KR20240013938A - 증착 장치 - Google Patents

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KR20240013938A
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안정현
문재석
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삼성디스플레이 주식회사
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Abstract

본 기재는 증착 장치에 관한 것으로, 한 실시예에 따른 증착 장치는 복수의 마그넷을 포함하는 마그넷부, 그리고 상기 마그넷부와 마주하며 기판을 지지할 수 있는 기판 지지부를 포함하고, 상기 기판 지지부는 복수의 홀을 포함하고, 상기 복수의 홀 각각은 상기 복수의 마그넷 중 이웃한 마그넷 사이의 공간에 대응하여 배치된다.

Description

증착 장치{deposition device}
본 개시는 증착 장치에 관한 것으로 더 상세하기는 유기물 증착 장치에 관한 것이다.
다양한 표시 장치 등의 반도체 장치를 제조하는 공정은 기판 위에 층을 증착하는 공정을 포함한다. 증착 공정은 주로 진공 챔버 내에서 진행되며 기판 상에 증착되는 영역을 한정하기 위한 증착용 마스크가 기판 상에 배치된다.
반도체 장치의 예를 들어, 표시 장치는 기판 상에 형성된 두 개의 전극과 그 사이에 위치하는 발광층을 포함하여 발광 소자를 형성할 수 있다. 발광 소자의 하나의 전극으로부터 주입된 전자(electron)와 다른 전극으로부터 주입된 정공(hole)이 유기 발광층에서 결합하여 여기자(exciton)를 형성한다. 여기자가 여기 상태(exited state)로부터 기저 상태(ground state)로 변하면서 에너지를 방출하여 발광할 수 있다.
표시 장치는 서로 다른 색의 빛을 발광할 수 있는 복수의 화소를 포함하며, 각 화소는 발광 소자를 포함할 수 있다.
발광 소자의 발광층은 서로 다른 화소가 나타내는 기본색의 광을 방출하는 유기물을 포함할 수 있다. 이외에도 표시 장치는 다양한 절연층, 봉지층이 유기물로 형성될 수 있다. 이러한 유기층의 증착을 위해서 개구부를 가지는 증착용 마스크를 기판 상에 배치할 수 있다. 증착용 마스크는 금속을 포함하는 메탈 마스크일 수 있다. 이러한 증착용 마스크를 기판 상에 밀착하여 증착 공정을 진행하기 위해 마그넷을 이용할 수 있다.
증착 공정에서 기판 상에 증착용 마스크를 밀착시키기 위한 마그넷에 의한 자력을 제어하여 줄무늬 시인성 불량을 해소하기 위한 증착 장치를 제공하기 위한 것이다.
한 실시예에 따른 증착 장치는 복수의 마그넷을 포함하는 마그넷부, 그리고 상기 마그넷부와 마주하며 기판을 지지할 수 있는 기판 지지부를 포함하고, 상기 기판 지지부는 복수의 홀을 포함하고, 상기 복수의 홀 각각은 상기 복수의 마그넷 중 이웃한 마그넷 사이의 공간에 대응하여 배치된다.
상기 복수의 마그넷은 제1 방향으로 배열되어 있고, 상기 복수의 홀은 상기 제1 방향으로 배열되어 있을 수 있다.
상기 마그넷은 상기 제1 방향에 수직인 제2 방향으로 길게 연장되고, 상기 홀은 상기 제2 방향으로 길게 연장되어 있을 수 있다.
상기 홀의 중심은 상기 이웃한 마그넷 사이의 공간의 중심에 정렬되어 있을 수 있다.
상기 홀의 상기 제1 방향의 폭은 대응하는 상기 이웃한 마그넷 사이의 공간의 상기 제1 방향의 폭과 같을 수 있다.
상기 홀의 상기 제1 방향의 폭은 대응하는 상기 이웃한 마그넷 사이의 공간의 상기 제1 방향의 폭보다 클 수 있다.
상기 기판 지지부는 상기 마그넷부를 향한 제1면 및 상기 제1면과 반대쪽의 제2면을 포함하고, 상기 복수의 홀은 상기 제2면에 형성되어 있을 수 있다.
상기 제1 방향 및 상기 제1 방향에 수직인 제2 방향에 수직인 방향을 제3 방향이라 할 때, 상기 홀의 상기 제3 방향의 깊이는 상기 기판 지지부의 상기 제3 방향의 두께보다 작을 수 있다.
상기 기판 지지부는 상기 마그넷부와 상기 기판 사이에 위치할 수 있다.
상기 복수의 마그넷의 상기 제1 방향의 피치는 상기 복수의 홀의 상기 제1 방향의 피치와 동일할 수 있다.
상기 기판의 하부에 위치하는 증착용 마스크를 더 포함하고, 상기 기판 지지부는 상기 마그넷부와 상기 증착용 마스크 사이에 위치할 수 있다.
상기 기판 지지부는 자성을 가질 수 있다.
상기 기판 지지부는 냉매를 포함할 수 있다.
한 실시예에 따른 증착 장치는 제1 방향으로 배열된 복수의 마그넷을 포함하는 마그넷부, 그리고 상기 마그넷부를 향한 제1면 및 상기 제1면과 반대쪽의 제2면을 가지는 기판 지지부를 포함하고, 상기 기판 지지부는 자성을 가지고, 상기 기판 지지부는, 상기 제1면 또는 상기 제2면 상에 형성되어 있으며 상기 제1 방향으로 배열된 복수의 홀을 포함한다.
상기 마그넷은 상기 제1 방향에 수직인 제2 방향으로 길게 연장되고, 상기 홀은 상기 제2 방향으로 길게 연장되어 있을 수 있다.
상기 홀의 중심은 상기 이웃한 마그넷 사이의 공간의 중심에 정렬되어 있을 수 있다.
상기 홀의 상기 제1 방향의 폭은 대응하는 상기 이웃한 마그넷 사이의 공간의 상기 제1 방향의 폭과 같거나 클 수 있다.
상기 제1 방향 및 상기 제1 방향에 수직인 제2 방향에 수직인 방향을 제3 방향이라 할 때, 상기 홀의 상기 제3 방향의 깊이는 상기 기판 지지부의 상기 제3 방향의 두께보다 작을 수 있다.
기판은 상기 기판 지지부의 상기 제2면 상에 배치되고, 상기 기판 지지부는 상기 마그넷부와 상기 기판 사이에 위치할 수 있다.
한 실시예에 따른 증착 장치는 복수의 마그넷을 포함하는 마그넷부, 그리고 상기 마그넷부를 향하는 제1면, 그리고 기판을 지지할 수 있는 제2면을 가지는 기판 지지부를 포함하고, 상기 기판 지지부는, 상기 제1면 또는 상기 제2면 상에 형성되어 상기 마그넷의 자력을 왜곡할 수 있는 복수의 홀을 포함한다.
실시예들에 따르면, 증착 공정에서 기판 상에 증착용 마스크를 밀착시키기 위한 마그넷에 의한 자력을 제어하여 줄무늬 시인성 불량을 해소할 수 있다.
도 1은 한 실시예에 따른 증착 장치가 포함하는 마그넷부 및 증착용 마스크의 배치를 나타난 평면도이고,
도 2는 한 실시예에 따른 증착 장치가 포함하는 마그넷부의 복수의 마그넷의 배치를 나타낸 평면도이고,
도 3은 한 실시예에 따른 증착 장치의 구성을 나타내는 단면도로서 도 1의 증착 장치를 A1-A1 선을 따라 잘라 도시한 단면도를 포함하고,
도 4는 한 실시예에 따른 증착 장치가 포함하는 기판 지지부의 단면도이고,
도 5는 한 실시예에 따른 증착 장치가 포함하는 마그넷부의 평면도이고,
도 6은 한 비교예에 따른 증착 장치가 포함하는 마그넷부에 의한 자력을 나타낸 그래프이고,
도 7은 한 비교예에 따른 증착 장치가 포함하는 마그넷부에 의한 자력에 의해 휘어진 증착용 마스크의 시뮬레이션 결과이고,
도 8은 한 비교예에 따른 증착 장치를 이용해 제조한 표시 장치가 표시한 영상의 가로줄 불량을 나타낸 사진이고,
도 9는 한 실시예에 따른 증착 장치가 포함하는 기판 지지부에 의해 왜곡된 자력을 나타낸 시뮬레이션 결과이고,
도 10은 한 실시예에 따른 증착 장치가 포함하는 마그넷부에 의한 자력이 기판 지지부에 의해 변화된 결과를 나타낸 그래프이고,
도 11은 한 실시예에 따른 증착 장치가 포함하는 마그넷부에 의한 자력이 기판 지지부에 의해 변화된 결과를 나타낸 그래프이고,
도 12는 한 실시예에 따른 증착 장치가 포함하는 기판 지지부의 단면도이고,
도 13은 한 실시예에 따른 증착 장치가 포함하는 기판 지지부의 단면도이고,
도 14는 한 실시예에 따른 증착 장치가 포함하는 마그넷부 및 기판 지지부에 의한 자력에 의해 휘어진 증착용 마스크의 시뮬레이션 결과이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 여러 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예들에 한정되지 않는다.
본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다.
또한, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다. 도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 그리고 도면에서, 설명의 편의를 위해, 일부 층 및 영역의 두께를 과장되게 나타내었다.
또한, 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 또는 "상에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 어떤 부분이 다른 부분 "바로 위에" 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 없는 것을 뜻한다. 또한, 기준이 되는 부분 "위에" 또는 "상에" 있다고 하는 것은 기준이 되는 부분의 위 또는 아래에 위치하는 것이고, 반드시 중력 반대 방향 쪽으로 "위에" 또는 "상에" 위치하는 것을 의미하는 것은 아니다.
또한, 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함" 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
또한, 명세서 전체에서, "평면상"이라 할 때, 이는 대상 부분을 위에서 보았을 때를 의미하며, "단면상"이라 할 때, 이는 대상 부분을 수직으로 자른 단면을 옆에서 보았을 때를 의미한다.
먼저 도 1 내지 도 4를 참조하여 한 실시예에 따른 증착 장치에 대하여 설명한다.
도 1은 한 실시예에 따른 증착 장치가 포함하는 마그넷부 및 증착용 마스크의 배치를 나타난 평면도이고, 도 2는 한 실시예에 따른 증착 장치가 포함하는 마그넷부의 복수의 마그넷의 배치를 나타낸 평면도이고, 도 3은 한 실시예에 따른 증착 장치의 구성을 나타내는 단면도로서 도 1의 증착 장치를 A1-A1 선을 따라 잘라 도시한 단면도를 포함한다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 한 실시예에 따른 증착 장치는 챔버(10), 마그넷부(300), 그리고 기판(110)을 지지하기 위한 기판 지지부(330)를 포함한다.
도 3을 참조하면, 한 실시예에 따른 증착 장치는 예를 들어 표시 장치의 화소가 포함하는 발광 소자의 발광층의 형성을 위한 유기층을 증착할 수 있으며, 챔버(10) 내부에서 증착 물질이 도 3에 도시한 화살표 방향으로 증착될 수 있다. 증착 물질은 다양한 유기 물질을 포함할 수 있다. 증착 물질은 기판(110)의 하부에 밀착되어 배치된 증착용 마스크(200)의 개구부(210)를 통과해 기판(110) 상의 정해진 영역에 증착될 수 있다.
마그넷부(300)는 복수의 마그넷(310) 및 요크 플레이트(320)를 포함할 수 있다.
도 1을 참조하면, 각 마그넷(310)은 예를 들어 x 방향으로 길게 연장된 형태를 가질 수 있다. 복수의 마그넷(310)은 x 방향에 직교하는 y 방향으로 배열되어 있을 수 있다. 이웃한 마그넷(310)은 서로 다른 극의 마그넷일 수 있다.
복수의 마그넷(310)의 y 방향 피치(Pt)는 마그넷부(300) 전체에 걸쳐 일정할 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.
요크 플레이트(320)는 마그넷(310)을 고정시키기 위한 것으로 x 방향 및 y 방향, 즉 xy 평면에 평행한 플레이트 형태일 수 있다. 요크 플레이트(320)는 자성을 가져 마그넷(310)을 고정시킬 수 있다.
도 1을 참조하면, 증착용 마스크(200)는 복수 개일 수 있으나 증착용 마스크(200)의 개수가 이에 한정되는 것은 아니다. 복수의 증착용 마스크(200)는 대략 x 방향으로 배열되어 있을 수 있다.
도 3을 참조하면, 기판 지지부(330)는 챔버(10) 내에서 이동 가능할 수도 있고 고정되어 있을 수도 있다. 기판 지지부(330)는 마그넷부(300)와 마주하고, 마그넷부(300)와 기판(110) 사이에 위치할 수 있다. 기판 지지부(330)의 하면은 기판(110)과 접촉하며 기판(110)을 지지할 수 있다. 기판 지지부(330)는 xy 평면에 평행한 플레이트 형태일 수 있다.
기판 지지부(330)는 복수의 홀(또는 홈이라고도 함)(hole)(331)을 포함한다. 홀(331)은 기판(110)을 향하는 면 상에 형성되어 있을 수 있다. 즉, 기판 지지부(330)의 면 중 마그넷부(300)를 향하는 면을 상면이라고 하고 반대쪽 면을 하면이라 하면 홀(331)은 기판 지지부(330)의 하면 쪽에 형성될 수 있다. 도 3에 도시한 단면 뷰에서 각 홀(331)은 기판 지지부(330)의 내부를 향하여 파인 형태를 가지며 단면 형태가 직사각형인 것으로 도시되어 있으나 이에 한정되지 않는다. 다른 실시예에 따르면 홀(331)의 단면 형태는 반원 또는 반타원형일 수도 있으며 이 밖에 다양한 형태를 가질 수 있다.
도 2를 참조하면, 기판 지지부(330)의 홀(331) 각각은 x 방향으로 길게 연장된 형태를 가질 수 있다. 복수의 홀(331)은 y 방향으로 배열되어 있을 수 있다. 도 2 및 도 3을 참조하면, 기판 지지부(330)의 각 홀(331)의 중심은 대체로 마그넷부(300)가 포함하는 이웃한 마그넷(310) 사이의 공간의 중심 각각에 대략 정렬되어 있을 수 있다. 이에 따르면, 복수의 홀(331)의 y 방향 피치(Pt)는 복수의 마그넷(310)의 y 방향 피치(Pt)와 동일할 수 있다.
증착 공정을 위해 증착용 마스크(200)가 기판(110) 상에 배치되면, 기판(110)은 기판 지지부(330)와 증착용 마스크(200) 사이에 위치할 수 있다. 마그넷부(300)가 기판 지지부(330)를 사이에 두고 기판(110)의 반대쪽에 배치되면 마그넷부(300)의 마그넷(310)의 자성에 의해 증착용 마스크(200)가 기판(110)에 밀착되어 고정될 수 있다.
도 4는 한 실시예에 따른 증착 장치가 포함하는 기판 지지부의 단면도이다.
도 4를 참조하면, 기판 지지부(330)가 포함하는 홀(331)은 마그넷부의 복수의 마그넷(310) 중 대응하는 이웃한 마그넷(310) 사이의 공간에 대응하여 배치될 수 있다. 홀(331)의 y 방향 폭(W)은 대응하는 이웃한 마그넷(310) 사이의 공간의 y 방향 폭(S)과 같을 수도 있고 다를 수도 있다. 앞에서 설명한 바와 같이 복수의 마그넷의 y 방향 피치(Pt)와 기판 지지부(330)의 복수의 홀(331)의 y 방향 피치(Pt)는 서로 같을 수 있다.
홀(331)의 z 방향 깊이(H)는 기판 지지부(330)의 z 방향 두께보다 작다. 즉, 기판 지지부(330)에 형성된 홀(331)은 기판 지지부(330)를 관통하지 않으며 기판 지지부(330)의 면 중 기판(110)과 마주하는 면 상에 일정 깊이로 형성되어 있다.
기판 지지부(330)는 자성을 가지는 물질을 포함할 수 있으며, 예를 들어 SUS304 등의 스테인리스 스틸 등의 금속을 포함할 수 있다. 기판 지지부(330)는 기판(110)을 냉각시킬 수 있다. 이를 위해 기판 지지부(330)의 내부에는 냉매가 순환할 수 있다.
다음, 도 1 내지 도 4와 함께 도 5 내지 도 14를 참조하여 본 실시예에 따른 표시 장치에 따른 효과를 비교예와 함께 설명한다.
도 5는 한 실시예에 따른 증착 장치가 포함하는 마그넷부의 평면도이고, 도 6은 한 비교예에 따른 증착 장치가 포함하는 마그넷부에 의한 자력을 나타낸 그래프이고, 도 7은 한 비교예에 따른 증착 장치가 포함하는 마그넷부에 의한 자력에 의해 휘어진 증착용 마스크의 시뮬레이션 결과이다.
도 5 및 도 6을 참조하면, 한 비교예에 따른 증착 장치에서는 기판 지지부가 본 실시예와 같은 홀(331)을 포함하지 않고 평탄한 하면 및 상면을 가진다.
도 6은 y 방향에 따른 자력의 세기를 나타내는 그래프로서, 제1 그래프(GMz)는 도 5에 도시한 바와 같이 z 방향에 평행한 방향의 z 방향 자력(Mz)의 변화를 나타낸다. z 방향 자력(Mz)은 마그넷(310)의 피치(Pt)를 주기로 변화하며 각 마그넷(310)의 중앙에 대응하는 영역에서 가장 셀 수 있다. 제1 그래프(GMz)는 각 마그넷(310)의 중앙에 대응하는 상부 피크 및 이웃한 마그넷(310) 사이의 공간의 중앙에 대응하는 하부 피크를 가지며 대략 사인 형태로 변화할 수 있다.
도 6에 도시한 제2 그래프(GMy)는 도 5에 도시한 바와 같이 y 방향에 평행한 방향의 y 방향 자력(My)의 변화를 나타낸다. y 방향 자력(My)도 마그넷(310)의 피치(Pt)를 주기로 변화하나, 각 마그넷(310)의 가장자리에 대응하는 곳에서 큰 절대값을 가지고 각 마그넷(310)의 중앙에 대응하는 영역에서는 0에 가까울 수 있다. 제2 그래프(GMy)는 각 마그넷(310)의 일측 가장자리에 대응하는 상부 피크 및 타측 가장자리에 대응하는 하부 피크를 가지며 대략 사인 형태로 변화할 수 있다. 도 6에서 AA로 표시한 영역에서의 y 방향 자력(My)의 방향과 BB로 표시한 영역에서의 y 방향 자력(My)의 방향은 서로 반대일 수 있다.
이러한 비교예에 따르면 상부 피크 및 하부 피크를 가지고 주기적으로 변화하는 z 방향 자력(Mz) 및 y 방향 자력(My)에 의해 도 7에 도시한 바와 같이 증착용 마스크(200C)가 y 방향을 따라 주기적으로 휘어진 웨이브 형태로 변화되어 상대적으로 뾰족한 산 부분(200A)과 골 부분(200B)을 가질 수 있다.
이와 같이 기판 지지부가 본 실시예와 같은 홀(331)을 포함하지 않는 비교예에 따르면, 상부 피크 및 하부 피크를 가지고 주기적으로 변화하는 z 방향 자력(Mz) 및 y 방향 자력(My), 그리고 이러한 자력에 의해 z 방향으로 큰 굴곡을 가지고 변화된 증착용 마스크(200C)에 의해 기판(110) 상에 증착된 막의 두께에 주기적인 편차가 발생할 수 있다. 즉, 표시 장치의 화소 열 별로 증착된 발광층의 두께에 주기적인 편차가 발생할 수 있다.
도 8은 한 비교예에 따른 증착 장치를 이용해 제조한 표시 장치가 표시한 영상의 가로줄 불량을 나타낸 사진이다.
구체적으로, 도 8은 비교예에 따른 증착 장치로 기판(110) 상에 막을 증착한 표시 장치(1000)가 화이트를 표시할 때 시인되는 가로줄 등의 줄무늬(LV) 불량을 나타낸다. 특히 증착용 마스크(200C)의 z 방향 두께가 점차 감소하는 추세에서 증착용 마스크(200C)의 두께 산포도가 상대적으로 커지고 이에 따른 자력의 편차도 상대적으로 커져 이러한 줄무늬 시인 불량은 더욱 커질 수 있다.
도 9는 한 실시예에 따른 증착 장치가 포함하는 기판 지지부에 의해 왜곡된 자력을 나타낸 시뮬레이션 결과이고, 도 10은 한 실시예에 따른 증착 장치가 포함하는 마그넷부에 의한 자력이 기판 지지부에 의해 변화된 결과를 나타낸 그래프이고, 도 11은 한 실시예에 따른 증착 장치가 포함하는 마그넷부에 의한 자력이 기판 지지부에 의해 변화된 결과를 나타낸 그래프이고, 도 12는 한 실시예에 따른 증착 장치가 포함하는 기판 지지부의 단면도이고, 도 13은 한 실시예에 따른 증착 장치가 포함하는 기판 지지부의 단면도이다.
위에서 설명한 비교예에 비해, 본 실시예에 따른 증착 장치가 포함하는 기판 지지부(330)는 자성을 가지며 이웃한 마그넷(310) 사이의 공간에 대응하는 복수의 홀(331)을 포함하면, 도 9에 도시한 바와 같이 기판 지지부(330)에 형성된 홀(331)의 가장자리 주변의 자력이 왜곡된다.
그러면 본 실시예에서 홀(331)의 가장자리 주변의 자력 왜곡에 의해, z 방향에 따른 자력의 세기를 나타내는 그래프를 도시한 도 10의 제1 그래프(GMz)와 같이 z 방향 자력(Mz)이 도 6에 도시한 제1 그래프(GMz)의 상부 피크에 대응한 영역에서 감소하는 결과를 얻을 수 있다. 또한 도 10에서 CC로 표시한 부분과 같이 z 방향 자력(Mz)이 가장 높은 영역의 y 방향 폭이 증가하여 도 6의 제1 그래프(GMㅋ)에 비해 납작한 피크를 이루는 제1 그래프(GMz)를 얻을 수 있다.
또는 본 실시예에서 홀(331)의 가장자리 주변의 자력 왜곡에 의해, y 방향에 따른 자력의 세기를 나타내는 그래프를 도시한 도 11의 제2 그래프(GMy)와 같이 y 방향 자력(My)이 도 6에 도시한 제2 그래프(GMy)의 상부 피크에 대응한 영역에서 감소하는 결과를 얻을 수 있다. 또한 도 11에서 DD로 표시한 부분과 같이 y 방향 자력(My)이 가장 높은 영역의 y 방향 폭이 증가하여 도 6의 제2 그래프(GMy)에 비해 납작한 피크를 이루는 제2 그래프(GMy)를 얻을 수 있다. 또한 y 방향 자력(My)이 가장 낮은 영역에서도 자력의 세기가 줄어들고 y 방향의 폭이 증가함을 알 수 있다.
도 10과 도 11은 각각 본 실시예에서 z 방향 자력(Mz) 및 y 방향 자력(My)의 뾰족한 피크를 낮게 완화하는 동일한 효과를 가지며, 그 차이는 도 12 및 도 13에 도시한 바와 같이 기판 지지부(330)가 포함하는 홀(331)의 폭에 따라 달라질 수 있다.
먼저 도 12를 참조하면, 한 실시예에 따른 기판 지지부(330)가 포함하는 홀(331)은 마그넷부의 복수의 마그넷(310) 중 대응하는 이웃한 마그넷(310) 사이의 공간에 대응하여 배치될 수 있다. 홀(331)의 y 방향 폭(W1)은 대응하는 이웃한 마그넷(310) 사이의 공간의 y 방향 폭(S1)보다 클 수 있다. 그러나 홀(331)의 가장자리는 대응하는 마그넷(310)의 중앙까지 확장되지는 않는다. 즉, 홀(331)의 y 방향 폭(W1)은 마그넷(310)의 피치(Pt)보다 작을 수 있다.
도 12에 도시한 실시예에 따른 자력의 세기를 나타낸 그래프가 앞에서 설명한 도 10에 해당한다.
다음 도 13을 참조하면, 한 실시예에 따른 기판 지지부(330)가 포함하는 홀(331)은 마그넷부의 복수의 마그넷(310) 중 대응하는 이웃한 마그넷(310) 사이의 공간에 대응하여 배치될 수 있다. 홀(331)의 y 방향 폭(W2)은 대응하는 이웃한 마그넷(310) 사이의 공간의 y 방향 폭(S2)보다 클 수 있고 앞에서 설명한 도 12에 도시한 홀(331)의 y 방향 폭(W1)보다 크다. 본 실시예에서도 홀(331)의 y 방향 폭(W1)은 마그넷(310)의 피치(Pt)보다 작을 수 있다.
도 13에 도시한 실시예에 따른 자력의 세기를 나타낸 그래프가 앞에서 설명한 도 11에 해당한다.
도 14는 한 실시예에 따른 증착 장치가 포함하는 마그넷부 및 기판 지지부에 의한 자력에 의해 휘어진 증착용 마스크의 시뮬레이션 결과이다.
본 실시예에 따르면 마그넷(310) 및 기판 지지부(330)의 홀(331)에 의한 z 방향 자력(Mz) 및 y 방향 자력(My)의 피크 부분에서의 세기가 줄어들고 y 방향으로 폭이 넓어져 증착용 마스크(200)에 미치는 주기적인 자력의 영향을 줄일 수 있다. 도 14를 참조하면, 본 실시예에 따른 증착 장치에서 사용된 증착용 마스크(200)는 y 방향을 따라 주기적으로 휘어진 형태를 가지나 앞에서 설명한 도 7에 도시한 비교예에 따른 증착용 마스크(200C)의 형태에 비해 산 부분(200A)과 골 부분(200B)의 높이차가 작으며 납작한 형태를 이룸을 알 수 있다.
이와 같이 기판 지지부가 본 실시예와 같은 홀(331)을 포함하는 실시예에 따르면, 마그넷(310) 및 기판 지지부(330)에 의한 z 방향 자력(Mz) 및 y 방향 자력(My)의 피크 영역을 왜곡시켜 자력을 감소시킬 수 있고 증착용 마스크(200)의 휘어진 정도도 줄일 수 있다. 이에 따라, 증착용 마스크(200)에 의해 기판(110) 상에 증착된 막의 두께의 편차를 줄일 수 있고, 이에 의한 줄무늬가 시인되는 불량을 줄일 수 있다.
실시예에 따라서는 기판 지지부(330)에 형성된 홀(331)은 마그넷부(300)를 향하는 면 상에 형성되어 있을 수도 있다. 즉, 기판 지지부(330)의 면 중 마그넷부(300)를 향하는 면을 상면이라고 하고 반대쪽 면을 하면이라 하면 홀(331)은 기판 지지부(330)의 상면 쪽에 형성될 수도 있다.
이상에서 본 발명의 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.
10: 챔버
110: 기판
200, 200C: 증착용 마스크
210: 개구부
300: 마그넷부
310: 마그넷
320: 요크 플레이트
330: 기판 지지부
331: 홀
1000: 표시 장치

Claims (20)

  1. 복수의 마그넷을 포함하는 마그넷부, 그리고
    상기 마그넷부와 마주하며 기판을 지지할 수 있는 기판 지지부
    를 포함하고,
    상기 기판 지지부는 복수의 홀을 포함하고,
    상기 복수의 홀 각각은 상기 복수의 마그넷 중 이웃한 마그넷 사이의 공간에 대응하여 배치된
    증착 장치.
  2. 제1항에서,
    상기 복수의 마그넷은 제1 방향으로 배열되어 있고,
    상기 복수의 홀은 상기 제1 방향으로 배열되어 있는
    증착 장치.
  3. 제2항에서,
    상기 마그넷은 상기 제1 방향에 수직인 제2 방향으로 길게 연장되고,
    상기 홀은 상기 제2 방향으로 길게 연장되어 있는
    증착 장치.
  4. 제2항에서,
    상기 홀의 중심은 상기 이웃한 마그넷 사이의 공간의 중심에 정렬되어 있는 증착 장치.
  5. 제4항에서,
    상기 홀의 상기 제1 방향의 폭은 대응하는 상기 이웃한 마그넷 사이의 공간의 상기 제1 방향의 폭과 같은 증착 장치.
  6. 제4항에서,
    상기 홀의 상기 제1 방향의 폭은 대응하는 상기 이웃한 마그넷 사이의 공간의 상기 제1 방향의 폭보다 큰 증착 장치.
  7. 제2항에서,
    상기 기판 지지부는 상기 마그넷부를 향한 제1면 및 상기 제1면과 반대쪽의 제2면을 포함하고,
    상기 복수의 홀은 상기 제2면에 형성되어 있는
    증착 장치.
  8. 제2항에서,
    상기 제1 방향 및 상기 제1 방향에 수직인 제2 방향에 수직인 방향을 제3 방향이라 할 때,
    상기 홀의 상기 제3 방향의 깊이는 상기 기판 지지부의 상기 제3 방향의 두께보다 작은
    증착 장치.
  9. 제2항에서,
    상기 기판 지지부는 상기 마그넷부와 상기 기판 사이에 위치하는 증착 장치.
  10. 제2항에서,
    상기 복수의 마그넷의 상기 제1 방향의 피치는 상기 복수의 홀의 상기 제1 방향의 피치와 동일한 증착 장치.
  11. 제2항에서,
    상기 기판의 하부에 위치하는 증착용 마스크를 더 포함하고,
    상기 기판 지지부는 상기 마그넷부와 상기 증착용 마스크 사이에 위치하는
    증착 장치.
  12. 제2항에서,
    상기 기판 지지부는 자성을 가지는 증착 장치.
  13. 제1항에서,
    상기 기판 지지부는 냉매를 포함하는 증착 장치.
  14. 제1 방향으로 배열된 복수의 마그넷을 포함하는 마그넷부, 그리고
    상기 마그넷부를 향한 제1면 및 상기 제1면과 반대쪽의 제2면을 가지는 기판 지지부
    를 포함하고,
    상기 기판 지지부는 자성을 가지고,
    상기 기판 지지부는, 상기 제1면 또는 상기 제2면 상에 형성되어 있으며 상기 제1 방향으로 배열된 복수의 홀을 포함하는
    증착 장치.
  15. 제14항에서,
    상기 마그넷은 상기 제1 방향에 수직인 제2 방향으로 길게 연장되고,
    상기 홀은 상기 제2 방향으로 길게 연장되어 있는
    증착 장치.
  16. 제14항에서,
    상기 홀의 중심은 상기 이웃한 마그넷 사이의 공간의 중심에 정렬되어 있는 증착 장치.
  17. 제16항에서,
    상기 홀의 상기 제1 방향의 폭은 대응하는 상기 이웃한 마그넷 사이의 공간의 상기 제1 방향의 폭과 같거나 큰 증착 장치.
  18. 제14항에서,
    상기 제1 방향 및 상기 제1 방향에 수직인 제2 방향에 수직인 방향을 제3 방향이라 할 때,
    상기 홀의 상기 제3 방향의 깊이는 상기 기판 지지부의 상기 제3 방향의 두께보다 작은
    증착 장치.
  19. 제14항에서,
    기판은 상기 기판 지지부의 상기 제2면 상에 배치되고,
    상기 기판 지지부는 상기 마그넷부와 상기 기판 사이에 위치하는
    증착 장치.
  20. 복수의 마그넷을 포함하는 마그넷부, 그리고
    상기 마그넷부를 향하는 제1면, 그리고 기판을 지지할 수 있는 제2면을 가지는 기판 지지부
    를 포함하고,
    상기 기판 지지부는, 상기 제1면 또는 상기 제2면 상에 형성되어 상기 마그넷의 자력을 왜곡할 수 있는 복수의 홀을 포함하는
    증착 장치.
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