KR101030030B1 - 마스크 조립체 - Google Patents

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KR101030030B1
KR101030030B1 KR1020090123322A KR20090123322A KR101030030B1 KR 101030030 B1 KR101030030 B1 KR 101030030B1 KR 1020090123322 A KR1020090123322 A KR 1020090123322A KR 20090123322 A KR20090123322 A KR 20090123322A KR 101030030 B1 KR101030030 B1 KR 101030030B1
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안홍균
오세영
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삼성모바일디스플레이주식회사
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Abstract

마스크 조립체는 개구부를 포함하는 프레임, 개구부에 위치하며, 개구부 상에서 제1 방향으로 연장되어 양단이 프레임에 지지되는 지지 스틱 및 지지 스틱에 접촉 지지되어 개구부 상에 위치하며, 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장되어 양단이 프레임에 지지되는 마스크를 포함하며, 지지 스틱은 마스크를 개구부와 연통시키는 연통 패턴을 포함한다.
마스크, 지지 스틱, 연통 패턴

Description

마스크 조립체{MASK ASSEMBLY}
본 발명은 마스크 조립체에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 마스크를 지지하는 프레임을 포함하는 마스크 조립체에 관한 것이다.
최근, 음극선관의 단점을 극복하여 경량화 및 소형화가 가능한 평판 표시장치가 각광을 받고 있다. 이러한 평판 표시장치의 대표적인 예로서, 유기 발광 표시 장치(organic light emitting display), 액정 표시 장치(liquid crystal display) 및 플라즈마 디스플레이 패널(plasma display panel) 등이 있다.
이 중, 유기 발광 표시 장치를 제조하기 위해서는 특정 패턴을 가지는 전극과 발광층 등을 형성해야 하며, 이의 형성법으로 마스크 조립체를 이용한 증착법이 적용될 수 있다.
종래의 마스크 조립체는 개구부를 구비하는 프레임, 개구부에 대응하여 양단이 프레임에 고정되는 띠 모양의 복수개의 마스크로 이루어진다. 마스크는 유기 발광 표시 장치가 제조될 마더 기판에 복수의 유기 발광 표시 장치가 제조될 수 있도록 복수의 패턴 개구부를 포함할 수 있다. 마스크의 패턴 개구부는 하나의 유기 발광 표시 장치에 대응할 수 있으며, 유기 발광 표시 장치에 형성할 전극 또는 발 광층과 대응하는 형태로 형성된다.
최근, 종래의 마스크 조립체에서 프레임에 지지된 마스크의 중앙 부분이 프레임의 개구부에 플로팅(floating)된 상태로 마더 기판 상에 위치함에 따라, 마스크 조립체를 이용한 증착 공정에서 프레임에 지지된 마스크의 중앙 부분이 마더 기판의 무게 또는 마스크 자체의 무게에 의해 아래로 처지는 것을 억제할 수 있도록 프레임의 개구부에 대응하는 마스크의 중앙 부분을 접촉 지지하는 지지 스틱을 포함하는 마스크 조립체가 개발되었다.
그런데, 상술한 지지 스틱을 포함하는 종래의 마스크 조립체는 마스크 조립체를 이용한 증착 공정 후 마스크 조립체를 세척하는 공정을 수행할 때, 세척 수단으로서 사용되는 초음파 등의 파동에 의해 마스크를 접촉 지지하는 지지 스틱이 공진함으로써, 지지 스틱의 간섭에 의해 마스크에 손상이 발생되는 문제점이 있었다.
본 발명의 일 실시예는 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 지지 스틱의 간섭에 의해 마스크에 손상이 발생되는 것이 억제된 마스크 조립체를 제공하고자 한다.
상술한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 제1 측면은 개구부를 포함하는 프레임, 개구부에 위치하며, 개구부 상에서 제1 방향으로 연장되어 양단이 프레임에 지지되는 지지 스틱 및 지지 스틱에 접촉 지지되어 개구부 상에 위치하며, 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장되어 양단이 프레임에 지지되는 마스크를 포함하며, 지지 스틱은 마스크를 개구부와 연통시키는 연통 패턴을 포함하는 마스크 조립체를 제공한다.
지지 스틱은 연통 패턴과 이웃하며, 마스크와 접촉하는 접촉 지지부를 더 포함할 수 있다.
연통 패턴은 지지 스틱을 관통하여 형성될 수 있다.
연통 패턴은 지지 스틱의 표면으로부터 함몰되어 형성될 수 있다.
연통 패턴은 복수개이며, 이웃하는 연통 패턴 사이에는 접촉 지지부가 위치할 수 있다.
연통 패턴은 다각형일 수 있다.
연통 패턴은 원형일 수 있다.
프레임은 지지 스틱의 양단이 삽입되는 삽입부를 더 포함하며, 삽입부의 깊이는 지지 스틱의 두께와 실질적으로 동일할 수 있다.
마스크는 복수개이며, 복수개의 마스크가 제1 방향을 따라 배치될 수 있다.
마스크의 양단은 인장력이 가해진 상태로 프레임에 지지될 수 있다.
또한, 본 발명의 제2 측면은 개구부를 포함하는 프레임, 상기 개구부에 위치하며, 상기 개구부 상에서 제1 방향으로 연장되어 양단이 상기 프레임에 지지되는 지지 스틱 및 상기 지지 스틱에 접촉 지지되어 상기 개구부 상에 위치하며, 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장되어 양단이 상기 프레임에 지지되는 마스크를 포함하며, 상기 지지 스틱은 상기 마스크와 폐공간을 형성하는 그루브를 포함하는 마스크 조립체를 제공한다.
상기 지지 스틱은 상기 그루브를 상기 지지 스틱의 표면 상에서 감싸며, 상기 마스크와 접촉하는 접촉 지지부를 더 포함할 수 있다.
상기 그루브는 상기 지지 스틱의 표면으로부터 함몰되어 형성될 수 있다.
상술한 본 발명의 과제 해결 수단의 일부 실시예 중 하나에 의하면, 지지 스틱의 간섭에 의해 마스크에 손상이 발생되는 것이 억제된 마스크 조립체가 제공된다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 여러 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예들에 한정되지 않는다.
또한, 여러 실시예들에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적으로 제1 실시예에서 설명하고, 그 외의 실시예에서는 제1 실시예와 다른 구성에 대해서만 설명하기로 한다.
본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다.
또한, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 그리고 도면에서, 설명의 편의를 위해, 일부 층 및 영역의 두께를 과장되게 나타내었다. 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 “위에” 또는 “상에” 있다고 할 때, 이는 다른 부분 “바로 위에” 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 어떤 부분이 다른 부분 “바로 위에” 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 없는 것을 뜻한다.
이하, 도 1 내지 도 4를 참조하여 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크 조립체에 대하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크 조립체를 나타낸 분해 사시도이다. 도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크 조립체를 나타낸 평면도이다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크 조립체(101)는 프레임(100), 마스크(200) 및 지지 스틱(300)을 포함한다.
프레임(100)은 마스크(200) 및 지지 스틱(300) 각각의 양단을 고정 및 지지하고, 마스크(200)를 노출시키는 개구부(110)를 포함한다. 프레임(100)은 개구부(110)를 사이에 두고 후술할 지지 스틱(300)의 연장 방향인 제1 방향(x)을 따라 서로 마주하는 한 쌍의 제1 지지부(120) 및 개구부(110)를 사이에 두고 제1 방향(x)과 교차하는 제2 방향(y)을 따라 서로 마주하는 한 쌍의 제2 지지부(130)를 더 포함한다. 제1 지지부(120)에는 지지 스틱(300)이 고정되며, 제2 지지부(130)에는 용접 등의 고정 방법을 이용해 마스크(200)의 양단이 고정된다. 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크 조립체(101)의 프레임(100)에서 제1 지지부(120)가 사각형 형상을 가진 프레임(100)의 장변을 구성하고, 제2 지지부(130)가 프레임(100)의 단변을 구성하나, 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 조립체의 프레임에서 제1 지지부 및 제2 지지부(130)는 실질적으로 동일한 길이로 형성될 수 있다. 또한, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 마스크 조립체의 프레임은 다각형 또는 원형의 형상으로 구성될 수 있다.
또한, 프레임(100)은 지지 스틱(300)의 양단이 삽입되는 삽입부(140)를 더 포함한다. 삽입부(140)는 제2 지지부(130)의 표면으로부터 함몰 형성되어 있는 홈(groove) 형태이다. 삽입부(140)의 깊이는 삽입부(140)에 삽입되는 지지 스틱(300)의 두께와 실질적으로 동일하며, 지지 스틱(300)의 양단이 삽입부(140)에 삽입됨으로써, 지지 스틱(300)의 표면과 프레임(100)의 표면은 동일한 선 상에 위 치하게 된다. 즉, 지지 스틱(300)의 양단이 프레임(100)의 삽입부(140)에 삽입됨으로써, 프레임(100)과 지지 스틱(300)이 동일한 위상에서 마스크(200)를 접촉 지지한다.
프레임(100)에 고정되는 마스크(200)는 인장력이 인가된 상태로 마스크(200)에 지지되는데, 프레임(100)은 마스크(200)에 인가된 인장력에 의해 마스크(200)의 연장 방향인 제2 방향(y)을 따라 압축력이 작용하기 때문에, 마스크(200)의 압축력에 의한 변형이 일어나지 않도록 강성이 큰 스테인리스강(stainless steel) 등과 같은 금속 재료로 형성된다.
마스크(200)는 제2 방향(y)으로 연장되어 양단이 프레임(100)에 지지되며, 증착 공정 시 하나의 유기 발광 표시 장치와 대응하여 유기 발광 표시 장치가 형성될 마더 기판을 증착 수단에 대해 노출하는 패턴부(210)를 포함한다. 패턴부(210)는 유기 발광 표시 장치를 구성하는 배선 또는 발광층 등과 대응하는 오픈 패턴이다. 마스크(200)는 복수개이며, 복수개의 마스크(200)가 제1 방향(x)을 따라 배치되어 있다.
이와 같이 하나의 유기 발광 표시 장치와 대응하는 패턴부(210)를 포함하는 복수개의 마스크(200)를 제1 방향(x)을 따라 배치함으로써, 하나의 마스크 조립체(101)를 이용하여 마더 기판에 복수개의 유기 발광 표시 장치를 제조할 수 있다.
또한, 복수개의 마스크(200)를 프레임(100)에 배치 및 고정시켜 마스크 조립체(101)를 구성함으로써, 복수개의 마스크(200) 중 패턴 정밀도가 우수한 마스크(200)만을 선별하여 프레임(100)에 배치할 수 있기 때문에, 마스크(200)에 포함 된 패턴부(210)의 형상 오차를 줄일 수 있다.
또한, 프레임(100)에 의해 마스크(200)가 인장력이 가해진 상태로 프레임(100)에 지지됨으로써, 마스크(200)의 연장 방향인 제2 방향(y)을 따라 균일한 인장력이 가해지기 때문에, 마스크(200)의 특정 부위에 응력이 집중되는 것이 최소화된다. 즉, 증착 공정에서 일어날 수 있는 열팽창에 의해 마스크(200)에 변형이 발생되는 것이 억제됨으로써, 마스크(200)의 패턴부(210)가 변형되는 것이 억제된다.
지지 스틱(300)은 프레임(100)의 개구부(110)에 위치하며, 양단이 프레임(100)의 삽입부(140)에 삽입되어 프레임(100)에 지지되어 있다. 지지 스틱(300)은 개구부(110) 상에서 마스크(200)의 연장 방향인 제2 방향(y)과 교차하는 제1 방향(x)으로 연장되어 있으며, 마스크(200)와 프레임(100) 사이에서 마스크(200)를 접촉 지지하고 있다.
지지 스틱(300)은 복수의 마스크(200) 하측에서 프레임(100)의 개구부(110)를 가로지르며 위치하여 개구부(110) 위에 플로팅(floating)되어 있는 마스크(200)의 중앙 부분에 접촉되어 마스크(200)를 받쳐서 지지한다. 지지 스틱(300)은 강성이 큰 재료로 이루어지며, 일례로 프레임(100)과 실질적으로 동일한 금속으로 형성될 수 있다. 프레임(100)과 지지 스틱(300)이 동일한 재료로 형성되면 프레임(100)과 지지 스틱(300)이 동일한 열팽창 특성을 나타내기 때문에, 증착 공정 시 열팽창 특성 차이에 의한 마스크 조립체(101)의 전체적인 변형이 억제된다.
지지 스틱(300)은 하나 또는 복수개로 구비되며, 원형 또는 다각형 등의 다 양한 단면을 가지도록 형성된다. 복수개의 지지 스틱(300)은 마스크(200)의 연장 방향인 제2 방향(y)을 따라 상호 이격되어 위치한다. 지지 스틱(300)은 마스크(200)의 패턴부(210) 사이에 위치하여 증착 공정 시 패턴부(210)를 가리지 않도록 위치한다. 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크 조립체(101)는 사각형의 단면 형상을 가지는 2개의 지지 스틱(300)이 구비되는 경우를 도시하였으나, 다른 실시예에서 지지 스틱의 단면 형상은 원형 또는 다각형의 형상을 가질 수 있으며, 지지 스틱의 개수는 3개 이상일 수 있다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크 조립체에 포함된 지지 스틱을 나타낸 평면도이다. 도 4는 도 2의 Ⅳ-Ⅳ를 따른 단면도이다.
도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 지지 스틱(300)은 연통 패턴(310) 및 접촉 지지부(320)를 포함한다.
연통 패턴(310)은 지지 스틱(300)을 관통하여 형성되어 있으며, 사각형 형상을 가지고 있다. 연통 패턴(310)은 지지 스틱(300)을 관통하여 형성됨으로써, 지지 스틱(300)에 대응하는 마스크(200)의 일 부분을 개구부(110)와 연통시킨다. 연통 패턴(310)은 복수개이며, 이웃하는 연통 패턴(310) 사이에는 접촉 지지부(320)가 위치하고 있다.
접촉 지지부(320)는 지지 스틱(300)을 관통하여 형성되어 있는 연통 패턴(310)과 이웃하며, 마스크(200)와 접촉하여 마스크(200)의 중앙 부분을 지지하고 있다.
이와 같이, 지지 스틱(300)은 지지 스틱(300)에 대응하는 마스크(200)의 일 부분이 개구부(110)와 연통하도록 지지 스틱(300)을 관통하여 형성되어 있는 연통 패턴(310)을 포함함으로써, 지지 스틱(300)의 접촉 지지부(320)만이 마스크(200)와 접촉하고 있다. 즉, 마스크(200)와 대향하는 지지 스틱(300)의 전체 표면 중 연통 패턴(310)이 형성된 부분을 제외한 접촉 지지부(320)만이 마스크(200)와 접촉하고 있음으로써, 지지 스틱(300)의 간섭에 의해 지지 스틱(300)과 접촉하고 있는 마스크(200)에 손상이 발생되는 것이 억제된다.
보다 상세하게는, 지지 스틱(300)이 제1 방향(x)으로 연장된 막대 형상으로 형성되어 증착 공정 후 마스크 조립체(101)를 세척하는 공정을 수행할 때, 세척 수단으로서 사용되는 초음파 등의 파동에 의해 마스크(200)에 접촉 지지되는 지지 스틱(300)이 공진할 수 있는데, 지지 스틱(300)이 공진하더라도 마스크(200)와 접촉하고 있는 접촉 지지부(320)만이 마스크(200)에 간섭을 줌으로써, 지지 스틱(300)의 공진에 따라 마스크(200)에 손상이 발생되는 것이 억제된다. 특히, 마스크와 대향하는 지지 스틱의 전체 표면이 마스크와 접촉하는 종래의 마스크 조립체에 비해, 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크 조립체(101)는 마스크(200)와 대향하는 지지 스틱(300)의 전체 표면 중 작은 부분인 접촉 지지부(320)만이 마스크(200)에 접촉하기 때문에, 종래의 마스크 조립체에 비해 지지 스틱(300)에 의해 마스크(200)에 손상이 발생되는 것이 억제된다.
이하, 도 5를 참조하여 본 발명의 제1 실시에 따른 마스크 조립체(101)를 이용한 유기 발광 표시 장치의 증착 공정을 설명한다.
도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크 조립체를 이용한 유기 발광 표 시 장치의 증착 공정을 나타낸 개략 단면도이다.
도 5에 도시된 바와 같이, 우선, 프레임(100)은 증착 설비 내의 프레임 홀더(10)에 고정되고, 복수의 마스크(200) 상에 마더 기판(50)이 안착된다.
다음, 증착 수단(20)으로부터 전극 재료 또는 발광층 재료 등의 증착 재료가 증발되면, 마스크(200)의 패턴부(210)를 통해 마더 기판(50)에 패턴부(210)와 동일한 형상으로 재료가 증착된다. 이와 같이 마스크 조립체(101)를 이용하여 한 장의 마더 기판(50)에 복수의 유기 발광 표시 장치를 제조할 수 있다. 이러한 증착 과정에서 마더 기판(50)은 프레임(100)의 개구부(110) 위에 플로팅되어 있는 복수의 마스크(200) 상에 안착되지만, 복수의 마스크(200)가 지지 스틱(300)에 의해 지지되기 때문에, 마더 기판(50) 자체의 무게 또는 마스크(200) 자체의 무게에 의해 마스크(200)가 하측 방향으로 쳐지는 것이 방지된다. 즉, 지지 스틱(300)에 의해 마스크(200)의 변형이 억제되며, 이로 인해 증착 공정 시 정밀도가 향상된다.
이상과 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크 조립체(101)는 지지 스틱(300)을 포함함으로써, 증착 공정 시 정밀도가 향상되는 동시에 지지 스틱(300)에 의해 마스크(200)에 손상이 발생되는 것이 억제된다.
이하, 도 6을 참조하여 본 발명의 제2 실시예에 따른 마스크 조립체를 설명한다.
도 6은 본 발명의 제2 실시예에 따른 마스크 조립체에 포함된 지지 스틱을 나타낸 평면도이다.
도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2 실시예에 따른 마스크 조립체의 지 지 스틱(302)은 연통 패턴(310) 및 접촉 지지부(320)를 포함한다.
연통 패턴(310)은 지지 스틱(302)을 관통하여 형성되어 있으며, 원형 형상을 가지고 있다. 연통 패턴(310)은 지지 스틱(302)을 관통하여 형성됨으로써, 지지 스틱(302)에 대응하는 마스크(200)의 일 부분을 개구부(110)와 연통시킨다. 연통 패턴(310)은 복수개이며, 이웃하는 연통 패턴(310) 사이에는 접촉 지지부(320)가 위치하고 있다.
접촉 지지부(320)는 지지 스틱(302)을 관통하여 형성되어 있는 연통 패턴(310)과 이웃하며, 마스크(200)와 접촉하여 마스크(200)의 중앙 부분을 지지하고 있다.
이와 같이, 본 발명의 제2 실시예에 따른 마스크 조립체는 지지 스틱(302)에 관통 형성된 원형의 연통 패턴(310)에 의해 마스크(200)와 대향하는 지지 스틱(302)의 전체 표면 중 작은 부분인 접촉 지지부(320)만이 마스크(200)에 접촉하기 때문에, 종래의 마스크 조립체에 비해 지지 스틱(302)에 의해 마스크(200)에 손상이 발생되는 것이 억제된다.
이하, 도 7 및 도 8을 참조하여 본 발명의 제3 실시예에 따른 마스크 조립체를 설명한다.
도 7은 본 발명의 제3 실시예에 따른 마스크 조립체에 포함된 지지 스틱을 나타낸 평면도이다. 도 8은 도 7의 Ⅷ-Ⅷ을 따른 단면도이다.
도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제3 실시예에 따른 마스크 조립체의 지지 스틱(303)은 연통 패턴(310) 및 접촉 지지부(320)를 포함한다.
연통 패턴(310)은 지지 스틱(303)의 표면으로부터 함몰되어 형성되어 있으며, 사각 형의 홈 형상이다. 연통 패턴(310)은 지지 스틱(303)의 표면으로부터 함몰되어 형성됨으로써, 지지 스틱(303)에 대응하는 마스크(200)의 일 부분을 개구부(110)와 연통시킨다. 연통 패턴(310)은 복수개이며, 이웃하는 연통 패턴(310) 사이에는 접촉 지지부(320)가 위치하고 있다.
접촉 지지부(320)는 지지 스틱(303)의 표면으로부터 함몰되어 형성되어 있는 연통 패턴(310)과 이웃하며, 마스크(200)와 접촉하여 마스크(200)의 중앙 부분을 지지하고 있다.
이와 같이, 본 발명의 제3 실시예에 따른 마스크 조립체는 지지 스틱(303)의 표면으로부터 함몰 형성된 사각형의 연통 패턴(310)에 의해 마스크(200)와 대향하는 지지 스틱(303)의 전체 표면 중 작은 부분인 접촉 지지부(320)만이 마스크(200)에 접촉하기 때문에, 종래의 마스크 조립체에 비해 지지 스틱(303)에 의해 마스크(200)에 손상이 발생되는 것이 억제된다.
이하, 도 9 및 도 10을 참조하여 본 발명의 제4 실시예에 따른 마스크 조립체를 설명한다.
도 9는 본 발명의 제4 실시예에 따른 마스크 조립체에 포함된 지지 스틱을 나타낸 평면도이다. 도 10은 도 9의 Ⅹ-Ⅹ을 따른 단면도이다.
도 9 및 도 10에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제4 실시예에 따른 마스크 조립체의 지지 스틱(304)은 그루브(340) 및 접촉 지지부(320)를 포함한다.
접촉 지지부(320)는 그루브(340)를 지지 스틱(304)의 표면 상에서 감싸도록 형성되어 있으며, 그루브(340)는 지지 스틱(304)의 표면으로부터 함몰되어 형성되어 있으며, 사각 형의 홈 형상이다. 그루브(340)는 지지 스틱(304)의 표면으로부터 함몰되어 형성됨으로써, 지지 스틱(304)에 대응하는 마스크(200)와 폐공간(close space)를 형성한다. 그루브(340)는 복수개이며, 이웃하는 그루브(340) 사이에는 접촉 지지부(320)가 위치하고 있다.
접촉 지지부(320)는 지지 스틱(304)의 표면으로부터 함몰되어 형성되어 있는 그루브(340)를 지지 스틱(304)의 표면 상에서 감싸고 있으며, 마스크(200)와 접촉함으로써, 마스크(200)의 중앙 부분을 지지함과 동시에 그루브(340)가 마스크(200)와 폐공간을 형성하도록 한다.
이와 같이, 본 발명의 제4 실시예에 따른 마스크 조립체는 지지 스틱(304)의 표면으로부터 함몰 형성된 사각형의 그루브(340)에 의해 마스크(200)와 대향하는 지지 스틱(304)의 전체 표면 중 작은 부분인 접촉 지지부(320)만이 마스크(200)에 접촉하기 때문에, 종래의 마스크 조립체에 비해 지지 스틱(304)에 의해 마스크(200)에 손상이 발생되는 것이 억제된다.
본 발명을 앞서 기재한 바에 따라 바람직한 실시예를 통해 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며 다음에 기재하는 특허청구범위의 개념과 범위를 벗어나지 않는 한, 다양한 수정 및 변형이 가능하다는 것을 본 발명이 속하는 기술 분야에 종사하는 자들은 쉽게 이해할 것이다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크 조립체를 나타낸 분해 사시도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크 조립체를 나타낸 평면도이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크 조립체에 포함된 지지 스틱을 나타낸 평면도이다.
도 4는 도 2의 Ⅳ-Ⅳ를 따른 단면도이다.
도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크 조립체를 이용한 유기 발광 표시 장치의 증착 공정을 나타낸 개략 단면도이다.
도 6은 본 발명의 제2 실시예에 따른 마스크 조립체에 포함된 지지 스틱을 나타낸 평면도이다.
도 7은 본 발명의 제3 실시예에 따른 마스크 조립체에 포함된 지지 스틱을 나타낸 평면도이다.
도 8은 도 7의 Ⅷ-Ⅷ을 따른 단면도이다.
도 9는 본 발명의 제4 실시예에 따른 마스크 조립체에 포함된 지지 스틱을 나타낸 평면도이다.
도 10은 도 9의 Ⅹ-Ⅹ을 따른 단면도이다.

Claims (13)

  1. 개구부를 포함하는 프레임;
    상기 개구부에 위치하며, 상기 개구부 상에서 제1 방향으로 연장되어 양단이 상기 프레임에 지지되는 지지 스틱; 및
    상기 지지 스틱에 접촉 지지되어 상기 개구부 상에 위치하며, 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장되어 양단이 상기 프레임에 지지되는 마스크
    를 포함하며,
    상기 지지 스틱은 상기 마스크를 상기 개구부와 연통시키는 연통 패턴을 포함하는 마스크 조립체.
  2. 제1항에서,
    상기 지지 스틱은 상기 연통 패턴과 이웃하며, 상기 마스크와 접촉하는 접촉 지지부를 더 포함하는 마스크 조립체.
  3. 제2항에서,
    상기 연통 패턴은 상기 지지 스틱을 관통하여 형성되는 마스크 조립체.
  4. 제2항에서,
    상기 연통 패턴은 상기 지지 스틱의 표면으로부터 함몰되어 형성되는 마스크 조립체.
  5. 제2항에서,
    상기 연통 패턴은 복수개이며, 이웃하는 연통 패턴 사이에는 상기 접촉 지지부가 위치하는 마스크 조립체.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에서,
    상기 연통 패턴은 다각형인 마스크 조립체.
  7. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에서,
    상기 연통 패턴은 원형인 마스크 조립체.
  8. 제1항에서,
    상기 프레임은 상기 지지 스틱의 상기 양단이 삽입되는 삽입부를 더 포함하며,
    상기 삽입부의 깊이는 상기 지지 스틱의 두께와 실질적으로 동일한 마스크 조립체.
  9. 제1항에서,
    상기 마스크는 복수개이며, 상기 복수개의 마스크가 상기 제1 방향을 따라 배치되는 마스크 조립체.
  10. 제1항에서,
    상기 마스크의 상기 양단은 인장력이 가해진 상태로 상기 프레임에 지지되는 마스크 조립체.
  11. 개구부를 포함하는 프레임;
    상기 개구부에 위치하며, 상기 개구부 상에서 제1 방향으로 연장되어 양단이 상기 프레임에 지지되는 지지 스틱; 및
    상기 지지 스틱에 접촉 지지되어 상기 개구부 상에 위치하며, 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장되어 양단이 상기 프레임에 지지되는 마스크
    를 포함하며,
    상기 지지 스틱은 상기 마스크와 폐공간을 형성하는 그루브를 포함하는 마스크 조립체.
  12. 제11항에서,
    상기 지지 스틱은 상기 그루브를 상기 지지 스틱의 표면 상에서 감싸며, 상기 마스크와 접촉하는 접촉 지지부를 더 포함하는 마스크 조립체.
  13. 제12항에서,
    상기 그루브는 상기 지지 스틱의 표면으로부터 함몰되어 형성되는 마스크 조립체.
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Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102766841A (zh) * 2011-05-06 2012-11-07 三星移动显示器株式会社 用于薄膜沉积的掩模框架组件及其制造方法
KR101275499B1 (ko) * 2011-07-06 2013-06-20 주식회사 테스 마스크 어셈블리
KR20150042600A (ko) * 2013-10-11 2015-04-21 삼성디스플레이 주식회사 마스크 조립체 및 이를 이용한 평판표시장치용 증착 장치
KR20160005272A (ko) * 2014-07-04 2016-01-14 삼성디스플레이 주식회사 박막 증착용 마스크 프레임 어셈블리
KR101622483B1 (ko) * 2014-08-13 2016-05-18 에이유 오프트로닉스 코퍼레이션 증착 마스크
US9530961B2 (en) 2014-09-17 2016-12-27 Samsung Display Co., Ltd. Mask assembly for deposition, deposition apparatus, and method employing the same
KR20160150209A (ko) * 2015-06-19 2016-12-29 삼성디스플레이 주식회사 마스크 프레임 조립체 및 그 제조방법
KR20180009846A (ko) * 2016-07-19 2018-01-30 삼성디스플레이 주식회사 마스크 프레임 조립체
US10236475B2 (en) 2016-06-15 2019-03-19 Samsung Display Co., Ltd Mask frame assembly and manufacturing method thereof

Families Citing this family (57)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5258278B2 (ja) * 2007-12-13 2013-08-07 キヤノントッキ株式会社 成膜用マスク及びマスク密着方法
JP5328726B2 (ja) 2009-08-25 2013-10-30 三星ディスプレイ株式會社 薄膜蒸着装置及びこれを利用した有機発光ディスプレイ装置の製造方法
JP5677785B2 (ja) 2009-08-27 2015-02-25 三星ディスプレイ株式會社Ｓａｍｓｕｎｇ Ｄｉｓｐｌａｙ Ｃｏ．，Ｌｔｄ． 薄膜蒸着装置及びこれを利用した有機発光表示装置の製造方法
US8876975B2 (en) 2009-10-19 2014-11-04 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
KR101030030B1 (ko) * 2009-12-11 2011-04-20 삼성모바일디스플레이주식회사 마스크 조립체
KR101084184B1 (ko) 2010-01-11 2011-11-17 삼성모바일디스플레이주식회사 박막 증착 장치
KR101193186B1 (ko) 2010-02-01 2012-10-19 삼성디스플레이 주식회사 박막 증착 장치, 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조방법 및 이에 따라 제조된 유기 발광 디스플레이 장치
KR101232181B1 (ko) * 2010-02-03 2013-02-12 엘지디스플레이 주식회사 마스크 어셈블리
KR101156441B1 (ko) 2010-03-11 2012-06-18 삼성모바일디스플레이주식회사 박막 증착 장치
KR101223723B1 (ko) 2010-07-07 2013-01-18 삼성디스플레이 주식회사 박막 증착 장치, 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조방법 및 이에 따라 제조된 유기 발광 디스플레이 장치
KR20120029895A (ko) * 2010-09-17 2012-03-27 삼성모바일디스플레이주식회사 박막 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법
KR101723506B1 (ko) 2010-10-22 2017-04-19 삼성디스플레이 주식회사 유기층 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법
KR20120045865A (ko) 2010-11-01 2012-05-09 삼성모바일디스플레이주식회사 유기층 증착 장치
KR101742816B1 (ko) * 2010-12-20 2017-06-02 삼성디스플레이 주식회사 마스크 프레임 조립체, 이의 제조 방법 및 이를 이용한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법
KR101760897B1 (ko) 2011-01-12 2017-07-25 삼성디스플레이 주식회사 증착원 및 이를 구비하는 유기막 증착 장치
KR101813549B1 (ko) * 2011-05-06 2018-01-02 삼성디스플레이 주식회사 분할 마스크와 그 분할 마스크를 포함한 마스크 프레임 조립체의 조립장치
KR101852517B1 (ko) 2011-05-25 2018-04-27 삼성디스플레이 주식회사 유기층 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법
KR101840654B1 (ko) * 2011-05-25 2018-03-22 삼성디스플레이 주식회사 유기층 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법
KR101857249B1 (ko) 2011-05-27 2018-05-14 삼성디스플레이 주식회사 패터닝 슬릿 시트 어셈블리, 유기막 증착 장치, 유기 발광 표시장치제조 방법 및 유기 발광 표시 장치
KR20130028165A (ko) * 2011-06-21 2013-03-19 삼성디스플레이 주식회사 마스크 유닛
KR101826068B1 (ko) 2011-07-04 2018-02-07 삼성디스플레이 주식회사 유기층 증착 장치
CN103668049A (zh) * 2012-09-07 2014-03-26 昆山允升吉光电科技有限公司 一种大尺寸oled蒸镀用掩模板组件
CN103668052A (zh) * 2012-09-07 2014-03-26 昆山允升吉光电科技有限公司 一种复合掩模板组件
CN103668053A (zh) * 2012-09-07 2014-03-26 昆山允升吉光电科技有限公司 一种掩模框架及其对应的掩模组件
KR101995500B1 (ko) * 2012-11-20 2019-10-02 삼성디스플레이 주식회사 단위 마스크 및 마스크 조립체
CN103911584B (zh) * 2012-12-31 2017-07-04 上海天马微电子有限公司 一种掩膜板
CN103938153A (zh) * 2013-01-22 2014-07-23 昆山允升吉光电科技有限公司 一种蒸镀用掩模组件及相应的掩模板安装方法
KR102162790B1 (ko) * 2013-05-02 2020-10-08 삼성디스플레이 주식회사 마스크 프레임 조립체용 용접기
KR20150019695A (ko) * 2013-08-14 2015-02-25 삼성디스플레이 주식회사 단위 마스크 및 마스크 조립체
CN103695841A (zh) * 2013-11-28 2014-04-02 昆山允升吉光电科技有限公司 一种掩模组件的组装方法
JP6288497B2 (ja) * 2013-12-13 2018-03-07 株式会社ブイ・テクノロジー マスク及びその製造方法
CN103713466B (zh) * 2013-12-30 2016-05-11 京东方科技集团股份有限公司 掩膜板及其制作方法
KR102140303B1 (ko) * 2014-09-17 2020-08-03 삼성디스플레이 주식회사 마스크 프레임 조립체, 그 제조 방법 및 유기 발광 표시 장치의 제조 방법
CN104561892B (zh) * 2014-12-04 2016-11-23 深圳市华星光电技术有限公司 Oled材料真空热蒸镀用掩膜板
CN104536260A (zh) * 2014-12-31 2015-04-22 深圳市华星光电技术有限公司 组合式掩模板及其制作方法
CN104611668B (zh) * 2015-01-29 2017-03-01 京东方科技集团股份有限公司 用于掩膜板的框架和掩膜板
CN105039907B (zh) * 2015-09-22 2018-08-21 深圳市华星光电技术有限公司 一种掩膜板的固定组件
KR102549358B1 (ko) * 2015-11-02 2023-06-29 삼성디스플레이 주식회사 증착 마스크 조립체 및 이를 이용한 표시 장치의 제조 방법
CN105839052A (zh) * 2016-06-17 2016-08-10 京东方科技集团股份有限公司 掩膜板以及掩膜板的组装方法
CN106086782B (zh) * 2016-06-28 2018-10-23 京东方科技集团股份有限公司 一种掩膜版组件及其安装方法、蒸镀装置
CN106480404B (zh) * 2016-12-28 2019-05-03 京东方科技集团股份有限公司 一种掩膜集成框架及蒸镀装置
CN108796433B (zh) * 2017-04-27 2024-01-30 京东方科技集团股份有限公司 掩模片、掩模板及其组装方法
CN206706184U (zh) * 2017-05-12 2017-12-05 京东方科技集团股份有限公司 掩模板以及掩模片
US11066742B2 (en) * 2017-09-28 2021-07-20 Sharp Kabushiki Kaisha Vapor deposition mask
KR102506005B1 (ko) * 2017-09-28 2023-03-08 삼성디스플레이 주식회사 마스크 조립체 및 마스크 조립체의 제조 방법
CN107815642A (zh) * 2017-12-13 2018-03-20 唐军 高精密掩膜版
CN108977763B (zh) * 2018-06-20 2020-02-14 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 有源矩阵有机发光二极管精细荫罩组件及其制造方法
CN108866476B (zh) * 2018-06-29 2020-03-10 京东方科技集团股份有限公司 掩膜版及其制作方法、蒸镀方法、显示屏
KR20200036998A (ko) * 2018-09-28 2020-04-08 삼성디스플레이 주식회사 마스크 프레임 조립체 및 그 제조방법
JP2020128591A (ja) * 2019-02-06 2020-08-27 大日本印刷株式会社 蒸着マスク装置、マスク支持機構及び蒸着マスク装置の製造方法
CN110629158B (zh) * 2019-10-31 2021-01-05 昆山国显光电有限公司 一种掩膜版
CN113423856B (zh) * 2019-11-05 2023-04-18 京东方科技集团股份有限公司 掩模装置、掩模板及框架
WO2021092759A1 (zh) * 2019-11-12 2021-05-20 京东方科技集团股份有限公司 掩模板
US11613802B2 (en) * 2020-04-17 2023-03-28 Rockwell Collins, Inc. Additively manufactured shadow masks for material deposition control
TWI730784B (zh) * 2020-05-25 2021-06-11 友達光電股份有限公司 遮罩組件
KR20220030437A (ko) * 2020-08-31 2022-03-11 삼성디스플레이 주식회사 마스크, 이의 제조 방법, 및 표시 패널 제조 방법
KR20230097288A (ko) * 2021-12-23 2023-07-03 삼성디스플레이 주식회사 마스크 어셈블리 및 이를 포함한 증착 설비

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004335382A (ja) 2003-05-09 2004-11-25 Dainippon Printing Co Ltd 多面付けマスク装置及びその組立方法
KR20050033086A (ko) * 2003-10-04 2005-04-12 삼성오엘이디 주식회사 유기 전자 발광 소자의 박막 증착용 마스크 프레임 조립체및, 그것을 이용한 박막 증착 방법
KR20080054741A (ko) * 2006-12-13 2008-06-19 엘지디스플레이 주식회사 유기전계발광소자용 프레임 마스크 조립체 및 이의제작방법
KR20090053417A (ko) * 2007-11-23 2009-05-27 삼성모바일디스플레이주식회사 평판 표시장치의 박막 증착용 마스크 조립체

Family Cites Families (45)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3226255A (en) * 1961-10-31 1965-12-28 Western Electric Co Masking method for semiconductor
US3747558A (en) * 1972-11-03 1973-07-24 Us Air Force Cross-mounted mask changer with thickness monitoring
US3841261A (en) * 1973-01-22 1974-10-15 Gen Motors Corp Self-aligning etch-out spray mask
US4511599A (en) * 1983-03-01 1985-04-16 Sigmatron Associates Mask for vacuum depositing back metal electrodes on EL panel
US4623608A (en) * 1985-03-14 1986-11-18 Rca Corporation Method and apparatus for coating a selected area of the surface of an object
US5286343A (en) * 1992-07-24 1994-02-15 Regents Of The University Of California Method for protecting chip corners in wet chemical etching of wafers
JPH1050584A (ja) * 1996-08-07 1998-02-20 Nikon Corp マスク保持装置
JP3672715B2 (ja) * 1997-11-26 2005-07-20 Ｈｏｙａ株式会社 マスクホルダー付き転写マスク及び転写マスク用ホルダー
JP2000147781A (ja) * 1998-11-06 2000-05-26 Ngk Insulators Ltd スクリーンマスク及びその製造方法並びに配線基板
JP4006173B2 (ja) * 2000-08-25 2007-11-14 三星エスディアイ株式会社 メタルマスク構造体及びその製造方法
KR20000072485A (ko) 2000-09-06 2000-12-05 김종현 마이크로디스플레이 유기발광소자용 새도우 마스크의제조방법
KR100647573B1 (ko) * 2000-10-13 2006-11-17 삼성에스디아이 주식회사 칼라 음극선관용 텐션마스크 조립체
JP2002203806A (ja) * 2000-10-31 2002-07-19 Toshiba Corp 半導体装置の製造方法、ステンシルマスク及びその製造方法
KR100490534B1 (ko) * 2001-12-05 2005-05-17 삼성에스디아이 주식회사 유기 전자 발광 소자의 박막 증착용 마스크 프레임 조립체
US6777143B2 (en) * 2002-01-28 2004-08-17 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Multiple mask step and scan aligner
US7006202B2 (en) * 2002-02-21 2006-02-28 Lg.Philips Lcd Co., Ltd. Mask holder for irradiating UV-rays
US6955726B2 (en) * 2002-06-03 2005-10-18 Samsung Sdi Co., Ltd. Mask and mask frame assembly for evaporation
WO2004028214A1 (en) * 2002-09-20 2004-04-01 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Fabrication system and manufacturing method of light emitting device
US6926840B2 (en) * 2002-12-31 2005-08-09 Eastman Kodak Company Flexible frame for mounting a deposition mask
KR100534580B1 (ko) * 2003-03-27 2005-12-07 삼성에스디아이 주식회사 표시장치용 증착 마스크 및 그의 제조방법
KR101006435B1 (ko) * 2003-09-01 2011-01-06 삼성전자주식회사 노광 마스크, 이를 포함하는 노광 장치 및 이를 이용한표시 장치용 표시판의 제조 방법
KR100696472B1 (ko) * 2004-07-15 2007-03-19 삼성에스디아이 주식회사 증착 마스크, 이를 이용한 유기 전계 발광 소자의 제조방법
US7821199B2 (en) * 2004-09-08 2010-10-26 Toray Industries, Inc. Organic electroluminescent device and manufacturing method thereof
KR100708654B1 (ko) 2004-11-18 2007-04-18 삼성에스디아이 주식회사 마스크 조립체 및 이를 이용한 마스크 프레임 조립체
WO2007133252A2 (en) * 2006-05-10 2007-11-22 Advantech Global, Ltd. Tensioned aperture mask and method of mounting
KR100971753B1 (ko) * 2007-11-23 2010-07-21 삼성모바일디스플레이주식회사 평판 표시장치의 박막 증착용 마스크 조립체
KR20090059225A (ko) 2007-12-06 2009-06-11 엘지디스플레이 주식회사 분할 마스크
KR20090105614A (ko) 2008-04-03 2009-10-07 삼성모바일디스플레이주식회사 박막 증착용 마스크 조립체
DE102008037387A1 (de) * 2008-09-24 2010-03-25 Aixtron Ag Verfahren sowie Vorrichtung zum Abscheiden lateral strukturierter Schichten mittels einer magnetisch auf einem Substrathalter gehaltenen Schattenmaske
KR101117645B1 (ko) * 2009-02-05 2012-03-05 삼성모바일디스플레이주식회사 마스크 조립체 및 이를 이용한 평판표시장치용 증착 장치
JP2011034681A (ja) * 2009-07-29 2011-02-17 Hitachi Displays Ltd 金属加工方法、金属マスク製造方法及び有機ｅｌ表示装置製造方法
KR101135544B1 (ko) * 2009-09-22 2012-04-17 삼성모바일디스플레이주식회사 마스크 조립체, 이의 제조 방법 및 이를 이용한 평판표시장치용 증착 장치
KR101030030B1 (ko) * 2009-12-11 2011-04-20 삼성모바일디스플레이주식회사 마스크 조립체
KR101107159B1 (ko) * 2009-12-17 2012-01-25 삼성모바일디스플레이주식회사 평판 표시장치의 박막 증착용 마스크 조립체
KR101274718B1 (ko) * 2010-01-28 2013-06-12 엘지디스플레이 주식회사 증착마스크 및 그를 포함하는 마스크 어셈블리
KR101309864B1 (ko) * 2010-02-02 2013-09-16 엘지디스플레이 주식회사 마스크 어셈블리
KR101232181B1 (ko) * 2010-02-03 2013-02-12 엘지디스플레이 주식회사 마스크 어셈블리
KR101174879B1 (ko) * 2010-03-09 2012-08-17 삼성디스플레이 주식회사 박막 증착용 마스크 프레임 조립체 및 그 조립방법
EP2397899A1 (en) * 2010-06-15 2011-12-21 Applied Materials, Inc. Mask holding device
EP2423350B1 (en) * 2010-08-27 2013-07-31 Applied Materials, Inc. Carrier for a substrate and a method for assembling the same
KR20120123918A (ko) * 2011-05-02 2012-11-12 삼성디스플레이 주식회사 분할 마스크 및 이를 이용한 마스크 프레임 조립체의 조립방법
KR101837624B1 (ko) * 2011-05-06 2018-03-13 삼성디스플레이 주식회사 박막 증착용 마스크 프레임 조립체 및 그 제조방법
KR101833234B1 (ko) * 2011-06-21 2018-03-02 삼성디스플레이 주식회사 박막 증착용 마스크 프레임 어셈블리
KR101995500B1 (ko) * 2012-11-20 2019-10-02 삼성디스플레이 주식회사 단위 마스크 및 마스크 조립체
KR102130546B1 (ko) * 2013-10-11 2020-07-07 삼성디스플레이 주식회사 마스크 조립체 및 이를 이용한 평판표시장치용 증착 장치

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004335382A (ja) 2003-05-09 2004-11-25 Dainippon Printing Co Ltd 多面付けマスク装置及びその組立方法
KR20050033086A (ko) * 2003-10-04 2005-04-12 삼성오엘이디 주식회사 유기 전자 발광 소자의 박막 증착용 마스크 프레임 조립체및, 그것을 이용한 박막 증착 방법
KR20080054741A (ko) * 2006-12-13 2008-06-19 엘지디스플레이 주식회사 유기전계발광소자용 프레임 마스크 조립체 및 이의제작방법
KR20090053417A (ko) * 2007-11-23 2009-05-27 삼성모바일디스플레이주식회사 평판 표시장치의 박막 증착용 마스크 조립체

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10344376B2 (en) 2011-05-06 2019-07-09 Samsung Display Co., Ltd. Mask frame assembly for thin film deposition and method of manufacturing the same
CN102766841A (zh) * 2011-05-06 2012-11-07 三星移动显示器株式会社 用于薄膜沉积的掩模框架组件及其制造方法
KR101275499B1 (ko) * 2011-07-06 2013-06-20 주식회사 테스 마스크 어셈블리
KR20150042600A (ko) * 2013-10-11 2015-04-21 삼성디스플레이 주식회사 마스크 조립체 및 이를 이용한 평판표시장치용 증착 장치
KR102130546B1 (ko) * 2013-10-11 2020-07-07 삼성디스플레이 주식회사 마스크 조립체 및 이를 이용한 평판표시장치용 증착 장치
KR20160005272A (ko) * 2014-07-04 2016-01-14 삼성디스플레이 주식회사 박막 증착용 마스크 프레임 어셈블리
KR102273049B1 (ko) * 2014-07-04 2021-07-06 삼성디스플레이 주식회사 박막 증착용 마스크 프레임 어셈블리
KR101622483B1 (ko) * 2014-08-13 2016-05-18 에이유 오프트로닉스 코퍼레이션 증착 마스크
US9530961B2 (en) 2014-09-17 2016-12-27 Samsung Display Co., Ltd. Mask assembly for deposition, deposition apparatus, and method employing the same
KR20160150209A (ko) * 2015-06-19 2016-12-29 삼성디스플레이 주식회사 마스크 프레임 조립체 및 그 제조방법
KR102366570B1 (ko) * 2015-06-19 2022-02-25 삼성디스플레이 주식회사 마스크 프레임 조립체 및 그 제조방법
US10236475B2 (en) 2016-06-15 2019-03-19 Samsung Display Co., Ltd Mask frame assembly and manufacturing method thereof
KR20180009846A (ko) * 2016-07-19 2018-01-30 삼성디스플레이 주식회사 마스크 프레임 조립체
KR102544244B1 (ko) 2016-07-19 2023-06-19 삼성디스플레이 주식회사 마스크 프레임 조립체

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