KR101174879B1 - 박막 증착용 마스크 프레임 조립체 및 그 조립방법 - Google Patents

박막 증착용 마스크 프레임 조립체 및 그 조립방법 Download PDF

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Abstract

복수개의 스트라이프형 마스크가 채용되는 마스크 프레임 조립체가 개시된다. 개시된 마스크 프레임 조립체는 개구부가 형성된 프레임과, 증착용 패턴을 구비하며 프레임에 양단부가 고정되어 증착용 패턴이 개구부에 위치되도록 배치되는 복수의 마스크 및, 복수의 마스크들과 인접하여 나란하게 배치되도록 프레임에 양단부가 고정되며 탄성 인장이 가능한 탄성재질의 밸런스스틱을 포함한다. 이러한 구조에 의하면 마스크들의 인장 특성 산포에 따른 프레임의 카운터포스와 마스크의 인장력 간의 힘의 불균형을 밸런스스틱으로 보상할 수 있게 된다. 따라서 패턴의 정밀도가 향상된다.

Description

박막 증착용 마스크 프레임 조립체 및 그 조립방법{Mask frame assembly for thin film deposition and the assembling method thereof}
본 발명은 박막 증착용 마스크 프레임 조립체에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 분할 마스크를 사용하는 마스크 프레임 조립체 및 그 조립방법에 관한 것이다.
일반적으로 디스플레이 장치들 중 유기 발광 표시 장치는 시야각이 넓고, 컨트라스트가 우수할 뿐만 아니라, 응답 속도가 빠르다는 장점을 가지고 있다.
유기 발광 표시 장치는 애노드와 캐소드에 주입되는 정공과 전자가 발광층에서 재결합하여 발광하는 원리로 색상을 구현할 수 있는 것으로서, 애노드와 캐소드 사이에 발광층을 삽입한 적층형 구조이다. 그러나, 상기한 구조로는 고효율 발광을 얻기 어렵기 때문에 각각의 전극과 발광층 사이에 전자 주입층, 전자 수송층, 정공 수송층, 및 정공 주입층 등의 중간층을 선택적으로 추가 삽입하여 이용하고 있다.
한편, 유기 발광 표시 장치의 전극들과, 발광층을 포함한 중간층은 여러 가지 방법에 의하여 형성시킬 수 있는데, 이중 하나의 방법이 증착법이다. 증착 방법을 이용하여 유기 발광 표시 장치를 제조하기 위해서는 기판 상에 형성될 박막 등의 패턴과 동일한 패턴을 가지는 파인 메탈 마스크(fine metal mask, FMM)를 정렬하고, 박막의 원소재를 증착하여 소망하는 패턴의 박막을 형성하게 된다.
이러한 파인 메탈 마스크가 대면적화되면 패턴 형성을 위한 에칭 오차도 커지고, 자중에 의한 중앙부의 처짐 현상도 심해지므로 최근에는 마스크를 여러 개의 스트라이프(stripe) 형상으로 만든 후 프레임에 붙여서 사용하는 분할 마스크가 선호되는 추세에 있다. 그러나, 분할 마스크도 대면적 마스크에 비해 상대적으로 약하기는 하지만 처짐 현상은 생길 수 있으므로, 프레임에 부착할 때에는 분할 마스크를 길이 방향으로 팽팽하게 인장시킨 상태에서 프레임에 용접하게 된다.
그런데, 이와 같이 분할 마스크를 인장시킨 상태로 프레임에 용접하게 되면, 분할 마스크의 탄성복원력 때문에 프레임이 변형될 수 있다. 이렇게 프레임이 변형되면 마스크 패턴의 정밀도가 나빠지게 되므로, 이를 방지하기 위해 분할 마스크 용접 시 프레임에 카운터 포스(counter force)를 가하는 방법이 사용되고 있다. 즉, 인장된 분할 마스크를 용접할 때 프레임에 그 인장력의 반대방향으로 미리 카운터 포스를 가해줌으로써, 용접 후에 분할 마스크의 탄성복원력이 작용하더라도 프레임의 변형은 일어나지 않도록 하는 것이다. 예컨대, 9개의 분할 마스크를 프레임에 부착하는 경우라면, 첫 번째 분할 마스크를 부착할 때 카운터 포스가 가장 크고, 아홉 번째로 갈수록 프레임에 가해야 하는 카운터 포스는 점차 작아지게 된다. 이미 앞에서 카운터 포스를 계속 주면서 분할 마스크를 용접했으므로, 뒤로 갈수록 점차 약한 카운터 포스를 주어도 프레임의 변형은 억제되기 때문이다. 따라서, 이상적인 경우라면 마지막 분할 마스크를 용접한 후에는 그 다음에 프레임에 가해야 할 카운터 포스가 영(zero)이 되는 것이다. 이것은 마지막 분할 마스크를 용접한 후 즉, 분할 마스크와 프레임의 용접 작업이 끝난 후에는 더 이상 카운터 포스를 가하지 않아도 프레임이 추가 변형되지 않게 됨을 의미한다.
그러나 각 분할 마스크마다 제작 상의 특성 편차에 의해 인장력의 차이가 조금씩 있기 때문에, 이론적으로 용접 완료 후 카운터 포스가 영(zero)이 되도록 설정해서 작업한다해도 실제로는 오차가 생기게 된다. 즉, 각 분할 마스크를 용접할 때의 카운터 포스는 빔 변형 이론(beam deflection theory) 등을 이용하여 산출해내는데 이것은 모든 분할 마스크가 같은 인장 특성을 가졌을 때 적중률이 높지만, 실제로는 분할 마스크마다 특성 차이가 있으므로 적중률이 떨어지는 것이다.
이렇게 되면 용접 완료 후 카운터 포스가 영(zero)이 되지 않아서 프레임의 추가 변형이 야기될 수 있고, 결과적으로 이를 이용하여 정밀한 패턴을 증착해야 하는 증착 공정에서도 문제가 생기게 된다.
본 발명의 실시예는 마스크와 프레임의 조립 완료 후 프레임의 추가 변형을 안정적으로 억제할 수 있도록 개선된 박막 증착용 마스크 프레임 조립체 및 그 조립방법을 제공한다.
본 발명의 실시예에 따른 박막 증착용 마스크 프레임 조립체는, 개구부가 형성된 프레임; 증착용 패턴을 구비하며, 상기 프레임에 양단부가 고정되어 상기 증착용 패턴이 상기 개구부에 위치되도록 배치되는 복수의 마스크; 및, 상기 복수의 마스크들과 인접하여 나란하게 배치되도록 상기 프레임에 양단부가 고정되며, 탄성 인장이 가능한 탄성재질의 밸런스스틱;을 포함하며, 상기 밸런스스틱은 상기 마스크와 상기 카운터포스 간의 힘의 불균형을 보상하도록 설치된다.
상기 복수의 마스크들은 상기 프레임에 모두 평행하게 배치된 스트라이프 형상일 수 있다.
상기 밸런스스틱은 그 두께가 상기 마스크들 보다 두꺼울 수 있으며, 상기 프레임에는 상기 밸런스스틱의 양단부가 들어가서 고정되는 결합홈이 형성될 수 있다.
상기 결합홈의 깊이는 상기 밸런스스틱과 상기 마스크의 두께 차이와 같게 형성될 수 있다.
상기 밸런스스틱은 상기 복수의 마스크들 사이에 설치되며, 그 밸런스스틱의 폭은 상기 마스크들의 폭보다 좁을 수 있다.
상기 밸런스스틱에 상기 마스크들과의 사이에 벌어진 틈새를 가려주는 가림마스크가 부착될 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 박막 증착용 마스크 프레임 조립체의 조립방법은, (a) 개구부가 형성된 프레임과, 상기 개구부에 배치될 증착용 패턴이 구비된 복수의 마스크 및, 탄성 인장이 가능한 탄성재질의 밸런스스틱을 준비하는 단계; (b) 상기 프레임에 상기 복수의 마스크를 차례로 고정시켜서 상기 각 프레임의 증착용 패턴이 상기 개구부에 위치되도록 하는 단계; 및, (c) 상기 복수의 마스크가 고정된 상기 프레임에 상기 밸런스스틱을 고정시켜서 상기 마스크와 상기 프레임 간의 힘의 불균형을 보상하는 단계;를 포함한다.
상기 (b)단계는 상기 마스크를 인장시키는 단계와, 상기 프레임에 그 인장력과 반대방향으로 조립 후 변형을 방지하기 위한 카운터 포스를 가하는 단계 및, 상기 인장된 마스크의 양단부를 상기 카운터 포스가 인가된 프레임에 용접하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 (b)단계 이후의 상기 프레임에 대한 카운터 포스는 영(zero) 보다 클 수 있다.
상기 (c)단계는 상기 밸런스스틱을 인장시키는 단계와, 상기 프레임에 그 인장력과 반대방향으로 조립 후 변형을 방지하기 위한 카운터 포스를 가하는 단계 및, 상기 인장된 밸런스스틱의 양단부를 상기 카운터 포스가 인가된 프레임에 용접하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 (c)단계 이후의 상기 프레임에 대한 카운터 포스는 영(zero)일 수 있다.
상기한 바와 같은 본 발명의 박막 증착용 마스크 프레임 조립체 및 그 조립방법에 의하면 마스크와 프레임의 조립 완료 후 프레임의 추가 변형이 충분히 억제되므로, 이를 증착 작업에 이용하면 보다 안정적이고 정밀한 패터닝이 가능해진다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 조립체의 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 마스크 프레임 조립체의 일부를 확대한 도면이다.
도 3은 도 1에 도시된 마스크 프레임 조립체에서 밸런스스틱의 결합 구조를 보인 도면이다.
도 4a 내지 도 4h는 도 1에 도시된 마스크 프레임 조립체의 조립과정을 순차적으로 도시한 도면이다.
도 5는 도 1에 도시된 마스크 프레임 조립체의 조립 시 프레임에 가해지는 카운터 포스를 나타낸 그래프이다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 실시예에 따른 박막 증착용 마스크 프레임 조립체의 구조를 도시한 것이다.
도시된 바와 같이 본 실시예의 마스크 프레임 조립체는, 개구부(10a)가 형성된 프레임(10)과, 그 프레임(10)에 양단부가 고정된 복수의 마스크(20) 및 밸런스스틱(30)을 구비하고 있다. 도 1에서는 설명의 편의 상 개구부(10a)를 보이기 위해 5개의 마스크(20) 만을 도시하였으나, 실제 조립 완료 후에는 개구부(10a)가 마스크(20)들로 모두 채워지게 된다(도 4h 참조).
먼저, 상기 프레임(10)은 조립체의 외곽 틀을 형성하는 것으로, 중앙에 개구부(10a)가 형성된 사각형 모양을 하고 있다. 이 프레임(10)의 서로 마주보는 한 쌍의 변에 상기 마스크(20)들과 밸런스스틱(30)들의 양단부가 용접으로 고정된다.
상기 마스크(20)는 길쭉한 스트라이프(stripe) 형상의 부재들로서, 상기 개구부(10a) 안에 위치되는 증착용 패턴(21)이 형성되어 있으며 그 양단부는 상기한 바와 같이 프레임(10)에 용접된다. 이 마스크(20)를 상기 개구부(10a)가 한번에 덮어지는 하나의 큰 부재로 만들지 않고 도면과 같이 복수의 스트라이프 형상으로 분할해서 부착하는 이유는, 전술한 바와 같이 에칭 오차와 자중에 의한 처짐 현상을 줄이기 위해서이다. 마스크(20)는 예컨대 니켈, 니켈 합금, 니켈-코발트 합금 등으로 형성할 수 있다.
그리고, 상기 밸런스스틱(30)은, 도면과 같이 마스크(20)들 사이에 나란하게 인접 배치되며, 마스크(20)와 마찬가지로 그 양단부가 프레임(10)에 용접으로 고정된다. 바로 이 밸런스스틱(30)이 조립 완료 후 프레임(10)의 추가 변형을 억제하는 주요 수단이 된다. 상기 밸런스스틱(30)은 탄성 인장이 가능한 부재로서 예컨대 상기 마스크(20)와 같은 재질로 이루어질 수 있다. 그리고, 마스크(20)들 사이에 설치되어야 하므로, 마스크(20)들 사이의 간격이 너무 벌어지지 않게 하기 위해서, 도 2에 도시된 바와 같이 그 폭(w)은 마스크(20)들에 비해 매우 좁게 형성된다. 그 대신, 두께(t;도 3 참조)는 마스크(20)들에 비해 두껍게 형성한다. 그 이유는 이 밸런스스틱(30)이 마스크(20)들의 조립 완료 후 마지막으로 카운터 포스를 영(zero)으로 맞추기 위한 조정을 수행하는 부재이므로, 충분한 탄성 인장력을 구비해야 하기 때문이다. 따라서, 마스크(20)의 두께가 통상 30~50㎛ 정도인데 비해, 밸런스스틱(30)의 두께는 100~1000㎛ 정도가 되게 한다. 상기와 같이 조립과정에서 밸런스스틱(30)을 이용하여 카운터 포스를 영으로 맞추기 위한 작업에 대해서는 후술하기로 한다. 그리고, 이렇게 상대적으로 마스크(20)에 비해 밸런스스틱(30)이 두껍기 때문에, 똑같이 프레임(10)에 부착하게 되면 밸런스스틱(30)만 돌출될 수 있다. 따라서, 이를 방지하기 위해 도 3에 도시된 바와 같이 프레임(10)에 결합홈(11)을 만들고 그 안에 밸런스스틱(30)의 양단부를 설치해서 돌출되지 않게 한다. 결합홈(11)의 깊이는 밸런스스틱(30)의 두께와 마스크(20) 두께의 차이만큼이 되게 한다.
참조부호 40은 마스크(20)와 밸런스스틱(30) 간의 틈새를 가려주는 가림 마스크를 나타내며, 밸런스스틱(30)에 붙어서 프레임(10)에 설치된다.
이하에 도 4a 내지 도 4h 및 도 5를 참조하면서 프레임(10)에 마스크(20)들과 밸런스스틱(30)을 조립하면서 카운터 포스를 조정하는 과정을 설명한다.
먼저, 도 4a 및 도 4b에 도시된 바와 같이 프레임(10)에 첫 번째 마스크(20)를 용접하여 고정시킨다. 이때, 도 4a처럼 마스크(20)에는 인장력(TF)을 가하고, 프레임(10)에는 그 와 반대방향의 카운터 포스(CF)를 가한 다음, 그 상태에서 마스크(20)의 양단부를 프레임(10)에 용접하여 도 4b와 같이 붙인다. 마스크(20)에 인장력(TF)을 가하는 것은 조립 후 마스크(20)의 처짐을 방지하기 위한 것이고, 프레임(10)에 카운터 포스(CF)를 가하는 것은 마스크(20)의 탄성 복원력 때문에 조립 후에 프레임(10)이 변형되는 것을 방지하기 위해서이다.
이어서, 도 4c에 도시된 바와 같이 두 번째 마스크(20)도 같은 방식으로 인장력(TF)과 카운터 포스(CF)를 각각 해당 마스크(20)와 프레임(10)에 준 상태에서 마스크(20) 양단부를 용접하여 도 4d와 같이 고정시킨다. 이때의 카운터 포스(CF)는 첫 번째 마스크(20)를 붙일 때보다는 감소하게 된다. 이미 앞에서 한번 카운터 포스(CF)를 주면서 프레임(10)을 압축시켜두었으므로, 그 다음에는 보다 약한 카운터 포스(CF)를 주어도 프레임(10)의 추가 변형은 억제되기 때문이다. 따라서, 마스크(20)를 하나씩 부착해 나갈수록, 프레임(10)에 가해야하는 카운터 포스(CF)는 점점 작아지게 된다.
이러한 방식으로 마스크(20)를 차례로 부착하여 도 4e 및 도 4f에 도시된 바와 같이 마지막 마스크(20)까지 모두 프레임(10)에 용접하여 고정시킨다.
이때, 마지막 마스크(20)까지 프레임(10)에 고정시킨 다음에, 카운터 포스(CF)가 영(zero) 보다 크도록 앞의 모든 단계에서의 인장력(TF)과 카운터 포스(CF)를 설정한다. 즉, 만일 마지막 마스크(20) 고정 후에 마스크(20)를 하나 더 붙인다면 카운터 포스(CF)를 더 가해야 하는 상태가 되도록 카운터 포스(CF)를 설정해서 작업한다. 다시 말해서, 애초에 마지막 마스크(20) 부착 후에 카운터 포스(CF)가 영(zero)이 되지 않고 그보다는 크도록 인장력(TF)과 카운터 포스(CF)를 계산해서 작업을 하는 것이다.
이렇게 하는 이유는, 복수개의 마스크(20)들마다 인장 특성 편차가 있어서 조립 완료 후 계산대로 카운터 포스를 영(zero)으로 맞추기가 어려운데다가, 마스크(20)에는 증착용 패턴(21)이 형성되어 있어서 패턴(21)의 변형 우려를 감안하면 인장력(TF)을 줄 수 있는 범위가 좁고 따라서 카운터 포스(CF)의 조정 범위도 좁기 때문이다. 따라서, 마스크(20)들의 조립 완료 시에는 아예 카운터 포스(CF)가 영(zero) 보다 높도록 설정해서 작업하고, 남은 부분을 탄성 인장 범위가 큰 밸런스스틱(30)으로 조정하도록 하는 것이다. 밸런스스틱(30)은 증착용 패턴이 없는 부재이므로 인장력을 크게 가해도 문제될 것이 없다.
이와 같은 상황을 도 5의 그래프를 보면서 설명하면 다음과 같다. 도면의 그래프A는 밸런스스틱(30)을 채용하지 않은 경우에 마스크(20)들을 용접해나가면서 프레임(10)에 가하는 카운터 포스(CF)의 설정값을 보인 것이다. 이것은 총 9개의 마스크(20)를 설치할 경우, 마지막 9번째의 마스크(20)를 프레임(10)에 부착한 다음의 카운터 포스(CF)가 영(zero)이 되도록 설정한 것이며, 이것은 모든 9개의 마스크(20)가 편차 없이 동일한 인장 특성을 가진 경우에 적중할 수 있는 설정값이다. 가로축의 10번째 마스크(20)는 실제로 작업하는 것이 아니라, 만일 9번째의 마스크(20)까지 다 조립한 후에 마스크(20)를 하나 더 설치한다면 그때에는 카운터 포스가 영(zero)이 된다는 의미가 된다. 그런데, 실제로는 마스크(20)들마다 인장 특성에 편차가 있기 때문에, 실제로 이렇게 설정값 그대로 맞춰지는 경우는 없다.
따라서, 마지막 마스크(20)를 용접한 후에 카운터 포스(CF)가 영(zero)보다 크게 남도록 설정해놓고, 남은 부분을 밸런스스틱(30)으로 조정하게 된다. 그래프 C가 밸런스스틱(30)을 2개 설치하는 경우를 감안한 카운터 포스의 설정값이다. 그래프에서 알 수 있듯이 9개의 마스크(20)를 모두 용접한 후에도 카운터 포스(CF)는 영(zero)보다 높은 값을 유지한다. 즉, 영보다 높도록 설정해둔다. 대신, 그 뒤에 밸런스스틱(30)을 2개 설치한 후에 카운터 포스(CF)가 영(zero)이 되도록 설정한다. 물론, 이것도 계산에 의해서만 나온 설정값으로서 모든 마스크(20)의 인장 특성이 동일한 경우를 전제로 한 것이다.
따라서, 실제 작업 중에는 적용되는 카운터 포스(CF)에 변화가 생기게 되며, 그래프 B가 실제 조립 중에 적용된 카운터 포스(CF)의 설정값을 보인 것이다. 그래프 B의 예에서는 5번째 마스크(20)를 조립한 후에 6번째 마스크(20)를 조립할 때부터 카운터 포스(CF)가 계산된 설정값(그래프 C)과 달라진 경우이다. 즉, 6번째 마스크(20)부터 인장 특성이 예상과 달라서 인장력(TF)에 차이가 생기고, 그에 대응하여 프레임(10)에 가할 카운터 포스(CF)에도 변화가 생긴 것이다. 만일, 이 경우에 밸런스스틱(30)이 없다면, 남은 마스크(20)들을 가지고 인장력을 조정하면서 최종적으로 카운터 포스가 영(zero)이 되도록 맞춰야 하는데, 전술한 바대로 마스크(20)는 증착용 패턴(21)이 형성되어 있기 때문에 인장력을 조정할 수 있는 범위가 좁을 수밖에 없다. 따라서, 결과적으로 카운터 포스를 영(zero)으로 맞추지 못하여 조립 후에 프레임(10)이 추가 변형되는 결과를 초래할 수 있다. 그러나, 본 실시예에서는 밸런스스틱(30)으로 나중에 조정할 것을 처음부터 감안해서 카운터 포스(CF)를 설정한 것이기 때문에, 일단 마스크(20)들의 조립이 끝난 후에 다소 처음의 계산과 차이가 있더라도 카운터 포스(CF)가 영(zero)보다 크게 남아있는 조건은 만족하게 된다. 이 상태에서 남은 카운터 포스(CF)를 영(zero)이 되도록 밸런스스틱(30)을 설치하여 맞춘다. 이 밸런스스틱(30)은 증착용 패턴(21)이 없기 때문에 인장력을 충분히 가해도 문제될 것이 없다. 즉, 인장력을 조정할 수 있는 범위가 마스크(20)에 비해 매우 넓다. 따라서, 이후 밸런스스틱(30)을 인장시켜서 프레임(10)에 부착하고, 이때 프레임(10)에 인가하는 카운터 포스(CF)가 마지막 밸런스스틱(30) 조립 후 영(zero)이 되도록 인장력(TF)과 카운터 포스(CF)를 조정한다.
도 4g가 첫 번째 밸런스스틱(30)을 마스크(20)들 사이에 설치하는 과정을 도시한 것이고, 도 4h는 두 번째 밸런스스틱(30)을 마스크(20)들 사이에 설치하는 과정을 도시한 것이다. 밸런스스틱(30)의 설치 개수는 필요에 따라 자유롭게 변화시킬 수 있다. 예컨대 마스크(20) 개수가 홀수이면 좌우 대칭이 되게 밸런스스틱(30)을 2개 또는 4개 등의 짝수로 설치하고, 마스크(20) 개수가 짝수이면 정가운데에 밸런스스틱(30)을 1개 설치하고 좌우에 대칭으로 추가하는 홀수로 설치할 수도 있다. 물론, 밸런스스틱(30)을 1개만 설치할 수도 있다. 어느 경우이든 마스크(20) 조립 완료 후에 영(zero)보다 크게 남은 카운터 포스(CF)가 최종적으로 영(zero)이 되도록 밸런스스틱(30)을 용접하면서 조정하면 된다.
이와 같은 구성에 의하면, 마스크(20)를 프레임(10)에 용접한 후에, 탄성 인장 범위가 넓은 밸런스스틱(30)을 이용하여 조립 후 추가 변형이 생기지 않도록 카운터 포스를 조정할 수 있기 때문에, 보다 안정적이고 견고한 마스크 프레임 조립체가 구현될 수 있다.
그리고, 상기 박막 증착용 마스크 프레임 조립체는 유기 발광막의 패터닝 공정을 포함한 각종 박막 증착용으로 사용될 수 있다.
상기한 본 발명의 특징을 다시 한번 정리하면 다음과 같다. 우선, 마스크(20)들은 인장 특성의 산포가 있기 때문에, 설정된 인장력으로 도출한 카운터포스(CF)와 실제 마스크(20)의 인장력 간에 힘의 불균형이 생길 수 있다. 따라서, 계산대로 조립 완료 후 카운터 포스를 영(zero)으로 맞추기가 어렵다. 이렇게 되면 프레임(10)과 마스크(20)가 변형되어 패턴 정밀도가 떨어질 수 있다. 여기에 상기한 밸런스스틱(30)을 설치하면 이 힘의 불균형을 보상할 수 있게 된다. 따라서 패턴의 정밀도가 향상된다.
본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.
10...프레임 10a...개구부
20.. 마스크 30.. 밸런스스틱
40.. 가림 마스크 11 ..결합홈

Claims (12)

  1. 개구부가 형성된 프레임; 증착용 패턴을 구비하며, 상기 프레임에 양단부가 고정되어 상기 증착용 패턴이 상기 개구부에 위치되도록 배치되는 복수의 마스크;
    상기 복수의 마스크들과 인접하여 나란하게 배치되도록 상기 프레임에 양단부가 고정되며, 탄성 인장이 가능한 탄성재질의 밸런스스틱; 및
    상기 마스크들과의 사이에 벌어진 틈새를 가려주도록 상기 밸런스스틱에 부착된 가림마스크;를 포함하며,
    상기 밸런스스틱은 조립 시 상기 마스크에 가해지는 인장력과 상기 프레임에 상기 인장력과 반대방향으로 가해지는 카운터포스 간의 힘의 불균형을 보상하도록 설치되는 것을 특징으로 하는 박막 증착용 마스크 프레임 조립체.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 복수의 마스크들은 상기 프레임에 모두 평행하게 배치된 스트라이프 형상인 것을 특징으로 하는 박막 증착용 마스크 프레임 조립체.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 밸런스스틱은 그 두께가 상기 마스크들 보다 두꺼운 것을 특징으로 하는 박막 증착용 마스크 프레임 조립체.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 프레임에는 상기 밸런스스틱의 양단부가 들어가서 고정되는 결합홈이 형성된 것을 특징으로 하는 박막 증착용 마스크 프레임 조립체.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 결합홈의 깊이는 상기 밸런스스틱과 상기 마스크의 두께 차이와 같게 형성된 것을 특징으로 하는 박막 증착용 마스크 프레임 조립체.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 밸런스스틱은 상기 복수의 마스크들 사이에 설치되며, 그 밸런스스틱의 폭은 상기 마스크들의 폭보다 좁은 것을 특징으로 하는 박막 증착용 마스크 프레임 조립체.
  7. 삭제
  8. (a) 개구부가 형성된 프레임과, 상기 개구부에 배치될 증착용 패턴이 구비된 복수의 마스크 및, 탄성 인장이 가능한 탄성재질의 밸런스스틱을 준비하는 단계;
    (b) 상기 프레임에 상기 복수의 마스크를 차례로 고정시켜서 상기 각 프레임의 증착용 패턴이 상기 개구부에 위치되도록 하는 단계; 및,
    (c) 상기 복수의 마스크가 고정된 상기 프레임에 상기 밸런스스틱을 고정시켜서 상기 마스크와 상기 프레임 간의 힘의 불균형을 보상하는 단계;를 포함하며,
    상기 (b)단계는 상기 마스크를 인장시키는 단계와, 상기 프레임에 그 인장력과 반대방향으로 조립 후 변형을 방지하기 위한 카운터 포스를 가하는 단계 및, 상기 인장된 마스크의 양단부를 상기 카운터 포스가 인가된 프레임에 용접하는 단계를 포함하되, 상기 (b)단계 이후의 상기 프레임에 대한 카운터 포스가 영(zero) 보다 크게 하고,
    상기 (c)단계는 상기 밸런스스틱을 인장시키는 단계와, 상기 프레임에 그 인장력과 반대방향으로 조립 후 변형을 방지하기 위한 카운터 포스를 가하는 단계 및, 상기 인장된 밸런스스틱의 양단부를 상기 카운터 포스가 인가된 프레임에 용접하는 단계를 포함하여, 상기 (c)단계 이후의 상기 프레임에 대한 카운터 포스가 영(zero)이 되게 하는 것을 특징으로 하는 박막 증착용 마스크 프레임 조립체의 조립방법.
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  10. 삭제
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