KR20120094112A - 증착 마스크, 증착장치 및 증착 방법 - Google Patents

증착 마스크, 증착장치 및 증착 방법 Download PDF

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샤프 가부시키가이샤
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Abstract

증착(蒸着)에 의해, 기판(10)에 박막(2)을 소정의 패턴으로 형성하기 위해 이용되는 증착 마스크(601)이다. 증착 마스크(601)의 복수의 개량형 개구(62A)는, 돌출 개구부(64)를 가지며, 폭방향 중앙부의 개구량보다, 폭방향 단부의 개구량이 크게 형성된다. 증착 마스크(601)는, 증착장치(50)에서, 마스크 유닛(55)에 의해 증착원(源)(53)과 상대적인 위치관계가 고정된다. 이 증착장치(50)를 이용하여 기판(10)에 박막(3)을 스트라이프상(狀)으로 형성한 경우, 기판(10)과 증착 마스크(601)와의 사이에 틈새(H)를 형성한 상태에서, 기판(10)을 주사(走査)방향을 따라 상대적으로 이동시키면서 차례로 증착시킨다.

Description

증착 마스크, 증착장치 및 증착 방법{VAPOR DEPOSITION MASK, VAPOR DEPOSITION DEVICE, AND VAPOR DEPOSITION METHOD}
본 발명은, 예를 들어, 대형 유기 EL 디스플레이(Electro Luminescence display) 등에 적합한 증착(蒸着) 마스크 등에 관한 것이다.
최근, 플랫 패널 디스플레이의 대형화, 고화질화, 저소비 전력화가 요구되고 있으며, 저전압에서 구동되고, 고화질인 유기 EL 디스플레이는 높은 주목을 받고 있다. 유기 EL 디스플레이의 구조는, 예를 들어, 풀 컬러의 액티브 매트릭스 방식의 유기 EL 디스플레이의 경우, TFT(박막 트랜지스터)가 설치된 기판 상에 박막상(狀) 유기 EL 소자가 설치된다. 유기 EL 소자에는, 한 쌍의 전극 사이에 적(R), 녹(G), 청(B)의 발광(發光)층을 포함한 유기 EL층이 적층되어 있고, 이들 전극 사이에 전압을 인가함으로써 각 발광층이 발광하므로, 그 빛을 이용하여 화상표시가 행해진다.
이와 같은 유기 EL 디스플레이의 제조에서는, 진공 증착법이나 잉크젯법, 레이저 전사(轉寫)법 등의 수법을 이용하여 발광층이나 전극 등 박막의 패터닝이 행해진다. 예를 들어, 저분자형 유기 EL 디스플레이(OLED)에서는, 주로 진공 증착법이 발광층의 패터닝에 이용되고 있다.
진공 증착법에서는, 통상, 소정의 개구(開口)가 패턴 형성된 마스크를 기판에 밀착 고정하여, 마스크측을 증착원(源)을 향한 상태에서 진공챔버에 세팅한다. 그리고, 기판의 원하는 위치에, 마스크의 개구를 통해 증착원으로부터 성막(成膜) 소재를 증착시킴으로써, 발광층 등의 박막의 패터닝이 행해진다. 각 색의 발광층은, 각각 개별로 나누어 칠하도록 증착된다(도분(塗分)증착). 특히 양산과정에서는, 기판과 동등 크기의 마스크(밀착형 전면 섀도 마스크(shadow mask))를 사용하고, 이 마스크를 밀착시킨 기판을 증착원(源)에 대해 소정 위치에 고정한 상태에서 증착하는 것이 일반적이다.
증착원에 대해 기판 등을 상대적으로 이동시키면서 증착하는 진공 증착법도 알려져 있다(특허문헌 1). 특허문헌 1에서는, 형성하는 전극의 면적보다 작은 소공(小孔)이나 가늘고 긴 슬릿 공이 소정 간격으로 복수 형성된 마스크가 사용된다. 이 마스크를 소공 등의 배열방향에 대해 교차하는 방향으로 이동시키면서 증착하고, 소정 패턴의 전극을 형성한다.
본 발명에 관하여, 증착원으로부터 방사(放射)되는 박막재료의 방사각도, 기판이나 증착 마스크의 배치 등을 소정의 조건으로 설정함으로써, 증착처리에서 발생하는 박막표면의 요철(凹凸)형상을 개량하는 방법이 개시되어 있다(특허문헌 2).
특허문헌 2에서는, 증착법에 의해 RGB 각 색의 화소별로 막 두께가 다른 홀(hole) 수송층을 형성하므로, 각 색의 화소별로 개구율(開口率)이 다른 메시(mesh) 패턴의 마스크가 이용되고 있다. 이 마스크는 기판에 스페이서(spacer)를 개재하고 대향 배치되며, 소정의 증착장치에 설치된다. 증착원에서 기판을 향해 박막재료(홀 수송층의 재료)가 방사(放射)되면, 이 박막재료가 개구율에 따라 기판 상에 퇴적(堆積)되어, 막 두께가 다른 홀 수송층이 형성된다. 형성된 홀 수송층은, 그 표면을 평탄하게 하기 위해, 홀 수송층을 일단 가열하고 용융(溶融)시킨 후, 고체화시키고 있다.
그리고, 이 가열처리를 생략하는 방법으로써, 증착원으로부터 방사되는 박막재료의 방사각도 등을 소정의 조건으로 설정하는 방법이 개시되어 있다. 구체적으로는, 증착원에서의 박막재료 방사각도를 θ, 기판과 마스크와의 간격을 H, 마스크의 메시 폭을 W로 했을 때, tan(90－θ／2)＝H／W의 관계를 충족시키도록 증착조건을 설정한다. 이렇게 함으로써, 증착원에서 방사되는 박막재료가 메시 패턴의 하측으로 들어가 퇴적하므로, 박막표면의 요철형상이 경감된다.
[선행기술문헌]
[특허문헌]
특허문헌 1 : 일본 특허공개 평성 10-102237호 공보
특허문헌 2 : 일본 특허공개 2007-5123호 공보
종래의 양산과정 하에서 발광층 등을 진공 증착법에 의해 패터닝할 경우, 기판이 커지면 이에 수반하여 마스크도 대형화하므로, 마스크의 자중(自重)에 의한 휨이나 늘어남에 의해, 기판과 마스크와의 사이에 틈새가 생기기 쉽다. 때문에, 고정밀도의 패터닝을 행하는 것은 어렵고, 증착위치의 어긋남이나 혼색이 발생하여 고정세화(高精細化)의 실현이 어렵게 되어 있다.
또, 기판이 커지면, 마스크나 이를 유지하는 프레임 등이 거대하게 되어 그 중량도 증가하므로, 취급이 어려워지고, 생산성이나 안전성에 지장을 초래할 우려가 있다. 관련장치도 마찬가지로 거대화, 복잡화하므로, 장치설계가 곤란해지며, 설치원가도 고액이 된다.
때문에, 종래의 진공 증착법에서는 대형기판으로의 대응이 어렵고, 예를 들어, 60인치 크기를 초과하는 대형 기판에 대해서는 양산레벨에서 패터닝 할 수 있는 방법이 실현되지 않은 것이 실정이다.
이에 대해, 본 발명자는, 이와 같은 대형기판에도 대응할 수 있는 증착방법(신(新)증착법이라고도 함)을 먼저 제안하고 있다(특원 2009-213570).
구체적으로는, 기판보다 면적이 작은 섀도 마스크와 증착원이 일체화된 마스크 유닛을 사용한다. 섀도 마스크와 기판과의 틈새를 일정하게 유지한 상태에서, 마스크 유닛을 기판에 대해 상대적으로 주사(走査)시키면서 증착을 행한다. 이렇게 함으로써, 전술한 기판의 대형화를 수반하는 문제를 회피하고, 증착에 의한 대형기판의 패터닝을 양산 과정에서 실현 가능하게 한다.
그러나, 이 신증착법의 경우, 패턴 형성되는 박막에 막 두께의 불균일성이 발생하는 문제가 확인되었다.
도 1에, 신증착법의 증착과정을 나타낸 모식도를 나타낸다. 도면 중, (101)은 기판, (102)는 증착 마스크, (102a)는 개구, (103)은 증착원, (103a)은 증착입자를 사출(射出)하는 사출구, (110)은 기판에 형성된 발광층 등의 박막이다. 증착 마스크(102)와 증착원(103)은, 유닛화되어 상대적인 위치관계가 고정된다. 화살표선은 이 증착 마스크(102) 등의 기판(101)에 대한 상대적인 주사(走査)방향을 나타낸다.
신증착법에서는, 증착 마스크(102)와 기판(101)과의 사이에 일정의 틈새를 유지하면서 증착이 행해지므로, 도 2에 나타내듯이, 주사방향과 수직인 방향(박막(110)의 폭방향)에 있어서, 박막(110)의 중앙부(110a)보다 그 양단부(兩端部)(110b, 110b)에서 막 두께가 얇아지는 현상이 확인되었다. 이는 주로 다음의 2가지 이유가 영향을 주고 있는 것이라 추측된다.
(증착각도의 영향)
도 3에 나타내듯이, 증착 마스크(102)의 개구(102a)와 대향하는 기판(101)의 증착영역(101a)에 있어서, 그 중앙부와 양단부에서는 증착입자가 증착할 수 있는 각도(증착각도)에 차이가 있다. 즉, 증착 마스크(102)는 기판(101)에 대해 정밀도가 높고 평행으로 위치 결정되므로, 개구(102a)를 지나 증착입자가 중앙부에 입사(入射)할 수 있는 증착각도(θ1)는, 개구(102a)를 지나 증착입자가 각 단부로 입사할 수 있는 증착각도(θ2)보다 크게 된다. 환언하면, 증착입자가 통과할 수 있은 개구(102a)의 폭은 중앙부에 비해 각 단부에서는 실질적으로 좁아진다. 그 결과, 증착영역(101a)의 양단부에서는 중앙부에 비해 증착입자가 증착하기 어려워지고, 박막(110)에 막 두께 차가 생긴다.
(증착분포의 영향)
증착원(103)으로부터 방사되는 증착입자 분포의 영향을 받는 경우가 있다. 예를 들어, 도 4(a)에 나타내듯이, 증착원(103)의 사출(射出)방향(증착 중심선 L1으로 나타냄)과 직교하는 평면에서의 증착분포를 측정한 경우, 통상, 동 도면의 (b)에 나타내는 증착분포가 얻어진다. 그리고, 도면 중의 가로축은 증착 중심선(L1)에 대한 확대 각(θ3)이며, 세로축은 증착량이다.
증착량은, 사출구(103a)의 바로 위(확대 각 θ3＝0°)가 가장 많고, 바로 위로부터 멀어짐(확대 각 θ3이 크게 된다)에 따라 적어진다. 때문에, 예를 들어, 사출구(103a) 바로 위에 증착영역(101a)의 중앙부가 위치하도록 배치한 경우, 증착영역(101a)의 중앙부에는, 분포중앙의 범위(S1으로 나타냄)의 증착입자가 증착되고, 증착영역(101a)의 각 단부에는, 분포중앙보다 치우친 범위(S2로 나타낸다)의 증착입자가 증착하는 것이 된다. 그 결과, 증착영역(101a)의 양단부는 중앙부에 비해 증착량이 적어지고, 박막(110)에 막 두께의 차가 생긴다.
박막에 막 두께의 차가 발생한 경우, 예를 들어, 화소 내 유기막의 막 두께의 차가 어떤 값 이상(예를 들어, 평균 막 두께의 2％ 이상)이 되면, 발광 휘도의 차가 눈으로 확인될 뿐만 아니라, 막 두께가 얇은 부분은 전계(電界)가 강해지므로 전류량이 증가하여 휘도 열화가 진행된다. 또한, 유기막의 얇은 부분에 전계가 집중함으로써 전극간의 단락(短絡)이 발생하여, 화소의 결함(缺陷)을 유발할 우려가 있다. 따라서, 화상표시 성능이나 제품의 장기 신뢰성 등을 향상시키기 위해서도, 막 두께는 가능한 한 균일하게 하는 것이 바람직하다.
박막의 막 두께의 차를 해소하기 위해, 예를 들어, 전술한 특허문헌 2의 방법을 적용하는 것도 생각할 수 있다. 그러나, 이 방법으로는, 서로 인접하는 2개 개구 사이의 부분(화소영역의 중앙부분에 상당)에서 막 두께의 저하는 경감되더라도, 단부에서의 막 두께의 저하는 경감되지 않는다.
또한, 전술과 같이 증착영역의 단부에서는 중앙부보다 실질적으로 증착량이 감소하므로, 단지 단부 2개의 증착량이 겹쳐지도록 설정하는 것만으로는 막 두께의 차는 여전히 잔존한다. 특히 증착영역의 중앙부분에서의 막 두께의 차는 화상품질 등에 미치는 영향이 크므로, 단부의 막 두께의 차보다 문제이다.
게다가, 박막의 크기가 작아지면 이에 수반하여 막 두께의 차도 작아지므로, 막 두께의 차를 실질적으로 해소하기 위해서는 고정밀도의 설정이 필요해지나, 전술한 방법의 조건으로는 불충분하다.
그래서, 본 발명의 목적은, 막 두께의 균일성을 높임으로써, 화상 표시성능이나 제품의 장기 신뢰성 등을 더욱 향상시킬 수 있는 증착 마스크 등을 제공하는 데 있다.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명에서는 증착 마스크의 형상이나 그 배치를 개량했다.
예를 들어, 본 발명의 증착 마스크는, 증착에 의해, 기판에 박막을 소정의 패턴으로 형성하기 위해 이용된다. 증착 마스크는, 판상(板狀)의 마스크 본체와, 상기 마스크 본체에 일렬로 나열되어 형성된 복수의 개구를 갖는다. 상기 복수의 개구는, 이들이 나열하는 방향과 평행한 폭방향의 부위에 의해, 이 폭방향과 직교하는 길이방향의 개구량이 다른 개량형 개구를 포함한다. 상기 개량형 개구는, 상기 폭방향 중앙부의 상기 개구량보다, 상기 폭방향 단부의 상기 개구량이 크게 형성된다.
이와 같은 증착 마스크에 의하면, 폭방향 중앙부의 개구량보다, 폭방향 단부의 개구량이 큰 개량형 개구가 형성되므로, 그 길이방향이 주사방향과 평행이 되도록 증착 마스크를 증착장치에 장착하면, 그 단부에서의 증착시간을 길게 할 수 있다.
증착시간이 길어지는 만큼, 박막 양단부의 막 두께의 저하를 보충할 수 있고, 박막의 막 두께의 균일성을 높일 수 있다. 그 결과, 예를 들어, 표시품위가 높고, 높은 신뢰성의 유기 EL 디스플레이의 실현이 가능해진다.
구체적으로는, 상기 개량형 개구는, 상기 길이방향의 적어도 어느 한 쪽의 단(端) 부분에서, 상기 폭방향의 단부에, 상기 폭방향의 중앙부보다 돌출되어 개구하는 돌출 개구부를 가지도록 하면 된다.
보다 구체적으로는, 상기 돌출 개구부는, 상기 폭방향의 중앙부로부터 단부측으로 멀어짐에 따라 개구량이 점차 크게 되도록 형성하는 것이 바람직하다.
이렇게 하면, 박막의 폭방향 중앙부로부터 단부에 걸쳐 균형 좋게 막 두께를 균일화할 수 있다.
상기 돌출구 개구부는, 복수의 부분 개구부로 분단되어 있어도 된다.
이렇게 하면, 증착 마스크의 강도가 향상하고, 성형도 용이해진다.
증착처리에 시에는, 이와 같은 증착 마스크와, 상기 박막을 형성하는 증착입자를 방사하는 증착원과, 상기 증착 마스크 및 상기 증착원을 포함하고, 이들의 상대적인 위치관계를 고정하는 마스크 유닛과, 상기 기판을 지지하는 기판지지 장치와, 상기 기판과 상기 증착 마스크와의 사이에 일정의 틈새를 형성한 상태에서, 상기 마스크 유닛 및 상기 기판 중 적어도 한쪽을 소정의 주사방향을 따라 상대적으로 이동시키는 이동장치를 구비하고, 상기 길이방향이 상기 주사방향과 평행이 되도록 상기 증착 마스크가 배치되는 증착처리를 이용하면 된다.
이렇게 하면, 예를 들어, 대형 유기 EL 디스플레이라도 지장없이 증착할 수 있으므로, 화상표시 성능이나 제품의 장기 신뢰성 등이 우수한 대형 유기 EL 디스플레이의 양산화를 실현할 수 있다.
증착방법의 구체적인 예로는, 이 증착장치를 이용하여 상기 기판에 상기 박막을 스트라이프상(狀)으로 형성하는 증착방법에 있어서, 상기 기판을 상기 기판지지 장치로 지지시켜, 상기 기판과 상기 증착 마스크와의 사이에 상기 틈새를 형성한 상태에서, 상기 마스크 유닛과 상기 기판을 대향시키는 위치 맞춤 공정과, 상기 이동장치에 의해, 상기 마스크 유닛 및 상기 기판 중 적어도 한쪽을 소정의 주사방법을 따라 상대적으로 이동시키면서 차례로 증착시키고, 상기 박막을 형성하는 증착공정을 포함하는 증착방법을 들 수 있다.
이 증착방법이라면, 소정의 조작을 행하는 것만으로, 화상표시 성능이나 제품의 장기 신뢰성 등이 우수한 대형 유기 EL 디스플레이를 제조할 수 있으므로, 양산 과정에 적합하다.
특히, 상기 기판으로써, 빛이 방출되는 발광영역을 갖는 복수의 화소가 격자상으로 배열되는 유기 EL 디스플레이용 기판이 이용되는 경우에는, 상기 복수의 개구는, 상기 복수의 화소에 포함되는 복수의 피성막(被成膜) 화소와 각각 대향하고 배치되며, 상기 기판과 직교하는 방향에서 보아, 상기 개량형 개구의 상기 폭방향의 내측에, 상기 피성막 화소의 상기 발광영역이 틈새를 사이에 두고 수용되도록 위치 결정하는 것이 바람직하다.
피성막 화소의 발광영역을 개량형 개구 내측에 틈새를 사이에 두고 수용함으로써, 증착 마스크와 기판과의 사이에서 발생하는 치수나 위치 결정의 어긋남을 요인으로 하는 박막의 성형불량을 억제할 수 있고, 양산 과정에 있어서 생산성을 향상할 수 있다.
상기 개량형 개구의 상기 폭방향 중앙을 지나 상기 길이방향으로 연장되는 중앙선을 가정하고, 상기 중앙선에서 상기 폭방향을 단부측을 향해 멀어진 거리가 W의 소정위치에 있어서, 상기 돌출개구부를 포함하는 상기 개량형 개구의 개구량을 Lw로 하고, 상기 개량형 개구가 상기 돌출 개구부를 갖지 않는다고 가정한 경우에, 상기 소정 위치에서 형성되는 상기 박막의 막 두께를 Tw로 하고, 상기 폭방향 중앙부에 있어서 상기 개구량을 L로 하며, 상기 폭방향 중앙부에서 형성되는 상기 박막의 막 두께를 T로 했을 때(T, L, Tw, Lw의 단위：㎜), 제 1 관계식 (Lw／L≥T／Tw)을 충족시키도록 하는 것이 바람직하다.
이렇게 하면, 용이하게 막 두께의 균일성을 높일 수 있고, 화상표시 성능이나 제품의 장기 신뢰성 등이 우수한 대형 유기 EL 디스플레이를 용이하게 실현할 수 있다.
또, 증착장치는 다음과 같이 구성하여도 된다.
즉, 증착에 의해, 기판에 박막을 소정의 패턴으로 형성하기 위해 이용되는 증착장치에 있어서, 복수의 개구가 일렬로 나열되어 형성되는 증착 마스크와, 상기 박막을 형성하는 증착입자를 상기 기판을 향해 방사하는 증착원과, 상기 증착 마스크 및 상기 증착원을 포함하고, 이들의 상대적인 위치관계를 고정하는 마스크 유닛과, 상기 기판을 지지하는 기판지지 장치와, 상기 기판과 상기 증착 마스크와의 사이에 일정의 틈새(H)를 형성한 상태에서, 상기 마스크 유닛 및 상기 기판 중 적어도 한쪽을, 소정의 주사방향을 따라 상대적으로 이동시키는 이동장치를 구비한다.
상기 복수의 개구가 나열되는 폭방향이 상기 주사방향과 직교하도록, 상기 증착 마스크는 배치된다. 상기 복수의 개구는, 상기 폭방향으로 분단된 복수의 요소개구로 구성되는 제 2 개량형 개구를 포함한다. 상기 제 2 개량형 개구의 상기 복수의 요소개구의 각각은, 상기 폭방향으로 일정 틈새(S)를 사이에 둔 상태에서 서로 인접한다.
상기 주사방향에서 보아, 상기 기판과 거의 수직인 방사방향에 대한 상기 증착입자의 확대각도를 α로 하고, 상기 증착입자가 상기 요소개구를 통과할 수 있는 최대의 통과각도를 β로 했을 때(S, H 단위：㎛, α, β의 단위：°) , 제 2 관계식(S＜H×tanθ, α≤β의 경우에 θ＝α이며, α＞β의 경우에 θ＝β이다)을 충족시키도록 구성한다.
이렇게 하면, 예를 들어 박막의 폭이 커지는 경우에도, 그 중앙부에서의 막 두께의 균일성을 높일 수 있다. 또, 상세한 것은 후술하나, 바람직하지 않은 증착의 폭이 작아지므로, 박막에서 폭방향 단부의 영향을 적게 할 수 있고, 그만큼 막 두께의 균일성을 향상시킬 수 있다.
이 증착장치의 경우도, 전술한 증착장치와 동일한 증착방법을 이용할 수 있다.
특히, 상기 기판으로써, 빛이 방출되는 발광영역을 갖는 복수의 화소가 격자상으로 배열되는 유기 EL 디스플레이용의 기판을 이용하는 경우에는, 전술한 증착장치와 마찬가지로 위치 결정하는 것이 바람직하다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명의 증착 마스크 등에 의하면, 막 두께의 균일성을 높일 수 있으며, 화상표시 성능이나 제품의 장기 신뢰성 등을 더욱 향상시킬 수 있다.
도 1은, 신(新)증착법의 증착과정 일례를 나타낸 모식도이다.
도 2는, 도 1에서 2점 쇄선(鎖線)으로 나타내는 부분을 확대한 개략도이다.
도 3은, 증착각도의 영향을 설명하기 위한 도이다.
도 4는, 증착분포의 영향을 설명하기 위한 도이다. (a)는 증착상태를 나타낸 개락도이고, (b)는 증착분포를 나타낸 개략도이다.
도 5는, 제 1 실시형태의 유기 EL 디스플레이를 나타내는 모식 단면도이다.
도 6은, 기판의 요부(要部)를 나타내는 개략 평면도이다.
도 7은, 도 6의 I-I선에서의 단면을 나타내는 개략도이다.
도 8은, 유기 EL 디스플레이의 기본적인 제조공정을 나타낸 흐름도이다.
도 9는, 증착장치의 요부를 나타내는 개략 평면도이다.
도 10은, 도 9의 II-II선에서의 단면을 나타내는 단면도이다.
도 11은, 증착장치 변형예의 요부를 나타낸 개략도이다.
도 12는, 발광층의 증착공정을 나타낸 흐름도이다.
도 13은, 개량 전의 증착 마스크를 나타내는 개략도이다.
도 14는, 제 1 실시형태의 개량 후 증착 마스크를 나타내는 개략도이다.
도 15는, 돌출 개구부의 돌출량 설정방법을 설명하기 위한 도이다. (a)는 개량형 개구의 개략 평면도이고, (b)는, 요소막의 개략 단면도이다.
도 16은, (a)?(e)는, 증착 마스크의 변형예를 나타내는 개략도이다.
도 17은, 증착 마스크와 화소와의 위치관계를 나타낸 개략 평면도이다.
도 18은, 제 2 실시형태의 증착 마스크를 나타내는 개략도이다.
도 19는, 제 2 실시형태의 요소막의 단면형상을 모식적으로 나타낸 개략도이다.
도 20은, 제 2 관계식을 설명하기 위한 도이다. (a)는 주사방향에서 본 증착원이고, (b)는 주사방향에서 본 증착 마스크 및 기판이다.
도 21은, 바람직하지 않은 증착의 폭을 설명하기 위한 도이다.
도 22는, 바람직하지 않은 증착의 폭을 설명하기 위한 도이다.
도 23은, 제 2 실시형태의 증착 마스크와 화소와의 위치관계를 나타낸 개략 평면도이다.
이하, 본 발명의 실시형태를 도면에 기초하여 상세히 설명한다. 단, 이하의 설명은, 본질적으로 예시에 지나지 않으며, 본 발명, 그 적용물 또는 그 용도를 제한하는 것은 아니다.
[제 1 실시형태]
(유기 EL 디스플레이)
본 실시형태에서는, 유기 EL 디스플레이 제조에 본 발명을 적용한 경우를 예로 설명한다. 본 실시형태의 유기 EL 디스플레이는, 적색, 녹색, 청색(합쳐서 RGB라고도 함)의 각 색으로 이루어진 복수의 화소(서브 화소(sub pixel))의 발광을 제어함으로써, 풀 컬러의 화상표시를 실현하는 액티브 매트릭스형 디스플레이이다.
도 5에 나타내듯이, 본 실시형태의 유기 EL 디스플레이(1)는, 기판(10)이나 박막상(狀)의 유기 EL 소자(20), 밀봉판(30) 등으로 구성된다. 기판(10) 및 밀봉판(30)은, 모두 외관이 직사각형의 판형상을 나타내고, 유기 EL 소자(20)는, 이들 사이에 끼워진 상태로 주위를 접착제 등의 밀봉부재(40)에 막혀 밀봉된다. 기판(10) 표면의 중앙부가, 화상표시를 행하는 표시영역(11)으로 되고, 거기에 유기 EL 소자(20)가 배치된다.
도 6이나 도 7에 나타내듯이, 기판(10)의 표시영역(11)에는, TFT(12)(Thin Film Transistor), 배선(13), 층간막(14) 등이 설치된다.
기판(10)에는, 유리판 등이 이용된다. 본 실시형태의 유기 EL 디스플레이(1)는, 발광을 기판(10)측으로부터 추출하는 보텀 에미션(bottom emission)형이므로, 투명한 기판(10)이 바람직하나, 탑 에미션(top emission)형인 경우에는, 반드시 투명하지 않아도 된다. 배선(13)은, 기판(10) 상에 패터닝되어 있고, 평행으로 연장되는 복수의 게이트선이나, 이들 게이트선과 교차하여 평행으로 연장되는 복수의 신호선 등으로 구성된다. 이들 게이트선 등의 배선(13)에 의해 격자상으로 둘러싸인 복수 영역의 각각에는, RGB 각 색의 서브 화소(2R, 2G, 2B)가 배치되고, 이들 서브 화소(2R, 2G, 2B) 각각에 발광을 제어하는 TFT(12)가 설치된다.
RGB 각 색의 서브 화소(2R, 2G, 2B)는 행방향으로는 색별로 일렬 배치되고, 그리고 열방향으로는 RGB 순으로 반복하여 배치된다. 열방향에 연속된 RGB의 3개 서브 화소(2R, 2G, 2B)는, 하나의 화소를 구성한다. 상세한 것은 후술하나, 각 서브 화소(2R, 2G, 2B)의 발광층(25R, 25G, 25B)은, 색별로 형성된 스트라이프상의 박막(3)에 의해 형성된다.
층간막(14)은, 평탄화막으로써도 기능하는 아크릴 수지 등의 절연성 박막이다. 층간막(14)은, TFT(12) 등을 피복하도록 표시영역(11)의 전역에 걸친 범위에 적층된다. 유기 EL 디스플레이(1)가 보텀 에미션형인 경우에는, 층간막(14)은 투명한 것이 바람직하다.
유기 EL 소자(20)는, 제 1 전극(21)(양극), 유기 EL층(22), 제 2 전극(23)(음극) 등으로 구성된다. 제 1 전극(21)은, 예를 들어 ITO(Indium Tin Oxide) 등으로 이루어지며, 층간막(14) 상에 적층되고, 서브 화소(2)에 대응하여 격자상으로 패터닝함으로써 복수 형성된다. 이들 제 1 전극(21)은 콘택트 홀(14a)을 개재하고 각 TFT(12)와 접속된다. 이들 제 1 전극(21) 상에는, 절연성 에지커버(15)가 적층되어 형성된다. 에지커버(15)에는 서브 화소(2)마다 직사각형으로 개구하는 발광영역(16R, 16G, 16B)이 형성되고, 제 1 전극(21)의 대부분은 그 발광영역(16R, 16G, 16B)에서 노출되고, 제 1 전극(21)의 단부(端部)는 에지커버(15)로 피복된다. 그리고, 각 화소의 발광은 이들 발광영역(16R, 16G, 16B)을 통해 추출된다.
유기 EL층(22)은, 제 1 전극(21)과 제 2 전극(23)과의 사이에 형성된다. 본 실시형태의 유기 EL층(22)에서는, 정공(正孔)수송층(24), 발광층(25R, 25G, 25B), 전자수송층(26), 및 전자주입층(27)이 제 1 전극(21)측에서 차례로 적층되어 형성된다. 본 실시형태의 정공수송층(24)은 정공주입층으로써의 기능도 갖는다. 그리고, 본 실시형태에서 나타내는 유기 EL층(22)의 구성은 일례로, 이에 한정되지 않으며 필요에 따라 각 층을 선택하여 조합할 수 있다. 예를 들어, 정공수송층(24)과 별도로 정공주입층을 형성해도 되고, 블록킹층을 더 형성해도 된다. 유기 EL층에는, 적어도 발광층(25R, 25G, 25B)이 포함되어 있으면 된다. 정공수송층(24)이나 발광층(25R, 25G, 25B) 등의 재료에는, 공지의 재료를 사용할 수 있다.
정공수송층(24), 전자수송층(26), 전자주입층(27)은, 표시영역(11)의 전역(全域)에 걸친 범위에 적층된다. 발광층(25R, 25G, 25B)은, 전술과 같이, 각 색의 서브 화소(2)에 대응하여 스트라이프상으로 패터닝된다. 제 2 전극(23)은, 유기 EL층(22)을 피복하듯이, 표시영역(11) 전역에 걸친 범위에 적층된다.
(유기 EL 디스플레이(1)의 기본적인 제조방법)
도 8을 참조하면서, 전술한 유기 EL 디스플레이(1)의 기본적인 제조방법에 대해 설명한다. 동 도면은, 유기 EL 디스플레이(1)의 제조방법의 각 공정 중, 유기 EL 소자(20)의 정공수송층(24) 등의 형성공정을 나타낸다.
먼저, TFT(12)나 제 1 전극(21) 등이 형성된 기판(10)(TFT기판(10)이라고도 함)을 준비한다. 예를 들어, TFT기판(10)의 베이스로는, 두께가 약 1㎜, 종횡(縱橫) 치수가 500×400㎜의 직사각형 형상을 한 유리판을 사용할 수 있다. 이 경우, 층간막(14)은 약 2㎛의 막 두께로 형성하고, 제 1 전극(21)은 약 100㎚의 막 두께로 형성되며, 에지커버(15)는 약 1㎛의 두께로 형성할 수 있다. 그리고, TFT기판(10)은 공지의 방법으로 형성되므로 그 설명은 생략한다
준비한 TFT기판(10)에 대해, TFT(12) 등을 피복하도록 정공수송층(24)을 형성한다(단계 S1). 구체적으로는, 정공수송층(24)의 재료를 표시영역(11)의 전역에 걸친 범위로 증착한다. 예를 들어, 표시영역(11)과 동일 크기의 개구를 갖는 전역용(全域用) 마스크를 TFT기판(10)에 맞붙여 밀착시킨다. 전역용 마스크가 밀착된 TFT기판(10)을 회전시키면서, 정공수송층(24)의 재료를 증착시킨다. 정공수송층(24)은, 예를 들어, 재료에 α-NPD를 사용하여 약 30㎚의 막 두께로 형성할 수 있다. 그리고, 이 증착처리에는 종래의 증착장치가 사용된다.
다음에, 정공수송층(24) 상에 적층되어 발광층(25R, 25G, 25B)을 형성한다(단계 S2). 발광층(25R, 25G, 25B)은, 나누어 칠하도록 하여 RGB의 각 색별로 증착한다(도분(塗分)증착). 발광층(25R, 25G, 25B)의 증착에서는, 호스트(host) 재료와 도판트(dopant) 재료를 사용하여 공증착(co-depositon)하는 것이 일반적이다. 호스트 재료나 도판트 재료 등, 발광층(25R, 25G, 25B)의 재료는 공지의 재료 중에서 선택하여 사용할 수 있다. 발광층(25R, 25G, 25B)의 막 두께로는, 예를 들어 10?100㎚의 범위로 형성할 수 있다. 그리고, 본 실시형태에서는, 이 공정에 신증착법이나 이 증착장치가 이용되므로, 상세한 것은 후술한다.
이어서, 발광층(25R, 25G, 25B) 상에 적층되어 전자수송층(26)을 형성한다(단계 S3). 구체적으로는, 정공수송층(24)과 동일 방법에 의해, 전자수송층(26)의 재료를 표시영역(11)의 전역에 걸친 범위에 증착한다. 또한, 전자수송층(26) 상에 적층하여 전자주입층(27)을 형성한다(단계 S4). 전자주입층(27)의 경우도, 정공수송층(24)과 같은 방법에 의해 전자주입층(27)의 재료를 표시영역(11)의 전역에 걸친 범위에 증착한다.
전자수송층(26) 및 전자주입층(27)의 재료는, 공지의 재료 중에서 선택하여 사용할 수 있다. 양자는 같은 재료를 이용하여 일체로 형성해도 된다. 전자수송층(26)이나 전자주입층(27)의 각 막 두께는, 예를 들어 10?100㎚ 범위로 형성할 수 있다. 예를 들어, 재료에 Alq를 이용하여 30㎚의 막 두께로 전자수송층(26)을 형성하고, 재료에 LiF를 이용하여 1㎚의 막 두께로 전자수송층(27)을 형성할 수 있다.
그리고, 전자주입층(27) 상에 적층하여 제 2 전극(23)을 형성한다(단계 S5). 제 2 전극(23)의 경우도, 정공수송층(24)과 같은 방법에 의해 제 2 전극(23)의 재료를 표시영역(11) 전역에 걸친 범위에 증착한다. 제 2 전극(23)의 재료도 공지의 재료 중에서 선택하여 사용할 수 있다. 제 2 전극(23)은, 예를 들어 재료에 Al(알루미늄)을 이용하여 50㎚의 막 두께로 형성할 수 있다.
이렇게 유기 EL 소자(20)가 형성된 TFT기판(10)은, 마지막에 밀봉판(30)과 맞붙여 유기 EL 소자(20)를 밀봉함으로써, 유기 EL 디스플레이(1)의 주요부가 완성된다.
(도분(塗分)증착)
다음에, 도분증착에 의해, 발광층(25R, 25G, 25B)을 형성하는 공정(단계 S2)에 대해 설명한다. 본 공정에서는, 전술한 신증착법이나 그 증착장치가 이용되므로, 처음에 그 기본적인 구성에 대해 설명한다.
(증착장치)
도 9 및 도 10에, 본 실시형태의 증착장치(50)를 나타낸다. 이들 도에 나타내듯이, 증착장치(50)는, 진공챔버(51), 기판지지 장치(52), 증착원(53), 섀도 마스크(60)(증착 마스크), 마스크 유닛(55), 이동장치(56) 등을 구비한다. 그리고, 본 실시형태의 증착장치(50)는, 증착입자를 상방을 향해 방사하는 타입이다.
진공챔버(51)는, 개폐 가능한 상자형 밀폐용기이다. 도면 외의 감압장치에 의해, 진공챔버(51)의 내부는, 감압되어 소정의 저압력 상태로 유지할 수 있다.
기판지지 장치(52)는, 처리대상으로 하는 기판(10)(대상기판(10)이라고도 함)을, 그 행방향(각 색의 서브 화소(2R, 2G, 2B)가 일렬로 나열된 방향)이 도 9에 화살표선으로 나타내는 방향(주사방향)을 향한 상태에서 수평으로 지지하는 기능을 갖는다. 예를 들어, 기판지지 장치(52)에 정전(靜電) 척(chuck)을 설치하면, 이 정전 척에 의해 흡착함으로써 대상기판(10)을 자중(自重)에 의한 휨이 없는 상태에서 지지할 수 있다.
기판지지 장치(52)는, 수평이동 가능하며, 이동장치(56)에 의해, 주사방향으로의 수평이동이 자동 제어된다. 그리고, 편의상, 주사방향을 X축방향이라고도 하고, 주사방향에 직교하는 방향은 Y축방향이라고도 한다. 각 도면에서, 적절히 이들 축방향을 나타낸다.
기판지지 장치(52)로 지지한 대상기판(10)의 하방에는, 일정의 틈새(H)을 사이에 둔 상태에서 섀도 마스크(60)가 수평으로 배치된다. 그리고, 틈새(H)의 수직거리(최단거리)는, 50㎛?1㎜의 범위로 설정하는 것이 바람직하다. 50㎛를 하회하면 대상기판(10)과 섀도 마스크(60)가 접촉할 우려가 있고, 1㎜를 상회하면 증착입자 증착각도의 영향으로 증착범위가 너무 확대되어, 혼색이나 패터닝 정밀도의 악화를 초래할 우려가 있다.
섀도 마스크(60)는, 금속제의 장방형을 한 판상의 마스크 본체(61)와, 마스크 본체(61)의 장변방향으로 일렬로 나열되고, 단변을 따라 연장되도록 스트라이프상으로 형성된 복수의 개구(62, 62, …)를 갖는다(개구는, 그 일부만 도시). 복수의 개구(62, 62, …)는, 예를 들어, RGB의 각 색의 서브 화소(2R, 2G, 2B)의 열에 대응시켜 형성된다. 마스크 본체(61)는, 이 장변의 치수가, 대향하는 대상기판(10)의 표시영역(11) Y축방향 치수보다 크게 설정되고, 그 단변의 치수가, 대향하는 대상기판(10)의 표시영역(11) X축방향 치수보다 작게 설정된다. 복수의 개구(62, 62, …)는, Y축방향에서, 표시영역(11)에 대응하는 범위에 형성된다(유효영역).
이 유효영역 양쪽의 외측에는, 대상기판(10)에 설치된 제 1 마커(marker)(17)와의 위치 맞춤을 행하는 제 2 마커(63)가 설치된다. 이들 제 1 마커(17) 및 제 2 마커(63)는, 증착장치(50)에 설치된 센서(57)에 의해 검출되고, 대상기판(10) 및 섀도 마스크(60)는, 그 검출값에 기초하여 수평방향으로 정확하게 위치 결정된다(이들을 위치 결정 기구라고도 함). 섀도 마스크(60)는, 그 단변측을 주사방향과 평행으로 하여 마스크 유닛(55)에 착탈 가능하게 장착된다. 그리고, 섀도 마스크(60)의 상세한 것은 별도 후술한다.
마스크 유닛(55)에는, 홀더(55a)나 텐션 유지장치(58), 증착원(53) 등이 설치된다. 마스크 유닛(55)에 장착된 섀도 마스크(60)는, 텐션 유지장치(58)에 의해 수평으로 지지되고, 홀더(55a)에 의해 증착원(53)과의 상대적인 위치관계가 고정된다.
증착원(53)은, Y축방향을 따라 연장되도록 배치된다. 증착원(53)은, 섀도 마스크(60)를 사이에 두고 대상기판(10)과 대향하도록, 섀도 마스크(60) 하측에 배치된다. 그 상면에는, 증착입자를 대상기판(10)을 향해 방사하는 복수의 사출구(53a, 53a, …)가 Y축방향에 일렬로 나열되어 설치된다(사출구는 그 일부만 도시). 본 실시형태에서는, 이들 사출구(53a, 53a, …)는, 섀도 마스크(60)의 개구(62)와 각각 대향하는 위치에 배치되며, 각 사출구(53a)는, 평면에서 보아 각 개구(62)의 중앙(X축 및 Y축 양 방향의 중앙)에 위치한다. 증착장치(50)에는, 증착원(53)과 섀도 마스크(60)와의 사이를 개폐하는 셔터(도시 생략)가 설치되며, 그 셔터의 개폐를 제어함으로써, 적절한 타이밍으로 증착할 수 있도록 자동 제어된다.
그리고, 증착장치(50)는, 전술한 증착장치(50) 이외에도 여러 가지 구성을 생각할 수 있다. 예를 들어, 기판(10)측이 이동하는 것이 아니라, 마스크 유닛(55)측이 이동하도록 구성할 수 있다. 사출구(53a)의 수나 배치도 적절히 조정할 수 있다.
도 11에 나타내듯이, 마스크 유닛(55)과 기판지지 장치(52)를 상하 반대로 배치하고, 증착입자를 하방을 향해 방사하도록 구성할 수 있다. 각 부재 등의 구성이나 기능은 본 실시형태의 증착장치(50)와 마찬가지이므로, 동일 부호를 사용하고 그 설명을 생략한다. 이 경우, 마스크 유닛(55)측을 용이하게 이동시키는 것이 가능해진다. 또, 대상기판(10)의 지지가 용이해지는 점에서도 유리하다.
(증착방법)
도 12에, 증착방법의 주된 공정을 나타낸다. 예를 들어, 적색(R)의 발광층(25R)용의 섀도 마스크(60)를 마스크 유닛(55)에 장착하고, 텐션유지장치(58)로 섀도 마스크(60)를 수평으로 지지한다(단계 S11). 이 때, 섀도 마스크(60)와 증착원(53)은 소정의 위치관계에 고정된다. 증착원(53)에는, 적색(R)의 발광층(25R)용 재료가 세팅된다. 다음에, 대상기판(10)의 행방향이 주사방향과 평행이 되도록, 대상기판(10)을 기판지지 장치(52)에 장착하여 지지되게 한다(단계 S12). 그리고, 대상기판(10)과 섀도 마스크(60)를 대향시켜 수직방향의 위치 맞춤을 행하고, 대상기판(10)과 섀도 마스크(60)와의 사이에 소정의 틈새(H)를 설정한다(위치 맞춤 공정, 단계 S13).
이렇게 하여 대상기판(10) 등을 증착장치(50)에 세팅한 후에 증착장치(50)를 이동시키고, 대상기판(10)의 표시영역(11) 전역에 걸쳐 대상기판(10)을 주사하면서 증착한다(증착공정, 단계 S14). 이 증착공정에서는, 대상기판(10)은, 일정한 주사속도로 주사방향을 이동한다. 위치 결정 기구에 의해, 대상기판(10)은 섀도 마스크(60)에 대해 수평방향으로 정확하게 위치결정된다. 그 사이, 증착원(53)으로부터 증착입자가 방사되고, 섀도 마스크(60)의 개구(62)를 지나 증착입자가 대상기판(10)에 차례로 증착되고, 박막(3)이 형성된다. 박막(3)의 막 두께는, 예를 들어, 주사속도나 주사회수를 조정함으로써 제어할 수 있다. 증착공정 후에는, 대상기판(10)의 적색(R) 서브 화소(2R, 2R, …) 영역에 스트라이프상의 박막(3)(적색의 발광층(25R)이 형성된다.
적색(R) 발광층(25R) 형성 후에는, 이와 동일한 증착방법에 의해, 섀도 마스크(60)나 증착원(53)의 재료를 교환하면서, 녹색(G)이나 청색(B) 발광층(25G, 25B)을 형성하면 된다. 그리고, RGB 각 색의 서브 화소(2R, 2G, 2B)의 나열은 모두 동일 피치이므로, 예를 들어, 섀도 마스크(60)를 Y축방향으로 소정 피치 이동시키도록 하면, 섀도 마스크(60)는 공용할 수 있다.
(증착 마스크)
신증착법에서는, 전술한 바와 같이, 스트라이프상으로 패턴 형성되는 박막(3)에 막 두께의 불균일성이 발생하는 경우가 있었다. 즉, 섀도 마스크(60)의 개구(62) 단부측(Y축방향 단부측)에서의 증착량이 적어지는 결과, 스트라이프상 박막(3)의 개개의 막, 구체적으로는 벨트상(선상(線狀))으로 연장되는 막(요소막(3)이라고도 함)의 측단부에서 막 두께의 저하가 확인되었다.
이 때에는, 섀도 마스크(60)로써, 도 13에 나타내는 개구(62)가 직사각형 벨트상으로 형성된 섀도 마스크(600)를 사용했었으나, 막 두께의 균일성을 높이기 위해, 새로운 섀도 마스크(60)를 창작했다(개량 마스크(601)라고도 함). 그리고, 각 마스크에서 공통되는 부재 등에 대해서는 동일 부호를 사용한다.
도 14에, 개량 마스크(601)를 나타낸다. 개량 마스크(601)는 장방형 판상의 마스크 본체(61)와, 마스크 본체(61)의 장변을 따라 일렬로 나열되고, 단변을 따라 연장하도록 형성된 복수의 벨트상(슬릿상)의 개구(개량형 개구)(62A, 62A, …)를 갖는다. 이들 개량형 개구(62A)는, 모두 폭방향(개구(62A)가 나열되는 방향, 증착장치(50)에 장착한 때에는 Y축방향)의 부위에 의해, 길이방향(축방향과 직교하는 방향, 증착장치(50)에 장착한 때에는 X축방향)의 개구량(길이)이 다르도록 형성된다. 구체적으로는, 개량형 개구(62A)에서는, 폭방향 중앙부의 개구량보다 폭방향 단부의 개구량이 크게 형성된다.
도 15에도 나타내듯이, 상세하게는, 개량형 개구(62A)의 길이방향의 양단(兩端)의 부분(62a, 62a)이 M자형으로 돌출된 형상을 한다. 즉, 개량형 개구(62A)에는, 그 길이방향의 양단 부분(62a, 62a)에 있어서, 폭방향 각 단부에, 폭방향 중앙부보다 돌출되어 개구하는 돌출 개구부(64, 64)가 형성된다. 이들 돌출 개구부(64, 64)는, 폭방향 중앙부로부터 단부측으로 멀어짐에 따라 개구량이 점차 커지고, 돌출 개구부(64) 단면(62b)의 방물선(放物線)을 그리도록 형성된다.
이와 같은 형상의 개량 마스크(601)에 의하면, 각 개량형 개구(62A)의 Y축방향 양단부가 중앙부에 비해 개구량이 크게 되므로, 주사하면서 증착한 때에는, 그 양단부는 중앙부에 비해 증착시간이 길어진다. 증착시간이 길어지면 그만큼 증착량이 증가하므로, 요소막(3) 측단부의 막 두께의 저하를 보충할 수 있다.
도 15를 참조하면, 돌출 개구부(64)의 돌출량은, 다음과 같이 설정할 수 있다. 즉, 동 도면 (a)에 나타내듯이, 개량형 개구(62A)의 폭방향 중앙을 지나 길이방향으로 연장되는 중앙선(L2)을 가정한다. 그리고, 중앙선(L2)으로부터 폭방향을 단부측을 향해 멀어진 거리가 W의 소정 위치의, 돌출 개구부(64)를 포함한 개구량을 Lw라 한다. 개량형 개구(62A)가 돌출 개구부(64)를 갖지 않고, 동 도면의 (a)에 가상선으로 나타내는 직사각형의 개구(가상(假想) 개구(62c))만이라고 가정한 경우에, 동 도면의 (b)에 가상선으로 나타내듯이, 이 소정 위치에서 형성되는 요소막(가상 요소막(3a)의 막 두께를 Tw로 한다. 또, 폭방향 중앙부의 가상개구(62c)(개량형 개구(62A))의 개구량을 L로하고, 그 폭방향 중앙부에서 형성되는 가상 요소막(3a)의 막 두께를 T라 한다.
이 때, 제 1 관계식(Lw／L≥T／Tw)을 충족시키도록 돌출 개구부(64)를 형성한다. 여기서, T, L, Tw, Lw의 단위는 모두 ㎜이다.
증착 시의 주사속도나 대상기판(10) 등의 위치관계는 정밀도 높게 일정하게 제어할 수 있으므로, 제 1 관계식에 기초하여 개구량을 설정함으로써, 그 측단부의 막 두께를 고정밀도로 조정할 수 있다. 그리고, 돌출 개구부(64)를 설정함으로써 요소막(3) 중앙부의 막 두께도 증가할 가능성이 있으나, 그 경우는 제 1 관계식의 등식에 의해 얻어지는 값보다 큰 범위에서 돌출량(Lw)을 미세 조정하면 된다.
(증착 마스크의 변형예)
도 16에 나타내듯이, 개량 마스크(601)는, 전술한 형상과는 다른 형상으로 할 수 있다. 예를 들어, 동 도면의 (a)에 나타내는 개량 마스크(601a)에서는, 돌출 개구부(64)가, 개량형 개구(64A)의 길이방향 한쪽 단의 부분(62a)에만 형성된다(다른 쪽 단의 부분(62a)은 직사각형 형상). 동 도면 (b)의 개량 마스크(601b)에서는, 돌출 개구부(64)의 단면(62b)이 직선상으로 형성된다. 요는, 개량형 개구(62A)의 길이방향 한쪽 또는 양쪽 단(端)의 부분(62a)에 있어서, 폭방향의 양단부에서의 개구량이 중앙부에 비해 소정량만 커져있으면 되고, 특별히 그 형상은 한정되지 않는다.
개량 마스크(601)의 돌출 개구부(64)는, 예를 들어, 동 도면의 (c)?(e)에 나타내듯이, 복수의 부분 개구부(65, 65, …)로 분단되어 있어도 된다. 직사각형의 부분 개구부(65)를 조합하여 돌출 개구부(64)를 형성함으로써, 마스크의 강도가 향상하고, 성형도 용이해진다.
(증착 마스크와 화소와의 위치관계)
개량 마스크(601)의 개량형 개구(62A)와 대상기판(10)의 서브 화소(2R, 2G, 2B)는, 소정의 위치관계로 설정하는 것이 바람직하다.
도 17은, 예를 들어, 개량 마스크(601)에 대해, 대상기판(10)이 위치 결정 기구에 의해 수평방향으로 정확하게 위치 결정된 상태(증착공정 상태)를 나타낸다. 동 도면은 기판(10)과 직교하는 방향을 증착원(53)측에서 보고 있다. 그리고, 기판(10)의 발광영역(16R, 16G, 16B)을 제외한 부분은 보기 쉽게 하기 위해 해칭을 행했다. 이 때, 각 개량형 개구(62A)는, 요소막(3)이 형성되는 서브 화소(2R, 2G, 2B)(피성막 화소(2a))와 각각 대향하고 배치한다. 예를 들어, Y축방향에서는, 인접하는 2개의 적색(R)의 서브 화소(2R, 2R)의 열 사이에는, 녹색(G) 및 청색(B)의 서브 화소(2G, 2B)의 열이 있으므로, 적색(R)의 발광층(25R)을 형성하는 경우에는, 개량형 개구(62A)는 적색(R)의 서브 화소(R)의 열과 대향하는 부분에만 형성된다.
그리고, 동 도면에 나타내듯이, 개량형 개구(62A) 내측에 피성막 화소(2a)의 발광영역(16R, 16G, 16B)이 틈새(g)를 사이에 두고 수용되도록 위치 결정된다.
상세하게는, 개량형 개구(62A) 내측의 X축방향으로 연장되는 녹색과, 발광영역 외측의 X축방향으로 연장되는 녹색과의 사이에 소정량의 틈새(g)(설계 마진)가 형성된다. 설계 마진(design margin)을 형성함으로써, 개량 마스크(601)와 대상기판(10)과의 사이에서 생기는 치수나 위치 결정의 어긋남을 요인으로 하는 요소막(3)의 성형불량을 억제할 수 있고, 양산 공정에 있어서 생산성을 향상시킬 수 있다.
(제 1 실시예)
전술한 개량 마스크(601)나 증착장치(50), 신증착 방법을 이용하여, 발광층(25R, 25G, 25B)을 형성한다. 개량 마스크(601)로는, 두께가 550㎛이고, 200㎜(X축방향)×600㎜(Y축방향)의 치수의 것을 사용한다. 대상기판(10)과 개량 마스크(601) 사이의 틈새(H)는 200㎛로 한다. 개량형 개구(62A)는, 폭(Y폭방향)을 110㎛으로 하고, 길이(X폭방향)은 그 중앙부에서 150㎜, 그 단부에서 154.4㎜로 한다. 개량형 개구(62A)의 Y축방향의 피치는 450㎛로 한다. 피성막 화소(2a)의 각 발광영역(16R, 16G, 16B)은, 300㎛(X축방향)×90㎛(Y축방향)의 치수로 하고, 이 X축방향의 피치는 450㎛, Y축방향의 피치는 150㎛로 한다.
각 색의 발광층(25R, 25G, 25B)의 재료로는, 호스트 재료 및 도판트 재료를 사용하고, 이들의 증착속도는, 적색(R)이 5.0㎚／s 및 0.53㎚／s, 녹색(G)이 5.0㎚／s 및 0.67㎚／s, 청색(B)이 5.0㎚／s 및 0.67㎚／s로 한다. 증착공정에서는, 왕복의 주사(走査)를 1회 행한다.
그 결과, 막 두께의 균일성이 우수한 RGB 각 색의 발광층(25R, 25G, 25B)을 형성할 수 있었다.
그리고, 개량 마스크(601)는 특정 색의 발광층(25R, 25G, 25B)의 형성에만 사용하여도 된다. 예를 들어, 녹색(G)의 발광층(25G)이, 막 두께의 불균일성에 의한 품질로의 영향이 실질적으로 없는 경우나, 막 두께가 비교적 균일한 중앙부에만 발광영역(16G)을 형성할 수 있는 경우에는, 녹색(G)의 발광층(25G)에 대해서는 개량 전의 섀도 마스크(60)를 사용할 수 있다.
[제 2 실시형태]
본 실시형태에서는, 예를 들어 요소막(3)의 폭을 크게 한 경우라도, 그 중앙부에서의 막 두께의 균일성을 높일 수 있도록, 섀도 마스크(60)나 그 설치조건을 개량했다. 그리고, 증착장치(50)나 증착방법 등은 제 1 실시형태와 동일하므로, 다른 점에 대해 상세히 설명하고, 동일 구성이나 부재에 대해서는, 동일 부호를 생략하며 그 설명은 생략한다.
(증착 마스크)
도 18에 나타내듯이, 본 실시형태에서는, 섀도 마스크(60)에 개구(62)의 형상이 다른 마스크를 사용한다(제 2 개량 마스크(602)). 동 도면에 나타내듯이, 제 2 개량 마스크(602)의 개구(62)는, 폭방향으로 분단된 복수의 요소개구(67)로 구성된다(제 2 개량형 개구(62B)).
본 실시형태의 제 2 개량형 개구(62B)는, 직사각형 벨트상 개구(62)가 2개로 분단되고, 서로 평행하게 연장되는 2개의 직사각형 벨트상의 요소개구(67, 67)로 구성된다. 이들 2개의 요소개구(67, 67)는, 동일 폭으로 마스크 표면에 대해 거의 수직으로 관통하며, 폭방향으로 일정 간격(S)을 둔 상태에서 서로 인접한다.
그리고, 본 실시형태에서는 요소개구(67)의 수는 2개 있으나, 3개 이상 있어도 된다. 단, 요소개구(67)의 수를 늘리면, 후술하듯이 바람직하지 않은 증착을 작게 할 수 있으나, 성형이 어려워지는 등의 불리함도 있다. 따라서, 요소개구(67)의 수는 2?4개로 하는 것이 바람직하다.
도 19에, 제 2 개량 마스크(602)를 이용한 경우에 형성되는 요소막(3)의 절단 형상을 모식적으로 나타낸다. 동 도면에 나타내듯이, 증착입자가 각 요소개구(67)를 지나 대상기판(10)에 부착하여 형성되는 2개의 요소막(3)은, 이 인접하는 단부끼리가 겹쳐져 일체화되고, 1개의 요소막(3)이 형성된다(결합 요소막(3)이라고도 한다). 이 결합 요소막(3)의 막 두께가, 겹쳐진 부분을 포함하여 균일하게 되도록, 제 2 개량 마스크(602)나 증착장치(50)가 소정의 조건으로 설정된다.
도 20을 참조하면서 이 조건에 대해 설명한다. 동 도면의 (a)은, 주사방향에서 본 증착원(53)이며, 동 도면의 (b)은, 주사방향에서 본 제 2 개량 마스크(602) 및 대상기판(10)이다. 도면 중의 부호(L3)는, 대상기판(10)과 거의 수직방향을 나타내는 기준선을 나타낸다
동 도면 (a)에 나타내듯이, 증착원(53)의 각 사출구(53a)는 이 방사방향이 기준선(L3)과 일치하도록 설정되고, 증착입자는, 각 사출구(53a)로부터 대상기판(10)을 향해 방사상으로 확대되면서 사출(射出)된다. 여기서는, 방사방향에 대해 증착입자가 최대로 확대되는 각도(확대각도)를 α라 한다.
동 도면 (b)에 나타내듯이, 각 요소개구(67)를 통과하는 증착입자의 각도는, 요소개구(67)의 개구폭 등에 의해 제한되므로, 그 최대의 통과각도를 β라 한다. 그리고, 전술과 같이, 대상 기판(10)과 제 2 개량 마스크(602)와의 사이 틈새를 H, 2개의 요소개구(67, 67) 사이의 틈새를 S로 했을 대, 제 2 관계식(S＜H×tanθ, α≤β의 경우에 θ＝α이며, α＞β의 경우에 θ＝β이다)을 충족시키도록 설정한다. 그리고, S, H의 단위는, "㎛"이며, α, β의 단위는 "°"이다.
일반적으로, 증착입자의 확대각(α)은, 증착입자의 통과각도(β)보다 큰 경우가 많으므로, 대상기판(10)에 증착하는 증착각도는 통과각도(β)에 의해 제한을 받는다. 즉, θ는 β인 경우가 많다. 따라서, 이 경우, 증착입자의 확대각(α)으로 조건설정을 행하면 조정이 어렵고, 균일한 막 두께를 얻는 것이 어렵다. 본 실시형태에서는, 통과각도(β)를 고려하여 조건이 설정되므로, 고정밀도 조정을 비교적 간단하게 행할 수 있다.
그리고, 간격(S)의 값은, 너무 작게 하면 중앙부의 막 두께가 두꺼워져 버리므로, 상황에 따라 미세 조정하면 된다. 증착입자의 통과각도(β)는, 제 2 개량 마스크(602)의 두께나 틈새(S), 요소개구(67)의 단면형상 등에 따라서도 변화한다. 본 실시형태의 요소개구(67)는 마스크 표면에 대해 거의 수직으로 형성되어 있으나, 예를 들어, 경사지게 형성되어도 된다.
또한, 제 2 개량 마스크(602)에서는, 바람직하지 않은 증착의 폭(섀도 마스크(60)의 개구(62) 외측에 형성되는 요소막(3)의 폭)을 작게 할 수 있는 이점도 있다.
도 21에 나타내듯이, 예를 들어, 각 개구(62)가 1개의 개량 전의 섀도 마스크(60)를 이용하여 폭 넓은 요소막(3)을 형성하는 경우에는, 개구 폭이 넓기 때문에, 제 2 관계식의 θ는 α가 되고, 이 바람직하지 않은 증착의 폭(도면 중, 부호 B로 나타냄)은, H×tanα가 된다. 이에 반해, 복수의 요소개구(67)에서 동일 요소막(3)을 형성하는 경우에는, 도 22에 나타내듯이, 개구 폭이 좁으므로, 제 2 관계식의 θ는 β가 되고, 이 바람직하지 않은 증착의 폭(B)은, H×tanβ가 된다. α＞β이므로, 1개의 개구(62)가 복수의 요소개구(67)로 이루어진 제 2 개량 마스크(602)의 바람직하지 않은 증착의 폭(B)은 개량 전의 섀도 마스크(60)보다 작아진다.
바람직하지 않은 증착이 크면, 인접하는 서브 화소(2R, 2G, 2B)로 들어가 혼색이나 화소불량을 발생시킬 우려가 있으므로, 서브 화소(2R, 2G, 2B) 사이의 피치는, 바람직하지 않은 증착을 고려하여 설정할 필요가 있다. 본 실시형태에서는, 바람직하지 않은 증착의 폭(B)을 작게 할 수 있으므로, 각 서브 화소(2R, 2G, 2B)에 할당되는 개구(62)의 폭을 상대적으로 크게 할 수 있다. 그 결과, 결합 요소막(3)의 폭방향 단부의 영향을 적게 할 수 있고, 발광영역(16R, 16G, 16B) 부분에 있어서 막 두께의 균일성을 향상시킬 수 있다.
또한, 개구(62)를 넓게 한 경우, 응력이나 온도에 의한 팽창에 의해, 왜곡 등, 섀도 마스크(60)에 변형이 생기기 쉽다. 섀도 마스크(60)의 변형은, 증착 정밀도에 크게 영향을 미친다. 제 2 개량 마스크(602)에서는, 개개의 개구(62)가 복수의 요소개구(67)로 구성되므로, 구조적으로 강성(剛性)이 강화되어, 변형을 억제할 수 있는 이점도 있다.
게다가, 대상기판(10)과 제 2 개량 마스크(602)는, 일체화되지 않고, 위치 결정에 의해 이들 사이의 틈새(H)를 설정할 수 있으므로, 제 2 관계식의 미세 조정을 용이하게 할 수 있고, 양산 과정에서의 생산성이 우수하다.
도 23에, 본 실시형태의 도 17에 상당하는 도면을 나타낸다. 동 도면에 나타내듯이, 본 실시형태에서도, 피성막 화소(2a)의 발광영역(16R, 16G, 16B)은, 제 2 개량형 개구(62B)의 내측에 틈새(g)를 사이에 두고 수용되도록 위치 결정된다. 상세하게는, 제 2 개량형 개구(62B)의 Y축방향의 가장 외측에 위치하는 요소개구(67)에서, 그 외측의 연(緣)과, 발광영역(16R, 16G, 16B) 외측의 연(緣)과의 사이에 소정량의 틈새(g)(설계 마진)가 형성된다.
본 실시형태에서는, 결합 요소막(3)의 성형불량을 억제할 수 있는 것에 추가로, 폭방향 단부에서 발생하는 막 두께 저하의 영향이 발광영역(16R, 16G, 16B)에 미치는 것을 방지할 수 있다.
(제 2 실시예)
전술한 제 2 개량 마스크(602)나 증착장치(50), 신증착 방법을 이용하여, 발광층(25R, 25G, 25B)을 형성한다. 제 2 개량 마스크(602)는, 제 1 실시예와 마찬가지로, 두께가 550㎛이며, 200㎜(X축방향)×600㎜(Y축방향)의 치수인 것을 사용한다. 대상기판(10)과 제 2 개량 마스크(602) 사이의 틈새(H)는 200㎛으로 한다. 각 제 2 개량형 개구(62B)는, 2개의 요소개구(67, 67)로 구성하고, 이들 요소개구(67, 67)의 개구 폭은, 55㎛로 하며, 이들 요소개구(67, 67) 사이의 틈새(S)는 19㎛로 한다.
각 제 2 개량형 개구(62B)의 길이(X폭방향)은 150㎜로 한다. 제 2 개량형 개구(62B)의 Y축방향 피치는 450㎛로 한다. 피성막 화소(2a)의 각 발광영역(16R, 16G, 16B)은, 300㎛(X축방향)×90㎛(Y축방향)의 치수로 하고, 이 X축방향의 피치는 450㎛, Y축방향의 피치는 150㎛로 한다. 발광층(25R, 25G, 25B)의 재료나 증착속도, 증착방법 등은 제 1 실시예와 동일하다.
제 2 관계식에 관해서는, 증착입자의 확대각도(α)는 20° 이상인데 반해, 증착입자의 통과각도(β)는 5.7°이었다(θ＝5.7°).
그 결과, 바람직하지 않은 증착의 폭(B)이 작고, 막 두께의 균일성이 우수한 RGB 각 색의 발광층(25R, 25G, 25B)을 형성할 수 있었다.
예를 들어, 두께가 550㎛인 섀도 마스크(60)에 있어서, 서브 화소(2R, 2G, 2B)의 각 열에 대한 개구(62)가 각각 1개이며, 그 개구 폭이 110㎛이라 하면, 이 개구(62)의 Y폭방향의 단면(斷面) 애스펙트비(aspect ratio)(횡단면 애스펙트비)는, 5(＝550／110)가 된다. 한편, 본 실시예에서는, 각 요소개구(67)의 개구 폭이 55㎛이므로, 이 종단면 애스펙트비는 10(＝550／55)이 되고, 횡단면 애스펙트비가 향상된다.
횡단면 애스펙트비가 향상되면, 증착입자의 통과각도(β)가 작아지므로, 바람직하지 않은 증착의 폭(B)을 작게 할 수 있다. 예를 들어, 1개의 개구(62)에서의 바람직하지 않은 증착의 폭(B)이 40㎛이었던 데에 반해, 본 실시예에서는 바람직하지 않은 증착의 폭(B)을 20㎛로 할 수 있었다.
또, 1개의 개구(62)의 경우에서의 개구 폭은 110㎛이나, 본 실시예에서는, 실질적인 개구 폭은 129㎛(＝55×2＋19)가 되어 넓어진다. 그 결과, 제 2 개량형 개구(62B) 폭방향의 단부는, 발광영역(16R, 16G, 16B)으로부터 멀어지게 되므로, 폭방향의 단부에서 막 두께의 저하가 있는 경우라도, 그 영향이 발광영역(16R, 16G, 16B)에 미치는 것을 억제할 수 있다.
여기서, 19㎛로 한 요소개구(67) 사이의 틈새(S)는, 제 2 관계식을 충족시킨다. 즉, 전술과 같이 θ는 5.7°이며, 대상기판(10)과 제 2 개량 마스크(602)와의 사이의 틈새(H)는 200㎛이므로, H×tanθ는 20㎛이며, 제 2 관계식을 충족시킨다.
이 경우, 특허문헌 2의 식에 의하면, 요소개구(67) 사이의 간격은 70㎛ 이상이 되며, 겹쳐지는 부분에서 막 두께가 불균일하게 될 우려가 있다.
전술과 같이, 본 발명의 증착 마스크 등에 의하면, 증착 마스크 개구의 형상과 증착장치의 설정조건을 변경하는 것만으로, 증착에 있어서 중요한 품질인 막 두께의 균일성을 높일 수 있다. 따라서, 특별한 공정이나 장치를 추가하는 등, 고액의 설비비용을 수반하는 일없이, 유기 EL 디스플레이의 화상표시 성능이나 제품의 장기 신뢰성 등을 더욱 향상시킬 수 있다.
1 : 유기 EL 디스플레이 2R, 2G, 2B : 서브 화소
3 : 박막, 요소막 10 : 기판
11 : 표시영역 16R, 16G, 16B : 발광영역
20 : 유기 EL 소자 21 : 제 1 전극
22 : 유기 EL층 23 : 제 2 전극
24 : 정공수송층 25R, 25G, 25B : 발광층
26 : 전자수송층 27 : 전자주입층
30 : 밀봉판 40 : 밀봉부재
50 : 증착장치 51 : 진공챔버
52 : 기판지지 장치 53 : 증착원
53a : 사출구 55 : 마스크 유닛
56 : 이동장치 60 : 섀도 마스크
61 : 마스크 본체 62 : 개구
62A : 개량형 개구 62B : 제 2 개량형 개구
62a : 단의 부분 64 : 돌출 개구부
65 : 부분 개구부 67 : 요소개구
601 : 개량 마스크 602 : 제 2 개량 마스크
L2 : 중앙선 H : 틈새
S : 간격 g : 틈새

Claims (11)

  1. 증착(蒸着)에 의해, 기판에 박막을 소정의 패턴으로 형성하기 위해 이용되는 증착 마스크에 있어서,
    판상(板狀)의 마스크 본체와,
    상기 마스크 본체에 일렬로 나열되어 형성된 복수의 개구(開口)를 가지며,
    상기 복수의 개구는, 이들이 나열되는 방향과 평행인 폭방향의 부위에 의해, 이 폭방향과 직교하는 길이방향의 개구량이 다른 개량형 개구를 포함하고,
    상기 개량형 개구는, 상기 폭방향 중앙부의 상기 개구량보다, 상기 폭방향 단부의 상기 개구량이 크게 형성되는 증착 마스크.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 개량형 개구는, 상기 길이방향의 적어도 한쪽의 단(端) 부분에서, 상기 폭방향의 단부(端部)에, 상기 폭방향의 중앙부보다 돌출되어 개구하는 돌출 개구부를 갖는 증착 마스크.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 돌출 개구부는, 상기 폭방향의 중앙부에서 단부측으로 멀어짐에 따라 개구량이 점차 커지도록 형성되는 증착 마스크.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 돌출 개구부가 복수의 부분 개구부로 분단되는 증착 마스크.
  5. 청구항 2? 4 중 어느 한 항에 기재한 증착 마스크와,
    상기 박막을 형성하는 증착입자를 방사(放射)하는 증착원(源)과,
    상기 증착 마스크 및 상기 증착원을 포함하고, 이들의 상대적인 위치관계를 고정하는 마스크 유닛과,
    상기 기판을 지지하는 기판지지 장치와,
    상기 기판과 상기 증착 마스크와의 사이에 일정의 틈새를 둔 상태에서, 상기 마스크 유닛 및 상기 기판 중 적어도 한쪽을, 소정의 주사(走査)방향을 따라 상대적으로 이동시키는 이동장치를 구비하고,
    상기 길이방향이 상기 주사방향과 평행이 되도록 상기 증착 마스크가 배치되는 증착장치.
  6. 청구항 5에 기재한 증착장치를 이용하여 상기 기판에 상기 박막을 스트라이프상(狀)으로 형성하는 증착방법에 있어서,
    상기 기판을 상기 기판지지 장치에 지지시켜, 상기 기판과 상기 증착 마스크와의 사이에 상기 틈새를 형성한 상태에서, 상기 마스크 유닛과 상기 기판을 대향시키는 위치 맞춤 공정과,
    상기 이동장치에 의해, 상기 마스크 유닛 및 상기 기판 중 적어도 한쪽을 소정의 주사방향을 따라 상대적으로 이동시키면서 차례로 증착시켜, 상기 박막을 형성하는 증착공정을 포함하는 증착방법.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 기판으로써, 빛이 방출되는 발광영역을 갖는 복수의 화소가 격자상(格子狀)으로 배열되는 유기 EL 디스플레이용의 기판이 이용되며,
    상기 복수의 개구는, 상기 복수의 화소에 포함되는 복수의 피성막(被成膜) 화소와 각각 대향하여 배치되며,
    상기 기판과 직교하는 방향에서 보아, 상기 개량형 개구의 상기 폭방향의 내측에, 상기 피성막 화소의 상기 발광영역이 틈새를 사이에 두고 수용되도록 위치 결정되는 증착방법.
  8. 청구항 6 또는 청구항 7에 있어서,
    상기 개량형 개구의 상기 폭방향의 중앙을 지나 상기 길이방향으로 연장되는 중앙선을 가정하여, 상기 중앙선에서 상기 폭방향을 단부측을 향해 멀어진 거리가 W의 소정위치의, 상기 돌출 개구부를 포함하는 상기 개량형 개구의 개구량을 Lw로 하고,
    상기 개량형 개구가 상기 돌출 개구부를 갖지 않는다고 가정한 경우에, 상기 소정위치에서 형성되는 상기 박막의 막 두께를 Tw로 하고, 상기 폭방향 중앙부의 상기 개구량을 L로 하고, 상기 폭방향의 중앙부에 형성되는 상기 박막의 막 두께를 T로 한 경우(T, L, Tw, Lw의 단위：㎜),
    제 1 관계식(Lw／L≥T／Tw)을 충족시키는 증착방법.
  9. 증착에 의해, 기판에 박막을 소정의 패턴으로 형성하기 위해 이용되는 증착장치에 있어서,
    복수의 개구가 일렬로 나열되어 형성되는 증착 마스크와,
    상기 박막을 형성하는 증착입자를 상기 기판을 향해 방사하는 증착원과,
    상기 증착 마스크 및 상기 증착원을 포함하고, 이들의 상대적인 위치관계를 고정하는 마스크 유닛과,
    상기 기판을 지지하는 기판지지 장치와,
    상기 기판과 상기 증착 마스크와의 사이에 일정의 틈새(H)를 형성한 상태에서, 상기 마스크 유닛 및 상기 기판 중 적어도 한쪽을, 소정의 주사방향을 따라 상대적으로 이동시키는 이동장치를 구비하고,
    상기 복수의 개구가 나열되는 폭방향이 상기 주사방향과 직교하도록, 상기 증착 마스크는 배치되며,
    상기 복수의 개구는, 상기 폭방향으로 분단된 복수의 요소개구로 구성되는 제 2 개량형 개구를 포함하고,
    상기 제 2 개량형 개구의 상기 복수의 요소개구의 각각은, 상기 폭방향에 일정의 틈새(S)를 사이에 둔 상태에서 서로 인접하고,
    상기 주사방향에서 보아,
    상기 기판과 수직인 방사방향에 대한 상기 증착입자의 확대각도를 α로 하고,
    상기 증착입자가 상기 요소개구를 통과할 수 있는 최대의 통과각도를 β로 했을 때(S, H의 단위：㎛, α, β의 단위：°),
    제 2 관계식(S＜H×tanθ, α≤β의 경우에 θ＝α이며, α＞β의 경우에 θ＝β임)을 충족시키는 증착장치.
  10. 청구항 9에 기재한 증착장치를 이용하여 상기 박막을 상기 기판에 스트라이프상으로 형성하는 증착방법에 있어서,
    상기 기판을 상기 기판지지 장치에 지지시켜, 상기 기판과 상기 증착 마스크와의 사이에 상기 틈새를 형성한 상태에서, 상기 마스크 유닛과 상기 기판을 대향시키는 위치 맞춤 공정과,
    상기 이동장치에 의해, 상기 마스크 유닛 및 상기 기판 중 적어도 한쪽을 상기 주사방향을 따라 상대적으로 이동시키면서 차례로 증착시켜, 상기 박막을 형성하는 증착공정을 포함하는 증착방법.
  11. 청구항 10에 있어서,
    상기 기판으로써, 빛이 방출되는 발광영역을 갖는 복수의 화소가 격자상으로 배열되는 유기 EL 디스플레이용 기판이 이용되고,
    상기 복수의 개구는, 상기 복수의 화소에 포함되는 복수의 피성막 화소와 각각 대향하여 배치되며,
    상기 기판과 직교하는 방향에서 보아, 상기 제 2 개량형 개구의 폭방향의 내측에, 상기 피성막 화소의 상기 발광영역이 틈새를 사이에 두고 수용되도록 위치 결정되는 증착방법.
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