KR20150042600A - 마스크 조립체 및 이를 이용한 평판표시장치용 증착 장치 - Google Patents

마스크 조립체 및 이를 이용한 평판표시장치용 증착 장치 Download PDF

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KR20150042600A
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Abstract

본 발명은 개구부 및 상기 개구부를 둘러싼 프레임을 포함하는 마스크 프레임, 하나 또는 다수의 패턴이 형성되는 패턴부 및 상기 프레임과 결합되는 결합부를 포함하는 패턴 마스크, 상기 개구부를 가로지르며, 상기 패턴 마스크와 결합되는 지지대, 및 상기 패턴 마스크와 상기 지지대를 결합하는 고정핀을 포함하며, 상기 패턴 마스크 및 상기 지지대 중 적어도 하나 이상은 복수개의 구멍으로 이루어진 고정부를 가지고, 상기 고정핀은 상기 고정부에 삽입되어 적어도 한 끝 단이 T형상을 가져 상기 패턴 마스크 및 상기 지지대를 고정하는 마스크 조립체를 제공한다. 본 발명에 따르면, 지지대와 마스크를 용접에 의해 고정하는 방법이나 어느 한 쪽에 돌기를 형성하여 지지대와 마스크를 고정하는 방법에 비해 열영향에 의한 마스크와 지지대의 변형이 없어질 수 있으며, 돌기의 높이의 조절이 가능하고, 지지대와 마스크의 고정력이 강해서 쉐도우 현상을 조절 가능한 마스크 조립체를 제공할 수 있는 장점이 있다.

Description

마스크 조립체 및 이를 이용한 평판표시장치용 증착 장치{MASK ASSEMBLY AND DEPOSITION APPARATUS USING THE SAME FOR FLAT PANEL DISPLAY}
본 발명은 마스크 조립체 및 이를 이용한 평판표시장치용 증착 장치에 관한 것이다.
평판 표시 장치(Flat Panel Display device)는 경량 및 박형 등의 특성으로 인하여, 음극선관 표시 장치(Cathode-ray Tube Display device)를 대체하는 표시 장치로 사용되고 있으며, 대표적인 예로서 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display device; LCD)와 유기전계발광표시장치(Organic Light Emitting diode Display device; OLED)가 있다. 이 중, 유기전계발광표시장치는 액정표시장치에 비하여 휘도 특성 및 시야각 특성이 우수하고 백라이트(Backlight)를 필요로 하지 않아 초박형으로 구현할 수 있다는 장점이 있다.
유기전계발광표시장치는 유리, 스테인레스 스틸 또는 합성 수지로 형성된 기판 상에 음극, 양극 및 유기박막 등을 선택적으로 형성하기 위하여, 포토리소그라피 방법 또는 다수의 슬릿(slit)을 포함하는 패턴이 형성된 마스크 조립체를 이용한 증착법을 사용한다. 이 중, 포토리소그라피 방법은 일부 영역에 포토레지스터를 도포한 후, 습식 식각 또는 건식 식각하는 방법으로 포토레지스터를 박리하는 과정 및 식각 과정에서 수분이 유입될 수 있으므로, 유기 박막과 같이 수분에 의해 열화될 수 있는 물질은 마스크 조립체를 이용한 증착법이 주로 사용된다.
유기전계발광표시장치는 풀-컬러(full-color)를 디스플레이하기 위하여 R, G, B 유기 발광층을 포함하는 유기전계발광소자를 형성하고 있으며, 다수의 개구부가 형성된 마스크 패턴을 증착 대상물 즉, R, G, B 유기 발광층을 포함하는 유기전계발광소자가 형성될 기판 상에 정렬시키고, 마스크 패턴의 개구부를 통해 R, G, B 유기 발광층 등의 증착 대상물을 기판에 제공하여 원하는 형태의 패턴을 기판 상에 증착함으로써, 기판 상의 일정 영역에 R, G, B 유기 발광층을 포함하는 유기전계발광소자를 각각 형성하고 있으므로, 마스크 조립체의 패턴이 매우 정밀하게 정렬되어야 한다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 마스크와 지지대 간의 용접으로 인한 열영향과 그에 의한 변형을 없애거나 지지대 상의 돌기를 최소화하거나 없앨 수 있는 마스크 조립체 및 이를 이용한 평판표시장치용 증착장치를 제공하는데 있다.
이러한 과제를 해결하기 위하여 본 발명의 실시예에 따르면, 개구부 및 상기 개구부를 둘러싼 프레임을 포함하는 마스크 프레임, 하나 또는 다수의 패턴이 형성되는 패턴부 및 상기 프레임과 결합되는 결합부를 포함하는 패턴 마스크, 상기 개구부를 가로지르며, 상기 패턴 마스크와 결합되는 지지대, 및 상기 패턴 마스크와 상기 지지대를 결합하는 고정핀을 포함하며, 상기 패턴 마스크 및 상기 지지대 중 적어도 하나 이상은 복수개의 구멍으로 이루어진 고정부를 가지고, 상기 고정핀은 상기 고정부에 삽입되어 적어도 한 끝 단이 T형상을 가져 상기 패턴 마스크 및 상기 지지대를 고정하는 마스크 조립체를 제공한다.
상기 패턴은 하나 또는 다수의 슬릿을 포함할 수 있다.
상기 패턴 마스크는 하나 또는 복수 개의 단위 패턴 마스크로 이루어질 수 있다.
상기 지지대는 서로 이격되도록 복수 개가 위치할 수 있다.
상기 지지대는 상기 패턴 마스크의 길이 방향으로 위치할 수 있다.
상기 지지대는 상기 패턴 마스크의 길이 방향에 수직 방향으로 위치할 수 있다.
상기 지지대는 상기 패턴 마스크의 길이 방향 및 길이 방향에 수직 방향의 양 방향으로 위치할 수 있다.
상기 프레임은 상기 지지대의 종단부를 수용하기 위한 홈이 형성될 수 있다.
상기 패턴 마스크 및 상기 지지대 중 적어도 하나 이상은 상기 고정핀 끝 단의 T형상의 수용 홈을 가질 수 있다.
상기 고정핀은 금속 또는 플라스틱 재질일 수 있다.
상기 고정핀은 식각액에 의해 식각되는 재질일 수 있다.
상기 고정핀은 상기 패턴 마스크 또는 상기 지지대에 접합되어 있을 수 있다.
상기 고정핀은 상기 패턴 마스크 또는 상기 지지대 중 어느 하나와 일체일 수 있다.
또한, 본 발명의 다른 실시예에 따르면, 챔버, 상기 챔버의 하측에 위치하는 증착원, 및 상기 증착원 상에 위치하며, 기판을 지지하기 위한 마스크 조립체를 포함하며, 상기 마스크 조립체는 개구부 및 상기 개구부를 둘러싼 프레임을 포함하는 마스크 프레임, 하나 또는 다수의 패턴이 형성되는 패턴부 및 상기 프레임과 결합되는 결합부를 포함하는 패턴 마스크, 상기 개구부를 가로지르며, 상기 패턴 마스크와 결합되는 지지대, 및 상기 패턴 마스크와 상기 지지대를 결합하는 고정핀을 포함하며, 상기 패턴 마스크 및 상기 지지대 중 적어도 하나 이상은 복수개의 구멍으로 이루어진 고정부를 가지고, 상기 고정핀은 상기 고정부에 삽입되어 적어도 한 끝 단이 T형상을 가져 상기 패턴 마스크 및 상기 지지대를 고정하는 평판표시장치용 증착 장치를 제공한다.
이상과 같이 본 발명의 일실시예에 따르면, 지지대와 마스크를 용접에 의해 고정하는 방법이나 어느 한 쪽에 돌기를 형성하여 지지대와 마스크를 고정하는 방법에 비해 열영향에 의한 마스크와 지지대의 변형이 없어질 수 있으며, 돌기의 높이의 조절이 가능하고, 지지대와 마스크의 고정력이 강해서 쉐도우 현상을 조절 가능한 마스크 조립체를 제공할 수 있는 장점이 있다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 마스크 조립체를 나타낸 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 마스크의 패턴을 확대한 사시도이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 조립체를 나타낸 사시도이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 조립체의 평면도이다.
도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 마스크 조립체를 나타낸 사시도이다.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 마스크 조립체를 나타낸 사시도이다.
도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 마스크 조립체를 나타낸 사시도이다.
도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 마스크 조립체를 나타낸 사시도이다.
도 9는 본 발명의 일실시예에 따른 마스크 조립체의 제조공정을 나타낸 것이다.
도 10 및 도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 조립체의 제조공정을 나타낸 것이다.
도 12 및 도 13은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 마스크 조립체의 제조공정을 나타낸 것이다.
도 14는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 마스크 조립체의 제조공정을 나타낸 것이다.
도 15는 본 발명의 일실시예에 따른 마스크 조립체를 이용한 평판표시장치용 증착 장비를 나타낸 개략도이다.
첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.
도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 붙였다. 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 어떤 부분이 다른 부분 "바로 위에" 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 없는 것을 뜻한다.
이제 본 발명의 실시예에 따른 마스크 조립체에 대하여 도면을 참고로 하여 상세하게 설명한다.
우선, 도 1 및 도 2를 참고하여, 본 발명의 일실시예에 따른 마스크 조립체에 대해서 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 마스크 조립체를 나타낸 사시도이다. 도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 마스크의 패턴을 확대한 사시도이다.
도 1 및 도 2를 참고하면, 본 발명의 일실시예에 따른 마스크 조립체는 개구부(120)를 포함하는 마스크 프레임(100), 길이 방향인 제 1 방향(X)으로 인장되어 마스크 프레임(100)에 결합되는 다수의 패턴 마스크(200), 개구부(120)를 가로지르는 지지대(300) 및 패턴 마스크(200)와 지지대(300)를 고정시키는 고정핀(50)을 포함한다. 여기서, 본 발명의 일실시예는 마스크 프레임(100)에 다수의 패턴 마스크(200)가 제 1 방향(X)으로 인장 결합되는 것으로 설명하고 있으나, 개구부(120)에 대응되는 면적을 가지는 단일 패턴 마스크(200)가 제 1 방향(X) 및 제 1 방향(X)과 수직한 제 2 방향(Y) 중 어느 한 방향 또는 모든 방향으로 인장될 수 있다.
마스크 프레임(100)은 개구부(120) 및 개구부(120)를 둘러싸며, 패턴 마스크(200)와 결합되는 프레임(110)을 포함하며, 마스크 프레임(100)의 프레임(110)은 패턴 마스크(200)의 종단부가 결합되어 고정될 수 있도록 압축력에 의해 변형이 작은 물질, 즉 강성이 큰 금속 재료가 사용된다.
패턴 마스크(200)는 개구부(120)에 대응되도록 하나 또는 다수의 패턴(210)이 형성된 패턴부(220) 및 제 1 방향(X)으로 인장되어 프레임(110)에 결합되는 결합부(230)를 포함하며, 패턴(210)은 하나 또는 다수의 슬릿(slit, 201)을 포함한다. 여기서, 패턴 마스크(200)는 금속 박막으로 형성된 미세 금속 마스크(Fine Metal Mask)일 수 있으며, 스테인레스 스틸(Steel Use Stainless; SUS), 인바(Invar), 니켈, 코발트 및 이들의 합금으로 이루어진 그룹에서 선택된 어느 하나로 형성될 수 있다.
지지대(300)는 마스크 프레임(100)의 개구부(120)을 가로지르도록 위치하여 패턴 마스크(200)가 변형되는 것을 방지하기 위한 것이므로, 도 1에 도시된 바와 같이, 다수의 패턴 마스크(200)가 마스크 프레임(100)과 결합되는 경우, 패턴 마스크(200)의 길이 방향인 제 1 방향(X)과 수직한 제 2 방향(Y)으로 상기 개구부(120)를 가로지르는 것이 바람직하다. 여기서, 지지대(300)와 패턴 마스크(200) 사이의 결합에 의해 패턴 마스크(200)의 패턴(210)이 차폐되는 것을 방지하기 위하여, 지지대(300)는 패턴 마스크(200)의 패턴(210) 사이에서 패턴 마스크(200)과 결합되도록 하여, 지지대(300)와 패턴 마스크(200) 사이의 결합점(P)이 패턴(210) 사이에 위치하도록 형성된다.
지지대(300)와 패턴 마스크(200)는 각각 패턴 마스크(200)의 패턴(210) 사이에 고정핀(50)이 삽입되어 고정되는 고정부(P)를 가진다. 고정부(P)의 위치는 지지대(300) 및 패턴 마스크(200) 각각에 복수개가 형성되어 있을 수 있으나, 지지대(300)와 패턴 마스크(200)의 고정부의 위치는 상호 대응되는 위치에 형성되어 있다. 여기서, 본 발명의 일실시예는 지지대(300)와 패턴 마스크(200)에 형성되어 있는 고정부(P)가 제 2 방향(Y)으로 각 패턴 마스크(200)마다 3개씩 형성되어 있는 것으로 설명하고 있으나, 3개 이하 혹은 3개 이상이 될 수 있다.
고정핀(50)은 지지대(300)와 패턴 마스크(200)의 대응되는 고정부(P)를 관통하여 지지대(300) 및 패턴 마스크(200)를 상호 고정하는 역할을 하는데, 고정핀(50)의 형태는 원통 형태일 수 있으나, 이에 한정되지 않고 삼각 기둥, 사각 기둥 등 다양한 형태를 가진 기둥 형태일 수 있으며, 고정부(P)의 형태와 대응된다.
고정핀(50)의 지지대(300) 하부 및 패턴 마스크(200) 상부에 위치하는 양 끝 단의 돌출 부위는 압력에 의해 눌려져 끝 모양이 눌려 퍼진, 단면이 "T" 형상으로 변형되어 지지대(300)와 패턴 마스크(200)가 상호 분리되지 않도록 고정되어 있다.
고정핀(50)의 양 끝 단인 상부 및 하부가 압력에 의해 눌려 퍼진 T 형상을 하고 있으나, 고정핀(50)의 눌려 퍼진 T형상의 머리 높이에 의해 패턴 마스크(200)가 기판과 접촉 시 고정핀(50)의 눌려 펴진 머리 높이만큼의 유격이 발생할 수 있어, 패턴 마스크(200)의 상부 및 지지대(300) 하부의 고정부(P) 주변은 고정핀(50)이 눌려 퍼진, 단면이 T형상인 고정핀(50)의 수용홈(도시하지 않음)이 형성되어 있을 수 있다.
또한, 공정에 따라 고정핀(50)이 눌려 퍼진 T형상의 수용홈이 형성되어 있지 않을 수 있다. 이 경우 증착 과정에 있어서, 기판과 패턴 마스크(200)의 거리를 고정핀(50)을 이용하여 조절 가능하기 때문에, 인위적으로 쉐도우 현상(shadow effect)의 정도를 조절할 수 있다.
고정핀(50)은 금속 또는 플라스틱 소재로 형성될 수 있으며, 추후 고정핀(50)이 패턴 마스크(200)와 지지대(300)로부터 분리가 필요한 공정일 경우 식각액에 의해 고정핀(50)만 선택적으로 제거될 수 있는 소재로 형성될 수 있다. 이 경우 식각액을 이용하여 고정핀(50)만을 선택적으로 식각하여 제거하고, 패턴 마스크(200) 및 지지대(300)는 재사용 가능하다.
지지대(300)는 서로 이격되어 위치하는 다수 개가 구비될 수 있으며, 단면이 원형, 다각형 또는 기타 어떠한 형상이어도 무관하다고 할 수 있으나, 패턴 마스크(200)에 압력이 가해지는 경우, 지지대(300)에 의해 패턴 마스크(200)가 손상되는 것을 방지하며, 지지대(300)와 패턴 마스크(200)의 결합성을 높이기 위하여, 패턴 마스크(200)와 일정 면적이 접촉하는 다각형으로 형성된다.
지지대(300)에 의해 마스크 프레임(100)과 패턴 마스크(200) 사이의 거리가 증가하는 경우, 마스크 프레임(100)의 프레임(110)과 패턴 마스크(200)의 결합부(230) 사이의 결합력이 저하될 수 있으므로, 마스크 프레임(100)의 프레임(110)은 지지대(300)의 종단부를 수용하기 위한 홈(311)이 형성되는 것이 바람직하며, 홈(311)의 깊이는 지지대(300)의 두께와 동일할 수 있다.
또한, 마스크 프레임(100)의 프레임(110)과 패턴 마스크(200)의 결합부(230)에도 고정부(P) 및 고정핀(50)을 배치하여 프레임(110)과 패턴 마스크(200)를 고정할 수 있다.
그러면, 도 3 및 도 4를 참고하여 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 조립체에 대해서 상세하게 설명한다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 조립체를 나타낸 사시도이다. 도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 조립체의 평면도이다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 마스크 조립체는 개구부(120)를 구비하는 마스크 프레임(100)과 마스크 프레임(100) 위에 나란한 상태로 배열되어 고정되는 패턴 마스크(200)와, 패턴 마스크(200) 사이에 위치하는 지지대(300) 및 패턴 마스크(200)와 지지대(300)를 고정시키는 고정핀(50)을 포함한다.
마스크 프레임(100)은 개구부(120)를 갖는 사각틀 형상으로 형성되며, 패턴 마스크(200)는 그 양단이 마스크 프레임(100)에 고정된다. 이 때, 패턴 마스크(200)는 제2 방향(Y축 방향)으로 인장되어 마스크 프레임(100)에 고정되므로, 마스크 프레임(100)은 이러한 패턴 마스크(200)의 결합에 따른 압력에 의해 변형을 일으키지 않도록 강성이 큰 재료로 형성된다.
마스크 프레임(100)은 제1 방향(X축 방향)과 도 1의 제2 방향(Y축 방향)을 따라 서로 마주하는 프레임(110)를 포함하며, 프레임(110) 안쪽으로 형성되어 있는 개구부(120)를 포함한다.
프레임(110)에는 제1 방향(X축 방향)을 따라 서로 이격되어 배열된 지지대 수용 홈(311)이 형성된다.
패턴 마스크(200)는 길이 방향을 따라 인장력이 가해진 상태로 프레임(110)위에 고정된다. 패턴 마스크(200)는 띠 모양을 가지고 일 방향, 일례로 제1 방향(X축 방향)을 따라 나란하게 배열된다. 패턴 마스크(200)는 프레임(110)의 위에 그 양단이 위치하도록 한 상태에서 결합되어 고정될 수 있다.
이와 같이 마스크를 분할된 패턴 마스크(200)를 이용하여 박막 증착용 마스크 조립체를 구성하는 경우, 패턴(210) 정밀도가 우수한 패턴 마스크(200)를 선별하여 사용할 수있으므로, 패턴(210)의 형상 오차를 줄일 수 있다. 그리고 개별적으로 패턴 마스크(200)의 길이 방향을 따라 균일한 인장력이 가해지므로 패턴 마스크(200)의 특정 부위에 변형량이 집중하는 것을 최소화할 수 있다.
패턴 마스크(200)에 구비된 패턴(210)은 표시 장치에 형성될 전극 또는 발광층과 같은 모양으로 형성될 수 있다.
한편, 분할된 복수의 패턴 마스크(200)를 프레임(110) 위에 정렬하는 과정에서 인접한 패턴 마스크(200) 사이에는 간극이 발생할 있는데, 이 간극이 그대로 패턴 마스크(200) 사이에 존재하면 증착 물질이 통과될 수 있다. 통과한 유기물 등의 증착 물질은 증착 공정시 이 간극을 통해 의도하지 않은 증착 결과를 초래하여 표시 장치의 불량을 야기시킬 수 있다. 일례로, 불필요하게 증착된 증착 물질은 최종 제품을 구성하는 기판 상에 형성된 전극들을 단락시키거나 최종 제품을 구성하는 기판과 봉지 기판의 접합을 방해할 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예에서는 패턴 마스크들(200) 사이의 간극을 차폐할 수 있도록 인접한 패턴 마스크(200) 사이에 지지대(300)를 배치한다.
지지대(300)는 복수개로 구비되며, 패턴 마스크(200)의 배열 방향, 즉 제1 방향(X축 방향)을 따라 서로 이격되어 패턴 마스크(200) 하부에 배열된다. 이에 의해, 지지대(300)는 복수의 패턴 마스크(200)의 하부에서 마스크 프레임(100)의 개구부(120)를 가로질러 위치하면서 개구부(120) 위에 떠 있는 패턴 마스크(200)를 지지한다.
또한, 지지대(300)는 패턴 마스크(200) 사이에 위치하되, 지지대(300)의 폭이 인접한 패턴 마스크(200)의 패턴(210) 사이의 간격보다 좁게 형성되어 증착 과정에서 패턴(210)을 가리지 않도록 한다. 이를 위해 지지대(300)의 양단은 프레임(110)에 형성된 복수의 홈(311) 내에 수용되어 고정될 수 있다.
한편, 지지대(300)는 강성이 큰 재료, 일례로 프레임(110)과 동일한 금속으로 형성될 수 있다. 프레임(110)과 지지대(300)가 같은 재료로 형성되면 같은 열팽창 특성을 보이기 때문에 열팽창 차이에 의한 변형을 방지할 수 있다.
지지대(300)와 패턴 마스크(200)는 각각 패턴 마스크(200)의 패턴(210) 사이에 고정핀(50)이 삽입되어 고정되는 고정부(P)를 가진다. 고정부(P)의 위치는 지지대(300) 및 패턴 마스크(200) 각각에 복수개가 형성되어 있을 수 있으나, 지지대(300)와 패턴 마스크(200)의 고정부의 위치는 상호 대응되는 위치에 형성되어 있다. 여기서, 본 발명의 일실시예는 지지대(300)와 패턴 마스크(200)에 형성되어 있는 고정부(P)가 제 2 방향(Y)으로 각 패턴 마스크(200)마다 3개씩 형성되어 있는 것으로 설명하고 있으나, 3개 이하 혹은 3개 이상이 될 수 있다.
고정핀(50)은 지지대(300)와 패턴 마스크(200)의 대응되는 고정부(P)를 관통하여 지지대(300) 및 패턴 마스크(200)를 상호 고정하는 역할을 하는데, 고정핀(50)의 형태는 원통 형태일 수 있으나, 이에 한정되지 않고 삼각 기둥, 사각 기둥 등 다양한 형태를 가진 기둥 형태일 수 있으며, 고정부(P)의 형태와 대응된다.
고정핀(50)의 지지대(300) 하부 및 패턴 마스크(200) 상부의 양 끝 단의 돌출 부위는 압력에 의해 눌려져 끝 모양이 눌려 퍼진, 단면이 "T" 형상으로 변형되어 지지대(300)와 패턴 마스크(200)가 상호 분리되지 않도록 고정되어 있다.
고정핀(50)의 끝 단인 상부 및 하부가 압력에 의해 눌려 퍼진 T형상을 하고 있는 경우, 고정핀(50)의 눌려 퍼진 T형상의 머리 높이에 의해 패턴 마스크(200)가 기판과 접촉 시 고정핀(50)의 눌려 펴진 머리 높이만큼의 유격이 발생할 수 있어, 패턴 마스크(200)의 상부 및 지지대(300) 하부의 고정부(P) 주변은 고정핀(50)이 눌려 퍼진, T형상인 고정핀(50)의 끝 단의 수용홈(도시하지 않음)이 형성되어 있을 수 있다.
또한, 공정에 따라 고정핀(50)이 눌려 퍼진 T형상의 고정핀(50)의 끝 단의 수용홈이 형성되어 있지 않을 수 있다. 이 경우 증착 과정에 있어서, 기판과 패턴 마스크(200)의 거리를 고정핀(50)을 이용하여 조절 가능하기 때문에, 인위적으로 쉐도우 현상(shadow effect)의 정도를 조절할 수 있다.
고정핀(50)은 금속 또는 플라스틱 소재로 형성될 수 있으며, 추후 고정핀(50)이 패턴 마스크(200)와 지지대(300)로부터 분리가 필요한 공정일 경우 식각액에 의해 고정핀(50)만 선택적으로 제거될 수 있는 소재로 형성될 수 있다. 이 경우 식각액을 이용하여 고정핀(50)만을 선택적으로 식각하여 제거하고, 패턴 마스크(200) 및 지지대(300)는 재사용 가능하다.
도 3 및 도 4에서는 일례로 사각 단면 형상을 가지는 8개의 지지대(60)가 구비되는 경우를 도시하였으나, 지지대(60)의 단면 형상과 개수는 도시한 예에 한정되지 않는다.
그러면, 도 5를 참고하여 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 마스크 조립체에 대해서 상세하게 설명한다.
도 5를 참고하면, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 마스크 조립체는 개구부(120)를 포함하는 마스크 프레임(100), 길이 방향인 제1 방향(X)으로 인장되어 마스크 프레임(100)에 결합되는 다수의 패턴 마스크(200), 개구부(120)를 가로지르는 지지대(300) 및 패턴 마스크(200)와 지지대(300)를 고정시키는 고정핀(50)을 포함한다. 여기서, 본 발명의 일실시예는 마스크 프레임(100)에 다수의 패턴 마스크(200)가 제 1 방향(X)으로 인장 결합되는 것으로 설명하고 있으나, 개구부(120)에 대응되는 면적을 가지는 단일 패턴 마스크(200)가 제 1 방향(X) 및 제 1 방향(X)과 수직한 제 2 방향(Y) 중 어느 한 방향 또는 모든 방향으로 인장될 수 있다.
마스크 프레임(100)은 개구부(120) 및 개구부(120)를 둘러싸며, 패턴 마스크(200)와 결합되는 프레임(110)을 포함하며, 마스크 프레임(100)의 프레임(110)은 패턴 마스크(200)의 종단부가 결합되어 고정될 수 있도록 압축력에 의해 변형이 작은 물질, 즉 강성이 큰 금속 재료인 것이 바람직하다.
패턴 마스크(200)는 개구부(120)에 대응되도록 하나 또는 다수의 패턴(210)이 형성된 패턴부(220) 및 제 1 방향(X)으로 인장되어 프레임(110)에 결합되는 결합부(230)를 포함하며, 패턴(210)은 하나 또는 다수의 슬릿(slit, 201)을 포함한다. 여기서, 패턴 마스크(200)는 금속 박막으로 형성된 미세 금속 마스크(Fine Metal Mask)일 수 있으며, 스테인레스 스틸(Steel Use Stainless; SUS), 인바(Invar), 니켈, 코발트 및 이들의 합금으로 이루어진 그룹에서 선택된 어느 하나로 형성될 수 있다.
지지대(300)는 마스크 프레임(100)의 개구부(120)을 가로지르도록 위치하여 패턴 마스크(200)가 변형되는 것을 방지하며 패턴 마스크들(200) 사이의 간극을 차폐할 수 있도록, 도 5에 도시된 바와 같이, 다수의 패턴 마스크(200)가 마스크 프레임(100)과 결합되는 경우, 패턴 마스크(200)의 길이 방향인 제 1 방향(X) 및 수직한 제 2 방향(Y)으로 상기 개구부(120)를 가로지르는 것이 바람직하다. 여기서, 지지대(300)와 패턴 마스크(200) 사이의 결합에 의해 패턴 마스크(200)의 패턴(210)이 차폐되는 것을 방지하기 위하여, 지지대(300)는 패턴 마스크(200)의 패턴(210) 사이에서 패턴 마스크(200)과 결합되도록 하여, 지지대(300)와 패턴 마스크(200) 사이의 결합점(P)이 패턴(210) 사이에 위치하도록 한다.
지지대(300)와 패턴 마스크(200)는 각각 패턴 마스크(200)의 패턴(210) 사이에 고정핀(50)이 삽입되어 고정되는 고정부(P)를 가진다. 고정부(P)의 위치는 지지대(300) 및 패턴 마스크(200) 각각에 복수개가 형성되어 있을 수 있으나, 고정핀(50)의 형태는 원통 형태일 수 있으나, 이에 한정되지 않고 삼각 기둥, 사각 기둥 등 다양한 형태를 가진 기둥 형태일 수 있으며, 고정부(P)의 형태와 대응된다.
지지대(300)와 패턴 마스크(200)의 고정부의 위치는 상호 대응되는 위치에 형성되어 있다. 여기서, 본 발명의 일실시예는 지지대(300)와 패턴 마스크(200)에 형성되어 있는 고정부(P)가 제1 방향으로 3개, 제2 방향(Y)으로 2개씩 형성되어 있는 것으로 설명하고 있으나, 그 이하 혹은 그 이상이 될 수 있다.
고정핀(50)은 지지대(300)와 패턴 마스크(200)의 대응되는 고정부(P)를 관통하여 지지대(300) 및 패턴 마스크(200)를 상호 고정하는 역할을 하는데, 고정핀(50)의 지지대(300) 하부 및 패턴 마스크(200) 상부의 노출 부위는 압력에 의해 눌려져 끝 모양이 눌려 퍼진 T형상으로 형성되어 지지대(300)와 패턴 마스크(200)가 상호 분리되지 않도록 고정되어 있다.
고정핀(50)의 상부 및 하부가 압력에 의해 눌려 양 끝 단이 T 형상을 하고 있으나, 고정핀(50)의 눌려 퍼진 T형상의 머리 높이에 의해 패턴 마스크(200)가 기판과 접촉 시 고정핀(50)의 눌려 펴진 T형상의 머리 높이만큼의 유격이 발생할 수 있어, 패턴 마스크(200)의 상부 및 지지대(300) 하부의 고정부(P) 주변은 고정핀(50)이 눌려 퍼진 T 형상의 수용홈(도시하지 않음)이 형성되어 있을 수 있다.
또한, 공정에 따라 고정핀(50)이 눌려 퍼진 T 형상의 끝 단의 수용홈이 형성되어 있지 않을 수 있다. 이 경우 증착 과정에 있어서, 기판과 패턴 마스크(200)의 거리를 고정핀(50)을 이용하여 조절 가능하기 때문에, 인위적으로 쉐도우 현상(shadow effect)의 정도를 조절할 수 있다.
고정핀(50)은 금속 또는 플라스틱 소재로 형성될 수 있으며, 추후 고정핀(50)이 패턴 마스크(200)와 지지대(300)로부터 분리가 필요한 공정일 경우 식각액에 의해 고정핀(50)만 선택적으로 제거될 수 있는 소재로 형성될 수 있다. 이 경우 식각액을 이용하여 고정핀(50)만을 선택적으로 식각하여 제거하고, 패턴 마스크(200) 및 지지대(300)는 재사용 가능하다.
지지대(300)는 상호 수직하도록 제1 방향(X축 방향)의 제1 지지대(301) 및 제2 방향(Y축 방향)의 제2 지지대(302)가 형성되어 있다.
지지대(300)는 서로 이격되어 위치하는 다수 개가 구비될 수 있으며, 단면이 원형, 다각형 또는 기타 어떠한 형상이어도 무관하다고 할 수 있으나, 패턴 마스크(200)에 압력이 가해지는 경우, 지지대(300)에 의해 패턴 마스크(200)가 손상되는 것을 방지하며, 지지대(300)와 패턴 마스크(200)의 결합성을 높이기 위하여, 패턴 마스크(200)와 일정 면적이 접촉하는 다각형인 것이 바람직하다.
지지대(300)에 의해 마스크 프레임(100)과 패턴 마스크(200) 사이의 거리가 증가하는 경우, 마스크 프레임(100)의 프레임(110)과 패턴 마스크(200)의 결합부(230) 사이의 결합력이 저하될 수 있으므로, 마스크 프레임(100)의 프레임(110)은 지지대(300)의 종단부를 수용하기 위한 홈(311)이 형성되어 있을 수 있으며, 홈(311)의 깊이는 지지대(300)의 두께와 동일할 수 있다.
또한, 제1 지지대(301) 및 제2 지지대(302)가 상호 교차하는 부분에서 제2 지지대(302)는 제1 지지대(301)의 수용홈(도시하지 않음)이 형성되어 있을 수 있으며, 수용홈의 깊이는 제1 지지대(301)의 두께와 동일할 수 있다.
마스크 프레임(100)의 프레임(110)과 패턴 마스크(200)의 결합부(230)에도 고정부(P) 및 고정핀(50)을 배치하여 프레임(110)과 패턴 마스크(200)를 고정할 수 있다.
도 6을 참고하여 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 마스크 조립체에 대해서 상세히 설명한다.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 마스크 조립체를 나타낸 사시도이다.
도 6을 참고하면, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 마스크 조립체는 도 5에서 설명한 마스크 조립체에 있어서, 제1 지지대(301)와 제2 지지대(302)가 결합되어 있는 형태인 제3 지지대(303)가 사용되는 것 이 외에는 도 5에서 설명한 마스크 조립체와 동일하다.
본 발명의 마스크 조립체는 패턴 마스크(200)가 복수개의 단위 마스크의 형태로 되어 있는 경우만을 설명하고 있으나, 패턴 마스크(200)가 복수개의 단위 마스크일 경우뿐만 아니라, 마스크가 하나의 몸체로 이루어진 원장 형태의 마스크로 이루어질 수도 있다.
도 7을 참고하여 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 마스크 조립체에 대해서 상세히 설명한다.
도 7에 도시한 본 발명의 또 다른 실시예는 도 1에 도시된 실시예와 비교하여 고정핀(50)을 제외하고 실질적으로 동일한 바 반복되는 설명은 생략한다.
도 7을 참고하면, 고정핀(50)은 지지대(300)의 고정부(P)와 대응되는 부위의 패턴 마스크(200)에 고정되어 있을 수 있다.
고정핀(50)이 패턴 마스크(200)에 고정되어 있을 수도 있으며, 패턴 마스크(200)와 한 몸체로 이루어져 있을 수 있다. 이 경우 고정핀(50)은 하부의 지지대(300) 부분에만 압력에 의해 눌려진 T 형상을 가지게 된다.
도 8을 참고하여 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 마스크 조립체에 대해서 상세히 설명한다.
도 8에 도시한 본 발명의 또 다른 실시예는 도 1에 도시된 실시예와 비교하여 고정핀(50)을 제외하고 실질적으로 동일한 바 반복되는 설명은 생략한다.
도 8을 참고하면, 고정핀(50)은 패턴 마스크(200)의 고정부(P)와 대응되는 부위의 지지대(300)에 고정되어 있을 수 있다.
고정핀(50)이 지지대(300)에 고정되어 있을 수도 있으며, 지지대(300)와 한 몸체로 이루어져 있을 수 있다. 이 경우 고정핀(50)은 상부의 패턴 마스크(200) 부분에만 압력에 의해 눌려진 T 형상을 가지게 된다.
그러면, 도 9를 참고하여 본 발명의 일실시예에 따른 마스크 조립체의 제조방법에 대해 상세하게 설명한다.
도 9는 본 발명의 일실시예에 따른 마스크 조립체의 제조공정을 나타낸 것이다.
도 9를 참고하면, 대응되는 복수 개의 고정부(P)를 구비한 지지대(300)와 패턴 마스크(200)를 결합하여, 복수 개의 고정부(P) 각각에 고정핀(50)을 삽입한다.
그 후, 고정핀(50) 상부와 하부에 압력을 가하여 지지대(300) 및 패턴 마스크(200) 상, 하부로 돌출되어 있는 고정핀(50)의 양 끝단이 눌려져서 패턴 마스크(200) 및 지지대(300)로 퍼질 수 있도록 한다.
고정핀(50)의 양 끝단의 눌려진 부분은 각 패턴 마스크(200) 및 지지대(300)의 고정핀 수용홈(211)에 수용되어 마스크 조립체가 완성된다.
도 10 및 도 11을 참고하여, 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 조립체의 제조공정에 대해서 상세하게 설명한다.
도 10 및 도 11을 참고하면, 대응되는 복수 개의 고정부(P)를 구비한 지지대(300)와 패턴 마스크(200)를 결합하여, 복수 개의 고정부(P) 각각에 고정핀(50)을 삽입한다.
이 때, 고정핀(50)은 도 8에 도시된 것과 같이 하단부가 넓고 상단부가 좁은 형태의 고정핀(50)일 수 있으며, 도 9에 도시된 것과 같이 하단부가 좁고 상단부가 넓은 형태의 고정핀(50)일 수 있다.
그 후, 고정핀(50) 상부와 하부에 압력을 가하여 지지대(300) 및 패턴 마스크(200) 상, 하부로 돌출되어 있는 고정핀(50)의 양 끝단이 눌려져서 패턴 마스크(200) 및 지지대(300)로 퍼질 수 있도록 한다.
고정핀(50)의 양 끝단의 눌려진 부분은 각 패턴 마스크(200) 및 지지대(300)의 고정핀 수용홈(211)에 수용되어 마스크 조립체가 완성된다.
도 12 및 도 13을 참고하여, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 마스크 조립체의 제조공정에 대해서 상세하게 설명한다.
도 12를 참고하면, 대응되는 복수 개의 고정부(P)를 구비한 지지대(300)와 고정핀(50)과 접합되어 있거나 일체로 형성되어 있는 패턴 마스크(200)를 결합하여, 지지대(300)에 형성되어 있는 복수 개의 고정부(P) 각각에 패턴 마스크(200)에 접합되어 있는 고정핀(50)을 삽입한다.
이 때, 고정핀(50)은 도 12에서는 상하단부의 넓이가 동일한 것을 도시하고 있으나, 이에 한정되지 않고 하단부가 넓고 상단부가 좁은 형태의 고정핀(50)일 수 있으며, 하단부가 좁고 상단부가 넓은 형태의 고정핀(50)일 수 있다.
또한, 지지대(300)의 고정핀(50) 수용홈(211)이 형성되어 있는 것을 도시하고 있으나, 이에 한정되지 않고 수용홈(211)이 형성되어 있지 않을 수 있다.
그 후, 패턴 마스크(200)와 지지대(300)의 고정부(P)를 통해 돌출되어 있는 지지대에 접합되어 있는 고정핀(50) 하부에 압력을 가하여 지지대(300)의 하부로 돌출되어 있는 패턴 마스크(200)에 접합되어 있는 고정핀(50)의 일 끝단이 눌려져서 지지대(200)로 퍼질 수 있도록 한다.
고정핀(50)의 일 끝단의 눌려진 부분은 지지대(300)의 고정핀 수용홈(211)에 수용되어 마스크 조립체가 완성된다.
도 13을 참고하면, 도 12와는 반대로 대응되는 복수 개의 고정부(P)를 구비한 패턴 마스크(200)와 고정핀(50)과 접합되어 있거나 일체로 형성되어 있는 지지대(300)를 결합하여, 패턴 마스크(200)에 형성되어 있는 복수 개의 고정부(P) 각각에 지지대(300)에 접합되어 있는 고정핀(50)을 삽입한다.
이 때, 고정핀(50)은 도 13에서는 상하단부의 넓이가 동일한 것을 도시하고 있으나, 이에 한정되지 않고 하단부가 넓고 상단부가 좁은 형태의 고정핀(50)일 수 있으며, 하단부가 좁고 상단부가 넓은 형태의 고정핀(50)일 수 있다.
또한, 패턴 마스크(200)의 고정핀(50) 수용홈(211)이 형성되어 있는 것을 도시하고 있으나, 이에 한정되지 않고 고정핀 수용홈(211)이 형성되어 있지 않을 수 있다.
그 후, 지지대(300)와 패턴 마스크(200)의 고정부(P)를 통해 돌출되어 있는 지지대에 접합되어 있는 고정핀(50) 상부에 압력을 가하여 패턴 마스크(200)의 상부로 돌출되어 있는 지지대(300)에 접합되어 있는 고정핀(50)의 일 끝단이 눌려져서 패턴 마스크(200)로 퍼질 수 있도록 한다.
고정핀(50)의 일 끝단의 눌려진 부분은 패턴 마스크(200)의 고정핀 수용홈(211)에 수용되어 마스크 조립체가 완성된다.
그러면, 도 14를 참고하여 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 마스크 조립체의 제조공정에 대해 상세하게 설명한다.
도 14는 본 발명의 또 다른 마스크 조립체의 제조공정을 나타낸 것이다.
도 14를 참고하면, 대응되는 복수 개의 고정부(P)를 구비한 지지대(300)와 패턴 마스크(200)를 결합하여, 복수 개의 고정부(P) 각각에 고정핀(50)을 삽입한다.
그 후, 고정핀(50) 상부와 하부에 압력을 가하여 지지대(300) 및 패턴 마스크(200) 상, 하부로 돌출되어 있는 고정핀(50)의 양 끝단이 눌려져서 패턴 마스크(200) 및 지지대(300)로 퍼질 수 있도록 한다.
고정핀(50)의 양 끝단의 눌려진 부분은 각 패턴 마스크(200) 및 지지대(300)의 표면에 퍼지면서 마스크 조립체가 완성되며, 압력의 정도에 따라서 고정핀(50)의 양 끝단의 눌려진 부분의 높이를 조절할 수 있다.
이하, 도 15를 참고하여, 본 발명의 일실시예에 따른 마스크 조립체를 이용한 평판표시장치용 증착 장치에 대해서 상세하게 설명한다.
도 15를 참고하면, 본 발명의 실시 예에 따른 마스크 프레임을 이용한 평판표시장치용 증착 장치는 챔버(400), 챔버(400)의 하측에 위치하는 증착원(410) 및 상기 증착원(410) 상에 위치하며, 기판(S)을 지지하기 위한 마스크 조립체(500)를 포함한다. 여기서, 평판표시장치용 증착 장치는 마스크 조립체(500)를 고정하기 위한 별도의 고정 부재(420)를 더 포함할 수도 있다.
도 15를 참고하여 본 발명의 실시 예에 따른 마스크 조립체를 이용한 박막 증착 과정을 설명하면, 마스크 조립체(500)를 고정 부재(420)에 고정한 후, 마스크 조립체의 패턴 마스크(200) 상에 기판(S)을 위치시킨다. 여기서, 기판(S)은 별도의 홀더(미도시)에 의해 패턴 마스크(200)와 일정 간격 이격되도록 위치시킬 수도 있다.
또한, 도 14에서 도시한 본 발명의 또 다른 실시예에 의해 제조된 고정핀(50)의 수용홈을 구비하지 않은 마스크 조립체(500)의 고정핀(50)을 이용하여 패턴 마스크(200)와 기판(S) 사이가 일정 간격 이격되도록 위치시킬 수도 있다.
다음으로, 챔버(400)의 하측에 위치하는 증착원(410)으로부터 증착 물질이 분사 또는 증발되면, 패턴 마스크(200)의 패턴(210)에 의해 기판(S) 상에 일정 패턴(pattern)을 가지도록 증착 물질이 증착된다. 여기서, 챔버(400) 내부의 온도에 의해 마스크 조립체(500)가 열팽창 되는 경우, 지지대(300)와 마스크 프레임(100) 사이의 열팽창 특성 차이에 의한 지지대(300)의 이탈 또는 변형을 방지하기 위하여, 지지대(300)는 마스크 프레임(100)과 동일한 금속으로 형성되는 것이 바람직하다.
이 때, 증착 공정 중 기판(S)의 무게에 인하여, 기판(S)의 중심부에 증착원(410) 방향으로 응력이 발생하여, 기판(S)을 지지하는 패턴 마스크(200)는 지지대(300)와 고정핀(50)에 의해 결합되어 있으므로, 응력은 패턴 마스크(200)를 지지하는 지지대(300)에 의해 분산되고, 패턴 마스크(200)는 변형되지 않는다.
또한, 패턴 마스크(200)와 지지대(300)는 각 고정부(P)에 결합되어 있는 고정핀(50)에 의해 강하게 결합되어 있어 증착 공정의 진행 시 패턴 마스크(200)와 지지대(300) 사이에 유기물이 침투되지 않아 증착 물질의 형성이 효과적으로 수행될 수 있다.
이상과 같이 본 발명의 일실시예에 따르면, 지지대와 마스크를 용접에 의해 고정하는 방법이나 어느 한 쪽에 돌기를 형성하여 지지대와 마스크를 고정하는 방법에 비해 열영향에 의한 마스크와 지지대의 변형이 없어질 수 있으며, 돌기의 높이의 조절이 가능하고, 지지대와 마스크의 고정력이 강해서 쉐도우 현상을 조절 가능한 마스크 조립체를 제공할 수 있는 장점이 있다.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.
230: 결합부 P: 고정부
210: 패턴 220: 패턴부
200: 패턴 마스크 300: 지지대
311: 지지대 수용 홈 120: 개구부
110: 프레임 100: 마스크 프레임
50: 고정핀 201: 슬릿(slit)
500: 마스크 조립체 211: 고정핀 수용 홈

Claims (20)

  1. 개구부 및 상기 개구부를 둘러싼 프레임을 포함하는 마스크 프레임,
    하나 또는 다수의 패턴이 형성되는 패턴부 및 상기 프레임과 결합되는 결합부를 포함하는 패턴 마스크,
    상기 개구부를 가로지르며, 상기 패턴 마스크와 결합되는 지지대, 및
    상기 패턴 마스크와 상기 지지대를 결합하는 고정핀을 포함하며,
    상기 패턴 마스크 및 상기 지지대 중 적어도 하나 이상은 복수개의 구멍으로 이루어진 고정부를 가지고,
    상기 고정핀은 상기 고정부에 삽입되어 적어도 한 끝 단이 T형상을 가져 상기 패턴 마스크 및 상기 지지대를 고정하는 마스크 조립체.
  2. 제1항에서,
    상기 패턴은 하나 또는 다수의 슬릿을 포함하는 마스크 조립체.
  3. 제2항에서,
    상기 패턴 마스크는 하나 또는 복수 개의 단위 패턴 마스크로 이루어진 마스크 조립체.
  4. 제1항에서,
    상기 지지대는 서로 이격되도록 복수 개가 위치하는 마스크 조립체.
  5. 제4항에서,
    상기 지지대는 상기 패턴 마스크의 길이 방향으로 위치하는 마스크 조립체.
  6. 제4항에서,
    상기 지지대는 상기 패턴 마스크의 길이 방향에 수직 방향으로 위치하는 마스크 조립체.
  7. 제4항에서,
    상기 지지대는 상기 패턴 마스크의 길이 방향 및 길이 방향에 수직 방향의 양 방향으로 위치하는 마스크 조립체.
  8. 제1항에서,
    상기 프레임은 상기 지지대의 종단부를 수용하기 위한 홈이 형성되는 마스크 조립체.
  9. 제1항에서,
    상기 패턴 마스크 및 상기 지지대 중 적어도 하나 이상은 상기 고정핀 끝 단의 T형상의 수용 홈을 가진 마스크 조립체.
  10. 제1항에서,
    상기 고정핀은 금속 또는 플라스틱 재질인 마스크 조립체.
  11. 제10항에서,
    상기 고정핀은 식각액에 의해 식각되는 재질인 마스크 조립체.
  12. 제1항에서,
    상기 고정핀은 상기 패턴 마스크 또는 상기 지지대에 접합되어 있는 마스크 조립체.
  13. 제12항에서,
    상기 고정핀은 상기 패턴 마스크 또는 상기 지지대 중 어느 하나와 일체인 마스크 조립체.
  14. 챔버,
    상기 챔버의 하측에 위치하는 증착원, 및
    상기 증착원 상에 위치하며, 기판을 지지하기 위한 마스크 조립체를 포함하며,
    상기 마스크 조립체는 개구부 및 상기 개구부를 둘러싼 프레임을 포함하는 마스크 프레임, 하나 또는 다수의 패턴이 형성되는 패턴부 및 상기 프레임과 결합되는 결합부를 포함하는 패턴 마스크, 상기 개구부를 가로지르며, 상기 패턴 마스크와 결합되는 지지대, 및 상기 패턴 마스크와 상기 지지대를 결합하는 고정핀을 포함하며,
    상기 패턴 마스크 및 상기 지지대 중 적어도 하나 이상은 복수개의 구멍으로 이루어진 고정부를 가지고,
    상기 고정핀은 상기 고정부에 삽입되어 적어도 한 끝 단이 T형상을 가져 상기 패턴 마스크 및 상기 지지대를 고정하는 평판표시장치용 증착 장치.
  15. 제14항에서,
    상기 패턴 마스크는 하나 또는 복수 개의 단위 패턴 마스크로 이루어진 평판표시장치용 증착 장치.
  16. 제14항에서,
    상기 지지대는 서로 이격되도록 복수 개가 위치하는 평판표시장치용 증착 장치.
  17. 제14항에서,
    상기 패턴 마스크 및 상기 지지대 중 적어도 하나 이상은 상기 고정핀 끝 단의 T형상의 수용 홈을 가진 평판표시장치용 증착 장치.
  18. 제14항에서,
    상기 고정핀은 금속 또는 플라스틱 재질인 평판표시장치용 증착 장치.
  19. 제18항에서,
    상기 고정핀은 식각액에 의해 식각되는 재질인 평판표시장치용 증착 장치.
  20. 제14항에서,
    상기 고정핀은 상기 패턴 마스크 또는 상기 지지대에 접합되어 있거나 일체로 형성되어 있는 평판표시장치용 증착 장치.
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