KR102506005B1 - 마스크 조립체 및 마스크 조립체의 제조 방법 - Google Patents

Abstract

마스크 조립체는 마스크 프레임, 마스크, 및 마스크 프레임과 마스크 사이에 배치되고, 장변을 따라 배열된 제1 클램핑부, 중심부 및 제2 클램핑부를 갖는 지지스틱을 포함한다. 지지스틱의 중심부는 상기 마스크와 중첩하고, 지지스틱의 중심선은 상기 지지스틱의 단변의 중점을 지나 제1 클램핑부의 중점을 가로지르도록 장변을 따라 연장되어 정의되고, 지지스틱의 무게 중심은 상기 중심선 상에 정의되고, 중심부는 중심선을 기준으로 상이한 형상을 갖는 제1 부분 및 제2 부분으로 구분된다.

Description

마스크 조립체 및 마스크 조립체의 제조 방법{MASK ASSEMBLY AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME}

본 발명은, 마스크 조립체 및 마스크 조립체의 제조방법에 관한 것으로 마스크 프레임 및 마스크 사이에 지지스틱을 배치하여 증착 물질이 목적하는 위치에 증착될 수 있도록 하는 것이다.

표시 장치는 다양한 시각 정보를 사용자에게 제공하기 위하여 표시 영역을 통해 영상 또는 이미지를 출력한다. 표시 장치들 중 유기 발광 표시 장치는 시야각이 넓고, 컨트라스트가 우수할 뿐만 아니라, 응답 속도가 빠르다는 장점을 가지고 있다. 이러한 유기 발광 표시 장치의 표시 영역은 복수 개의 화소로 이루어져 있으며, 복수 개의 화소들은 증착 물질의 증착 과정을 통해 표시 영역을 형성할 수 있다. 일 예시로, 파인 메달 마스크(FMM)로 유기물을 기판 상에 증착하여 원하는 패턴의 박막을 형성하게 된다.

유기물 증착 과정 시 표시 영역에 증착 물질이 투과되지 않는 비활성 영역을 형성하기 위해 마스크 조립체 및 마스크 사이에 지지스틱을 배치한다. 이때, 지지스틱은 인장력이 가해진 채로 고정되며, 인장력에 의해 변형이 일어나 원하는 위치에 유기물을 증착할 수 없는 문제가 발생한다.

본 발명은 마스크 조립체에 이용되는 지지스틱에 관한 것으로, 인장력이 가해지는 경우 지지스틱의 변형을 최소화하기 위한 마스크 조립체를 제공하는데 그 목적이 있다.

본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체는 개구부를 포함하는 마스크 프레임, 마스크 프레임 상에 배치되는 마스크, 마스크 프레임과 상기 마스크 사이에 배치되고, 장변을 따라 배열된 제1 클램핑부, 중심부 및 제2 클램핑부를 포함하며, 상기 중심부는 상기 마스크와 중첩하는 지지스틱을 포함하고, 상기 지지스틱의 중심선은 상기 지지스틱의 단변의 중점을 지나 상기 제1 클램핑부의 중점을 가로지르도록 상기 장변을 따라 연장되어 정의되고, 상기 지지스틱의 무게 중심은 상기 중심선 상에 정의되고, 상기 중심부는 상기 중심선을 기준으로 상이한 형상을 갖는 제1 부분 및 제2 부분으로 구분된다.

상기 마스크는 복수 개의 개구들을 포함하며, 상기 복수 개의 개구들은 상기 지지스틱과 중첩되는 비활성 영역 및 상기 비활성 영역 이외의 부분인 활성 영역으로 정의될 수 있다.

상기 제1 부분 및 상기 제2 부분은 동일한 면적을 가질 수 있다. 상기 제1 부분 및 상기 제2 부분 각각의 노출되는 변 중 적어도 어느 하나는 패턴부를 포함할 수 있다. 상기 제1 부분 및 상기 제2 부분 각각의 노출되는 변은 서로 상이한 패턴부를 포함할 수 있다. 상기 제1 클램핑부 및 제2 클램핑부의 면적은 동일할 수 있다. 상기 지지스틱의 두께는 50um 에서 150um 사이며, 상기 단변은 1.5mm 에서 50mm 사이일 수 있다. 상기 지지스틱은 비 자성 물질로 이루어질 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체는 장변 및 단변을 포함하고, 상기 장변을 따라 배열된 제1 클램핑부, 중심부 및 제2 클램핑부를 포함하는 지지스틱, 상기 장변 방향을 따라 배열되고 각각이 상기 지지스틱에 중첩하는 복수 개의 마스크들, 상기 장변 방향을 따라 연장되고 상기 지지스틱의 상기 단변의 중점을 지나 상기 제1 클램핑부의 중점을 가로지르도록 정의되는 상기 지지스틱의 중심선, 상기 중심부는 상기 중심선을 기준으로 서로 상이한 형상을 갖는 제1부분 및 제2 부분으로 구분된다.

상기 지지스틱은 복수 개로 이루어지며, 상기 단변 방항을 따라 이격되어 배치될 수 있다.

상기 마스크들은 복수 개의 개구들을 포함하며, 상기 복수 개의 개구들은 상기 지지스틱과 중첩되는 비활성 영역 및 상기 비활성 영역 이외의 부분인 활성 영역으로 정의될 수 있다.

상기 제1 부분 및 상기 제2 부분은 동일한 면적을 가질 수 있다. 상기 제1 부분 및 상기 제2 부분 각각의 노출되는 변 중 적어도 어느 하나는 패턴부를 포함할 수 있다. 상기 제1 부분 및 상기 제2 부분 각각의 노출되는 변은 서로 상이한 패턴부를 포함할 수 있다. 상기 제1 클램핑부 및 제2 클램핑부의 면적은 동일할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체 제조 방법은 개구부를 포함하는 마스크 프레임이 제공되는 단계, 상기 마스크 프레임 상에 배치되고, 장변 및 단변을 포함하고, 장변을 따라 배열된 제1 클램핑부, 중심부 및 제2 클램핑부를 포함하는 지지스틱을 제공하는 단계, 상기 제1 클램핑부 및 상기 제2 클램핑부의 적어도 일부는 클램프로 고정하는 단계, 상기 지지스틱 상에 배치되며, 복수 개의 개구들을 포함하는 마스크들을 제공하는 단계,

상기 지지스틱은 상기 마스크와 상기 마스크 조립체 사이에 배치되고, 상기 마스크와 상기 마스크 조립체를 접합하는 단계를 포함하며, 상기 지지스틱은 상기 장변 방향을 따라 연장되고 상기 지지스틱의 상기 단변의 중점을 지나 상기 제1 클램핑부의 중점을 가로지르도록 정의되는 중심선을 포함하며, 상기 중심부는 상기 중심선을 기준으로 서로 상이한 형상을 갖는 제1 부분 및 제2 부분으로 구분된다.

상기 마스크들이 상기 지지스틱 상에 배치될 때, 상기 복수 개의 개구들은 상기 지지스틱과 중첩되는 비활성 영역 및 상기 비활성 영역 이외의 부분인 활성 영역으로 정의될 수 있다.

상기 지지스틱이 상기 마스크 프레임 상에 배치될 때, 상기 제1 부분 및 상기 제2 부분은 동일한 면적을 가질 수 있다.

상기 마스크들과 상기 마스크 조립체를 접합할 때, 상기 마스크들은 레이저에 의해 상기 마스크 프레임과 접합될 수 있다.

본 발명의 실시예 들에 따르면, 지지스틱의 단변의 길이를 지지스틱의 무게중심으로부터 정의되는 중심선을 기준으로 설정함으로써, 지지스틱에 인장력이 가해질 경우, 인장력에 의한 변형을 최소화 할 수 있다. 이로 인해 유기물 증착 시 유기막이 균일하게 증착 됨으로, 품질이 향상된 표시 장치의 생산이 가능할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체의 일부를 도시한 확대도이다.
도 3는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 영역의 일부를 도시한 등가 회로도이다.
도 4a 및 도 4b들은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 영역의 일부들을 각각 도시한 단면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체 일부를 도시한 확대도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 지지스틱의 평면도이다.
도 7a 및 도 7b들은 본 발명의 일 실시예에 따른 지지스틱들의 평면도이다.
도 8a 내지 도 8d는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체 제조방법의 사시도들이다

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예 들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.

각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 위하여 실제보다 확대 또는 축소하여 도시한 것이다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 구성요소들은 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.

본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들 의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

서술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 대하여 이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하고자 한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체의 사시도이다. 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체 일부를 도시한 확대도이다. 도 3는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 영역의 일부를 도시한 등가 회로도이다. 도 4a 및 4b는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 영역의 일부들을 각각 도시한 단면도이다.

도 1 내지 도 4b들을 참조하여 마스크 조립체를 설명한다

도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체(1000)는 마스크(100), 지지스틱(200), 마스크 프레임(300) 및 모기판(400)을 포함할 수 있다.

마스크 조립체(1000)는 유기 전계 발광 표시 장치에 포함된 다수의 박막 패턴들을 마스크 조립체(1000)를 통해 기판 상에 형성시키는데 이용된다. 마스크 조립체(1000)는 다수의 박막 패턴들을 기판에 형성시키기 위한 마스크(100) 및 박막 패턴과 대응시키기 위한 지지스틱(200) 및 마스크의 처짐을 방지하기 위해 마스크를 고정 시키는 마스크 프레임(300)이 구비될 수 있다.

마스크(100)는 제1 방향(D1)으로 연장된 장변 및 제1 방향(D1)과 교차하는 제2 방향(D2)으로 연장된 단변을 가질 수 있다. 마스크(100)는 복수로 제공되어 제2 방향을 따라 배열될 수 있으며, 분할된 스틱형 마스크일 수 있다.

마스크(100)는 각각이 마스크(100)의 두께 방향으로 마스크(100)를 관통하는 복수 개의 개구들(110)을 포함할 수 있다. 마스크(100)는 복수 개의 개구들(110)을 통해 증착될 영역을 증착 물질(미도시)에 노출시킬 수 있다. 제공되는 증착 물질은 마스크(100) 하측에 배치되는 모기판(400)에 증착될 수 있다.

복수 개의 개구들(110)은 에칭법에 의하여 제조될 수 있다. 포토레지스트(photoresist)를 이용하여 복수 개의 개구들(110)과 동일한 패턴을 갖는 포토레지스트층을 박판에 형성하거나, 복수 개의 개구들(110)과 대응되는 형상을 갖는 필름을 박판에 부착한 이후에 박판을 에칭함으로써 제조할 수 있다. 뿐만 아니라, 마스크(100)는 전기 주조법(eletro-forming) 또는 무전해 도금법(Electroless plating)으로 제조될 수도 있다.

지지스틱(200)은 제1 방향(D1)으로 연장된 단변 및 제1 방향(D1)과 교차하는 제2 방향(D2)으로 연장된 장변을 가질 수 있다. 지지스틱(200)의 장변은 마스크(100)와 마스크 프레임(300)사이에 배치 된다. 지지스틱(200)은 마스크(100)와 교차하도록 배치될 수 있다. 또한, 지지스틱(200)은 복수의 마스크들에 각각 교차되도록 제1 방향(D1)으로 일정한 간격을 두고 배열되는 복수 개의 지지스틱들을 포함할 수 있다. 지지스틱(200)의 단변을 포함하는 양 끝단은 제2 방향(D2)으로 연장되어 마스크 프레임(300)의 외곽으로 돌출될 수 있다. 돌출된 양 끝단들은 외부에서 제공되는 클램프(미 도시) 등에 의해 고정될 수 있다. 이에 대한 상세한 설명은 후술하기로 한다. 지지스틱(200)은 비자성 물질로 이루어질 수 있으며, 두께는 50um 내지 150um사이 일수 있다,

마스크 프레임(300)은 프레임 개구부(310)를 가질 수 있다. 마스크 프레임(300)은 지지스틱(200) 하측에 배치될 수 있다. 마스크 프레임(300)은 마스크(100) 및 지지스틱(200)을 지지한다. 마스크 프레임(300)상에는 지지스틱(200), 마스크(100)가 순차적으로 배치될 수 있으며, 마스크 프레임(300)의 배면에는 모기판(400)이 배치될 수 있다.

마스크 프레임(300)은 금속으로 이루어질 수 있다. 일 예시로, 마스크 프레임(300)은 마스크(100)와의 용이한 결합을 위해 용접 시 변형이 작은 소재, 예를 들어, 강성이 큰 금속으로 구성될 수 있다. 미도시 되었으나, 마스크 프레임(300)에는 마스크 프레임(300)과 마스크(100)가 용접으로 결합되는 용접부(미도시)가 형성되며, 이러한 용접부 주변에는 높은 열이 발생하므로 마스크 프레임(300)은 열변형이 작은 물질로 구성될 수 있다.

프레임 개구부(310)는 증착이 될 대상인 모기판(400)을 노출시킬 수 있다. 프레임 개구부(310)는 모기판(400)상의 복수의 증착영역들(VA)과 대응하는 면적을 가지도록 형성되므로 증착 공정 시 증착 물질이 통과될 수 있다.

모기판(400)은 마스크 프레임(300)의 하측에 배치된다. 모기판(400)은 복수의 증착영역들(VA)을 포함할 수 있다. 복수의 증착영역들(VA)은 제1 방향(D1) 및 제2 방향(D2)을 따라 매트릭스 형상으로 배열될 수 있다. 복수의 증착영역들(VA)은 증착 물질이 제공될 때 마스크(100)에 의해 증착 물질에 노출되는 영역일 수 있다.

도 2를 참조 하면, 마스크(100)은 복수 개의 개구들(110)을 통해 증착 물질이 투과되는 영역인 활성 영역(AS)과 지지스틱(200)에 의해 커버됨으로써 증착 물질이 차단 되는 비활성 영역(NAS)으로 정의될 수 있다.

표시 영역(DA)는 이격되어 배치된 지지스틱들 사이와 활성 영역(AS)로 정의될 수 있다.

활성 영역(AS)은 증착 물질이 통과되어 모기판(400)에 증착 됨으로써 복수의 증착영역들(VA)을 형성 할 수 있다. 복수의 증착영역들(VA)은 각각은 표시 영역(DA)과 대응될 수 있다.

구체적으로, 복수의 증착영역들(VA)은 표시 영역(DA)의 일부 소자들이 형성된 상태로 제공될 수 있다. 복수의 증착영역들(VA)에는 트랜지스터, 커패시터 등의 박막 소자 등이 배치된 영역일 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따른 표시 영역(DA)은 복수의 화소들을 포함한다. 활성 영역(AS)중 일 개구(OP)는 표시 영역(DA)의 일 화소와 대응될 수 있다. 도 3에는 복수의 화소들 중 일 화소(PX(i,j))의 신호도를 예시적으로 도시하였고, 도 4a 및 도 4b에는 일 화소(PX(i,j))가 배치된 표시 영역(DA)의 단면도들을 도시하였다.

화소(PX(i,j))는 i 번째 게이트 라인(GLi)으로부터 게이트 신호를 수신하고, j 번째 데이터 라인(DLj)으로부터 데이터 신호를 수신한다. 또한, 화소(PX(i,j))는 전원 라인(KL)으로부터 제1 전원전압(ELVDD)을 수신한다. 화소(PX(i,j))는 제1 박막 소자(TFT1), 제2 박막 소자(TFT2), 커패시터(Cap), 및 유기발광소자(OLED)를 포함한다.

제1 박막 소자(TFT1)는 i번째 게이트 라인(GLi)에 인가된 게이트 신호에 응답하여 j 번째 데이터 라인(DLj)에 인가된 데이터 신호를 출력한다. 커패시터(Cap)는 상기 제1 박막 소자(TFT1)로부터 수신한 상기 데이터 신호에 대응하는 전압을 충전한다.

제2 박막 소자(TFT2)는 유기발광소자(OLED)에 연결된다. 제2 박막 소자(TFT2)는 커패시터(Cap)에 저장된 전하량에 대응하여 유기발광소자(OLED)에 흐르는 구동전류를 제어한다.

유기발광소자(OLED)는 제2 박막 소자(TFT2)에 연결된 제1 전극(미 도시) 및 제2 전원전압(ELVSS)을 수신하는 제2 전극(미 도시)을 포함한다. 제2 전원전압(ELVSS)은 제1 전원전압(ELVDD)보다 낮은 레벨을 갖는다.

또한, 유기발광소자(OLED)는 적어도 상기 제1 전극과 상기 제2 전극 사이에 배치된 유기발광층을 포함한다. 상기 유기발광소자(OLED)는 상기 제2 박막 소자(TFT2)의 턴-온 구간 동안 발광한다.

화소(PX(i,j))의 구성은 다양한 실시예를 포함할 수 있으며, 어느 하나의 실시예에 한정되지 않는다.

도 4a 내지 4b를 참조하면, 표시층(DPL)은 베이스층(SUB), 제1 박막 소자(TFT1), 제2 박막 소자(TFT2), 커패시터(Cap), 및 유기발광소자(OLED)를 포함한다. 베이스층(SUB)은 유리 기판, 금속 기판, 및 플렉서블한 플라스틱 기판을 포함한다.

베이스층(SUB) 상에 제1 박막 소자(TFT1)의 반도체 패턴(AL1, 이하 제1 반도체 패턴), 제2 박막 소자(TFT2)의 반도체 패턴(AL2, 이하 제2 반도체 패턴), 및 제1 절연층(IL1)이 배치된다. 제1 절연층(IL1)은 제1 반도체 패턴(AL1)과 제2 반도체 패턴(AL2)을 커버한다. 한편, 제1 절연층(IL1) 상에는 커패시터(Cap)의 제1 전극(CE1)이 배치될 수 있다.

제1 절연층(IL1) 상에 제1 박막 소자(TFT1)의 제어 전극(GE1, 이하, 제1 제어 전극), 제2 박막 소자(TFT2)의 제어 전극(GE2, 이하, 제2 제어 전극), 및 제2 절연층(IL2)이 배치된다. 제2 절연층(IL2)은 제1 제어 전극(GE1)과 제2 제어 전극(GE2)을 커버한다.

제1 절연층(IL1) 및 제2 절연층(IL2) 각각은 유기막 및/또는 무기막을 포함한다. 제1 절연층(IL1) 및 제2 절연층(IL2) 각각은 복수의 박막들을 포함할 수 있다.

제2 절연층(IL2) 상에 제1 박막 소자(TFT1)의 입력 전극(SE1, 이하, 제1 입력 전극)과 출력 전극(DE1, 이하, 제1 출력 전극), 제2 박막 소자(TFT2)의 입력 전극(SE2, 이하, 제2 입력 전극)과 출력 전극(DE2, 이하, 제2 출력 전극), 및 제3 절연층(IL3)이 배치된다.

한편, 제2 절연층(IL2) 상에는 커패시터(Cap)의 제2 전극(CE2)이 배치될 수 있다. 제3 절연층(IL3)은 제1 입력 전극(SE1), 제1 출력 전극(DE1), 제2 입력 전극(SE2), 제2 출력 전극(DE2), 및 제2 전극(CE2)을 커버한다.

제1 입력 전극(SE1) 및 제1 출력 전극(DE1)은 제2 절연층(IL2) 및 제3 절연층(IL3)을 관통하는 제1 관통홀(CH1) 및 제2 관통홀(CH2)을 통해 제1 반도체 패턴(AL1)에 각각 연결된다. 동일한 방식으로, 제2 입력 전극(SE2) 및 제2 출력 전극(DE2)은 제2 절연층(IL2) 및 제3 절연층(IL3)을 관통하는 제3 관통홀(CH3) 및 제4 관통홀(CH4)을 통해 제2 반도체 패턴(AL2)에 각각 연결된다.

제3 절연층(IL3) 상에는 유기발광소자(OLED) 및 화소 정의막(PDL)이 배치된다. 화소 정의막(PDL)은 제3 절연층(IL3) 중 유기발광소자(OLED)와 중첩하는 영역을 노출시킨다. 화소 정의막(PDL)은 실질적으로 발광 영역을 정의한다.

유기발광소자(OLED)는 애노드 전극(AE), 발광패턴(EML), 캐소드 전극(CE), 캐소드 전극(CE)과 발광패턴(EML) 사이에 정의된 정공 수송 영역(CL1, 또는 제1 공통층), 및 발광패턴(EML)과 애노드 전극(AE)은 제3 절연층(IL3) 상에 배치된다. 애노드 전극(AE)은 복수로 구비되어 각각 복수의 발광 영역들에 중첩하도록 배치된다. 화소 정의막(PDL)은 애노드 전극(AE) 상에 배치되고, 애노드 전극(AE)의 적어도 일부를 노출시킨다. 한편, 애노드 전극(AE)은 제3 절연층(IL3)에 정의된 제5 관통홀(CH5)을 통해 제2 출력 전극(DE2)에 연결된다.

정공 수송 영역(CL1)은 애노드 전극(AE) 상에 배치되어 애노드 전극(AE) 및 화소 정의막(PDL)을 커버한다. 정공 수송 영역(CL1)은 정공 주입층, 정공 수송층, 및 정공 주입 기능 및 정공 수송 기능을 동시에 갖는 단일층 중 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다.

발광패턴(EML)은 정공 수송 영역(CL1) 상에 배치된다. 발광패턴(EML)은 복수로 구비되어 발광영역들 각각에 중첩한다. 발광패턴(EML)은 형광 물질 또는 인광 물질을 포함할 수 있다. 발광패턴(EML)은 하나의 컬러를 가진 광을 생성하거나, 적어도 둘 이상의 컬러가 혼합된 광을 생성할 수 있다.

전자 수송 영역(CL2)은 발광패턴(EML) 상에 배치되어 발광패턴(EML) 및 정공 수송 영역(CL1)을 커버한다. 전자 수송 영역(CL2)은 전자 수송 물질 및 전자 주입 물질 중 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다. 전자 수송 영역(CL2)은 전자 수송 물질을 포함하는 전자 수송층이거나, 전자 수송 물질 및 전자 주입 물질을 포함하는 전자 주입/수송 단일층일 수 있다.

캐소드 전극(CE)은 전자 수송 영역(CL2) 상에 배치되어 애노드 전극(AE)과 대향한다. 캐소드 전극(CE)은 전자 주입이 용이하도록 낮은 일함수를 가진 물질로 구성될 수 있다.

캐소드 전극(CE) 및 애노드 전극(AE)은 발광 방식에 따라 다른 재질로 구성될 수 있다. 예를 들어, 본 발명에 따른 표시 영역(DA)이 전면 발광형인 경우 캐소드 전극(CE)은 투과형 전극이고, 애노드 전극(AE)은 반사형 전극일 수 있다.

또는, 예를 들어, 본 발명에 따른 표시 영역(DA)이 배면 발광형인 경우 캐소드 전극(CE)은 반사형 전극이고, 애노드 전극(AE)은 투과형 전극일 수 있다. 본 발명에 따른 표시 영역(DA)은 다양한 구조의 유기발광소자를 포함할 수 있으며, 어느 하나의 실시예에 한정되지 않는다.

캐소드 전극(CE) 상에 박막 봉지층(TFE)이 배치된다. 박막 봉지층(TFE)은 캐소드 전극(CE) 전면을 커버하여 유기발광소자(OLED)를 밀봉한다.

박막 봉지층(TFE)은 1 내지 10㎛의 두께를 가질 수 있다. 표시 영역(DA)은 박막 봉지층(TFE)을 포함함으로써, 박형 표시 영역(DA)을 구현할 수 있다.

박막 봉지층(TFE)은 복수의 무기막들을 포함할 수 있다. 무기막들 각각은 실리콘 나이트라이드 및 실리콘 옥사이드 중 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다. 또한, 박막 봉지층(TFE)은 무기막들 사이에 배치된 또 다른 기능층을 더 포함할 수 있다.

컬러필터층(CFL)은 블랙 매트릭스(BM) 및 컬러패턴들(CP)을 포함한다. 블랙 매트릭스(BM) 및 컬러패턴들(CP)은 동일한 층상에 배치된다. 블랙 매트릭스(BM) 및 컬러패턴들(CP)은 박막 봉지층(TFE) 상에 직접 배치되어 박막 봉지층(TFE)의 상면과 접촉한다.

블랙 매트릭스(BM)는 차광 물질로 구성될 수 있다. 블랙 매트릭스(BM)는 블랙 매트릭스(BM)에 입사되는 광을 흡수한다. 이에 따라, 블랙 매트릭스(BM)는 대체로 블랙 계열의 컬러를 가질 수 있다.

컬러패턴들(CP)은 적어도 두 개의 서로 다른 컬러를 가진 컬러패턴들을 포함한다. 본 실시예에서, 컬러패턴들(CP)은 각각이 서로 다른 컬러들을 가진 제1 컬러패턴(CP-R), 제2 컬러패턴(CP-G), 및 제3 컬러패턴(CP-B)을 포함한다.

컬러패턴들(CP) 중 인접하는 컬러패턴들은 서로 다른 컬러를 가질 수 있다. 본 실시예에서, 서로 다른 컬러들을 가진 제1 컬러패턴(CP-R), 제2 컬러패턴(CP-G), 및 제3 컬러패턴(CP-B)은 제1 방향(DR1)을 따라 순차적으로 배열되어 서로 인접한다.

한편, 이는 예시적으로 도시한 것이고, 컬러패턴들(CP)은 네 개 이상의 컬러를 가질 수도 있고, 인접하는 컬러패턴들 중 일부는 서로 동일한 컬러를 가질 수도 있다. 본 발명에 따른 컬러필터층(CFL)은 다양한 실시예를 포함할 수 있으며, 어느 하나의 실시예에 한정되지 않는다.

보호층(PTL)은 컬러필터층(CFL) 상에 배치되어 컬러필터층(CFL)을 보호한다. 보호층(PTL)은 상부에 평탄면을 제공한다. 평탄면은 표시 영역(DA)의 전면에 대응된다. 한편, 이는 예시적으로 기재된 것이고, 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 영역(DA)에 있어서, 보호층(PTL)은 생략될 수 있다.

도 1에 도시된 마스크(100)는 표시 영역(DA)을 구성하는 다양한 소자들의 제조 공정에 적용될 수 있다. 예를 들어, 도 1에 도시된 모기판(400)은 복수의 증착영역들(VA) 각각에 정공 수송 영역(CL1) 층이 형성된 상태로 제공될 수 있다. 이후, 마스크를 통해 발광패턴(EML)이 형성된다. 이에 따라, 마스크(100)는 발광패턴(EML) 형성 단계에 적용될 수 있다. 다만, 이는 예시적으로 기재된 것이고, 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크(100)는 다양한 공정에 적용될 수 있으며, 이에 한정하는 것은 아니다.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체 일부를 도시한 확대도이다.

지지스틱(200)은 패턴부(PD)를 포함할 수 있다. 패턴부(PD)는 마스크 폭(MW)을 기준으로 동일한 패턴을 반복하며 복수 개의 마스크들에 이격 되어 배열될 수 있다.

패턴부(PD)는 제2 방향(D2)으로 연장된 일 변과, 일 변과 마주하는 타 변이 서로 상이한 형상을 가질 수 있다. 일 예시로, 상이한 형상의 일 변과 타 변 중 적어도 하나는 요철 형상을 포하고 나머지 변은 제2 방향(D2)과 평행한 변을 포함할 수 있다. 요철 형상을 포함한 변은 제1 방향(D1)으로 돌출된 서로 상이한 길이를 가진 요철 형상을 포함할 수 있다. 제1 길이(L1)를 가진 돌출 형상은 제1 방향(D1)에서의 장변을 이루는 마스크(100)의 양 끝단에 돌출되어 배치될 수 있다. 제1 길이(L1)보다 긴 제2 길이(L2)를 가진 돌출 형상은 제1 길이(L1)를 가진 돌출 형상 사이에 배치될 수 있다.

패턴부(PD)의 형상은 활성 영역(AS)과 비활성 영역(NAS)의 경계를 정의할 수 있다. 이는 본 발명의 일 예시로서 상이한 길이, 돌출부의 개수 및 패턴부(PD)의 형상을 한정하는 것은 아니다. 패턴부(PD)의 형상은 표시 영역(DA)의 활성 영역(AS) 및 비활성 영역(NAS)의 용도에 맞추어 다양한 패턴을 형성할 수 있다.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 지지스틱의 평면도이다.

지지스틱(200-1)은 제1 클램핑부(P1), 중심부(P3) 및 제2 클램핑부(P2)를 포함할 수 있다. 또한, 가상의 지지스틱 무게중심(WP) 및 중심선(CL)을 포함할 수 있다.

제1 클램핑부(P1), 중심부(P3) 및 제2 클램핑부(P2)는 제2 방향(D2)을 따라 배열될 수 있다. 지지스틱(200)의 단변은 제1 방향(D1)을 따라 정의되며, 장변은 제2 방향(D2)를 따라 정의될 수 있다.

중심부(P3)는 상단부(210) 및 하단부(220)를 포함할 수 있다. 상단부(210) 및 하단부(220)는 중심선(CL)을 기준으로 구분될 수 있다.

상단부(210) 및 하단부(220)중 적어도 하나는 패턴부(PD)를 포함할 수 있다. 일 예시로서 하단부(220)는 패턴부(PD)를 가지며, 하단부(220)의 노출되는 변을 따라 패턴부(PD)는 요철 형상을 가질 수 있다.

제1 클램핑부(P1) 및 제2 클램핑부(P2)는 중심부(P3)의 제2 방향(D2)에서 서로 마주하는 양 끝단에 배열될 수 있다. 제1 클램핑부(P1) 및 제2 클램핑부(P2)의 면적은 동일할 수 있다. 클램핑부들의 제1 방향(D1)으로의 단변의 길이는 10mm 내지 50mm일수 있다.

지지스틱 무게중심(WP)은 중심부(P3)의 면적에 대한 무게중심으로 중심부의 면 상에 정의될 수 있다. 이는 제1 클램핑부(P1) 와 제2 클램핑부(P2)의 면적이 동일한 경우 중심부(P3) 면적에 대한 무게중심만을 고려할 수 있기 때문이다. 지지스틱 무게중심(WP)에 대한 설명 편의를 위하여 요철 형상을 포함하는 하단부(220)의 노출되는 변은 정사각형 형태의 일정한 형상을 가진 요철 형상을 도시 하였다. 상단부(210) 및 하단부(220)의 면적이 동일한 경우 중심부(P3)의 면상에 지지스틱 무게중심(WP)을 정의할 수 있다.

하단부(220)의 면적은 돌출된 요부(ST)의 정사각형 면적을 인접한 홈부(HM)에 위치 시킴으로써 상단부(210)의 면적과 동일할 수 있다. 이는 상단부(210)과 하단부(220)의 면적이 동일할 경우 지지스틱 무게중심(WP)이 중심부(P3)의 면상에 정의됨을 설명하기 위한 가정으로 요부(ST)를 홈부(HM)에 대응시킨 것이다.

상단부(210)과 하단부(220)의 면적이 동일할 경우 중심선(CL)은 제2 방향(D2)으로 연장되며, 중심부(P3)의 면상에 정의된 지지스틱 무게중심(WP)을 지날 수 있다. 지지스틱 무게중심(WP)을 지나며 정의되는 중심선(CL)은 지지스틱(200-1)의 단변의 중점을 지날 수 있다. 구체적으로, 제1 방향(D1)으로 제1 클램핑부(P1) 및 제2 클램핑부(P2)가 가지는 단변의 중점을 지날 수 있다.

일 실시예로, 지지스틱(200-1)의 두께는 100um로 일정하며, 제1 클램핑부(P1) 및 제2 클램핑부(P2)의 단변의 두께는 10mm 내지 50mm일 수 있다. 따라서 지지스틱(200)이 일정한 두께를 가지는 경우 지지스틱(200)의 면적을 통해 지지스틱 무게중심(WP)를 정의할 수 있다.

제1 클램핑부(P1)의 단변은 중심선(CL)에서 지지스틱(200-1)의 일 변까지의 제1 길이(W1) 및 중심선(CL)에서 지지스틱(200-1)의 타 변까지의 제2 길이(W2)의 합으로 정의될 수 있다. 이 경우, 제1 길이(W1) 과 제2 길이(W2)는 동일한 길이를 가질 수 있다. 이는 제2 클램핑부(P2)와 동일하게 대응될 수 있다. 이 경우 제2 클램핑부(P2)의 단변은 제1 길이(W1’)와 제2 길이(W2’)의 합으로 정의되며, 1 길이(W1’) 와 제2 길이(W2’)는 동일한 길이를 가질 수 있다.

따라서, 중심선(CL)은 제1 클램핑부(P1) 및 제2 클램핑부(P2)의 각 단변의 중점을 가로지르도록 장변을 따라 연장되며, 지지스틱 무게중심(WP)을 지나며 정의될 수 있다.

중심선(CL)을 기준으로 단변을 정의 하는 것은 클램핑부들이 클램프(CM: 도 8a 참조)에 의해 인장력을 받으며 고정되는 경우 지지스틱(200-1)의 변형을 최소화 하기 위함이다. 지지스틱 무게중심(WP)을 기준으로 중심선(CL)을 정의하며, 단변의 중점을 중심선(CL)이 가로지르도록 클램핑부들을 제작하는 경우 클램핑 시 인장에 의한 변형을 최소화 할 수 있다. 즉 본 발명의 클램핑부들의 단변의 길이는 중심부(P3)의 무게중심을 통해 정의되는 중심선(CL)으로 정의될 수 있다. 중심선(CL)을 기준으로 단변의 일 변까지의 길이(W1)와 타 변까지의 길이(W2)는 동일할 수 있으며, 각 일 변 및 타 변까지 길이의 합(W1+W2)으로 단변의 길이가 정의될 수 있다.

일 예시로, 중심부(P3)의 두께가 상이한 경우 지지스틱 무게중심(WP)를 중심부(P3)의 면상에 정의하기 위해 제1 클램핑부(P1)과 제2 클램핑부(P2)의 면적은 서로 상이할 수 있다.

도 7a 및 7b는 본 발명의 일 실시예에 따른 지지스틱들의 평면도이다.

도 7a를 참조하면, 지지스틱(200-2)은 제1 클램핑부(P1-1), 중심부(P3-1) 및 제2 클램핑부(P2-1)를 포함할 수 있다.

중심부(P3-1)는 상단부(210-1) 및 하단부(220-1)를 포함할 수 있다. 상단부(210-1) 및 하단부(220-1)는 중심선(CL-1)을 기준으로 구분될 수 있다.

또한, 지지스틱 무게중심(WP-1) 및 중심선(CL-1)을 포함할 수 있다. 일 예시로서, 상단부(210-1)의 노출되는 변은 장변과 평행한 변을 포함할 수 있다. 하단부(220-1)는 패턴부(PD-2)를 가지며, 하단부(220-1)의 노출되는 변을 따라 패턴부(PD-2)는 요철 형상을 가질 수 있다. 패턴부(PD-2)는 마스크(100)를 경계로 동일한 형상을 가지며 이격되어 배열될 수 있다.

제1 클램핑부(P1-1) 및 제2 클램핑부(P2-1)는 중심부(P3-1)의 제2 방향(D2)에서 서로 마주하는 양 끝단에 배열될 수 있다. 제1 클램핑부(P1-1) 및 제2 클램핑부(P2-1)의 면적은 동일할 수 있다.

지지스틱 무게중심(WP-1)은 중심부(P3-1)의 면적에 대한 무게중심으로 중심부(P3-1)의 면 상에 정의될 수 있다. 하단부(220-1)의 패턴부(PD-2)는 서로 다른 길이의 돌출부를 형성 할 수 있다. 제1 길이(L1-1)를 가진 돌출 형상은 제1 방향(D1)으로 돌출되며, 장변을 이루는 마스크(100)의 양 끝단에 돌출되어 배치될 수 있다. 제1 길이(L1-1)보다 긴 제2 길이(L2-1)를 가진 돌출 형상은 제1 길이(L1-1)를 가진 돌출 형상 사이에 배치될 수 있다.

이때, 중심선(CL-1)은 제2 방향(D2)으로 연장되며, 중심부(P3-1)의 면상에 정의된 지지스틱 무게중심(WP-1)을 지날 수 있다. 지지스틱 무게중심(WP-1)을 지나며 정의되는 중심선(CL-1)은 제1 방향(D1)으로 제1 클램핑부(P1-1) 및 제2 클램핑부(P2-1)가 가지는 단변의 중점을 지날 수 있다.

지지스틱(200-2)이 일정한 두께를 가지는 경우 지지스틱(200-2)의 면적을 통해 지지스틱 무게중심(WP-1)를 정의할 수 있다.

제1 클램핑부(P1-1)의 단변은 중심선(CL-1)에서 지지스틱(200-2)의 일 변까지의 제1 길이(W1-1) 및 중심선(CL-1)에서 지지스틱(200-2)의 타 변까지의 제2 길이(W2-1)의 합으로 정의될 수 있다. 이 경우, 제1 길이(W1-1) 와 제2 길이(W2-1)는 동일한 길이를 가질 수 있다. 이는 제2 클램핑부(P2-1)와 동일하게 대응될 수 있다. 이 경우 제2 클램핑부(P2-1)의 제1 방향(D1)으로의 단변 제1 길이(W1’-1) 제2 길이(W2’-1)의 합으로 정의되며, 1 길이(W1’-1) 과 제2 길이(W2’-1)는 동일한 길이를 가질 수 있다.

따라서, 중심선(CL-1)은 제1 클램핑부(P1-1) 및 제2 클램핑부(P2-1)의 각 단변의 중점을 가로지르도록 장변을 따라 연장되며, 지지스틱 무게중심(WP-1)을 지나며 정의될 수 있다.

도 7b를 참조하면, 지지스틱(200-3)은 제1 클램핑부(P1-2), 중심부(P3-2) 및 제2 클램핑부(P2-3)를 포함할 수 있다.

중심부(P3-2)는 상단부(210-2) 및 하단부(220-2)를 포함할 수 있다. 상단부(210-2) 및 하단부(220-2)는 중심선(CL-2)을 기준으로 구분될 수 있다.

일 예시로서, 하단부(220-2)는 패턴부(PD-3)를 가지며, 하단부(220-2)의 노출되는 변을 따라 패턴부(PD-3)는 요철 형상을 가질 수 있다. 하단부(220-2)의 패턴부(PD-3)는 서로 다른 길이의 돌출부를 형성 할 수 있다. 제1 길이(L1-2)를 가진 돌출 형상은 제1 방향(D1)에서의 장변을 이루는 마스크(100)의 양 끝단에 돌출되어 배치될 수 있다. 제1 길이(L1-2)보다 긴 제2 길이(L2-2)를 가진 돌출 형상은 제1 길이(L1-2)를 가진 돌출 형상 사이에 배치될 수 있다.

상단부(210-2)는 패턴부(PD-4)를 가지며, 상단부(210-2)의 노출되는 변을 따라 패턴부(PD-4)는 일정한 제3 길이(L3)를 갖는 돌출부가 연속적으로 배열될 수 있다. 상단부(210-2)의 패턴부(PD-4)와 하단부(220-2)의 패턴부(PD-3)는 각각 마스크(100)를 경계로 동일한 형상을 가지며 이격되어 배열될 수 있다.

본 실시예의 상단부(210-2)와 하단부(220-2)의 면적은 동일 할 수 있다. 상단부(210-2)와 하단부(220-2)의 면적이 동일한 경우, 중심부(P3-2)의 면상에 지지스틱 무게중심(WP-2)이 형성될 수 있다.

이때, 중심선(CL-2)은 제2 방향(D2)으로 연장되며, 중심부(P3-2)의 면상에 정의된 지지스틱 무게중심(WP-2)을 지날 수 있다. 지지스틱 무게중심(WP-2)을 지나며 정의되는 중심선(CL-2)은 제1 방향(D1)으로 제1 클램핑부(P1-2) 및 제2 클램핑부(P2-2)가 가지는 단변의 중점을 지날 수 있다.

따라서, 중심선(CL-2)은 제1 클램핑부(P1-2) 및 제2 클램핑부(P2-2)의 각 단변의 중점을 가로지르도록 장변을 따라 연장되며, 지지스틱 무게중심(WP-2)을 지나며 정의될 수 있다.

이는 일 실시예로서, 상단부(210-2)와 하단부(220-2)의 면적이 동일하게 유지되는 경우 각 패턴부들의 모양 및 돌출부들의 길이는 한정되지 않는다.

도 8a 내지 도 8d는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체 제조방법의 사시도들이다.

도 8a 내지 도 8d를 참조하여 마스크 조립체 제조 방법을 설명하도록 한다. 도면 부호는 도1을 참조하여 설명하도록 한다.

마스크 조립체 제조방법은, 마스크 프레임이 제공되는 단계, 지지스틱을 제공하는 단계, 지지스틱을 클램프로 고정하는 단계, 마스크들을 제공하는 단계, 마스크와 마스크 조립체를 접합하는 단계를 포함할 수 있다.

도 8a를 참조하면, 마스크 프레임이 제공되는 단계에서 마스크 프레임(300)은 프레임 개구부(310)을 포함할 수 있다. 프레임 개구부(310)는 증착 물질이 통과되는 영역일 수 있다.

지지스틱을 제공하는 단계에서 지지스틱(200)은 복수의 마스크들에 각각 교차되도록 제1 방향(D1)으로 일정한 간격을 두고 배열되는 복수 개의 지지스틱들을 포함할 수 있다. 지지스틱(200)은 장변을 따라 형성되는 일 변 및 타 변이 상이한 형상을 포함할 수 있다. 일 변 및 타 변 중 적어도 어느 한 변은 패턴부(PD)를 형성 할 수 있다. 패턴부(PD)는 마스크를 경계로 동일한 형상을 가지며 제2 방향(D2)로 배열될 있다. 지지스틱(200)의 클램핑부들은 마스크 프레임(300)보다 돌출 될 수 있다. 돌출된 클램핑부들은 동일한 면적을 가질 수 있다.

지지스틱을 클램프로 고정하는 단계는 마스크(100)가 상부에 배치되는 과정에서 지지스틱(200)을 고정하기 위해 클램프(CM)가 제공될 수 있다. 클램프(CM)는 마스크 프레임(300)보다 돌출된 클램핑부들을 인장력을 가하면서 지지스틱(200)을 고정시킬 수 있다. 이는 마스크(100)와 마스크 프레임(300)을 결합하는 과정에서 흔들림 또는 들뜸을 방지하거나, 지지스틱(200) 자체의 무게에 의한 처짐을 방지하기 위함이다.

도 8b를 참조하면, 마스크들을 제공하는 단계에서 복수 개의 개구들(110)을 포함하는 마스크들이 스틱형태로 제공되어 제2 방향(D2)으로 배열될 수 있다. 마스크 프레임(300)과 중첩하여 배치되며, 마스크 프레임300)과 마스크(100)사이에 지지스틱(200)이 배치될 수 있다. 복수 개의 개구들(110)을 통해 증착 물질(미도시)이 통과되며, 지지스틱(200)과 중첩되는 영역은 증착 물질이 투과되지 않을 수 있다.

도 8c 및 8d를 참조하면, 마스크와 마스크 조립체를 접합하는 단계는 지지스틱들을 마스크 프레임(300)과 마스크들을 사이에 배치 시키며, 마스크 프레임(300)과 마스크들을 레이저(LZ)를 통해 접합 할 수 있다. 일 예로서, 접합 시 용접을 이용하는 경우 강성이 큰 금속으로 마스크 프레임 및 마스크의 접합부위가 구성될 수 있다. 마스크 프레임(300)과 마스크(100)의 접합이 이루어진 경우 클램프(CM)는 제거될 수 있다. 클램프(CM)는 용접 과정에서 지지스틱(200)의 유동을 방지할 수 있고, 마스크(100)와 마스크 프레임(300)을 안정적으로 결합될 수 있다.

이상에서와 같이 도면과 명세서에서 실시 예가 개시되었다. 여기서 특정한 용어들이 사용되었으나, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미 한정이나 특허 청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로 본 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허 청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.

1000: 마스크 조립체 100: 마스크
110: 복수 개의 개구들 200: 지지스틱
210: 상단부 220: 하단부 300: 마스크 프레임 310: 프레임 개구부
400: 모기판 VA: 복수의 증착영역들 PD: 패턴부 WP: 지지스틱 무게중심
CL: 중심선 CM: 클램프

Claims (20)

1. 개구부를 포함하는 마스크 프레임;
   상기 마스크 프레임 상에 배치되는 마스크; 및
   상기 마스크 프레임과 상기 마스크 사이에 배치되고, 제1 방향으로 연장되는 단변 및 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장되는 장변이 정의되고, 상기 장변을 따라 배열된 제1 클램핑부, 중심부, 및 제2 클램핑부를 포함하며, 상기 중심부는 상기 마스크와 중첩하는 지지스틱을 포함하고,
   상기 지지스틱의 중심선은 상기 지지스틱의 상기 단변의 중점을 지나 상기 제1 클램핑부의 중점을 가로지르도록 상기 장변을 따라 연장되어 정의되고,
   상기 지지스틱의 무게 중심은 상기 중심선 상에 정의되고,
   상기 중심부는 상기 중심선을 기준으로 상이한 형상을 갖는 제1 부분 및 제2 부분으로 구분되며,
   상기 제1 부분은 상기 제1 클램핑부보다 상기 제1 방향으로 더 돌출되는 요철 패턴을 갖는 제1 패턴부를 포함하는 마스크 조립체.
2. 제1 항에 있어서,
   상기 마스크는 복수 개의 개구들을 포함하며,
   상기 복수 개의 개구들은 상기 지지스틱과 중첩되는 비활성 영역 및 상기 비활성 영역 이외의 부분인 활성 영역으로 정의되는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체.
3. 제2 항에 있어서,
   상기 제1 부분 및 상기 제2 부분은 동일한 면적을 갖는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체.
4. 삭제
5. 제3 항에 있어서,
   상기 제2 부분은 상기 제1 클램핑부보다 상기 제1 방향의 반대 방향으로 더 돌출되고, 요철 형상을 갖는 제2 패턴부를 포함하는 마스크 조립체.
6. 제1 항에 있어서,
   상기 제1 클램핑부 및 제2 클램핑부의 면적은 동일한 것을 특징으로 하는 마스크 조립체.
7. 제1 항에 있어서
   상기 지지스틱의 두께는 50um 에서 150um 사이이며, 상기 단변은 1.5mm 에서 50mm 사이인 것을 특징으로 하는 마스크 조립체.
8. 제1 항에 있어서,
   상기 지지스틱은 비 자성 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 마스크 조립체.
9. 제1 방향으로 연장되는 단변 및 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장되는 장변을 포함하고, 상기 장변을 따라 배열된 제1 클램핑부, 중심부 및 제2 클램핑부를 포함하는 지지스틱;
   상기 제2 방향을 따라 배열되고 각각이 상기 지지스틱에 중첩하는 복수 개의 마스크들;
   상기 제2 방향을 따라 연장되고 상기 지지스틱의 상기 단변의 중점을 지나 상기 제1 클램핑부의 중점을 가로지르도록 정의되며 상기 중심부의 무게중심을 지나는 상기 지지스틱의 중심선;
   상기 중심부는 상기 중심선을 기준으로 서로 상이한 형상을 갖는 제1 부분 및 제2 부분으로 구분되고,
   상기 제1 부분은 상기 제1 클램핑부보다 상기 제1 방향으로 더 돌출되는 요철 패턴을 갖는 제1 패턴부를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체.
10. 제9 항에 있어서,
    상기 지지스틱은 복수개로 이루어지며, 상기 제1 방향을 따라 이격되어 배치되는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체.
11. 제10 항에 있어서,
    상기 마스크들은 복수 개의 개구들을 포함하며,
    상기 복수 개의 개구들은 상기 지지스틱과 중첩되는 비활성 영역 및 상기 비활성 영역 이외의 부분인 활성 영역으로 정의되는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체.
12. 제11 항에 있어서,
    상기 제1 부분 및 상기 제2 부분은 동일한 면적을 갖는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체.
13. 삭제
14. 제10 항에 있어서,
    상기 제2 부분은 상기 제1 클램핑부보다 상기 제1 방향의 반대 방향으로 더 돌출되고, 요철 형상을 갖는 제2 패턴부를 포함하는 마스크 조립체.
15. 제9 항에 있어서,
    상기 제1 클램핑부 및 제2 클램핑부의 면적은 동일한 것을 특징으로 하는 마스크 조립체.
16. 개구부를 포함하는 마스크 프레임을 제공하는 단계;
    상기 마스크 프레임 상에 배치되고, 제1 방향으로 연장되는 단변 및 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장되는 장변을 포함하고, 상기 장변을 따라 배열된 제1 클램핑부, 중심부 및 제2 클램핑부를 포함하는 지지스틱을 제공하는 단계;
    상기 제1 클램핑부 및 상기 제2 클램핑부의 적어도 일부는 클램프로 고정하는 단계:
    상기 지지스틱 상에 배치되며, 복수 개의 개구들을 포함하는 마스크들을 제공하는 단계; 및
    상기 지지스틱은 상기 마스크와 상기 마스크 프레임 사이에 배치 되고, 상기 마스크와 상기 마스크 프레임을 접합하는 단계를 포함하고,
    상기 지지스틱은,
    상기 제2 방향을 따라 연장되고 상기 지지스틱의 상기 단변의 중점을 지나 상기 제1 클램핑부의 중점을 가로지르도록 정의되는 중심선을 포함하 며,
    상기 중심부는 상기 중심선을 기준으로 서로 상이한 형상을 갖는 제1 부분 및 제2 부분으로 구분되고,
    상기 제1 부분은 상기 제1 클램핑부보다 상기 제1 방향으로 더 돌출되는 요철 패턴을 갖는 패턴부를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체 제조 방법.
17. 제16 항에 있어서,
    상기 마스크들이 상기 지지스틱 상에 배치될 때,
    상기 복수 개의 개구들은 상기 지지스틱과 중첩되는 비활성 영역 및 상기 비활성 영역 이외의 부분인 활성 영역으로 정의되는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체 제조 방법.
18. 제17 항에 있어서,
    상기 지지스틱이 상기 마스크 프레임 상에 배치될 때,
    상기 제1 부분 및 상기 제2 부분은 동일한 면적을 갖는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체 제조 방법.
19. 제18 항에 있어서,
    상기 제1 부분 및 상기 제2 부분 각각의 노출되는 변 중 적어도 어느 하나는 패턴부를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체 제조 방법.
20. 제16 항에 있어서,
    상기 마스크들은 레이저에 의해 상기 마스크 프레임과 접합 되는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체 제조 방법.
    
    
    

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