JP2011195960A - マスク及びこれを含むマスク組立体 - Google Patents
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- 230000000994 depressogenic effect Effects 0.000 claims abstract description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 5
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 17
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 14
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 7
- 238000000429 assembly Methods 0.000 description 3
- 230000000712 assembly Effects 0.000 description 3
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 3
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000005137 deposition process Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 238000002076 thermal analysis method Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
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- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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Abstract
【解決手段】マスク組立体は、開口部を含むフレーム及び開口部上に位置し、一方向に引張力が加えられた状態で両端部がフレームによって支持される1つ以上の単位マスクを含み、単位マスクは一方向に配置された複数のパターン開口部及びパターン開口部と隣接してパターン開口部と単位マスクの枠の間に位置し、単位マスクの表面に陥没形成された第1グルーブを含む。
【選択図】図3
Description
110 開口部
120、130 支持部
200、202、203、204、205 単位マスク
210 単位マスク本体部
220 パターン開口部
230、240、250 グルーブ
260、264、265 ダミーパターン
Claims (22)
- 開口部を含むフレームと、
前記開口部上に位置し、一方向に引張力が加えられた状態で両端部が前記フレームに支持される1つ以上の単位マスクを含み、
前記単位マスクは、
前記一方向に配置された複数のパターン開口部と、
前記パターン開口部と隣接して前記パターン開口部と前記単位マスクの枠との間に位置し、前記単位マスクの表面に陥没形成された第1グルーブを含むことを特徴とする、マスク組立体。 - 前記第1グルーブは、前記第1グルーブと隣接する前記パターン開口部に印加される前記引張力の強さに応じて前記単位マスクの表面上で変形した幅を有することを特徴とする、請求項1に記載のマスク組立体。
- 前記第1グルーブは、前記単位マスクの表面上で半円形状であることを特徴とする、請求項2に記載のマスク組立体。
- 前記単位マスクは、前記パターン開口部と隣接し、隣接する前記パターン開口部の間に位置し、前記単位マスクの表面に陥没形成された第2グルーブをさらに含むことを特徴とする、請求項2に記載のマスク組立体。
- 前記第2グルーブは、前記第2グルーブと隣接する前記パターン開口部に印加される前記引張力の強さに応じて、前記単位マスクの表面上で変形した幅を有することを特徴とする、請求項4に記載のマスク組立体。
- 前記第2グルーブは、前記単位マスクの表面上で半円または円錐形状であることを特徴とする、請求項5に記載のマスク組立体。
- 前記第1グルーブは複数であり、
前記単位マスクは隣接する前記第1グルーブの間に位置し、前記単位マスクの表面に陥没形成された第3グルーブをさらに含むことを特徴とする、請求項4に記載のマスク組立体。 - 前記第3グルーブは、多角形状であることを特徴とする、請求項7に記載のマスク組立体。
- 前記単位マスクは、前記一方向に配置された前記複数のパターン開口部のうち最外側に位置するパターン開口部と前記単位マスクの前記端部との間に位置するダミーパターンをさらに含むことを特徴とする、請求項4に記載のマスク組立体。
- 前記ダミーパターンは、前記ダミーパターンと隣接する前記パターン開口部に印加される前記引張力の強さに応じて前記単位マスクの表面上で変形した幅を有することを特徴とする、請求項9に記載のマスク組立体。
- 前記ダミーパターンは、前記単位マスクを貫通することを特徴とする、請求項9に記載のマスク組立体。
- 前記ダミーパターンは、前記単位マスクの表面に陥没形成されたことを特徴とする、請求項9に記載のマスク組立体。
- 前記ダミーパターンは、前記フレームと対応することを特徴とする、請求項9に記載のマスク組立体。
- 前記パターン開口部の形状は、帯状またはドット状であることを特徴とする、請求項1〜13のうちのいずれか1つに記載のマスク組立体。
- 一方向に引張力が加えられた状態で両端部がフレームに支持される単位マスクにおいて、
前記一方向に沿って延長された帯状の単位マスク本体部と、
前記一方向に配置された複数のパターン開口部と、
前記パターン開口部と隣接して前記パターン開口部と前記単位マスク本体部の枠との間に位置し、前記単位マスク本体部の表面に陥没形成された第1グルーブを含むことを特徴とする、単位マスク。 - 前記第1グルーブは、前記第1グルーブと隣接する前記パターン開口部に印加される前記引張力の強さに応じて前記単位マスク本体部の表面上で変形した幅を有することを特徴とする、請求項15に記載の単位マスク。
- 前記パターン開口部と隣接し、隣接する前記パターン開口部の間に位置し、前記単位マスク本体部の表面に陥没形成された第2グルーブをさらに含むことを特徴とする、請求項16に記載の単位マスク。
- 前記第2グルーブは、前記第2グルーブと隣接する前記パターン開口部に印加される前記引張力の強さに応じて前記単位マスク本体部の表面上で変形した幅を有することを特徴とする、請求項17に記載の単位マスク。
- 前記第1グルーブは複数であり、
隣接する前記第1グルーブの間に位置し、前記単位マスク本体部の表面に陥没形成された第3グルーブをさらに含むことを特徴とする、請求項18に記載の単位マスク。 - 前記一方向に配置された前記複数のパターン開口部のうち、最外側に位置するパターン開口部と前記単位マスク本体部の端部との間に位置するダミーパターンをさらに含むことを特徴とする、請求項19に記載の単位マスク。
- 前記ダミーパターンは、前記ダミーパターンと隣接する前記パターン開口部に印加される前記引張力の強さに応じて前記単位マスク本体部の表面上で変形した幅を有することを特徴とする、請求項20に記載の単位マスク。
- 前記パターン開口部の形状は、帯状またはドット状であることを特徴とする、請求項15〜21のうちのいずれか1つに記載の単位マスク。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR10-2010-0023898 | 2010-03-17 | ||
KR1020100023898A KR101182239B1 (ko) | 2010-03-17 | 2010-03-17 | 마스크 및 이를 포함하는 마스크 조립체 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011195960A true JP2011195960A (ja) | 2011-10-06 |
JP5427813B2 JP5427813B2 (ja) | 2014-02-26 |
Family
ID=44647470
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011051096A Active JP5427813B2 (ja) | 2010-03-17 | 2011-03-09 | マスク及びこれを含むマスク組立体 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8656859B2 (ja) |
JP (1) | JP5427813B2 (ja) |
KR (1) | KR101182239B1 (ja) |
CN (1) | CN102201550B (ja) |
TW (1) | TWI512123B (ja) |
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Publication number | Publication date |
---|---|
US8656859B2 (en) | 2014-02-25 |
CN102201550B (zh) | 2014-04-02 |
KR101182239B1 (ko) | 2012-09-12 |
CN102201550A (zh) | 2011-09-28 |
TWI512123B (zh) | 2015-12-11 |
TW201231691A (en) | 2012-08-01 |
US20110229633A1 (en) | 2011-09-22 |
JP5427813B2 (ja) | 2014-02-26 |
KR20110104793A (ko) | 2011-09-23 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20120921 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130304 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130319 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130618 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Request for written amendment filed |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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