KR20210092366A - 마스크 - Google Patents

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KR20210092366A
KR20210092366A KR1020200005452A KR20200005452A KR20210092366A KR 20210092366 A KR20210092366 A KR 20210092366A KR 1020200005452 A KR1020200005452 A KR 1020200005452A KR 20200005452 A KR20200005452 A KR 20200005452A KR 20210092366 A KR20210092366 A KR 20210092366A
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KR1020200005452A
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임성순
문민호
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삼성디스플레이 주식회사
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Abstract

마스크는 제1 개구부가 정의된 마스크 프레임, 상기 마스크 프레임 상에 배치되고, 상기 제1 개구부에 중첩하는 제2 개구부가 정의된 제1 마스크, 상기 제2 개구부에 중첩하여 메쉬 형상을 갖는 메쉬부를 포함하고, 상기 제1 마스크 상에 배치된 제2 마스크, 및 상기 제2 마스크 상에 배치되고, 상기 메쉬부를 둘러싸도록 상기 제2 마스크의 테두리를 따라 연장하는 고정부를 포함한다.

Description

마스크{MASK}
본 발명은 마스크에 관한 것이다.
일반적으로 사용자에게 영상을 제공하는 스마트폰, 디지털 카메라, 노트북 컴퓨터, 네비게이션, 및 스마트 텔레비젼 등의 전자기기는 영상을 표시하기 위한 표시 장치를 포함한다. 표시 장치는 영상을 생성하고, 생성된 영상을 표시 화면을 통해 사용자에게 제공한다.
표시 장치는 영상을 생성하는 표시 패널 및 다양한 기능을 사용자에게 제공하는 기능 소자들을 포함한다. 표시 패널은 표시 영역 및 표시 영역 주변의 비표시 영역으로 구분된다. 표시 패널은 표시 영역에 배치되어 영상을 생성하는 화소들을 포함한다. 기능 소자들은 비표시 영역에 배치된 카메라 및 센서 등을 포함한다.
최근 표시 영역을 비표시 영역까지 확장하기 위해, 카메라를 표시 영역에 배치하기 위한 기술 개발이 요구되고 있다. 카메라가 표시 영역에 배치될 경우, 카메라가 배치된 영역에는 화소들이 배치되지 않아야 한다. 이를 위해, 카메라가 배치된 영역에 화소들을 형성하지 않기 위한 마스크의 개발이 요구되고 있다.
본 발명의 목적은 카메라 배치 영역에 중첩하는 차단부가 안착된 메쉬 마스크를 마스크 프레임에 보다 견고히 고정하기 위한 마스크를 제공하는데 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따른 마스크는 제1 개구부가 정의된 마스크 프레임, 상기 마스크 프레임 상에 배치되고, 상기 제1 개구부에 중첩하는 제2 개구부가 정의된 제1 마스크, 상기 제2 개구부에 중첩하여 메쉬 형상을 갖는 메쉬부를 포함하고, 상기 제1 마스크 상에 배치된 제2 마스크, 및 상기 제2 마스크 상에 배치되고, 상기 메쉬부를 둘러싸도록 상기 제2 마스크의 테두리를 따라 연장하는 고정부를 포함한다.
상기 고정부는 상기 제2 마스크의 상기 테두리를 따라 배치되는 복수 개의 고정바들을 포함한다.
상기 고정바들은, 제1 방향으로 연장하고 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 이격된 복수 개의 제1 고정바들 및 상기 제2 방향으로 연장하고, 상기 제1 방향으로 이격된 복수 개의 제2 고정바들을 포함한다.
상기 고정부는 600 마이크로미터 내지 2000 마이크로미터의 두께를 갖는다.
상기 메쉬부는 상기 메쉬 형상을 정의하는 복수 개의 메쉬선들을 포함하고, 상기 복수 개의 메쉬선들 각각의 선폭은 10 마이크로미터 내지 20 마이크로미터이다.
서로 평행하게 연장하여 서로 마주보는 2개의 메쉬선들 사이의 간격은 0.5 미리미터 내지 2 미리미터이다.
상기 마스크는 상기 메쉬부의 일부분 상에 배치된 차단부를 더 포함한다.
상기 차단부는 원형 형상을 갖고, 상기 차단부의 직경은 상기 2개의 메쉬선들 사이의 간격보다 크다.
상기 차단부는 상기 메쉬선들에 연결된다.
본 발명의 실시 예에 따르면, 차단부가 안착된 메쉬 마스크의 테두리가 고정부에 의해 고정됨으로써, 메쉬 마스크가 오픈 마스크 및 마스크 프레임에 보다 견고하게 고정될 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 마스크의 분해 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 마스크의 구성들을 결합한 마스크의 사시도이다.
도 3은 도 2에 도시된 마스크를 상부에서 바라본 마스크의 평면도이다.
도 4는 도 3에 도시된 I-I'선의 단면도이다.
도 5는 도 3에 도시된 Ⅱ-Ⅱ'선의 단면도이다.
도 6은 도 5에 도시된 마스크에서 차단부에 중첩하는 부분 및 차단부에 인접한 부분을 확대하여 도시한 도면이다.
도 7은 도 1에 도시된 마스크를 이용해 제조된 표시 패널의 평면도이다.
도 8은 도 7에 도시된 표시 영역에 배치되는 화소의 단면 구성을 예시적으로 도시한 도면이다.
도 9는 도 7에 도시된 Ⅲ-Ⅲ'선의 단면도이다.
도 10은 도 7에 도시된 표시 패널을 이용하여 제조된 표시 장치의 단면을 예시적으로 도시한 도면이다.
도 11 내지 도 15는 본 발명의 다양한 실시 예들에 따른 고정부들의 구성들을 도시한 도면들이다.
도 16은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 마스크의 사시이도이다.
도 17은 도 16에 도시된 마스크를 위에서 바라본 마스크의 평면도이다.
도 18은 도 17에 도시된 Ⅳ-Ⅳ'선의 단면도이다.
도 19는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 고정부의 구성을 도시한 도면이다.
도 20은 도 19에 도시된 고정부를 향해 분사되는 증착 물질을 도시한 도면이다.
본 명세서에서, 어떤 구성요소(또는 영역, 층, 부분 등)가 다른 구성요소 "상에 있다", "연결 된다", 또는 "결합된다"고 언급되는 경우에 그것은 다른 구성요소 상에 직접 배치/연결/결합될 수 있거나 또는 그들 사이에 제3의 구성요소가 배치될 수도 있다는 것을 의미한다.
동일한 도면부호는 동일한 구성요소를 지칭한다. 또한, 도면들에 있어서, 구성요소들의 두께, 비율, 및 치수는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다.
"및/또는"은 연관된 구성들이 정의할 수 있는 하나 이상의 조합을 모두 포함한다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
또한, "아래에", "하측에", "위에", "상측에" 등의 용어는 도면에 도시된 구성들의 연관관계를 설명하기 위해 사용된다. 상기 용어들은 상대적인 개념으로, 도면에 표시된 방향을 기준으로 설명된다.
다르게 정의되지 않는 한, 본 명세서에서 사용된 모든 용어 (기술 용어 및 과학 용어 포함)는 본 발명이 속하는 기술 분야의 당업자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 갖는다. 또한, 일반적으로 사용되는 사전에서 정의된 용어와 같은 용어는 관련 기술의 맥락에서 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석되어야 하고, 이상적인 또는 지나치게 형식적인 의미로 해석되지 않는 한, 명시적으로 여기에서 정의된다.
"포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예들이 상세히 설명될 것이다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 마스크의 분해 사시도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 마스크(MSK)는 마스크 프레임(MF), 제1 마스크(MK1), 제2 마스크(MK2), 복수 개의 차단부들(BLP), 및 고정부(FP)를 포함할 수 있다.
마스크 프레임(MF)은 제1 방향(DR1)으로 연장된 측면들 및 제1 방향(DR1)과 교차하는 제2 방향(DR2)으로 연장하는 측면들을 가질 수 있다. 마스크 프레임(MF)의 측면들은 마스크 프레임(MF)의 테두리를 정의할 수 있다. 마스크 프레임(MF)은 금속을 포함할 수 있다.
마스크 프레임(MF)은 틀 형상을 가질 수 있다. 틀 형상에 따라, 마스크 프레임(MF)에는 사각형 형상을 갖는 제1 개구부(OP1)가 정의될 수 있다. 제1 개구부(OP1)는 제2 방향(DR2)보다 제1 방향(DR1)으로 더 길게 연장된 직사각형 형상을 가질 수 있다.
이하, 제1 및 제2 방향들(DR1,DR2)에 의해 정의된 평면과 교차하는 방향은 제3 방향(DR3)으로 정의된다. 제3 방향(DR3)은 실질적으로, 제1 및 제2 방향들(DR1,DR2)에 의해 정의된 평면과 수직하게 교차할 수 있다. 본 명세서에서, "평면 상에서 봤을 때는, 제3 방향(DR3)에서 바라본 상태를 의미할 수 있다.
제1 마스크(MK1)는 마스크 프레임(MF) 상에 배치될 수 있다. 제1 마스크(MK1)는 제1 방향(DR1)으로 연장된 장변들 및 제2 방향(DR2)으로 연장된 단변들을 갖는 직사각형 형상을 가질 수 있다. 그러나, 제1 마스크(MK1)의 형상이 이에 한정되는 것은 아니다. 제1 마스크(MK1)의 장변들 및 단변들은, 제1 마스크(MK1)의 측면들로서, 서로 연결되어 제1 마스크(MK1)의 테두리를 정의할 수 있다. 제1 마스크(MK1)는 금속을 포함할 수 있다.
제1 마스크(MK1)에는 복수 개의 제2 개구부들(OP2)이 정의될 수 있다. 평면 상에서 봤을 때, 제2 개구부들(OP2)은 제1 개구부(OP1)에 중첩할 수 있다. 제2 개구부들(OP2)이 정의된 제1 마스크(MK1)는 오픈 마스크로 정의될 수 있다. 제2 개구부들(OP2) 각각은 이후 설명될 표시 패널에 대응할 수 있다.
제2 개구부들(OP2)은 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)으로 배열될 수 있다. 제1 방향(DR1)이 행 방향에 대응되고, 제2 방향(DR2)이 열 방향에 대응될 경우, 제2 개구부들(OP2)은 2개의 행들 및 3개의 열들로 배열될 수 있다.
예시적으로, 2개의 행들 및 3개의 열들로 배열된 6개의 제2 개구부들(OP2)이 도시되었으나, 제2 개구부들(OP2)의 개수는 이에 제한되지 않는다. 예를 들어, 적어도 하나의 제2 개구부(OP2)가 제1 마스크(MK1)에 정의될 수 있다.
제2 개구부들(OP2)은 제1 방향(DR1)보다 제2 방향(DR2)으로 더 길게 연장된 직사각형 형상을 가질 수 있다. 그러나, 이에 한정되지 않고, 제2 개구부들(OP2)은 원형 및 다각형 등 다양한 형상들을 가질 수 있다.
제2 마스크(MK2)는 제1 마스크(MK1) 상에 배치될 수 있다. 제2 마스크(MK2)는 제1 방향(DR1)으로 연장된 장변들 및 제2 방향(DR2)으로 연장된 단변들을 갖는 직사각형 형상을 가질 수 있다. 그러나, 제2 마스크(MK2)의 형상이 이에 한정되는 것은 아니다. 제2 마스크(MK2)의 장변들 및 단변들은, 제2 마스크(MK2)의 측면들로서, 서로 연결되어 제2 마스크(MK2)의 테두리를 정의할 수 있다. 제2 마스크(MK2)는 금속을 포함할 수 있다.
제2 마스크(MK2)는 메쉬 형상을 갖는 복수 개의 메쉬부들(MSP)을 포함할 수 있다. 제2 마스크(MK2)는 메쉬 마스크로 정의될 수 있다. 평면 상에서 봤을 때, 메쉬부들(MSP)은 제2 개구부들(OP2)에 각각 중첩할 수 있다. 따라서, 메쉬부들(MSP)은 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)으로 배열될 수 있다.
예시적으로, 2개의 행들 및 3개의 열들로 배열된 6개의 메쉬부들(MSP)이 도시되었으나, 메쉬부들(MSP)의 개수는 이에 제한되지 않는다. 예를 들어, 제2 마스크(MK2)는 적어도 하나의 제2 개구부(OP2)에 중첩하는 적어도 하나의 메쉬부(MSP)를 포함할 수 있다.
메쉬부들(MSP)은 제2 개구부들(OP2)에 대응하는 형상을 가질 수 있다. 메쉬부들(MSP)은 제2 개구부들(OP2)과 같이, 제1 방향(DR1)보다 제2 방향(DR2)으로 더 길게 연장된 직사각형 형상을 가질 수 있다. 그러나, 이에 한정되지 않고, 메쉬부들(MSP)은 제2 개구부들(OP2)의 형상에 따라, 원형 또는 다각형 등 다양한 형상들을 가질 수 있다.
메쉬부들(MSP) 각각은 메쉬 형상을 정의하기 위한 복수 개의 메쉬선들(MSL)을 포함할 수 있다. 메쉬선들(MSL)은 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)으로 연장할 수 있다. 제1 방향(DR1)으로 연장된 메쉬선들(MSL)은 제2 방향(DR2)으로 배열되고, 제2 방향(DR2)으로 연장된 메쉬선들(MSL)은 제1 방향(DR1)으로 배열될 수 있다.
서로 교차하는 메쉬선들(MSL)에 의해 메쉬 형상이 정의될 수 있다. 서로 인접하여 교차하는 메쉬선들(MSL) 사이의 공간은 메쉬홀들(MSH)로 정의될 수 있다. 메쉬홀들(MSH)은 사각형 형상을 가질 수 있다.
고정부(FP)는 제2 마스크(MK2) 상에 배치될 수 있다. 고정부(FP)는 막대 형상을 갖는 복수 개의 고정바들(FB1,FB2)을 포함할 수 있다. 고정바들(FB1,FB2)은 제2 마스크(MK2)의 테두리에 인접할 수 있다. 고정바들(FB1,FB2)은 금속을 포함할 수 있다. 예를 들어, 고정바들(FB1,FB2)은 인바(Invar) 또는 스테인레스강을 포함할 수 있다.
고정바들(FB1,FB2)은 제1 방향(DR1)으로 연장하고 제2 방향(DR2)으로 서로 이격된 복수 개의 제1 고정바들(FB1) 및 제2 방향(DR2)으로 연장하고 제1 방향(DR1)으로 서로 이격된 복수 개의 제2 고정바들(FB2)을 포함할 수 있다.
차단부들(BLP)은 메쉬부들(MSP) 상에 배치될 수 있다. 소정의 개수의 차단부들(BLP)이 메쉬부들(MSP) 중 대응하는 메쉬부(MSP) 상에 배치될 수 있다. 예를 들어, 2개의 차단부들(BLP)이 메쉬부들(MSP) 중 대응하는 메쉬부(MSP) 상에 배치될 수 있다. 그러나, 메쉬부들(MSP) 상에 배치되는 차단부들(BLP)의 개수는 이에 제한되지 않는다. 예를 들어, 적어도 하나의 차단부(BLP)가 대응하는 메쉬부(MSP) 상에 배치될 수 있다. 차단부들(BLP)은 금속을 포함할 수 있다.
도 2는 도 1에 도시된 마스크의 구성들을 결합한 마스크의 사시도이다. 도 3은 도 2에 도시된 마스크를 상부에서 바라본 마스크의 평면도이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 평면 상에서 봤을 때, 제1 마스크(MK1)의 테두리 및 제2 마스크(MK2)의 테두리는 마스크 프레임(MF)의 테두리에 인접하게 배치될 수 있다. 제1 마스크(MK1)의 테두리 및 제2 마스크(MK2)의 테두리는 마스크 프레임(MF)의 테두리에 중첩하지 않을 수 있다. 그러나, 이는 예시적으로 도시한 것으로서, 제1 마스크(MK1)의 테두리 및 제2 마스크(MK2)의 테두리는 마스크 프레임(MF)의 테두리에 중첩할 수도 있다.
평면 상에서 봤을 때, 제2 마스크(MK2)의 테두리는 제1 마스크(MK1)의 테두리에 중첩할 수 있다. 그러나, 이는 예시적으로 도시한 것으로서, 제2 마스크(MK2)의 테두리는 제1 마스크(MK1)의 테두리에 중첩하지 않고, 제1 마스크(MK1)의 테두리에 인접할 수 있다.
고정부(FP)는, 평면 상에서 봤을 때, 메쉬부들(MSP)을 둘러싸도록, 제2 마스크(MK2)의 테두리를 따라 연장할 수 있다. 예를 들어, 평면 상에서 봤을 때, 제1 및 제2 고정바들(FB1,FB2)은 제2 마스크(MK2)의 테두리를 따라 배치되어, 메쉬부들(MSP)을 둘러쌀 수 있다. 메쉬부들(MSP)에 중첩하는 제2 개구부들(OP2) 역시, 평면 상에서 봤을 때, 제1 및 제2 고정바들(FB1,FB2)에 의해 둘러싸일 수 있다.
고정부(FP)의 외측면들은 제2 마스크(MK2)의 테두리에 중첩할 수 있다. 예를 들어, 외부를 향하는 제1 및 제2 고정바들(FB1,FB2)의 측면들은 제2 마스크(MK2)의 테두리에 중첩할 수 있다.
고정부(FP)는 레이저 용접에 의해 제2 마스크(MK2), 제1 마스크(MK1), 및 마스크 프레임(MF)에 연결되어 고정될 수 있다. 예를 들어, 고정부(FP) 위에서 고정부(FP)를 향해 레이저가 조사되고, 레이저의 에너지에 따른 열에 의해 고정부(FP), 제2 마스크(MK2), 제1 마스크(MK1), 및 마스크 프레임(MF)이 용융되어 서로 연결될 수 있다. 따라서, 고정부(FP), 제2 마스크(MK2), 제1 마스크(MK1), 및 마스크 프레임(MF)이 서로 연결되어 고정될 수 있다.
본 발명의 실시 예에서, 제2 마스크(MK2)는 제1 마스크(MK1)에만 고정되지 않는다. 제2 마스크(MK2)는 제1 마스크(MK1)에 고정되고, 고정부(FP)가 제2 마스크(MK2) 위에서 제2 마스크(MK2)를 추가로 고정할 수 있다. 고정부(FP)는 제2 마스크(MK2)를 제1 마스크(MK1) 및 마스크 프레임(MF)에 보다 견고히 고정시킬 수 있다.
얇은 시트 형태를 갖는 제2 마스크(MK2)가 제1 마스크(MK1)에 고정될 경우, 제2 마스크(MK2)의 고정 상태가 안정적이지 않을 수 있다. 본 발명의 실시 예에서, 고정부(FP)가 제2 마스크(MK2) 위에서 제2 마스크(MK2)를 추가로 고정하므로, 제2 마스크(MK2)가 보다 견고하게 고정될 수 있다.
제1 및 제2 고정바들(FB1,FB2)은 메쉬부들(MSP)을 둘러싸기 위해 서로 인접하게 배치되어 사각형의 틀 형상을 이룰 수 있다. 사각형의 틀 형상을 이루도록 제1 및 제2 고정바들(FB1,FB2)의 끝단들은 서로 접촉할 수 있다.
차단부들(BLP) 중 2개의 차단부들(BLP) 각각은 메쉬부들(MSP) 중 대응하는 메쉬부(MSP)의 일부분들 상에 배치될 수 있다. 예시적으로, 평면상에서 봤을 때, 2개의 차단부들(BLP)은 대응하는 메쉬부(MSP)의 상측 및 우측을 있는 꼭지점에 인접하게 배치될 수 있다. 그러나, 2개의 차단부들(BLP)의 배치 위치들이 이에 한정되는 것은 아니다.
예시적으로, 차단부들(BLP)은 원형 형상을 가질 수 있다. 그러나, 이에 한정되지 않고, 차단부들(BLP)은 타원형 또는 다각형 등 다양한 형상들을 가질 수 있다. 차단부들(BLP)은 용접에 의해 메쉬부들(MSP)에 연결되어 메쉬부들(MSP)에 고정될 수 있다. 예를 들어, 차단부들(BLP)은 레이저 용접에 의해 메쉬선들(MSL)에 연결되어 메쉬선들(MSL)에 고정될 수 있다.
도 4는 도 3에 도시된 I-I'선의 단면도이다.
도 4를 참조하면, 메쉬선들(MSL) 각각의 선폭(LW)은 10 마이크로미터(μm) 내지 20 마이크로미터(μm)일 수 있다. 선폭(LW)은 메쉬선들(MSL)각각의 연장 방향과 교차하는 방향으로 측정된 메쉬선들(MSL) 각각의 폭으로 정의될 수 있다. 서로 평행하게 연장하여 서로 마주보는 2개의 메쉬선들(MSL) 사이의 제1 간격(GP1)은 0.5 미리미터(mm) 내지 2 미리미터(mm)일 수 있다.
차단부(BLP)는 메쉬선들(MSL) 상에 배치되어 메쉬선들(MSL)에 연결될 수 있다. 차단부(BLP)의 직경은 제1 간격(GP1)보다 클 수 있다. 차단부(BLP)의 직경이 제1 간격(GP1)보다 작을 경우, 차단부(BLP)가 메쉬홀(MSH)을 통해 아래로 떨어질 수 있다. 차단부(BLP)의 직경이 제1 간격(GP1)보다 크므로, 차단부(BLP)는 메쉬선들(MSL) 상에 안정적으로 안착될 수 있다. 메쉬부(MSP)는 실질적으로 차단부(BLP)를 배치하기 위해 사용되는 구조물일 수 있다.
도 5는 도 3에 도시된 Ⅱ-Ⅱ'선의 단면도이다.
도 5에는 예시적으로, 표시 패널의 제조 단계를 설명하기 위해, 표시 패널의 제조시 사용되는 모기판(M_SUB)이 함께 도시되었다.
도 5를 참조하면, 고정부(FP) 상에 모기판(M_SUB)이 배치될 수 있다. 모기판(M_SUB)은 복수 개의 단위 기판들(U_SUB)을 포함할 수 있다. 단위 기판들(U_SUB) 각각은 표시 패널을 제조하기 위해 사용될 수 있다. 단위 기판들(U_SUB) 각각에 화소들이 형성되고, 단위 기판들(U_SUB)이 절단되어 표시 패널이 제조될 수 있다.
고정부(FP)는 모기판(M_SUB)의 테두리를 지지할 수 있다. 고정부(FP)에 의해 모기판(M_SUB)은 제2 마스크(MK2)와 제2 간격(GP2) 만큼 상부로 이격될 수 있다. 제3 방향(DR3)을 기준으로 고정부(FP)는 600 마이크로미터(μm) 내지 2000 마이크로미터(μm)의 두께를 가질 수 있다. 즉, 고정부(FP)의 두께에 따라, 제2 간격(GP2)은 600 마이크로미터(μm) 내지 2000 마이크로미터(μm)로 설정될 수 있다.
제3 방향(DR3)으로 서로 반대하는 고정부(FP)의 상면 및 하면은 제1 및 제2 방향들(DR1,DR2)에 의해 정의된 평면들을 가질 수 있다. 제3 방향(DR3)은 고정부(FP)의 상면 및 하면에 각각 수직한 방향으로 정의될 수 있다.
평면 상에서 봤을 때, 단위 기판들(U_SUB)은 메쉬부들(MSP)에 각각 중첩할 수 있다. 또한, 평면 상에서 봤을 때, 단위 기판들(U_SUB)은 제2 개구부들(OP2)에 각각 중첩할 수 있다. 평면 상에서 봤을 때, 단위 기판들(U_SUB), 메쉬부들(MSP), 제2 개구부들(OP2)은 제1 개구부(OP1) 내에 배치되어 제1 개구부(OP1)에 중첩할 수 있다.
마스크(MSK) 아래에 복수 개의 도가니들(CR)이 배치될 수 있다. 도가니들(CR) 각각의 상부에는 노즐(NZ)이 배치될 수 있다. 도가니들(CR) 내에는 증착 물질(DPM)이 수용될 수 있다. 도시하지 않았으나, 도가니들(CR)을 가열하기 위한 열원이 도가니들(CR) 내에 배치될 수 있다. 또한, 도가니들(CR), 마스크(MSK), 및 모기판(M_SUB)은 표시 패널의 제조 공정에 사용되는 진공 챔버 내에 배치될 수 있다.
도가니들(CR)이 가열되고, 증착 물질(DPM)이 기화되어 노즐(NZ)을 통해 상부로 분사될 수 있다. 기화된 증착 물질(DPM)은 제1 개구부(OP1), 제2 개구부들(OP2), 및 메쉬부들(MSP)를 통과하여 단위 기판들(U_SUB)의 하면 상에 증착될 수 있다.
제2 개구부들(OP2) 각각의 주변 영역에서, 증착 물질(DPM)은 제1 마스크(MK1)에 의해 차단되어 모기판(M_SUB)에 제공되지 않을 수 있다. 따라서, 단위 기판들(U_SUB) 사이의 모기판(M_SUB)의 부분에는 증착 물질(DPM)이 제공되지 않을 수 있다.
도 6은 도 5에 도시된 마스크에서 차단부에 중첩하는 부분 및 차단부에 인접한 부분을 확대하여 도시한 도면이다.
예시적으로, 도 6은 도 4에 대응하는 단면으로 도시하였으며, 도 6에서 증착 물질(DPM)의 분사 방향은 점선 화살표로 도시되었다.
도 6을 참조하면, 증착 물질(DPM)은 메쉬홀들(MSH)을 통과하여 단위 기판(U_SUB) 상에 제공될 수 있다. 증착 물질(DPM)은 소정의 분사각을 갖고 상부로 진행할 수 있다. 전술한 바와 같이, 메쉬부(MSP)는 단위 기판(U_SUB)과 제2 간격(GP2)만큼 이격될 수 있다.
이러한 경우, 메쉬선들(MSL)에 의해 일부 증착 물질(DPM)이 차단되더라도, 소정의 분사각을 갖고 상부로 진행하는 증착 물질(DPM)은 메쉬홀들(MSH)을 통과하여 단위 기판(U_SUB) 상에 정상적으로 증착될 수 있다.
메쉬부(MSP)와 단위 기판(U_SUB)이 서로 접촉한다면, 메쉬선들(MSL)에 중첩하는 단위 기판(U_SUB)의 부분에는 증착 물질(DPM)이 증착되지 않을 수 있다. 즉, 메쉬선들(MSL)이 마스크 역할을 할 수 있다.
증착 물질(DPM)이 소정의 분사각을 갖고 상부로 진행하므로, 메쉬부(MSP)와 단위 기판(U_SUB)이 멀어질수록, 증착 물질(DPM)이 증착되지 않는 단위 기판(U_SUB)의 부분은 감소할 수 있다. 메쉬부(MSP)와 단위 기판(U_SUB)이 특정 간격 이상으로 이격될 경우, 증착 물질(DPM)은 단위 기판(U_SUB)의 전체에 증착될 수 있다.
메쉬선들(MSL) 각각의 선폭(LW)이 10 마이크로미터(μm) 내지 20 마이크로미터(μm)이고, 메쉬선들(MSL) 사이의 제1 간격(GP1)이 0.5 미리미터(mm) 내지 2 미리미터(mm)이고, 메쉬부(MSP)와 단위 기판(U_SUB) 사이의 제2 간격(GP2)이 600 마이크로미터(μm)이상일 경우, 증착 물질(DPM)은 단위 기판(U_SUB)의 전체에 증착될 수 있다.
증착 물질(DPM)이 소정의 분사각을 갖고 상부로 진행하더라도, 차단부(BLP)의 크기에 따라, 증착 물질(DPM)은 차단부(BLP)에서 차단될 수 있다. 즉, 차단부(BLP)는 증착 물질(DPM)의 진행을 차단하는 마스크 역할을 할 수 있다. 따라서, 차단부(BLP)에 중첩하는 단위 기판(U_SUB)의 부분에는 증착 물질(DPM)이 제공되지 않을 수 있다.
차단부(BLP)에 의해 증착 물질(DPM)이 증착되지 않은 단위 기판(U_SUB)의 부분은 카메라가 배치되기 위한 영역으로 정의될 수 있다. 차단부(BLP)에 중첩하는 단위 기판(U_SUB)의 부분은 이하 표시 패널의 제1 영역으로 정의되어 설명될 것이다.
도 7은 도 1에 도시된 마스크를 이용해 제조된 표시 패널의 평면도이다.
도 7을 참조하면, 표시 패널(DP)의 평면 영역은 표시 영역(DA) 및 표시 영역(DA)을 둘러싸고, 표시 패널(DP)의 테두리를 정의하는 비표시 영역(NDA)을 포함할 수 있다. 표시 패널(DP)은 표시 영역(DA)에 배치된 복수 개의 화소들을 포함할 수 있다. 화소들의 구조는 이하 도 8을 참조하여 상세하 설명될 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 표시 패널(DP)은 발광형 표시 패널일 수 있고, 특별히 제한되지 않는다. 예컨대, 표시 패널(DP)은 유기 발광 표시 패널 또는 퀀텀닷 발광 표시 패널일 수 있다. 유기발광 표시 패널의 발광층은 유기 발광 물질을 포함할 수 있다. 퀀텀닷 발광 표시 패널의 발광층은 퀀텀닷, 및 퀀텀로드 등을 포함할 수 있다. 이하, 표시 패널(DP)은 유기 발광 표시 패널로 설명된다.
표시 패널(DP)은 제2 방향(DR2)으로 연장하는 장변들 및 제1 방향(DR1)으로 연장하는 단변들을 갖는 직사각형 형상을 가질 수 있다. 그러나, 이에 한정되지 않고, 표시 패널(DP)은 원형 또는 다각형 등 다양한 형상들을 가질 수 있다.
표시 패널(DP)에는 복수 개의 기능 소자들이 배치될 수 있다. 기능 소자들은 스피커(SPK) 및 카메라들(CAM)을 포함할 수 있다. 스피커(SPK)는 비표시 영역(NDA)에 배치되고, 카메라들(CAM)은 표시 영역(DA)에 배치될 수 있다. 카메라들(CAM)은 표시 패널(DP) 아래에 배치될 수 있다.
도 8은 도 7에 도시된 표시 영역에 배치되는 화소의 단면 구성을 예시적으로 도시한 도면이다.
예시적으로 하나의 화소(PX)가 도시되었으나, 도 8에 도시된 화소(PX)가 표시 영역(DA)에 복수 개로 제공될 수 있다.
도 8을 참조하면, 표시 영역(DA)은 발광 영역(PXA) 및 발광 영역(PXA) 주변의 비발광 영역(NPXA)을 포함할 수 있다. 실질적으로, 발광 영역(PXA)은 표시 영역(DA)에 복수 개로 제공될 수 있다.
화소(PX)는 발광 소자(OLED) 및 발광 소자(OLED)에 연결된 트랜지스터(TR)를 포함할 수 있다. 발광 소자(OLED)는 제1 전극(AE), 제2 전극(CE), 정공 제어층(HCL), 전자 제어층(ECL), 및 발광층(EML)을 포함할 수 있다. 제1 전극(AE)은 애노드 전극일 수 있으며, 제2 전극(CE)은 캐소드 전극일 수 있다.
트랜지스터(TR) 및 발광 소자(OLED)는 기판(SUB) 상에 배치될 수 있다. 발광 소자(OLED)는 발광 영역(PXA)에 배치되고, 트랜지스터(TR)는 비발광 영역(NPXA)에 배치될 수 있다. 기판(SUB) 상에 버퍼층(BFL)이 배치되며, 버퍼층(BFL)은 무기 물질을 포함할 수 있다.
버퍼층(BFL) 상에 트랜지스터(TR)의 반도체층(SM)이 배치될 수 있다. 반도체층(SM)은 비정질(Amorphous) 실리콘 또는 다결정질(Poly) 실리콘과 같은 무기 재료의 반도체나 유기 반도체를 포함할 수 있다. 또한, 반도체층(SM)은 산화물 반도체(oxide semiconductor)를 포함할 수 있다. 도 8에 도시되지 않았으나, 반도체층(SM)은 소스 영역, 드레인 영역, 및 소스 영역과 드레인 영역 사이의 채널 영역을 포함할 수 있다.
반도체층(SM)을 덮도록 버퍼층(BFL) 상에 제1 절연층(INS1)이 배치될 수 있다. 제1 절연층(INS1)은 무기 물질을 포함할 수 있다. 제1 절연층(INS1) 상에 반도체층(SM)과 중첩하는 트랜지스터(TR)의 게이트 전극(GE)이 배치될 수 있다. 게이트 전극(GE)은 반도체층(SM)의 채널 영역과 중첩되도록 배치될 수 있다.
게이트 전극(GE)을 덮도록 제1 절연층(INS1) 상에 제2 절연층(INS2)이 배치될 수 있다. 제2 절연층(INS2)은 유기 물질 및/또는 무기 물질을 포함할 수 있다.
제2 절연층(INS2) 상에 트랜지스터(TR)의 소스 전극(SE) 및 드레인 전극(DE)이 서로 이격되어 배치될 수 있다. 소스 전극(SE)은 제1 절연층(INS1) 및 제2 절연층(INS2)에 정의된 제1 컨택홀(CH1)을 통해 반도체층(SM)의 소스 영역에 연결될 수 있다. 드레인 전극(DE)은 제1 절연층(INS1) 및 제2 절연층(INS2)에 정의된 제2 컨택홀(CH2)을 통해 반도체층(SM)의 드레인 영역에 연결될 수 있다.
트랜지스터(TR)의 소스 전극(SE) 및 드레인 전극(DE)을 덮도록 제2 절연층(INS2) 상에 제3 절연층(INS3)이 배치될 수 있다. 제3 절연층(INS3)은 유기 물질을 포함할 수 있다. 제3 절연층(INS3) 상에 연결 전극(CNE)이 배치될 수 있다. 연결 전극(CNE)은 제3 절연층(INS3)에 정의된 제3 컨택홀(CH3)을 통해 드레인 전극(DE)에 연결될 수 있다.
연결 전극(CNE)을 덮도록 제3 절연층(INS3) 상에 제4 절연층(INS4)이 배치될 수 있다. 제4 절연층(INS4) 상에 제1 전극(AE)이 배치될 수 있다. 제1 전극(AE)은 제4 절연층(INS4)에 정의된 제4 컨택홀(CH4)을 통해 연결 전극(CNE)에 연결될 수 있다.
제1 전극(AE) 및 제4 절연층(INS4) 상에 제1 전극(AE)의 소정의 부분을 노출시키는 화소 정의막(PDL)이 배치될 수 있다. 화소 정의막(PDL)에는 제1 전극(AE)의 소정의 부분을 노출시키기 위한 개구부(PX_OP)가 정의될 수 있다.
정공 제어층(HCL)은 제1 전극(AE) 및 화소 정의막(PDL) 상에 배치될 수 있다. 정공 제어층(HCL)은 발광 영역(PXA)과 비발광 영역(NPXA)에 공통으로 배치될 수 있다. 정공 제어층(HCL)은 정공 수송층을 포함하고, 정공 주입층을 더 포함할 수 있다.
발광층(EML)은 정공 제어층(HCL) 상에 배치될 수 있다. 발광층(EML)은 개구부(PX_OP)에 대응하는 영역에 배치될 수 있다. 즉, 발광층(EML)은 화소들(PX)에서 서로 분리되어 형성될 수 있다. 발광층(EML)은 유기 물질 및/또는 무기 물질을 포함할 수 있다. 발광층(EML)은 적색, 녹색, 및 청색 중 어느 하나의 광을 생성할 수 있다. 그러나 이에 한정되지 않고, 발광층(EML)은 적색, 녹색, 및 청색을 생성하는 유기 물질들의 조합에 의해 백색광을 생성할 수도 있다.
전자 제어층(ECL)은 발광층(EML) 상에 배치될 수 있다. 전자 제어층(ECL)은 발광층(EML)을 덮도록 정공 제어층(HCL) 상에 배치될 수 있다. 즉, 전자 제어층(ECL)은 발광 영역(PXA)과 비발광 영역(NPXA)에 공통으로 배치될 수 있다. 전자 제어층(ECL)은 전자 수송층을 포함하고, 전자 주입층을 더 포함할 수 있다.
제2 전극(CE)은 전자 제어층(ECL) 상에 배치될 수 있다. 제2 전극(CE)은 화소들(PX)에 공통으로 배치될 수 있다. 박막 봉지층(TFE)은 제2 전극(CE) 상에 배치될 수 있다.
버퍼층(BFL)부터 제4 절연층(INS4)까지의 층은 회로 소자층(DP-CL)으로 정의될 수 있다. 제1 전극(AE)부터 제2 전극(CE)까지의 층은 표시 소자층(DP-OLED)으로 정의될 수 있다.
제1 전압이 제1 전극(AE)에 인가되고, 제1 전압보다 낮은 레벨을 갖는 제2 전압이 제2 전극(CE)에 인가될 수 있다. 발광층(EML)에 주입된 정공과 전자가 결합하여 여기자(exciton)가 형성되고, 여기자가 바닥 상태로 전이하면서 발광 소자(OLED)가 발광될 수 있다. 발광 소자(OLED)가 발광되어, 영상이 표시될 수 있다.
도 9는 도 7에 도시된 Ⅲ-Ⅲ'선의 단면도이다.
이하 설명의 필요에 따라, 도 6이 함께 설명될 것이다.
도 6 및 도 9를 참조하면, 표시 패널(DP)은 제1 영역(A1)을 포함할 수 있다. 제1 영역(A1)은 차단부(BLP)에 중첩할 수 있다. 제1 영역(A1) 아래에 카메라(CAM)가 배치될 수 있다. 제1 영역(A1)에 영상을 표시하는 발광 소자(OLED)가 배치된다면, 카메라(CAM)가 외부의 이미지를 촬상하기 어려울 수 있다. 따라서, 제1 영역(A1)에는 발광 소자(OLED)가 배치되지 않을 수 있다. 예를 들어, 표시 소자층(DP-OLED)은 제1 영역(A1)에 형성되지 않을 수 있다.
제1 영역(A1)에 증착 물질(DPM)을 제공하지 않기 위해 제2 마스크(MK2)가 사용될 수 있다. 예를 들어, 발광 영역(PXA)과 비발광 영역(NPXA)에 모두 배치되는 제2 전극(CE), 정공 제어층(HCL), 및 전자 제어층(ECL)이 형성될 때, 제2 마스크(MK2)가 사용될 수 있다.
제2 전극(CE), 정공 제어층(HCL), 및 전자 제어층(ECL)을 형성하기 위한 증착 물질들이 기판(SUB) 상에 증착될 때, 증착 물질들은 차단부(BLP)에 의해 차단되어 제1 영역(A1)에 제공되지 않을 수 있다. 따라서, 제1 영역(A1)에 발광 소자(OLED)가 형성되지 않을 수 있다. 카메라(CAM)는 제1 영역(A1)을 통해 제공되는 외부광(OL)을 이용하여 외부의 이미지를 촬상할 수 있다.
도시하지 않았으나, 제1 전극(AE) 및 발광층(EML)도 제1 영역(A1)에 형성되지 않을 수 있다. 다만, 제1 전극(AE) 및 발광층(EML)을 제1 영역(A1)에 형성하지 않기 위해 제2 마스크(MK2)와 다른 마스크가 사용될 수 있다.
도 10은 도 7에 도시된 표시 패널을 이용하여 제조된 표시 장치의 단면을 예시적으로 도시한 도면이다.
도 10을 참조하면, 표시 장치(DD)는 표시 패널(DP), 입력 감지부(ISP), 반사 방지층(RPL), 윈도우(WIN), 커버층(CVL), 및 제1 내지 제3 점착층들(AL1~AL3)을 포함할 수 있다. 표시 패널(DP), 입력 감지부(ISP), 반사 방지층(RPL), 및 윈도우(WIN)는 표시 패널(DP) 상에 배치되고, 커버층(CVL)은 표시 패널(DP) 아래에 배치될 수 있다.
입력 감지부(ISP)는 표시 패널(DP) 상에 배치될 수 있다. 입력 감지부(ISP)는 외부의 입력을 감지하기 위한 복수 개의 센서부들(미 도시됨)을 포함할 수 있다. 센서부들은 정전 용량 방식으로 외부의 입력을 감지할 수 있다. 입력 감지부(ISP)는 표시 패널(DP)의 제조 시, 표시 패널(DP) 상에 바로 제조될 수 있다. 그러나, 이에 한정되지 않고, 입력 감지부(ISP)는 표시 패널(DP)과는 별도의 패널로 제조되어, 점착층에 의해 표시 패널(DP)에 부착될 수도 있다.
반사 방지층(RPL)은 입력 감지부(ISP) 상에 배치될 수 있다. 반사 방지층(RPL)은 외광 반사 방지 필름으로 정의될 수 있다. 반사 방지층(RPL)은 표시 장치(DD) 위에서부터 표시 패널(DP)을 향해 입사되는 외부광의 반사율을 감소시킬 수 있다. 예시적으로 반사 방지층(RPL)은 위상 지연자(retarder) 및/또는 편광자(polarizer)를 포함할 수 있다.
윈도우(WIN)는 반사 방지층(RPL) 상에 배치될 수 있다. 윈도우(WIN)는 외부의 스크래치 및 충격으로부터 표시 패널(DP), 입력 감지부(ISP), 및 반사 방지층(RPL)을 보호할 수 있다. 윈도우(WIN)는 광학적으로 투명한 성질을 가질 수 있다.
커버층(CVL)은 표시 패널(DP) 아래에 배치될 수 있다. 커버층(CVL)은 표시 장치(DD)의 하부에 인가되는 외부의 충격을 흡수하여 표시 패널(DP)을 보호할 수 있다. 커버층(CVL)은 소정의 탄성력을 갖는 발포(foam) 시트를 포함할 수 있다. 커버층(CVL)에는 개구부(OP)가 정의될 수 있다. 카메라(CAM)는 개구부(OP)에 배치될 수 있다.
제1 점착층(AL1)은 표시 패널(DP)과 커버층(CVL) 사이에 배치될 수 있다. 제1 점착층(AL1)에 의해 표시 패널(DP)과 커버층(CVL)이 서로 합착될 수 있다. 제2 점착층(AL2)은 반사 방지층(RPL)과 입력 감지부(ISP) 사이에 배치될 수 있다. 제2 점착층(AL2)에 의해 반사 방지층(RPL)과 입력 감지부(ISP)가 서로 합착될 수 있다. 제3 점착층(AL3)은 윈도우(WIN)와 반사 방지층(RPL) 사이에 배치될 수 있다. 제3 점착층(AL3)에 의해 윈도우(WIN)와 반사 방지층(RPL)이 서로 합착될 수 있다.
도 11 내지 도 15는 본 발명의 다양한 실시 예들에 따른 고정부들의 구성들을 도시한 도면들이다.
이하 도 1에 도시된 고정부(FP)와 다른 구성을 위주로, 도 11 내지 도 15에 도시된 고정부들(FP_1,FP_2,FP_3,FP_4)의 구성들이 설명될 것이다. 도 11 내지 도 15에 도시된 고정부들(FP_1,FP_2,FP_3,FP_4)은 도 1에 도시된 고정부(FP)와 같이 제2 마스크(MK2)의 테두리를 따라 제2 마스크(MK2) 상에 배치될 수 있다.
도 11을 참조하면, 고정부(FP_1)는 서로 인접하게 배치된 제1 고정부(FP1) 및 제2 고정부(FP2)를 포함할 수 있다. 제1 고정부(FP1)는 "L"자 형상을 가질 수 있다. 제2 고정부(FP2)는 제1 고정부(FP1)와 마주보고 "L"자를 180도 회전시킨 형상을 가질 수 있다.
도 12를 참조하면, 고정부(FP_2)는 사각형의 틀 형상을 가질 수 있다. 고정부(FP_2)는 도 1에 도시된 고정부(FP)와 같이 복수 개의 고정바들(FB1,FB2)로 구분되지 않고, 일체형의 틀 형상을 가질 수 있다.
도 13을 참조하면, 고정부(FP_3)의 상면에는 제1 홈(G1)이 정의될 수 있다. 제1 홈(G1)은 고정부(FP_3)의 상면의 소정의 부분에 정의되어 고정부(FP_3)의 연장 방향을 따라 연장할 수 있다.
구체적으로, 고정부(FP_3)는 도 1에 도시된 고정부(FP_1)와 같이 복수 개의 제1 및 제2 고정바들(FB1_1,FB2_1)을 포함할 수 있다. 제1 고정바들(FB1_1)은 제1 방향(DR1)으로 연장하고 제2 방향(DR2)으로 서로 이격될 수 있다. 제2 고정바들(FB2_1)은 제2 방향(DR2)으로 연장하고 제1 방향(DR1)으로 서로 이격될 수 있다.
제1 고정바들(FB1_1) 각각의 상면의 소정의 부분에 제1 홈(G1)이 정의되고, 제1 고정바들(FB1_1) 각각에 정의된 제1 홈(G1)은 제1 방향(DR1)으로 연장할 수 있다. 제2 고정바들(FB2_1) 각각의 상면의 소정의 부분에 제1 홈(G1)이 정의되고, 제2 고정바들(FB2_1) 각각에 정의된 제1 홈(G1)은 제2 방향(DR2)으로 연장할 수 있다.
도 14는 도 13에 도시된 고정부(FP_3)가 용접에 의해 제2 마스크, 제1 마스크, 및 마스크 프레임에 결합된 상태를 도시한 도면이다.
예시적으로 도 14는 단면으로 도시되었다.
도 14를 참조하면, 고정부(FP_3)의 제1 홈(G1)을 통해 레이저 용접이 진행될 수 있다. 용접 공정시 고정부(FP_3)에 돌기(PT)가 형성될 수 있다. 예를 들어, 고정부(FP_3)의 일부분이 녹아 돌기(PT)로 형성될 수 있다. 돌기(PT)는 제1 홈(G1)에 배치될 수 있다.
고정부(FP_3)에 제1 홈(G1)이 형성되지 않고, 용접 공정이 진행되어 고정부(FP_3)의 상면에 돌기(PT)가 형성될 경우, 고정부(FP_3)의 상면에 배치되는 모기판(M_SUB)이 돌기(PT)에 의해 손상될 수 있다. 그러나, 본 발명의 실시 예에서, 돌기(PT)가 제1 홈(G1)에 배치되므로, 모기판(M_SUB)은 돌기(PT)에 의해 손상되지 않을 수 있다.
도 15를 참조하면, 고정부(FP_4)의 상면과 고정부(FP_4)의 일측면 사이에 제2 홈(G2)이 정의되고, 제2 홈(G2)은 고정부(FP_4)의 연장 방향을 따라 연장할 수 있다. 고정부(FP_4)는 복수 개의 제1 및 제2 고정바들(FB1_2,FB2_2)을 포함할 수 있다. 제1 및 제2 고정바들(FB1_2,FB2_2)의 배치 위치는 도 13에 도시된 제1 및 제2 고정바들(FB1_1,FB2_1)의 배치 위치와 동일할 수 있다.
제1 및 제2 고정바들(FB1_2,FB2_2)에 제2 홈(G2)이 정의될 수 있다. 제2 홈(G2)은 제1 및 제2 고정바들(FB1_2,FB2_2) 각각의 상면과 제1 및 제2 고정바들(FB1_2,FB2_2) 각각의 일측면 사이에 정의되어, 제1 및 제2 고정바들(FB1_2,FB2_2) 각각의 연장 방향을 따라 연장할 수 있다.
도 16은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 마스크의 사시이도이다. 도 17은 도 16에 도시된 마스크를 위에서 바라본 마스크의 평면도이다. 도 18은 도 17에 도시된 Ⅳ-Ⅳ'선의 단면도이다.
제1 마스크(MK1) 및 고정부(FP_5)의 구성들을 제외하면, 마스크(MSK_1)의 구성은 도 1에 도시된 마스크(MSK)와 동일할 수 있다. 따라서, 이하, 도 1에 도시된 마스크(MSK)와 다른 구성을 위주로, 마스크(MSK_1)의 구성이 설명될 것이며 동일한 구성은 동일한 부호를 사용하여 도시하였다.
도 16 및 도 17을 참조하면, 마스크(MSK_1)는 복수 개의 제2 마스크들(MK2') 및 제2 마스크들(MK2') 상에 각각 배치된 복수 개의 제2 고정부들(FP_5)을 포함할 수 있다. 제2 마스크들(MK2') 각각은 메쉬부(MSP)를 포함할 수 있다. 제2 마스크들(MK2')의 메쉬부들(MSP)은 제2 개구부들(OP2)에 각각 중첩할 수 있다. 차단부들(BLP)은 메쉬부들(MSP) 상에 배치될 수 있다.
고정부들(FP_5) 각각은 복수 개의 제1 고정바들(FB1_3) 및 복수 개의 제2 고정바들(FB2_3)을 포함할 수 있다. 크기만 다를뿐, 제1 및 제2 고정바들(FB1_3,FB2_3)의 구성들은 실질적으로, 도 1에 도시된 제1 및 제2 고정바들(FB1,FB2)과 같을 수 있다.
도 17 및 도 18을 참조하면, 제2 마스크들(MK2') 각각의 테두리는 제2 개구부들(OP2) 중 대응하는 제2 개구부(OP2)에 인접하여 대응하는 제2 개구부(OP2)보다 외곽에 배치될 수 있다. 고정부들(FP_5) 각각은, 평면 상에서 봤을 때, 메쉬부들(MSP) 중 대응하는 메쉬부(MSP) 및 제2 개구부들(OP2) 중 대응하는 제2 개구부(OP2)를 둘러싸도록 배치될 수 있다. 고정부들(FP_5)은 레이저 용접에 의해 제2 마스크들(MK2') 및 제1 마스크(MK1)에 고정될 수 있다.
도 18을 참조하면, 고정부(FP_5)은 제2 마스크(MK2')의 테두리에 인접한 제2 마스크(MK2')의 부분에 연결될 수 있다. 제2 마스크(MK2')의 테두리에 인접한 제2 마스크(MK2')의 부분은 제2 개구부(OP2)에 인접한 제1 마스크(MK1)의 부분에 연결될 수 있다. 고정부(FP_5)에 의해 제2 마스크(MK2')가 제1 마스크(MK1)에 보다 견고하게 고정될 수 있다.
도 19는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 고정부의 구성을 도시한 도면이다.
도 19는 예시적으로 도 18에 대응하는 단면으로 도시하였다. 도 19에 도시된 고정부(FP_6)는 단면 형상을 제외하면, 도 18에 도시된 고정부(FP_5)와 동일한 구성을 갖는다. 따라서, 이하, 고정부(FP_6)의 단면 형상이 주로 설명될 것이다.
도 19를 참조하면, 제2 개구부(OP2)에 인접한 고정부(FP_6)의 일측은 제1 경사면(SLP1) 및 제2 경사면(SLP2)을 포함할 수 있다. 고정부(FP_6)의 일측의 반대측인 고정부(FP_6)의 타측은 고정부(FP_6)의 일측과 대칭되는 형상을 가질 수 있다.
제1 경사면(SLP1)은 제2 개구부(OP2)에 인접한 고정부(FP_6)의 내측 테두리(I_EG)에서부터 내측 테두리(I_EG)보다 높게 배치된 고정부(FP_6)의 상면(US)을 향해 연장될 수 있다. 제2 경사면(SLP2)은 고정부(FP_6)의 내측 테두리(I_EG)에서부터 내측 테두리(I_EG)보다 낮게 배치된 고정부(FP_6)의 하면(LS)을 향해 연장될 수 있다. 평면 상에서 봤을 때, 고정부(FP_6)의 내측 테두리(I_EG)는 고정부(FP_6)의 상면(US) 및 고정부(FP_6)의 하면(LS)보다 제2 개구부(OP2)에 인접할 수 있다.
제1 경사면(SLP1) 및 제2 경사면(SLP2)은 제3 방향(DR3)에 대해 0보다 크고 90도 보다 작은 각도를 이룰 수 있다. 바람직하게는, 제1 경사면(SLP1) 및 제2 경사면(SLP2)은 제3 방향(DR3)에 대해 30도 내지 60도 각도를 이룰 수 있다.
도 20은 도 19에 도시된 고정부를 향해 분사되는 증착 물질을 도시한 도면이다.
도 20을 참조하면, 증착 물질(DPM)이 제공되는 영역은 사각형의 단면을 갖는 고정부(점선으로 도시됨)보다 제1 및 제2 경사면들(SLP1,SLP2)을 갖는 고정부(FP_6)에서 보다 더 확장될 수 있다. 이러한 경우, 증착 물질(DPM)이 보다 더 넓은 영역으로 제공될 수 있다.
이상 실시 예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. 또한 본 발명에 개시된 실시 예는 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니고, 하기의 특허 청구의 범위 및 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
MSK: 마스크 MF: 마스크 프레임
MK1: 제1 마스크 MK2: 제2 마스크
FP: 고정부 OP1: 제1 개구부
OP2: 제2 개구부 MSP: 메쉬부
MSL: 메쉬선 MSH: 메쉬홀
BLP: 차단부 FB1,FB2: 제1 및 제2 고정바
M_SUB: 모기판 U_SUB: 단위 기판
DPM: 증착 물질

Claims (20)

  1. 제1 개구부가 정의된 마스크 프레임;
    상기 마스크 프레임 상에 배치되고, 상기 제1 개구부에 중첩하는 제2 개구부가 정의된 제1 마스크;
    상기 제2 개구부에 중첩하여 메쉬 형상을 갖는 메쉬부를 포함하고, 상기 제1 마스크 상에 배치된 제2 마스크; 및
    상기 제2 마스크 상에 배치되고, 상기 메쉬부를 둘러싸도록 상기 제2 마스크의 테두리를 따라 연장하는 고정부를 포함하는 마스크.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 고정부는 상기 제2 마스크의 상기 테두리를 따라 배치되는 복수 개의 고정바들을 포함하는 마스크.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 고정바들은,
    제1 방향으로 연장하고 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 이격된 복수 개의 제1 고정바들; 및
    상기 제2 방향으로 연장하고, 상기 제1 방향으로 이격된 복수 개의 제2 고정바들을 포함하는 마스크.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 고정부는 600 마이크로미터 내지 2000 마이크로미터의 두께를 갖는 마스크.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 메쉬부는 상기 메쉬 형상을 정의하는 복수 개의 메쉬선들을 포함하고,
    상기 복수 개의 메쉬선들 각각의 선폭은 10 마이크로미터 내지 20 마이크로미터인 마스크.
  6. 제 5 항에 있어서,
    서로 평행하게 연장하여 서로 마주보는 2개의 메쉬선들 사이의 간격은 0.5 미리미터 내지 2 미리미터인 마스크.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 메쉬부의 일부분 상에 배치된 차단부를 더 포함하는 마스크.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 차단부는 원형 형상을 갖고, 상기 차단부의 직경은 상기 2개의 메쉬선들 사이의 간격보다 큰 마스크.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 차단부는 상기 메쉬선들에 연결되는 마스크.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 마스크의 테두리 및 상기 제2 마스크의 상기 테두리는 상기 마스크 프레임의 테두리에 인접한 마스크.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 고정부는 상기 제2 마스크, 상기 제1 마스크, 및 상기 마스크 프레임에 연결되는 마스크.
  12. 제 1 항에 있어서,
    상기 고정부는,
    "L"자 형상을 갖는 제1 고정부; 및
    상기 제1 고정부와 마주보고 상기 "L"자를 180도 회전시킨 형상을 갖는 제2 고정부를 포함하는 마스크.
  13. 제 1 항에 있어서,
    상기 고정부는 사각형의 틀 형상을 갖는 마스크.
  14. 제 1 항에 있어서,
    상기 고정부의 상면에는 홈이 정의되고, 상기 홈은 상기 고정부의 연장 방향을 따라 연장하는 마스크.
  15. 제 14 항에 있어서,
    상기 홈은 상기 고정부의 상면의 소정의 부분에 정의되어 상기 고정부의 연장 방향을 따라 연장하는 마스크.
  16. 제 14 항에 있어서,
    상기 홈은 상기 고정부의 상면과 상기 고정부의 일측면 사이에 정의되어, 상기 고정부의 연장 방향을 따라 연장하는 마스크.
  17. 제 1 항에 있어서,
    상기 제2 마스크의 상기 테두리는 상기 제2 개구부에 인접하고, 상기 제2 개구부보다 외곽에 배치되는 마스크.
  18. 제 17 항에 있어서,
    상기 고정부는 상기 제2 마스크의 상기 테두리에 인접한 상기 제2 마스크의 부분에 연결되고,
    상기 제2 마스크의 상기 부분은 상기 제2 개구부에 인접한 상기 제1 마스크의 부분에 연결되는 마스크.
  19. 제 17 항에 있어서,
    상기 고정부는,
    상기 제2 개구부에 인접한 내측 테두리;
    상기 내측 테두리에서부터 상기 내측 테두리보다 높게 배치된 상기 고정부의 상면을 향해 연장된 제1 경사면; 및
    상기 내측 테두리에서부터 상기 내측 테두리보다 낮게 배치된 상기 고정부의 하면을 향해 연장된 제2 경사면을 포함하고,
    상기 내측 테두리는 상기 고정부의 상기 상면 및 상기 고정부의 상기 하면보다 상기 제2 개구부에 인접한 마스크.
  20. 제 19 항에 있어서,
    상기 제1 경사면 및 상기 제2 경사면은 상기 상면에 수직한 방향에 대해 30도 내지 60도 각도를 이루는 마스크.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102446448B1 (ko) * 2022-02-10 2022-09-22 (주)핌스프레임 마스크 프레임 제조방법 및 이를 이용한 마스크 조립체 제조방법
KR102453597B1 (ko) * 2022-02-09 2022-10-14 주식회사 핌스 마스크 프레임 제조방법

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004214015A (ja) * 2002-12-27 2004-07-29 Tohoku Pioneer Corp 蒸着マスク、蒸着方法、有機ｅｌパネルの製造方法および有機ｅｌ表示パネル
JP2008041327A (ja) * 2006-08-02 2008-02-21 Showa Denko Kk マスクおよびマスクを使用した表示素子ならびにマスクを使用した表示素子の製造方法
KR101202346B1 (ko) * 2009-04-16 2012-11-16 삼성디스플레이 주식회사 박막 증착용 마스크 프레임 조립체, 그 제조 방법 및 유기 발광 표시 장치의 제조 방법
KR101135544B1 (ko) * 2009-09-22 2012-04-17 삼성모바일디스플레이주식회사 마스크 조립체, 이의 제조 방법 및 이를 이용한 평판표시장치용 증착 장치
JP6160356B2 (ja) * 2013-08-14 2017-07-12 ソニー株式会社 蒸着用マスクおよび表示装置の製造方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102453597B1 (ko) * 2022-02-09 2022-10-14 주식회사 핌스 마스크 프레임 제조방법
KR102446448B1 (ko) * 2022-02-10 2022-09-22 (주)핌스프레임 마스크 프레임 제조방법 및 이를 이용한 마스크 조립체 제조방법

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