KR20220008989A

KR20220008989A - 마스크 조립체 및 마스크 조립체를 제조하는 방법

Info

Publication number: KR20220008989A
Application number: KR1020200086881A
Authority: KR
Inventors: 고준혁; 공병익; 김세일; 김의규; 민수현; 이상민; 장원영; 홍승주
Original assignee: 삼성디스플레이 주식회사
Priority date: 2020-07-14
Filing date: 2020-07-14
Publication date: 2022-01-24
Also published as: US20220018011A1; CN113930718A

Abstract

마스크 조립체는 정렬 조정 패턴 및 제1 용접부가 형성된 패턴 영역 및 상부 개구들이 형성된 제1 증착 영역을 포함하고, 제1 방향으로 연장하는 마스크 및 제2 방향으로 연장하며 패턴 영역과 중첩하는 제1 지지부 및 테두리부를 포함하는 마스크 프레임을 포함하고, 정렬 조정 패턴은 패턴 영역에 위치하는 마스크의 적어도 일부가 제거된 형태를 가질 수 있다. 이에 따라, 마스크 조립체는 상대적으로 적은 개수의 마스크를 사용함으로써 마스크 조립체의 제조 비용을 줄일 수 있다.

Description

마스크 조립체 및 마스크 조립체를 제조하는 방법{MASK ASSEMBLY AND METHOD OF MANUFACTURING MASK ASSEMBLY}

본 발명은 마스크 조립체 및 마스크 조립체를 제조하는 방법에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 본 발명은 개구들을 포함하는 마스크 조립체 및 개구들을 포함하는 마스크 조립체를 제조하는 방법에 관한 것이다.

평판 표시 장치는 경량 및 박형 등의 특성으로 인하여, 음극선관 표시 장치를 대체하는 표시 장치로써 사용되고 있다. 이러한 평판 표시 장치의 대표적인 예로서 액정 표시 장치와 유기 발광 표시 장치가 있다.

표시 장치를 제조하기 위해 원장 기판 상에서 표시 장치에 포함되는 구성 요소들이 형성될 수 있다. 예를 들면, 유기 발광 표시 장치의 제조 공정에 있어서, 유기 발광 표시 장치의 구성 요소들 중에서 유기 발광층들을 증착하기 위해 파인 메탈 마스크가 사용될 수 있다. 파인 메탈 마스크에는 증착 물질이 통과하는 복수의 개구들이 형성될 수 있다. 개구들은 유기 발광 표시 장치의 서브 화소 영역들(예를 들어, 유기 발광층이 형성되는 영역)과 대등되도록 위치할 수 있다. 여기서, 원장 기판이 대형화됨에 따라 마스크의 길이가 상대적으로 길게 제조될 수 있다. 이러한 경우, 마스크에 개구들을 형성하는 공정에서 개구들이 한번의 공정으로 형성될 수 없고, 마스크의 상부에 개구들의 일부를 형성한 후 상기 마스크의 하부에 상기 개구들의 나머지를 형성해야만 한다. 다만, 마스크의 상부에 개구들의 일부를 형성한 후 상기 마스크의 하부에 상기 개구들의 나머지를 형성하는 경우, 마스크의 하부에 형성된 상기 개구들이 원장 기판의 서브 화소 영역들과 정확하게 중첩하지 않아 유기 발광층들이 서브 화소 영역들 각각에 정확히 형성되지 않을 수 있다.

본 발명의 일 목적은 개구들을 포함하는 마스크 조립체를 제공하는 것이다.

본 발명의 다른 목적은 개구들을 포함하는 마스크 조립체를 제조하는 방법을 제공하는 것이다.

그러나, 본 발명이 상술한 목적들에 의해 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.

전술한 본 발명의 일 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 마스크 조립체는 정렬 조정 패턴 및 제1 용접부가 형성된 패턴 영역 및 상부 개구들이 형성된 제1 증착 영역을 포함하고, 제1 방향으로 연장하는 마스크 및 제2 방향으로 연장하며 상기 패턴 영역과 중첩하는 제1 지지부 및 테두리부를 포함하는 마스크 프레임을 포함하고, 상기 정렬 조정 패턴은 상기 패턴 영역에 위치하는 상기 마스크의 적어도 일부가 제거된 형태를 가질 수 있다.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 정렬 조정 패턴은 상기 패턴 영역에 위치하는 상기 마스크의 적어도 일부를 제거하여 형성된 그루브를 포함할 수 있다.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 그루브는 복수의 그루브들을 포함하고, 상기 그루브들은 상기 제2 방향을 따라 서로 이격하여 배열될 수 있다.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 정렬 조정 패턴은 상기 패턴 영역에 위치하는 상기 마스크를 관통하여 형성된 관통 개구를 포함할 수 있다

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 정렬 조정 패턴의 상기 관통 개구를 통해 상기 제1 지지부의 상면이 노출될 수 있다.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 관통 개구를 통해 증착 물질이 통과하지 않을 수 있다.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 관통 개구는 복수의 관통 개구들을 포함하고, 상기 관통 개구들은 상기 제2 방향을 따라 서로 이격하여 배열될 수 있다.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 마스크는 상기 패턴 영역에 형성된 제2 용접부를 더 포함할 수 있다.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 마스크 조립체의 평면 상에서, 상기 제1 용접부와 상기 제2 용접부 사이에 상기 정렬 조정 패턴이 위치할 수 있다.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제1 및 제2 용접부들이 상기 제1 지지부와 용접되어 상기 마스크가 상기 제1 지지부에 고정될 수 있다.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 마스크는 하부 개구들이 형성된 제2 증착 영역을 더 포함할 수 있다.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 마스크 조립체의 평면 상에서, 상기 제1 증착 영역과 상기 제2 증착 영역 사이에 상기 패턴 영역이 위치할 수 있다.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제1 및 제2 증착 영역들에 형성된 상기 상부 및 하부 개구들에는 증착 물질이 통과할 수 있다.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 마스크는 상기 제1 증착 영역과 인접하여 위치하고, 제3 용접부가 형성된 제1 고정 영역 및 상기 제2 증착 영역과 인접하여 위치하고, 제4 용접부가 형성된 제2 고정 영역을 더 포함할 수 있다.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 마스크 조립체의 평면 상에서, 상기 제1 고정 영역과 상기 제2 고정 영역 사이에 상기 제1 증착 영역, 상기 패턴 영역 및 상기 제2 증착 영역이 위치할 수 있다.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제1 및 제2 고정 영역들은 상기 테두리부와 중첩할 수 있다.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제3 및 제4 용접부들이 상기 테두리부와 용접되어 상기 마스크가 상기 테두리부에 고정될 수 있다.

전술한 본 발명의 다른 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 마스크 조립체를 제조하는 방법은 제1 지지부, 제2 지지부 및 상기 제1 및 제2 지지부들을 둘러싸는 테두리부를 포함하는 마스크 프레임을 제공하는 단계, 상기 마스크 프레임 아래에 복수의 서브 화소 영역들을 포함하는 원장 기판을 위치하는 단계, 제1 및 제2 증착 영역들, 패턴 영역, 제1 및 제2 고정 영역들 및 제1 및 제2 클램핑 영역을 포함하고, 제1 방향으로 연장하는 마스크를 제공하는 단계, 상기 마스크의 상기 제1 증착 영역에 상부 개구들을 형성한 후, 상기 마스크의 상기 제2 증착 영역에 하부 개구들을 형성하는 단계, 상기 마스크의 상기 패턴 영역이 상기 제1 지지부과 중첩하도록 상기 마스크 프레임 상에 상기 마스크를 위치하는 단계, 상기 마스크의 상기 제1 고정 영역의 일부를 용접하여 제1 용접부를 형성한 후, 상기 마스크의 상기 패턴 영역의 일부를 용접하여 제2 용접부를 형성하는 단계, 상기 마스크의 상기 패턴 영역에 상기 마스크의 일부를 관통하여 형성된 관통 개구들을 포함하는 정렬 조정 패턴을 형성하는 단계, 상기 마스크의 상기 제2 클램핑 영역을 상기 제1 방향과 다른 방향으로 인장하여 상기 제2 증착 영역에 형성된 하부 개구들과 상기 제2 증착 영역 아래에 위치하는 상기 원장 기판의 상기 서브 화소 영역들을 서로 중첩시키는 단계 및 상기 상부 및 하부 개구들을 통해 증착 물질을 상기 서브 화소 영역들에 증착하는 단계를 포함할 수 있다.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제1 클램핑 영역 및 상기 제2 클램핑 영역을 고정하는 단계, 상기 마스크의 상기 제1 증착 영역에 형성된 상부 개구들과 상기 제1 증착 영역 아래에 위치하는 상기 원장 기판의 상기 서브 화소 영역들을 서로 중첩시키는 단계 및 상기 마스크의 상기 패턴 영역의 일부를 용접하여 제3 용접부를 형성한 후, 상기 마스크의 상기 제2 고정 영역의 일부를 용접하여 제4 용접부를 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제1 용접부는 상기 테두리부의 제1 부분 상에 위치하고, 상기 제2 및 제3 용접부들은 상기 제1 지지부 상에 위치하며, 상기 제4 용접부는 상기 테두리부의 제2 부분 상에 위치하고, 상기 마스크 조립체의 평면 상에서, 상기 제2 용접부와 상기 제3 용접부 사이에 상기 정렬 조정 패턴이 위치할 수 있다.

본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 마스크 조립체는 제2 증착 영역에 형성된 하부 개구들이 원장 기판의 서브 화소 영역들과 정확하게 중첩하지 않더라도 정렬 조정 패턴을 포함함으로써, 패턴 영역의 일부 제2 증착 영역 및 제2 고정 영역에 위치하는 마스크의 위치를 조절하여 하부 개구들이 상기 서브 화소 영역들과 정확하게 중첩하도록 할 수 있다. 이에 따라, 마스크 조립체는 상대적으로 적은 개수의 마스크를 사용함으로써 마스크 조립체의 제조 비용을 줄일 수 있다.

본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 마스크 조립체를 제조하는 방법에 있어서, 마스크에 개구들을 형성하는 공정 상에서 제2 증착 영역에 형성된 하부 개구들이 원장 기판의 서브 화소 영역들과 정확하게 중첩하지 않더라도 상기 얼라인 정렬 공정을 통해 패턴 영역의 일부 제2 증착 영역 및 제2 고정 영역에 위치하는 마스크의 위치를 조절하여 하부 개구들이 제2 증착 영역 아래에 위치하는 서브 화소 영역들과 정확하게 중첩하도록 할 수 있다. 이에 따라, 마스크 조립체는 상대적으로 적은 개수의 마스크를 사용함으로써 마스크 조립체의 제조 비용 및 제조 시간을 줄일 수 있다.

또한, 제1 증착 영역에 위치하는 상부 개구들과 원장 기판의 서브 화소 영역들을 정확하게 중첩시킨 후, 상기 얼라인 정렬 공정을 통해 패턴 영역의 일부 제2 증착 영역 및 제2 고정 영역에 위치하는 마스크의 위치를 조절하여 제2 증착 영역에 위치하는 하부 개구들과 제2 증착 영역 아래에 위치하는 원장 기판의 서브 화소 영역들을 정확하게 중첩함으로써, 정밀한 마스크를 제조할 수 있다.

더욱이, 정밀한 마스크를 포함하는 마스크 조립체는 증착 물질을 증착 위치에 정확하게 증착함으로써, 유기 발광 표시 장치의 화소 불량도 감소시킬 수 있다.

다만, 본 발명의 효과가 상술한 효과들로 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.

도 1은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 마스크 조립체를 나타내는 평면도이다.
도 2는 도 1의 마스크 조립체에 포함된 마스크 프레임을 설명하기 위한 평면도이다.
도 3은 도 1의 마스크 조립체에 포함된 마스크를 설명하기 위한 평면도이다.
도 4는 도 3의 마스크의 일 예를 나타내는 평면도이다.
도 5 및 6은 도 2의 마스크 프레임의 일 예를 나타내는 사시도들이다.
도 7 내지 21은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 마스크 조립체를 제조하는 방법을 나타내는 평면도들이다.
도 22 내지 29는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 마스크 조립체를 제조하는 방법을 나타내는 평면도들이다.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 마스크 조립체들 및 마스크 조립체를 제조하는 방법들에 대하여 상세하게 설명한다. 첨부한 도면들에 있어서, 동일하거나 유사한 구성 요소들에 대해서는 동일하거나 유사한 참조 부호들을 사용한다.

도 1은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 마스크 조립체를 나타내는 평면도이고, 도 2는 도 1의 마스크 조립체에 포함된 마스크 프레임을 설명하기 위한 평면도이다. 도 3은 도 1의 마스크 조립체에 포함된 마스크를 설명하기 위한 평면도이다.

도 1, 2 및 3을 참조하면, 마스크 조립체(100)는 마스크들(400), 마스크 프레임(500) 등을 포함할 수 있다. 여기서, 마스크들(400) 각각은 제1 용접부(512), 제2 용접부(513), 제3 용접부(511), 제4 용접부(514), 정렬 조정 패턴(503), 상부 개구들(501) 및 하부 개구들(502)을 포함할 수 있고, 마스크 프레임(500)은 테두리부(520), 제1 지지부(530) 및 제2 지지부(510)를 포함할 수 있다. 또한, 마스크들(400) 각각은 패턴 영역(20), 제1 증착 영역(11), 제2 증착 영역(12), 제1 고정 영역(41) 및 제2 고정 영역(42)을 포함할 수 있다. 마스크 조립체(100)의 평면 상에서, 제1 증착 영역(11)과 제2 증착 영역(12) 사이에 패턴 영역(20)이 위치할 수 있고, 제1 고정 영역(41)과 제2 고정 영역(42) 사이에 제1 증착 영역(11), 패턴 영역(20) 및 제2 증착 영역(12)이 위치할 수 있다. 예를 들면, 마스크 조립체(100)는 원장 기판에 형성된 복수의 셀들에 유기 발광 물질을 증착하기 위한 장치에 해당될 수 있다.

마스크들(400) 각각은 마스크 조립체(100)의 상면과 평행한 제1 방향(D1)으로 연장할 수 있고, 제1 방향(D1)과 직교하는 제2 방향(D2)으로 서로 이격하여 배열될 수 있다. 마스크들(400) 중 하나의 마스크(400)의 제1 증착 영역(11)에는 상부 개구들(501)이 형성될 수 있고, 마스크(400)의 제2 증착 영역(12)에는 하부 개구들(502)이 형성될 수 있다. 상부 개구들(501) 및 하부 개구들(502)을 통해 상기 유기 발광 물질이 통과할 수 있다. 마스크(400)의 제1 고정 영역(41)에는 제3 용접부(511)가 형성될 수 있고, 마스크(400)의 제2 고정 영역(42)에는 제4 용접부(514)가 형성될 수 있다. 마스크 조립체(100)의 평면 상에서, 제1 고정 영역(41)은 마스크 프레임(500) 중 테두리부(520)의 제1 부분(예를 들어, 테두리부(520)의 상부)과 중첩하여 위치할 수 있고, 제2 고정 영역(42)은 마스크 프레임(500) 중 테두리부(520)의 제2 부분(예를 들어, 테두리부(520)의 하부)과 중첩하여 위치할 수 있다. 제3 용접부(511) 및 제4 용접부(514)가 테두리부(520)와 용접되어 마스크(400)가 테두리부(520)에 고정될 수 있다. 마스크(400)의 패턴 영역(20)에는 제1 용접부(512), 제2 용접부(513) 및 정렬 조정 패턴(503)이 형성될 수 있다.

예시적인 실시예들에 있어서, 마스크 조립체(100)의 평면 상에서, 제1 용접부(512)와 제2 용접부(513) 사이에 정렬 조정 패턴(503)이 위치할 수 있다. 또한, 패턴 영역(20)은 마스크 프레임(500) 중 제1 지지부(530)와 중첩하여 위치할 수 있다. 제1 용접부(512) 및 제2 용접부(513)가 제1 지지부(530)와 용접되어 마스크(400)가 제1 지지부(530)에 고정될 수 있다. 더욱이, 정렬 조정 패턴(503)은 패턴 영역(20)에 위치하는 마스크(400)의 적어도 일부가 제거된 형태를 가질 수 있다. 예를 들면, 도 1 및 3에 도시된 바와 같이, 정렬 조정 패턴(503)은 패턴 영역(20)에 위치하는 마스크(400)를 관통하여 형성된 복수의 관통 개구들을 포함할 수 있고, 상기 관통 개구들은 제2 방향(D2)을 따라 서로 이격하여 배열될 수 있다. 여기서, 상기 관통 개구들을 통해 제1 지지부(530)의 상면이 노출될 수 있다. 즉, 상기 관통 개구들을 통해 상기 유기 발광 물질이 통과하지 않는다. 선택적으로, 정렬 조정 패턴(503)은 패턴 영역(20)에 위치하는 마스크(400)의 적어도 일부를 제거하여 형성된 복수의 그루브들을 포함할 수 있고, 상기 그루브들은 제2 방향(D2)을 따라 서로 이격하여 배열될 수도 있다. 마스크(400)는 금속 물질을 포함할 수 있다. 예를 들면, 마스크(400)는 서스(steel use stainless SUS)를 이용하여 형성될 수 있다.

마스크 조립체(100)의 제조 공정에 있어서, 마스크(400)가 마스크 프레임(500) 상에 위치한 후, 제3 용접부(511)를 테두리부(520)의 제1 부분에 용접하여 고정시킬 수 있다. 제3 용접부(511)를 테두리부(520)의 제1 부분에 고정한 후, 제1 용접부(512)를 제1 지지부(530)에 용접하여 고정시킬 수 있다. 제1 용접부(512)를 제1 지지부(530)에 고정한 후, 패턴 영역(20)에 정렬 조정 패턴(503)이 형성될 수 있다. 그 다음, 패턴 영역(20)의 일부 제2 증착 영역(12) 및 제2 고정 영역(42)에 위치하는 마스크(400)의 위치를 조절하여 제2 증착 영역(12)에 위치하는 하부 개구들(502)과 원장 기판의 서브 화소 영역들을 정확하게 중첩시킬 수 있다. 이러한 과정에서, 정렬 조정 패턴(503)이 형성됨으로써 마스크(400)의 위치를 조절하기 위한 인장 자유도(tension degree of freedom)가 부여될 수 있다. 예를 들면, 정렬 조정 패턴(503)의 형성 없이 마스크(400)의 위치를 조절하는 경우, 마스크(400)는 움직이지 않거나 끊어질 수 있다.

다만, 본 발명의 마스크(400)에 포함된 정렬 조정 패턴(503)이 4개의 관통 개구들을 포함하는 것으로 도시되어 있으나, 본 발명의 구성이 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 정렬 조정 패턴(503)은 적어도 2개의 관통 개구들을 포함할 수도 있다.

또한, 정렬 조정 패턴(503)의 상기 관통 개구들 각각의 형상이 사각형의 평면 형상을 갖는 것으로 도시되어 있지만, 상기 관통 개구의 형상이 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 상기 관통 개구들 각각의 형상은 삼각형의 평면 형상, 마름모의 평면 형상, 다각형의 평면 형상, 원형의 평면 형상, 트랙형의 평면 형상, 타원형의 평면 형상 또는 비대칭적 평면 형상을 가질 수도 있고, 상기 관통 개구들은 서로 다른 평면 형상을 가질 수도 있다.

더욱이, 정렬 조정 패턴(503)의 상기 관통 개구들이 하나의 행으로 배열되는 형상을 갖는 것으로 도시되어 있지만, 상기 관통 개구의 배열 형상이 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 상기 관통 개구들은 적어도 두 개의 행으로 배열되는 형상을 가질 수도 있다.

도 1, 2 및 3을 다시 참조하면, 마스크들(400) 아래에 마스크 프레임(500)이 배치될 수 있다. 마스크 프레임(500)의 제1 지지부(530) 및 제2 지지부(510)는 마스크들(400)의 처짐을 방지할 수 있고, 상기 유기 발광 물질이 마스크들(400)을 통과하는 것을 차단할 수 있다. 예를 들면, 도 2 에 도시된 바와 같이, 제1 지지부(530)는 제1 방향(D1)과 직교하는 제2 방향(D2)으로 연장할 수 있고, 제2 지지부(510)는 제1 방향(D1)으로 연장할 수 있으며, 제1 지지부(530)와 제2 지지부(510)는 교차할 수 있다. 다시 말하면, 제1 지지부(530), 제2 지지부(510) 및 테두리부(520)는 일체로 형성될 수 있다. 또한, 테두리부(520)는 제1 지지부(530) 및 제2 지지부(510)를 둘러쌀 수 있다. 전술한 바와 같이, 제1 지지부(530)는 마스크들(400) 각각의 패턴 영역(20)과 중첩할 수 있고, 테두리부(520)의 상기 제1 부분 및 상기 제2 부분들은 마스크들(400) 각각의 제1 고정 영역(41) 및 제2 고정 영역(42)과 각기 중첩할 수 있다. 마스크 프레임(500)은 금속 물질을 포함할 수 있다. 예를 들면, 마스크 프레임(500)은 SUS를 이용하여 형성될 수 있다.

다만, 본 발명의 마스크 프레임(500)이 하나의 제1 지지부(530)를 갖는 것으로 설명하였으나, 본 발명의 구성이 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 제1 지지부(530)는 상부 개구들(501) 및 하부 개구들(502)과 중첩되지 않도록 테두리부(520)의 상기 제1 부분과 상기 제2 부분 사이에서 추가적으로 배치될 수도 있다.

또한, 본 발명의 마스크 프레임(500)이 하나의 제2 지지부(510)를 갖는 것으로 설명하였으나, 본 발명의 구성이 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 제2 지지부(510)는 마스크들(400)이 제2 방향(D2)으로 이격하는 공간을 덮도록 테두리부(520)의 제3 부분과(예를 들어, 테두리부(520)의 좌측) 제4 부분(예를 들어, 테두리부(520)의 우측) 사이에서 추가적으로 배치될 수도 있다.

이에 따라, 마스크들(400) 및 마스크 프레임(500)을 포함하는 마스크 조립체(100)가 제공될 수 있다.

종래의 마스크 조립체에 있어서, 상기 마스크 조립체에는 증착 물질이 통과하는 복수의 개구들이 형성될 수 있다. 상기 개구들은 유기 발광 표시 장치의 서브 화소 영역들(예를 들어, 유기 발광층이 형성되는 영역)과 대등되도록 위치할 수 있다. 여기서, 원장 기판이 대형화됨에 따라 마스크의 길이가 상대적으로 길게 제조될 수 있다. 이러한 경우, 상기 마스크에 상기 개구들을 형성하는 공정에서 상기 마스크에 상기 개구를 형성하는 공정 장치의 크기의 제한 때문에 상기 개구들이 한번의 공정으로 형성될 수 없고, 마스크의 상부에 상기 개구들의 일부를 형성한 후, 상기 마스크의 하부에 상기 개구들의 나머지를 형성해야만 한다. 다만, 상기 마스크의 상부에 개구들의 일부를 형성한 후 상기 마스크의 하부에 상기 개구들의 나머지를 형성하는 경우, 마스크의 하부에 형성된 상기 개구들이 원장 기판의 서브 화소 영역들과 정확하게 중첩하지 않아 유기 발광층들이 서브 화소 영역들 각각에 정확히 형성되지 않을 수 있다. 이러한 문제점 때문에, 상기와 같은 방법으로 마스크를 제조하지 않는다. 따라서, 종래의 마스크 조립체의 제조 공정에 있어서, 제1 마스크의 상부에만 개구를 형성한 후, 마스크 프레임에 상기 제1 마스크를 용접하고, 개구가 형성되지 않은 마스크의 하부를 제거한다. 이후, 제2 마스크의 하부에만 개구를 형성한 후, 상기 마스크 프레임에 상기 제2 마스크를 용접하고, 개구가 형성되지 않은 마스크의 상부를 제거한다. 이에 따라, 종래의 마스크가 제조될 수 있다.

본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 마스크 조립체(100)는 제2 증착 영역(12)에 형성된 하부 개구들(502)이 원장 기판의 서브 화소 영역들과 정확하게 중첩하지 않더라도 정렬 조정 패턴(503)을 포함함으로써, 패턴 영역(20)의 일부 제2 증착 영역(12) 및 제2 고정 영역(42)에 위치하는 마스크(400)의 위치를 조절하여 하부 개구들(502)이 상기 서브 화소 영역들과 정확하게 중첩하도록 할 수 있다. 이에 따라, 마스크 조립체(100)는 상대적으로 적은 개수의 마스크(400)를 사용함으로써 마스크 조립체(100)의 제조 비용을 줄일 수 있다.

도 4는 도 3의 마스크의 일 예를 나타내는 평면도이다.

도 4를 참조하면, 마스크 조립체(100)의 평면 상에서, 제1 용접부(512)와 제2 용접부(513) 사이에 정렬 조정 패턴(503)이 위치할 수 있다. 또한, 패턴 영역(20)은 마스크 프레임(500) 중 제1 지지부(530)와 중첩하여 위치할 수 있다. 제1 용접부(512) 및 제2 용접부(513)가 제1 지지부(530)와 용접되어 마스크(400)가 제1 지지부(530)에 고정될 수 있다. 더욱이, 정렬 조정 패턴(503)은 패턴 영역(20)에 위치하는 마스크(400)의 적어도 일부가 제거된 형태를 가질 수 있다. 예를 들면, 정렬 조정 패턴(503)은 패턴 영역(20)에 위치하는 마스크(400)를 관통하여 형성된 관통 개구를 포함할 수 있고, 상기 관통 개구는 제2 방향(D2)을 따라 연장할 수 있다. 도 3의 관통 개구들과 비교했을 때, 도 4의 상기 관통 개구는 제2 방향(D2)으로의 폭의 길이가 상대적으로 길 수 있다. 즉, 도 4의 상기 관통 개구는 바(bar)의 평면 형상을 가질 수 있다. 여기서, 상기 관통 개구를 통해 제1 지지부(530)의 상면이 노출될 수 있다. 즉, 상기 관통 개구를 통해 상기 유기 발광 물질이 통과하지 않는다. 선택적으로, 정렬 조정 패턴(503)은 패턴 영역(20)에 위치하는 마스크(400)의 적어도 일부를 제거하여 형성된 그루브를 포함할 수 있고, 상기 그루브는 제2 방향(D2)을 따라 연장될 수도 있다.

도 5 및 6은 도 2의 마스크 프레임의 일 예를 나타내는 사시도들이다.

도 5 및 6을 참조하면, 테두리부(520)에 제1 및 제2 홈들(521, 522)이 형성될 수 있다. 제1 지지부(530) 및 제2 지지부(510) 각각의 양측부들이 제1 및 제2 홈들(501, 502)에 각기 체결될 수 있다. 예를 들면, 제1 지지부(530)의 상기 양측부는 제1 홈들(521)에 체결될 수 있고, 제2 지지부(510)의 상기 양측부는 제2 홈들(522)에 체결될 수 있다. 즉, 제1 지지부(530) 아래에 제2 지지부(510)가 위치할 수 있다. 도 2의 마스크 프레임(500)과 비교했을 때, 도 2의 제1 지지부(530), 제2 지지부(510) 및 테두리부(520)는 일체로 형성되지 만, 도 5 및 6의 마스크 프레임(500)은 제1 지지부(530), 제2 지지부(510) 및 테두리부(520)가 독립적으로 구성될 수 있다.

도 7 내지 21은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 마스크 조립체를 제조하는 방법을 나타내는 평면도들이다.

도 2를 참조하면, 마스크 프레임(500)이 제공될 수 있다. 마스크 프레임(500)은 테두리부(520), 제1 지지부(530) 및 제2 지지부(510)를 포함할 수 있다. 제1 지지부(530)는 제2 방향(D2)으로 연장할 수 있고, 제2 지지부(510)는 제1 방향(D1)으로 연장할 수 있으며, 제1 지지부(530)와 제2 지지부(510)는 교차할 수 있다. 다시 말하면, 제1 지지부(530), 제2 지지부(510) 및 테두리부(520)는 일체로 형성될 수 있다. 또한, 테두리부(520)는 제1 지지부(530) 및 제2 지지부(510)를 둘러쌀 수 있다. 마스크 프레임(500)은 금속 물질을 포함할 수 있다. 예를 들면, 마스크 프레임(500)은 SUS를 이용하여 형성될 수 있다.

도 7 및 8을 참조하면, 원장 기판(700)이 제공될 수 있다. 원장 기판(700)은 복수의 셀들을 포함할 수 있다. 예를 들면, 원장 기판(700) 상에 표시 장치의 구성 요소들이 형성된 후, 셀 커팅을 수행하여 복수의 셀들이 서로 분리될 수 있다. 상기 셀들 각각에는 서브 화소 영역(710)을 포함할 수 있다. 여기서, 상기 표시 장치가 유기 발광 표시 장치인 경우, 서브 화소 영역(710)에 유기 발광층이 형성될 수 있다. 즉, 상기 유기 발광 표시 장치에 포함된 화소 정의막의 개구와 서브 화소 영역(710)은 서로 대응될 수 있다. 또한, 종래의 원장 기판보다 원장 기판(700)의 크기가 상대적으로 더 클 수 있다. 예를 들면, 원장 기판(700)은 제1 방향(D1) 및 제2 방향(D2)으로 연장되어 상대적으로 큰 면적을 가질 수 있다. 도 8에 도시된 바와 같이, 마스크 프레임(500) 아래에 원장 기판(700)이 위치할 수 있다. 이러한 경우, 제1 지지부(530), 제2 지지부(510) 및 테두리부(520)로 정의되는 4 개의 개구들을 통해 원장 기판(700)의 서브 화소 영역들(710)이 노출될 수 있다.

도 9를 참조하면, 마스크(400)가 제공될 수 있다. 마스크(400)는 패턴 영역(20), 제1 증착 영역(11), 제2 증착 영역(12), 제1 고정 영역(41), 제2 고정 영역(42), 제1 클램핑 영역(31) 및 제2 클램핑 영역(32)을 포함할 수 있다. 원장 기판(700)이 대형화됨에 따라 마스크(400)의 제1 방향(D1)(또는 제4 방향(D4))으로의 길이가 상대적으로 길게 제조될 수 있다. 마스크(400)는 금속 물질을 포함할 수 있다. 예를 들면, 마스크(400)는 SUS를 이용하여 형성될 수 있다.

도 10을 참조하면, 마스크(400)의 제1 증착 영역(11)에 상부 개구들(501)이 형성될 수 있다.

예를 들면, 마스크(400)의 길이가 상대적으로 길어짐에 따라 마스크(400)에 개구를 형성하는 제조 장치의 크기도 커져야 한다. 다만, 상대적으로 길어진 마스크의 개구를 한번에 형성하는 새로운 제조 장치가 현재 개발되지 않거나, 상기 새로운 제조 장치가 개발되더라도 상기 새로운 장비를 구입하기 위한 비용적인 측면 때문에 기존의 제조 장치를 사용하여 마스크(400)의 일부 영역에만 우선적으로 개구를 형성한다.

도 11 및 12를 참조하면, 제1 증착 영역(11)에 상부 개구들(501)을 형성한 후, 마스크(400)의 제2 증착 영역(12)에 하부 개구들(502)이 형성될 수 있다. 제2 증착 영역(12)에 하부 개구들(502)을 형성한 후, 마스크(400)의 패턴 영역(20)이 마스크 프레임(500)의 제1 지지부(530)와 중첩하도록 마스크 프레임(500) 상에 마스크(400)를 위치시킬 수 있다. 마스크 프레임(500) 상에 마스크(400)를 위치시킨 후, 마스크(400)의 제1 클램핑 영역(31) 및 제2 클램핑 영역(32) 각각이 고정될 수 있다. 예를 들면, 제1 클램프가 제1 클램핑 영역(31)을 고정하면서 제1 방향(D1)으로 당길 수 있고, 제2 클램프가 제2 클램핑 영역(32)을 고정하면서 제4 방향(D4)으로 당길 수 있다. 상기 제1 및 제2 클램프들이 마스크(400)를 제1 및 제4 방향들(D1, D4)로 당기는 동안, 마스크(400)의 제1 증착 영역(11)에 형성된 상부 개구들(501)과 제1 증착 영역(11) 아래에 위치하는 원장 기판(700)의 서브 화소 영역들(710)을 서로 중첩시킬 수 있다.

예를 들면, 상부 개구들(501) 및 하부 개구들(502)을 한번에 형성하지 않기 때문에, 제1 증착 영역(11)에 형성된 상부 개구들(501)과 제1 증착 영역(11) 아래에 위치하는 원장 기판(700)의 서브 화소 영역들(710)이 정확히 중첩하더라도 제2 증착 영역(12)에 형성된 하부 개구들(502)과 제2 증착 영역(12) 아래에 위치하는 원장 기판(700)의 서브 화소 영역들(710)이 정확하게 중첩하지 않을 수 있다. 즉, 하부 개구들(502)과 제2 증착 영역(12) 아래에 위치하는 원장 기판(700)의 서브 화소 영역들(710) 사이에 얼라인 틀어짐이 발생할 수 있다. 다만, 상기 얼라인 틀어짐은 이후 수행될 얼라인 조정 공정을 통해 하부 개구들(502)과 제2 증착 영역(12) 아래에 위치하는 원장 기판(700)의 서브 화소 영역(710)과 정확하게 중첩될 수 있다.

도 13을 참조하면, 마스크(400)의 제1 고정 영역(41)은 마스크 프레임(500) 중 테두리부(520)의 제1 부분(예를 들어, 테두리부(520)의 상부)과 중첩하여 위치할 수 있다. CW 레이저(continuous wave laser)를 이용하여 마스크(400)의 제1 고정 영역(41)의 일부를 용접하여 제1 용접부(511)를 형성할 수 있다. 예를 들면, 제1 용접부(511)는 제2 방향(D2)(또는 제3 방향(D3))을 따라 연장할 수 있다. 다시 말하면, 제1 용접부(511)가 테두리부(520)의 상기 제1 부분과 용접되어 제1 고정 영역(41)이 테두리부(520)의 상기 제1 부분에 고정될 수 있다.

도 14를 참조하면, 패턴 영역(20)은 마스크 프레임(500) 중 제1 지지부(530)와 중첩하여 위치할 수 있다. 제1 용접부(511)를 형성한 후, 상기 CW 레이저를 이용하여 마스크(400)의 패턴 영역(20)의 제1 부분을 용접하여 제2 용접부(512)를 형성할 수 있다. 예를 들면, 제2 용접부(512)는 제2 방향(D2)을 따라 연장할 수 있다. 다시 말하면, 제2 용접부(512)가 제1 지지부(530)의 제1 부분과 용접되어 패턴 영역(20)의 상기 제1 부분이 제1 지지부(530)의 상기 제1 부분에 고정될 수 있다.

도 15를 참조하면, 제2 용접부(512)를 형성한 후, 펄스 레이저(pulse laser)를 이용하여 패턴 영역(20)의 제2 부분(예를 들어, 패턴 영역(20)의 상기 제1 부분으로부터 제4 방향(D4)으로 이격된 부분)에 정렬 조정 패턴(503)을 형성할 수 있다. 정렬 조정 패턴(503)은 패턴 영역(20)에 위치하는 마스크(400)의 적어도 일부가 제거된 형태를 가질 수 있다. 예를 들면, 정렬 조정 패턴(503)은 패턴 영역(20)에 위치하는 마스크(400)를 관통하여 형성된 복수의 관통 개구들을 포함할 수 있고, 상기 관통 개구들은 제2 방향(D2)을 따라 서로 이격하여 배열될 수 있다. 여기서, 상기 관통 개구들을 통해 제1 지지부(530)의 제2 부분의 상면이 노출될 수 있다. 선택적으로, 정렬 조정 패턴(503)은 패턴 영역(20)에 위치하는 마스크(400)의 적어도 일부를 제거하여 형성된 복수의 그루브들을 포함할 수 있고, 상기 그루브들은 제2 방향(D1)을 따라 서로 이격하여 배열될 수도 있다.

도 16, 17 및 18을 참조하면, 제2 클램핑 영역(32)에 고정된 상기 제2 클램프를 제4 방향(D4), 제2 방향(D2) 및/또는 제3 방향(D3)(예를 들어, 제1 방향(D1)과 다른 방향들)으로 인장할 수 있다. 이러한 경우, 패턴 영역(20)의 일부 제2 증착 영역(12) 및 제2 고정 영역(42)에 위치하는 마스크(400)의 위치를 조절하여 제2 증착 영역(12)에 형성된 하부 개구들(502)과 제2 증착 영역(12) 아래에 위치하는 원장 기판(700)의 서브 화소 영역들(710)을 서로 중첩시킬 수 있다. 이러한 과정에서, 정렬 조정 패턴(503)이 형성됨으로써 마스크(400)의 위치를 조절하기 위한 인장 자유도가 부여될 수 있다. 예를 들면, 정렬 조정 패턴(503)의 형성 없이 마스크(400)의 위치를 조절하는 경우, 마스크(400)는 움직이지 않거나 끊어질 수 있다.

다시 말하면, 제1 증착 영역(11)에 형성된 상부 개구들(501)과 제1 증착 영역(11) 아래에 위치하는 원장 기판(700)의 서브 화소 영역들(710)은 중첩되어 제1 용접부(511) 및 제2 용접부(512)에 의해 고정될 수 있고, 제2 증착 영역(12)에 형성된 하부 개구들(502)과 제2 증착 영역(12) 아래에 위치하는 원장 기판(700)의 서브 화소 영역들(710)은 중첩되지 않더라도 상기 제2 클램프를 제1 방향(D1)과 다른 방향으로 인장하여 제2 증착 영역(12)에 형성된 하부 개구들(502)과 제2 증착 영역(12) 아래에 위치하는 원장 기판(700)의 서브 화소 영역들(710)을 정확하게 중첩시킬 수 있다. 이러한 공정을 상기 얼라인 조정 공정으로 정의한다. 상기 얼라인 조정 공정을 통해 정렬 조정 패턴(503)의 상기 관통 개구들의 형상이 변형될 수도 있다.

여기서, 상기 제2 클램프를 제1 방향(D1)으로 힘을 가하여 마스크(400)를 수축시키는 것은 다소 어려울 수 있으므로, 본 발명에서는 상기 제2 클램프를 제1 방향(D1)과 다른 방향으로 힘을 가하여 마스크(400)를 인장시키는 것을 예시하고 있다. 다만, 마스크(400)의 재질 또는 특성에 따라 상기 제2 클램프를 제1 방향(D1)으로 힘을 가하여 상기 관통 개구들의 형상들을 변형시켜서 마스크(400)를 수축시키는 것이 가능하다면, 상기 제2 클램프를 모든 방향으로 힘을 가하여 제2 증착 영역(12)에 형성된 하부 개구들(502)과 제2 증착 영역(12) 아래에 위치하는 원장 기판(700)의 서브 화소 영역들(710)은 중첩시킬 수도 있다.

도 19를 참조하면, 정렬 조정 패턴(503)을 형성한 후, 상기 CW 레이저를 이용하여 마스크(400)의 패턴 영역(20)의 제3 부분(예를 들어, 정렬 조정 패턴(503)의 제4 방향(D4)으로 이격된 부분)을 용접하여 제3 용접부(513)를 형성할 수 있다. 예를 들면, 제3 용접부(513)는 제2 방향(D2)을 따라 연장할 수 있다. 다시 말하면, 제3 용접부(513)가 제1 지지부(530)의 제3 부분과 용접되어 패턴 영역(20)의 상기 제3 부분이 제1 지지부(530)의 상기 제3 부분에 고정될 수 있다. 예를 들면, 패턴 영역(20)의 상기 제1 부분과 상기 제3 부분 사이에 상기 제2 부분이 위치할 수 있고, 제1 지지부(530)의 상기 제1 부분과 상기 제3 부분 사이에 제1 지지부(530)의 상기 제2 부분이 위치할 수 있다. 즉, 제2 용접부(512)와 제3 용접부(513) 사이에 정렬 조정 패턴(503)이 위치할 수 있다.

도 20을 참조하면, 마스크(400)의 제2 고정 영역(42)은 마스크 프레임(500) 중 테두리부(520)의 제2 부분(예를 들어, 테두리부(520)의 하부)과 중첩하여 위치할 수 있다. 제3 용접부(513)를 형성한 후, 상기 CW 레이저를 이용하여 마스크(400)의 제2 고정 영역(42)의 일부를 용접하여 제4 용접부(514)를 형성할 수 있다. 예를 들면, 제4 용접부(514)는 제2 방향(D2)을 따라 연장할 수 있다. 다시 말하면, 제4 용접부(514)가 테두리부(520)의 상기 제2 부분과 용접되어 제2 고정 영역(42)이 테두리부(520)의 상기 제2 부분에 고정될 수 있다.

도 21을 참조하면, 상기와 같은 방법으로 마스크 프레임(500) 상에 마스크들(400)이 형성될 수 있다. 다시 말하면, 마스크들(400) 각각의 제1 증착 영역(11)에 형성된 상부 개구들(501)이 제1 증착 영역(11) 아래에 위치하는 원장 기판(700)의 서브 화소 영역들(710)과 중첩하여 위치할 수 있고, 마스크들(400) 각각의 제2 증착 영역(12)에 형성된 하부 개구들(502)이 제2 증착 영역(12) 아래에 위치하는 원장 기판(700)의 서브 화소 영역들(710)과 중첩하여 위치할 수 있다.

도 1을 참조하면, 마스크들(400)이 마스크 프레임(500) 상에 형성된 후, 상기 제1 및 제2 클램프들이 제1 클램핑 영역(31) 및 제2 클램핑 영역(32) 각각으로부터 분리될 수 있고, 제1 클램핑 영역(31) 및 제2 클램핑 영역(32)도 마스크 커팅 공정을 통해 제거될 수 있다. 이에 따라, 도 1에 도시된 마스크 조립체(100)가 제조될 수 있다. 마스크 조립체(100)가 제조된 후, 마스크(400)의 상부 개구들(501) 및 하부 개구들(502)을 통해 증착 물질(예를 들어, 유기 발광 물질)이 통과하여 상기 증착 물질이 원장 기판(700)의 서브 화소 영역들(710)에 각기 증착될 수 있다.

본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 마스크 조립체를 제조하는 방법에 있어서, 마스크(400)에 개구들을 형성하는 공정 상에서 제2 증착 영역(12)에 형성된 하부 개구들(502)이 원장 기판의 서브 화소 영역들(710)과 정확하게 중첩하지 않더라도 상기 얼라인 정렬 공정을 통해 패턴 영역(20)의 일부 제2 증착 영역(12) 및 제2 고정 영역(42)에 위치하는 마스크(400)의 위치를 조절하여 하부 개구들(502)이 제2 증착 영역(12) 아래에 위치하는 서브 화소 영역들(710)과 정확하게 중첩하도록 할 수 있다. 이에 따라, 마스크 조립체(100)는 상대적으로 적은 개수의 마스크(400)를 사용함으로써 마스크 조립체(100)의 제조 비용 및 제조 시간을 줄일 수 있다.

또한, 제1 증착 영역(11)에 위치하는 상부 개구들(501)과 원장 기판(700)의 서브 화소 영역들(710)을 정확하게 중첩시킨 후, 상기 얼라인 정렬 공정을 통해 패턴 영역(20)의 일부 제2 증착 영역(12) 및 제2 고정 영역(42)에 위치하는 마스크(400)의 위치를 조절하여 제2 증착 영역(12)에 위치하는 하부 개구들(502)과 제2 증착 영역(12) 아래에 위치하는 원장 기판(700)의 서브 화소 영역들(710)을 정확하게 중첩함으로써, 정밀한 마스크(400)를 제조할 수 있다.

더욱이, 정밀한 마스크(400)를 포함하는 마스크 조립체(100)는 증착 물질을 증착 위치에 정확하게 증착함으로써, 유기 발광 표시 장치의 화소 불량도 감소시킬 수 있다.

도 22 내지 29는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 마스크 조립체를 제조하는 방법을 나타내는 평면도들이다. 도 22 내지 29에 예시한 마스크 조립체를 이용한 증착 방법은 도 7 내지 21을 참조하여 설명한 마스크 조립체를 이용한 증착 방법과 실질적으로 동일하거나 유사한 구성을 가질 수 있다. 도 22 내지 29에 있어서, 도 7 내지 21을 참조하여 설명한 구성 요소들과 실질적으로 동일하거나 유사한 구성 요소들에 대해 중복되는 설명은 생략한다.

도 22를 참조하면, 마스크(400)의 제1 증착 영역(11)에 형성된 상부 개구들(501)과 제1 증착 영역(11) 아래에 위치하는 원장 기판(700)의 서브 화소 영역들(710)을 서로 중첩시킬 수 있다.

마스크(400)의 제1 고정 영역(41)은 마스크 프레임(500) 중 테두리부(520)의 제1 부분(예를 들어, 테두리부(520)의 상부)과 중첩하여 위치할 수 있다. 상부 개구들(501)과 제1 증착 영역(11) 아래에 위치하는 원장 기판(700)의 서브 화소 영역들(710)을 서로 중첩시킨 후, CW 레이저를 이용하여 마스크(400)의 제1 고정 영역(41)의 일부를 용접하여 제1 용접부(511)를 형성할 수 있다. 예를 들면, 제1 용접부(511)는 제2 방향(D2)(또는 제3 방향(D3))을 따라 연장할 수 있다. 다시 말하면, 제1 용접부(511)가 테두리부(520)의 상기 제1 부분과 용접되어 제1 고정 영역(41)이 테두리부(520)의 상기 제1 부분에 고정될 수 있다.

도 23을 참조하면, 패턴 영역(20)은 마스크 프레임(500) 중 제1 지지부(530)와 중첩하여 위치할 수 있다. 제1 용접부(511)를 형성한 후, 펄스 레이저를 이용하여 패턴 영역(20)의 제1 부분에 정렬 조정 패턴(503)을 형성할 수 있다. 정렬 조정 패턴(503)은 패턴 영역(20)에 위치하는 마스크(400)의 적어도 일부가 제거된 형태를 가질 수 있다. 예를 들면, 정렬 조정 패턴(503)은 패턴 영역(20)에 위치하는 마스크(400)를 관통하여 형성된 복수의 관통 개구들을 포함할 수 있고, 상기 관통 개구들은 제2 방향(D2)을 따라 서로 이격하여 배열될 수 있다. 여기서, 상기 관통 개구들을 통해 제1 지지부(530)의 제1 부분의 상면이 노출될 수 있다. 선택적으로, 정렬 조정 패턴(503)은 패턴 영역(20)에 위치하는 마스크(400)의 적어도 일부를 제거하여 형성된 복수의 그루브들을 포함할 수 있고, 상기 그루브들은 제2 방향(D1)을 따라 서로 이격하여 배열될 수도 있다.

도 24, 25 및 26을 참조하면, 제2 클램핑 영역(32)에 고정된 상기 제2 클램프를 제4 방향(D4), 제2 방향(D2) 및/또는 제3 방향(D3)(예를 들어, 제1 방향(D1)과 다른 방향들)으로 인장할 수 있다. 이러한 경우, 패턴 영역(20)의 일부 제2 증착 영역(12) 및 제2 고정 영역(42)에 위치하는 마스크(400)의 위치를 조절하여 제2 증착 영역(12)에 형성된 하부 개구들(502)과 제2 증착 영역(12) 아래에 위치하는 원장 기판(700)의 서브 화소 영역들(710)을 서로 중첩시킬 수 있다. 이러한 과정에서, 정렬 조정 패턴(503)이 형성됨으로써 마스크(400)의 위치를 조절하기 위한 인장 자유도가 부여될 수 있다. 예를 들면, 정렬 조정 패턴(503)의 형성 없이 마스크(400)의 위치를 조절하는 경우, 마스크(400)는 움직이지 않거나 끊어질 수 있다.

다시 말하면, 제1 증착 영역(11)에 형성된 상부 개구들(501)과 제1 증착 영역(11) 아래에 위치하는 원장 기판(700)의 서브 화소 영역들(710)이 중첩되어 위치하는 것을 유지하면서, 상기 제2 클램프를 제1 방향(D1)과 다른 방향으로 인장하여 제2 증착 영역(12)에 형성된 하부 개구들(502)과 제2 증착 영역(12) 아래에 위치하는 원장 기판(700)의 서브 화소 영역들(710)을 정확하게 중첩시킬 수 있다. 이러한 공정을 얼라인 조정 공정으로 정의한다. 상기 얼라인 조정 공정을 통해 정렬 조정 패턴(503)의 상기 관통 개구들의 형상들이 변형될 수도 있다.

도 27을 참조하면, 정렬 조정 패턴(503)을 형성한 후, 상기 CW 레이저를 이용하여 마스크(400)의 패턴 영역(20)의 제2 부분(예를 들어, 패턴 영역(20)의 상기 제1 부분으로부터 제1 방향(D1)으로 이격된 부분)을 용접하여 제2 용접부(512)를 형성할 수 있다. 예를 들면, 제2 용접부(512)는 제2 방향(D2)을 따라 연장할 수 있다. 다시 말하면, 제2 용접부(512)가 제1 지지부(530)의 제2 부분과 용접되어 패턴 영역(20)의 상기 제2 부분이 제1 지지부(530)의 상기 제2 부분에 고정될 수 있다.

도 28을 참조하면, 제2 용접부(512)를 형성한 후, 상기 CW 레이저를 이용하여 마스크(400)의 패턴 영역(20)의 제3 부분(예를 들어, 정렬 조정 패턴(503)의 제4 방향(D4)으로 이격된 부분)을 용접하여 제3 용접부(513)를 형성할 수 있다. 예를 들면, 제3 용접부(513)는 제2 방향(D2)을 따라 연장할 수 있다. 다시 말하면, 제3 용접부(513)가 제1 지지부(530)의 제3 부분과 용접되어 패턴 영역(20)의 상기 제3 부분이 제1 지지부(530)의 상기 제3 부분에 고정될 수 있다. 예를 들면, 패턴 영역(20)의 상기 제2 부분과 상기 제3 부분 사이에 상기 제1 부분이 위치할 수 있고, 제1 지지부(530)의 상기 제2 부분과 상기 제3 부분 사이에 제1 지지부(530)의 상기 제1 부분이 위치할 수 있다. 즉, 제2 용접부(512)와 제3 용접부(513) 사이에 정렬 조정 패턴(503)이 위치할 수 있다.

도 29를 참조하면, 마스크(400)의 제2 고정 영역(42)은 마스크 프레임(500) 중 테두리부(520)의 제2 부분(예를 들어, 테두리부(520)의 하부)과 중첩하여 위치할 수 있다. 제3 용접부(513)를 형성한 후, 상기 CW 레이저를 이용하여 마스크(400)의 제2 고정 영역(42)의 일부를 용접하여 제4 용접부(514)를 형성할 수 있다. 예를 들면, 제4 용접부(514)는 제2 방향(D2)을 따라 연장할 수 있다. 다시 말하면, 제4 용접부(514)가 테두리부(520)의 상기 제2 부분과 용접되어 제2 고정 영역(42)이 테두리부(520)의 상기 제2 부분에 고정될 수 있다.

상술한 바에서는, 본 발명의 예시적인 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 것이다.

본 발명은 증착용 마스크를 구비할 수 있는 다양한 마스크 조립체들에 적용될 수 있다. 예를 들면, 본 발명은 유기 발광층 증착용 메탈 마스크 조립체, 박막 증착용 메탈 마스크 조립체 등과 같은 수많은 마스크 조립체들에 적용 가능하다.

11: 제1 증착 영역 12: 제2 증착 영역
20: 패턴 영역 31: 제1 클램핑 영역
32: 제2 클램핑 영역 41: 제1 고정 영역
42: 제2 고정 영역 100: 마스크 조립체
400: 마스크 500: 마스크 프레임
501: 상부 개구들 502: 하부 개구들
503: 정렬 조정 패턴 510: 제2 지지부
511: 제1 용접부 512: 제2 용접부
513: 제3 용접부 514: 제4 용접부
520: 테두리부 521, 522: 제1 및 제2 홈들
530: 제1 지지부 700: 원장 기판
710: 서브 화소 영역들

Claims

정렬 조정 패턴 및 제1 용접부가 형성된 패턴 영역 및 상부 개구들이 형성된 제1 증착 영역을 포함하고, 제1 방향으로 연장하는 마스크; 및
제2 방향으로 연장하며 상기 패턴 영역과 중첩하는 제1 지지부 및 테두리부를 포함하는 마스크 프레임을 포함하고,
상기 정렬 조정 패턴은 상기 패턴 영역에 위치하는 상기 마스크의 적어도 일부가 제거된 형태를 갖는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체.
제 1 항에 있어서, 상기 정렬 조정 패턴은 상기 패턴 영역에 위치하는 상기 마스크의 적어도 일부를 제거하여 형성된 그루브를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체.
제 2 항에 있어서, 상기 그루브는 복수의 그루브들을 포함하고, 상기 그루브들은 상기 제2 방향을 따라 서로 이격하여 배열되는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체.
제 1 항에 있어서, 상기 정렬 조정 패턴은 상기 패턴 영역에 위치하는 상기 마스크를 관통하여 형성된 관통 개구를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체.
제 4 항에 있어서, 상기 정렬 조정 패턴의 상기 관통 개구를 통해 상기 제1 지지부의 상면이 노출되는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체.
제 4 항에 있어서, 상기 관통 개구를 통해 증착 물질이 통과하지 않는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체.
제 4 항에 있어서, 상기 관통 개구는 복수의 관통 개구들을 포함하고, 상기 관통 개구들은 상기 제2 방향을 따라 서로 이격하여 배열되는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체.
제 1 항에 있어서, 상기 마스크는,
상기 패턴 영역에 형성된 제2 용접부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체.
제 8 항에 있어서, 상기 마스크 조립체의 평면 상에서, 상기 제1 용접부와 상기 제2 용접부 사이에 상기 정렬 조정 패턴이 위치하는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체.
제 8 항에 있어서, 상기 제1 및 제2 용접부들이 상기 제1 지지부와 용접되어 상기 마스크가 상기 제1 지지부에 고정되는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체.
제 1 항에 있어서, 상기 마스크는,
하부 개구들이 형성된 제2 증착 영역을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체.
제 11 항에 있어서, 상기 마스크 조립체의 평면 상에서, 상기 제1 증착 영역과 상기 제2 증착 영역 사이에 상기 패턴 영역이 위치하는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체.
제 11 항에 있어서, 상기 제1 및 제2 증착 영역들에 형성된 상기 상부 및 하부 개구들에는 증착 물질이 통과하는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체.
제 11 항에 있어서, 상기 마스크는,
상기 제1 증착 영역과 인접하여 위치하고, 제3 용접부가 형성된 제1 고정 영역; 및
상기 제2 증착 영역과 인접하여 위치하고, 제4 용접부가 형성된 제2 고정 영역을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체.
제 14 항에 있어서, 상기 마스크 조립체의 평면 상에서, 상기 제1 고정 영역과 상기 제2 고정 영역 사이에 상기 제1 증착 영역, 상기 패턴 영역 및 상기 제2 증착 영역이 위치하는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체.
제 15 항에 있어서, 상기 제1 및 제2 고정 영역들은 상기 테두리부와 중첩하는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체.
제 15 항에 있어서, 상기 제3 및 제4 용접부들이 상기 테두리부와 용접되어 상기 마스크가 상기 테두리부에 고정되는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체.
제1 지지부, 제2 지지부 및 상기 제1 및 제2 지지부들을 둘러싸는 테두리부를 포함하는 마스크 프레임을 제공하는 단계;
상기 마스크 프레임 아래에 복수의 서브 화소 영역들을 포함하는 원장 기판을 위치하는 단계;
제1 및 제2 증착 영역들, 패턴 영역, 제1 및 제2 고정 영역들 및 제1 및 제2 클램핑 영역을 포함하고, 제1 방향으로 연장하는 마스크를 제공하는 단계;
상기 마스크의 상기 제1 증착 영역에 상부 개구들을 형성한 후, 상기 마스크의 상기 제2 증착 영역에 하부 개구들을 형성하는 단계;
상기 마스크의 상기 패턴 영역이 상기 제1 지지부과 중첩하도록 상기 마스크 프레임 상에 상기 마스크를 위치하는 단계;
상기 마스크의 상기 제1 고정 영역의 일부를 용접하여 제1 용접부를 형성한 후, 상기 마스크의 상기 패턴 영역의 일부를 용접하여 제2 용접부를 형성하는 단계;
상기 마스크의 상기 패턴 영역에 상기 마스크의 일부를 관통하여 형성된 관통 개구들을 포함하는 정렬 조정 패턴을 형성하는 단계; 및
상기 마스크의 상기 제2 클램핑 영역을 상기 제1 방향과 다른 방향으로 인장하여 상기 제2 증착 영역에 형성된 하부 개구들과 상기 제2 증착 영역 아래에 위치하는 상기 원장 기판의 상기 서브 화소 영역들을 서로 중첩시키는 단계를 포함하는 마스크 조립체를 제조하는 방법.
제 18 항에 있어서,
상기 제1 클램핑 영역 및 상기 제2 클램핑 영역을 고정하는 단계;
상기 마스크의 상기 제1 증착 영역에 형성된 상부 개구들과 상기 제1 증착 영역 아래에 위치하는 상기 원장 기판의 상기 서브 화소 영역들을 서로 중첩시키는 단계; 및
상기 마스크의 상기 패턴 영역의 일부를 용접하여 제3 용접부를 형성한 후, 상기 마스크의 상기 제2 고정 영역의 일부를 용접하여 제4 용접부를 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체를 제조하는 방법.
제 19 항에 있어서,
상기 제1 용접부는 상기 테두리부의 제1 부분 상에 위치하고, 상기 제2 및 제3 용접부들은 상기 제1 지지부 상에 위치하며, 상기 제4 용접부는 상기 테두리부의 제2 부분 상에 위치하고,
상기 마스크 조립체의 평면 상에서, 상기 제2 용접부와 상기 제3 용접부 사이에 상기 정렬 조정 패턴이 위치하는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체를 제조하는 방법.