KR20170141854A - 마스크 프레임 조립체 및 그 제조방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 일 실시예는 프레임에 결합되어 마스크의 패턴영역을 단위셀 패턴으로 구획하는 장변스틱으로서, 프레임의 서로 대향된 변에 고정되는 한 쌍의 고정단부와, 한 쌍의 고정단부를 연결하며 고정단부의 폭방향 양측 가장자리로부터 각각 안으로 몰입된 제1구획부 및 제2구획부를 구비하는 협폭부를 포함하는 마스크 프레임 조립체를 개시한다.

Description

마스크 프레임 조립체 및 그 제조방법{Mask frame assembly and the manufacturing method thereof}
본 발명은 박막의 증착에 사용되는 마스크 프레임 조립체 및 그것의 제조방법에 관한 것이다.
일반적으로 유기 발광 표시 장치는 애노드와 캐소드에서 주입되는 정공과 전자가 발광층에서 재결합하여 발광하는 원리로 색상을 구현할 수 있는 것으로서, 애노드인 화소전극과 캐소드인 대향전극 사이에 발광층이 삽입된 적층형 구조로 화소들이 이루어져 있다.
상기 각 화소들은 예컨대 적색 화소, 녹색 화소 및 청색 화소 중 어느 하나의 서브 화소(sub pixel)가 될 수 있으며, 이들 3색 서브 화소의 색상 조합에 의해 원하는 컬러가 표현될 수 있다. 즉, 각 서브 화소마다 두 전극 사이에 적색과 녹색 및 청색 중 어느 한 색상의 빛을 발하는 발광층이 개재된 구조를 가지며, 이 3색광의 적절한 조합에 의해 한 단위 화소의 색상이 표현되는 것이다.
한편, 상기와 같은 유기 발광 표시 장치의 전극들과 발광층 등은 증착을 통해 형성될 수 있다. 즉, 형성하고자 하는 박막층의 패턴과 동일한 패턴을 가지는 마스크 프레임 조립체를 기판 위에 정렬하고, 그 마스크 프레임 조립체를 통해 기판에 박막의 원소재를 증착하여 소망하는 패턴의 박막을 형성하는 것이다.
그런데, 상기 마스크 프레임 조립체에는 마스크의 패턴영역을 단위셀 패턴으로 구획해주는 장변스틱이 설치되어 있는데, 이것이 조립과정에서 변형되면 올바른 패턴을 증착할 수 없게 된다.
따라서, 본 발명의 실시예들은 이러한 장변스틱의 변형을 효과적으로 억제할 수 있도록 개선된 마스크 프레임 조립체 및 그 제조방법을 제공한다.
본 발명의 실시예는 프레임과, 상기 프레임의 결합되며 증착을 위한 패턴영역이 구비된 마스크와, 상기 프레임에 결합되어 상기 마스크의 패턴영역을 단위셀 패턴으로 구획하는 장변스틱을 포함하며, 상기 장변스틱은 상기 프레임의 서로 대향된 변에 고정되는 한 쌍의 고정단부와, 상기 한 쌍의 고정단부를 연결하며 상기 고정단부의 폭방향 양측 가장자리로부터 각각 안으로 몰입된 제1구획부 및 제2구획부를 구비하는 협폭부를 포함하는 마스크 프레임 조립체를 제공한다.
상기 제1구획부는 상기 단위셀 패턴의 일측 경계를 구획하고, 상기 제2구획부는 상기 제1구획부의 반대편에서 상기 단위셀 패턴의 타측 경계를 구획할 수 있다.
상기 제1구획부는 상기 한 쌍의 고정단부를 비직선형으로 연결하며, 상기 제2구획부는 상기 한 쌍의 고정단부를 직선형으로 연결할 수 있다.
상기 제1구획부에는 오목부와 돌출부가 교대로 배치될 수 있다.
상기 오목부와 상기 돌출부는 상기 폭방향에 대해 경사지게 연결될 수 있다.
상기 제2구획부는 상기 한 쌍의 고정단부로부터 상기 폭방향과 평행하게 몰입된 한 쌍의 단차부와 상기 한 쌍의 단차부를 직선으로 연결하는 직선부를 포함할 수 있다.
상기 마스크가 상기 장변스틱과 수직으로 교차할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예는 프레임을 준비하는 단계; 증착을 위한 패턴영역이 마련된 마스크를 준비하는 단계; 양단측의 한 쌍의 고정단부와, 상기 한 쌍의 고정단부를 연결하며 상기 고정단부의 폭방향 양측 가장자리로부터 각각 안으로 몰입된 제1구획부 및 제2구획부를 구비하는 협폭부를 구비한 장변스틱을 준비하는 단계; 상기 장변스틱의 한 쌍의 고정단부를 상기 프레임에 고정시키는 단계; 및 상기 패턴영역이 상기 장변스틱의 제1구획부 및 제2구획부에 의해 단위셀 패턴으로 구획되도록 상기 마스크를 상기 프레임에 고정시키는 단계를 포함하는 마스크 프레임 조립체의 제조방법을 제공한다.
상기 제1구획부는 상기 단위셀 패턴의 일측 경계를 구획하고, 상기 제2구획부는 상기 제1구획부의 반대편에서 상기 단위셀 패턴의 타측 경계를 구획할 수 있다.
상기 제1구획부는 상기 한 쌍의 고정단부를 비직선형으로 연결하며, 상기 제2구획부는 상기 한 쌍의 고정단부를 직선형으로 연결할 수 있다.
상기 제1구획부에 오목부와 돌출부가 교대로 형성할 수 있다.
상기 오목부와 상기 돌출부는 상기 폭방향에 대해 경사지게 연결될 수 있다.
상기 제2구획부는 상기 한 쌍의 고정단부로부터 상기 폭방향과 평행하게 몰입된 한 쌍의 단차부와 상기 한 쌍의 단차부를 직선으로 연결하는 직선부를 포함할 수 있다.
상기 마스크가 상기 장변스틱과 수직으로 교차할 수 있다.
전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점이 이하의 도면, 특허청구범위 및 발명의 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다.
본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 조립체와 그 제조방법에 의하면 마스크의 패턴영역을 단위셀 패턴으로 구획하는 장변스틱의 변형을 충분히 억제할 수 있으므로, 항상 기판 상의 정확한 위치에 원하는 패턴을 증착할 수 있게 된다. 따라서, 증착 작업에 이 마스크 프레임 조립체를 사용하면 제품의 안정적인 품질 확보를 보장할 수 있게 된다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 조립체를 사용한 증착 과정을 보인 도면이다.
도 2는 도 1에 도시된 마스크 프레임 조립체의 분리사시도이다.
도 3은 도 2에 도시된 마스크 프레임 조립체의 부분 평면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 기판의 세부 구조를 보인 단면도이다.
도 5a 내지 도 5c는 도 2에 도시된 마스크 프레임 조립체 제조과정을 보인 평면도이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
이하의 실시예에서, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
이하의 실시예에서, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다.
이하의 실시예에서, 막, 영역, 구성 요소 등의 부분이 다른 부분 위에 또는 상에 있다고 할 때, 다른 부분의 바로 위에 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 있는 경우도 포함한다.
도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 프레임 조립체(100)가 채용된 박막 증착 장치의 구조를 개략적으로 도시한 것이다.
도시된 바와 같이 상기 박막 증착 장치는 증착 대상재인 기판(300) 상에 원하는 패턴을 형성하기 위한 마스크 프레임 조립체(100)와, 챔버(400) 내에서 상기 기판(300)을 향해 증착가스를 분출하는 증착원(200) 등을 구비하고 있다.
따라서, 챔버(400) 내에서 증착원(200)이 증착가스를 분출하면 해당 증착가스가 마스크 프레임 조립체(100)를 통과하여 기판(300)에 증착되면서 소정 패턴의 박막을 형성하게 된다.
여기서 상기 마스크 프레임 조립체(100)는 프레임(130)과 마스크(120) 및 장변스틱(110)이 결합된 구조를 가지며, 그 자세한 구조는 도 2에 도시된 바와 같다.
도면을 참조하면, 본 실시예에 따른 마스크 프레임 조립체(100)는 프레임(130)과, 프레임(130)에 양단부가 고정된 복수의 장변스틱(110) 및, 그 장변스틱(110)과 수직을 교차하며 프레임(130)에 양단부가 고정된 복수의 마스크(120)를 구비하고 있다.
프레임(130)은 마스크 프레임 조립체(100)의 외곽 틀을 형성하는 것으로, 중앙에 개구부(132)가 형성된 사각형 모양을 하고 있다. 이 프레임(130)의 서로 마주보는 한 쌍의 변에 결합홈(131)이 형성되어 있어서 그 결합홈(131)에 장변스틱(110)의 양측 고정단부(111)가 용접으로 고정되며, 마스크(100)의 양단부는 상기 장변스틱(110)이 용접되는 변과 수직인 한 쌍의 변에 용접으로 고정된다.
상기 마스크(120)는 길쭉한 스틱 형상의 부재들로서, 상기 개구부(132) 안에 위치되는 다수의 패턴영역(121)이 형성되어 있으며 그 양단부는 상기한 바와 같이 프레임(300)에 용접된다. 참조부호 122는 클램핑부로서, 마스크(120)를 프레임(130)에 용접할 때 이 클램핑부(122)를 잡고 길이방향으로 인장시킨 상태에서 용접하게 된다. 클램핑부(122)는 용접 후 커팅으로 제거된다. 이 마스크(120)를 큰 부재 하나로 만들 수도 있지만, 그럴 경우 자중에 의한 처짐 현상이 심해질 수 있으므로, 도면과 같이 다수개의 스틱 형상으로 분할해서 만든다. 상기 마스크(120)의 소재로는 예컨대 니켈(Ni), 니켈-코발트 합금 등이 사용될 수 있다.
상기 패턴영역(121)은 다수의 패턴홀들이 형성된 영역으로, 증착 공정 시 증착 증기가 이 패턴홀을 통과하면서 상기 기판(300;도 1 참조)에 박막층을 형성하게 된다. 상기 패턴영역(121)은 단위셀 패턴으로 나눠져 있지 않고 하나로 길게 연결되어 있는데, 이것을 단위셀 패턴으로 구획해주는 것이 상기 장변스틱(110)이다.
그리고, 장변스틱(110)은 상기 프레임(130)의 결합홈(131)에 용접으로 고정되는 한 쌍의 고정단부(111)와, 그 사이를 연결하는 협폭부(112)를 구비하고 있다. 상기 협폭부(112)는 상기 고정단부(111) 보다 폭이 좁은 구간으로, 이 협폭부(112)에 형성된 제1구획부(112a)와 제2구획부(112b)가 상기 마스크(120)의 패턴영역(121)을 단위셀 패턴으로 구획해주게 된다.
이러한 단위셀 패턴 구획에 대해서는 도 3을 참조하여 자세히 설명하기로 한다.
도면과 같이, 마스크(120)와 장변스틱(110)은 프레임(130)에 수직으로 교차하면서 밀착되도록 설치된다. 이에 따라 각 마스크(120)의 패턴영역(121)을 장변스틱(110)의 협폭부(112)가 가로지르게 되며, 협폭부(112)의 제1구획부(112a)와 제2구획부(112b)에 의해 단위셀 패턴이 나눠지게 된다.
즉, 상기 제1,2구획부(112a)(112b)가 단위셀 사이의 경계선을 그어주는 셈이 되며, 이중 제1구획부(112a)가 도 3에서 볼 때 단위셀의 하단 경계선을, 그 반대편에 있는 제2구획부(112b)가 단위셀의 상단 경계선을 그어주게 된다.
한편, 상기 협폭부(112)는 상기와 같이 상기 고정단부(111)에 비해 폭이 좁은 구간으로, 고정단부(111)의 폭방향(Y축 방향) 양측 가장자리로부터 안쪽으로 각각 몰입되면서 상기 제1구획부(112a)와 제2구획부(112b)가 형성되어 있다. 이것은 역으로 말하면 제1,2구획부(112a)(112b)로부터 각각 폭방향으로 확장되면서 고정단부(111)가 형성되어 있다고 말할 수도 있다. 이것은 특히 도면과 같은 비정형 단위셀 즉, 경계선이 일직선만으로 그어지지 않는 형상의 단위셀을 구획하는 장변스틱(110)에 있어서 변형을 억제하는데 유효한 구조가 된다.
즉, 만일 단위셀이 모두 사각형 모양이라면, 장변스틱(110)도 제1,2구획부(112a)(112b)가 다 일직선인 일자(一字) 봉으로 형성하면 되고, 그러면 장변스틱(110)을 프레임(130)에 용접하기 위해 길이방향(X축 방향)을 인장시킬 때 어느 한쪽으로 힘이 몰리면서 구부러지는 문제는 생기지 않는다. 일자봉은 그 자체가 대칭구조이기 때문이다.
그러나, 본 실시예와 같이 장변스틱(110)으로 경계선을 그어줘야 할 패턴영역(121)의 단위셀 단부가 일자형 모양이 아니면, 용접을 위한 장변스틱(110)의 인장 시 문제가 생길 수도 있다. 즉, 도 3에 도시된 바와 같이 패턴영역(121)의 단위셀의 하단부가 일자형이 아니므로, 거기에 맞게 장변스틱(110)의 제1구획부(112a)도 오목부(112a1)와 돌출부(112a2)가 교대로 배치되면서 경사지게 이어진 비직선형 구조로 이루어지게 된다.
이에 반해, 반대편 상기 제2구획부(112b)는 도면과 같이 직선형의 경계선을 긋기 때문에, 양측 고정단부(111)의 폭방향 가장자리에서부터 안쪽으로 몰입되지 않고 그대로 이어지는 직선으로 형성할 수도 있다. 그러나 이렇게 하면 제1구획부(112a) 측과 제2구획부(112b) 측의 강성 균형이 크게 달라지게 되어, 장변스틱(110)을 길이방향(X축 방향)으로 인장시킬 때 제1구획부(112a) 쪽으로 불룩하게 휘어지는 변형이 생기기 쉽다.
따라서, 이를 방지하기 위해 제2구획부(112b)도 고정단부(111)로부터 폭방향(Y축 방향)을 따라 안쪽으로 몰입된 한 쌍의 단차부(112b1)와 그 사이를 직선으로 잇는 직선부(112b2)로 구성한다. 이렇게 하면 비정형 셀패턴이라고 하더라도 장변스틱(110) 인장 시 제1구획부(112a) 측과 제2구획부(112b) 측 간의 강성 균형이 적절히 유지되기 때문에 힘이 한쪽으로 몰리는 현상을 막아서 변형을 억제시킬 수 있게 된다.
그러니까, 제1,2구획부(112a)(112b)를 고정단부(111)의 양측 가장자리로부터 폭방향(Y축 방향)을 따라 둘 다 몰입되게 형성함으로써, 비정형 셀패턴인 경우에도 강성의 불균일을 최소화하여 장변스틱(110) 인장 시의 변형을 억제시키는 것이다.
이와 같은 구조의 장변스틱(110)을 포함한 마스크 프레임 조립체(100)의 조립과정에 대해서는 후술하기로 하고, 그 전에 상기 마스크 프레임 조립체(100)로 증착할 수 있는 대상체의 예를 간략히 소개하기로 한다.
상기 마스크 프레임 조립체(100)는 각종 박막 증착용으로 사용될 수 있는데, 예컨대 유기 발광 표시 장치의 발광층 패턴을 형성하는 데 사용될 수 있다.
도 4는 본 발명의 마스크 프레임 조립체(100)를 이용하여 증착할 수 있는 기판(300)의 예로서 상기 유기 발광 표시 장치의 구조를 도시한 도면이다.
도 4를 참조하면, 베이스판(320)상에 버퍼층(330)이 형성되어 있고, 이 버퍼층(330) 상부로 박막트랜지스터(TFT)가 구비된다.
박막트랜지스터(TFT)는 활성층(331)과, 이 활성층(331)을 덮도록 형성된 게이트 절연막(332)과, 게이트 절연막(332) 상부의 게이트 전극(333)을 갖는다.
게이트 전극(333)을 덮도록 층간 절연막(334)이 형성되며, 층간 절연막(334)의 상부에 소스전극(335a) 및 드레인 전극(335b)이 형성된다.
소스전극(335a) 및 드레인 전극(335b)은 게이트 절연막(332) 및 층간 절연막(334)에 형성된 컨택홀에 의해 활성층(331)의 소스 영역 및 드레인 영역에 각각 접촉된다.
그리고, 상기 드레인 전극(335b)에 유기 발광 소자(OLED)의 화소전극(321)이 연결된다. 화소전극(321)은 평탄화막(337) 상부에 형성되어 있으며, 이 화소전극(321) 위에 서브화소 영역을 구획하는 화소정의막(Pixel defining layer: 338)이 형성된다. 참조부호 339는 증착 시 마스크(100)와의 간격을 유지하여 마스크(100) 접촉에 의한 기판(300)측 부재들의 손상을 막기 위한 스페이서를 나타내며, 스페이서(339)는 화소정의막(338)의 일부가 돌출된 형태로 형성될 수 있다. 그리고, 이 화소정의막(338)의 개구부에 유기 발광 소자(OLED)의 발광층(326)이 형성되고, 이들 상부에 대향전극(327)이 증착된다. 즉, 화소정의막(338)으로 둘러싸인 개구부가 적색화소(R), 녹색화소(G), 및 청색화소(B)와 같은 한 서브화소의 영역이 되며, 그 안에 해당 색상의 발광층(326)이 형성되는 것이다.
따라서, 패턴영역(121)의 패턴홀이 이 발광층(326)에 대응하도록 상기한 마스크 프레임 조립체(100)를 준비하면, 도 1에서 설명한 바와 같은 증착 과정을 통해 원하는 패턴의 발광층(326)을 형성할 수 있다. 그리고, 상기한 단위셀은 한 유기발광표시장치의 디스플레이 영역에 해당될 수 있다.
도 5a 내지 도 5c는 상기한 마스크 프레임 조립체(100)의 제조과정을 순차적으로 도시한 것이다.
우선, 도 5a와 같이 중앙에 개구부(132)가 형성되고 사각형의 네 변 중 서로 마주하는 두 변에 결합홈(131)이 형성된 프레임(130)을 준비한다.
이어서, 도 5b와 같이 프레임(130)에 장변스틱(110)들을 용접하여 고정시킨다. 즉, 각 장변스틱(110)의 양측 고정단부(111)를 잡고 길이방향(X축 방향)으로 인장시킨 상태에서 상기 결합홈(131)에 고정단부(111) 일측을 용접하고 고정시킨다.
이때, 양측 고정단부(111) 사이의 협폭부(112)는 전술한 대로 비정형 셀패턴에 대응한 제1구획부(112a)와 제2구획부(112b)를 가지고 있지만, 제1,2구획부(112a)(112b)가 다 고정단부(111)로부터 안쪽으로 몰입되어 있어서 강성 균형을 적절히 유지해주고 있기 때문에 인장 시 제1,2구획부(112a)(112b) 중 어느 한 쪽으로 휘어지는 등의 변형은 충분히 억제된다.
이렇게 장변스틱(110)이 고정된 다음에는, 도 5c와 같이 프레임(130)의 또 다른 서로 대향된 변에 마스크(120)를 용접하여 고정시킨다. 즉, 각 마스크(120)의 클램핑부(122)를 잡고 마스크(120)의 길이방향(Y축 방향)으로 인장시킨 상태에서 마스크(120)를 프레임(130)에 용접하여 고정시킨다. 상기 클램핑부(122)는 용접 후 커팅으로 제거되며, 그와 같은 기능으로 상기 장변스틱(110)에서 프레임(130) 가장자리보다 더 밖으로 돌출된 부위도 용접 후에는 커팅으로 제거된다.
이와 같은 공정을 통해 장변스틱(110)의 변형이 억제된 마스크 프레임 조립체(100)를 만들 수 있다.
한편, 본 실시예에서는 장변스틱(110)을 프레임(130)에 먼저 용접하고 그 위에 마스크(120)를 수직으로 용접하는 과정을 예시하였는데, 반대로 마스크(120)를 먼저 프레임(130)에 용접하고 나서 그 위에 장변스틱(110)을 용접할 수도 있다. 즉, 마스크(120)와 장변스틱(110)의 용접 순서는 바꿀 수 있다.
그러므로, 이상에서 설명한 바와 같은 마스크 프레임 조립체와 그 제조방법에 의하면 마스크의 패턴영역을 단위셀 패턴으로 구획하는 장변스틱의 변형을 충분히 억제할 수 있으므로, 증착 작업에 이 마스크 프레임 조립체를 사용하면 항상 기판 상의 정확한 위치에 원하는 패턴을 증착할 수 있게 되어 제품의 안정적인 품질 확보를 보장할 수 있게 된다.
이와 같이 본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 하여 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 실시예의 변형이 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
100: 마스크 프레임 조립체 110: 장변스틱
111: 고정단부 112: 협폭부
120: 마스크 121: 패턴영역
130: 프레임 200: 증착원
300: 기판 400: 챔버

Claims (14)

  1. 프레임과, 상기 프레임의 결합되며 증착을 위한 패턴영역이 구비된 마스크와, 상기 프레임에 결합되어 상기 마스크의 패턴영역을 단위셀 패턴으로 구획하는 장변스틱을 포함하며,
    상기 장변스틱은 상기 프레임의 서로 대향된 변에 고정되는 한 쌍의 고정단부와, 상기 한 쌍의 고정단부를 연결하며 상기 고정단부의 폭방향 양측 가장자리로부터 각각 안으로 몰입된 제1구획부 및 제2구획부를 구비하는 협폭부를 포함하는 마스크 프레임 조립체.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1구획부는 상기 단위셀 패턴의 일측 경계를 구획하고, 상기 제2구획부는 상기 제1구획부의 반대편에서 상기 단위셀 패턴의 타측 경계를 구획하는 마스크 프레임 조립체.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 제1구획부는 상기 한 쌍의 고정단부를 비직선형으로 연결하며, 상기 제2구획부는 상기 한 쌍의 고정단부를 직선형으로 연결하는 마스크 프레임 조립체.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 제1구획부에는 오목부와 돌출부가 교대로 배치된 마스크 프레임 조립체.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 오목부와 상기 돌출부는 상기 폭방향에 대해 경사지게 연결된 마스크 프레임 조립체.
  6. 제 3 항에 있어서,
    상기 제2구획부는 상기 한 쌍의 고정단부로부터 상기 폭방향과 평행하게 몰입된 한 쌍의 단차부와 상기 한 쌍의 단차부를 직선으로 연결하는 직선부를 포함하는 상기 마스크 프레임 조립체.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 마스크가 상기 장변스틱과 수직으로 교차하는 마스크 프레임 조립체.
  8. 프레임을 준비하는 단계;
    증착을 위한 패턴영역이 마련된 마스크를 준비하는 단계;
    양단측의 한 쌍의 고정단부와, 상기 한 쌍의 고정단부를 연결하며 상기 고정단부의 폭방향 양측 가장자리로부터 각각 안으로 몰입된 제1구획부 및 제2구획부를 구비하는 협폭부를 구비한 장변스틱을 준비하는 단계;
    상기 장변스틱의 한 쌍의 고정단부를 상기 프레임에 고정시키는 단계;
    상기 패턴영역이 상기 장변스틱의 제1구획부 및 제2구획부에 의해 단위셀 패턴으로 구획되도록 상기 마스크를 상기 프레임에 고정시키는 단계를 포함하는 마스크 프레임 조립체의 제조방법.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 제1구획부는 상기 단위셀 패턴의 일측 경계를 구획하고, 상기 제2구획부는 상기 제1구획부의 반대편에서 상기 단위셀 패턴의 타측 경계를 구획하는 마스크 프레임 조립체의 제조방법.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 제1구획부는 상기 한 쌍의 고정단부를 비직선형으로 연결하며, 상기 제2구획부는 상기 한 쌍의 고정단부를 직선형으로 연결하는 마스크 프레임 조립체의 제조방법.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 제1구획부에 오목부와 돌출부가 교대로 형성하는 마스크 프레임 조립체의 제조방법.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 오목부와 상기 돌출부는 상기 폭방향에 대해 경사지게 연결된 마스크 프레임 조립체의 제조방법.
  13. 제 9 항에 있어서,
    상기 제2구획부는 상기 한 쌍의 고정단부로부터 상기 폭방향과 평행하게 몰입된 한 쌍의 단차부와 상기 한 쌍의 단차부를 직선으로 연결하는 직선부를 포함하는 상기 마스크 프레임 조립체의 제조방법.
  14. 제 8 항에 있어서,
    상기 마스크가 상기 장변스틱과 수직으로 교차하는 마스크 프레임 조립체의 제조방법.
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