KR101565736B1 - 마스크 유닛 및 증착 장치 - Google Patents

Abstract

마스크 유닛(1)은, 평면에서 보아, 증착 마스크(10)의 개구부(S)에 있어서의 X 방향의 어느 지점에서도 Y 방향에 있어서의 빔부(22)로 덮여 있지 않은 개구부(S)의 합계의 개구 길이가 동일하고, 빔부(22)의 증착 마스크(10)와 접촉된 부분은, Y 방향을 따라서 프레임부(21)에 가설되어 있지 않고, 연속적 또는 단속적으로 Y 방향을 가로질러 있다.

Description

마스크 유닛 및 증착 장치{MASK UNIT AND DEPOSITION DEVICE}

본 발명은 증착 마스크와 증착 마스크를 지지하는 증착 마스크 지지 부재를 구비한 마스크 유닛 및 이 마스크 유닛을 구비한 증착 장치에 관한 것이다.

최근 들어, 여러 가지 상품이나 분야에서 플랫 패널 디스플레이가 활용되고 있고, 플랫 패널 디스플레이의 한층 더한 대형화, 고화질화, 저소비 전력화가 요구되고 있다.

그러한 상황 하에 있어서, 유기 재료의 전계 발광(일렉트로루미네센스; 이하, 「EL」이라고 기재함)을 이용한 유기 EL 소자를 구비한 유기 EL 표시 장치는, 전체 고체형으로, 저전압 구동, 고속 응답성, 자발광성 등의 점에서 우수한 플랫 패널 디스플레이로서, 높은 주목을 받고 있다.

유기 EL 표시 장치는, 예를 들어, TFT(박막 트랜지스터)가 설치된 유리 기판 등을 포함하는 기판 상에, TFT에 접속된 유기 EL 소자가 설치된 구성을 갖고 있다.

유기 EL 소자는, 저전압 직류 구동에 의한 고휘도 발광이 가능한 발광 소자이며, 제1 전극, 유기 EL층, 및 제2 전극이, 이 순서로 적층된 구조를 갖고 있다. 그 중, 제1 전극은 TFT와 접속되어 있다. 또한, 제1 전극과 제2 전극 사이에는, 상기 유기 EL층으로서, 정공 주입층, 정공 수송층, 전자 블로킹층, 발광층, 정공 블로킹층, 전자 수송층, 전자 주입층 등을 적층시킨 유기층이 형성되어 있다.

풀 컬러의 유기 EL 표시 장치는, 일반적으로, 적(R), 녹(G), 청(B)의 각 색의 유기 EL 소자를 서브 화소로서 기판 상에 배열 형성되어 이루어지고, TFT를 사용하여, 이들 유기 EL 소자를 선택적으로 원하는 휘도로 발광시킴으로써 화상 표시를 행하고 있다.

이러한 유기 EL 표시 장치의 발광부에 있어서의 유기 EL 소자는, 일반적으로, 유기막의 적층 증착에 의해 형성된다. 유기 EL 표시 장치의 제조에 있어서는, 적어도 각 색에 발광하는 유기 발광 재료로 이루어지는 발광층이, 발광 소자인 유기 EL 소자마다 소정의 패턴으로 성막된다.

적층 증착에 의한 소정의 패턴 성막에는, 예를 들어, 섀도우 마스크라고 불리는 증착 마스크를 사용한 증착법 외에, 잉크젯법, 레이저 전사법 등을 적용 가능하다. 그 중, 현재에는, 증착 마스크를 사용한 진공 증착법을 사용하는 것이 가장 일반적이다(예를 들어 특허문헌 1 등 참조).

일본 공개 특허 공보 「일본 특허 공개 제2006-164815호 공보(공개일: 2006년 6월 22일)」

그러나, 이렇게 증착 마스크를 사용하여 증착을 행하는 경우, 기판 사이즈가 커지면, 그것에 수반하여 증착 마스크도 커진다.

그 결과, 증착 마스크의 자중에 의한 휨이나 성장에 의해, 증착 마스크의 휨 현상이 발생하고, 증착에 사용되는 피성막 기판과 증착 마스크 사이에 간극이 발생한다.

도 13은, 종래의 증착 마스크의 휨에 의한 문제점을 도시하는 단면도이다. 도 13은, 종래의 증착 장치 내부의 주요 구성 요소의 개략적인 구성을 모식적으로 도시하고 있다.

도 13에 도시하는 바와 같이, 증착 마스크(301)를 사용한 증착에서는, 증착 마스크(301)를 사이에 끼워서 피성막 기판(200)과 반대측에 증착원(310)이 배치된다.

유기 발광 재료 등의 증착 재료는, 고진공 하에서 가열, 승화됨으로써, 증착 입자로서 증착원(310)으로부터 출사된다.

증착 마스크(301)를 사용한 증착에서는, 도 13에 도시하는 바와 같이, 목적으로 하는 증착 영역 이외의 영역에 증착 입자가 부착되지 않도록, 증착 마스크(301)에, 증착 영역의 일부 패턴에 대응한 개구부(302)를 설치하고, 이 개구부(302)를 거쳐 증착 입자를 피성막 기판(200)에 증착시킴으로써 패턴 형성을 행한다.

증착 입자로서 증착원(310)으로부터 출사된 증착 재료는, 증착 마스크(301)에 형성된 개구부(302)를 통하여 피성막 기판(200)에 증착된다.

이에 의해, 개구부(302)에 대응하는, 피성막 기판(200)의 원하는 위치에만, 원하는 성막 패턴을 갖는 유기막이, 증착막으로서 증착 형성된다. 또한, 유기 EL 증착 프로세스에 있어서의 발광층의 증착은, 발광층의 색마다 행해진다(이것을 「구분 도포 증착」이라고 함).

이러한 증착 프로세스에 있어서, 피성막 기판(200)에 대형 기판을 사용한 경우, 피성막 기판(200)의 대형화에 따라 증착 마스크(301)가 대형화됨으로써, 도 13에 이점 쇄선으로 나타내는 바와 같이, 증착 마스크(301)에, 자중에 의한 휨이 발생한다.

증착원(310)으로부터 방사된 증착 입자는, 방사상으로 비산하여 피성막 기판(200)에 증착된다. 이때, 증착 입자는, 증착원(310)으로부터 각도를 갖고 비산하기 때문에, 증착 마스크(301)의 휨에 의한 높이 방향의 위치 어긋남은, 가로 방향의 위치 어긋남으로 되어 나타난다.

이로 인해, 증착 마스크(301)에 휨이 발생되면, 도 13에 이점 쇄선으로 나타내는 바와 같이, 증착원(310)의 바로 위의 위치 P1에서는 증착 위치의 어긋남은 발생하지 않지만, 증착원(310)으로부터 이격된 위치 P2·P3에서는, 증착 위치가 어긋나버린다.

이로 인해, 예를 들어 상술한 바와 같이 RGB 구분 도포 방식의 대형 유기 EL 증착 프로세스에 있어서, 증착 마스크(301)에 휨이 발생되면, 증착 위치 정밀도가 저하되어, 위치 정밀도가 높은 패턴 형성을 행할 수 없고, 증착 위치 어긋남이나 혼색이 발생하여, 고정밀화가 곤란해진다.

또한, 이러한 문제는, 증착 마스크(301)로서, 피성막 기판(200)과 동등 사이즈의 증착 마스크를 사용한 경우, 보다 현저하게 나타난다.

또한, 도 14는, 종래의 증착 마스크(301) 및 증착 마스크 지지 부재(303)를 구비한 마스크 유닛(300)의 개략적인 구성을 도시하는 평면도이다. 또한, 도 14에서는, 증착 마스크(301)의 개구부(302)의 도시를 생략하고 있다.

도 14에 도시하는 바와 같이, 증착 마스크(301)의 배후에는, 증착 마스크(301)를 지지하는, 마스크 프레임 또는 마스크 홀더라고 불리는 증착 마스크 지지 부재(303)가 설치되어 있다.

이러한 마스크 유닛에 있어서, 증착 마스크 지지 부재(303)는, 일반적으로 프레임 형상으로 형성되어 있고, 개구부(304)와, 이 개구부(304)를 둘러쌈과 함께 증착 마스크(301)를 지지하는 프레임부(305)를 구비하고 있다.

증착 마스크(301)는, 개구부(302)가 증착 마스크 지지 부재(303)의 개구부(304) 내에 위치하도록, 그 주연 부분을, 레이저광 등을 사용하여, 증착 마스크 지지 부재(303)의 프레임부(305)에 용접함으로써, 증착 마스크 지지 부재(303)에 고정되어 있다(예를 들어, 특허문헌 1 참조).

이로 인해, 종래에는, 용접된 증착 마스크(301)가 휘지 않도록, 증착 마스크(301)를 미리 충분히 잡아당긴 상태에서, 증착 마스크 지지 부재(303)에 용접한다.

이렇게 당김 용접된 증착 마스크(301)는, 증착 마스크 지지 부재(303)의 프레임부(305)를 도 14에 이점 쇄선으로 나타내는 바와 같이, 증착 마스크(301)의 중앙을 향하여 강력하게 인장된다. 이로 인해, 종래의 증착 마스크 지지 부재(303)는, 프레임부(305)의 변 부분, 특히, 도 14에 도시하는 바와 같이 긴 변 부분에서 변형이 발생하기 쉽다는 문제점을 갖고 있다.

또한, 특허문헌 1에는, 이러한 증착 마스크의 휨에 기인하는 마스크 유닛의 휨을 방지하기 위해서, 증착 마스크를, 증착 마스크 지지 부재의 프레임부에 용접한 후, 이 프레임부의 이면에, 텐션을 부가한 금속 테이프를, 증착 마스크에 부가한 텐션 방향과 평행하게 되도록 용접하는 것이 개시되어 있다.

그러나, 피성막 기판(200)에 대형 기판을 사용하는 경우, 이에 수반하여 증착 마스크의 크기가 커지면, 증착 마스크에 텐션을 부여하는 것만으로는, 증착 마스크의 휨이나 휨을 해소하기에 충분하다고는 하기 어렵다.

본 발명은 상기 문제점을 감안하여 이루어진 것이며, 그 목적은, 증착 마스크의 휨에 기인하는 증착 위치 어긋남이 없는 증착을 행할 수 있는 마스크 유닛 및 증착 장치를 제공하는 데 있다.

상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명의 일 형태에 따른 마스크 유닛은, 개구부를 갖는 증착 마스크와, 상기 증착 마스크를 지지하는 증착 마스크 지지 부재를 구비하고, 상기 증착 마스크 지지 부재는, 그 일부가 상기 증착 마스크의 하면에 접촉되어 있음과 함께, 상기 증착 마스크의 마스크면과 수직인 방향에서 보았을 때, 상기 증착 마스크의 개구부에 있어서의, 제1 방향의 어느 지점에서도, 상기 제1 방향과 직교하는 제2 방향에 있어서의, 상기 증착 마스크 지지 부재로 덮여 있지 않은 개구부의 합계의 개구 길이가 동일하고, 또한, 상기 증착 마스크 지지 부재는, 상기 증착 마스크의 테두리부 이외의 부분에 있어서, 연속적 또는 단속적으로 상기 제2 방향을 가로질러서 상기 증착 마스크의 하면에 접촉되는 접촉부를 갖는 한편, 상기 증착 마스크의 테두리부 이외의 부분에 있어서, 상기 증착 마스크에 있어서의 상기 제2 방향의 끝에서부터 끝까지 연속된 접촉부를 갖지 않는다.

또한, 본 발명의 일 형태에 따른 증착 장치는, 상기 마스크 유닛과, 상기 마스크 유닛에 있어서의 증착 마스크에 대향 배치되고, 상기 증착 마스크와의 상대적인 위치가 고정된 증착원과, 상기 마스크 유닛에 있어서의 증착 마스크와 피성막 기판을 대향 배치한 상태에서, 상기 마스크 유닛 및 증착원과, 상기 피성막 기판 중 한쪽을, 제2 방향이 주사 방향이 되도록 상대 이동시키는 이동 기구를 구비하고, 상기 증착 마스크의 제2 방향의 폭은, 제2 방향에 있어서의 피성막 기판의 폭보다도 작고, 상기 제2 방향을 따라서 주사하면서, 상기 증착원으로부터 출사된 증착 입자를, 상기 증착 마스크의 개구부를 거쳐 상기 피성막 기판에 증착시킨다.

상기 각 구성에 의하면, 강성이 높고, 굵은(무거운) 프레임부를 사용하지 않아도, 증착 마스크 지지 부재의 왜곡 등의 변형을 억제할 수 있다. 또한, 상기 증착 마스크 지지 부재가, 상기 증착 마스크의 테두리부 이외의 부분에 있어서, 연속적 또는 단속적으로 상기 제2 방향을 가로질러서 상기 증착 마스크의 하면에 접촉되는 접촉부를 갖고 있음으로써, 증착 마스크의 자중 휨 등의 휨을 억제할 수 있다.

또한, 상기 마스크 유닛은, 상기 증착 마스크 지지 부재에 있어서의 상기 증착 마스크와의 접촉부가, 연속적 또는 단속적으로 제2 방향을 가로지르고 있고, 상기 증착 마스크의 테두리부 이외의 부분에 있어서, 상기 증착 마스크에 있어서의 상기 제2 방향의 끝에서부터 끝까지 연속된 접촉부를 갖지 않기 때문에, 상기 제2 방향을 주사 방향으로 하여 스캔 증착을 행함으로써, 상기 증착 마스크 지지 부재에 있어서의 상기 증착 마스크와의 접촉부가, 주사 방향과 평행하게 되지 않는다.

이로 인해, 상기 마스크 유닛을 사용하여 상기 제2 방향을 주사 방향으로 하여 스캔 증착을 행함으로써, 상기 증착 마스크 지지 부재에 상기 접촉부가 설치되어 있었다고 해도, 상기 접촉부가 있는 영역에도, 상기 접촉부가 없는 영역과 마찬가지의 증착을 행하는 것이 가능해진다. 따라서, 상기 마스크 유닛을 스캔 증착용 마스크 유닛으로서 사용하면, 증착 마스크의 휨에 기인하는 증착 위치 어긋남이 없는 증착을 행할 수 있다.

또한, 상기 마스크 유닛은, 상기 증착 마스크의 마스크면과 수직인 방향에서 보았을 때, 상기 증착 마스크의 개구부에 있어서의, 제1 방향의 어느 지점에서도, 상기 제1 방향과 직교하는 제2 방향에 있어서의, 상기 빔부로 덮여 있지 않은 개구부의 합계의 개구 길이가 동일하므로, 상기 제1 방향으로 인접하는 개구부 사이에서, 증착량에 변동이 발생하지 않아, 상기 증착 마스크 지지 부재에 있어서의 상기 증착 마스크와의 접촉부가 있는 표시 영역에도 균일하게 증착을 행할 수 있다.

따라서, 상기 각 구성에 의하면, 상기 증착 마스크 지지 부재에 있어서의 상기 증착 마스크와의 접촉부가 증착의 지장이 되는 일은 없고, 상기 접촉부에 의해, 증착 마스크의 휨에 의한 증착 위치 어긋남을 억제할 수 있는 한편, 균일한 증착을 행할 수 있는 마스크 유닛 및 증착 장치를 제공할 수 있다.

도 1의 (a) 내지 (d)는, 실시 형태 1에 따른 마스크 유닛의 개략적인 구성을 도시하는 도면.
도 2는 실시 형태 1에 따른 증착 장치에 있어서의 주요부의 개략적인 구성을 모식적으로 도시하는 단면도.
도 3은 실시 형태 1에 따른 증착 장치에 있어서의 진공 챔버 내의 주요 구성 요소를 경사 상방에서 보았을 때의 관계를 도시하는 부감도.
도 4는 격자 형상의 빔 구조를 갖는 마스크 프레임의 개략적인 구성을 도시하는 평면도.
도 5는 실시 형태 1에 따른 다른 마스크 유닛의 개략적인 구성을 도시하는 단면도.
도 6의 (a) 내지 (d)는, 실시 형태 2에 따른 마스크 유닛의 개략적인 구성을 도시하는 도면.
도 7의 (a)는, 실시 형태 3에 따른 마스크 유닛에 있어서의 증착 마스크 지지 부재의 개략적인 구성을 도시하는 평면도이며, (b)는 (a)에 도시하는 마스크 유닛에 있어서의 증착 마스크의 개략적인 구성을 도시하는 평면도.
도 8의 (a)는 실시 형태 4에 따른 마스크 유닛에 있어서의 증착 마스크 지지 부재의 개략적인 구성을 도시하는 평면도이며, (b)는 (a)에 도시하는 마스크 유닛에 있어서의 증착 마스크의 개략적인 구성을 도시하는 평면도.
도 9의 (a)는 실시 형태 5에 따른 마스크 유닛에 있어서의 증착 마스크 지지 부재의 개략적인 구성을 도시하는 평면도이며, (b)는 (a)에 도시하는 마스크 유닛에 있어서의 증착 마스크의 개략적인 구성을 도시하는 평면도.
도 10의 (a) 내지 (c)는 실시 형태 6에 따른 마스크 유닛의 개략적인 구성을 도시하는 도면.
도 11은 도 10의 (a)에 도시하는 마스크 유닛에 있어서의 다른 증착 마스크의 개략적인 구성을 도시하는 평면도.
도 12는 실시 형태 6에 따른 마스크 유닛에 있어서의 다른 증착 마스크 지지 부재의 개략적인 구성을 도시하는 평면도.
도 13은 종래의 증착 마스크의 휨에 의한 문제점을 도시하는 단면도.
도 14는 종래의 증착 마스크 및 증착 마스크 지지 부재를 구비한 마스크 유닛의 개략적인 구성을 도시하는 평면도.

이하, 본 발명의 실시 형태에 대해서, 상세하게 설명한다.

〔실시 형태 1〕

본 발명의 실시의 일 형태에 대하여 도 1의 (a)·(b) 내지 도 5에 기초하여 설명하면 이하와 같다.

본 실시 형태에 따른 마스크 유닛은, 피성막 기판(피성막 대상물)보다도 사이즈가 작은 증착 마스크를 사용하고, 피성막 기판과, 마스크 유닛 및 증착원을 상대적으로 이동시켜서 주사하면서 증착을 행하는, 스캐닝(scanning) 방식을 사용한 증착(스캔 증착)에 사용되는 마스크 유닛이다.

또한, 이하에서는, 주사 방향 및 주사 방향과 평행한 방향(제2 방향)을 Y 방향(Y축 방향)으로 하고, 주사 방향과 수직인 방향(제1 방향)을 X 방향(X축 방향)으로 하여 설명한다.

<마스크 유닛(1)의 전체 구성>

도 1의 (a) 내지 (d)는, 본 실시 형태에 따른 마스크 유닛의 개략적인 구성을 도시하는 도면이다. 또한, 도 1의 (a)는, 본 실시 형태에 따른 마스크 유닛의 개략적인 구성을 도시하는 평면도이며, 도 1의 (b)는, 도 1의 (a)에 도시하는 마스크 유닛의 I-I선 화살표 방향에서 본 단면도이며, 도 1의 (c)는 도 1의 (a)에 도시하는 마스크 유닛에 있어서의 증착 마스크 지지 부재의 개략적인 구성을 도시하는 평면도이며, 도 1의 (d)는 도 1의 (a)에 도시하는 마스크 유닛에 있어서의 증착 마스크의 개략적인 구성을 도시하는 평면도이다.

본 실시 형태에 따른 마스크 유닛(1)은, 도 1의 (a) 내지 (d)에 도시하는 바와 같이, 섀도우 마스크라고 불리는 증착 마스크(10)와, 증착 마스크(10)를 지지하는, 마스크 프레임 또는 마스크 홀더라고 불리는 증착 마스크 지지 부재(20)를 구비하고 있다.

<증착 마스크 지지 부재(20)>

본 실시 형태에 따른 증착 마스크 지지 부재(20)는, 도 1의 (a) 내지 (c) 및 도 3에 도시하는 바와 같이, 중앙이 개구된 프레임 형상을 갖고 있다.

증착 마스크 지지 부재(20)는, 프레임부(21)와, 빔부(22)와, 빔부(22)에 의해 이격된 개구부 H1·H2를 포함하는 개구부 H(개구 영역)를 구비하고 있다.

프레임부(21)는, 평면에서 보아 직사각 형상의 프레임 부재로 이루어지고, 증착 마스크(10)를 상기 증착 마스크(10)의 외측 테두리부에서 지지하도록 되어 있다.

프레임부(21)는, 도 1의 (a)에 도시하는 바와 같이, 증착 마스크(10)의 개구부 S군을 포함하는 개구 영역(11)(도 1의 (d) 참조)을 둘러싸도록 형성되어 있고, 증착 마스크(10)의 개구부 S는, 프레임부(21)로 둘러싸인 개구부 H 내에 위치하고 있다.

프레임부(21)로 둘러싸인 개구부 H 내에는, 도 1의 (b)에 도시하는 바와 같이, 프레임부(21)와 같은 두께를 갖는 판상의 빔부(22)가, 그 상면(22a)이 프레임부(21)에 있어서의 증착 마스크(10)와의 접촉면(21a)과 같은 높이로 되도록 형성되어 있다.

이에 의해, 빔부(22)는, 그 상면(22a)이 증착 마스크(10)의 하면(10c)과 접촉하고 있고, 증착 마스크 지지 부재(20)는, 프레임부(21) 및 빔부(22)에 의해 증착 마스크(10)를 지지하고 있다.

또한, 빔부(22)는, 도 1의 (a)에 도시하는 바와 같이, 프레임부(21)로 둘러싸인 개구부 H를 비스듬하게 2개로 분단하도록, 프레임부(21)의 1개의 대각선 상에 설치되어 있다. 또한, 빔부(22)는, 평면에서 보아, 균일한 폭을 갖고 있다.

이에 의해, 프레임부(21)로 둘러싸인 개구부 H는, 빔부(22)에 의해, 개구부 H1과 개구부 H2로 분단되어 있고, 평면에서 보아, Y 방향의 개구부 H1과 개구부 H2의 합계의 개구 길이(즉, 평면에서 보아, Y 방향에 있어서 동일 일직선 상에 위치하는 개구부 H1과 개구부 H2의 합계의 개구 길이)가 X 방향의 어느 지점에서도 동일하게 되어 있다.

<증착 마스크(10)>

증착 마스크(10)에는, 피성막 기판에 있어서의, 목적으로 하는 증착 영역 이외의 영역에 증착 입자가 부착되지 않도록, 상기 증착 영역의 일부의 패턴에 대응하여, 증착시에 증착 입자를 통과시키기 위한 복수의 개구부 S(관통 구)가 설치되어 있다.

증착 입자로서, 증착원으로부터 출사된 증착 재료는, 증착 마스크 지지 부재(20)에 있어서의 개구부 H(개구부 H1·H2) 및 증착 마스크(10)에 있어서의 개구부 S를 통하여 피성막 기판에 증착된다.

이에 의해, 개구부 S에 대응하는, 피성막 기판의 소정의 위치에만, 소정의 성막 패턴을 갖는 증착막이 성막된다. 또한, 상기 증착 재료가 유기 EL 표시 장치에 있어서의 발광층의 재료일 경우, 유기 EL 증착 프로세스에 있어서의 발광층의 증착은, 발광층의 색마다 행해진다.

도 1의 (a)·(d)에 도시하는 바와 같이, 증착 마스크(10)에는, Y 방향으로 연장된 슬릿 형상의 개구부 S가, X 방향으로, 스트라이프 형상으로 복수 배열하여 설치되어 있다.

빔부(22) 및 개구부 S는, 평면에서 보아, X 방향의 어느 지점에서도, 개구부 H1과 중첩되는 개구부 S의 개구 길이와 개구부 H2와 중첩되는 개구부 S의 개구 길이의 합계의 개구 길이가 동일하게 되도록 형성된다.

본 실시 형태에서는, 도 1의 (a)·(d)에 도시하는 바와 같이, 각 개구부 S는, 빔부(22)와 중첩되지 않는 부분에 형성되어 있고, 평면에서 보아, 빔부(22)를 피하도록, Y 방향으로 연속하여, 또는, Y 방향으로 단속적으로 형성되어 있다.

이로 인해, 본 실시 형태에서는, 증착 마스크(10)의 개구부 S 그 자체가, 평면에서 보아, 상기 개구부 S에 있어서의, X 방향의 어느 지점에서도, Y의 방향에 있어서의 개구부 S의 합계의 개구 길이가 동일하게 되도록 형성되어 있다.

예를 들어, 도 1의 (a)에 도시하는 바와 같이, 증착 마스크(10)에, X 방향으로 N개(N은 3 이상의 정수)의 개구부 S가 형성되어 있는 경우, 도 1의 (a)에 있어서 가장 좌측의 개구부를 개구부 S1이라고 하고, 가장 우측의 개구부 S를 개구부 SN이라고 하고, 그 사이의 임의의 개구부 S를 개구부 SM(M은 1<M<N의 정수)이라고 하고, 개구부 H1과 중첩되는 개구부 S1의 개구 길이를 d1이라고 하고, 개구부 H1과 중첩되는 개구부 SM의 개구 길이를 d2라고 하고, 개구부 H2와 중첩되는 개구부 SM의 개구 길이를 d3이라고 하고, 개구부 H2와 중첩되는 개구부 SN의 개구 길이를 d4라고 하면, d1=d2+d3=d4가 되도록, 각 개구부 S가 형성되어 있다.

또한, 상기 증착 마스크(10) 및 증착 마스크 지지 부재(20)의 재료로서는, 예를 들어, 스테인리스강 등, 각각 내열성을 갖는 종래와 마찬가지의 재료를 사용할 수 있다.

또한, 증착 마스크 지지 부재(20)에의 증착 마스크(10)의 고정은, 용접, 접착, 비스 고정 등, 공지의 각종 고정 방법을 사용할 수 있다.

또한, 증착 마스크(10) 및 증착 마스크 지지 부재(20)에 있어서의 적어도 한쪽에는, 피성막 기판의 주사 방향(기판 주사 방향)이 되는 방향을 따라서, 피성막 기판과 증착 마스크(10)와의 위치 맞춤(얼라인먼트)을 행하기 위한 도시하지 않은 얼라인먼트 마커가 설치되어 있다.

한편, 피성막 기판에도, 증착 영역의 외측에, 피성막 기판의 주사 방향을 따라서, 피성막 기판과 증착 마스크(10)와의 위치 맞춤을 행하기 위한 얼라인먼트 마커가 설치된다.

본 실시 형태에서는, Y 방향이 주사 방향이 되도록 증착 장치에 마스크 유닛(1)을 배치하여 피성막 기판과 마스크 유닛(1) 및 증착원을 상대적으로 이동시킴으로써, 평면에서 보아, 주사 방향과 수직인 어느 지점에서도, 주사 방향에 있어서의, 개구부 H1과 중첩되는 개구부 S의 개구 길이와 개구부 H2와 중첩되는 개구부 S의 개구 길이의 합계의 개구 길이를 동일하게 할 수 있고, 빔부(22)가 있는 영역에도, 빔부(22)가 없는 영역과 마찬가지의 증착을 행할 수 있다.

이어서, 도 2 및 도 3을 참조하여, 상기 마스크 유닛(1)을 사용한 증착 장치의 일례에 대하여 설명한다.

<증착 장치의 전체 구성>

도 2는, 본 실시 형태에 따른 증착 장치에 있어서의 주요부의 개략적인 구성을 모식적으로 도시하는 단면도이다. 또한, 도 2는, 본 실시 형태에 따른 증착 장치를, 주사 방향과 평행하게 절단했을 때의 단면을 나타내고 있다.

또한, 도 3은, 본 실시 형태에 따른 증착 장치에 있어서의 진공 챔버 내의 주요 구성 요소를 경사 상방에서 보았을 때의 관계를 도시하는 부감도이다.

도 2에 도시하는 바와 같이, 본 실시 형태에 따른 증착 장치(50)는, 진공 챔버(51)(성막 챔버), 피성막 기판(200)을 지지하는 기판 지지 부재인 기판 홀더(52), 피성막 기판(200)을 이동시키는 기판 이동 기구(53)(이동 기구), 증착 유닛(54), 증착 유닛(54)을 이동시키는 증착 유닛 이동 기구(55)(이동 수단), 이미지 센서 등의 도시하지 않은 얼라인먼트 관측 수단, 및 도시하지 않은 제어 회로 등을 구비하고 있다.

또한, 증착 유닛(54)은, 상기 마스크 유닛(1), 증착원(70), 마스크 유닛 고정 부재(80), 및 도시하지 않은 셔터를 구비하고 있다.

그 중, 기판 홀더(52), 기판 이동 기구(53), 증착 유닛(54), 증착 유닛 이동 기구(55)는, 진공 챔버(51) 내에 설치되어 있다.

또한, 진공 챔버(51)에는, 증착시에 상기 진공 챔버(51) 내를 진공 상태로 유지하기 위해서, 상기 진공 챔버(51)에 설치된 도시하지 않은 배기구를 거쳐 진공 챔버(51) 내를 진공 배기하는 도시하지 않은 진공 펌프가 설치되어 있다.

<기판 홀더(52)>

기판 홀더(52)는, TFT 기판 등을 포함하는 피성막 기판(200)을 그 피성막면(201)(증착면)이 증착 유닛(54)에 있어서의 증착 마스크(10)에 면하도록 지지한다.

피성막 기판(200)과 증착 마스크(10)는, 일정 거리 이격하여 대향 배치되어 있고, 피성막 기판(200)과 증착 마스크(10) 사이에는, 일정한 높이의 공극이 형성되어 있다.

기판 홀더(52)에는, 예를 들어 정전 척 등이 사용되는 것이 바람직하다. 피성막 기판(200)이 기판 홀더(52)에 정전 척 등의 방법으로 고정됨으로써, 피성막 기판(200)은 자중에 의한 휨이 없는 상태에서 기판 홀더(52)에 지지된다.

<기판 이동 기구(53) 및 증착 유닛 이동 기구(55)>

본 실시 형태에서는, 기판 이동 기구(53) 및 증착 유닛 이동 기구(55) 중 적어도 한쪽에 의해, 도 2 및 도 3에 도시하는 바와 같이, 피성막 기판(200)과, 증착 유닛(54)(마스크 유닛(1) 및 증착원(70))을 Y 방향이 주사 방향이 되도록 상대적으로 이동시켜서 스캔 증착을 행한다.

기판 이동 기구(53)는, 도시하지 않은 모터를 구비하고, 도시하지 않은 모터 구동 제어부에 의해 모터를 구동시킴으로써, 기판 홀더(52)에 지지된 피성막 기판(200)을 이동시킨다.

또한, 증착 유닛 이동 기구(55)는, 도시하지 않은 모터를 구비하고, 도시하지 않은 모터 구동 제어부에 의해 모터를 구동시킴으로써, 증착 마스크(10)와 증착원(70)과의 상대적인 위치를 유지한 상태로, 증착 유닛(54)을 피성막 기판(200)에 대하여 상대 이동시킨다.

또한, 이들 기판 이동 기구(53) 및 증착 유닛 이동 기구(55)는, 도시하지 않은 모터를 구동시켜서, 도시하지 않은 얼라인먼트 마커에 의해, 증착 마스크(10)와 피성막 기판(200)과의 위치 어긋남이 해소되도록 위치 보정을 행한다.

이들 기판 이동 기구(53) 및 증착 유닛 이동 기구(55)는, 예를 들어, 롤러식 이동 기구이어도 되고, 유압식 이동 기구이어도 된다.

이들 기판 이동 기구(53) 및 증착 유닛 이동 기구(55)는, 예를 들어, 스테핑 모터(펄스 모터) 등의 모터(XYθ 구동 모터), 롤러, 및 기어 등으로 구성되는 구동부와, 모터 구동 제어부 등의 구동 제어부를 구비하고, 구동 제어부에 의해 구동부를 구동시킴으로써, 피성막 기판(200) 또는 증착 유닛(54)을 이동시키는 것이어도 된다. 또한, 이들 기판 이동 기구(53) 및 증착 유닛 이동 기구(55)는, XYZ 스테이지 등을 포함하는 구동부를 구비하고, X 방향, Y 방향, Z 방향(Z축 방향) 중 어느 방향으로도 이동 가능하게 설치되어 있어도 된다.

단, 피성막 기판(200) 및 증착 유닛(54)은, 그 적어도 한쪽이 상대 이동 가능하게 설치되어 있으면 된다. 바꿔 말하면, 기판 이동 기구(53) 및 증착 유닛 이동 기구(55)는 적어도 한쪽이 설치되어 있으면 된다.

예를 들어 피성막 기판(200)이 이동 가능하게 설치되어 있는 경우, 증착 유닛(54)은, 진공 챔버(51)의 내벽에 고정되어 있어도 된다. 반대로, 증착 유닛 이동 기구(55)가 이동 가능하게 설치되어 있는 경우, 기판 홀더(52)는 진공 챔버(51)의 내벽에 고정되어 있어도 상관없다.

<증착원(70)>

증착원(70)은, 예를 들어, 내부에 증착 재료를 수용하는 용기이다. 증착원(70)은, 용기 내부에 증착 재료를 직접 수용하는 용기이어도 되고, 로드 로크식의 배관을 갖고, 외부로부터 증착 재료가 공급되도록 형성되어 있어도 된다.

증착원(70)은, 도 3에 도시하는 바와 같이, 예를 들어 직사각 형상으로 형성되어 있다. 증착원(70)에 있어서의 증착 마스크(10)와의 대향면에는, 증착 재료를 증착 입자로서 사출(비산)시키는 사출구(71)가, 예를 들어 복수 설치되어 있다.

상기 증착 유닛(54)에 있어서, 증착 마스크(10)와 증착원(70)은, 상대적으로 위치가 고정되어 있다. 즉, 증착 마스크(10)와 증착원(70)의 사출구(71)의 형성면 사이의 공극 g1은, 항상 일정하게 유지되고 있다.

사출구(71)는, 도 3에 도시하는 바와 같이, 증착 마스크(10)의 개구부 S의 병설 방향을 따라서 병설되어 있다.

단, 사출구(71)의 피치와 개구부 S의 피치는 일치하지 않아도 된다. 또한, 사출구(71)의 크기는, 개구부 S의 크기와 일치하지 않아도 된다.

예를 들어, 도 3에 도시하는 바와 같이 증착 마스크(10)에 스트라이프 형상의 개구부 S가 설치되어 있는 경우, 사출구(71)의 개구 직경은, 개구부 S의 짧은 변의 폭보다도 커도 작아도 상관없다.

또한, 하나의 개구부 S에 대하여 복수의 사출구(71)가 설치되어 있어도 되고, 복수의 개구부 S에 대하여 하나의 사출구(71)가 설치되어 있어도 된다. 또한, 복수의 사출구(71) 중 일부(적어도 하나)의 사출구(71), 또는, 사출구(71) 일부의 영역이, 증착 마스크(10)에 있어서의 비개구부(예를 들어 인접하는 개구부 S간)에 대향하여 설치되어 있어도 상관없다.

단, 증착 마스크(10)의 비개구부에 증착 입자가 부착되는 양을 저감하고, 재료 이용 효율을 가능한 한 향상시킨다는 관점에서는, 각 사출구(71)의 적어도 일부가, 1개 또는 복수의 개구부 S에 중첩하도록, 각 사출구(71)가 각 개구부 S에 대향하여 설치되어 있는 것이 바람직하다.

나아가서는, 각 사출구(71)가, 평면에서 보아 어떠한 개구부 S 내에 위치하도록 사출구(71)와 개구부 S가 대향하여 설치되어 있는 것이 보다 바람직하다.

또한, 재료 이용 효율의 향상의 관점에서는, 개구부 S와 사출구(71)가 1대 1로 대응하고 있는 것이 바람직하다.

<셔터의 구성>

증착 마스크(10)와 증착원(70) 사이에는, 증착 입자의 증착 마스크(10)에의 도달을 제어하기 위해서, 필요에 따라, 상기한 도시하지 않은 셔터가, 증착 OFF(오프) 신호 또는 증착 ON(온) 신호에 기초하여 진퇴 가능(삽입 인발 가능)하게 설치되어 있어도 된다.

상기 셔터는, 증착 마스크(10)와 증착원(70) 사이에 삽입됨으로써 증착 마스크(10)의 개구부 S를 폐쇄한다. 이와 같이, 증착 마스크(10)와 증착원(70) 사이에 셔터를 적절히 끼움으로써, 증착을 행하지 않는 비증착 영역에의 증착을 방지할 수 있다.

또한, 상기 셔터는, 증착원(70)과 일체적으로 설치되어 있어도 되고, 증착원(70)과는 별도로 설치되어 있어도 상관없다.

또한, 상기 증착 장치(50)에 있어서, 증착원(70)으로부터 비산된 증착 입자는 증착 마스크(10) 내로 비산하도록 조정되어 있고, 증착 마스크(10) 밖으로 비산하는 증착 입자는, 부착 방지판(차폐판) 등으로 적절히 제거되는 구성으로 해도 된다.

<마스크 유닛 고정 부재(80)>

마스크 유닛 고정 부재(80)는, 마스크 유닛(1)을 적재하여 지지·고정하는 적재대이다.

도 2에 도시하는 바와 같이, 마스크 유닛(1)은, 마스크 유닛 고정 부재(80)에 의해 지지·고정되어 있고, 이 마스크 유닛(1)의 하방에는, 증착원(70)이 배치되어 있다.

또한, 마스크 유닛 고정 부재(80)의 형상은 특별히 한정되는 것이 아니라, 마스크 유닛(1)을 증착원(70)으로부터 일정 거리 이격하여 지지, 고정할 수 있기만 하면 된다.

마스크 유닛(1)과 증착원(70)은, 예를 들어 마스크 유닛 고정 부재(80)에 의해 일체적으로 지지되어 있고, 마스크 유닛(1)에 있어서의 증착 마스크(10)와 증착원(70)은, 상대적으로 위치가 고정되어 있다.

즉, 증착 마스크(10)와 증착원(70)에 있어서의 사출구(71)의 형성면 사이의 공극 높이(수직 거리)는 일정하게 유지되어 있음과 함께, 증착 마스크(10)의 개구부 S와 증착원(70)의 사출구(71)와의 상대 위치도 일정하게 유지되어 있다.

단, 증착 유닛(54)을 고정하고, 증착 유닛(54)에 대하여 피성막 기판(200)을 상대 이동시키는 경우에는, 마스크 유닛(1)과 증착원(70)은, 상대적으로 위치가 고정되어 있으면, 반드시 상술한 바와 같이 일체화되어 있을 필요는 없다.

예를 들어, 증착원(70)과, 마스크 유닛 고정 부재(80)가, 각각 진공 챔버(51)의 내벽에 고정됨으로써, 마스크 유닛(1)과 증착원(70)과의 상대적인 위치, 즉, 증착 마스크(10)와 증착원(70)과의 상대적인 위치가 고정되어 있어도 된다.

또한, 예를 들어, 진공 챔버(2)의 내벽에 인접하여 부착 방지판겸 진공 챔버 내 구성물 지지 수단으로서 선반단을 갖는 홀더를 설치하고, 이 홀더의 선반단에, 마스크 유닛(1)이 적재되어 있어도 된다. 즉, 상기 홀더의 선반단이, 마스크 유닛 고정 부재(80)로서 사용되어도 된다.

증착 마스크(10)와 증착원(70)은, 이들 증착 마스크(10)와 증착원(70) 사이에 일정한 높이의 공극 g1을 갖도록, 서로 일정 거리 이격하여 대향 배치된다.

또한, 상기 공극 g1은, 임의로 설정할 수 있고, 특별히 한정되는 것은 아니다. 그러나, 증착 재료의 이용 효율을 높이기 위해서는, 상기 공극 g1은 가능한 한 작은 것이 바람직하다.

또한, 증착 마스크(10)와 피성막 기판(200)은, 이들 증착 마스크(10)와 피성막 기판(200) 사이에 일정한 높이의 공극 g2를 갖도록, 서로 일정 거리 이격하여 대향 배치되어 있다.

증착 마스크(10)와 피성막 기판(200) 사이의 공극 높이(수직 거리)는, 50㎛ 이상, 1㎜ 이하의 범위 내인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 200 내지 500㎛ 정도이다.

상기 공극 g2의 높이가 50㎛ 미만인 경우, 피성막 기판(200)이 증착 마스크(10)에 접촉될 우려가 높아진다.

한편, 상기 공극 g2의 높이가 1㎜를 초과하면, 증착 마스크(10)의 개구부 S를 통과한 증착 입자가 넓어져서, 형성되는 증착막의 패턴 폭이 너무 넓어진다. 예를 들어 상기 증착막이, 유기 EL 표시 장치에 사용되는 적색의 발광층인 경우, 상기 공극이 1㎜를 초과하면, 인접 서브 화소인 녹색 또는 청색 등의 서브 화소에도 적색의 발광 재료가 증착되어버릴 우려가 있다.

또한, 상기 공극 g2의 높이가 200 내지 500㎛ 정도이면, 피성막 기판(200)이 증착 마스크(10)에 접촉될 우려도 없고, 또한, 증착막의 패턴 폭의 확대도 충분히 작게 할 수 있다.

<효과>

본 실시 형태에 의하면, 상술한 바와 같이, 프레임부(21)에 빔부(22)가 설치되어 있음으로써, 강성이 높고, 굵은(무거운) 프레임부를 사용하지 않아도, 프레임부(21)의 왜곡 등의 변형을 억제할 수 있다. 또한, 상기 빔부(22)가 프레임부(21)로 둘러싸인 개구부 H 내에, 증착 마스크(10)에 접촉하도록 형성되어 있음으로써, 증착 마스크(10)의 자중 휨 등의 휨을 억제할 수 있다.

또한, 본 실시 형태에서는, 상기 빔부(22)가, 휨이 발생하기 쉬운 증착 마스크(10)의 중앙부 부근을 횡단하도록 형성되어 있음으로써, 증착 마스크(10)의 휨을, 직접 억제할 수 있다.

이와 같이, 본 실시 형태에 의하면, 스캔 증착을 행할 때, 마스크 유닛(1)의 프레임 구조를 최적인 빔(문창살) 구조로 함으로써, 휨이 없는 증착 마스크(10)를 실현할 수 있다.

또한, 피성막 기판과 거의 동일한 크기의 증착 마스크를 사용하여 증착을 행하는, 스캔 증착 방식이 아닌 종래의 증착법에서는, 마스크 프레임에 빔 구조를 설치하면, 빔이 있는 영역이 증착되지 않게 되기 때문에, 빔 구조를 설치할 수 없다.

또한, 스캔 증착법식을 사용한 경우에도, 도 4에 도시하는 바와 같이, 프레임부(21)에 격자 형상으로 빔부(22)를 설치하면, 피성막 기판에 있어서, 증착 마스크 지지 부재(20)에 있어서의 주사 방향과 평행한 빔부(22)가 설치된 영역 R에 중첩되는 영역에서는, 증착 입자가 증착 마스크(10)를 통과하지 못하여, 증착 입자가 증착되지 않게 된다. 이로 인해, 피성막 기판에 있어서의 피성막 영역(증착 영역)에 이러한 빔 구조를 설치할 수는 없다.

그러나, 본 실시 형태에서는, 상술한 바와 같이, 빔부(22)를 개구부 S의 배열 방향인 X 방향을 가로지르도록 형성하고, 상기 X 방향과 수직인 Y 방향을 주사 방향으로 하여 스캔 증착을 행함으로써, 빔부(22)가 주사 방향과 평행하게 되지 않는다.

이와 같이, 본 실시 형태에 의하면, 빔부(22)가, 주사 방향이 되는 Y 방향을 가로지르도록 비스듬하게 설치되어 있고, 상기 Y 방향을 따라서 상기 프레임부(21)에 가설되어 있지 않다.

즉, 본 실시 형태에 따른 마스크 유닛(1)은, 프레임부(21)로 둘러싸인 영역 내의 끝에서부터 끝에 걸쳐서 Y 방향과 평행하게 설치된 빔부를 갖고 있지 않다.

이로 인해, 빔부(22)가 있는 영역에도, 빔부(22)가 없는 영역과 마찬가지의 증착을 행하는 것이 가능해진다. 이에 의해, 증착 마스크(10)의 휨에 기인하는 증착 위치 어긋남이 없는 증착을 행할 수 있다.

또한, 본 실시 형태에 의하면, 상술한 바와 같이, 평면에서 보아, X 방향의 어느 지점에서도, 개구부 H1과 중첩되는 개구부 S의 개구 길이와 개구부 H2와 중첩되는 개구부 S의 개구 길이의 합계의 개구 길이가 동일한 것에 의해, 각 개구부 S, 즉, X 방향으로 인접하는 개구부 S 사이에서, 증착량에 변동이 발생하지 않아, 빔부(22)가 있는 표시 영역에도 균일하게 증착을 행할 수 있다. 따라서, 본 실시 형태에 의하면, 상기 빔부(22)가 증착의 지장이 되는 일은 없고, 상기 빔부(22)에 의해, 증착 마스크(10)의 휨에 의한 증착 위치 어긋남을 억제할 수 있는 한편, 균일한 증착을 행하는 것이 가능하게 된다. 이에 의해, 예를 들어, 혼색이 없는 유기 EL 표시 장치를 실현할 수 있다.

또한, 전술한 바와 같이, 종래는, 용접한 증착 마스크가 휘지 않도록, 증착 마스크를, 미리 충분히 잡아당긴 상태에서, 증착 마스크 지지 부재에 용접되어 있고, 당김 용접된 증착 마스크에 의해 인장된 프레임이 변형되기 쉽기 때문에, 강성이 높고, 굵은(무거운) 프레임으로 프레임부를 형성할 필요가 있었다.

그러나, 본 실시 형태에서는, 상술한 바와 같이, 휨이 발생하기 쉬운 증착 마스크(10)의 중앙 부근을 횡단하도록 빔부(22)를 형성하여, 직접 증착 마스크(10)의 휨을 억제하고 있음으로써, 종래보다도, 증착 마스크(10)를 잡아당기는 장력을 저감시킬 수 있다. 특히, 본 실시 형태에서는, 빔부(22)를 프레임부(21)의 대각선 상에 형성하고 있기 때문에, 상기 빔부(22)가 버팀대(brace)로서 기능한다.

이로 인해, 강성이 높고, 굵은(무거운) 프레임부를 필요로 하지 않아, 종래보다도 프레임부(21)를 박형화하여 경량화할 수 있다. 이로 인해, 빔부(22)를 형성했다고 해도, 종래보다도 증착 마스크 지지 부재(20)를 경량화할 수 있다.

일례로서, 본 실시 형태에서는, 프레임부(21)의 외형을, X 방향의 길이 750㎜×Y 방향의 길이 365㎜로 하고, 프레임부(21)를, 평면에서 본 폭이 30㎜, 두께가 20㎜인 프레임체로 하였다. 또한, 빔부(22)에는, 평면에서 본 폭이 5㎜, 두께가 20㎜인 판상 부재를 사용하였다.

또한, 개구부 H1의 Y 방향의 거리(개구 길이)는, 300㎜ 내지 0㎜가 되도록 설계하였다. 즉, 도 1의 (b) 중, 개구부 H1은, 가장 좌측단 부분의 개구 길이를 300㎜로 하고, 가장 우측단 부분의 개구 길이를 0㎜로 하여, 우측을 향함에 따라서 개구 길이가 짧아지도록 설계하였다.

한편, 개구부 H2의 Y 방향의 거리(개구 길이)는, 0㎜ 내지 300㎜가 되도록 설계하였다. 즉, 도 1의 (b) 중, 개구부 H2는, 가장 좌측단 부분의 개구 길이를 0㎜로 하고, 가장 우측단 부분의 개구 길이를 300㎜로 하여, 우측을 향함에 따라서 개구 길이가 길어지도록 설계하였다.

단, 이들 값은, 모두 일례이며, 상기 값에만 한정되는 것이 아니라, 임의로 설계가 가능하다.

<변형예>

(빔부(22)의 두께)

도 5는, 본 실시 형태에 따른 다른 마스크 유닛(1)의 개략적인 구성을 도시하는 단면도이다.

도 1의 (b)에서는, 프레임부(21)로 둘러싸인 개구부 H 내에, 프레임부(21)와 동일한 두께를 갖는 판상의 빔부(22)가 형성되어 있는 경우를 예로 들어 도시하였다.

이에 비해, 도 5에 도시하는 마스크 유닛(1)은, 빔부(22)의 두께가, 프레임부(21)보다도 얇게 형성되어 있다는 점에서, 도 1의 (a)·(b)에 도시하는 마스크 유닛(1)과 상이하다.

또한, 본 실시 형태에서도, 빔부(22)는, 그 상면(22a)이 프레임부(21)에 있어서의 증착 마스크(10)와의 접촉면(21a)과 같은 높이로 되도록 형성되어 있다.

상술한 바와 같이, 본 실시 형태에 의하면, 강성이 높고, 굵은(무거운) 프레임부를 필요로 하지 않는다.

이로 인해, 도 5에 도시하는 바와 같이, 빔부(22)를, 외주의 프레임부(21)보다도 얇게 형성함으로써, 도 1의 (a)·(b)에 도시하는 마스크 유닛(1)보다도 더욱 경량화할 수 있다.

(개구 형상)

또한, 도 1의 (a)·(d) 및 도 3에서는, 증착 마스크(10)에, Y 방향으로 연장된 슬릿 형상의 개구부 S가, X 방향으로, 스트라이프 형상으로 복수 배열하여 설치되어 있는 경우를 예로 들어 도시하고 있다.

그러나, 상기 개구부 S의 형상은 임의이며, 예를 들어, 슬롯 형상의 개구부를 X 방향으로 복수 배열한 것이어도 되고, 그러한 슬롯 형상의 개구부를 X 방향 및 Y 방향으로 엇갈린 형상(千鳥狀)으로 배열한 것이어도 된다.

또한, 상기 증착 마스크(10)는, 예를 들어 화소마다 개구부 S가 형성된 파인 마스크이어도 되고, 피성막 기판(200)에 있어서의 X 방향의 표시 영역의 크기에 대응하는 영역 전체가 개구된 오픈 마스크이어도 된다.

단, 상기 마스크 유닛(1)은, 증착 마스크(10)에 있어서의 휨이 발생하기 쉬운 영역, 특히, 휨이 가장 발생하기 쉬운 증착 마스크(10)의 중앙부에 마스크부(즉, 인접하는 개구부 S 사이의 비개구 영역)가 존재하는 증착 마스크(10)를 사용한 경우에 특히 큰 효과를 발휘하는 것은, 믈론이다.

어떠한 경우에도, 본 실시 형태에서는, 증착 마스크(10)와 증착 마스크 지지 부재(20)를 조합한 경우, 즉, 마스크 유닛(1)으로서 사용하는 경우에, 평면에서 보아, 증착 마스크(10)의 개구부 S에 있어서의, X 방향의 어느 지점에서도, Y 방향에 있어서의, 빔부(22)과 중첩되어 있지 않은(즉, 빔부(22)로 덮여 있지 않은) 개구부 S의 합계의 개구 길이가 동일하게 되도록, 개구부 H에 있어서의 빔부(22) 및 개구부 S가 형성되어 있으면 된다.

즉, 본 실시 형태에 따른 마스크 유닛(1)은, 평면에서 보아, 주사 방향과 수직인 방향이 되는 X 방향의 어느 지점에서도, 개구부 H1과 중첩되는 개구부 S의 개구 길이와 개구부 H2와 중첩되는 개구부 S의 개구 길이의 합계의 개구 길이가 동일하게 되도록, 개구부 H에 있어서의 빔부(22) 및 개구부 S가 형성되어 있고, 평면에서 보아, 개구부 H의 주사 방향과 수직인 X 방향에서, 개구부 H의 주사 방향이 되는 Y 방향에 대한 실질적인 개구 길이의 합계가 모두 동일하면 된다.

(증착 마스크의 크기)

또한, 마스크 유닛(1)은, 이 마스크 유닛(1)을 소형화하기 위해서, 도 1의 (a) 및 도 3에 도시하는 바와 같이, 증착 마스크(10)의 짧은 방향(짧은 변 방향)이 주사 방향이 되도록 설계·설치된다.

본 실시 형태에서는, 도 3에 도시하는 바와 같이, 증착 마스크(10)의 긴 변(10a)의 폭이, 이 긴 변(10a)과 평행한 피성막 기판(200)의 짧은 변(200b)의 폭보다도 길고, 증착 마스크(10)의 짧은 변(10b)의 폭이, 이 짧은 변(10b)과 평행한 피성막 기판(200)의 긴 변(200a)의 폭보다도 짧은 직사각 형상의 증착 마스크(10)를 사용하였다.

단, 증착 마스크(10)에 대한 피성막 기판(200)의 긴 변(200a)의 방향은 이것에 한정되는 것이 아니라, 피성막 기판(200)의 크기에 따라서는, 증착 마스크(10)의 긴 변(10a)에 피성막 기판(200)의 긴 변(200a)이 평행하게 되도록 증착 마스크(10)와 피성막 기판(200)을 배치해도 되는 것은 물론이다.

또한, 본 실시 형태에서는, 평면에서 보아 직사각 형상의 증착 마스크(10) 및 증착 마스크 지지 부재(20)로서, 평면에서 보아 직사각 형상의 증착 마스크(10) 및 증착 마스크 지지 부재(20)를 사용했지만, 상기 증착 마스크(10) 및 증착 마스크 지지 부재(20)로서는, 평면에서 보아, 정사각 형상의 증착 마스크(10) 및 증착 마스크 지지 부재(20)를 사용해도 되는 것도 믈론이다.

(프레임부의 크기)

또한, 도 1의 (a)·(b)에서는, 증착 마스크(10)가 직사각 형상이며, 증착 마스크 지지 부재(20)의 프레임부(21)가, 평면에서 보아, 증착 마스크(10)보다도 1 사이즈 큰 직사각 형상으로 형성되어 있는 경우를 예로 들어 도시하였다.

그러나, 프레임부(21)는, 평면에서 보아, 증착 마스크(10)와 동일한 크기를 갖고 있어도 된다. 또한, 증착 마스크(10)의 개구 영역(11)의 외주 부분이 프레임부(21)보다도 크게 형성되어 있고, 증착 마스크(10)는, 프레임부(21)에 감기듯이 고정되어 있어도 상관없다.

〔실시 형태 2〕

본 실시 형태에 대하여 도 6의 (a) 내지 (d)에 기초하여 설명하면, 이하와 같다.

또한, 본 실시 형태에서는, 주로 실시 형태 1과의 상위점에 대하여 설명하기로 하고, 실시 형태 1에서 사용한 구성 요소와 동일한 기능을 갖는 구성 요소에는 동일한 번호를 부여하고, 그 설명을 생략한다.

도 6의 (a) 내지 (d)는, 본 실시 형태에 따른 마스크 유닛(1)의 개략적인 구성을 도시하는 도면이다. 또한, 도 6의 (a)는, 본 실시 형태에 따른 마스크 유닛(1)의 개략적인 구성을 도시하는 평면도이며, 도 6의 (b)는, 도 6의 (a)에 도시하는 마스크 유닛(1)의 II-II선 화살표 방향에서 본 단면도이며, 도 6의 (c)는, 도 6의 (a)에 도시하는 마스크 유닛(1)에 있어서의 증착 마스크 지지 부재(20)의 개략적인 구성을 도시하는 평면도이며, 도 6의 (d)는, 도 6의 (a)에 도시하는 마스크 유닛(1)에 있어서의 증착 마스크(10)의 개략적인 구성을 도시하는 평면도이다.

본 실시 형태에 따른 마스크 유닛(1)은, 증착 마스크 지지 부재(20)에 있어서의 빔부(22)의 평면 형상(바꿔 말하면, 개구부 H의 개구 형상)과, 증착 마스크(10)에 있어서의 개구부 S의 개구 형상을 변경한 것을 제외하면, 실시 형태 1에 따른 마스크 유닛(1)과 마찬가지의 구성을 갖고 있다.

<증착 마스크 지지 부재(20)>

본 실시 형태에 따른 증착 마스크 지지 부재(20)는, 도 6의 (a)·(c)에 도시하는 바와 같이, 빔부(22)가, 직사각 형상의 프레임부(21)의 각 대각선 상에 각각 설치되어 있다. 이에 의해, 본 실시 형태에서는, 프레임부(21)로 둘러싸인 개구부 H가, Y 방향에 대하여 비스듬하게 교차한 빔부(22)에 의해, 4개의 개구부 H11 내지 H14로 분단되어 있다.

또한, 본 실시 형태에서도, 도 6의 (b)에 도시하는 바와 같이, 빔부(22)는, 실시 형태 1과 마찬가지로 프레임부(21)와 동일한 두께를 갖고, 그 상면(22a)이 프레임부(21)에 있어서의 증착 마스크(10)와의 접촉면(21a)과 같은 높이로 되도록 형성되어 있다. 이에 의해, 본 실시 형태에 따른 증착 마스크 지지 부재(20)는, 프레임부(21)와, Y 방향에 대하여 비스듬하게 교차한 빔부(22)로 증착 마스크(10)를 지지하고 있다.

또한, 본 실시 형태에서는, 도 6의 (a)·(c)에 도시하는 바와 같이, 평면에서 보아, 빔부(22)의 교차부(빔부 교차 영역(22b)) 및 그 근방에 있어서의 빔부(22)의 Y 방향의 폭이, 기타 영역에서의 빔부(22)의 Y 방향의 폭의 2배의 폭으로 형성되어 있다.

이에 의해, 평면에서 보아, 빔부(22)에 의해 분단된 개구부 H11 내지 H14의 Y 방향의 합계의 개구 길이(즉, 개구부 H11 내지 H14 중, 평면에서 보아, Y 방향에 있어서 동일 일직선 상에 위치하는 개구부의 합계의 개구 길이)가 X 방향의 어느 지점에서도 동일하게 되어 있다.

<증착 마스크(10)>

도 6의 (a)·(d)에서는, 증착 마스크(10)에, Y 방향으로 연장된 슬릿 형상의 개구부 S가, X 방향으로, 스트라이프 형상으로 복수 배열하여 설치되어 있는 경우를 예로 들어 도시하고 있다. 또한, 상기 개구 형상이 일례이며, 이것에 한정되지 않는 것은, 실시 형태 1에서 설명한 바와 같다.

본 실시 형태에서도, 도 6의 (a)·(d)에 도시하는 바와 같이, 각 개구부 S는, 빔부(22)와 중첩되지 않는 부분에 형성되어 있고, 평면에서 보아, 빔부(22)를 피하도록, Y 방향으로 연속하여, 또는, Y 방향으로 단속적으로 형성되어 있다.

이로 인해, 본 실시 형태에서도, 증착 마스크(10)의 개구부 S 그 자체가, 평면에서 보아, 상기 개구부 S에 있어서의, X 방향의 어느 지점에서도, Y 방향에 있어서의 개구부 S의 합계의 개구 길이가 동일하게 되도록 형성되어 있고, 개구부 H11 내지 H14 중, Y 방향에 있어서 동일 일직선 상에 위치하는 개구부와 중첩되는 개구부 S의 개구 길이가, X 방향의 어느 지점에서도 동일하게 되어 있다.

<효과>

이로 인해, 본 실시 형태에서도, 실시 형태 1과 마찬가지로, Y 방향이 주사 방향이 되도록 증착 장치(50)에 마스크 유닛(1)을 배치하여 피성막 기판(200)과 마스크 유닛(1) 및 증착원(70)을 상대적으로 이동시킴으로써, 평면에서 보아, 주사 방향과 수직인 어느 지점에서도, 주사 방향에 있어서의, 개구부 H11 내지 H14와 중첩되는 개구부 S의 합계의 개구 길이를 동일하게 할 수 있고, 빔부(22)가 있는 영역에도, 빔부(22)가 없는 영역과 마찬가지의 증착을 행할 수 있다.

이에 의해, 증착 마스크(10)의 휨에 기인하는 증착 위치 어긋남이 없는 증착을 행할 수 있음과 함께, 각 개구부 S, 즉, X 방향으로 인접하는 개구부 S 사이에서, 증착량에 변동이 발생하지 않아, 빔부(22)가 있는 표시 영역에도 균일하게 증착을 행할 수 있다. 이에 의해, 예를 들어, 혼색이 없는 유기 EL 표시 장치를 실현할 수 있다.

또한, 본 실시 형태에서도, 상술한 바와 같이, 프레임부(21)에 빔부(22)가 설치되어 있음으로써, 프레임부(21)의 왜곡 등의 변형을 억제할 수 있음과 함께, 상기 빔부(22)가 프레임부(21)로 둘러싸인 개구부 H 내에, 증착 마스크(10)에 접촉하도록 형성되어 있음으로써, 증착 마스크(10)의 자중 휨 등의 휨을 억제할 수 있다.

또한, 본 실시 형태에서도, 상기 빔부(22)가, 휨이 발생하기 쉬운 증착 마스크(10)의 중앙부 부근을 횡단하도록 형성되어 있음으로써, 증착 마스크(10)의 휨을, 직접 억제할 수 있다.

게다가, 본 실시 형태에 의하면, 상기 빔부(22)가 교차하여 설치되어 있고, 분기부를 갖고 있음으로써, 실시 형태 1보다도 높은, 증착 마스크(10)의 휨 억제 효과를 얻을 수 있다.

이로 인해, 본 실시 형태에서도, 종래보다도, 증착 마스크(10)를 잡아당기는 장력을 저감시킬 수 있다. 이로 인해, 강성이 높고, 굵은(무거운) 프레임부를 필요로 하지 않아, 종래보다도 프레임부(21)를 박형화하여 경량화할 수 있다. 이로 인해, 빔부(22)를 형성했다고 해도, 종래보다도 증착 마스크 지지 부재(20)를 경량화할 수 있다.

또한, 도 6의 (b)에서는, 프레임부(21)로 둘러싸인 개구부 H 내에, 프레임부(21)와 동일한 두께를 갖는 판상의 빔부(22)가 형성되어 있는 경우를 예로 들어 도시하였다.

그러나, 본 실시 형태에서도, 도 5에 도시하는 바와 같이, 빔부(22)의 두께가, 프레임부(21)보다도 얇게 형성되어 있어도 된다.

그밖에, 본 실시 형태에서도, 실시 형태 1과 마찬가지의 변형을 행할 수 있음은 물론이다.

<변형예>

또한, 본 실시 형태에서는, 평면에서 보아, 빔부 교차 영역(22b) 및 그 근방에 있어서의 빔부(22)의 Y 방향의 폭이, 기타 영역에 있어서의 빔부(22)의 Y 방향의 폭의 2배의 폭으로 형성되어 있는 경우를 예로 들어 나타냈지만, 개구부 S의 개구 패턴(형상 및 피치 등)에 따라서는, 평면에서 보아, 빔부 교차 영역(22b)에 있어서만, 상기 빔부 교차 영역(22b)에 있어서의 빔부(22)의 Y 방향의 폭(바꿔 말하면, 빔부 교차 영역(22b)의 Y 방향의 폭)이 빔부 교차 영역(22b) 이외의 빔부(22)의 Y 방향의 폭의 2배의 폭으로 형성되어 있어도 된다.

〔실시 형태3〕

본 실시 형태에 대하여 도 7의 (a)·(b)에 기초하여 설명하면, 이하와 같다.

또한, 본 실시 형태에서는, 주로 실시 형태 2와의 상위점에 대하여 설명하기로 하고, 실시 형태 1에서 사용한 구성 요소와 동일한 기능을 갖는 구성 요소에는 동일한 번호를 부여하고, 그 설명을 생략한다.

도 7의 (a)는, 본 실시 형태에 따른 마스크 유닛(1)에 있어서의 증착 마스크 지지 부재(20)의 개략적인 구성을 도시하는 평면도이며, 도 7의 (b)는, 도 7의 (a)에 도시하는 마스크 유닛(1)에 있어서의 증착 마스크(10)의 개략적인 구성을 도시하는 평면도이다.

본 실시 형태에 따른 마스크 유닛(1)은, 증착 마스크 지지 부재(20)에 있어서의 빔부(22)의 평면 형상(바꿔 말하면, 개구부 H의 개구 형상)과, 증착 마스크(10)에 있어서의 개구부 S의 개구 형상을 변경한 것을 제외하면, 실시 형태 2에 따른 마스크 유닛(1)과 마찬가지의 구성을 갖고 있다. 따라서, 이하에서는, 상기 형상에 대해서만 설명한다.

<증착 마스크 지지 부재(20)>

본 실시 형태에 따른 증착 마스크 지지 부재(20)는, 도 7의 (a)에 도시하는 바와 같이, 빔부(22)가, 직사각 형상의 프레임부(21)의 각 대각선 상에 각각 설치되어 있다. 이에 의해, 본 실시 형태에서는, 프레임부(21)로 둘러싸인 개구부 H가, Y 방향에 대하여 비스듬하게 교차한 빔부(22)에 의해, 4개의 개구부 H21 내지 H24로 분단되어 있다.

본 실시 형태에서는, 평면에서 보아, 빔부(22)가 모두 균일한 폭을 갖고 있다. 이로 인해, 본 실시 형태에서는, 프레임부(21)로 둘러싸인 개구부 H 내의 빔부(22)가 교차하는 빔부 교차 영역(22b) 이외의 부분에서는 빔부(22)가 분기되어 있음으로써, 빔부 교차 영역(22b)에서는, 상기 개구부 H 내의 다른 영역보다도, Y 방향의 개구 길이의 합계가 길게 되어 있다.

<증착 마스크(10)>

본 실시 형태에서는, 상술한 바와 같이, 빔부 교차 영역(22b)에서, 개구부 H 내의 다른 영역보다도, Y 방향의 개구 길이의 합계가 길게 되어 있기 때문에, 평면에서 보아, 개구부 H와 중첩되는 개구부 S의 Y 방향의 개구 길이가, X 방향으로 배열된 어떠한 개구부 S에서도 동일하게 되도록, X 방향에 있어서, Y 방향에 빔부 교차 영역(22b)이 설치되어 있는 부분에서는, 개구부 H 내의 다른 영역보다도 증착 마스크(10)에 있어서의 Y 방향의 개구 길이를 짧게 하고 있다.

즉, X 방향으로 인접하는 개구부 S 사이에서의 증착량의 변동을 방지하기 위해서는, 평면에서 보아, 개구부 H의 주사 방향과 수직인 X 방향에서, 개구부 H의 주사 방향이 되는 Y 방향에 대한 실질적인 개구 길이의 합계가 모두 동일하면 된다.

본 실시 형태에 의하면, 상술한 바와 같이, 증착 마스크 지지 부재(20)와 증착 마스크(10)를 조합하여 마스크 유닛(1)로 했을 때, 평면에서 보아, 개구부 H21 내지 H24 중, Y 방향에 있어서 동일 일직선 상에 위치하는 개구부와 중첩되는 개구부 S의 개구 길이가, X 방향의 어느 지점에서도 동일하게 되도록 개구부 S가 설계되어 있음으로써, 실시 형태 2와 마찬가지의 효과를 얻을 수 있다.

<변형예>

또한, 도 7의 (a)·(b)에서는, 빔부(22)와 개구부 S가 부분적으로 중첩되는 경우를 예로 들어 도시했지만, 본 실시 형태는, 이것에 한정되는 것이 아니라, 예를 들어, 도 7의 (b)에 도시하는 개구부 S에 있어서의 빔부(22)와 중첩되는 영역이 개구되어 있지 않은(즉, 바늘부(22)와 중첩되는 영역에는 개구부 S가 형성되어 있지 않은) 구성으로 해도 된다. 이 경우에도, 마스크 유닛(1)으로 했을 때의 평면에서 본 Y 방향의 실질적인 개구 길이는, 도 7의 (b)에 도시하는 증착 마스크(10)를 사용한 경우와 동일하고, 상기와 동일한 효과를 얻을 수 있다.

〔실시 형태 4〕

본 실시 형태에 대하여 도 8의 (a)·(b)에 기초하여 설명하면, 이하와 같다.

또한, 본 실시 형태에서는, 주로 실시 형태 1 내지 3과의 상위점에 대하여 설명하기로 하고, 실시 형태 1 내지 3에서 사용한 구성 요소와 동일한 기능을 갖는 구성 요소에는 동일한 번호를 부여하고, 그 설명을 생략한다.

도 8의 (a)는, 본 실시 형태에 따른 마스크 유닛(1)에 있어서의 증착 마스크 지지 부재(20)의 개략적인 구성을 도시하는 평면도이며, 도 8의 (b)는, 도 8의 (a)에 도시하는 마스크 유닛(1)에 있어서의 증착 마스크(10)의 개략적인 구성을 도시하는 평면도이다.

본 실시 형태에 따른 마스크 유닛(1)은, 증착 마스크 지지 부재(20)에 있어서의 빔부(22)의 평면 형상(바꿔 말하면, 개구부 H의 개구 형상)과, 증착 마스크(10)에 있어서의 개구부 S의 개구 형상을 변경한 것을 제외하면, 실시 형태 1에 따른 마스크 유닛(1)과 마찬가지의 구성을 갖고 있다. 따라서, 이하에서는, 상기 형상에 대해서만 설명한다.

또한, 본 실시 형태에서도, 도 8의 (b)에서는, 증착 마스크(10)에, Y 방향으로 연장된 슬릿 형상의 개구부 S가, X 방향으로, 스트라이프 형상으로 복수 배열하여 설치되어 있는 경우를 예로 들어 도시하고 있지만, 본 실시 형태에서도, 실시 형태 1과 마찬가지의 변형이 가능한 것은 물론이다.

<증착 마스크 지지 부재(20)>

본 실시 형태에 따른 증착 마스크 지지 부재(20)는, 도 8의 (a)에 도시하는 바와 같이, 빔부(22)가, 휨이 발생하기 쉬운 증착 마스크(10)의 중앙부 부근, 특히, 본 실시 형태에서는, 증착 마스크(10)의 Y 방향의 중앙선(즉, X 방향으로 연장되는 중앙선)을 횡단하도록, 지그재그 형상(도 8의 (a)에서는, 일례로서 M자 형상)으로 형성되어 있다. 또한, 본 실시 형태에서도, 빔부(22)는 모두 균일한 폭을 갖고 있다.

이에 의해, 본 실시 형태에서는, 프레임부(21)로 둘러싸인 개구부 H가, 상기 빔부(22)에 의해, 5개의 개구부 H31 내지 H35로 분단되어 있고, 평면에서 보아, 상기 빔부(22)에 의해 분단된 개구부 H31 내지 H35의 Y 방향의 합계의 개구 길이(즉, 개구부 H31 내지 H35 중, 평면에서 보아, Y 방향에 있어서 동일 일직선 상에 위치하는 개구부의 합계의 개구 길이)가 X 방향의 어느 지점에서도 동일하게 되어 있다.

<증착 마스크(10)>

본 실시 형태에서도, 도 8의 (b)에 도시하는 바와 같이, 각 개구부 S는, 빔부(22)와 중첩되지 않는 부분에 형성되어 있고, 평면에서 보아, 빔부(22)를 피하도록, Y 방향으로 연속하여, 또는, Y 방향으로 단속적으로 형성되어 있다.

이로 인해, 본 실시 형태에서도, 증착 마스크(10)의 개구부 S 그 자체가, 평면에서 보아, 상기 개구부 S에 있어서의, X 방향의 어느 지점에서도, Y 방향에 있어서의 개구부 S의 합계의 개구 길이가 동일하게 되도록 형성되어 있고, 개구부 H31 내지 H35 중, Y 방향에 있어서 동일 일직선 상에 위치하는 개구부와 중첩되는 개구부 S의 개구 길이가, X 방향의 어느 지점에서도 동일하게 되어 있다.

이로 인해, 본 실시 형태에서도, 실시 형태 1과 마찬가지의 효과를 얻을 수 있다.

또한, 본 실시 형태에서는, 상술한 바와 같이, 빔부(22)가, 마스크(10)의 Y 방향의 중앙선을 횡단하도록 지그재그 형상으로 형성되어 있음으로써, 증착 마스크(10)에 있어서의, 휨이 발생하기 쉬운 상기 중앙선상의 영역을, 복수 개소에 걸쳐서 직접 지지하고 있다. 이로 인해, 실시 형태 1 내지 3보다도 높은, 증착 마스크(10)의 휨 억제 효과를 얻을 수 있다.

또한, 도 14에 도시하는 바와 같이, 증착 마스크 지지 부재는, 당김 용접된 증착 마스크가, 상기 증착 마스크의 중앙을 향하여 강력하게 인장됨으로써, 프레임부의 변 부분, 특히 긴 변 부분에서 변형이 발생하기 쉽다.

그러나, 본 실시 형태에 의하면, 도 8의 (a)에 도시하는 바와 같이, 빔부(22)가, 프레임부(21), 특히, 변형이 발생하기 쉬운, 프레임부(21)의 긴 변 사이에 지그재그 형상으로 설치되어 있음으로써, 프레임부(21)에 설치된 증착 마스크(10)로 인장되어 프레임부(21)가 중앙을 향하여 인장되는 힘에 대하여, 역방향의 가압력을 부여할 수 있으므로, 당김 용접된 증착 마스크(10)의 인장력에 의한 프레임부(21)의 왜곡을 효과적으로 억제할 수 있다.

〔실시 형태 5〕

본 실시 형태에 대하여 도 9의 (a)·(b)에 기초하여 설명하면, 이하와 같다.

또한, 본 실시 형태에서는, 주로 실시 형태 1 내지 4와의 상위점에 대하여 설명하기로 하고, 실시 형태 1 내지 4에서 사용한 구성 요소와 동일한 기능을 갖는 구성 요소에는 동일한 번호를 부여하고, 그 설명을 생략한다.

도 9의 (a)는, 본 실시 형태에 따른 마스크 유닛(1)에 있어서의 증착 마스크 지지 부재(20)의 개략적인 구성을 도시하는 평면도이며, 도 9의 (b)는, 도 9의 (a)에 도시하는 마스크 유닛(1)에 있어서의 증착 마스크(10)의 개략적인 구성을 도시하는 평면도이다.

본 실시 형태에 따른 마스크 유닛(1)은, 증착 마스크 지지 부재(20)에 있어서의 빔부(22)의 평면 형상(바꿔 말하면, 개구부 H의 개구 형상)과, 증착 마스크(10)에 있어서의 개구부 S의 개구 형상을 변경한 것을 제외하면, 실시 형태 1에 따른 도 5에 도시하는 마스크 유닛(1)과 마찬가지의 구성을 갖고 있다. 따라서, 이하에서는, 상기 형상에 대해서만 설명한다.

<증착 마스크 지지 부재(20)>

본 실시 형태에 따른 증착 마스크 지지 부재(20)에는, 도 9의 (a)에 도시하는 바와 같이, 평면에서 보아, 프레임부(21)로 둘러싸인 영역 내에, 직사각 형상의 소직경의 개구부 HA가 엇갈린 형상으로 복수 형성되도록 빔부(22)가 설치되어 있다.

상기 빔부(22)는, 엇갈린 형상으로 형성된 복수의 개구부 HA와, Y 방향에 있어서의 프레임부(21)의 테두리부 사이에 연결되는 비개구 영역을 갖는 판상 부재로 이루어지고, 평면에서 보아, 프레임부(21)로 둘러싸인 영역 전체에 걸쳐서 설치되어 있다.

상기 개구부 HA는, 모두 동일한 크기를 갖고, X 방향 및 Y 방향 모두, 프레임부(21)에 있어서의 한쪽 끝에서부터 세서 홀수열째의 개구부 HA 사이에, 짝수열째의 개구부 HA가 위치됨과 함께, 개구부 HA 사이의 비개구 영역이, Y 방향을 가로지르는 방향(즉, X 방향 또는 X 방향과 Y 방향 사이의 경사 방향)으로만 연속되고, Y 방향으로 연속되지 않게 되어 있다.

이에 의해, 상기 증착 마스크 지지 부재(20)는, 평면에서 보아, 빔부(22)에 의해 분단된 개구부 HA의 Y 방향의 합계의 개구 길이(즉, 평면에서 보아, Y 방향에 있어서 동일 일직선 상에 위치하는 개구부 HA의 합계의 개구 길이)가, X 방향의 어떠한 개구부 HA의 위치에서도 동일하고, 또한, 증착을 행할 수 없는, Y 방향으로 연속된 빔부(비개구 영역)가 존재하지 않는다.

<증착 마스크(10)>

상기 증착 마스크(10)에 있어서, 각 개구부 S는, 도 9의 (b)에 도시하는 바와 같이, 평면에서 보아, 빔부(22)(즉, 프레임부(21)로 둘러싸인 영역에 있어서의 비개구 영역)를 피하도록, 개구부 HA에 대응해서(중첩해서) 형성되어 있다.

이로 인해, 본 실시 형태에서는, 도 9의 (b)에 도시하는 바와 같이, 증착 마스크(10)에, 슬릿 형상의 개구부 S가, 복수개 걸러, X 방향 및 Y 방향으로 단속적 또한 위치를 어긋나게 하여 배열되어 있다.

이로 인해, 본 실시 형태에서도, 증착 마스크(10)의 개구부 S 그 자체가, 평면에서 보아, 상기 개구부 S에 있어서의, X 방향의 어느 지점에서도, Y 방향에 있어서의 개구부 S의 합계의 개구 길이가 동일하게 되도록 형성되어 있고, Y 방향에 있어서 동일 일직선 상에 위치하는 개구부 HA와 중첩되는 개구부 S의 개구 길이가, X 방향의 어느 지점에서도 동일하게 되어 있다.

이로 인해, 본 실시 형태에서도, 실시 형태 1 내지 4와 마찬가지의 효과를 얻을 수 있다.

또한, 본 실시 형태에 의하면, 상술한 바와 같이, 상기 마스크 유닛(1)에서는, 각 개구부 S가, 개구부 HA에 대응하여 형성되어 있음으로써, 증착 마스크(10)의 마스크부, 즉, 개구 영역(11)에 있어서의 비개구 영역의 전체면에 걸쳐, 가로 빔으로 이루어지는 빔부(22)가 설치되어 있다.

이로 인해, 증착 마스크(10)는, 개구 영역(11) 있어서의 개구부 S 이외의 영역이, 모두 그 하면측에 설치된 빔부(22)에 의해 직접적으로 지지되고 있고, 개구부 S 이외의 전체 영역이, 증착 마스크 지지 부재(20)에 의해 직접적으로 지지(유지)되고 있다. 이로 인해, 본 실시 형태에 의하면, 실시 형태 1과 마찬가지의 효과를 얻을 수 있음과 함께, 증착 마스크(10)의 휨이 발생하지 않는 마스크 유닛(1)을 실현할 수 있다.

<개구부 S의 변형예>

또한, 도 9의 (b)에서는, 증착 마스크(10)의 개구부 S가, 평면에서 보아, 빔부(22)를 피하도록 개구부 HA에 대응하여 형성되어 있고, 슬릿 형상의 개구부 S가, 복수개 걸러, X 방향 및 Y 방향으로 단속적 또한 위치를 어긋나게 하여 배열되어 있는 경우를 예로 들어 설명하였다. 그러나, 본 실시 형태는 이것에 한정되는 것은 아니다.

전술한 바와 같이, X 방향으로 인접하는 개구부 S 사이에서의 증착량의 변동을 방지하기 위해서는, 평면에서 보아, 마스크 유닛(1)에 있어서의, Y 방향에 대한 실질적인 개구 길이의 합계가, X 방향의 개구부에서 모두 동일하면 된다.

따라서, 실시 형태 3에서 나타낸 바와 같이, 개구부 S는, 빔부(22)와 겹쳐 있어도 된다. 본 실시 형태에서는, 평면에서 보아, Y 방향에 있어서 동일 일직선 상에 위치하는 개구부 HA의 합계의 개구 길이가, X 방향의 어떠한 개구부 HA의 위치에서도 동등하기 때문에, 각 개구부 HA에 중첩되는 개구부 S의 형상이 동일하면, 동일한 효과를 얻을 수 있다. 따라서, Y 방향으로 인접하는 개구부 HA에 중첩되는 개구부 S는, 서로 연속하여 형성되어 있어도 상관없다.

<증착 마스크 지지 부재(20)의 변형예>

또한, 상기 설명에 있어서는, 마스크 유닛(1)이 개구부 H의 개구 형상과, 증착 마스크(10)에 있어서의 개구부 S의 개구 형상을 변경한 것을 제외하면, 도 5에 도시하는 마스크 유닛(1)과 마찬가지의 구성을 갖고 있는 것으로 하였다.

그러나, 마스크 유닛(1)은, 프레임부(21)와 빔부(22)가 일체적으로 형성된 구성을 갖고 있어도 된다.

예를 들어, 프레임부(21)와 판상의 빔부(22)를 동일한 두께로, 또한, 얇게 하여 일체화함으로써, 프레임부(21)와 빔부(22)와의 경계가 없는 형상(즉, 1매판과 같은 형상)으로 해도 상관없다.

통상, 프레임부(21)는, 증착 마스크(10)의 텐션에 견디는 강도가 필요하기 때문에, 필연적으로 두꺼워진다.

이에 비해, 빔부(22)(마스크 지지부)는, 증착 마스크(10)를 지지하기 위해 필요한, 자중으로 휘지 않을 만큼의 두께가 있으면 된다.

본 실시 형태에 따른 빔부(22)와 같이, 빔부(22)의 면적이 커지면, 증착 마스크(10)에 걸리는 텐션은, 한계까지 작게 할 수 있고, 종래와 같은 텐션 지지를 위한 강성은 불필요해진다. 이로 인해, 본 실시 형태에 의하면, 프레임부(21)의 두께를, 빔부(22)의 두께에 한없이 근접시킬 수 있다. 이 결과, 상기한 바와 같이, 증착 마스크 지지 부재(20)를 1매판과 같은 구조로 할 수 있다.

이렇게 증착 마스크 지지 부재(20)의 프레임부(21)와 빔부(22)가 동일한 두께이면, 평탄성이 확보된 판에 임의의 개구를 뚫는 것만으로, 용이하게 증착 마스크 지지 부재(20)를 제작할 수 있다.

또한, 이 경우, 상기 증착 마스크 지지 부재(20)의 두께, 즉, 상기 개구부 HA가 설치된 판상 부재의 두께는, 상기 증착 마스크 지지 부재(20)의 재질이나 증착 마스크(10)의 마스크 사이즈 등에 따라, 증착 마스크(10)를 안정되게 지지할 수 있음과 함께 자중 휨이 발생하지 않도록 적절히 설정하면 된다. 이와 같이, 상기 증착 마스크 지지 부재(20)의 두께는, 예를 들어 증착 마스크(10)의 마스크 사이즈에 따라 다르지만, 예를 들어, 2㎜ 내지 15㎜ 정도로 설정된다.

〔실시 형태 6〕

본 실시 형태에 대하여 도 10의 (a) 내지 (c) 내지 도 12에 기초하여 설명하면, 이하와 같다.

또한, 본 실시 형태에서는, 주로 실시 형태 1 내지 5와의 상위점에 대하여 설명하기로 하고, 실시 형태 1 내지 5에서 사용한 구성 요소와 동일한 기능을 갖는 구성 요소에는 동일한 번호를 부여하고, 그 설명을 생략한다.

도 10의 (a) 내지 (c)는, 본 실시 형태에 따른 마스크 유닛(1)의 개략적인 구성을 도시하는 도면이다. 또한, 도 10의 (a)는, 본 실시 형태에 따른 마스크 유닛(1)의 개략적인 구성을 도시하는 분해 사시도이며, 도 10의 (b)는, 도 10의 (a)에 도시하는 마스크 유닛(1)에 있어서의 증착 마스크 지지 부재(20)의 개략적인 구성을 도시하는 평면도이며, 도 10의 (c)는, 도 10의 (a)에 도시하는 마스크 유닛(1)에 있어서의 증착 마스크(10)의 개략적인 구성을 도시하는 평면도이다. 또한, 도 10의 (a)에서는, 도시의 편의상, 증착 마스크(10)의 개구 패턴의 도시를 생략하였다.

이하에서는, 실시 형태 1 내지 5와의 상위점에 대하여 설명한다.

<증착 마스크 지지 부재(20)>

본 실시 형태에 따른 증착 마스크 지지 부재(20)는, 도 10의 (a)·(b)에 도시하는 바와 같이, 프레임부(21)로 둘러싸인 영역(개구부 H) 내에, 입체적인 골조(입체 구조)를 갖고, 빔부(22)에 있어서의 증착 마스크(10)와의 접촉부(22A)가 섬 형상으로 형성된 프레임 형상의 빔부(22)를 구비하고 있다.

상기 빔부(22)는, 빔재로서, 증착 마스크(10)와의 접촉부(22A)를 정점으로 해서 세로 방향(상하 방향, Z 방향), 보다 구체적으로는 비스듬하게 상하 방향으로 배치된 세로 빔(22B)을 구비하고 있고, 상기 세로 빔(22B)은, 직접 또는 간접적으로, 프레임부(21)의 하단부(21b)에 연결되어 있다.

상기 세로 빔(22B)은, 강도상, 상기 접촉부(22A)를 정점으로 해서 방사상으로 형성되어 있는 것이 바람직하다. 또한, 도 10의 (a)·(b)에서는, 사각추 형상으로 세로 빔(22B)이 가설된 경우를 예로 들어 도시하고 있지만, 상기 세로 빔(22B)은, 삼각추형상으로 가설되어 있어도 되고, 사각추 이상의 다각추 형상으로 형성되어 있어도 된다.

상기 세로 빔(22B)으로서는, 예를 들어, 금속 와이어 등을 사용할 수 있다. 또한, 세로 빔(22B)의 직경은, 접촉부(22A)의 수, 바꿔 말하면, 세로 빔(22B)의 배치 밀도나 입체 형상 등에 따라서 적절히 설정하면 되고, 증착 마스크(10)를 지지하기에 충분한 강도를 갖고 있으면, 특별히 한정되는 것은 아니다.

또한, 상기 증착 마스크(10)와의 접촉부(22A)에는, 증착 마스크(10)를 보다 안정되게 지지함과 함께, 증착 마스크(10)의 자중에 의해 증착 마스크(10)에 있어서의 상기 빔부(22)의 접촉부(22A)와의 접촉 개소에의 응력 집중을 완화시키기 위해서, 도 10의 (a)·(b)에 도시하는 바와 같이, 완충 작용을 갖는 섬 형상 부재로서의 패드부가 설치되어 있는 것이 바람직하다. 즉, 상기 접촉부(22A)는, 완충 작용을 갖는 패드부인 것이 바람직하다.

상기 접촉부(22A)를 구성하는 패드부는, 금속 재료 등의, 증착 마스크(10)나 세로 빔(22B) 등과 동일한 재료로 형성되어 있어도 되고, 내열성을 갖는 고무나 발포 재료 등의, 빔재와는 상이한 재료로 형성되어 있어도 된다.

또한, 도 10의 (a)·(b)에서는, 상기 접촉부(22A)를 직사각 형상으로 한 경우를 예로 들어 도시하고 있지만, 상기 패드부의 형상은, 이것에 한정되는 것은 아니다.

또한, 상기 접촉부(22A)는, 증착 마스크(10)를 보다 안정되게 지지함과 함께, 휨의 억제 효과를 높이기 위해서, 등간격으로 균일하게 분산하여 형성되어 있는 것, 예를 들어, 단위 면적당의 밀도가 일정하게 되도록 형성되어 있는 것이 바람직하다.

이로 인해, 도 10의 (b)에 도시하는 예에서는, 프레임부(21)로 둘러싸인 개구부 H 내에, X 방향으로 일직선 상에 배열된 복수의 접촉부(22A)를 포함하는 열이, Y 방향으로 복수 열(도 10의 (b)에서는 2열) 배열하여 설치되어 있고, 또한, Y 방향으로 인접하는 접촉부(22A)가, 각각 Y 방향으로 일직선 상에 배열되어 있는 구성으로 하고 있다.

<증착 마스크(10)>

도 10의 (c)에서는, 증착 마스크(10)에, Y 방향으로 연장된 슬릿 형상의 개구부 S가, X 방향으로, 스트라이프 형상으로 복수 배열하여 설치되어 있는 경우를 예로 들어 도시하고 있다. 또한, 상기 개구 형상이 일례이며, 이것에 한정되지 않는 것은, 실시 형태 1에서 설명한 바와 같다.

본 실시 형태에서는, 도 10의 (c)에 도시하는 바와 같이, 각 개구부 S는, 빔부(22)의 접촉부(22A)와 중첩되지 않는 부분에 형성되어 있다.

또한, 본 실시 형태에서는, 빔부(22)의 접촉부(22A)가, 외주의 프레임부(21)와 직접 연결되어 있지 않고, 평면에서 보아 섬 형상으로 형성되어 있음으로써, X 방향에 있어서의, Y 방향에 접촉부(22A)가 설치되어 있는 부분에서는, Y 방향에 접촉부(22A)가 설치되어 있지 않은 부분보다도, 개구부 H의 Y 방향의 개구 길이의 합계가 길게 되어 있다.

이로 인해, 도 10의 (c)에서는, 평면에서 보아, X 방향으로 배열된 접촉부(22A)를 덮도록, X 방향으로 연결되는 띠 형상의 비개구 영역이 형성되어 있고, 각 개구부 S는, 평면에서 보아, 빔부(22)를 피하도록, Y 방향으로 단속적으로 형성되어 있다.

이에 의해, 본 실시 형태에서도, 증착 마스크(10)의 개구부 S 그 자체가, 평면에서 보아, 상기 개구부 S에 있어서의, X 방향의 어느 지점에서도, Y 방향에 있어서의 개구부 S의 합계의 개구 길이가 동일하게 되도록 형성되어 있고, Y 방향에 있어서 동일 일직선 상에 위치하는 개구부 H와 중첩되는 개구부 S의 개구 길이가, X 방향의 어느 지점에서도 동일하게 되어 있다.

또한, 본 실시 형태에서는, 도 10의 (a)·(b)에 도시하는 바와 같이, 개구부 H 내에 세로 빔(22B)이 설치되어 있음으로써, 평면에서 보아, 상기 접촉부(22A)뿐만 아니라, 세로 빔(22B)도 또한, 증착 마스크(10)와 중첩된다.

그러나, 세로 빔(22B)은, 상술한 바와 같이, 입체 빔 구조를 갖고 있으며, 프레임 형상으로 형성되어 있음으로써, 증착원(70)으로부터 출사된 증착 입자는, 세로 빔(22B) 사이의 공간을 통하여 프레임부(21)로 둘러싸인 개구부 H 내로 비산(확산)된다.

이로 인해, 세로 빔(22B)은, 평면에서 보아 개구부 S와 중첩되지만, 개구부 S를 실질적으로 덮고 있지 않아, 균일 증착을 방해하지는 않는다.

이로 인해, 본 실시 형태에서도, 실시 형태 1과 마찬가지의 효과를 얻을 수 있다.

또한, 본 실시 형태에 의하면, 빔부(22)의 접촉부(22A)가, 외주의 프레임부(21)와 직접 연결되어 있지 않고, 평면에서 보아 섬 형상으로 형성됨으로써, 프레임부(21)로 둘러싸인 영역에서의 개구부 H의 총 면적을 크게 할 수 있다. 따라서, 본 실시 형태에 의하면, 증착 마스크(10)의 휨을 직접 억제할 수 있음과 함께, 증착 마스크(10)의 개구부 S의 총 개구 면적의 확대 및 개구부 S의 개구 패턴의 레이아웃 자유도를 높일 수 있다.

이와 같이, 상기 빔부(22), 특히, 상기 빔부(22)의 접촉부(22A)는, Y 방향을 단속적으로 가로지르는 것이어도 상관없다.

또한, 본 실시 형태에서는, 평면에서 보아, 세로 빔(22B)도 Y 방향을 가로지르도록 세로 빔(22B)을 방사상으로 형성했지만, 상술한 바와 같이, 빔부(22)가 입체 빔 구성을 갖고, 프레임 형상으로 형성되어 있는 경우, 세로 빔(22B)은, 균일 증착을 방해하지는 않는다.

이로 인해, 마스크 유닛(1)은, 빔부(22)에 있어서의 증착 마스크(10)와 접촉된 부분(본 실시 형태에서는 접촉 영역(22A))이 Y 방향을 가로지르고 있고, Y 방향을 따라서 프레임부(21)에 가설되어 있지 않으면 되고, 빔부(22)에 있어서의, 증착 마스크(10)와 접촉되지 않는 부분, 예를 들어, 프레임부(21)의 하단 부분에는, 프레임부(21)를 Y 방향으로 연결하는 빔재가 설치되어 있어도 상관없다.

또한, 본 실시 형태에 의하면, 상술한 바와 같이, 빔부(22)를 입체 빔 구조로 함으로써, 경량화를 도모할 수 있다.

<증착 마스크(10) 및 증착 마스크 지지 부재(20)의 변형예>

도 11은, 도 10의 (a)에 도시하는 마스크 유닛(1)에 있어서의 다른 증착 마스크(10)의 개략적인 구성을 도시하는 평면도이다.

도 11에서도, 각 개구부 S는, 평면에서 보아, 빔부(22)를 피하도록, Y 방향으로 단속적으로 형성되어 있다. 단, 도 11에서는, 평면에서 보아, X 방향으로 배열된 접촉부(22A)를 덮도록, 직사각 형상의 비개구 영역이 형성되어 있음과 함께, 증착 마스크(10)의 개구부 S가, 평면에서 보아, 상기 개구부 S에 있어서의, X 방향의 어느 지점에서도, Y 방향에 있어서의 개구부 S의 합계의 개구 길이가 동일하게 되도록, 상기 접촉부(22A)를 덮는 직사각 형상의 비개구 영역 사이에, Y 방향에 있어서의 개구부 S의 합계의 개구 길이를 동등하게 하기 위한 비개구 영역이 형성되어 있다.

이에 의해, 도 11에서도, Y 방향에 있어서 동일 일직선 상에 위치하는 개구부 H와 중첩되는 개구부 S의 개구 길이가, X 방향의 어느 지점에서도 동일하게 되어 있다.

또한, 도 10의 (a)·(b)에서는, 상기 접촉부(22A)를 직사각 형상(예를 들어 정사각 형상)으로 하고, 도 11에서는, 상기 접촉부(22A)를 덮는 비개구 영역을, 접촉부(22A)를 덮을 정도의 크기의 직사각 형상(도 11에서는 직사각 형상)으로 했지만, 상기 접촉부(22A) 및 이 접촉부(22A)를 덮는, 증착 마스크(10)의 비개구 영역은, 상기 프레임부(21)에, Y 방향과 평행하게 연결되어 있지 않으면 되고, 외주의 프레임부(21)와의 사이에 간극이 있고(즉, 증착 입자를 증착시키기 위한, 빔부(22)로 덮여 있지 않은 개구부 S가 Y 방향으로 존재하고 있고), X 방향의 어느 지점에서도, Y 방향의 실질적인 개구 길이가 동일하게 되도록 형성되어 있으면, Y 방향으로 예를 들어 띠 형상으로 형성되어 있어도 된다.

<증착 마스크 지지 부재(20)의 변형예>

도 12는, 본 실시 형태에 따른 마스크 유닛(1)에 있어서의 다른 증착 마스크 지지 부재(20)의 개략적인 구성을 도시하는 평면도이다.

상기 실시 형태 1 내지 4에서는, Y 방향에 대하여 경사 방향으로 빔부(22)가 설치되어 있음과 함께, 도 10의 (a)·(b)에 도시하는 예에서는, Y 방향에 대하여 경사 방향으로 세로 빔(22B)이 설치되어 있는 경우를 예로 들어 도시하였다. 그러나, 상기 빔부(22)는, 피성막 기판(200)에 있어서의 증착 영역에 대향하는 영역에 있어서 Y 방향과 평행하게 형성되어 있지 않으면 되고, 예를 들어 도 10의 (c)에 도시한 바와 같은 증착 마스크(10)를 사용하는 경우, 상기 증착 마스크(10)의 비개구 영역의 형상에 맞춰서, 도 12에 도시하는 바와 같이, 예를 들어 판상의 빔부(22)가, X 방향과 평행하게 형성된 구성을 갖고 있어도 상관없다.

또한, 도 12에서는, 빔부(22)가 X 방향으로 2개 평행하게 형성되어 있는 경우를 예로 들어 도시하고 있지만, 증착 마스크(10)의 형상에 따라서는, 빔부(22)가, X 방향으로 1개만, 또는, 3개 이상 형성되어 있어도 되고, 또한, 그 중 몇 개가, 비스듬하게 형성되어 있어도 되는 것은 물론이다.

〔정리〕

본 발명의 형태 1에 따른 마스크 유닛은, 개구부를 갖는 증착 마스크와, 상기 증착 마스크를 지지하는 증착 마스크 지지 부재를 구비하고, 상기 증착 마스크 지지 부재는, 그 일부가 상기 증착 마스크의 하면에 접촉되어 있음과 함께, 상기 증착 마스크의 마스크면과 수직인 방향에서 보았을 때, 상기 증착 마스크의 개구부에 있어서의, 제1 방향의 어느 지점에서도, 상기 제1 방향과 직교하는 제2 방향에 있어서의, 상기 증착 마스크 지지 부재로 덮여 있지 않은 개구부의 합계의 개구 길이가 동일하고, 또한, 상기 증착 마스크 지지 부재는, 상기 증착 마스크의 테두리부 이외의 부분에 있어서, 연속적 또는 단속적으로 상기 제2 방향을 가로질러서 상기 증착 마스크의 하면에 접촉되는 접촉부를 갖는 한편, 상기 증착 마스크의 테두리부 이외의 부분에 있어서, 상기 증착 마스크에 있어서의 상기 제2 방향의 끝에서부터 끝까지 연속된 접촉부를 갖지 않는다.

상기 구성에 의하면, 상기 증착 마스크의 마스크면과 수직인 방향에서 보았을 때, 상기 증착 마스크 지지 부재가, 상기 증착 마스크의 테두리부 이외의 부분에 있어서, 연속적 또는 단속적으로 상기 제2 방향을 가로질러서 상기 증착 마스크의 하면에 접촉되는 접촉부를 갖고 있음으로써, 증착 마스크 지지 부재의 왜곡 등의 변형을 억제할 수 있다. 또한, 상기 증착 마스크 지지 부재가, 상기 증착 마스크의 테두리부 이외의 부분에 있어서, 연속적 또는 단속적으로 상기 제2 방향을 가로질러서 상기 증착 마스크의 하면에 접촉되는 접촉부를 갖고 있음으로써, 증착 마스크의 자중 휨 등의 휨을 억제할 수 있다.

또한, 상기 구성에 의하면, 상기 증착 마스크 지지 부재에 있어서의 상기 증착 마스크와의 접촉부가, 연속적 또는 단속적으로 제2 방향을 가로지르고 있고, 상기 증착 마스크의 테두리부 이외의 부분에 있어서, 상기 증착 마스크에 있어서의 상기 제2 방향의 끝에서부터 끝까지 연속된 접촉부를 갖지 않기 때문에, 상기 제2 방향을 주사 방향으로 하여 스캔 증착을 행함으로써, 상기 증착 마스크 지지 부재에 있어서의 상기 증착 마스크와의 접촉부가, 주사 방향과 평행하게 되지 않는다.

이로 인해, 상기 마스크 유닛을 사용하여 상기 제2 방향을 주사 방향으로 하여 스캔 증착을 행하면, 상기 증착 마스크 지지 부재에 상기 접촉부가 설치되어 있었다고 해도, 상기 접촉부가 있는 영역에도, 상기 접촉부가 없는 영역과 마찬가지의 증착을 행하는 것이 가능해진다. 따라서, 상기 마스크 유닛을 스캔 증착용 마스크 유닛으로서 사용하면, 증착 마스크의 휨에 기인하는 증착 위치 어긋남이 없는 증착을 행할 수 있다.

또한, 상기 마스크 유닛은, 상기 증착 마스크의 마스크면과 수직인 방향에서 보았을 때, 상기 증착 마스크의 개구부에 있어서의, 제1 방향의 어느 지점에서도, 상기 제1 방향과 직교하는 제2 방향에 있어서의, 상기 빔부로 덮여 있지 않은 개구부의 합계의 개구 길이가 동일하므로, 상기 제1 방향으로 인접하는 개구부 사이에서, 증착량에 변동이 발생하지 않아, 상기 증착 마스크 지지 부재에 있어서의 상기 증착 마스크와의 접촉부가 있는 표시 영역에도 균일하게 증착을 행할 수 있다. 따라서, 상기 구성에 의하면, 상기 증착 마스크 지지 부재에 있어서의 상기 증착 마스크와의 접촉부가 증착에 지장이 되는 일은 없어, 상기 접촉부에 의해, 증착 마스크의 휨에 의한 증착 위치 어긋남을 억제할 수 있는 한편, 균일한 증착을 행하는 것이 가능하게 된다. 이에 의해, 예를 들어, 혼색이 없는 유기 EL 표시 장치를 실현할 수 있다.

본 발명의 형태 2에 따른 마스크 유닛은, 상기 형태 1에 있어서, 상기 증착 마스크 지지 부재는, 프레임부와, 상기 프레임부에 연결되고, 상기 프레임부로 둘러싸인 영역 내에 설치된 빔부를 구비하고 있고, 상기 접촉부는, 상기 빔부의 일부이며, 상기 빔부에 있어서의 상기 증착 마스크와 접촉된 부분은, 상기 제2 방향을 따라서 상기 프레임부에 가설되어 있지 않고, 연속적 또는 단속적으로 상기 제2 방향을 가로지르고 있는 것이 바람직하다.

상기 구성에 의하면, 프레임부에 빔부가 설치되어 있음으로써, 강성이 높고, 굵은(무거운) 프레임부를 사용하지 않아도, 프레임부의 왜곡 등의 변형을 억제할 수 있다. 또한, 상기 빔부가, 프레임부로 둘러싸인 개구 영역 내에, 증착 마스크의 하면에 접촉하여 설치되어 있음으로써, 증착 마스크의 자중 휨 등의 휨을 억제할 수 있다.

또한, 상기 구성에 의하면, 상기 빔부에 있어서의 상기 증착 마스크와 접촉된 부분이, 연속적 또는 단속적으로 제2 방향을 가로지르고 있고, 제2 방향을 따라서 상기 프레임부에 가설되어 있지 않기 때문에, 상기 제2 방향을 주사 방향으로 하여 스캔 증착을 행함으로써, 빔부가, 주사 방향과 평행하게 되지 않는다.

이로 인해, 상기 마스크 유닛을 사용하여 상기 제2 방향을 주사 방향으로 하여 스캔 증착을 행하면, 빔부가 있는 영역에도, 빔부가 없는 영역과 마찬가지의 증착을 행하는 것이 가능해진다. 따라서, 상기 마스크 유닛을 스캔 증착용 마스크 유닛으로서 사용하면, 증착 마스크의 휨에 기인하는 증착 위치 어긋남이 없는 증착을 행할 수 있다.

또한, 상기 마스크 유닛은, 상기 증착 마스크의 마스크면과 수직인 방향에서 보았을 때, 상기 증착 마스크의 개구부에 있어서의, 제1 방향의 어느 지점에서도, 상기 제1 방향과 직교하는 제2 방향에 있어서의, 상기 빔부로 덮여 있지 않은 개구부의 합계의 개구 길이가 동일하므로, 상기 제1 방향으로 인접하는 개구부 사이에서, 증착량에 변동이 발생하지 않아, 빔부가 있는 표시 영역에도 균일하게 증착을 행할 수 있다. 따라서, 상기 구성에 의하면, 상기 빔부가 증착에 지장이 되는 일은 없어, 상기 빔부에 의해, 증착 마스크의 휨에 의한 증착 위치 어긋남을 억제할 수 있는 한편, 균일한 증착을 행하는 것이 가능하게 된다. 이에 의해, 상술한 바와 같이, 예를 들어, 혼색이 없는 유기 EL 표시 장치를 실현할 수 있다.

본 발명의 형태 3에 따른 마스크 유닛은, 상기 형태 2에 있어서, 상기 증착 마스크의 개구부는, 상기 빔부에 있어서의 상기 증착 마스크와 접촉되는 부분을 피하여 설치되어 있고, 또한, 상기 증착 마스크의 마스크면과 수직인 방향에서 보았을 때, 상기 증착 마스크의 개구부에 있어서의, 제1 방향의 어느 지점에서도, 상기 제2 방향에 있어서의 상기 개구부의 합계의 개구 길이가 동일한 것이 바람직하다.

상기 구성에 의하면, 상기 증착 마스크의 마스크면과 수직인 방향에서 보았을 때, 상기 증착 마스크 지지 부재에 있어서의, 상기 프레임부로 둘러싸인 영역 내에 있어서 상기 빔부가 설치되어 있지 않은 개구 영역의 제2 방향의 합계의 개구 길이가 제1 방향의 어떠한 위치에서도 동일한지 여부에 상관없이, 상기 증착 마스크의 개구부에 있어서의, 제1 방향의 어느 지점에서도, 제2 방향에 있어서의, 상기 빔부로 덮여 있지 않은, 증착 마스크의 개구부 합계의 개구 길이를 동일하게 할 수 있다.

본 발명의 형태 4에 따른 마스크 유닛은, 상기 형태 3에 있어서, 상기 증착 마스크의 마스크면과 수직인 방향에서 보았을 때, 상기 증착 마스크 지지 부재에 있어서의, 상기 프레임부로 둘러싸인 영역 내에 있어서 상기 빔부가 설치되어 있지 않은 개구 영역의 제2 방향의 합계의 개구 길이가, 제1 방향의 어떠한 위치에서도 동일한 것이 바람직하다.

상기 구성에 의하면, 상기 증착 마스크의 개구부를, 상기 빔부에 있어서의 상기 증착 마스크와 접촉되는 부분을 피하여, 상기 빔부를 덮도록 비개구 영역을 설치함으로써, 상기 증착 마스크의 개구부에 있어서의, 제1 방향의 어느 지점에서도, 제2 방향에 있어서의, 상기 빔부로 덮여 있지 않은, 증착 마스크의 개구부 합계의 개구 길이를, 용이하게 동일하게 할 수 있다.

본 발명의 형태 5에 따른 마스크 유닛은, 상기 형태 2 내지 4 중 어느 하나에 있어서, 상기 프레임부는 직사각 형상이며, 상기 빔부는, 상기 프레임부 중 적어도 한쪽의 대각선 상에 설치되어 있는 것이 바람직하다.

상기 구성에 의하면, 상기 빔부는, 상기 프레임부 중 적어도 한쪽의 대각선 상에 설치되어 있음으로써, 상기 빔부가, 휨이 발생하기 쉬운 증착 마스크의 중앙 부근을 횡단한다. 이로 인해, 증착 마스크의 휨을 직접 억제할 수 있다. 또한, 이에 의해, 증착 마스크를 증착 마스크 지지 부재에 고정할 때, 종래보다도, 증착 마스크를 잡아당기는 장력을 저감시킬 수 있다. 게다가, 상기 구성에 의하면, 상기 빔부를, 프레임부의 대각선 상에 형성하고 있기 때문에, 상기 빔부가, 버팀대로서 기능하므로, 프레임부의 변형을, 보다 견고하게 방지할 수 있다. 따라서, 강성이 높고, 굵은(무거운) 프레임부를 필요로 하지 않아, 종래보다도 프레임부를 박형화하여 경량화할 수 있다.

본 발명의 형태 6에 따른 마스크 유닛은, 상기 형태 5에 있어서, 상기 빔부는, 상기 프레임부의 각 대각선 상에 각각 설치되어 있고, 상기 증착 마스크의 마스크면과 수직인 방향에서 보았을 때, 상기 빔부의 교차부에 있어서의 상기 빔부의 제2 방향의 폭이, 상기 빔부의 교차부 이외의 빔부의 제2 방향의 폭의 2배의 폭으로 형성되어 있는 것이 바람직하다.

상기 구성에 의하면, 상기 빔부가, 상기 프레임부의 각 대각선 상에 각각 설치되어 있음으로써, 상기 빔부가, 휨이 발생하기 쉬운 증착 마스크의 중앙 부근을 횡단한다. 이로 인해, 증착 마스크의 휨을 직접 억제할 수 있다. 또한, 이에 의해, 증착 마스크를 증착 마스크 지지 부재에 고정할 때, 종래보다도, 증착 마스크를 잡아당기는 장력을 저감시킬 수 있다. 또한, 상기 구성에서도, 상기 빔부를, 프레임부의 대각선 상에 형성하고 있기 때문에, 상기 빔부가, 버팀대로서 기능하므로, 프레임부의 변형을, 보다 견고하게 방지할 수 있다. 따라서, 강성이 높고, 굵은(무거운) 프레임부를 필요로 하지 않아, 종래보다도 프레임부를 박형화하여 경량화할 수 있다.

또한, 상기 구성에 의하면, 상기 증착 마스크의 마스크면과 수직인 방향에서 보았을 때, 상기 빔부의 교차부에 있어서의 상기 빔부의 제2 방향의 폭이, 상기 빔부의 교차부 이외의 빔부의 제2 방향의 폭의 2배의 폭으로 형성되어 있음으로써, 상기 증착 마스크 지지 부재에 있어서의, 상기 프레임부로 둘러싸인 영역 내에 있어서 상기 빔부가 설치되어 있지 않은 개구 영역의 제2 방향의 합계의 개구 길이를, 제1 방향의 어떠한 위치에서도 동일하게 할 수 있다.

본 발명의 형태 7에 따른 마스크 유닛은, 상기 형태 2에 있어서, 상기 프레임부는 직사각 형상이며, 상기 빔부는, 상기 프레임부의 각 대각선 상에 각각 설치되어 있고, 상기 증착 마스크의 마스크면과 수직인 방향에서 보았을 때, 상기 빔부가 모두 균일한 폭을 갖고 있음과 함께, 상기 증착 마스크의 개구부에 있어서의, 제1 방향의 어느 지점에서도, 상기 제1 방향과 직교하는 제2 방향에 있어서의, 상기 빔부로 덮여 있지 않은 개구부의 합계의 개구 길이가 동일하게 되도록, 제1 방향에 있어서의 상기 증착 마스크의 개구부에 있어서, 제2 방향으로 상기 빔부의 교차부가 설치되어 있는 부분에서는, 상기 프레임부로 둘러싸인 다른 영역보다도, 상기 증착 마스크에 있어서의 제2 방향의 개구 길이를 짧게 하고 있어도 된다.

상기 구성에서도, 상기 빔부가, 상기 프레임부의 각 대각선 상에 각각 설치되어 있음으로써, 상기 빔부가, 휨이 발생하기 쉬운 증착 마스크의 중앙 부근을 횡단한다. 이로 인해, 증착 마스크의 휨을 직접 억제할 수 있다. 또한, 이에 의해, 증착 마스크를 증착 마스크 지지 부재에 고정할 때, 종래보다도, 증착 마스크를 잡아당기는 장력을 저감시킬 수 있다. 또한, 상기 빔부를, 프레임부의 대각선 상에 형성하고 있기 때문에, 상기 빔부가, 버팀대로서 기능하므로, 프레임부의 변형을, 보다 견고하게 방지할 수 있다. 따라서, 강성이 높고, 굵은(무거운) 프레임부를 필요로 하지 않아, 종래보다도 프레임부를 박형화하여 경량화할 수 있다.

또한, 상기 구성에 의하면, 상기 빔부가, 상기 프레임부의 각 대각선 상에 각각 설치되어 있고, 상기 증착 마스크의 마스크면과 수직인 방향에서 보았을 때, 상기 빔부가 모두 균일한 폭을 갖고 있는 것에 의해, 상기 증착 마스크 지지 부재는, 상기 빔부가 교차하는 영역에서, 상기 프레임부로 둘러싸인 영역 내의 다른 영역보다도, 상기 제2 방향의 개구 길이의 합계가 길게 되어 있다.

그러나, 상기 구성에 의하면, 상기 증착 마스크의 개구부에 있어서의, 제1 방향의 어느 지점에서도, 상기 제1 방향과 직교하는 제2 방향에 있어서의, 상기 빔부로 덮여 있지 않은 개구부의 합계의 개구 길이가 동일하게 되도록, 제1 방향에 있어서의 상기 증착 마스크의 개구부에 있어서, 제2 방향으로 상기 빔부의 교차부가 설치되어 있는 부분에서는, 상기 프레임부로 둘러싸인 다른 영역보다도, 상기 증착 마스크에 있어서의 제2 방향의 개구 길이를 짧게 하고 있기 때문에, 상기 제1 방향으로 인접하는 개구부 사이에서, 증착량에 변동이 발생하지 않아, 빔부가 있는 표시 영역에도 균일하게 증착을 행할 수 있다.

본 발명의 형태 8에 따른 마스크 유닛은, 상기 형태 2 내지 4 중 어느 하나에 있어서, 상기 빔부는, 상기 증착 마스크의 마스크면과 수직인 방향에서 보았을 때, 지그재그 형상으로 형성되어 있는 것이 바람직하다.

상기 구성에 의하면, 상기 빔부가, 상기 증착 마스크의 마스크면과 수직인 방향에서 보았을 때, 지그재그 형상으로 형성되어 있는 것에 의해, 상기 빔부는, 휨이 발생하기 쉬운 증착 마스크의 중앙 부근을 횡단한다. 이로 인해, 상기 구성에 의하면, 상기 증착 마스크의 휨을 직접적으로 억제할 수 있다.

또한, 증착 마스크 지지 부재는, 상기 증착 마스크 지지 부재에 증착 마스크를 고정할 때 잡아당겨진 증착 마스크가, 상기 증착 마스크의 중앙을 향하여 강력하게 인장됨으로써, 프레임부의 변 부분에서 변형이 발생하기 쉽다.

그러나, 상기 구성에 의하면, 상기 빔부가, 상기 증착 마스크의 마스크면과 수직인 방향에서 보았을 때 지그재그 형상으로 형성되어 있는 것에 의해, 상기 프레임부의 왜곡을 효과적으로 억제할 수 있다.

본 발명의 형태 9에 따른 마스크 유닛은, 상기 형태 2 내지 4 중 어느 하나에 있어서, 상기 빔부는, 엇갈린 형상으로 형성된 복수의 개구 영역을 갖는 판상 부재로 이루어지고, 상기 증착 마스크의 마스크면과 수직인 방향에서 보았을 때, 상기 프레임부로 둘러싸인 영역 전체면에 걸쳐서 설치되어 있는 것이 바람직하다.

상기 구성에 의하면, 증착 마스크의 휨이 발생하지 않는 마스크 유닛을 실현할 수 있다.

본 발명의 형태 10에 따른 마스크 유닛은, 상기 형태 2 내지 9 중 어느 하나에 있어서, 상기 빔부의 두께는, 상기 프레임부의 두께보다도 얇게 형성되어 있는 것이 바람직하다.

이에 의해, 상기 프레임부의 한층 더한 경량화를 도모할 수 있다.

본 발명의 형태 11에 따른 마스크 유닛은, 상기 형태 1에 있어서, 상기 증착 마스크 지지 부재는, 엇갈린 형상으로 형성된 복수의 개구 영역을 갖는 판상 부재로 이루어져 있어도 된다.

이 경우에도, 증착 마스크의 휨이 발생하지 않는 마스크 유닛을 실현할 수 있다.

본 발명의 형태 12에 따른 마스크 유닛은, 상기 형태 2 또는 3에 있어서, 상기 빔부는, 상기 증착 마스크의 마스크면과 수직인 방향에서 보았을 때, 상기 빔부에 있어서의 상기 증착 마스크와의 접촉부가 섬 형상으로 형성되어 있고, 상기 증착 마스크와의 접촉부를 정점으로 해서 프레임 형상으로 형성된 입체적인 골조를 갖고 있는 것이 바람직하다.

본 발명의 형태 13에 따른 마스크 유닛은, 상기 형태 12에 있어서, 상기 마스크 유닛에 있어서, 상기 빔부는, 상기 증착 마스크와의 접촉부를 정점으로 해서 방사상으로 배치된 세로 빔을 갖고 있는 것이 바람직하다.

상기 각 구성에 의하면, 상기 빔부에 있어서의 상기 증착 마스크와의 접촉부가, 외주의 프레임부와 직접 연결되어 있지 않고, 상기 증착 마스크의 마스크면과 수직인 방향에서 보았을때, 섬 형상으로 형성되어 있는 것에 의해, 상기 프레임부로 둘러싸인 영역에 있어서의 개구 영역의 총 면적을 크게 할 수 있다. 이로 인해, 상기 구성에 의하면, 증착 마스크의 휨을 직접 억제할 수 있음과 함께, 증착 마스크의 개구부의 총 개구 면적의 확대 및 개구부의 개구 패턴의 레이아웃 자유도를 높일 수 있다.

또한, 상기 빔부는, 프레임 형상으로 형성되어 있는 것에 의해, 상기 세로 빔은, 균일 증착을 방해하지는 않는다.

본 발명의 형태 14에 따른 마스크 유닛은, 상기 형태 12 또는 13에 있어서, 상기 빔부에 있어서의 상기 증착 마스크와의 접촉부에, 완충 작용을 갖는 섬 형상 부재가 설치되어 있는 것이 바람직하다.

상기 구성에 의하면, 상기 증착 마스크를 보다 안정되게 지지할 수 있음과 함께, 상기 증착 마스크의 자중에 의한, 상기 증착 마스크에 있어서의 상기 빔부와의 접촉 개소에의 응력 집중을 완화시킬 수 있다.

본 발명의 형태 15에 따른 증착 장치는, 상기 형태 1 내지 14 중 어느 하나의 마스크 유닛과, 상기 마스크 유닛에 있어서의 증착 마스크에 대향 배치되고, 상기 증착 마스크와의 상대적인 위치가 고정된 증착원과, 상기 마스크 유닛에 있어서의 증착 마스크와 피성막 기판을 대향 배치한 상태에서, 상기 마스크 유닛 및 증착원과, 상기 피성막 기판 중 한쪽을, 제2 방향이 주사 방향이 되도록 상대 이동시키는 이동 기구를 구비하고, 상기 증착 마스크의 제2 방향의 폭은, 제2 방향에 있어서의 피성막 기판의 폭보다도 작고, 상기 제2 방향을 따라서 주사하면서, 상기 증착원으로부터 출사된 증착 입자를, 상기 증착 마스크의 개구부를 거쳐 상기 피성막 기판에 증착시킨다.

피성막 기판과 거의 동일한 크기의 증착 마스크를 사용하여 증착을 행하는, 스캔 증착 방식이 아닌 종래의 증착법에서는, 마스크 프레임에 빔 구조를 설치하면, 빔이 있는 영역이 증착되지 않게 되기 때문에, 빔 구조를 설치할 수 없다.

또한, 스캔 증착법식을 사용한 경우에도, 프레임부에 격자 형상으로 빔부를 설치하면, 피성막 기판에 있어서, 증착 마스크 지지 부재에 있어서의 주사 방향과 평행한 빔부가 설치된 영역에 중첩되는 영역에서는, 증착 입자가 증착 마스크를 통과하지 못하여, 증착 입자가 증착되지 않게 된다.

그러나, 상기 구성에 의하면, 상기 마스크 유닛을 사용하여, 상기 제2 방향을 주사 방향으로 하여 스캔 증착을 행하면, 빔부가 있는 영역에도, 빔부가 없는 영역과 마찬가지의 증착을 행하는 것이 가능해진다. 따라서, 상기 마스크 유닛을 스캔 증착용 마스크 유닛으로서 사용하면, 증착 마스크 지지 부재에, 강성이 높고, 굵은(무거운) 프레임부를 사용하지 않아도, 증착 마스크의 휨에 기인하는 증착 위치 어긋남이 없는 증착을 행할 수 있다.

본 발명은 상술한 각 실시 형태에 한정되는 것이 아니라, 청구항에 나타낸 범위에서 다양한 변경이 가능하고, 서로 다른 실시 형태에 각각 개시된 기술적 수단을 적절히 조합하여 얻어지는 실시 형태에 대해서도 본 발명의 기술적 범위에 포함된다.

본 발명은 피성막 기판과, 마스크 유닛 및 증착원을 상대적으로 이동시켜서 주사하면서 증착을 행하는, 스캐닝 방식을 사용한 스캔 증착에 사용되는 마스크 유닛, 및 그러한 마스크 유닛을 사용하여 소정의 패턴을 성막하는 증착 장치에, 적절하게 이용할수 있다.

1 마스크 유닛
2 진공 챔버
10 증착 마스크
10a 긴 변
10b 짧은 변
10c 하면
11 개구 영역(증착 마스크의 개구 영역)
20 증착 마스크 지지 부재
21 프레임부(테두리부)
21a 접촉면
21b 하단부
22 빔부
22a 상면(접촉부)
22A 접촉부
22B 세로 빔
22a 상면
22b 빔부 교차 영역
50 증착 장치
51 진공 챔버
52 기판 홀더
53 기판 이동 기구(이동 기구)
54 증착 유닛
55 증착 유닛 이동 기구(이동 기구)
70 증착원
71 사출구
80 마스크 유닛 고정 부재
200 피성막 기판
200a 긴 변
200b 짧은 변
201 성막면
H, H1, H2, H11 내지 H14, H21 내지 H24, H31 내지 H35, HA 개구부(개구 영역)
S 개구부
g1, g2 공극

Claims (15)

1. 피성막 기판과, 마스크 유닛 및 증착원을 상대적으로 이동시켜서 주사하면서 증착을 행하는 스캔 증착에 사용되는 마스크 유닛으로서,
   복수의 개구부를 갖는 증착 마스크와,
   상기 증착 마스크를 지지하는 증착 마스크 지지 부재를 구비하고,
   상기 증착 마스크 지지 부재는, 그 일부가 상기 증착 마스크의 하면에 접촉되어 있음과 함께,
   주사 방향과 수직인 방향을 제1 방향으로 하고, 주사 방향과 평행한 방향을 제2 방향으로 하면, 상기 증착 마스크 지지 부재는, 상기 증착 마스크의 테두리부 이외의 부분에 있어서, 연속적 또는 단속적으로 상기 제2 방향을 가로질러서 상기 증착 마스크의 하면에 접촉되는 접촉부를 갖는 한편, 상기 증착 마스크의 테두리부 이외의 부분에 있어서, 상기 증착 마스크에 있어서의 상기 제2 방향의 끝에서부터 끝까지 연속된 접촉부를 갖지 않고,
   상기 증착 마스크 지지 부재는, 프레임부와, 상기 프레임부에 연결되고, 상기 프레임부로 둘러싸인 영역 내에 설치된 빔부를 구비하고 있고, 상기 접촉부는, 상기 빔부의 일부이며,
   상기 빔부에 있어서의 상기 증착 마스크와 접촉하고 있는 부분은, 상기 제2 방향을 따라서 상기 프레임부에 가설되어 있지 않고, 연속적 또는 단속적으로 상기 제2 방향을 가로지르고 있고,
   상기 증착 마스크의 상기 제1 방향으로 복수 형성된 개구부 중, 상기 제1 방향으로 인접하는 적어도 2개의 개구부가, 상기 제2 방향으로 2개 이상으로 분할되어 있고, 상기 제1 방향으로 인접하는 분할된 개구부의 개구 길이가 서로 다름과 함께, 상기 증착 마스크의 마스크면과 수직인 방향에서 보았을 때, 상기 제1 방향의 어느 지점에서도, 상기 증착 마스크 지지 부재로 덮여 있지 않은 개구부의 상기 제2 방향의 개구 길이의 합계가 각각 동일한 것을 특징으로 하는 마스크 유닛.
2. 제1항에 있어서,
   상기 증착 마스크의 개구부는, 상기 빔부에 있어서의 상기 증착 마스크와 접촉되는 부분을 피하여 설치되어 있고, 또한,
   상기 증착 마스크의 마스크면과 수직인 방향에서 보았을 때, 상기 증착 마스크의 개구부에 있어서의, 제1 방향의 어느 지점에서도, 상기 제2 방향에 있어서의 상기 개구부의 개구 길이의 합계가 동일한 것을 특징으로 하는 마스크 유닛.
3. 제2항에 있어서,
   상기 증착 마스크의 마스크면과 수직인 방향에서 보았을 때, 상기 증착 마스크 지지 부재에 있어서의, 상기 프레임부로 둘러싸인 영역 내에 있어서 상기 빔부가 설치되어 있지 않은 개구 영역의 제2 방향의 개구 길이의 합계가, 제1 방향의 어떠한 위치에서도 동등한 것을 특징으로 하는 마스크 유닛.
4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 프레임부는 직사각 형상이며, 상기 빔부는, 상기 프레임부 중 적어도 한쪽의 대각선 상에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 마스크 유닛.
5. 제4항에 있어서,
   상기 빔부는, 상기 프레임부의 각 대각선 상에 각각 설치되어 있고,
   상기 증착 마스크의 마스크면과 수직인 방향에서 보았을 때, 상기 빔부의 교차부에 있어서의 상기 빔부의 제2 방향의 폭이, 상기 빔부의 교차부 이외의 빔부의 제2 방향의 폭의 2배의 폭으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 마스크 유닛.
6. 제1항에 있어서,
   상기 프레임부는 직사각 형상이며, 상기 빔부는, 상기 프레임부의 각 대각선 상에 각각 설치되어 있고,
   상기 증착 마스크의 마스크면과 수직인 방향에서 보았을 때, 상기 빔부가 모두 균일한 폭을 갖고 있음과 함께, 상기 증착 마스크의 개구부에 있어서의, 제1 방향의 어느 지점에서도, 상기 제1 방향과 직교하는 제2 방향에 있어서의, 상기 빔부로 덮여 있지 않은 개구부의 개구 길이의 합계가 동일하게 되도록, 제1 방향에 있어서의 상기 증착 마스크의 개구부에 있어서, 제2 방향에 상기 빔부의 교차부가 설치되어 있는 부분에서는, 상기 프레임부로 둘러싸인 다른 영역보다도, 상기 증착 마스크에 있어서의 제2 방향의 개구 길이를 짧게 하고 있는 것을 특징으로 하는 마스크 유닛.
7. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 빔부는, 상기 증착 마스크의 마스크면과 수직인 방향에서 보았을 때, 지그재그 형상으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 마스크 유닛.
8. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 빔부는, 엇갈린 형상(千鳥狀)으로 형성된 복수의 개구 영역을 갖는 판상 부재를 포함하고, 상기 증착 마스크의 마스크면과 수직인 방향에서 보았을 때, 상기 프레임부로 둘러싸인 영역 전체면에 걸쳐서 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 마스크 유닛.
9. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 빔부의 두께는 상기 프레임부의 두께보다도 얇게 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 마스크 유닛.
10. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 빔부는, 상기 증착 마스크의 마스크면과 수직인 방향에서 보았을 때, 상기 빔부에 있어서의 상기 증착 마스크와의 접촉부가 섬 형상으로 형성되어 있고, 상기 증착 마스크와의 접촉부를 정점으로 해서 프레임 형상으로 형성된 입체적인 골조를 갖고 있는 것을 특징으로 하는 마스크 유닛.
11. 제10항에 있어서,
    상기 빔부는, 상기 증착 마스크와의 접촉부를 정점으로 해서 방사상으로 배치된 세로 빔을 갖고 있는 것을 특징으로 하는 마스크 유닛.
12. 제10항에 있어서,
    상기 빔부에 있어서의 상기 증착 마스크와의 접촉부에, 완충 작용을 갖는 섬 형상 부재가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 마스크 유닛.
13. 피성막 기판과, 마스크 유닛 및 증착원을 상대적으로 이동시켜서 주사하면서 증착을 행하는 스캔 증착에 사용되는 마스크 유닛으로서,
    복수의 개구부를 갖는 증착 마스크와,
    상기 증착 마스크를 지지하는 증착 마스크 지지 부재를 구비하고,
    상기 증착 마스크 지지 부재는, 그 일부가 상기 증착 마스크의 하면에 접촉되어 있음과 함께,
    주사 방향과 수직인 방향을 제1 방향으로 하고, 주사 방향과 평행한 방향을 제2 방향으로 하면, 상기 증착 마스크 지지 부재는, 상기 증착 마스크의 테두리부 이외의 부분에 있어서, 연속적 또는 단속적으로 상기 제2 방향을 가로질러서 상기 증착 마스크의 하면에 접촉되는 접촉부를 갖는 한편, 상기 증착 마스크의 테두리부 이외의 부분에 있어서, 상기 증착 마스크에 있어서의 상기 제2 방향의 끝에서부터 끝까지 연속된 접촉부를 갖지 않고,
    상기 증착 마스크 지지 부재는, 엇갈린 형상으로 형성된 복수의 개구 영역을 갖는 판상 부재를 포함하고,
    상기 증착 마스크의 상기 제1 방향으로 복수 형성된 개구부 중, 상기 제1 방향으로 인접하는 적어도 2개의 개구부가, 상기 제2 방향으로 2개 이상으로 분할되어 있고, 상기 제1 방향으로 인접하는 분할된 개구부의 개구 길이가 서로 다름과 함께, 상기 증착 마스크의 마스크면과 수직인 방향에서 보았을 때, 상기 제1 방향의 어느 지점에서도, 상기 증착 마스크 지지 부재로 덮여 있지 않은 개구부의 상기 제2 방향의 개구 길이의 합계가 각각 동일한 것을 특징으로 하는 마스크 유닛.
14. 제1항 또는 제13항에 기재된 마스크 유닛과,
    상기 마스크 유닛에 있어서의 증착 마스크에 대향 배치되고, 상기 증착 마스크와의 상대적인 위치가 고정된 증착원과,
    상기 마스크 유닛에 있어서의 증착 마스크와 피성막 기판을 대향 배치한 상태에서, 상기 마스크 유닛 및 증착원과, 상기 피성막 기판 중 한쪽을, 제2 방향이 주사 방향이 되도록 상대 이동시키는 이동 기구를 구비하고,
    상기 증착 마스크의 제2 방향의 폭은, 제2 방향에 있어서의 피성막 기판의 폭보다도 작고,
    상기 제2 방향을 따라서 주사하면서, 상기 증착원으로부터 출사된 증착 입자를, 상기 증착 마스크의 개구부를 통해 상기 피성막 기판에 증착시키는 것을 특징으로 하는 증착 장치.
15. 삭제

Images