CN111509016B - 掩膜版及其制作方法 - Google Patents
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Abstract
本申请提出了一种掩膜版及其制作方法,该掩膜版包括外框;位于该外框的中空区内的遮光构件,包括将该中空区划分为多个第一区的第一遮光条及第二遮光条;任一该第一遮光条包括多个重复设置的第一子遮光条,一该第一子遮光条与一该第一区对应,该第一子遮光条位于在该第一方向上的相邻两个该第一区之间;该第一子遮光条包括覆盖部分该第一区的第一突出部。本申请通过在横纵交错的第一遮光条及第二遮光条上设置多个该第一子遮光条和多个第二子遮光条,使得任一该第一区对应的该第一子遮光条在对应的准位上,避免了遮光条会因拉伸而导致该第一子遮光条及该第二子遮光条的偏移,提高了产品的良率。
Description
技术领域
本申请涉及显示领域,特别涉及一种掩膜版及其制作方法。
背景技术
在有机发光二极管(Organic Light Emitting Diode,OLED)显示面板的制造过程中,通常采用蒸镀工艺形成OLED显示面板中OLED器件的有机发光层。采用蒸镀工艺制造显示面板中的膜层时,通常将具有对应于膜层图案的掩膜版与显示面板的基板上待蒸镀的一侧贴合,并置于蒸镀源上方,蒸镀源中的蒸镀材料受热形成蒸气散至基板上,并沉积在基板上,以在基板上形成膜层。
现有的异形屏通常包括侧边圆角或者凹槽,因此在蒸镀工艺中需要利用对应形状的掩膜版对目标异形屏进行。现有的掩膜版由多个横纵交错的遮光条构成,一般通过在横向的遮光条上设置圆角或/和凸起以形成异常屏的外圆弧角或/和凹槽。其中,一横向遮光条包括多个重复设置的圆角或/和凸起,在横向遮光条与纵向遮光条配合时,横向遮光条会因为拉伸而导致圆角或/和凸起的偏移,使得产品的边界出现异常。
因此,目前亟需一种掩膜版以解决上述技术问题。
发明内容
本申请提供了一种掩膜版及其制作方法,以解决在异形屏的蒸镀工艺中掩膜版出现边界偏移的技术问题。
为解决上述问题,本申请提供的技术方案如下:
本申请提出了一种掩膜版,其包括:
外框,所述外框包括中空区;
位于所述中空区内的遮光构件,包括多个沿第一方向并列设置的所述第一遮光条、及多个沿第二方向并列设置的所述第二遮光条,多个所述第一遮光条及多个所述第二遮光条将所述中空区划分为多个第一区;
任一所述第一遮光条包括多个重复设置的第一子遮光条,一所述第一子遮光条与一所述第一区对应,所述第一子遮光条位于在所述第二方向上的相邻两个所述第一区之间;
其中,所述第一子遮光条包括覆盖部分所述第一区的第一突出部。
在本申请的掩膜版中,所述第一子遮光条还包括覆盖部分所述第一区的第二突出部;
所述第二突出部位于所述第一子遮光条上远离所述第一突出部的一侧;
或者,所述第二突出部与所述第一突出部位于所述第一子遮光条的同一侧。
在本申请的掩膜版中,所述第二突出部的面积小于或等于所述第一突出部的面积。
在本申请的掩膜版中,任一所述第一遮光条还包括多个重复设置的第二子遮光条,所述第二子遮光条与所述第一子遮光条间隔设置;
所述第二子遮光条位于所述第一遮光条与所述第二遮光条的重叠区域,所述第二子遮光条包括至少四个覆盖部分所述第一区的第三突出部,至少一所述第三突出部与一所述第一区对应。
在本申请的掩膜版中,所述掩膜版还包括多个第一支撑条和多个第二支撑条;
所述第一支撑条沿所述第一方向设置于所述中空区,第二支撑条沿所述第二方向设置于所述中空区,一所述第一支撑条与一所述第一子遮光条对应,一所述第二支撑条与一所述第二子遮光条对应,所述第一支撑条与所述第二支撑条构成支撑网,所述支撑网用于支撑所述遮光构件。
在本申请的掩膜版中,所述支撑网包括位于所述第一支撑条及所述第二支撑条内的连续的中空腔体;
所述中空腔体内填充有冷却流体;
所述支撑网还包括第一进口和第一出口;
所述冷却流体通过所述第一进口流入所述中空腔体,并通过所述第一出口流出所述中空腔体,对所述支撑网进行降温处理。
本申请还提出了一种掩膜版的制作方法,其包括:
提供一外框,所述外框包括中空区;
在所述中空区内设置多个沿第一方向并列设置的第一遮光条;
在所述中空区内设置多个沿第二方向并列设置的第二遮光条;
在任意相邻两个所述第一遮光条之间设置一第一金属条,所述第一金属条经图案化处理形成多个第一子遮光条;
其中,多个所述第一遮光条及多个所述第二遮光条将所述中空区划分为多个第一区,所述第一子遮光条在所述第一遮光条上重复设置;
一所述第一子遮光条与一所述第一区对应,所述第一子遮光条位于在所述第二方向上的相邻两个所述第一区之间,所述第一子遮光条包括覆盖部分所述第一区的第一突出部。
在本申请的掩膜版的制作方法中,所述掩膜版的制作方法还包括:
在任一所述第一遮光条上设置一覆盖所述第一遮光条的第二金属条,所述第二金属条经图案化处理形成多个第二子遮光条;
所述第二子遮光条与所述第一子遮光条间隔设置,所述第二子遮光条位于所述第一遮光条与所述第二遮光条的重叠区域,所述第二子遮光条包括至少四个覆盖部分所述第一区的第三突出部,至少一所述第三突出部与一所述第一区对应。
在本申请的掩膜版的制作方法中,在所述中空区内设置多个沿第一方向并列设置的第一遮光条之前,还包括:
在所述中空区内设置多个沿所述第一方向并列设置的第一支撑条;
在所述中空区内设置多个沿所述第二方向并列设置的第二支撑条;
其中,一所述第一支撑条与一所述第一子遮光条对应,一所述第二支撑条与一所述第二子遮光条对应,所述第一支撑条与所述第二支撑条构成支撑网,所述支撑网用于支撑所述遮光构件。
在本申请的掩膜版的制作方法中,
在任意相邻两个所述第一遮光条之间设置一第一金属条,所述第一金属条经图案化处理形成多个第一子遮光条的步骤包括:
通过焊接工艺在任意相邻两个所述第一遮光条之间设置一第一金属条;
通过切割工艺将任一所述第一金属条切割成多个第一子遮光条;
在任一所述第一遮光条上设置一覆盖所述第一遮光条的第二金属条,所述第二金属条经图案化处理形成多个第二子遮光条的步骤包括:
通过焊接工艺在任一所述第一遮光条上设置一覆盖所述第一遮光条的第二金属条;
通过切割工艺将任一所述第二金属条切割成多个第二子遮光条。
有益效果:本申请通过在横纵交错的第一遮光条及第二遮光条上设置多个所述第一子遮光条,使得任一该第一区对应的该第一子遮光条在对应的准位上,避免了遮光条会因拉伸而导致该第一子遮光条及该第二子遮光条的偏移,提高了产品的良率。
附图说明
下面结合附图,通过对本申请的具体实施方式详细描述,将使本申请的技术方案及其它有益效果显而易见。
图1为本申请掩膜版的俯视结构图;
图2为图1中区域A的第一种方法图;
图3为图1中区域A的第二种方法图;
图4为图1中区域A的第三种方法图;
图5为图1中区域A的第四种方法图;
图6为本申请掩膜版制作方法的步骤示意图;
图7为本申请掩膜版制作方法的第一种工艺图结构图;
图8为本申请掩膜版制作方法的第二种工艺图结构图。
具体实施方式
下面将结合本申请实施例中的附图,对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然,所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例,本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本申请保护的范围。
在本申请的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本申请和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本申请的限制。此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本申请的描述中,“多个”的含义是两个或两个以上,除非另有明确具体的限定。
在本申请的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接或可以相互通讯;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
在本申请中,除非另有明确的规定和限定,第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触,也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且,第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方,或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方,或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本申请的不同结构。为了简化本申请的公开,下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然,它们仅仅为示例,并且目的不在于限制本申请。此外,本申请可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母,这种重复是为了简化和清楚的目的,其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。此外,本申请提供了的各种特定的工艺和材料的例子,但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的应用和/或其他材料的使用。
现有的异形屏通常包括侧边圆角或者凹槽,因此在蒸镀工艺中需要利用对应形状的掩膜版对目标异形屏进行。现有的掩膜版由多个横纵交错的遮光条构成,一般通过在横向的遮光条上设置圆角或/和凸起以形成异常屏的外圆弧角或/和凹槽。其中,一横向遮光条包括多个重复设置的圆角或/和凸起,在横向遮光条与纵向遮光条配合时,横向遮光条会因为拉伸而导致圆角或/和凸起的偏移,使得产品的边界出现异常。本申请基于上述技术问题提出了下列技术方案。
请参阅图1~5,所述掩膜版100包括外框10及位于所述外框10上的遮光构件20。
所述外框10包括中空区,所述遮光构件20位于所述中空区内。本实施例中所述外框10可以呈回字形。
所述遮光构件20包括多个沿第一方向X并列设置的所述第一遮光条21、及多个沿第二方向Y并列设置的所述第二遮光条22,多个所述第一遮光条21及多个所述第二遮光条22将所述中空区划分为多个第一区301。
在本实施例中,所述第一方向X与所述第二方向Y垂直设置。
在本实施例中,所述第一遮光条21的数量及所述第二遮光条22的不作限定。
在本实施例中,任一所述第一遮光条21包括多个重复设置的第一子遮光条31,一所述第一子遮光条31与一所述第一区301对应,所述第一子遮光条31位于在所述第二方向Y上的相邻两个所述第一区301之间;
其中,所述第一子遮光条31包括覆盖部分所述第一区301的第一突出部311。
本申请通过在横纵交错的第一遮光条21及第二遮光条22上设置多个所述第一子遮光条31,使得任一该第一区301对应的该第一子遮光条31在对应的准位上,避免了遮光条会因拉伸而导致该第一子遮光条31及该第二子遮光条32的偏移,提高了产品的良率。
下面根据具体实施例对本申请的技术方案进行说明。
请参阅图3,所述第一子遮光条31还包括覆盖部分所述第一区301的第二突出部312。
在本实施例中,所述第一突出部311和所述第二突出部312可以呈凸起状。所述第一突出部311和所述第二突出部312可以根据用户的需要进行具体的设置,例如现有的水滴屏、刘海屏,其可以根据水滴、刘海的面积或弧形等对所述第一突出部311或/和第二突出部312进行具体设置。
在本实施例中,所述第二突出部312位于所述第一子遮光条31上远离所述第一突出部311的一侧。一所述第一子遮光条31对应相邻两个所述第一区301。而所述第一突出部311与所述第二突出的面积可以任意设置以满足不同的需求。
请参阅图4,所述第二突出部312与所述第一突出部311位于所述第一子遮光条31的同一侧。在现有的产品中,显示面板可能出现多个水滴或刘海等凹槽以防止摄像头、传感器、闪光灯等。
在图3或图4的实施例中,所述第二突出部312的面积小于或等于所述第一突出部311的面积。或者,所述第二突出部312的面积大于所述第一突出部311的面积。所述第一突出部311或所述第二突出部312的具体面积可以根据具体情况进行设置。
请参阅图5,任一所述第一遮光条21还包括多个重复设置的第二子遮光条32,所述第二子遮光条32与所述第一子遮光条31间隔设置。
在本实施例中,所述第二子遮光条32位于所述第一遮光条21与所述第二遮光条22的重叠区域,所述第二子遮光条32包括至少四个覆盖部分所述第一区301的第三突出部321,至少一所述第三突出部321与一所述第一区301对应。
由于用户对产品的外面逐渐重视,传统的显示面板的直角边无法满足用户的审美需求。而根据用户的需求,可以将显示面板的直角边转换成圆弧边等其他形状。本申请所述第二突出部312的外边界形状此处不作具体限定,其可以根据用户需求进行个性化设置。
在上述实施例中,本申请可以通过焊接等工艺将所述第一子遮光条31和所述第二子遮光条32固定在对应的所述第一遮光条21和所述第二遮光条22上,避免了遮光条会因拉伸而导致该第一子遮光条31及该第二子遮光条32的偏移,提高了产品的良率。
在上述实施例中,所述掩膜版还可以包括多个第一支撑条(未示出)和多个第二支撑条(未示出)。所述第一支撑条沿所述第一方向X设置于所述中空区,第二支撑条沿所述第二方向Y设置于所述中空区,一所述第一支撑条与一所述第一子遮光条31对应,一所述第二支撑条与一所述第二子遮光条32对应,所述第一支撑条与所述第二支撑条构成支撑网,所述支撑网用于支撑所述遮光构件20。
在上述实施例中,所述第一支撑条和所述第二支撑条可以通过卡槽或者焊接等工艺将所述第一支撑条和所述第二支撑条固定在所述外框10上。为了防止所述第一遮光条21及所述第二遮光条22的变形,所述第一支撑条和所述第二支撑条的厚度大于对应的所述第一遮光条21及所述第二遮光条22。
在上述实施例中,所述支撑网还可以包括位于所述第一支撑条及所述第二支撑条内的连续的中空腔体(未示出)。
在一种实施例中,所述中空腔体内可以填充有冷却流体。
在一种实施例中,所述冷却流体可以为低温液体或低温空气。
在一种实施例中,所述支撑网还包括第一进口(未示出)和第一出口(未示出)。
所述冷却流体通过所述第一进口流入所述中空腔体,并通过所述第一出口流出所述中空腔体,对所述支撑网进行降温处理。
在一种实施例中,所述第一进口及所述第一出口可以位于所述支撑网的同一侧或不同侧。
在蒸镀工艺中,所述冷却流体可以在所述中空腔体内形成一循环冷却系统,将所述支撑网中的高温带走,使所述第一遮光条21及所述第二遮光条22保持一定的温度,避免了因遮光条受热膨胀使得蒸镀工艺中受蒸镀区域变小的技术问题。
请参阅图6,本申请还提出了一种掩膜版的制作方法,其包括:
S10、提供一外框10,所述外框10包括中空区;
请参阅图1~5,所述外框10可以呈回字形。
S20、在所述中空区内设置多个沿第一方向X并列设置的第一遮光条21;
S30、在所述中空区内设置多个沿第二方向Y并列设置的第二遮光条22;
请参阅图1~5,多个所述第一遮光条21及多个所述第二遮光条22将所述中空区划分为多个第一区301。相邻两个所述第一区301的面积可以相等或不等,具体面积可以根据用户需要进行限定。
S40、在任意相邻两个所述第一遮光条21之间设置一第一金属条310,所述第一金属条经图案化处理形成多个第一子遮光条31;
请参阅图7,步骤S40可以包括:
S41、通过焊接工艺在任意相邻两个所述第一遮光条21之间设置一第一金属条;
S42、通过切割工艺将任一所述第一金属条310切割成多个第一子遮光条31。
在本实施例中,通过步骤S41和步骤S42将图7所示的图案图案化处理,以形成图2~图5中任一所述第一子遮光条31的形状。
在本实施例中,所述第一子遮光条31可以在所述第一遮光条21上重复设置。
一所述第一子遮光条31与一所述第一区301对应,所述第一子遮光条31位于在所述第二方向Y上的相邻两个所述第一区301之间,所述第一子遮光条31包括覆盖部分所述第一区301的第一突出部311。
请参阅图3,所述第一子遮光条31还包括覆盖部分所述第一区301的第二突出部312。
在本实施例中,所述第一突出部311和所述第二突出部312可以呈凸起状。所述第一突出部311和所述第二突出部312可以根据用户的需要进行具体的设置,例如现有的水滴屏、刘海屏,其可以根据水滴、刘海的面积或弧形等对所述第一突出部311或/和第二突出部312进行具体设置。
在本实施例中,所述第二突出部312位于所述第一子遮光条31上远离所述第一突出部311的一侧。一所述第一子遮光条31对应相邻两个所述第一区301。而所述第一突出部311与所述第二突出的面积可以任意设置以满足不同的需求。
请参阅图4,所述第二突出部312与所述第一突出部311位于所述第一子遮光条31的同一侧。在现有的产品中,显示面板可能出现多个水滴或刘海等凹槽以防止摄像头、传感器、闪光灯等。
在图3或图4的实施例中,所述第二突出部312的面积小于或等于所述第一突出部311的面积。或者,所述第二突出部312的面积大于所述第一突出部311的面积。所述第一突出部311或所述第二突出部312的具体面积可以根据具体情况进行设置。
在本实施例中,所述掩膜版的制作方法还包括:
S50、在任一所述第一遮光条21上设置一覆盖所述第一遮光条21的第二金属条,所述第二金属条320经图案化处理形成多个第二子遮光条32;
请参阅图8,步骤S50可以包括:
S51、通过焊接工艺在任一所述第一遮光条21上设置一覆盖所述第一遮光条21的第二金属条;
S52、通过切割工艺将任一所述第二金属条320切割成多个第二子遮光条32。
在本步骤中,通过步骤S51和步骤S52将图8所示的图案图案化处理,以形成图2~图5中任一所述第二子遮光条32的形状。
在本实施例中,所述第二子遮光条32与所述第一子遮光条31间隔设置,所述第二子遮光条32位于所述第一遮光条21与所述第二遮光条22的重叠区域,所述第二子遮光条32包括至少四个覆盖部分所述第一区301的第三突出部321,至少一所述第三突出部321与一所述第一区301对应。
由于用户对产品的外面逐渐重视,传统的显示面板的直角边无法满足用户的审美需求。而根据用户的需求,可以将显示面板的直角边转换成圆弧边等其他形状。本申请所述第二突出部312的外边界形状此处不作具体限定,其可以根据用户需求进行个性化设置。
在上述实施例中,本申请可以通过焊接等工艺将所述第一子遮光条31和所述第二子遮光条32固定在对应的所述第一遮光条21和所述第二遮光条22上,避免了遮光条会因拉伸而导致该第一子遮光条31及该第二子遮光条32的偏移,提高了产品的良率。
在上述步骤中,在所述中空区内设置多个沿第一方向X并列设置的第一遮光条21之前,还包括步骤:
在所述中空区内设置多个沿所述第一方向X并列设置的第一支撑条;
在所述中空区内设置多个沿所述第二方向Y并列设置的第二支撑条;
其中,一所述第一支撑条与一所述第一子遮光条31对应,一所述第二支撑条与一所述第二子遮光条32对应,所述第一支撑条与所述第二支撑条构成支撑网,所述支撑网用于支撑所述遮光构件20。
在本实施例中,所述第一支撑条和所述第二支撑条可以通过卡槽或者焊接等工艺将所述第一支撑条和所述第二支撑条固定在所述外框10上。为了防止所述第一遮光条21及所述第二遮光条22的变形,所述第一支撑条和所述第二支撑条的厚度大于对应的所述第一遮光条21及所述第二遮光条22。
在上述步骤中,所述掩膜版100的制作方法还可以包括:
在所述第一支撑条与所述第二支撑条内设置连续的中空腔体。
在本实施例中,所述中空腔体内可以填充有冷却流体。
在本实施例中,所述冷却流体可以为低温液体或低温空气。
在本实施例中,所述支撑网还包括第一进口和第一出口。
所述冷却流体通过所述第一进口流入所述中空腔体,并通过所述第一出口流出所述中空腔体,对所述支撑网进行降温处理。
在本实施例中,所述第一进口及所述第一出口可以位于所述支撑网的同一侧或不同侧。
本申请提出了一种掩膜版及其制作方法,该掩膜版包括外框;位于该外框的中空区内的遮光构件,包括将该中空区划分为多个第一区的第一遮光条及第二遮光条;任一所述第一遮光条包括多个重复设置的第一子遮光条,一所述第一子遮光条与一所述第一区对应,所述第一子遮光条位于在所述第二方向上的相邻两个所述第一区之间;所述第一子遮光条包括覆盖部分所述第一区的第一突出部。本申请通过在横纵交错的第一遮光条及第二遮光条上设置多个所述第一子遮光条和多个第二子遮光条,使得任一该第一区对应的该第一子遮光条在对应的准位上,避免了遮光条会因拉伸而导致该第一子遮光条及该第二子遮光条的偏移,提高了产品的良率。
在上述实施例中,对各个实施例的描述都各有侧重,某个实施例中没有详述的部分,可以参见其他实施例的相关描述。
以上对本申请实施例所提供的一种电子装置进行了详细介绍,本文中应用了具体个例对本申请的原理及实施方式进行了阐述,以上实施例的说明只是用于帮助理解本申请的技术方案及其核心思想;本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换;而这些修改或者替换,并不使相应技术方案的本质脱离本申请各实施例的技术方案的范围。
Claims (9)
1.一种掩膜版,其特征在于,包括:
外框,所述外框包括中空区;
位于所述中空区内的遮光构件,包括多个沿第一方向并列设置的第一遮光条、及多个沿第二方向并列设置的第二遮光条,多个所述第一遮光条及多个所述第二遮光条将所述中空区划分为多个第一区;
任一所述第一遮光条包括多个重复设置的第一子遮光条,一所述第一子遮光条与一所述第一区对应,所述第一子遮光条位于在所述第二方向上的相邻两个所述第一区之间;
其中,所述第一子遮光条包括覆盖部分所述第一区的第一突出部;
所述掩膜版还包括多个第一支撑条和多个第二支撑条,所述第一支撑条与所述第二支撑条构成支撑网,所述支撑网用于支撑所述遮光构件;
所述支撑网包括位于所述第一支撑条及所述第二支撑条内的连续的中空腔体;
所述中空腔体内填充有冷却流体;
所述支撑网还包括第一进口和第一出口;
所述冷却流体通过所述第一进口流入所述中空腔体,并通过所述第一出口流出所述中空腔体,对所述支撑网进行降温处理。
2.根据权利要求1所述的掩膜版,其特征在于,
所述第一子遮光条还包括覆盖部分所述第一区的第二突出部;
所述第二突出部位于所述第一子遮光条上远离所述第一突出部的一侧;
或者,所述第二突出部与所述第一突出部位于所述第一子遮光条的同一侧。
3.根据权利要求2所述的掩膜版,其特征在于,
所述第二突出部的面积小于或等于所述第一突出部的面积。
4.根据权利要求1所述的掩膜版,其特征在于,
任一所述第一遮光条还包括多个重复设置的第二子遮光条,所述第二子遮光条与所述第一子遮光条间隔设置;
所述第二子遮光条位于所述第一遮光条与所述第二遮光条的重叠区域,所述第二子遮光条包括至少四个覆盖部分所述第一区的第三突出部,至少一所述第三突出部与一所述第一区对应。
5.根据权利要求4所述的掩膜版,其特征在于,
所述第一支撑条沿所述第一方向设置于所述中空区,第二支撑条沿所述第二方向设置于所述中空区,一所述第一支撑条与一所述第一子遮光条对应,一所述第二支撑条与一所述第二子遮光条对应。
6.一种掩膜版的制作方法,用于制作如权利要求1至5任一项所述的掩膜版,其特征在于,包括:
提供一外框,所述外框包括中空区;
在所述中空区内设置多个沿第一方向并列设置的第一遮光条;
在所述中空区内设置多个沿第二方向并列设置的第二遮光条;
在任意相邻两个所述第一遮光条之间设置一第一金属条,所述第一金属条经图案化处理形成多个第一子遮光条;
其中,多个所述第一遮光条及多个所述第二遮光条将所述中空区划分为多个第一区,所述第一子遮光条在所述第一遮光条上重复设置;
一所述第一子遮光条与一所述第一区对应,所述第一子遮光条位于在所述第二方向上的相邻两个所述第一区之间,所述第一子遮光条包括覆盖部分所述第一区的第一突出部。
7.根据权利要求6所述的掩膜版的制作方法,其特征在于,所述掩膜版的制作方法还包括:
在任一所述第一遮光条上设置一覆盖所述第一遮光条的第二金属条,所述第二金属条经图案化处理形成多个第二子遮光条;
所述第二子遮光条与所述第一子遮光条间隔设置,所述第二子遮光条位于所述第一遮光条与所述第二遮光条的重叠区域,所述第二子遮光条包括至少四个覆盖部分所述第一区的第三突出部,至少一所述第三突出部与一所述第一区对应。
8.根据权利要求7所述的掩膜版的制作方法,其特征在于,在所述中空区内设置多个沿第一方向并列设置的第一遮光条之前,还包括:
在所述中空区内设置多个沿所述第一方向并列设置的第一支撑条;
在所述中空区内设置多个沿所述第二方向并列设置的第二支撑条;
其中,一所述第一支撑条与一所述第一子遮光条对应,一所述第二支撑条与一所述第二子遮光条对应,所述第一支撑条与所述第二支撑条构成支撑网,所述支撑网用于支撑所述遮光构件。
9.根据权利要求7所述的掩膜版的制作方法,其特征在于,
在任意相邻两个所述第一遮光条之间设置一第一金属条,所述第一金属条经图案化处理形成多个第一子遮光条的步骤包括:
通过焊接工艺在任意相邻两个所述第一遮光条之间设置一第一金属条;
通过切割工艺将任一所述第一金属条切割成多个第一子遮光条;
在任一所述第一遮光条上设置一覆盖所述第一遮光条的第二金属条,所述第二金属条经图案化处理形成多个第二子遮光条的步骤包括:
通过焊接工艺在任一所述第一遮光条上设置一覆盖所述第一遮光条的第二金属条;
通过切割工艺将任一所述第二金属条切割成多个第二子遮光条。
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