CN106399934A - 异形oled产品蒸镀掩模板 - Google Patents

异形oled产品蒸镀掩模板 Download PDF

Info

Publication number
CN106399934A
CN106399934A CN201610900961.7A CN201610900961A CN106399934A CN 106399934 A CN106399934 A CN 106399934A CN 201610900961 A CN201610900961 A CN 201610900961A CN 106399934 A CN106399934 A CN 106399934A
Authority
CN
China
Prior art keywords
mask
product
pixel
shape
oled
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201610900961.7A
Other languages
English (en)
Inventor
姜亮
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
TCL China Star Optoelectronics Technology Co Ltd
Original Assignee
Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co Ltd filed Critical Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co Ltd
Priority to CN201610900961.7A priority Critical patent/CN106399934A/zh
Publication of CN106399934A publication Critical patent/CN106399934A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
    • C23C14/042—Coating on selected surface areas, e.g. using masks using masks
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)

Abstract

本发明提供一种异形OLED产品蒸镀掩模板，包括产品形状掩模、及像素掩模，其中，产品形状掩模上具有数个用于定义产品形状的产品形状开孔，而像素掩模具有数个与所述数个产品形状开孔一一对应的像素掩模区域，每一像素掩模区域内具有数个均匀分布的像素开孔，每一像素掩模区域内的数个像素开孔构成了一组精细的像素图形，以用于定义对应产品的像素区域，从而通过产品形状掩模与像素掩模的搭配使用能够有效改善非矩形OLED产品的掩模wrinkle问题，提高产品良率，且通过改变产品形状掩模的产品形状开孔形状，即可适用于相应的OLED产品当中，降低了产品形状变化给掩模设计带来的困难，而像素掩模可单独多次使用，降低了生产成本。

Description

异形OLED产品蒸镀掩模板
技术领域
本发明涉及OLED显示器的制作领域，尤其涉及一种异形OLED产品蒸镀掩模板。
背景技术
有机发光二级管(Organic Light Emitting Diode，OLED)显示器是一种极具发展前景的平板显示技术，它具有十分优异的显示性能，特别是自发光、结构简单、超轻薄、响应速度快、宽视角、低功耗及可实现柔性显示等特性，被誉为“梦幻显示器”，再加上其生产设备投资远小于TFT-LCD，得到了各大显示器厂家的青睐，已成为显示技术领域中第三代显示器件的主力军。目前OLED已处于大规模量产的前夜，随着研究的进一步深入，新技术的不断涌现，OLED显示器件必将有一个突破性的发展。
OLED具有依次形成于基板上的阳极、有机发光层和阴极。OLED各功能材料层与阴极金属层薄膜通过真空热蒸镀工艺制备，真空热蒸镀工艺需要使用到掩模板(Mask)。掩模板的作用是使OLED材料蒸镀到设计的位置，因此掩模板的开孔位置、形状以及表面平整度都相当重要。
请参阅图1至图3，为现有的OLED产品蒸镀掩模板制作过程的示意图。该制作过程一般包括：步骤1、如图1所示，制作不锈钢掩模边框(Frame)10；步骤2、如图2所示，提供掩模基板，该掩模基板一般是50微米或者100微米的不锈钢或镍铁合金钢的薄片，对掩模基板进行图案化处理，在掩模基板上形成数个间隔排布的掩模单元21，形成掩模(Mask Sheet)20，其中，每一掩模单元21与所需要形成的一个OLED产品的形状相对应，其具有均匀分布的数个开孔211以定义相应OLED产品上的像素(pixel)区域，从而使蒸镀材料沉积在pixel区域内；步骤3、如图3所示，在掩模20四周施加一定的力，使其表面平整，并且开孔211无变形，然后将掩模20与掩模边框10对位好，通过激光点焊，使掩模20与掩模边框10焊接在一起，从而完成蒸镀掩模板的制作。然而，在对掩模20四周施力的过程中，由于应力的存在会所导致掩模20起皱变形(wrinkle)，而wrinkle的区域会在蒸镀过程中造成混色，从而导致产品良率低。目前矩形的OLED产品的掩模wrinkle问题已经得到较好的控制，但对于圆形的OLED产品(例如应用于圆形手表的OLED显示面板)，或其它非矩形的OLED产品的掩模wrinkle问题却非常严重，从而限制了产品良率的提升。
发明内容
本发明的目的在于提供一种异形OLED产品蒸镀掩模板，包括产品形状掩模和像素掩模，以分别用于定义产品的形状和产品的像素区域，能有效改善非矩形OLED产品的掩模wrinkle问题，从而提高产品良率。
为实现上述目的，本发明提供一种异形OLED产品蒸镀掩模板，包括掩模边框、设于所述掩模边框上的产品形状掩模、及设于所述产品形状掩模上的像素掩模；
所述产品形状掩模上具有数个阵列排布的产品形状开孔；
所述像素掩模具有数个与所述数个产品形状开孔一一对应的像素掩模区域，每一像素掩模区域内具有数个均匀分布的像素开孔，每一像素掩模区域完全覆盖于对应的产品形状开孔之上。
所述像素掩模区域为矩形。
所述产品形状开孔为非矩形。
所述产品形状开孔为圆形。
所述像素掩模为整体结构。
所述像素掩模为组合结构，包括数个像素掩模条，每一像素掩模条具有一列像素掩模区域，每一像素掩模条与所述产品形状掩模上的一列产品形状开孔相对应。
所述产品形状掩模为整体结构。
所述掩模边框包括四条边，该四条边围拢出一对应露出所述数个产品形状开孔的开口，所述产品形状掩模、像素掩模均通过点焊固定于所述掩模边框的边上。
所述掩模边框的材质为不锈钢。
所述产品形状掩模、像素掩模的材质均为镍或者镍钴合金。
本发明的有益效果：本发明提供的一种异形OLED产品蒸镀掩模板，包括产品形状掩模、及设于所述产品形状掩模上的像素掩模，其中，所述产品形状掩模上具有数个阵列排布的产品形状开孔，以用于定义产品的形状，所述像素掩模具有数个与所述数个产品形状开孔一一对应的像素掩模区域，每一像素掩模区域内具有数个均匀分布的像素开孔，每一像素掩模区域内的该数个像素开孔构成了一组精细的像素图形，以用于定义对应产品的像素区域，从而通过产品形状掩模与像素掩模的搭配使用，能够有效改善非矩形OLED产品的掩模wrinkle问题，提高产品良率，且通过改变产品形状掩模的产品形状开孔的形状，即可适用于相应形状的OLED产品当中，降低了产品形状变化给掩模设计及制造带来的困难，而像素掩模可单独多次使用，降低了生产成本。
为了能更进一步了解本发明的特征以及技术内容，请参阅以下有关本发明的详细说明与附图，然而附图仅提供参考与说明用，并非用来对本发明加以限制。
附图说明
下面结合附图，通过对本发明的具体实施方式详细描述，将使本发明的技术方案及其它有益效果显而易见。
附图中，
图1为现有的OLED产品蒸镀掩模板制作过程的步骤1的示意图；
图2为现有的OLED产品蒸镀掩模板制作过程的步骤2的示意图；
图3为现有的OLED产品蒸镀掩模板制作过程的步骤3的示意图；
图4为本发明的异形OLED产品蒸镀掩模板的平面结构示意图；
图5为本发明的异形OLED产品蒸镀掩模板中产品形状掩模的平面结构示意图；
图6为本发明的异形OLED产品蒸镀掩模板中像素掩模的平面结构示意图；
图7为本发明的异形OLED产品蒸镀掩模板中掩模边框、产品形状掩模、像素掩模的立体分解图。
具体实施方式
为更进一步阐述本发明所采取的技术手段及其效果，以下结合本发明的优选实施例及其附图进行详细描述。
请同时参阅图4至图7，本发明提供一种异形OLED产品蒸镀掩模板，包括掩模边框1、设于所述掩模边框1上的产品形状掩模2、及设于所述产品形状掩模2上的像素掩模3；
所述产品形状掩模2上具有数个阵列排布的产品形状开孔21；
所述像素掩模3具有数个与所述数个产品形状开孔21一一对应的像素掩模区域31，每一像素掩模区域31内具有数个均匀分布的像素开孔311，每一像素掩模区域31完全覆盖于对应的产品形状开孔21之上。
具体地，所述掩模边框1包括四条边，该四条边围拢出一对应露出所述数个产品形状开孔21的开口，掩模边框1支撑着产品形状掩模2、及像素掩模3，使得产品形状掩模2、及像素掩模3张紧。掩模边框1的开口设计使得其只支撑产品形状掩模2、及像素掩模3的边缘而不遮挡产品形状掩模2上的产品形状开孔21、及像素掩模3上的像素掩模区域31。
具体地，所述像素掩模区域31为矩形；所述产品形状掩模2上的产品形状开孔21与所要制作的OLED产品的形状相对应，其可以为任何非矩形的形状，例如圆形、椭圆形、五边形等，只需满足其尺寸小于像素掩模3上相应的像素掩模区域31的尺寸即可，当然所述产品形状掩模2上的产品形状开孔21也可以为矩形形状。
本发明的异形OLED产品蒸镀掩模板，产品形状掩模2上具有数个阵列排布的与所要制作的OLED产品的形状相对应的产品形状开孔21，而像素掩模3为常用的相应技术已经相当成熟的矩形OLED产品的蒸镀掩模，本发明将设计难度低的产品形状掩模2与像素掩模3搭配使用，通过改变产品形状掩模2的产品形状开孔21的形状，即可适用于相应形状的OLED产品当中，降低了OLED产品形状变化给掩模设计及制造带来的困难，而像素掩模3可单独多次使用，降低了生产成本，并且能够有效改善非矩形OLED产品的掩模wrinkle问题，提高产品良率。
具体地，所述像素掩模3可以为整体结构，也可以为组合结构，其中优选所述像素掩模3为组合结构；在本实施例中，所述像素掩模3为组合结构，所述像素掩模3包括数个像素掩模条35，每一像素掩模条35具有一列像素掩模区域31，每一像素掩模条35与所述产品形状掩模2上的一列产品形状开孔21相对应。
具体地，所述产品形状掩模2为整体结构。
具体地，所述产品形状掩模2的四周边缘通过点焊固定于所述掩模边框1的边上，而所述像素掩模3的每一像素掩模条35的上下两侧边缘通过点焊固定于所述掩模边框1的上下两边上。
具体地，所述掩模边框1的材质为不锈钢。
具体地，所述产品形状掩模2、像素掩模3的材质均为镍或者镍钴合金。
综上所述，本发明的异形OLED产品蒸镀掩模板，包括产品形状掩模、及设于所述产品形状掩模上的像素掩模，其中，所述产品形状掩模上具有数个阵列排布的产品形状开孔，以用于定义产品的形状，所述像素掩模具有数个与所述数个产品形状开孔一一对应的像素掩模区域，每一像素掩模区域内具有数个均匀分布的像素开孔，每一像素掩模区域内的该数个像素开孔构成了一组精细的像素图形，以用于定义对应产品的像素区域，从而通过产品形状掩模与像素掩模的搭配使用，能够有效改善非矩形OLED产品的掩模wrinkle问题，提高产品良率，且通过改变产品形状掩模的产品形状开孔的形状，即可适用于相应形状的OLED产品当中，降低了产品形状变化给掩模设计及制造带来的困难，而像素掩模可单独多次使用，降低了生产成本。
以上所述，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本发明的技术方案和技术构思作出其他各种相应的改变和变形，而所有这些改变和变形都应属于本发明权利要求的保护范围。

Claims (10)

1.一种异形OLED产品蒸镀掩模板，其特征在于，包括掩模边框(1)、设于所述掩模边框(1)上的产品形状掩模(2)、及设于所述产品形状掩模(2)上的像素掩模(3)；
所述产品形状掩模(2)上具有数个阵列排布的产品形状开孔(21)；
所述像素掩模(3)具有数个与所述数个产品形状开孔(21)一一对应的像素掩模区域(31)，每一像素掩模区域(31)内具有数个均匀分布的像素开孔(311)，每一像素掩模区域(31)完全覆盖于对应的产品形状开孔(21)之上。
2.如权利要求1所述的异形OLED产品蒸镀掩模板，其特征在于，所述像素掩模区域(31)为矩形。
3.如权利要求1所述的异形OLED产品蒸镀掩模板，其特征在于，所述产品形状开孔(21)为非矩形。
4.如权利要求3所述的异形OLED产品蒸镀掩模板，其特征在于，所述产品形状开孔(21)为圆形。
5.如权利要求1所述的异形OLED产品蒸镀掩模板，其特征在于，所述像素掩模(3)为整体结构。
6.如权利要求1所述的异形OLED产品蒸镀掩模板，其特征在于，所述像素掩模(3)为组合结构，包括数个像素掩模条(35)，每一像素掩模条(35)具有一列像素掩模区域(31)，每一像素掩模条(35)与所述产品形状掩模(2)上的一列产品形状开孔(21)相对应。
7.如权利要求1所述的异形OLED产品蒸镀掩模板，其特征在于，所述产品形状掩模(2)为整体结构。
8.如权利要求1所述的异形OLED产品蒸镀掩模板，其特征在于，所述掩模边框(1)包括四条边，该四条边围拢出一对应露出所述数个产品形状开孔(21)的开口，所述产品形状掩模(2)、像素掩模(3)均通过点焊固定于所述掩模边框(1)的边上。
9.如权利要求1所述的异形OLED产品蒸镀掩模板，其特征在于，所述掩模边框(1)的材质为不锈钢。
10.如权利要求1所述的异形OLED产品蒸镀掩模板，其特征在于，所述产品形状掩模(2)、像素掩模(3)的材质均为镍或者镍钴合金。
CN201610900961.7A 2016-10-14 2016-10-14 异形oled产品蒸镀掩模板 Pending CN106399934A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610900961.7A CN106399934A (zh) 2016-10-14 2016-10-14 异形oled产品蒸镀掩模板

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610900961.7A CN106399934A (zh) 2016-10-14 2016-10-14 异形oled产品蒸镀掩模板

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN106399934A true CN106399934A (zh) 2017-02-15

Family

ID=58011769

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201610900961.7A Pending CN106399934A (zh) 2016-10-14 2016-10-14 异形oled产品蒸镀掩模板

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN106399934A (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107699854A (zh) * 2017-11-10 2018-02-16 京东方科技集团股份有限公司 掩膜组件及其制造方法
CN108517489A (zh) * 2018-04-28 2018-09-11 京东方科技集团股份有限公司 用于oled显示面板蒸镀的掩膜板

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1776525A (zh) * 2004-11-18 2006-05-24 三星Sdi株式会社 掩模组件以及使用该掩模组件的掩模框组件
CN102023474A (zh) * 2009-09-22 2011-04-20 三星移动显示器株式会社 掩模组件、其制造方法及用于平板显示器的沉积装置
CN105821373A (zh) * 2016-04-01 2016-08-03 昆山允升吉光电科技有限公司 一种高精度蒸镀用掩模板组件

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1776525A (zh) * 2004-11-18 2006-05-24 三星Sdi株式会社 掩模组件以及使用该掩模组件的掩模框组件
CN102023474A (zh) * 2009-09-22 2011-04-20 三星移动显示器株式会社 掩模组件、其制造方法及用于平板显示器的沉积装置
CN105821373A (zh) * 2016-04-01 2016-08-03 昆山允升吉光电科技有限公司 一种高精度蒸镀用掩模板组件

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107699854A (zh) * 2017-11-10 2018-02-16 京东方科技集团股份有限公司 掩膜组件及其制造方法
CN107699854B (zh) * 2017-11-10 2019-09-17 京东方科技集团股份有限公司 掩膜组件及其制造方法
CN108517489A (zh) * 2018-04-28 2018-09-11 京东方科技集团股份有限公司 用于oled显示面板蒸镀的掩膜板

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN206706184U (zh) 掩模板以及掩模片
US11885004B2 (en) Mask device and evaporation device
US10934613B2 (en) Mask plate, mask plate assembly including mask plate and method for manufacturing same
US20180207677A1 (en) Vacuum evaporation apparatus
CN110079763B (zh) 掩膜板及掩膜组件
CN104134681B (zh) 一种有机发光二极管显示面板及其制备方法、掩膜板
CN104062842B (zh) 一种掩模板及其制造方法、工艺装置
CN207109080U (zh) 掩膜板
CN205420527U (zh) 一种蒸镀掩模板及显示基板
CN106086785A (zh) 掩膜板及其制作方法、掩膜组件
KR102072679B1 (ko) 박막 증착용 마스크 어셈블리 제조 방법
WO2021136051A1 (zh) 掩膜板及其制作方法
CN106591776A (zh) 精细掩膜板及其制作方法
CN107653435A (zh) 掩膜装置及其掩膜组件、掩膜板
CN107086239A (zh) 像素结构及其制备方法和显示装置
JP2013163864A (ja) 蒸着マスク、蒸着マスク装置の製造方法、及び有機半導体素子の製造方法
CN107275522A (zh) 一种掩膜板及阵列基板的制作方法
KR102373442B1 (ko) 박막증착용 마스크와, 이의 제조방법
CN109166976A (zh) 显示面板、掩膜板、显示面板的制作方法及显示装置
CN109423600B (zh) 掩膜条及其制备方法、掩膜板
CN110055493B (zh) 蒸镀用的精密金属掩膜版及其组件
CN207109079U (zh) 一种双层掩膜版组件和蒸镀装置
CN109023235A (zh) 掩模基板、掩膜组件、显示面板和显示装置
WO2015100880A1 (zh) 掩膜板及其制作方法
WO2020113751A1 (zh) 一种掩膜板

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20170215

RJ01 Rejection of invention patent application after publication