다른 부분은 상기에서 설명한 것과 같이 원주의 일부와 동일하게 형성될 수 있다. 특히 제2 개구부(123)의 원주 형태로 형성된 부분으로부터 제1 개구부(122)까지의 거리는 일정하게 형성될 수 있다.

제2 개구부(123)는 폭이 길이 방향을 따라 상이하게 형성될 수 있다. 구체적으로 제2 개구부(123)의 폭은 중심 부분으로부터 양단으로 갈수록 상이하게 형성될 수 있다. 특히 제2 개구부(123)의 폭은 중심 부분이 가장 작고 양단으로 갈수록 커지도록 형성될 수 있다.(도 2의 (c), (d), (e), (f) 참고) 또한, 제2 개구부(123)의 폭은 제1 개구부(122)의 중심부분이 가장 작고 양단으로 갈수록 커지도록 형성될 수 있다. (도 2의 (a) 내지 (f) 참고)

제2 개구부(123)의 위치는 다양하게 형성될 수 있다. 예를 들면, 제2 개구부(123)는 자력부(130)의 길이 방향에 대해서 수직한 방향에 형성될 수 있다.(도 2의 (c), (d) 참고) 특히 자력부(130)가 마스크 조립체(120)와 수직한 방향으로 배열되는 경우 제2 개구부(123)는 마스크 조립체(120)의 길이 방향으로 서로 이격되도록 배치될 수 있다.(도 2의 (e)와 (f) 참고)

또한, 제2 개구부(123)는 자력부(130)의 길이 방향에 대해서 일정 각도를 형성하도록 형성되는 것도 가능하다. 이때, 제2 개구부(123)는 자력부(130)의 길이 방향 대해서 45도를 형성하도록 배치될 수 있다.(도 2의 (a), (b) 참고) 이때, 자력부(130)의 길이 방향은 마스크 조립체(120)의 길이 방향과 동일할 수 있다.

제2 개구부(123)는 적어도 한 개 이상 배치될 수 있다. 이때, 제2 개구부(123)가 복수개 구비되는 경우 복수개의 제2 개구부(123)는 제1 개구부(122)의 중심을 기준으로 서로 대칭되도록 배치될 수 있다. 특히 복수개의 제2 개구부(123)는 짝수개 형성되어 상기와 같이 서로 대칭되도록 배치될 수 있다.

제2 개구부(123)는 제1 개구부(122) 주변에 형성되어 자력부(130)에서 가해지는 자력으로 인하여 자력부(130)와 마스크 조립체(120) 사이에 발생하는 척력을 저감시킬 수 있다.

안착부(150)는 마스크 조립체(120)가 안착할 수 있다. 이때, 안착부(150)는 마스크 조립체(120)를 선형 운동시킬 수 있다. 예를 들면, 안착부(150)는 마스크 안착부(150)를 도 1의 X방향, Y방향 및 Z 방향 중 적어도 한 방향으로 마스크 조립체(120)를 이동시킬 수 있다.

증착원(140)은 증착물질을 기화시키거나 승화시킬 수 있다. 이때, 증착물질은 금속, 유기물 등을 포함할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 증착물질이 유기물을 포함하고, 중간층(18b)을 형성하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.

증착원(140)과 제1 기판(11)은 서로 상대 운동할 수 있다. 예를 들면, 제1 기판(11)이 선형 운동하고 증착원(140)은 정지한 상태일 수 있다. 다른 실시예로써 제1 기판(11)이 정지하고 증착원(140)인 선형 운동하는 것도 가능하다. 또 다른 실시예로써 제1 기판(11)과 증착원(140) 모두 선형 운동하는 것도 가능하다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1 기판(11)이 도 1의 Y방향으로 선형 운동하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.

자력부(130)는 마스크 조립체(120)에 자력을 가함으로써 제1 기판(11)과 마스크 조립체(120)를 밀착시킬 수 있다. 이때, 자력부(130)는 N극과 S극이 형성되는 복수개의 전자석 및 자석 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 자력부(130)가 전자석을 포함하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.

자력부(130)는 N극과 S극을 각각 형성하는 제1 자력부(130)와 제2 자력부(130)를 포함할 수 있다. 이때, 제1 자력부(130)와 제2 자력부(130)는 각각 복수개 구비될 수 있으며, 각 제1 자력부(130)와 각 제2 자력부(130)는 서로 교번하도록 배치될 수 있다. 또한, 각 제1 자력부(130)와 각 제2 자력부(130)는 서로 이격되도록 배치될 수 있다.

자력부(130)는 다양한 방향으로 배치될 수 있다. 예를 들면, 자력부(130)는 마스크 조립체(120)와 동일한 방향으로 배치될 수 있다. 또한, 자력부(130)는 마스크 조립체(120)와 수직한 방향으로 배치될 수 있다. 이때, 상기에서 설명한 바와 같이 제2 개구부(123)는 자력부(130)의 배치 방향에 따라서 형성되는 위치가 상이해질 수 있다.

압력조절부(160)는 챔버(110)와 연결되어 챔버(110)로부터 이격되도록 배치되는 연결배관(161)과, 연결배관(161)에 설치되는 펌프(162)를 포함할 수 있다. 이때, 펌프(162)는 작동함으로써 챔버(110) 내부의 압력을 조절할 수 있다.

상기와 같은 표시 장치의 제조장치(100)의 작동을 살펴보면, 게이트밸브(110a)를 통하여 챔버(110)의 개구된 영역을 개방한 후 마스크 조립체(120) 및 제1 기판(11)을 챔버(110)로 로봇암, 셔틀 등을 통하여 공급할 수 있다. 이때, 마스크 조립체(120)는 안착부(150)에 안착될 수 있다.

마스크 조립체(120)가 안착되면, 마스크 조립체(120)와 제1 기판(11)의 위치를 감지하여 안착부(150)를 통하여 마스크 조립체(120)와 제1 기판(11)을 정렬시킬 수 있다. 이때, 마스크 조립체(120)와 제1 기판(11)의 위치는 센서, 카메라 등을 통하여 측정도리 수 있다.

상기와 같은 과정이 완료되면, 자력부(130)를 통하여 마스크 조립체(120)를 제1 기판(11)에 밀착시킬 수 있다. 이때, 자력부(130)가 작동하는 경우 제1 개구부(122)에 의하여 자력부(130)와 마스크 조립체(120) 사이에 척력이 발생할 수 있다. 특히 제1 개구부(122)가 원형과 같이 곡선을 포함하는 경우 곡선에 의하여 자력부(130)와 마스크 조립체(120) 사이에 척력이 발생할 수 있다. 이러한 경우 제2 개구부(123)가 형성됨으로써 척력을 저감시키고 이로 인하여 마스크 조립체(120)와 제1 기판(11)은 밀착할 수 있다.

상기와 같이 마스크 조립체(120)와 제1 기판(11)이 밀착된 후 증착원(140)은 증착 물질을 마스크 조립체(120)로 분사할 수 있다. 이때, 증착원(140)에는 별도의 히터가 구비되어 증착 물질에 열 에너지를 가할 수 있다.

증착 물질은 마스크 조립체(120)를 통과하여 제1 기판(11) 상에 증착될 수 있다. 이때, 제1 기판(11) 상에는 다양한 층이 형성된 상태일 수 있다.

상기와 같은 과정이 완료되면, 제1 기판(11) 상에 중간층(18b)이 형성될 수 있다. 이후 제1 기판(11)은 외부로 인출될 수 있으며, 증착 물질 상에 다른 다양한 층들을 형성할 수 있다.

한편, 상기와 같은 표시 장치의 제조장치(100)를 통하여 제조되는 표시 장치(10)를 살펴보면, 표시 장치(10)는 제1 기판(11) 및 발광부(미표기)를 포함할 수 있다. 또한, 표시 장치(10)는 상기 발광부의 상부에 형성되는 박막 봉지층(E) 또는 제2 기판(미도시)을 포함할 수 있다. 이때, 상기 제2 기판은 일반적인 표시 장치에 사용되는 것과 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다. 또한, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 표시 장치(10)가 박막 봉지층(E)를 포함하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.

상기 발광부는 박막 트랜지스터(TFT) 이 구비되고, 이들을 덮도록 패시베이션막(17)이 형성되며, 이 패시베이션막(17) 상에 유기 발광 소자(18)가 형성될 수 있다.

제1 기판(11)은 유리 재질을 사용할 수 있는 데, 반드시 이에 한정되지 않으며, 플라스틱재를 사용할 수도 있으며, SUS, Ti과 같은 금속재를 사용할 수도 있다. 또한, 제1 기판(11)는 폴리이미드(PI, Polyimide)를 사용할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1 기판(11)이 유리 재질로 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.

제1 기판(11)의 상면에는 유기화합물 및/또는 무기화합물로 이루어진 버퍼층(12)이 더 형성되는 데, SiOx(x≥1), SiNx(x≥1)로 형성될 수 있다.

이 버퍼층(12) 상에 소정의 패턴으로 배열된 활성층(13)이 형성된 후, 활성층(13)이 게이트 절연층(14)에 의해 매립된다. 활성층(13)은 소스 영역(13a)과 드레인 영역(13c)을 갖고, 그 사이에 채널 영역(13b)을 더 포함한다.

이러한 활성층(13)은 다양한 물질을 함유하도록 형성될 수 있다. 예를 들면, 활성층(13)은 비정질 실리콘 또는 결정질 실리콘과 같은 무기 반도체 물질을 함유할 수 있다. 다른 예로서 활성층(13)은 산화물 반도체를 함유할 수 있다. 또 다른 예로서, 활성층(13)은 유기 반도체 물질을 함유할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 활성층(13)이 비정질 실리콘으로 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.

이러한 활성층(13)은 버퍼층(12) 상에 비정질 실리콘막을 형성한 후, 이를 결정화하여 다결정질 실리콘막으로 형성하고, 이 다결정질 실리콘막을 패터닝하여 형성할 수 있다. 상기 활성층(13)은 구동 TFT(미도시), 스위칭 TFT(미도시) 등 TFT 종류에 따라, 그 소스 영역(13a) 및 드레인 영역(13c)이 불순물에 의해 도핑된다.

게이트 절연층(14)의 상면에는 활성층(13)과 대응되는 게이트 전극(15)과 이를 매립하는 층간 절연층(16)이 형성된다.

그리고, 층간 절연층(16)과 게이트 절연층(14)에 콘택홀(H1)을 형성한 후, 층간 절연층(16) 상에 소스 전극(17a) 및 드레인 전극(17b)을 각각 소스 영역(13a) 및 드레인 영역(13c)에 콘택되도록 형성한다.

이렇게 형성된 상기 박막 트랜지스터의 상부로는 패시베이션막(17)이 형성되고, 이 패시베이션막(17) 상부에 유기 발광 소자(18, OLED)의 화소 전극(18a)이 형성된다. 이 화소 전극(18a)은 패시베이션막(17)에 형성된 비아 홀(H2)에 의해 TFT의 드레인 전극(17b)에 콘택된다. 상기 패시베이션막(17)은 무기물 및/또는 유기물, 단층 또는 2개층 이상으로 형성될 수 있는 데, 하부 막의 굴곡에 관계없이 상면이 평탄하게 되도록 평탄화막으로 형성될 수도 있는 반면, 하부에 위치한 막의 굴곡을 따라 굴곡이 가도록 형성될 수 있다. 그리고, 이 패시베이션막(17)은, 공진 효과를 달성할 수 있도록 투명 절연체로 형성되는 것이 바람직하다.

패시베이션막(17) 상에 화소 전극(18a)을 형성한 후에는 이 화소 전극(18a) 및 패시베이션막(17)을 덮도록 화소정의막(19)이 유기물 및/또는 무기물에 의해 형성되고, 화소 전극(18a)이 노출되도록 개구된다.

그리고, 적어도 상기 화소 전극(18a) 상에 중간층(18b) 및 대향 전극(18c)이 형성된다.

화소 전극(18a)은 애노드 전극의 기능을 하고, 대향 전극(18c)은 캐소오드 전극의 기능을 하는 데, 물론, 이들 화소 전극(18a)과 대향 전극(18c)의 극성은 반대로 되어도 무방하다.

화소 전극(18a)과 대향 전극(18c)은 상기 중간층(18b)에 의해 서로 절연되어 있으며, 중간층(18b)에 서로 다른 극성의 전압을 가해 유기 발광층에서 발광이 이뤄지도록 한다.

중간층(18b)은 유기 발광층을 구비할 수 있다. 선택적인 다른 예로서, 중간층(18b)은 유기 발광층(organic emission layer)을 구비하고, 그 외에 공통층(미표기)으로써 정공 주입층(HIL:hole injection layer), 정공 수송층(hole transport layer), 전자 수송층(electron transport layer) 및 전자 주입층(electron injection layer) 중 적어도 하나를 더 구비할 수 있다.

하나의 단위 화소는 복수의 부화소로 이루어지는데, 복수의 부화소는 다양한 색의 빛을 방출할 수 있다. 예를 들면 복수의 부화소는 각각 적색, 녹색 및 청색의 빛을 방출하는 부화소를 구비할 수 있고, 적색, 녹색, 청색 및 백색의 빛을 방출하는 부화소를 구비할 수 있다.

한편, 상기와 같은 박막 봉지층(E)은 복수의 무기층들을 포함하거나, 무기층 및 유기층을 포함할 수 있다.

박막 봉지층(E)의 상기 유기층은 고분자로 형성되며, 바람직하게는 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리이미드, 폴라카보네이트, 에폭시, 폴리에틸렌 및 폴리아크릴레이트 중 어느 하나로 형성되는 단일막 또는 적층막일 수 있다. 더욱 바람직하게는, 상기 유기층은 폴리아크릴레이트로 형성될 수 있으며, 구체적으로는 디아크릴레이트계 모노머와 트리아크릴레이트계 모노머를 포함하는 모노머 조성물이 고분자화된 것을 포함할 수 있다. 상기 모노머 조성물에 모노아크릴레이트계 모노머가 더 포함될 수 있다. 또한, 상기 모노머 조성물에 TPO와 같은 공지의 광개시제가 더욱 포함될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.

박막 봉지층(E)의 상기 무기층은 금속 산화물 또는 금속 질화물을 포함하는 단일막 또는 적층막일 수 있다. 구체적으로, 상기 무기층은 SiNx, Al2O3, SiO2, TiO2 중 어느 하나를 포함할 수 있다.

박막 봉지층(E) 중 외부로 노출된 최상층은 유기 발광 소자에 대한 투습을 방지하기 위하여 무기층으로 형성될 수 있다.

박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 무기층 사이에 적어도 하나의 유기층이 삽입된 샌드위치 구조를 적어도 하나 포함할 수 있다. 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 유기층 사이에 적어도 하나의 무기층이 삽입된 샌드위치 구조를 적어도 하나 포함할 수 있다. 또 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 무기층 사이에 적어도 하나의 유기층이 삽입된 샌드위치 구조 및 적어도 2개의 유기층 사이에 적어도 하나의 무기층이 삽입된 샌드위치 구조를 포함할 수도 있다.

박막 봉지층(E)은 유기 발광 소자(18, OLED)의 상부로부터 순차적으로 제1 무기층, 제1 유기층, 제2 무기층을 포함할 수 있다.

다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 유기 발광 소자(18, OLED)의 상부로부터 순차적으로 제1 무기층, 제1 유기층, 제2 무기층, 제2 유기층, 제 3 무기층을 포함할 수 있다.

또 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 상기 유기 발광 소자(18, OLED)의 상부로부터 순차적으로 제1 무기층, 제1 유기층, 제2 무기층, 상기 제2 유기층, 제 3 무기층, 제 3 유기층, 제 4 무기층을 포함할 수 있다.

유기 발광 소자(18, OLED)와 제1 무기층 사이에 LiF를 포함하는 할로겐화 금속층이 추가로 포함될 수 있다. 상기 할로겐화 금속층은 제1 무기층을 스퍼터링 방식으로 형성할 때 상기 유기 발광 소자(18, OLED)가 손상되는 것을 방지할 수 있다.

제1 유기층은 제2 무기층 보다 면적이 좁게 할 수 있으며, 상기 제2 유기층도 제 3 무기층 보다 면적이 좁을 수 있다.

따라서 마스크 조립체(120) 및 표시 장치의 제조장치(100)는 자력부(130)에 의한 척력을 저감시킴으로써 마스크 조립체(120)와 제1 기판(11)을 최대한 밀착시킬 수 있다.

마스크 조립체(120) 및 표시 장치의 제조장치(100)는 마스크 조립체(120)와 제1 기판(11)의 밀착으로 인하여 제1 기판(11) 상에 증착되는 증착물질의 패턴을 일정하게 형성할 수 있다. 구체적으로 마스크 조립체(120)에 제1 개구부(122)만 형성되는 경우 마스크 조립체(120)와 제1 기판(11) 사이가 척력으로 인하여 밀착되지 않을 수 있다. 또한, 대형의 표시 장치(10)를 제조하는 경우 마스크 조립체(120)가 척력 및 자중으로 인한 변형이 발생하거나 마스크 조립체(120)와 제1 기판(11) 사이의 간격이 멀어질 수 있다. 이때, 마스크 조립체(120)의 전면에서 마스크 조립체(120)와 제1 기판(11)가 서로 밀착하지 못하고, 마스크 조립체(120)와 제1 기판(11) 사이의 간격이 마스크 조립체(120) 전면에서 서로 상이하게 형성됨으로써 증착 물질이 제1 개구부(122)를 통과한 후 일정한 패턴으로 증착되지 못할 수 있다. 이러한 경우 표시 장치(10)는 증착 물질이 설계된 패턴대로 증착되지 못하므로 선명도가 저하되거나 일부 픽셀이나 서브 픽셀이 작동하지 않는 등의 문제가 발생할 수 있다. 그러나 본 발명의 실시예들에 따른 마스크 조립체(120) 및 표시 장치의 제조장치(100)는 제1 개구부(122)에 의한 척력을 저감시킴으로써 마스크 조립체(120)가 제1 기판(11)과 완전히 밀착할 수 있다. 따라서 마스크 조립체(120) 및 표시 장치의 제조장치(100)를 통하여 제조된 표시 장치(10)는 증착 물질이 설계된 패턴대로 제1 기판(11) 상에 증착됨으로써 고해상도의 표시 장치(10) 구현이 가능하다.

이와 같이 본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 하여 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 실시예의 변형이 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.

10: 표시 장치
11: 제1 기판
12: 버퍼층
13: 활성층
14: 게이트 절연층
15: 게이트 전극
16: 층간 절연층
17: 패시베이션막
18: 상에 유기 발광 소자
18b: 중간층
18a: 화소 전극
19: 화소정의막
100: 표시 장치의 제조장치
110: 챔버
120: 마스크 조립체
121: 바디부
122: 제1 개구부
123: 제2 개구부
130: 자력부
140: 증착원
150: 안착부
160: 압력조절부

Claims

제1 개구부가 형성된 바디부; 및
상기 제1 개구부로부터 이격되도록 상기 바디부에 형성되며, 자력을 저감시키도록 형성된 제2 개구부;를 포함하고,
상기 제2 개구부 폭은 상기 제2 개구부의 중심으로부터 양단으로 갈수록 상이하게 형성되며,
상기 제2 개구부의 폭은 상기 제2 개구부의 중심으로부터 양단으로 갈수록 커지거나 작아지는 마스크 조립체.
제 1 항에 있어서,
상기 제2 개구부의 일부는 상기 제1 개구부의 외면으로부터 일정 간격 이격되도록 형성되는 마스크 조립체.
제 1 항에 있어서,
상기 제2 개구부는 상기 제1 개구부의 중심으로부터 서로 대칭되도록 형성되는 마스크 조립체.
삭제
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제 1 항에 있어서,
상기 제1 개구부는 원형으로 형성되며,
상기 제2 개구부의 일부분은 원주의 일부를 형성하는 마스크 조립체.
마스크 조립체;
상기 마스크 조립체가 안착하는 안착부;
상기 마스크 조립체에 증착 물질을 제1 기판으로 분사하는 증착원; 및
상기 제1 기판으로부터 이격되도록 배치되어 상기 마스크 조립체를 자력을 통하여 상기 제1 기판에 밀착시키는 자력부;를 포함하고,
상기 마스크 조립체는,
제1 개구부가 형성된 바디부; 및
상기 제1 개구부로부터 이격되도록 상기 바디부에 형성되며, 자력을 저감시키도록 형성된 제2 개구부;를 포함하며,
상기 제2 개구부 폭은 상기 제2 개구부의 중심으로부터 양단으로 갈수록 상이하게 형성되며,
상기 제2 개구부의 폭은 상기 제2 개구부의 중심으로부터 양단으로 갈수록 커지거나 작아지는 표시 장치의 제조장치.
제 7 항에 있어서,
상기 제2 개구부의 일부는 상기 제1 개구부의 외면으로부터 일정 간격 이격되도록 형성되는 표시 장치의 제조장치.
제 7 항에 있어서,
상기 제2 개구부는 상기 제1 개구부의 중심으로부터 서로 대칭되도록 형성되는 표시 장치의 제조장치.
삭제
삭제
제 7 항에 있어서,
상기 제1 개구부는 원형으로 형성되며,
상기 제2 개구부의 일부분은 원주의 일부를 형성하는 표시 장치의 제조장치.
제 7 항에 있어서,
상기 제2 개구부는, 상기 자력부의 길이 방향에 대해서 일정 각도를 형성하는 상기 바디부 부분에 배치되는 표시 장치의 제조장치.
제 13 항에 있어서,
상기 제2 개구부는 상기 자력부의 길이 방향과 수직한 방향에 형성되는 표시 장치의 제조장치.