KR20110104793A - 마스크 및 이를 포함하는 마스크 조립체 - Google Patents

마스크 및 이를 포함하는 마스크 조립체 Download PDF

Info

Publication number
KR20110104793A
KR20110104793A KR1020100023898A KR20100023898A KR20110104793A KR 20110104793 A KR20110104793 A KR 20110104793A KR 1020100023898 A KR1020100023898 A KR 1020100023898A KR 20100023898 A KR20100023898 A KR 20100023898A KR 20110104793 A KR20110104793 A KR 20110104793A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
unit mask
pattern
groove
mask
pattern opening
Prior art date
Application number
KR1020100023898A
Other languages
English (en)
Other versions
KR101182239B1 (ko
Inventor
홍재민
김경한
Original Assignee
삼성모바일디스플레이주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성모바일디스플레이주식회사 filed Critical 삼성모바일디스플레이주식회사
Priority to KR1020100023898A priority Critical patent/KR101182239B1/ko
Priority to US13/039,035 priority patent/US8656859B2/en
Priority to JP2011051096A priority patent/JP5427813B2/ja
Priority to TW100108610A priority patent/TWI512123B/zh
Priority to CN201110069548.8A priority patent/CN102201550B/zh
Publication of KR20110104793A publication Critical patent/KR20110104793A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101182239B1 publication Critical patent/KR101182239B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/10—Deposition of organic active material
    • H10K71/16—Deposition of organic active material using physical vapour deposition [PVD], e.g. vacuum deposition or sputtering
    • H10K71/166—Deposition of organic active material using physical vapour deposition [PVD], e.g. vacuum deposition or sputtering using selective deposition, e.g. using a mask
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K50/00—Organic light-emitting devices

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

마스크 조립체는 개구부를 포함하는 프레임 및 개구부 상에 위치하며, 일 방향으로 인장력이 가해진 상태로 양 단부가 프레임에 지지되는 하나 이상의 단위 마스크를 포함하며, 단위 마스크는 일 방향으로 배치된 복수개의 패턴 개구부 및 패턴 개구부와 이웃하여 패턴 개구부와 단위 마스크의 테두리 사이에 위치하며, 단위 마스크의 표면으로부터 함몰 형성된 제1 그루브를 포함한다.

Description

마스크 및 이를 포함하는 마스크 조립체{MASK AND MASK ASSEMBLY HAVING THE SAME}
본 발명은 마스크에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 복수개의 단위 마스크를 지지하는 프레임을 포함하는 마스크 조립체에 관한 것이다.
일반적으로, 평판 표시 장치의 대표적인 예로서, 유기 발광 표시 장치(organic light emitting display), 액정 표시 장치(liquid crystal display) 및 플라즈마 디스플레이 패널(plasma display panel) 등이 있다.
이 중, 유기 발광 표시 장치를 제조하기 위해서는 특정 패턴을 가지는 전극과 유기 발광층 등을 형성해야 하며, 이의 형성법으로 마스크 조립체를 이용한 증착법이 적용될 수 있다.
보다 상세하게, 유기 발광 표시 장치는 기판에 화상 표현의 기본 단위인 화소(pixel)가 매트릭스 형태로 배열되고, 각각의 화소마다 적색(Red), 녹색(Green), 청색(Blue) 등의 빛을 발광하는 각각의 유기 발광층을 사이에 두고 양극의 제1 전극과 음극의 제2 전극이 순차적으로 형성된 유기 발광 소자가 배치되는 구성을 갖는다. 여기서, 유기 발광층을 이루는 유기 물질은 수분 및 산소 등에 매우 취약하여 유기 발광층을 형성하는 공정 및 유기 발광층을 형성한 후에도 수분으로부터 철저히 격리시켜야 하므로 통상의 포토리소그래피 공정을 이용하여 패터닝을 수행하기가 어렵다. 따라서, 유기 발광층 및 제2 전극 등은 주로 각 패턴에 대응되는 부분으로만 증착 물질이 관통하기 위한 패턴 개구부가 형성되어 있는 마스크를 이용하여 형성한다.
최근, 개구부를 구비하는 프레임, 개구부에 대응하여 양 단부가 프레임에 고정되는 밴드 모양의 복수개의 단위 마스크를 포함하는 마스크 조립체가 사용되고 있었다.
이러한 종래의 마스크 조립체는 단위 마스크에 인장력이 가해져 프레임에 지지되기 때문에, 단위 마스크에 가해지는 인장력에 의해 단위 마스크에 형성된 패턴 개구부의 형태가 변형되는 문제점이 있었다.
본 발명의 일 실시예는 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 단위 마스크에 가해지는 인장력에 의해 단위 마스크에 형성된 패턴 개구부의 형태가 변형되는 것이 억제된 마스크 및 이를 포함하는 마스크 조립체를 제공하고자 한다.
상술한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 제1 측면은 개구부를 포함하는 프레임 및 개구부 상에 위치하며, 일 방향으로 인장력이 가해진 상태로 양 단부가 프레임에 지지되는 하나 이상의 단위 마스크를 포함하며, 단위 마스크는 일 방향으로 배치된 복수개의 패턴 개구부 및 패턴 개구부와 이웃하여 패턴 개구부와 단위 마스크의 테두리 사이에 위치하며, 단위 마스크의 표면으로부터 함몰 형성된 제1 그루브를 포함하는 마스크 조립체를 제공한다.
제1 그루브는 제1 그루브와 이웃하는 패턴 개구부에 인가되는 인장력의 세기에 따라 단위 마스크의 표면 상에서 변형된 폭을 가질 수 있다.
제1 그루브는 단위 마스크의 표면 상에서 반원 형상일 수 있다.
단위 마스크는 패턴 개구부와 이웃하고, 이웃하는 패턴 개구부 사이에 위치하며, 단위 마스크의 표면으로부터 함몰 형성된 제2 그루브를 더 포함할 수 있다.
제2 그루브는 제2 그루브와 이웃하는 패턴 개구부에 인가되는 인장력의 세기에 따라 단위 마스크의 표면 상에서 변형된 폭을 가질 수 있다.
제2 그루브는 단위 마스크의 표면 상에서 반원 또는 뿔 형상일 수 있다.
제1 그루브는 복수개이며, 단위 마스크는 이웃하는 제1 그루브 사이에 위치하며, 단위마스크의 표면으로부터 함몰 형성된 제3 그루브를 더 포함할 수 있다.
제3 그루브는 다각형 형상일 수 있다.
단위 마스크는 일 방향으로 배치된 복수개의 패턴 개구부 중 최외측에 위치하는 패턴 개구부와 단위 마스크의 단부 사이에 위치하는 더미 패턴을 더 포함할 수 있다.
더미 패턴은 더미 패턴과 이웃하는 패턴 개구부에 인가되는 인장력의 세기에 따라 단위 마스크의 표면 상에서 변형된 폭을 가질 수 있다.
더미 패턴은 단위 마스크를 관통할 수 있다.
더미 패턴은 단위 마스크의 표면으로부터 함몰 형성될 수 있다.
더미 패턴은 프레임과 대응할 수 있다.
패턴 개구부의 형태는 스트라이프(stripe) 또는 도트(dot) 타입일 수 있다.
또한, 본 발명의 제2 측면은 일 방향으로 인장력이 가해진 상태로 양 단부가 프레임에 지지되는 단위 마스크에 있어서, 일 방향을 따라 연장된 밴드 형태의 단위 마스크 본체부, 일 방향으로 배치된 복수개의 패턴 개구부 및 패턴 개구부와 이웃하여 패턴 개구부와 단위 마스크 본체부의 테두리 사이에 위치하며, 단위 마스크 본체부의 표면으로부터 함몰 형성된 제1 그루브를 포함하는 단위 마스크를 제공한다.
제1 그루브는 제1 그루브와 이웃하는 패턴 개구부에 인가되는 인장력의 세기에 따라 단위 마스크 본체부의 표면 상에서 변형된 폭을 가질 수 있다.
패턴 개구부와 이웃하고, 이웃하는 패턴 개구부 사이에 위치하며, 단위 마스크 본체부의 표면으로부터 함몰 형성된 제2 그루브를 더 포함할 수 있다.
제2 그루브는 제2 그루브와 이웃하는 패턴 개구부에 인가되는 인장력의 세기에 따라 단위 마스크 본체부의 표면 상에서 변형된 폭을 가질 수 있다.
제1 그루브는 복수개이며, 이웃하는 제1 그루브 사이에 위치하며, 단위 마스크 본체부의 표면으로부터 함몰 형성된 제3 그루브를 더 포함할 수 있다.
일 방향으로 배치된 복수개의 패턴 개구부 중 최외측에 위치하는 패턴 개구부와 단위 마스크 본체부의 단부 사이에 위치하는 더미 패턴을 더 포함할 수 있다.
더미 패턴은 더미 패턴과 이웃하는 패턴 개구부에 인가되는 인장력의 세기에 따라 단위 마스크 본체부의 표면 상에서 변형된 폭을 가질 수 있다.
패턴 개구부의 형태는 스트라이프(stripe) 또는 도트(dot) 타입일 수 있다.
상술한 본 발명의 과제 해결 수단의 일부 실시예 중 하나에 의하면, 단위 마스크에 가해지는 인장력에 의해 단위 마스크에 형성된 패턴 개구부의 형태가 변형되는 것이 억제된 마스크 및 이를 포함하는 마스크 조립체가 제공된다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크 조립체를 나타낸 분해 사시도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크 조립체를 나타낸 평면도이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크 조립체에 포함된 단위 마스크를 나타낸 평면도이다.
도 4는 도 3의 Ⅳ-Ⅳ를 따른 단면도이다.
도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 프로브 조립체에 포함된 단위 마스크를 나타낸 평면도이다.
도 6은 본 발명의 제3 실시예에 따른 프로브 조립체에 포함된 단위 마스크를 나타낸 평면도이다.
도 7 내지 도 9는 본 발명의 각 실시예에 따른 각 마스크 조립체에 포함된 각 단위 마스크의 패턴 개구부에 인가되는 인장력이 분산되어 패턴 개구부의 변형이 억제되는 것을 확인한 실험을 설명하기 위한 도면이다.
도 10은 본 발명의 제4 실시예에 따른 프로브 조립체에 포함된 단위 마스크를 나타낸 평면도이다.
도 11은 본 발명의 제5 실시예에 따른 프로브 조립체에 포함된 단위 마스크를 나타낸 평면도이다.
도 12는 도 11의 ⅩⅡ-ⅩⅡ를 따른 단면도이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 여러 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예들에 한정되지 않는다.
또한, 여러 실시예들에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적으로 제1 실시예에서 설명하고, 그 외의 실시예에서는 제1 실시예와 다른 구성에 대해서만 설명하기로 한다.
본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다.
또한, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 그리고 도면에서, 설명의 편의를 위해, 일부 층 및 영역의 두께를 과장되게 나타내었다. 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 “위에” 또는 “상에” 있다고 할 때, 이는 다른 부분 “바로 위에” 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 어떤 부분이 다른 부분 “바로 위에” 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 없는 것을 뜻한다.
이하, 도 1 내지 도 4를 참조하여 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크 조립체에 대하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크 조립체를 나타낸 분해 사시도이다. 도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크 조립체를 나타낸 평면도이다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크 조립체는 프레임(100) 및 복수개의 단위 마스크(200)를 포함한다.
프레임(100)은 복수개의 단위 마스크(200) 각각의 양단을 고정 및 지지하고, 단위 마스크(200)를 노출시키는 개구부(110)를 포함한다. 프레임(100)은 개구부(110)를 사이에 두고 후술할 지지 스틱(300)의 연장 방향인 제1 방향(x)을 따라 서로 마주하는 한 쌍의 제1 지지부(120) 및 개구부(110)를 사이에 두고 제1 방향(x)과 교차하는 제2 방향(y)을 따라 서로 마주하는 한 쌍의 제2 지지부(130)를 더 포함한다. 제2 지지부(130)에는 용접 등의 고정 방법을 이용해 단위 마스크(200)가 제2 방향(y)으로 인장력이 가해진 상태로 단위 마스크(200)의 양 단부(200a)가 지지된다.
본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크 조립체의 프레임(100)에서 제1 지지부(120)가 사각형 형상을 가진 프레임(100)의 장변을 구성하고, 제2 지지부(130)가 프레임(100)의 단변을 구성하나, 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 조립체의 프레임에서 제1 지지부 및 제2 지지부(130)는 실질적으로 동일한 길이로 형성될 수 있다. 또한, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 마스크 조립체의 프레임은 다각형 또는 원형의 형상으로 구성될 수 있다.
프레임(100)에 고정되는 단위 마스크(200)는 인장력이 인가된 상태로 단위 마스크(200)에 지지되는데, 프레임(100)은 단위 마스크(200)에 인가된 인장력에 의해 단위 마스크(200)의 연장 방향인 제2 방향(y)을 따라 압축력이 작용하기 때문에, 단위 마스크(200)의 압축력에 의한 변형이 일어나지 않도록 강성이 큰 스테인리스강(stainless steel) 등과 같은 금속 재료로 형성된다.
단위 마스크(200)는 제2 방향(y)으로 연장된 밴드 형태이며, 제2 방향(y)으로 인장력이 가해진 상태로 양 단부(200a)가 프레임(100)에 지지된다. 단위 마스크(200)는 복수개이며, 복수개의 단위 마스크(200)가 제1 방향(x)을 따라 프레임(100)에 배치되어 지지된다.
이하, 도 2 내지 도 4를 참조하여 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크 조립체에 포함된 단위 마스크를 자세히 설명한다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크 조립체에 포함된 단위 마스크를 나타낸 평면도이다. 도 4는 도 3의 Ⅳ-Ⅳ를 따른 단면도이다.
도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 단위 마스크(200)는 단위 마스크 본체부(210), 패턴 개구부(220), 제1 그루브(230), 제2 그루브(240), 제3 그루브(250) 및 더미 패턴(260)을 포함한다.
단위 마스크 본체부(210)는 제2 방향(y)을 따라 연장된 밴드 형태이며, 프레임(100)의 개구부(110) 상에 위치하여, 프레임(100)에 지지되어 있다. 단위 마스크 본체부(210)에는 제2 방향(y)을 따라 복수개의 패턴 개구부(220)가 형성되어 있다.
패턴 개구부(220)는 하나의 단위 마스크(200)에 제2 방향(y)으로 복수개가 배치되어 있다. 패턴 개구부(220)는 하나의 유기 발광 표시 장치에 대응될 수 있으며, 이 경우 단위 마스크(200)를 통해 단일 공정으로 여러 개의 유기 발광 표시 장치를 구성하는 패턴들을 유기 발광 표시 장치가 제조될 마더 기판에 동시에 형성할 수 있다. 즉, 패턴 개구부(220)는 유기 발광 표시 장치를 구성하는 패턴들의 증착 영역에 대응하여 단위 마스크(200)에 배치된다. 패턴 개구부(220)는 유기 발광 표시 장치를 구성하는 패턴들이 패턴 개구부(220)를 통하여 마더 기판에 형성될 수 있도록 단위 마스크(200)를 관통하는 오픈 패턴 형태를 가진다. 패턴 개구부(220)의 형태는 스트라이프(stripe) 타입을 가지고 있으며, 패턴 개구부(220)와 이웃하여 제1 그루브(230)가 위치하고 있다.
제1 그루브(230)는 패턴 개구부(220)와 단위 마스크(200)의 테두리(200b) 사이에 위치하며, 단위 마스크(200)의 표면(200c)으로부터 함몰 형성되어 있다. 제1 그루브(230)는 제2 방향(y)을 따라 배치된 복수개의 패턴 개구부(220) 각각에 대응하여 제2 방향(y)을 따라 복수개가 배치되어 있으며, 제2 방향(y)의 최외측에 위치하는 패턴 개구부(220)와 단위 마스크(200)의 테두리(200b) 사이에서 최외측에 위치하는 패턴 개구부(220)와 이웃하여 배치되어 있다. 제1 그루브(230)는 단위 마스크(200)의 표면(200c) 상에서 반원 형상을 가지고 있다. 제1 그루브(230)는 반원 형상을 가짐으로써, 단위 마스크(200)의 표면(200c) 상에서 변형되는 폭(W)을 가진다. 제1 그루브(230)가 가지는 변형된 폭(W)은 단위 마스크(200)에 인가되는 인장력에 의해 제1 그루브(230)와 이웃하는 패턴 개구부(220)에 인가되는 인장력의 세기에 따라 변형되어 있는데, 도 3에 도시된 바와 같이, 단위 마스크(200)의 표면(200c) 상에서 패턴 개구부(220)가 사각형의 형상을 가질 경우, 패턴 개구부(220)의 일변(221)에 대응하는 제1 그루브(230)의 폭(W)은 패턴 개구부(220)의 일변(221)의 중앙 부분에 대응하는 부분으로부터 패턴 개구부(220)의 일변(221)의 외곽 부분에 대응하는 부분까지 순차적으로 좁아지게 된다. 즉, 단위 마스크(200)에 인가된 인장력에 의해 패턴 개구부(220)의 일변(221)의 전체 부분 중 다른 부분에 비해 인장력이 더 세게 인가되는 일 부분에 대응하는 제1 그루브(230)의 폭(W)은 상기 패턴 개구부(220)의 다른 부분에 대응하는 제1 그루브(230)의 폭(W)보다 넓게 형성된다. 이와 같이, 제1 그루브(230)가 패턴 개구부(220)에 인가되는 인장력의 세기에 따라 단위 마스크(200)의 표면(200c) 상에서 변형된 폭(W)을 가짐으로써, 패턴 개구부(220)에 인가되는 인장력이 분산된다. 나아가, 제1 그루브(230)에 의해 패턴 개구부(220)에 인가되는 인장력이 분산됨으로써, 단위 마스크(200)에 인가되는 인장력에 의해 패턴 개구부(220)가 변형되는 것이 억제된다.
이상과 같은 변형된 폭(W)을 가지는 제1 그루브(230)에 의해 패턴 개구부(220)에 인가되는 인장력이 분산되어 패턴 개구부(220)의 변형이 억제되는 것을 실험을 통해 확인하였으며, 이 실험에 대해서는 후술한다.
본 발명의 제1 실시예에 따른 프로브 조립체에 포함된 단위 마스크(200)의 제1 그루브(230)는 패턴 개구부(220)이 일변(221)의 전체 부분 중 다른 부분에 비해 인장력이 더 세게 인가되는 일 부분에 대응하는 폭(W)이 일변(221)의 다른 부분에 대응하는 폭(W)보다 넓게 형성되나, 본 발명의 다른 실시예에 따른 프로브 조립체에 포함된 단위 마스크의 제1 그루브는 패턴 개구부(220)이 일변(221)의 전체 부분 중 다른 부분에 비해 인장력이 더 세게 인가되는 일 부분에 대응하는 폭(W)이 일변(221)의 다른 부분에 대응하는 폭(W)보다 좁게 형성될 수 있다.
제2 그루브(240)는 제2 방향(y)을 따라 배치된 복수개의 패턴 개구부(220) 중 이웃하는 패턴 개구부(220) 사이에서 패턴 개구부(220)와 이웃하여 위치하며, 단위 마스크(200)의 표면(200c)으로부터 함몰 형성되어 있다. 제2 그루브(240)는 단위 마스크(200)의 표면(200c) 상에서 반원 형상을 가지고 있다. 제2 그루브(240)는 반원 형상을 가짐으로써, 단위 마스크(200)의 표면(200c) 상에서 변형되는 폭(W)을 가진다. 제2 그루브(240)가 가지는 변형된 폭(W)은 단위 마스크(200)에 인가되는 인장력에 의해 제2 그루브(240)와 이웃하는 패턴 개구부(220)에 인가되는 인장력의 세기에 따라 변형되어 있는데, 도 3에 도시된 바와 같이, 단위 마스크(200)의 표면(200c) 상에서 패턴 개구부(220)가 사각형의 형상을 가질 경우, 패턴 개구부(220)의 일변(221)에 대응하는 제2 그루브(240)의 폭(W)은 패턴 개구부(220)의 일변(221)의 중앙 부분에 대응하는 부분으로부터 패턴 개구부(220)의 일변(221)의 외곽 부분에 대응하는 부분까지 순차적으로 좁아지게 된다. 즉, 단위 마스크(200)에 인가된 인장력에 의해 패턴 개구부(220)의 일변(221)의 전체 부분 중 다른 부분에 비해 인장력이 더 세게 인가되는 일 부분에 대응하는 제2 그루브(240)의 폭(W)은 상기 패턴 개구부(220)의 다른 부분에 대응하는 제2 그루브(240)의 폭(W)보다 넓게 형성된다. 이와 같이, 제2 그루브(240)가 패턴 개구부(220)에 인가되는 인장력의 세기에 따라 단위 마스크(200)의 표면(200c) 상에서 변형된 폭(W)을 가짐으로써, 패턴 개구부(220)에 인가되는 인장력이 분산된다. 나아가, 제2 그루브(240)에 의해 패턴 개구부(220)에 인가되는 인장력이 분산됨으로써, 단위 마스크(200)에 인가되는 인장력에 의해 패턴 개구부(220)가 변형되는 것이 억제된다.
이상과 같은 변형된 폭(W)을 가지는 제2 그루브(240)에 의해 패턴 개구부(220)에 인가되는 인장력이 분산되어 패턴 개구부(220)의 변형이 억제되는 것을 실험을 통해 확인하였으며, 이 실험에 대해서는 후술한다.
본 발명의 제1 실시예에 따른 프로브 조립체에 포함된 단위 마스크(200)의 제2 그루브(240)는 패턴 개구부(220)이 일변(221)의 전체 부분 중 다른 부분에 비해 인장력이 더 세게 인가되는 일 부분에 대응하는 폭(W)이 일변(221)의 다른 부분에 대응하는 폭(W)보다 넓게 형성되나, 본 발명의 다른 실시예에 따른 프로브 조립체에 포함된 단위 마스크(200)의 제2 그루브(240)는 패턴 개구부(220)이 일변(221)의 전체 부분 중 다른 부분에 비해 인장력이 더 세게 인가되는 일 부분에 대응하는 폭(W)이 일변(221)의 다른 부분에 대응하는 폭(W)보다 좁게 형성될 수 있다.
또한, 본 발명의 제1 실시예에 따른 제2 그루브(240)는 이웃하는 패턴 개구부(220) 사이에서 2개가 위치하나, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 프로브 조립체에 포함된 단위 마스크(200)의 제2 그루브(240)는 이웃하는 패턴 개구부(220) 사이에서 1개 또는 3개 이상이 위치할 수 있다.
제3 그루브(250)는 제2 방향(y)을 따라 배치된 복수개의 패턴 개구부(220) 각각에 대응하여 제2 방향(y)을 따라 복수개가 배치된 제1 그루브(230) 사이에 위치하며, 단위 마스크(200)의 표면(200c)으로부터 함몰 형성되어 있다. 제3 그루브(250)는 단위 마스크(200)의 표면(200c) 상에서 다각형 형상인 사각형 형상을 가지고 있다. 제3 그루브(250)는 패턴 개구부(220)에 인가되는 인장력을 분산시키며, 제3 그루브(250)에 의해 패턴 개구부(220)에 인가되는 인장력이 분산됨으로써, 단위 마스크(200)에 인가되는 인장력에 의해 패턴 개구부(220)가 변형되는 것이 억제된다.
이상과 같은 변형된 폭(W)을 가지는 제3 그루브(250)에 의해 패턴 개구부(220)에 인가되는 인장력이 분산되어 패턴 개구부(220)의 변형이 억제되는 것을 실험을 통해 확인하였으며, 이 실험에 대해서는 후술한다.
본 발명의 제1 실시예에 따른 프로브 조립체에 포함된 단위 마스크(200)의 제3 그루브(250)는 단위 마스크(200)의 표면 상에서 사각형 형상을 가지나, 본 발명의 다른 실시예에 따른 프로브 조립체에 포함된 단위 마스크(200)의 제3 그루브(250)는 삼각형, 원형 또는 오각형 등의 다각형 형상을 가질 수 있다.
또한, 본 발명의 제1 실시예에 따른 제3 그루브(250)는 이웃하는 제1 그루브(230) 사이에서 1개가 위치하나, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 프로브 조립체에 포함된 단위 마스크(200)의 제3 그루브(250)는 이웃하는 제1 그루브(230) 사이에서 복수개가 위치할 수 있다.
더미 패턴(260)은 제2 방향(y)으로 배치된 복수개의 패턴 개구부(220) 중 최외측에 위치하는 패턴 개구부(220)와 단위 마스크(200)의 단부(200a) 사이에 위치하며, 단위 마스크(200)에 인가되는 인장력에 의해 패턴 개구부(220)에 인가되는 인장력을 분산시키는 역할을 한다. 더미 패턴(260)은 패턴 개구부(220)에 인가되는 인장력을 분산시킴으로써, 단위 마스크(200)에 인가되는 인장력에 의해 패턴 개구부(220)가 변형되는 것이 억제한다. 더미 패턴(260)은 프레임(100)과 대응하며, 프레임(100) 상에 위치한다. 이와 같이, 더미 패턴(260)이 프레임(100) 상에 위치함으로써, 프로브 조립체를 이용한 증착 공정에서 증착 수단이 더미 패턴(260)을 통해 마더 기판에 증착되는 것이 방지된다. 더미 패턴(260)은 패턴 개구부(220)와 같이 스트라이프(stripe) 타입의 형태를 가진다.
이상과 같은 더미 패턴(260)에 의해 패턴 개구부(220)에 인가되는 인장력이 분산되어 패턴 개구부(220)가 변형되어 패턴 개구부(220)의 변형이 억제되는 것을 실험을 통해 확인하였으며, 이 실험에 대해서는 후술한다.
이와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크 조립체에 포함된 단위 마스크(200)는 패턴 개구부(220)에 인가되는 인장력을 분산시키는 제1 그루브(230), 제2 그루브(240), 제3 그루브(250) 및 더미 패턴(260)을 포함함으로써, 단위 마스크(200)에 의해 인가되는 인장력에 의해 패턴 개구부(220)가 변형되는 것이 억제된다.
이하, 도 5를 참조하여 본 발명의 제2 실시예에 따른 프로브 조립체에 포함된 단위 마스크를 설명한다.
도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 프로브 조립체에 포함된 단위 마스크를 나타낸 평면도이다.
도 5에 도시된 바와 같이, 단위 마스크(202)는 단위 마스크 본체부(210), 패턴 개구부(220), 제1 그루브(230), 제2 그루브(240), 제3 그루브(250) 및 더미 패턴(260)을 포함한다.
제2 그루브(240)는 제2 방향(y)을 따라 배치된 복수개의 패턴 개구부(220) 중 이웃하는 패턴 개구부(220) 사이에서 패턴 개구부(220)와 이웃하여 위치하며, 단위 마스크(202)의 표면(200c)으로부터 함몰 형성되어 있다. 제2 그루브(240)는 단위 마스크(202)의 표면(200c) 상에서 뿔 형상을 가지고 있다. 제2 그루브(240)는 뿔 형상을 가짐으로써, 단위 마스크(202)의 표면(200c) 상에서 변형되는 폭(W)을 가진다. 제2 그루브(240)가 가지는 변형된 폭(W)은 단위 마스크(202)에 인가되는 인장력에 의해 제2 그루브(240)와 이웃하는 패턴 개구부(220)에 인가되는 인장력의 세기에 따라 변형되어 있는데, 도 5에 도시된 바와 같이, 단위 마스크(202)의 표면(200c) 상에서 패턴 개구부(220)가 사각형의 형상을 가질 경우, 패턴 개구부(220)의 일변(221)에 대응하는 제2 그루브(240)의 폭(W)은 패턴 개구부(220)의 일변(221)의 중앙 부분에 대응하는 부분으로부터 패턴 개구부(220)의 일변(221)의 외곽 부분에 대응하는 부분까지 순차적으로 넓어지게 된다. 즉, 단위 마스크(202)에 인가된 인장력에 의해 패턴 개구부(220)의 일변(221)의 전체 부분 중 다른 부분에 비해 인장력이 더 세게 인가되는 일 부분에 대응하는 제2 그루브(240)의 폭(W)은 상기 패턴 개구부(220)의 다른 부분에 대응하는 제2 그루브(240)의 폭(W)보다 좁게 형성된다. 이와 같이, 제2 그루브(240)가 패턴 개구부(220)에 인가되는 인장력의 세기에 따라 단위 마스크(202)의 표면(200c) 상에서 변형된 폭(W)을 가짐으로써, 패턴 개구부(220)에 인가되는 인장력이 분산된다. 나아가, 제2 그루브(240)에 의해 패턴 개구부(220)에 인가되는 인장력이 분산됨으로써, 단위 마스크(202)에 인가되는 인장력에 의해 패턴 개구부(220)가 변형되는 것이 억제된다. 본 발명의 제2 실시예에 따른 마스크 조립체에 포함된 단위 마스크(202)의 패턴 개구부(220) 및 더미 패턴(260)의 형태는 도트(dot) 타입을 가진다.
본 발명의 제1 실시예 및 제2 실시예에 따른 마스크 조립체에 포함된 단위 마스크 및 더미 패턴은 스트라이프(stripe) 또는 도트(dot) 타입의 형태를 가지나, 이에 한정되지 않고 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 조립체에 포함된 단위 마스크 및 더미 패턴은 다양한 타입의 형태를 가질 수 있다.
이상과 같은, 제1 그루브(230), 제3 그루브(250), 더미 패턴(260) 및 변형된 폭(W)을 가지는 제2 그루브(240)에 의해 패턴 개구부(220)에 인가되는 인장력이 분산되어 패턴 개구부(220)의 변형이 억제되는 것을 실험을 통해 확인하였으며, 이 실험에 대해서는 후술한다.
이와 같이, 본 발명의 제2 실시예에 따른 마스크 조립체에 포함된 단위 마스크(202)는 패턴 개구부(220)에 인가되는 인장력을 분산시키는 제1 그루브(230), 제2 그루브(240), 제3 그루브(250) 및 더미 패턴(260)을 포함함으로써, 단위 마스크(202)에 의해 인가되는 인장력에 의해 패턴 개구부(220)가 변형되는 것이 억제된다.
이하, 도 6을 참조하여 본 발명의 제3 실시예에 따른 프로브 조립체에 포함된 단위 마스크를 설명한다.
도 6은 본 발명의 제3 실시예에 따른 프로브 조립체에 포함된 단위 마스크를 나타낸 평면도이다.
도 6에 도시된 바와 같이, 단위 마스크(203)는 단위 마스크 본체부(210), 패턴 개구부(220), 제1 그루브(230) 및 더미 패턴(260)을 포함한다.
즉, 본 발명의 제3 실시예에 따른 마스크 조립체에 포함된 단위 마스크(203)는 상술한 제1 실시예에 따른 마스크 조립체에 포함된 단위 마스크(200) 및 상술한 제2 실시예에 따른 마스크 조립체에 포함된 단위 마스크(202)에 포함된 제1 그루브(230), 제2 그루브(240) 및 제3 그루브(250) 중 제1 그루브(230)만을 포함한다.
이상과 같은, 제1 그루브(230) 및 더미 패턴(260)에 의해 패턴 개구부(220)에 인가되는 인장력이 분산되어 패턴 개구부(220)의 변형이 억제되는 것을 실험을 통해 확인하였으며, 이 실험에 대해서는 후술한다.
이와 같이, 본 발명의 제3 실시예에 따른 마스크 조립체에 포함된 단위 마스크(203)는 패턴 개구부(220)에 인가되는 인장력을 분산시키는 제1 그루브(230) 및 더미 패턴(260)을 포함함으로써, 단위 마스크(203)에 의해 인가되는 인장력에 의해 패턴 개구부(220)가 변형되는 것이 억제된다.
이하, 도 7 내지 도 9를 참조하여 상술한 본 발명의 제1 실시예, 제2 실시예 및 제3 실시예 각각을 따른 마스크 조립체 각각에 포함된 단위 마스크(200, 202 및 203) 각각의 패턴 개구부(220)에 인가되는 인장력이 분산되어 패턴 개구부(220)의 변형이 억제되는 것을 확인한 실험에 대해 설명한다.
도 7 내지 도 9는 본 발명의 각 실시예에 따른 각 마스크 조립체에 포함된 각 단위 마스크의 패턴 개구부에 인가되는 인장력이 분산되어 패턴 개구부의 변형이 억제되는 것을 확인한 실험을 설명하기 위한 도면이다.
우선, 도 7의 (a)는 상술한 본 발명의 본 발명의 제1 실시예, 제2 실시예 및 제3 실시예 각각을 따른 마스크 조립체 각각에 포함된 단위 마스크(200, 202 및 203) 및 비교예 1 내지 비교예 9 각각을 따른 단위 마스크(11 내지 19)를 나타낸 평면도이다. 도 7의 (b)는 도 7의 (a)에 도시된 각각의 단위 마스크를 동일한 인장력이 인가된 상태로 동일한 프레임에 지지하였을 때, 각각의 단위 마스크에 포함된 패턴 개구부의 변형값을 측정한 그래프이다. 도 7의 (b)에 도시된 그래프에서 x축은 측정된 패턴 개구부의 변형값을 도시한 그래프의 고저차 값을 나타내며, y축은 패턴 개구부의 변형값을 나타낸다.
도 7에 도시된 바와 같이, 비교예 1 내지 비교예 9 각각을 따른 단위 마스크(11 내지 19)에 포함된 각각의 패턴 개구부는 동일한 인장력이 각 단위 마스크(11 내지 19)에 인가되었을 때, 각각의 패턴 개구부의 변형값이 2.3um 내지 5.4um의 고저차 값을 나타내는 반면, 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크 조립체에 포함된 단위 마스크(200)의 패턴 개구부(220)는 인장력이 단위 마스크(200)에 인가되었을 때, 패턴 개구부(220)의 변형값이 1.6um의 고저차값을 나타내었다. 즉, 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크 조립체에 포함된 단위 마스크(200)는 비교예 1 내지 비교예 9 각각을 따른 단위 마스크(11 내지 19)에 비해 패턴 개구부(220)에 인가되는 인장력이 분산되어 패턴 개구부(220)의 변형이 억제되는 것을 확인하였다.
또한, 비교예 1 내지 비교예 9 각각을 따른 단위 마스크(11 내지 19)에 포함된 각각의 패턴 개구부는 동일한 인장력이 각 단위 마스크(11 내지 19)에 인가되었을 때, 각각의 패턴 개구부의 변형값이 2.3um 내지 5.4um의 고저차 값을 나타내는 반면, 본 발명의 제2 실시예에 따른 마스크 조립체에 포함된 단위 마스크(202)의 패턴 개구부(220)는 인장력이 단위 마스크(202)에 인가되었을 때, 패턴 개구부(220)의 변형값이 1.6um의 고저차값을 나타내었다. 즉, 본 발명의 제2 실시예에 따른 마스크 조립체에 포함된 단위 마스크(202)는 비교예 1 내지 비교예 9 각각을 따른 단위 마스크(11 내지 19)에 비해 패턴 개구부(220)에 인가되는 인장력이 분산되어 패턴 개구부(220)의 변형이 억제되는 것을 확인하였다.
또한, 비교예 1 내지 비교예 9 각각을 따른 단위 마스크(11 내지 19)에 포함된 각각의 패턴 개구부는 동일한 인장력이 각 단위 마스크(11 내지 19)에 인가되었을 때, 각각의 패턴 개구부의 변형값이 2.3um 내지 5.4um의 고저차 값을 나타내는 반면, 본 발명의 제3 실시예에 따른 마스크 조립체에 포함된 단위 마스크(203)의 패턴 개구부(220)는 인장력이 단위 마스크(203)에 인가되었을 때, 패턴 개구부(220)의 변형값이 1.7um의 고저차값을 나타내었다. 즉, 본 발명의 제3 실시예에 따른 마스크 조립체에 포함된 단위 마스크(203)는 비교예 1 내지 비교예 9 각각을 따른 단위 마스크(11 내지 19)에 비해 패턴 개구부(220)에 인가되는 인장력이 분산되어 패턴 개구부(220)의 변형이 억제되는 것을 확인하였다.
다음, 도 8은 상술한 본 발명의 본 발명의 제1 실시예, 제2 실시예 및 제3 실시예 각각을 따른 마스크 조립체 각각에 포함된 단위 마스크(200, 202 및 203) 및 비교예 1 내지 비교예 9 각각을 따른 단위 마스크(11 내지 19) 각각을 동일한 인장력이 인가된 상태로 동일한 프레임에 지지하였을 때, 각각의 단위 마스크의 위치별 변형값을 측정한 그래프이다. 도 8에 도시된 그래프에서 x축은 각각의 단위 마스크의 위치를 나타내며(각각의 단위 마스크의 길이는 200mm로 설정하였음), y축은 각각의 단위 마스크의 변형값을 나타낸다.
도 8에 도시된 바와 같이, 비교예 1 내지 비교예 9 각각을 따른 단위 마스크(11 내지 19)는 동일한 인장력이 각 단위 마스크(11 내지 19)에 인가되었을 때, 각각의 단위 마스크의 위치별 변형값이 본 발명의 제1 실시예, 제2 실시예 및 제3 실시예에 각각을 따른 마스크 조립체에 포함된 각 단위 마스크(200, 202 및 203)의 위치별 변형값에 비해 더 변형되는 것을 확인하였다.
즉, 본 발명의 제1 실시예, 제2 실시예 및 제3 실시예에 각각을 따른 마스크 조립체에 포함된 각 단위 마스크(200, 202 및 203)는 각 단위 마스크의 위치별 변형이 비교예 1 내지 비교예 9 각각을 따른 단위 마스크(11 내지 19)에 비해 덜 변형됨으로써, 각 패턴 개구부(220)에 인가되는 인장력이 분산되어 각 패턴 개구부(220)의 변형이 억제되는 것을 확인하였다.
다음, 도 9는 상술한 본 발명의 본 발명의 제1 실시예, 제2 실시예 및 제3 실시예 각각을 따른 마스크 조립체 각각에 포함된 단위 마스크(200, 202 및 203) 및 비교예 1 내지 비교예 9 각각을 따른 단위 마스크(11 내지 19) 각각을 동일한 인장력이 인가된 상태로 동일한 프레임에 지지하였을 때, 각각의 단위 마스크에 포함된 패턴 개구부에 인가되는 압력을 나타낸 도면이다. 도 9에 도시된 도면은 Dassault Systemes 사의 SIMULIA에서 판매하는 구조, 전기 및 열 해석 툴인 ABAQUS를 사용하여 시뮬레이션(simulation)한 실험을 이용해 도출되었다.
도 9에 도시된 바와 같이, 비교예 1 내지 비교예 9 각각을 따른 단위 마스크(11 내지 19)는 동일한 인장력이 각 단위 마스크(11 내지 19)에 인가되었을 때, 각각의 단위 마스크에 포함된 각 패턴 개구부의 측변에 파란색이 도시되는 것을 확인할 수 있는 반면, 본 발명의 제1 실시예, 제2 실시예 및 제3 실시예에 각각을 따른 마스크 조립체에 포함된 각 단위 마스크(200, 202 및 203)에 포함된 각 패턴 개구부(220)의 측변에는 파란색이 도시되지 않는 것을 확인할 수 있었다. 즉, 본 발명의 제1 실시예, 제2 실시예 및 제3 실시예에 각각을 따른 마스크 조립체에 포함된 각 단위 마스크(200, 202 및 203)에 포함된 각 패턴 개구부(220)는 각 단위 마스크에 포함된 패턴 개구부(220)에 인가되는 압력이 비교예 1 내지 비교예 9 각각을 따른 단위 마스크(11 내지 19)의 패턴 개구부에 비해 작은 것을 확인하였다. 즉, 본 발명의 제1 실시예, 제2 실시예 및 제3 실시예에 각각을 따른 마스크 조립체에 포함된 각 단위 마스크(200, 202 및 203)에 포함된 각 패턴 개구부(220)에 인가되는 인장력이 분산되어 각 패턴 개구부(220)의 변형이 억제되는 것을 확인하였다.
이상과 같은 실험을 통해, 본 발명의 제1 실시예, 제2 실시예 및 제3 실시예 각각을 따른 마스크 조립체의 각 단위 마스크(200, 202 및 203)의 패턴 개구부(220)에 인가되는 인장력이 분산되어 패턴 개구부(220)의 변형이 억제되는 것을 확인하였다.
이하, 도 10를 참조하여 본 발명의 제4 실시예에 따른 프로브 조립체에 포함된 단위 마스크를 설명한다.
도 10은 본 발명의 제4 실시예에 따른 프로브 조립체에 포함된 단위 마스크를 나타낸 평면도이다.
도 10에 도시된 바와 같이, 단위 마스크(204)는 단위 마스크 본체부(210), 패턴 개구부(220), 제1 그루브(230), 제2 그루브(240), 제3 그루브(250) 및 더미 패턴(264)을 포함한다.
더미 패턴(264)은 더미 패턴(264)과 이웃하는 패턴 개구부(220)에 인가되는 인장력의 세기에 따라 단위 마스크(204)의 표면(200c) 상에서 변형된 폭(W)을 가진다. 더미 패턴(264)은 최외곽 패턴 개구부(220)와 단위 마스크(204)의 단부(200a) 사이에 위치하며, 단위 마스크(204)를 관통하여 형성되어 있다. 더미 패턴(264)는 단위 마스크(204)의 표면(200c) 상에서 타원 형상을 가지고 있다. 더미 패턴(264)는 타원 형상을 가짐으로써, 단위 마스크(204)의 표면(200c) 상에서 변형되는 폭(W)을 가진다. 더미 패턴(264)이 가지는 변형된 폭(W)은 단위 마스크(204)에 인가되는 인장력에 의해 더미 패턴(264)과 이웃하는 패턴 개구부(220)에 인가되는 인장력의 세기에 따라 변형되어 있는데, 도 10에 도시된 바와 같이, 단위 마스크(204)의 표면(200c) 상에서 패턴 개구부(220)가 사각형의 형상을 가질 경우, 패턴 개구부(220)의 일변(221)에 대응하는 더미 패턴(264)의 폭(W)은 패턴 개구부(220)의 일변(221)의 중앙 부분에 대응하는 부분으로부터 패턴 개구부(220)의 일변(221)의 외곽 부분에 대응하는 부분까지 순차적으로 좁아지게 된다. 즉, 단위 마스크(204)에 인가된 인장력에 의해 패턴 개구부(220)의 일변(221)의 전체 부분 중 다른 부분에 비해 인장력이 더 세게 인가되는 일 부분에 대응하는 더미 패턴(264)의 폭(W)은 상기 패턴 개구부(220)의 다른 부분에 대응하는 더미 패턴(264)의 폭(W)보다 넓게 형성된다. 이와 같이, 더미 패턴(264)이 패턴 개구부(220)에 인가되는 인장력의 세기에 따라 단위 마스크(204)의 표면(200c) 상에서 변형된 폭(W)을 가짐으로써, 패턴 개구부(220)에 인가되는 인장력이 분산된다. 나아가, 더미 패턴(264)에 의해 패턴 개구부(220)에 인가되는 인장력이 분산됨으로써, 단위 마스크(204)에 인가되는 인장력에 의해 패턴 개구부(220)가 변형되는 것이 억제된다.
본 발명의 제4 실시예에 따른 프로브 조립체에 포함된 단위 마스크(204)의 더미 패턴(264)는 패턴 개구부(220)이 일변(221)의 전체 부분 중 다른 부분에 비해 인장력이 더 세게 인가되는 일 부분에 대응하는 폭(W)이 일변(221)의 다른 부분에 대응하는 폭(W)보다 넓게 형성되나, 본 발명의 다른 실시예에 따른 프로브 조립체에 포함된 단위 마스크의 더미 패턴은 패턴 개구부(220)의 일변(221)의 전체 부분 중 다른 부분에 비해 인장력이 더 세게 인가되는 일 부분에 대응하는 폭이 일변(221)의 다른 부분에 대응하는 폭보다 좁게 형성될 수 있다.
이하, 도 11 및 도 12를 참조하여 본 발명의 제5 실시예에 따른 프로브 조립체에 포함된 단위 마스크를 설명한다.
도 11은 본 발명의 제5 실시예에 따른 프로브 조립체에 포함된 단위 마스크를 나타낸 평면도이다. 도 12는 도 11의 ⅩⅡ-ⅩⅡ를 따른 단면도이다.
도 11 및 도 12에 도시된 바와 같이, 단위 마스크(205)는 단위 마스크 본체부(210), 패턴 개구부(220), 제1 그루브(230), 제2 그루브(240), 제3 그루브(250) 및 더미 패턴(265)을 포함한다.
더미 패턴(265)은 더미 패턴(265)과 이웃하는 패턴 개구부(220)에 인가되는 인장력의 세기에 따라 단위 마스크(205)의 표면(200c) 상에서 변형된 폭(W)을 가진다. 더미 패턴(265)은 최외곽 패턴 개구부(220)와 단위 마스크(205)의 단부(200a) 사이에 위치하며, 단위 마스크(205)의 표면으로부터 함몰되어 형성되어 있다. 더미 패턴(265)는 단위 마스크(205)의 표면(200c) 상에서 타원 형상을 가지고 있다. 더미 패턴(265)는 타원 형상을 가짐으로써, 단위 마스크(205)의 표면(200c) 상에서 변형되는 폭(W)을 가진다. 더미 패턴(265)이 가지는 변형된 폭(W)은 단위 마스크(205)에 인가되는 인장력에 의해 더미 패턴(265)과 이웃하는 패턴 개구부(220)에 인가되는 인장력의 세기에 따라 변형되어 있는데, 도 10에 도시된 바와 같이, 단위 마스크(205)의 표면(200c) 상에서 패턴 개구부(220)가 사각형의 형상을 가질 경우, 패턴 개구부(220)의 일변(221)에 대응하는 더미 패턴(265)의 폭(W)은 패턴 개구부(220)의 일변(221)의 중앙 부분에 대응하는 부분으로부터 패턴 개구부(220)의 일변(221)의 외곽 부분에 대응하는 부분까지 순차적으로 좁아지게 된다. 즉, 단위 마스크(205)에 인가된 인장력에 의해 패턴 개구부(220)의 일변(221)의 전체 부분 중 다른 부분에 비해 인장력이 더 세게 인가되는 일 부분에 대응하는 더미 패턴(265)의 폭(W)은 상기 패턴 개구부(220)의 다른 부분에 대응하는 더미 패턴(265)의 폭(W)보다 넓게 형성된다. 이와 같이, 더미 패턴(265)이 패턴 개구부(220)에 인가되는 인장력의 세기에 따라 단위 마스크(205)의 표면(200c) 상에서 변형된 폭(W)을 가짐으로써, 패턴 개구부(220)에 인가되는 인장력이 분산된다. 나아가, 더미 패턴(265)에 의해 패턴 개구부(220)에 인가되는 인장력이 분산됨으로써, 단위 마스크(205)에 인가되는 인장력에 의해 패턴 개구부(220)가 변형되는 것이 억제된다.
본 발명의 제4 실시예에 따른 프로브 조립체에 포함된 단위 마스크(205)의 더미 패턴(265)는 패턴 개구부(220)이 일변(221)의 전체 부분 중 다른 부분에 비해 인장력이 더 세게 인가되는 일 부분에 대응하는 폭(W)이 일변(221)의 다른 부분에 대응하는 폭(W)보다 넓게 형성되나, 본 발명의 다른 실시예에 따른 프로브 조립체에 포함된 단위 마스크의 더미 패턴은 패턴 개구부(220)의 일변(221)의 전체 부분 중 다른 부분에 비해 인장력이 더 세게 인가되는 일 부분에 대응하는 폭이 일변(221)의 다른 부분에 대응하는 폭보다 좁게 형성될 수 있다.
본 발명을 앞서 기재한 바에 따라 바람직한 실시예를 통해 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며 다음에 기재하는 특허청구범위의 개념과 범위를 벗어나지 않는 한, 다양한 수정 및 변형이 가능하다는 것을 본 발명이 속하는 기술 분야에 종사하는 자들은 쉽게 이해할 것이다.
패턴 개구부(220), 제1 그루브(230)

Claims (22)

  1. 개구부를 포함하는 프레임 및
    상기 개구부 상에 위치하며, 일 방향으로 인장력이 가해진 상태로 양 단부가 상기 프레임에 지지되는 하나 이상의 단위 마스크를 포함하며,
    상기 단위 마스크는,
    상기 일 방향으로 배치된 복수개의 패턴 개구부 및
    상기 패턴 개구부와 이웃하여 상기 패턴 개구부와 상기 단위 마스크의 테두리 사이에 위치하며, 상기 단위 마스크의 표면으로부터 함몰 형성된 제1 그루브
    를 포함하는 마스크 조립체.
  2. 제1항에서,
    상기 제1 그루브는 상기 제1 그루브와 이웃하는 상기 패턴 개구부에 인가되는 상기 인장력의 세기에 따라 상기 단위 마스크의 표면 상에서 변형된 폭을 가지는 마스크 조립체.
  3. 제2항에서,
    상기 제1 그루브는 상기 단위 마스크의 표면 상에서 반원 형상인 마스크 조립체.
  4. 제2항에서,
    상기 단위 마스크는 상기 패턴 개구부와 이웃하고, 이웃하는 상기 패턴 개구부 사이에 위치하며, 상기 단위 마스크의 표면으로부터 함몰 형성된 제2 그루브를 더 포함하는 마스크 조립체.
  5. 제4항에서,
    상기 제2 그루브는 상기 제2 그루브와 이웃하는 상기 패턴 개구부에 인가되는 상기 인장력의 세기에 따라 상기 단위 마스크의 표면 상에서 변형된 폭을 가지는 마스크 조립체.
  6. 제5항에서,
    상기 제2 그루브는 상기 단위 마스크의 표면 상에서 반원 또는 뿔 형상인 마스크 조립체.
  7. 제4항에서,
    상기 제1 그루브는 복수개이며,
    상기 단위 마스크는 이웃하는 상기 제1 그루브 사이에 위치하며, 상기 단위마스크의 표면으로부터 함몰 형성된 제3 그루브를 더 포함하는 마스크 조립체.
  8. 제7항에서,
    상기 제3 그루브는 다각형 형상인 마스크 조립체.
  9. 제4항에서,
    상기 단위 마스크는 상기 일 방향으로 배치된 상기 복수개의 패턴 개구부 중 최외측에 위치하는 패턴 개구부와 상기 단위 마스크의 상기 단부 사이에 위치하는 더미 패턴을 더 포함하는 마스크 조립체.
  10. 제9항에서,
    상기 더미 패턴은 상기 더미 패턴과 이웃하는 상기 패턴 개구부에 인가되는 상기 인장력의 세기에 따라 상기 단위 마스크의 표면 상에서 변형된 폭을 가지는 마스크 조립체.
  11. 제9항에서,
    상기 더미 패턴은 상기 단위 마스크를 관통하는 마스크 조립체.
  12. 제9항에서,
    상기 더미 패턴은 상기 단위 마스크의 표면으로부터 함몰 형성된 마스크 조립체.
  13. 제9항에서,
    상기 더미 패턴은 상기 프레임과 대응하는 마스크 조립체.
  14. 제1항 내지 제13항 중 어느 한 항에서,
    상기 패턴 개구부의 형태는 스트라이프(stripe) 또는 도트(dot) 타입인 마스크 조립체.
  15. 일 방향으로 인장력이 가해진 상태로 양 단부가 프레임에 지지되는 단위 마스크에 있어서,
    상기 일 방향을 따라 연장된 밴드 형태의 단위 마스크 본체부;
    상기 일 방향으로 배치된 복수개의 패턴 개구부; 및
    상기 패턴 개구부와 이웃하여 상기 패턴 개구부와 상기 단위 마스크 본체부의 테두리 사이에 위치하며, 상기 단위 마스크 본체부의 표면으로부터 함몰 형성된 제1 그루브
    를 포함하는 단위 마스크.
  16. 제15항에서,
    상기 제1 그루브는 상기 제1 그루브와 이웃하는 상기 패턴 개구부에 인가되는 상기 인장력의 세기에 따라 상기 단위 마스크 본체부의 표면 상에서 변형된 폭을 가지는 단위 마스크.
  17. 제16항에서,
    상기 패턴 개구부와 이웃하고, 이웃하는 상기 패턴 개구부 사이에 위치하며, 상기 단위 마스크 본체부의 표면으로부터 함몰 형성된 제2 그루브를 더 포함하는 단위 마스크.
  18. 제17항에서,
    상기 제2 그루브는 상기 제2 그루브와 이웃하는 상기 패턴 개구부에 인가되는 상기 인장력의 세기에 따라 상기 단위 마스크 본체부의 표면 상에서 변형된 폭을 가지는 단위 마스크.
  19. 제18항에서,
    상기 제1 그루브는 복수개이며,
    이웃하는 상기 제1 그루브 사이에 위치하며, 상기 단위 마스크 본체부의 표면으로부터 함몰 형성된 제3 그루브를 더 포함하는 단위 마스크.
  20. 제19항에서,
    상기 일 방향으로 배치된 상기 복수개의 패턴 개구부 중 최외측에 위치하는 패턴 개구부와 상기 단위 마스크 본체부의 단부 사이에 위치하는 더미 패턴을 더 포함하는 단위 마스크.
  21. 제20항에서,
    상기 더미 패턴은 상기 더미 패턴과 이웃하는 상기 패턴 개구부에 인가되는 상기 인장력의 세기에 따라 상기 단위 마스크 본체부의 표면 상에서 변형된 폭을 가지는 단위 마스크.
  22. 제15항 내지 제21항 중 어느 한 항에서,
    상기 패턴 개구부의 형태는 스트라이프(stripe) 또는 도트(dot) 타입인 단위 마스크.
KR1020100023898A 2010-03-17 2010-03-17 마스크 및 이를 포함하는 마스크 조립체 KR101182239B1 (ko)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020100023898A KR101182239B1 (ko) 2010-03-17 2010-03-17 마스크 및 이를 포함하는 마스크 조립체
US13/039,035 US8656859B2 (en) 2010-03-17 2011-03-02 Mask and mask assembly having the same
JP2011051096A JP5427813B2 (ja) 2010-03-17 2011-03-09 マスク及びこれを含むマスク組立体
TW100108610A TWI512123B (zh) 2010-03-17 2011-03-14 遮罩及具有該遮罩之遮罩組件
CN201110069548.8A CN102201550B (zh) 2010-03-17 2011-03-17 单元掩模、掩模组件和制造显示设备的方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020100023898A KR101182239B1 (ko) 2010-03-17 2010-03-17 마스크 및 이를 포함하는 마스크 조립체

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20110104793A true KR20110104793A (ko) 2011-09-23
KR101182239B1 KR101182239B1 (ko) 2012-09-12

Family

ID=44647470

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020100023898A KR101182239B1 (ko) 2010-03-17 2010-03-17 마스크 및 이를 포함하는 마스크 조립체

Country Status (5)

Country Link
US (1) US8656859B2 (ko)
JP (1) JP5427813B2 (ko)
KR (1) KR101182239B1 (ko)
CN (1) CN102201550B (ko)
TW (1) TWI512123B (ko)

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20130060722A (ko) * 2011-11-30 2013-06-10 삼성디스플레이 주식회사 마스크 조립체 및 유기 발광 표시장치
KR20140030642A (ko) * 2012-09-03 2014-03-12 삼성디스플레이 주식회사 단위 마스크 및 마스크 조립체
US8881676B2 (en) 2011-04-25 2014-11-11 Samsung Display Co., Ltd. Mask frame assembly for thin film deposition
KR20150071320A (ko) * 2013-12-18 2015-06-26 삼성디스플레이 주식회사 단위 마스크 및 마스크 조립체
KR20150096590A (ko) * 2014-02-14 2015-08-25 삼성디스플레이 주식회사 마스크 프레임 조립체 및 그 제조방법
US9397295B2 (en) 2013-05-27 2016-07-19 Samsung Display Co., Ltd. Printing apparatus and method of forming an organic light emitting layer
US9583708B2 (en) 2013-07-30 2017-02-28 Samsung Display Co., Ltd. Mask for deposition, mask assembly including the same and method of forming the mask assembly
KR20180062487A (ko) * 2016-11-30 2018-06-11 엘지디스플레이 주식회사 증착용 마스크 및 그 제조방법
US10396282B2 (en) 2015-04-28 2019-08-27 Samsung Display Co., Ltd Mask frame assembly for thin layer deposition, method of manufacturing the same, and method of manufacturing display apparatus by using the mask frame assembly
KR20190111074A (ko) * 2017-08-25 2019-10-01 보에 테크놀로지 그룹 컴퍼니 리미티드 마스크 스트립 및 그것의 제조 방법 및 마스크 플레이트

Families Citing this family (43)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101309864B1 (ko) * 2010-02-02 2013-09-16 엘지디스플레이 주식회사 마스크 어셈블리
KR101742816B1 (ko) * 2010-12-20 2017-06-02 삼성디스플레이 주식회사 마스크 프레임 조립체, 이의 제조 방법 및 이를 이용한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법
KR101784467B1 (ko) * 2011-01-10 2017-10-12 삼성디스플레이 주식회사 분할 마스크 및 그것을 이용한 마스크 프레임 조립체의 조립방법
KR101813549B1 (ko) * 2011-05-06 2018-01-02 삼성디스플레이 주식회사 분할 마스크와 그 분할 마스크를 포함한 마스크 프레임 조립체의 조립장치
TW201546306A (zh) * 2012-01-12 2015-12-16 大日本印刷股份有限公司 拼版蒸鍍遮罩準備體及拼版蒸鍍遮罩
KR101879831B1 (ko) * 2012-03-21 2018-07-20 삼성디스플레이 주식회사 플렉시블 표시 장치, 유기 발광 표시 장치 및 플렉시블 표시 장치용 원장 기판
TWI472631B (zh) * 2012-03-30 2015-02-11 Au Optronics Corp 遮罩條
KR102002494B1 (ko) * 2012-11-30 2019-07-23 삼성디스플레이 주식회사 박막 증착용 마스크 프레임 어셈블리
CN103911584B (zh) * 2012-12-31 2017-07-04 上海天马微电子有限公司 一种掩膜板
JP6086305B2 (ja) * 2013-01-11 2017-03-01 大日本印刷株式会社 蒸着マスクの製造方法および蒸着マスク
TWI480399B (zh) * 2013-07-09 2015-04-11 金屬遮罩
JP2015103427A (ja) * 2013-11-26 2015-06-04 株式会社ジャパンディスプレイ 表示装置の製造方法
KR102316680B1 (ko) * 2014-11-24 2021-10-26 삼성디스플레이 주식회사 박막 증착용 마스크 어셈블리와, 이의 제조 방법
TWI550108B (zh) * 2015-04-28 2016-09-21 友達光電股份有限公司 遮罩
JP6509630B2 (ja) * 2015-05-13 2019-05-08 株式会社アルバック シート状のマスク
KR102411539B1 (ko) * 2015-10-26 2022-06-22 삼성디스플레이 주식회사 마스크 조립체, 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법
KR102549358B1 (ko) * 2015-11-02 2023-06-29 삼성디스플레이 주식회사 증착 마스크 조립체 및 이를 이용한 표시 장치의 제조 방법
KR102375261B1 (ko) * 2016-04-01 2022-03-17 엘지이노텍 주식회사 증착용마스크 및 이를 이용한 oled 패널
CN205576262U (zh) * 2016-05-09 2016-09-14 鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 一种掩膜板
CN105839052A (zh) * 2016-06-17 2016-08-10 京东方科技集团股份有限公司 掩膜板以及掩膜板的组装方法
CN106086785B (zh) * 2016-07-29 2019-02-01 京东方科技集团股份有限公司 掩膜板及其制作方法、掩膜组件
KR20180023139A (ko) * 2016-08-24 2018-03-07 삼성디스플레이 주식회사 증착용 마스크 어셈블리
KR102642345B1 (ko) * 2016-09-06 2024-02-29 삼성디스플레이 주식회사 분할 마스크
CN109844974B (zh) * 2016-09-13 2024-03-15 Lg伊诺特有限公司 沉积掩模用金属板以及沉积掩模及其制造方法
CN109689921A (zh) * 2016-09-14 2019-04-26 夏普株式会社 掩模片、蒸镀掩模、显示面板的制造方法
JP6376483B2 (ja) * 2017-01-10 2018-08-22 大日本印刷株式会社 蒸着マスクの製造方法、蒸着マスク装置の製造方法および蒸着マスクの良否判定方法
WO2019063074A1 (en) * 2017-09-27 2019-04-04 Applied Materials, Inc. MASK ARRANGEMENT FOR MASKING A SUBSTRATE, SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND METHOD THEREOF
CN107815641B (zh) * 2017-10-25 2020-05-19 信利（惠州）智能显示有限公司 掩膜板
US11655536B2 (en) * 2018-03-20 2023-05-23 Sharp Kabushiki Kaisha Film forming mask and method of manufacturing display device using same
KR102559894B1 (ko) * 2018-06-15 2023-07-27 삼성디스플레이 주식회사 마스크 어셈블리, 이를 포함하는 증착설비, 및 이를 이용한 표시장치의 제조방법
KR102642138B1 (ko) * 2018-09-04 2024-03-04 엘지이노텍 주식회사 증착용 마스크 및 이의 제조 방법
KR102687513B1 (ko) 2018-12-31 2024-07-22 엘지디스플레이 주식회사 마스크 및 이의 제조 방법
KR102688602B1 (ko) * 2019-02-01 2024-07-25 삼성디스플레이 주식회사 마스크 조립체, 이를 포함하는 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법
CN109778116B (zh) * 2019-03-28 2021-03-02 京东方科技集团股份有限公司 一种掩膜版及其制作方法、掩膜版组件
CN110396660B (zh) * 2019-08-30 2021-10-08 昆山国显光电有限公司 掩膜板及掩膜板制备方法
US11560616B2 (en) * 2019-11-05 2023-01-24 Boe Technology Group Co., Ltd. Mask device, mask plate, and frame
CN110747431B (zh) * 2019-11-20 2022-04-08 京东方科技集团股份有限公司 精细掩膜板及其制作方法、组合掩膜板及显示基板
CN111394692B (zh) * 2020-05-09 2022-05-13 京东方科技集团股份有限公司 掩膜版
CN111500981B (zh) * 2020-06-10 2022-06-24 京东方科技集团股份有限公司 掩膜版
KR20220030437A (ko) 2020-08-31 2022-03-11 삼성디스플레이 주식회사 마스크, 이의 제조 방법, 및 표시 패널 제조 방법
KR20220055538A (ko) * 2020-10-26 2022-05-04 삼성디스플레이 주식회사 마스크 어셈블리 및 마스크 어셈블리의 제작 방법
CN112267092B (zh) * 2020-10-27 2023-04-07 京东方科技集团股份有限公司 掩膜板及其制备方法
TWI777614B (zh) * 2021-06-11 2022-09-11 達運精密工業股份有限公司 金屬遮罩及其製造方法

Family Cites Families (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5234780A (en) * 1989-02-13 1993-08-10 Kabushiki Kaisha Toshiba Exposure mask, method of manufacturing the same, and exposure method using the same
JP2830854B2 (ja) * 1996-08-15 1998-12-02 日本電気株式会社 電子ビーム用マスクおよび露光方法
US6592933B2 (en) * 1997-10-15 2003-07-15 Toray Industries, Inc. Process for manufacturing organic electroluminescent device
JP4006173B2 (ja) * 2000-08-25 2007-11-14 三星エスディアイ株式会社 メタルマスク構造体及びその製造方法
KR20030021716A (ko) 2001-09-07 2003-03-15 주식회사 인프라넷 휴대폰을 이용한 인터넷서비스 확장장치
KR100490534B1 (ko) * 2001-12-05 2005-05-17 삼성에스디아이 주식회사 유기 전자 발광 소자의 박막 증착용 마스크 프레임 조립체
KR100908232B1 (ko) 2002-06-03 2009-07-20 삼성모바일디스플레이주식회사 유기 전자 발광 소자의 박막 증착용 마스크 프레임 조립체
JP2004055231A (ja) 2002-07-17 2004-02-19 Dainippon Printing Co Ltd 有機ｅｌ素子製造に用いる真空蒸着用多面付けメタルマスク
JP4173722B2 (ja) * 2002-11-29 2008-10-29 三星エスディアイ株式会社 蒸着マスク、これを利用した有機ｅｌ素子の製造方法及び有機ｅｌ素子
KR100902448B1 (ko) 2002-12-18 2009-06-11 오리온오엘이디 주식회사 유기 이엘(ｅｌ)용 마스크
JP4608874B2 (ja) * 2003-12-02 2011-01-12 ソニー株式会社 蒸着マスクおよびその製造方法
US7495388B2 (en) * 2004-01-08 2009-02-24 Samsung Electronics Co., Ltd. Display device, and method of manufacturing the display device
KR20050083422A (ko) 2004-02-23 2005-08-26 오리온전기 주식회사 증착용 마스크
JP2005302457A (ja) 2004-04-09 2005-10-27 Toray Ind Inc 蒸着マスクおよびその製造方法並びに有機電界発光装置の製造方法
JP4545504B2 (ja) * 2004-07-15 2010-09-15 株式会社半導体エネルギー研究所 膜形成方法、発光装置の作製方法
KR100659057B1 (ko) 2004-07-15 2006-12-21 삼성에스디아이 주식회사 박막 증착용 마스크 프레임 조립체 및 유기 전계 발광표시장치
US7821199B2 (en) * 2004-09-08 2010-10-26 Toray Industries, Inc. Organic electroluminescent device and manufacturing method thereof
KR100708654B1 (ko) * 2004-11-18 2007-04-18 삼성에스디아이 주식회사 마스크 조립체 및 이를 이용한 마스크 프레임 조립체
KR100626041B1 (ko) * 2004-11-25 2006-09-20 삼성에스디아이 주식회사 평판표시장치의 박막 증착용 마스크 및 그의 제조방법
KR20060100537A (ko) 2005-03-17 2006-09-21 엘지전자 주식회사 유기 전계 발광 소자 제조용 마스크
KR100814818B1 (ko) 2006-07-31 2008-03-20 삼성에스디아이 주식회사 유기 발광 표시 장치 제조용 마스크
JP2008208426A (ja) 2007-02-27 2008-09-11 Seiko Epson Corp 成膜用マスクおよび成膜用マスクの製造方法
JP5262226B2 (ja) 2007-08-24 2013-08-14 大日本印刷株式会社 蒸着マスクおよび蒸着マスクの製造方法
KR100971753B1 (ko) * 2007-11-23 2010-07-21 삼성모바일디스플레이주식회사 평판 표시장치의 박막 증착용 마스크 조립체
KR20100026655A (ko) * 2008-09-01 2010-03-10 삼성모바일디스플레이주식회사 박막 증착용 마스크 및 이를 이용한 유기전계발광 소자의 제조방법
KR101117645B1 (ko) * 2009-02-05 2012-03-05 삼성모바일디스플레이주식회사 마스크 조립체 및 이를 이용한 평판표시장치용 증착 장치
KR101202346B1 (ko) * 2009-04-16 2012-11-16 삼성디스플레이 주식회사 박막 증착용 마스크 프레임 조립체, 그 제조 방법 및 유기 발광 표시 장치의 제조 방법
KR101135544B1 (ko) * 2009-09-22 2012-04-17 삼성모바일디스플레이주식회사 마스크 조립체, 이의 제조 방법 및 이를 이용한 평판표시장치용 증착 장치

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9192959B2 (en) 2011-04-25 2015-11-24 Samsung Display Co., Ltd. Mask frame assembly for thin film deposition
US8881676B2 (en) 2011-04-25 2014-11-11 Samsung Display Co., Ltd. Mask frame assembly for thin film deposition
KR20130060722A (ko) * 2011-11-30 2013-06-10 삼성디스플레이 주식회사 마스크 조립체 및 유기 발광 표시장치
KR20140030642A (ko) * 2012-09-03 2014-03-12 삼성디스플레이 주식회사 단위 마스크 및 마스크 조립체
US9570715B2 (en) 2012-09-03 2017-02-14 Samsung Display Co., Ltd. Mask and mask assembly
US9660223B2 (en) 2013-05-27 2017-05-23 Samsung Display Co., Ltd. Printing apparatus
US9397295B2 (en) 2013-05-27 2016-07-19 Samsung Display Co., Ltd. Printing apparatus and method of forming an organic light emitting layer
US9583708B2 (en) 2013-07-30 2017-02-28 Samsung Display Co., Ltd. Mask for deposition, mask assembly including the same and method of forming the mask assembly
KR20150071320A (ko) * 2013-12-18 2015-06-26 삼성디스플레이 주식회사 단위 마스크 및 마스크 조립체
KR20150096590A (ko) * 2014-02-14 2015-08-25 삼성디스플레이 주식회사 마스크 프레임 조립체 및 그 제조방법
US10396282B2 (en) 2015-04-28 2019-08-27 Samsung Display Co., Ltd Mask frame assembly for thin layer deposition, method of manufacturing the same, and method of manufacturing display apparatus by using the mask frame assembly
KR20180062487A (ko) * 2016-11-30 2018-06-11 엘지디스플레이 주식회사 증착용 마스크 및 그 제조방법
KR20190111074A (ko) * 2017-08-25 2019-10-01 보에 테크놀로지 그룹 컴퍼니 리미티드 마스크 스트립 및 그것의 제조 방법 및 마스크 플레이트

Also Published As

Publication number Publication date
US8656859B2 (en) 2014-02-25
JP2011195960A (ja) 2011-10-06
US20110229633A1 (en) 2011-09-22
TWI512123B (zh) 2015-12-11
CN102201550B (zh) 2014-04-02
CN102201550A (zh) 2011-09-28
JP5427813B2 (ja) 2014-02-26
KR101182239B1 (ko) 2012-09-12
TW201231691A (en) 2012-08-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101182239B1 (ko) 마스크 및 이를 포함하는 마스크 조립체
KR102118641B1 (ko) 단위 마스크 및 마스크 조립체
KR102024853B1 (ko) 단위 마스크 및 마스크 조립체
KR102219210B1 (ko) 단위 마스크 및 마스크 조립체
KR101919467B1 (ko) 단위 마스크 및 이를 포함하는 마스크 조립체
US9953828B2 (en) Frame and mask assembly having the same
KR102130546B1 (ko) 마스크 조립체 및 이를 이용한 평판표시장치용 증착 장치
KR101030030B1 (ko) 마스크 조립체
KR102544244B1 (ko) 마스크 프레임 조립체
KR101995500B1 (ko) 단위 마스크 및 마스크 조립체
KR102660074B1 (ko) 마스크 조립체 및 마스크 프레임의 연마 방법
JP2023510055A (ja) 支持プレート及び折り畳みディスプレイ
KR20150019695A (ko) 단위 마스크 및 마스크 조립체
JP4974671B2 (ja) 表示素子製造用マスク
JP6268351B2 (ja) 基板、および、パネルの製造方法
KR20140109699A (ko) 마스크 구조체와 이를 포함하는 마스크 조립체 및 마스크 구조체 제조방법
JP2011058066A (ja) 蒸着マスク及び有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
N231 Notification of change of applicant
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160831

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180829

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190822

Year of fee payment: 8