KR102411539B1 - 마스크 조립체, 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법 - Google Patents

마스크 조립체, 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법 Download PDF

Info

Publication number
KR102411539B1
KR102411539B1 KR1020150148821A KR20150148821A KR102411539B1 KR 102411539 B1 KR102411539 B1 KR 102411539B1 KR 1020150148821 A KR1020150148821 A KR 1020150148821A KR 20150148821 A KR20150148821 A KR 20150148821A KR 102411539 B1 KR102411539 B1 KR 102411539B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
pattern
mask
mask sheet
region
thickness
Prior art date
Application number
KR1020150148821A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20170048655A (ko
Inventor
김재식
강태민
김정국
조영석
Original Assignee
삼성디스플레이 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성디스플레이 주식회사 filed Critical 삼성디스플레이 주식회사
Priority to KR1020150148821A priority Critical patent/KR102411539B1/ko
Priority to US15/181,814 priority patent/US10079271B2/en
Publication of KR20170048655A publication Critical patent/KR20170048655A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102411539B1 publication Critical patent/KR102411539B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/10—OLED displays
    • H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
    • H01L51/56—
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
    • C23C14/042—Coating on selected surface areas, e.g. using masks using masks
    • H01L27/32—
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/08—Oxides
    • H01L2227/32—
    • H01L2251/56—
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/10—OLED displays
    • H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
    • H10K59/1201—Manufacture or treatment

Abstract

본 발명은 마스크 조립체, 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법을 개시한다. 본 발명은, 마스크 프레임과, 상기 마스크 프레임 상에 배치되며, 증착물질을 일정한 패턴으로 통과시키는 패턴부를 구비한 마스크 시트를 포함하고, 상기 패턴부는 상기 마스크 시트의 표면으로부터 인입되며, 최외곽 테두리가 요철 형태이다.

Description

마스크 조립체, 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법{Mask assembly, apparatus and method for manufacturing a display apparatus}
본 발명의 실시예들은 장치 및 방법에 관한 것으로서, 더 상세하게는 마스크 조립체, 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법에 관한 것이다.
이동성을 기반으로 하는 전자 기기가 폭 넓게 사용되고 있다. 이동용 전자 기기로는 모바일 폰과 같은 소형 전자 기기 이외에도 최근 들어 태블릿 PC가 널리 사용되고 있다.
이와 같은 이동형 전자 기기는 다양한 기능을 지원하기 위하여, 이미지 또는 영상과 같은 시각 정보를 사용자에게 제공하기 위하여 표시 장치를 포함한다. 최근, 표시 장치를 구동하기 위한 기타 부품들이 소형화됨에 따라, 표시 장치가 전자 기기에서 차지하는 비중이 점차 증가하고 있는 추세이며, 평평한 상태에서 소정의 각도를 갖도록 구부릴 수 있는 구조도 개발되고 있다.
일반적으로 제조된 마스크 시트는 인장력이 가해진 상태에서 마스크 프레임에 용접 등을 통하여 고정되어 사용될 수 있다. 이러한 경우 마스크 시트의 패턴부가 변형되거나 곡면을 형성함으로써 증착물질을 정확한 패턴으로 증착하는 것이 어려워질 수 있어 본 발명의 실시예들은 증착물질을 정확한 패턴으로 증착 가능한 마스크 조립체, 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법을 제공한다.
본 발명의 일 실시예는 마스크 프레임과, 상기 마스크 프레임 상에 배치되며, 증착물질을 일정한 패턴으로 통과시키는 패턴부를 구비한 마스크 시트를 포함하고, 상기 패턴부는 상기 마스크 시트의 표면으로부터 인입되며, 최외곽 테두리가 요철 형태인 마스크 조립체를 개시한다.
본 실시예에 있어서, 상기 패턴부의 최외곽 테두리는 톱니 형태일 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 패턴부는, 상기 마스크 시트의 표면으로부터 인입되며, 복수개의 개구부를 구비한 패턴영역과, 상기 마스크 시트의 표면으로부터 인입되어 상기 패턴영역과 연결되며, 최외곽이 요철 형태이면서 상기 패턴영역의 가장자리를 감싸는 가장자리영역을 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 가장자리영역의 두께는 상기 마스크 시트의 길이 방향과 상이한 방향으로 가변할 수 있다.
본 실시에에 있어서, 상기 가장자리영역의 두께는 상기 패턴영역으로부터 멀어질수록 순차적으로 커질 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 패턴영역의 두께와 상기 가장자리영역의 두께는 서로 동일할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 패턴영역의 두께와 상기 가장자리영역의 두께는 서로 상이할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 패턴부의 최외곽 테두리의 적어도 일부는 상기 마스크 시트의 길이방향으로 뾰족한 형상을 갖을 수 있다.
본 발명의 다른 실시예는, 마스크 조립체와, 상기 마스크 조립체와 대향하도록 배치되는 증착원을 포함하고, 상기 마스크 조립체는, 마스크 프레임과, 상기 마스크 프레임 상에 배치되며, 증착물질을 일정한 패턴으로 통과시키는 패턴부를 구비한 마스크 시트를 포함하고, 상기 패턴부는 상기 마스크 시트의 표면으로부터 인입되며, 최외곽 테두리가 요철 형태인 표시 장치의 제조장치를 개시한다.
본 실시예에 있어서, 상기 패턴부의 최외곽 테두리는 톱니 형태일 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 패턴부는, 상기 마스크 시트의 표면으로부터 인입되며, 복수개의 개구부를 구비한 패턴영역과, 상기 마스크 시트의 표면으로부터 인입되어 상기 패턴영역과 연결되며, 최외곽이 요철 형태이면서 상기 패턴영역의 가장자리를 감싸는 가장자리영역을 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 가장자리영역의 두께는 상기 마스크 시트의 길이 방향과 상이한 방향으로 가변할 수 있다.
본 실시에에 있어서, 상기 가장자리영역의 두께는 상기 패턴영역으로부터 멀어질수록 순차적으로 커질 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 패턴영역의 두께와 상기 가장자리영역의 두께는 서로 동일할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 패턴영역의 두께와 상기 가장자리영역의 두께는 서로 상이할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 패턴부의 최외곽 테두리의 적어도 일부는 상기 마스크 시트의 길이방향으로 뾰족한 형상을 갖을 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예는, 증착원과 마스크 조립체 및 기판을 순차적으로 대향하도록 배치하는 단계와, 상기 증착원에서 증착물질을 기화 또는 승화시켜 상기 마스크 조립체를 통과하여 상기 기판 상에 증착시키는 단계를 포함하고, 상기 마스크 조립체는, 마스크 프레임과, 상기 마스크 프레임 상에 배치되며, 증착물질을 일정한 패턴으로 통과시키는 패턴부를 구비한 마스크 시트를 포함하고, 상기 패턴부는 상기 마스크 시트의 표면으로부터 인입되며, 최외곽 테두리가 요철 형태인 표시 장치의 제조방법를 개시한다.
본 실시예에 있어서, 상기 패턴부는 레이저로 가공될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 패턴부는 상기 레이저가 한번에 가공하는 가공영역이 복수번 수행되어 형성되며, 상기 복수개의 가공영역은 서로 연결될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 각 가공영역은 마름모 형태일 수 있다.
전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점이 이하의 도면, 특허청구범위 및 발명의 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다.
이러한 일반적이고 구체적인 측면이 시스템, 방법, 컴퓨터 프로그램, 또는 어떠한 시스템, 방법, 컴퓨터 프로그램의 조합을 사용하여 실시될 수 있다.
본 발명의 실시예들은 균일한 패턴으로 증착물질을 기판에 증착시키는 것이 가능하다. 또한, 본 발명의 실시예들은 반복적으로 증착 공정을 수행하더라도 마스크 조립체의 변형을 최소화할 수 있다.
본 발명의 실시예들은 증착물질을 정확한 위치에 증착이 가능하므로 고해상도의 표시 장치를 제조하는 것이 가능하다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체를 보여주는 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 마스크 시트를 보여주는 사시도이다.
도 3은 도 1에 도시된 마스크 시트를 제조하는 마스크 시트 제조장치를 보여주는 개념도이다.
도 4는 도 1의 마스크 시트의 일부를 보여주는 평면도이다.
도 5는 도 4의 Ⅴ-Ⅴ선을 따라 취한 단면도이다.
도 6은 도 1에 도시된 마스크 조립체를 사용한 표시 장치의 제조장치를 보여주는 단면도이다.
도 7은 도 6에 도시된 표시 장치의 제조장치로 제조된 표시 장치를 보여주는 평면도이다.
도 8은 도 7에 도시된 Ⅷ-Ⅷ선을 따라 취한 단면도이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
이하의 실시예에서, 제1, 제2 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다.
이하의 실시예에서, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
이하의 실시예에서, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다.
이하의 실시예에서, 막, 영역, 구성 요소 등의 부분이 다른 부분 위에 또는 상에 있다고 할 때, 다른 부분의 바로 위에 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 있는 경우도 포함한다.
도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
이하의 실시예에서, x축, y축 및 z축은 직교 좌표계 상의 세 축으로 한정되지 않고, 이를 포함하는 넓은 의미로 해석될 수 있다. 예를 들어, x축, y축 및 z축은 서로 직교할 수도 있지만, 서로 직교하지 않는 서로 다른 방향을 지칭할 수도 있다.
어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체를 보여주는 사시도이다. 도 2는 도 1에 도시된 마스크 시트를 보여주는 사시도이다. 도 3은 도 1에 도시된 마스크 시트를 제조하는 마스크 시트 제조장치를 보여주는 개념도이다. 도 4는 도 1의 마스크 시트의 일부를 보여주는 평면도이다. 도 5는 도 4의 Ⅴ-Ⅴ선을 따라 취한 단면도이다.
도 1 내지 도 5를 참고하면, 마스크 조립체(150)는 마스크 프레임(151), 마스크 시트(152) 및 보강부재(153)를 포함할 수 있다. 이때, 마스크 프레임(151)은 복수개의 프레임(미도시)으로 형성될 수 있다. 다른 실시예로써 마스크 프레임(151)는 하나의 플레이트 형태로부터 가공되는 것도 가능하다. 상기와 같은 경우 마스크 프레임(151)는 가운데 부분이 개구되도록 형성될 수 있다.
마스크 시트(152)는 하나의 플레이트 또는 스틱(Stick) 형태로 형성될 수 있다. 이때, 마스크 시트(152)가 플레이트 형태인 경우 마스크 시트(152)는 마스크 프레임(151)의 전면을 가리도록 마스크 프레임(151)에 설치될 수 있다. 다른 실시예로써 마스크 시트(152)가 스틱 형태인 경우 복수개의 마스크 시트(152)가 서로 인접하도록 마스크 프레임(151)에 설치될 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 마스크 시트(152)가 복수개 구비되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
마스크 시트(152)는 마스크 프레임(151)의 중앙 부분을 가로지르도록 마스크 프레임(151)에 설치될 수 있다. 이때, 마스크 시트(152)는 인장력이 가해진 상태로 마스크 프레임(151)에 설치될 수 있다.
마스크 시트(152)는 복수개 구비될 수 있으며, 복수개의 마스크 시트(152)는 서로 인접하도록 마스크 프레임(151)의 장변 방향(도 1의 Y축 방향)으로 마스크 프레임(151)에 설치될 수 있다. 이때, 복수개의 마스크 시트(152)는 마스크 프레임(151)의 개구된 전면을 덮도록 마스크 프레임(151)에 설치될 수 있다.
마스크 시트(152)는 복수개의 개구부(152-4)가 형성된 패턴부(152-1)를 포함할 수 있다. 이때, 복수개의 개구부(152-4)는 서로 일정한 패턴을 형성할 수 있다. 특히 복수개의 개구부(152-4)는 서로 일정 간격 이격되도록 패턴부(152-1)에 형성될 수 있다.
상기와 같은 패턴부(152-1)는 최외곽 테두리가 요철 형태로 형성될 수 있다. 예를 들면, 패턴부(152-1)의 최외곽 테두리는 톱니 형태로 형성될 수 있다.
패턴부(152-1)는 마스크 시트(152)의 다른 부분(예를 들면, 패턴부(152-1)가 형성되지 않은 마스크 시트(152) 부분)과 두께가 상이하게 형성될 수 있다. 예를 들면, 패턴부(152-1)는 마스크 시트(152)의 다른 부분보다 두께가 작게 형성될 수 있다. 즉, 패턴부(152-1)는 마스크 시트(152)의 표면으로부터 인입되도록 형성될 수 있다.
상기와 같은 패턴부(152-1)는 복수개의 개구부(152-4)가 형성된 패턴영역(152-2)을 포함할 수 있다. 또한, 다른 실시예로써 패턴부(152-1)는 패턴영역(152-2) 및 패턴영역(152-2)과 연결되도록 형성되며, 패턴영역(152-2)을 감싸도록 형성된 가장자리영역(152-3)을 포함할 수 있다. 이때, 패턴영역(152-2)은 기판(21) 상에 증착물질이 증착되는 증착영역(P)이 내부에 포함되도록 형성될 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 패턴부(152-1)가 패턴영역(152-2) 및 가장자리영역(152-3)을 포함하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
패턴영역(152-2)과 가장자리영역(152-3)은 서로 연결될 수 있다. 이때, 패턴영역(152-2) 및 가장자리영역(152-3)의 최와곽은 요철 형태로 형성될 수 있다. 구체적으로 패턴영역(152-2) 및 가장자리영역(152-3)의 최와곽은 톱니 형태로 형성될 수 있다. 이때, 가장자리영역(152-3)의 최와곽 부분 중 적어도 일부는 마스크 시트(152)의 길이 방향으로 뾰족하게 형성될 수 있다.
패턴영역(152-2)의 두께와 가장자리영역(152-3)의 두께는 서로 동일할 수 있다. 패턴영역(152-2)의 두께와 가장자리영역(152-3)의 두께가 서로 동일한 경우 가장자리영역(152-3)의 두께는 동일하게 형성될 수 있다. 다른 실시예로써 가장자리영역(152-3)의 적어도 일부 두께는 패턴영역(152-2)의 두께와 동일하고, 가장자리영역(152-3)의 다른 부분의 두께는 패턴영역(152-2)의 두께와 상이하게 형성될 수 있다. 이때, 가장자리영역(152-3)의 두께는 마스크 시트(152)의 길이 방향과 상이한 방향(예를 들면, 마스크 시트(152)의 길이 방향과 사선인 방향)으로 가변할 수 있다. 또한, 가장자리영역(152-3)의 두께는 패턴영역(152-2)으로부터 멀어질수록 커지도록 형성될 수 있다. 이때, 가장자리영역(152-3)의 두께는 패턴영역(152-2)으로부터 다단지게 형성될 수 있다.
상기의 실시예 이외에도 패턴영역(152-2)의 두께와 가장자리영역(152-3)의 두께가 상이하게 형성될 수 있다. 이때, 패턴영역(152-2)과 가장자리영역(152-3)은 서로 상이한 두께를 가질 수 있다. 예를 들면, 패턴영역(152-2)의 두께는 가장자리영역(152-3)의 두께보다 작게 형성될 수 있다. 특히 가장자리영역(152-3)의 두께는 가장자리영역(152-3)의 전영역에서 균일할 수 있으며, 상기와 같이 서로 상이하게 형성되는 것도 가능하다. 구체적으로 가장자리영역(152-3)의 두께는 패턴영역(152-2)으로부터 멀어질수록 다단지게 형성될 수 있다. 따라서 패턴부(152-1)의 외곽부분은 계단 형상으로 단차지게 형성될 수 있다.
이하에서는 설명의 편의를 위하여 패턴영역(152-2)과 가장자리영역(152-3)이 단차지게 형성되고, 가장자리영역(152-3) 자체가 단차지게 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
상기와 같은 가장자리영역(152-3)은 패턴영역(152-2)의 두께보다 큰 두께를 갖는 제1 가장자리영역(152-3a)과, 제1 가장자리영역(152-3a)의 두께보다 큰 두께를 갖는 제2 가장자리영역(152-3b)을 포함할 수 있다. 이때, 제1 가장자리영역(152-3a) 및 제2 가장자리영역(152-3b)은 패턴영역(152-2)으로부터 순차적으로 연결되도록 형성될 수 있다. 또한, 제1 가장자리영역(152-3a)은 패턴영역(152-2)의 외곽부분을 감싸도록 형성되며, 제2 가장자리영역(152-3b)은 제1 가장자리영역(152-3a)의 외곽부분을 감싸도록 형성될 수 있다. 특히 제1 가장자리영역(152-3a)은 톱니형태로 형성된 패턴영역(152-2)의 최외곽부분 사이에 형성될 수 있다. 또한, 제2 가장자리영역(152-3b)은 톱니형태로 형성된 제1 가장자리영역(152-3a)의 최외곽부분 사이에 형성될 수 있다.
보강부재(153)는 마스크 프레임(151)에 설치되어 마스크 프레임(151)이 변형되는 것을 방지할 수 있다. 이때, 보강부재(153)는 마스크 프레임(151)의 각 프레임을 가로지르도록 설치될 수 있다. 특히 보강부재(153)는 프레임 형태로 형성되어 마스크 프레임(151)에 설치될 수 있다. 다른실시예로써 보강부재(153)는 창틀과 같은 격자 형태로 형성되어 마스크 시트(152)와 마스크 프레임(151) 사이에 설치되는 것도 가능하다.
한편, 상기와 같은 마스크 시트(152)는 도 2에 도시된 마스크 시트 제조장치(10)를 통하여 제조될 수 있다. 이때, 마스크 시트 제조장치(10)는 스테이지(1), 레이저조사부(2) 및 광가이드부(3)를 포함할 수 있다.
스테이지(1)는 마스크 시트(152)가 안착되도록 플레이트 형태로 형성될 수 있다. 또한, 스테이지(1)는 서로 상이한 2방향으로 선형 운동할 수 있다. 이때, 스테이지(1)는 마스크 시트(152)가 안착된 상태에서 이동할 수 있다.
레이저조사부(2)는 외부로 레이저를 조사할 수 있다. 이때, 레이저조사부(2)는 하나의 광을 외부로 분사할 수 있다.
광가이드부(3)는 레이저조사부(2)로부터 분사된 광을 분기하여 복수개이 광을 형성할 수 있다. 또한, 광가이드부(3)는 분사된 광의 경로를 굴절시키거나 가이드하여 초기와 가른 방향으로 안내할 수 있다.
상기와 같은 마스크 시트 제조장치(10)는 광가이드부(3)에서 분사된 빛이 일정한 영역을 형성할 수 있다. 이러한 영역은 한번에 마스크 시트(152)에 작업을 수행할 수 있는 가공영역(L)을 형성할 수 있다. 예를 들면, 광가이드부(3)에서 분사된 광은 약 196개 정도의 레이저빔을 형성할 수 있으며, 196개의 레이저빔은 14X14형태로 배열되어 하나의 가공영역(L)을 형성할 수 있다. 이때, 가공영역(L)은 한번에 마스크 시트(152)에 패턴부(152-1)의 일부를 형성할 수 있다.
상기와 가공영역(L)은 패턴부(152-1)를 형성하기 위하여 마스크 시트(152) 상에 복수번 움직일 수 있다. 이때, 스테이지(1)는 가공영역(L)이 서로 인접하도록 마스크 시트(152)를 움직일 수 있다. 예를 들면, 하나의 가공영역(L)이 마스크 시트(152)의 일부분을 가공한 후 스테이지(1)가 마스크 시트(152)를 일방향으로 움직여 마스크 시트(152)의 가공된 부분과 다른 가공영역(L)이 인접시킬 수 있다. 이후 다른 가공영역(L)을 가공하고, 상기와 같은 작업을 반복하여 패턴부(152-1)를 형성할 수 있다.
상기와 같은 경우 가공영역(L)은 서로 연결될 수 있다. 이때, 가공영역(L)은 마름모 등과 같은 다각형 형태로 형성될 수 있다. 구체적으로 가공영역(L)의 꼭지점 부분은 마스크 시트(152)의 길이 방향으로 배치될 수 있다. 이러한 경우 가공영역(L)에 의해 형성된 패턴영역(152-2)과 가장자리영역(152-3)은 요철 형태(예를 들면, 톱니 형태)를 형성할 수 있다.
상기와 같이 제조된 마스크 시트(152)는 인장력이 가해진 상태로 마스크 프레임(151)에 설치될 수 있다. 이때, 마스크 시트(152)는 인장력이 가해지는 경우 패턴부(152-1)에 주름이 발생할 수 있다. 특히 상기와 같이 주름이 발생하는 경우 패턴부(152-1)의 개구부(152-4) 패턴이 초기와 상이하게 형성될 수 있다. 이러한 경우 증착물질이 통과하여 기판(21) 상에 정확하고 균일한 패턴으로 증착되지 못함으로써 표시 장치(미도시)의 불량율을 높일 수 있다. 그러나 상기와 같이 패턴영역(152-2)과 가장자리영역(152-3)을 갖는 패턴부(152-1)를 마스크 시트(152)에 형성하는 경우 개구부(152-4)의 패턴이 기존과 상이해지지 않을 수 있다. 구체적으로 패턴영역(152-2)과 가장자리영역(152-3)을 형성할 때 상기와 같이 가공영역(L)이 마름모 형태로 형성됨으로써 인장력에 따른 변형이 분산될 수 있다. 특히 상기와 같은 패턴부(152-1)의 가장자리 부분이 요철 형태로 형성됨으로써 마스크 시트(152)의 인장 시 탄성력을 제공하여 개구부(152-4) 사이의 간격이 일정한 비율로 늘어날 수 있다. 뿐만 아니라 상기와 같은 패턴부(152-1)의 가장자리로 인하여 패턴부(152-1)의 표면에 굴곡이 발생하는 것을 최소화할 수 있다.
따라서 마스크 조립체(150)는 개구부(152-4)의 패턴 변형을 최소화함으로써 균일한 패턴으로 증착물질을 기판(21) 상에 증착시키는 것이 가능하다. 또한, 마스크 조립체(150)는 마스크 시트(152)의 인장 시 패턴부(152-1)의 가장자리에 탄성력을 제공함으로써 마스크 시트(152)의 파손을 방지할 수 있다.
도 6은 도 1에 도시된 마스크 조립체를 사용한 표시 장치의 제조장치를 보여주는 단면도이다.
도 6을 참고하면, 표시 장치의 제조장치(100)는 마스크 조립체(150), 증착원(160), 기판지지부(120), 마스크조립체지지부(130), 흡입부(170), 비젼부(140) 및 챔버(110)를 포함할 수 있다.
마스크 조립체(150)는 마스크 프레임(151) 및 마스크 시트(152)를 포함할 수 있다. 이때, 마스크 시트(152)는 상기 도 1 내지 도 4에서 설명한 것과 동일 또는 유사하게 형성될 수 있다.
증착원(160)은 내부에 증착물질이 수납될 수 있다. 이때, 증착물질은 승화 또는 기화하는 물질로 무기물, 금속 및 유기물 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 증착물질이 유기물인 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
증착원(160)은 마스크 프레임(151)과 대향하도록 배치될 수 있으며, 마스크 프레임(151)과 대향하도록 배치된 증착원(160) 부분은 개구되도록 형성될 수 있다. 또한, 증착원(160)은 증착물질에 열을 가하는 히터(160-1)를 포함할 수 있다.
기판지지부(120)는 기판(21)을 지지할 수 있다. 이때, 기판지지부(120)는 다양한 형태로 형성될 수 있다. 예를 들면, 기판지지부(120)는 챔버(110) 내부에 배치되는 셔틀, 정전척, 점전척 등을 포함할 수 있다. 다른 실시예로써 챔버(110) 내부에 배치되는 별도의 지지프레임을 포함하는 것도 가능하다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 기판지지부(120)가 별도의 지지프레임을 포함하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
상기와 같은 기판(21)에는 증착물질이 서로 이격되도록 배치되는 복수개의 영역에 증착될 수 있다. 이때, 상기와 같은 패턴부(152-1)는 마스크 시트(152)에 서로 이격되도록 형성될 수 있다. 특히 상기와 같은 경우 기판(21)은 증착이 완료된 후 복수개로 분리되어 복수개의 표시 장치(미도시)를 형성할 수 있다. 다른 실시예로써 증착물질은 기판(21)의 전면에 증착되는 것도 가능하다. 이러한 경우 상기와 같은 패턴부(152-1)는 마스크 시트(152)의 전면에 걸쳐 형성될 수 있다. 특히 상기와 같은 경우 기판(21)은 증착이 완료된 후 하나의 표시 장치(미도시)를 형성할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 기판(21) 상에 증착물질이 서로 이격되도록 배치되는 복수개의 영역에 증착되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
마스크조립체지지부(130)는 기판지지부(120)와 증착원(160) 사이에 배치될 수 있다. 이때, 마스크조립체지지부(130)는 마스크 조립체(150)가 안착되어 지지될 수 있다. 이때, 마스크조립체지지부(130)는 마스크 조립체(150)의 변위를 작은 범위 내에서 가변시킴으로써 마스크 조립체(150)와 기판(21)을 정렬시킬 수 있다.
흡입부(170)는 챔버(110)와 연결되어 챔버(110) 내부의 압력을 일정하게 유지시킬 수 있다. 이때, 흡입부(170)는 챔버(110)와 연결되는 연결배관(171) 및 연결배관(171)에 설치되는 펌프(172)를 포함할 수 있다.
비젼부(140)는 카메라를 포함할 수 있다. 이때, 비젼부(140)는 기판(21)과 마스크 조립체(150)의 위치를 촬영하여 기판(21)과 마스크 조립체(150)의 정렬 시 필요한 데이터를 제공할 수 있다.
챔버(110)는 내부에 공간이 형성될 수 있으며, 일부가 개방되도록 형성될 수 있다. 이때, 챔버(110)의 개구된 부분에는 게이트 밸브(110-1) 등이 설치되어 개구된 부분을 개폐할 수 있다.
상기와 같은 표시 장치의 제조장치(100)의 작동을 살펴보면, 우선 게이트 밸브(110-1)가 개방되어 챔버(110)를 개방시킬 수 있다. 이때, 흡입부(170)는 챔버(110) 내부의 압력을 대기압과 유사하도록 조절할 수 있다.
게이트 밸브(110-1)가 개방되면, 챔버(110) 외부에서 챔버(110) 내부로 기판(21) 및 마스크 조립체(150)를 삽입할 수 있다. 이때, 기판(21) 및 마스크 조립체(150)는 로봇암 또는 셔틀 등을 통하여 이동할 수 있다.
기판(21) 및 마스크 조립체(150)가 챔버(110) 내부로 진입하면, 게이트 밸브(110-1)를 작동시켜 챔버(110)를 폐쇄한 후 흡입부(170)가 작동하여 챔버(110) 내부의 압력을 거의 진공 상태로 유지시킬 수 있다. 또한, 증착원(160)에서는 증착물질을 기화 또는 승화시켜 마스크 조립체(150)를 통하여 기판(21) 상에 증착될 수 있다. 이때, 증착물질은 마스크 시트(152) 상의 개구부(152-4)를 통과하여 기판(21) 상에 일정한 패턴으로 증착될 수 있다.
상기와 같은 마스크 시트(152)는 상기에서 설명한 것과 같이 패턴영역(152-2)의 두께가 마스크 시트(152)의 다른 부분의 두께 및 가장자리영역(152-3)의 두께보다 작게 형성될 수 있다. 이러한 경우 상기에서 설명한 것과 같이 마스크 시트(152)에 인장력이 가해지더라도 개구부(152-4)의 패턴 형태가 유지될 수 있으므로 증착물질은 균일한 패턴을 갖도록 기판(21) 상에 증착될 수 있다.
따라서 표시 장치의 제조장치(100)는 기판(21) 상에 균일한 패턴으로 증착물질을 증착시키는 것이 가능하다. 또한, 표시 장치의 제조장치(100)는 기판(21) 상에 균일한 패턴으로 증착물질을 증착시킴으로써 성능이 우수한 표시 장치(미도시)를 제조하는 것이 가능하다. 뿐만 아니라 표시 장치의 제조장치(100)는 반복하여 증착물질을 복수개의 기판(21) 상에 증착시키더라도 일정한 패턴으로 증착이 가능함으로써 상기 표시 장치의 제조 시 불량율을 최소화시킬 수 있다.
도 7은 도 6에 도시된 표시 장치의 제조장치로 제조된 표시 장치를 보여주는 평면도이다. 도 8은 도 7에 도시된 Ⅷ-Ⅷ선을 따라 취한 단면도이다.
도 6 및 도 7을 참고하면, 표시 장치(20)는 기판(21) 상에서 표시 영역(DA)과 표시 영역(DA)의 외곽에 비표시 영역이 정의할 수 있다. 표시 영역(DA)에는 발광부(D)가 배치되고, 비표시 영역에는 전원 배선(미도시) 등이 배치될 수 있다. 또한, 비표시 영역에는 패드부(C)가 배치될 수 있다.
표시 장치(20)는 기판(21) 및 발광부(D)를 포함할 수 있다. 또한, 표시 장치(20)는 발광부(D)의 상부에 형성되는 박막 봉지층(E) 을 포함할 수 있다. 이때, 기판(21)은 플라스틱재를 사용할 수 있으며, SUS, Ti과 같은 금속재를 사용할 수도 있다. 또한, 기판(21)는 폴리이미드(PI, Polyimide)를 사용할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 기판(21)이 폴리이미드로 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
기판(21) 상에 발광부(D)가 형성될 수 있다. 이때, 발광부(D)는 박막 트랜지스터(TFT) 이 구비되고, 이들을 덮도록 패시베이션막(27)이 형성되며, 이 패시베이션막(27) 상에 유기 발광 소자(28)가 형성될 수 있다.
이때, 기판(21)은 유리 재질을 사용할 수 있는 데, 반드시 이에 한정되지 않으며, 플라스틱재를 사용할 수도 있으며, SUS, Ti과 같은 금속재를 사용할 수도 있다. 또한, 기판(21)는 폴리이미드(PI, Polyimide)를 사용할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 기판(21)이 유리 재질로 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
기판(21)의 상면에는 유기화합물 및/또는 무기화합물로 이루어진 버퍼층(22)이 더 형성되는 데, SiOx(x≥1), SiNx(x≥1)로 형성될 수 있다.
이 버퍼층(22) 상에 소정의 패턴으로 배열된 활성층(23)이 형성된 후, 활성층(23)이 게이트 절연층(24)에 의해 매립된다. 활성층(23)은 소스 영역(23-1)과 드레인 영역(23-2)을 갖고, 그 사이에 채널 영역(23-2)을 더 포함한다.
이러한 활성층(23)은 다양한 물질을 함유하도록 형성될 수 있다. 예를 들면, 활성층(23)은 비정질 실리콘 또는 결정질 실리콘과 같은 무기 반도체 물질을 함유할 수 있다. 다른 예로서 활성층(23)은 산화물 반도체를 함유할 수 있다. 또 다른 예로서, 활성층(23)은 유기 반도체 물질을 함유할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 활성층(23)이 비정질 실리콘으로 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
이러한 활성층(23)은 버퍼층(22) 상에 비정질 실리콘막을 형성한 후, 이를 결정화하여 다결정질 실리콘막으로 형성하고, 이 다결정질 실리콘막을 패터닝하여 형성할 수 있다. 상기 활성층(23)은 구동 TFT(미도시), 스위칭 TFT(미도시) 등 TFT 종류에 따라, 그 소스 영역(23-1) 및 드레인 영역(23-2)이 불순물에 의해 도핑된다.
게이트 절연층(24)의 상면에는 활성층(23)과 대응되는 게이트 전극(25)과 이를 매립하는 층간 절연층(26)이 형성된다.
그리고, 층간 절연층(26)과 게이트 절연층(24)에 콘택홀(H1)을 형성한 후, 층간 절연층(26) 상에 소스 전극(27-1) 및 드레인 전극(27-2)을 각각 소스 영역(23-1) 및 드레인 영역(23-2)에 콘택되도록 형성한다.
이렇게 형성된 상기 박막 트랜지스터의 상부로는 패시베이션막(27)이 형성되고, 이 패시베이션막(27) 상부에 유기 발광 소자(28, OLED)의 화소 전극(28-1)이 형성된다. 이 화소 전극(28-1)은 패시베이션막(27)에 형성된 비아 홀(H2)에 의해 TFT의 드레인 전극(27-2)에 콘택된다. 상기 패시베이션막(27)은 무기물 및/또는 유기물, 단층 또는 2개층 이상으로 형성될 수 있는 데, 하부 막의 굴곡에 관계없이 상면이 평탄하게 되도록 평탄화막으로 형성될 수도 있는 반면, 하부에 위치한 막의 굴곡을 따라 굴곡이 가도록 형성될 수 있다. 그리고, 이 패시베이션막(27)은, 공진 효과를 달성할 수 있도록 투명 절연체로 형성되는 것이 바람직하다.
패시베이션막(27) 상에 화소 전극(28-1)을 형성한 후에는 이 화소 전극(28-1) 및 패시베이션막(27)을 덮도록 화소 정의막(29)이 유기물 및/또는 무기물에 의해 형성되고, 화소 전극(28-1)이 노출되도록 개구된다.
그리고, 적어도 상기 화소 전극(28-1) 상에 중간층(28-2) 및 대향 전극(28-3)이 형성된다.
화소 전극(28-1)은 애노드 전극의 기능을 하고, 대향 전극(28-3)은 캐소오드 전극의 기능을 하는 데, 물론, 이들 화소 전극(28-1)과 대향 전극(28-3)의 극성은 반대로 되어도 무방하다.
화소 전극(28-1)과 대향 전극(28-3)은 상기 중간층(28-2)에 의해 서로 절연되어 있으며, 중간층(28-2)에 서로 다른 극성의 전압을 가해 유기 발광층에서 발광이 이뤄지도록 한다.
중간층(28-2)은 유기 발광층을 구비할 수 있다. 선택적인 다른 예로서, 중간층(28-2)은 유기 발광층(organic emission layer)을 구비하고, 그 외에 정공 주입층(HIL:hole injection layer), 정공 수송층(hole transport layer), 전자 수송층(electron transport layer) 및 전자 주입층(electron injection layer) 중 적어도 하나를 더 구비할 수 있다. 본 실시예는 이에 한정되지 아니하고, 중간층(28-2)이 유기 발광층을 구비하고, 기타 다양한 기능층(미도시)을 더 구비할 수 있다.
이때, 상기와 같은 중간층(28-2)은 상기에서 설명한 표시 장치의 제조장치(미도시)를 통하여 형성될 수 있다.
한편, 하나의 단위 화소는 복수의 부화소로 이루어지는데, 복수의 부화소는 다양한 색의 빛을 방출할 수 있다. 예를 들면 복수의 부화소는 각각 적색, 녹색 및 청색의 빛을 방출하는 부화소를 구비할 수 있고, 적색, 녹색, 청색 및 백색의 빛을 방출하는 부화소(미표기)를 구비할 수 있다.
한편, 상기와 같은 박막 봉지층(E)은 복수의 무기층들을 포함하거나, 무기층 및 유기층을 포함할 수 있다.
박막 봉지층(E)의 상기 유기층은 고분자로 형성되며, 바람직하게는 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리이미드, 폴라카보네이트, 에폭시, 폴리에틸렌 및 폴리아크릴레이트 중 어느 하나로 형성되는 단일막 또는 적층막일 수 있다. 더욱 바람직하게는, 상기 유기층은 폴리아크릴레이트로 형성될 수 있으며, 구체적으로는 디아크릴레이트계 모노머와 트리아크릴레이트계 모노머를 포함하는 모노머 조성물이 고분자화된 것을 포함할 수 있다. 상기 모노머 조성물에 모노아크릴레이트계 모노머가 더 포함될 수 있다. 또한, 상기 모노머 조성물에 TPO와 같은 공지의 광개시제가 더욱 포함될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.
박막 봉지층(E)의 상기 무기층은 금속 산화물 또는 금속 질화물을 포함하는 단일막 또는 적층막일 수 있다. 구체적으로, 상기 무기층은 SiNx, Al2O3, SiO2, TiO2 중 어느 하나를 포함할 수 있다.
박막 봉지층(E) 중 외부로 노출된 최상층은 유기 발광 소자에 대한 투습을 방지하기 위하여 무기층으로 형성될 수 있다.
박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 무기층 사이에 적어도 하나의 유기층이 삽입된 샌드위치 구조를 적어도 하나 포함할 수 있다. 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 유기층 사이에 적어도 하나의 무기층이 삽입된 샌드위치 구조를 적어도 하나 포함할 수 있다. 또 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 무기층 사이에 적어도 하나의 유기층이 삽입된 샌드위치 구조 및 적어도 2개의 유기층 사이에 적어도 하나의 무기층이 삽입된 샌드위치 구조를 포함할 수도 있다.
박막 봉지층(E)은 유기 발광 소자(OLED)의 상부로부터 순차적으로 제1 무기층, 제1 유기층, 제2 무기층을 포함할 수 있다.
다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 유기 발광 소자(OLED)의 상부로부터 순차적으로 제1 무기층, 제1 유기층, 제2 무기층, 제2 유기층, 제3 무기층을 포함할 수 있다.
또 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 상기 유기 발광 소자(OLED)의 상부로부터 순차적으로 제1 무기층, 제1 유기층, 제2 무기층, 상기 제2 유기층, 제3 무기층, 제3 유기층, 제4 무기층을 포함할 수 있다.
유기 발광 소자(OLED)와 제1 무기층 사이에 LiF를 포함하는 할로겐화 금속층이 추가로 포함될 수 있다. 상기 할로겐화 금속층은 제1 무기층을 스퍼터링 방식으로 형성할 때 상기 유기 발광 소자(OLED)가 손상되는 것을 방지할 수 있다.
제1 유기층은 제2 무기층 보다 면적이 좁게 할 수 있으며, 상기 제2 유기층도 제3 무기층 보다 면적이 좁을 수 있다.
따라서 표시 장치(20)는 정밀한 패턴을 형성하는 중간층(28-2)을 구비하고, 중간층(28-2)이 정확한 위치에 증착되어 형성됨으로써 정밀한 이미지 구현이 가능하다. 또한, 표시 장치(20)는 반복적으로 중간층(28-2)을 증착하더라도 일정한 패턴을 형성함으로써 지속적인 생산에 따라 균일한 품질을 나타낸다.
이와 같이 본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 하여 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 실시예의 변형이 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
1: 스테이지
2: 레이저조사부
3: 광가이드부
10: 마스크 시트의 제조장치
20: 표시 장치
21: 기판
100: 표시 장치의 제조장치
110: 챔버
120: 기판지지부
130: 마스크조립체지지부
140: 비젼부
150: 마스크 조립체
151: 마스크 프레임
152: 마스크 시트
153: 보강부재
160: 증착원
170: 흡입부

Claims (20)

  1. 마스크 프레임; 및
    상기 마스크 프레임 상에 배치되며, 증착물질을 일정한 패턴으로 통과시키는 패턴부를 구비한 마스크 시트;를 포함하고,
    상기 패턴부는 상기 마스크 시트의 표면으로부터 인입되며, 최외곽 테두리가 요철 형태이고,
    상기 패턴부의 최외곽 테두리는 상기 마스크 시트의 길이 방향 및 상기 마스크 시트의 폭 방향 중 적어도 하나의 방향으로 돌출되거나 인입되는 요철 형태인 마스크 조립체.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 패턴부의 최외곽 테두리는 톱니 형태인 마스크 조립체.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 패턴부는,
    상기 마스크 시트의 표면으로부터 인입되며, 복수개의 개구부를 구비한 패턴영역; 및
    상기 마스크 시트의 표면으로부터 인입되어 상기 패턴영역과 연결되며, 최외곽이 요철 형태이면서 상기 패턴영역의 가장자리를 감싸는 가장자리영역;을 포함하는 마스크 조립체.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 가장자리영역의 두께는 상기 마스크 시트의 길이 방향과 상이한 방향으로 가변하는 마스크 조립체.
  5. 제 3 항에 있어서,
    상기 가장자리영역의 두께는 상기 패턴영역으로부터 멀어질수록 순차적으로 커지는 마스크 조립체.
  6. 제 3 항에 있어서,
    상기 패턴영역의 두께와 상기 가장자리영역의 두께는 서로 동일한 마스크 조립체.
  7. 제 3 항에 있어서,
    상기 패턴영역의 두께와 상기 가장자리영역의 두께는 서로 상이한 마스크 조립체.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 패턴부의 최외곽 테두리의 적어도 일부는 상기 마스크 시트의 길이방향으로 뾰족한 형상을 갖는 마스크 조립체.
  9. 마스크 조립체; 및
    상기 마스크 조립체와 대향하도록 배치되는 증착원;을 포함하고,
    상기 마스크 조립체는,
    마스크 프레임; 및
    상기 마스크 프레임 상에 배치되며, 증착물질을 일정한 패턴으로 통과시키는 패턴부를 구비한 마스크 시트;를 포함하고,
    상기 패턴부는 상기 마스크 시트의 표면으로부터 인입되며, 최외곽 테두리가 요철 형태이고,
    상기 패턴부의 최외곽 테두리는 상기 마스크 시트의 길이 방향 및 상기 마스크 시트의 폭 방향 중 적어도 하나의 방향으로 돌출되거나 인입되는 요철 형태인 표시 장치의 제조장치.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 패턴부의 최외곽 테두리는 톱니 형태인 표시 장치의 제조장치.
  11. 제 9 항에 있어서,
    상기 패턴부는,
    상기 마스크 시트의 표면으로부터 인입되며, 복수개의 개구부를 구비한 패턴영역; 및
    상기 마스크 시트의 표면으로부터 인입되어 상기 패턴영역과 연결되며, 최외곽이 요철 형태이면서 상기 패턴영역의 가장자리를 감싸는 가장자리영역;을 포함하는 표시 장치의 제조장치.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 가장자리영역의 두께는 상기 마스크 시트의 길이 방향과 상이한 방향으로 가변하는 표시 장치의 제조장치.
  13. 제 11 항에 있어서,
    상기 가장자리영역의 두께는 상기 패턴영역으로부터 멀어질수록 순차적으로 커지는 표시 장치의 제조장치.
  14. 제 11 항에 있어서,
    상기 패턴영역의 두께와 상기 가장자리영역의 두께는 서로 동일한 표시 장치의 제조장치.
  15. 제 11 항에 있어서,
    상기 패턴영역의 두께와 상기 가장자리영역의 두께는 서로 상이한 표시 장치의 제조장치.
  16. 제 9 항에 있어서,
    상기 패턴부의 최외곽 테두리의 적어도 일부는 상기 마스크 시트의 길이방향으로 뾰족한 형상을 갖는 표시 장치의 제조장치.
  17. 증착원과 마스크 조립체 및 기판을 순차적으로 대향하도록 배치하는 단계; 및
    상기 증착원에서 증착물질을 기화 또는 승화시켜 상기 마스크 조립체를 통과하여 상기 기판 상에 증착시키는 단계;를 포함하고,
    상기 마스크 조립체는,
    마스크 프레임; 및
    상기 마스크 프레임 상에 배치되며, 증착물질을 일정한 패턴으로 통과시키는 패턴부를 구비한 마스크 시트;를 포함하고,
    상기 패턴부는 상기 마스크 시트의 표면으로부터 인입되며, 최외곽 테두리가 요철 형태이고,
    상기 패턴부의 최외곽 테두리는 상기 마스크 시트의 길이 방향 및 상기 마스크 시트의 폭 방향 중 적어도 하나의 방향으로 돌출되거나 인입되는 요철 형태인 표시 장치의 제조방법.
  18. 제 17 항에 있어서,
    상기 패턴부는 레이저로 가공되는 표시 장치의 제조방법.
  19. 제 18 항에 있어서,
    상기 패턴부는 상기 레이저가 한번에 가공하는 가공영역이 복수번 수행되어 형성되며, 상기 복수개의 가공영역은 서로 연결된 표시 장치의 제조방법.
  20. 제 18 항에 있어서,
    상기 각 가공영역은 마름모 형태인 표시 장치의 제조방법.
KR1020150148821A 2015-10-26 2015-10-26 마스크 조립체, 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법 KR102411539B1 (ko)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020150148821A KR102411539B1 (ko) 2015-10-26 2015-10-26 마스크 조립체, 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법
US15/181,814 US10079271B2 (en) 2015-10-26 2016-06-14 Mask assembly, apparatus, and method of manufacturing display apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020150148821A KR102411539B1 (ko) 2015-10-26 2015-10-26 마스크 조립체, 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20170048655A KR20170048655A (ko) 2017-05-10
KR102411539B1 true KR102411539B1 (ko) 2022-06-22

Family

ID=58559194

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020150148821A KR102411539B1 (ko) 2015-10-26 2015-10-26 마스크 조립체, 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법

Country Status (2)

Country Link
US (1) US10079271B2 (ko)
KR (1) KR102411539B1 (ko)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106086782B (zh) * 2016-06-28 2018-10-23 京东方科技集团股份有限公司 一种掩膜版组件及其安装方法、蒸镀装置
KR102574297B1 (ko) * 2018-03-29 2023-09-04 삼성디스플레이 주식회사 증착용 마스크 어셈블리 및 이를 사용하여 제조된 유기 발광 표시 장치
KR20200038345A (ko) * 2018-10-02 2020-04-13 삼성디스플레이 주식회사 증착 장치
KR20200092524A (ko) * 2019-01-24 2020-08-04 삼성디스플레이 주식회사 박막 증착용 마스크 프레임 어셈블리
KR20220004893A (ko) * 2020-07-03 2022-01-12 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101182239B1 (ko) * 2010-03-17 2012-09-12 삼성디스플레이 주식회사 마스크 및 이를 포함하는 마스크 조립체

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3775493B2 (ja) 2001-09-20 2006-05-17 セイコーエプソン株式会社 マスクの製造方法
KR20030077370A (ko) * 2002-03-26 2003-10-01 엘지.필립스 엘시디 주식회사 새도우 마스크와 이를 이용한 유기전계발광 디스플레이소자 제조방법
KR101023396B1 (ko) 2004-02-23 2011-03-18 사천홍시현시기건유한공사 유기 전계발광 소자용 쉐도우 마스크 제조방법
JP2007152613A (ja) 2005-12-01 2007-06-21 Taiyo Kagaku Kogyo Kk スクリーン印刷用メタルマスク版の製造方法及びスクリーン印刷用メタルマスク版
KR101232181B1 (ko) * 2010-02-03 2013-02-12 엘지디스플레이 주식회사 마스크 어셈블리
KR20120105292A (ko) * 2011-03-15 2012-09-25 삼성디스플레이 주식회사 증착 마스크 및 증착 마스크 제조 방법
CN102749801A (zh) * 2012-06-29 2012-10-24 北京京东方光电科技有限公司 一种掩模板
KR102208818B1 (ko) 2012-11-20 2021-01-28 삼성디스플레이 주식회사 레이저 가공 장치
KR102117088B1 (ko) * 2013-08-09 2020-06-01 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치의 제조 장치 및 제조 방법
KR102134363B1 (ko) * 2013-09-10 2020-07-16 삼성디스플레이 주식회사 메탈 마스크 제작 방법 및 이를 이용한 메탈 마스크
KR102128968B1 (ko) 2013-10-15 2020-07-02 삼성디스플레이 주식회사 금속 마스크 및 금속 마스크 제조 방법
KR102279921B1 (ko) * 2014-02-12 2021-07-22 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치 및 이의 제조 방법
JP6459243B2 (ja) * 2014-06-26 2019-01-30 Ｔｉａｎｍａ Ｊａｐａｎ株式会社 画素アレイ及びメタルマスク並びに電気光学装置並びに電気機器
KR102363908B1 (ko) * 2014-10-08 2022-02-17 삼성디스플레이 주식회사 신장 가능 필름, 이의 제조방법 및 이를 포함하는 표시 장치
KR20170030685A (ko) * 2015-09-09 2017-03-20 삼성디스플레이 주식회사 증착용 마스크 및 그 제조 방법

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101182239B1 (ko) * 2010-03-17 2012-09-12 삼성디스플레이 주식회사 마스크 및 이를 포함하는 마스크 조립체

Also Published As

Publication number Publication date
US10079271B2 (en) 2018-09-18
KR20170048655A (ko) 2017-05-10
US20170117474A1 (en) 2017-04-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US11569487B2 (en) Mask assembly, apparatus and method of manufacturing display device using the same, and display device
US10224350B2 (en) Mask for deposition, apparatus for manufacturing display apparatus having the same, and method of manufacturing display apparatus with manufacturing display apparatus having mask for deposition
KR102420460B1 (ko) 마스크 프레임 조립체, 표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법
KR102608420B1 (ko) 증착용 마스크, 표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법
KR102424976B1 (ko) 마스크 조립체, 이를 이용한 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법
KR102401484B1 (ko) 마스크 조립체, 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조 방법
CN107871826B (zh) 沉积掩模、沉积装置及制造显示装置的方法
KR102411539B1 (ko) 마스크 조립체, 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법
KR102220427B1 (ko) 마스크 어셈블리, 표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법
KR102631256B1 (ko) 마스크 조립체, 이를 이용한 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법
KR102552275B1 (ko) 마스크 제조방법
KR102630638B1 (ko) 마스크 조립체, 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법
KR102367988B1 (ko) 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법
KR102444178B1 (ko) 마스크 조립체, 마스크 조립체 제조방법 및 표시 장치 제조방법
KR20200096361A (ko) 마스크 조립체, 이를 포함하는 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법
KR102606276B1 (ko) 마스크 조립체의 제조방법 및 표시 장치의 제조방법
KR102216676B1 (ko) 박막 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치 제조 방법
KR20180113675A (ko) 마스크 시트 및 마스크 조립체의 제조방법
KR20190107244A (ko) 마스크 조립체, 마스크 조립체의 제조방법 및 표시 장치의 제조방법
KR102322012B1 (ko) 표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법
KR20210145897A (ko) 마스크 조립체, 마스크 조립체의 제조방법 및 표시 장치의 제조장치
KR102427674B1 (ko) 마스크 조립체 및 이를 이용한 표시 장치의 제조장치
KR102354385B1 (ko) 마스크 조립체 및 이를 포함하는 증착 장치
KR20240043223A (ko) 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법
KR20230016097A (ko) 마스크 조립체, 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant