CN111088474B - 一种掩膜板及其制作方法 - Google Patents

Abstract

本申请提供一种掩膜板及其制作方法，用于改善因掩膜板框架与遮挡板之间存在的间隙对OLED显示面板良率的影响。掩膜板包括：框架、至少一个掩膜片、遮挡板。框架包括多个边框，多个边框依次首尾相接围设成具有第一镂空区的框架。其中，多个边框包括第一边框。掩膜片跨过框架的镂空区，与框架的第一边框固定。遮挡板具有多个第二镂空区，沿框架厚度方向，第二镂空区的正投影位于第一镂空区的正投影范围内。遮挡板设置于掩膜片靠近框架一侧，且遮挡板固定于框架上。框架的正投影的内边缘位于遮挡板的正投影的范围内。框架与遮挡板重叠的第一区域的厚度小于框架中用于与掩膜片固定的第二区域的厚度。第二区域靠近框架的外边缘。

Description

一种掩膜板及其制作方法

技术领域

本申请涉及显示技术领域，尤其涉及一种掩膜板及其制作方法。

背景技术

有机发光二极管(organic light-emitting diode，OLED)具有自发光、低能耗、轻薄、高色彩饱和度等优点，而且可基于柔性材料制备成柔性显示装置。广泛应用于包括电脑、手机等电子产品在内的各种电子设备中。

OLED能自发光，源于自发光的有机材料，自发光的有机材料主要采用蒸镀的方法沉积在基板上，为了形成不同的发光材料图案，需要使用掩膜板。

发明内容

本申请的实施例提供一种掩膜板及其制作方法，用于改善因掩膜板框架与遮挡板之间存在的间隙对OLED显示面板良率的影响。

为达到上述目的，本申请的实施例采用如下技术方案：

本申请实施例的第一方面提供一种掩膜板。掩膜板包括：框架、至少一个掩膜片、遮挡板。框架包括多个边框，多个边框依次首尾相接围设成具有第一镂空区的框架。其中，多个边框包括第一边框。掩膜片跨过框架的镂空区，与框架的第一边框固定。遮挡板具有多个第二镂空区，沿框架厚度方向，第二镂空区的正投影位于第一镂空区的正投影范围内。遮挡板设置于掩膜片靠近框架一侧，且遮挡板固定于框架上。框架的正投影的内边缘位于遮挡板的正投影的范围内。框架与遮挡板重叠的第一区域的厚度小于框架中用于与掩膜片固定的第二区域的厚度。第二区域靠近框架的外边缘。本申请实施例提供的掩膜板，沿垂直框架任一边框的方向，遮挡板与该边框无间隙，避免发光材料从间隙中扩散到基板上对产品良率造成影响。

可选的，第二区域的厚度与第一区域的厚度之差等于遮挡板的厚度。可避免蒸镀时，发光材料从遮挡板和掩膜片之间的缝隙扩散，影响发光材料在基板上沉积位置的精度。

可选的，遮挡板包括多个边框遮挡条，多个边框遮挡条与多个边框一一对应。边框遮挡条在边框的上的投影位于与其对应的边框所在区域内。这样一来，可增大有效蒸镀区域的面积，在进行产品设计时，可以使屏幕的位置向基板边缘扩展，提高基板的利用率。

可选的，遮挡板包括多个边框遮挡条，多个边框遮挡条与多个边框一一对应。对于任一边框遮挡条，沿垂直边框遮挡条的方向，边框遮挡条和与其对应的边框的投影部分重叠。可以避免边框边缘对蒸镀精度造成的影响。

可选的，框架具有第一厚度区域和第二厚度区域，第一厚度区域的第一厚度小于第二厚度区域的第二厚度。第一厚度区域包括第一区域以及用于容置遮挡板引脚的第三区域，第一区域与第三区域连接。遮挡板引脚用于在固定遮挡板的过程中与张网机固定。第二厚度区域包括所述第二区域。

可选的，多个边框还包括至少两个第二边框。遮挡板与第一边框和第二边框固定。第二边框的厚度为第一厚度。

可选的，第一厚度区域还包括用于装配遮挡板的装配余量区域。装配余量区域位于第一区域和第二厚度区域之间，以及位于第三区域与第二厚度区域之间。装配余量区域与第一区域和第二区域连接。框架上设置装配余量区域，可避免因加工误差导致遮挡板无法在框架上张网和固定。

可选的，掩膜板上设置有对位孔，对位孔与掩膜片和遮挡板无交叠。

可选的，掩膜片具有图案区和非图案区，图案区包括至少一个蒸镀孔，非图案区用于与边框固定。沿垂直第一边框且垂直框架厚度的方向，图案区的长度大于第一镂空区的长度。这样一来，在产品设计时，可以使基板上屏幕的设置位置向基板边缘靠近，提高基板的利用率。

可选的，框架和遮挡板的材料为铁镍合金或不锈钢。掩膜片的材料为铁镍合金。铁镍合金或不锈钢，具有较高的强度和较低的热膨胀系数，避免掩膜板在高温下变形。

可选的，框架和遮挡板的固定方式为焊接固定。框架和掩膜片的固定方式为焊接固定。

本申请实施例的第二方面提供一种掩膜板的制作方法，用于制作本申请实施例的第一方面提供的掩膜板。

该方法包括：将遮挡板张网并焊接在框架的第一区域，并且，框架的正投影的内边缘位于遮挡板的正投影的范围内。框架包括多个边框，多个边框依次首尾相接围设成具有第一镂空区的框架。遮挡板具有多个第二镂空区，沿框架厚度方向，第二镂空区的正投影位于第一镂空区的垂直投影位于第一镂空区内的正投影范围内。将掩膜片张网并焊接在框架的第一边框的第二区域，且掩膜片与遮挡板位于框架的同一侧。其中，多个边框包括第一边框。第一区域的厚度小于第二区域的厚度。

可选的，遮挡板包括多个边框遮挡条以及位于每个边框遮挡条外侧的至少一个遮挡板引脚。框架具有第一厚度区域和第二厚度区域，第一厚度区域的第一厚度小于第二厚度区域的第二厚度。第一厚度区域包括第一区域以及用于容置遮挡板引脚的第三区域，第一区域与第三区域连接。第二厚度区域包括第二区域。将遮挡板张网并焊接在框架的第一区域，包括：将遮挡板的引脚固定并拉伸，将遮挡板置于框架上，使边框遮挡条位于第一区域，引脚位于第三区域。将边框遮挡条焊接在对应的边框上。

上述制作方法用于制作前述掩膜板，具有与前述实施例提供的掩膜板相同的技术效果，此处不再赘述。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请实施例提供的OLED显示面板的结构示意图；

图2为本申请实施例提供的OLED器件发光材料蒸镀过程的示意图；

图3a为本申请实施例提供的掩膜片的示意图；

图3b为本申请实施例提供的遮挡板的示意图；

图4a为现有技术中一种掩膜板的示意图；

图4b为现有技术中另一种掩膜板的示意图；

图5a为本申请实施例提供的一种掩膜板框架的示意图；

图5b为本申请实施例提供的一种掩膜板的示意图；

图5c为图5b中沿A-A’方向的剖视图；

图6为本申请实施例提供的另一种掩膜板框架的示意图；

图7a为本申请实施例提供的一种掩膜板框架与遮挡板位置关系示意图；

图7b为图7a中沿B-B’方向的剖视图；

图8a为本申请实施例提供的另一种掩膜板框架与遮挡板位置关系示意图；

图8b为图8a中沿C-C’方向的剖视图；

图9a为本申请实施例提供的一种掩膜板框架与遮挡板固定方式示意图；

图9b为本申请实施例提供的另一种掩膜板框架与遮挡板固定方式示意图；

图10为本申请实施例提供的另一种掩膜板的示意图；

图11为本申请实施例提供的一种掩膜板的制作工艺流程图。

附图标记：

R-红色亚像素；G-绿色亚像素；B-蓝色亚像素；200-阳极；300-发光功能层；400-阴极；301-空穴传输层；302-有机发光层；303-电子传输层；01-蒸镀源；02-待蒸镀基板；03-掩膜板；30-掩膜片；31-图案区；32-非图案区；311-蒸镀孔；40-框架；50-遮挡板；51-引脚；405-间隙；60-对位遮挡片；41-边框；411-第一边框；412-第二边框；401-第一镂空区；45-第一厚度区域；43-第二厚度区域；451-第一区域；431-第二区域；452-第三区域；453-装配余量区域；402-对位孔；501-第二镂空区；52-边框遮挡条；53-焊点。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

以下，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

此外，本申请中，“上”、“下”等方位术语可以包括但不限于相对附图中的部件示意置放的方位来定义的，应当理解到，这些方向性术语可以是相对的概念，它们用于相对于的描述和澄清，其可以根据附图中部件附图所放置的方位的变化而相应地发生变化。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。

本申请实施例提供一种掩膜板，该掩模板例如可应用于OLED显示面板的制造工艺过程中。

OLED显示面板中设置有多个OLED器件。OLED器件可以实现自发光，因此包括OLED显示面板的显示装置中无需设置背光源。

示例的，上述OLED显示面板的结构示意图如图1所示，其中的OLED器件包括阳极200、阴极400，以及位于阳极200和阴极400之间的发光功能层300。其中，发光功能层300可以包括有机发光层302，以及位于有机发光层302和阳极200之间的空穴传输层301、位于有机发光层302和阴极400之间的电子传输层303。此外，根据需要，在一些实施例中，还可以在空穴传输层301和阳极200之间设置空穴注入层，在电子传输层303和阴极400之间设置电子注入层。需要说明的是，图1中以不同OLED器件中的空穴传输层301和电子传输层303断开为例进行示意，但本申请并不限于此，在一些实施例中，不同OLED器件中的空穴传输层301和电子传输层303还可以连为一体。

OLED显示面板在显示时，通过在阳极200和阴极400施加电压，处于阴极400中的电子在电压的作用下通过电子传输层303向有机发光层302移动，处于阳极200中的空穴在电压的作用下通过空穴传输层301向有机发光层302移动，电子和空穴在有机发光层302结合产生激子，激发有机发光层302发出光线，从而实现自发光。

有机发光层302中有机分子材料的类型不同时，发出光线的颜色也不同。在此情况下，上述OLED显示面板的一个像素单元中可以设置至少三个分别发出三原色光线的OLED器件，如图1所示，该三个OLED器件可以为红色亚像素R、绿色亚像素G、蓝色亚像素B。此外，通过调整显示面板中不同位置的OLED器件的阳极200和阴极400所施加的电压，就可以改变OLED器件的发光强度，从而实现彩色画面的显示。

由上述可知，OLED器件在OLED显示面板的显示过程中起着至关重要的作用，因此，OLED器件的制作质量直接影响OLED显示面板的显示品质。

OLED器件中的发光功能层300通常采用蒸镀工艺制备。示例的，如图2所示，通过电阻丝加热或电子束加热的方式使蒸镀源01的材料蒸发，沉积在蒸镀源01上方的待蒸镀基板02上。为了使不同的发光材料沉在待蒸镀基板02相应的不同位置，例如，使可发出红色光的发光材料、可发出绿色光的发光材料、可发出蓝色光的发光材料分别沉积在对应的亚像素位置内，需在蒸镀源01和待蒸镀基板02之间设置有掩膜板03。

掩膜板03包括至少一个掩膜片30，如图3a所示，掩膜片30包括图案区31，图案区31上设置有至少一个蒸镀孔311，蒸镀孔311与待蒸镀基板02上所需形成的图案的位置对应。这样一来，蒸镀源01的材料蒸发，通过掩膜片30上的蒸镀孔311，沉积在待蒸镀基板02上需要沉积的位置。

此外，掩膜片30需要一个框架(frame)作为载体。在此情况下，如图3a所示，掩膜片30还包括非图案区32，用于将掩膜片30固定在框架上。

此外，如图3b所示，掩膜板03还包括遮挡板50。遮挡板50固定在框架上，位于框架和掩膜片30之间，用于对相邻两个掩膜片30之间的部分以及待蒸镀基板02上无需沉积发光材料的部分进行遮挡。在此情况下，掩膜片30的图案区31中未被遮挡板50遮挡的蒸镀孔311为有效的蒸镀孔。

在一些相关技术中，如图4a所示，在框架40内边缘和遮挡板50外边缘之间存在间隙405，蒸镀过程中，发光材料会从间隙405中通过，进而沉积在待蒸镀基板02上，造成非必要的沉积，对产品的良率造成影响。

为此，在一些相关技术中，如图4b所示，通过增大掩膜片30的非图案区32，以及增加对位遮挡片(align mask)60来对间隙405进行遮挡。这样一来，一方面限制了掩膜片30的图案区31的大小，另一方面需要增加额外的遮挡片，造成成本的浪费。

基于此，本申请的一些实施例提供一种掩膜板03，包括框架40、至少一个掩膜片30、遮挡板50。

如图5a所示，框架40包括多个边框41，多个边框41依次首尾相接，围设成具有第一镂空区401的上述框架40。

需要说明的是，图5a是以框架40包括四个边框41为例进行说明的。在一些实施例中，示例的，框架40包括5个边框41，此时，形成的第一镂空区401为五边形。或者，第一镂空区401可以为其他规则多边形，框架40包括多个边框41。本申请对框架40的边框41的数量不作限定，可根据具体的待蒸镀基板的形状而定，不管框架40的形状如何，需保证框架40为中空结构(中空部分即为上述的第一镂空区401)，以确保蒸镀材料能够通过掩膜片30上的蒸镀孔311蒸镀到待蒸镀基板02上即可。

框架40可以为一体结构，也可以通过多个边框41拼接固定构成，本申请对此不作限定。

可选的，框架40的材料为强度较高且热膨胀系数较低的金属材料，这样可以使得框架40在受热时稳定性高，不容易发生变形。示例的，框架40的材料可以为铁镍合金或不锈钢。

此外，为了便于固定掩膜片30，在本申请的一些实施例中，如图5a所示，框架40的多个边框41中可以包括相对设置的两个第一边框411。

本申请的一些实施例提供的掩膜板03中的掩膜片30包括如图3a所示的图案区31和非图案区32。其中，图案区31上设置有至少一个蒸镀孔311，发光材料可通过蒸镀孔311沉积到待蒸镀基板02上。非图案区32上无蒸镀孔311。

为了确保蒸镀图案的准确性，掩膜片30中的蒸镀孔311需要具有较高的精度，基于此，可选的，掩膜片的材料采用热膨胀系数较低、稳定性较高的材料。本申请的一些实施例中，掩膜片30的材料采用铁镍合金。

如图5b所示，掩膜片30跨过框架40的第一镂空区401，掩膜片30的非图案区32与框架40的第一边框411固定，掩膜片30的图案区31则与第一镂空区401对应。在本申请的一些实施例中，掩膜片30与第一边框411焊接固定。

如图5b所示，遮挡板50具有多个第二镂空区501。沿框架40厚度方向，第二镂空区501的正投影位于第一镂空区401的正投影范围内。遮挡板50设置于掩膜片30靠近框架40的一侧，且遮挡板50固定于框架40上。即，沿框架40厚度方向上，遮挡板50和掩膜片30依次固定在框架40上。

可选的，遮挡板50的材料为铁镍合金或不锈钢，具有较高的强度和较低的热膨胀系数，避免高温变形。

此外，如图5c所示，在本申请的一些实施例中，框架40的正投影的内边缘位于遮挡板50的正投影的范围内。

需要说明的是，上述框架40和遮挡板50的正投影是指沿框架40厚度方向上的投影。

这样一来，本申请提供的掩膜板03，框架40的内边缘与遮挡板50之间无间隙，在蒸镀时，发光材料只能从蒸镀孔311的位置通过，从而使发光材料在待蒸镀基板02上沉积的位置更加精确。避免发光材料从间隙中扩散到基板上对产品良率造成影响。

如图5c(图5b中A-A’的剖面图)所示，在本申请的一些实施例中，框架40与遮挡板50重叠的区域为第一区域451，框架40中用于与掩膜片30固定的区域为第二区域431。其中，第二区域431靠近框架40的外边缘。

在此基础上，为了使遮挡板50和掩膜片30能够依次固定在框架40上，如图5c所示，第一区域451的厚度h小于第二区域431的厚度H。

在本申请的一些实施例中，为了使遮挡板50和掩膜片30固定在框架40上之后，遮挡板50和掩膜片30之间在框架40的厚度方向上无间隙，第二区域431的厚度H与第一区域451的厚度h之差等于遮挡板50的厚度。这样一来，可避免蒸镀时，发光材料从遮挡板50和掩膜片30之间的缝隙扩散，影响发光材料在待蒸镀基板02上沉积位置的精度。

需要说明的是，受加工精度的影响，上述第二区域431的厚度H与第一区域451的厚度h之差，不一定能完全等于遮挡板50的厚度。为了避免遮挡板50和掩膜片30之间在框架40的厚度方向上的间隙对发光材料在待蒸镀基板02上沉积位置的影响，上述第二区域431和第一区域451的厚度差需要尽可能接近遮挡板50的厚度。

以下对本申请实施例提供的上述掩膜板03的框架40的具体结构进行详细说明。

在本申请的一些实施例中，如图5a所示，框架40具有第一厚度区域45和第二厚度区域43。第一厚度区域45的第一厚度H1小于第二厚度区域43的第二厚度H2。其中，第一厚度区域45包括上述第一区域451，第二厚度区域43包括上述第二区域431。在此情况下，第一厚度区域45的厚度H1为上述第一区域451的厚度h，第二厚度区域43的厚度H2为上述第二区域431的厚度H。

示例的，在本申请的一些实施例中，在厚度为H的框架本体上，沿框架本体厚度方向的一侧表面进行厚度减薄工艺，形成上述第一厚度区域45，其余未进行减薄工艺的区域为上述第二厚度区域43。

此外，由于在将遮挡板50固定在框架40前，需要将遮挡板50在框架上张网，因此，如图3b所示，遮挡板50包括张网引脚51，用于遮挡板50张网时与张网机固定，以通过张网机将遮挡板50置于待设置位置。

在此基础上，为了方便将遮挡板50在框架40上张网，如图5a所示，框架40上的第一厚度区域45还包括容置遮挡板引脚51的第三区域452。其中，第三区域452与第一区域451连接。

此外，为了便于遮挡板50的装配，避免因加工误差导致遮挡板50无法在框架40上张网和固定，在本申请的一些实施例中，如图5a所示，第一厚度区域45还包括用于装配遮挡板50的装配余量区域453。装配余量区域453位于第一区域451和第二厚度区域43之间，以及位于第三区域452与第二厚度区域43之间。装配余量区域453与第一区域451和第三区域452连接。

在此基础上，在本申请的一些实施例中，如图5a所示，每个边框41上均包括第一厚度区域45和第二厚度区域43。

或者，在另一些实施例中，如图6所示，边框40还包括至少两个第二边框412。遮挡板50与第一边框411和第二边框412均固定。其中，第二边框412的厚度为第一厚度H1。这样一来，可方便框架40的加工和制作。

此外，在本申请的一些实施例中，掩模板03上设置有对位孔，对位孔与掩膜片30和遮挡板50无交叠。对位孔用于在掩膜片30和遮挡板50在框架40上张网时，进行对位，确保对位精度。对位孔例如可位于框架40的四角，对称分布。

示例的，如图5a所示，对位孔402为边框41上的开孔。或者，在本申请的一些实施例中，上述对位孔402可以采用现有的对位遮挡片60去除中间部分、保留对位孔部分，固定在框架40上。又或者，使用小块的对位块开孔并焊接在框架40上。

以下对本申请实施例提供的上述掩膜板03的框架40与遮挡板50之间的位置关系以及固定方式进行详细说明。

在本申请的一些实施例中，如图7a所示，遮挡板50包括多个和边框41一一对应的边框遮挡条52。

在此基础上，如图7a和图7b(图7a中B-B’的剖面图)所示，在本申请的一些实施例中，边框遮挡条52在边框41的上的投影位于与其对应的边框41所在区域内，即边框遮档条52全部位于边框41上。这样一来，使第二镂空区501的面积增大，从而可增大有效蒸镀区域的面积，在进行产品设计时，可以使屏幕的位置向基板边缘扩展，提高基板的利用率。

或者，在另一些实施例中，如图8a和图8b(图8a中C-C’的剖面图)所示，对于任一边框遮挡条52，沿垂直边框遮挡条52的方向，边框遮挡条52和与其对应的边框41的投影部分重叠。即，沿垂直边框遮挡条52的方向上，边框遮挡条52的一部分位于边框41上，一部分延伸至第一镂空区401。这样一来，可以避免边框41边缘对蒸镀精度造成的影响。

在此基础上，在本申请的一些实施例中，如图9a所示，遮挡板50仅通过边框遮挡条52固定在框架40上。在此情况下，当遮挡板50固定完成后，可将遮挡板引脚51切割掉。避免蒸镀过程中，引脚51受热变形，对掩膜片30造成影响。

或者，在另一些实施例中，如图9b所示将引脚51也固定在框架40上，这样一来，可以使固定的位置更多，有利于提高两者之间的固定强度，使固定更稳固。

上述固定方式可以为焊接固定，图9a和图9b中示意性的示出了其焊点53(图中的圆点)。

由上述可知，本申请实施例提供的掩膜板03，边框遮挡条52和边框41具有重叠区域，使边框41和遮挡板50之间无间隙，因此无需增加额外的对位遮挡片60，而且也无需通过增大掩膜片30的非图案区32来遮挡部分间隙。

在此情况下，如图10所示，在本申请的一些实施例中，沿垂直第一边框411且垂直框架40厚度的方向，掩膜片30的图案区31的长度大于第一镂空区401的长度。这样一来，在产品设计时，可以使基板上屏幕的设置位置向基板边缘靠近，提高基板的利用率。

本申请的一些实施例提供一种掩膜板的制作方法，用于制作上述掩膜板03。如图11所示，制作掩膜板03的方法包括S101～S102。

S101，参考图7a或图8a所示，将遮挡板50张网并焊接在框架40的第一区域451，并且，框架40的正投影的内边缘位于遮挡板50的正投影的范围内。

其中，由上述对掩模板03的描述可知，框架40包括多个边框41，多个边框41依次首尾相接围设成具有第一镂空区401的框架40。

此外，框架40具有第一厚度区域45和第二厚度区域43，第一厚度区域45的第一厚度H1小于第二厚度区域43的第二厚度H2。第一厚度区域45包括上述第一区域451以及用于容置遮挡板引脚51的第三区域452，第一区域451与第三区域452连接。第二厚度区域43包括第二区域431。

遮挡板50具有多个第二镂空区501，在进行焊接固定时，使沿框架40厚度方向，第二镂空区的正投影位于第一镂空区的正投影范围内。此外，在本申请的一些实施例中，上述遮挡板50包括多个边框遮挡条52以及位于每个边框遮挡条52外侧的至少一个遮挡板引脚51。

在此情况下，将遮挡板50张网并焊接在框架40的第一区域451，包括：通过张网机将遮挡板50固定并拉伸引脚51，将遮挡板50置于框架40上，使边框遮挡条52位于第一区域451，引脚51位于第三区域452，将边框遮挡条52焊接在对应的边框41上。

S102，参考图5b所示，将掩膜片30张网并焊接在框架40的第一边框411的第二区域431，且掩膜片30与遮挡板50位于框架40的同一侧。

其中，多个边框41包括相对两个第一边框411。上述第一区域451的厚度小于第二区域431的厚度。

以上所述，仅为本申请的具体实施方式，但本申请的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本申请揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本申请的保护范围之内。因此，本申请的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (8)

1.一种掩膜板，其特征在于，包括：

框架；所述框架包括多个边框，多个所述边框依次首尾相接围设成具有第一镂空区的所述框架；

至少一个掩膜片；所述掩膜片跨过所述框架的镂空区，与所述框架的第一边框固定；其中，多个所述边框包括所述第一边框；所述掩膜片具有图案区和非图案区，所述图案区包括至少一个蒸镀孔，所述非图案区用于与所述第一边框固定；沿垂直所述第一边框且垂直所述框架厚度的方向，所述图案区的长度大于所述第一镂空区的长度；

遮挡板；所述遮挡板具有多个第二镂空区，沿所述框架厚度方向，所述第二镂空区的正投影位于所述第一镂空区的正投影范围内；所述遮挡板设置于所述掩膜片靠近所述框架的一侧，且所述遮挡板固定于所述框架上；所述框架的正投影的内边缘位于所述遮挡板的正投影的范围内；

所述框架与所述遮挡板重叠的第一区域的厚度小于所述框架中用于与所述掩膜片固定的第二区域的厚度，所述第二区域靠近所述框架的外边缘；

所述第二区域的厚度与所述第一区域的厚度之差等于所述遮挡板的厚度；

所述遮挡板包括多个边框遮挡条，多个所述边框遮挡条与多个所述边框一一对应；

所述边框遮挡条在所述边框上的投影位于与其对应的所述边框所在区域内；且所述掩膜片的所述非图案区在所述边框上的正投影的内边缘位于所述边框遮挡条在所述边框上的正投影内。

2.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述框架具有第一厚度区域和第二厚度区域，所述第一厚度区域的第一厚度小于所述第二厚度区域的第二厚度；

所述第一厚度区域包括所述第一区域以及用于容置遮挡板引脚的第三区域，所述第一区域与所述第三区域连接；遮挡板引脚用于在固定所述遮挡板的过程中与张网机固定；

所述第二厚度区域包括所述第二区域。

3.根据权利要求2所述的掩膜板，其特征在于，多个所述边框还包括至少两个第二边框；所述遮挡板与所述第一边框和所述第二边框固定；

所述第二边框的厚度为第一厚度。

4.根据权利要求2所述的掩膜板，其特征在于，所述第一厚度区域还包括用于装配所述遮挡板的装配余量区域，所述装配余量区域位于所述第一区域和所述第二厚度区域之间，以及位于所述第三区域与所述第二厚度区域之间；所述装配余量区域与所述第一区域和所述第三区域连接。

5.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述掩膜板上设置有对位孔，所述对位孔与所述掩膜片和所述遮挡板无交叠。

6.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，

所述框架和所述遮挡板的材料为铁镍合金或不锈钢；

所述掩膜片的材料为铁镍合金。

7.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，

所述框架和所述遮挡板的固定方式为焊接固定；

所述框架和所述掩膜片的固定方式为焊接固定。

8.一种掩膜板的制作方法，用于制作如权利要求1～7任一项所述的掩膜板，其特征在于，包括：

将遮挡板张网并焊接在框架的第一区域，并且，所述框架的正投影的内边缘位于所述遮挡板的正投影的范围内；所述框架包括多个边框，多个所述边框依次首尾相接围设成具有第一镂空区的所述框架；所述遮挡板具有多个第二镂空区，沿所述框架厚度方向，所述第二镂空区的正投影位于所述第一镂空区的正投影范围内；

将掩膜片张网并焊接在所述框架的第一边框的第二区域，且所述掩膜片与所述遮挡板位于所述框架的同一侧；其中，多个所述边框包括所述第一边框；所述第一区域的厚度小于所述第二区域的厚度；

所述遮挡板包括多个边框遮挡条以及位于每个所述边框遮挡条外侧的至少一个遮挡板引脚；

所述框架具有第一厚度区域和第二厚度区域，所述第一厚度区域的第一厚度小于所述第二厚度区域的第二厚度；所述第一厚度区域包括所述第一区域以及用于容置遮挡板引脚的第三区域，所述第一区域与所述第三区域连接；所述第二厚度区域包括所述第二区域；

将遮挡板张网并焊接在框架的第一区域，包括：

通过张网机将所述遮挡板的引脚固定并拉伸，将所述遮挡板置于框架上，使所述边框遮挡条位于第一区域，使所述引脚位于第三区域，将所述边框遮挡条焊接在对应的边框上。

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