CN107699854B - 掩膜组件及其制造方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种掩膜组件及其制造方法，属于显示技术领域。掩膜组件包括：框架，以及层叠设置在框架上的第一掩膜板和第二掩膜板；第二掩膜板上具有至少一个蒸镀区域，每个蒸镀区域具有形状相同的多个蒸镀孔；第一掩膜板包括交叉排布的多个条状掩膜板，交叉排布的多个条状掩膜板围成至少一个开口区域，至少一个开口区域与至少一个蒸镀区域一一对应，至少一个开口区域包括至少一个异形开口区域，每个异形开口区域在第二掩膜板上的正投影位于对应的蒸镀区域内。本发明解决了相关技术中采用掩膜组件制造出的显示面板的显示可靠性较低的问题。本发明用于掩膜组件的制造。

Description

掩膜组件及其制造方法
技术领域
本发明涉及显示技术领域，特别涉及一种掩膜组件及其制造方法。
背景技术
有机发光二极管(英文：Organic Light-Emitting Diode；简称：OLED)显示器是一种具有自主发光功能的显示器。OLED显示器以其厚度薄、重量轻、主动发光、响应速度快、视角广、色彩丰富、高亮度、低功耗以及耐高低温等优点广泛应用于显示行业。在OLED显示器的制造过程中，可以采用蒸镀机配合掩膜组件通过蒸镀的方式将OLED材料蒸镀在衬底基板上，以在衬底基板上形成有机发光图形得到阵列基板。
目前的掩膜组件通常包括：金属框架、金属屏蔽片掩膜板和精细金属掩膜板(英文：Fine Metal Mask；简称：FMM)，其中，金属屏蔽片掩膜板包括相互垂直的第一条状金属屏蔽片阵列和第二条状金属屏蔽片阵列，第一条状金属屏蔽片阵列和第二条状金属屏蔽片阵列中的每个条状金属屏蔽片的两端分别焊接在金属框架上。第一条状金属屏蔽片阵列和第二条状金属屏蔽片阵列形成有多个开口区域，FMM包括用于一一对应形成多个阵列基板的多个蒸镀区域，每个蒸镀区域上设置有用于形成多个像素的多个蒸镀孔，蒸镀区域在金属屏蔽片掩膜板上的正投影位于开口区域内。
相关技术中，在制造异形显示面板(例如圆角显示面板)时，通常在FMM上设计异形蒸镀区域，例如在蒸镀区域的边缘设计圆角，该异形蒸镀区域是通过将蒸镀区域的边缘上的蒸镀孔设计成异形蒸镀孔得到的，以使得在衬底基板上蒸镀OLED材料时，能够通过异形蒸镀区域形成异形显示面板。
但是，在FMM上设计异形蒸镀区域后，由于异形蒸镀区域的边缘的形状不规则，在将FMM焊接到金属屏蔽片掩膜板上时，易出现FMM的表面不平的现象，采用该掩膜组件进行蒸镀时，可能导致显示面板出现混色不良的现象，制造出的显示面板的显示可靠性较低。
发明内容
本发明实施例提供了一种掩膜组件及其制造方法，可以解决相关技术中采用掩膜组件在蒸镀时，可能导致显示面板出现混色不良的现象，制造出的显示面板的显示可靠性较低的问题。所述技术方案如下：
一方面，提供了一种掩膜组件，所述掩膜组件包括：
框架，以及层叠设置在所述框架上的第一掩膜板和第二掩膜板；
所述第二掩膜板上具有至少一个蒸镀区域，每个所述蒸镀区域具有形状相同的多个蒸镀孔；
所述第一掩膜板包括交叉排布的多个条状掩膜板，所述交叉排布的多个条状掩膜板围成至少一个开口区域，所述至少一个开口区域与所述至少一个蒸镀区域一一对应，所述至少一个开口区域包括至少一个异形开口区域，每个所述异形开口区域在所述第二掩膜板上的正投影位于对应的蒸镀区域内。
可选的，所述第二掩膜板包括至少一个蒸镀区域和围绕在每个所述蒸镀区域周围的缓冲区域，
所述第一掩膜板包括至少一个异形条状掩膜板，所述至少一个异形条状掩膜板用于围成所述至少一个异形开口区域；
所述异形条状掩膜板包括条形结构，以及从所述条形结构的边缘向外延伸的凸起结构，所述条形结构在所述第二掩膜板上的正投影位于所述缓冲区域内，所述凸起结构在所述第二掩膜板上的正投影与所述蒸镀区域至少部分重合。
可选的，所述至少一个开口区域均为异形开口区域，所述第一掩膜板包括沿第一方向阵列排布的第一条状掩膜板和沿第二方向阵列排布的第二条状掩膜板，所述第一方向和所述第二方向垂直，
所有所述第一条状掩膜板和/或所有所述第二条状掩膜板均为所述异形条状掩膜板。
可选的，用于围成每个所述异形开口区域的每个异形条状掩膜板上的指定位置设置有所述凸起结构，所述指定位置为与其他条状掩膜板的交叉处中靠近对应的异形开口区域的边缘。
可选的，所述蒸镀区域呈矩形，所述缓冲区域呈矩形环状，所述异形开口区域呈圆角矩形。
可选的，每个所述凸起结构呈曲边梯形，所述曲边梯形包括相互平行的两条底边和分别与所述两条底边相连的两条曲边，所述两条曲边在所述第二掩膜板上的正投影位于所述蒸镀区域内，所述两条底边在所述第二掩膜板上的正投影位于所述缓冲区域内。
可选的，每个所述凸起结构呈曲边三角形，所述曲边三角形包括至少一条曲边，所述至少一条曲边中的目标曲边在所述第二掩膜板上的正投影位于所述蒸镀区域内，所述曲边三角形中除所述目标曲边以外的其他边在所述第二掩膜板上的正投影位于所述缓冲区域内。
可选的，所述第一掩膜板为金属屏蔽片掩膜板，所述第二掩膜板为精细金属掩膜板。
可选的，所述框架为金属框架，所述第一掩膜板焊接在所述金属框架上，所述第二掩膜板焊接在所述第一掩膜板上。
另一方面，提供了一种掩膜组件的制造方法，所述方法包括：
提供框架；
在所述框架上设置第一掩膜板，所述第一掩膜板包括交叉排布的多个条状掩膜板，所述交叉排布的多个条状掩膜板围成至少一个开口区域，所述至少一个开口区域包括至少一个异形开口区域；
在所述第一掩膜板上设置第二掩膜板，所述第二掩膜板上具有至少一个蒸镀区域，每个所述蒸镀区域具有形状相同的多个蒸镀孔；
其中，所述至少一个开口区域与所述至少一个蒸镀区域一一对应，每个所述异形开口区域在所述第二掩膜板上的正投影位于对应的蒸镀区域内。
可选的，所述第二掩膜板包括至少一个蒸镀区域和围绕在每个所述蒸镀区域周围的缓冲区域，
所述第一掩膜板包括至少一个异形条状掩膜板，所述至少一个异形条状掩膜板用于围成所述至少一个异形开口区域；
所述异形条状掩膜板包括条形结构，以及从所述条形结构的边缘向外延伸的凸起结构，所述条形结构在所述第二掩膜板上的正投影位于所述缓冲区域内，所述凸起结构在所述第二掩膜板上的正投影与所述蒸镀区域至少部分重合。
可选的，所述在所述框架上设置第一掩膜板，包括：
在所述框架上设置沿第一方向阵列排布的第一条状掩膜板；
在设置有所述第一条状掩膜板的所述框架上设置沿第二方向阵列排布的第二条状掩膜板，以形成所述至少一个开口区域，所述第一方向与所述第二方向垂直；
所有所述第一条状掩膜板和/或所有所述第二条状掩膜板均为所述异形条状掩膜板，所述至少一个开口区域均为异形开口区域。
可选的，用于围成每个所述异形开口区域的每个异形条状掩膜板上的指定位置设置有所述凸起结构，所述指定位置为与其他条状掩膜板的交叉处中靠近对应的异形开口区域的边缘。
可选的，所述蒸镀区域呈矩形，所述缓冲区域呈矩形环状，所述异形开口区域呈圆角矩形。
可选的，所述框架为金属框架，所述第一掩膜板为金属屏蔽片掩膜板，所述第二掩膜板为精细金属掩膜板，
所述在所述框架上设置第一掩膜板，包括：
将所述第一掩膜板焊接在所述框架上；
所述在所述第一掩膜板上设置第二掩膜板，包括：
将所述第二掩膜板焊接在所述第一掩膜板上。
本发明实施例提供的技术方案带来的有益效果是：
本发明实施例提供的掩膜组件及其制造方法，由于第一掩膜板包括至少一个异形开口区域，通过叠加设置第一掩膜板和第二掩膜板，使异形开口区域在第二掩膜板上的正投影位于第二掩膜板的蒸镀区域内，从而掩膜组件能够形成异形蒸镀区域，无需改变第二掩膜板的蒸镀区域的形状，因此在第一掩膜板上设置第二掩膜板时，可以保证第二掩膜板的表面的平整性，采用本发明实施例提供的掩膜组件，在制造异形显示面板时，可以避免由于第二掩膜板的表面的不平整导致的蒸镀时混色不良的现象，提高了制造出的显示面板的显示可靠性。
附图说明
图1是相关技术中的一种掩膜组件的结构示意图；
图2是本发明实施例提供的一种掩膜组件的结构示意图；
图3-1是本发明实施例提供的一种第二掩膜板的结构示意图；
图3-2是本发明实施例提供的一种第一掩膜板的结构示意图；
图4-1是本发明实施例提供的一种异形条状掩膜板的结构示意图；
图4-2是本发明实施例提供的另一种异形条状掩膜板的结构示意图；
图5-1是本发明实施例提供的又一种异形条状掩膜板的结构示意图；
图5-2是本发明实施例提供的还一种异形条状掩膜板的结构示意图；
图6是本发明实施例提供的一种掩膜组件的制造方法的流程图。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明实施方式作进一步地详细描述。
OLED显示装置中包括以矩阵形式排列的多个像素，OLED显示装置按照其像素的驱动方式可以分为有源矩阵有机发光二极管(英文：Active Matrix/Organic LightEmitting Diode；简称：AMOLED)显示装置和无源矩阵有机发光二极管(英文：Passivematrix Organic Light-Emitting Diode；简称：PMOLED)显示装置。OLED显示装置中包括OLED显示器，目前，一般采用蒸镀机配合掩膜组件，通过蒸镀的方式将OLED材料蒸镀在衬底基板上，以在衬底基板上形成有机发光图形以得到阵列基板。
相关技术中，掩膜组件的结构可以如图1所示，包括：金属框架101，金属屏蔽片掩膜板102和FMM103，其中，金属屏蔽片掩膜板102包括相互垂直的第一条状金属屏蔽片102a阵列和第二条状金属屏蔽片102b阵列。目前，一般将金属屏蔽片掩膜板焊接在金属框架上，再将FMM焊接在金属屏蔽片掩膜板上，以保持掩膜组件的结构稳定性，其中，金属屏蔽片掩膜板可以用于在蒸镀时遮挡FMM和FMM之间的缝隙，且对FMM起到支撑作用。相关技术中，掩膜组件的蒸镀区域也即是FMM的蒸镀区域，如图1所示，FMM103的蒸镀区域AA为矩形区域时，制造出的显示面板即为矩阵显示面板。因此，若需要制造异形显示面板，一般在FMM上设计异形蒸镀区域，该异形蒸镀区域是通过将蒸镀区域的边缘上的蒸镀孔设计成异形蒸镀孔得到的，由于异形蒸镀区域的边缘的形状不规则，在将FMM焊接到金属屏蔽片掩膜板上时，FMM易由于应力释放不均导致FMM的表面不平。采用包括设计有异形蒸镀区域的FMM的掩膜组件进行蒸镀时，由于FMM的表面不平，可能导致显示面板出现混色不良的现象，制造出的显示面板的显示可靠性较低。
本发明实施例提供了一种掩膜组件，可以解决相关技术中的问题，如图2所示，该掩膜组件可以包括：
框架201，以及层叠设置在框架201上的第一掩膜板202和第二掩膜板203。
其中，第二掩膜板203上具有至少一个蒸镀区域A，每个蒸镀区域A具有形状相同的多个蒸镀孔(图中未画出)。
第一掩膜板202包括交叉排布的多个条状掩膜板2021，交叉排布的多个条状掩膜板2021围成至少一个开口区域B，该至少一个开口区域B与至少一个蒸镀区域A一一对应，该至少一个开口区域B包括至少一个异形开口区域B’，每个异形开口区域B’在第二掩膜板203上的正投影位于对应的蒸镀区域A内。
需要说明的是，本发明实施例提供的掩膜组件通常被提供为形成显示母板(也称显示大板)，在显示母板制造完成后，将该显示母板进行切割便得到多个显示面板，其中，掩膜组件的一个蒸镀区域可以对应制造一个显示面板，由于异形开口区域在第二掩膜板上的正投影位于对应的蒸镀区域内，通过该蒸镀区域进行蒸镀时，蒸镀区域中的部分区域被第一掩膜板遮挡，制造出的显示面板的形状与异形开口区域的形状相同，也即是制造出的显示面板为异形显示面板。
综上所述，本发明实施例提供的掩膜组件，由于第一掩膜板包括至少一个异形开口区域，通过叠加设置第一掩膜板和第二掩膜板，使异形开口区域在第二掩膜板上的正投影位于第二掩膜板的蒸镀区域内，从而掩膜组件能够形成异形蒸镀区域，无需改变第二掩膜板的蒸镀区域的形状，因此在第一掩膜板上设置第二掩膜板时，可以保证第二掩膜板的表面的平整性，采用本发明实施例提供的掩膜组件，在制造异形显示面板时，可以避免由于第二掩膜板的表面的不平整导致的蒸镀时混色不良的现象，提高了制造出的显示面板的显示可靠性。
可选的，如图3-1所示，第二掩膜板203可以包括至少一个蒸镀区域A和围绕在每个蒸镀区域A周围的缓冲区域C；如图3-2所示，第一掩膜板202可以包括至少一个异形条状掩膜板202a，该至少一个异形条状掩膜板202a用于围成至少一个异形开口区域B’，第一掩膜板中除异形条状掩膜板之外的条状掩膜板为普通掩膜板，其形状为条形，也即是，第一掩膜板中除异形条状掩膜板之外的条状掩膜板为条形结构。
其中，如图4-1所示，异形条状掩膜板包括条形结构a1，以及从条形结构a1的边缘向外延伸的凸起结构a2，条形结构a1在第二掩膜板上的正投影位于缓冲区域内，凸起结构a2在第二掩膜板上的正投影与蒸镀区域至少部分重合。
虽然异形条状掩膜板也可能会出现应力释放不均，但是一方面，在实际应用中，对第二掩膜板的精度要求(例如5微米)远高于异形条状掩膜板的精度要求(例如100微米)，由于应力释放不均导致的异形条状掩膜板的轻微变形在生产过程中是可接受的，另一方面，由于异形条状掩膜板的厚度(50～100微米)大于第二掩膜板(25～35微米)的厚度，与相关技术相比，异形条状掩膜板的变形程度远远小于第二掩膜板的变形程度。
需要说明的是，凸起结构在第二掩膜板上的正投影与蒸镀区域至少部分重合，在采用掩膜组件蒸镀时，凸起结构能够遮挡与第二掩膜板的蒸镀区域重合的区域，以形成掩膜组件的异形蒸镀区域，无需在第二掩膜板上设计异形蒸镀区域，提高了蒸镀的可靠性，从而保证了制造出的显示面板的显示性能。
可选的，第一掩膜板中的至少一个开口区域可以均为异形开口区域，第一掩膜板包括沿第一方向阵列排布的第一条状掩膜板和沿第二方向阵列排布的第二条状掩膜板，该第一方向和第二方向垂直，可选的，所有第一条状掩膜板和/或所有第二条状掩膜板可以均为异形条状掩膜板。
实际应用中，第一掩膜板中包括的多个开口区域中的部分开口区域可以为异形开口区域，另一部分开口区域可以为正常开口区域，也即是矩形开口区域；或者，多个开口区域均为异形开口区域，多个异形开口区域的形状不同，例如一部分异形开口区域呈圆角矩形，另一部分异形开口区域可以呈圆形，以实现采用同一掩膜组件制造不同形状的显示面板。又或者，多个开口区域可以为形状相同的多个异形开口区域，本发明实施例对此不做限定。
在本发明实施例中，第一掩膜板中的开口区域可以由第一条状掩膜板和第二条状掩膜板围成，当第一条状掩膜板和/或第二条状掩膜板为异形条状掩膜板时，围成的开口区域即为异形开口区域。本发明实施例不限定第一条状掩膜板是异形条状掩膜板，还是第二条状掩膜板是异形条状掩膜板，只要保证形成的第一掩膜板的开口区域的内边缘存在凸起结构即可。
可选的，用于围成每个异形开口区域的每个异形条状掩膜板上的指定位置设置有凸起结构，参见图3-2，该指定位置H可以为与其他条状掩膜板的交叉处中靠近对应的异形开口区域的边缘。
示例的，蒸镀区域可以呈矩形，缓冲区域可以呈矩形环状，异形开口区域可以呈圆角矩形，采用该掩膜组件可以制造出圆角显示面板。
实际应用中，用于形成异形开口区域的异形条状掩膜板的结构可以有多种，本发明实施例以以下两种结构为例进行说明，详细过程如下：
如图4-1所示，第一种异形条状掩膜板包括条形结构a1和凸起结构a2，每个凸起结构a2呈曲边梯形，该曲边梯形包括相互平行的两条底边和分别与两条底边相连的两条曲边，该两条曲边在第二掩膜板上的正投影位于蒸镀区域内，该两条底边在第二掩膜板上的正投影位于缓冲区域内。
如图4-2所示，第二种异形条状掩膜板包括条形结构a1和凸起结构a2，每个凸起结构a2呈曲边三角形，该曲边三角形包括至少一条曲边，至少一条曲边中的目标曲边在第二掩膜板上的正投影位于蒸镀区域内，该曲边三角形中除目标曲边以外的其他边在第二掩膜板上的正投影位于缓冲区域内。
实际应用中，一部分第一条状掩膜板可以为异形条状掩膜板，另一部分第一条状掩膜板可以为条形掩膜板；和/或，一部分第二条状掩膜板可以为异形条状掩膜板，另一部分第二条状掩膜板可以为条形掩膜板，只要保证所有第一条状掩膜板和所有第二条状掩膜板组合后，形成的每个开口区域均为圆角开口区域即可。
可选的，第一掩膜板中形成的异形开口区域还可以为圆形开口区域，相应的，异形条状掩膜板包括条形结构a1和凸起结构a2，两种凸起结构可以分别如图5-1和图5-2所示，采用包括圆形开口区域的第一掩膜板结合第二掩膜板，可以制造出圆形显示面板。
当然，该异形开口区域还可以为椭圆开口区域，正多边形开口区域等，以用于制造其他异形显示面板，相应的异形条状掩膜板可以是上述异形条状掩膜板的简单变形，本发明实施例对此不再赘述。
可选的，第一掩膜板可以为金属屏蔽片掩膜板，第二掩膜板可以为精细金属掩膜板。
可选的，框架可以为金属框架，第一掩膜板可以焊接在金属框架上，第二掩膜板可以焊接在第一掩膜板上。
综上所述，本发明实施例提供的掩膜组件，由于第一掩膜板包括至少一个异形开口区域，通过叠加设置第一掩膜板和第二掩膜板，使异形开口区域在第二掩膜板上的正投影位于第二掩膜板的蒸镀区域内，从而掩膜组件能够形成异形蒸镀区域，无需改变第二掩膜板的蒸镀区域的形状，因此在第一掩膜板上设置第二掩膜板时，可以保证第二掩膜板的表面的平整性，采用本发明实施例提供的掩膜组件，在制造异形显示面板时，可以避免由于第二掩膜板的表面的不平整导致的蒸镀时混色不良的现象，提高了制造出的显示面板的显示可靠性。
本发明实施例提供了一种掩膜组件的制造方法，如图6所示，该方法包括：
步骤601、提供框架。
步骤602、在框架上设置第一掩膜板，第一掩膜板包括交叉排布的多个条状掩膜板。
其中，交叉排布的多个条状掩膜板围成至少一个开口区域，至少一个开口区域包括至少一个异形开口区域。
步骤603、在第一掩膜板上设置第二掩膜板，第二掩膜板上具有至少一个蒸镀区域，每个蒸镀区域具有形状相同的多个蒸镀孔。
其中，至少一个开口区域与至少一个蒸镀区域一一对应，每个异形开口区域在第二掩膜板上的正投影位于对应的蒸镀区域内。
综上所述，本发明实施例提供的掩膜组件的制造方法，由于第一掩膜板包括至少一个异形开口区域，通过叠加设置第一掩膜板和第二掩膜板，使异形开口区域在第二掩膜板上的正投影位于第二掩膜板的蒸镀区域内，从而掩膜组件能够形成异形蒸镀区域，无需改变第二掩膜板的蒸镀区域的形状，因此在第一掩膜板上设置第二掩膜板时，可以保证第二掩膜板的表面的平整性，采用本发明实施例提供的掩膜组件，在制造异形显示面板时，可以避免由于第二掩膜板的表面的不平整导致的蒸镀时混色不良的现象，提高了制造出的显示面板的显示可靠性。
可选的，如图3-1所示，第二掩膜板203可以包括至少一个蒸镀区域A和围绕在每个蒸镀区域A周围的缓冲区域C；如图3-2所示，第一掩膜板202可以包括至少一个异形条状掩膜板202a，该至少一个异形条状掩膜板202a用于围成至少一个异形开口区域B’，第一掩膜板中除异形条状掩膜板之外的条状掩膜板为普通掩膜板，其形状为条形，也即是，第一掩膜板中除异形条状掩膜板之外的条状掩膜板为条形结构。
其中，如图4-1所示，异形条状掩膜板包括条形结构a1，以及从条形结构a1的边缘向外延伸的凸起结构a2，条形结构a1在第二掩膜板上的正投影位于缓冲区域内，凸起结构a2在第二掩膜板上的正投影与蒸镀区域至少部分重合。
需要说明的是，凸起结构在第二掩膜板上的正投影与蒸镀区域至少部分重合，在采用掩膜组件蒸镀时，凸起结构能够遮挡与第二掩膜板的蒸镀区域重合的区域，以形成掩膜组件的异形蒸镀区域，无需在第二掩膜板上设计异形蒸镀区域，提高了蒸镀的可靠性，从而保证了制造出的显示面板的显示性能。
可选的，在框架上设置第一掩膜板的方法，可以包括：
S21、在框架上设置沿第一方向阵列排布的第一条状掩膜板。
S22、在设置有第一条状掩膜板的框架上设置沿第二方向阵列排布的第二条状掩膜板，以形成至少一个开口区域，第一方向与第二方向垂直。
可选的，所有第一条状掩膜板和/或所有第二条状掩膜板均为异形条状掩膜板，第一掩膜板上的至少一个开口区域均为异形开口区域。
实际应用中，第一掩膜板中包括的多个开口区域中的部分开口区域可以为异形开口区域，另一部分开口区域可以为正常开口区域，也即是矩形开口区域；或者，多个开口区域均为异形开口区域，多个异形开口区域的形状不同，例如一部分异形开口区域呈圆角矩形，另一部分异形开口区域可以呈圆形；又或者，多个开口区域可以为形状相同的多个异形开口区域，本发明实施例对此不做限定。
可选的，用于围成每个异形开口区域的每个异形条状掩膜板上的指定位置设置有凸起结构，参见图3-2，该指定位置H可以为与其他条状掩膜板的交叉处中靠近对应的异形开口区域的边缘。
可选的，蒸镀区域可以呈矩形，缓冲区域可以呈矩形环状，异形开口区域可以呈圆角矩形，采用该掩膜组件可以制造出圆角显示面板。
可选的，框架可以为金属框架，第一掩膜板可以为金属屏蔽片掩膜板，第二掩膜板可以为精细金属掩膜板，相应的，可以将第一掩膜板焊接在框架上；将第二掩膜板焊接在第一掩膜板上。
综上所述，本发明实施例提供的掩膜组件的制造方法，由于第一掩膜板包括至少一个异形开口区域，通过叠加设置第一掩膜板和第二掩膜板，使异形开口区域在第二掩膜板上的正投影位于第二掩膜板的蒸镀区域内，从而掩膜组件能够形成异形蒸镀区域，无需改变第二掩膜板的蒸镀区域的形状，因此在第一掩膜板上设置第二掩膜板时，可以保证第二掩膜板的表面的平整性，采用本发明实施例提供的掩膜组件，在制造异形显示面板时，可以避免由于第二掩膜板的表面的不平整导致的蒸镀时混色不良的现象，提高了制造出的显示面板的显示可靠性。
关于上述实施例中的方法，其中涉及到的掩膜组件的各个结构已经在装置侧的实施例中进行了详细描述，此处将不做详细阐述说明。
以上所述仅为本发明的可选实施例，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (14)

1.一种掩膜组件，其特征在于，所述掩膜组件包括：
框架，以及层叠设置在所述框架上的第一掩膜板和第二掩膜板；
所述第二掩膜板上具有至少一个蒸镀区域，每个所述蒸镀区域具有形状相同的多个蒸镀孔；
所述第一掩膜板包括交叉排布的多个条状掩膜板，所述交叉排布的多个条状掩膜板围成至少一个开口区域，所述至少一个开口区域与所述至少一个蒸镀区域一一对应，所述至少一个开口区域包括至少一个异形开口区域，每个所述异形开口区域在所述第二掩膜板上的正投影位于对应的蒸镀区域内；
所述框架为金属框架，所述第一掩膜板焊接在所述金属框架上，所述第二掩膜板焊接在所述第一掩膜板上。
2.根据权利要求1所述的掩膜组件，其特征在于，所述第二掩膜板包括至少一个蒸镀区域和围绕在每个所述蒸镀区域周围的缓冲区域，
所述第一掩膜板包括至少一个异形条状掩膜板，所述至少一个异形条状掩膜板用于围成所述至少一个异形开口区域；
所述异形条状掩膜板包括条形结构，以及从所述条形结构的边缘向外延伸的凸起结构，所述条形结构在所述第二掩膜板上的正投影位于所述缓冲区域内，所述凸起结构在所述第二掩膜板上的正投影与所述蒸镀区域至少部分重合。
3.根据权利要求2所述的掩膜组件，其特征在于，所述至少一个开口区域均为异形开口区域，所述第一掩膜板包括沿第一方向阵列排布的第一条状掩膜板和沿第二方向阵列排布的第二条状掩膜板，所述第一方向和所述第二方向垂直，
所有所述第一条状掩膜板和/或所有所述第二条状掩膜板均为所述异形条状掩膜板。
4.根据权利要求2或3所述的掩膜组件，其特征在于，
用于围成每个所述异形开口区域的每个异形条状掩膜板上的指定位置设置有所述凸起结构，所述指定位置为与其他条状掩膜板的交叉处中靠近对应的异形开口区域的边缘。
5.根据权利要求4所述的掩膜组件，其特征在于，所述蒸镀区域呈矩形，所述缓冲区域呈矩形环状，所述异形开口区域呈圆角矩形。
6.根据权利要求5所述的掩膜组件，其特征在于，
每个所述凸起结构呈曲边梯形，所述曲边梯形包括相互平行的两条底边和分别与所述两条底边相连的两条曲边，所述两条曲边在所述第二掩膜板上的正投影位于所述蒸镀区域内，所述两条底边在所述第二掩膜板上的正投影位于所述缓冲区域内。
7.根据权利要求5所述的掩膜组件，其特征在于，
每个所述凸起结构呈曲边三角形，所述曲边三角形包括至少一条曲边，所述至少一条曲边中的目标曲边在所述第二掩膜板上的正投影位于所述蒸镀区域内，所述曲边三角形中除所述目标曲边以外的其他边在所述第二掩膜板上的正投影位于所述缓冲区域内。
8.根据权利要求1所述的掩膜组件，其特征在于，
所述第一掩膜板为金属屏蔽片掩膜板，所述第二掩膜板为精细金属掩膜板。
9.一种掩膜组件的制造方法，其特征在于，所述方法包括：
提供框架；
在所述框架上设置第一掩膜板，所述第一掩膜板包括交叉排布的多个条状掩膜板，所述交叉排布的多个条状掩膜板围成至少一个开口区域，所述至少一个开口区域包括至少一个异形开口区域；
在所述第一掩膜板上设置第二掩膜板，所述第二掩膜板上具有至少一个蒸镀区域，每个所述蒸镀区域具有形状相同的多个蒸镀孔；
其中，所述至少一个开口区域与所述至少一个蒸镀区域一一对应，每个所述异形开口区域在所述第二掩膜板上的正投影位于对应的蒸镀区域内；
所述框架为金属框架，所述在所述框架上设置第一掩膜板，包括：
将所述第一掩膜板焊接在所述框架上；
所述在所述第一掩膜板上设置第二掩膜板，包括：
将所述第二掩膜板焊接在所述第一掩膜板上。
10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，所述第二掩膜板包括至少一个蒸镀区域和围绕在每个所述蒸镀区域周围的缓冲区域，
所述第一掩膜板包括至少一个异形条状掩膜板，所述至少一个异形条状掩膜板用于围成所述至少一个异形开口区域；
所述异形条状掩膜板包括条形结构，以及从所述条形结构的边缘向外延伸的凸起结构，所述条形结构在所述第二掩膜板上的正投影位于所述缓冲区域内，所述凸起结构在所述第二掩膜板上的正投影与所述蒸镀区域至少部分重合。
11.根据权利要求10所述的方法，其特征在于，所述在所述框架上设置第一掩膜板，包括：
在所述框架上设置沿第一方向阵列排布的第一条状掩膜板；
在设置有所述第一条状掩膜板的所述框架上设置沿第二方向阵列排布的第二条状掩膜板，以形成所述至少一个开口区域，所述第一方向与所述第二方向垂直；
所有所述第一条状掩膜板和/或所有所述第二条状掩膜板均为所述异形条状掩膜板，所述至少一个开口区域均为异形开口区域。
12.根据权利要求10或11所述的方法，其特征在于，
用于围成每个所述异形开口区域的每个异形条状掩膜板上的指定位置设置有所述凸起结构，所述指定位置为与其他条状掩膜板的交叉处中靠近对应的异形开口区域的边缘。
13.根据权利要求12所述的方法，其特征在于，所述蒸镀区域呈矩形，所述缓冲区域呈矩形环状，所述异形开口区域呈圆角矩形。
14.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，所述第一掩膜板为金属屏蔽片掩膜板，所述第二掩膜板为精细金属掩膜板。
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