KR20220078007A - 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법 - Google Patents

표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 표시 장치의 제조장치와 표시 장치의 제조방법을 개시한다. 본 발명은, 개구영역을 구비한 마스크 프레임과, 상기 개구영역의 제1개구영역을 차폐하도록 배치되며, 적어도 하나 이상의 제1개구부를 구비한 제1마스크 시트와, 상기 개구영역의 제2개구영역을 차페하도록 배치되며, 적어도 하나 이상의 제2개구부를 구비한 제2마스크 시트를 포함하고, 상기 제1개구부와 상기 제2개구부의 크기는 서로 상이하다.

Description

표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법{Apparatus and method for manufacturing a display device}
본 발명의 실시예들은 장치 및 방법에 관한 것으로서, 더 상세하게는 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법에 관한 것이다.
이동성을 기반으로 하는 전자 기기가 폭 넓게 사용되고 있다. 이동용 전자 기기로는 모바일 폰과 같은 소형 전자 기기 이외에도 최근 들어 태블릿 PC가 널리 사용되고 있다.
이와 같은 이동형 전자 기기는 다양한 기능을 지원하기 위하여, 이미지 또는 영상과 같은 시각 정보를 사용자에게 제공하기 위하여 표시장치를 포함한다. 최근, 표시장치를 구동하기 위한 기타 부품들이 소형화됨에 따라, 표시부가 전자 기기에서 차지하는 비중이 점차 증가하고 있는 추세이며, 평평한 상태에서 소정의 각도를 갖도록 구부릴 수 있는 구조도 개발되고 있다.
또한, 상기와 같은 표시 장치는 미용 시장이나 의료 시장에 이용될 수 있다. 이러한 경우 표시 장치는 하나의 빛을 외부로 방출할 수 있다.
상기와 같은 다양한 기능을 구현하는 표시 장치의 경우 종류에 따라 서로 상이한 방법 및 장치으로 제조됨으로써 제조 공정이 복잡해지고 제조 시간이 증가할 수 있다.
일반적으로 하나의 목적을 갖는 표시 장치의 경우 다른 목적을 갖는 표시장치와 구조가 상이함으로써 별도로 제작하여야 한다. 이러한 경우 제조 공정에서 사용되는 기판이 많이 소요될 수 있다. 또한, 목적에 맞는 표시 장치를 제조하기 위하여 제조장치를 별도로 제작하여야 하는 문제가 있다. 본 발명의 실시예들은 다양한 목적을 갖는 표시 장치를 동시에 제조하는 것이 가능한 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법을 제공한다.
본 발명의 일 실시예는 개구영역을 구비한 마스크 프레임과, 상기 개구영역의 제1개구영역을 차폐하도록 배치되며, 적어도 하나 이상의 제1개구부를 구비한 제1마스크 시트와, 상기 개구영역의 제2개구영역을 차페하도록 배치되며, 적어도 하나 이상의 제2개구부를 구비한 제2마스크 시트를 포함하고, 상기 제1개구부와 상기 제2개구부의 크기는 서로 상이한 마스크 조립체를 개시한다.
본 실시예에 있어서, 상기 마스크 프레임에 배치되며, 상기 제2개구영역을 적어도 2개 이상의 제3개구영역으로 구분하는 스틱을 구비할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 스틱은, 제1 방향으로 배열되는 제1스틱과, 제2방향으로 배열되며, 상기 제1스틱과 연결되는 제2스틱을 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제2스틱은 복수개 구비되며, 상기 복수개의 제2스틱 중 하나의 폭과 상기 복수개의 제2스틱 중 다른 하나의 폭은 서로 상이할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제2스틱은 복수개 구비되며, 상기 제2스틱 중 하나를 중심으로 복수개의 제2스틱의 나머지는 서로 대칭되도록 배치될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1스틱은, 상기 제2스틱의 끝단과 결합하는 결합부재가 삽입되는 결합부를 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 마스크 프레임은, 상기 스틱의 끝단과 결합하는 결합부재가 삽입되는 프레임결합부를 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 스틱의 길이 방향과 수직한 상기 스틱의 단면 형상은 삼각형일 수 있다.
본 발명의 다른 실시예는, 개구영역을 구비한 마스크 프레임과, 상기 개구영역의 제1개구영역을 차폐하도록 배치되며, 적어도 하나 이상의 제1개구부를 구비한 제1마스크 시트와, 상기 개구영역의 제2개구영역을 차페하도록 배치되는 제2마스크 시트를 포함하는 마스크 조립체를 개시한다.
본 발명의 또 다른 실시예는, 개구영역을 구비한 마스크 프레임과, 상기 개구영역을 차폐하도록 배치되며, 적어도 하나 이상의 제1개구부 및 적어도 하나 이상의 제2개구부를 구비한 복수개의 마스크 시트를 포함하고, 상기 제1개구부와 상기 제2개구부의 크기는 서로 상이한 마스크 조립체를 개시한다.
본 실시예에 있어서, 서로 인접하는 상기 각 마스크 시트의 상기 제1개구부는 상기 각 마스크 시트의 서로 동일한 부분에 배치될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 서로 인접하는 상기 각 마스크 시트의 상기 제1개구부는 상기 각 마스크 시트의 서로 상이한 부분에 배치될 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예는 마스크 조립체와, 마스크 조립체와 대향하도록 배치되어 디스플레이 기판으로 증착물질을 공급하는 증착원을 포함하는 표시 장치의 제조장치를 개시한다.
본 발명의 또 다른 실시예는, 디스플레이 기판과 마스크 조립체를 배치하는 단계와, 상기 디스플레이 기판과 상기 마스크 조립체를 얼라인하는 단계와, 증착물질을 상기 마스크 조립체의 제1개구부를 통과하여 상기 디스플레이 기판의 제1영역에 배치된 적어도 하나 이상의 제1평면영역 및 상기 마스크 조립체의 제2개구부를 통과하여 디스플레이 기판의 제2영역에 배치된 적어도 하나 이상의 제2평면영역에 증착시키거나 상기 제1영역에만 상기 증착물질을 증착시키는 단계를 포함하고, 상기 제1평면영역의 면적과 상기 제2평면영역의 면적이 서로 상이한 표시 장치의 제조방법을 개시한다.
본 실시예에 있어서, 상기 디스플레이 기판 또는 상기 마스크 조립체 중 하나를 상기 디스플레이 기판 또는 상기 마스크 조립체 중 다른 하나를 기준으로 일 방향으로 일정 거리 이동시킨 후 상기 증착물질을 상기 디스플레이 기판에 증착하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1영역에 상기 증착물질의 증착 시 상기 제2영역에 상기 증착물질이 증착되는 것을 차단하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1영역에는 적어도 2개 이상의 색을 발광하는 발광층을 형성하고, 상기 제2영역에는 단일의 색을 발광하는 발광층을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 마스크 조립체는, 마스크 프레임과, 상기 마스크 프레임에 배치된 마스크 시트를 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 마스크 시트는 복수개 구비되며, 상기 제1개구부를 구비한 상기 마스크 시트는 상기 제2개구부를 구비한 상기 마스크 시트와 서로 인접하도록 배치될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1개구부와 상기 제2개구부는 동일한 상기 마스크 시트에 배치될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 마스크 조립체는, 상기 마스크 프레임에 배치되어 상기 마스크 프레임의 개구영역을 적어도 2개 이상의 개구영역으로 구분하는 스틱을 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 스틱은, 제1방향으로 배열된 제1스틱과, 제2방향으로 배열되며, 상기 제1스틱과 연결되는 제2스틱을 포함할 수 있다.
본 실시예 있어서, 상기 스틱의 길이 방향과 수직한 상기 스틱의 단면 형상은 삼각형일 수 있다.
전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점이 이하의 도면, 특허청구범위 및 발명의 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다.
이러한 일반적이고 구체적인 측면이 시스템, 방법, 컴퓨터 프로그램, 또는 어떠한 시스템, 방법, 컴퓨터 프로그램의 조합을 사용하여 실시될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 관한 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법은 신속하면서 정확하게 다양한 목적을 갖는 표시 장치의 제조가 가능하다.
본 발명의 실시예들에 관한 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법은 신속하게 표시 장치를 제조하는 것이 가능하다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치를 보여주는 평면도이다.
도 2는 도 1에서 사용되는 공정기판을 보여주는 평면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치를 보여주는 평면도이다.
도 4는 도 3의 화소의 단면을 보여주는 단면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 광조사장치를 보여주는 사시도이다.
도 6은 도 5에 도시된 표시 장치를 보여주는 평면도이다.
도 7은 도 6의 C-C'선을 따라 취한 단면도이다.
도 8은 도 1에 도시된 제1증착부를 보여주는 단면도이다.
도 9는 도 8에 도시된 제1마스크 조립체를 보여주는 사시도이다.
도 10은 도 9에 도시된 제1마스크 조립체를 보여주는 평면도이다.
도 11은 도 2에 도시된 공정기판의 일부를 보여주는 평면도이다.
도 12는 본 발명의 실시예들에 따른 공정기판의 증착확인부의 일 실시예를 보여주는 평면도이다.
도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 방법을 보여주는 평면도이다.
도 14는 본 발명의 실시예들에 따른 공정기판의 증착확인부의 다른 실시예를 보여주는 평면도이다.
도 15는 본 발명의 다른 실시예에 따른 증착 방법을 보여주는 평면도이다.
도 16a 내지 도 16c는 도 13 또는 도 15에 도시된 증착방법을 통해 공정기판에 증착물질을 증착하는 순서를 보여주는 단면도이다.
도 17은 도 1에 도시된 제2-1증착부의 제2-1마스크 조립체를 보여주는 평면도이다.
도 18은 도 1에 도시된 제2-2증착부의 제2-2마스크 조립체 또는 제2-3증착부의 제2-3마스크 조립체를 보여주는 평면도이다.
도 19는 도 1에 도시된 제3증착부의 제3마스크 조립체를 보여주는 평면도이다.
도 20은 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치의 마스크 조립체의 일부를 보여주는 평면도이다.
도 21a 내지 도 21c는 도 20에 도시된 마스크 프레임과 제1스틱의 연결관계의 실시예들을 보여주는 측면도이다.
도 22a 내지 도 22d는 도 20에 도시된 제1스틱과 제2스틱의 연결관계의 실시예들을 보여주는 측면도이다.
도 23은 도 20에 도시된 제1스틱과 제2스틱 및 제2스틱과 마스크 프레임의 연결관계를 보여주는 단면도이다.
도 24는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치의 마스크 조립체의 일부를 보여주는 평면도이다.
도 25는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치의 마스크 조립체의 일부를 보여주는 평면도이다.
도 26은 또 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치의 마스크 조립체의 일부를 보여주는 평면도이다.
도 27a는 또 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치의 마스크 조립체의 일부를 보여주는 평면도이다.
도 27b는 도 27a에 도시된 마스크 조립체의 일부를 보여주는 평면도이다.
도 28은 또 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치의 제1마스크 시트의 일부를 보여주는 평면도이다.
도 29는 또 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치의 제1마스크 시트의 일부를 보여주는 평면도이다.
도 30은 도 5에 도시된 광조사장치의 표시 장치의 다른 실시예를 보여주는 단면도이다.
도 31은 도 5에 도시된 광조사장치의 표시 장치의 또 다른 실시예를 보여주는 단면도이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
이하의 실시예에서, 제1, 제2 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다.
이하의 실시예에서, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
이하의 실시예에서, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다.
이하의 실시예에서, 막, 영역, 구성 요소 등의 부분이 다른 부분 위에 또는 상에 있다고 할 때, 다른 부분의 바로 위에 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 있는 경우도 포함한다.
도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
이하의 실시예에서, x축, y축 및 z축은 직교 좌표계 상의 세 축으로 한정되지 않고, 이를 포함하는 넓은 의미로 해석될 수 있다. 예를 들어, x축, y축 및 z축은 서로 직교할 수도 있지만, 서로 직교하지 않는 서로 다른 방향을 지칭할 수도 있다.
어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치를 보여주는 평면도이다.
도 1을 참고하면, 표시 장치의 제조장치(2)는 로딩부(100), 제1증착부(200), 제2증착부(300), 제3증착부(400), 언로딩부(600) 및 개폐부(700)를 포함할 수 있다.
로딩부(100)는 공정기판(MS)이 외부로부터 진입하고 진입한 공정기판(MS)을 제1증착부(200)로 이송 시킬 수 있다. 이때, 도면에 도시되어 있지는 않지만 로딩부(100) 내부 또는 로딩부(100)의 외부에 로봇암 등이 배치되어 공정기판(MS)을 이동시킬 수 있다.
제1증착부(200)는 로딩부(100)에 공급되는 공정기판(MS) 상에 후술할 하부보조층을 형성할 수 있다. 이때, 제1증착부(200)는 공정기판(MS)의 적어도 2부분에 서로 상이한 패턴으로 하부보조층을 형성할 수 있다.
제2증착부(300)는 제2-1증착부(300-1), 제2-2증착부(300-2) 및 제2-3증착부(300-3)를 포함할 수 있다. 이때, 제2-1증착부(300-1), 제2-2증착부(300-2) 및 제2-3증착부(300-3)는 각각 서로 다른 유기 발광층을 형성할 수 있다. 예를 들면, 제2-1증착부(300-1), 제2-2증착부(300-2) 및 제2-3증착부(300-3) 중 하나는 빨간색, 녹색 및 파란색 중 하나의 색을 발광하는 유기 발광층을 공정기판(MS) 상에 형성할 수 있다. 제2-1증착부(300-1), 제2-2증착부(300-2) 및 제2-3증착부(300-3) 중 다른 하나는 빨간색, 녹색 및 파란색 중 다른 하나의 색을 발광하는 유기 발광층을 공정기판(MS) 상에 형성할 수 있다. 또한, 제2-1증착부(300-1), 제2-2증착부(300-2) 및 제2-3증착부(300-3) 중 또 다른 하나는 빨간색, 녹색 및 파란색 중 또 다른 하나의 색을 발광하는 유기 발광층을 공정기판(MS) 상에 형성할 수 있다. 상기와 같은 경우 제2-1증착부(300-1), 제2-2증착부(300-2) 및 제2-3증착부(300-3)에서 증착하는 유기 발광층은 공정기판(MS)의 각각 상이한 부분에 배치될 수 있다. 이하에서는 설명이 편의를 위하여 제2-1증착부(300-1)는 빨간색을 발광하는 유기 발광층을 공정기판(MS) 상에 형성하고, 제2-2증착부(300-2)는 녹색을 발광하는 유기 발광층을 공정기판(MS) 상에 형성하며, 제2-3증착부(300-3)는 파란색을 발광하는 유기 발광층을 공정기판(MS) 상에 형성하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
제3증착부(400)는 유기 발광층 상에 상부보조층을 형성할 수 있다. 제3증착부(400)는 공정기판(MS)을 제2증착부(300)에서 공급받을 수 있다.
언로딩부(600)는 제3증착부(400)에서 증착이 완료된 후 공정기판(MS)을 일시적으로 저장하였다가 언로딩부(600)의 외부로 반출시킬 수 있다. 이때, 언로딩부(600)의 내부 또는 언로딩부(600)의 외부에는 로봇암 등이 배치될 수 있다.
개폐부(700)는 상기에서 설명한 로딩부(100)와 제1증착부(200) 사이, 각 증착부 사이 및 제3증착부(400)와 언로딩부(600) 사이에 배치될 수 있다. 이러한 경우 개폐부(700)는 게이트밸브를 포함할 수 있다. 이때, 개폐부(700)는 선택적으로 로딩부(100)와 제1증착부(200) 사이, 각 증착부 사이 및 제3증착부(400)와 언로딩부(600) 사이를 차단시키거나 개방할 수 있다.
상기와 같은 표시 장치의 제조장치(2)는 도면에 도시되어 있지 않지만, 로딩부(100), 각 증착부 및 각 언로딩부(600)는 로딩부(100), 각 증착부 및 각 언로딩부(600) 각각의 내부의 압력을 조절할 수 있는 압력조절부를 구비할 수 있다. 또한, 도면에 도시되어 있지는 않지만, 제1증착부(200) 및 제2증착부(300)는 각각 복수개 구비될 수 있다. 이러한 경우 하부보조층은 복수개의 층으로 형성될 수 있으며, 각 제1증착부(200)에서 각 하부보조층을 형성할 수 있다. 또한, 상부보조층은 복수개의 층으로 형성될 수 있으며, 각 제2증착부(300)에서 각 상부보조층을 형성할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1증착부(200)와 제2증착부(300)는 하나만 구비되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
한편, 표시 장치의 제조장치(2)는 제3증착부(400)와 언로딩부(600) 사이에 배치되는 제4증착부(500)를 더 포함할 수 있다. 이러한 경우 제4증착부(500)는 상부보조층 상에 대향전극을 형성할 수 있다. 다른 실시예로서 제4증착부(500)는 언로딩부(600)와 연결되어 언로딩부(600)에서 반출되는 공정기판(MS)을 수납하여 공정기판(MS) 상에 대향전극을 형성하는 것도 가능하다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제4증착부(500)는 제3증착부(400)와 연결되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
또한, 도면에 도시되어 있지는 않지만 표시 장치의 제조장치(2)는 제4증착부(500)와 연결되어 대향전극 상에 보호층을 형성하는 제5증착부(미도시)를 더 포함하는 것도 가능하다. 이러한 경우 상기 제5증착부는 제4증착부(500)와 언로딩부(600) 사이에 배치될 수 있다. 다른 실시예로서 상기 제5증착부는 언로딩부(600)와 연결되어 언로딩부(600)에서 반출된 공정기판(MS) 상에 보호층을 형성하는 것도 가능하다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 상기 제5증착부는 언로딩부(600)의 외부에 배치되어 언로딩부(600)에 연결되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
상기와 같은 표시 장치의 제조장치(2)는 로딩부(100), 각 증착부 및 언로딩부(600)를 관통하여 공정기판(MS)을 이동시키는 셔틀(미도시)을 더 포함할 수 있다.
이때, 셔틀은 공정기판(MS)을 고정시키는 정전척 또는 점착척을 포함할 수 있다. 또한, 셔틀은 자기부상 구조를 갖는 레일 상에 비접촉 방식으로 배치되어 이동할 수 있다. 이러한 레일은 로딩부(100), 각 증착부 및 언로딩부(600)에 각각 배치되어 셔틀의 이동을 가이드할 수 있다.
한편, 상기와 같은 표시 장치의 제조장치(2)의 작동을 살펴보면, 로딩부(100)의 외부에서 공정기판(MS)이 로딩부(100)로 공급되면, 로딩부(100)에서 공정기판(MS)을 셔틀에 고정시킬 수 있다.
이후 셔틀은 로딩부(100)에서 제1증착부(200)로 공정기판(MS)을 이동시키고, 제1증착부(200)는 하부보조층을 형성할 수 있다. 또한, 제2증착부(300)는 하부보조층 상에 유기 발광층을 형성할 수 있다. 이때, 제2-1증착부(300-1), 제2-2증착부(300-2) 및 제2-3증착부(300-3)에서는 서로 다른 유기 발광층을 형성할 수 있다. 이러한 경우 공정기판(MS)의 일부에는 세가지 색의 유기 발광층이 서로 이격되도록 형성될 수 있으며, 공정기판(MS)의 다른 일부에는 하나의 색의 유기 발광층이 서로 이격되도록 형성될 수 있다. 즉, 공정기판(MS)의 일부에는 세가지 색을 발광하는 화소가 형성되는 반면, 공정기판(MS)의 일부에는 하나의 색만을 발광하는 화소가 형성될 수 있다. 이와 관련하여서는 하기에서 상세히 설명하기로 한다.
상기와 같이 유기 발광층이 형성되면, 유기 발광층 상에 상부보조층을 형성할 수 있다. 이때, 제2-3증착부(300-3)에서 증착이 완료되면, 공정기판(MS)을 제3증착부(400)로 이송할 수 있다.
상부보조층이 형성되면, 셔틀은 공정기판(MS)을 대향전극을 형성하기 위하여 제3증착부(400)에서 제4증착부(500)로 이송할 수 있다. 또한, 대향전극을 형성한 후 셔틀은 공정기판(MS)을 제4증착부(500)에서 언로딩부(600)로 이송할 수 있다. 언로딩부(600)에서 반출된 공정기판(MS)은 상기 제5증착부로 이송되고, 상기 제5증착부는 대향전극 상에 보호층을 형성할 수 있다. 이후 보호층 상에 무기층과 유기층을 적층하여 박막봉지층을 형성할 수 있다.
상기와 같은 경우 하부보조층, 유기 발광층 및 상부보조층 중 적어도 하나를 공정기판(MS)의 일 영역에서 다른 영역과 상이한 형태로 형성할 수 있다. 즉, 표시 장치의 제조장치(2)는 하부보조층, 유기 발광층 및 상부보조층 중 적어도 하나의 평면 형상의 면적을 공정기판(MS)의 일영역과 공정기판(MS)의 다른 영역이 서로 상이하도록 증착을 수행할 수 있다.
따라서 표시 장치의 제조장치(2)는 공정기판(MS)에 서로 다른 패턴으로 증착물질을 증착시킴으로써 공정기판(MS)에 다양한 형태의 표시 장치를 형성하는 것이 가능하다.
도 2는 도 1에서 사용되는 공정기판을 보여주는 평면도이다.
도 2를 참고하면, 공정기판(MS)은 기판 상에 다양한 형태의 표시 장치를 제조할 수 있다. 이러한 경우 공정기판(MS)은 제1영역(1A)과 제2영역(2A)을 포함할 수 있다. 제1영역(1A)에는 서로 다른 색의 빛을 발광하는 화소가 배치되며, 제2영역(2A)에는 하나의 색의 빛을 발광하는 화소만 배치될 수 있다. 이러한 경우 제1영역(1A)에는 적어도 하나 이상의 제1평면영역(PA1)이 배치될 수 있으며, 제2영역(2A)에는 적어도 하나 이상의 제2평면영역(PA2)이 배치될 수 있다. 상기와 같은 하나의 제1평면영역(PA1)은 차후 하나의 표시 장치를 형성할 수 있다. 또한, 하나의 제2평면영역(PA2)은 차후 하나의 표시 장치를 형성할 수 있다. 상기와 같은 경우 서로 인접하는 제1평면영역(PA1)과 제2평면영역(PA2) 사이에는 차후에 형성된 표시 장치를 서로 분리하기 위한 커팅라인(CL)이 배치될 수 있다. 또한, 제1평면영역(PA1)이 복수개 구비되는 경우 서로 인접하는 제1평면영역(PA1) 사이에도 커팅라인(CL)이 배치될 수 있다. 또한, 제2평면영역(PA2)이 복수개 구비되는 경우 서로 인접하는 제2평면영역(PA2) 사이에 커팅라인(CL)이 배치될 수 있다.
상기와 같은 경우 표시 장치의 제조가 완료된 후 또는 표시 장치의 제조 공정 중에 커팅라인(CL)을 통하여 공정기판(MS)을 적어도 2개 이상으로 나눌 수 있다.
상기와 같은 각 제1평면영역(PA1)에는 복수개의 화소가 서로 이격되도록 배치될 수 있다. 또한, 각 제2평면영역(PA2)에는 복수개의 화소가 서로 이격되도록 배치될 수 있다. 이때, 각 제1평면영역(PA1)에는 상기에서 설명한 바와 같이 세가지 색을 각각 발광하는 화소가 서로 이격되도록 배치되며, 각 제2평면영역(PA2)에는 서로 동일한 색을 발광하는 화소가 서로 이격되도록 배치될 수 있다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치를 보여주는 평면도이다. 도 4는 도 3의 화소의 단면을 보여주는 단면도이다.
도 3 및 도 4를 참고하면, 표시 장치(20-1)는 기판(21) 상에서 표시 영역(DA)과 표시 영역(DA)의 외곽에 주변 영역(PA)이 정의할 수 있다. 표시 영역(DA)에는 발광부가 배치되고, 주변 영역(PA)은 전원 배선(미도시) 등이 배치될 수 있으며, 발광하지 않는 영역일 수 있다. 또한, 주변 영역(PA)에는 패드부(PD-1)가 배치될 수 있다.
상기와 같은 경우 표시 영역(DA)은 다양한 형상을 가질 수 있다. 예를 들면, 표시 영역(DA)은 실질적으로 직사각형, 정사각형 또는 원형 등의 형상을 가질 수 있다. 이외에도 표시 영역(DA)은 실질적으로 직사각형, 정사각형, 다각형 또는 원형 등을 제외한 비정형의 형상을 갖는 것도 가능하다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 표시 영역(DA)이 직사각형의 형상을 갖는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
표시 장치(20-1)는 디스플레이 기판(D) 및 봉지부재(미도시)를 포함할 수 있다. 이때, 디스플레이 기판(D)은 기판(21), 박막 트랜지스터(TFT), 패시베이션막(27) 및 화소전극(28-1)을 포함할 수 있다. 다른 실시예로서 디스플레이 기판(D)은 기판(21), 박막 트랜지스터(TFT), 패시베이션막(27), 화소전극(28-1) 및 중간층(28-2) 중 일부를 포함하는 것도 가능하다.
기판(21)은 플라스틱재를 사용할 수 있으며, SUS, Ti과 같은 금속재를 사용할 수도 있다. 또한, 기판(21)는 폴리에테르술폰(polyether sulfone), 폴리아크릴레이트(polyacrylate), 폴리에테르 이미드(polyetherimide), 폴리에틸렌 나프탈레이트(polyethylene naphthalate), 폴리에틸렌 테레프탈레이트(polyethylene terephthalate), 폴리페닐렌 설파이드(polyphenylene sulfide), 폴리아릴레이트(polyarylate), 폴리이미드(polyimide), 폴리카보네이트(polycarbonate) 또는 셀룰로오스 아세테이트 프로피오네이트(cellulose acetate propionate)와 같은 고분자 수지를 포함할 수 있다. 기판(21)은 상기 물질의 단층 또는 다층구조를 가질 수 있으며, 다층구조의 경우 무기층을 더 포함할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 기판(21)이 폴리이미드로 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
기판(21) 상에 박막 트랜지스터(TFT)가 형성되고, 박막 트랜지스터(TFT)를 덮도록 패시베이션막(27)이 형성되며, 이 패시베이션막(27) 상에 유기 발광 소자(28)가 형성될 수 있다.
기판(21)의 상면에는 유기화합물 및/또는 무기화합물로 이루어진 버퍼층(22)이 더 형성되는 데, SiOx(x≥1), SiNx(x≥1)로 형성될 수 있다.
이 버퍼층(22) 상에 소정의 패턴으로 배열된 활성층(23)이 형성된 후, 활성층(23)이 게이트 절연층(24)에 의해 매립된다. 활성층(23)은 소스 영역(23-1)과 드레인 영역(23-3)을 갖고, 그 사이에 채널 영역(23-2)을 더 포함한다.
이러한 활성층(23)은 다양한 물질을 함유하도록 형성될 수 있다. 예를 들면, 활성층(23)은 비정질 실리콘 또는 결정질 실리콘과 같은 무기 반도체 물질을 함유할 수 있다. 다른 예로서 활성층(23)은 산화물 반도체를 함유할 수 있다. 또 다른 예로서, 활성층(23)은 유기 반도체 물질을 함유할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 활성층(23)이 비정질 실리콘으로 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
이러한 활성층(23)은 버퍼층(22) 상에 비정질 실리콘막을 형성한 후, 이를 결정화하여 다결정질 실리콘막으로 형성하고, 이 다결정질 실리콘막을 패터닝하여 형성할 수 있다. 상기 활성층(23)은 구동 TFT(미도시), 스위칭 TFT(미도시) 등 TFT 종류에 따라, 그 소스 영역(23-1) 및 드레인 영역(23-3)이 불순물에 의해 도핑 된다.
게이트 절연층(24)의 상면에는 활성층(23)과 대응되는 게이트 전극(25)과 이를 매립하는 층간 절연층(26)이 형성된다.
그리고, 층간 절연층(26)과 게이트 절연층(24)에 콘택홀(H1)을 형성한 후, 층간 절연층(26) 상에 소스 전극(27-1) 및 드레인 전극(27-2)을 각각 소스 영역(23-1) 및 드레인 영역(23-3)에 콘택되도록 형성한다.
이렇게 형성된 상기 박막 트랜지스터의 상부로는 패시베이션막(27)이 형성되고, 이 패시베이션막(27) 상부에 유기 발광 소자(28, OLED)의 화소전극(28-1)이 형성된다. 이 화소전극(28-1)은 패시베이션막(27)에 형성된 비아 홀(H2)에 의해 TFT의 드레인 전극(27-2)에 콘택된다. 상기 패시베이션막(27)은 무기물 및/또는 유기물, 단층 또는 2개 층 이상으로 형성될 수 있는 데, 하부 막의 굴곡에 관계없이 상면이 평탄하게 되도록 평탄화막으로 형성될 수도 있는 반면, 하부에 위치한 막의 굴곡을 따라 굴곡이 가도록 형성될 수 있다. 그리고, 이 패시베이션막(27)은, 공진 효과를 달성할 수 있도록 투명 절연체로 형성되는 것이 바람직하다.
패시베이션막(27) 상에 화소전극(28-1)을 형성한 후에는 이 화소전극(28-1) 및 패시베이션막(27)을 덮도록 화소정의막(29)이 유기물 및/또는 무기물에 의해 형성되고, 화소정의막(29)은 화소전극(28-1)이 노출되도록 개구된다.
그리고, 적어도 상기 화소전극(28-1) 상에 중간층(28-2) 및 대향 전극(28-3)이 형성된다. 다른 실시예로서 대향 전극(28-3)은 디스플레이 기판(D)의 전면에 형성되는 것도 가능하다. 이러한 경우 대향 전극(28-3)은 중간층(28-2), 화소정의막(29) 상에 형성될 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 대향 전극(28-3)이 중간층(28-2), 화소정의막(29) 상에 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
화소전극(28-1)은 애노드 전극의 기능을 하고, 대향 전극(28-3)은 캐소오드 전극의 기능을 하는 데, 물론, 이들 화소전극(28-1)과 대향 전극(28-3)의 극성은 반대로 되어도 무방하다.
화소전극(28-1)과 대향 전극(28-3)은 상기 중간층(28-2)에 의해 서로 절연되어 있으며, 중간층(28-2)에 서로 다른 극성의 전압을 가해 유기 발광층에서 발광이 이뤄지도록 한다.
중간층(28-2)은 유기 발광층(28-2B)을 구비할 수 있다. 선택적인 다른 예로서, 중간층(28-2)은 유기 발광층(organic emission layer)을 구비하고, 그 외에 정공 주입층(HIL:hole injection layer), 정공 수송층(hole transport layer) 중 적어도 하나를 포함하는 하부보조층(28-2A) 및 전자 수송층(electron transport layer)와 전자 주입층(electron injection layer) 중 적어도 하나 포함하는 상부보조층(28-2C)을 더 구비할 수 있다.
상기와 같은 중간층(28-2)은 복수 개 구비될 수 있으며, 복수개의 중간층(28-2)은 표시 영역(D)을 형성할 수 있다. 이때, 복수개의 중간층(28-2)은 표시 영역(D) 내부에 서로 이격되도록 배치될 수 있다. 이러한 중간층(28-2)은 포함되는 유기 발광층에 따라 다양한 색을 발광할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 중간층(28-2)는 유기 발광층을 의미하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
한편, 하나의 단위 화소그룹은 복수의 화소(Px-1)를 포함할 수 있다. 복수의 화소(Px-1)는 다양한 색의 빛을 방출할 수 있다. 일 실시예로서 하나의 화소(Px-1)는 하나의 색을 갖는 빛이 발광하는 영역으로 정의될 수 있다. 다른 실시예로서 하나의 화소(Px-1)는 화소정의막(29)의 개구된 개구영역(OP)을 통하여 외부로 노출되는 화소전극(28-1) 부분으로 정의될 수 있다. 이러한 경우 하나의 화소(Px-1)의 크기를 조절하는 것은 화소정의막(29)의 개구영역(OP)의 평면 상 크기를 조절하여 외부로 노출되는 화소전극(28-1) 부분의 면적을 조절함으로써 달성할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 하나의 화소(Px-1)는 하나의 색을 갖는 빛이 발광하는 영역인 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
상기와 같은 하나의 화소그룹은 각각 적색, 녹색 및 청색의 빛을 방출하는 화소(Px-1)를 구비할 수 있다. 다른 실시예로서 하나의 화소그룹은 적색, 녹색, 청색 및 백색의 빛을 방출하는 화소(Px-1)를 구비할 수 있다. 또 다른 실시예로서 하나의 화소그룹은 적색, 노란색 및 청색의 빛을 방출하는 화소(Px-1)를 구비할 수 있다. 이러한 경우 하나의 화소그룹은 상기에 한정되는 것은 아니며, 서로 상이한 색을 방출하는 화소(Px-1)를 구비하는 모든 경우를 포함할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 하나의 화소그룹이 청색, 적색 및 녹색을 포함하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
상기와 같은 화소(Px-1)는 화소(Px-1)에 배치된 중간층(28-2)의 유기 발광층에 따라 다양한 색을 발광할 수 있다.
한편, 봉지부재는 대향전극(28-3) 상에 배치되어 유기 발광 소자(28)를 밀폐시킬 수 있다. 이때, 상기 봉지부재는 다양한 형태로 형성될 수 있다. 예를 들면, 상기 봉지부재는 기판과 대향하는 봉지기판 및 봉지기판과 기판 사이에 배치되는 실링부재를 포함할 수 있다. 다른 실시예로서 상기 봉지부재는 대향전극(28-3) 상에 배치되는 박막 봉지층(E)을 포함할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 상기 봉지부재가 박막 봉지층(E)을 포함하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
박막 봉지층(E)은 복수의 무기층들을 포함하거나, 무기층 및 유기층을 포함할 수 있다.
박막 봉지층(E)의 상기 유기층은 고분자로 형성되며, 폴리에틸렌 테레프탈레이트, 폴리에틸렌 나프탈레이트, 폴리카보네이트, 폴리이미드, 폴리에틸렌 설포네이트, 폴리옥시메틸렌, 폴리아릴레이트, 헥사메틸디실록산, 아크릴계 수지(예를 들면, 폴리메틸메타크릴레이트, 폴리아크릴산 등) 또는 이의 임의의 조합을 포함할 수 있다.
박막 봉지층(E)의 상기 무기층은 금속 산화물 또는 금속 질화물을 포함하는 단일막 또는 적층막일 수 있다. 구체적으로, 상기 무기층은 SiNx, Al2O3, SiO2, TiO2 중 어느 하나를 포함할 수 있다.
박막 봉지층(E) 중 외부로 노출된 최상층은 유기 발광 소자에 대한 투습을 방지하기 위하여 무기층으로 형성될 수 있다.
박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 무기층 사이에 적어도 하나의 유기층이 삽입된 샌드위치 구조를 적어도 하나 포함할 수 있다. 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 유기층 사이에 적어도 하나의 무기층이 삽입된 샌드위치 구조를 적어도 하나 포함할 수 있다. 또 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 무기층 사이에 적어도 하나의 유기층이 삽입된 샌드위치 구조 및 적어도 2개의 유기층 사이에 적어도 하나의 무기층이 삽입된 샌드위치 구조를 포함할 수도 있다.
박막 봉지층(E)은 유기 발광 소자(OLED)의 상부로부터 순차적으로 제1 무기층, 제1 유기층, 제2 무기층을 포함할 수 있다.
다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 유기 발광 소자(OLED)의 상부로부터 순차적으로 제1 무기층, 제1 유기층, 제2 무기층, 제2 유기층, 제3 무기층을 포함할 수 있다.
또 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 상기 유기 발광 소자(OLED)의 상부로부터 순차적으로 제1 무기층, 제1 유기층, 제2 무기층, 상기 제2 유기층, 제3 무기층, 제3 유기층, 제4 무기층을 포함할 수 있다.
유기 발광 소자(OLED)와 제1 무기층 사이에 LiF를 포함하는 할로겐화 금속층이 추가로 포함될 수 있다. 상기 할로겐화 금속층은 제1 무기층을 스퍼터링 방식으로 형성할 때 상기 유기 발광 소자(OLED)가 손상되는 것을 방지할 수 있다.
제1 유기층은 제2 무기층 보다 면적이 좁게 할 수 있으며, 상기 제2 유기층도 제3 무기층 보다 면적이 좁을 수 있다.
상기와 같이 무기층이 복수개 구비되는 경우 무기층은 표시 장치(20-1)의 가장자리 영역에서 서로 직접 접촉하도록 증착될 수 있으며, 유기층이 외부로 노출되지 않도록 할 수 있다.
또한, 표시 장치(20-1)는 각 화소(Px-1)를 통하여 정밀한 이미지를 구현하는 것이 가능하다.
이하에서는, 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치(20-1)로서, 유기 발광 표시 장치를 예로 하여 설명하지만, 본 발명의 표시 장치는 이에 제한되지 않는다. 다른 실시예로서, 무기 EL 디스플레이(Inorganic Light Emitting Display), 퀀텀닷 발광 디스플레이(Quantum dot Light Emitting Display) 등과 같이 다양한 방식의 표시 장치가 사용될 수 있다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 광조사장치를 보여주는 사시도이다.
도 5를 참고하면, 광조사장치(1)는 바디부(10)와 표시 장치(20-2)를 포함할 수 있다. 바디부(10)는 내부에 공간이 형성될 수 있으며, 바디부(10) 내부 공간에는 다양한 장치들이 배치될 수 있다. 예를 들면, 바디부(10) 내부에는 표시 장치(20-2)를 제어하는 제어유닛, 제어유닛과 연결되는 전원부 등이 배치될 수 있다. 이때, 전원부는 다양한 형태일 수 있다. 구체적으로 상기 전원부는 바디부에 교체 가능하게 체결되는 1차전지를 포함할 수 있다. 다른 실시예로서 상기 전원부는 바디부에 배치되며 충전 가능한 2차전지와 같은 베터리를 포함할 수 있다. 또 다른 실시예로서 상기 전원부는 외부에 케이블로 연결되는 장치를 포함하는 것도 가능하다. 상기와 같은 경우 전원부가 1차전지 또는 베터리를 포함하는 경우 광조사장치(1)는 휴대가 가능할 수 있다. 상기와 같은 바디부(10)는 외부와 별도로 케이블 등을 통하여 연결될 수 있다. 이러한 케이블은 바디부(10)에 착탈 가능하게 연결될 수 있다. 이때, 상기 케이블을 통하여 다양한 정보가 외부로부터 입력될 수 있다. 다른 실시예로서 바디부(10)는 내부에 무선 통신모듈을 포함하는 것도 가능하다. 이러한 경우 광조사장치(1)는 외부의 장치와 무선통신으로 연결되어 정보를 주고 받을 수 있다.
표시 장치(20-2)는 바디부(10)에 연결될 수 있다. 이때, 표시 장치(20-2)는 바디부(10)의 외측으로 빛을 발광할 수 있다. 이러한 경우 표시 장치(20-2)는 적어도 2개 이상의 파장을 갖는 빛을 발광할 수 있다. 특히 표시 장치(20-2)는 동일한 색이면서 파장이 서로 다른 적어도 2개 이상의 빛을 발광할 수 있다. 예를 들면, 표시 장치(20-2)는 빨간색이면서 파장이 서로 다른 적어도 2개 이상의 빛을 발광할 수 있다. 다른 실시예로서 표시 장치(20-2)는 청색이면서 파장이 서로 다른 적어도 2개 이상의 빛을 발광할 수 있다. 또 다른 실시예로서 표시 장치(20-2)는 녹색이면서 파장이 서로 다른 적어도 2개 이상의 빛을 발광할 수 있다. 또 다른 실시예로서 표시 장치(20-2)는 흰색이면서 파장이 서로 다른 적어도 2개 이상의 빛을 발광할 수 있다. 이러한 경우 표시 장치(20-2)는 복수개의 화소를 포함하고, 복수개의 화소에서는 동일한 색의 빛을 발광할 수 있다.
이하에서는 표시 장치(20-2)에 대해서 상세히 설명하기로 한다.
도 6은 도 5에 도시된 표시 장치를 보여주는 평면도이다. 도 7은 도 6의 C-C'선을 따라 취한 단면도이다.
도 6 및 도 7을 참고하면, 표시 장치(20-2)는 복수개의 화소(Px-2)를 포함할 수 있다. 이러한 화소(Px-2)는 하나의 화소 전극(28A)을 포함할 수 있으며, 하나의 빛을 발광할 수 있다. 이때, 각 화소(Px-2)는 서로 동일한 색의 빛을 발광할 수 있다. 이러한 화소(Px-2)는 하나의 빛이 발광하는 영역으로 정의될 수 있다. 예를 들면, 화소(Px-2)는 화소정의막(29)의 개구된 영역으로 정의될 수 있다. 이때, 화소(Px-2)는 백색, 적색, 황색, 노란색, 녹색 또는 청색 중 하나의 색을 발광할 수 있다. 이러한 경우 복수개의 화소(Px-2)는 모두 동일한 색으로 발광할 수 있다.
표시 장치(20-2)는 기판(21) 상에서 발광 영역(DA)과 발광 영역(DA)의 외곽에 주변 영역(PA)이 정의할 수 있다. 발광 영역(DA)에는 화소(Px-2)가 배치되고, 주변 영역(PA)에는 전원 배선(미도시) 등이 배치될 수 있다. 또한, 주변 영역(PA)에는 패드부(PD-2)가 배치될 수 있다. 이때, 주변 영역(PA)은 화소(Px-2)가 배치되지 않는 영역일 수 있으며 외부로 빛을 발광하지 않는 영역일 수 있다.
표시 장치(20-2)는 디스플레이 기판(D) 및 디스플레이 기판(D) 상에 배치되는 실링부재(미도시)를 포함할 수 있다. 이때, 상기 실링부재는 디스플레이 기판(D)에 배치되는 실링부와, 실링부와 연결되며 기판(21)과 대향하도록 배치되는 봉지기판(미도시)를 포함할 수 있다. 다른 실시예로서 상기 실링부재는 디스플레이 기판(D)의 적어도 일부분을 차폐하는 박막 봉지층(E)을 포함할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 상기 실링부재는 박막 봉지층(E)을 포함하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
디스플레이 기판(D)은 기판(21), 기판(21) 상에 배치되는 박막 트랜지스터(TFT) 및 유기 발광 소자(28,OLED)를 포함할 수 있다.
기판(21)은 글라스 또는 고분자 수지를 포함할 수 있다. 고분자 수지는 폴리에테르술폰(polyether sulfone), 폴리아크릴레이트(polyacrylate), 폴리에테르 이미드(polyetherimide), 폴리에틸렌 나프탈레이트(polyethylene napthalate), 폴리에틸렌 테레프탈레이드(polyethylene terepthalate), 폴리페닐렌 설파이드(polyphenylene sulfide), 폴리아릴레이트(polyarylate), 폴리이미드(polyimide), 폴리카보네이트(polycarbonate) 또는 셀룰로오스 아세테이트 프로피오네이트(cellulose acetate propionate)와 같은 고분자 수지를 포함할 수 있다. 고분자 수지를 포함하는 기판(21)은 플렉서블, 롤러블 또는 벤더블 특성을 가질 수 있다. 기판(21)은 전술한 고분자 수지를 포함하는 층 및 무기층(미도시)을 포함하는 다층 구조일 수 있다.
기판(21) 상에 박막 트랜지스터(TFT)가 형성되고, 박막 트랜지스터(TFT)를 덮도록 패시베이션막(27)이 형성되며, 이 패시베이션막(27) 상에 유기 발광 소자(28)가 형성될 수 있다.
기판(21)의 상면에는 유기화합물 및/또는 무기화합물로 이루어진 버퍼층(22)이 더 형성되는 데, SiOx(x≥1), SiNx(x≥1)로 형성될 수 있다.
이 버퍼층(22) 상에 소정의 패턴으로 배열된 활성층(23)이 형성된 후, 활성층(23)이 게이트 절연층(24)에 의해 매립된다. 활성층(23)은 소스 영역(23A)과 드레인 영역(23C)을 갖고, 소스 영역(23A)과 드레인 영역(23C) 사이에 채널 영역(23B)을 더 포함한다.
이러한 활성층(23)은 다양한 물질을 함유하도록 형성될 수 있다. 예를 들면, 활성층(23)은 비정질 실리콘 또는 결정질 실리콘과 같은 무기 반도체 물질을 함유할 수 있다. 다른 예로서 활성층(23)은 산화물 반도체를 함유할 수 있다. 또 다른 예로서, 활성층(23)은 유기 반도체 물질을 함유할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 활성층(23)이 비정질 실리콘으로 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
이러한 활성층(23)은 버퍼층(22) 상에 비정질 실리콘막을 형성한 후, 이를 결정화하여 다결정질 실리콘막으로 형성하고, 이 다결정질 실리콘막을 패터닝하여 형성할 수 있다
활성층(23)은 구동 TFT(미도시), 스위칭 TFT(미도시) 등 TFT 종류에 따라, 그 소스 영역(23A) 및 드레인 영역(23C)이 불순물에 의해 도핑 된다.
게이트 절연층(24)의 상면에는 활성층(23)과 대응되는 게이트 전극(25)과 이를 매립하는 층간 절연층(26)이 형성된다.
그리고, 층간 절연층(26)과 게이트 절연층(24)에 콘택홀(H1)을 형성한 후, 층간 절연층(26) 상에 소스 전극(27A) 및 드레인 전극(27B)을 각각 소스 영역(23A) 및 드레인 영역(23C)에 콘택되도록 형성한다.
이렇게 형성된 상기 박막 트랜지스터의 상부로는 패시베이션막(27)이 형성되고, 이 패시베이션막(27) 상부에 유기 발광 소자(28, OLED)의 화소 전극(28A)이 형성된다. 이 화소 전극(28A)은 패시베이션막(27)에 형성된 비아 홀(H2)에 의해 TFT의 소스 전극(27A)에 콘택된다. 패시베이션막(27)은 무기물 및/또는 유기물, 단층 또는 2개 층 이상으로 형성될 수 있는 데, 하부 막의 굴곡에 관계없이 상면이 평탄하게 되도록 평탄화막으로 형성될 수도 있는 반면, 하부에 위치한 막의 굴곡을 따라 굴곡이 가도록 형성될 수 있다. 그리고, 이 패시베이션막(27)은, 공진 효과를 달성할 수 있도록 투명 절연체로 형성되는 것이 바람직하다.
패시베이션막(27) 상에 화소 전극(28A)을 형성한 후에는 이 화소 전극(28A) 및 패시베이션막(27)을 덮도록 화소정의막(29)이 유기물 및/또는 무기물에 의해 형성되고, 화소 전극(28A)이 노출되도록 개구된다.
그리고, 화소 전극(28A) 상에 중간층(28B) 및 대향 전극(28C)이 형성된다. 다른 실시예로서 대향 전극(28C)은 디스플레이 기판(D)의 전면에 형성되는 것도 가능하다. 이러한 경우 대향 전극(28C)은 중간층(28B), 화소정의막(29) 상에 형성될 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 대향 전극(28C)이 중간층(28B), 화소정의막(29) 상에 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
화소 전극(28A)은 애노드 전극의 기능을 하고, 대향 전극(28C)은 캐소오드 전극의 기능을 하는 데, 물론, 이들 화소 전극(28A)과 대향 전극(28C)의 극성은 반대로 되어도 무방하다.
화소 전극(28A)과 대향 전극(28C)은 중간층(28B)에 의해 서로 절연되어 있으며, 중간층(28B)에 서로 다른 극성의 전압을 가해 유기 발광층에서 발광이 이뤄지도록 한다.
중간층(28B)은 유기 발광층(28B-2)을 구비할 수 있다. 선택적인 다른 예로서, 중간층(28B)은 유기 발광층(28B-2,organic emission layer)과 하부보조층(28B-1) 및 상부보조층(28B-3) 중 적어도 하나를 구비할 수 있다. 이때, 하부보조층(28B-1)은 정공 주입층(HIL:hole injection layer) 및 정공 수송층(HTL:hole transport layer) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 또한, 상부보조층(28B-3)은 전자 수송층(ETL:electron transport layer) 및 전자 주입층(EIL:electron injection layer) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 상기와 같은 경우 상부보조층(28B-3)은 유기 발광층(28B-2)과 대향 전극(28C) 사이에 배치되며, 하부보조층(28B-1)은 유기 발광층(28B-2)과 화소 전극(28A) 사이에 배치될 수 있다.
복수개의 화소(Px-2) 중 일부는 하나의 화소그룹을 형성할 수 있으며, 이러한 하나의 화소그룹에는 적어도 3개 이상의 화소(Px-2)가 포함될 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 하나의 화소그룹은 6개의 화소(Px-2)를 포함하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
상기와 같은 하나의 화소그룹에 포함된 6개의 화소(Px-2)의 중간층(28B)의 두께는 서로 상이할 수 있다. 특히 상기와 같은 하나의 화소그룹에 포함된 6개의 화소(Px-2)는 일 발향으로 일렬로 배열될 수 있다. 예를 들면, 6개의 화소(Px-2)는 세 쌍의 화소(Px-2)를 포함할 수 있다. 이때, 각 쌍의 화소(Px-2)는 서로 동일한 두께를 가질 수 있다. 구체적으로 하나의 화소그룹 중 최외곽인 제1영역(A1)에 배치되는 화소(Px-2)의 중간층(28B)은 제1두께(W1)를 가질 수 있다. 또한, 하나의 화소그룹 중 중앙부분의 영역인 제3영역(A3)에 배치되는 중간층(28B)은 제3두께(W3)를 가질 수 있다. 하나의 화소그룹 중 제1영역(A1)과 제3영역(A3) 사이에 배치된 중간층(28B)은 제2두께(W2)를 가질 수 있다. 상기와 같은 경우 제1두께(W1)는 제2두께(W2)와 상이하며, 제2두께(W2)는 제3두께(W3)와 상이할 수 있다. 구체적으로 제1두께(W1), 제2두께(W2) 및 제3두께(W3) 중 제1두께(W1)의 크기가 가장 작고, 제3두께(W3)의 크기가 가장 클 수 있다.
상기와 같이 각 화소(Px-2)에 배치된 중간층(28B)의 두께가 서로 상이한 경우 상이한 두께를 갖는 화소(Px-2)는 서로 다른 파장을 갖는 빛을 방출할 수 있다. 예를 들면, 각 화소(Px-2)의 중간층(28B) 중 두께가 클수록 긴 파장의 빛을 발생시킬 수 있다. 즉, 도 7을 기준으로 제1영역(A1)에서 발광하는 빛의 파장이 가장 짧고, 제3영역(A3)에서 발광하는 빛의 파장이 가장 길 수 있다. 제2영역(A2)에서 발광하는 빛의 파장은 제1영역(A1)에서 발광하는 빛의 파장보다 길며, 제3영역(A3)에서 발광하는 빛의 파장보다 짧을 수 있다.
상기와 같은 경우 하나의 화소그룹에서 제1영역(A1), 제2영역(A2) 및 제3영역(A3)은 서로 반복될 수 있다. 특히 하나의 화소그룹의 일부분에서는 제1영역(A1), 제2영역(A2) 및 제3영역(A3)이 제1방향(예를 들면, 도 3의 X방향) 순차적으로 배열될 수 있으며, 하나의 화소그룹의 다른 부분에서는 제3영역(A3), 제2영역(A2) 및 제1영역(A1)이 제1방향으로 순차적으로 배열될 수 있다. 이러한 경우 두 개의 제3영역(A3)은 서로 인접할 수 있으며, 두 개의 제2영역(A2) 사이에는 두 개의 제3영역(A3)이 배치되고, 두 개의 제1영역(A1) 사이에는 두 개의 제2영역(A2)과 두 개의 제3영역(A3)이 배치될 수 있다. 이러한 경우 하나의 화소그룹은 두 개의 제3영역(A3) 사이에 배치되며, 두 개의 제3영역(A3)의 중심선(예를 들면, 도 7의 Z축 방향으로 배치된 직선)에 대해서 양측이 서로 대칭될 수 있다. 상기와 같은 경우 각 영역에 배치된 화소(Px-2)의 중간층(28B)의 두께는 두 개의 제3영역(A3)의 중심선으로부터 멀어질수록 순차적으로 작아질 수 있다. 예를 들면, 제3영역(A3)로부터 제1영역(A1)으로 갈수록 중간층(28B)의 두께는 작아질 수 있다. 상기와 같은 경우 중간층(28B)의 두께는 각 화소(Px-2)의 화소 전극(28A)과 대향 전극(28C) 사이의 간격과 동일할 수 있다. 즉, 중간층(28B)의 두께는 각 화소(Px-2)의 화소 전극(28A)의 상면에서 대향 전극(28C)의 하면까지의 높이를 의미할 수 있다. 다른 실시예로서 하나의 화소그룹의 중심선을 기준으로 중심선에 가장 가깝게 배치된 화소(Px-2)의 중간층(28B)의 두께가 화소그룹의 중심선으로부터 멀어질수록 작아지는 것도 가능하다. 즉, 화소그룹의 중심선이 화소그룹의 중심에 배치된 화소(Px-2)의 중심을 지나는 경우 이러한 화소(Px-2)가 다른 화소(Px-2)보다 중간층(28B)의 두께가 가장 클 수 있다.
상기와 같은 경우 하나의 화소그룹에 배치된 6개의 화소(Px-2) 중 서로 인접하는 화소(Px-2)의 중간층(28B)의 두께는 서로 상이할 수 있다. 예를 들면, 서로 인접하는 제2영역(A2)에 배치된 화소(Px-2)의 중간층(28B)의 제2두께(W2)와 제3영역(A3)에 배치된 화소(Px-2)의 중간층(28B)의 제3두께(W3)는 서로 상이할 수 있다. 또한, 서로 인접하는 제1영역(A1)에 배치된 화소(Px-2)의 중간층(28B)의 제1두께(W1)와 제3영역(A3)에 배치된 화소(Px-2)의 중간층(28B)의 제3두께(W3)는 서로 상이할 수 있다.
상기와 같은 각 화소(Px-2)는 화소 전극(28A), 유기 발광층(28B-2), 보조층 및 대향 전극(28C)을 포함할 수 있다. 이때, 화소 전극(28A)은 각 화소(Px-2)에 대응되도록 배치될 수 있으며, 유기 발광층(28B-2) 및 대향 전극(28C)은 표시 장치(20-2)의 기판(21) 전면에 배치될 수 있다. 이러한 경우 복수개의 화소(Px-2)는 유기 발광층(28B-2) 및 대향 전극(28C)을 서로 공유할 수 있다. 또한, 복수개의 화소(Px-2) 중 서로 인접하는 적어도 2개 이상의 화소(Px-2)는 보조층을 서로 공유할 수 있다. 특히 이러한 경우 상기 보조층은 복수개의 화소(Px-2) 중 서로 인접하는 적어도 2개 이상의 화소(Px-2)와 복수개의 화소(Px-2) 중 서로 인접하는 적어도 2개 이상의 화소(Px-2) 사이에 배치된 화소정의막(29)의 상면에 걸치도록 배치될 수 있다. 예를 들면, 도 7을 기준으로 제3영역(A3)에 배치된 화소(Px-2)와 제2영역(A2)에 배치된 화소(Px-2)는 상부보조층(28B-3) 중 적어도 하나를 서로 공유할 수 있다.
상기와 같은 상부보조층(28B-3) 및 하부보조층(28B-1) 중 적어도 하나는 복수개 구비될 수 있다. 예를 들면, 상부보조층(28B-3)은 복수개 구비되고, 하부보조층(28B-1)은 하나만 구비될 수 있다. 다른 실시예로서 상부보조층(28B-3)은 하나만 구비되고, 하부보조층(28B-1)은 복수개 구비되는 것도 가능하다. 또 다른 실시예로서 상부보조층(28B-3)과 하부보조층(28B-1) 모두 복수개 구비되는 것도 가능하다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 하부보조층(28B-1)이 복수개 구비되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
하부보조층(28B-1)은 서로 적층되도록 배치된 적어도 2개 이상의 하부보조층(28B-1)을 포함할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 하부보조층(28B-1)은 3개인 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. 예를 들면, 하부보조층(28B-1)은 제1하부보조층(28B-1A), 제2하부보조층(28B-1B) 및 제3하부보조층(28B-1C)을 포함할 수 있다. 이때, 제1하부보조층(28B-1A), 제2하부보조층(28B-1B) 및 제3하부보조층(28B-1C)은 서로 동일한 물질이거나 서로 상이한 물질일 수 있다. 예를 들면, 제1하부보조층(28B-1A), 제2하부보조층(28B-1B) 및 제3하부보조층(28B-1C)은 모두 정공주입층 또는 정공수송층일 수 있다. 다른 실시예로서 제1하부보조층(28B-1A), 제2하부보조층(28B-1B) 및 제3하부보조층(28B-1C) 중 하나는 정공주입층이고 제1하부보조층(28B-1A), 제2하부보조층(28B-1B) 및 제3하부보조층(28B-1C) 중 나머지는 정공수송층인 것도 가능하다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1하부보조층(28B-1A), 제2하부보조층(28B-1B) 및 제3하부보조층(28B-1C)은 모두 동일한 물질인 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
제1하부보조층(28B-1A) 내지 제3하부보조층(28B-1C)은 서로 상이한 영역에 배치될 수 있다. 즉, 제1하부보조층(28B-1A) 내지 제3하부보조층(28B-1C) 중 하나는 제1하부보조층(28B-1A) 내지 제3하부보조층(28B-1C) 중 다른 하나와 적어도 일부분이 평면 상에서 중첩될 수 있다. 예를 들면, 제1하부보조층(28B-1A)은 도 3을 기준으로 좌측에 배치된 제1영역(A1)에 배치된 화소(Px-2), 제2영역(A2)에 배치된 화소(Px-2), 두 개의 제3영역(A3)에 배치된 화소(Px-2)를 덮도록 배치될 수 있다. 이러한 경우 서로 인접하는 제1영역(A1)의 화소(Px-2), 제2영역(A2)의 화소 및 두 개의 제3영역(A3)에 배치된 화소(Px-2)는 제1하부보조층(28B-1A)을 공유할 수 있다. 제2하부보조층(28B-1B)은 도 3을 기준으로 좌측에 배치된 제2영역(A2)에 배치된 화소(Px-2), 두 개의 제3영역(A3)에 배치된 화소(Px-2), 도 3을 기준으로 우측에 배치된 제2영역(A2)에 배치된 화소(Px-2)를 덮도록 배치될 수 있다. 제3하부보조층(28B-1C)은 도 3을 기준으로 두 개의 제3영역(A3)에 배치된 화소, 도 3을 기준으로 우측에 배치된 제2영역(A2)에 배치된 화소(Px-2), 도 3을 기준으로 우측에 배치된 제1영역(A1)에 배치된 화소(Px-2)를 덮도록 배치될 수 있다. 이러한 경우 인접하는 화소(Px-2)는 제1하부보조층(28B-1A)과 유사하게 제2하부보조층(28B-1B)과 제3하부보조층(28B-1C) 각각을 공유할 수 있다.
상기와 같은 경우 두 개의 제1영역(A1)에 배치된 화소(Px-2) 중 하나에는 제1하부보조층(28B-1A)만 배치되고, 두 개의 제1영역(A1)에 배치된 화소(Px-2) 중 다른 하나에는 제3하부보조층(28B-1C)만 배치될 수 있다. 또한, 두 개의 제2영역(A2)에 배치된 화소(Px-2) 중 하나는 제1하부보조층(28B-1A)과 제2하부보조층(28B-1B)이 배치되고, 두개의 제2영역(A2)에 배치된 화소(Px-2) 중 다른 하나는 제2하부보조층(28B-1B) 및 제3하부보조층(28B-1C)이 순차적으로 적층될 수 있다. 두 개의 제3영역(A3)에 배치된 화소(Px-2)는 모두 제1하부보조층(28B-1A), 제2하부보조층(28B-1B) 및 제3하부보조층(28B-1C)이 순차적으로 적층될 수 있다. 상기와 같이 제1하부보조층(28B-1A) 내지 제3하부보조층(28B-1C)이 배치되는 경우 각 화소(Px-2)에 배치된 하부보조층(28B-1) 두께가 서로 상이해질 수 있다.
상기와 같은 제1하부보조층(28B-1A), 제2하부보조층(28B-1B) 및 제3하부보조층(28B-1C) 중 적어도 하나의 끝단은 화소정의막(29) 상에 배치될 수 있다. 즉, 제1하부보조층(28B-1A), 제2하부보조층(28B-1B) 및 제3하부보조층(28B-1C) 중 적어도 하나의 끝단은 서로 인접하는 화소 사이에 배치될 될 수 있다.
상기와 같은 하부보조층(28B-1) 상에는 유기 발광층(28B-2), 상부보조층(28B-3) 및 대향 전극(28C)이 순차적으로 적층될 수 있다. 또한, 대향 전극(28C) 상에는 박막 봉지층(E)이 배치될 수 있다.
한편, 박막 봉지층(E)은 복수의 무기층들을 포함하거나, 무기층 및 유기층을 포함할 수 있다.
박막 봉지층(E)의 상기 유기층은 폴리머(polymer)계열의 물질을 포함할 수 있다. 폴리머 계열의 소재로는 폴리에틸렌 테레프탈레이트, 폴리에틸렌나프탈레이트, 폴리카보네이트, 폴리이미드, 폴리에틸렌설포네이트, 폴리옥시메틸렌, 폴리아릴레이트, 헥사메틸디실록산, 아크릴계 수지(예를 들면, 폴리메틸메타크릴레이트, 폴리아크릴산 등) 또는 이의 임의의 조합을 포함할 수 있다.
박막 봉지층(E)의 상기 무기층은 알루미늄옥사이드, 티타늄옥사이드, 탄탈륨옥사이드, 하프늄옥사이드, 아연옥사이드, 실리콘옥사이드, 실리콘나이트라이드, 실리콘옥시나이트라이드 하나 이상의 무기 절연물을 포함할 수 있다.
박막 봉지층(E) 중 외부로 노출된 최상층은 유기 발광 소자에 대한 투습을 방지하기 위하여 무기층으로 형성될 수 있다.
박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 무기층 사이에 적어도 하나의 유기층이 삽입된 샌드위치 구조를 적어도 하나 포함할 수 있다. 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 유기층 사이에 적어도 하나의 무기층이 삽입된 샌드위치 구조를 적어도 하나 포함할 수 있다. 또 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 무기층 사이에 적어도 하나의 유기층이 삽입된 샌드위치 구조 및 적어도 2개의 유기층 사이에 적어도 하나의 무기층이 삽입된 샌드위치 구조를 포함할 수도 있다.
박막 봉지층(E)은 유기 발광 소자(28,OLED)의 상부로부터 순차적으로 제1무기봉지층, 제1유기봉지층, 제2무기봉지층을 포함할 수 있다.
다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 유기 발광 소자(28,OLED)의 상부로부터 순차적으로 제1무기봉지층, 제1유기봉지층, 제2무기봉지층, 제2유기봉지층, 제3무기봉지층을 포함할 수 있다.
또 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 상기 유기 발광 소자(28,OLED)의 상부로부터 순차적으로 제1무기봉지층, 제1유기봉지층, 제2무기봉지층, 상기 제2유기봉지층, 제3무기봉지층, 제3유기봉지층, 제4 무기층을 포함할 수 있다.
유기 발광 소자(28,OLED)와 제1무기봉지층 사이에 LiF를 포함하는 할로겐화 금속층이 추가로 포함될 수 있다. 상기 할로겐화 금속층은 제1무기봉지층을 스퍼터링 방식으로 형성할 때 상기 유기 발광 소자(28,OLED)가 손상되는 것을 방지할 수 있다.
제1유기봉지층은 제2무기봉지층 보다 면적이 좁게 할 수 있으며, 상기 제2유기봉지층도 제3무기봉지층 보다 면적이 좁을 수 있다.
상기와 같이 무기층이 복수개 구비되는 경우 무기층은 표시 장치(20-2)의 가장자리 영역에서 서로 직접 접촉하도록 증착될 수 있으며, 유기층이 외부로 노출되지 않도록 할 수 있다.
따라서 표시 장치(20-2)는 동일한 색을 발광하면서 서로 다른 파장의 빛을 외부로 방출하는 것이 가능하다.
한편, 상기와 같은 표시 장치(20-2)는 다양한 방식으로 작동할 수 있다. 예를 들면, 표시 장치(20-2)는 하나의 화소그룹에 배치된 제1영역(A1), 제2영역(A2) 및 제3영역(A3) 중 적어도 하나에 배치된 화소를 발광시킬 수 있다.
구체적으로 표시 장치(20-2)는 제1영역(A1), 제2영역(A2) 또는 제3영역(A3)에만 배치된 화소(Px-2)만을 발광시킴으로써 하나의 파장을 갖는 빛을 외부로 방출시키는 것이 가능하다.
다른 실시예로서 표시 장치(20-2)는 제1영역(A1), 제2영역(A2) 및 제3영역(A3) 중 적어도 2개의 영역에 배치된 화소(Px-2)를 발광시킴으로써 적어도 2개 이상의 파장을 갖는 빛을 방출시키는 것도 가능하다.
또 다른 실시예로서 표시 장치(20-2)는 제1영역(A1), 제2영역(A2) 및 제3영역(A3)에 각각 배치된 화소(Px-2)를 시간에 따라 각각 발광시킴으로써 서로 다른 파장을 서로 다른 시간에 발광시키는 것도 가능하다.
따라서 표시 장치(20-2)는 다양한 파장의 빛을 자유롭게 발광시키는 것이 가능함으로써 사용자에게 다양한 효과를 갖는 빛을 제공하는 것이 가능하다.
도 8은 도 1에 도시된 제1증착부를 보여주는 단면도이다.
도 8을 참고하면, 제1증착부(200)는 제1챔버(210), 제1증착원(220), 제1마스크 조립체(230), 제1기판지지부(240), 제1마스크지지부(250), 제1자기력생성부(260), 제1압력조절부(270) 및 제1비젼부(280)를 포함할 수 있다.
제1챔버(210)는 내부에 공간이 형성될 수 있으며, 일측이 개구되도록 형성되어 공정기판(MS)이 인출되거나 수납될 수 있다. 이때, 개구된 제1챔버(210) 부분에는 게이트 밸브 등을 포함하는 개폐부(700)가 배치되어 선택적으로 개폐할 수 있다. 상기와 같은 공정기판(MS)은 다양한 형태로 형성될 수 있다. 예를 들면, 공정기판(MS)은 하나의 증착영역을 포함할 수 있다. 다른 실시예로서 공정기판(MS)은 적어도 2개 이상의 증착영역을 포함할 수 있다. 이러한 경우 적어도 2개 이상의 증착영역은 서로 이격되도록 배치될 수 있다. 상기와 같은 증착영역에는 상술한 기판 상에 화소전극 또는 유기 발광층까지 형성된 상태일 수 있다. 또 다른 실시예로서 공정기판(MS)은 상술한 표시 장치의 기판 자체를 의미하는 것도 가능하다. 또 다른 실시예로서 공정기판(MS)은 원장기판 상에 상술한 다양한 층을 형성한 후 원장기판을 적어도 2개 이상으로 분할한 상태를 의미하는 것도 가능하다. 또 다른 실시예로서 공정기판(MS)은 상술한 디스플레이 기판(D)를 의미하는 것도 가능하다.
제1증착원(220)은 상기에서 설명한 보조층 중 적어도 하나의 층을 형성하는 증착물질이 수납될 수 있다. 이때, 제1증착원(220)은 에너지(예를 들면, 열에너지, 빛에너지, 진동에너지 등)를 가하여 증착물질을 기화시키거나 승화시킬 수 있다.
상기와 같은 제1증착원(220)은 교체 가능할 수 있다. 이때, 제1증착원(220)은 수납된 증착물질이 소진되는 경우 새로운 제1증착원(220)로 교체될 수 있다. 또한, 제1증착원(220)은 제1챔버(210) 내부에 고정되거나 선형 운동 가능하게 배치되는 것도 가능하다.
제1마스크 조립체(230)는 제1마스크 프레임(231), 제1-1마스크 시트(232), 제1-2마스크 시트(미도시) 및 제1지지스틱(234)을 포함할 수 있다.
제1마스크 프레임(231)은 중앙에 개구부가 형성될 수 있다. 이러한 경우 제1마스크 프레임(231)은 창틀과 같은 형태로 형성될 수 있다. 다른 실시예로서 제1마스크 프레임(231)은 중앙에 개구부가 형성되고, 이러한 개구부를 격자 형태로 나누는 별도의 프레임이 배치되는 것도 가능하다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1마스크 프레임(231)은 중앙에 하나의 개구부가 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
제1-1마스크 시트(232)는 제1 방향 및 제2 방향 중 적어도 하나의 방향으로 인장된 상태로 제1마스크 프레임(231)의 일면에 배치되어 용접 등을 통하여 제1마스크 프레임(231)에 고정될 수 있다. 이때, 제1마스크 프레임(231)에는 제1-1마스크 시트(232)가 수납되도록 홈이 형성되는 것도 가능하다. 제1-1마스크 시트(232)는 직사각형 형태로 형성될 수 있으며, 제1마스크 프레임(231)의 일변으로 배치될 수 있다. 또한, 제1-1마스크 시트(232)는 슬릿 형태로 형성될 수 있다.
제1-1마스크 시트(232)에는 복수개의 제1-1개구부(232A)을 구비할 수 있다. 이때, 복수개의 제1-1개구부(232A)은 제1 방향 및 제2 방향으로 서로 이격되도록 배열될 수 있다. 특히 각 제1-1개구부(232A)은 다양한 형태로 형성될 수 있다. 예를 들면, 일 실시예로서 제1-1마스크 시트(232)의 인장 방향으로 꼭지점이 배치된 마름모꼴일 수 있다. 다른 실시예로서 제1-1개구부(232A)은 직사각형 형태인 것도 가능하다. 이러한 경우 제1-1개구부(232A)의 장변은 제1-1마스크 시트(232)의 길이 방향 또는 마스크 시티의 길이 방향과 수직한 방향으로 배열될 수 있다. 또 다른 실시예로서 제1-1개구부(232A)은 원형인 것도 가능하다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1-1개구부(232A)이 직사각형인 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
상기 제1-2마스크 시트는 제1-2개구부를 포함할 수 있다. 이때, 제1-2개구부는 제1-1개구부(232A)와 상이한 크기를 가질 수 있다. 이때, 상기 제1-2마스크 시트는 제1-1마스크 시트(232)와 인접하도록 배치될 수 있다.
상기와 같은 제1-2개구부는 공정기판(MS)(또는 디스플레이 기판(D))에 배치된 복수개의 화소(Px-2) 중 적어도 일부에 대응되도록 배치될 수 있다. 즉, 제1-2개구부는 평면 상에서 볼 때 적어도 2개 이상의 화소정의막(29)의 개구부가 제1-2개구부 내부에 배치될 수 있다. 이에 대해서는 하기에서 상세히 설명하기로 한다.
상기와 같은 제1마스크 프레임(231)은 증착물질의 증착 정도를 확인하도록 하는 확인홀(231A)을 구비할 수 있다. 이때, 확인홀(231A)은 제1-1개구부(232A) 및 제1-2개구부와 상이한 형태로 형성될 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 확인홀(231A)은 제1마스크 프레임(231)에 배치된 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
제1지지스틱(234)은 제1마스크 프레임(231)에 배치되어 제1마스크 프레임(231)을 지지할 뿐만 아니라 제1-1마스크 시트(232) 및 제1-2마스크 시트를 지지하는 것도 가능하다. 이때, 제1지지스틱(234)은 격자 형태로 제1마스크 프레임(231)에 배치됨으로써 하나의 표시 장치(미도시)의 표시 영역(미도시)를 정의할 수 있다. 즉, 제1지지스틱(234)은 제1마스크 프레임(231)의 중앙 개구부를 복수개 영역으로 구분함으로써 복수개의 표시 영역을 정의할 수 있다.
제1기판지지부(240)는 공정기판(MS)을 지지할 수 있다. 이때, 제1기판지지부(240)는 공정기판(MS)이 안착하여 공정기판(MS)을 지지하거나 공정기판(MS)의 일면을 흡착하거나 부착하여 공정기판(MS)을 지지할 수 있다. 예를 들면, 제1기판지지부(240)는 제1챔버(210) 내부에 고정되는 프레임, 바 등을 포함할 수 있다. 다른 실시예로서 제1기판지지부(240)는 공정기판(MS)을 파지하는 클램프를 포함할 수 있다. 또 다른 실시예로서 제1기판지지부(240)는 점착척이나 정전척을 포함하는 것도 가능하다. 이러한 경우 제1기판지지부(240)는 제1자기력생성부(260)과 일체로 형성될 수 있다. 또 다른 실시예로서 제1기판지지부(240)는 제1챔버(210) 외부에서 공정기판(MS)을 제1챔버(210) 내부로 이송시키는 셔틀을 포함하는 것도 가능하다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1기판지지부(240)는 셔틀을 포함하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
제1마스크지지부(250)는 제1마스크 조립체(230)를 지지할 수 있다. 이때, 제1마스크지지부(250)는 상기에서 설명한 제1기판지지부(240)와 동일 또는 유사할 수 있으므로 이하에서는 설명의 편의를 위하여 상세한 설명을 생략하기로 한다. 또한, 이하에서는 제1마스크지지부(250)가 제1챔버(210) 내부에 고정되는 프레임을 포함하고, 제1마스크 조립체(230)는 상기 프레임에 안착하여 지지되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
제1자기력생성부(260)는 제1챔버(210)에 배치되어 제1마스크 프레임(231)을 공정기판(MS)에 밀착시킬 수 있다. 이때, 제1자기력생성부(260)는 전자석을 포함할 수 있다.
제1압력조절부(270)는 제1챔버(210)와 연결되어 제1챔버(210) 내부의 압력을 조절할 수 있다. 이때, 제1압력조절부(270)는 제1챔버(210)와 연결되는 배관과 배관에 배치되는 펌프를 포함할 수 있다.
제1비젼부(280)는 제1챔버(210)에 배치될 수 있다. 이때, 제1비젼부(280)는 제1챔버(210)에 삽입되도록 배치되거나 제1챔버(210)의 외부에 배치될 수 있다. 도면에 도시되어 있지 않지만 제1비젼부(280)가 제1챔버(210) 외부에 배치되는 경우 제1챔버(210)에는 투과창이 별도로 구비될 수 있다. 이러한 제1비젼부(280)는 이미지를 촬영하는 카메라를 포함할 수 있다.
한편, 상기와 같은 제1증착부(200)의 작동을 살펴보면, 제1증착부(200)는 보조층 중 적어도 하나를 공정기판(MS) 상에 형성할 수 있다.
구체적으로 공정기판(MS) 및 제1마스크 조립체(230)는 제1챔버(210) 내부로 장입될 수 있다. 이때, 공정기판(MS)은 일면에 하나의 증착영역이 배치되거나 서로 이격되도록 배치된 복수개의 증착영역이 배치될 수 있다. 이러한 증착영역은 공정기판(MS) 상에 복수개의 층을 배치하는 경우 표시 장치가 될 수 있다. 일 실시예로서 제1증착부(200)로 보조층을 형성하기 전에 상기의 증착영역에는 도 3에서 설명한 화소 전극(28A)이 형성된 상태일 수 있다. 다른 실시예로서 제1증착부(200)로 보조층을 형성하기 전에 상기의 증착영역에는 도 3에서 설명한 유기 발광층(28B-2)이 형성된 상태일 수 있다.
한편, 공정기판(MS)과 제1마스크 조립체(230)가 각각 제1기판지지부(240)와 제1마스크지지부(250)에 안착하면 제1비젼부(280)를 통하여 공정기판(MS)과 제1마스크 조립체(230)의 위치를 촬영하고, 이를 근거로 공정기판(MS)과 제1마스크 조립체(230)의 위치를 정렬할 수 있다.
상기의 과정이 완료되면, 제1증착원(220)에서 증착물질을 공정기판(MS)에 공급할 수 있다. 이때, 증착물질은 제1-1개구부(232A)를 통과하여 공정기판(MS) 상에 증착될 수 있다. 상기의 과정은 공정기판(MS)의 일부에서 수행될 수 있으며, 공정기판(MS)의 위치를 변경시키거나 제1마스크 조립체(230)의 위치를 변경시킴으로써 공정기판(MS)의 전면에 증착물질을 증착시키는 것이 가능하다. 이때, 공정기판(MS)은 증착물질이 일정한 패턴으로 증착되며, 서로 이격되는 증착영역을 포함할 수 있다. 이러한 증착영역을 증착시키는 경우 제1증착부(200)는 복수번 증착을 수행할 수 있다. 즉, 제1증착부(200)는 제1마스크 조립체(230)의 위치를 가변시키면서 증착영역에 증착물질을 증착시킴으로써 증착영역의 각 부분에서 보조층의 두께를 상이하게 형성하는 것이 가능하다.
표시장치의 제조장치에서 상기와 같은 과정이 완료되면, 공정기판(MS)을 제1챔버(210)로부터 인출하여 다른 표시장치의 제조장치로 이송하여 보조층 상에 유기 발광층, 다른 보조층, 대향 전극, 박막 봉지층 등을 형성할 수 있다. 다른 실시예로서 상기와 같은 과정이 완료되면, 공정기판(MS)을 제1챔버(210)로부터 인출하여 다른 표시장치의 제조장치로 이송하여 보조층 상에 대향 전극, 박막 봉지층 등을 형성할 수 있다.
따라서 제1증착부(200)는 적어도 하나 이상의 화소(Px-2)의 대응되는 공정기판(MS) 부분에 보조층을 적어도 2번 이상 형성함으로써 화소(Px-2)의 중간층의 두께를 자유롭게 조절하는 것이 가능하다. 또한, 제1증착부(200)는 하나의 공정기판(MS) 상에 보조층의 두께를 조절하기 위하여 별도의 장비를 사용하거나 복수개의 제1마스크 조립체(230)를 사용하지 않아도 되므로 제조 시간 및 제조 비용을 절감하는 것이 가능하다.
도 9는 도 8에 도시된 제1마스크 조립체를 보여주는 사시도이다. 도 10은 도 9에 도시된 제1마스크 조립체를 보여주는 평면도이다.
도 9 및 도 10을 참고하면, 제1마스크 조립체(230)는 제1마스크 프레임(231), 제1-1마스크 시트(232), 제1-2마스크 시트(233) 및 제1지지스틱(234)을 포함할 수 있다. 제1마스크 프레임(231)은 내부에 개구영역을 포함할 수 있다. 이때, 개구영역은 제1마스크 프레임(231)의 중앙 분에 배치될 수 있다.
제1-1마스크 시트(232)와 제1-2마스크 시트(233)는 서로 인접하도록 배치될 수 있다. 이때, 제1-1마스크 시트(232)와 제1-2마스크 시트(233) 중 적어도 하나는 복수개 배치될 수 있다. 상기와 같은 경우 제1-1마스크 시트(232)와 제1-2마스크 시트(233)는 제1마스크 프레임(231)의 서로 다른 영역에 배치될 수 있다. 예를 들면, 제1-1마스크 시트(232)는 제1개구영역(1OP)에 배치될 수 있으며, 제1-2마스크 시트(233)는 제2개구영역(2OP)에 배치될 수 있다. 상기와 같은 경우 제1개구영역(1OP)과 제2개구영역(2OP)은 서로 인접하도록 배치될 수 있으며, 제1개구영역(1OP)과 제2개구영역(2OP)의 개수 및 위치는 도 9에 도시된 것에 한정되는 것은 아니며, 다양한 위치에 배치될 수 있다. 예를 들면, 제2개구영역(2OP)이 제1마스크 프레임(231)의 가장자리에 배치되거나 제1마스크 프레임(231)의 상부 또는 하부에 배치될 수 있다. 이때, 제1개구영역(1OP)은 제1마스크 프레임(231)의 중앙 부분에 배치될 수 있다. 다른 실시예로서 제2개구영역(2OP)은 제1마스크 프레임(231)의 오른쪽 상부, 왼쪽 상부, 오른쪽 하부 또는 왼쪽 하부 등에 배치되는 것도 가능하다. 이러한 경우 제1개구영역(1OP)은 제2개구영역(2OP)이 배치되지 않은 제1마스크 프레임(231)의 개구영역의 다른 부분에 배치될 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1개구영역(1OP) 사이에 제2개구영역(2OP)이 배치되고, 제2개구영역(2OP)은 제1마스크 프레임(231)의 중앙 부분에 배치되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
제1-1마스크 시트(232)는 제1개구영역(1OP)을 차폐하도록 배치될 수 있다. 또한, 제1-2마스크 시트(233)는 제2개구영역(2OP)을 차폐하도록 배치될 수 있다. 이때, 제1-1마스크 시트(232)는 서로 이격되도록 배치된 제1-1개구부(232A)를 포함할 수 있으며, 제1-2마스크 시트(233)는 서로 이격되도록 배치된 제1-2개구부(233A)를 포함할 수 있다. 이러한 경우 제1-1개구부(232A)의 평면 형상의 면적은 제1-2개구부(233A)의 평면 형상의 면적과 상이하게 형성될 수 있다. 예를 들면, 제1-1개구부(232A)의 평면 형상의 면적은 제1-2개구부(233A)의 평면 형상의 면적보다 크게 형성될 수 있다. 특히 제1-1개구부(232A)의 평면 형상은 도 2에 도시된 제1평면영역(PA1)에 대응되는 형태일 수 있다. 제1-2개구부(233A)의 평면 형상은 도 2에 도시된 제2평면영역(PA2)에 배치된 복수개의 화소 중 일부와 대응되도록 형성될 수 있다. 즉, 제1-2개구부(233A)의 평면 형상은 도 7에 도시된 것과 같이 제1-2마스크 시트(233)가 공정기판(MS)과 마주보도록 배치되는 경우 제1-2개구부(233A)의 평면 형상 내부에 2개 이상의 화소가 포함되도록 형성될 수 있다.
상기와 같은 제1-1마스크 시트(232)는 도 2의 제1평면영역(PA1)과 대응되는 제1-1증착영역(232B)을 포함할 수 있다. 이때, 하나의 제1-1증착영역(232B)은 하나의 제1평면영역(PA1)에 대응될 수 있다. 제1-2마스크 시트(233)는 도 2의 제2평면영역(PA2)과 대응되는 제1-2증착영역(233B)을 포함할 수 있다. 이러한 경우 제1-2증착영역(233B)에는 복수개의 제1-2개구부(233A)가 배치될 수 있다.
제1지지스틱(234)은 제1마스크 프레임(231)에 배치되어 각 마스크 시트를 지지할 수 있다. 이때, 제1지지스틱(234)은 일 방향으로 배치되어 제1마스크 프레임(231)에 용접 등을 통하여 고정될 수 있다. 이러한 경우 제1지지스틱(234)은 다양한 방향으로 배열될 수 있다. 예를 들면, 제1지지스틱(234)은 제1-1마스크 시트(232)의 길이 방향으로 배치될 수 있다. 이러한 경우 제1지지스틱(234)은 서로 인접하는 마스크 시트 사이의 틈을 차폐시킴과 동시에 각 마스크 시트의 측면을 지지할 수 있다. 다른 실시예로서 제1지지스틱(234)은 제1-1마스크 시트(232)의 길이 방향과 수직한 방향으로 배치될 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1지지스틱(234)이 제1-1마스크 시트(232)의 길이 방향과 수직한 방향으로 배치되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
상기와 같은 제1마스크 조립체(230)는 하부보조층을 형성하기 위하여 사용될 수 있다.
한편, 이하에서는 제1마스크 조립체(230)를 통하여 공정기판(MS)의 제2영역(2A)의 제2평면영역(PA2)에 각 층을 형성하는 경우에 대해서 상세히 설명하기로 한다.
도 11은 도 2에 도시된 공정기판의 일부를 보여주는 평면도이다.
도 11을 참고하면, 공정기판(MS) 상에는 증착확인부(PM)가 배치될 수 있다. 이러한 경우 공정기판(MS)이 복수개의 증착영역(EA)을 구비하는 경우 증착확인부(PM)는 공정기판(MS)의 증착영역(EA) 사이에 배치될 수 있다. 다른 실시예로서 공정기판(MS)이 하나의 증착영역(EA)을 구비하는 경우 증착확인부(PM)는 증착영역(EA)의 외곽 공정기판(MS) 부분에 배치될 수 있다.
도 12는 본 발명의 실시예들에 따른 공정기판의 증착확인부의 일 실시예를 보여주는 평면도이다. 도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 방법을 보여주는 평면도이다.
도 12 및 도 13을 참고하면, 증착확인부(PM)는 다양한 패턴이 배치될 수 있다. 예를 들면, 증착확인부(PM)는 제1방향으로 배열되는 제1방향패턴(MR1), 제2방향으로 배열되는 제2방향패턴(MR2)을 포함할 수 있다. 이러한 경우 제2방향패턴(MR2)은 제2-1방향패턴(MR2-1), 제2-2방향패턴(MR2-2) 및 제2-3방향패턴(MR2-3)을 포함할 수 있다. 제2-1방향패턴(MR2-1) 내지 제2-3방향패턴(MR2-3)은 제1방향으로 서로 이격되도록 배치될 수 있다. 이때, 제1방향과 제2방향은 서로 수직을 형성할 수 있다.
상기와 같은 경우 확인홀(231A)을 통과하는 증착물질은 증착확인부(PM)에 증착될 수 있다. 특히 증착물질이 확인홀(231A)을 통과하는 경우 제1방향패턴(MR1)의 연장선과 제2-1방향패턴(MR2-1)의 연장선이 교차하는 제1지점에 제1증착물질패턴(M1)이 배치될 수 있다. 또한, 제1마스크 조립체(230)를 제1방향으로 한번 이동시킨 후 증착을 수행하면, 제2지점에 제2증착물질패턴(M2)이 배치될 수 있다. 이후 제1마스크 조립체(230)를 제1방향으로 한번 더 이동시킨 후 증착을 수행하면 제3지점에 제3증착물질패턴(M3)이 배치될 수 있다. 이러한 경우 확인홀(231A)은 제1마스크 조립체(230)의 이동 방향에 대해서 가장 하류측의 제1마스크 프레임(231)에 배치될 수 있다.
상기와 같이 제1마스크 조립체(230)가 이동하면서 증착을 수행하는 경우 제1-2개구부(233A)의 위치는 도 13에 도시된 바와 같이 제1-2개구부(233A)의 위치는 최초 제1위치(PO1)에 배치될 수 있다. 이러한 경우 제1-2개구부(233A)은 도 123 도시된 좌측의 제1영역(A1) 내지 제3영역(A3)에 배치된 4개의 화소(Px-2)에 대응되도록 배치될 수 있다. 이러한 경우 제1-2개구부(233A)을 통과한 증착물질을 제1위치(PO1)의 제1-2개구부(233A)과 대응되는 공정기판(MS) 부분에 증착될 수 있다. 이후 제1마스크 조립체(230)를 한번 이동시키는 경우 제1-2개구부(233A)은 제2위치(PO2)에 배치될 수 있다. 이러한 경우 제1-2개구부(233A)은 도 13에 도시된 좌측의 제2영역(A2), 제3영역(A3) 및 도 13에 도시된 우측의 제2영역(A2)에 배치된 화소(Px-2)들에 대응되도록 배치될 수 있다. 이때, 제1-2개구부(233A)을 통과한 증착물질은 대응되는 화소(Px-2) 상에 증착될 수 있다. 또한, 다시 제1마스크 조립체(230)를 이동시키면 제1-2개구부(233A)은 제2위치(PO2)에서 제3위치(PO3)로 이동할 수 있다. 이때, 제3위치(PO3)의 제1-2개구부(233A)은 도 8에 도시된 두 개의 제3영역(A3), 우측의 제2영역(A2) 및 우측의 제1영역(A1)에 배치된 화소(Px-2)들에 대응되도록 배치될 수 있다.
상기와 같이 제1마스크 조립체(230)를 이동시키는 경우 확인홀(231A)을 통하여 공정기판(MS) 상에 배치되는 증착물질의 패턴을 제1방향패턴(MR1)과 제2방향패턴(MR2)과 비교하여 제1마스크 조립체(230)의 이동이 정확하게 이루어지고 있는지 평가할 수 있다.
즉, 제1방향패턴(MR1)과 제2방향패턴(MR2)이 서로 교차하는 지점에 제1증착물질패턴(M1), 제2증착물질패턴(M2) 및 제3증착물질패턴(M3)이 형성되고 제1비젼부(280)를 통하여 이러한 제1증착물질패턴(M1), 제2증착물질패턴(M2) 및 제3증착물질패턴(M3)이 정확한 지점에 형성되었는지 판별함으로써 제1마스크 조립체(230)의 이동의 정확성을 확인할 수 있다.
한편, 상기에서는 공정기판(MS)을 고정시키고 제1마스크 조립체(230)를 이동시키는 경우를 중심으로 상세히 설명하였으나 본 발명의 실시예들은 이에 한정되지 않는다.
구체적으로 제1마스크 조립체(230)를 고정시키고 공정기판(MS)을 이동시키면서 상기와 같은 작업을 진행하는 것도 가능하다. 이때, 공정기판(MS)은 상기에서 설명한 제1마스크 조립체(230)의 이동 방향과 반대 방향으로 이동시키면서 증착 공정을 수행할 수 있다.
도 14는 본 발명의 실시예들에 따른 공정기판의 증착확인부의 다른 실시예를 보여주는 평면도이다. 도 15는 본 발명의 다른 실시예에 따른 증착 방법을 보여주는 평면도이다.
도 14 및 도 15를 참고하면, 증착확인부(PM)는 제1방향패턴(MR1)과 제2방향패턴(MR2)을 포함할 수 있다. 이때, 제2방향패턴(MR2)은 상기 도 8에서 설명한 것과 동일하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
제1방향패턴(MR1)은 제1-1방향패턴(MR1-1), 제1-2방향패턴(MR1-2) 및 제1-3방향패턴(MR1-3)을 포함할 수 있다. 이때, 제1-1방향패턴(MR1-1), 제1-2방향패턴(MR1-2) 및 제1-3방향패턴(MR1-3)은 제2방향을 따라 서로 이격되도록 배치될 수 있다.
한편, 상기와 같이 제1마스크 조립체(230)를 사용하여 공정기판(MS) 상에 증착물질을 증착하는 경우 제1마스크 조립체(230) 또는 공정기판(MS)을 이동시키면서 증착물질을 공정기판(MS) 상에 증착시킬 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1마스크 조립체(230)를 이동시키면서 공정기판(MS) 상에 증착물질을 증착시키는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
제1마스크 조립체(230)와 공정기판(MS)을 서로 정렬한 후 증착을 진행하면, 확인홀(231A)을 통과한 증착물질은 증착확인부(PM)에 증착되어 제1-3방향패턴(MR1-3)의 연장선과 제2-1방향패턴(MR2-1)의 연장선이 교차하는 제1지점에 제1증착물질패턴(M1)을 형성할 수 있다. 이때, 제1-2개구부(233A)은 제1위치(PO1)에 배치될 수 있다. 이러한 경우 제1-2개구부(233A)은 하나의 화소그룹 중 도 10에 도시된 좌측의 제1영역(A1) 내지 제3영역(A3)에 배치된 4개의 화소(Px-2)에 대응되도록 배치될 수 있다.
이후 제1마스크 조립체(230)를 이동시키고 증착을 진행하면, 확인홀(231A)을 통과한 증착물질은 증착확인부(PM)에 증착되어 제1-2방향패턴(MR1-2)의 연장선과 제2-2방향패턴(MR2-2)의 연장선이 교차하는 제2지점에 제2증착물질패턴(M2)을 형성할 수 있다. 이러한 경우 제1-2개구부(233A)은 제2위치(PO2)에 배치될 수 있다. 이때, 제1-2개구부(233A)은 하나의 화소그룹 중 도 10에 도시된 좌측의 제2영역(A2), 제3영역(A3) 및 도 15에 도시된 우측의 제2영역(A2)에 배치된 화소(Px-2)들에 대응되도록 배치될 수 있다.
다시 제1마스크 조립체(230)를 이동시키고 증착을 진행하면, 확인홀(231A)을 통과한 증착물질은 증착확인부(PM)에 증착되어 제1-1방향패턴(MR1-1)의 연장선과 제2-3방향패턴(MR2-3)의 연장선이 교차하는 제3지점에 제3증착물질패턴(M3)을 형성할 수 있다. 이때, 제1-2개구부(233A)은 제2위치(PO2)에 배치될 수 있다. 이러한 경우 제1-2개구부(233A)은 하나의 화소그룹 중 도 15에 도시된 두 개의 제3영역(A3), 우측의 제2영역(A2) 및 우측의 제1영역(A1)에 배치된 화소(Px-2)들에 대응되도록 배치될 수 있다.
상기와 같이 증착이 수행되는 경우 제1마스크 조립체(230)는 제1방향 및 제2방향으로 이동할 수 있다. 즉, 제1증착물질패턴(M1)에서 제2증착물질패턴(M2)으로 이동하는 방향으로 제1마스크 조립체(230)를 이동시킬 수 있다. 또한, 제2증착물질패턴(M2)에서 제3증착물질패턴(M3)으로 이동하는 방향으로 제1마스크 조립체(230)를 이동시킬 수 있다.
상기와 같이 제1마스크 조립체(230)를 이동시키는 경우 제1-2개구부(233A)은 각 영역에 배치된 화소의 범위를 벗어나지 않을 수 있다. 즉, 각 화소에 배치된 화소정의막의 개구부의 평면이 평면 상에서 완전히 제1-2개구부(233A) 내부에 존재하도록 제1마스크 조립체(230)를 이동시킬 수 있다.
상기와 같이 제1마스크 조립체(230)를 이동시키는 경우 제1마스크 조립체(230)는 제1방향으로만 이동하지 않고 제1방향으로 이동하면서 제2방향으로 이동할 수 있다. 이러한 경우 도 14에 도시된 것과 같이 제1증착물질패턴(M1), 제2증착물질패턴(M2) 및 제3증착물질패턴(M3)은 제1방향 또는 제2방향으로 움직이지 않고 제1방향과 제2방향에 대해서 경사진 방향으로 움직일 수 있다. 또한, 이러한 경우 제1-2개구부(233A)이 각각 제1위치(PO1), 제2위치(PO2) 및 제3위치(PO3)에 배치되는 경우 각 위치에서 제1-2개구부(233A)의 중심을 연결한 선분은 화소(Px-2)의 중심을 연결한 선분과 평행하거나 직각을 형성하지 않을 수 있다. 즉, 화소(Px-2)의 중심을 연결한 선분은 제1방향 또는 제2방향과 평행할 수 있으며, 제1-2개구부(233A)의 중심이 이동한 임의의 직선은 제1방향 또는 제2방향에 대해서 사선으로 배열될 수 있다. 이러한 경우 제1-2개구부(233A)가 제1위치(PO1)에 배치될 때 형성된 제1하부보조층(28B-1A)의 중심, 제1-2개구부(233A)가 제2위치(PO2)에 배치될 때 형성된 제2하부보조층(28B-1B)의 중심 및 제1-2개구부(233A)가 제3위치(PO3)에 배치될 때 형성된 제3하부보조층(28B-1C)의 중심은 제1-2개구부(233A)의 중심의 위치에 대응되도록 위치가 서로 상이할 수 있다.
따라서 제1마스크 조립체(230) 또는 공정기판(MS)을 정밀하게 움직임으로써 보조층의 형성 시 보조층이 각 화소에 정확하게 배치되도록 할 수 있다. 또한, 적어도 2개 이상의 보조층이 화소에서 정확하게 중첩되게 함으로써 각 화소의 중간층의 두께를 정밀하게 제어하는 것이 가능하다.
도 16a 내지 도 16c는 도 13 또는 도 15에 도시된 증착방법을 통해 공정기판에 증착물질을 증착하는 순서를 보여주는 단면도이다.
도 11a를 참고하면, 디스플레이 기판(D) 상에 제1하부보조층(28B-1A)을 형성할 수 있다. 이때, 디스플레이 기판(D)은 기판(21), 기판(21)과 화소정의막(29) 사이에 배치된 각 층, 화소정의막(29), 및 화소 전극(28A)을 포함할 수 있다.
상기와 같은 경우 디스플레이 기판(D)을 도 8에 도시된 제1증착부(200)에 배치한 후 디스플레이 기판(D) 상에 증착물질을 증착시킬 수 있다. 이때, 디스플레이 기판(D)은 공정기판(MS)에 하나 또는 복수개 구비된 상태일 수 있다. 즉, 디스플레이 기판(D)은 공정기판(MS) 자체 또는 공정기판(MS)의 일부분을 지칭할 수 있다. 특히 디스플레이 기판(D)이 공정기판(MS)의 일부분인 경우 디스플레이 기판(D)은 공정기판(MS)의 증착영역을 포함할 수 있다.
마스크 조립체(미도시)를 디스플레이 기판(D)과 대향하도록 배치한 후 증착원(미도시))을 통하여 증착물질을 디스플레이 기판(D)으로 공급할 수 있다.
증착물질은 제1-2마스크 시트(233)의 제1-2개구부(233A)을 통과하여 디스플레이 기판(D)에 증착될 수 있다. 이때, 증착물질은 하나의 화소그룹에 포함되는 하나의 제1영역(A1), 하나의 제2영역(A2) 및 두 개의 제3영역(A3)에 배치된 디스플레이 기판(D) 상에 증착될 수 있다. 상기와 같이 증착되는 경우 하나의 화소그룹에 포함되는 복수개의 화소 중 일부에만 증착물질이 증착될 수 있다.
도 11b를 참고하면, 도 11a와 같이 제1하부보조층(28B-1A)을 형성한 제1하부보조층(28B-1A) 상에 제2하부보조층(28B-1B)을 형성할 수 있다. 이때, 제2하부보조층(28B-1B)은 제1하부보조층(28B-1A) 전체 상에 배치되지 않을 수 있다. 즉, 제2하부보조층(28B-1B)은 상기 도 8 및 도 10에 도시된 바와 같이 평면 상에서 볼 때 제1하부보조층(28B-1A)과 일부분만 중첩되도록 배치될 수 있다.
상기와 같이 제2하부보조층(28B-1B)을 형성하기 위하여 상기 마스크 프레임을 제1방향으로 일정 간격 이동시킬 수 있다. 이때, 상기 마스크 프레임의 이동 정도는 적어도 하나의 화소의 제1방향의 폭의 N배수일 수 있다.(여기서 N은 자연수) 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 상기 마스크 프레임을 하나의 화소의 제1방향의 폭만큼 이동시키는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
상기와 같이 상기 마스크 조립체를 이동시킨 후 증착물질을 디스플레이 기판(D)에 증착시키는 경우 증착물질은 도 11b의 왼쪽 제1영역(A1) 및 오른쪽 제1영역(A1)을 제외한 두 개의 제2영역(A2)과 두 개의 제3영역(A3)의 디스플레이 기판(D) 상에 증착될 수 있다. 이러한 경우 오른쪽 제2영역(A2) 및 두 개의 제3영역(A3)에 배치된 화소에서는 제1하부보조층(28B-1A) 상에 제2하부보조층(28B-1B)이 배치될 수 있다.
도 11c를 참고하면, 상기와 같이 제2하부보조층(28B-1B)을 형성한 후 제2하부보조층(28B-1B) 상에 제3하부보조층(28B-1C)을 형성할 수 있다. 이때, 상기 마스크 조립체를 도 11b의 위치에서 제1방향으로 다시 이동시킬 수 있다.
이러한 경우 제1-2개구부(233A)은 두 개의 제3영역(A3)과 오른쪽 제2영역(A2) 및 오른쪽 제1영역(A1)에 대응되도록 배치될 수 있다.
상기와 같이 마스크 조립체가 배치되면, 상기 증착원에서 증착물질을 공급할 수 있다. 이러한 경우 왼쪽에 배치된 제1영역(A1)과 제2영역(A2)은 제1-2마스크 시트(233)에 의해 증착물질이 차단되고, 두 개의 제3영역(A3)과 오른쪽 제2영역(A2) 및 오른쪽 제1영역(A1)에는 제1-2개구부(233A)을 통과한 증착물질이 도달하여 디스플레이 기판(D) 상에 증착될 수 있다.
상기와 같이 제3하부보조층(28B-1C)을 형성하는 경우 두 개의 제3영역(A3)에는 제1하부보조층(28B-1A), 제2하부보조층(28B-1B) 및 제3하부보조층(28B-1C)이 화소 전극(28A) 상에 순차적으로 배치될 수 있다. 또한, 오른쪽 제2영역(A2)에는 화소 전극(28A) 상에 제2하부보조층(28B-1B) 및 제3하부보조층(28B-1C)이 순차적으로 배치되고, 오른쪽 제3영역(A3)에는 화소 전극(28A) 상에 제3하부보조층(28B-1C)이 배치될 수 있다.
한편, 상기와 같은 과정은 상기에 한정되는 것은 아닐 수 있다. 예를 들면, 상기 마스크 조립체의 이동을 상기와 같이 하지 않고 화소의 폭의 2N배만큼 이동시켜 증착물질을 디스플레이 기판(D)에 증착시키는 것도 가능하다. 다른 실시예로서 제1-2개구부(233A)에 대응되는 화소의 개수가 도 11a 내지 도 11b에 도시된 화소의 개수보다 적거나 많은 것도 가능하다. 이때, 제1-2개구부(233A)에 대응되는 화소의 개수는 적어도 2개 이상일 수 있다. 이러한 경우 상기 마스크 조립체의 이동 거리는 화소의 폭의 N배 또는 2N배 등 다양하게 조절하는 것이 가능하다.
상기와 같이 상기 마스크 조립체를 이동시키면서 증착물질을 디스플레이 기판(D)에 증착시키는 경우 동일한 증착물질이 디스플레이 기판(D)의 각 화소에 서로 다른 두께로 증착될 수 있다. 특히 상기와 같이 증착물질이 보조층인 경우 각 화소의 중간층(28B)의 두께가 서로 상이해짐으로써 동일한 광조사부(미도시) 내에서 서로 다른 파장의 빛을 발광하는 것이 가능할 수 있다.
도 17은 도 1에 도시된 제2-1증착부의 제2-1마스크 조립체를 보여주는 평면도이다.
도 17을 참고하면, 제2-1마스크 조립체(330-1)는 제2-1마스크 프레임(331-1), 제1-1발광층 마스크 시트(332-1), 제1-2발광층 마스크 시트(333-1) 및 제2-1지지스틱(334-1)을 포함할 수 있다.
제2-1마스크 프레임(331-1)은 중앙 부분은 개구영역을 포함하고, 제1-1발광층 마스크 시트(332-1)는 개구영역 중 제1개구영역(1OP)에 배치되며, 제1-2발광층 마스크 시트(333-1)는 개구영역 중 제2개구영역(2OP)에 배치될 수 있다.
이러한 제1-1발광층 마스크 시트(332-1)는 제1-1발광층개구부(332A-1)를 포함할 수 있다. 이러한 경우 제1-1발광층개구부(332A-1)는 제1-1발광층증착영역(332B-1)에 서로 이격되도록 배치되도록 복수개 구비될 수 있다. 또한, 제1-1발광층 마스크 시트(332-1)는 복수개의 제1-1발광층증착영역(332B-1)을 구비하며, 복수개의 제1-1발광층증착영역(332B-1)은 제1-1발광층 마스크 시트(332-1)의 길이 방향을 따라 서로 이격되도록 배치될 수 있다. 이때, 각 제1-1발광층증착영역(332B-1)은 도 2의 제1평면영역(PA1)에 대응되는 영역일 수 있다.
제1-2발광층 마스크 시트(333-1)는 제1-2발광층개구부(333A-1)를 포함할 수 있다. 이때, 제1-2발광층개구부(333A-1)는 제1-2발광층증착영역(333B-1)에 대응되도록 형성될 수 있다. 즉, 하나의 제1-2발광층증착영역(333B-1)은 하나의 제1-2발광층개구부(333A-1)를 포함할 수 있다. 이러한 경우 제1-2발광층 마스크 시트(333-1)는 복수개의 제1-2발광층증착영역(333B-1)을 포함하므로 제1-2발광층개구부(333A-1)는 서로 이격되도록 제1-2발광층 마스크 시트(333-1)에 배치될 수 있다. 이러한 경우 각 제1-2발광층개구부(333A-1)는 도 6에 도시된 표시영역(DA-2)에 대응되는 형태일 수 있으며, 제1-2발광층개구부(333A-1)를 통과한 증착물질은 도 6에 도시된 표시영역(DA-2) 전체를 덮을 수 있다.
상기와 같은 경우 제1-2발광층개구부(333A-1)의 평면 형상의 크기는 제1-1발광층개구부(332A-1)의 평면 형상의 크기보다 클 수 있다.
제2-1지지스틱(334-1)은 제2-1마스크 프레임(331-1)의 개구영역에 배치되어 개구영역을 2개 이상의 영역으로 구분할 수 있다. 이러한 경우 제2-1지지스틱(334-1)은 상기에서 설명한 바와 같이 제1지지스틱(234)과 동일 또는 유사하게 배치될 수 있다.
상기와 같은 제2-1마스크 조립체(330-1)는 공정기판(MS) 상에 하부보조층을 형성한 후 하부보조층 상에 제1유기 발광층을 형성할 수 있다. 이때, 제1유기 발광층은 도 2의 공정기판(MS)의 제1영역(1A)의 제1평면영역(PA1)에는 서로 이격되도록 복수개 배열 수 있으며, 도 2의 공정기판(MS)의 제2영역(2A)의 제2평면영역(PA2)에는 제2평면영역(PA2) 전체를 덮도록 형성될 수 있다.
도 18은 도 1에 도시된 제2-2증착부의 제2-2마스크 조립체 또는 제2-3증착부의 제2-3마스크 조립체를 보여주는 평면도이다.
도 18을 참고하면, 제2-2마스크 조립체(330-2)와 제2-3마스크 조립체(330-3)는 서로 동일 또는 유사할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제2-2마스크 조립체(330-2)를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
제2-2마스크 조립체(330-2)는 제2-2마스크 프레임(331-2), 제2-1발광층 마스크 시트(332-2), 제2-2발광층 마스크 시트(333-2) 및 제2-2지지스틱(334-2)을 포함할 수 있다. 이때, 제2-2마스크 프레임(331-2)은 상기 도 9 및 도 10에서 설명한 제1마스크 프레임(231)과 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
제2-2마스크 프레임(331-2)은 중앙 부분은 개구영역을 포함하고, 제2-1발광층 마스크 시트(332-2)는 개구영역 중 제1개구영역(1OP)에 배치되며, 제2-2발광층 마스크 시트(333-2)는 개구영역 중 제2개구영역(2OP)에 배치될 수 있다.
제2-1발광층 마스크 시트(332-2)는 제2-1발광층개구부(332A-2)를 포함할 수 있다. 이때, 제2-1발광층개구부(332A-2)는 복수개 구비되며, 복수개의 제2-1발광층개구부(332A-2)는 서로 일정한 패턴으로 제2-1발광층증착영역(332B-2)에 배치될 수 있다.
제2-2발광층 마스크 시트(333-2)는 증착물질을 통과하지 못하도록 개구부를 포함하지 않을 수 있다. 이러한 경우 제2-2발광층 마스크 시트(333-2)는 플레이트 형태로 형성되어 제2-2마스크 프레임(331-2)의 제2개구영역(2OP)에 배치될 수 있다.
상기와 같은 경우 제2-2지지스틱(334-2)은 제2-2마스크 프레임(331-2)에 배치되어 제2-2개구영역을 2개 이상의 개구영역으로 구분할 수 있다. 이때, 제2-2지지스틱(334-2)의 배치 방법은 상기 도 9 및 도 10에서 설명한 바와 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
한편, 제2-3마스크 조립체(330-3)는 제2-2마스크 조립체(330-2)와 유사하게 제2-3마스크 프레임(331-3), 제3-1발광층 마스크 시트(332-3), 제3-2발광층 마스크 시트(333-3) 및 제2-3지지스틱(334-3)을 포함할 수 있다. 이때, 제2-3마스크 프레임(331-3)은 제2-3개구영역을 포함하고, 제3-1발광층 마스크 시트(332-3)는 제3-1발광층개구부(332A-3)를 포함할 수 있다.
상기와 같은 경우 제2-3마스크 프레임(331-3) 및 제2-3지지스틱(334-3)은 상기에서 설명한 제2-2마스크 프레임(331-2) 및 제2-2지지스틱(334-2)과 동일 또는 유사할 수 있다. 또한, 제3-1발광층 마스크 시트(332-3)와 제3-2발광층 마스크 시트(333-3)는 제2-1발광층 마스크 시트(332-2)와 제2-2발광층 마스크 시트(333-2)와 유사할 수 있다. 이때, 제3-1발광층개구부(332A-3)의 위치는 제2-1발광층개구부(332A-2)의 위치와 서로 상이할 수 있다. 즉, 제3-1발광층 마스크 시트(332-3)와 제2-1발광층 마스크 시트(332-2)를 서로 중첩하는 경우, 평면 상으로 볼 때 제3-1발광층개구부(332A-3)와 제2-1발광층개구부(332A-2)는 서로 중첩되지 않을 수 있다.
상기와 같은 제2-2마스크 조립체(330-2)와 제2-3마스크 조립체(330-3)를 사용하는 경우 도 2의 공정기판(MS)의 제1영역(1A)에는 제2유기 발광층 및 제3유기 발광층이 형성되는 반면, 도 2의 공정기판(MS)의 제2영역(2A)에는 제2유기 발광층 및 제3유기 발광층이 형성되지 않을 수 있다. 이러한 경우 제2-1증착부(300-1) 내지 제2-3증착부(300-3)를 통과한 공정기판(MS) 상에는 공정기판(MS)의 제1영역(1A)에는 제1유기 발광층, 제2유기 발광층 및 제3유기 발광층이 각 제1평면영역(PA1) 상에 배치되는 반면, 공정기판(MS)의 제2영역(2A)의 제2평면영역(PA2) 상에는 제1유기 발광층만이 배치될 수 있다. 이때, 제1영역(1A)에 배치되는 제1유기 발광층, 제2유기 발광층 및 제3유기 발광층은 제1평면영역(PA1) 상에서 서로 이격되도록 배치될 수 있다.
도 19는 도 1에 도시된 제3증착부의 제3마스크 조립체를 보여주는 평면도이다.
도 19를 참고하면, 제3마스크 조립체(430)는 제3마스크 프레임(431), 제3-1마스크 시트(432), 제3-2마스크 시트(433) 및 제3지지스틱(434)을 포함할 수 있다. 이때, 제3마스크 프레임(431)은 도 9에 도시된 제1마스크 프레임(231)과 동일 또는 유사하게 형성될 수 있다.
제3마스크 프레임(431)은 중앙 부분은 개구영역을 포함하고, 제3-1마스크 시트(432)는 개구영역 중 제1개구영역(1OP)에 배치되며, 제3-2마스크 시트(433)는 개구영역 중 제2개구영역(2OP)에 배치될 수 있다.
제3-1마스크 시트(432)는 서로 이격되도록 배치되는 제3-1개구부(432A)를 포함할 수 있다. 이때, 제3-1개구부(432A)는 도 2에 도시된 제1평면영역(PA1)에 대응되는 형상을 가질 수 있다. 이러한 경우 제3-1개구부(432A)는 제3-1증착영역(432B) 전체와 동일하거나 유사하게 형성될 수 있다.
제3-2마스크 시트(433)는 서로 이격되도록 배치되는 제3-2개구부(433A)를 포함할 수 있다. 이때, 제3-2개구부(433A)의 평면 형상의 크기는 제3-1개구부(432A)의 평면 형상의 크기보다 작을 수 있다. 이러한 경우 제3-2개구부(433A)는 도 2에 도시된 제2평면영역(PA2)에 대응되는 크기를 가질 수 있다.
상기와 같은 제3마스크 조립체(430)는 도 1에 도시된 제3증착부(400)에서 사용될 수 있다. 이러한 경우 도 2의 제1평면영역(PA1)의 전체 및 제2평면영역(PA2) 전체를 덮도록 상부보조층이 형성될 수 있다.
상기와 같은 경우 상부보조층은 복수개 구비되는 것도 가능하다. 이러한 경우 각 상부보조층은 서로 다른 물질을 포함할 수 있으며, 제3증착부(400)가 복수개 구비되어 각 제3증착부(400)에서는 서로 다른 상부보조층을 형성하는 것도 가능하다. 이때, 제3마스크 조립체(430)는 각 제3증착부(400)에 별도로 구비될 수 있다. 다른 실시예로서 하나의 제3증착부(400)에서 복수개의 상부보조층을 각각 형성하는 것도 가능하다. 이때, 제3마스크 조립체(430)는 제3증착부(400)에서 하나가 구비되어 지속적으로 사용될 수 있으며, 제3증착부(400)의 증착원 내부에 수납되는 증착물질의 종류를 교체하거나 증착원 자체를 교체할 수 있다.
도 20은 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치의 마스크 조립체의 일부를 보여주는 평면도이다.
도 20을 참고하면, 표시 장치의 제조장치의 각 마스크 조립체에 포함된 마스크 프레임은 지지스틱에 의하여 마스크 프레임의 개구영역이 2개 이상의 개구영역으로 구분될 수 있다. 이때, 상기에서 설명한 제1마스크 프레임(231), 제2-1마스크 프레임(331-1), 제2-2마스크 프레임(331-2), 제2-3마스크 프레임(331-3) 및 제3마스크 프레임(431) 각각의 개구영역이 구분되는 방법은 서로 동일 또는 유사하므로 이하에서는 제1마스크 프레임(231)의 개구영역이 구분되는 방법을 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
제1마스크 프레임(231)의 개구영역은 제1지지스틱(234)을 통하여 복수개의 개구영역으로 구분될 수 있다. 이때, 제1지지스틱(234)은 제1방향(예를 들면, 도 20의 X축방향 또는 Y축 방향 중 하나)으로 배열되는 제1스틱(234-1)과, 제2방향(예를 들면, 도 20의 X축 방향 또는 Y축 방향 중 다른 하나)으로 배열되는 제2스틱(234-2)을 포함할 수 있다.
상기와 같은 경우 제1스틱(234-1)은 제2스틱(234-2)보다 길이가 길 수 있다. 즉, 제1스틱(234-1)은 제1마스크 프레임(231)의 장변 방향으로 배열되 수 있다. 이때, 제1스틱(234-1)은 개구영역을 두개의 개구영역으로 구분할 수 있다. 또한, 제1스틱(234-1)으로 인하여 나뉜 개구영역 중 면적이 작은 부분에 제2방향으로 제2스틱(234-2)이 배열되어 수 있다. 이러한 경우 개구영역은 제1개구영역(1OP)과 제2개구영역(2OP)으로 구분될 수 있다. 이때, 제1개구영역(1OP)의 면적은 제2개구영역(2OP)의 면적보다 클 수 있다.
상기와 같은 경우 도면에 도시되어 있지는 않지만 제1-1마스크 시트(232)는 제1개구영역(1OP)에 배치되며, 제1-2마스크 시트(233)는 제2개구영역(2OP)에 배치될 수 있다. 특히 제1-1마스크 시트(232)의 길이 방향은 제2방향과 동일하도록 제1-1마스크 시트(232)가 배치될 수 있다. 또한, 제1-2마스크 시트(233)의 길이 방향은 제1방향과 동일하도록 제1-2마스크 시트(233)가 배치될 수 있다. 상기와 같은 경우 제1-1마스크 시트(232)의 끝단은 제1마스크 프레임(231)과 제1스틱(234-1)에 각각 고정될 수 있으며, 제1-2마스크 시트(233)의 끝단은 제2스틱(234-2)과 제1마스크 프레임(231)은 고정된 상태일 수 있다.
상기의 경우 제2스틱(234-2)은 제1스틱(234-1)의 길이 방향의 중심 부분에 연결될 수 있다. 이러한 경우 제1-1마스크 시트(232)는 인장된 상태로 제1마스크 프레임(231)과 제1스틱(234-1)에 고정됨으로써 제1스틱(234-1)이 변형될 수 있다. 이때, 제2스틱(234-2)은 제1스틱(234-1)과 연결됨으로써 제1스틱(234-1)의 변형을 저감시키는 것이 가능하다.
상기와 같은 제1스틱(234-1)과 제2스틱(234-2)은 상기에 한정되는 것은 아니며 다양한 방향으로 배열되어 제1개구영역(1OP)을 다양한 영역으로 구분하는 것이 가능하다.
따라서 각 마스크 조립체는 각 마스크 프레임의 개구영역을 효율적으로 구분하여 하나의 공정기판 상에 다양한 표시 장치를 제조하는 것이 가능하다.
도 21a 내지 도 21c는 도 20에 도시된 제1마스크 프레임과 제1스틱의 연결관계의 실시예들을 보여주는 측면도이다.
도 21a 내지 도 21c를 참고하면, 도 20에 도시된 제1마스크 프레임(231)과 제1스틱(234-1)은 다양한 방식으로 연결될 수 있다.
구체적으로 도 21a에 도시된 것과 같이 제1마스크 프레임(231)의 측면에는 제1결합부(231C)가 배치될 수 있다. 이러한 경우 제1결합부(231C)는 장공 형태의 홀로 형성될 수 있다. 이때, 제1결합부재(235)는 제1결합부(231C)에 삽입될 수 있다. 제1결합부재(235)는 볼트, 핀 등을 포함할 수 있다. 이때, 제1결합부재(235)는 상기에 한정되는 것은 아니며, 제1결합부(231C)에 삽입되어 제1마스크 프레임(231)과 제1스틱(234-1)을 연결하는 모든 장치 및 모든 구조를 포함할 수 있다.
제1결합부(231C)는 도 21b에 도시된 것과 같이 복수개 구비되는 것도 가능하다. 이러한 경우 제1결합부재(235)도 복수개 구비될 수 있으며, 각 제1결합부재(235)는 각 제1결합부(231C)에 삽입되어 제1마스크 프레임(231)과 제1스틱(234-1)을 고정시킬 수 있다.
한편, 제1결합부(231C)는 도 21c에 도시된 것과 같이 형성되는 것도 가능하다. 이러한 경우 제1스틱(234-1)은 길이 방향에 수직한 단면이 삼각형 형태일 수 있다. 이때, 제1결합부(231C)는 제1마스크 프레임(231)의 측면의 상부에 배치됨으로써 제1스틱(234-1)의 단면 중 넓은 부분과 결합할 수 있다. 이러한 경우 제1스틱(234-1)은 증착 공정 시 증착물질의 이동경로를 차단하지 않을 수 있다.
도 22a 내지 도 22d는 도 20에 도시된 제1스틱과 제2스틱의 연결관계의 실시예들을 보여주는 측면도이다.
도 22a 내지 도 22d를 참고하면, 제1스틱(234-1)과 제2스틱(234-2)은 제1스틱(234-1)과 제1마스크 프레임(231)이 연결되는 방법과 동일 또는 유사하게 형성될 수 있다.
구체적으로 제1스틱(234-1) 및 제1마스크 프레임(231)에는 제2결합부(234-1A)가 배치될 수 있다. 이러한 경우 제2결합부(234-1A)는 도 22a에 도시된 것과 같이 장공 형태의 홀일 수 있다. 또한, 제2결합부(234-1A)는 도 22b에 도시된 것과 같이 복수개 구비되는 것도 가능하다. 제2결합부(234-1A)는 도 22c에 도시된 것과 같이 홀 형태인 것도 가능하다. 이러한 경우 제2결합부(234-1A)는 서로 이격되는 복수개의 홀을 포함할 수 있다. 제2결합부(234-1A)는 도 22d에 도시된 것과 같이 제1스틱(234-1)의 상부 및 제1마스크 프레임(231)의 측면의 상부에 장공 형태의 홀인 것도 가능하다. 이러한 경우 제2스틱(234-2)의 길이 방향과 수직한 단면은 삼각형일 수 있다.
상기와 같은 제2결합부(234-1A)에는 제2결합부재(236)가 삽입되어 제1스틱(234-1)과 제2스틱(234-2) 또는 제1마스크 프레임(231)과 제2스틱(234-2)을 고정시킬 수 있다. 이러한 경우 제2결합부재(236)는 제1결합부재(235)와 동일 또는 유사하게 형성될 수 있다.
도 23은 도 20에 도시된 제1스틱과 제2스틱 및 제2스틱과 제1마스크 프레임의 연결관계를 보여주는 단면도이다.
도 23을 참고하면, 제1스틱(234-1)과 제2스틱(234-2)은 상기에서 설명한 것과 같이 제2결합부재(236)를 통하여 연결될 수 있다. 이때, 제1스틱(234-1)에는 도 22a 내지 도 22d에 도시된 제2결합부(234-1A)가 형성될 수 있다. 또한, 제1스틱(234-1)과 제1마스크 프레임(231)은 제2결합부재(236)를 통하여 연결될 수 있다. 이때, 제1마스크 프레임(231)에는 도 22a 내지 도 22d에 도시된 제2결합부(234-1A)가 형성될 수 있다.
상기와 같은 경우 제2결합부재(236)는 제2결합부(234-1A)에 삽입되어 제1스틱(234-1)과 제2스틱(234-2)을 연결하며, 제2스틱(234-2)과 제1마스크 프레임(231)을 견고하게 연결할 수 있다.
도 24는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치의 마스크 조립체의 일부를 보여주는 평면도이다.
도 24를 참고하면, 표시 장치의 제조장치의 각 마스크 조립체에 포함된 마스크 프레임은 지지스틱에 의하여 마스크 프레임의 개구영역이 2개 이상의 개구영역으로 구분될 수 있다. 이때, 상기에서 설명한 제1마스크 프레임(231), 제2-1마스크 프레임(331-1), 제2-2마스크 프레임(331-2), 제2-3마스크 프레임(331-3) 및 제3마스크 프레임(431) 각각의 개구영역이 구분되는 방법은 서로 동일 또는 유사하므로 이하에서는 제1마스크 프레임(231)의 개구영역이 구분되는 방법을 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
제1마스크 조립체(230)는 제1마스크 프레임(231), 제1-1마스크 시트(미도시), 제1-2마스크 시트(미도시) 및 제1지지스틱(234)을 포함할 수 있다. 이때, 제1마스크 프레임(231), 상기 제1-1마스크 시트 및 상기 제1-2마스크 시트는 상기에서 설명한 것과 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
제1지지스틱(234)은 제1스틱(234-1)과 제2스틱(234-2)을 포함할 수 있다. 이때, 제1스틱(234-1)은 개구영역에 제1방향으로 배치될 수 있다. 이러한 경우 제1스틱(234-1)은 도면에 도시되어 있지 않지만 복수개 구비될 수 있으며, 복수개의 제1스틱(234-1)은 제2방향으로 서로 이격되도록 배치될 수 있다.
제2스틱(234-2)은 제1스틱(234-1)과 제1마스크 프레임(231) 사이에 제2방향으로 배치될 수 있다. 이때, 제2스틱(234-2)은 개구영역을 제1마스크 프레임(231) 및 제1스틱(234-1)과 함께 제2개구영역(2OP)을 정의할 수 있다. 상기와 같은 경우 제2스틱(234-2)은 복수개 구비될 수 있으며, 복수개의 제2스틱(234-2)은 제1방향으로 서로 이격되도록 배치될 수 있다.
상기와 같은 경우 제2스틱(234-2)은 다양한 위치에서 제1스틱(234-1)과 연결됨으로써 제1스틱(234-1)을 지지할 수 있다.
상기와 같은 제1스틱(234-1)과 제2스틱(234-2)은 제1-1마스크 시트(232) 또는 제1-2마스크 시트(233)의 끝단이 고정될 수 있다. 이러한 경우 제1-1마스크 시트(232) 또는 제1-2마스크 시트(233)는 용접 등을 통하여 제1스틱(234-1) 또는 제2스틱(234-2)에 배치될 수 있다.
상기와 같은 경우 제1개구영역(1OP) 또는 제2개구영역(2OP) 중 하나에는 제1-1마스크 시트(232)가 배치될 수 있다. 또한, 제1개구영역(1OP) 또는 제2개구영역(2OP) 중 다른 하나에는 제1-2마스크 시트(233)가 배치될 수 있다. 이러한 경우 각 마스크 시트는 서로 다른 개구부를 가짐으로써 공정기판(MS)의 각 영역에 서로 다른 형태의 표시 장치를 제조하는 것이 가능하다.
도 25는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치의 마스크 조립체의 일부를 보여주는 평면도이다.
도 25를 참고하면, 표시 장치의 제조장치의 각 마스크 조립체에 포함된 마스크 프레임은 지지스틱에 의하여 마스크 프레임의 개구영역이 2개 이상의 개구영역으로 구분될 수 있다. 이때, 상기에서 설명한 제1마스크 프레임(231), 제2-1마스크 프레임(331-1), 제2-2마스크 프레임(331-2), 제2-3마스크 프레임(331-3) 및 제3마스크 프레임(431) 각각의 개구영역이 구분되는 방법은 서로 동일 또는 유사하므로 이하에서는 제1마스크 프레임(231)의 개구영역이 구분되는 방법을 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
제1마스크 조립체(230)는 제1마스크 프레임(231), 제1-1마스크 시트(미도시), 제1-2마스크 시트(미도시) 및 제1지지스틱(234)을 포함할 수 있다. 이때, 제1마스크 프레임(231), 상기 제1-1마스크 시트, 상기 제1-2마스크 시트는 상기에서 설명한 것과 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
제1지지스틱(234)은 제1스틱(234-1)과 제2스틱(234-2)을 포함할 수 있다. 이때, 제1스틱(234-1)은 도 24에서 설명한 것과 유사하게 형성될 수 있다. 이러한 제1스틱(234-1)은 제2방향으로 배열될 수 있다.
제2스틱(234-2)은 제1방향으로 배열되며, 복수개 구비될 수 있다. 이때, 제2스틱(234-2)이 3개이상이면서 홀수개인 경우 복수개의 제2스틱(234-2) 중 제1마스크 프레임(231)의 장변의 가운데 부분에 배치된 제2스틱(234-2)을 중심으로 복수개의 제2스틱(234-2) 중 나머지가 서로 대칭되도록 배치될 수 있다.
상기와 같은 경우 제2스틱(234-2)은 제1스틱(234-1)의 중심 부분이 변형되는 것을 저감시킬 수 있을 뿐만 아니라 제1스틱(234-1)의 길이 방향 전체에 대해서 제1스틱(234-1)을 지지하는 것이 가능하다.
상기와 같은 제1스틱(234-1)과 제2스틱(234-2)은 제1-1마스크 시트(232) 또는 제1-2마스크 시트(233)의 끝단이 고정될 수 있다. 이러한 경우 제1-1마스크 시트(232) 또는 제1-2마스크 시트(233)는 용접 등을 통하여 제1스틱(234-1) 또는 제2스틱(234-2)에 배치될 수 있다.
상기와 같은 경우 제1개구영역(1OP) 또는 제2개구영역(2OP) 중 하나에는 제1-1마스크 시트(232)가 배치될 수 있다. 또한, 제1개구영역(1OP) 또는 제2개구영역(2OP) 중 다른 하나에는 제1-2마스크 시트(233)가 배치될 수 있다. 이러한 경우 각 마스크 시트는 서로 다른 개구부를 가짐으로써 공정기판(MS)의 각 영역에 서로 다른 형태의 표시 장치를 제조하는 것이 가능하다.
도 26은 또 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치의 마스크 조립체의 일부를 보여주는 평면도이다.
도 26을 참고하면, 표시 장치의 제조장치의 각 마스크 조립체에 포함된 마스크 프레임은 지지스틱에 의하여 마스크 프레임의 개구영역이 2개 이상의 개구영역으로 구분될 수 있다. 이때, 상기에서 설명한 제1마스크 프레임(231), 제2-1마스크 프레임(331-1), 제2-2마스크 프레임(331-2), 제2-3마스크 프레임(331-3) 및 제3마스크 프레임(431) 각각의 개구영역이 구분되는 방법은 서로 동일 또는 유사하므로 이하에서는 제1마스크 프레임(231)의 개구영역이 구분되는 방법을 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
제1마스크 조립체(230)는 제1마스크 프레임(231), 제1-1마스크 시트(미도시), 제1-2마스크 시트(미도시) 및 제1지지스틱(234)을 포함할 수 있다. 이때, 제1마스크 프레임(231), 상기 제1-1마스크 시트, 상기 제1-2마스크 시트는 상기에서 설명한 것과 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
제1지지스틱(234)은 제1스틱(234-1)과 제2스틱(234-2)을 포함할 수 있다. 이때, 제1스틱(234-1)은 도 24에서 설명한 것과 동일 또는 유사하게 형성될 수 있다.
제2스틱(234-2)은 복수개 구비될 수 있다. 이때, 제2스틱(234-2)이 3개이상이면서 홀수개인 경우 복수개의 제2스틱(234-2) 중 제1마스크 프레임(231)의 장변의 가운데에 배치되는 제2스틱(234-2)의 폭은 복수개의 제2스틱(234-2) 중 나머지의 폭보다 클 수 있다. 또한, 복수개의 제2스틱(234-2) 중 제1마스크 프레임(231)의 장변의 가운데 부분에 배치된 제2스틱(234-2)을 중심으로 복수개의 제2스틱(234-2) 중 나머지가 서로 대칭되도록 배치될 수 있다.
상기와 같은 경우 제2스틱(234-2)은 제1스틱(234-1)의 중심 부분이 변형되는 것을 저감시킬 수 있을 뿐만 아니라 제1스틱(234-1)의 길이 방향 전체에 대해서 제1스틱(234-1)을 지지하는 것이 가능하다.
상기와 같은 제1스틱(234-1)과 제2스틱(234-2)은 제1-1마스크 시트(232) 또는 제1-2마스크 시트(233)의 끝단이 고정될 수 있다. 이러한 경우 제1-1마스크 시트(232) 또는 제1-2마스크 시트(233)는 용접 등을 통하여 제1스틱(234-1) 또는 제2스틱(234-2)에 배치될 수 있다.
상기와 같은 경우 제1개구영역(1OP) 또는 제2개구영역(2OP) 중 하나에는 제1-1마스크 시트(232)가 배치될 수 있다. 또한, 제1개구영역(1OP) 또는 제2개구영역(2OP) 중 다른 하나에는 제1-2마스크 시트(233)가 배치될 수 있다. 이러한 경우 각 마스크 시트는 서로 다른 개구부를 가짐으로써 공정기판(MS)의 각 영역에 서로 다른 형태의 표시 장치를 제조하는 것이 가능하다.
도 27a는 또 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치의 마스크 조립체의 일부를 보여주는 평면도이다. 도 27b는 도 27a에 도시된 마스크 조립체의 일부를 보여주는 평면도이다.
도 27a 및 도 27b를 참고하면, 표시 장치의 제조장치의 각 마스크 조립체에 포함된 마스크 프레임은 지지스틱에 의하여 마스크 프레임의 개구영역이 2개 이상의 개구영역으로 구분될 수 있다. 이때, 상기에서 설명한 제1마스크 프레임(231), 제2-1마스크 프레임(331-1), 제2-2마스크 프레임(331-2), 제2-3마스크 프레임(331-3) 및 제3마스크 프레임(431) 각각의 개구영역이 구분되는 방법은 서로 동일 또는 유사하므로 이하에서는 제1마스크 프레임(231)의 개구영역이 구분되는 방법을 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
제1마스크 조립체(230)는 제1마스크 프레임(231), 제1-1마스크 시트(232), 제1-2마스크 시트(233), 제1-3마스크 시트(237) 및 제1지지스틱(234)을 포함할 수 있다. 이때, 제1마스크 프레임(231)은 상기에서 설명한 것과 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
제1-1마스크 시트(232)는 제1-1개구부(232A)를 포함할 수 있다. 이때, 제1-1마스크 시트(232)는 하나로 형성되어 개구영역의 일 영역을 차폐할 수 있다. 이러한 경우 제1-1마스크 시트(232)는 제1방향 및 제2방향 중 적어도 하나의 방향으로 인장된 상태로 제1마스크 프레임(231) 상에 배치될 수 있다. 이러한 제1-1마스크 시트(232)는 제1마스크 프레임(231) 및 제2스틱(234-2)에 인장된 상태로 고정되거나 제1마스크 프레임(231) 및 제1스틱(234-1)에 인장된 상태로 고정될 수 있다.
제1-2마스크 시트(233)는 제1-2개구부(233A)를 포함할 수 있다. 이때, 제1-2마스크 시트(233)는 개구영역의 다른 영역에 배치될 수 있다. 이때, 제1-2마스크 시트(233)는 제2방향으로 배열될 수 있다. 이러한 경우 제1-2마스크 시트(233)는 제1방향으로 복수개가 배열될 수 있다. 상기와 같은 경우 각 제1-2마스크 시트(233)는 제1마스크 프레임(231)과 제1스틱(234-1)에 고정되거나 제1마스크 프레임(231)과 제2스틱(234-2)에 고정될 수 있다.
제1-3마스크 시트(237)는 제1마스크 프레임(231)에 배치될 수 있다. 이때, 제1-3마스크 시트(237)는 제1-1마스크 시트(232) 및 제1-2마스크 시트(233)와 서로 상이하게 형성할 수 있다. 상기와 같은 제1-3마스크 시트(237)는 제1-3개구부(237A)를 포함할 수 있다. 이때, 제1-3개구부(237A)는 복수개 구비될 수 있으며, 복수개의 제1-3개구부(237A) 중 하나의 평면 형상의 면적은 복수개의 제1-3개구부(237A) 중 다른 하나의 평면 형상의 면적과 상이할 수 있다.
상기와 같은 제1-1개구부(232A)의 평면 형상, 제1-2개구부(233A)의 평면 형상 및 제1-3개구부(237A)의 평면 형상 중 적어도 하나는 상기에 한정되는 것은 아니며 다양한 형태로 형성될 수 있다. 예를 들면, 제1-1개구부(232A)의 평면 형상, 제1-2개구부(233A)의 평면 형상 및 제1-3개구부(237A)의 평면 형상 중 적어도 하나는 원형, 다각형, 타원 등을 포함할 수 있다.
상기와 같은 경우 제1-1개구부(232A), 제1-2개구부(233A) 및 제1-3개구부(237A)는 모두 공정기판(MS)에 증착되어 각 표시 장치의 표시영역을 형성하는 공정기판(MS)의 영역에 대응될 수 있다. 즉, 하나의 제1-1개구부(232A), 하나의 제1-2개구부(233A) 및 하나의 제1-3개구부(237A)는 각 표시 장치의 표시영역에 대응될 수 있다.
상기와 같은 경우 하나의 공정기판(MS)으로 다양한 형태, 다양한 크기의 표시 장치를 제조하는 것이 가능하다.
상기와 같은 경우 제1-1개구부(232A), 제1-2개구부(233A) 및 제1-3개구부(237A) 각각은 상기에서 설명한 바와 같이 도 3에 도시된 표시 장치 또는 도 6에 도시된 표시 장치를 제조할 때 사용할 수 있다. 이러한 경우 표시 장치의 종류에 따라서 상기에서 설명한 것과 같이 표시 장치의 표시 영역에 유기 발광층을 패턴 형태로 형성하거나 표시 영역 전체를 하나의 색으로 덮도록 형성할 수 있다.
도 28은 또 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치의 제1마스크 시트의 일부를 보여주는 평면도이다.
도 28을 참고하면, 제1-1마스크 시트(232)와 제1-2마스크 시트(233)는 서로 동일하게 형성될 수 있다. 예를 들면, 제1-1마스크 시트(232)의 제1-1개구부(232A)는 복수개 구비되며, 복수개의 제1-1개구부(232A) 중 하나는 복수개의 제1-1개구부(232A) 중 다른 하나와 상이한 형상을 가질 수 있다.
제1-2마스크 시트(233)는 제1-2개구부(233A)를 포함할 수 있다. 이때, 제1-2개구부(233A)는 복수개 구비될 수 있으며, 복수개의 제1-2개구부(233A) 중 일부는 복수개의 제1-2개구부(233A) 중 다른 일부와 제1-1개구부(232A)와 같이 서로 상이한 형상을 가질 수 있다. 이러한 경우 제1-1개구부(232A)의 배열과 제1-2개구부(233A)의 배열은 서로 동일할 수 있다.
상기와 같은 경우 각각 평면 형상의 면적이 더 작은 제1-1개구부(232A) 중 제1-1A개구부(232A-1A) 및 제1-2개구부(233A) 중 제1-2A개구부(233A-1A)와 평면 형상의 면적이 더 큰 제1-2개구부(233A) 중 제1-1B개구부(232A-1B) 및 제1-2개구부(233A) 중 제1-2B개구부(233A-1B) 각각은 제1-1마스크 시트(232) 및 제1-2마스크 시트(233)에 교번하도록 배치될 수 있다.
상기와 같은 각 개구부는 상기에서 설명한 바와 같이 도 3에 도시된 표시 장치 또는 도 6에 도시된 표시 장치의 하부보조층을 형성할 때 사용할 수 있다. 이러한 경우 표시 장치의 종류에 따라서 상기에서 설명한 것과 같이 표시 장치의 표시 영역에 유기 발광층을 패턴 형태로 형성하거나 표시 영역 전체를 하나의 색으로 덮도록 형성할 수 있다.
도 29는 또 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치의 제1마스크 시트의 일부를 보여주는 평면도이다.
도 29를 참고하면, 제1-1마스크 시트(232)와 제1-2마스크 시트(233)는 상기 도 28에서 설명한 것과 같이 평면 형상이 서로 상이한 개구부를 포함할 수 있다.
구체적으로 제1-1마스크 시트(232)는 제1-1A개구부(232A-1A)와 제1-1B개구부(232A-1B)를 포함할 수 있다. 이러한 경우 제1-1A개구부(232A-1A)는 제1-1B개구부(232A-1B)와 크기가 서로 상이할 수 있다. 이때, 제1-1B개구부(232A-1B)는 복수개가 하나의 그룹을 형성할 수 있으며, 이러한 그룹은 제1-1A개구부(232A-1A)와 교번하도록 배치될 수 있다. 이때, 복수개의 제1-1B개구부(232A-1B)가 형성하는 하나의 그룹은 제1-1A개구부(232A-1A)의 평면 형상과 유사 영역 내에 배치될 수 있다.
상기와 같은 경우 복수개의 제1-1B개구부(232A-1B)의 옆에는 제1-2A개구부(233A-1A)가 배치될 수 있다. 반면, 제1-1A개구부(232A-1A)의 옆에는 제1-2B개구부(233A-1B)가 배치될 수 있다.
상기와 같은 각 개구부는 상기에서 설명한 바와 같이 도 3에 도시된 표시 장치 또는 도 6에 도시된 표시 장치의 하부보조층을 형성할 때 사용할 수 있다. 이러한 경우 표시 장치의 종류에 따라서 상기에서 설명한 것과 같이 표시 장치의 표시 영역에 유기 발광층을 패턴 형태로 형성하거나 표시 영역 전체를 하나의 색으로 덮도록 형성할 수 있다.
도 30은 도 5에 도시된 광조사장치의 표시 장치의 다른 실시예를 보여주는 단면도이다.
도 30을 참고하면, 표시 장치(20-2)는 기판(21), 버퍼층(22), 활성층(23), 게이트 절연층(24), 층간 절연층(26), 소스 전극(27A), 드레인 전극(27B), 패시베이션막(27), 유기 발광 소자(28), 화소정의막(29) 및 박막 봉지층(E)을 포함할 수 있다. 이때, 버퍼층(22), 활성층(23), 게이트 절연층(24), 층간 절연층(26), 소스 전극(27A), 드레인 전극(27B), 패시베이션막(27), 화소정의막(29) 및 박막 봉지층(E)은 상기 도 3에서 설명한 것과 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
유기 발광 소자(28)는 화소 전극(28A), 중간층(28B) 및 대향 전극(28C)을 포함할 수 있다. 이때, 화소 전극(28A) 및 대향 전극(28C)은 도 3에서 설명한 것과 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
중간층(28B)은 유기 발광층(28B-2) 및 보조층을 포함할 수 있다. 이때, 상기 보조층은 하부보조층(28B-1)과 상부보조층(28B-3) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 상기 보조층은 하부보조층(28B-1)과 상부보조층(28B-3)을 포함하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
상기와 같은 하부보조층(28B-1)은 제1하부보조층(28B-1A), 제2하부보조층(28B-1B) 및 제3하부보조층(28B-1C)을 포함할 수 있다. 이때, 제1하부보조층(28B-1A), 제2하부보조층(28B-1B) 및 제3하부보조층(28B-1C)은 상기 도 3에서 설명한 것과 동일 또는 유사할 수 있다.
유기 발광층(28B-2)은 각 영역에 배치된 화소에 대응되도록 배치될 수 있다. 즉, 유기 발광층(28B-2)은 서로 이격되도록 복수개 구비될 수 있다. 이러한 경우 각 유기 발광층(28B-2)은 각 화소(Px-2)에 대응되도록 배치될 수 있다. 이때, 유기 발광층(28B-2)은 디스플레이 기판(D)의 일면에 서로 이격되도록 배치되어 일정한 패턴으로 배열될 수 있다.
상기와 같은 유기 발광층(28B-2)를 형성하기 위해서는 제2-1발광층 마스크 시트(333-1)에 도 17에 도시된 제2-2발광층개구부(333A-2)와 동일하거나 유사한 형태로 제2-1발광층개구부(332A-2)가 배치될 수 있다. 이러한 제2-1발광층개구부(332A-2)를 통과한 증착물질은 각 화소(Px-2)에 대응되도록 공정기판(MS)에 증착되어 유기 발광층(28B-2)를 형성할 수 있다.
상부보조층(28B-3)은 유기 발광층(28B-2) 상에 배치될 수 있다. 이때, 상부보조층(28B-3)은 일체로 형성되어 모든 화소(Px-2) 상에 배치될 수 있다. 이러한 상부보조층(28B-3)은 전자주입층 및 전자수송층 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
상기와 같은 경우 각 화소(Px-2)의 중간층(28B)의 두께는 각 화소(Px-2)에 배치된 하부보조층(28B-1)의 두께를 가지고 조절할 수 있다. 이때, 하부보조층(28B-1)의 두께를 조절하는 방법은 상기 도 3 내지 도 11c에 도시된 내용과 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
따라서 표시 장치(20-2)는 동일한 색을 발광하면서 서로 다른 파장의 빛을 외부로 방출하는 것이 가능하다.
한편, 상기와 같은 표시 장치(20-2)는 다양한 방식으로 작동할 수 있다. 예를 들면, 표시 장치(20-2)는 하나의 화소그룹에 배치된 제1영역(A1), 제2영역(A2) 및 제3영역(A3) 중 적어도 하나에 배치된 화소(Px-2)를 발광시킬 수 있다.
구체적으로 표시 장치(20-2)는 제1영역(A1), 제2영역(A2) 또는 제3영역(A3)에만 배치된 화소(Px-2)만을 발광시킴으로써 하나의 파장을 갖는 빛을 외부로 방출시키는 것이 가능하다.
다른 실시예로서 표시 장치(20-2)는 제1영역(A1), 제2영역(A2) 및 제3영역(A3) 중 적어도 2개의 영역에 배치된 화소(Px-2)를 발광시킴으로써 적어도 2개 이상의 파장을 갖는 빛을 방출시키는 것도 가능하다.
또 다른 실시예로서 표시 장치(20-2)는 제1영역(A1), 제2영역(A2) 및 제3영역(A3)에 각각 배치된 화소(Px-2)를 시간에 따라 각각 발광시킴으로써 서로 다른 파장을 서로 다른 시간에 발광시키는 것도 가능하다.
따라서 표시 장치(20-2)는 다양한 파장의 빛을 자유롭게 발광시키는 것이 가능함으로써 사용자에게 다양한 효과를 갖는 빛을 제공하는 것이 가능하다.
한편, 상기에서는 표시 장치(20-2)가 박막 봉지층(E)을 포함하는 것으로 기술하고 있으나 본 발명의 실시예들은 이에 한정되지는 않는다. 즉, 표시 장치(20-2)는 기판(21)과 대향하는 별도의 봉지기판과, 기판(21)과 봉지기판 사이에 배치되어 기판(21)과 봉지기판을 부착시켜 내부의 유기 발광 소자(28)를 외부와 차단하는 실링부를 포함하는 것도 가능하다.
도 31은 도 5에 도시된 광조사장치의 표시 장치의 또 다른 실시예를 보여주는 단면도이다.
도 31을 참고하면, 표시 장치(20-2)는 기판(21), 버퍼층(22), 활성층(23), 게이트 절연층(24), 층간 절연층(26), 소스 전극(27A), 드레인 전극(27B), 패시베이션막(27), 유기 발광 소자(28), 화소정의막(29) 및 박막 봉지층(E)을 포함할 수 있다. 이때, 버퍼층(22), 활성층(23), 게이트 절연층(24), 층간 절연층(26), 소스 전극(27A), 드레인 전극(27B), 패시베이션막(27), 화소정의막(29) 및 박막 봉지층(E)은 상기 도 3에서 설명한 것과 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
유기 발광 소자(28)는 화소 전극(28A), 중간층(28B) 및 대향 전극(28C)을 포함할 수 있다. 이때, 화소 전극(28A) 및 대향 전극(28C)은 도 3에서 설명한 것과 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
중간층(28B)은 유기 발광층(28B-2) 및 보조층을 포함할 수 있다. 이때, 상기 보조층은 하부보조층(28B-1)과 상부보조층(28B-3) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 상기 보조층은 하부보조층(28B-1)과 상부보조층(28B-3)을 포함하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
하부보조층(28B-1)은 모든 화소(Px-2)에 배치될 수 있다. 이때, 하부보조층(28B-1)은 정공주입층 및 정공수송층 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 하부보조층(28B-1)이 정공주입층과 정공수송층을 모두 포함하는 경우 정공주입층과 정공수송층은 화소 전극(28A) 및 화소정의막(29) 상에 순차적으로 적층될 수 있다. 이러한 경우 정공주입층과 정공수송층은 모든 화소(Px-2)가 공유할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 하부보조층(28B-1)이 정공수송층인 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
유기 발광층(28B-2)은 하부보조층(28B-1) 상에 배치될 수 있다. 이때, 유기 발광층(28B-2)은 도 3에 도시된 것과 같이 일체로 모든 화소(Px-2) 상에 배치될 수 있다. 다른 실시예로서 도면에 도시되어 있지 않지만 유기 발광층(28B-2)은 도 12에 도시된 것과 같이 각 화소(Px-2)에 대응되도록 서로 이격되도록 배치되는 것도 가능하다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 유기 발광층(28B-2)은 모든 화소(Px-2)가 공유하도록 일체로 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
상부보조층(28B-3)은 유기 발광층(28B-2) 상에 배치될 수 있다. 이때, 상부보조층(28B-3)은 제1상부보조층(28B-3A), 제2상부보조층(28B-3B) 및 제3상부보조층(28B-3C)을 포함할 수 있다. 이러한 경우 제1상부보조층(28B-3A), 제2상부보조층(28B-3B) 및 제3상부보조층(28B-3C) 각각은 전자주입층 및 전자수송층 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 특히 제1상부보조층(28B-3A), 제2상부보조층(28B-3B) 및 제3상부보조층(28B-3C)은 모두 동일한 물질이거나 서로 상이한 물질일 수 있다.
상기와 같은 제1상부보조층(28B-3A), 제2상부보조층(28B-3B) 및 제3상부보조층(28B-3C)은 각 영역에 배치된 화소(Px-2) 상에 서로 상이하게 적층될 수 있다. 예를 들면, 도 31의 왼쪽에 배치된 제1영역(A1)에 배치된 화소(Px-2)의 경우 유기 발광층(28B-2) 상에 제1상부보조층(28B-3A)만 배치될 수 있다. 도 31의 왼쪽에 배치된 제2영역(A2)에 배치된 화소(Px-2)의 경우 유기 발광층(28B-2) 상에 제1상부보조층(28B-3A)과 제2상부보조층(28B-3B)이 순차적으로 적층될 수 있다. 도 13의 중앙에 배치된 두 개의 제3영역(A3)에 배치된 화소(Px-2) 각각의 경우 유기 발광층(28B-2) 상에 제1상부보조층(28B-3A), 제2상부보조층(28B-3B) 및 제3상부보조층(28B-3C)이 순차적으로 적층될 수 있다. 도 31의 오른쪽에 배치된 제2영역(A2)에 배치된 화소(Px-2)의 경우 제2상부보조층(28B-3B) 상에 제3상부보조층(28B-3C)이 배치될 수 있다. 도 31의 오른쪽에 배치된 제1영역(A1)에 배치된 화소(Px-2)의 경우 유기 발광층(28B-2) 상에 제3상부보조층(28B-3C)만 배치될 수 있다.
상기와 같은 경우 중간층(28B)의 두께는 유기 발광층(28B-2) 상에 배치된 상부보조층(28B-3)의 개수에 따라 결정될 수 있다. 즉, 각 화소(Px-2)의 유기 발광층(28B-2) 상에 배치된 상부보조층(28B-3)의 개수가 다른 화소(Px-2)의 유기 발광층(28B-2) 상에 배치된 상부보조층(28B-3)의 개수보다 많은 경우 상부보조층(28B-3)의 개수가 많은 화소(Px-2)의 중간층(28B)의 두께가 다른 화소(Px-2)의 중간층(28B)의 두께보다 클 수 있다.
상기와 같은 상부보조층(28B-3)의 배치 및 개수는 도 7에서 설명한 하부보조층(28B-1)의 배치 및 개수와 유사할 수 있다. 즉, 제1상부보조층(28B-3A)과 제2상부보조층(28B-3B)은 평면 상에서 볼 때 완전히 중첩되지 않으며, 제2상부보조층(28B-3B)과 제3상부보조층(28B-3C)은 평면 상에서 볼 대 완전히 중첩되지 않을 수 있다. 이때, 도 31에 도시된 상부보조층(28B-3)을 형성하는 방법은 상기 도 16a 내지 도 16c에 도시된 하부보조층(28B-1)을 형성하는 방법과 유사할 수 있다. 즉, 도 31에 도시된 상부보조층(28B-3)을 형성하는 경우 도 9 및 도 10에 도시된 제1마스크 조립체(230)를 제3마스크 조립체(430)로 사용할 수 있다.
상기와 같은 경우 중간층(28B)의 두께가 서로 상이한 화소(Px-2)가 적어도 2개 이상 존재함으로써 표시 장치(20-2)는 동일한 색을 발광하면서 서로 다른 파장의 빛을 외부로 방출하는 것이 가능하다.
한편, 상기와 같은 표시 장치(20-2)는 다양한 방식으로 작동할 수 있다. 예를 들면, 표시 장치(20-2)는 하나의 화소그룹에 배치된 제1영역(A1), 제2영역(A2) 및 제3영역(A3) 중 적어도 하나에 배치된 화소를 발광시킬 수 있다.
구체적으로 표시 장치(20-2)는 제1영역(A1), 제2영역(A2) 또는 제3영역(A3)에만 배치된 화소(Px-2)만을 발광시킴으로써 하나의 파장을 갖는 빛을 외부로 방출시키는 것이 가능하다.
다른 실시예로서 표시 장치(20-2)는 제1영역(A1), 제2영역(A2) 및 제3영역(A3) 중 적어도 2개의 영역에 배치된 화소(Px-2)를 발광시킴으로써 적어도 2개 이상의 파장을 갖는 빛을 방출시키는 것도 가능하다.
또 다른 실시예로서 표시 장치(20-2)는 제1영역(A1), 제2영역(A2) 및 제3영역(A3)에 각각 배치된 화소(Px-2)를 시간에 따라 각각 발광시킴으로써 서로 다른 파장을 서로 다른 시간에 발광시키는 것도 가능하다.
따라서 표시 장치(20-2)는 다양한 파장의 빛을 자유롭게 발광시키는 것이 가능함으로써 사용자에게 다양한 효과를 갖는 빛을 제공하는 것이 가능하다.
한편, 상기에서는 표시 장치(20-2)가 박막 봉지층(E)을 포함하는 것으로 기술하고 있으나 본 발명의 실시예들은 이에 한정되지는 않는다. 즉, 표시 장치(20-2)는 기판(21)과 대향하는 별도의 봉지기판과, 기판(21)과 봉지기판 사이에 배치되어 기판(21)과 봉지기판을 부착시켜 내부의 유기 발광 소자(28)를 외부와 차단하는 실링부를 포함하는 것도 가능하다.
이와 같이 본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 하여 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 실시예의 변형이 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
1: 광조사장치
2: 표시 장치의 제조장치
10: 바디부
100: 로딩부
20-1: 표시 장치
20-2: 표시 장치
200: 제1증착부
210: 제1챔버
230: 제1마스크 조립체
300: 제2증착부
300-1: 제2-1증착부
300-3: 제2-3증착부
330-1: 제2-1마스크 조립체
330-2: 제2-2마스크 조립체
330-3: 제2-3마스크 조립체
400: 제3증착부
430: 제3마스크 조립체
500: 제4증착부
600: 언로딩부

Claims (23)

  1. 개구영역을 구비한 마스크 프레임;
    상기 개구영역의 제1개구영역을 차폐하도록 배치되며, 적어도 하나 이상의 제1개구부를 구비한 제1마스크 시트; 및
    상기 개구영역의 제2개구영역을 차페하도록 배치되며, 적어도 하나 이상의 제2개구부를 구비한 제2마스크 시트;를 포함하고,
    상기 제1개구부와 상기 제2개구부의 크기는 서로 상이한 마스크 조립체.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 마스크 프레임에 배치되며, 상기 제2개구영역을 적어도 2개 이상의 제3개구영역으로 구분하는 스틱;을 구비하는 마스크 조립체.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 스틱은,
    제1 방향으로 배열되는 제1스틱; 및
    제2방향으로 배열되며, 상기 제1스틱과 연결되는 제2스틱;을 포함하는 마스크 조립체.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 제2스틱은 복수개 구비되며,
    상기 복수개의 제2스틱 중 하나의 폭과 상기 복수개의 제2스틱 중 다른 하나의 폭은 서로 상이한 마스크 조립체.
  5. 제 3 항에 있어서,
    상기 제2스틱은 복수개 구비되며,
    상기 제2스틱 중 하나를 중심으로 복수개의 제2스틱의 나머지는 서로 대칭되도록 배치되는 마스크 조립체.
  6. 제 3 항에 있어서,
    상기 제1스틱은,
    상기 제2스틱의 끝단과 결합하는 결합부재가 삽입되는 결합부;를 포함하는 마스크 조립체.
  7. 제 2 항에 있어서,
    상기 마스크 프레임은,
    상기 스틱의 끝단과 결합하는 결합부재가 삽입되는 프레임결합부;를 포함하는 마스크 조립체.
  8. 제 2 항에 있어서,
    상기 스틱의 길이 방향과 수직한 상기 스틱의 단면 형상은 삼각형인 마스크 조립체.
  9. 개구영역을 구비한 마스크 프레임;
    상기 개구영역의 제1개구영역을 차폐하도록 배치되며, 적어도 하나 이상의 제1개구부를 구비한 제1마스크 시트; 및
    상기 개구영역의 제2개구영역을 차페하도록 배치되는 제2마스크 시트;를 포함하는 마스크 조립체.
  10. 개구영역을 구비한 마스크 프레임; 및
    상기 개구영역을 차폐하도록 배치되며, 적어도 하나 이상의 제1개구부 및 적어도 하나 이상의 제2개구부를 구비한 복수개의 마스크 시트;를 포함하고,
    상기 제1개구부와 상기 제2개구부의 크기는 서로 상이한 마스크 조립체.
  11. 제 10 항에 있어서,
    서로 인접하는 상기 각 마스크 시트의 상기 제1개구부는 상기 각 마스크 시트의 서로 동일한 부분에 배치된 마스크 조립체.
  12. 제 10 항에 있어서,
    서로 인접하는 상기 각 마스크 시트의 상기 제1개구부는 상기 각 마스크 시트의 서로 상이한 부분에 배치된 마스크 조립체.
  13. 제 1 항 내지 제 12 항 중 어느 하나의 마스크 조립체; 및
    상기 마스크 조립체와 대향하도록 배치되어 디스플레이 기판으로 증착물질을 공급하는 소스부;를 포함하는 표시 장치의 제조장치.
  14. 디스플레이 기판과 마스크 조립체를 배치하는 단계;
    상기 디스플레이 기판과 상기 마스크 조립체를 얼라인하는 단계; 및
    증착물질을 상기 마스크 조립체의 제1개구부를 통과하여 상기 디스플레이 기판의 제1영역에 배치된 적어도 하나 이상의 제1평면영역 및 상기 마스크 조립체의 제2개구부를 통과하여 디스플레이 기판의 제2영역에 배치된 적어도 하나 이상의 제2평면영역에 증착시키거나 상기 제1영역에만 상기 증착물질을 증착시키는 단계;를 포함하고,
    상기 제1평면영역의 면적과 상기 제2평면영역의 면적이 서로 상이한 표시 장치의 제조방법.
  15. 제 14 항에 있어서,
    상기 디스플레이 기판 또는 상기 마스크 조립체 중 하나를 상기 디스플레이 기판 또는 상기 마스크 조립체 중 다른 하나를 기준으로 일 방향으로 일정 거리 이동시킨 후 상기 증착물질을 상기 디스플레이 기판에 증착하는 단계;를 더 포함하는 표시 장치의 제조방법.
  16. 제 14 항에 있어서,
    상기 제1영역에 상기 증착물질의 증착 시 상기 제2영역에 상기 증착물질이 증착되는 것을 차단하는 단계;를 더 포함하는 표시 장치의 제조방법.
  17. 제 14 항에 있어서,
    상기 제1영역에는 적어도 2개 이상의 색을 발광하는 발광층을 형성하고, 상기 제2영역에는 단일의 색을 발광하는 발광층을 형성하는 단계;를 더 포함하는 표시 장치의 제조방법.
  18. 제 14 항에 있어서,
    상기 마스크 조립체는,
    마스크 프레임;
    상기 마스크 프레임에 배치된 마스크 시트를 포함하는 표시 장치의 제조방법.
  19. 제 14 항에 있어서,
    상기 마스크 시트는 복수개 구비되며,
    상기 제1개구부를 구비한 상기 마스크 시트는 상기 제2개구부를 구비한 상기 마스크 시트와 서로 인접하도록 배치된 표시 장치의 제조방법.
  20. 제 19 항에 있어서,
    상기 제1개구부와 상기 제2개구부는 동일한 상기 마스크 시트에 배치된 표시 장치의 제조방법.
  21. 제 19 항에 있어서,
    상기 마스크 조립체는,
    상기 마스크 프레임에 배치되어 상기 마스크 프레임의 개구영역을 적어도 2개 이상의 개구영역으로 구분하는 스틱;을 더 포함하는 표시 장치의 제조방법.
  22. 제 21 항에 있어서,
    상기 스틱은,
    제1방향으로 배열된 제1스틱; 및
    제2방향으로 배열되며, 상기 제1스틱과 연결되는 제2스틱;을 포함하는 표시 장치의 제조방법.
  23. 제 21 항에 있어서,
    상기 스틱의 길이 방향과 수직한 상기 스틱의 단면 형상은 삼각형인 표시 장치의 제조방법.
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Family Cites Families (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104160783B (zh) * 2012-03-07 2016-06-08 株式会社钟化 发光器件的制造方法及发光器件
KR20150017191A (ko) * 2013-08-06 2015-02-16 삼성디스플레이 주식회사 메탈 마스크 제작 방법
KR20150106504A (ko) * 2014-03-11 2015-09-22 삼성디스플레이 주식회사 마스크 프레임 어셈블리 및 이를 이용한 디스플레이 장치 제조방법
KR102391346B1 (ko) * 2015-08-04 2022-04-28 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치, 유기층 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 표시 장치의 제조방법
KR20170049716A (ko) * 2015-10-27 2017-05-11 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치, 유기층 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 표시 장치의 제조방법
KR102432350B1 (ko) * 2015-11-06 2022-08-16 삼성디스플레이 주식회사 마스크 프레임 조립체, 이를 포함하는 증착 장치 및 표시 장치의 제조 방법
KR102586048B1 (ko) * 2016-01-12 2023-10-10 삼성디스플레이 주식회사 마스크 조립체, 이의 제조방법 및 이를 포함한 표시 장치의 제조장치
KR101792659B1 (ko) * 2016-02-22 2017-11-02 한국과학기술원 Oled 광 치료 장치 및 이의 제조 방법
JP6465075B2 (ja) * 2016-05-26 2019-02-06 大日本印刷株式会社 蒸着マスク、フレーム付き蒸着マスク、有機半導体素子の製造方法、及びに有機ｅｌディスプレイの製造方法
KR102576993B1 (ko) * 2018-07-27 2023-09-12 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치, 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법
KR20200030712A (ko) * 2018-09-12 2020-03-23 삼성디스플레이 주식회사 하이브리드형 마스크 스틱과, 이를 적용한 마스크 프레임 어셈블리
KR102631256B1 (ko) * 2018-09-28 2024-01-31 삼성디스플레이 주식회사 마스크 조립체, 이를 이용한 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법
KR20200065142A (ko) * 2018-11-29 2020-06-09 삼성디스플레이 주식회사 마스크 조립체 및 이의 제조 방법
US20200181754A1 (en) * 2018-12-11 2020-06-11 Wuhan China Star Optoelectronics Semiconductor Display Technology Co., Ltd. A mask and a mask device using the same
KR20210013458A (ko) * 2019-07-25 2021-02-04 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치, 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법
JP2021063277A (ja) * 2019-10-16 2021-04-22 株式会社Ｊｏｌｅｄ 蒸着用マスク、および、有機ｅｌ表示パネルの製造方法
US11885005B2 (en) * 2019-10-16 2024-01-30 Chengdu Boe Optoelectronics Technology Co., Ltd. Mask and manufacturing method therefor, and manufacturing method for display substrate
CN111088474B (zh) * 2020-01-03 2022-07-05 京东方科技集团股份有限公司 一种掩膜板及其制作方法
KR20210155428A (ko) * 2020-06-15 2021-12-23 삼성디스플레이 주식회사 마스크 조립체
KR20220008989A (ko) * 2020-07-14 2022-01-24 삼성디스플레이 주식회사 마스크 조립체 및 마스크 조립체를 제조하는 방법
KR20220018140A (ko) * 2020-08-05 2022-02-15 삼성디스플레이 주식회사 광조사장치 및 이의 제조방법
KR20220022002A (ko) * 2020-08-14 2022-02-23 삼성디스플레이 주식회사 금속 마스크 및 이를 이용하여 제조된 표시 장치
KR20220075026A (ko) * 2020-11-26 2022-06-07 삼성디스플레이 주식회사 마스크, 마스크 제조 방법 및 표시 패널 제조 방법
KR20220091699A (ko) * 2020-12-23 2022-07-01 삼성디스플레이 주식회사 마스크, 마스크 어셈블리 및 표시 패널 제조 방법

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