KR102549358B1 - 증착 마스크 조립체 및 이를 이용한 표시 장치의 제조 방법 - Google Patents

증착 마스크 조립체 및 이를 이용한 표시 장치의 제조 방법 Download PDF

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Abstract

증착 마스크 조립체 및 이를 이용한 표시 장치의 제조 방법이 제공된다.
일례로, 증착 마스크 조립체는 1 방향을 따라 이격된 제1 개구부와 제2 개구부가 정의된 프레임; 상기 제1 개구부 상에서 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 배열되는 복수의 제1 분할 마스크를 포함하는 제1 분할 마스크 그룹; 및 상기 제2 개구부 상에서 상기 제2 방향을 따라 배열되는 복수의 제2 분할 마스크를 포함하는 제2 분할 마스크 그룹을 포함하며, 상기 제2 방향에서 인접한 상기 제1 분할 마스크들의 경계부와 상기 제2 방향에서 인접한 상기 제2 분할 마스크들의 경계부가 상기 제2 방향에서 다른 위치에 있다.

Description

증착 마스크 조립체 및 이를 이용한 표시 장치의 제조 방법{DEPOSITION MASK ASSEMBLY AND METHOD OF MANUFACTURING DISPLAY DEVICE USING THE SAME}
본 발명은 증착 마스크 조립체 및 이를 이용한 표시 장치의 제조 방법에 관한 것이다.
발광 표시 장치 중 유기 발광 표시 장치는 자체 발광형 표시 소자로서 시야각이 넓고 콘트라스트가 우수할 뿐만 아니라 응답 속도가 빠르다는 장점을 가지고 있어 차세대 표시 장치로서 주목을 받고 있다.
유기 발광 표시 장치는 애노드 전극과 캐소드 전극 사이에 유기 발광 물질로 이루어진 발광층을 구비하고 있다. 이들 전극들에 양극 및 음극 전압이 각각 인가됨에 따라 애노드 전극으로부터 주입된 정공(hole)이 정공 주입층 및 정공 수송층을 경유하여 발광층으로 이동되고, 전자는 캐소드 전극으로부터 전자 주입층과 전자 수송층을 경유하여 발광층으로 이동되어, 발광층에서 전자와 정공이 재결합된다. 이러한 재결합에 의해 여기자(exciton)가 생성되며, 이 여기자가 여기 상태에서 기저 상태로 변화됨에 따라 발광층으로부터 광이 방출되어 화상이 표시된다.
유기 발광 표시 장치는 화소별로 형성되는 애노드 전극을 노출하도록 개구부를 가지는 화소 정의막을 포함하며, 이 화소 정의막의 개구부를 통해 노출되는 애노드 전극 상에 정공 주입층, 정공 수송층, 발광층, 전자 수송층, 전자 주입층 및 캐소드 전극이 형성된다. 이 중, 정공 주입층, 정공 수송층, 발광층, 전자 수송층, 전자 주입층은 여러 방법으로 형성될 수 있으나, 그 중 한 방식이 증착 방법이다. 증착 방법으로는, 기판보다 작은 크기를 가지는 마스크와 기판을 이격시킨 상태에서 기판 또는 증착원을 이동시키면서 증착이 수행되는 SMS(Small Mask Scanning) 증착 방법 등이 있다.
한편, SMS 증착 방법으로 대형 기판에 증착 공정을 수행하는 경우, 대형 기판보다 작은 크기를 가지는 스몰 마스크가 사용된다. 그런데, 대형 기판의 증착 공정에 사용되는 스몰 마스크 자체의 크기가 크게 작지 않다. 이에 따라, 스몰 마스크의 자중에 의한 휨 현상이 발생될 수 있으며, 이러한 스몰 마스크와 대형 기판 사이의 이격 간격을 일정하게 유지시키기 어려울 수 있다. 스몰 마스크와 대형 기판 사이의 이격 간격 불균일 현상은 기판에 증착 물질을 증착하여 형성되는 박막의 패턴에 왜곡을 발생시킬 수 있다.
이에, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는 대형 기판에 박막을 형성시 박막 패턴에 왜곡이 발생되는 것을 줄일 수 있는 증착 마스크 조립체를 제공하는 것이다.
또한, 본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는 대형 기판에 박막을 형성시 박막 패턴에 왜곡이 발생되는 것을 줄일 수 있는 증착 마스크 조립체를 이용한 표시 장치의 제조 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 마스크 조립체는 제1 방향을 따라 이격된 제1 개구부와 제2 개구부가 정의된 프레임; 상기 제1 개구부 상에서 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 배열되는 복수의 제1 분할 마스크를 포함하는 제1 분할 마스크 그룹; 및 상기 제2 개구부 상에서 상기 제2 방향을 따라 배열되는 복수의 제2 분할 마스크를 포함하는 제2 분할 마스크 그룹을 포함하며, 상기 제2 방향에서 인접한 상기 제1 분할 마스크들의 경계부와 상기 제2 방향에서 인접한 상기 제2 분할 마스크들의 경계부가 상기 제2 방향에서 다른 위치에 있다.
상기 제1 분할 마스크 그룹에서 최외측에 배열된 상기 제1 분할 마스크들의 최외측 가장자리부들과 상기 제2 분할 마스크 그룹에서 최외측에 배열된 상기 제2 분할 마스크들의 최외측 가장자리부들은 상기 제2 방향에서 동일한 위치에 있을 수 있다.
상기 제1 분할 마스크 그룹에서 최외측에 배열된 상기 제1 분할 마스크와 상기 제2 분할 마스크 그룹에서 최외측에 배열되는 상기 제2 분할 마스크는 상기 제2 방향에서 서로 다른 폭을 가지며 상기 제1 방향에서 서로 마주볼 수 있다.
상기 제1 분할 마스크 그룹에서 최외측에 배열된 상기 제1 분할 마스크들 각각은 상기 제2 방향에서 제1 폭을 가지며, 상기 최외측에 배열된 제1 분할 마스크들을 제외한 상기 제1 분할 마스크들 각각은 상기 제2 방향에서 상기 제1 폭보다 큰 제2 폭을 갖고, 상기 제2 분할 마스크 그룹의 상기 제2 분할 마스크들 각각은 상기 제2 폭과 동일한 제3 폭을 가질 수 있다.
상기 제2 분할 마스크 그룹에서 최외측에 배열된 상기 제2 분할 마스크들 각각은 상기 제2 방향에서 제1 폭을 가지며, 상기 최외측에 배열된 제2 분할 마스크들을 제외한 상기 제2 분할 마스크들 각각은 상기 제2 방향에서 상기 제1 폭보다 큰 제2 폭을 갖고, 상기 제1 분할 마스크 그룹의 상기 제1 분할 마스크들 각각은 상기 제2 폭과 동일한 제3 폭을 가질 수 있다.
상기 제1 분할 마스크 그룹에서 최외측에 배열된 상기 제1 분할 마스크들 중 일측에 위치하는 상기 제1 분할 마스크와, 상기 제2 분할 마스크 그룹에서 최외측에 배열된 상기 제2 분할 마스크들 중 타측에 위치하는 상기 제2 분할 마스크는 상기 제2 방향에서 상기 제1 폭을 가지며, 상기 제1 분할 마스크 그룹에서 최외측에 배열된 상기 제1 분할 마스크들 중 일측에 위치하는 상기 제1 분할 마스크를 제외한 제1 분할 마스크들과, 상기 제2 분할 마스크 그룹에서 최외측에 배열된 상기 제2 분할 마스크들 중 타측에 위치하는 상기 제2 분할 마스크를 제외한 제2 분할 마스크들 각각은 상기 제2 방향에서 상기 제1 폭보다 큰 제2 폭을 가질 수 있다.
상기 제1 분할 마스크들 각각은 상기 제1 방향에서 양측 가장자리부들에 형성된 용접부를 포함하고, 상기 제2 분할 마스크들 각각은 상기 제1 방향에서 양측 가장자리부들에 형성된 용접부를 포함하며, 상기 제1 방향에서 서로 마주보는 상기 제1 분할 마스크의 용접부와 상기 제2 분할 마스크의 용접부는 상기 제1 방향에서 부분적으로 오버랩될 수 있다.
상기 프레임은 상기 제1 개구부와 상기 제2 개구부를 정의하며 제2 방향을 따라 연장된 보강 지지대를 포함하며, 상기 보강 지지대 상에서 상기 제1 분할 마스크의 용접부와 상기 제2 분할 마스크의 용접부가 서로 마주볼 수 있다.
상기 다른 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법은 제1 방향을 따라 이격된 제1 개구부와 제2 개구부가 정의된 프레임과, 상기 제1 개구부 상에서 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 배열되는 복수의 제1 분할 마스크를 포함하는 제1 분할 마스크 그룹과, 상기 제2 개구부 상에서 상기 제2 방향을 따라 배열되는 복수의 제2 분할 마스크를 포함하는 제2 분할 마스크 그룹을 포함하되, 상기 제2 방향에서 인접한 상기 제1 분할 마스크들의 경계부와 상기 제2 방향에서 인접한 상기 제2 분할 마스크들의 경계부가 상기 제2 방향에서 다른 위치에 있도록 구성된 증착 마스크 조립체를 증착원의 상부에 배치하는 단계; 및 기판을 상기 증착 마스크 조립체의 상부에서 상기 제1 방향으로 이동시키면서 상기 증착원을 이용하여 상기 제1 분할 마스크 그룹과 상기 제2 분할 마스크 그룹을 순차적으로 통과하는 상기 기판 측으로 증착 물질을 방출하여, 상기 기판 중 상기 제1 분할 마스크 그룹과 상기 제2 분할 마스크 그룹을 통과하는 부분에 패턴층을 형성하는 단계를 포함한다.
상기 패턴층은 발광 표시 장치의 정공 수송층 및 발광층 중 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다.
상기 증착 마스크 조립체는 상기 기판과 이격되게 배치될 수 있다.
상기 증착 마스크 조립체는 상기 제1 방향에서 상기 기판보다 작은 길이를 가질 수 있다.
상기 제1 분할 마스크 그룹에서 최외측에 배열된 상기 제1 분할 마스크들의 최외측 가장자리부들과 상기 제2 분할 마스크 그룹에서 최외측에 배열된 상기 제2 분할 마스크들의 최외측 가장자리부들은 상기 제2 방향에서 동일한 위치에 있을 수 있다.
상기 제1 분할 마스크 그룹에서 최외측에 배열된 상기 제1 분할 마스크와 상기 제2 분할 마스크 그룹에서 최외측에 배열되는 상기 제2 분할 마스크는 상기 제2 방향에서 서로 다른 폭을 가지며 상기 제1 방향에서 서로 마주볼 수 있다.
상기 제1 분할 마스크 그룹에서 최외측에 배열된 상기 제1 분할 마스크들 각각은 상기 제2 방향에서 제1 폭을 가지며, 상기 최외측에 배열된 제1 분할 마스크들을 제외한 상기 제1 분할 마스크들 각각은 상기 제2 방향에서 상기 제1 폭보다 큰 제2 폭을 갖고, 상기 제2 분할 마스크 그룹의 상기 제2 분할 마스크들 각각은 상기 제2 폭과 동일한 제3 폭을 가질 수 있다.
상기 제2 분할 마스크 그룹에서 최외측에 배열된 상기 제2 분할 마스크들 각각은 상기 제2 방향에서 제1 폭을 가지며, 상기 최외측에 배열된 제2 분할 마스크들을 제외한 상기 제2 분할 마스크들 각각은 상기 제2 방향에서 상기 제1 폭보다 큰 제2 폭을 갖고, 상기 제1 분할 마스크 그룹의 상기 제1 분할 마스크들 각각은 상기 제2 폭과 동일한 제3 폭을 가질 수 있다.
상기 제1 분할 마스크 그룹에서 최외측에 배열된 상기 제1 분할 마스크들 중 일측에 위치하는 상기 제1 분할 마스크와, 상기 제2 분할 마스크 그룹에서 최외측에 배열된 상기 제2 분할 마스크들 중 타측에 위치하는 상기 제2 분할 마스크는 상기 제2 방향에서 상기 제1 폭을 가지며, 상기 제1 분할 마스크 그룹에서 최외측에 배열된 상기 제1 분할 마스크들 중 일측에 위치하는 상기 제1 분할 마스크를 제외한 제1 분할 마스크들과, 상기 제2 분할 마스크 그룹에서 최외측에 배열된 상기 제2 분할 마스크들 중 타측에 위치하는 상기 제2 분할 마스크를 제외한 제2 분할 마스크들 각각은 상기 제2 방향에서 상기 제1 폭보다 큰 제2 폭을 가질 수 있다.
상기 제1 분할 마스크들 각각은 상기 제1 방향에서 양측 가장자리부들에 형성된 용접부를 포함하고, 상기 제2 분할 마스크들 각각은 상기 제1 방향에서 양측 가장자리부들에 형성된 용접부를 포함하며, 상기 제1 방향에서 서로 마주보는 상기 제1 분할 마스크의 용접부와 상기 제2 분할 마스크의 용접부는 상기 제1 방향에서 부분적으로 오버랩될 수 있다.
상기 프레임은 상기 제1 개구부와 상기 제2 개구부를 정의하며 제2 방향을 따라 연장된 보강 지지대를 포함하며, 상기 보강 지지대 상에서 상기 제1 분할 마스크의 용접부와 상기 제2 분할 마스크의 용접부가 서로 마주볼 수 있다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
본 발명의 실시예들에 의하면 적어도 다음과 같은 효과가 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 증착 마스크 조립체에 따르면, 대형 기판에 박막을 형성시 박막 패턴에 왜곡이 발생되는 것이 줄어들 수 있다.
본 발명에 따른 효과는 이상에서 예시된 내용에 의해 제한되지 않으며, 더욱 다양한 효과들이 본 명세서 내에 포함되어 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 마스크 조립체의 사시도이다.
도 2는 도 1의 증착 마스크 조립체를 형성하기 위해 준비되는 프레임과 복수의 분할 마스크의 사시도이다.
도 3은 도 1의 증착 마스크 조립체의 평면도이다.
도 4 내지 도 11은 도 1의 증착 마스크 조립체를 이용한 표시 장치의 제조 방법을 설명하기 위한 도면들이다.
도 12는 본 발명의 다른 실시예에 따른 증착 마스크 조립체의 사시도이다.
도 13은 본 발명의 또다른 실시예에 따른 증착 마스크 조립체의 사시도이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
소자(elements) 또는 층이 다른 소자 또는 층"위(on)"로 지칭되는 것은 다른 소자 바로 위에 또는 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
비록 제1, 제2 등이 다양한 구성요소들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 구성요소들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 구성요소를 다른 구성요소와 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 구성요소는 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 구성요소일 수도 있음은 물론이다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들에 대하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 마스크 조립체의 사시도이고, 도 2는 도 1의 증착 마스크 조립체를 형성하기 위해 준비되는 프레임과 복수의 분할 마스크의 사시도이다.
도 1 내지 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 마스크 조립체(100)는 프레임(110)과, 제1 분할 마스크 그룹(120GR1), 제2 분할 마스크 그룹(120GR2)을 포함할 수 있다.
프레임(110)은 제1 분할 마스크 그룹(120GR1)의 제1 분할 마스크들(120M1)과, 제2 분할 마스크 그룹(120GR2)의 제2 분할 마스크들(120M2)을 고정 및 지지하며, 제1 방향(X)을 따라 이격된 적어도 두 개의 개구부들(110a, 110b)을 포함하여 기판(도 5의 500)에 증착 물질을 증착시 증착 물질이 통과할 수 있도록 한다.
프레임(110)은 제1 분할 마스크 그룹(120GR1)의 제1 분할 마스크들(120M1)과, 제2 분할 마스크 그룹(120GR2)의 제2 분할 마스크들(120M2)을 고정 및 지지할 수 있도록 제1 지지대들(112)과 제2 지지대들(114)을 구비하며, 적어도 두 개의 개구부들(110a, 110b)을 정의하는 보강 지지대(116)를 포함할 수 있다.
제1 지지대들(112)은 서로 평행하며, 그들 사이에 적어도 두 개의 개구부들(110a, 110b)이 배치된다. 즉, 제1 지지대들(112) 각각은 제1 방향(X)과 교차하는 제2 방향(Y)을 따라 연장되며, 제1 지지대들(112)은 제1 방향(X)을 따라 서로 이격된다.
제2 지지대들은(114)은 서로 평행하며, 제1 지지대들(112)을 서로 연결한다. 즉, 제2 지지대들(114) 각각은 제1 방향(X)을 따라 연장되며, 제2 지지대들(114)은 제2 방향(X)을 따라 서로 이격된다.
보강 지지대(116)는 프레임(110)에 적어도 두 개의 개구부들(110a, 110b)을 정의하도록 제1 지지대들(112) 사이에 제1 지지대들(112)과 평행하게 배치되며, 제2 지지대들(114)과 연결된다. 이러한 보강 지지대(116)는 프레임(110)의 휨을 줄일 수 있다. 또한, 보강 지지대(116)는 제1 지지대들(112) 및 제2 지지대들(114)과 함께 제1 분할 마스크 그룹(120GR1)의 제1 분할 마스크들(120M1)과, 제2 분할 마스크 그룹(120GR2)의 제2 분할 마스크들(120M2)을 고정 및 지지하는 공간을 제공할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서는 적어도 두개의 개구부들(110a, 110b)을 제1 개구부(110a)와 제2 개구부(110b)로 예시하고, 보강 지지대(116)가 제1 개구부(110a)와 제2 개구부(110b)를 정의하도록 하나로 구비됨을 예시한다.
한편, 도 2에서 보강 지지대(116)가 제1 방향(X)에서 프레임(110)의 중앙부에 배치된 것으로 도시하였지만, 표시 장치에서 증착 마스크 조립체(100)를 이용한 증착 방법에 의해 형성되는 박막의 크기나, 표시 장치의 크기에 따라 보강 지지대의 위치가 변경될 수 있다.
위와 같은 프레임(110)에는 인장력이 가해지는 제1 분할 마스크 그룹(120GR1)의 제1 분할 마스크들(120M1)과, 제2 분할 마스크 그룹(120GR2)의 제2 분할 마스크들(120M2)이 용접을 통해 고정된다. 이 때, 제1 분할 마스크 그룹(120GR1)의 제1 분할 마스크들(120M1)과, 제2 분할 마스크 그룹(120GR2)의 제2 분할 마스크들(120M2)이 인장력이 가해지는 상태에서 프레임(110)에 결합되므로, 상기 인장력이 프레임(110)에도 가해질 수 있다. 이에 따라, 프레임(110)은 강성이 큰 금속 재료, 예를 들어 스테인리스 강 등의 금속으로 형성될 수 있다.
제1 분할 마스크 그룹(120GR1)은 프레임(110)의 제1 개구부(110a) 상에서 제2 방향(Y)을 따라 배열되는 복수의 제1 분할 마스크(120M1)를 포함한다.
제1 분할 마스크들(120M1) 각각은 제1 방향(X)을 따라 연장되는 띠 모양으로서, 소정의 길이와 폭을 가진다. 제1 분할 마스크들(120M1) 각각은 증착 개구들(DP1)을 포함한다. 각 증착 개구(DP1)는 기판(도 5의 500)에 증착 물질을 증착하여 형성하는 박막 형상에 대응하는 형상으로 형성될 수 있다. 이에 따라, 증착 공정에서 증착 물질이 증착 개구(DP1)를 통해 기판(도 5의 500) 상에 증착되어 원하는 모양의 박막(예를 들어, 발광층)이 형성될 수 있다.
또한, 제1 분할 마스크들(120M1) 각각은 제1 방향(X)에서 양측 가장자리부들에 형성된 용접부(130)를 포함한다. 용접부(130)는 제1 분할 마스크들(120M1) 각각의 증착 개구(DP1)를 제1 개구부(110a) 상에 배치시키면서 제1 분할 마스크들(120M1) 각각을 프레임(110)에 고정시키기 위해, 제1 방향(X)에서 제1 분할 마스크들(120M1) 각각의 일측 가장자리부와 타측 가장자리부를 스폿 용접 또는 레이저 용접과 같은 용접 방법을 이용하여 제1 개구부(110a)와 인접한 제2 지지대(114)와 보강 지지대(116)에 용접시킴에 따라 형성될 수 있다.
한편, 프레임(110)에 고정되기 이전, 제1 분할 마스크들(120M1) 각각의 양 단부에는 도 2에 도시된 바와 같이 제1 방향(X)으로 인장력을 가하는 클램프(미도시)에 결합되기 위해 제1 방향(X)으로 돌출된 클램핑부(CP)가 형성될 수 있다. 제1 분할 마스크들(120M1) 각각을 프레임(110)에 고정시킨 후, 클램핑부(CP)는 절단되어 제거될 수 있다.
제2 분할 마스크 그룹(120GR2)은 프레임(110)의 제2 개구부(110b) 상에서 제2 방향(Y)을 따라 배열되는 복수의 제2 분할 마스크((120M2)를 포함한다.
제2 분할 마스크들(120M2) 각각은 제1 방향(X)을 따라 연장되는 띠 모양으로서, 소정의 길이와 폭을 가진다. 제2 분할 마스크들(120M2) 각각은 증착 개구들(DP2)을 포함한다. 각 증착 개구(DP2)는 기판(도 5의 500)에 증착 물질을 증착하여 형성하는 박막 형상에 대응하는 형상으로 형성될 수 있다. 이에 따라, 증착 공정에서 증착 물질이 증착 개구(DP2)를 통해 기판(도 5의 500) 상에 증착되어 원하는 모양의 박막(예를 들어, 발광층)이 형성될 수 있다. 한편, 상술한 바와 같이, 상기 박막(예를 들어, 발광층)은 제1 분할 마스크들(120M1)과 제2 분할 마스크들(120M2)를 이용한 두번의 증착을 이용하여 기판(500) 상에 형성될 수 있다. 즉, 상기 박막(예를 들어, 발광층)을 형성하는 데 작은 크기의 분할 마스크들(120M1, 120M2)들이 사용되어, 기존에 큰 크기를 가지는 분할 마스크를 이용하여 증착 공정을 수행하는 경우 분할 마스크가 쳐지는 것이 줄어들 수 있다.
제2 분할 마스크들(120M2) 각각은 제1 방향(X)에서 양측 가장자리부들에 형성된 용접부(130)를 포함한다. 용접부(130)는 제2 분할 마스크들(120M2) 각각의 증착 개구(DP2)를 제2 개구부(110b) 상에 배치시키면서 제2 분할 마스크들(120M2) 각각을 프레임(110)에 고정시키기 위해, 제1 방향(X)에서 제2 분할 마스크들(120M2) 각각의 일측 가장자리부와 타측 가장자리부를 스폿 용접 또는 레이저 용접과 같은 용접 방법을 이용하여 제2 개구부(110b)와 인접한 제2 지지대(114)와 보강 지지대(116)에 용접시킴에 따라 형성될 수 있다.
한편, 프레임(110)에 고정되기 이전, 제2 분할 마스크들(120M2) 각각의 양 단부에는 도 2에 도시된 바와 같이 제1 방향(X)으로 인장력을 가하는 클램프(미도시)에 결합되기 위해 제1 방향(X)으로 돌출된 클램핑부(CP)가 형성될 수 있다. 제2 분할 마스크들(120M2) 각각을 프레임(110)에 고정시킨 후, 클램핑부(CP)는 절단되어 제거될 수 있다
이하에서는 프레임(110) 상에서 제1 분할 마스크 그룹(120GR1)과 제2 분할 마스크 그룹(120R2)의 배치에 대해 설명한다.
도 3은 도 1의 증착 마스크 조립체의 평면도이다.
도 3을 참조하면, 제2 방향(Y)에서 인접한 제1 분할 마스크들(120M1)의 경계부(EP1)와, 제2 방향(Y)에서 인접한 제2 분할 마스크들(120M2)의 경계부(EP2)는 제2 방향(Y)에서 다른 위치에 위치한다.
이 경우, 증착 물질을 기판(도 5의 500) 상에 증착시키기 위해 기판(도 5의 500)을 제1 방향(X)을 따라 순차적으로 제1 분할 마스크 그룹(120GR1)의 상부와 제2 분할 마스크 그룹(120GR2)의 상부로 이동시킬 때, 제1 방향(X)에서 기판(도 5의 500) 중 제1 분할 마스크들(120M1)의 경계부(EP1)의 상부와 제2 분할 마스크(120M2)의 상부를 통과하는 부분의 화소에 증착되는 증착 물질의 양과, 제1 분할 마스크 (120M1)의 상부와 제2 분할 마스크(120M2)의 상부를 통과하는 부분의 화소에 증착되는 증착 물질의 양과, 제1 분할 마스크(120M1)의 상부와 제2 분할 마스크들(120M2)의 경계부(EP2)의 상부를 통과하는 부분의 화소에 증착되는 증착 물질의 양의 차이가 크지 않을 수 있다. 이는, 기판(도 5의 500) 중 제1 방향(X)에서 제1 분할 마스크들(120M1)의 경계부(EP1)를 통과하는 부분에 증착되는 증착 물질의 양이 제2 분할 마스크(120M2)를 통과하여 보정되고, 기판(도 5의 500) 중 제1 방향(X)에서 제2 분할 마스크들(120M2)의 경계부(EP2)를 통과하는 부분에 증착되는 증착 물질의 양이 제1 분할 마스크(120M1)를 통과하여 보정됨에 따른 것이다.
즉, 기판(도 5의 500) 중 제1 방향(X)에서 제1 분할 마스크들(120M1)의 경계부(EP1)의 상부와 제2 분할 마스크들(120M2)의 경계부(EP2)의 상부 모두를 통과하는 부분이 없으므로, 기판(도 5의 500)의 화소들에서 증착 물질의 두께 편차가 크지 않다. 이에 따라, 증착 방법을 이용하여 형성되는 박막(예를 들어, 발광층)을 포함하는 발광 표시 장치에서 기판의 화소들 간 박막(예를 들어, 발광층)의 두께 편차가 큼에 따라 발광 효율이 불균일해지는 것이 줄어들 수 있다. 따라서, 발광 표시 장치에서 표시 품질이 향상될 수 있다.
한편, 제1 분할 마스크들(120M1)과 제2 분할 마스크들(120M2)이 인장력이 가해진 상태에서 용접 방법에 의해 프레임(110) 상에 결합시 상기 인장력 또는 용접에 의해 프레임(110)에서 제1 분할 마스크들(120M1)과 제2 분할 마스크들(120M2)의 얼라인이 정밀하게 이루어지지 않는 경우, 제1 분할 마스크들(120M1)의 경계부(EP1)와 제2 분할 마스크들(120M2)의 경계부(EP2)는, 기판(도 5의 500)에 증착 물질이 적게 증착되거나 과도하게 증착시킬 수 있게 할 수 있다. 이에 따라, 기판(도 5의 500)에서 제1 방향(X)에서 제1 분할 마스크들(120M1)의 경계부(EP1)의 상부와 제2 분할 마스크들(120M2)의 경계부(EP2)의 상부 모두를 통과하는 부분이 있으면, 제1 분할 마스크들(120M1)의 경계부(EP1)의 상부와 제2 분할 마스크들(120M2)의 경계부(EP2)의 상부 모두를 통과하는 부분에 증착 물질이 증착되어 형성되는 박막과 제1 분할 마스크들(120M1)의 경계부(EP1)의 상부와 제2 분할 마스크들(120M2)의 경계부(EP2)의 상부 모두를 통과하지 않는 부분에 증착 물질이 증착되어 형성되는 박막 간 두께 편차가 클 수 있다.
제1 분할 마스크 그룹(120GR1)에서 최외측에 배열된 제1 분할 마스크들(120M1)의 최외측 가장자리부들과, 제2 분할 마스크 그룹(120GR2)에서 최외측에 배열된 제2 분할 마스크들(120M2)의 최외측 가장자리부들은 제2 방향(Y)에서 동일한 위치에 있을 수 있다.
또한, 제1 분할 마스크 그룹(120GR1)에서 최외측에 배열된 제1 분할 마스크(120M1)와, 제2 분할 마스크 그룹(120GR2)에서 최외측에 배열된 제2 분할 마스크(120M2)는 제2 방향(Y)에서 서로 다른 폭을 가지며, 제1 방향(X)에서 서로 마주본다. 예를 들어, 도 3에서 제1 분할 마스크 그룹(120GR1)에서 최외측에 배열된 제1 분할 마스크들(120M1) 각각은 제2 방향(Y)에서 제1 폭(W11)을 가지며, 최외측에 배열된 제1 분할 마스크들(120M1)을 제외한 제1 분할 마스크(120M1)들 각각은 제2 방향(Y)에서 제1 폭(W11)보다 큰 제2 폭(W12)을 갖고, 제2 분할 마스크 그룹(120GR2)의 제2 분할 마스크들(120M2) 각각은 제2 방향(Y)에서 제1 폭(W11)보다 큰 제3 폭(W13)을 가질 수 있다. 제3 폭(W13)은 제2 폭(W12)과 동일할 수 있다.
또한, 서로 마주보는 제1 분할 마스크(120M1)의 용접부(130)와 제2 분할 마스크(120M2)의 용접부(130)는 상기 제1 방향에서 부분적으로 오버랩될 수 있다.
상기와 같이 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 마스크 조립체(100)는 제2 방향(Y)에서 인접한 제1 분할 마스크들(120M1)의 경계부(EP1)와, 제2 방향(Y)에서 인접한 제2 분할 마스크들(120M2)의 경계부(EP2)는 제2 방향(Y)에서 다른 위치에 위치하도록 배치된 제1 분할 마스크 그룹(120GR1)과 제2 분할 마스크 그룹(120GR2)을 포함함으로써, 기판(도 5의 500)을 기판(도 5의 500)에 증착 물질을 적게 증착시키거나 과도하게 증착시키게 할 수 있는 제1 분할 마스크들(120M1)의 경계부(EP1)의 상부와 제2 분할 마스크(120M2)의 상부를 제1 방향(X)으로 통과시키고, 기판(도 5의 500)에 증착 물질을 적게 증착시키거나 과도하게 증착시키게 할 수 있는 제2 분할 마스크들(120M2)의 경계부(EP2)의 상부와 제1 분할 마스크(120M1)의 상부를 제1 방향(X)으로 통과시키게 할 수 있다.
따라서, 기판(도 5의 500)의 화소들에서 증착 물질의 두께 편차가 크지 않아, 증착 방법을 이용하여 형성되는 박막(예를 들어, 발광층)을 포함하는 발광 표시 장치에서 기판의 화소들 간 박막(예를 들어, 발광층)의 두께 편차가 큼에 따라 발광 효율이 불균일해지는 것이 줄어들 수 있다. 그 결과, 발광 표시 장치에서 표시 품질이 향상될 수 있다.
이하에서는 도 1 내지 도 3의 증착 마스크 조립체(100)를 이용하여 표시 장치를 제조하는 방법에 대해 설명한다.
도 4 내지 도 11은 도 1의 증착 마스크 조립체를 이용한 표시 장치의 제조 방법을 설명하기 위한 도면들이다.
표시 장치의 제조 방법에 대해서는 발광 표시 장치의 제조 방법을 예로 들어 설명하기로 한다. 또한, 발광 표시 장치의 제조 방법 중 공통층, 예를 들어 정공 주입층(30)과 패턴층, 예를 들어 발광층(50)을 형성하는 과정에 대해 설명하기로 한다.
먼저, 도 4를 참조하면, 캐리어(600)에 의해 지지되는 기판(500)을 증착원(410)의 상부에 배치된 오픈 마스크 조립체(OMA)의 상부에서 제1 방향(X)으로 이동시키면서 증착원(410)을 이용하여 기판(500)측에 기화된 증착 물질을 방출한다. 도 4에서 'A'는 기판(500)의 실질적인 이동 방향을 나타낸다.
그럼, 도 6에 도시된 바와 같이, 화소 별로 형성되는 제1 전극(10)을 포함하는 단위 기판(5) 상에 제1 전극(10)을 노출하는 화소 개구(21)를 포함하도록 형성되는 화소 정의막(20)의 전체면에 화소에 관계없이 정공 주입층(30)이 형성된다. 한편, 도 4에서 기판(500)은 복수의 단위 기판(도 6의 5)을 포함하는 모기판일 수 있다. 도 6에서, 단위 기판(5)은 하나의 발광 표시 장치의 기판일 수 있다.
오픈 마스크 조립체(OMA)는 오픈 마스크(OM)와 오픈 프레임(FR)을 포함할 수 있다. 오픈 마스크(OM)는 마스크 개구(OP1)를 정의하는 사각 링 형상으로 형성될 수 있다. 오픈 프레임(FR)은 오픈 마스크(OM)를 지지하는 것으로, 오픈 마스크(OM)와 대응되도록 프레임 개구(OP2)를 정의하는 사각 링 형상으로 형성될 수 있다. 오픈 마스크 조립체(OMA)는 기판(500)이 제1 방향(X)으로 이동시 기판(500)과 일정한 이격 간격을 유지한다.
이러한 오픈 마스크(OM)와 오픈 프레임(FR)을 포함하는 오픈 마스크 조립체(OMA)는 기판(500)에 패터닝이 없는 공통층을 형성시 증착 물질이 불필요한 영역으로 새는 것을 방지할 수 있다.
증착원(410)은 오픈 마스크 조립체(OMA)의 하부에 고정되게 배치되며, 오픈 마스크 조립체(OMA)와 이격 간격을 유지하면서 제1 방향(X)으로 이동하는 기판(500) 측에 증착 물질(415a)을 방출할 수 있다. 이에 따라, 기판(500) 전체에 패터닝이 없는 공통층이 형성될 수 있다. 예를 들어, 기판(500)이 발광 표시 장치인 경우 기판(500) 상에 형성된 화소 정의막(도 6의 20) 전체면에 화소에 관계 없이 정공 주입층(도 6의 30)이 형성될 수 있다.
증착원(410)은 구체적으로 내부에 증착 물질(415a)이 채워지는 도가니(412), 도가니(412)를 감싸도록 배치되며 도가니(412)를 가열하여 증착 물질(415a)을 기화시키는 히터(411), 및 증착원 노즐(417)이 기판(500)측으로 향하도록 도가니(412)의 상부에 배치되는 노즐부(416)를 포함할 수 있다. 제2 방향(Y)에서 증착원(410)의 길이는 오픈 마스크 조립체(OMA)의 길이와 유사할 수 있다.
이어서, 도 5를 참조하면, 도 1의 증착 마스크 조립체(100)를 증착원(420)의 상부에 배치시킨다.
증착원(420)은 증착 마스크 조립체(100)의 하부에 고정되게 배치되며, 증착 마스크 조립체(100)와 이격 간격을 유지하면서 제1 방향(X)으로 이동하는 기판(500) 측에 증착 물질(425a)을 방출할 수 있다. 도 5에서 'A'는 기판(500)의 실질적인 이동 방향을 나타낸다.
증착원(410)은 구체적으로 내부에 증착 물질(425a)이 채워지는 도가니(422), 도가니(422)를 감싸도록 배치되며 도가니(422)를 가열하여 증착 물질(425a)을 기화시키는 히터(421), 및 증착원 노즐(427)이 기판(500)측으로 향하도록 도가니(422)의 상부에 배치되는 노즐부(426)를 포함할 수 있다. 제2 방향(Y)에서 증착원(420)의 길이는 증착 마스크 조립체(100)의 길이와 유사할 수 있다.
이 후, 캐리어(600)에 의해 지지되는 기판(500)을 제1 방향(X)에서 기판(500)보다 작은 길이를 가지는 증착 마스크 조립체(100)의 상부에서 제1 방향(X)을 따라 이동시키면서 증착원(420)을 이용하여 제1 분할 마스크 그룹(120M1)과 제2 분할 마스크 그룹(120M2)을 통과하는 기판(500)측에 기화된 증착 물질을 방출한다.
그럼, 도 6에 도시된 바와 같이, 기판(5) 상에 배치된 정공 주입층(30) 상에서 화소 정의막(20)의 화소 개구(21)에 형성된 정공 수송층(40) 상에 발광층(50)이 형성된다. 도 6에 도시된 발광층(50)은 적색 화소에 배치되는 적색 발광층일 수 있다.
한편, 캐리어(600)에 의해 지지되는 기판(500)을 도 5에서 'SDA'의 제1 분할 마스크 그룹(120GR1) 부분과 제2 분할 마스크 그룹(120GR2) 부분을 각각을 통과시킬 때, 도 7에 도시된 바와 같이 기판(도 5의 500)의 일 영역(SA)에서 제1 분할 마스크들(120M1)의 경계부(EP1)를 통과하는 부분과 도 8에 도시된 바와 같이 기판(도 5의 500)의 일 영역(SA)에서 제2 분할 마스크들(120M2)의 경계부(EP2)를 통과하는 부분이 다른 위치에 있을 수 있다.
이와 같은 경우, 증착 물질을 기판(도 5의 500) 상에 증착시키기 위해 기판(도 5의 500)을 제1 방향(X)을 따라 순차적으로 제1 분할 마스크 그룹(120GR1)의 상부와 제2 분할 마스크 그룹(120GR2)의 상부로 이동시킬 때, 제1 방향(X)에서 기판(도 5의 500) 중 제1 분할 마스크 (120M1)의 상부와 제2 분할 마스크(120M2)의 상부를 통과하는 부분의 화소(도 8 및 도 9의 1)에 증착되는 증착 물질의 양과, 제1 분할 마스크들(120M1)의 경계부(EP1)의 상부와 제2 분할 마스크(120M2)의 상부를 통과하는 부분의 화소(도 8 및 도 10의 2)에 증착되는 증착 물질의 양과, 제1 분할 마스크(120M1)의 상부와 제2 분할 마스크들(120M2)의 경계부(EP2)의 상부를 통과하는 부분의 화소(도 8 및 도 11의 3)에 증착되는 증착 물질의 양의 차이가 크지 않을 수 있다.
구체적으로, 도 10에서 화소(2)의 중앙부(2a)는 실질적으로 기판(도 5의 500) 중 제1 분할 마스크들(120M1)의 경계부(EP1)를 통과하는 부분이며, 화소(2)의 중앙부(2a)에 증착된 증착 물질의 양과 화소(2)에서 분할 마스크들(120M1)의 경계부(EP1)를 통과하지 않는 부분에 증착된 증착 물질의 양의 차이가 크지 않다.
또한, 도 11에서 화소(3)의 중앙부(3a)는 실질적으로 기판(도 5의 500) 중 제2 분할 마스크들(120M2)의 경계부(EP2)를 통과하는 부분이며, 화소(3)의 중앙부(3a)에 증착된 증착 물질의 양과 화소(3)에서 분할 마스크들(120M2)의 경계부(EP2)를 통과하지 않는 부분에 증착된 증착 물질의 양의 차이가 크지 않다.
이에 따라, 증착 마스크 조립체(100)는 증착원(420)을 통해 제1 방향(X)으로 이동하는 기판(500) 측으로 증착 물질을 방출시, 기판(500)의 특정 부분에 패턴층, 예를 들어 발광 표시 장치에서 균일한 두께를 가지는 발광층(50)이 형성되게 할 수 있다.
한편, 도시하진 않았지만 발광층(50) 형성 전에 정공 수송층(40)은 발광층(50)의 형성 방법과 동일한 방식으로 형성된다. 또한, 위에서는 발광층(50)이 적색 발광층인 것으로 설명하였으나, 녹색 화소에 배치되는 녹색 발광층 및 청색 화소에 배치되는 청색 발광층일 수 있다. 또한, 도시하진 않았지만 발광층(50) 형성 후에 전자 수송층(60), 전자 주입층(70) 및 제2 전극(80)은 정공 주입층(30)의 형성 방법과 동일한 방식으로 형성된다.
도 12는 본 발명의 다른 실시예에 따른 증착 마스크 조립체의 사시도이다.
도 12를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 증착 마스크 조립체(200)는 도 1 내지 도 3의 증착 마스크 조립체(100)과 비교하여 제1 분할 마스크 그룹(220GR1), 제2 분할 마스크 그룹(220GR2)만 다르며 동일한 구성을 가진다. 이에 따라, 본 발명의 다른 실시예에 따른 증착 마스크 조립체(200)에서는 제1 분할 마스크 그룹(220GR1), 제2 분할 마스크 그룹(220GR2)에 대해 중점적으로 설명하며, 중복된 설명은 생략한다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 증착 마스크 조립체(200)는 프레임(110)과, 제1 분할 마스크 그룹(220GR1), 제2 분할 마스크 그룹(220GR2)을 포함할 수 있다.
제1 분할 마스크 그룹(220GR1)은 프레임(110)의 제1 개구부(도 2의 110a) 상에서 제2 방향(Y)을 따라 배열 복수의 제1 분할 마스크(220M1)를 포함하며, 제1 분할 마스크들(220M1) 각각은 증착 개구(DP1)와 제1 방향(X)에서 양측 가장자리부들에 형성된 용접부(230)를 포함한다.
제2 분할 마스크 그룹(220GR2)은 프레임(110)의 제1 개구부(도 2의 110b) 상에서 제2 방향(Y)을 따라 배열 복수의 제2 분할 마스크(220M2)를 포함하며, 제2 분할 마스크들(220M2) 각각은 증착 개구(DP2)와 제1 방향(X)에서 양측 가장자리부들에 형성된 용접부(230)를 포함한다.
위와 같은 제1 분할 마스크 그룹(220GR1)과 제2 분할 마스크 그룹(220GR2)은 도 1 내지 도 3의 제1 분할 마스크 그룹(120GR1)과 제2 분할 마스크 그룹(120GR2)과 유사하다. 다만, 서로 다른 폭을 가지는 분할 마스크들이 제2 분할 마스크 그룹(220GR2)에 배열된다. 즉, 제2 분할 마스크 그룹(220GR2)에서 최외측에 배열된 제2 분할 마스크들(220M2) 각각은 제2 방향(Y)에서 제1 폭(도 3의 W11)을 가지며, 최외측에 배열된 제2 분할 마스크들(220M2)을 제외한 제2 분할 마스크들(220M2) 각각은 제2 방향(Y)에서 제1 폭(도 3의 W11)보다 큰 제2 폭(도 3의 W12)을 가지고, 제1 분할 마스크 그룹(220GR1)의 제1 분할 마스크들(220M1) 각각은 제2 방향(Y)에서 제1 폭(도 3의 W11)보다 큰 제3 폭(도 3의 W13)을 가질 수 있다. 제3 폭(도 3의 W13)은 제2 폭(도 2의 W12)과 동일할 수 있다.
위와 같은 구성을 가지는 제1 분할 마스크 그룹(220GR1)과 제2 분할 마스크 그룹(220GR2)을 포함하는 증착 마스크 조립체(200)는 도 1 내지 도 3의 증착 마스크 조립체(100)과 동일한 효과를 제공한다.
도 13은 본 발명의 또다른 실시예에 따른 증착 마스크 조립체의 사시도이다.
도 13을 참조하면, 본 발명의 또다른 실시예에 따른 증착 마스크 조립체(300)는 도 1 내지 도 3의 증착 마스크 조립체(100)과 비교하여 제1 분할 마스크 그룹(320GR1), 제2 분할 마스크 그룹(320GR2)만 다르며 동일한 구성을 가진다. 이에 따라, 본 발명의 또다른 실시예에 따른 증착 마스크 조립체(300)에서는 제1 분할 마스크 그룹(320GR1), 제2 분할 마스크 그룹(320GR2)에 대해 중점적으로 설명하며, 중복된 설명은 생략한다.
본 발명의 또다른 실시예에 따른 증착 마스크 조립체(300)는 프레임(110)과, 제1 분할 마스크 그룹(320GR1), 제2 분할 마스크 그룹(320GR2)을 포함할 수 있다.
제1 분할 마스크 그룹(320GR1)은 프레임(110)의 제1 개구부(도 2의 110a) 상에서 제2 방향(Y)을 따라 배열 복수의 제1 분할 마스크(320M1)를 포함하며, 제1 분할 마스크들(320M1) 각각은 증착 개구(DP1)와 제1 방향(X)에서 양측 가장자리부들에 형성된 용접부(330)를 포함한다.
제2 분할 마스크 그룹(320GR2)은 프레임(110)의 제1 개구부(도 2의 110b) 상에서 제2 방향(Y)을 따라 배열 복수의 제2 분할 마스크(320M2)를 포함하며, 제2 분할 마스크들(320M2) 각각은 증착 개구(DP2)와 제1 방향(X)에서 양측 가장자리부들에 형성된 용접부(330)를 포함한다.
위와 같은 제1 분할 마스크 그룹(320GR1)과 제2 분할 마스크 그룹(320GR2)은 도 1 내지 도 3의 제1 분할 마스크 그룹(120GR1)과 제2 분할 마스크 그룹(120GR2)과 유사하다. 다만, 서로 다른 폭을 가지는 분할 마스크들이 제1 분할 마스크 그룹(320GR2)와 제2 분할 마스크 그룹(320GR2) 모두에 배열된다. 즉, 제1 분할 마스크 그룹(320GR1)에서 최외측에 배열된 제1 분할 마스크들(320M1) 중 일측에 위치하는 제1 분할 마스크(320M1)와 제2 분할 마스크 그룹(320GR2)에서 최외측에 배열된 제2 분할 마스크들(320M2) 중 타측에 위치하는 제2 분할 마스크(320M2) 각각이 제2 방향(Y)에서 제1 폭(도 3의 W11)을 가진다. 또한, 제1 분할 마스크 그룹(320GR1)에서 최외측에 배열된 제1 분할 마스크들(320M1) 중 일측에 위치하는 제1 분할 마스크(320M1)를 제외한 제1 분할 마스크들(320M1)과, 제2 분할 마스크 그룹(320GR2)에서 최외측에 배열된 제2 분할 마스크들(320M2) 중 타측에 위치하는 제2 분할 마스크(320M2)를 제외한 제2 분할 마스크들(320M2) 각각은 제2 방향(Y)에서 제1 폭(도 3의 W11)보다 큰 제2 폭(도 3의 W12)을 가진다.
위와 같은 구성을 가지는 제1 분할 마스크 그룹(320GR1)과 제2 분할 마스크 그룹(320GR2)을 포함하는 증착 마스크 조립체(300)는 도 1 내지 도 3의 증착 마스크 조립체(100)과 동일한 효과를 제공한다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
100: 증착 마스크 조립체
110: 프레임
110a, 110b: 개구부들
120GR1, 220GR1, 320GR1: 제1 분할 마스크 그룹
120GR2, 220GR2, 320GR2: 제2 분할 마스크 그룹
120M1, 220M1, 320M1: 제1 분할 마스크
120M2, 220M2, 320M2: 제2 분할 마스크
130, 230, 330: 용접부

Claims (19)

  1. 제1 방향을 따라 이격된 제1 개구부와 제2 개구부가 정의된 프레임;
    상기 제1 개구부 상에서 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 배열되는 복수의 제1 분할 마스크를 포함하는 제1 분할 마스크 그룹; 및
    상기 제2 개구부 상에서 상기 제2 방향을 따라 배열되는 복수의 제2 분할 마스크를 포함하는 제2 분할 마스크 그룹을 포함하며,
    상기 제2 방향에서 인접한 상기 제1 분할 마스크들의 경계부와 상기 제2 방향에서 인접한 상기 제2 분할 마스크들의 경계부가 상기 제2 방향에서 다른 위치에 있고,
    상기 제1 분할 마스크들 각각은 상기 제1 방향에서 양측 가장자리부들에 형성된 용접부를 포함하고,
    상기 제2 분할 마스크들 각각은 상기 제1 방향에서 양측 가장자리부들에 형성된 용접부를 포함하며,
    상기 제1 방향에서 서로 마주보는 상기 제1 분할 마스크의 용접부와 상기 제2 분할 마스크의 용접부는 상기 제1 방향에서 부분적으로 오버랩되고,
    상기 제1 분할 마스크 그룹에서 최외측에 배열된 상기 제1 분할 마스크와 상기 제2 분할 마스크 그룹에서 최외측에 배열되는 상기 제2 분할 마스크는 상기 제2 방향에서 서로 다른 폭을 가지며 상기 제1 방향에서 서로 마주보되,
    상기 제1 분할 마스크 그룹에서 최외측에 배열된 상기 제1 분할 마스크들 중 일측에 위치하는 상기 제1 분할 마스크와, 상기 제2 분할 마스크 그룹에서 최외측에 배열된 상기 제2 분할 마스크들 중 타측에 위치하는 상기 제2 분할 마스크는 상기 제2 방향에서 제1 폭을 가지며,
    상기 제1 분할 마스크 그룹에서 최외측에 배열된 상기 제1 분할 마스크들 중 일측에 위치하는 상기 제1 분할 마스크를 제외한 제1 분할 마스크들과, 상기 제2 분할 마스크 그룹에서 최외측에 배열된 상기 제2 분할 마스크들 중 타측에 위치하는 상기 제2 분할 마스크를 제외한 제2 분할 마스크들 각각은 상기 제2 방향에서 상기 제1 폭보다 큰 제2 폭을 가지는 증착 마스크 조립체.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 분할 마스크 그룹에서 최외측에 배열된 상기 제1 분할 마스크들의 최외측 가장자리부들과 상기 제2 분할 마스크 그룹에서 최외측에 배열된 상기 제2 분할 마스크들의 최외측 가장자리부들은 상기 제2 방향에서 동일한 위치에 있는 증착 마스크 조립체.
  3. 삭제
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 분할 마스크 그룹에서 최외측에 배열된 상기 제1 분할 마스크들 각각은 상기 제2 방향에서 제1 폭을 가지며, 상기 최외측에 배열된 제1 분할 마스크들을 제외한 상기 제1 분할 마스크들 각각은 상기 제2 방향에서 상기 제1 폭보다 큰 제2 폭을 갖고,
    상기 제2 분할 마스크 그룹의 상기 제2 분할 마스크들 각각은 상기 제2 폭과 동일한 제3 폭을 가지는 증착 마스크 조립체.
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 제2 분할 마스크 그룹에서 최외측에 배열된 상기 제2 분할 마스크들 각각은 상기 제2 방향에서 제1 폭을 가지며, 상기 최외측에 배열된 제2 분할 마스크들을 제외한 상기 제2 분할 마스크들 각각은 상기 제2 방향에서 상기 제1 폭보다 큰 제2 폭을 갖고,
    상기 제1 분할 마스크 그룹의 상기 제1 분할 마스크들 각각은 상기 제2 폭과 동일한 제3 폭을 가지는 증착 마스크 조립체.
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 제1 항에 있어서,
    상기 프레임은 상기 제1 개구부와 상기 제2 개구부를 정의하며 제2 방향을 따라 연장된 보강 지지대를 포함하며,
    상기 보강 지지대 상에서 상기 제1 분할 마스크의 용접부와 상기 제2 분할 마스크의 용접부가 서로 마주보는 증착 마스크 조립체.
  9. 제1 방향을 따라 이격된 제1 개구부와 제2 개구부가 정의된 프레임과, 상기 제1 개구부 상에서 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 배열되는 복수의 제1 분할 마스크를 포함하는 제1 분할 마스크 그룹과, 상기 제2 개구부 상에서 상기 제2 방향을 따라 배열되는 복수의 제2 분할 마스크를 포함하는 제2 분할 마스크 그룹을 포함하되, 상기 제2 방향에서 인접한 상기 제1 분할 마스크들의 경계부와 상기 제2 방향에서 인접한 상기 제2 분할 마스크들의 경계부가 상기 제2 방향에서 다른 위치에 있도록 구성되고, 상기 제1 분할 마스크들 각각은 상기 제1 방향에서 양측 가장자리부들에 형성된 용접부를 포함하고, 상기 제2 분할 마스크들 각각은 상기 제1 방향에서 양측 가장자리부들에 형성된 용접부를 포함하며, 상기 제1 방향에서 서로 마주보는 상기 제1 분할 마스크의 용접부와 상기 제2 분할 마스크의 용접부는 상기 제1 방향에서 부분적으로 오버랩되도록 구성되고, 상기 제1 분할 마스크 그룹에서 최외측에 배열된 상기 제1 분할 마스크와 상기 제2 분할 마스크 그룹에서 최외측에 배열되는 상기 제2 분할 마스크는 상기 제2 방향에서 서로 다른 폭을 가지며 상기 제1 방향에서 서로 마주보되, 상기 제1 분할 마스크 그룹에서 최외측에 배열된 상기 제1 분할 마스크들 중 일측에 위치하는 상기 제1 분할 마스크와, 상기 제2 분할 마스크 그룹에서 최외측에 배열된 상기 제2 분할 마스크들 중 타측에 위치하는 상기 제2 분할 마스크는 상기 제2 방향에서 제1 폭을 가지며, 상기 제1 분할 마스크 그룹에서 최외측에 배열된 상기 제1 분할 마스크들 중 일측에 위치하는 상기 제1 분할 마스크를 제외한 제1 분할 마스크들과, 상기 제2 분할 마스크 그룹에서 최외측에 배열된 상기 제2 분할 마스크들 중 타측에 위치하는 상기 제2 분할 마스크를 제외한 제2 분할 마스크들 각각은 상기 제2 방향에서 상기 제1 폭보다 큰 제2 폭을 가지는 증착 마스크 조립체를 증착원의 상부에 배치하는 단계; 및
    기판을 상기 증착 마스크 조립체의 상부에서 상기 제1 방향으로 이동시키면서 상기 증착원을 이용하여 상기 제1 분할 마스크 그룹과 상기 제2 분할 마스크 그룹을 순차적으로 통과하는 상기 기판 측으로 증착 물질을 방출하여, 상기 기판 중 상기 제1 분할 마스크 그룹과 상기 제2 분할 마스크 그룹을 통과하는 부분에 패턴층을 형성하는 단계를 포함하는 표시 장치의 제조 방법.
  10. 제9 항에 있어서,
    상기 패턴층은 발광 표시 장치의 정공 수송층 및 발광층 중 적어도 어느 하나를 포함하는 표시 장치의 제조 방법.
  11. 제9 항에 있어서,
    상기 증착 마스크 조립체는 상기 기판과 이격되게 배치되는 표시 장치의 제조 방법.
  12. 제9 항에 있어서,
    상기 증착 마스크 조립체는 상기 제1 방향에서 상기 기판보다 작은 길이를 가지는 표시 장치의 제조 방법.
  13. 제9 항에 있어서,
    상기 제1 분할 마스크 그룹에서 최외측에 배열된 상기 제1 분할 마스크들의 최외측 가장자리부들과 상기 제2 분할 마스크 그룹에서 최외측에 배열된 상기 제2 분할 마스크들의 최외측 가장자리부들은 상기 제2 방향에서 동일한 위치에 있는 표시 장치의 제조 방법.
  14. 삭제
  15. 제9 항에 있어서,
    상기 제1 분할 마스크 그룹에서 최외측에 배열된 상기 제1 분할 마스크들 각각은 상기 제2 방향에서 제1 폭을 가지며, 상기 최외측에 배열된 제1 분할 마스크들을 제외한 상기 제1 분할 마스크들 각각은 상기 제2 방향에서 상기 제1 폭보다 큰 제2 폭을 갖고,
    상기 제2 분할 마스크 그룹의 상기 제2 분할 마스크들 각각은 상기 제2 폭과 동일한 제3 폭을 가지는 표시 장치의 제조 방법.
  16. 제9 항에 있어서,
    상기 제2 분할 마스크 그룹에서 최외측에 배열된 상기 제2 분할 마스크들 각각은 상기 제2 방향에서 제1 폭을 가지며, 상기 최외측에 배열된 제2 분할 마스크들을 제외한 상기 제2 분할 마스크들 각각은 상기 제2 방향에서 상기 제1 폭보다 큰 제2 폭을 갖고,
    상기 제1 분할 마스크 그룹의 상기 제1 분할 마스크들 각각은 상기 제2 폭과 동일한 제3 폭을 가지는 표시 장치의 제조 방법.
  17. 삭제
  18. 삭제
  19. 제9 항에 있어서,
    상기 프레임은 상기 제1 개구부와 상기 제2 개구부를 정의하며 제2 방향을 따라 연장된 보강 지지대를 포함하며,
    상기 보강 지지대 상에서 상기 제1 분할 마스크의 용접부와 상기 제2 분할 마스크의 용접부가 서로 마주보는 표시 장치의 제조 방법.
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