JP2016211061A - シート状のマスク - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (5)
- 一方向に走行されるシート状の基材に対して同方向に同期して走行され、シート状の基材への処理範囲を規定する複数個の開口部を有するシート状のマスクにおいて、
シート状の基材とシート状のマスクとの走行方向をX軸方向、X軸方向に直交するシート状のマスクの幅方向をY軸方向とし、前記シート状のマスクは、X軸方向に夫々のびる複数本の縦帯部と、Y軸方向に夫々のびて互いに隣接する縦帯部間を橋渡す複数本の横帯部とを備え、これら縦帯部と横帯部とで開口部が区画され、
シート状のマスクにX軸方向に所定の張力が付与された状態で、横帯部の両辺の縦帯部との交点におけるX軸方向の伸び量の和が所定値を超えないように縦帯部と横帯部とを構成したことを特徴とするシート状のマスク。 - 前記所定値は3μmであることを特徴とする請求項1記載のシート状のマスク。
- 前記縦帯部として、前記横帯部と比較して高い縦弾性係数を有する材料を用いることを特徴とする請求項1または請求項2記載のシート状のマスク。
- 前記縦帯部として、前記横帯部と比較して高い密度を有する材料を用いることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の連続成膜用のシート状のマスク。
- 前記シート状のマスクの厚さを0.1〜0.2mmの範囲としたことを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の連続成膜用のシート状のマスク。
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