JPWO2014010284A1 - マスクユニットおよび蒸着装置 - Google Patents

Abstract

マスクユニット（１）は、平面視で、蒸着マスク（１０）の開口部（Ｓ）におけるＸ方向の何れの地点でもＹ方向における梁部（２２）で覆われていない開口部（Ｓ）の合計の開口長さが等しく、梁部（２２）の蒸着マスク（１０）と接触している部分は、Ｙ方向に沿ってフレーム部（２１）に架け渡されておらず、連続的もしくは断続的にＹ方向を横切っている。

Description

本発明は、蒸着マスクと蒸着マスクを保持する蒸着マスク保持部材とを備えたマスクユニットおよび該マスクユニットを備えた蒸着装置に関するものである。

近年、様々な商品や分野でフラットパネルディスプレイが活用されており、フラットパネルディスプレイのさらなる大型化、高画質化、低消費電力化が求められている。

そのような状況下において、有機材料の電界発光（エレクトロルミネッセンス；以下、「ＥＬ」と記す）を利用した有機ＥＬ素子を備えた有機ＥＬ表示装置は、全固体型で、低電圧駆動、高速応答性、自発光性等の点で優れたフラットパネルディスプレイとして、高い注目を浴びている。

有機ＥＬ表示装置は、例えば、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）が設けられたガラス基板等からなる基板上に、ＴＦＴに接続された有機ＥＬ素子が設けられた構成を有している。

有機ＥＬ素子は、低電圧直流駆動による高輝度発光が可能な発光素子であり、第１電極、有機ＥＬ層、および第２電極が、この順に積層された構造を有している。そのうち、第１電極はＴＦＴと接続されている。また、第１電極と第２電極との間には、上記有機ＥＬ層として、正孔注入層、正孔輸送層、電子ブロッキング層、発光層、正孔ブロッキング層、電子輸送層、電子注入層等を積層させた有機層が設けられている。

フルカラーの有機ＥＬ表示装置は、一般的に、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の各色の有機ＥＬ素子をサブ画素として基板上に配列形成してなり、ＴＦＴを用いて、これら有機ＥＬ素子を選択的に所望の輝度で発光させることにより画像表示を行っている。

このような有機ＥＬ表示装置の発光部における有機ＥＬ素子は、一般的に、有機膜の積層蒸着によって形成される。有機ＥＬ表示装置の製造においては、少なくとも各色に発光する有機発光材料からなる発光層が、発光素子である有機ＥＬ素子毎に所定のパターンで成膜される。

積層蒸着による所定のパターンの成膜には、例えば、シャドウマスクと称される蒸着マスクを用いた蒸着法の他、インクジェット法、レーザ転写法等が適用可能である。そのうち、現在では、蒸着マスクを用いた真空蒸着法を用いるのが最も一般的である（例えば特許文献１等参照）。

日本国公開特許公報「特開２００６−１６４８１５号公報（公開日：２００６年６月２２）」

しかしながら、このように蒸着マスクを用いて蒸着を行う場合、基板サイズが大きくなると、それに伴って蒸着マスクも大きくなる。

その結果、蒸着マスクの自重による撓みや延びにより、蒸着マスクの反り現象が発生し、蒸着に用いられる被成膜基板と蒸着マスクとの間に隙間が生じる。

図１３は、従来の蒸着マスクの撓みによる問題点を示す断面図である。図１３は、従来の蒸着装置内部の主要構成要素の概略構成を模式的に示している。

図１３に示すように、蒸着マスク３０１を用いた蒸着では、蒸着マスク３０１を挟んで被成膜基板２００と反対側に蒸着源３１０が配置される。

有機発光材料等の蒸着材料は、高真空下で加熱、昇華されることにより、蒸着粒子として蒸着源３１０から出射される。

蒸着マスク３０１を用いた蒸着では、図１３に示すように、目的とする蒸着領域以外の領域に蒸着粒子が付着しないように、蒸着マスク３０１に、蒸着領域の一部のパターンに対応した開口部３０２を設け、該開口部３０２を介して蒸着粒子を被成膜基板２００に蒸着させることによりパターン形成を行う。

蒸着粒子として蒸着源３１０から出射された蒸着材料は、蒸着マスク３０１に設けられた開口部３０２を通して被成膜基板２００に蒸着される。

これにより、開口部３０２に対応する、被成膜基板２００の所望の位置にのみ、所望の成膜パターンを有する有機膜が、蒸着膜として蒸着形成される。なお、有機ＥＬ蒸着プロセスにおける発光層の蒸着は、発光層の色毎に行われる（これを「塗り分け蒸着」と言う）。

このような蒸着プロセスにおいて、被成膜基板２００に大型基板を用いた場合、被成膜基板２００の大型化に伴って蒸着マスク３０１が大型化することで、図１３に二点鎖線で示すように、蒸着マスク３０１に、自重による撓みが発生する。

蒸着源３１０から放射された蒸着粒子は、放射状に飛散して被成膜基板２００に蒸着される。このとき、蒸着粒子は、蒸着源３１０から角度を持って飛散するため、蒸着マスク３０１の撓みによる高さ方向の位置ズレは、横方向の位置ズレとなって現れる。

このため、蒸着マスク３０１に撓みが発生していると、図１３に二点鎖線で示すように、蒸着源３１０の直上の位置Ｐ１では蒸着位置のズレは発生しないが、蒸着源３１０から離れた位置Ｐ２・Ｐ３では、蒸着位置がズレてしまう。

このため、例えば上述したようにＲＧＢ塗分け方式の大型有機ＥＬ蒸着プロセスにおいて、蒸着マスク３０１に撓みが発生していると、蒸着位置精度が低下し、位置精度の高いパターン形成を行うことができず、蒸着位置ズレや混色が発生し、高精細化が困難となる。

なお、このような問題は、蒸着マスク３０１として、被成膜基板２００と同等サイズの蒸着マスクを使用した場合、より顕著に現れる。

また、図１４は、従来の蒸着マスク３０１および蒸着マスク保持部材３０３を備えたマスクユニット３００の概略構成を示す平面図である。なお、図１４では、蒸着マスク３０１の開口部３０２の図示を省略している。

図１４に示すように、蒸着マスク３０１の背後には、蒸着マスク３０１を保持する、マスクフレームあるいはマスクホルダと称される蒸着マスク保持部材３０３が設けられている。

このようなマスクユニットにおいて、蒸着マスク保持部材３０３は、一般的にフレーム状に形成されており、開口部３０４と、該開口部３０４を取り囲むとともに蒸着マスク３０１を保持するフレーム部３０５とを備えている。

蒸着マスク３０１は、開口部３０２が蒸着マスク保持部材３０３の開口部３０４内に位置するように、その周縁部分を、レーザ光等を用いて、蒸着マスク保持部材３０３のフレーム部３０５に溶接することで、蒸着マスク保持部材３０３に固定されている（例えば、特許文献１参照）。

このため、従来では、溶接した蒸着マスク３０１が撓まないように、蒸着マスク３０１を、予め十分に架張した状態で、蒸着マスク保持部材３０３に溶接する。

このように架張溶接された蒸着マスク３０１は、蒸着マスク保持部材３０３のフレーム部３０５を、図１４に二点鎖線で示すように、蒸着マスク３０１の中央に向かって強力に引っ張る。このため、従来の蒸着マスク保持部材３０３は、フレーム部３０５の辺の部分、特に、図１４に示すように長辺部分で変形が生じ易いという問題点を有している。

なお、特許文献１には、このような蒸着マスクの反りに起因するマスクユニットの反りを防止するために、蒸着マスクを、蒸着マスク保持部材のフレーム部に溶接した後、該フレーム部の裏面に、テンションを付加した金属テープを、蒸着マスクに付加したテンションの方向と平行になるように溶接することが開示されている。

しかしながら、被成膜基板２００に大型の基板を使用する場合、これに伴って蒸着マスクの大きさが大きくなると、蒸着マスクにテンションを与えるだけでは、蒸着マスクの撓みや反りを解消するには十分とは言い難い。

本発明は、上記問題点に鑑みなされたものであり、その目的は、蒸着マスクの撓みに起因する蒸着位置ズレがない蒸着を行うことができるマスクユニットおよび蒸着装置を提供することにある。

上記の課題を解決するために、本発明の一態様にかかるマスクユニットは、開口部を有する蒸着マスクと、上記蒸着マスクを保持する蒸着マスク保持部材とを備え、上記蒸着マスク保持部材は、その一部が上記蒸着マスクの下面に接触しているとともに、上記蒸着マスクのマスク面に垂直な方向から見たときに、上記蒸着マスクの開口部における、第１の方向の何れの地点でも、該第１の方向に直交する第２の方向における、上記蒸着マスク保持部材で覆われていない開口部の合計の開口長さが等しく、かつ、上記蒸着マスク保持部材は、上記蒸着マスクの縁部以外の部分において、連続的もしくは断続的に上記第２の方向を横切って上記蒸着マスクの下面に接触する接触部を有する一方、上記蒸着マスクの縁部以外の部分において、上記蒸着マスクにおける上記第２の方向の端から端まで連続した接触部を有さない。

また、本発明の一態様にかかる蒸着装置は、上記マスクユニットと、上記マスクユニットにおける蒸着マスクに対向配置され、上記蒸着マスクとの相対的な位置が固定された蒸着源と、上記マスクユニットにおける蒸着マスクと被成膜基板とを対向配置した状態で、上記マスクユニットおよび蒸着源と、上記被成膜基板とのうち一方を、第２の方向が走査方向となるように相対移動させる移動機構とを備え、上記蒸着マスクの第２の方向の幅は、第２の方向における被成膜基板の幅よりも小さく、上記第２の方向に沿って走査しながら、上記蒸着源から出射された蒸着粒子を、上記蒸着マスクの開口部を介して上記被成膜基板に蒸着させる。

上記の各構成によれば、剛性の高い、太い（重い）フレーム部を使用しなくても、蒸着マスク保持部材の歪み等の変形を抑制することができる。また、上記蒸着マスク保持部材が、上記蒸着マスクの縁部以外の部分において、連続的もしくは断続的に上記第２の方向を横切って上記蒸着マスクの下面に接触する接触部を有していることで、蒸着マスクの自重撓み等の撓みを抑制することができる。

また、上記マスクユニットは、上記蒸着マスク保持部材における上記蒸着マスクとの接触部が、連続的もしくは断続的に第２の方向を横切っており、上記蒸着マスクの縁部以外の部分において、上記蒸着マスクにおける上記第２の方向の端から端まで連続した接触部を有さないため、上記第２の方向を走査方向としてスキャン蒸着を行うことで、上記蒸着マスク保持部材における上記蒸着マスクとの接触部が、走査方向と平行とならない。

このため、上記マスクユニットを使用して上記第２の方向を走査方向としてスキャン蒸着を行うことで、上記蒸着マスク保持部材に上記接触部が設けられていたとしても、該接触部がある領域にも、該接触部がない領域と同様の蒸着を行うことが可能になる。したがって、上記マスクユニットをスキャン蒸着用のマスクユニットとして使用すれば、蒸着マスクの撓みに起因する蒸着位置ズレがない蒸着を行うことができる。

また、上記マスクユニットは、上記蒸着マスクのマスク面に垂直な方向から見たときに、上記蒸着マスクの開口部における、第１の方向の何れの地点でも、該第１の方向に直交する第２の方向における、上記梁部で覆われていない開口部の合計の開口長さが等しいので、上記第１の方向に隣り合う開口部間で、蒸着量にばらつきが発生せず、上記蒸着マスク保持部材における上記蒸着マスクとの接触部のある表示領域にも均一に蒸着を行うことができる。

したがって、上記の各構成によれば、上記蒸着マスク保持部材における上記蒸着マスクとの接触部が蒸着の支障となることはなく、該接触部によって、蒸着マスクの撓みによる蒸着位置ズレを抑制することができる一方で、均一な蒸着を行うことができるマスクユニットおよび蒸着装置を提供することができる。

（ａ）〜（ｄ）は、実施の形態１にかかるマスクユニットの概略構成を示す図である。 実施の形態１にかかる蒸着装置における要部の概略構成を模式的に示す断面図である。 実施の形態１にかかる蒸着装置における真空チャンバ内の主要構成要素を斜め上方から見たときの関係を示す俯瞰図である。 格子状の梁構造を有するマスクフレームの概略構成を示す平面図である。 実施の形態１にかかる他のマスクユニットの概略構成を示す断面図である。 （ａ）〜（ｄ）は、実施の形態２にかかるマスクユニットの概略構成を示す図である。 （ａ）は、実施の形態３にかかるマスクユニットにおける蒸着マスク保持部材の概略構成を示す平面図であり、（ｂ）は、（ａ）に示すマスクユニットにおける蒸着マスクの概略構成を示す平面図である。 （ａ）は、実施の形態４にかかるマスクユニットにおける蒸着マスク保持部材の概略構成を示す平面図であり、（ｂ）は、（ａ）に示すマスクユニットにおける蒸着マスクの概略構成を示す平面図である。 （ａ）は、実施の形態５にかかるマスクユニットにおける蒸着マスク保持部材の概略構成を示す平面図であり、（ｂ）は、（ａ）に示すマスクユニットにおける蒸着マスクの概略構成を示す平面図である。 （ａ）〜（ｃ）は、実施の形態６にかかるマスクユニットの概略構成を示す図である。 図１０の（ａ）に示すマスクユニットにおける他の蒸着マスクの概略構成を示す平面図である。 実施の形態６にかかるマスクユニットにおける他の蒸着マスク保持部材の概略構成を示す平面図である。 従来の蒸着マスクの撓みによる問題点を示す断面図である。 従来の蒸着マスクおよび蒸着マスク保持部材を備えたマスクユニットの概略構成を示す平面図である。

以下、本発明の実施の形態について、詳細に説明する。

〔実施の形態１〕
本発明の実施の一形態について図１の（ａ）・（ｂ）〜図５に基づいて説明すれば以下の通りである。

本実施の形態にかかるマスクユニットは、被成膜基板（被成膜対象物）よりもサイズが小さい蒸着マスクを使用し、被成膜基板と、マスクユニットおよび蒸着源とを相対的に移動させて走査しながら蒸着を行う、スキャニング（scanning）方式を用いた蒸着（スキャン蒸着）に使用されるマスクユニットである。

なお、以下では、走査方向および走査方向に平行な方向（第１の方向）をＹ方向（Ｙ軸方向）とし、走査方向に垂直な方向（第２の方向）をＸ方向（Ｘ軸方向）として説明する。

＜マスクユニット１の全体構成＞
図１の（ａ）〜（ｄ）は、本実施の形態にかかるマスクユニットの概略構成を示す図である。なお、図１の（ａ）は、本実施の形態にかかるマスクユニットの概略構成を示す平面図であり、図１の（ｂ）は、図１の（ａ）に示すマスクユニットのＩ−Ｉ線矢視断面図であり、図１の（ｃ）は、図１の（ａ）に示すマスクユニットにおける蒸着マスク保持部材の概略構成を示す平面図であり、図１の（ｄ）は、図１の（ａ）に示すマスクユニットにおける蒸着マスクの概略構成を示す平面図である。

本実施の形態にかかるマスクユニット１は、図１の（ａ）〜（ｄ）に示すように、シャ
ドウマスクと称される蒸着マスク１０と、蒸着マスク１０を保持する、マスクフレームあるいはマスクホルダと称される蒸着マスク保持部材２０とを備えている。

＜蒸着マスク保持部材２０＞
本実施の形態にかかる蒸着マスク保持部材２０は、図１の（ａ）〜（ｃ）および図３に示すように、中央が開口されたフレーム形状を有している。

蒸着マスク保持部材２０は、フレーム部２１と、梁部２２と、梁部２２で隔てられた開口部Ｈ１・Ｈ２からなる開口部Ｈ（開口領域）とを備えている。

フレーム部２１は、平面視で矩形状のフレーム部材からなり、蒸着マスク１０を、該蒸着マスク１０の外縁部で保持するようになっている。

フレーム部２１は、図１の（ａ）に示すように、蒸着マスク１０の開口部Ｓ群からなる開口領域１１（図１の（ｄ）参照）を取り囲むように形成されており、蒸着マスク１０の開口部Ｓは、フレーム部２１で囲まれた開口部Ｈ内に位置している。

フレーム部２１で囲まれた開口部Ｈ内には、図１の（ｂ）に示すように、フレーム部２１と同じ厚みを有する板状の梁部２２が、その上面２２ａがフレーム部２１における蒸着マスク１０との接触面２１ａと面一になるように形成されている。

これにより、梁部２２は、その上面２２ａが蒸着マスク１０の下面１０ｃと接触しており、蒸着マスク保持部材２０は、フレーム部２１および梁部２２によって蒸着マスク１０を支持している。

また、梁部２２は、図１の（ａ）に示すように、フレーム部２１で囲まれた開口部Ｈを斜めに２つに分断するように、フレーム部２１の１つの対角線上に設けられている。なお、梁部２２は、平面視で、均一な幅を有している。

これにより、フレーム部２１で囲まれた開口部Ｈは、梁部２２により、開口部Ｈ１と開口部Ｈ２とに分断されており、平面視で、Ｙ方向の開口部Ｈ１と開口部Ｈ２との合計の開口長さ（つまり、平面視で、Ｙ方向において同一直線上に位置する開口部Ｈ１と開口部Ｈ２との合計の開口長さ）が、Ｘ方向の何れの地点でも等しくなっている。

＜蒸着マスク１０＞
蒸着マスク１０には、被成膜基板における、目的とする蒸着領域以外の領域に蒸着粒子が付着しないように、上記蒸着領域の一部のパターンに対応して、蒸着時に蒸着粒子を通過させるための複数の開口部Ｓ（貫通口）が設けられている。

蒸着粒子として、蒸着源から出射された蒸着材料は、蒸着マスク保持部材２０における開口部Ｈ（開口部Ｈ１・Ｈ２）および蒸着マスク１０における開口部Ｓを通して被成膜基板に蒸着される。

これにより、開口部Ｓに対応する、被成膜基板の所定の位置にのみ、所定の成膜パターンを有する蒸着膜が成膜される。なお、上記蒸着材料が有機ＥＬ表示装置における発光層の材料である場合、有機ＥＬ蒸着プロセスにおける発光層の蒸着は、発光層の色毎に行われる。

図１の（ａ）・（ｄ）に示すように、蒸着マスク１０には、Ｙ方向に延設されたスリット状の開口部Ｓが、Ｘ方向に、ストライプ状に複数配列して設けられている。

梁部２２および開口部Ｓは、平面視で、Ｘ方向の何れの地点でも、開口部Ｈ１と重畳する開口部Ｓの開口長さと開口部Ｈ２と重畳する開口部Ｓの開口長さとの合計の開口長さが等しくなるように形成される。

本実施の形態では、図１の（ａ）・（ｄ）に示すように、各開口部Ｓは、梁部２２と重畳しない部分に形成されており、平面視で、梁部２２を避けるように、Ｙ方向に連続して、または、Ｙ方向に断続的に形成されている。

このため、本実施の形態では、蒸着マスク１０の開口部Ｓそのものが、平面視で、該開口部Ｓにおける、Ｘ方向の何れの地点でも、Ｙの方向における開口部Ｓの合計の開口長さが等しくなるように形成されている。

例えば、図１の（ａ）に示すように、蒸着マスク１０に、Ｘ方向にＮ個（Ｎは３以上の整数）の開口部Ｓが形成されている場合、図１の（ａ）において最も左側の開口部を開口部Ｓ１とし、最も右側の開口部Ｓを開口部ＳＮとし、その間の任意の開口部Ｓを開口部ＳＭ（Ｍは１＜Ｍ＜Ｎの整数）とし、開口部Ｈ１と重畳する開口部Ｓ１の開口長をｄ１とし、開口部Ｈ１と重畳する開口部ＳＭの開口長をｄ２とし、開口部Ｈ２と重畳する開口部ＳＭの開口長をｄ３とし、開口部Ｈ２と重畳する開口部ＳＮの開口長をｄ４とすると、ｄ１＝ｄ２＋ｄ３＝ｄ４となるように、各開口部Ｓが形成されている。

なお、上記蒸着マスク１０および蒸着マスク保持部材２０の材料としては、例えば、ステンレス鋼等、それぞれ、耐熱性を有する従来と同様の材料を使用することができる。

また、蒸着マスク保持部材２０への蒸着マスク１０の固定は、溶接、接着、ビス留め等、公知の各種固定方法を用いることができる。

また、蒸着マスク１０および蒸着マスク保持部材２０における少なくとも一方には、被成膜基板の走査方向（基板走査方向）となる方向に沿って、被成膜基板と蒸着マスク１０との位置合わせ（アライメント）を行うための図示しないアライメントマーカが設けられている。

一方、被成膜基板にも、蒸着領域の外側に、被成膜基板の走査方向に沿って、被成膜基板と蒸着マスク１０との位置合わせを行うためのアライメントマーカが設けられる。

本実施の形態では、Ｙ方向が走査方向となるように蒸着装置にマスクユニット１を配置して被成膜基板とマスクユニット１および蒸着源とを相対的に移動させることで、平面視で、走査方向に垂直な何れの地点でも、走査方向における、開口部Ｈ１と重畳する開口部Ｓの開口長さと開口部Ｈ２と重畳する開口部Ｓの開口長さとの合計の開口長さを等しくすることができ、梁部２２がある領域にも、梁部２２がない領域と同様の蒸着を行うことができる。

次に、図２および図３を参照して、上記マスクユニット１を用いた蒸着装置の一例について説明する。

＜蒸着装置の全体構成＞
図２は、本実施の形態にかかる蒸着装置における要部の概略構成を模式的に示す断面図である。なお、図２は、本実施の形態にかかる蒸着装置を、走査方向に平行に切断したときの断面を示している。

また、図３は、本実施の形態にかかる蒸着装置における真空チャンバ内の主要構成要素を斜め上方から見たときの関係を示す俯瞰図である。

図２に示すように、本実施の形態にかかる蒸着装置５０は、真空チャンバ５１（成膜チャンバ）、被成膜基板２００を保持する基板保持部材としての基板ホルダ５２、被成膜基板２００を移動させる基板移動機構５３（移動機構）、蒸着ユニット５４、蒸着ユニット５４を移動させる蒸着ユニット移動機構５５（移動手段）、イメージセンサ等の図示しないアライメント観測手段、および、図示しない制御回路等を備えている。

また、蒸着ユニット５４は、上記マスクユニット１、蒸着源７０、マスクユニット固定部材８０、および図示しないシャッタを備えている。

そのうち、基板ホルダ５２、基板移動機構５３、蒸着ユニット５４、蒸着ユニット移動機構５５は、真空チャンバ５１内に設けられている。

なお、真空チャンバ５１には、蒸着時に該真空チャンバ５１内を真空状態に保つために、該真空チャンバ５１に設けられた図示しない排気口を介して真空チャンバ５１内を真空排気する図示しない真空ポンプが設けられている。

＜基板ホルダ５２＞
基板ホルダ５２は、ＴＦＴ基板等からなる被成膜基板２００を、その被成膜面２０１（蒸着面）が蒸着ユニット５４における蒸着マスク１０に面するように保持する。

被成膜基板２００と蒸着マスク１０とは、一定距離離間して対向配置されており、被成膜基板２００と蒸着マスク１０との間には、一定の高さの空隙が設けられている。

基板ホルダ５２には、例えば静電チャック等が使用されることが好ましい。被成膜基板２００が基板ホルダ５２に静電チャック等の手法で固定されていることで、被成膜基板２００は、自重による撓みがない状態で基板ホルダ５２に保持される。

＜基板移動機構５３および蒸着ユニット移動機構５５＞
本実施の形態では、基板移動機構５３および蒸着ユニット移動機構５５の少なくとも一方により、図２および図３に示すように、被成膜基板２００と、蒸着ユニット５４（マスクユニット１および蒸着源７０）とを、Ｙ方向が走査方向となるように相対的に移動させてスキャン蒸着を行う。

基板移動機構５３は、図示しないモータを備え、図示しないモータ駆動制御部によってモータを駆動させることで、基板ホルダ５２に保持された被成膜基板２００を移動させる。

また、蒸着ユニット移動機構５５は、図示しないモータを備え、図示しないモータ駆動制御部によってモータを駆動させることで、蒸着マスク１０と蒸着源７０との相対的な位置を保ったまま、蒸着ユニット５４を被成膜基板２００に対して相対移動させる。

また、これら基板移動機構５３および蒸着ユニット移動機構５５は、図示しないモータを駆動させて、図示しないアライメントマーカにより、蒸着マスク１０と被成膜基板２００との位置ズレが解消されるように位置補正を行う。

これら基板移動機構５３および蒸着ユニット移動機構５５は、例えば、ローラ式の移動機構であってもよく、油圧式の移動機構であってもよい。

これら基板移動機構５３および蒸着ユニット移動機構５５は、例えば、ステッピングモータ（パルスモータ）等のモータ（ＸＹθ駆動モータ）、コロ、およびギヤ等で構成される駆動部と、モータ駆動制御部等の駆動制御部とを備え、駆動制御部により駆動部を駆動させることで、被成膜基板２００または蒸着ユニット５４を移動させるものであってもよい。また、これら基板移動機構５３および蒸着ユニット移動機構５５は、ＸＹＺステージ等からなる駆動部を備え、Ｘ方向、Ｙ方向、Ｚ方向（Ｚ軸方向）の何れの方向にも移動自在に設けられていてもよい。

但し、被成膜基板２００および蒸着ユニット５４は、その少なくとも一方が相対移動可能に設けられていればよい。言い換えれば、基板移動機構５３および蒸着ユニット移動機構５５は、少なくとも一方が設けられていればよい。

例えば被成膜基板２００が移動可能に設けられている場合、蒸着ユニット５４は、真空チャンバ５１の内壁に固定されていてもよい。逆に、蒸着ユニット移動機構５５が移動可能に設けられている場合、基板ホルダ５２は、真空チャンバ５１の内壁に固定されていても構わない。

＜蒸着源７０＞
蒸着源７０は、例えば、内部に蒸着材料を収容する容器である。蒸着源７０は、容器内部に蒸着材料を直接収容する容器であってもよく、ロードロック式の配管を有し、外部から蒸着材料が供給されるように形成されていてもよい。

蒸着源７０は、図３に示すように、例えば矩形状に形成されている。蒸着源７０における蒸着マスク１０との対向面には、蒸着材料を蒸着粒子として射出（飛散）させる射出口７１が、例えば複数設けられている。

上記蒸着ユニット５４において、蒸着マスク１０と蒸着源７０とは、相対的に位置が固定されている。すなわち、蒸着マスク１０と蒸着源７０の射出口７１の形成面との間の空隙ｇ１は、常に一定に保たれている。

射出口７１は、図３に示すように、蒸着マスク１０の開口部Ｓの並設方向に沿って並設されている。

但し、射出口７１のピッチと開口部Ｓのピッチとは一致していなくてもよい。また、射出口７１の大きさは、開口部Ｓの大きさと一致していなくてもよい。

例えば、図３に示すように蒸着マスク１０にストライプ状の開口部Ｓが設けられている場合、射出口７１の開口径は、開口部Ｓの短辺の幅よりも大きくても小さくても構わない。

また、一つの開口部Ｓに対して複数の射出口７１が設けられていてもよく、複数の開口部Ｓに対して一つの射出口７１が設けられていてもよい。また、複数の射出口７１のうち一部（少なくとも一つ）の射出口７１、あるいは、射出口７１の一部の領域が、蒸着マスク１０における非開口部（例えば隣り合う開口部Ｓ間）に対向して設けられていても構わない。

但し、蒸着マスク１０の非開口部に蒸着粒子が付着する量を低減し、材料利用効率をできるだけ向上する観点からは、各射出口７１の少なくとも一部が、一つまたは複数の開口部Ｓに重畳するように、各射出口７１が各開口部Ｓに対向して設けられていることが好ましい。

さらには、各射出口７１が、平面視で何れかの開口部Ｓ内に位置するように射出口７１と開口部Ｓとが対向して設けられていることがより好ましい。

また、材料利用効率の向上の観点からは、開口部Ｓと射出口７１とが１対１に対応していることが望ましい。

＜シャッタの構成＞
蒸着マスク１０と蒸着源７０との間には、蒸着粒子の蒸着マスク１０への到達を制御するために、必要に応じて、前記した図示しないシャッタが、蒸着ＯＦＦ（オフ）信号もしくは蒸着ＯＮ（オン）信号に基づいて進退可能（挿抜可能）に設けられていてもよい。

上記シャッタは、蒸着マスク１０と蒸着源７０との間に挿入されることで蒸着マスク１０の開口部Ｓを閉鎖する。このように、蒸着マスク１０と蒸着源７０との間にシャッタを適宜差し挟むことで、蒸着を行わない非蒸着領域への蒸着を防止することができる。

なお、上記シャッタは、蒸着源７０と一体的に設けられていてもよく、蒸着源７０とは別に設けられていても構わない。

また、上記蒸着装置５０において、蒸着源７０から飛散した蒸着粒子は蒸着マスク１０内に飛散するように調整されており、蒸着マスク１０外に飛散する蒸着粒子は、防着板（遮蔽板）等で適宜除去される構成としてもよい。

＜マスクユニット固定部材８０＞
マスクユニット固定部材８０は、マスクユニット１を載置して保持・固定する載置台である。

図２に示すように、マスクユニット１は、マスクユニット固定部材８０によって保持・固定されており、該マスクユニット１の下方には、蒸着源７０が配置されている。

なお、マスクユニット固定部材８０の形状は特に限定されるものではなく、マスクユニット１を蒸着源７０から一定距離離間して保持、固定することができさえすればよい。

マスクユニット１と蒸着源７０とは、例えばマスクユニット固定部材８０によって一体的に保持されており、マスクユニット１における蒸着マスク１０と蒸着源７０とは、相対的に位置が固定されている。

すなわち、蒸着マスク１０と蒸着源７０における射出口７１の形成面との間の空隙の高さ（垂直距離）は一定に保たれているとともに、蒸着マスク１０の開口部Ｓと蒸着源７０の射出口７１との相対位置も一定に保たれている。

但し、蒸着ユニット５４を固定し、蒸着ユニット５４に対して被成膜基板２００を相対移動させる場合には、マスクユニット１と蒸着源７０とは、相対的に位置が固定されていれば、必ずしも上述したように一体化されている必要はない。

例えば、蒸着源７０と、マスクユニット固定部材８０とが、それぞれ真空チャンバ５１の内壁に固定されることで、マスクユニット１と蒸着源７０との相対的な位置、すなわち、蒸着マスク１０と蒸着源７０との相対的な位置とが固定されていてもよい。

また、例えば、真空チャンバ２の内壁に隣接して防着板兼真空チャンバ内構成物保持手段として棚段を有するホルダを設け、該ホルダの棚段に、マスクユニット１が載置されていてもよい。すなわち、上記ホルダの棚段が、マスクユニット固定部材８０として用いられてもよい。

蒸着マスク１０と蒸着源７０とは、これら蒸着マスク１０と蒸着源７０との間に一定の高さの空隙ｇ１を有するように、互いに一定距離離間して対向配置される。

なお、上記空隙ｇ１は、任意に設定することができ、特に限定されるものではない。しかしながら、蒸着材料の利用効率を高めるためには、上記空隙ｇ１はできるだけ小さいことが望ましく、例えばＨｍｍ程度に設定される。

また、蒸着マスク１０と被成膜基板２００とは、これら蒸着マスク１０と被成膜基板２００との間に一定の高さの空隙ｇ２を有するように、互いに一定距離離間して対向配置されている。

蒸着マスク１０と被成膜基板２００との間の空隙の高さ（垂直距離）は、５０μｍ以上、１ｍｍ以下の範囲内であることが好ましく、より好ましくは２００〜５００μｍ程度である。

上記空隙ｇ２の高さが５０μｍ未満の場合、被成膜基板２００が蒸着マスク１０に接触するおそれが高くなる。

一方、上記空隙ｇ２の高さが１ｍｍを越えると、蒸着マスク１０の開口部Ｓを通過した蒸着粒子が広がって、形成される蒸着膜のパターン幅が広くなり過ぎる。例えば上記蒸着膜が、有機ＥＬ表示装置に用いられる赤色の発光層である場合、上記空隙が１ｍｍを越えると、隣接サブ画素である緑色あるいは青色等のサブ画素にも赤色の発光材料が蒸着されてしまうおそれがある。

また、上記空隙ｇ２の高さが２００〜５００μｍ程度μｍ程度であれば、被成膜基板２００が蒸着マスク１０に接触するおそれもなく、また、蒸着膜のパターン幅の広がりも十分に小さくすることができる。

＜効果＞
本実施の形態によれば、上述したように、フレーム部２１に梁部２２が設けられていることで、剛性の高い、太い（重い）フレーム部を使用しなくても、フレーム部２１の歪み等の変形を抑制することができる。また、上記梁部２２が、フレーム部２１で囲まれた開口部Ｈ内に、蒸着マスク１０に接触するように形成されていることで、蒸着マスク１０の自重撓み等の撓みを抑制することができる。

また、本実施の形態では、上記梁部２２が、撓みが発生し易い蒸着マスク１０の中央部付近を横断するように形成されていることで、蒸着マスク１０の撓みを、直接的に抑制することができる。

このように、本実施の形態によれば、スキャン蒸着を行うに際し、マスクユニット１のフレーム構造を最適な梁（桟）構造とすることで、撓みのない蒸着マスク１０を実現することができる。

なお、被成膜基板とほぼ同じ大きさの蒸着マスクを使用して蒸着を行う、スキャン蒸着方式ではない従来の蒸着法では、マスクフレームに梁構造を設けると、梁のある領域が蒸着されなくなるため、梁構造を設けることができない。

また、スキャン蒸着法式を用いた場合でも、図４に示すように、フレーム部２１に格子状に梁部２２を設けると、被成膜基板において、蒸着マスク保持部材２０における走査方向に平行な梁部２２が設けられた領域Ｒに重畳する領域では、蒸着粒子が蒸着マスク１０を通過せず、蒸着粒子が蒸着されなくなる。このため、被成膜基板における被成膜領域（蒸着領域）にこのような梁構造を設けることはできない。

しかしながら、本実施の形態では、上述したように、梁部２２を、開口部Ｓの配列方向であるＸ方向を横切るように形成し、該Ｘ方向に垂直なＹ方向を走査方向としてスキャン蒸着を行うことで、梁部２２が、走査方向と平行とならない。

このように、本実施の形態によれば、梁部２２が、走査方向となるＹ方向を横切るように斜めに設けられており、上記Ｙ方向に沿って上記フレーム部２１に架け渡されていない。

つまり、本実施の形態にかかるマスクユニット１は、フレーム部２１で囲まれた領域内の端から端に渡ってＹ方向に平行に設けられた梁部を有していない。

このため、梁部２２がある領域にも、梁部２２がない領域と同様の蒸着を行うことが可能になる。これにより、蒸着マスク１０の撓みに起因する蒸着位置ズレがない蒸着を行うことができる。

また、本実施の形態によれば、上述したように、平面視で、Ｘ方向の何れの地点でも、開口部Ｈ１と重畳する開口部Ｓの開口長さと開口部Ｈ２と重畳する開口部Ｓの開口長さとの合計の開口長さが等しいことで、各開口部Ｓ、つまり、Ｘ方向に隣り合う開口部Ｓ間で、蒸着量にばらつきが発生せず、梁部２２のある表示領域にも均一に蒸着を行うことができる。したがって、本実施の形態によれば、上記梁部２２が蒸着の支障となることはなく、上記梁部２２によって、蒸着マスク１０の撓みによる蒸着位置ズレを抑制することができる一方で、均一な蒸着を行うことが可能となる。これにより、例えば、混色のない有機ＥＬ表示装置を実現することができる。

また、前述したように、従来は、溶接した蒸着マスクが撓まないように、蒸着マスクを、予め十分に架張した状態で、蒸着マスク保持部材に溶接しており、架張溶接された蒸着マスクによって引っ張られたフレームが変形し易いことから、剛性の高い、太い（重い）フレームでフレーム部を形成する必要があった。

しかしながら、本実施の形態では、上述したように、撓みが発生し易い蒸着マスク１０の中央付近を横断するように梁部２２を形成して、直接的に蒸着マスク１０の撓みを抑制していることで、従来よりも、蒸着マスク１０を架張する張力を低減させることができる。特に、本実施の形態では、梁部２２を、フレーム部２１の対角線上に形成していることから、上記梁部２２が、筋かいとして機能する。

このため、剛性の高い、太い（重い）フレーム部を必要とせず、従来よりもフレーム部２１を薄型化して軽量化することができる。このため、梁部２２を形成したとしても、従来よりも蒸着マスク保持部材２０を軽量化することができる。

一例として、本実施の形態では、フレーム部２１の外形を、Ｘ方向の長さ７５０ｍｍ×Ｙ方向の長さ３６５ｍｍとし、フレーム部２１を、平面視での幅が３０ｍｍ、厚みが２０ｍｍの枠体とした。また、梁部２２には、平面視での幅が５ｍｍ、厚みが２０ｍｍの板状部材を使用した。

また、開口部Ｈ１のＹ方向の距離（開口長）は、３００ｍｍ〜０ｍｍになるように設計した。つまり、図１の（ｂ）中、開口部Ｈ１は、最も左側の端の部分の開口長を３００ｍｍとし、最も右側の端の部分の開口長を０ｍｍとして、右側に向かうに従って開口長が小さくなるように設計した。

一方、開口部Ｈ２のＹ方向の距離（開口長）は、０ｍｍ〜３００ｍｍになるように設計した。つまり、図１の（ｂ）中、開口部Ｈ２は、最も左側の端の部分の開口長を０ｍｍとし、最も右側の端の部分の開口長を３００ｍｍとして、右側に向かうに従って開口長が大きくなるように設計した。

但し、これらの値は、何れも一例であり、上記の値にのみ限定されるものではなく、任意に設計が可能である。

＜変形例＞
（梁部２２の厚み）
図５は、本実施の形態にかかる他のマスクユニット１の概略構成を示す断面図である。

図１の（ｂ）では、フレーム部２１で囲まれた開口部Ｈ内に、フレーム部２１と同じ厚みを有する板状の梁部２２が形成されている場合を例に挙げて図示した。

これに対し、図５に示すマスクユニット１は、梁部２２の厚みが、フレーム部２１よりも薄く形成されている点で、図１の（ａ）・（ｂ）に示すマスクユニット１と異なっている。

なお、本実施の形態でも、梁部２２は、その上面２２ａがフレーム部２１における蒸着マスク１０との接触面２１ａと面一になるように形成されている。

上述したように、本実施の形態によれば、剛性の高い、太い（重い）フレーム部を必要としない。

このため、図５に示すように、梁部２２を、外周のフレーム部２１よりも薄く形成することで、図１の（ａ）・（ｂ）に示すマスクユニット１よりもさらに軽量化することができる。

（開口形状）
なお、図１の（ａ）・（ｄ）および図３では、蒸着マスク１０に、Ｙ方向に延設されたスリット状の開口部Ｓが、Ｘ方向に、ストライプ状に複数配列して設けられている場合を例に挙げて示している。

しかしながら、上記開口部Ｓの形状は任意であり、例えば、スロット状の開口部をＸ方向に複数並べたものであってもよく、そのようなスロット状の開口部をＸ方向およびＹ方向に千鳥状に並べたものであってもよい。

また、上記蒸着マスク１０は、例えば画素毎に開口部Ｓが形成されたファインマスクであってもよく、被成膜基板２００におけるＸ方向の表示領域の大きさに対応する領域全体が開口したオープンマスクであってもよい。

但し、上記マスクユニット１は、蒸着マスク１０における撓みが発生し易い領域、特に、撓みが最も発生し易い蒸着マスク１０の中央部にマスク部（つまり、隣り合う開口部Ｓ間の非開口領域）が存在する蒸着マスク１０を用いた場合に特に大きな効果を発揮することは、言うまでもない。

何れの場合にも、本実施の形態では、蒸着マスク１０と蒸着マスク保持部材２０とを組み合わせた場合、つまり、マスクユニット１として使用する場合に、平面視で、蒸着マスク１０の開口部Ｓにおける、Ｘ方向の何れの地点でも、Ｙ方向における、梁部２２と重畳していない（つまり、梁部２２で覆われていない）開口部Ｓの合計の開口長さが等しくなるように、開口部Ｈにおける梁部２２および開口部Ｓが形成されていればよい。

すなわち、本実施の形態にかかるマスクユニット１は、平面視で、走査方向に垂直な方向となるＸ方向の何れの地点でも、開口部Ｈ１と重畳する開口部Ｓの開口長さと開口部Ｈ２と重畳する開口部Ｓの開口長さとの合計の開口長さが等しくなるように、開口部Ｈにおける梁部２２および開口部Ｓが形成されており、平面視で、開口部Ｈの走査方向に垂直なＸ方向で、開口部Ｈの走査方向となるＹ方向に対する実質的な開口長さの合計が何れも等しければよい。

（蒸着マスクの大きさ）
また、マスクユニット１は、該マスクユニット１を小型化するために、図１の（ａ）および図３に示すように、蒸着マスク１０の短手方向（短辺方向）が走査方向となるように設計・設置される。

本実施の形態では、図３に示すように、蒸着マスク１０の長辺１０ａの幅が、該長辺１０ａに平行な被成膜基板２００の短辺２００ｂの幅よりも長く、蒸着マスク１０の短辺１０ｂの幅が、該短辺１０ｂに平行な被成膜基板２００の長辺２００ａの幅よりも短い矩形状の蒸着マスク１０を使用した。

但し、蒸着マスク１０に対する被成膜基板２００の長辺２００ａの向きはこれに限定されるものではなく、被成膜基板２００の大きさによっては、蒸着マスク１０の長辺１０ａに被成膜基板２００の長辺２００ａが平行となるように蒸着マスク１０と被成膜基板２００とを配置してもよいことは言うまでもない。

また、本実施の形態では、平面視で矩形状の蒸着マスク１０および蒸着マスク保持部材２０として、平面視が長方形状の蒸着マスク１０および蒸着マスク保持部材２０を使用したが、上記蒸着マスク１０および蒸着マスク保持部材２０としては、平面視で、正方形状の蒸着マスク１０および蒸着マスク保持部材２０を使用してもよいことも、言うまでもない。

（フレーム部の大きさ）
また、図１の（ａ）・（ｂ）では、蒸着マスク１０が矩形状であり、蒸着マスク保持部材２０のフレーム部２１が、平面視で、蒸着マスク１０よりも一回り大きい矩形状に形成されている場合を例に挙げて図示した。

しかしながら、フレーム部２１は、平面視で、蒸着マスク１０と同じ大きさを有していてもよい。また、蒸着マスク１０の開口領域１１の外周部分がフレーム部２１よりも大きく形成されており、蒸着マスク１０は、フレーム部２１に巻き付けるように固定されていても構わない。

〔実施の形態２〕
本実施の形態について図６の（ａ）〜（ｄ）に基づいて説明すれば、以下の通りである。

なお、本実施の形態では、主に、実施の形態１との相違点について説明するものとし、実施の形態１で用いた構成要素と同一の機能を有する構成要素には同一の番号を付し、その説明を省略する。

図６の（ａ）〜（ｄ）は、本実施の形態にかかるマスクユニット１の概略構成を示す図である。なお、図６の（ａ）は、本実施の形態にかかるマスクユニット１の概略構成を示す平面図であり、図６の（ｂ）は、図６の（ａ）に示すマスクユニット１のII−II線矢視断面図であり、図６の（ｃ）は、図６の（ａ）に示すマスクユニット１における蒸着マスク保持部材２０の概略構成を示す平面図であり、図６の（ｄ）は、図６の（ａ）に示すマスクユニット１における蒸着マスク１０の概略構成を示す平面図である。

本実施の形態にかかるマスクユニット１は、蒸着マスク保持部材２０における梁部２２の平面形状（言い換えれば、開口部Ｈの開口形状）と、蒸着マスク１０における開口部Ｓの開口形状とを変更したことを除けば、実施の形態１にかかるマスクユニット１と同様の構成を有している。

＜蒸着マスク保持部材２０＞
本実施の形態にかかる蒸着マスク保持部材２０は、図６の（ａ）・（ｃ）に示すように、梁部２２が、矩形状のフレーム部２１の各対角線上にそれぞれ設けられている。これにより、本実施の形態では、フレーム部２１で囲まれた開口部Ｈが、Ｙ方向に対し斜めに交差した梁部２２により、４つの開口部Ｈ１１〜Ｈ１４に分断されている。

なお、本実施の形態でも、図６の（ｂ）に示すように、梁部２２は、実施の形態１と同じくフレーム部２１と同じ厚みを有し、その上面２２ａがフレーム部２１における蒸着マスク１０との接触面２１ａと面一になるように形成されている。これにより、本実施の形態にかかる蒸着マスク保持部材２０は、フレーム部２１と、Ｙ方向に対し斜めに交差した梁部２２とで蒸着マスク１０を支持している。

また、本実施の形態では、図６の（ａ）・（ｃ）に示すように、平面視で、梁部２２の交差部（梁部交差領域２２ｂ）およびその近傍における梁部２２のＹ方向の幅が、その他の領域における梁部２２のＹ方向の幅の２倍の幅に形成されている。

これにより、平面視で、梁部２２によって分断された開口部Ｈ１１〜Ｈ１４のＹ方向の合計の開口長さ（つまり、開口部Ｈ１１〜Ｈ１４のうち、平面視で、Ｙ方向において同一直線上に位置する開口部の合計の開口長さ）が、Ｘ方向の何れの地点でも等しくなっている。

＜蒸着マスク１０＞
図６の（ａ）・（ｄ）では、蒸着マスク１０に、Ｙ方向に延設されたスリット状の開口部Ｓが、Ｘ方向に、ストライプ状に複数配列して設けられている場合を例に挙げて図示している。なお、上記開口形状が一例であり、これに限定されないことは、実施の形態１で説明した通りである。

本実施の形態でも、図６の（ａ）・（ｄ）に示すように、各開口部Ｓは、梁部２２と重畳しない部分に形成されており、平面視で、梁部２２を避けるように、Ｙ方向に連続して、または、Ｙ方向に断続的に形成されている。

このため、本実施の形態でも、蒸着マスク１０の開口部Ｓそのものが、平面視で、該開口部Ｓにおける、Ｘ方向の何れの地点でも、Ｙ方向における開口部Ｓの合計の開口長さが等しくなるように形成されており、開口部Ｈ１１〜Ｈ１４のうち、Ｙ方向において同一直線上に位置する開口部と重畳する開口部Ｓの開口長さが、Ｘ方向の何れの地点でも等しくなっている。

＜効果＞
このため、本実施の形態でも、実施の形態１同様、Ｙ方向が走査方向となるように蒸着装置５０にマスクユニット１を配置して被成膜基板２００とマスクユニット１および蒸着源７０とを相対的に移動させることで、平面視で、走査方向に垂直な何れの地点でも、走査方向における、開口部Ｈ１１〜Ｈ１４と重畳する開口部Ｓの合計の開口長さを等しくすることができ、梁部２２がある領域にも、梁部２２がない領域と同様の蒸着を行うことができる。

これにより、蒸着マスク１０の撓みに起因する蒸着位置ズレがない蒸着を行うことができるとともに、各開口部Ｓ、つまり、Ｘ方向に隣り合う開口部Ｓ間で、蒸着量にばらつきが発生せず、梁部２２のある表示領域にも均一に蒸着を行うことができる。これにより、例えば、混色のない有機ＥＬ表示装置を実現することができる。

また、本実施の形態でも、上述したように、フレーム部２１に梁部２２が設けられていることで、フレーム部２１の歪み等の変形を抑制することができるとともに、上記梁部２２が、フレーム部２１で囲まれた開口部Ｈ内に、蒸着マスク１０に接触するように形成されていることで、蒸着マスク１０の自重撓み等の撓みを抑制することができる。

また、本実施の形態でも、上記梁部２２が、撓みが発生し易い蒸着マスク１０の中央部付近を横断するように形成されていることで、蒸着マスク１０の撓みを、直接的に抑制することができる。

しかも、本実施の形態によれば、上記梁部２２が、交差して設けられており、分岐部を有していることで、実施の形態１よりも高い、蒸着マスク１０の撓みの抑制効果を得ることができる。

このため、本実施の形態でも、従来よりも、蒸着マスク１０を架張する張力を低減させることができる。このため、剛性の高い、太い（重い）フレーム部を必要とせず、従来よりもフレーム部２１を薄型化して軽量化することができる。このため、梁部２２を形成したとしても、従来よりも蒸着マスク保持部材２０を軽量化することができる。

なお、図６の（ｂ）では、フレーム部２１で囲まれた開口部Ｈ内に、フレーム部２１と同じ厚みを有する板状の梁部２２が形成されている場合を例に挙げて図示した。

しかしながら、本実施の形態でも、図５に示したように、梁部２２の厚みが、フレーム部２１よりも薄く形成されていてもよい。

その他、本実施の形態でも、実施の形態１と同様の変形を行うことができることは、言うまでもない。

＜変形例＞
なお、本実施の形態では、平面視で、梁部交差領域２２ｂおよびその近傍における梁部２２のＹ方向の幅が、その他の領域における梁部２２のＹ方向の幅の２倍の幅に形成されている場合を例に挙げて図示したが、開口部Ｓの開口パターン（形状およびピッチ等）によっては、平面視で、梁部交差領域２２ｂにおいてのみ、該梁部交差領域２２ｂにおける梁部２２のＹ方向の幅（言い換えれば、梁部交差領域２２ｂのＹ方向の幅）が、梁部交差領域２２ｂ以外の梁部２２のＹ方向の幅の２倍の幅に形成されていてもよい。

〔実施の形態３〕
本実施の形態について図７の（ａ）・（ｂ）に基づいて説明すれば、以下の通りである。

なお、本実施の形態では、主に、実施の形態２との相違点について説明するものとし、実施の形態１で用いた構成要素と同一の機能を有する構成要素には同一の番号を付し、その説明を省略する。

図７の（ａ）は、本実施の形態にかかるマスクユニット１における蒸着マスク保持部材２０の概略構成を示す平面図であり、図７の（ｂ）は、図７の（ａ）に示すマスクユニット１における蒸着マスク１０の概略構成を示す平面図である。

本実施の形態にかかるマスクユニット１は、蒸着マスク保持部材２０における梁部２２の平面形状（言い換えれば、開口部Ｈの開口形状）と、蒸着マスク１０における開口部Ｓの開口形状とを変更したことを除けば、実施の形態２にかかるマスクユニット１と同様の構成を有している。したがって、以下では、上記形状についてのみ説明する。

＜蒸着マスク保持部材２０＞
本実施の形態にかかる蒸着マスク保持部材２０は、図７の（ａ）に示すように、梁部２２が、矩形状のフレーム部２１の各対角線上にそれぞれ設けられている。これにより、本実施の形態では、フレーム部２１で囲まれた開口部Ｈが、Ｙ方向に対し斜めに交差した梁部２２により、４つの開口部Ｈ２１〜Ｈ２４に分断されている。

本実施の形態では、平面視で、梁部２２が、何れも均一な幅を有している。このため、本実施の形態では、フレーム部２１で囲まれた開口部Ｈ内の梁部２２が交差する梁部交差領域２２ｂ以外の部分では梁部２２が分岐していることで、梁部交差領域２２ｂでは、該開口部Ｈ内の他の領域よりも、Ｙ方向の開口長さの合計が長くなっている。

＜蒸着マスク１０＞
本実施の形態では、上述したように、梁部交差領域２２ｂで、開口部Ｈ内の他の領域よりも、Ｙ方向の開口長さの合計が長くなっていることから、平面視で、開口部Ｈと重畳する開口部ＳのＹ方向の開口長さが、Ｘ方向に配列された何れの開口部Ｓでも等しくなるように、Ｘ方向において、Ｙ方向に梁部交差領域２２ｂが設けられている部分では、開口部Ｈ内の他の領域よりも蒸着マスク１０におけるＹ方向の開口長さを短くしている。

すなわち、Ｘ方向に隣り合う開口部Ｓ間での蒸着量のばらつきを防止するためには、平面視で、開口部Ｈの走査方向に垂直なＸ方向で、開口部Ｈの走査方向となるＹ方向に対する実質的な開口長さの合計が何れも等しければよい。

本実施の形態によれば、上述したように、蒸着マスク保持部材２０と蒸着マスク１０とを組み合わせてマスクユニット１としたときに、平面視で、開口部Ｈ２１〜Ｈ２４のうち、Ｙ方向において同一直線上に位置する開口部と重畳する開口部Ｓの開口長さが、Ｘ方向の何れの地点でも等しくなるように開口部Ｓが設計されていることで、実施の形態２と同様の効果を得ることができる。

＜変形例＞
なお、図７の（ａ）・（ｂ）では、梁部２２と開口部Ｓとが部分的に重畳する場合を例に挙げて図示したが、本実施の形態は、これに限定されるものではなく、例えば、図７の（ｂ）に示す開口部Ｓにおける梁部２２と重畳する領域が開口されていない（つまり、鍼部２２と重畳する領域には開口部Ｓが形成されていない）構成としてもよい。この場合にも、マスクユニット１としたときの平面視でのＹ方向の実質的な開口長さは、図７の（ｂ）に示す蒸着マスク１０を使用した場合と同じであり、上記と同じ効果を得ることができる。

〔実施の形態４〕
本実施の形態について図８の（ａ）・（ｂ）に基づいて説明すれば、以下の通りである。

なお、本実施の形態では、主に、実施の形態１〜３との相違点について説明するものとし、実施の形態１〜３で用いた構成要素と同一の機能を有する構成要素には同一の番号を付し、その説明を省略する。

図８の（ａ）は、本実施の形態にかかるマスクユニット１における蒸着マスク保持部材２０の概略構成を示す平面図であり、図８の（ｂ）は、図８の（ａ）に示すマスクユニット１における蒸着マスク１０の概略構成を示す平面図である。

本実施の形態にかかるマスクユニット１は、蒸着マスク保持部材２０における梁部２２の平面形状（言い換えれば、開口部Ｈの開口形状）と、蒸着マスク１０における開口部Ｓの開口形状とを変更したことを除けば、実施の形態１にかかるマスクユニット１と同様の構成を有している。したがって、以下では、上記形状についてのみ説明する。

なお、本実施の形態でも、図８の（ｂ）では、蒸着マスク１０に、Ｙ方向に延設されたスリット状の開口部Ｓが、Ｘ方向に、ストライプ状に複数配列して設けられている場合を例に挙げて図示しているが、本実施の形態でも、実施の形態１と同様の変形が可能であることは、言うまでもない。

＜蒸着マスク保持部材２０＞
本実施の形態にかかる蒸着マスク保持部材２０は、図８の（ａ）に示すように、梁部２２が、撓みが発生し易い蒸着マスク１０の中央部付近、特に、本実施の形態では、蒸着マスク１０のＹ方向の中央線（つまり、Ｘ方向に延びる中央線）を横断するように、ジグザグ状（図８の（ａ）では、一例としてＭ字状）に形成されている。なお、本実施の形態でも、梁部２２は、何れも均一な幅を有している。

これにより、本実施の形態では、フレーム部２１で囲まれた開口部Ｈが、上記梁部２２により、５つの開口部Ｈ３１〜Ｈ３５に分断されており、平面視で、上記梁部２２によって分断された開口部Ｈ３１〜Ｈ３５のＹ方向の合計の開口長さ（つまり、開口部Ｈ３１〜Ｈ３５のうち、平面視で、Ｙ方向において同一直線上に位置する開口部の合計の開口長さ）が、Ｘ方向の何れの地点でも等しくなっている。

＜蒸着マスク１０＞
本実施の形態でも、図８の（ｂ）に示すように、各開口部Ｓは、梁部２２と重畳しない部分に形成されており、平面視で、梁部２２を避けるように、Ｙ方向に連続して、または、Ｙ方向に断続的に形成されている。

このため、本実施の形態でも、蒸着マスク１０の開口部Ｓそのものが、平面視で、該開口部Ｓにおける、Ｘ方向の何れの地点でも、Ｙ方向における開口部Ｓの合計の開口長さが等しくなるように形成されており、開口部Ｈ３１〜Ｈ３５のうち、Ｙ方向において同一直線上に位置する開口部と重畳する開口部Ｓの開口長さが、Ｘ方向の何れの地点でも等しくなっている。

このため、本実施の形態でも、実施の形態１と同様の効果を得ることができる。

また、本実施の形態では、上述したように、梁部２２が、蒸着マスク１０のＹ方向の中央線を横断するようにジグザグ状に形成されていることで、蒸着マスク１０における、撓みが発生し易い上記中央線上の領域を、複数箇所に渡って直接支持している。このため、実施の形態１〜３よりも高い、蒸着マスク１０の撓みの抑制効果を得ることができる。

また、図１４に示したように、蒸着マスク保持部材は、架張溶接された蒸着マスクが、該蒸着マスクの中央に向かって強力に引っ張られることで、フレーム部の辺の部分、特に長辺部分で変形が生じ易い。

しかしながら、本実施の形態によれば、図８の（ａ）に示すように、梁部２２が、フレーム部２１、特に、変形が生じ易い、フレーム部２１の長辺間にジグザグ状に設けられていることで、フレーム部２１に取り付けられた蒸着マスク１０に引っ張られてフレーム部２１が中央に向かって引っ張られる力に対し、逆向きの付勢力を与えることができるので、架張溶接された蒸着マスク１０の引っ張り力によるフレーム部２１の歪を効果的に抑制することができる。

〔実施の形態５〕
本実施の形態について図９の（ａ）・（ｂ）に基づいて説明すれば、以下の通りである。

なお、本実施の形態では、主に、実施の形態１〜４との相違点について説明するものとし、実施の形態１〜４で用いた構成要素と同一の機能を有する構成要素には同一の番号を付し、その説明を省略する。

図９の（ａ）は、本実施の形態にかかるマスクユニット１における蒸着マスク保持部材２０の概略構成を示す平面図であり、図９の（ｂ）は、図９の（ａ）に示すマスクユニット１における蒸着マスク１０の概略構成を示す平面図である。

本実施の形態にかかるマスクユニット１は、蒸着マスク保持部材２０における梁部２２の平面形状（言い換えれば、開口部Ｈの開口形状）と、蒸着マスク１０における開口部Ｓの開口形状とを変更したことを除けば、実施の形態１にかかる図５に示すマスクユニット１と同様の構成を有している。したがって、以下では、上記形状についてのみ説明する。

＜蒸着マスク保持部材２０＞
本実施の形態にかかる蒸着マスク保持部材２０には、図９の（ａ）に示すように、平面視で、フレーム部２１で囲まれた領域内に、矩形状の小径の開口部ＨＡが千鳥状に複数形成されるように梁部２２が設けられている。

上記梁部２２は、千鳥状に形成された複数の開口部ＨＡと、Ｙ方向におけるフレーム部２１の縁部間に連なる非開口領域とを有する板状部材からなり、平面視で、フレーム部２１で囲まれた領域全体に渡って設けられている。

上記開口部ＨＡは、何れも同じ大きさを有し、Ｘ方向およびＹ方向ともに、フレーム部２１における一方の端から数えて奇数列目の開口部ＨＡ間に、偶数列目の開口部ＨＡが位置するとともに、開口部ＨＡ間の非開口領域が、Ｙ方向を横切る方向（すなわち、Ｘ方向もしくはＸ方向とＹ方向との間の斜め方向）にのみ連続し、Ｙ方向に連続しないようになっている。

これにより、上記蒸着マスク保持部材２０は、平面視で、梁部２２によって分断された開口部ＨＡのＹ方向の合計の開口長さ（つまり、平面視で、Ｙ方向において同一直線上に位置する開口部ＨＡの合計の開口長さ）が、Ｘ方向の何れの開口部ＨＡの位置でも等しく、かつ、蒸着を行うことができない、Ｙ方向に連続した梁部（非開口領域）が存在しない。

＜蒸着マスク１０＞
上記蒸着マスク１０において、各開口部Ｓは、図９の（ｂ）に示すように、平面視で、梁部２２（つまり、フレーム部２１で囲まれた領域における非開口領域）を避けるように、開口部ＨＡに対応して（重畳して）形成されている。

このため、本実施の形態では、図９の（ｂ）に示すように、蒸着マスク１０に、スリット状の開口部Ｓが、複数本おきに、Ｘ方向およびＹ方向に断続的かつ位置をずらして配列されている。

このため、本実施の形態でも、蒸着マスク１０の開口部Ｓそのものが、平面視で、該開口部Ｓにおける、Ｘ方向の何れの地点でも、Ｙ方向における開口部Ｓの合計の開口長さが等しくなるように形成されており、Ｙ方向において同一直線上に位置する開口部ＨＡと重畳する開口部Ｓの開口長さが、Ｘ方向の何れの地点でも等しくなっている。

このため、本実施の形態でも、実施の形態１〜４と同様の効果を得ることができる。

また、本実施の形態によれば、上述したように、上記マスクユニット１では、各開口部Ｓが、開口部ＨＡに対応して形成されていることで、蒸着マスク１０のマスク部、すなわち、開口領域１１おける非開口領域の全面に渡って、横梁からなる梁部２２が設けられている。

このため、蒸着マスク１０は、開口領域１１おける開口部Ｓ以外の領域が、全て、その下面側に設けられた梁部２２で直接的に支持されており、開口部Ｓ以外の全領域が、蒸着マスク保持部材２０で直接的に保持（支持）されている。このため、本実施の形態によれば、実施の形態１と同様の効果を得ることができるとともに、蒸着マスク１０の撓みが発生しないマスクユニット１を実現することができる。

＜開口部Ｓの変形例＞
なお、図９の（ｂ）では、蒸着マスク１０の開口部Ｓが、平面視で、梁部２２を避けるように開口部ＨＡに対応して形成されており、スリット状の開口部Ｓが、複数本おきに、Ｘ方向およびＹ方向に断続的かつ位置をずらして配列されている場合を例に挙げて説明した。しかしながら、本実施の形態はこれに限定されるものではない。

前述したように、Ｘ方向に隣り合う開口部Ｓ間での蒸着量のばらつきを防止するためには、平面視で、マスクユニット１における、Ｙ方向に対する実質的な開口長さの合計が、Ｘ方向の開口部で何れも等しければよい。

したがって、実施の形態３で示したように、開口部Ｓは、梁部２２と重なっていてもよい。本実施の形態では、平面視で、Ｙ方向において同一直線上に位置する開口部ＨＡの合計の開口長さが、Ｘ方向の何れの開口部ＨＡの位置でも等しいことから、各開口部ＨＡに重畳する開口部Ｓの形状が同じであれば、同じ効果を得ることができる。したがって、Ｙ方向に隣り合う開口部ＨＡに重畳する開口部Ｓは、互いに連続して形成されていても構わない。

＜蒸着マスク保持部材２０の変形例＞
また、上記説明においては、マスクユニット１が、開口部Ｈの開口形状と、蒸着マスク１０における開口部Ｓの開口形状とを変更したことを除けば、図５に示すマスクユニット１と同様の構成を有しているものとした。

しかしながら、マスクユニット１は、フレーム部２１と梁部２２とが一体的に形成された構成を有していてもよい。

例えば、フレーム部２１と板状の梁部２２とを同じ厚みで、かつ、薄くして一体化することで、フレーム部２１と梁部２２との境界が無い形状（すなわち、一枚板のような形状）としても構わない。

通常、フレーム部２１は、蒸着マスク１０のテンションに耐える強度が必要とされるため、必然的に厚くなる。

これに対し、梁部２２（マスク支持部）は、蒸着マスク１０を支持するために必要な、自重で撓まないだけの厚みがあればよい。

本実施の形態にかかる梁部２２のように、梁部２２の面積が大きくなると、蒸着マスク１０に掛けるテンションは、限界まで小さくすることができ、従来のようなテンション保持のための剛性は不要になる。このため、本実施の形態によれば、フレーム部２１の厚みを、梁部２２の厚みに限りなく近づけることができる。この結果、上記したように、蒸着マスク保持部材２０を一枚板のような構造とすることができる。

このように蒸着マスク保持部材２０のフレーム部２１と梁部２２とが同じ厚みであれば、平坦性の確保された板に任意の開口を開けるだけで、容易に蒸着マスク保持部材２０を作製することができる。

なお、この場合、上記蒸着マスク保持部材２０の厚み、すなわち、上記開口部ＨＡが設けられた板状部材の厚みは、該蒸着マスク保持部材２０の材質や蒸着マスク１０のマスクサイズ等に応じて、蒸着マスク１０を安定して保持することができるとともに自重撓みが発生しないように適宜設定すればよい。このように、上記蒸着マスク保持部材２０の厚みは、例えば蒸着マスク１０のマスクサイズにもよるが、例えば、２ｍｍ〜１５ｍｍ程度に設定される。

〔実施の形態６〕
本実施の形態について図１０の（ａ）〜（ｃ）ないし図１２に基づいて説明すれば、以下の通りである。

なお、本実施の形態では、主に、実施の形態１〜５との相違点について説明するものとし、実施の形態１〜５で用いた構成要素と同一の機能を有する構成要素には同一の番号を付し、その説明を省略する。

図１０の（ａ）〜（ｃ）は、本実施の形態にかかるマスクユニット１の概略構成を示す図である。なお、図１０の（ａ）は、本実施の形態にかかるマスクユニット１の概略構成を示す分解斜視図であり、図１０の（ｂ）は、図１０の（ａ）に示すマスクユニット１における蒸着マスク保持部材２０の概略構成を示す平面図であり、図１０の（ｃ）は、図１０の（ａ）に示すマスクユニット１における蒸着マスク１０の概略構成を示す平面図である。なお、図１０の（ａ）では、図示の便宜上、蒸着マスク１０の開口パターンの図示を省略している。

以下では、実施の形態１〜５との相違点について説明する。

＜蒸着マスク保持部材２０＞
本実施の形態にかかる蒸着マスク保持部材２０は、図１０の（ａ）・（ｂ）に示すように、フレーム部２１で囲まれた領域（開口部Ｈ）内に、立体的な骨組み（立体構造）を有し、梁部２２における蒸着マスク１０との接触部２２Ａが島状に形成されたフレーム状の梁部２２を備えている。

上記梁部２２は、梁材として、蒸着マスク１０との接触部２２Ａを頂点として縦方向（上下方向、Ｚ方向）、より具体的には斜め上下方向に配設された縦梁２２Ｂを備えており、該縦梁２２Ｂは、直接もしくは間接的に、フレーム部２１の下端２１ｂに連結されている。

上記縦梁２２Ｂは、強度上、上記接触部２２Ａを頂点として放射状に形成されていることが好ましい。なお、図１０の（ａ）・（ｂ）では、四角錐状に縦梁２２Ｂが架設された場合を例に挙げて図示しているが、上記縦梁２２Ｂは、三角錐状に架設されていてもよく、四角錐以上の多角錐状に形成されていてもよい。

上記縦梁２２Ｂとしては、例えば、金属ワイヤ等を使用することができる。なお、縦梁２２Ｂの径は、接触部２２Ａの数、言い換えれば、縦梁２２Ｂの配設密度や立体形状等に応じて適宜設定すればよく、蒸着マスク１０を保持するに十分な強度を有していれば、特に限定されるものではない。

また、上記蒸着マスク１０との接触部２２Ａには、蒸着マスク１０をより安定して支持するとともに、蒸着マスク１０の自重により蒸着マスク１０における上記梁部２２の接触部２２Ａとの接触箇所への応力集中を緩和させるために、図１０の（ａ）・（ｂ）に示すように、緩衝作用を有する島状部材としてのパッド部が設けられていることが望ましい。すなわち、上記接触部２２Ａは、緩衝作用を有するパッド部であることが好ましい。

上記接触部２２Ａを構成するパッド部は、金属材料等の、蒸着マスク１０や縦梁２２Ｂ等と同じ材料で形成されていてもよく、耐熱性を有するゴムや発泡材料等の、梁材とは異なる材料で形成されていてもよい。

なお、図１０の（ａ）・（ｂ）では、上記接触部２２Ａを矩形状とした場合を例に挙げて図示しているが、上記パッド部の形状は、これに限定されるものではない。

また、上記接触部２２Ａは、蒸着マスク１０をより安定して支持するとともに、撓みの抑制効果を高めるために、等間隔で均一に分散して形成されていること、例えば、単位面積当たりの密度が一定になるように形成されていることが望ましい。

このため、図１０の（ｂ）に示す例では、フレーム部２１で囲まれた開口部Ｈ内に、Ｘ方向に一直線上に配列された複数の接触部２２Ａからなる列が、Ｙ方向に複数列（図１０の（ｂ）では２列）並べて設けられており、かつ、Ｙ方向に隣り合う接触部２２Ａが、それぞれ、Ｙ方向に一直線上に配列されている構成としている。

＜蒸着マスク１０＞
図１０の（ｃ）では、蒸着マスク１０に、Ｙ方向に延設されたスリット状の開口部Ｓが、Ｘ方向に、ストライプ状に複数配列して設けられている場合を例に挙げて図示している。なお、上記開口形状が一例であり、これに限定されないことは、実施の形態１で説明した通りである。

本実施の形態では、図１０の（ｃ）に示すように、各開口部Ｓは、梁部２２の接触部２２Ａと重畳しない部分に形成されている。

なお、本実施の形態では、梁部２２の接触部２２Ａが、外周のフレーム部２１と直接連結されておらず、平面視で島状に形成されていることで、Ｘ方向における、Ｙ方向に接触部２２Ａが設けられている部分では、Ｙ方向に接触部２２Ａが設けられていない部分よりも、開口部ＨのＹ方向の開口長さの合計が長くなっている。

このため、図１０の（ｃ）では、平面視で、Ｘ方向に配列された接触部２２Ａを覆うように、Ｘ方向に連なる帯状の非開口領域が設けられており、各開口部Ｓは、平面視で、梁部２２を避けるように、Ｙ方向に断続的に形成されている。

これにより、本実施の形態でも、蒸着マスク１０の開口部Ｓそのものが、平面視で、該開口部Ｓにおける、Ｘ方向の何れの地点でも、Ｙ方向における開口部Ｓの合計の開口長さが等しくなるように形成されており、Ｙ方向において同一直線上に位置する開口部Ｈと重畳する開口部Ｓの開口長さが、Ｘ方向の何れの地点でも等しくなっている。

なお、本実施の形態では、図１０の（ａ）・（ｂ）に示すように、開口部Ｈ内に縦梁２２Ｂが設けられていることで、平面視で、上記接触部２２Ａのみならず、縦梁２２Ｂもまた、蒸着マスク１０と重畳する。

しかしながら、縦梁２２Ｂは、上述したように、立体梁構造を有しており、フレーム状に形成されていることで、蒸着源７０から出射された蒸着粒子は、縦梁２２Ｂ間の空間を通ってフレーム部２１で囲まれた開口部Ｈ内に飛散（拡散）される。

このため、縦梁２２Ｂは、平面視で開口部Ｓと重畳するものの、開口部Ｓを実質的に覆っておらず、均一蒸着の妨げにはならない。

このため、本実施の形態でも、実施の形態１と同様の効果を得ることができる。

また、本実施の形態によれば、梁部２２の接触部２２Ａが、外周のフレーム部２１と直接連結されておらず、平面視で島状に形成されていることで、フレーム部２１で囲まれた領域における開口部Ｈの総面積を大きくすることができる。したがって、本実施の形態によれば、蒸着マスク１０の撓みを直接的に抑制することができるとともに、蒸着マスク１０の開口部Ｓの総開口面積の拡大並びに開口部Ｓの開口パターンのレイアウトの自由度を高めることができる。

このように、上記梁部２２、特に、上記梁部２２の接触部２２Ａは、Ｙ方向を断続的に横切るものであっても構わない。

また、本実施の形態では、平面視で、縦梁２２ＢもＹ方向を横切るように縦梁２２Ｂを放射状に形成したが、上述したように、梁部２２が立体梁構成を有し、フレーム状に形成されている場合、縦梁２２Ｂは、均一蒸着の妨げにはならない。

このため、マスクユニット１は、梁部２２における蒸着マスク１０と接触している部分（本実施の形態では接触領域２２Ａ）がＹ方向を横切っており、Ｙ方向に沿ってフレーム部２１に架け渡されていなければよく、梁部２２における、蒸着マスク１０と接触しない部分、例えば、フレーム部２１の下端部分には、フレーム部２１をＹ方向に連結する梁材が設けられていても構わない。

また、本実施の形態によれば、上述したように、梁部２２を立体梁構造とすることで、軽量化を図ることができる。

＜蒸着マスク１０および蒸着マスク保持部材２０の変形例＞
図１１は、図１０の（ａ）に示すマスクユニット１における他の蒸着マスク１０の概略構成を示す平面図である。

図１１でも、各開口部Ｓは、平面視で、梁部２２を避けるように、Ｙ方向に断続的に形成されている。但し、図１１では、平面視で、Ｘ方向に配列された接触部２２Ａを覆うように、矩形状の非開口領域が設けられているとともに、蒸着マスク１０の開口部Ｓが、平面視で、該開口部Ｓにおける、Ｘ方向の何れの地点でも、Ｙ方向における開口部Ｓの合計の開口長さが等しくなるように、上記接触部２２Ａを覆う矩形状の非開口領域間に、Ｙ方向における開口部Ｓの合計の開口長さを等しくするための非開口領域が設けられている。

これにより、図１１でも、Ｙ方向において同一直線上に位置する開口部Ｈと重畳する開口部Ｓの開口長さが、Ｘ方向の何れの地点でも等しくなっている。

なお、図１０の（ａ）・（ｂ）では、上記接触部２２Ａを矩形状（例えば正方形状）とし、図１１では、上記接触部２２Ａを覆う非開口領域を、接触部２２Ａを覆う程度の大きさの矩形状（図１１では長方形状）としたが、上記接触部２２Ａおよび該接触部２２Ａを覆う、蒸着マスク１０の非開口領域は、上記フレーム部２１に、Ｙ平行に平行に連結されていなければよく、外周のフレーム部２１との間に隙間があり（つまり、蒸着粒子を蒸着させるための、梁部２２で覆われていない開口部ＳがＹ方向に存在しており）、Ｘ方向のどの地点でも、Ｙ方向の実質的な開口長さが同じになるように形成されていれば、Ｙ方向に例えば帯状に形成されていてもよい。

＜蒸着マスク保持部材２０の変形例＞
図１２は、本実施の形態にかかるマスクユニット１における他の蒸着マスク保持部材２０の概略構成を示す平面図である。

前記実施の形態１〜４では、Ｙ方向に対し斜め方向に梁部２２が設けられているとともに、図１０の（ａ）・（ｂ）に示す例では、Ｙ方向に対し斜め方向に縦梁２２Ｂが設けられている場合を例に挙げて図示した。しかしながら、上記梁部２２は、被成膜基板２００における蒸着領域に対向する領域においてＹ方向に平行に形成されていなければよく、例えば図１０の（ｃ）に示したような蒸着マスク１０を用いる場合、該蒸着マスク１０の非開口領域の形状に合わせて、図１２に示すように、例えば板状の梁部２２が、Ｘ方向に平行に形成された構成を有していても構わない。

なお、図１２では、梁部２２がＸ方向に２本平行に形成されている場合を例に挙げて示しているが、蒸着マスク１０の形状によっては、梁部２２が、Ｘ方向に１本だけ、あるいは、３本以上形成されていてもよく、また、そのうちの幾つかが、斜めに形成されていてもよいことは、言うまでもない。

〔まとめ〕
本発明の態様１にかかるマスクユニットは、開口部を有する蒸着マスクと、上記蒸着マスクを保持する蒸着マスク保持部材とを備え、上記蒸着マスク保持部材は、その一部が上記蒸着マスクの下面に接触しているとともに、上記蒸着マスクのマスク面に垂直な方向から見たときに、上記蒸着マスクの開口部における、第１の方向の何れの地点でも、該第１の方向に直交する第２の方向における、上記蒸着マスク保持部材で覆われていない開口部の合計の開口長さが等しく、かつ、上記蒸着マスク保持部材は、上記蒸着マスクの縁部以外の部分において、連続的もしくは断続的に上記第２の方向を横切って上記蒸着マスクの下面に接触する接触部を有する一方、上記蒸着マスクの縁部以外の部分において、上記蒸着マスクにおける上記第２の方向の端から端まで連続した接触部を有さない。

上記の構成によれば、上記蒸着マスクのマスク面に垂直な方向から見たときに、上記蒸着マスク保持部材が、上記蒸着マスクの縁部以外の部分において、連続的もしくは断続的に上記第２の方向を横切って上記蒸着マスクの下面に接触する接触部を有していることで、蒸着マスク保持部材の歪み等の変形を抑制することができる。また、上記蒸着マスク保持部材が、上記蒸着マスクの縁部以外の部分において、連続的もしくは断続的に上記第２の方向を横切って上記蒸着マスクの下面に接触する接触部を有していることで、蒸着マスクの自重撓み等の撓みを抑制することができる。

また、上記の構成によれば、上記蒸着マスク保持部材における上記蒸着マスクとの接触部が、連続的もしくは断続的に第２の方向を横切っており、上記蒸着マスクの縁部以外の部分において、上記蒸着マスクにおける上記第２の方向の端から端まで連続した接触部を有さないため、上記第２の方向を走査方向としてスキャン蒸着を行うことで、上記蒸着マスク保持部材における上記蒸着マスクとの接触部が、走査方向と平行とならない。

このため、上記マスクユニットを使用して上記第２の方向を走査方向としてスキャン蒸着を行えば、上記蒸着マスク保持部材に上記接触部が設けられていたとしても、該接触部がある領域にも、該接触部がない領域と同様の蒸着を行うことが可能になる。したがって、上記マスクユニットをスキャン蒸着用のマスクユニットとして使用すれば、蒸着マスクの撓みに起因する蒸着位置ズレがない蒸着を行うことができる。

また、上記マスクユニットは、上記蒸着マスクのマスク面に垂直な方向から見たときに、上記蒸着マスクの開口部における、第１の方向の何れの地点でも、該第１の方向に直交する第２の方向における、上記梁部で覆われていない開口部の合計の開口長さが等しいので、上記第１の方向に隣り合う開口部間で、蒸着量にばらつきが発生せず、上記蒸着マスク保持部材における上記蒸着マスクとの接触部のある表示領域にも均一に蒸着を行うことができる。したがって、上記の構成によれば、上記蒸着マスク保持部材における上記蒸着マスクとの接触部が蒸着の支障となることはなく、該接触部によって、蒸着マスクの撓みによる蒸着位置ズレを抑制することができる一方で、均一な蒸着を行うことが可能となる。これにより、例えば、混色のない有機ＥＬ表示装置を実現することができる。

本発明の態様２にかかるマスクユニットは、上記態様１において、上記蒸着マスク保持部材は、フレーム部と、該フレーム部に連結され、該フレーム部で囲まれた領域内に設けられた梁部とを備えており、上記接触部は、上記梁部の一部であり、上記梁部における上記蒸着マスクと接触している部分は、上記第２の方向に沿って上記フレーム部に架け渡されておらず、連続的もしくは断続的に上記第２の方向を横切っていることが好ましい。

上記の構成によれば、フレーム部に梁部が設けられていることで、剛性の高い、太い（重い）フレーム部を使用しなくても、フレーム部の歪み等の変形を抑制することができる。また、上記梁部が、フレーム部で囲まれた開口領域内に、蒸着マスクの下面に接触して設けられていることで、蒸着マスクの自重撓み等の撓みを抑制することができる。

また、上記の構成によれば、上記梁部における上記蒸着マスクと接触している部分が、連続的もしくは断続的に第２の方向を横切っており、第２の方向に沿って上記フレーム部に架け渡されていないため、上記第２の方向を走査方向としてスキャン蒸着を行うことで、梁部が、走査方向と平行とならない。

このため、上記マスクユニットを使用して上記第２の方向を走査方向としてスキャン蒸着を行えば、梁部がある領域にも、梁部がない領域と同様の蒸着を行うことが可能になる。したがって、上記マスクユニットをスキャン蒸着用のマスクユニットとして使用すれば、蒸着マスクの撓みに起因する蒸着位置ズレがない蒸着を行うことができる。

また、上記マスクユニットは、上記蒸着マスクのマスク面に垂直な方向から見たときに、上記蒸着マスクの開口部における、第１の方向の何れの地点でも、該第１の方向に直交する第２の方向における、上記梁部で覆われていない開口部の合計の開口長さが等しいので、上記第１の方向に隣り合う開口部間で、蒸着量にばらつきが発生せず、梁部のある表示領域にも均一に蒸着を行うことができる。したがって、上記の構成によれば、上記梁部が蒸着の支障となることはなく、上記梁部によって、蒸着マスクの撓みによる蒸着位置ズレを抑制することができる一方で、均一な蒸着を行うことが可能となる。これにより、上述したように、例えば、混色のない有機ＥＬ表示装置を実現することができる。

本発明の態様３にかかるマスクユニットは、上記態様２において、上記蒸着マスクの開口部は、上記梁部における上記蒸着マスクと接触する部分を避けて設けられており、かつ、上記蒸着マスクのマスク面に垂直な方向から見たときに、上記蒸着マスクの開口部における、第１の方向の何れの地点でも、上記第２の方向における上記開口部の合計の開口長さが等しいことが好ましい。

上記の構成によれば、上記蒸着マスクのマスク面に垂直な方向から見たときに、上記蒸着マスク保持部材における、上記フレーム部で囲まれた領域内において上記梁部が設けられていない開口領域の第２の方向の合計の開口長が第１の方向の何れの位置でも等しいか否かに拘らず、上記蒸着マスクの開口部における、第１の方向の何れの地点でも、第２の方向における、上記梁部で覆われていない、蒸着マスクの開口部の合計の開口長さを等しくすることができる。

本発明の態様４にかかるマスクユニットは、上記態様３において、上記蒸着マスクのマスク面に垂直な方向から見たときに、上記蒸着マスク保持部材における、上記フレーム部で囲まれた領域内において上記梁部が設けられていない開口領域の第２の方向の合計の開口長が、第１の方向の何れの位置でも等しいことが好ましい。

上記の構成によれば、上記蒸着マスクの開口部を、上記梁部における上記蒸着マスクと接触する部分を避けて、上記梁部を覆うように非開口領域を設けることで、上記蒸着マスクの開口部における、第１の方向の何れの地点でも、第２の方向における、上記梁部で覆われていない、蒸着マスクの開口部の合計の開口長さを、容易に等しくすることができる。

本発明の態様５にかかるマスクユニットは、上記態様２〜４の何れかにおいて、上記フレーム部は矩形状であり、上記梁部は、上記フレーム部の少なくとも一方の対角線上に設けられていることが好ましい。

上記の構成によれば、上記梁部は、上記フレーム部の少なくとも一方の対角線上に設けられていることで、上記梁部が、撓みが発生し易い蒸着マスクの中央付近を横断する。このため、蒸着マスクの撓みを直接的に抑制することができる。また、これにより、蒸着マスクを蒸着マスク保持部材に固定する際に、従来よりも、蒸着マスクを架張する張力を低減させることができる。しかも、上記の構成によれば、上記梁部を、フレーム部の対角線上に形成していることから、上記梁部が、筋かいとして機能するので、フレーム部の変形を、より強固に防ぐことができる。したがって、剛性の高い、太い（重い）フレーム部を必要とせず、従来よりもフレーム部を薄型化して軽量化することができる。

本発明の態様６にかかるマスクユニットは、上記態様５において、上記梁部は、上記フレーム部の各対角線上にそれぞれ設けられており、上記蒸着マスクのマスク面に垂直な方向から見たときに、上記梁部の交差部における上記梁部の第２の方向の幅が、上記梁部の交差部以外の梁部の第２の方向の幅の２倍の幅に形成されていることが好ましい。

上記の構成によれば、上記梁部が、上記フレーム部の各対角線上にそれぞれ設けられていることで、上記梁部が、撓みが発生し易い蒸着マスクの中央付近を横断する。このため、蒸着マスクの撓みを直接的に抑制することができる。また、これにより、蒸着マスクを蒸着マスク保持部材に固定する際に、従来よりも、蒸着マスクを架張する張力を低減させることができる。また、上記の構成でも、上記梁部を、フレーム部の対角線上に形成していることから、上記梁部が、筋かいとして機能するので、フレーム部の変形を、より強固に防ぐことができる。したがって、剛性の高い、太い（重い）フレーム部を必要とせず、従来よりもフレーム部を薄型化して軽量化することができる。

また、上記の構成によれば、上記蒸着マスクのマスク面に垂直な方向から見たときに、上記梁部の交差部における上記梁部の第２の方向の幅が、上記梁部の交差部以外の梁部の第２の方向の幅の２倍の幅に形成されていることで、上記蒸着マスク保持部材における、上記フレーム部で囲まれた領域内において上記梁部が設けられていない開口領域の第２の方向の合計の開口長を、第１の方向の何れの位置でも等しくすることができる。

本発明の態様７にかかるマスクユニットは、上記態様２において、上記フレーム部は矩形状であり、上記梁部は、上記フレーム部の各対角線上にそれぞれ設けられており、上記蒸着マスクのマスク面に垂直な方向から見たときに、上記梁部が何れも均一な幅を有しているとともに、上記蒸着マスクの開口部における、第１の方向の何れの地点でも、該第１の方向に直交する第２の方向における、上記梁部で覆われていない開口部の合計の開口長さが等しくなるように、第１の方向における上記蒸着マスクの開口部において、第２の方向に上記梁部の交差部が設けられている部分では、上記フレーム部で囲まれた他の領域よりも、上記蒸着マスクにおける第２方向の開口長さを短くしていてもよい。

上記の構成でも、上記梁部が、上記フレーム部の各対角線上にそれぞれ設けられていることで、上記梁部が、撓みが発生し易い蒸着マスクの中央付近を横断する。このため、蒸着マスクの撓みを直接的に抑制することができる。また、これにより、蒸着マスクを蒸着マスク保持部材に固定する際に、従来よりも、蒸着マスクを架張する張力を低減させることができる。また、上記梁部を、フレーム部の対角線上に形成していることから、上記梁部が、筋かいとして機能するので、フレーム部の変形を、より強固に防ぐことができる。したがって、剛性の高い、太い（重い）フレーム部を必要とせず、従来よりもフレーム部を薄型化して軽量化することができる。

なお、上記の構成によれば、上記梁部が、上記フレーム部の各対角線上にそれぞれ設けられており、上記蒸着マスクのマスク面に垂直な方向から見たときに、上記梁部が何れも均一な幅を有していることで、上記蒸着マスク保持部材は、上記梁部が交差する領域で、上記フレーム部で囲まれた領域内の他の領域よりも、上記第２の方向の開口長さの合計が長くなっている。

しかしながら、上記の構成によれば、上記蒸着マスクの開口部における、第１の方向の何れの地点でも、該第１の方向に直交する第２の方向における、上記梁部で覆われていない開口部の合計の開口長さが等しくなるように、第１の方向における上記蒸着マスクの開口部において、第２の方向に上記梁部の交差部が設けられている部分では、上記フレーム部で囲まれた他の領域よりも、上記蒸着マスクにおける第２方向の開口長さを短くしていることから、上記第１の方向に隣り合う開口部間で、蒸着量にばらつきが発生せず、梁部のある表示領域にも均一に蒸着を行うことができる。

本発明の態様８にかかるマスクユニットは、上記態様２〜４の何れかにおいて、上記梁部は、上記蒸着マスクのマスク面に垂直な方向から見たときに、ジグザグ状に形成されていることが好ましい。

上記の構成によれば、上記梁部が、上記蒸着マスクのマスク面に垂直な方向から見たときに、ジグザグ状に形成されていることで、上記梁部は、撓みが発生し易い蒸着マスクの中央付近を横断する。このため、上記の構成によれば、上記蒸着マスクの撓みを直接的に抑制することができる。

また、蒸着マスク保持部材は、上記蒸着マスク保持部材に蒸着マスクを固定する際に架張された蒸着マスクが、該蒸着マスクの中央に向かって強力に引っ張られることで、フレーム部の辺の部分で変形が生じ易い。

しかしながら、上記の構成によれば、上記梁部が、上記蒸着マスクのマスク面に垂直な方向から見たときにジグザグ状に形成されていることで、上記フレーム部の歪を効果的に抑制することができる。

本発明の態様９にかかるマスクユニットは、上記態様２〜４の何れかにおいて、上記梁部は、千鳥状に形成された複数の開口領域を有する板状部材からなり、上記蒸着マスクのマスク面に垂直な方向から見たときに、上記フレーム部で囲まれた領域全面に渡って設けられていることが好ましい。

上記の構成によれば、蒸着マスクの撓みが発生しないマスクユニットを実現することができる。

本発明の態様１０にかかるマスクユニットは、上記態様２〜９の何れかにおいて、上記梁部の厚みは、上記フレーム部の厚みよりも薄く形成されていることが好ましい。

これにより、上記フレーム部のさらなる軽量化を図ることができる。

本発明の態様１１にかかるマスクユニットは、上記態様１において、上記蒸着マスク保持部材は、千鳥状に形成された複数の開口領域を有する板状部材からなっていてもよい。

この場合にも、蒸着マスクの撓みが発生しないマスクユニットを実現することができる。

本発明の態様１２にかかるマスクユニットは、上記態様２または３において、上記梁部は、上記蒸着マスクのマスク面に垂直な方向から見たときに、上記梁部における上記蒸着マスクとの接触部が島状に形成されており、上記蒸着マスクとの接触部を頂点としてフレーム状に形成された立体的な骨組みを有していることが好ましい。

本発明の態様１３にかかるマスクユニットは、上記態様１２において、上記マスクユニットにおいて、上記梁部は、上記蒸着マスクとの接触部を頂点として放射状に配された縦梁を有していることが好ましい。

上記の各構成によれば、上記梁部における上記蒸着マスクとの接触部が、外周のフレーム部と直接連結されておらず、上記蒸着マスクのマスク面に垂直な方向から見たときに、島状に形成されていることで、上記フレーム部で囲まれた領域における開口領域の総面積を大きくすることができる。このため、上記の構成によれば、蒸着マスクの撓みを直接的に抑制することができるとともに、蒸着マスクの開口部の総開口面積の拡大並びに開口部の開口パターンのレイアウトの自由度を高めることができる。

なお、上記梁部は、フレーム状に形成されていることで、上記縦梁は、均一蒸着の妨げにはならない。

本発明の態様１４にかかるマスクユニットは、上記態様１２または１３において、上記梁部における上記蒸着マスクとの接触部に、緩衝作用を有する島状部材が設けられていることが好ましい。

上記の構成によれば、上記蒸着マスクをより安定して支持することができるとともに、上記蒸着マスクの自重による、上記蒸着マスクにおける上記梁部との接触箇所への応力集中を緩和させることができる。

本発明の態様１５にかかる蒸着装置は、上記態様１〜１４の何れかのマスクユニットと、上記マスクユニットにおける蒸着マスクに対向配置され、上記蒸着マスクとの相対的な位置が固定された蒸着源と、上記マスクユニットにおける蒸着マスクと被成膜基板とを対向配置した状態で、上記マスクユニットおよび蒸着源と、上記被成膜基板とのうち一方を、第２の方向が走査方向となるように相対移動させる移動機構とを備え、上記蒸着マスクの第２の方向の幅は、第２の方向における被成膜基板の幅よりも小さく、上記第２の方向に沿って走査しながら、上記蒸着源から出射された蒸着粒子を、上記蒸着マスクの開口部を介して上記被成膜基板に蒸着させる。

被成膜基板とほぼ同じ大きさの蒸着マスクを使用して蒸着を行う、スキャン蒸着方式ではない従来の蒸着法では、マスクフレームに梁構造を設けると、梁のある領域が蒸着されなくなるため、梁構造を設けることができない。

また、スキャン蒸着法式を用いた場合でも、フレーム部に格子状に梁部を設けると、被成膜基板において、蒸着マスク保持部材における走査方向に平行な梁部が設けられた領域に重畳する領域では、蒸着粒子が蒸着マスクを通過せず、蒸着粒子が蒸着されなくなる。

しかしながら、上記の構成によれば、上記マスクユニットを使用して、上記第２の方向を走査方向としてスキャン蒸着を行えば、梁部がある領域にも、梁部がない領域と同様の蒸着を行うことが可能になる。したがって、上記マスクユニットをスキャン蒸着用のマスクユニットとして使用すれば、蒸着マスク保持部材に、剛性の高い、太い（重い）フレーム部を使用しなくても、蒸着マスクの撓みに起因する蒸着位置ズレがない蒸着を行うことができる。

本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。

本発明は、被成膜基板と、マスクユニットおよび蒸着源とを相対的に移動させて走査しながら蒸着を行う、スキャニング方式を用いたスキャン蒸着に使用されるマスクユニット、および、そのようなマスクユニットを用いて所定のパターンを成膜する蒸着装置に、好適に利用することができる。

１ マスクユニット
２ 真空チャンバ
１０ 蒸着マスク
１０ａ 長辺
１０ｂ 短辺
１０ｃ 下面
１１ 開口領域（蒸着マスクの開口領域）
２０ 蒸着マスク保持部材
２１ フレーム部（縁部）
２１ａ 接触面
２１ｂ 下端
２２ 梁部
２２ａ 上面（接触部）
２２Ａ 接触部
２２Ｂ 縦梁
２２ａ 上面
２２ｂ 梁部交差領域
５０ 蒸着装置
５１ 真空チャンバ
５２ 基板ホルダ
５３ 基板移動機構（移動機構）
５４ 蒸着ユニット
５５ 蒸着ユニット移動機構（移動機構）
７０ 蒸着源
７１ 射出口
８０ マスクユニット固定部材
２００ 被成膜基板
２００ａ 長辺
２００ｂ 短辺
２０１ 被成膜面
Ｈ，Ｈ１，Ｈ２，Ｈ１１〜Ｈ１４，Ｈ２１〜Ｈ２４，Ｈ３１〜Ｈ３５，ＨＡ 開口部（開口領域）
Ｓ 開口部
ｇ１，ｇ２ 空隙

なお、以下では、走査方向および走査方向に平行な方向（第２の方向）をＹ方向（Ｙ軸方向）とし、走査方向に垂直な方向（第１の方向）をＸ方向（Ｘ軸方向）として説明する。

なお、上記空隙ｇ１は、任意に設定することができ、特に限定されるものではない。しかしながら、蒸着材料の利用効率を高めるためには、上記空隙ｇ１はできるだけ小さいことが望ましい。

Claims (15)

1. 開口部を有する蒸着マスクと、
   上記蒸着マスクを保持する蒸着マスク保持部材とを備え、
   上記蒸着マスク保持部材は、その一部が上記蒸着マスクの下面に接触しているとともに、
   上記蒸着マスクのマスク面に垂直な方向から見たときに、上記蒸着マスクの開口部における、第１の方向の何れの地点でも、該第１の方向に直交する第２の方向における、上記蒸着マスク保持部材で覆われていない開口部の合計の開口長さが等しく、かつ、上記蒸着マスク保持部材は、上記蒸着マスクの縁部以外の部分において、連続的もしくは断続的に上記第２の方向を横切って上記蒸着マスクの下面に接触する接触部を有する一方、上記蒸着マスクの縁部以外の部分において、上記蒸着マスクにおける上記第２の方向の端から端まで連続した接触部を有さないことを特徴とするマスクユニット。
2. 上記蒸着マスク保持部材は、フレーム部と、該フレーム部に連結され、該フレーム部で囲まれた領域内に設けられた梁部とを備えており、上記接触部は、上記梁部の一部であり、
   上記梁部における上記蒸着マスクと接触している部分は、上記第２の方向に沿って上記フレーム部に架け渡されておらず、連続的もしくは断続的に上記第２の方向を横切っていることを特徴とする請求項１に記載のマスクユニット。
3. 上記蒸着マスクの開口部は、上記梁部における上記蒸着マスクと接触する部分を避けて設けられており、かつ、
   上記蒸着マスクのマスク面に垂直な方向から見たときに、上記蒸着マスクの開口部における、第１の方向の何れの地点でも、上記第２の方向における上記開口部の合計の開口長さが等しいことを特徴とする請求項２に記載のマスクユニット。
4. 上記蒸着マスクのマスク面に垂直な方向から見たときに、上記蒸着マスク保持部材における、上記フレーム部で囲まれた領域内において上記梁部が設けられていない開口領域の第２の方向の合計の開口長が、第１の方向の何れの位置でも等しいことを特徴とする請求項３に記載のマスクユニット。
5. 上記フレーム部は矩形状であり、上記梁部は、上記フレーム部の少なくとも一方の対角線上に設けられていることを特徴とする請求項２〜４の何れか１項に記載のマスクユニット。
6. 上記梁部は、上記フレーム部の各対角線上にそれぞれ設けられており、
   上記蒸着マスクのマスク面に垂直な方向から見たときに、上記梁部の交差部における上記梁部の第２の方向の幅が、上記梁部の交差部以外の梁部の第２の方向の幅の２倍の幅に形成されていることを特徴とする請求項５に記載のマスクユニット。
7. 上記フレーム部は矩形状であり、上記梁部は、上記フレーム部の各対角線上にそれぞれ設けられており、
   上記蒸着マスクのマスク面に垂直な方向から見たときに、上記梁部が何れも均一な幅を有しているとともに、上記蒸着マスクの開口部における、第１の方向の何れの地点でも、該第１の方向に直交する第２の方向における、上記梁部で覆われていない開口部の合計の開口長さが等しくなるように、第１の方向における上記蒸着マスクの開口部において、第２の方向に上記梁部の交差部が設けられている部分では、上記フレーム部で囲まれた他の領域よりも、上記蒸着マスクにおける第２方向の開口長さを短くしていることを特徴とする請求項２に記載のマスクユニット。
8. 上記梁部は、上記蒸着マスクのマスク面に垂直な方向から見たときに、ジグザグ状に形成されていることを特徴とする請求項２〜４の何れか１項に記載のマスクユニット。
9. 上記梁部は、千鳥状に形成された複数の開口領域を有する板状部材からなり、上記蒸着マスクのマスク面に垂直な方向から見たときに、上記フレーム部で囲まれた領域全面に渡って設けられていることを特徴とする請求項２〜４の何れか１項に記載のマスクユニット。
10. 上記梁部の厚みは上記フレーム部の厚みよりも薄く形成されていることを特徴とする請求項２〜９の何れか１項に記載のマスクユニット。
11. 上記蒸着マスク保持部材は、千鳥状に形成された複数の開口領域を有する板状部材からなることを特徴とする請求項１に記載のマスクユニット。
12. 上記梁部は、上記蒸着マスクのマスク面に垂直な方向から見たときに、上記梁部における上記蒸着マスクとの接触部が島状に形成されており、上記蒸着マスクとの接触部を頂点としてフレーム状に形成された立体的な骨組みを有していることを特徴とする請求項２または３に記載のマスクユニット。
13. 上記梁部は、上記蒸着マスクとの接触部を頂点として放射状に配された縦梁を有していることを特徴とする請求項１２に記載のマスクユニット。
14. 上記梁部における上記蒸着マスクとの接触部に、緩衝作用を有する島状部材が設けられていることを特徴とする請求項１２または１３に記載のマスクユニット。
15. 請求項１〜１４の何れか１項に記載のマスクユニットと、
    上記マスクユニットにおける蒸着マスクに対向配置され、上記蒸着マスクとの相対的な位置が固定された蒸着源と、
    上記マスクユニットにおける蒸着マスクと被成膜基板とを対向配置した状態で、上記マスクユニットおよび蒸着源と、上記被成膜基板とのうち一方を、第２の方向が走査方向となるように相対移動させる移動機構とを備え、
    上記蒸着マスクの第２の方向の幅は、第２の方向における被成膜基板の幅よりも小さく、
    上記第２の方向に沿って走査しながら、上記蒸着源から出射された蒸着粒子を、上記蒸着マスクの開口部を介して上記被成膜基板に蒸着させることを特徴とする蒸着装置。

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