WO2021145523A1 - 마스크 - Google Patents

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WO2021145523A1
WO2021145523A1 PCT/KR2020/009692 KR2020009692W WO2021145523A1 WO 2021145523 A1 WO2021145523 A1 WO 2021145523A1 KR 2020009692 W KR2020009692 W KR 2020009692W WO 2021145523 A1 WO2021145523 A1 WO 2021145523A1
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WO
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mask
fixing part
disposed
mesh
fixing
Prior art date
Application number
PCT/KR2020/009692
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English (en)
French (fr)
Inventor
임성순
문민호
Original Assignee
삼성디스플레이 주식회사
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Publication date
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Priority to US17/777,394 priority patent/US20230028524A1/en
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
    • C23C14/042—Coating on selected surface areas, e.g. using masks using masks
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03B—APPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
    • G03B11/00—Filters or other obturators specially adapted for photographic purposes
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
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    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation
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    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N23/00—Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
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    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
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    • H10K59/65—OLEDs integrated with inorganic image sensors
    • H—ELECTRICITY
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    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
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    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
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    • H10K71/16—Deposition of organic active material using physical vapour deposition [PVD], e.g. vacuum deposition or sputtering
    • H10K71/164—Deposition of organic active material using physical vapour deposition [PVD], e.g. vacuum deposition or sputtering using vacuum deposition
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    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
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    • H10K71/166—Deposition of organic active material using physical vapour deposition [PVD], e.g. vacuum deposition or sputtering using selective deposition, e.g. using a mask

Definitions

  • the present invention relates to a mask.
  • electronic devices such as smart phones, digital cameras, notebook computers, navigation devices, and smart TVs that provide images to users
  • display devices for displaying images.
  • the display device generates an image and provides the generated image to a user through a display screen.
  • a display device includes a display panel that generates an image and functional elements that provide various functions to a user.
  • the display panel is divided into a display area and a non-display area around the display area.
  • the display panel includes pixels disposed in a display area to generate an image.
  • the functional elements include a camera and a sensor disposed in the non-display area.
  • An object of the present invention is to provide a mask for more firmly fixing a mesh mask on which a blocking part overlapping a camera arrangement area is seated to a mask frame.
  • a mask according to an embodiment of the present invention includes a mask frame having a first opening defined therein, a first mask disposed on the mask frame, a first mask having a second opening overlapping the first opening, and overlapping the second opening. to include a mesh portion having a mesh shape, a second mask disposed on the first mask, and a fixing portion disposed on the second mask and extending along an edge of the second mask to surround the mesh portion include
  • the fixing unit includes a plurality of fixing bars disposed along the edge of the second mask.
  • the fixing bars may include a plurality of first fixing bars extending in a first direction and spaced apart from each other in a second direction intersecting the first direction, and a plurality of second fixing bars extending in the second direction and spaced apart from each other in the first direction. Includes fixed bars.
  • the fixing portion has a thickness of 600 micrometers to 2000 micrometers.
  • the mesh portion includes a plurality of mesh lines defining the mesh shape, and a line width of each of the plurality of mesh lines is 10 micrometers to 20 micrometers.
  • An interval between two mesh lines extending parallel to each other and facing each other is 0.5 mm to 2 mm.
  • the mask further includes a blocking portion disposed on a portion of the mesh portion.
  • the blocking portion has a circular shape, and a diameter of the blocking portion is greater than a distance between the two mesh lines.
  • the blocking part is connected to the mesh wires.
  • the mesh mask since the edge of the mesh mask on which the blocking part is seated is fixed by the fixing part, the mesh mask can be more firmly fixed to the open mask and the mask frame.
  • FIG. 1 is an exploded perspective view of a mask according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a perspective view of a mask combining the components of the mask shown in FIG. 1 .
  • FIG. 3 is a plan view of the mask shown in FIG. 2 as viewed from above.
  • FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line I-I' shown in FIG. 3 .
  • FIG. 5 is a cross-sectional view taken along line II-II' shown in FIG. 3 .
  • FIG. 6 is an enlarged view illustrating a portion overlapping the blocking portion and a portion adjacent to the blocking portion in the mask illustrated in FIG. 5 .
  • FIG. 7 is a plan view of a display panel manufactured using the mask shown in FIG. 1 .
  • FIG. 8 is a diagram exemplarily illustrating a cross-sectional configuration of a pixel disposed in the display area shown in FIG. 7 .
  • FIG. 9 is a cross-sectional view taken along line III-III' shown in FIG. 7 .
  • FIG. 10 exemplarily illustrates a cross-section of a display device manufactured using the display panel illustrated in FIG. 7 .
  • 11 to 15 are views illustrating configurations of fixing parts according to various embodiments of the present disclosure.
  • 16 is a perspective view of a mask according to another embodiment of the present invention.
  • FIG. 17 is a plan view of the mask shown in FIG. 16 as viewed from above.
  • FIG. 18 is a cross-sectional view taken along line IV-IV' shown in FIG. 17 .
  • FIG. 19 is a view showing the configuration of a fixing part according to another embodiment of the present invention.
  • FIG. 20 is a view illustrating a deposition material sprayed toward the fixing unit shown in FIG. 19 .
  • a component or region, layer, part, etc.
  • it is directly disposed/on the other component. It means that it can be connected/coupled or a third component can be placed between them.
  • first, second, etc. may be used to describe various elements, but the elements should not be limited by the terms. The above terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, a first component may be referred to as a second component, and similarly, a second component may also be referred to as a first component.
  • the singular expression includes the plural expression unless the context clearly dictates otherwise.
  • FIG. 1 is an exploded perspective view of a mask according to an embodiment of the present invention.
  • a mask MSK according to an embodiment of the present invention includes a mask frame MF, a first mask MK1, a second mask MK2, a plurality of blocking parts BLP, and a fixing part ( FP) may be included.
  • the mask frame MF may have side surfaces extending in the first direction DR1 and side surfaces extending in the second direction DR2 crossing the first direction DR1 . Side surfaces of the mask frame MF may define an edge of the mask frame MF.
  • the mask frame MF may include metal.
  • the mask frame MF may have a frame shape. According to the frame shape, a first opening OP1 having a rectangular shape may be defined in the mask frame MF. The first opening OP1 may have a rectangular shape extending longer in the first direction DR1 than in the second direction DR2 .
  • the third direction DR3 may substantially perpendicularly intersect a plane defined by the first and second directions DR1 and DR2 .
  • the first mask MK1 may be disposed on the mask frame MF.
  • the first mask MK1 may have a rectangular shape having long sides extending in the first direction DR1 and short sides extending in the second direction DR2 .
  • the shape of the first mask MK1 is not limited thereto. Long sides and short sides of the first mask MK1 are side surfaces of the first mask MK1 , and may be connected to each other to define an edge of the first mask MK1 .
  • the first mask MK1 may include a metal.
  • a plurality of second openings OP2 may be defined in the first mask MK1 .
  • the second openings OP2 may overlap the first openings OP1 .
  • the first mask MK1 in which the second openings OP2 are defined may be defined as an open mask.
  • Each of the second openings OP2 may correspond to a display panel to be described later.
  • the second openings OP2 may be arranged in the first direction DR1 and the second direction DR2 .
  • the second openings OP2 may be arranged in two rows and three columns.
  • second openings OP2 arranged in two rows and three columns are illustrated, but the number of second openings OP2 is not limited thereto.
  • at least one second opening OP2 may be defined in the first mask MK1 .
  • the second openings OP2 may have a rectangular shape extending longer in the second direction DR2 than in the first direction DR1 .
  • the present invention is not limited thereto, and the second openings OP2 may have various shapes, such as a circular shape and a polygonal shape.
  • the second mask MK2 may be disposed on the first mask MK1 .
  • the second mask MK2 may have a rectangular shape having long sides extending in the first direction DR1 and short sides extending in the second direction DR2 .
  • the shape of the second mask MK2 is not limited thereto. Long sides and short sides of the second mask MK2 are side surfaces of the second mask MK2 , and may be connected to each other to define an edge of the second mask MK2 .
  • the second mask MK2 may include a metal.
  • the second mask MK2 may include a plurality of mesh parts MSP having a mesh shape.
  • the second mask MK2 may be defined as a mesh mask.
  • the mesh portions MSP may respectively overlap the second openings OP2 .
  • the mesh parts MSP may be arranged in the first direction DR1 and the second direction DR2 .
  • the second mask MK2 may include at least one mesh portion MSP overlapping the at least one second opening OP2 .
  • the mesh portions MSP may have a shape corresponding to the second openings OP2 .
  • the mesh portions MSP like the second openings OP2 , may have a rectangular shape extending longer in the second direction DR2 than in the first direction DR1 .
  • the present invention is not limited thereto, and the mesh portions MSP may have various shapes, such as circular or polygonal shapes, depending on the shape of the second openings OP2 .
  • Each of the mesh parts MSP may include a plurality of mesh lines MSL for defining a mesh shape.
  • the mesh lines MSL may extend in the first direction DR1 and the second direction DR2 .
  • the mesh lines MSL extending in the first direction DR1 may be arranged in the second direction DR2
  • the mesh lines MSL extending in the second direction DR2 may be arranged in the first direction DR1 . there is.
  • a mesh shape may be defined by mesh lines MSL crossing each other. Spaces between mesh lines MSL that are adjacent to each other and intersect each other may be defined as mesh holes MSH.
  • the mesh holes MSH may have a rectangular shape.
  • the fixing part FP may be disposed on the second mask MK2 .
  • the fixing part FP may include a plurality of fixing bars FB1 and FB2 having a bar shape.
  • the fixing bars FB1 and FB2 may be adjacent to the edge of the second mask MK2 .
  • the fixing bars FB1 and FB2 may include metal.
  • the fixing bars FB1 and FB2 may include Invar or stainless steel.
  • the fixing bars FB1 and FB2 extend in a first direction DR1 and extend in a first direction DR2 and a plurality of first fixing bars FB1 spaced apart from each other in a second direction DR2 and a second direction DR2.
  • DR1 may include a plurality of second fixing bars FB2 spaced apart from each other.
  • the blocking parts BLP may be disposed on the mesh parts MSP.
  • a predetermined number of blocking parts BLP may be disposed on a corresponding mesh part MSP among the mesh parts MSP.
  • two blocking parts BLP may be disposed on a corresponding mesh part MSP among the mesh parts MSP.
  • the number of blocking parts BLP disposed on the mesh parts MSP is not limited thereto.
  • at least one blocking part BLP may be disposed on the corresponding mesh part MSP.
  • the blocking parts BLP may include a metal.
  • FIG. 2 is a perspective view of a mask combining the components of the mask shown in FIG. 1 .
  • 3 is a plan view of the mask shown in FIG. 2 as viewed from above.
  • the edge of the first mask MK1 and the edge of the second mask MK2 may be disposed adjacent to the edge of the mask frame MF.
  • the edge of the first mask MK1 and the edge of the second mask MK2 may not overlap the edge of the mask frame MF. However, this is illustrated by way of example, and the edge of the first mask MK1 and the edge of the second mask MK2 may overlap the edge of the mask frame MF.
  • the edge of the second mask MK2 may overlap the edge of the first mask MK1 .
  • this is illustrated by way of example, and the edge of the second mask MK2 may not overlap the edge of the first mask MK1 and may be adjacent to the edge of the first mask MK1 .
  • the fixing part FP may extend along the edge of the second mask MK2 to surround the mesh parts MSP when viewed in a plan view.
  • the first and second fixing bars FB1 and FB2 may be disposed along the edge of the second mask MK2 to surround the mesh parts MSP.
  • the second openings OP2 overlapping the mesh portions MSP may also be surrounded by the first and second fixing bars FB1 and FB2 when viewed in a plan view.
  • the outer surfaces of the fixing part FP may overlap the edge of the second mask MK2 .
  • side surfaces of the first and second fixing bars FB1 and FB2 facing outward may overlap the edge of the second mask MK2 .
  • the fixing part FP may be connected to and fixed to the second mask MK2 , the first mask MK1 , and the mask frame MF by laser welding. For example, a laser is irradiated from above the fixing part FP toward the fixing part FP, and the fixing part FP, the second mask MK2, the first mask MK1, and The mask frame MF may be melted and connected to each other. Accordingly, the fixing part FP, the second mask MK2 , the first mask MK1 , and the mask frame MF may be connected to each other and fixed.
  • the second mask MK2 is not fixed only to the first mask MK1 .
  • the second mask MK2 may be fixed to the first mask MK1 , and the fixing part FP may additionally fix the second mask MK2 on the second mask MK2 .
  • the fixing part FP may more firmly fix the second mask MK2 to the first mask MK1 and the mask frame MF.
  • the fixing state of the second mask MK2 may not be stable.
  • the fixing part FP additionally fixes the second mask MK2 on the second mask MK2 , the second mask MK2 may be more firmly fixed.
  • the first and second fixing bars FB1 and FB2 may be disposed adjacent to each other to surround the mesh portions MSP to form a rectangular frame shape. Ends of the first and second fixing bars FB1 and FB2 may contact each other to form a rectangular frame shape.
  • Each of the two blocking parts BLP of the blocking parts BLP may be disposed on portions of a corresponding mesh part MSP of the mesh parts MSP.
  • the two blocking parts BLP may be disposed adjacent to vertices on the upper side and the right side of the corresponding mesh part MSP.
  • the arrangement positions of the two blocking parts BLP are not limited thereto.
  • the blocking parts BLP may have a circular shape.
  • the present invention is not limited thereto, and the blocking parts BLP may have various shapes, such as an ellipse or a polygon.
  • the blocking parts BLP may be connected to the mesh parts MSP by welding and fixed to the mesh parts MSP.
  • the blocking parts BLP may be connected to the mesh wires MSL by laser welding and fixed to the mesh wires MSL.
  • FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line I-I' shown in FIG. 3 .
  • the line width LW of each of the mesh lines MSL may be 10 micrometers ( ⁇ m) to 20 micrometers ( ⁇ m).
  • the line width LW may be defined as a width of each of the mesh lines MSL measured in a direction crossing the extending direction of each of the mesh lines MSL.
  • the first gap GP1 between the two mesh lines MSL extending parallel to each other and facing each other may be 0.5 mm (mm) to 2 mm (mm).
  • the blocking part BLP may be disposed on the mesh lines MSL and connected to the mesh lines MSL.
  • a diameter of the blocking part BLP may be greater than the first gap GP1 .
  • the blocking part BLP may fall down through the mesh hole MSH. Since the diameter of the blocking part BLP is greater than the first gap GP1 , the blocking part BLP may be stably seated on the mesh lines MSL.
  • the mesh part MSP may be a structure used to substantially dispose the blocking part BLP.
  • FIG. 5 is a cross-sectional view taken along line II-II' shown in FIG. 3 .
  • FIG. 5 a mother substrate M_SUB used in manufacturing the display panel is illustrated together to explain a manufacturing step of the display panel.
  • a mother substrate M_SUB may be disposed on the fixing part FP.
  • the mother substrate M_SUB may include a plurality of unit substrates U_SUB.
  • Each of the unit substrates U_SUB may be used to manufacture a display panel.
  • Pixels may be formed on each of the unit substrates U_SUB, and the unit substrates U_SUB may be cut to manufacture a display panel.
  • the fixing part FP may support the edge of the mother substrate M_SUB.
  • the mother substrate M_SUB may be upwardly spaced apart from the second mask MK2 by the second gap GP2 by the fixing part FP.
  • the fixing part FP may have a thickness of 600 micrometers ( ⁇ m) to 2000 micrometers ( ⁇ m). That is, according to the thickness of the fixing part FP, the second interval GP2 may be set to 600 micrometers ( ⁇ m) to 2000 micrometers ( ⁇ m).
  • the upper and lower surfaces of the fixing part FP opposite to each other in the third direction DR3 may have planes defined by the first and second directions DR1 and DR2 .
  • the third direction DR3 may be defined as a direction perpendicular to the upper and lower surfaces of the fixing part FP, respectively.
  • the unit substrates U_SUB When viewed in a plan view, the unit substrates U_SUB may overlap the mesh portions MSP, respectively. Also, when viewed in a plan view, the unit substrates U_SUB may overlap the second openings OP2 , respectively. When viewed in a plan view, the unit substrates U_SUB, the mesh portions MSP, and the second openings OP2 may be disposed in the first opening OP1 to overlap the first opening OP1 .
  • a plurality of crucibles CR may be disposed under the mask MSK.
  • a nozzle NZ may be disposed on each of the crucibles CR.
  • a deposition material DPM may be accommodated in the crucibles CR.
  • a heat source for heating the crucibles CR may be disposed in the crucibles CR.
  • the crucibles CR, the mask MSK, and the mother substrate M_SUB may be disposed in a vacuum chamber used in a manufacturing process of the display panel.
  • the crucibles CR may be heated, and the deposition material DPM may be vaporized and sprayed upward through the nozzle NZ.
  • the vaporized deposition material DPM may pass through the first opening OP1 , the second openings OP2 , and the mesh portions MSP to be deposited on the lower surfaces of the unit substrates U_SUB.
  • the deposition material DPM may not be provided to the mother substrate M_SUB because it is blocked by the first mask MK1 . Accordingly, the deposition material DPM may not be provided on a portion of the mother substrate M_SUB between the unit substrates U_SUB.
  • FIG. 6 is an enlarged view illustrating a portion overlapping the blocking portion and a portion adjacent to the blocking portion in the mask illustrated in FIG. 5 .
  • FIG. 6 is illustrated as a cross-section corresponding to FIG. 4 , and the injection direction of the deposition material DPM is illustrated by a dotted arrow in FIG.
  • the deposition material DPM may be provided on the unit substrate U_SUB through the mesh holes MSH.
  • the deposition material DPM may have a predetermined spray angle and may advance upward.
  • the mesh part MSP may be spaced apart from the unit substrate U_SUB by the second gap GP2 .
  • the deposition material DPM which has a predetermined spray angle and advances upward, passes through the mesh holes MSH to form the unit substrate U_SUB. can be deposited normally.
  • the deposition material DPM may not be deposited on the portion of the unit substrate U_SUB overlapping the mesh lines MSL. That is, the mesh lines MSL may serve as a mask.
  • the deposition material DPM advances upward with a predetermined spraying angle, as the mesh portion MSP and the unit substrate U_SUB move away from each other, the portion of the unit substrate U_SUB on which the deposition material DPM is not deposited increases. can decrease.
  • the deposition material DPM may be deposited on the entire surface of the unit substrate U_SUB.
  • the line width LW of each of the mesh lines MSL is 10 micrometers ( ⁇ m) to 20 micrometers ( ⁇ m), and the first gap GP1 between the mesh lines MSL is 0.5 mm (mm) to 2 mm meter (mm), and when the second gap GP2 between the mesh part MSP and the unit substrate U_SUB is 600 micrometers ( ⁇ m) or more, the deposition material DPM is deposited over the entire unit substrate U_SUB.
  • the deposition material DPM may be blocked by the blocking part BLP according to the size of the blocking part BLP. That is, the blocking part BLP may serve as a mask blocking the progress of the deposition material DPM. Accordingly, the deposition material DPM may not be provided on the portion of the unit substrate U_SUB overlapping the blocking part BLP.
  • a portion of the unit substrate U_SUB on which the deposition material DPM is not deposited by the blocking part BLP may be defined as an area in which a camera is disposed.
  • a portion of the unit substrate U_SUB overlapping the blocking part BLP will be defined as a first region of the display panel and will be described below.
  • FIG. 7 is a plan view of a display panel manufactured using the mask shown in FIG. 1 .
  • the flat area of the display panel DP may include a display area DA and a non-display area NDA that surrounds the display area DA and defines an edge of the display panel DP.
  • the display panel DP may include a plurality of pixels disposed in the display area DA. The structure of the pixels will be described in detail below with reference to FIG. 8 .
  • the display panel DP may be a light emitting display panel, and is not particularly limited.
  • the display panel DP may be an organic light emitting display panel or a quantum dot light emitting display panel.
  • the emission layer of the organic light emitting display panel may include an organic light emitting material.
  • the emission layer of the quantum dot light emitting display panel may include quantum dots, quantum rods, and the like.
  • the display panel DP will be described as an organic light emitting display panel.
  • the display panel DP may have a rectangular shape having long sides extending in the second direction DR2 and short sides extending in the first direction DR1 .
  • the present invention is not limited thereto, and the display panel DP may have various shapes, such as a circular shape or a polygonal shape.
  • a plurality of functional elements may be disposed on the display panel DP.
  • the functional elements may include a speaker SPK and cameras CAM.
  • the speaker SPK may be disposed in the non-display area NDA
  • the cameras CAM may be disposed in the display area DA.
  • the cameras CAM may be disposed under the display panel DP.
  • FIG. 8 is a diagram exemplarily illustrating a cross-sectional configuration of a pixel disposed in the display area shown in FIG. 7 .
  • one pixel PX is illustrated, but a plurality of pixels PX illustrated in FIG. 8 may be provided in the display area DA.
  • the display area DA may include a light emitting area PXA and a non-emission area NPXA around the light emitting area PXA. Practically, a plurality of light emitting areas PXA may be provided in the display area DA.
  • the pixel PX may include a light emitting device OLED and a transistor TR connected to the light emitting device OLED.
  • the light emitting device OLED may include a first electrode AE, a second electrode CE, a hole control layer HCL, an electron control layer ECL, and an emission layer EML.
  • the first electrode AE may be an anode electrode
  • the second electrode CE may be a cathode electrode.
  • the transistor TR and the light emitting device OLED may be disposed on the substrate SUB.
  • the light emitting device OLED may be disposed in the light emitting area PXA, and the transistor TR may be disposed in the non-emission area NPXA.
  • a buffer layer BFL is disposed on the substrate SUB, and the buffer layer BFL may include an inorganic material.
  • a semiconductor layer SM of the transistor TR may be disposed on the buffer layer BFL.
  • the semiconductor layer SM may include a semiconductor or an organic semiconductor made of an inorganic material such as amorphous silicon or polysilicon.
  • the semiconductor layer SM may include an oxide semiconductor.
  • the semiconductor layer SM may include a source region, a drain region, and a channel region between the source region and the drain region.
  • a first insulating layer INS1 may be disposed on the buffer layer BFL to cover the semiconductor layer SM.
  • the first insulating layer INS1 may include an inorganic material.
  • a gate electrode GE of the transistor TR overlapping the semiconductor layer SM may be disposed on the first insulating layer INS1 .
  • the gate electrode GE may be disposed to overlap the channel region of the semiconductor layer SM.
  • a second insulating layer INS2 may be disposed on the first insulating layer INS1 to cover the gate electrode GE.
  • the second insulating layer INS2 may include an organic material and/or an inorganic material.
  • the source electrode SE and the drain electrode DE of the transistor TR may be disposed on the second insulating layer INS2 to be spaced apart from each other.
  • the source electrode SE may be connected to the source region of the semiconductor layer SM through the first contact hole CH1 defined in the first insulating layer INS1 and the second insulating layer INS2 .
  • the drain electrode DE may be connected to the drain region of the semiconductor layer SM through the second contact hole CH2 defined in the first insulating layer INS1 and the second insulating layer INS2 .
  • a third insulating layer INS3 may be disposed on the second insulating layer INS2 to cover the source electrode SE and the drain electrode DE of the transistor TR.
  • the third insulating layer INS3 may include an organic material.
  • a connection electrode CNE may be disposed on the third insulating layer INS3 .
  • the connection electrode CNE may be connected to the drain electrode DE through the third contact hole CH3 defined in the third insulating layer INS3 .
  • a fourth insulating layer INS4 may be disposed on the third insulating layer INS3 to cover the connection electrode CNE.
  • the first electrode AE may be disposed on the fourth insulating layer INS4 .
  • the first electrode AE may be connected to the connection electrode CNE through a fourth contact hole CH4 defined in the fourth insulating layer INS4 .
  • a pixel defining layer PDL exposing a predetermined portion of the first electrode AE may be disposed on the first electrode AE and the fourth insulating layer INS4 .
  • An opening PX_OP for exposing a predetermined portion of the first electrode AE may be defined in the pixel defining layer PDL.
  • the hole control layer HCL may be disposed on the first electrode AE and the pixel defining layer PDL.
  • the hole control layer HCL may be commonly disposed in the light emitting area PXA and the non-emission area NPXA.
  • the hole control layer HCL may include a hole transport layer and may further include a hole injection layer.
  • the emission layer EML may be disposed on the hole control layer HCL.
  • the emission layer EML may be disposed in a region corresponding to the opening PX_OP. That is, the emission layer EML may be formed to be separated from each other in the pixels PX.
  • the emission layer EML may include an organic material and/or an inorganic material.
  • the emission layer EML may generate any one of red, green, and blue light. However, the present invention is not limited thereto, and the emission layer EML may generate white light by a combination of organic materials that generate red, green, and blue.
  • the electronic control layer ECL may be disposed on the emission layer EML.
  • the electron control layer ECL may be disposed on the hole control layer HCL to cover the emission layer EML. That is, the electronic control layer ECL may be disposed in common in the light emitting area PXA and the non-emission area NPXA.
  • the electron control layer ECL may include an electron transport layer and may further include an electron injection layer.
  • the second electrode CE may be disposed on the electronic control layer ECL.
  • the second electrode CE may be disposed in common with the pixels PX.
  • the thin film encapsulation layer TFE may be disposed on the second electrode CE.
  • a layer from the buffer layer BFL to the fourth insulating layer INS4 may be defined as a circuit element layer DP-CL.
  • a layer from the first electrode AE to the second electrode CE may be defined as a display element layer DP-OLED.
  • a first voltage may be applied to the first electrode AE, and a second voltage having a lower level than the first voltage may be applied to the second electrode CE.
  • Holes and electrons injected into the light emitting layer EML combine to form an exciton, and the light emitting device OLED may emit light as the exciton transitions to a ground state.
  • the light emitting element OLED may emit light to display an image.
  • FIG. 9 is a cross-sectional view taken along line III-III' shown in FIG. 7 .
  • FIG. 6 will be described together.
  • the display panel DP may include a first area A1.
  • the first area A1 may overlap the blocking part BLP.
  • a camera CAM may be disposed under the first area A1 . If the light emitting device OLED displaying an image is disposed in the first area A1 , it may be difficult for the camera CAM to capture an external image. Accordingly, the light emitting device OLED may not be disposed in the first area A1 .
  • the display device layer DP-OLED may not be formed in the first area A1 .
  • the second mask MK2 may be used.
  • the second mask ( MK2) can be used.
  • the deposition materials for forming the second electrode CE, the hole control layer HCL, and the electron control layer ECL are deposited on the substrate SUB, the deposition materials are blocked by the blocking part BLP. It may not be provided in the first area A1 . Accordingly, the light emitting device OLED may not be formed in the first area A1 .
  • the camera CAM may capture an external image using the external light OL provided through the first area A1 .
  • the first electrode AE and the emission layer EML may not be formed in the first area A1 .
  • a mask different from the second mask MK2 may be used in order not to form the first electrode AE and the emission layer EML in the first area A1 .
  • FIG. 10 exemplarily illustrates a cross-section of a display device manufactured using the display panel illustrated in FIG. 7 .
  • the display device DD includes a display panel DP, an input sensing unit ISP, an anti-reflection layer RPL, a window WIN, a cover layer CVL, and first to third adhesive layers. These may include AL1 to AL3.
  • the display panel DP, the input sensing unit ISP, the antireflection layer RPL, and the window WIN are disposed on the display panel DP, and the cover layer CVL is disposed under the display panel DP.
  • the input sensing unit ISP may be disposed on the display panel DP.
  • the input sensing unit ISP may include a plurality of sensor units (not shown) for sensing an external input.
  • the sensor units may sense an external input in a capacitive manner.
  • the input sensing unit ISP may be directly manufactured on the display panel DP when the display panel DP is manufactured.
  • the present invention is not limited thereto, and the input sensing unit ISP may be manufactured as a separate panel from the display panel DP and attached to the display panel DP by an adhesive layer.
  • the anti-reflection layer RPL may be disposed on the input sensing unit ISP.
  • the antireflection layer (RPL) may be defined as an external light antireflection film.
  • the anti-reflection layer RPL may reduce reflectance of external light incident from the top of the display device DD toward the display panel DP.
  • the anti-reflection layer RPL may include a retarder and/or a polarizer.
  • the window WIN may be disposed on the anti-reflection layer RPL.
  • the window WIN may protect the display panel DP, the input sensing unit ISP, and the anti-reflection layer RPL from external scratches and impacts.
  • the window WIN may have an optically transparent property.
  • the cover layer CVL may be disposed under the display panel DP.
  • the cover layer CVL may absorb an external shock applied to the lower portion of the display device DD to protect the display panel DP.
  • the cover layer CVL may include a foam sheet having a predetermined elastic force.
  • An opening OP may be defined in the cover layer CVL.
  • the camera CAM may be disposed in the opening OP.
  • the first adhesive layer AL1 may be disposed between the display panel DP and the cover layer CVL.
  • the display panel DP and the cover layer CVL may be bonded to each other by the first adhesive layer AL1 .
  • the second adhesive layer AL2 may be disposed between the anti-reflection layer RPL and the input sensing unit ISP.
  • the anti-reflection layer RPL and the input sensing unit ISP may be bonded to each other by the second adhesive layer AL2 .
  • the third adhesive layer AL3 may be disposed between the window WIN and the anti-reflection layer RPL.
  • the window WIN and the anti-reflection layer RPL may be bonded to each other by the third adhesive layer AL3 .
  • 11 to 15 are views illustrating configurations of fixing parts according to various embodiments of the present disclosure.
  • the fixing parts FP_1, FP_2, FP_3, and FP_4 shown in FIGS. 11 to 15 are on the second mask MK2 along the edge of the second mask MK2 like the fixing part FP shown in FIG. 1 . can be placed in
  • the fixing part FP_1 may include a first fixing part FP1 and a second fixing part FP2 disposed adjacent to each other.
  • the first fixing part FP1 may have an “L” shape.
  • the second fixing part FP2 may face the first fixing part FP1 and have a shape in which the letter “L” is rotated by 180 degrees.
  • the fixing part FP_2 may have a rectangular frame shape.
  • the fixing part FP_2 is not divided into a plurality of fixing bars FB1 and FB2 like the fixing part FP shown in FIG. 1 , and may have an integrated frame shape.
  • a first groove G1 may be defined on the upper surface of the fixing part FP_3 .
  • the first groove G1 may be defined in a predetermined portion of the upper surface of the fixing part FP_3 and may extend in the extending direction of the fixing part FP_3 .
  • the fixing part FP_3 may include a plurality of first and second fixing bars FB1_1 and FB2_1 like the fixing part FP_1 shown in FIG. 1 .
  • the first fixing bars FB1_1 may extend in the first direction DR1 and may be spaced apart from each other in the second direction DR2 .
  • the second fixing bars FB2_1 may extend in the second direction DR2 and may be spaced apart from each other in the first direction DR1 .
  • a first groove G1 is defined in a predetermined portion of an upper surface of each of the first fixing bars FB1_1, and the first groove G1 defined in each of the first fixing bars FB1_1 is formed in a first direction DR1.
  • a first groove G1 is defined in a predetermined portion of an upper surface of each of the second fixing bars FB2_1, and the first groove G1 defined in each of the second fixing bars FB2_1 is formed in the second direction DR2.
  • FIG. 14 is a view illustrating a state in which the fixing part FP_3 shown in FIG. 13 is coupled to the second mask, the first mask, and the mask frame by welding.
  • FIG. 14 is shown in cross section.
  • laser welding may be performed through the first groove G1 of the fixing part FP_3 .
  • a protrusion PT may be formed on the fixing part FP_3 during a welding process. For example, a portion of the fixing part FP_3 may be melted to form the protrusion PT.
  • the protrusion PT may be disposed in the first groove G1 .
  • the protrusion PT is disposed in the first groove G1 , the mother substrate M_SUB may not be damaged by the protrusion PT.
  • a second groove G2 is defined between the upper surface of the fixing part FP_4 and one side of the fixing part FP_4, and the second groove G2 indicates the extension direction of the fixing part FP_4. can be extended accordingly.
  • the fixing part FP_4 may include a plurality of first and second fixing bars FB1_2 and FB2_2.
  • a disposition position of the first and second fixing bars FB1_2 and FB2_2 may be the same as a disposition position of the first and second fixing bars FB1_1 and FB2_1 illustrated in FIG. 13 .
  • a second groove G2 may be defined in the first and second fixing bars FB1_2 and FB2_2 .
  • the second groove G2 is defined between an upper surface of each of the first and second fixing bars FB1_2 and FB2_2 and one side of each of the first and second fixing bars FB1_2 and FB2_2, and the first and second fixing bars
  • Each of the bars FB1_2 and FB2_2 may extend in an extension direction.
  • 16 is a perspective view of a mask according to another embodiment of the present invention.
  • 17 is a plan view of the mask shown in FIG. 16 as viewed from above.
  • 18 is a cross-sectional view taken along line IV-IV' shown in FIG. 17 .
  • the configuration of the mask MSK_1 may be the same as that of the mask MSK illustrated in FIG. 1 . Accordingly, the configuration of the mask MSK_1 will be described below with a focus on a configuration different from that of the mask MSK shown in FIG. 1 , and the same configuration is shown using the same reference numerals.
  • the mask MSK_1 includes a plurality of second masks MK2' and a plurality of second fixing parts FP_5 respectively disposed on the second masks MK2'. can do.
  • Each of the second masks MK2 ′ may include a mesh portion MSP.
  • the mesh portions MSP of the second masks MK2 ′ may overlap the second openings OP2 , respectively.
  • the blocking parts BLP may be disposed on the mesh parts MSP.
  • Each of the fixing parts FP_5 may include a plurality of first fixing bars FB1_3 and a plurality of second fixing bars FB2_3 .
  • Configurations of the first and second fixing bars FB1_3 and FB2_3 may be substantially the same as those of the first and second fixing bars FB1 and FB2 illustrated in FIG. 1 , except that the sizes are different.
  • each of the second masks MK2 ′ is adjacent to a corresponding second opening OP2 among the second openings OP2 and is outside the corresponding second opening OP2 .
  • Each of the fixing parts FP_5 may be disposed to surround a corresponding mesh part MSP of the mesh parts MSP and a corresponding second opening OP2 of the second openings OP2 when viewed in a plan view. there is.
  • the fixing parts FP_5 may be fixed to the second masks MK2 ′ and the first mask MK1 by laser welding.
  • the fixing part FP_5 may be connected to a portion of the second mask MK2 ′ adjacent to the edge of the second mask MK2 ′.
  • a portion of the second mask MK2 ′ adjacent to the edge of the second mask MK2 ′ may be connected to a portion of the first mask MK1 adjacent to the second opening OP2 .
  • the second mask MK2 ′ may be more firmly fixed to the first mask MK1 by the fixing part FP_5 .
  • FIG. 19 is a view showing the configuration of a fixing part according to another embodiment of the present invention.
  • FIG. 19 exemplarily shows a cross-section corresponding to FIG. 18 .
  • the fixing part FP_6 shown in FIG. 19 has the same configuration as the fixing part FP_5 shown in FIG. 18 except for a cross-sectional shape. Therefore, hereinafter, the cross-sectional shape of the fixing part FP_6 will be mainly described.
  • one side of the fixing part FP_6 adjacent to the second opening OP2 may include a first inclined surface SLP1 and a second inclined surface SLP2 .
  • the other side of the fixing part FP_6 which is the opposite side of the one side of the fixing part FP_6 , may have a shape symmetrical to one side of the fixing part FP_6 .
  • the first inclined surface SLP1 may extend from the inner edge I_EG of the fixing part FP_6 adjacent to the second opening OP2 toward the upper surface US of the fixing part FP_6 disposed higher than the inner edge I_EG.
  • the second inclined surface SLP2 may extend from the inner edge I_EG of the fixing part FP_6 toward the lower surface LS of the fixing part FP_6 that is disposed lower than the inner edge I_EG.
  • the inner edge I_EG of the fixing part FP_6 may be closer to the second opening OP2 than the upper surface US of the fixing part FP_6 and the lower surface LS of the fixing part FP_6. .
  • the first inclined surface SLP1 and the second inclined surface SLP2 may form an angle greater than 0 and less than 90 degrees with respect to the third direction DR3 .
  • the first inclined surface SLP1 and the second inclined surface SLP2 may form an angle of 30 to 60 degrees with respect to the third direction DR3.
  • FIG. 20 is a view illustrating a deposition material sprayed toward the fixing unit shown in FIG. 19 .
  • the region in which the deposition material DPM is provided is in the fixing part FP_6 having the first and second inclined surfaces SLP1 and SLP2 rather than the fixing part (shown by a dotted line) having a rectangular cross section. can be further expanded. In this case, the deposition material DPM may be provided in a wider area.
  • the present invention has high industrial applicability.

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Abstract

표시 장치는 표시 모듈, 상기 표시 모듈 아래에 배치된 모듈 지지부, 및 상기 표시 모듈 및 상기 모듈 지지부를 수용하는 하우징을 포함하고, 상기 모듈 지지부는, 상기 표시 모듈 아래에 배치된 지지층 및 상기 지지층 내에 배치되고, 상기 지지층보다 큰 모듈러스를 갖는 복수 개의 지지바를 포함한다.

Description

마스크
본 발명은 마스크에 관한 것이다.
일반적으로 사용자에게 영상을 제공하는 스마트폰, 디지털 카메라, 노트북 컴퓨터, 네비게이션, 및 스마트 텔레비젼 등의 전자기기는 영상을 표시하기 위한 표시 장치를 포함한다. 표시 장치는 영상을 생성하고, 생성된 영상을 표시 화면을 통해 사용자에게 제공한다.
표시 장치는 영상을 생성하는 표시 패널 및 다양한 기능을 사용자에게 제공하는 기능 소자들을 포함한다. 표시 패널은 표시 영역 및 표시 영역 주변의 비표시 영역으로 구분된다. 표시 패널은 표시 영역에 배치되어 영상을 생성하는 화소들을 포함한다. 기능 소자들은 비표시 영역에 배치된 카메라 및 센서 등을 포함한다.
최근 표시 영역을 비표시 영역까지 확장하기 위해, 카메라를 표시 영역에 배치하기 위한 기술 개발이 요구되고 있다. 카메라가 표시 영역에 배치될 경우, 카메라가 배치된 영역에는 화소들이 배치되지 않아야 한다. 이를 위해, 카메라가 배치된 영역에 화소들을 형성하지 않기 위한 마스크의 개발이 요구되고 있다.
본 발명의 목적은 카메라 배치 영역에 중첩하는 차단부가 안착된 메쉬 마스크를 마스크 프레임에 보다 견고히 고정하기 위한 마스크를 제공하는데 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따른 마스크는 제1 개구부가 정의된 마스크 프레임, 상기 마스크 프레임 상에 배치되고, 상기 제1 개구부에 중첩하는 제2 개구부가 정의된 제1 마스크, 상기 제2 개구부에 중첩하여 메쉬 형상을 갖는 메쉬부를 포함하고, 상기 제1 마스크 상에 배치된 제2 마스크, 및 상기 제2 마스크 상에 배치되고, 상기 메쉬부를 둘러싸도록 상기 제2 마스크의 테두리를 따라 연장하는 고정부를 포함한다.
상기 고정부는 상기 제2 마스크의 상기 테두리를 따라 배치되는 복수 개의 고정바들을 포함한다.
상기 고정바들은, 제1 방향으로 연장하고 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 이격된 복수 개의 제1 고정바들 및 상기 제2 방향으로 연장하고, 상기 제1 방향으로 이격된 복수 개의 제2 고정바들을 포함한다.
상기 고정부는 600 마이크로미터 내지 2000 마이크로미터의 두께를 갖는다.
상기 메쉬부는 상기 메쉬 형상을 정의하는 복수 개의 메쉬선들을 포함하고, 상기 복수 개의 메쉬선들 각각의 선폭은 10 마이크로미터 내지 20 마이크로미터이다.
서로 평행하게 연장하여 서로 마주보는 2개의 메쉬선들 사이의 간격은 0.5 미리미터 내지 2 미리미터이다.
상기 마스크는 상기 메쉬부의 일부분 상에 배치된 차단부를 더 포함한다.
상기 차단부는 원형 형상을 갖고, 상기 차단부의 직경은 상기 2개의 메쉬선들 사이의 간격보다 크다.
상기 차단부는 상기 메쉬선들에 연결된다.
본 발명의 실시 예에 따르면, 차단부가 안착된 메쉬 마스크의 테두리가 고정부에 의해 고정됨으로써, 메쉬 마스크가 오픈 마스크 및 마스크 프레임에 보다 견고하게 고정될 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 마스크의 분해 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 마스크의 구성들을 결합한 마스크의 사시도이다.
도 3은 도 2에 도시된 마스크를 상부에서 바라본 마스크의 평면도이다.
도 4는 도 3에 도시된 I-I'선의 단면도이다.
도 5는 도 3에 도시된 Ⅱ-Ⅱ'선의 단면도이다.
도 6은 도 5에 도시된 마스크에서 차단부에 중첩하는 부분 및 차단부에 인접한 부분을 확대하여 도시한 도면이다.
도 7은 도 1에 도시된 마스크를 이용해 제조된 표시 패널의 평면도이다.
도 8은 도 7에 도시된 표시 영역에 배치되는 화소의 단면 구성을 예시적으로 도시한 도면이다.
도 9는 도 7에 도시된 Ⅲ-Ⅲ'선의 단면도이다.
도 10은 도 7에 도시된 표시 패널을 이용하여 제조된 표시 장치의 단면을 예시적으로 도시한 도면이다.
도 11 내지 도 15는 본 발명의 다양한 실시 예들에 따른 고정부들의 구성들을 도시한 도면들이다.
도 16은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 마스크의 사시이도이다.
도 17은 도 16에 도시된 마스크를 위에서 바라본 마스크의 평면도이다.
도 18은 도 17에 도시된 Ⅳ-Ⅳ'선의 단면도이다.
도 19는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 고정부의 구성을 도시한 도면이다.
도 20은 도 19에 도시된 고정부를 향해 분사되는 증착 물질을 도시한 도면이다.
본 명세서에서, 어떤 구성요소(또는 영역, 층, 부분 등)가 다른 구성요소 "상에 있다", "연결 된다", 또는 "결합된다"고 언급되는 경우에 그것은 다른 구성요소 상에 직접 배치/연결/결합될 수 있거나 또는 그들 사이에 제3의 구성요소가 배치될 수도 있다는 것을 의미한다.
동일한 도면부호는 동일한 구성요소를 지칭한다. 또한, 도면들에 있어서, 구성요소들의 두께, 비율, 및 치수는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다.
"및/또는"은 연관된 구성들이 정의할 수 있는 하나 이상의 조합을 모두 포함한다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
또한, "아래에", "하측에", "위에", "상측에" 등의 용어는 도면에 도시된 구성들의 연관관계를 설명하기 위해 사용된다. 상기 용어들은 상대적인 개념으로, 도면에 표시된 방향을 기준으로 설명된다.
다르게 정의되지 않는 한, 본 명세서에서 사용된 모든 용어 (기술 용어 및 과학 용어 포함)는 본 발명이 속하는 기술 분야의 당업자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 갖는다. 또한, 일반적으로 사용되는 사전에서 정의된 용어와 같은 용어는 관련 기술의 맥락에서 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석되어야 하고, 이상적인 또는 지나치게 형식적인 의미로 해석되지 않는 한, 명시적으로 여기에서 정의된다.
"포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예들이 상세히 설명될 것이다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 마스크의 분해 사시도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 마스크(MSK)는 마스크 프레임(MF), 제1 마스크(MK1), 제2 마스크(MK2), 복수 개의 차단부들(BLP), 및 고정부(FP)를 포함할 수 있다.
마스크 프레임(MF)은 제1 방향(DR1)으로 연장된 측면들 및 제1 방향(DR1)과 교차하는 제2 방향(DR2)으로 연장하는 측면들을 가질 수 있다. 마스크 프레임(MF)의 측면들은 마스크 프레임(MF)의 테두리를 정의할 수 있다. 마스크 프레임(MF)은 금속을 포함할 수 있다.
마스크 프레임(MF)은 틀 형상을 가질 수 있다. 틀 형상에 따라, 마스크 프레임(MF)에는 사각형 형상을 갖는 제1 개구부(OP1)가 정의될 수 있다. 제1 개구부(OP1)는 제2 방향(DR2)보다 제1 방향(DR1)으로 더 길게 연장된 직사각형 형상을 가질 수 있다.
이하, 제1 및 제2 방향들(DR1,DR2)에 의해 정의된 평면과 교차하는 방향은 제3 방향(DR3)으로 정의된다. 제3 방향(DR3)은 실질적으로, 제1 및 제2 방향들(DR1,DR2)에 의해 정의된 평면과 수직하게 교차할 수 있다. 본 명세서에서, "평면 상에서 봤을 때는, 제3 방향(DR3)에서 바라본 상태를 의미할 수 있다.
제1 마스크(MK1)는 마스크 프레임(MF) 상에 배치될 수 있다. 제1 마스크(MK1)는 제1 방향(DR1)으로 연장된 장변들 및 제2 방향(DR2)으로 연장된 단변들을 갖는 직사각형 형상을 가질 수 있다. 그러나, 제1 마스크(MK1)의 형상이 이에 한정되는 것은 아니다. 제1 마스크(MK1)의 장변들 및 단변들은, 제1 마스크(MK1)의 측면들로서, 서로 연결되어 제1 마스크(MK1)의 테두리를 정의할 수 있다. 제1 마스크(MK1)는 금속을 포함할 수 있다.
제1 마스크(MK1)에는 복수 개의 제2 개구부들(OP2)이 정의될 수 있다. 평면 상에서 봤을 때, 제2 개구부들(OP2)은 제1 개구부(OP1)에 중첩할 수 있다. 제2 개구부들(OP2)이 정의된 제1 마스크(MK1)는 오픈 마스크로 정의될 수 있다. 제2 개구부들(OP2) 각각은 이후 설명될 표시 패널에 대응할 수 있다.
제2 개구부들(OP2)은 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)으로 배열될 수 있다. 제1 방향(DR1)이 행 방향에 대응되고, 제2 방향(DR2)이 열 방향에 대응될 경우, 제2 개구부들(OP2)은 2개의 행들 및 3개의 열들로 배열될 수 있다.
예시적으로, 2개의 행들 및 3개의 열들로 배열된 6개의 제2 개구부들(OP2)이 도시되었으나, 제2 개구부들(OP2)의 개수는 이에 제한되지 않는다. 예를 들어, 적어도 하나의 제2 개구부(OP2)가 제1 마스크(MK1)에 정의될 수 있다.
제2 개구부들(OP2)은 제1 방향(DR1)보다 제2 방향(DR2)으로 더 길게 연장된 직사각형 형상을 가질 수 있다. 그러나, 이에 한정되지 않고, 제2 개구부들(OP2)은 원형 및 다각형 등 다양한 형상들을 가질 수 있다.
제2 마스크(MK2)는 제1 마스크(MK1) 상에 배치될 수 있다. 제2 마스크(MK2)는 제1 방향(DR1)으로 연장된 장변들 및 제2 방향(DR2)으로 연장된 단변들을 갖는 직사각형 형상을 가질 수 있다. 그러나, 제2 마스크(MK2)의 형상이 이에 한정되는 것은 아니다. 제2 마스크(MK2)의 장변들 및 단변들은, 제2 마스크(MK2)의 측면들로서, 서로 연결되어 제2 마스크(MK2)의 테두리를 정의할 수 있다. 제2 마스크(MK2)는 금속을 포함할 수 있다.
제2 마스크(MK2)는 메쉬 형상을 갖는 복수 개의 메쉬부들(MSP)을 포함할 수 있다. 제2 마스크(MK2)는 메쉬 마스크로 정의될 수 있다. 평면 상에서 봤을 때, 메쉬부들(MSP)은 제2 개구부들(OP2)에 각각 중첩할 수 있다. 따라서, 메쉬부들(MSP)은 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)으로 배열될 수 있다.
예시적으로, 2개의 행들 및 3개의 열들로 배열된 6개의 메쉬부들(MSP)이 도시되었으나, 메쉬부들(MSP)의 개수는 이에 제한되지 않는다. 예를 들어, 제2 마스크(MK2)는 적어도 하나의 제2 개구부(OP2)에 중첩하는 적어도 하나의 메쉬부(MSP)를 포함할 수 있다.
메쉬부들(MSP)은 제2 개구부들(OP2)에 대응하는 형상을 가질 수 있다. 메쉬부들(MSP)은 제2 개구부들(OP2)과 같이, 제1 방향(DR1)보다 제2 방향(DR2)으로 더 길게 연장된 직사각형 형상을 가질 수 있다. 그러나, 이에 한정되지 않고, 메쉬부들(MSP)은 제2 개구부들(OP2)의 형상에 따라, 원형 또는 다각형 등 다양한 형상들을 가질 수 있다.
메쉬부들(MSP) 각각은 메쉬 형상을 정의하기 위한 복수 개의 메쉬선들(MSL)을 포함할 수 있다. 메쉬선들(MSL)은 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)으로 연장할 수 있다. 제1 방향(DR1)으로 연장된 메쉬선들(MSL)은 제2 방향(DR2)으로 배열되고, 제2 방향(DR2)으로 연장된 메쉬선들(MSL)은 제1 방향(DR1)으로 배열될 수 있다.
서로 교차하는 메쉬선들(MSL)에 의해 메쉬 형상이 정의될 수 있다. 서로 인접하여 교차하는 메쉬선들(MSL) 사이의 공간은 메쉬홀들(MSH)로 정의될 수 있다. 메쉬홀들(MSH)은 사각형 형상을 가질 수 있다.
고정부(FP)는 제2 마스크(MK2) 상에 배치될 수 있다. 고정부(FP)는 막대 형상을 갖는 복수 개의 고정바들(FB1,FB2)을 포함할 수 있다. 고정바들(FB1,FB2)은 제2 마스크(MK2)의 테두리에 인접할 수 있다. 고정바들(FB1,FB2)은 금속을 포함할 수 있다. 예를 들어, 고정바들(FB1,FB2)은 인바(Invar) 또는 스테인레스강을 포함할 수 있다.
고정바들(FB1,FB2)은 제1 방향(DR1)으로 연장하고 제2 방향(DR2)으로 서로 이격된 복수 개의 제1 고정바들(FB1) 및 제2 방향(DR2)으로 연장하고 제1 방향(DR1)으로 서로 이격된 복수 개의 제2 고정바들(FB2)을 포함할 수 있다.
차단부들(BLP)은 메쉬부들(MSP) 상에 배치될 수 있다. 소정의 개수의 차단부들(BLP)이 메쉬부들(MSP) 중 대응하는 메쉬부(MSP) 상에 배치될 수 있다. 예를 들어, 2개의 차단부들(BLP)이 메쉬부들(MSP) 중 대응하는 메쉬부(MSP) 상에 배치될 수 있다. 그러나, 메쉬부들(MSP) 상에 배치되는 차단부들(BLP)의 개수는 이에 제한되지 않는다. 예를 들어, 적어도 하나의 차단부(BLP)가 대응하는 메쉬부(MSP) 상에 배치될 수 있다. 차단부들(BLP)은 금속을 포함할 수 있다.
도 2는 도 1에 도시된 마스크의 구성들을 결합한 마스크의 사시도이다. 도 3은 도 2에 도시된 마스크를 상부에서 바라본 마스크의 평면도이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 평면 상에서 봤을 때, 제1 마스크(MK1)의 테두리 및 제2 마스크(MK2)의 테두리는 마스크 프레임(MF)의 테두리에 인접하게 배치될 수 있다. 제1 마스크(MK1)의 테두리 및 제2 마스크(MK2)의 테두리는 마스크 프레임(MF)의 테두리에 중첩하지 않을 수 있다. 그러나, 이는 예시적으로 도시한 것으로서, 제1 마스크(MK1)의 테두리 및 제2 마스크(MK2)의 테두리는 마스크 프레임(MF)의 테두리에 중첩할 수도 있다.
평면 상에서 봤을 때, 제2 마스크(MK2)의 테두리는 제1 마스크(MK1)의 테두리에 중첩할 수 있다. 그러나, 이는 예시적으로 도시한 것으로서, 제2 마스크(MK2)의 테두리는 제1 마스크(MK1)의 테두리에 중첩하지 않고, 제1 마스크(MK1)의 테두리에 인접할 수 있다.
고정부(FP)는, 평면 상에서 봤을 때, 메쉬부들(MSP)을 둘러싸도록, 제2 마스크(MK2)의 테두리를 따라 연장할 수 있다. 예를 들어, 평면 상에서 봤을 때, 제1 및 제2 고정바들(FB1,FB2)은 제2 마스크(MK2)의 테두리를 따라 배치되어, 메쉬부들(MSP)을 둘러쌀 수 있다. 메쉬부들(MSP)에 중첩하는 제2 개구부들(OP2) 역시, 평면 상에서 봤을 때, 제1 및 제2 고정바들(FB1,FB2)에 의해 둘러싸일 수 있다.
고정부(FP)의 외측면들은 제2 마스크(MK2)의 테두리에 중첩할 수 있다. 예를 들어, 외부를 향하는 제1 및 제2 고정바들(FB1,FB2)의 측면들은 제2 마스크(MK2)의 테두리에 중첩할 수 있다.
고정부(FP)는 레이저 용접에 의해 제2 마스크(MK2), 제1 마스크(MK1), 및 마스크 프레임(MF)에 연결되어 고정될 수 있다. 예를 들어, 고정부(FP) 위에서 고정부(FP)를 향해 레이저가 조사되고, 레이저의 에너지에 따른 열에 의해 고정부(FP), 제2 마스크(MK2), 제1 마스크(MK1), 및 마스크 프레임(MF)이 용융되어 서로 연결될 수 있다. 따라서, 고정부(FP), 제2 마스크(MK2), 제1 마스크(MK1), 및 마스크 프레임(MF)이 서로 연결되어 고정될 수 있다.
본 발명의 실시 예에서, 제2 마스크(MK2)는 제1 마스크(MK1)에만 고정되지 않는다. 제2 마스크(MK2)는 제1 마스크(MK1)에 고정되고, 고정부(FP)가 제2 마스크(MK2) 위에서 제2 마스크(MK2)를 추가로 고정할 수 있다. 고정부(FP)는 제2 마스크(MK2)를 제1 마스크(MK1) 및 마스크 프레임(MF)에 보다 견고히 고정시킬 수 있다.
얇은 시트 형태를 갖는 제2 마스크(MK2)가 제1 마스크(MK1)에 고정될 경우, 제2 마스크(MK2)의 고정 상태가 안정적이지 않을 수 있다. 본 발명의 실시 예에서, 고정부(FP)가 제2 마스크(MK2) 위에서 제2 마스크(MK2)를 추가로 고정하므로, 제2 마스크(MK2)가 보다 견고하게 고정될 수 있다.
제1 및 제2 고정바들(FB1,FB2)은 메쉬부들(MSP)을 둘러싸기 위해 서로 인접하게 배치되어 사각형의 틀 형상을 이룰 수 있다. 사각형의 틀 형상을 이루도록 제1 및 제2 고정바들(FB1,FB2)의 끝단들은 서로 접촉할 수 있다.
차단부들(BLP) 중 2개의 차단부들(BLP) 각각은 메쉬부들(MSP) 중 대응하는 메쉬부(MSP)의 일부분들 상에 배치될 수 있다. 예시적으로, 평면상에서 봤을 때, 2개의 차단부들(BLP)은 대응하는 메쉬부(MSP)의 상측 및 우측을 있는 꼭지점에 인접하게 배치될 수 있다. 그러나, 2개의 차단부들(BLP)의 배치 위치들이 이에 한정되는 것은 아니다.
예시적으로, 차단부들(BLP)은 원형 형상을 가질 수 있다. 그러나, 이에 한정되지 않고, 차단부들(BLP)은 타원형 또는 다각형 등 다양한 형상들을 가질 수 있다. 차단부들(BLP)은 용접에 의해 메쉬부들(MSP)에 연결되어 메쉬부들(MSP)에 고정될 수 있다. 예를 들어, 차단부들(BLP)은 레이저 용접에 의해 메쉬선들(MSL)에 연결되어 메쉬선들(MSL)에 고정될 수 있다.
도 4는 도 3에 도시된 I-I'선의 단면도이다.
도 4를 참조하면, 메쉬선들(MSL) 각각의 선폭(LW)은 10 마이크로미터(μm) 내지 20 마이크로미터(μm)일 수 있다. 선폭(LW)은 메쉬선들(MSL)각각의 연장 방향과 교차하는 방향으로 측정된 메쉬선들(MSL) 각각의 폭으로 정의될 수 있다. 서로 평행하게 연장하여 서로 마주보는 2개의 메쉬선들(MSL) 사이의 제1 간격(GP1)은 0.5 미리미터(mm) 내지 2 미리미터(mm)일 수 있다.
차단부(BLP)는 메쉬선들(MSL) 상에 배치되어 메쉬선들(MSL)에 연결될 수 있다. 차단부(BLP)의 직경은 제1 간격(GP1)보다 클 수 있다. 차단부(BLP)의 직경이 제1 간격(GP1)보다 작을 경우, 차단부(BLP)가 메쉬홀(MSH)을 통해 아래로 떨어질 수 있다. 차단부(BLP)의 직경이 제1 간격(GP1)보다 크므로, 차단부(BLP)는 메쉬선들(MSL) 상에 안정적으로 안착될 수 있다. 메쉬부(MSP)는 실질적으로 차단부(BLP)를 배치하기 위해 사용되는 구조물일 수 있다.
도 5는 도 3에 도시된 Ⅱ-Ⅱ'선의 단면도이다.
도 5에는 예시적으로, 표시 패널의 제조 단계를 설명하기 위해, 표시 패널의 제조시 사용되는 모기판(M_SUB)이 함께 도시되었다.
도 5를 참조하면, 고정부(FP) 상에 모기판(M_SUB)이 배치될 수 있다. 모기판(M_SUB)은 복수 개의 단위 기판들(U_SUB)을 포함할 수 있다. 단위 기판들(U_SUB) 각각은 표시 패널을 제조하기 위해 사용될 수 있다. 단위 기판들(U_SUB) 각각에 화소들이 형성되고, 단위 기판들(U_SUB)이 절단되어 표시 패널이 제조될 수 있다.
고정부(FP)는 모기판(M_SUB)의 테두리를 지지할 수 있다. 고정부(FP)에 의해 모기판(M_SUB)은 제2 마스크(MK2)와 제2 간격(GP2) 만큼 상부로 이격될 수 있다. 제3 방향(DR3)을 기준으로 고정부(FP)는 600 마이크로미터(μm) 내지 2000 마이크로미터(μm)의 두께를 가질 수 있다. 즉, 고정부(FP)의 두께에 따라, 제2 간격(GP2)은 600 마이크로미터(μm) 내지 2000 마이크로미터(μm)로 설정될 수 있다.
제3 방향(DR3)으로 서로 반대하는 고정부(FP)의 상면 및 하면은 제1 및 제2 방향들(DR1,DR2)에 의해 정의된 평면들을 가질 수 있다. 제3 방향(DR3)은 고정부(FP)의 상면 및 하면에 각각 수직한 방향으로 정의될 수 있다.
평면 상에서 봤을 때, 단위 기판들(U_SUB)은 메쉬부들(MSP)에 각각 중첩할 수 있다. 또한, 평면 상에서 봤을 때, 단위 기판들(U_SUB)은 제2 개구부들(OP2)에 각각 중첩할 수 있다. 평면 상에서 봤을 때, 단위 기판들(U_SUB), 메쉬부들(MSP), 제2 개구부들(OP2)은 제1 개구부(OP1) 내에 배치되어 제1 개구부(OP1)에 중첩할 수 있다.
마스크(MSK) 아래에 복수 개의 도가니들(CR)이 배치될 수 있다. 도가니들(CR) 각각의 상부에는 노즐(NZ)이 배치될 수 있다. 도가니들(CR) 내에는 증착 물질(DPM)이 수용될 수 있다. 도시하지 않았으나, 도가니들(CR)을 가열하기 위한 열원이 도가니들(CR) 내에 배치될 수 있다. 또한, 도가니들(CR), 마스크(MSK), 및 모기판(M_SUB)은 표시 패널의 제조 공정에 사용되는 진공 챔버 내에 배치될 수 있다.
도가니들(CR)이 가열되고, 증착 물질(DPM)이 기화되어 노즐(NZ)을 통해 상부로 분사될 수 있다. 기화된 증착 물질(DPM)은 제1 개구부(OP1), 제2 개구부들(OP2), 및 메쉬부들(MSP)를 통과하여 단위 기판들(U_SUB)의 하면 상에 증착될 수 있다.
제2 개구부들(OP2) 각각의 주변 영역에서, 증착 물질(DPM)은 제1 마스크(MK1)에 의해 차단되어 모기판(M_SUB)에 제공되지 않을 수 있다. 따라서, 단위 기판들(U_SUB) 사이의 모기판(M_SUB)의 부분에는 증착 물질(DPM)이 제공되지 않을 수 있다.
도 6은 도 5에 도시된 마스크에서 차단부에 중첩하는 부분 및 차단부에 인접한 부분을 확대하여 도시한 도면이다.
예시적으로, 도 6은 도 4에 대응하는 단면으로 도시하였으며, 도 6에서 증착 물질(DPM)의 분사 방향은 점선 화살표로 도시되었다.
도 6을 참조하면, 증착 물질(DPM)은 메쉬홀들(MSH)을 통과하여 단위 기판(U_SUB) 상에 제공될 수 있다. 증착 물질(DPM)은 소정의 분사각을 갖고 상부로 진행할 수 있다. 전술한 바와 같이, 메쉬부(MSP)는 단위 기판(U_SUB)과 제2 간격(GP2)만큼 이격될 수 있다.
이러한 경우, 메쉬선들(MSL)에 의해 일부 증착 물질(DPM)이 차단되더라도, 소정의 분사각을 갖고 상부로 진행하는 증착 물질(DPM)은 메쉬홀들(MSH)을 통과하여 단위 기판(U_SUB) 상에 정상적으로 증착될 수 있다.
메쉬부(MSP)와 단위 기판(U_SUB)이 서로 접촉한다면, 메쉬선들(MSL)에 중첩하는 단위 기판(U_SUB)의 부분에는 증착 물질(DPM)이 증착되지 않을 수 있다. 즉, 메쉬선들(MSL)이 마스크 역할을 할 수 있다.
증착 물질(DPM)이 소정의 분사각을 갖고 상부로 진행하므로, 메쉬부(MSP)와 단위 기판(U_SUB)이 멀어질수록, 증착 물질(DPM)이 증착되지 않는 단위 기판(U_SUB)의 부분은 감소할 수 있다. 메쉬부(MSP)와 단위 기판(U_SUB)이 특정 간격 이상으로 이격될 경우, 증착 물질(DPM)은 단위 기판(U_SUB)의 전체에 증착될 수 있다.
메쉬선들(MSL) 각각의 선폭(LW)이 10 마이크로미터(μm) 내지 20 마이크로미터(μm)이고, 메쉬선들(MSL) 사이의 제1 간격(GP1)이 0.5 미리미터(mm) 내지 2 미리미터(mm)이고, 메쉬부(MSP)와 단위 기판(U_SUB) 사이의 제2 간격(GP2)이 600 마이크로미터(μm)이상일 경우, 증착 물질(DPM)은 단위 기판(U_SUB)의 전체에 증착될 수 있다.
증착 물질(DPM)이 소정의 분사각을 갖고 상부로 진행하더라도, 차단부(BLP)의 크기에 따라, 증착 물질(DPM)은 차단부(BLP)에서 차단될 수 있다. 즉, 차단부(BLP)는 증착 물질(DPM)의 진행을 차단하는 마스크 역할을 할 수 있다. 따라서, 차단부(BLP)에 중첩하는 단위 기판(U_SUB)의 부분에는 증착 물질(DPM)이 제공되지 않을 수 있다.
차단부(BLP)에 의해 증착 물질(DPM)이 증착되지 않은 단위 기판(U_SUB)의 부분은 카메라가 배치되기 위한 영역으로 정의될 수 있다. 차단부(BLP)에 중첩하는 단위 기판(U_SUB)의 부분은 이하 표시 패널의 제1 영역으로 정의되어 설명될 것이다.
도 7은 도 1에 도시된 마스크를 이용해 제조된 표시 패널의 평면도이다.
도 7을 참조하면, 표시 패널(DP)의 평면 영역은 표시 영역(DA) 및 표시 영역(DA)을 둘러싸고, 표시 패널(DP)의 테두리를 정의하는 비표시 영역(NDA)을 포함할 수 있다. 표시 패널(DP)은 표시 영역(DA)에 배치된 복수 개의 화소들을 포함할 수 있다. 화소들의 구조는 이하 도 8을 참조하여 상세하 설명될 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 표시 패널(DP)은 발광형 표시 패널일 수 있고, 특별히 제한되지 않는다. 예컨대, 표시 패널(DP)은 유기 발광 표시 패널 또는 퀀텀닷 발광 표시 패널일 수 있다. 유기발광 표시 패널의 발광층은 유기 발광 물질을 포함할 수 있다. 퀀텀닷 발광 표시 패널의 발광층은 퀀텀닷, 및 퀀텀로드 등을 포함할 수 있다. 이하, 표시 패널(DP)은 유기 발광 표시 패널로 설명된다.
표시 패널(DP)은 제2 방향(DR2)으로 연장하는 장변들 및 제1 방향(DR1)으로 연장하는 단변들을 갖는 직사각형 형상을 가질 수 있다. 그러나, 이에 한정되지 않고, 표시 패널(DP)은 원형 또는 다각형 등 다양한 형상들을 가질 수 있다.
표시 패널(DP)에는 복수 개의 기능 소자들이 배치될 수 있다. 기능 소자들은 스피커(SPK) 및 카메라들(CAM)을 포함할 수 있다. 스피커(SPK)는 비표시 영역(NDA)에 배치되고, 카메라들(CAM)은 표시 영역(DA)에 배치될 수 있다. 카메라들(CAM)은 표시 패널(DP) 아래에 배치될 수 있다.
도 8은 도 7에 도시된 표시 영역에 배치되는 화소의 단면 구성을 예시적으로 도시한 도면이다.
예시적으로 하나의 화소(PX)가 도시되었으나, 도 8에 도시된 화소(PX)가 표시 영역(DA)에 복수 개로 제공될 수 있다.
도 8을 참조하면, 표시 영역(DA)은 발광 영역(PXA) 및 발광 영역(PXA) 주변의 비발광 영역(NPXA)을 포함할 수 있다. 실질적으로, 발광 영역(PXA)은 표시 영역(DA)에 복수 개로 제공될 수 있다.
화소(PX)는 발광 소자(OLED) 및 발광 소자(OLED)에 연결된 트랜지스터(TR)를 포함할 수 있다. 발광 소자(OLED)는 제1 전극(AE), 제2 전극(CE), 정공 제어층(HCL), 전자 제어층(ECL), 및 발광층(EML)을 포함할 수 있다. 제1 전극(AE)은 애노드 전극일 수 있으며, 제2 전극(CE)은 캐소드 전극일 수 있다.
트랜지스터(TR) 및 발광 소자(OLED)는 기판(SUB) 상에 배치될 수 있다. 발광 소자(OLED)는 발광 영역(PXA)에 배치되고, 트랜지스터(TR)는 비발광 영역(NPXA)에 배치될 수 있다. 기판(SUB) 상에 버퍼층(BFL)이 배치되며, 버퍼층(BFL)은 무기 물질을 포함할 수 있다.
버퍼층(BFL) 상에 트랜지스터(TR)의 반도체층(SM)이 배치될 수 있다. 반도체층(SM)은 비정질(Amorphous) 실리콘 또는 다결정질(Poly) 실리콘과 같은 무기 재료의 반도체나 유기 반도체를 포함할 수 있다. 또한, 반도체층(SM)은 산화물 반도체(oxide semiconductor)를 포함할 수 있다. 도 8에 도시되지 않았으나, 반도체층(SM)은 소스 영역, 드레인 영역, 및 소스 영역과 드레인 영역 사이의 채널 영역을 포함할 수 있다.
반도체층(SM)을 덮도록 버퍼층(BFL) 상에 제1 절연층(INS1)이 배치될 수 있다. 제1 절연층(INS1)은 무기 물질을 포함할 수 있다. 제1 절연층(INS1) 상에 반도체층(SM)과 중첩하는 트랜지스터(TR)의 게이트 전극(GE)이 배치될 수 있다. 게이트 전극(GE)은 반도체층(SM)의 채널 영역과 중첩되도록 배치될 수 있다.
게이트 전극(GE)을 덮도록 제1 절연층(INS1) 상에 제2 절연층(INS2)이 배치될 수 있다. 제2 절연층(INS2)은 유기 물질 및/또는 무기 물질을 포함할 수 있다.
제2 절연층(INS2) 상에 트랜지스터(TR)의 소스 전극(SE) 및 드레인 전극(DE)이 서로 이격되어 배치될 수 있다. 소스 전극(SE)은 제1 절연층(INS1) 및 제2 절연층(INS2)에 정의된 제1 컨택홀(CH1)을 통해 반도체층(SM)의 소스 영역에 연결될 수 있다. 드레인 전극(DE)은 제1 절연층(INS1) 및 제2 절연층(INS2)에 정의된 제2 컨택홀(CH2)을 통해 반도체층(SM)의 드레인 영역에 연결될 수 있다.
트랜지스터(TR)의 소스 전극(SE) 및 드레인 전극(DE)을 덮도록 제2 절연층(INS2) 상에 제3 절연층(INS3)이 배치될 수 있다. 제3 절연층(INS3)은 유기 물질을 포함할 수 있다. 제3 절연층(INS3) 상에 연결 전극(CNE)이 배치될 수 있다. 연결 전극(CNE)은 제3 절연층(INS3)에 정의된 제3 컨택홀(CH3)을 통해 드레인 전극(DE)에 연결될 수 있다.
연결 전극(CNE)을 덮도록 제3 절연층(INS3) 상에 제4 절연층(INS4)이 배치될 수 있다. 제4 절연층(INS4) 상에 제1 전극(AE)이 배치될 수 있다. 제1 전극(AE)은 제4 절연층(INS4)에 정의된 제4 컨택홀(CH4)을 통해 연결 전극(CNE)에 연결될 수 있다.
제1 전극(AE) 및 제4 절연층(INS4) 상에 제1 전극(AE)의 소정의 부분을 노출시키는 화소 정의막(PDL)이 배치될 수 있다. 화소 정의막(PDL)에는 제1 전극(AE)의 소정의 부분을 노출시키기 위한 개구부(PX_OP)가 정의될 수 있다.
정공 제어층(HCL)은 제1 전극(AE) 및 화소 정의막(PDL) 상에 배치될 수 있다. 정공 제어층(HCL)은 발광 영역(PXA)과 비발광 영역(NPXA)에 공통으로 배치될 수 있다. 정공 제어층(HCL)은 정공 수송층을 포함하고, 정공 주입층을 더 포함할 수 있다.
발광층(EML)은 정공 제어층(HCL) 상에 배치될 수 있다. 발광층(EML)은 개구부(PX_OP)에 대응하는 영역에 배치될 수 있다. 즉, 발광층(EML)은 화소들(PX)에서 서로 분리되어 형성될 수 있다. 발광층(EML)은 유기 물질 및/또는 무기 물질을 포함할 수 있다. 발광층(EML)은 적색, 녹색, 및 청색 중 어느 하나의 광을 생성할 수 있다. 그러나 이에 한정되지 않고, 발광층(EML)은 적색, 녹색, 및 청색을 생성하는 유기 물질들의 조합에 의해 백색광을 생성할 수도 있다.
전자 제어층(ECL)은 발광층(EML) 상에 배치될 수 있다. 전자 제어층(ECL)은 발광층(EML)을 덮도록 정공 제어층(HCL) 상에 배치될 수 있다. 즉, 전자 제어층(ECL)은 발광 영역(PXA)과 비발광 영역(NPXA)에 공통으로 배치될 수 있다. 전자 제어층(ECL)은 전자 수송층을 포함하고, 전자 주입층을 더 포함할 수 있다.
제2 전극(CE)은 전자 제어층(ECL) 상에 배치될 수 있다. 제2 전극(CE)은 화소들(PX)에 공통으로 배치될 수 있다. 박막 봉지층(TFE)은 제2 전극(CE) 상에 배치될 수 있다.
버퍼층(BFL)부터 제4 절연층(INS4)까지의 층은 회로 소자층(DP-CL)으로 정의될 수 있다. 제1 전극(AE)부터 제2 전극(CE)까지의 층은 표시 소자층(DP-OLED)으로 정의될 수 있다.
제1 전압이 제1 전극(AE)에 인가되고, 제1 전압보다 낮은 레벨을 갖는 제2 전압이 제2 전극(CE)에 인가될 수 있다. 발광층(EML)에 주입된 정공과 전자가 결합하여 여기자(exciton)가 형성되고, 여기자가 바닥 상태로 전이하면서 발광 소자(OLED)가 발광될 수 있다. 발광 소자(OLED)가 발광되어, 영상이 표시될 수 있다.
도 9는 도 7에 도시된 Ⅲ-Ⅲ'선의 단면도이다.
이하 설명의 필요에 따라, 도 6이 함께 설명될 것이다.
도 6 및 도 9를 참조하면, 표시 패널(DP)은 제1 영역(A1)을 포함할 수 있다. 제1 영역(A1)은 차단부(BLP)에 중첩할 수 있다. 제1 영역(A1) 아래에 카메라(CAM)가 배치될 수 있다. 제1 영역(A1)에 영상을 표시하는 발광 소자(OLED)가 배치된다면, 카메라(CAM)가 외부의 이미지를 촬상하기 어려울 수 있다. 따라서, 제1 영역(A1)에는 발광 소자(OLED)가 배치되지 않을 수 있다. 예를 들어, 표시 소자층(DP-OLED)은 제1 영역(A1)에 형성되지 않을 수 있다.
제1 영역(A1)에 증착 물질(DPM)을 제공하지 않기 위해 제2 마스크(MK2)가 사용될 수 있다. 예를 들어, 발광 영역(PXA)과 비발광 영역(NPXA)에 모두 배치되는 제2 전극(CE), 정공 제어층(HCL), 및 전자 제어층(ECL)이 형성될 때, 제2 마스크(MK2)가 사용될 수 있다.
제2 전극(CE), 정공 제어층(HCL), 및 전자 제어층(ECL)을 형성하기 위한 증착 물질들이 기판(SUB) 상에 증착될 때, 증착 물질들은 차단부(BLP)에 의해 차단되어 제1 영역(A1)에 제공되지 않을 수 있다. 따라서, 제1 영역(A1)에 발광 소자(OLED)가 형성되지 않을 수 있다. 카메라(CAM)는 제1 영역(A1)을 통해 제공되는 외부광(OL)을 이용하여 외부의 이미지를 촬상할 수 있다.
도시하지 않았으나, 제1 전극(AE) 및 발광층(EML)도 제1 영역(A1)에 형성되지 않을 수 있다. 다만, 제1 전극(AE) 및 발광층(EML)을 제1 영역(A1)에 형성하지 않기 위해 제2 마스크(MK2)와 다른 마스크가 사용될 수 있다.
도 10은 도 7에 도시된 표시 패널을 이용하여 제조된 표시 장치의 단면을 예시적으로 도시한 도면이다.
도 10을 참조하면, 표시 장치(DD)는 표시 패널(DP), 입력 감지부(ISP), 반사 방지층(RPL), 윈도우(WIN), 커버층(CVL), 및 제1 내지 제3 점착층들(AL1~AL3)을 포함할 수 있다. 표시 패널(DP), 입력 감지부(ISP), 반사 방지층(RPL), 및 윈도우(WIN)는 표시 패널(DP) 상에 배치되고, 커버층(CVL)은 표시 패널(DP) 아래에 배치될 수 있다.
입력 감지부(ISP)는 표시 패널(DP) 상에 배치될 수 있다. 입력 감지부(ISP)는 외부의 입력을 감지하기 위한 복수 개의 센서부들(미 도시됨)을 포함할 수 있다. 센서부들은 정전 용량 방식으로 외부의 입력을 감지할 수 있다. 입력 감지부(ISP)는 표시 패널(DP)의 제조 시, 표시 패널(DP) 상에 바로 제조될 수 있다. 그러나, 이에 한정되지 않고, 입력 감지부(ISP)는 표시 패널(DP)과는 별도의 패널로 제조되어, 점착층에 의해 표시 패널(DP)에 부착될 수도 있다.
반사 방지층(RPL)은 입력 감지부(ISP) 상에 배치될 수 있다. 반사 방지층(RPL)은 외광 반사 방지 필름으로 정의될 수 있다. 반사 방지층(RPL)은 표시 장치(DD) 위에서부터 표시 패널(DP)을 향해 입사되는 외부광의 반사율을 감소시킬 수 있다. 예시적으로 반사 방지층(RPL)은 위상 지연자(retarder) 및/또는 편광자(polarizer)를 포함할 수 있다.
윈도우(WIN)는 반사 방지층(RPL) 상에 배치될 수 있다. 윈도우(WIN)는 외부의 스크래치 및 충격으로부터 표시 패널(DP), 입력 감지부(ISP), 및 반사 방지층(RPL)을 보호할 수 있다. 윈도우(WIN)는 광학적으로 투명한 성질을 가질 수 있다.
커버층(CVL)은 표시 패널(DP) 아래에 배치될 수 있다. 커버층(CVL)은 표시 장치(DD)의 하부에 인가되는 외부의 충격을 흡수하여 표시 패널(DP)을 보호할 수 있다. 커버층(CVL)은 소정의 탄성력을 갖는 발포(foam) 시트를 포함할 수 있다. 커버층(CVL)에는 개구부(OP)가 정의될 수 있다. 카메라(CAM)는 개구부(OP)에 배치될 수 있다.
제1 점착층(AL1)은 표시 패널(DP)과 커버층(CVL) 사이에 배치될 수 있다. 제1 점착층(AL1)에 의해 표시 패널(DP)과 커버층(CVL)이 서로 합착될 수 있다. 제2 점착층(AL2)은 반사 방지층(RPL)과 입력 감지부(ISP) 사이에 배치될 수 있다. 제2 점착층(AL2)에 의해 반사 방지층(RPL)과 입력 감지부(ISP)가 서로 합착될 수 있다. 제3 점착층(AL3)은 윈도우(WIN)와 반사 방지층(RPL) 사이에 배치될 수 있다. 제3 점착층(AL3)에 의해 윈도우(WIN)와 반사 방지층(RPL)이 서로 합착될 수 있다.
도 11 내지 도 15는 본 발명의 다양한 실시 예들에 따른 고정부들의 구성들을 도시한 도면들이다.
이하 도 1에 도시된 고정부(FP)와 다른 구성을 위주로, 도 11 내지 도 15에 도시된 고정부들(FP_1,FP_2,FP_3,FP_4)의 구성들이 설명될 것이다. 도 11 내지 도 15에 도시된 고정부들(FP_1,FP_2,FP_3,FP_4)은 도 1에 도시된 고정부(FP)와 같이 제2 마스크(MK2)의 테두리를 따라 제2 마스크(MK2) 상에 배치될 수 있다.
도 11을 참조하면, 고정부(FP_1)는 서로 인접하게 배치된 제1 고정부(FP1) 및 제2 고정부(FP2)를 포함할 수 있다. 제1 고정부(FP1)는 "L"자 형상을 가질 수 있다. 제2 고정부(FP2)는 제1 고정부(FP1)와 마주보고 "L"자를 180도 회전시킨 형상을 가질 수 있다.
도 12를 참조하면, 고정부(FP_2)는 사각형의 틀 형상을 가질 수 있다. 고정부(FP_2)는 도 1에 도시된 고정부(FP)와 같이 복수 개의 고정바들(FB1,FB2)로 구분되지 않고, 일체형의 틀 형상을 가질 수 있다.
도 13을 참조하면, 고정부(FP_3)의 상면에는 제1 홈(G1)이 정의될 수 있다. 제1 홈(G1)은 고정부(FP_3)의 상면의 소정의 부분에 정의되어 고정부(FP_3)의 연장 방향을 따라 연장할 수 있다.
구체적으로, 고정부(FP_3)는 도 1에 도시된 고정부(FP_1)와 같이 복수 개의 제1 및 제2 고정바들(FB1_1,FB2_1)을 포함할 수 있다. 제1 고정바들(FB1_1)은 제1 방향(DR1)으로 연장하고 제2 방향(DR2)으로 서로 이격될 수 있다. 제2 고정바들(FB2_1)은 제2 방향(DR2)으로 연장하고 제1 방향(DR1)으로 서로 이격될 수 있다.
제1 고정바들(FB1_1) 각각의 상면의 소정의 부분에 제1 홈(G1)이 정의되고, 제1 고정바들(FB1_1) 각각에 정의된 제1 홈(G1)은 제1 방향(DR1)으로 연장할 수 있다. 제2 고정바들(FB2_1) 각각의 상면의 소정의 부분에 제1 홈(G1)이 정의되고, 제2 고정바들(FB2_1) 각각에 정의된 제1 홈(G1)은 제2 방향(DR2)으로 연장할 수 있다.
도 14는 도 13에 도시된 고정부(FP_3)가 용접에 의해 제2 마스크, 제1 마스크, 및 마스크 프레임에 결합된 상태를 도시한 도면이다.
예시적으로 도 14는 단면으로 도시되었다.
도 14를 참조하면, 고정부(FP_3)의 제1 홈(G1)을 통해 레이저 용접이 진행될 수 있다. 용접 공정시 고정부(FP_3)에 돌기(PT)가 형성될 수 있다. 예를 들어, 고정부(FP_3)의 일부분이 녹아 돌기(PT)로 형성될 수 있다. 돌기(PT)는 제1 홈(G1)에 배치될 수 있다.
고정부(FP_3)에 제1 홈(G1)이 형성되지 않고, 용접 공정이 진행되어 고정부(FP_3)의 상면에 돌기(PT)가 형성될 경우, 고정부(FP_3)의 상면에 배치되는 모기판(M_SUB)이 돌기(PT)에 의해 손상될 수 있다. 그러나, 본 발명의 실시 예에서, 돌기(PT)가 제1 홈(G1)에 배치되므로, 모기판(M_SUB)은 돌기(PT)에 의해 손상되지 않을 수 있다.
도 15를 참조하면, 고정부(FP_4)의 상면과 고정부(FP_4)의 일측면 사이에 제2 홈(G2)이 정의되고, 제2 홈(G2)은 고정부(FP_4)의 연장 방향을 따라 연장할 수 있다. 고정부(FP_4)는 복수 개의 제1 및 제2 고정바들(FB1_2,FB2_2)을 포함할 수 있다. 제1 및 제2 고정바들(FB1_2,FB2_2)의 배치 위치는 도 13에 도시된 제1 및 제2 고정바들(FB1_1,FB2_1)의 배치 위치와 동일할 수 있다.
제1 및 제2 고정바들(FB1_2,FB2_2)에 제2 홈(G2)이 정의될 수 있다. 제2 홈(G2)은 제1 및 제2 고정바들(FB1_2,FB2_2) 각각의 상면과 제1 및 제2 고정바들(FB1_2,FB2_2) 각각의 일측면 사이에 정의되어, 제1 및 제2 고정바들(FB1_2,FB2_2) 각각의 연장 방향을 따라 연장할 수 있다.
도 16은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 마스크의 사시이도이다. 도 17은 도 16에 도시된 마스크를 위에서 바라본 마스크의 평면도이다. 도 18은 도 17에 도시된 Ⅳ-Ⅳ'선의 단면도이다.
제1 마스크(MK1) 및 고정부(FP_5)의 구성들을 제외하면, 마스크(MSK_1)의 구성은 도 1에 도시된 마스크(MSK)와 동일할 수 있다. 따라서, 이하, 도 1에 도시된 마스크(MSK)와 다른 구성을 위주로, 마스크(MSK_1)의 구성이 설명될 것이며 동일한 구성은 동일한 부호를 사용하여 도시하였다.
도 16 및 도 17을 참조하면, 마스크(MSK_1)는 복수 개의 제2 마스크들(MK2') 및 제2 마스크들(MK2') 상에 각각 배치된 복수 개의 제2 고정부들(FP_5)을 포함할 수 있다. 제2 마스크들(MK2') 각각은 메쉬부(MSP)를 포함할 수 있다. 제2 마스크들(MK2')의 메쉬부들(MSP)은 제2 개구부들(OP2)에 각각 중첩할 수 있다. 차단부들(BLP)은 메쉬부들(MSP) 상에 배치될 수 있다.
고정부들(FP_5) 각각은 복수 개의 제1 고정바들(FB1_3) 및 복수 개의 제2 고정바들(FB2_3)을 포함할 수 있다. 크기만 다를뿐, 제1 및 제2 고정바들(FB1_3,FB2_3)의 구성들은 실질적으로, 도 1에 도시된 제1 및 제2 고정바들(FB1,FB2)과 같을 수 있다.
도 17 및 도 18을 참조하면, 제2 마스크들(MK2') 각각의 테두리는 제2 개구부들(OP2) 중 대응하는 제2 개구부(OP2)에 인접하여 대응하는 제2 개구부(OP2)보다 외곽에 배치될 수 있다. 고정부들(FP_5) 각각은, 평면 상에서 봤을 때, 메쉬부들(MSP) 중 대응하는 메쉬부(MSP) 및 제2 개구부들(OP2) 중 대응하는 제2 개구부(OP2)를 둘러싸도록 배치될 수 있다. 고정부들(FP_5)은 레이저 용접에 의해 제2 마스크들(MK2') 및 제1 마스크(MK1)에 고정될 수 있다.
도 18을 참조하면, 고정부(FP_5)은 제2 마스크(MK2')의 테두리에 인접한 제2 마스크(MK2')의 부분에 연결될 수 있다. 제2 마스크(MK2')의 테두리에 인접한 제2 마스크(MK2')의 부분은 제2 개구부(OP2)에 인접한 제1 마스크(MK1)의 부분에 연결될 수 있다. 고정부(FP_5)에 의해 제2 마스크(MK2')가 제1 마스크(MK1)에 보다 견고하게 고정될 수 있다.
도 19는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 고정부의 구성을 도시한 도면이다.
도 19는 예시적으로 도 18에 대응하는 단면으로 도시하였다. 도 19에 도시된 고정부(FP_6)는 단면 형상을 제외하면, 도 18에 도시된 고정부(FP_5)와 동일한 구성을 갖는다. 따라서, 이하, 고정부(FP_6)의 단면 형상이 주로 설명될 것이다.
도 19를 참조하면, 제2 개구부(OP2)에 인접한 고정부(FP_6)의 일측은 제1 경사면(SLP1) 및 제2 경사면(SLP2)을 포함할 수 있다. 고정부(FP_6)의 일측의 반대측인 고정부(FP_6)의 타측은 고정부(FP_6)의 일측과 대칭되는 형상을 가질 수 있다.
제1 경사면(SLP1)은 제2 개구부(OP2)에 인접한 고정부(FP_6)의 내측 테두리(I_EG)에서부터 내측 테두리(I_EG)보다 높게 배치된 고정부(FP_6)의 상면(US)을 향해 연장될 수 있다. 제2 경사면(SLP2)은 고정부(FP_6)의 내측 테두리(I_EG)에서부터 내측 테두리(I_EG)보다 낮게 배치된 고정부(FP_6)의 하면(LS)을 향해 연장될 수 있다. 평면 상에서 봤을 때, 고정부(FP_6)의 내측 테두리(I_EG)는 고정부(FP_6)의 상면(US) 및 고정부(FP_6)의 하면(LS)보다 제2 개구부(OP2)에 인접할 수 있다.
제1 경사면(SLP1) 및 제2 경사면(SLP2)은 제3 방향(DR3)에 대해 0보다 크고 90도 보다 작은 각도를 이룰 수 있다. 바람직하게는, 제1 경사면(SLP1) 및 제2 경사면(SLP2)은 제3 방향(DR3)에 대해 30도 내지 60도 각도를 이룰 수 있다.
도 20은 도 19에 도시된 고정부를 향해 분사되는 증착 물질을 도시한 도면이다.
도 20을 참조하면, 증착 물질(DPM)이 제공되는 영역은 사각형의 단면을 갖는 고정부(점선으로 도시됨)보다 제1 및 제2 경사면들(SLP1,SLP2)을 갖는 고정부(FP_6)에서 보다 더 확장될 수 있다. 이러한 경우, 증착 물질(DPM)이 보다 더 넓은 영역으로 제공될 수 있다.
이상 실시 예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. 또한 본 발명에 개시된 실시 예는 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니고, 하기의 특허 청구의 범위 및 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
표시 패널을 제조할 때 사용되는 마스크가 보다 견고히 고정될 경우, 표시 패널의 수율이 높아지므로, 본 발명은 산업상 이용가능성이 높다.

Claims (20)

  1. 제1 개구부가 정의된 마스크 프레임;
    상기 마스크 프레임 상에 배치되고, 상기 제1 개구부에 중첩하는 제2 개구부가 정의된 제1 마스크;
    상기 제2 개구부에 중첩하여 메쉬 형상을 갖는 메쉬부를 포함하고, 상기 제1 마스크 상에 배치된 제2 마스크; 및
    상기 제2 마스크 상에 배치되고, 상기 메쉬부를 둘러싸도록 상기 제2 마스크의 테두리를 따라 연장하는 고정부를 포함하는 마스크.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 고정부는 상기 제2 마스크의 상기 테두리를 따라 배치되는 복수 개의 고정바들을 포함하는 마스크.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 고정바들은,
    제1 방향으로 연장하고 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 이격된 복수 개의 제1 고정바들; 및
    상기 제2 방향으로 연장하고, 상기 제1 방향으로 이격된 복수 개의 제2 고정바들을 포함하는 마스크.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 고정부는 600 마이크로미터 내지 2000 마이크로미터의 두께를 갖는 마스크.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 메쉬부는 상기 메쉬 형상을 정의하는 복수 개의 메쉬선들을 포함하고,
    상기 복수 개의 메쉬선들 각각의 선폭은 10 마이크로미터 내지 20 마이크로미터인 마스크.
  6. 제 5 항에 있어서,
    서로 평행하게 연장하여 서로 마주보는 2개의 메쉬선들 사이의 간격은 0.5 미리미터 내지 2 미리미터인 마스크.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 메쉬부의 일부분 상에 배치된 차단부를 더 포함하는 마스크.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 차단부는 원형 형상을 갖고, 상기 차단부의 직경은 상기 2개의 메쉬선들 사이의 간격보다 큰 마스크.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 차단부는 상기 메쉬선들에 연결되는 마스크.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 마스크의 테두리 및 상기 제2 마스크의 상기 테두리는 상기 마스크 프레임의 테두리에 인접한 마스크.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 고정부는 상기 제2 마스크, 상기 제1 마스크, 및 상기 마스크 프레임에 연결되는 마스크.
  12. 제 1 항에 있어서,
    상기 고정부는,
    "L"자 형상을 갖는 제1 고정부; 및
    상기 제1 고정부와 마주보고 상기 "L"자를 180도 회전시킨 형상을 갖는 제2 고정부를 포함하는 마스크.
  13. 제 1 항에 있어서,
    상기 고정부는 사각형의 틀 형상을 갖는 마스크.
  14. 제 1 항에 있어서,
    상기 고정부의 상면에는 홈이 정의되고, 상기 홈은 상기 고정부의 연장 방향을 따라 연장하는 마스크.
  15. 제 14 항에 있어서,
    상기 홈은 상기 고정부의 상면의 소정의 부분에 정의되어 상기 고정부의 연장 방향을 따라 연장하는 마스크.
  16. 제 14 항에 있어서,
    상기 홈은 상기 고정부의 상면과 상기 고정부의 일측면 사이에 정의되어, 상기 고정부의 연장 방향을 따라 연장하는 마스크.
  17. 제 1 항에 있어서,
    상기 제2 마스크의 상기 테두리는 상기 제2 개구부에 인접하고, 상기 제2 개구부보다 외곽에 배치되는 마스크.
  18. 제 17 항에 있어서,
    상기 고정부는 상기 제2 마스크의 상기 테두리에 인접한 상기 제2 마스크의 부분에 연결되고,
    상기 제2 마스크의 상기 부분은 상기 제2 개구부에 인접한 상기 제1 마스크의 부분에 연결되는 마스크.
  19. 제 17 항에 있어서,
    상기 고정부는,
    상기 제2 개구부에 인접한 내측 테두리;
    상기 내측 테두리에서부터 상기 내측 테두리보다 높게 배치된 상기 고정부의 상면을 향해 연장된 제1 경사면; 및
    상기 내측 테두리에서부터 상기 내측 테두리보다 낮게 배치된 상기 고정부의 하면을 향해 연장된 제2 경사면을 포함하고,
    상기 내측 테두리는 상기 고정부의 상기 상면 및 상기 고정부의 상기 하면보다 상기 제2 개구부에 인접한 마스크.
  20. 제 19 항에 있어서,
    상기 제1 경사면 및 상기 제2 경사면은 상기 상면에 수직한 방향에 대해 30도 내지 60도 각도를 이루는 마스크.
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