KR102631256B1 - 마스크 조립체, 이를 이용한 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법 - Google Patents

마스크 조립체, 이를 이용한 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 마스크 조립체, 이를 이용한 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법을 개시한다. 본 발명의 일 실시예는 마스크 프레임과, 상기 마스크 프레임에 배치되며, 복수 개의 개구부를 구비한 마스크 시트와, 상기 마스크 프레임에 배치되며, 복수 개의 개구부 중 일부를 차폐하고, 서로 이격되도록 배열된 적어도 2개 이상의 제1 가림시트와, 상기 마스크 프레임에 배치되며, 복수 개의 개구부 중 일부를 차폐하고, 상기 각 제1 가림시트와 일정 각도를 형성하며, 서로 이격되도록 배열된 적어도 2개 이상의 제2 가림시트를 포함하고, 상기 각 제1 가림시트와 상기 각 제2 가림시트는 상기 복수 개의 개구부 중 일부를 차폐하여 상기 복수 개의 개구부 중 일부를 포함하는 증착 영역을 정의하며, 상기 증착 영역은 서로 인접하는 상기 제1 가림시트의 중심을 통과하며, 상기 제1 가림시트의 길이 방향과 평행한 임의의 직선을 통하여 제1 증착 영역과 제2 증착 영역으로 구분되고, 상기 제1 증착 영역과 상기 제2 증착 영역은 형상이 서로 상이한 마스크 조립체를 개시한다.

Description

마스크 조립체, 이를 이용한 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법{Mask assembly, apparatus and method for manufacturing a display apparatus using the same}
본 발명의 실시예들은 장치 및 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 마스크 조립체, 이를 이용한 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법에 관한 것이다.
이동성을 기반으로 하는 전자 기기가 폭 넓게 사용되고 있다. 이동용 전자 기기로는 모바일 폰과 같은 소형 전자 기기 이외에도 최근 들어 태블릿 PC가 널리 사용되고 있다.
이와 같은 이동형 전자 기기는 다양한 기능을 지원하기 위하여, 이미지 또는 영상과 같은 시각 정보를 사용자에게 제공하기 위하여 표시 장치를 포함한다. 최근, 표시 장치를 구동하기 위한 기타 부품들이 소형화됨에 따라, 표시 장치가 전자 기기에서 차지하는 비중이 점차 증가하고 있는 추세이며, 평평한 상태에서 소정의 각도를 갖도록 구부릴 수 있는 구조도 개발되고 있다.
이러한 표시 장치는 이미지를 구현하는 표시 영역을 구비할 수 있다. 이러한 표시 영역은 다양한 전자 기기의 제조를 위하여 다양한 형태로 제조될 수 있다. 즉, 표시 영역은 직사각 형태가 아닌 비정형으로 형성될 수 있다.
이러한 비정형의 표시 영역을 형성하기 위하여 사용되는 마스크 조립체의 경우 열변형 또는 인장력으로 인한 뒤틀림 등이 발생할 수 있다.
기존의 마스크 조립체를 사용하는 경우 비정형의 표시 영역을 갖는 표시 장치의 제조 시 마스크 조립체의 제조시 가해지는 인장력 또는 열변형으로 인하여 마스크 조립체가 설계치와 상이해지는 문제가 있어 본 발명의 실시예들은 변형을 최소화하는 마스크 조립체, 표시 장치의 제조장치, 표시 장치의 제조방법 및 표시 장치를 제공한다.
본 발명의 일 실시예는 마스크 프레임과, 상기 마스크 프레임에 배치되며, 복수 개의 개구부를 구비한 마스크 시트와, 상기 마스크 프레임에 배치되며, 복수 개의 개구부 중 일부를 차폐하고, 서로 이격되도록 배열된 적어도 2개 이상의 제1 가림시트와, 상기 마스크 프레임에 배치되며, 복수 개의 개구부 중 일부를 차폐하고, 상기 각 제1 가림시트와 일정 각도를 형성하며, 서로 이격되도록 배열된 적어도 2개 이상의 제2 가림시트를 포함하고, 상기 각 제1 가림시트와 상기 각 제2 가림시트는 상기 복수 개의 개구부 중 일부를 차폐하여 상기 복수 개의 개구부 중 일부를 포함하는 증착 영역을 정의하며, 상기 증착 영역은 서로 인접하는 상기 제1 가림시트의 중심을 통과하며, 상기 제1 가림시트의 길이 방향과 평행한 임의의 직선을 통하여 제1 증착 영역과 제2 증착 영역으로 구분되고, 상기 제1 증착 영역과 상기 제2 증착 영역은 형상이 서로 상이한 마스크 조립체를 개시한다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 가림시트는, 제1 가림시트바디부와, 상기 제1 가림시트바디부의 길이 방향에 대해서 일정 각도를 형성하도록 상기 제1 가림시트바디부로부터 돌출되는 제1 돌출부를 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 돌출부는 복수 개 구비되며, 복수 개의 상기 제1 돌출부 중 2개의 상기 제1 돌출부는 상기 제1 가림시트바디부를 중심으로 서로 대향하도록 배치될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 가림시트바디부를 중심으로 서로 대향하도록 배치된 2개의 상기 제1 돌출부는 서로 동일한 형상일 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 가림시트 및 상기 제2 가림시트 중 적어도 하나는 길이 방향에 평행한 가상의 중심선을 기준으로 중심선의 양측이 대칭일 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 가림시트와 상기 제2 가림시트는 서로 직각을 형성하도록 배치될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제2 가림시트는, 제2 가림시트바디부와, 상기 제2 가림시트바디부로부터 돌출되며, 제2 돌출부를 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제2 돌출부는 복수 개 구비되며, 복수 개의 상기 제2 돌출부 중 2개의 상기 제2 돌출부는 상기 제2 가림시트바디부를 중심으로 서로 대향하도록 배치될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 가림시트는, 제1 가림시트바디부와, 상기 제1 가림시트바디부의 길이 방향에 대해서 일정 각도를 형성하도록 상기 제1 가림시트바디부로부터 돌출되는 제1 돌출부를 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 돌출부와 상기 제2 돌출부는 적어도 일부분이 서로 중첩되도록 배치될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 돌출부와 상기 제2 돌출부는 서로 형상이 상이할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 돌출부와 상기 제2 돌출부는 서로 면적이 상이할 수 있다.
본 발명의 다른 실시예는, 증착원과, 상기 증착원과 대향하도록 배치되며, 상기 증착원에서 토출되는 증착물질이 통과하는 마스크 조립체와, 상기 마스크 조립체와 대향하도록 배치되며, 상기 마스크 조립체를 통과한 증착물질이 증착되는 기판을 지지하는 기판지지부를 포함하고, 상기 마스크 조립체는, 마스크 프레임과, 상기 마스크 프레임에 배치되며, 복수 개의 개구부를 구비한 마스크 시트와, 상기 마스크 프레임에 배치되며, 복수 개의 개구부 중 일부를 차폐하고, 서로 이격되도록 배열된 적어도 2개 이상의 제1 가림시트와, 상기 마스크 프레임에 배치되며, 복수 개의 개구부 중 일부를 차폐하고, 상기 각 제1 가림시트와 일정 각도를 형성하며, 서로 이격되도록 배열된 적어도 2개 이상의 제2 가림시트를 포함하고, 상기 각 제1 가림시트와 상기 각 제2 가림시트는 상기 복수 개의 개구부 중 일부를 차폐하여 상기 복수 개의 개구부 중 일부를 포함하는 증착 영역을 정의하며, 상기 증착 영역은 서로 인접하는 상기 제1 가림시트의 중심을 통과하며, 상기 제1 가림시트의 길이 방향과 평행한 임의의 직선을 통하여 제1 증착 영역과 제2 증착 영역으로 구분되고, 상기 제1 증착 영역과 상기 제2 증착 영역은 형상이 서로 상이한 표시 장치의 제조장치를 개시한다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 가림시트는, 제1 가림시트바디부와, 상기 제1 가림시트바디부의 길이 방향에 대해서 일정 각도를 형성하도록 상기 제1 가림시트바디부로부터 돌출되는 제1 돌출부를 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 돌출부는 복수 개 구비되며, 복수 개의 상기 제1 돌출부 중 2개의 상기 제1 돌출부는 상기 제1 가림시트바디부를 중심으로 서로 대향하도록 배치될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 가림시트바디부를 중심으로 서로 대향하도록 배치된 2개의 상기 제1 돌출부는 서로 동일한 형상일 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 가림시트 및 상기 제2 가림시트 중 적어도 하나는 길이 방향에 평행한 가상의 중심선을 기준으로 중심선의 양측이 대칭일 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 가림시트와 상기 제2 가림시트는 서로 직각을 형성하도록 배치될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제2 가림시트는, 제2 가림시트바디부와, 상기 제2 가림시트바디부로부터 돌출되며, 제2 돌출부를 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제2 돌출부는 복수 개 구비되며, 복수 개의 상기 제2 돌출부 중 2개의 상기 제2 돌출부는 상기 제2 가림시트바디부를 중심으로 서로 대향하도록 배치될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 가림시트는, 제1 가림시트바디부와, 상기 제1 가림시트바디부의 길이 방향에 대해서 일정 각도를 형성하도록 상기 제1 가림시트바디부로부터 돌출되는 제1 돌출부를 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 돌출부와 상기 제2 돌출부는 적어도 일부분이 서로 중첩되도록 배치될 수 있다.
또한, 상기 제1 돌출부와 상기 제2 돌출부는 서로 형상이 상이할 수 있다.
또한, 상기 제1 돌출부와 상기 제2 돌출부는 서로 면적이 상이할 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예는, 챔버 내부에 디스플레이 기판과 마스크 조립체를 배치하는 단계와, 상기 디스플레이 기판과 상기 마스크 조립체를 정렬하는 단계와, 상기 마스크 조립체와 대향하도록 배치된 증착원에서 증착물질을 방사하여 상기 디스플레이 기판에 증착물질 패턴을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 마스크 조립체는, 마스크 프레임과, 상기 마스크 프레임에 배치되며, 복수 개의 개구부를 구비한 마스크 시트와, 상기 마스크 프레임에 배치되며, 복수 개의 개구부 중 일부를 차폐하고, 서로 이격되도록 배열된 적어도 2개 이상의 제1 가림시트와, 상기 마스크 프레임에 배치되며, 복수 개의 개구부 중 일부를 차폐하고, 상기 각 제1 가림시트와 일정 각도를 형성하며, 서로 이격되도록 배열된 적어도 2개 이상의 제2 가림시트를 포함하고, 상기 각 제1 가림시트와 상기 각 제2 가림시트는 상기 복수 개의 개구부 중 일부를 차폐하여 상기 복수 개의 개구부 중 일부를 포함하는 증착 영역을 정의하며, 상기 증착 영역은 서로 인접하는 상기 제1 가림시트의 중심을 통과하며, 상기 제1 가림시트의 길이 방향과 평행한 임의의 직선을 통하여 제1 증착 영역과 제2 증착 영역으로 구분되고, 상기 제1 증착 영역과 상기 제2 증착 영역은 형상이 서로 상이한 표시 장치의 제조방법을 개시한다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 가림시트는, 제1 가림시트바디부와, 상기 제1 가림시트바디부의 길이 방향에 대해서 일정 각도를 형성하도록 상기 제1 가림시트바디부로부터 돌출되는 제1 돌출부를 포함할 수 있다.
본 실시에에 있어서, 상기 제1 돌출부는 복수 개 구비되며, 복수 개의 상기 제1 돌출부 중 2개의 상기 제1 돌출부는 상기 제1 가림시트바디부를 중심으로 서로 대향하도록 배치될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 가림시트바디부를 중심으로 서로 대향하도록 배치된 2개의 상기 제1 돌출부는 서로 동일한 형상일 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 가림시트 및 상기 제2 가림시트 중 적어도 하나는 길이 방향에 평행한 가상의 중심선을 기준으로 중심선의 양측이 대칭일 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 가림시트와 상기 제2 가림시트는 서로 직각을 형성하도록 배치될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제2 가림시트는, 제2 가림시트바디부와, 상기 제2 가림시트바디부로부터 돌출되며, 제2 돌출부를 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제2 돌출부는 복수 개 구비되며, 복수 개의 상기 제2 돌출부 중 2개의 상기 제2 돌출부는 상기 제2 가림시트바디부를 중심으로 서로 대향하도록 배치될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 가림시트는, 제1 가림시트바디부와, 상기 제1 가림시트바디부의 길이 방향에 대해서 일정 각도를 형성하도록 상기 제1 가림시트바디부로부터 돌출되는 제1 돌출부를 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 돌출부와 상기 제2 돌출부는 적어도 일부분이 서로 중첩되도록 배치될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 돌출부와 상기 제2 돌출부는 서로 형상이 상이할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 돌출부와 상기 제2 돌출부는 서로 면적이 상이할 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예는, 챔버 내부에 디스플레이 기판과 마스크 조립체를 배치하는 단계와, 상기 디스플레이 기판과 상기 마스크 조립체를 정렬하는 단계와, 상기 마스크 조립체와 대향하도록 배치된 증착원에서 증착물질을 방사하여 상기 디스플레이 기판에 증착물질 패턴을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 디스플레이 기판에 형성된 증착물질 패턴은 표시 영역을 형성하고, 상기 표시 영역은 상기 표시 영역의 중심을 통과하는 임의의 직선에 대해서 두 영역으로 구분되고, 상기 표시 영역의 두 영역은 비대칭인 표시 장치의 제조방법을 개시한다.
본 실시에에 있어서, 상기 마스크 조립체는 증착물질이 통과하여 상기 디스플레이 기판에 증착되는 상기 표시 영역과 대응되도록 상기 증착물질이 통과하는 증착 영역을 정의할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 마스크 조립체는, 마스크 프레임에 배치되며, 복수 개의 개구부를 구비한 마스크 시트와, 상기 마스크 프레임에 배치되며, 복수 개의 개구부 중 일부를 차폐하고, 서로 이격되도록 배열된 적어도 2개 이상의 제1 가림시트와, 상기 마스크 프레임에 배치되며, 복수 개의 개구부 중 일부를 차폐하고, 상기 각 제1 가림시트와 일정 각도를 형성하며, 서로 이격되도록 배열된 적어도 2개 이상의 제2 가림시트를 포함하고, 상기 각 제1 가림시트와 상기 각 제2 가림시트는 상기 증착 영역을 정의할 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예에 있어서, 챔버 내부에 디스플레이 기판과 마스크 조립체를 배치하는 단계와, 상기 디스플레이 기판과 상기 마스크 조립체를 정렬하는 단계와, 상기 마스크 조립체와 대향하도록 배치된 증착원에서 증착물질을 방사하여 상기 디스플레이 기판에 증착물질 패턴을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 디스플레이 기판에 형성된 증착물질 패턴은 표시 영역을 형성하고, 상기 표시 영역은 상기 마스크 조립체가 정의하는 증착 영역 내부로 돌출된 상기 마스크 조립체의 제1 가림시트의 돌출부에 의해 증착물질 일부가 차단되어 형성된 제1 표시 영역과 상기 마스크 조립체가 형성하는 증착 영역 내부로 돌출된 상기 마스크 조립체의 제2 가림시트의 돌출부에 의해 증착물질 일부가 차단되어 형성된 제2 표시 영역을 포함하는 표시 장치의 제조방법을 개시한다.
전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점이 이하의 도면, 특허청구범위 및 발명의 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다.
본 발명의 실시예들에 관한 마스크 조립체는 최초 설계된 내용과 동일 또는 유사한 형태를 유지할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 관한 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법은 설계된 형상의 비정형의 표시 영역을 갖는 표시 장치를 제조하는 것이 가능하다.
본 발명의 실시예에 관한 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법은 표시 영역의 최외곽에서 형상의 왜곡이 발생하지 않는 표시 장치를 제조하는 것이 가능하다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체를 보여주는 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 제1 가림시트를 보여주는 평면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 제2 가림시트를 보여주는 평면도이다.
도 4a는 일반적인 마스크 조립체의 증착 영역을 보여주는 평면도이다.
도 4b는 도 1에 도시된 마스크 조립체의 증착 영역을 보여주는 평면도이다.
도 5는 도 1에 도시된 마스크 조립체를 사용한 표시 장치의 제조장치를 보여주는 단면도이다.
도 6은 도 5에 도시된 표시 장치의 제조장치를 통하여 제조된 표시 장치를 보여주는 평면도이다.
도 7은 도 6의 Ⅶ-Ⅶ선을 따라 취한 단면도이다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 조립체의 제2 가림시트를 보여주는 평면도이다.
도 9는 도 8에 도시된 제2 가림시트를 포함하는 마스크 조립체를 통하여 제조된 표시 장치를 보여주는 평면도이다.
도 10은 본 발명의 또 다른 실시예 따른 마스크 조립체의 제2 가림시트를 보여주는 평면도이다.
도 11은 도 10에 도시된 제2 가림시트를 포함하는 마스크 조립체를 통하여 제조된 표시 장치를 보여주는 평면도이다.
도 12는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 마스크 조립체의 제1 가림시트 및 제2 가림시트를 보여주는 평면도이다.
도 13은 도 12에 도시된 제2 가림시트를 포함하는 마스크 조립체를 통하여 제조된 표시 장치를 보여주는 평면도이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
이하의 실시예에서, 제1, 제2 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다.
이하의 실시예에서, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
이하의 실시예에서, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다.
이하의 실시예에서, 막, 영역, 구성 요소 등의 부분이 다른 부분 위에 또는 상에 있다고 할 때, 다른 부분의 바로 위에 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 있는 경우도 포함한다.
도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수 있다.
이하의 실시예에서, 막, 영역, 구성 요소 등이 연결되었다고 할 때, 막, 영역, 구성 요소들이 직접적으로 연결된 경우뿐만 아니라 막, 영역, 구성요소들 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소들이 개재되어 간접적으로 연결된 경우도 포함한다. 예컨대, 본 명세서에서 막, 영역, 구성 요소 등이 전기적으로 연결되었다고 할 때, 막, 영역, 구성 요소 등이 직접 전기적으로 연결된 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 간접적으로 전기적 연결된 경우도 포함한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체를 보여주는 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 제1 가림시트를 보여주는 평면도이다. 도 3은 도 1에 도시된 제2 가림시트를 보여주는 평면도이다. 도 4a는 일반적인 마스크 조립체의 증착 영역을 보여주는 평면도이다. 도 4b는 도 1에 도시된 마스크 조립체의 증착 영역을 보여주는 평면도이다.
도 1 내지 도 4b를 참고하면, 마스크 조립체(150)는 마스크 프레임(151), 마스크 시트(152), 제1 가림시트(153) 및 제2 가림시트(154)를 포함할 수 있다.
마스크 조립체(150)는 내부에 공간이 형성되도록 복수 개의 프레임이 서로 연결될 수 있다. 일 실시예로써 마스크 조립체(150)는 중앙에 하나의 개구부가 형성된 액자 형태일 수 있다. 다른 실시예로써 마스크 조립체(150)는 복수 개의 개구부를 포함하는 창틀과 같은 격자 형태로 형성될 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 마스크 조립체(150)가 중앙에 하나의 개구부가 형성된 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
마스크 시트(152)는 적어도 2개 이상 구비될 수 있으며, 적어도 2개 이상의 마스크 시트(152)는 서로 이격되도록 마스크 프레임(151)에 설치될 수 있다. 이때, 마스크 시트(152)는 제1 방향(예를 들면, 도 1의 Y축 방향 또는 도 1의 X방향 중 하나)으로 배열될 수 있다.
마스크 시트(152)는 적어도 하나 이상의 개구부(152-1)를 포함할 수 있다. 특히 마스크 시트(152)에는 길이 방향으로 복수 개의 개구부(152-1)가 형성될 수 있다. 이때, 복수 개의 개구부(152-1)는 서로 일정 간격 이격되도록 배치될 수 있으며, 마스크 시트(152)의 전면에 형성될 수 있다.
제1 가림시트(153)는 마스크 프레임(151)과 마스크 시트(152) 사이에 배치될 수 있다. 이때, 제1 가림시트(153)는 복수 개 구비될 수 있으며, 마스크 프레임(151)에 서로 이격되도록 배치될 수 있다. 예를 들면, 복수 개의 제1 가림시트(153)는 마스크 시트(152)의 길이 방향으로 서로 이격되도록 배열될 수 있다. 또한, 각 제1 가림시트(153)는 마스크 시트(152)와 일정 각도를 형성할 수 있다. 예를 들면, 각 제1 가림시트(153)는 마스크 시트(152)의 길이 방향과 수직한 방향(예를 들면, 도 1의 X방향 또는 도 1의 Y방향)으로 배열될 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1 가림시트(153)가 도 1의 Y방향으로 배열되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
상기와 같은 제1 가림시트(153)는 제1 가림시트(153)의 길이 방향과 평행하며, 제1 가림시트(153)의 중심을 지나는 제1 중심선(C1)을 기준으로 대칭 형상일 수 있다. 제1 가림시트(153)는 마스크 프레임(151)에 설치되는 제1 가림시트바디부(153-1)와, 제1 가림시트바디부(153-1)로부터 돌출되는 제1 돌출부(153-2)를 포함할 수 있다.
제1 가림시트바디부(153-1)는 직선 형태의 플레이트로 형성될 수 있다. 이때, 제1 가림시트바디부(153-1)는 마스크 시트(152)의 길이 방향과 수직한 방향(또는 제1 방향, 도 1의 Y방향)으로 배열될 수 있다.
제1 돌출부(153-2)는 제1 가림시트바디부(153-1)로부터 마스크 시트(152)의 길이 방향으로 돌출되도록 형성될 수 있다. 이때, 제1 돌출부(153-2)는 제1 가림시트바디부(153-1)와 함께 증착 영역(S)의 경계를 정의할 수 있다. 이때, 제1 돌출부(153-2)는 증착 영역(S)의 경계를 다양한 형상으로 정의시킬 수 있다. 특히 제1 돌출부(153-2)는 증착 영역(S)의 경계 중 제1 가림시트바디부(153-1)와 일정 각도를 형성하는 경사진 부분, 곡률지게 형성된 부분 등을 정의할 수 있다. 이러한 경우 제1 돌출부(153-2)는 마스크 시트(152)의 복수 개의 개구부(152-1) 중 일부를 차폐할 수 있다. 예를 들면, 제1 돌출부(153-2)는 증착 영역(S)의 경계(또는 테두리)에 배열된 개구부(152-1)의 일부를 차폐할 수 있다. 이러한 경우 증착물질은 개구부(152-1)의 일부만을 통과할 수 있다.
제1 돌출부(153-2)는 제1 가림시트바디부(153-1)의 길이 방향에 대해서 일정 각도를 형성하도록 제1 가림시트바디부(153-1)의 양측에 돌출되도록 형성될 수 있다. 이때, 제1 돌출부(153-2)는 제1 가림시트바디부(153-1)를 중심으로 제1 가림시트바디부(153-1)의 양측에 2개가 구비될 수 있다. 이때, 제1 가림시트바디부(153-1)의 양측에 배치된 2개의 제1 돌출부(153-2)는 서로 동일한 형상 및 동일한 크기를 가질 수 있다. 이때, 상기와 같은 제1 돌출부(153-2)는 복수 개 구비될 수 있다. 이러한 경우 복수 개의 제1 돌출부(153-2)는 2개씩 복수 개의 그룹을 형성하고, 각 그룹을 형성하는 제1 돌출부(153-2)는 제1 가림시트바디부(153-1)의 길이 방향을 따라 서로 이격되도록 배열될 수 있다. 이러한 경우 제1 가림시트(153)는 제1 중심선(C1)을 기준으로 양측이 서로 대칭일 수 있다.
제2 가림시트(154)는 제1 가림시트(153)와 일정한 각도를 형성하도록 배치될 수 있다. 구체적으로 제2 가림시트(154)는 제1 가림시트(153)와 수직을 형성하도록 배열될 수 있다. 제2 가림시트(154)는 제1 가림시트(153)와 함께 증착 영역(S)을 정의할 수 있다. 이러한 경우 제2 가림시트(154)는 마스크 프레임(151)과 마스크 시트(152) 사이에 배치될 수 있다. 이때, 제2 가림시트(154)는 복수 개 구비될 수 있으며, 복수 개의 제2 가림시트(154)는 제1 가림시트(153)의 길이 방향으로 서로 이격되도록 배열될 수 있다.
이러한 제2 가림시트(154)는 제2 가림시트(154)의 길이 방향과 평행하며, 제2 가림시트(154)의 중심을 지나는 중심선을 기준으로 대칭 형상으로 형성될 수 있다. 제2 가림시트(154)는 제2 가림시트바디부(154-1)와 제2 돌출부(154-2)를 포함할 수 있다.
제2 가림시트바디부(154-1)는 직선 형태의 플레이트로 형성될 수 있다. 이때, 제2 가림시트바디부(154-1)는 마스크 시트(152)의 길이 방향으로 배치될 수 있다.
제2 돌출부(154-2)는 제2 가림시트바디부(154-1)로부터 제1 가림시트바디부(153-1)의 길이방향으로 돌출될 수 있다. 제2 돌출부(154-2)는 제2 가림시트바디부(154-1)와 함께 증착 영역(S)의 경계(또는 테두리)를 정의할 수 있다. 이때, 제2 돌출부(154-2)는 증착 영역(S)의 경계를 다양한 형태로 정의할 수 있다. 예를 들면, 제2 돌출부(154-2)는 증착 영역(S)의 경계 중 제2 가림시트바디부(154-1)와 일정 각도를 형성하는 경사진 부분, 곡률지게 형성된 부분 등을 정의할 수 있다. 이러한 경우 제2 돌출부(154-2)는 제1 돌출부(153-2)와 유사하게 복수 개의 개구부(152-1) 중 일부를 차폐시킬 수 있다.
상기와 같은 제2 돌출부(154-2)는 제1 돌출부(153-2)와 상이하게 형성될 수 있다. 예를 들면, 제2 돌출부(154-2)의 형상은 제1 돌출부(153-2)와 상이할 수 있다. 다른 실시예로써 제2 돌출부(154-2)는 제1 돌출부(153-2)와 형상이 동일하고 면적(또는 크기)이 상이하게 형성되는 것도 가능하다. 이러한 경우 제1 돌출부(153-2)와 제2 돌출부(154-2)는 적어도 일부분이 중첩되도록 형성될 수 있다. 뿐만 아니라 복수 개의 제1 돌출부(153-2) 중 일부만이 제2 돌출부(154-2)와 중첩되도록 배치될 수 있다.
상기와 같은 제2 돌출부(154-2)는 제2 가림시트바디부(154-1)의 길이 방향에 대해서 일정 각도를 형성하도록 제2 가림시트바디부(154-1)로부터 돌출되도록 형성될 수 있다. 제2 돌출부(154-2)는 복수 개 구비될 수 있다. 이때, 복수 개의 제2 돌출부(154-2)는 한 쌍씩 하나의 그룹을 형성하며, 복수 개의 그룹은 제2 가림시트바디부(154-1)의 길이 방향을 따라 서로 이격되도록 배치될 수 있다. 또한, 한 쌍의 제2 돌출부(154-2)는 제2 가림시트바디부(154-1)를 중심으로 서로 대향하도록 배치될 수 있다. 이러한 경우 서로 대향하는 제2 돌출부(154-2)는 서로 동일한 형상 및 동일한 크기를 가질 수 있다. 이러한 경우 제2 가림시트(154)는 제2 중심선(C2)을 기준으로 양측이 대칭일 수 있다.
상기와 같은 복수 개의 제1 가림시트(153)와 복수 개의 제2 가림시트(154)는 적어도 한 개 이상의 증착 영역(S)을 정의할 수 있다. 이때, 하나의 증착 영역(S)은 서로 인접하는 2개의 제1 가림시트(153)와 서로 인접하는 2개의 제2 가림시트(154)가 형성하는 공간 상에 배치된 복수 개의 개구부(152-1)를 통하여 증착물질이 통과하는 영역으로 정의될 수 있다. 상기와 같은 증착 영역(S)은 직사각형 또는 정사각형을 제외한 비정형의 형상을 가질 수 있다. 예를 들면, 증착 영역(S)은 삼각형, 다각형, 타원, 원 등의 형상을 가질 수 있다. 이러한 경우 증착 영역(S)의 비정형 형상은 후술할 제3 중심선(C3)을 중심으로 제3 중심선(C3)의 양측에 배치된 제1 증착 영역(S1)과 제2 증착 영역(S2)이 서로 상이한 형상을 갖는 경우로 정의될 수 있다.
상기와 같은 증착 영역(S)은 제1 가림시트(153)와 평행하면서 증착 영역(S)의 중심을 지나는 임의의 제3 중심선(C3)을 기준으로 제1 증착 영역(S1)과 제2 증착 영역(S2)으로 구분될 수 있다. 이러한 경우 제1 증착 영역(S1)과 제2 증착 영역(S2)은 서로 상이한 형상을 가질 수 있다. 즉, 제3 중심선(C3)을 기준으로 제1 증착 영역(S1)과 제2 증착 영역(S2)은 서로 비대칭일 수 있다. 이러한 경우 제1 증착 영역(S1)의 모서리 부분은 라운드지게 형성될 수 있다. 반면, 제2 증착 영역(S2)의 모서리 부분은 경사지게 형성될 수 있다.
상기와 같은 제1 가림시트(153), 제2 가림시트(154)와 마스크 시트(152)는 서로 상이한 재질로 형성될 수 있다. 예를 들면, 제1 가림시트(153) 및 제2 가림시트(154)는 오스테나이트계 스테인리스강(Austenitic Stainless Steels)을 포함할 수 있으며, 마스크 시트(152)는 니켈-철 합금(Invar)을 포함할 수 있다.
한편, 상기와 같은 마스크 조립체(150)의 제조방법을 살펴보면, 마스크 프레임(151)에 제1 가림시트(153)와 제2 가림시트(154)를 배치한 후 마스크 프레임(151)에 고정시킬 수 있다.
구체적으로 마스크 프레임(151) 상에 제2 가림시트(154)를 배치한 후 제2 가림시트(154)를 인장시킬 수 있다. 이러한 경우 제2 가림시트(154)는 제2 중심선(C2)을 중심으로 제2 중심선(C2)의 양측이 대칭되도록 형성됨으로써 인장력이 가해지는 경우에도 뒤틀리거나 일부분만 변형되지 않을 수 있다. 또한, 증착물질이 통과하는 경우 고온의 증착물질로 인하여 발생하는 제2 가림시트(154)의 변형이 제2 가림시트(154) 전체에 어느 정도 균일하게 발생하고, 제2 가림시트(154)의 대칭으로 인하여 제2 중심선(C2) 양측의 제2 가림시트(154) 부분이 동일하게 변형됨으로써 제2 가림시트(154)가 뒤틀리거나 일부분과 변형이 과도하게 발생되지 않을 수 있다.
제2 가림시트(154)의 양단은 마스크 프레임(151)에 삽입된 상태에서 마스크 프레임(151)에 고정될 수 있다.
제1 가림시트(153)는 제2 가림시트(154)와 유사하게 마스크 프레임(151)에 배치된 후 고정될 수 있다. 이러한 경우 제1 가림시트(153)도 인장력이 가해진 상태일 수 있다. 이때, 제1 가림시트(153)는 제1 중심선(C1)을 기준으로 제1 중심선(C1) 양측이 서로 대칭을 형성함으로써 제1 가림시트(153)의 인장 시 제1 가림시트(153)가 전 구간에서 거의 동일하게 변형될 수 있다.
일반적으로 상기와 같이 비정형 형상의 증착 영역을 형성하기 위해서 제1 가림시트만을 통하여 증착 영역을 형성하는 경우 제1 가림시트바디부의 양측에 배치된 제1 돌출부의 형상이 서로 상이하여야 한다. 이러한 경우 제1 가림시트를 인장시키는 경우 또는 고온의 증착물질로 인하여 제1 가림시트가 가열되는 경우 제1 가림시트의 비대칭으로 인하여 제1 가림시트의 각 부분에서의 변화율이 서로 상이해짐으로써 설계치와 상이한 증착 영역이 형성될 수 있다. 이로 인하여 증착물질이 디스플레이 기판 상에 설계 형상과 상이한 발광영역을 형성함으로써 불량이 발생하거나 품질이 저하될 수 있다.
그러나 상기와 같이 제1 가림시트(153)와 제2 가림시트(154) 각각을 길이 방향에 평행한 중심선을 기준으로 중심선의 양측이 대칭되도록 형성함으로써 인장 시 또는 증착물질의 증착 시 변형을 최소화시킬 수 있다. 또한, 제2 가림시트(154)의 제2 돌출부(154-2)를 제1 가림시트(153)의 제1 돌출부(153-2)와 중첩되도록 배치함으로써 비정형의 증착 영역(S)을 구현하는 것이 가능하다.
상기와 같이 제1 가림시트(153)와 제2 가림시트(154)가 배치되는 경우 제1 돌출부(153-2)의 적어도 일부분은 제2 돌출부(154-2)는 적어도 일부분과 중첩되도록 배치될 수 있다. 이러한 경우 제2 돌출부(154-2)의 일부는 제1 돌출부(153-2)의 외측으로 돌출될 수 있다. 이에 따라 제2 돌출부(154-2)는 제1 증착 영역(S1)에서 제1 돌출부(153-2)가 형성하는 제1 증착 영역(S1)의 경계와 상이한 제2 증착 영역(S2)의 경계를 형성할 수 있다.
상기와 같이 제1 가림시트(153)와 제2 가림시트(154)를 마스크 프레임(151)에 배치한 후 마스크 시트(152)를 배치할 수 있다. 이때, 제1 가림시트(153)와 제2 가림시트(154)는 마스크 프레임(151)에 순차적으로 적층되는 것도 가능하고, 제2 가림시트(154)와 제1 가림시트(153)가 마스크 프레임(151)에 순차적으로 적층되는 것도 가능하다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 마스크 프레임(151), 제2 가림시트(154) 및 제1 가림시트(153)를 순차적으로 적층하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
마스크 시트(152)는 제1 가림시트(153) 또는 제2 가림시트(154) 중 하나와 동일한 방향으로 배열될 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 마스크 시트(152)는 제2 가림시트(154)와 동일한 방향으로 배치되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
마스크 시트(152)는 인장된 상태에서 마스크 프레임(151) 상에 배치되어 마스크 프레임(151)에 고정될 수 있다.
따라서 마스크 조립체(150)는 제조 시 제1 가림시트(153)의 변형을 최소화함으로써 기 설계된 증착 영역(S)에 동일하거나 유사한 증착 영역(S)을 구현하는 것이 가능하다.
도 5는 도 1에 도시된 마스크 조립체를 사용한 표시 장치의 제조장치를 보여주는 단면도이다.
도 5를 참고하면, 표시 장치의 제조장치(100)는 챔버(110), 제1 지지부(120), 제2 지지부(130), 마스크 조립체(150), 소스부(140), 자기력부(160), 비젼부(170) 및 압력조절부(180)를 포함할 수 있다.
챔버(110)는 내부에 공간이 형성될 수 있으며, 일부가 개구될 수 있다. 이때, 챔버(110)의 개구된 부분에는 게이트밸브(110-1)가 설치될 수 있다. 이러한 경우 게이트밸브(110-1)의 작동에 따라서 챔버(110)의 개구된 부분은 개방되거나 폐쇄될 수 있다.
제1 지지부(120)는 디스플레이 기판(D)을 안착하여 지지할 수 있다. 이때, 제1 지지부(120)는 챔버(110) 내부에 고정된 플레이트 형태일 수 있다. 다른 실시예로써 제1 지지부(120)는 디스플레이 기판(D)이 안착되며, 챔버(110) 내부에서 선형 운동 가능한 셔틀 형태인 것도 가능하다. 또 다른 실시예로써 제1 지지부(120)는 챔버(110)에 고정되거나 승하강 가능하도록 배치되는 정전척이나 점착척을 포함하는 것도 가능하다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1 지지부(120)는 챔버(110) 내부에 고정되는 플레이트 형태인 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
제2 지지부(130)는 마스크 조립체(150)가 안착될 수 있다. 이때, 제2 지지부(130)는 챔버(110) 내부에 배치될 수 있다. 제2 지지부(130)는 마스크 조립체(150)의 위치를 미세 조정 가능할 수 있다. 이때, 제2 지지부(130)는 마스크 조립체(150)를 서로 상이한 방향으로 이동 가능하도록 별도의 구동부 내지는 얼라인유닛 등을 구비할 수 있다.
소스부(140)는 마스크 조립체(150)와 대향하도록 배치될 수 있다. 이때, 소스부(140)에는 증착 물질이 수납될 수 있으며, 증착 물질에 열을 가함으로써 증착 물질을 증발시키거나 승화시킬 수 있다. 소스부(140)는 챔버(110) 내부에 고정되도록 배치되거나 일 방향을 따라 선형 운동 가능하도록 챔버(110) 내부에 배치되는 것도 가능하다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 소스부(140)가 챔버(110) 내부에 고정되도록 배치되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
자기력부(160)는 디스플레이 기판(D)과 대향하도록 챔버(110) 내부에 배치될 수 있다. 이때, 자기력부(160)는 마스크 시트(152)에 자기력을 가하여 디스플레이 기판(D) 측으로 마스크 조립체(150)를 가력할 수 있다. 특히 자기력부(160)는 마스크 시트(152)의 쳐짐을 방지할 뿐만 아니라 마스크 시트(152)를 디스플레이 기판(D)에 인접시킬 수 있다. 또한, 자기력부(160)는 마스크 시트(152)와 디스플레이 기판(D) 사이의 간격을 마스크 시트(152)의 길이 방향에 대해서 균일하게 유지시킬 수 있다.
비젼부(170)는 챔버(110)에 설치되며, 디스플레이 기판(D)과 마스크 조립체(150)의 위치를 촬영할 수 있다. 이때, 비젼부(170)는 디스플레이 기판(D) 및 마스크 조립체(150)를 촬영하는 카메라를 포함할 수 있다. 비젼부(170)에서 촬영된 이미지를 근거로 디스플레이 기판(D)과 마스크 조립체(150)의 위치를 파악할 수 있으며, 상기 이미지를 근거로 제2 지지부(130)에서 마스크 조립체(150)의 위치를 미세 조정할 수 있다.
압력조절부(180)는 챔버(110)와 연결되어 챔버(110) 내부의 압력을 조절할 수 있다. 예를 들면, 압력조절부(180)는 챔버(110) 내부의 압력을 대기압과 동일 또는 유사하게 조절할 수 있다. 또한, 압력조절부(180)는 챔버(110) 내부의 압력을 진공 상태와 동일 또는 유사하게 조절할 수 있다.
압력조절부(180)는 챔버(110)와 연결되는 연결배관(181)과 연결배관(181)에 설치되는 펌프(182)를 포함할 수 있다. 이때, 펌프(182)의 작동에 따라서 연결배관(181)을 통하여 외기가 유입되거나 챔버(110) 내부의 기체를 연결배관(181)을 통하여 외부로 안내할 수 있다.
한편, 상기와 같은 표시 장치의 제조장치(100)는 하기에서 설명할 표시 장치(미도시)를 제조하는데 사용될 수 있다. 구체적으로 압력조절부(180)가 챔버(110) 내부를 대기압과 동일 또는 유사한 상태로 만들면, 게이트밸브(110-1)가 작동하여 챔버(110)의 개구된 부분을 개방할 수 있다.
이후 외부에서 디스플레이 기판(D)을 챔버(110) 외부에서 내부로 장입할 수 있다. 이때, 디스플레이 기판(D)은 다양한 방식으로 챔버(110)로 장입될 수 있다. 예를 들면, 디스플레이 기판(D)은 챔버(110) 외부에 배치된 로봇암 등을 통하여 챔버(110) 외부에서 챔버(110) 내부로 장입될 수 있다. 다른 실시예로써 제1 지지부(120)가 셔틀 형태로 형성되는 경우 제1 지지부(120)가 챔버(110) 내부에서 챔버(110) 외부로 반출된 후 챔버(110) 외부에 배치된 별도의 로봇암 등을 통하여 디스플레이 기판(D)을 제1 지지부(120)에 안착시키고 제1 지지부(120)가 챔버(110) 외부에서 챔버(110) 내부로 장입하는 것도 가능하다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 챔버(110) 외부에 배치된 로봇암을 통하여 디스플레이 기판(D)이 챔버(110) 외부로부터 챔버(110) 내부로 장입하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
마스크 조립체(150)는 상기와 같이 챔버(110) 내부에 배치된 상태일 수 있다. 다른 실시예로써 마스크 조립체(150)는 디스플레이 기판(D)과 동일 또는 유사하게 챔버(110) 외부에서 챔버(110) 내부로 장입하는 것도 가능하다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 마스크 조립체(150)는 챔버(110) 내부에 배치된 상태에서 디스플레이 기판(D)만 챔버(110) 외부에서 챔버(110) 내부로 장입하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
디스플레이 기판(D)이 챔버(110) 내부로 장입되면, 디스플레이 기판(D)은 제1 지지부(120)에 안착할 수 있다. 이때, 비젼부(170)는 디스플레이 기판(D)과 마스크 조립체(150)의 위치를 촬영할 수 있다. 특히 비젼부(170)는 디스플레이 기판(D)의 제1 얼라인마크 및 마스크 조립체(150)의 제2 얼라인마크를 촬영할 수 있다.
상기와 같이 촬영된 제1 얼라인마크와 제2 얼라인마크를 근거로 디스플레이 기판(D)과 마스크 조립체(150)의 위치를 파악할 수 있다. 이때, 표시 장치의 제조장치(100)는 별도의 제어부(미도시)가 구비되어 디스플레이 기판(D)과 마스크 조립체(150)의 위치를 파악할 수 있다.
디스플레이 기판(D)과 마스크 조립체(150)의 위치 파악이 완료되면, 제2 지지부(130)는 마스크 조립체(150)의 위치를 미세 조정할 수 있다.
이후 소스부(140)가 작동하여 증착 물질을 마스크 조립체(150) 측으로 공급하고, 복수 개의 개구부(152-1)를 통과한 증착 물질은 디스플레이 기판(D)에 증착될 수 있다. 이때, 펌프(182)는 챔버(110) 내부의 기체를 흡입하여 외부로 배출시킴으로써 챔버(110) 내부의 압력을 진공과 동일 또는 유사한 형태로 유지시킬 수 있다.
상기와 같은 경우 증착 물질은 상기에서 설명한 증착 영역(미도시) 상에 배치된 개구부를 통과하여 디스플레이 기판(D)에 증착될 수 있다. 이때, 마스크 조립체(150)는 상기에서 설명한 바와 같이 설계된 증착 영역과 동일 또는 유사한 상기 증착 영역을 제공할 수 있다.
따라서 표시 장치의 제조장치(100)는 디스플레이 기판(D)에 설계된 형태와 동일 또는 유사한 영역에 증착 물질을 증착시키는 것이 가능하다. 또한, 표시 장치의 제조장치(100)는 비정형의 발광영역을 가지면서 정밀한 표시 장치를 제조하는 것이 가능하다.
도 6은 도 5에 도시된 표시 장치의 제조장치를 통하여 제조된 표시 장치를 보여주는 평면도이다. 도 7은 도 6의 Ⅶ-Ⅶ선을 따라 취한 단면도이다.
도 6 및 도 7을 참고하면, 표시 장치(20)는 기판(21) 상에서 표시 영역(DA)과 표시 영역(DA)의 외곽에 비표시 영역(NDA)이 정의할 수 있다. 표시 영역(DA)에는 유기 발광 소자(28)가 배치되고, 비표시 영역에는 전원 배선(미도시) 등이 배치될 수 있다. 또한, 비표시 영역에는 패드부(C)가 배치될 수 있다.
상기와 같은 표시 영역(DA)에는 상기에서 설명한 증차 영역(미표시)을 통과한 복수 개의 증착물질 패턴이 배치될 수 있다. 이때, 표시 영역(DA)은 비정형 형태일 수 있다. 구체적으로 표시 영역(DA)은 표시 영역(DA)의 중심을 지나는 임의의 제4 중심선(C4)에 대해서 제4 중심선(C4)의 양측이 비대칭 형태일 수 있다. 이때, 표시 영역(DA)의 중심은 표시 영역(DA)의 경계 중 임의의 두 점을 잇는 선분 중 길이가 가장 큰 선분과 길이가 가장 작은 선분이 교차하는 지점일 수 있다. 또한, 상기의 임의의 제4 중심선(C4)은 상기에서 설명한 제1 가림시트(미도시)의 제1 중심선(미도시)과 평행할 수 있다.
상기와 같은 표시 영역(DA)은 제4 중심선(C4)을 기준으로 제1 표시 영역(DA1)과 제2 표시 영역(DA2)으로 구분될 수 있다. 이러한 경우 제1 표시 영역(DA1)과 제2 표시 영역(DA2)의 형상 및 크기(또는 면적)은 서로 상이하게 형성될 수 있다.
표시 장치(20)는 디스플레이 기판(D), 디스플레이 기판(D) 상에 배치된 중간층(28-2)과, 중간층(28-2) 상에 배치된 대향 전극(28-3)을 포함할 수 있다. 또한, 표시 장치(20)는 대향 전극(28-3)의 상부에 형성되는 박막 봉지층(E) 을 포함할 수 있다.
디스플레이 기판(D)은 기판(21), 박막 트렌지스터(TFT), 패시베이션막(27) 및 화소 전극(28-1)을 포함할 수 있다.
기판(21)은 플라스틱재를 사용할 수 있으며, SUS, Ti과 같은 금속재를 사용할 수도 있다. 또한, 기판(21)는 폴리이미드(PI, Polyimide)를 사용할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 기판(21)이 폴리이미드로 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
기판(21) 상에 박막 트랜지스터(TFT)가 형성되고, 박막 트랜지스터(TFT)를 덮도록 패시베이션막(27)이 형성되며, 이 패시베이션막(27) 상에 유기 발광 소자(28)가 형성될 수 있다.
기판(21)의 상면에는 유기화합물 및/또는 무기화합물로 이루어진 버퍼층(22)이 더 형성되는 데, SiOx(x≥1), SiNx(x≥1)로 형성될 수 있다.
이 버퍼층(22) 상에 소정의 패턴으로 배열된 활성층(23)이 형성된 후, 활성층(23)이 게이트 절연층(24)에 의해 매립된다. 활성층(23)은 소스 영역(23-1)과 드레인 영역(23-3)을 갖고, 그 사이에 채널 영역(23-2)을 더 포함한다.
이러한 활성층(23)은 다양한 물질을 함유하도록 형성될 수 있다. 예를 들면, 활성층(23)은 비정질 실리콘 또는 결정질 실리콘과 같은 무기 반도체 물질을 함유할 수 있다. 다른 예로서 활성층(23)은 산화물 반도체를 함유할 수 있다. 또 다른 예로서, 활성층(23)은 유기 반도체 물질을 함유할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 활성층(23)이 비정질 실리콘으로 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
이러한 활성층(23)은 버퍼층(22) 상에 비정질 실리콘막을 형성한 후, 이를 결정화하여 다결정질 실리콘막으로 형성하고, 이 다결정질 실리콘막을 패터닝하여 형성할 수 있다. 상기 활성층(23)은 구동 TFT(미도시), 스위칭 TFT(미도시) 등 TFT 종류에 따라, 그 소스 영역(23-1) 및 드레인 영역(23-3)이 불순물에 의해 도핑 된다.
게이트 절연층(24)의 상면에는 활성층(23)과 대응되는 게이트 전극(25)과 이를 매립하는 층간 절연층(26)이 형성된다.
그리고, 층간 절연층(26)과 게이트 절연층(24)에 콘택홀(H1)을 형성한 후, 층간 절연층(26) 상에 소스 전극(27-1) 및 드레인 전극(27-2)을 각각 소스 영역(23-1) 및 드레인 영역(23-3)에 콘택되도록 형성한다.
이렇게 형성된 상기 박막 트랜지스터의 상부로는 패시베이션막(27)이 형성되고, 이 패시베이션막(27) 상부에 유기 발광 소자(28, OLED)의 화소 전극(28-1)이 형성된다. 이 화소 전극(28-1)은 패시베이션막(27)에 형성된 비아 홀(H2)에 의해 TFT의 드레인 전극(27-2)에 콘택된다. 상기 패시베이션막(27)은 무기물 및/또는 유기물, 단층 또는 2개 층 이상으로 형성될 수 있는 데, 하부 막의 굴곡에 관계없이 상면이 평탄하게 되도록 평탄화막으로 형성될 수도 있는 반면, 하부에 위치한 막의 굴곡을 따라 굴곡이 가도록 형성될 수 있다. 그리고, 이 패시베이션막(27)은, 공진 효과를 달성할 수 있도록 투명 절연체로 형성되는 것이 바람직하다.
패시베이션막(27) 상에 화소 전극(28-1)을 형성한 후에는 이 화소 전극(28-1) 및 패시베이션막(27)을 덮도록 화소정의막(29)이 유기물 및/또는 무기물에 의해 형성되고, 화소 전극(28-1)이 노출되도록 개구된다.
그리고, 적어도 상기 화소 전극(28-1) 상에 중간층(28-2) 및 대향 전극(28-3)이 형성된다. 다른 실시예로써 대향 전극(28-3)은 디스플레이 기판(D)의 전면에 형성되는 것도 가능하다. 이러한 경우 대향 전극(28-3)은 중간층(28-2), 화소정의막(29) 상에 형성될 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 대향 전극(28-3)이 중간층(28-2), 화소정의막(29) 상에 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
화소 전극(28-1)은 애노드 전극의 기능을 하고, 대향 전극(28-3)은 캐소오드 전극의 기능을 하는 데, 물론, 이들 화소 전극(28-1)과 대향 전극(28-3)의 극성은 반대로 되어도 무방하다.
화소 전극(28-1)과 대향 전극(28-3)은 상기 중간층(28-2)에 의해 서로 절연되어 있으며, 중간층(28-2)에 서로 다른 극성의 전압을 가해 유기 발광층에서 발광이 이뤄지도록 한다.
중간층(28-2)은 유기 발광층을 구비할 수 있다. 선택적인 다른 예로서, 중간층(28-2)은 유기 발광층(organic emission layer)을 구비하고, 그 외에 정공 주입층(HIL:hole injection layer), 정공 수송층(hole transport layer), 전자 수송층(electron transport layer) 및 전자 주입층(electron injection layer) 중 적어도 하나를 더 구비할 수 있다. 본 실시예는 이에 한정되지 아니하고, 중간층(28-2)이 유기 발광층을 구비하고, 기타 다양한 기능층(미도시)을 더 구비할 수 있다.
이때, 상기와 같은 중간층(28-2)은 상기에서 설명한 표시 장치의 제조장치(미도시)를 통하여 형성될 수 있다.
상기와 같은 중간층(28-2)은 복수 개 구비될 수 있으며, 복수 개의 중간층(28-2)은 표시 영역(DA)을 형성할 수 있다. 특히 복수 개의 중간층(28-2)은 직사각형 정사각형을 제외한 형상의 표시 영역(DA)을 형성할 수 있다. 이때, 복수 개의 중간층(28-2)은 표시 영역(DA) 내부에 서로 이격되도록 배치될 수 있다.
이러한 복수 개의 중간층(28-2) 중 일부의 면적은 복수 개의 중간층(28-2) 중 다른 일부의 면적과 상이해질 수 있다. 예를 들면, 복수 개의 중간층(28-2) 중 일부의 면적은 복수 개의 중간층(28-2)의 다른 일부의 면적보다 작게 형성될 수 있다. 이러한 복수 개의 중간층(28-2) 중 다른 중간층(28-2)보다 면적이 작은 중간층(28-2)은 상기에서 설명한 차단부(미도시)의 경계에서 형성될 수 있다.
한편, 하나의 단위 화소는 복수의 부화소로 이루어지는데, 복수의 부화소는 다양한 색의 빛을 방출할 수 있다. 예를 들면 복수의 부화소는 각각 적색, 녹색 및 청색의 빛을 방출하는 부화소를 구비할 수 있고, 적색, 녹색, 청색 및 백색의 빛을 방출하는 부화소(미표기)를 구비할 수 있다.
상기와 같은 부화소는 하나의 중간층(28-2)을 포함할 수 있다. 이때, 하나의 부화소를 형성하는 경우 상기에서 설명한 표시 장치의 제조장치(100)를 통하여 중간층(28-2)을 형성할 수 있다.
한편, 상기와 같은 박막 봉지층(E)은 복수의 무기층들을 포함하거나, 무기층 및 유기층을 포함할 수 있다.
박막 봉지층(E)의 상기 유기층은 고분자로 형성되며, 바람직하게는 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리이미드, 폴라카보네이트, 에폭시, 폴리에틸렌 및 폴리아크릴레이트 중 어느 하나로 형성되는 단일막 또는 적층막일 수 있다. 더욱 바람직하게는, 상기 유기층은 폴리아크릴레이트로 형성될 수 있으며, 구체적으로는 디아크릴레이트계 모노머와 트리아크릴레이트계 모노머를 포함하는 모노머 조성물이 고분자화된 것을 포함할 수 있다. 상기 모노머 조성물에 모노아크릴레이트계 모노머가 더 포함될 수 있다. 또한, 상기 모노머 조성물에 TPO와 같은 공지의 광개시제가 더욱 포함될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.
박막 봉지층(E)의 상기 무기층은 금속 산화물 또는 금속 질화물을 포함하는 단일막 또는 적층막일 수 있다. 구체적으로, 상기 무기층은 SiNx, Al2O3, SiO2, TiO2 중 어느 하나를 포함할 수 있다.
박막 봉지층(E) 중 외부로 노출된 최상층은 유기 발광 소자에 대한 투습을 방지하기 위하여 무기층으로 형성될 수 있다.
박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 무기층 사이에 적어도 하나의 유기층이 삽입된 샌드위치 구조를 적어도 하나 포함할 수 있다. 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 유기층 사이에 적어도 하나의 무기층이 삽입된 샌드위치 구조를 적어도 하나 포함할 수 있다. 또 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 무기층 사이에 적어도 하나의 유기층이 삽입된 샌드위치 구조 및 적어도 2개의 유기층 사이에 적어도 하나의 무기층이 삽입된 샌드위치 구조를 포함할 수도 있다.
박막 봉지층(E)은 유기 발광 소자(OLED)의 상부로부터 순차적으로 제1 무기층, 제1 유기층, 제2 무기층을 포함할 수 있다.
다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 유기 발광 소자(OLED)의 상부로부터 순차적으로 제1 무기층, 제1 유기층, 제2 무기층, 제2 유기층, 제3 무기층을 포함할 수 있다.
또 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 상기 유기 발광 소자(OLED)의 상부로부터 순차적으로 제1 무기층, 제1 유기층, 제2 무기층, 상기 제2 유기층, 제3 무기층, 제3 유기층, 제4 무기층을 포함할 수 있다.
유기 발광 소자(OLED)와 제1 무기층 사이에 LiF를 포함하는 할로겐화 금속층이 추가로 포함될 수 있다. 상기 할로겐화 금속층은 제1 무기층을 스퍼터링 방식으로 형성할 때 상기 유기 발광 소자(OLED)가 손상되는 것을 방지할 수 있다.
제1 유기층은 제2 무기층 보다 면적이 좁게 할 수 있으며, 상기 제2 유기층도 제3 무기층 보다 면적이 좁을 수 있다.
따라서 표시 장치(20)는 직사각형 및 정사각형을 제외한 형상을 갖는 표시 영역을 구현하는 것이 가능하다. 또한, 표시 장치(20)는 설계된 표시 영역과 동일 또는 유사한 표시 영역이 구현될 수 있다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 조립체의 제2 가림시트를 보여주는 평면도이다. 도 9는 도 8에 도시된 제2 가림시트를 포함하는 마스크 조립체를 통하여 제조된 표시 장치를 보여주는 평면도이다.
도 8 및 도 9를 참고하면, 마스크 조립체(미도시)는 마스크 프레임(미도시), 제1 가림시트(미도시), 제2 가림시트(154A) 및 마스크 시트(미도시)를 포함할 수 있다. 이때, 상기 마스크 프레임, 상기 제1 가림시트 및 상기 마스크 시트는 상기 도 1 내지 도 4에서 설명한 것과 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
제2 가림시트(154A)는 제2 가림시트바디부(154A-1)와 제2 돌출부(154A-2)를 포함할 수 있다. 이때, 제2 가림시트바디부(154A-1)와 제2 돌출부(154A-2)는 상기 도 1 내지 도 4에서 설명한 것과 유사할 수 있다. 이때, 제2 돌출부(154A-2)의 형상은 상기 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 상이할 있다. 이러한 경우 제2 돌출부(154A-2)는 원의 일부와 유사한 형태일 수 있다. 이때, 제2 돌출부(154A-2)는 제1 돌출부(미도시)와 반대로 형성됨으로써 상기 제1 돌출부의 일부를 차폐시킬 수 있다.
상기와 같은 경우 상기 제1 가림시트는 제1 중심선(미도시)을 기준으로 상기 제1 중심선 양측이 대칭이 되며, 제2 가림시트(154A)는 제2 중심선(C2)을 기준으로 제2 중심선(C2)의 양측이 대칭될 수 있다. 이러한 경우 상기에서 설명한 것과 같이 상기 제1 가림시트 및 제2 가림시트(154A)를 인장하여 상기 마스크 프레임에 고정시키는 경우 상기 제1 가림시트 및 제2 가림시트(154A) 중 적어도 하나는 뒤틀림 등이 발생하지 않을 수 있다.
따라서 상기 마스크 조립체는 설계된 증착 영역으로 증착물질을 통과시키는 것이 가능하다.
한편, 상기와 같은 마스크 조립체를 사용하여 증착물질을 디스플레이 기판(미도시)에 증착시키는 경우 도 9에 도시된 바와 같은 표시 영역(DA)을 포함할 수 있다. 이때, 표시 장치(20)는 상기 도 7에서 설명한 것과 동일하게 형성될 수 있다. 이때, 표시 영역(DA)의 둘레에는 비표시 영역(DA)이 배치될 수 있으며, 비표시 영역(DA)에는 패드(C)가 배치될 수 있다.
표시 영역(DA)은 제4 중심선(C4)을 기준으로 제4 중심선(C4)의 양측에 배치되는 제1 표시 영역(DA1)과 제2 표시 영역(DA2)을 포함할 수 있다. 이때, 제1 표시 영역(DA1)과 제2 표시 영역(DA2)은 도 9에 도시된 바와 같이 서로 상이한 형상, 서로 상이한 크기를 가질 수 있다. 이러한 경우 제1 표시 영역(DA1)의 코너(corner)는 표시 영역(DA) 내부로 인입되도록 형성되며, 라운드지게 형성될 수 있다. 반면, 제2 표시 영역(DA2)의 코너는 표시 영역(DA)의 외측으로 볼록하게 형성되며, 라운드지게 형성될 수 있다. 이러한 경우 제1 표시 영역(DA1)의 코너와 제2 표시 영역(DA2)의 코너 중 적어도 하나는 적어도 하나 이상의 곡률반경을 가질 수 있다. 일 실시예로써 제1 표시 영역(DA1)의 코너의 곡률 반경과 제2 표시 영역(DA2)의 코너의 곡률 반경이 하나인 경우 제1 표시 영역(DA1)의 코너의 곡률 반경과 제2 표시 영역(DA2)의 코너의 곡률 반경은 서로 상이할 수 있다. 다른 실시예로써 제1 표시 영역(DA1)의 코너의 곡률 반경과 제2 표시 영역(DA2)의 코너의 곡률 반경이 각각 복수 개인 경우 복수 개의 제1 표시 영역(DA1)의 코너의 곡률 반경 중 적어도 하나와 복수 개의 제2 표시 영역(DA2)의 코너의 곡률 반경 중 적어도 하나는 서로 상이할 수 있다.
따라서 표시 장치(20)는 설계된 것과 동일 또는 유사한 정밀한 형태의 비정형의 표시 영역(DA)을 갖는 것이 가능하다.
도 10은 본 발명의 또 다른 실시예 따른 마스크 조립체의 제2 가림시트를 보여주는 평면도이다. 도 11은 도 10에 도시된 제2 가림시트를 포함하는 마스크 조립체를 통하여 제조된 표시 장치를 보여주는 평면도이다.
도 10 및 도 11을 참고하면, 마스크 조립체(미도시)는 마스크 프레임(미도시), 제1 가림시트(미도시), 제2 가림시트(154B) 및 마스크 시트(미도시)를 포함할 수 있다. 이때, 상기 마스크 프레임, 상기 제1 가림시트 및 상기 마스크 시트는 상기 도 1 내지 도 4에서 설명한 것과 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
제2 가림시트(154B)는 제2 가림시트바디부(154B-1)와 제2 돌출부(154B-2)를 포함할 수 있다. 이때, 제2 가림시트바디부(154B-1)와 제2 돌출부(154B-2)는 상기 도 1 내지 도 4에서 설명한 것과 유사할 수 있다. 이때, 제2 돌출부(154B-2)의 형상은 상기 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 상이할 수 있다. 이러한 경우 제2 돌출부(154B-2)는 사각형 형태일 수 있다. 이때, 제2 돌출부(154B-2)는 상기 제1 돌출부의 일부를 차폐시킬 수 있다.
상기와 같은 경우 상기 제1 가림시트는 제1 중심선(미도시)을 기준으로 상기 제1 중심선 양측이 대칭이 되며, 제2 가림시트(154B)는 제2 중심선(C2)을 기준으로 제2 중심선(C2)의 양측이 대칭될 수 있다. 이러한 경우 상기에서 설명한 것과 같이 상기 제1 가림시트 및 제2 가림시트(154B)를 인장하여 마스크 프레임(미도시)에 고정시키는 경우 상기 제1 가림시트 및 제2 가림시트(154B) 중 적어도 하나는 뒤틀림 등이 발생하지 않을 수 있다.
따라서 상기 마스크 조립체는 설계된 증착 영역으로 증착물질을 통과시키는 것이 가능하다.
한편, 상기와 같은 마스크 조립체를 사용하여 증착물질을 디스플레이 기판(미도시)에 증착시키는 경우 도 11에 도시된 바와 같은 표시 영역(DA)을 포함할 수 있다. 이때, 표시 장치(20)는 상기 도 7에서 설명한 것과 동일하게 형성될 수 있다. 이때, 표시 영역(DA)의 둘레에는 비표시 영역(DA)이 배치될 수 있으며, 비표시 영역(DA)에는 패드(C)가 배치될 수 있다.
표시 영역(DA)은 제4 중심선(C4)을 기준으로 제4 중심선(C4)의 양측에 배치되는 제1 표시 영역(DA1)과 제2 표시 영역(DA2)을 포함할 수 있다. 이때, 제1 표시 영역(DA1)과 제2 표시 영역(DA2)은 도 11에 도시된 바와 같이 서로 상이한 형상, 서로 상이한 크기를 가질 수 있다. 예를 들면, 제1 표시 영역(DA1)의 코너 부분은 단차지게 형성될 수 있으며, 제2 표시 영역(DA2)의 코너 부분은 라운드질 수 있다.
따라서 표시 장치(20)는 설계된 것과 동일 또는 유사한 정밀한 형태의 비정형의 표시 영역(DA)을 갖는 것이 가능하다.
도 12는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 마스크 조립체의 제1 가림시트 및 제2 가림시트를 보여주는 평면도이다. 도 13은 도 12에 도시된 제2 가림시트를 포함하는 마스크 조립체를 통하여 제조된 표시 장치를 보여주는 평면도이다.
도 12 및 도 13을 참고하면, 마스크 조립체(미도시)는 마스크 프레임(미도시), 제1 가림시트(153C), 제2 가림시트(154C) 및 마스크 시트(미도시)를 포함할 수 있다. 이때, 상기 마스크 프레임 및 상기 마스크 시트는 상기 도 1 내지 도 4에서 설명한 것과 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
제1 가림시트(153C)는 제1 가림시트바디부(153C-1)와 제1 돌출부(153C-2)를 포함할 수 있다. 이때, 제1 가림시트바디부(153C-1)와 제1 돌출부(153C-2)는 상기 도 1 내지 도 4에서 설명한 것과 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
제2 가림시트(154C)는 제2 가림시트바디부(154C-1)와 제2 돌출부(154C-2)를 포함할 수 있다. 이때, 제2 가림시트바디부(154C-1)와 제2 돌출부(154C-2)는 상기 도 1 내지 도 4에서 설명한 것과 유사할 수 있다. 이때, 제2 돌출부(154C-2)는 제1 돌출부(미도시)와 반대로 형성됨으로써 제1 돌출부(153C-2)의 일부를 차폐시킬 수 있다. 이러한 경우 제1 돌출부(153C-2)의 라운드진 부분과 제2 돌출부(154C-2)의 라운드진 부분의 형상이 서로 상이할 수 있다. 예를 들면, 제1 돌출부(153C-2)의 라운드진 부분의 곡률반경(R1)과 제2 돌출부(154C-2)의 라운드진 부분의 곡률반경(R2)이 서로 상이할 수 있다.
상기와 같은 경우 제1 가림시트(153C)는 제1 중심선(C1)을 기준으로 제1 중심선(C1) 양측이 대칭이 되며, 제2 가림시트(154C)는 제2 중심선(C2)을 기준으로 제2 중심선(C2)의 양측이 대칭될 수 있다. 이러한 경우 상기에서 설명한 것과 같이 제1 가림시트(153C) 및 제2 가림시트(154C)를 인장하여 마스크 프레임(151)에 고정시키는 경우 제1 가림시트(153C) 및 제2 가림시트(154C) 중 적어도 하나는 뒤틀림 등이 발생하지 않을 수 있다.
따라서 상기 마스크 조립체는 설계된 증착 영역으로 증착물질을 통과시키는 것이 가능하다.
한편, 상기와 같은 마스크 조립체를 사용하여 증착물질을 디스플레이 기판(미도시)에 증착시키는 경우 도 13에 도시된 바와 같은 표시 영역(DA)을 포함할 수 있다. 이때, 표시 장치(20)는 상기 도 7에서 설명한 것과 동일하게 형성될 수 있다. 이때, 표시 영역(DA)의 둘레에는 비표시 영역(DA)이 배치될 수 있으며, 비표시 영역(DA)에는 패드(C)가 배치될 수 있다.
표시 영역(DA)은 제4 중심선(C4)을 기준으로 제4 중심선(C4)의 양측에 배치되는 제1 표시 영역(DA1)과 제2 표시 영역(DA2)을 포함할 수 있다. 이때, 제1 표시 영역(DA1)과 제2 표시 영역(DA2)은 도 13에 도시된 바와 같이 서로 상이한 형상, 서로 상이한 크기를 가질 수 있다. 이러한 경우 제1 표시 영역(DA1)의 코너와 제2 표시 영역(DA2)의 코너는 각각 표시 영역(DA)의 외측으로 돌출될 수 있다. 이때, 이러한 경우 제1 표시 영역(DA1)와 제2 표시 영역(DA2) 중 적어도 하나는 적어도 하나 이상의 곡률반경을 가질 수 있다. 일 실시예로써 제1 표시 영역(DA1)의 곡률 반경(R1')과 제2 표시 영역(DA2)의 곡률 반경(R2')이 하나인 경우 제1 표시 영역(DA1)의 곡률 반경(R1')과 제2 표시 영역(DA2)의 곡률 반경(R2')은 서로 상이할 수 있다. 다른 실시예로써 제1 표시 영역(DA1)의 곡률 반경(R1')과 제2 표시 영역(DA2)의 곡률 반경(R2')이 각각 복수 개인 경우 복수 개의 제1 표시 영역(DA1)의 곡률 반경(R1') 중 적어도 하나와 복수 개의 제2 표시 영역(DA2)의 곡률 반경(R2') 중 적어도 하나는 서로 상이할 수 있다. 특히 제1 표시 영역(DA1)은 제1 돌출부(153C-2)에 의해 증착물질이 차단됨으로써 형성될 수 있다. 또한, 제2 표시 영역(DA2)는 제2 돌출부(154C-2)에 의해 증착물질이 차단됨으로써 형성될 수 있다. 즉, 제1 표시 영역(DA1)의 형성 시 제1 돌출부(153C-2)가 영향을 미칠 수 있으며, 제2 표시 영역(DA2)의 형성 시 제2 돌출부(154C-2)가 영향을 미칠 수 있다.
따라서 표시 장치(20)는 설계된 것과 동일 또는 유사한 정밀한 형태의 비정형의 표시 영역(DA)을 갖는 것이 가능하다.
이와 같이 본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 하여 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 실시예의 변형이 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
20: 표시 장치
100: 표시 장치의 제조장치
110: 챔버
120: 제1 지지부
130: 제2 지지부
140: 소스부
150: 마스크 조립체
151: 마스크 프레임
152: 마스크 시트
153,153C: 제1 가림시트
154, 154A, 154B, 154C: 제2 가림시트
160: 자기력부
170: 비젼부
180: 압력조절부
181: 연결배관
182: 펌프

Claims (40)

  1. 마스크 프레임;
    상기 마스크 프레임에 배치되며, 복수 개의 개구부를 구비한 마스크 시트;
    상기 마스크 프레임에 배치되며, 복수 개의 개구부 중 일부를 차폐하고, 서로 이격되도록 배열된 적어도 2개 이상의 제1 가림시트; 및
    상기 각 제1 가림시트와 교차하도록 상기 마스크 프레임에 배치되며, 복수 개의 개구부 중 일부를 차폐하고, 상기 각 제1 가림시트와 일정 각도를 형성하며, 서로 이격되도록 배열된 적어도 2개 이상의 제2 가림시트;를 포함하고,
    상기 각 제1 가림시트와 상기 각 제2 가림시트는 상기 복수 개의 개구부 중 일부를 차폐하여 상기 복수 개의 개구부 중 일부를 포함하는 증착 영역을 정의하며,
    상기 증착 영역은 서로 인접하는 상기 제1 가림시트의 중심을 통과하며, 상기 제1 가림시트의 길이 방향과 평행한 임의의 직선을 통하여 제1 증착 영역과 제2 증착 영역으로 구분되고, 상기 제1 증착 영역과 상기 제2 증착 영역은 형상이 서로 상이한 마스크 조립체.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 가림시트는,
    제1 가림시트바디부; 및
    상기 제1 가림시트바디부의 길이 방향에 대해서 일정 각도를 형성하도록 상기 제1 가림시트바디부로부터 돌출되는 제1 돌출부;를 포함하는 마스크 조립체.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 제1 돌출부는 복수 개 구비되며,
    복수 개의 상기 제1 돌출부 중 2개의 상기 제1 돌출부는 상기 제1 가림시트바디부를 중심으로 서로 대향하도록 배치된 마스크 조립체.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 제1 가림시트바디부를 중심으로 서로 대향하도록 배치된 2개의 상기 제1 돌출부는 서로 동일한 형상인 마스크 조립체.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 가림시트 및 상기 제2 가림시트 중 적어도 하나는 길이 방향에 평행한 가상의 중심선을 기준으로 중심선의 양측이 대칭인 마스크 조립체.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 가림시트와 상기 제2 가림시트는 서로 직각을 형성하도록 배치되는 마스크 조립체.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 제2 가림시트는,
    제2 가림시트바디부; 및
    상기 제2 가림시트바디부로부터 돌출되며, 제2 돌출부;를 포함하는 마스크 조립체.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 제2 돌출부는 복수 개 구비되며,
    복수 개의 상기 제2 돌출부 중 2개의 상기 제2 돌출부는 상기 제2 가림시트바디부를 중심으로 서로 대향하도록 배치된 마스크 조립체.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 제1 가림시트는,
    제1 가림시트바디부; 및
    상기 제1 가림시트바디부의 길이 방향에 대해서 일정 각도를 형성하도록 상기 제1 가림시트바디부로부터 돌출되는 제1 돌출부;를 포함하는 마스크 조립체.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 제1 돌출부와 상기 제2 돌출부는 적어도 일부분이 서로 중첩되도록 배치되는 마스크 조립체.
  11. 제 9 항에 있어서,
    상기 제1 돌출부와 상기 제2 돌출부는 서로 형상이 상이한 마스크 조립체.
  12. 제 9 항에 있어서,
    상기 제1 돌출부와 상기 제2 돌출부는 서로 면적이 상이한 마스크 조립체.
  13. 증착원;
    상기 증착원과 대향하도록 배치되며, 상기 증착원에서 토출되는 증착물질이 통과하는 마스크 조립체; 및
    상기 마스크 조립체와 대향하도록 배치되며, 상기 마스크 조립체를 통과한 증착물질이 증착되는 기판을 지지하는 기판지지부;를 포함하고,
    상기 마스크 조립체는,
    마스크 프레임;
    상기 마스크 프레임에 배치되며, 복수 개의 개구부를 구비한 마스크 시트;
    상기 마스크 프레임에 배치되며, 복수 개의 개구부 중 일부를 차폐하고, 서로 이격되도록 배열된 적어도 2개 이상의 제1 가림시트; 및
    상기 각 제1 가림시트와 교차하도록 상기 마스크 프레임에 배치되며, 복수 개의 개구부 중 일부를 차폐하고, 상기 각 제1 가림시트와 일정 각도를 형성하며, 서로 이격되도록 배열된 적어도 2개 이상의 제2 가림시트;를 포함하고,
    상기 각 제1 가림시트와 상기 각 제2 가림시트는 상기 복수 개의 개구부 중 일부를 차폐하여 상기 복수 개의 개구부 중 일부를 포함하는 증착 영역을 정의하며,
    상기 증착 영역은 서로 인접하는 상기 제1 가림시트의 중심을 통과하며, 상기 제1 가림시트의 길이 방향과 평행한 임의의 직선을 통하여 제1 증착 영역과 제2 증착 영역으로 구분되고, 상기 제1 증착 영역과 상기 제2 증착 영역은 형상이 서로 상이한 표시 장치의 제조장치.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 제1 가림시트는,
    제1 가림시트바디부; 및
    상기 제1 가림시트바디부의 길이 방향에 대해서 일정 각도를 형성하도록 상기 제1 가림시트바디부로부터 돌출되는 제1 돌출부;를 포함하는 표시 장치의 제조장치.
  15. 제 14 항에 있어서,
    상기 제1 돌출부는 복수 개 구비되며,
    복수 개의 상기 제1 돌출부 중 2개의 상기 제1 돌출부는 상기 제1 가림시트바디부를 중심으로 서로 대향하도록 배치된 표시 장치의 제조장치.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 제1 가림시트바디부를 중심으로 서로 대향하도록 배치된 2개의 상기 제1 돌출부는 서로 동일한 형상인 표시 장치의 제조장치.
  17. 제 13 항에 있어서,
    상기 제1 가림시트 및 상기 제2 가림시트 중 적어도 하나는 길이 방향에 평행한 가상의 중심선을 기준으로 중심선의 양측이 대칭인 표시 장치의 제조장치.
  18. 제 13 항에 있어서,
    상기 제1 가림시트와 상기 제2 가림시트는 서로 직각을 형성하도록 배치되는 표시 장치의 제조장치.
  19. 제 13 항에 있어서,
    상기 제2 가림시트는,
    제2 가림시트바디부; 및
    상기 제2 가림시트바디부로부터 돌출되며, 제2 돌출부;를 포함하는 표시 장치의 제조장치.
  20. 제 19 항에 있어서,
    상기 제2 돌출부는 복수 개 구비되며,
    복수 개의 상기 제2 돌출부 중 2개의 상기 제2 돌출부는 상기 제2 가림시트바디부를 중심으로 서로 대향하도록 배치된 표시 장치의 제조장치.
  21. 제 19 항에 있어서,
    상기 제1 가림시트는,
    제1 가림시트바디부; 및
    상기 제1 가림시트바디부의 길이 방향에 대해서 일정 각도를 형성하도록 상기 제1 가림시트바디부로부터 돌출되는 제1 돌출부;를 포함하는 표시 장치의 제조장치.
  22. 제 21 항에 있어서,
    상기 제1 돌출부와 상기 제2 돌출부는 적어도 일부분이 서로 중첩되도록 배치되는 표시 장치의 제조장치.
  23. 제 21 항에 있어서,
    상기 제1 돌출부와 상기 제2 돌출부는 서로 형상이 상이한 표시 장치의 제조장치.
  24. 제 21 항에 있어서,
    상기 제1 돌출부와 상기 제2 돌출부는 서로 면적이 상이한 표시 장치의 제조장치.
  25. 챔버 내부에 디스플레이 기판과 마스크 조립체를 배치하는 단계;
    상기 디스플레이 기판과 상기 마스크 조립체를 정렬하는 단계; 및
    상기 마스크 조립체와 대향하도록 배치된 증착원에서 증착물질을 방사하여 상기 디스플레이 기판에 증착물질 패턴을 형성하는 단계;를 포함하고,
    상기 마스크 조립체는,
    마스크 프레임;
    상기 마스크 프레임에 배치되며, 복수 개의 개구부를 구비한 마스크 시트;
    상기 마스크 프레임에 배치되며, 복수 개의 개구부 중 일부를 차폐하고, 서로 이격되도록 배열된 적어도 2개 이상의 제1 가림시트; 및
    상기 각 제1 가림시트와 교차하도록 상기 마스크 프레임에 배치되며, 복수 개의 개구부 중 일부를 차폐하고, 상기 각 제1 가림시트와 일정 각도를 형성하며, 서로 이격되도록 배열된 적어도 2개 이상의 제2 가림시트;을 포함하고,
    상기 각 제1 가림시트와 상기 각 제2 가림시트는 상기 복수 개의 개구부 중 일부를 차폐하여 상기 복수 개의 개구부 중 일부를 포함하는 증착 영역을 정의하며,
    상기 증착 영역은 서로 인접하는 상기 제1 가림시트의 중심을 통과하며, 상기 제1 가림시트의 길이 방향과 평행한 임의의 직선을 통하여 제1 증착 영역과 제2 증착 영역으로 구분되고, 상기 제1 증착 영역과 상기 제2 증착 영역은 형상이 서로 상이한 표시 장치의 제조방법.
  26. 제 25 항에 있어서,
    상기 제1 가림시트는,
    제1 가림시트바디부; 및
    상기 제1 가림시트바디부의 길이 방향에 대해서 일정 각도를 형성하도록 상기 제1 가림시트바디부로부터 돌출되는 제1 돌출부;를 포함하는 표시 장치의 제조방법.
  27. 제 26 항에 있어서,
    상기 제1 돌출부는 복수 개 구비되며,
    복수 개의 상기 제1 돌출부 중 2개의 상기 제1 돌출부는 상기 제1 가림시트바디부를 중심으로 서로 대향하도록 배치된 표시 장치의 제조방법.
  28. 제 27 항에 있어서,
    상기 제1 가림시트바디부를 중심으로 서로 대향하도록 배치된 2개의 상기 제1 돌출부는 서로 동일한 형상인 표시 장치의 제조방법.
  29. 제 25 항에 있어서,
    상기 제1 가림시트 및 상기 제2 가림시트 중 적어도 하나는 길이 방향에 평행한 가상의 중심선을 기준으로 중심선의 양측이 대칭인 표시 장치의 제조방법.
  30. 제 25 항에 있어서,
    상기 제1 가림시트와 상기 제2 가림시트는 서로 직각을 형성하도록 배치되는 표시 장치의 제조방법.
  31. 제 25 항에 있어서,
    상기 제2 가림시트는,
    제2 가림시트바디부; 및
    상기 제2 가림시트바디부로부터 돌출되며, 제2 돌출부;를 포함하는 표시 장치의 제조방법.
  32. 제 31 항에 있어서,
    상기 제2 돌출부는 복수 개 구비되며,
    복수 개의 상기 제2 돌출부 중 2개의 상기 제2 돌출부는 상기 제2 가림시트바디부를 중심으로 서로 대향하도록 배치된 표시 장치의 제조방법.
  33. 제 31 항에 있어서,
    상기 제1 가림시트는,
    제1 가림시트바디부; 및
    상기 제1 가림시트바디부의 길이 방향에 대해서 일정 각도를 형성하도록 상기 제1 가림시트바디부로부터 돌출되는 제1 돌출부;를 포함하는 표시 장치의 제조방법.
  34. 제 33 항에 있어서,
    상기 제1 돌출부와 상기 제2 돌출부는 적어도 일부분이 서로 중첩되도록 배치되는 표시 장치의 제조방법.
  35. 제 33 항에 있어서,
    상기 제1 돌출부와 상기 제2 돌출부는 서로 형상이 상이한 표시 장치의 제조방법.
  36. 제 33 항에 있어서,
    상기 제1 돌출부와 상기 제2 돌출부는 서로 면적이 상이한 표시 장치의 제조방법.
  37. 챔버 내부에 디스플레이 기판과 마스크 조립체를 배치하는 단계;
    상기 디스플레이 기판과 상기 마스크 조립체를 정렬하는 단계; 및
    상기 마스크 조립체와 대향하도록 배치된 증착원에서 증착물질을 방사하여 상기 디스플레이 기판에 증착물질 패턴을 형성하는 단계;를 포함하고,
    상기 디스플레이 기판에 형성된 증착물질 패턴은 표시 영역을 형성하고, 상기 표시 영역은 상기 표시 영역의 중심을 통과하는 임의의 직선에 대해서 두 영역으로 구분되고, 상기 표시 영역의 두 영역은 비대칭인 표시 장치의 제조방법.
  38. 제 37 항에 있어서,
    상기 마스크 조립체는 증착물질이 통과하여 상기 디스플레이 기판에 증착되는 상기 표시 영역과 대응되도록 상기 증착물질이 통과하는 증착 영역을 정의하는 표시 장치의 제조방법.
  39. 제 38 항에 있어서,
    상기 마스크 조립체는,
    마스크 프레임에 배치되며, 복수 개의 개구부를 구비한 마스크 시트;
    상기 마스크 프레임에 배치되며, 복수 개의 개구부 중 일부를 차폐하고, 서로 이격되도록 배열된 적어도 2개 이상의 제1 가림시트; 및
    상기 각 제1 가림시트와 교차하도록 상기 마스크 프레임에 배치되며, 복수 개의 개구부 중 일부를 차폐하고, 상기 각 제1 가림시트와 일정 각도를 형성하며, 서로 이격되도록 배열된 적어도 2개 이상의 제2 가림시트;를 포함하고,
    상기 각 제1 가림시트와 상기 각 제2 가림시트는 상기 증착 영역을 정의하는 표시 장치의 제조방법.
  40. 챔버 내부에 디스플레이 기판과 마스크 조립체를 배치하는 단계;
    상기 디스플레이 기판과 상기 마스크 조립체를 정렬하는 단계; 및
    상기 마스크 조립체와 대향하도록 배치된 증착원에서 증착물질을 방사하여 상기 디스플레이 기판에 증착물질 패턴을 형성하는 단계;를 포함하고,
    상기 디스플레이 기판에 형성된 증착물질 패턴은 표시 영역을 형성하고, 상기 표시 영역은 상기 마스크 조립체가 정의하는 증착 영역 내부로 돌출된 상기 마스크 조립체의 제1 가림시트의 돌출부에 의해 증착물질 일부가 차단되어 형성된 제1 표시 영역과 상기 마스크 조립체가 형성하는 증착 영역 내부로 돌출된 상기 마스크 조립체의 제2 가림시트의 돌출부에 의해 증착물질 일부가 차단되어 형성된 제2 표시 영역을 포함하는 표시 장치의 제조방법.
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