CN111041416B - 掩膜板组件及制作掩膜板组件的方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种掩膜板组件及制作掩膜板组件的方法，掩膜板组件，包括：金属框架，金属框架具有第一作业窗口；金属板，金属板与金属框架层叠设置，金属板与金属框架连接，金属板的部分与第一作业窗口相对，金属板上设有第二作业窗口，第二作业窗口的外轮廓位于第一作业窗口的外轮廓内；精细金属掩膜板，精细金属掩膜板与金属板层叠设置且位于金属板的远离金属框架的一侧，精细金属掩膜板仅与金属框架连接以封挡第二作业窗口。根据本发明的掩膜板组件，可以改善精细金属掩膜板出现褶皱的情况。另外，可以改善本体与精细金属掩膜板之间存在药液残留的情况。另外，可以改善金属板的波动带动精细金属掩膜板而导致精细金属掩膜板出现褶皱的情况。

Description

掩膜板组件及制作掩膜板组件的方法

技术领域

本发明涉及显示设备加工领域，尤其是涉及一种掩膜板组件及制作掩膜板组件的方法。

背景技术

相关技术中，随着显示设备屏幕例如手机屏幕市场多元化，显示屏的形状已经不是中规中矩的长方形，而是很多形状，例如AA(Active Area)区四角倒圆角，上边框带挖槽区，这对传统的直线型支撑覆盖结构加FMM(Fine Metal Mask，精细金属掩膜板)的方式提出了很大的挑战。传统的矩形屏幕AA区像素FMM开口也是传统的直线排布，而倒圆角的屏幕或者有挖槽的屏幕AA区像素FMM开口也是异形，如果将不需要蒸镀上材料的位置FMM不设计开口，这对FMM应力分布势必会有影响，如果将不需要蒸镀材料的位置FMM设计开口，传统的覆盖结构和支撑结构是直线型的，无法遮挡倒角处材料的蒸镀。

针对以上问题，将不需要蒸镀材料的位置FMM设计开口，将传统的覆盖结构换成金属板上设置开口加上FMM的方式进行，而传统的金属板上设置开口加FMM方式会存在清洗药液残留和FMM焊接在金属板上，而非框架上，FMM易产生褶皱。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明提出一种掩膜板组件，所述掩膜板组件可以改善精细金属掩膜板发生褶皱的情况。

本发明还提出一种制作掩膜板组件的方法，所述掩膜板组件为上述掩膜板组件。

根据本发明实施例的掩膜板组件，包括：金属框架，所述金属框架具有第一作业窗口；金属板，所述金属板与所述金属框架层叠设置，所述金属板包括本体，所述本体与所述第一作业窗口相对且所述本体的外轮廓位于所述第一作业窗口的外轮廓内，所述本体上设有第二作业窗口，所述第二作业窗口的外轮廓位于所述第一作业窗口的外轮廓内，所述本体的外周缘设有多个连接柱，多个所述连接柱沿所述本体的周向方向间隔开，所述连接柱的至少部分与所述金属框架相对，所述金属框架上设有多个与所述连接柱配合的凹槽，多个所述凹槽与多个所述连接柱一一对应，所述连接柱位于所述凹槽内且与所述金属框架焊接连接；精细金属掩膜板，所述精细金属掩膜板与所述金属板层叠设置且位于所述金属板的远离所述金属框架的一侧，所述精细金属掩膜板仅与所述金属框架的位于相邻的两个所述连接柱之间的区域焊接连接以封挡所述第二作业窗口。

根据本发明实施例的掩膜板组件，通过在金属板的本体的外周缘设置多个间隔开的连接柱，并在金属框架上设置多个与连接柱配合的凹槽，可以使得连接柱下沉到凹槽内，可以降低精细金属掩膜板与金属框架之间的距离，便于精细金属掩膜板焊接在金属框架上，提高精细金属掩膜板固定的可靠性，改善精细金属掩膜板出现褶皱的情况。另外，可以避免精细金属掩膜板上未设开口的部分与本体具有重叠区域，可以改善本体与精细金属掩膜板之间存在药液残留的情况。

另外，掩膜板组件在蒸镀的过程中，金属板会出现上下方向的波动，而使得精细金属掩膜板仅与金属框架的位于相邻的两个连接柱之间的区域焊接连接而不与金属板连接，可以改善金属板的波动带动精细金属掩膜板而导致精细金属掩膜板出现褶皱的情况，提高掩膜板组件工作的可靠性。

在本发明的一些实施例中，所述本体的外轮廓与所述第一作业窗口的外轮廓相同，所述本体的外周壁与所述第一作业窗口的内周壁贴合。

在本发明的一些实施例中，所述第二作业窗口为间隔开的多个。

在本发明的一些实施例中，所述精细金属掩膜板为多个，每个所述精细金属掩膜板封挡至少一个所述第二作业窗口。

在本发明的一些实施例中，多个所述第二作业窗口成多行多列排布，多个所述精细金属掩膜板与多列所述第二作业窗口一一对应，每个所述精细金属掩膜板封挡每列所述第二作业窗口中的多个所述第二作业窗口，所述精细金属掩膜板长度方向的两端与所述金属框架的位于相邻的两个所述连接柱之间的区域焊接连接。

在本发明的一些实施例中，沿所述第二作业窗口的行延伸方向，相邻两列所述第二作业窗口之间均设有两个沿所述第二作业窗口的列延伸方向延伸的所述连接柱，两个所述连接柱分别位于所述第二作业窗口列延伸方向的两端，位于所述第二作业窗口的行延伸方向两端的位置均设有两个沿所述第二作业窗口的列延伸方向延伸的所述连接柱，两个所述连接柱分别位于所述第二作业窗口列延伸方向的两端。

在本发明的一些实施例中，沿所述第二作业窗口的列延伸方向，相邻两行所述第二作业窗口之间均设有两个沿所述第二作业窗口的行延伸方向延伸的所述连接柱，两个所述连接柱分别位于所述第二作业窗口行延伸方向的两端，位于所述第二作业窗口的列延伸方向两端的位置均设有两个沿所述第二作业窗口的行延伸方向延伸的所述连接柱，两个所述连接柱分别位于所述第二作业窗口行延伸方向的两端。

在本发明的一些实施例中，所述凹槽的深度为H，所述连接柱的厚度为h，且满足：H≥h。

在本发明的一些实施例中，所述H和h满足：H-h≥10μm。

根据本发明实施例的制作掩膜板组件的方法，所述掩膜板组件为上述的掩膜板组件，所述制作方法包括：

制作设有第一作业窗口的金属框架主体，在所述金属框架主体上设置多个凹槽，多个所述凹槽沿所述第一作业窗口的周向方向间隔设置；

制作本体，并在所述本体上设置所述第二作业窗口，使得所述第二作业窗口的外轮廓位于所述第一作业窗口的外轮廓内，在所述本体的外周缘设置多个连接柱，多个所述连接柱与多个所述凹槽一一对应；

将精细金属掩膜板与所述金属板层叠设置且使得所述精细金属掩膜板位于所述金属板的远离所述金属框架的一侧，将所述精细金属掩膜板焊接在所述金属框架的位于相邻两个所述连接柱之间的区域上。

根据本发明实施例的制作掩膜板组件的方法，通过在金属板的本体的外周缘设置多个间隔开的连接柱，并在金属框架上设置多个与连接柱配合的凹槽，可以使得连接柱下沉到凹槽内，可以降低精细金属掩膜板与金属框架之间的距离，便于精细金属掩膜板焊接在金属框架上，提高精细金属掩膜板固定的可靠性，改善精细金属掩膜板出现褶皱的情况。另外，可以避免精细金属掩膜板上未设开口的部分与本体具有重叠区域，可以改善本体与精细金属掩膜板之间存在药液残留的情况。

另外，掩膜板组件在蒸镀的过程中，金属板会出现上下方向的波动，而使得精细金属掩膜板仅与金属框架的位于相邻的两个连接柱之间的区域焊接连接而不与金属板连接，可以改善金属板的波动带动精细金属掩膜板而导致精细金属掩膜板出现褶皱的情况，提高掩膜板组件工作的可靠性。

本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

本发明的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是根据本发明实施例的掩膜板组件的金属框架的主视图；

图2是根据本发明实施例的掩膜板组件的金属板的主视图；

图3是根据本发明实施例的掩膜板组件的金属框架和金属板的装配主视图；

图4是根据本发明实施例的掩膜板组件的精细金属掩膜板的主视图；

图5是根据本发明实施例的掩膜板组件的主视图。

附图标记：

掩膜板组件100，

金属框架1，第一作业窗口11，凹槽12，

金属板2，本体21，第二作业窗口211，连接柱22，

精细金属掩膜板3，支撑连接部31，开口部32，开口321。

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“内”、“外”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

下面参考图1-图5描述根据本发明实施例的掩膜板组件100。

如图1-图5所示，根据本发明实施例的掩膜板组件100，包括金属框架1、金属板2和精细金属掩膜板3。

具体的，如图1-图3所述，金属框架1具有第一作业窗口11，第一作业窗口11在金属框架1的厚度方向上贯穿金属框架1，第一作业窗口11可以供需要蒸镀的材料通过。金属板2与金属框架1层叠设置，金属板2包括本体21，本体21与第一作业窗口11相对且本体21的外轮廓位于第一作业窗口11的外轮廓内，可以避免本体21与金属框架1具有重叠区域，从而可以改善金属框架1与本体21之间存在药液残留的情况。

本体21上设有第二作业窗口211，第二作业窗口211的外轮廓位于第一作业窗口11的外轮廓内。第二作业窗口211可以供需要蒸镀的材料通过，第二作业窗口211可以与被蒸镀的显示面板的形状和尺寸进行匹配，金属板2可以将显示面板上蒸镀上需要蒸镀的材料，将显示面板以外的区域进行覆盖，避免不需要蒸镀材料的位置上被蒸镀上相应的材料。

如图1和图2所示，本体21的外周缘设有多个连接柱22，多个连接柱22沿本体21的周向方向间隔开，连接柱22的至少部分与金属框架1相对，金属框架1上设有多个与连接柱22配合的凹槽12，凹槽12与第一作业窗口11连通，且凹槽在金属框架的厚度方向上不贯穿，多个凹槽12与多个连接柱22一一对应，连接柱22位于凹槽12内且与金属框架1焊接连接，可以使得连接柱22的至少部分下沉到凹槽12内。

如图4和图5所示，精细金属掩膜板3与金属板2层叠设置且位于金属板2的远离金属框架1的一侧，精细金属掩膜板3仅与金属框架1的位于相邻的两个连接柱22之间的区域焊接连接以封挡第二作业窗口211。

由此，可以降低精细金属掩膜板3与金属框架1之间的距离，便于精细金属掩膜板3焊接在金属框架1上，提高精细金属掩膜板3固定的可靠性，改善精细金属掩膜板3出现褶皱的情况。另外，可以避免精细金属掩膜板3上未设开口321的部分与本体21具有重叠区域，可以改善本体21与精细金属掩膜板3之间存在药液残留的情况。

另外，掩膜板组件100在蒸镀的过程中，金属板2会出现上下方向的波动，而使得精细金属掩膜板3仅与金属框架1的位于相邻的两个连接柱22之间的区域焊接连接而不与金属板2连接，可以改善金属板2的波动带动精细金属掩膜板3而导致精细金属掩膜板3出现褶皱的情况，提高掩膜板组件100工作的可靠性。

如图4所示，精细金属掩膜板3包括支撑连接部31以及开口部32，开口部32上可以设有开口321，开口部32封挡第二作业窗口211，支撑连接部31用于支撑开口部32提高精细金属掩膜板3的强度，且可以与金属框架1连接。支撑连接部31可以位于开口部32长度方向的两端，还可以环绕开口部32设置。开口321小于第二作业窗口211，开口321供需要蒸镀的材料通过，蒸镀的材料通过精细金属掩膜板3上的开口321可以蒸镀到显示面板相应的位置上。

例如，在手机和平板显示技术中，AMOLED(Active Matrix Organic LightEmitting Diode)由于其自主发光，色彩鲜艳，低功耗，广视角等优点将逐渐成为下一代显示的主流。AMOLED自主发光的原理如下：AMOLED发光原理是用背板上制作的ITO电极和金属电极分别作为器件的阳极和阴极，将有机半导体材料和发光材料蒸镀到基板上，在一定电压驱动下，电子和空穴分别从阴极和阳极注入到电子和空穴传输层，电子和空穴分别经过电子和空穴传输层迁移到发光层，并在发光层中相遇，形成激子并使发光分子激发，后者经过辐射弛豫而发出可见光。AMOLED可以采用上述的掩膜板组件100进行蒸镀，将有机半导体材料和发光材料蒸镀到基板上，在蒸镀的过程中，有机半导体材料和发光材料位于框架的远离精细金属掩膜板3的一侧，基板位于精细金属掩膜板3的远离框架的一侧，发光材料和有机半导体材料可以依次通过第一作业窗口11、第二作业窗口211和精细金属掩膜板3上的开口321被蒸镀到基板上。

此外，在本发明中，为了对应不同的显示面板，第二作业窗口211可以根据实际需要设置成不同的形状，可以为规则的形状，也可以为不规则的形状，例如矩形，圆形、椭圆形、三角形或矩形带倒圆角或挖槽区，只需要在金属板2对应做相应的图形遮挡即可，精细金属掩膜板3本身设计成通用的。可以增加上述掩膜板组件100在显示设备中的运用范围，不仅可以满足如同车载后视镜、手表、音响产品，还可以结合VR(Virtual Reality，虚拟现实技术)和AI(Artificial Intelligence，人工智能)技术生产更多梯形、半圆形以及凹形等异性显示的产品。此种设置对混色有很大的改善，并且良率稳定。

根据本发明实施例的掩膜板组件100，通过在金属板2的本体21的外周缘设置多个间隔开的连接柱11，并在金属框架1上设置多个与连接柱22配合的凹槽12，可以使得连接柱22下沉到凹槽12内，可以降低精细金属掩膜板3与金属框架1之间的距离，便于精细金属掩膜板3焊接在金属框架1上，提高精细金属掩膜板3固定的可靠性，改善精细金属掩膜板3出现褶皱的情况。另外，可以避免精细金属掩膜板3上未设开口321的部分与本体21具有重叠区域，可以改善本体21与精细金属掩膜板3之间存在药液残留的情况。

另外，掩膜板组件100在蒸镀的过程中，金属板2会出现上下方向的波动，而使得精细金属掩膜板3仅与金属框架1的位于相邻的两个连接柱22之间的区域焊接连接而不与金属板2连接，可以改善金属板2的波动带动精细金属掩膜板3而导致精细金属掩膜板3出现褶皱的情况，提高掩膜板组件100工作的可靠性。

可选地，金属板2的远离金属框架1的表面与金属框架1的朝向金属板2的表面的未设凹槽12的区域平齐或低于金属框架1的朝向金属板2的表面的未设凹槽12的区域。由此便于精细金属掩膜板3与金属框架1之间的焊接连接。

进一步地，凹槽12的深度为H，连接柱22的厚度为h，且满足，H≥h。由此可以使得连接柱22全部下沉到凹槽12内，避免连接柱22支撑精细金属掩膜板3而导致精细金属掩膜板3无法与金属框架1焊接的情况出现，提高精细金属掩膜板3固定的可靠性，从而改善精细金属掩膜板3发生褶皱的情况。进一步的H和h满足H-h≥10μm。由此可以进一步使得连接柱22全部下沉到凹槽12内，避免连接柱22支撑精细金属掩膜板3而导致精细金属掩膜板3无法与金属框架1焊接的情况出现，提高精细金属掩膜板3固定的可靠性，从而改善精细金属掩膜板3发生褶皱的情况。

可选地，如图3所示，本体21的外轮廓与第一作业窗口11的外轮廓相同，本体21的外周壁与第一作业窗口11的内周壁贴合。由此可以避免本体21的外周壁与第一作业窗口11的内周壁之间具有间隙，可以改善蒸镀材料从第一作业窗口11的内周壁和本体21的外周壁之间的间隙通过的可能性，避免蒸镀材料蒸镀到不需要蒸镀的位置上。

在本发明的一些实施例中，如图2所示，第二作业窗口211为间隔开的多个。由此可以使得掩膜板组件100同时可以对多个显示面板进行蒸镀，提高掩膜板组件100的工作效率。进一步地，如图5所示，精细金属掩膜板3为多个，每个精细金属掩膜板3封挡至少一个第二作业窗口211。由此可以在其中一个或几个显示面板的蒸镀过程出现问题时，可以仅将与相应的显示面板蒸镀出问题的精细金属掩膜板3拆卸，不需要整个全部拆卸，可以简化维修过程，同时可以降低成本。

更进一步地，如图2和图5所示，多个第二作业窗口211成多行多列排布，多个精细金属掩膜板3与多列第二作业窗口211一一对应，每个精细金属掩膜板3封挡每列第二作业窗口211中的多个第二作业窗口211，精细金属掩膜板3长度方向的两端与金属框架1的位于相邻的两个连接柱22之间的区域焊接连接。由此不仅可以简化掩膜板组件100的结构，还可以简化维修过程，同时可以降低成本。

当然，多个第二作业窗口211还可以成多行多列排布，多个精细金属掩膜板3与多行第二作业窗口211一一对应，每个精细金属掩膜板3封挡每行第二作业窗口211中的多个第二作业窗口211，精细金属掩膜板3长度方向的两端与金属框架1的位于相邻的两个连接柱22之间的区域焊接连接。

进一步地，如图2所示，沿第二作业窗口211的行延伸方向，相邻两列第二作业窗口211之间均设有两个沿第二作业窗口211的列延伸方向延伸的连接柱22，两个连接柱22分别位于第二作业窗口211列延伸方向的两端，位于第二作业窗口211的行延伸方向两端的位置均设有两个沿第二作业窗口211的列延伸方向延伸的连接柱22，两个连接柱22分别位于第二作业窗口211列延伸方向的两端。由此可以提高金属板2固定的可靠性，改善金属板2发生扭曲的现象。

更进一步地，如图2所示，沿第二作业窗口211的列延伸方向，相邻两行第二作业窗口211之间均设有两个沿第二作业窗口211的行延伸方向延伸的连接柱22，两个连接柱22分别位于第二作业窗口211行延伸方向的两端，位于第二作业窗口211的列延伸方向两端的位置均设有两个沿第二作业窗口211的行延伸方向延伸的连接柱22，两个连接柱22分别位于第二作业窗口211行延伸方向的两端。由此可以进一步提高金属板2固定的可靠性，改善金属板2发生扭曲的现象。

下面描述根据本发明实施例的制作掩膜板组件100的方法，其中掩膜板组件100为上述的掩膜板组件100，制作方法包括：

制作设有第一作业窗口11的金属框架1主体，在金属框架1主体上设置多个凹槽12，多个凹槽12沿第一作业窗口11的周向方向间隔设置；

制作本体21，并在本体21上设置第二作业窗口211，使得第二作业窗口211的外轮廓位于第一作业窗口11的外轮廓内，在本体21的外周缘设置多个连接柱22，多个连接柱22与多个凹槽12一一对应；

将精细金属掩膜板3与金属板2层叠设置且使得精细金属掩膜板3位于金属板2的远离金属框架1的一侧，将精细金属掩膜板3焊接在金属框架1的位于相邻两个连接柱22之间的区域上。

根据本发明实施例的制作掩膜板组件100的方法，通过在金属板2的本体21的外周缘设置多个间隔开的连接柱11，并在金属框架1上设置多个与连接柱22配合的凹槽12，可以使得连接柱22下沉到凹槽12内，可以降低精细金属掩膜板3与金属框架1之间的距离，便于精细金属掩膜板3焊接在金属框架1上，提高精细金属掩膜板3固定的可靠性，改善精细金属掩膜板3出现褶皱的情况。另外，可以避免精细金属掩膜板3上未设开口321的部分与本体21具有重叠区域，可以改善本体21与精细金属掩膜板3之间存在药液残留的情况。

另外，掩膜板组件100在蒸镀的过程中，金属板2会出现上下方向的波动，而使得精细金属掩膜板3仅与金属框架1的位于相邻的两个连接柱22之间的区域焊接连接而不与金属板2连接，可以改善金属板2的波动带动精细金属掩膜板3而导致精细金属掩膜板3出现褶皱的情况，提高掩膜板组件100工作的可靠性。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本发明的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (9)

1.一种掩膜板组件，其特征在于，包括：

金属框架，所述金属框架具有第一作业窗口；

金属板，所述金属板与所述金属框架层叠设置，所述金属板包括本体，所述本体与所述第一作业窗口相对且所述本体的外轮廓位于所述第一作业窗口的外轮廓内，所述本体上设有第二作业窗口，所述第二作业窗口的外轮廓位于所述第一作业窗口的外轮廓内，所述本体的外周缘设有多个连接柱，多个所述连接柱沿所述本体的周向方向间隔开，所述连接柱的至少部分与所述金属框架相对，所述金属框架上设有多个与所述连接柱配合的凹槽，多个所述凹槽与多个所述连接柱一一对应，所述连接柱位于所述凹槽内且与所述金属框架焊接连接，所述凹槽的深度为H，所述连接柱的厚度为h，且满足：H≥h；

精细金属掩膜板，所述精细金属掩膜板与所述金属板层叠设置且位于所述金属板的远离所述金属框架的一侧，所述精细金属掩膜板仅与所述金属框架的位于相邻的两个所述连接柱之间的区域焊接连接以封挡所述第二作业窗口。

2.根据权利要求1所述的掩膜板组件，其特征在于，所述本体的外轮廓与所述第一作业窗口的外轮廓相同，所述本体的外周壁与所述第一作业窗口的内周壁贴合。

3.根据权利要求1所述的掩膜板组件，其特征在于，所述第二作业窗口为间隔开的多个。

4.根据权利要求3所述的掩膜板组件，其特征在于，所述精细金属掩膜板为多个，每个所述精细金属掩膜板封挡至少一个所述第二作业窗口。

5.根据权利要求4所述的掩膜板组件，其特征在于，多个所述第二作业窗口成多行多列排布，多个所述精细金属掩膜板与多列所述第二作业窗口一一对应，每个所述精细金属掩膜板封挡每列所述第二作业窗口中的多个所述第二作业窗口，所述精细金属掩膜板长度方向的两端与所述金属框架的位于相邻的两个所述连接柱之间的区域焊接连接。

6.根据权利要求5所述的掩膜板组件，其特征在于，沿所述第二作业窗口的行延伸方向，相邻两列所述第二作业窗口之间均设有两个沿所述第二作业窗口的列延伸方向延伸的所述连接柱，两个所述连接柱分别位于所述第二作业窗口列延伸方向的两端，位于所述第二作业窗口的行延伸方向两端的位置均设有两个沿所述第二作业窗口的列延伸方向延伸的所述连接柱，两个所述连接柱分别位于所述第二作业窗口列延伸方向的两端。

7.根据权利要求6所述的掩膜板组件，其特征在于，沿所述第二作业窗口的列延伸方向，相邻两行所述第二作业窗口之间均设有两个沿所述第二作业窗口的行延伸方向延伸的所述连接柱，两个所述连接柱分别位于所述第二作业窗口行延伸方向的两端，位于所述第二作业窗口的列延伸方向两端的位置均设有两个沿所述第二作业窗口的行延伸方向延伸的所述连接柱，两个所述连接柱分别位于所述第二作业窗口行延伸方向的两端。

8.根据权利要求1所述的掩膜板组件，其特征在于，所述H和h满足：H-h≥10μm。

9.一种制作掩膜板组件的方法，其特征在于，所述掩膜板组件为根据权利要求1-8中任一项所述的掩膜板组件，所述制作方法包括：

制作设有第一作业窗口的金属框架主体，在所述金属框架主体上设置多个凹槽，多个所述凹槽沿所述第一作业窗口的周向方向间隔设置；

制作本体，并在所述本体上设置所述第二作业窗口，使得所述第二作业窗口的外轮廓位于所述第一作业窗口的外轮廓内，在所述本体的外周缘设置多个连接柱，多个所述连接柱与多个所述凹槽一一对应；

将精细金属掩膜板与所述金属板层叠设置且使得所述精细金属掩膜板位于所述金属板的远离所述金属框架的一侧，将所述精细金属掩膜板焊接在所述金属框架的位于相邻两个所述连接柱之间的区域上。

Images