KR20230097288A

KR20230097288A - 마스크 어셈블리 및 이를 포함한 증착 설비

Info

Publication number: KR20230097288A
Application number: KR1020210186556A
Authority: KR
Inventors: 박상하
Original assignee: 삼성디스플레이 주식회사
Priority date: 2021-12-23
Filing date: 2021-12-23
Publication date: 2023-07-03
Also published as: US20230203637A1; CN116377382A; EP4203660A1; CN219117535U

Abstract

마스크 어셈블리는, 프레임 개구부가 정의된 프레임, 상기 프레임 개구부에 대응되는 메인 증착 개구부들이 정의된 증착부, 상기 증착부의 외측에 배치된 비증착부를 포함하고, 상기 증착부와 상기 비증착부 사이에 결합 개구부가 정의되고, 상기 프레임 상에 배치된 마스크, 및 상기 비증착부와 중첩하는 지지부 및 상기 지지부로부터 돌출되고 서브 증착 개구부들이 정의되고 상기 결합 개구부에 중첩하는 패턴부를 포함하고, 상기 마스크와 상기 프레임 사이에 배치되는 스틱을 포함하는 마스크 어셈블리.

Description

마스크 어셈블리 및 이를 포함한 증착 설비{MASK ASSEMBLY AND DEPOSITION APPARATUS INCLUDING THE SAME}

본 발명은 마스크 어셈블리 및 이를 포함한 증착 설비에 관한 것으로, 보다 상세하게는 이종의 증착 개구부를 포함하는 마스크 어셈블리 및 이를 포함한 증착 설비에 관한 것이다.

표시 패널은 각각이 트랜지스터와 같은 구동 소자 및 발광 소자를 포함하는 복수의 화소들을 포함한다. 화소들 기판 상에 전극 및 다양한 기능층들을 적층하여 형성될 수 있다.

최근들어 베젤 리스 추세에 따라 표시 패널은, 기존 베젤 영역을 발광 영역으로 이용하거나, 표시 패널의 바닥면을 제외한 나머지 면들을 발광 영역으로 이용하는 표시 장치들이 개발되고 있다.

따라서, 메인 발광 영역 및 메인 발광 영역의 코너와 인접한 서브 발광 영역에 배치된 발광 소자가 서로 다른 면적으로 증착될 수 있다. 이에 따라, 서로 다른 크기를 갖는 증착 개구부들을 포함한 마스크 어셈블리의 제작 방법에 대한 기술 개발을 필요로 하고 있다.

본 발명은 서로 다른 면적을 갖는 증착 개구부들을 포함하는 마스크 어셈블리를 제공함에 따라, 이종의 증착 개구부들을 갖는 마스크 어셈블리의 제작을 용이하게 하는 것을 목적으로 한다.

본 발명에 따른 마스크 어셈블리는, 프레임 개구부가 정의된 프레임, 상기 프레임 개구부에 대응되는 메인 증착 개구부들이 정의된 증착부, 상기 증착부의 외측에 배치된 비증착부를 포함하고, 상기 증착부와 상기 비증착부 사이에 결합 개구부가 정의되고, 상기 프레임 상에 배치된 마스크, 및 상기 비증착부와 중첩하는 지지부 및 상기 지지부로부터 돌출되고 서브 증착 개구부들이 정의되고 상기 결합 개구부에 중첩하는 패턴부를 포함하고, 상기 마스크와 상기 프레임 사이에 배치되는 스틱을 포함한다.

상기 서브 증착 개구부들의 면적은 상기 메인 증착 개구부들의 면적보다 큰 것을 특징으로 할 수 있다.

상기 지지부는 상기 스틱의 상면에서부터 상기 스틱의 배면을 향하는 방향으로 일부가 제거되고, 상기 제거된 부분의 두께는 상기 마스크의 최소 두께 이상이고, 상기 마스크의 두께는 10um 이상 내지 30um 이하이고, 상기 스틱의 두께는 50um 이상 내지 150um 이하인 것을 특징으로 할 수 있다.

상기 마스크의 상면과 상기 스틱의 상기 상면은 동일 평면을 정의하는 것을 특징으로 할 수 있다.

상기 결합 개구부는 상기 증착부의 모서리와 인접하고, 평면상에서, 상기 패턴부는 상기 결합 개구부와 대응되는 형상을 갖는 것을 특징으로 할 수 있다.

상기 증착부는 상기 제1 방향으로 연장된 단변부, 상기 단변부로부터 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장된 장변부, 및 상기 단변부과 상기 장변부 사이를 연결하는 코너부를 포함하고, 상기 결합 개구부는 상기 비증착부와 상기 장변부 사이 및 비증착부와 상기 코너부 사이에 정의되고, 평면상에서, 상기 패턴부는 상기 결합 개구부와 대응되는 형상을 갖는 것을 특징으로 할 수 있다.

단면상에서, 상기 메인 증착 개구부들 중 하나의 메인 증착 개구부를 정의하는 상기 증착부의 내측면은, 상기 증착부의 상면과 연결된 제1 곡면 및 상기 제1 곡면과 상기 증착부 의 배면 사이에 배치된 제2 곡면을 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.

단면상에서, 상기 서브 증착 개구부들 중 하나의 서브 증착 개구부를 정의하는 상기 패턴부의 내측면은, 상기 패턴부의 상면과 연결된 제3 곡면 및 상기 제3 곡면과 상기 패턴부의 배면 사이에 배치된 제4 곡면을 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.

상기 증착부는 상기 제1 방향으로 연장된 단변부, 상기 단변부로부터 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장된 장변부, 및 상기 단변부과 상기 장변부 사이를 연결하는 코너부를 포함하고, 상기 스틱은 상기 제1 방향을 따라 연장되고, 상기 제2 방향을 따라 이격되어 상기 단변부와 인접한 비증착부와 중첩하는 것을 특징으로 할 수 있다.

상기 스틱 및 상기 프레임 사이에 배치되고, 각각이 상기 제2 방향을 따라 연장되고, 상기 제1 방향을 따라 이격되어 상기 장변부와 인접한 비증착부와 중첩하는 틈새 스틱을 더 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.

상기 프레임에는, 각각이 상기 프레임의 상면에서부터 상기 프레임의 배면을 향하는 방향으로 일부가 제거되고, 상기 스틱이 배치되는 제1 홈 및 상기 틈새 스틱이 배치되는 제2 홈이 정의되고, 상기 제2 홈의 깊이는, 상기 스틱의 두께 및 상기 틈새 스틱의 두께의 합과 동일한 것을 특징으로 할 수 있다.

상기 마스크는 인바(invar)를 포함하고, 상기 스틱은 스테인레스 스틸을 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.

상기 마스크에는 상기 스틱과 비중첩하고 상기 비증착부의 적어도 일부가 제거된 제1 얼라인 홀이 정의된 것을 특징으로 할 수 있다.

상기 증착부는 상기 제1 방향으로 연장된 단변부, 상기 단변부로부터 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장된 장변부, 및 상기 단변부과 상기 장변부 사이를 연결하는 코너부를 포함하고, 상기 스틱은 상기 제2 방향에서 볼 때 상기 단변부의 중심과 일치하고, 상기 제2 방향에서 상기 스틱의 폭의 중심으로부터 적어도 일부가 제거된 제2 얼라인 홀이 정의된 것을 특징으로 할 수 있다.

상기 패턴부는 상기 지지부의 일측에 배치되고 상기 결합 개구부와 중첩하는 제1 패턴부 및 지지부의 타측에 배치되고 상기 비증착부와 중첩하는 제2 패턴부를 포함하고,

상기 비증착부에는 상기 제2 패턴부와 중첩하는 추가 결합 개구부가 정의된 것을 특징으로 할 수 있다.

상기 마스크는 상기 패턴부와 인접하고, 상기 지지부 상에 배치된 용접 돌기를 더 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.

본 발명에 따른 증착 설비는, 증착 챔버, 프레임 개구부가 정의된 프레임, 상기 프레임 상에 배치된 마스크, 및 상기 마스크와 상기 프레임 사이에 배치된 스틱을 포함하고, 상기 증착 챔버 내부에 배치된 마스크 어셈블리, 상기 마스크 어셈블리 상에 배치되고, 메인 증착 영역 및 서브 증착 영역을 포함하는 증착 기판, 상기 프레임 개구부로 증착 물질을 분사하는 증착 소스을 포함하고, 상기 마스크는, 상기 메인 증착 영역과 중첩하는 메인 증착 개구부들이 정의된 증착부 및 상기 증착부의 외측에 배치된 비증착부를 포함하고, 상기 증착부와 상기 비증착부 사이에 결합 개구부가 정의되고, 상기 스틱은, 상기 비증착부와 중첩하는 지지부 및 상기 지지부로부터 돌출되고 상기 서브 증착 영역과 중첩하는 서브 증착 개구부들이 정의되고 상기 결합 개구부에 배치된 패턴부를 포함한다.

본 발명에 따르면, 마스크와 스틱에 서로 다른 면적을 갖는 개구부들 정의하고, 마스크와 스틱이 결합되어 증착 기판이 배치되는 면을 평탄면으로 제공함에 따라, 표시 패널의 서로 다른 영역에 증착되는 이 종의 발광 패턴들을 용이하게 증착할 수 있다. 또한, 하나의 마스크에 서로 다른 면적을 갖는 개구부들을 형성하기 위한 마스크 패터닝 공정이 생략될 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 설비의 단면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 설비로 제조된 표시 패널의 단면도이다.
도 3a는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 결합 사시도이다.
도 3b는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 분해 사시도이다.
도 3c는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 영역의 확대도이다.
도 4a는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 결합 사시도이다.
도 4b는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 분해 사시도이다.
도 4c는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 영역의 확대도이다.
도 5a는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 어셈블리의 결합 사시도이다.
도 5b는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 어셈블리의 분해 사시도이다.
도 6a는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 어셈블리의 일 영역을 확대한 평면도이다.
도 6b는 도 6a의 I-I'를 따라 절단한 단면도이다.
도 7a는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 어셈블리의 평면도이다.
도 7b는 도 7a의 PP'영역을 확대한 평면도이다.
도 8a는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 어셈블리의 평면도이다.
도 8b는 도 8a의 QQ'영역을 확대한 평면도이다.
도 9a는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 어셈블리의 결합 사시도이다.
도 9b는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 어셈블리의 분해 사시도이다.
도 10a는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 어셈블리의 일 영역을 확대한 평면도이다.
도 10b는 도 10a의 II-II'를 따라 절단한 단면도이다.

본 명세서에서, 어떤 구성요소(또는 영역, 층, 부분 등)가 다른 구성요소 "상에 있다", "연결된다", 또는 "결합된다"고 언급되는 경우에 그것은 다른 구성요소 상에 직접 배치/연결/결합될 수 있거나 또는 그들 사이에 제3의 구성요소가 배치될 수도 있다는 것을 의미한다.

동일한 도면부호는 동일한 구성요소를 지칭한다. 또한, 도면들에 있어서, 구성요소들의 두께, 비율, 및 치수는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다. "및/또는"은 연관된 구성요소들이 정의할 수 있는 하나 이상의 조합을 모두 포함한다.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.

또한, "아래에", "하측에", "위에", "상측에" 등의 용어는 도면에 도시된 구성요소들의 연관관계를 설명하기 위해 사용된다. 상기 용어들은 상대적인 개념으로, 도면에 표시된 방향을 기준으로 설명된다.

"포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

다르게 정의되지 않는 한, 본 명세서에서 사용된 모든 용어 (기술 용어 및 과학 용어 포함)는 본 발명이 속하는 기술 분야의 당업자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 갖는다. 또한, 일반적으로 사용되는 사전에서 정의된 용어와 같은 용어는 관련 기술의 맥락에서 갖는 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석되어야 하고, 여기서 명시적으로 정의되지 않는 한 너무 이상적이거나 지나치게 형식적인 의미로 해석되어서는 안된다. 이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 설비의 단면도이다. 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 설비로 제조된 표시 패널의 단면도이다.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 설비(EDA)는 증착 챔버(CB), 고정부재(CM), 증착 챔버(CB)의 내측에 배치된 증착 소스(DS), 및 증착 챔버(CB)의 내측에 배치된 마스크 어셈블리(MSA)를 포함한다. 별도로 도시하지 않았으나, 증착 설비(EDA)는 인라인 시스템을 구현하기 위한 추가 기계장치를 더 포함할 수 있다.

증착 챔버(CB)는 증착조건을 진공으로 설정할 수 있다. 증착 챔버(CB)는 바닥면, 천장면, 및 측벽들을 포함할 수 있다. 증착 챔버(CB)의 바닥면은 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)이 정의하는 면과 평행한다. 증착 챔버(CB)의 바닥면의 법선 방향은 제3 방향(DR3)이 지시한다.

일 실시예에 따른 증착 설비(EDA)는 증착 공정 과정에서 증착 챔버(CB)를 상태로 변환 시기키 위한 기계장치를 더 포함할 수 있다.

고정부재(CM)는 증착 챔버(CB)의 내측에 배치되고, 증착 소스(DS) 상에 배치되며, 마스크 어셈블리(MSA)를 고정한다. 고정부재(CM)는 증착 챔버(CB)의 천장면에 설치될 수 있다. 고정부재(CM)는 마스크 어셈블리(MSA)를 홀딩하는 지그 또는 로봇암을 포함할 수 있다.

고정부재(CM)는 베이스부(BD) 및 베이스부(BD)에 결합된 자성체들(MM)을 포함한다. 베이스부(BD)는 마스크 어셈블리(MSA)를 고정하기 위한 기본구조로써 플레이트를 포함할 수 있으며, 이에 제한되지 않는다. 자성체들(MM)은 베이스부(BD)의 내측에 배치되거나, 외측에 배치될 수 있다. 자성체들(MM)은 자기력으로 마스크 어셈블리(MSA)를 고정할 수 있다.

증착 소스(DS)는 증착 물질을 증발시켜, 증착 증기로써 분출할 수 있다. 해당 증착 증기는 프레임(FR)에 정의된 프레임 개구부(F-OP, 도 5b 참조)를 통과하여 소정의 패턴으로 증착 기판(M-DP)에 증착된다. 증착 기판(M-DP)은 후술하는 완성된 표시 패널(DP, 도 3b 참조)을 제조하는 중간 단계의 기판으로 정의될 수 있다.

본 실시예에 따른 마스크 어셈블리(MSA)는 프레임(FR), 스틱(ST), 및 마스크(MS)를 포함할 수 있다. 마스크(MS)에는 마스크(MS)가 관통된 복수의 메인 증착 개구부들(DP-OP)이 정의될 수 있다.

마스크 어셈블리(MSA)는 증착 챔버(CB)의 내측에 배치되고, 증착 소스(DS) 상에 배치되며, 증착 기판(M-DP)을 지지한다. 증착 기판(M-DP)은 유리기판 또는 플라스틱 기판을 포함할 수 있다. 증착 기판(M-DP)은 베이스 기판 상에 배치된 고분자층을 포함할 수 있다.

도 2는 본 발명에 따른 증착 설비(EDA)를 통해 제작된 표시 패널(DP)의 단면도를 도시한 것이다. 표시 패널(DP)은 모 기판인 증착 기판(M-DP)에서 유닛 단위의 패널로 분리된 것일 수 있다. .

도 2를 참조하면, 표시 패널(DP)은 베이스층(BL), 베이스층(BL) 상에 배치된 회로 소자층(DP-CL), 회로 소자층(DP-CL) 상에 배치된 표시 소자층(DP-OLED), 및 표시 소자층(DP-OLED) 상에 배치된 상부 절연층(TFL)을 포함한다.

베이스층(BL)은 합성수지층을 포함할 수 있다. 표시 패널(DP)의 제조 시에 이용되는 지지기판 상에 합성수지층을 형성한다. 이후 합성수지층 상에 도전층 및 절연층 등을 형성한다. 지지기판이 제거되면 합성수지층은 베이스층(BL)에 대응한다.

회로 소자층(DP-CL)은 적어도 하나의 절연층과 회로 소자를 포함한다. 회로 소자는 신호라인, 화소의 구동회로 등을 포함한다. 코팅, 증착 등에 의한 절연층, 반도체층 및 도전층 형성공정과 포토리소그래피 공정에 의한 절연층, 반도체층 및 도전층층의 패터닝 공정을 통해 회로 소자층(DP-CL)이 형성될 수 있다.

본 실시예에서 회로 소자층(DP-CL)은 버퍼층(BFL), 배리어층(BRL), 및 제1 내지 제7 절연층(10 내지 70)을 포함한다. 버퍼층(BFL), 배리어층(BRL), 및 제1 내지 제7 절연층(10 내지 70)은 무기막 및 유기막 중 어느 하나를 포함할 수 있다. 버퍼층(BFL) 및 배리어층(BRL)은 무기막을 포함할 수 있다. 제5 내지 제7 절연층(50 및 70) 중 적어도 어느 하나는 유기막을 포함할 수 있다.

도 2에는 제1 및 제2 트랜지스터(T1, T2)를 구성하는 제1 액티브(A1), 제2 액티브(A2), 제1 게이트(G1), 제2 게이트(G2), 제1 소스(S1), 제2 소스(S2), 제1 드레인(D1), 제2 드레인(D2)의 배치관계가 예시적으로 도시되었다.

본 실시예에서 제1 액티브(A1) 및 제2 액티브(A2)은 서로 다른 물질을 포함할 수 있다. 제1 액티브(A1)는 폴리 실리콘 반도체를 포함하고, 제2 액티브(A2)는 금속 산화물 반도체를 포함할 수 있다. 제1 소스(S1) 및 제1 드레인(D1)은 제1 액티브(A1)에 비해 도핑 농도가 큰 영역으로써, 전극의 기능을 갖는다. 제2 소스(S2) 및 제2 드레인(D2)은 금속 산화물 반도체를 환원시킨 영역으로써, 전극의 기능을 갖는다.

다만, 제1 및 제2 트랜지스터(T1, T2)의 구조는 이에 한정되지 않으며, 제1 액티브(A1) 및 제2 액티브(A2)가 서로 동일한 반도체 물질을 포함할 수 있고, 이때 회로 소자층(DP-CL)의 적층 구조는 단순해질 수 있다.

표시 소자층(DP-OLED)은 화소 정의막(PDL) 및 발광소자(OLED)를 포함한다. 발광소자(OLED)는 유기발광 다이오드 또는 퀀텀닷 발광 다이오드일 수 있다. 제1 전극(AE)이 제7 절연층(70) 상에 배치된다. 화소 정의막(PDL)의 개구부(OP)는 제1 전극(AE)의 적어도 일부분을 노출시킨다. 화소 정의막(PDL)의 개구부(OP)는 발광영역(PXA)을 정의할 수 있다. 발광영역(PXA)의 배치는 제1 전극(AE)의 배치를 대표할 수 있다. 비발광영역(NPXA)은 발광영역(PXA)을 에워싸을 수 있다.

정공 제어층(HCL) 및 전자 제어층(ECL)은 발광영역(PXA)과 비발광영역(NPXA)에 공통으로 배치될 수 있다. 발광 패턴(EML)은 개구부(OP)에 대응하도록 패턴 형태로 제공될 수 있다. 막 형태의 정공 제어층(HCL) 및 전자 제어층(ECL) 대비 발광 패턴은 다른 방식으로 증착될 수 있다.

정공 제어층(HCL)과 전자 제어층(ECL)은 오픈 마스크를 이용하여 복수 개의 화소들에 공통으로 형성될 수 있다. 제2 전극(CE)은 발광영역(PXA)과 비발광영역(NPXA)에 공통으로 형성될 수 있다.

발광소자(OLED) 상에 상부 절연층(TFL)이 배치된다. 상부 절연층(TFL)은 복수 개의 박막들을 포함할 수 있다. 복수 개의 박막들은 무기막 및 유기막을 포함할 수 있다. 상부 절연층(TFL)은 표시 소자층(DP-OLED)을 봉지하기 위한 절연층 및 출광 효율을 향상시키기 위한 절연층 등을 포함할 수 있다.

본 발명에 따른 증착 설비(EDA)는 발광 패턴(EML)의 증착 공정에 이용될 수 있다. 본 발명에 따른 마스크 어셈블리(MSA)는 다양한 면적을 갖는 발광 패턴(EML)을 형성하기 위해 사용될 수 있다. 상세한 설명은 후술하도록 한다.

도 3a는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 결합 사시도이다. 도 3b는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 분해 사시도이다. 도 3c는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 영역의 확대도이다. 도 3a 내지 도 3c에서 설명한 표시 장치(DD)는 본 발명에 따른 증착 설비(EDA, 도 1 참조)를 통해 형성된 표시 패널(DP, 도 2 참조)을 포함하는 전자 장치일 수 있다.

표시 장치(DD)가 스마트폰인 것을 예시적으로 도시하였다. 그러나, 이에 제한되지 않으며, 표시 장치(DD)는 텔레비전, 모니터 등과 같은 대형 표시 장치를 비롯하여, 태블릿, 자동차 내비게이션, 게임기, 또는 스마트 워치(watch) 등과 같은 중소형 표시 장치 등 일 수 있다.

도 3a를 참조하면, 본 실시예에 따른 표시 장치(DD)는 표시 장치(DD)의 배면을 제외한 전면 및 측면들에서 이미지(IM)가 표시될 수 있다. 표시 장치(DD)에는 이미지(IM)가 표시되는 액티브 영역(AA1, AA2) 및 이미지(IM)가 표시되지 않는 주변 영역(NAA)이 정의될 수 있다. 도 3a에서는 이미지(IM)의 예시로, 날짜, 시간 및 아이콘 이미지가 도시되었다.

액티브 영역(AA1, AA2)은 표시 장치(DD)의 전면에 대응되고 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)을 따라 평면 형상을 갖는 제1 액티브 영역(AA1) 및 표시 장치(DD)의 측면들에 대응되고 제1 액티브 영역(AA1)으로부터 벤딩된 제2 액티브 영역(AA2)을 포함할 수 있다. 제2 액티브 영역(AA2)은 제1 액티브 영역(AA1)으로부터 소정의 곡률을 갖고 휘어진 영역일 수 있다.

제2 액티브 영역(AA2)은 제1 액티브 영역(AA1)으로부터 벤딩된 영역일 수 있다. 제2 액티브 영역(AA2)은 제1 액티브 영역(AA1)의 측변들로부터 벤딩된 에지 액티브 영역들(AA2_E1~AA2_E4) 및 제1 액티브 영역(AA1)의 코너들로부터 벤딩된 코너 액티브 영역들(AA2_C1~AA2_C4)을 포함할 수 있다.

제2 액티브 영역(AA2)은 제1 액티브 영역(AA1)의 제1 측변으로부터 벤딩된 제1 에지 액티브 영역(AA2_E1), 제1 액티브 영역(AA1)의 제2 측변으로부터 벤딩된 제2 에지 액티브 영역(AA2_E2), 제1 액티브 영역(AA1)의 제3 측변으로부터 벤딩된 제3 에지 액티브 영역(AA2_E3) 및 제1 액티브 영역(AA1)의 제4 측변으로부터 벤딩된 제4 에지 액티브 영역(AA2_E4)을 포함한다.

제1 내지 제4 에지 액티브 영역들(AA2_E1~AA2_E4) 각각은 제3 방향(DR3) 상에서 소정의 곡률을 갖도록 휘어질 수 있다. 제1 내지 제4 에지 액티브 영역들(AA2_E1~AA2_E4) 각각은 단곡면 형상을 가질 수 있다. 도 3a에서는 제1 내지 제4 에지 액티브 영역들(AA2_E1~AA2_E4)이 서로 동일한 곡률로 휘어진 형상을 도시하였으나, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 예를 들어, 제1 및 제2 에지 액티브 영역(AA2_E1, AA2_E2)은 제3 및 제4 에지 액티브 영역(AA2_E3, AA2_E4)과 다른 곡률로 벤딩될 수 있다.

제2 액티브 영역(AA2)은 제1 액티브 영역(AA1)의 제1 코너로부터 벤딩된 제1 코너 액티브 영역(AA2_C1), 제1 액티브 영역(AA1)의 제2 코너로부터 벤딩된 제2 코너 액티브 영역(AA2_C2), 제1 액티브 영역(AA1)의 제3 코너로부터 벤딩된 제3 코너 액티브 영역(AA2_C3) 및 제1 액티브 영역(AA1)의 제4 코너로부터 벤딩된 제4 코너 액티브 영역(AA2_C4)을 더 포함한다.

제1 코너 액티브 영역(AA2_C1)은 제1 에지 액티브 영역(AA2_E1) 및 제3 에지 액티브 영역(AA2_E3) 사이에 배치되고, 제2 코너 액티브 영역(AA2_C2)은 제1 에지 액티브 영역(AA2_E1) 및 제4 에지 액티브 영역(AA2_E4) 사이에 배치된다. 제3 코너 액티브 영역(AA2_C3)은 제2 에지 액티브 영역(AA2_E2) 및 제3 에지 액티브 영역(AA2_E3) 사이에 배치되고, 제4 코너 액티브 영역(AA2_C4)은 제2 에지 액티브 영역(AA2_E2) 및 제4 에지 액티브 영역(AA2_E4) 사이에 배치된다.

제1 내지 제4 코너 액티브 영역들(AA2_C1~AA2_C4) 각각은 제3 방향(DR3) 상에서 소정의 곡률을 갖도록 휘어질 수 있다. 제1 내지 제4 코너 액티브 영역들(AA2_C1~AA2_C4) 각각은 복곡면 형상을 가질 수 있다.

표시 장치(DD)에서, 에지 액티브 영역들(AA2_E1~AA2_E4) 및 코너 액티브 영역들(AA2_C1~AA2_C4)의 개수는 이에 한정되지 않는다. 즉, 제1 액티브 영역(AA1)의 형상에 따라 제2 액티브 영역(AA2)에 포함되는 에지 액티브 영역들(AA2_E1~AA2_E4)의 개수 및 코너 액티브 영역들(AA2_C1~AA2_C4)의 개수는 가변될 수 있다. 또한, 표시 장치(DD)에서, 에지 액티브 영역들(AA2_E1~AA2_E4) 및 코너 액티브 영역들(AA2_C1~AA2_C4) 중 적어도 하나가 생략될 수 있다.

도 3b를 참조하면, 표시 장치(DD)는 윈도우(WM), 표시 패널(DP) 및 하우징(HU)을 포함할 수 있다. 윈도우(WM)는 표시 패널(DP)의 상면을 보호한다. 윈도우(WM)는 광학적으로 투명할 수 있다. 이에 따라, 표시 패널(DP)에 표시된 영상은 윈도우(WM)를 투과하여 사용자에게 시인될 수 있다. 즉, 표시 장치(DD)의 표시면은 윈도우(WM)에 의해서 정의될 수 있다. 윈도우(WM)는 유리, 플라스틱, 또는 필름으로 구성될 수 있다.

윈도우(WM)는 곡면 구조를 가질 수 있다. 윈도우(WM)는 전면부(FS) 및 전면부(FS)로부터 벤딩된 하나 이상의 곡면부를 포함할 수 있다. 여기서, 전면부(FS) 및 하나 이상의 곡면부는 영상 또는 광을 투과하는 투과부로 정의될 수 있다. 윈도우(WM)의 전면부(FS)는 표시 장치(DD)의 제1 액티브 영역(AA1)에 대응하고, 하나 이상의 곡면부는 제2 액티브 영역(AA2)에 대응할 수 있다.

본 발명의 일 예로, 윈도우(WM)는 4개의 곡면부, 즉 제1 곡면부(ES1), 제2 곡면부(ES2), 제3 곡면부(ES3) 및 제4 곡면부(ES4)를 포함할 수 있다. 본 실시예에서, 전면부(FS)는 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)에 의해서 정의된 평면일 수 있다. 전면부(FS)는 제3 방향(DR3)에 수직한 평면일 수 있다. 제1 내지 제4 곡면부(ES1~ES4) 각각은 전면부(FS)로부터 절곡된다.

제1 및 제2 곡면부(ES1, ES2)는 전면부(FS)의 제1 및 제2 측으로부터 각각 벤딩될 수 있다. 전면부(FS)의 제1 및 제2 측은 제1 방향(DR1)과 나란할 수 있다. 제1 곡면부(ES1)와 제2 곡면부(ES2)는 제1 방향(DR1)으로 서로 나란하게 배치될 수 있다. 제3 곡면부(ES3) 및 제4 곡면부(ES4) 각각은 전면부(FS)로부터 벤딩된다. 특히, 제3 및 제4 곡면부(ES3, ES4)는 전면부(FS)의 제3 및 제4 측으로부터 각각 벤딩될 수 있다. 전면부(FS)의 제3 및 제4 측은 제2 방향(DR2)과 나란할 수 있다. 제3 곡면부(ES3)와 제4 곡면부(ES4)는 제2 방향(DR2)으로 서로 나란하게 배치될 수 있다.

제1 내지 제4 곡면부(ES1~ES4)는 전면부(FS)로부터 소정의 곡률로 벤딩될 수 있다. 본 발명의 일 예로, 제1 내지 제4 곡면부(ES1~ES4)는 서로 동일한 곡률을 가질 수 있다. 또 다른 일 예로, 제1 및 제2 곡면부(ES1, ES2)는 서로 동일한 곡률을 갖고, 제3 및 제4 곡면부(ES3, ES4)는 서로 동일한 곡률을 갖되, 제1 및 제2 곡면부(ES1, ES2)는 제3 및 제4 곡면부(ES3, ES4)와 다른 곡률을 가질 수 있다.

윈도우(WM)는 적어도 하나의 코너부를 더 포함할 수 있다. 본 발명의 일 예로, 윈도우(WM)는 4개의 코너부, 즉 제1 코너부(CS1), 제2 코너부(CS2), 제3 코너부(CS3) 및 제4 코너부(CS4)를 더 포함할 수 있다. 제1 내지 제4 코너부(CS1~CS4) 각각은 적어도 두 개 이상의 곡률을 가질 수 있다. 제1 내지 제4 코너부(CS1~CS4) 각각은 서로 다른 곡률을 갖는 곡면들이 연속적으로 연결된 형상을 가질 수 있다. 제1 내지 제4 코너부(CS1~CS4) 각각은 영상 또는 광을 투과하는 투과부로 정의될 수 있다.

표시 패널(DP)은 영상을 표시하는 표시영역을 포함할 수 있다. 본 발명의 일 예로, 표시영역은 제1 표시영역(DA1) 및 제2 표시영역(DA2)을 포함할 수 있다. 제1 표시영역(DA1)은 윈도우(WM)의 전면부(FS)와 평행하게 배치되고, 전면부(FS)와 대응되는 형상을 가질 수 있다. 즉, 제1 표시영역(DA1)은 평면 형상을 갖는 평면 표시영역일 수 있다.

제2 표시영역(DA2)은 하나 이상의 곡면부 및 하나 이상의 코너부에 대응하여 배치된다. 제2 표시영역(DA2)은 하나 이상의 곡면부 및 하나 이상의 코너부에 대응하는 곡면 형상을 가질 수 있다. 그러나, 제2 표시영역(DA2)의 형상은 이에 한정되지 않으며, 제2 표시영역(DA2)도 제1 표시영역(DA1)으로부터 수직으로 절곡되어 평면 형상을 가질 수 있다.

제2 표시영역(DA2)은 제1 내지 제4 곡면부(ES1~ES4)에 각각 대응하여 배치되는 제1 내지 제4 에지 표시영역(DA2_E1~DA2_E4)을 포함한다. 제1 및 제2 에지 표시영역(DA2_E1, DA2_E2)은 제1 표시영역(DA1)의 제1 및 제2 측으로부터 벤딩되고, 윈도우(WM)의 제1 및 제2 곡면부(ES1, ES2)와 각각 대응하여 배치될 수 있다. 제1 표시영역(DA1)의 제1 및 제2 측은 제1 방향(DR1)에 평행하게 연장된다. 제1 및 제2 에지 표시영역(DA2_E1, DA2_E2)은 소정의 곡률을 갖고 제1 표시영역(DA1)으로부터 휘어질 수 있다.

제3 및 제4 에지 표시영역(DA2_E3, DA2_E4)은 제1 표시영역(DA1)의 제3 및 제4 측으로부터 벤딩되고, 윈도우(WM)의 제3 및 제4 곡면부(ES3, ES4)와 각각 대응하여 배치될 수 있다. 제1 표시영역(DA1)의 제3 및 제4 측은 제2 방향(DR2)에 평행하게 연장된다. 제3 및 제4 에지 표시영역(DA2_E3, DA2_E4)은 소정의 곡률을 갖고 제1 표시영역(DA1)으로부터 휘어질 수 있다.

이상, 일 실시예에 따른 표시 패널(DP)에서 제2 표시영역(DA2)이 4개의 에지 표시영역(DA2_E1~DA2_E4)을 포함하는 구조를 설명하였으나, 본 실시예에 따른 표시 패널(DP)의 구조는 이에 한정되지 않는다. 즉, 표시 패널(DP)의 제2 표시영역(DA2)은 하나의 에지 표시영역만을 포함하거나, 제1 표시영역(DA1)의 제1 및 제2 측에 제공되거나 또는 제3 및 제4 측에 제공된 두 개의 에지 표시영역만을 포함할 수도 있다.

제2 표시영역(DA2)은 윈도우(WM)의 제1 내지 제4 코너부(CS1~CS4)에 각각 대응하여 배치되는 제1 내지 제4 코너 표시영역(DA2_C1~DA2_C4)을 더 포함할 수 있다. 제1 코너 표시영역(DA2_C1)은 제1 및 제3 에지 표시영역(DA2_E1, DA2_E3) 사이에 배치되고, 제2 코너 표시영역(DA2_C2)는 제1 및 제4 에지 표시영역(DA2_E1, DA2_E4) 사이에 배치된다. 또한, 제3 코너 표시영역(DA2_C3)은 제2 및 제3 에지 표시영역(DA2_E2, DA2_E3) 사이에 배치되고, 제4 코너 표시영역(DA2_C4)은 제2 및 제4 에지 표시영역(DA2_E2, DA2_E4) 사이에 배치된다. 제1 내지 제4 코너 표시영역(DA2_C1~DA2_C4)은 실질적으로 영상이 표시되는 영역일 수 있다.

그러나, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 즉, 다른 일 예로, 제1 내지 제4 코너 표시영역(DA2_C1~DA2_C4)은 영상을 표시하지 않는 영역일 수 있으며, 이들 중 일부만이 영상을 표시할 수 있다.

본 실시예에 따르면, 복곡면을 갖는 제1 내지 제4 코너 표시영역(DA2_C1~DA2_C4)의 벤딩 특성을 향상시키기 위해 제1 내지 제4 코너 표시영역(DA2_C1~DA2_C4) 각각은 복수의 절개 라인들(B-L)을 포함할 수 있다. 절개 라인들(B-L)은 표시 패널(DP) 중 제1 내지 제4 코너 표시영역(DA2_C1~DA2_C4)에 중첩하는 일 부분이 컷팅되어 빈 공간으로 형성된 것일 수 있다. 따라서, 제1 내지 제4 코너 표시영역(DA2_C1~DA2_C4)이 대응되는 제1 내지 제4 에지 표시영역(DA2_E1~DA2_E4) 사이에 배치되어 복곡률을 가지고 절곡 되더라도, 절개 라인들(B-L)에 의해 용이하게 제1 표시영역(DA)으로부터 벤딩될 수 있다.

일 실시예에 따른 표시 패널(DP)은 제2 표시영역(DA2)의 주변에 비표시영역을 더 포함할 수 있다. 비표시영역은 실질적으로 영상이 표시되지 않는 영역이다. 비표시영역은 제2 표시영역(DA2)을 에워쌀 수 있다.

본 발명에 따르면, 제2 표시영역(DA2)에는 제1 표시영역(DA1) 및 제2 표시영역(DA2)에 배치된 화소들을 구동하기 위한 구동 소자(예를 들어 스캔 드라이버 등) 및 회로 배선들과 중첩하는 영역일 수 있다. 따라서, 제2 표시영역(DA2)에 배치된 화소들의 품질은 제1 표시영역(DA1)에 배치된 화소들의 품질 대비 감소될 수 있으며, 화소들 각각에 포함된 발광 패턴의 면적 또한, 제1 표시영역(DA1)에 배치된 발광 패턴의 면적과 제2 표시영역(DA2)에 배치된 발광 패턴의 면적이 서로 상이할 수 있다.

표시 패널(DP)은 제2 표시영역(DA2)으로부터 연장되는 패드영역(PP)을 더 포함할 수 있다. 표시 패널(DP)의 패드영역(PP)에는 구동칩(D-IC) 및 패드들이 배치될 수 있다. 구동칩(D-IC)은 화소를 구동하기 위한 데이터 드라이버를 포함할 수 있다. 데이터 드라이버가 내장된 구동칩(D-IC)은 표시 패널(DP)의 제1 및 제2 표시영역(DA1, DA2)에 데이터 신호를 제공할 수 있다. 구동칩(D-IC)은 구동전압 생성기 및 초기화 전압 생성기 등을 더 포함할 수 있다. 이 경우, 구동칩(D-IC)은 제1 및 제2 표시영역(DA1, DA2)에 제1 및 제2 구동전압 및 초기화 전압 등을 공급할 수 있다.

본 발명의 일 예로, 구동칩(D-IC)은 표시 패널(DP) 상에 실장될 수 있다. 표시 패널(DP)은 패드들을 통해 연성회로필름(FCB)과 전기적으로 연결될 수 있다. 본 발명의 일 실시예에서, 구동칩(D-IC)은 연성회로필름(FCB) 상에 실장될 수도 있다.

하우징(HU)은 바닥부(BP) 및 측벽(SW)을 포함한다. 측벽(SW)은 바닥부(BP)로부터 연장될 수 있다. 하우징(HU)은 바닥부(BP) 및 측벽(SW)에 의해서 정의된 수용 공간에 표시 패널(DP)을 수용할 수 있다. 윈도우(WM)는 하우징(HU)의 측벽(SW)과 결합할 수 있다. 하우징의 측벽(SW)은 윈도우(WM)의 가장자리를 지지할 수 있다.

하우징(HU)은 상대적으로 높은 강성을 가진 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 하우징(HU)은 유리, 플라스틱, 또는 금속을 포함하거나, 이들의 조합으로 구성된 복수 개의 프레임 및/또는 플레이트를 포함할 수 있다. 하우징(HU)은 내부 공간에 수용된 표시 장치(DD)의 구성들을 외부 충격으로부터 안정적으로 보호할 수 있다.

도 3c는 표시 패널(DP)의 제1 표시영역(DA1)과 제4 코너 표시영역(DA2_C4)을 확대한 평면도를 도시하였다. 제4 코너 표시영역(DA2_C4)에 관한 설명은 제2 표시영역(DA2)에 포함된 제1 내지 제3 코너 표시영역들(DA2_C1~DA2_C3)에도 적용될 수 있다.

본 실시예에 따르면 제1 표시영역(DA1)은 제1-1 메인 개구부(MOP-R)와 중첩하는 제1-1 메인 발광영역(PXA-RM), 제1-2 메인 개구부(MOP-G)와 중첩하는 제1-2 메인 발광영역(PXA-GM), 제1-3 메인 개구부(MOP-B)와 중첩하는 제1-3 메인 발광영역(PXA-BM)을 포함할 수 있다.

제2 표시영역(DA2)의 제4 코너 표시영역(DA2_C4)은 제2-1 서브 개구부(SOP-R)와 중첩하는 제2-1 서브 발광영역(PXA-RS), 제2-2 서브 개구부(SOP-G)와 중첩하는 제2-2 서브 발광영역(PXA-GS), 제2-3 서브 개구부(SOP-B)와 중첩하는 제2-3 서브 발광영역(PXA-BS)을 포함할 수 있다.

메인 개구부들(MOP-R, MOP-G, MOP-B) 및 서브 개구부들(SOP-R, SOP-G, SOP-B) 각각은 도 2에서 설명한 화소 정의막(PDL)의 개구부(OP)에 대응될 수 있으며, 메인 발광영역들(PXA-RM, PXA-GM, PXA-BM) 및 서브 발광영역들(PXA-RS, PXA-GS, PXA-BS) 각각은 도 2에서 설명한 발광영역(PXA)에 대응될 수 있다.

일 실시예에 따른 제1-1 메인 발광영역(PXA-RM)은 제1-2 메인 발광영역(PXA-GM)과 제5 방향(DR5)을 따라 이격될 수 있고, 제1-3 메인 발광영역(PXA-BM)은 제1-1 메인 발광영역(PXA-RM)과 제2 방향(DR2)을 따라 이격될 수 있다. 제1-3 메인 발광영역(PXA-BM)은 제1-2 메인 발광영역(PXA-GM)과 제4 방향(DR4)을 따라 이격될 수 있다.

본 실시예에서 제1-1 메인 발광영역(PXA-RM)은 레드광을 제공하고, 제1-2 메인 발광영역(PXA-GM)은 그린광을 제공하고, 제1-3 메인 발광영역(PXA-BM)은 블루광을 제공할 수 있다.

일 실시예에 따른 메인 발광영역들(PXA-RM, PXA-GM, PXA-BM)의 면적은 서로 상이할 수 있다. 예를 들어, 제1-1 메인 발광영역(PXA-RM)의 면적은 제1-2 메인 발광영역(PXA-GM)의 면적보다 크고, 제1-3 메인 발광영역(PXA-BM)의 면적보다 작을 수 있다.

일 실시예에 따르면, 제1-1 메인 발광영역(PXA-RM) 및 제1-3 메인 발광영역(PXA-BM)은 직사각 형상을 가질 수 있으며, 제1-2 메인 발광영역(PXA-GM)은 다각 형상을 가질 수 있다. 메인 발광영역들(PXA-RM, PXA-GM, PXA-BM) 각각의 배열 형태, 면적, 및 형상은 표시 패널(DP)의 품질에 따라 변경될 수 있으며, 어느 하나의 실시예로 한정되지 않는다.

본 실시예에서, 제2-1 서브 발광영역(PXA-RS) 및 제2-2 서브 발광영역(PXA-GS) 각각은 제4 방향(DR4)으로 연장된 직사각 형상을 가지고, 제2-3 서브 발광영역(PXA-BS)은 제5 방향(DR5)으로 연장된 직사각 형상을 가질 수 있다.

일 실시예에서 제2-1 서브 발광영역(PXA-RS)은 레드광을 제공하고, 제2-2 서브 발광영역(PXA-GS)은 그린광을 제공하고, 제2-3 서브 발광영역(PXA-BS)은 블루광을 제공할 수 있다.

제2-1 서브 발광영역(PXA-RS) 및 제2-2 서브 발광영역(PXA-GS) 각각은 제2-3 서브 발광영역(PXA-BS)과 제4 방향(DR4)을 따라 이격되고, 제2-1 서브 발광영역(PXA-RS) 및 제2-2 서브 발광영역(PXA-GS)은 제5 방향(DR5)을 따라 이격될 수 있다.

일 실시예에 따른 서브 발광영역들(PXA-RS, PXA-GS, PXA-BS)의 면적은 서로 상이할 수 있다. 예를 들어, 제2-3 서브 발광영역(PXA-BS)의 면적은 가장 클 수 있다. 서브 발광영역들(PXA-RS, PXA-GS, PXA-BS) 각각의 배열 형태, 면적, 및 형상은 표시 패널(DP)의 품질에 따라 변경될 수 있으며, 어느 하나의 실시예로 한정되지 않는다.

본 발명에서 메인 발광영역들(PXA-RM, PXA-GM, PXA-BM) 및 서브 발광영역들(PXA-RS, PXA-GS, PXA-BS) 각각의 형상 및 면적은 마스크 어셈블리(MSA, 도 5a 참조)를 통해 증착되는 발광 패턴들 각각의 형상 및 면적과 대응될 수 있다.

본 실시예에 따르면, 제1 표시영역(DA1)과 제2 표시영역(DA2)에서 서로 동일한 컬러의 광을 제공하는 발광 영역들 간의 면적은 서로 상이할 수 있다. 따라서, 제1 표시영역(DA1)과 제2 표시영역(DA2)에서 대응되는 개구부에 패터닝되는 발광 패턴(EML, 도 2 참조)의 면적 또한 상이하며, 상이한 면적의 발광 패턴들을 패터닝하기 위해 서로 다른 면적을 갖는 증착 개구부들을 포함하는 마스크 어셈블리가 요구된다.

도 4a는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 결합 사시도이다. 도 4b는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 분해 사시도이다. 도 4c는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 영역의 확대도이다. 도 1 내지 도 3c에서 설명한 구성과 동일/유사한 구성에 대해 동일/유사한 참조 부호를 사용하며, 중복된 설명은 생략한다.

도 4a를 참조하면, 본 실시예에 따른 표시 장치(DD-A)에는 이미지(IM)가 표시되는 액티브 영역(AA1, AA2) 및 이미지(IM)가 표시되지 않는 주변 영역(NAA)이 정의될 수 있다. 도 4a에서는 이미지(IM)의 예시로, 날짜, 시간 및 아이콘 이미지가 도시되었다.

본 실시예에서 제1 액티브 영역(AA1)은 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)을 따라 평면 형상을 갖는 제1 액티브 영역(AA1) 및 제1 액티브 영역(AA1)으로부터 연장된 제2 액티브 영역(AA2)을 포함할 수 있다.

제2 액티브 영역(AA2)은 제1 액티브 영역(AA1)의 측변들로부터 밴딩된 에지 액티브 영역들(AA2_E1, AA2_E2) 및 제1 액티브 영역(AA1)의 코너들로부터 밴딩된 코너 액티브 영역들(AA2_C1~AA2_C4)을 포함할 수 있다.

제2 액티브 영역(AA2)은 제1 액티브 영역(AA1)의 제1 측으로부터 밴딩된 제1 에지 액티브 영역(AA2_E1) 및 제1 액티브 영역(AA1)의 제2 측으로부터 밴딩된 제2 에지 액티브 영역(AA2_E2)을 포함한다.

제2 액티브 영역(AA2)은 제1 액티브 영역(AA1)의 제1 코너로부터 밴딩된 제1 코너 액티브 영역(AA2_C1), 제1 액티브 영역(AA1)의 제2 코너로부터 밴딩된 제2 코너 액티브 영역(AA2_C2), 제1 액티브 영역(AA1)의 제3 코너로부터 밴딩된 제3 코너 액티브 영역(AA2_C3) 및 제1 액티브 영역(AA1)의 제4 코너로부터 밴딩된 제4 코너 액티브 영역(AA2_C4)을 포함한다.

제1 코너 액티브 영역(AA2_C1)은 제1 에지 액티브 영역(AA2_E1)의 일단에 배치되고, 제2 코너 액티브 영역(AA2_C2)은 제1 에지 액티브 영역(AA2_E1)의 타단에 배치된다. 제3 코너 액티브 영역(AA2_C3)은 제2 에지 액티브 영역(AA2_E2)의 일단에 배치되고, 제4 코너 액티브 영역(AA2_C4)은 제2 에지 액티브 영역(AA2_E2)의 타단에 배치된다.

제1 및 제2 에지 액티브 영역들(AA2_E1, AA2_E2) 각각은 제3 방향(DR3) 상에서 소정의 곡률을 갖도록 휘어질 수 있다. 제1 및 제2 에지 액티브 영역들(AA2_E1, AA2_E2) 각각은 단곡면 형상을 가질 수 있다. 또한, 제1 내지 제4 코너 액티브 영역들(AA2_C1~AA2_C4) 각각은 제3 방향(DR3) 상에서 소정의 곡률을 갖도록 휘어질 수 있다. 제1 내지 제4 코너 액티브 영역들(AA2_C1~AA2_C4) 각각은 복곡면 형상을 가질 수 있다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니며, 제2 액티브 영역(AA2)은 제1 액티브 영역(AA1)과 동일 평면을 정의할 수 있다.

도 4b를 참조하면, 표시 장치(DD-A)는 윈도우(WM), 표시 패널(DP) 및 하우징(HU)을 포함할 수 있다. 윈도우(WM), 표시 패널(DP)의 패드영역(PP), 구동칩(D-IC), 연성회로필름(FCB), 및 하우징(HU)에 관한 설명은 도 3a 및 도 3b에서 설명한 표시 패널(DP)의 패드영역(PP), 구동칩(D-IC), 연성회로필름(FCB), 및 하우징(HU)과 대응될 수 있다. 따라서, 표시 패널(DP)에 포함된 제1 표시영역(DA1) 및 제2 표시영역(DA2)에 관하여 중점적으로 설명하도록 한다.

윈도우(WM)는 곡면 구조를 가질 수 있다. 윈도우(WM)는 전면부(FS) 및 전면부(FS)로부터 밴딩된 하나 이상의 곡면부를 포함할 수 있다. 여기서, 전면부(FS) 및 하나 이상의 곡면부는 영상 또는 광을 투과하는 투과부로 정의될 수 있다. 윈도우(WM)의 전면부(FS)는 표시 장치(DD)의 제1 액티브 영역(AA1)을 정의하고, 하나 이상의 곡면부는 제2 액티브 영역(AA2)을 정의할 수 있다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니며, 윈도우(WM)에서 곡면부는 생략될 수 있고, 이때, 제2 액티브 영역(AA2)이 제1 액티브 영역(AA1)과 동일 평면을 이룰 수 있다.

윈도우(WM)는 적어도 하나의 코너부를 더 포함할 수 있다. 본 발명의 일 예로, 윈도우(WM)는 4개의 코너부, 즉 제1 코너부(CS1), 제2 코너부(CS2), 제3 코너부(CS3) 및 제4 코너부(CS4)를 더 포함할 수 있다.

윈도우(WM)가 곡면부를 포함할 때, 제1 내지 제4 코너부(CS1~CS4) 각각은 적어도 두 개 이상의 곡률을 가질 수 있다. 제1 내지 제4 코너부(CS1~CS4) 각각은 서로 다른 곡률을 갖는 곡면들이 연속적으로 연결된 형상을 가질 수 있다. 제1 내지 제4 코너부(CS1~CS4) 각각은 영상 또는 광을 투과하는 투과부로 정의될 수 있다.

본 실시예에서 윈도우(WM)는 이미지(IM)가 표시되지 않는 주변 영역(NAA)이 정의될 수 있다. 주변 영역(NAA)은 표시 패널(DP)에서 영상을 제공하는 제1 표시영역(DA1) 및 제2 표시영역(DA2)을 제외한 나머지 영역으로 정의될 수 있다.

제2 표시영역(DA2)은 하나 이상의 곡면부 및 하나 이상의 코너부에 대응하여 배치된다. 제2 표시영역(DA2)은 하나 이상의 곡면부 및 하나 이상의 코너부에 대응하는 곡면 형상을 가질 수 있다. 그러나, 제2 표시영역(DA2)의 형상은 이에 한정되지 않으며, 제2 표시영역(DA2)은 제1 표시영역(DA1)과 동일 평면을 정의할 수 있다.

제2 액티브 영역(AA2)이 곡면부를 포함할 때, 제2 표시영역(DA2)은 제1 및 제2 에지 표시영역(DA2_E1, DA2_E2)을 포함한다. 제1 및 제2 에지 표시영역(DA2_E1, DA2_E2)은 제1 표시영역(DA1)의 제1 및 제2 측으로부터 제1 방향(DR1)을 따라 연장되고, 각각이 제2 방향(DR2)으로 연장될 수 있다. 제1 및 제2 에지 표시영역(DA2_E1, DA2_E2)은 소정의 곡률을 갖고 제1 표시영역(DA1)으로부터 휘어질 수 있다.

이상, 일 실시예에 따른 표시 패널(DP)에서 제2 표시영역(DA2)이 2개의 에지 표시영역(DA2_E1, DA2_E2)을 포함하는 구조를 설명하였으나, 본 실시예에 따른 표시 패널(DP)의 구조는 이에 한정되지 않는다. 즉, 표시 패널(DP)의 제2 표시영역(DA2)은 하나의 에지 표시영역만을 포함할 수 있다.

일 실시예에 따른 표시 패널(DP)은 제2 표시영역(DA2)의 주변에 비표시영역(NDA)을 더 포함할 수 있다. 비표시영역(NDA)은 실질적으로 영상이 표시되지 않는 영역이다. 비표시영역(NDA)은 제2 표시영역(DA2)을 에워쌀 수 있다.

본 실시예에서 제2 표시영역(DA2)과 인접한 비표시영역(NDA)의 면적은 감소될 수 있다. 예를 들어, 제2 표시영역(DA2)에는 제1 표시영역(DA1) 및 제2 표시영역(DA2)에 배치된 화소들을 구동하기 위한 구동 소자(예를 들어, 스캔 드라이버 등) 및 회로 배선들과 중첩하는 영역임과 동시에, 광을 제공하는 표시영역으로의 기능을 할 수 있다. 이에 따라, 윈도우(WM) 중 제2 표시영역(DA2)과 중찹하는 영역에도 영상이 제공될 수 있다.

본 실시예에 따르면, 윈도우(WM)에 정의된 주변 영역(NAA) 중 제2 표시영역(DA2)과 인접한 주변 영역(NAA)의 폭은 나머지 주변 영역(NAA)의 폭에 비해 감소될 수 있다.

제2 표시영역(DA2)에는 제1 표시영역(DA1) 및 제2 표시영역(DA2)에 배치된 화소들을 구동시키기 위한 구동 소자(예를 들어, 스캔 드라이버 등) 및 회로 배선들이 밀집함에 따라, 제2 표시영역(DA2) 배치된 화소들의 품질은 제1 표시영역(DA1)에 배치된 화소들의 품질 대비 감소될 수 있으며, 화소들 각각에 포함된 발광 패턴의 면적 또한, 제1 표시영역(DA1)에 배치된 발광 패턴의 면적과 제2 표시영역(DA2)에 배치된 발광 패턴의 면적이 서로 상이할 수 있다.

도 4c는 표시 패널(DP)의 제1 표시영역(DA1)과 제1 에지 표시영역(DA2_E1)을 확대한 평면도를 도시하였다. 제1 에지 표시영역(DA2_E1)에 관한 설명은 제2 표시영역(DA2)에 포함된 제1 및 제2 에지 표시영역들(DA2_E1, DA2_E2) 및 제1 내지 제4 코너 표시영역들(DA2_C1~DA2_C4)에도 적용될 수 있다.

제2 표시영역(DA2)의 제1 에지 표시영역(DA2_E1)은 제2-1 서브 개구부(SOP-R)와 중첩하는 제2-1 서브 발광영역(PXA-RS), 제2-2 서브 개구부(SOP-G)와 중첩하는 제2-2 서브 발광영역(PXA-GS), 제2-3 서브 개구부(SOP-B)와 중첩하는 제2-3 서브 발광영역(PXA-BS)을 포함할 수 있다.

일 실시예에 따른 제1-1 메인 발광영역(PXA-RM)은 제1-3 메인 발광영역(PXA-BM)과 제2 방향(DR2)을 따라 교번하여 이격 배열될 수 있다. 복수의 제1-2 메인 발광영역들(PXA-GM)은 제2 방향(DR2)을 따라 이격 배열될 수 있고, 제1-2 메인 발광영역들(PXA-GM) 각각은 제1-1 메인 발광영역(PXA-RM) 및 제1-3 메인 발광영역(PXA-BM)과 사선 방향으로 이격될 수 있다.

일 실시예에 따른 메인 발광영역들(PXA-RM, PXA-GM, PXA-BM)의 면적 및 형상은 서로 상이할 수 있다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니고, 메인 발광영역들(PXA-RM, PXA-GM, PXA-BM) 각각의 배열 형태, 면적, 및 형상은 표시 패널(DP)의 품질에 따라 변경될 수 있으며, 어느 하나의 실시예로 한정되지 않는다.

본 실시예에서, 제2-1 서브 발광영역(PXA-RS)은 제2-3 서브 발광영역(PXA-BS)과 제2 방향(DR2)을 따라 교번하여 이격 배열될 수 있다. 복수의 제2-2 서브 발광영역들(PXA-GS)은 제2 방향(DR2)을 따라 이격 배열될 수 있고, 제2-2 서브 발광영역들(PXA-GS) 각각은 제2-1 서브 발광영역(PXA-RS) 및 제2-3 서브 발광영역(PXA-BS)과 사선 방향으로 이격될 수 있다.

일 실시예에 따른 서브 발광영역들(PXA-RS, PXA-GS, PXA-BS)의 면적은 서로 상이할 수 있다. 예를 들어, 제2-1 서브 발광영역(PXA-RS)의 면적은 제2-3 서브 발광영역(PXA-BS)의 면적보다 작고, 제2-2 서브 발광영역(PXA-GS)의 면적보다 클 수 있다. 다만, 서브 발광영역들(PXA-RS, PXA-GS, PXA-BS) 각각의 배열 형태, 면적, 및 형상은 표시 패널(DP)의 품질에 따라 변경될 수 있으며, 어느 하나의 실시예로 한정되지 않는다.

본 발명에서 메인 발광영역들(PXA-RM, PXA-GM, PXA-BM) 및 서브 발광영역들(PXA-RS, PXA-GS, PXA-BS) 각각의 형상 및 면적은 마스크 어셈블리(MSA-A, 도 9a 참조)를 통해 증착되는 발광 패턴들 각각의 형상 및 면적과 대응될 수 있다.

도 5a는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 어셈블리의 결합 사시도이다. 도 5b는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 어셈블리의 분해 사시도이다. 도 6a는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 어셈블리의 일 영역을 확대한 평면도이다. 도 6b는 도 6a의 I-I'를 따라 절단한 단면도이다. 도 1 내지 도 3c에서 설명한 구성과 동일/유사한 구성에 대해 동일/유사한 참조 부호를 사용하며, 중복된 설명은 생략한다.

도 5a 및 도 5b를 참조하면, 일 실시예에 따른 마스크 어셈블리(MSA)는 프레임(FR), 마스크(MS), 스틱(ST), 및 틈새 스틱(GT)을 포함할 수 있다. 본 실시예에 따르면, 프레임(FR) 상에 틈새 스틱(GT)이 배치되고, 틈새 스틱(GT), 상에 스틱(ST)이 배치되고, 스틱(ST) 상에 마스크(MS)가 배치될 수 있다.

프레임(FR)은 복수로 제공된 마스크들(MS)을 지지할 수 있다. 프레임(FR)에는 프레임 개구부(F-OP)가 정의될 수 있다. 증착 설비(EDA, 도 1 참조)를 통해 증착 공정이 진행되는 동안 증착 소스(ES)에서 분출된 증착 물질은 프레임 개구부(F-OP)를 투과하여 마스크(MS)로 전달될 수 있다. 마스크 어셈블리(MSA) 중 프레임(FR)은 증착 소스(ES, 도 1 참조)와 가장 인접하게 배치될 수 있다.

프레임(FR)에는 스틱(ST)이 배치될 수 있는 제1 홈(SH) 및 틈새 스틱(GT)이 배치될 수 있는 제2 홈(GH)이 정의될 수 있다. 제1 홈(SH) 및 제2 홈(GH) 각각은 프레임(FR)의 상면에서부터 프레임(FR)의 배면을 향하는 방향으로 일부가 제거되어 형성된 것일 수 있다. 제1 홈(SH) 및 제2 홈(GH)은 프레임(FR)의 서로 수직한 부분에 정의될 수 있다.

본 실시예에서 제2 홈(GH)의 깊이는 스틱(ST)의 두께 및 틈새 스틱(GT)의 합과 동일하거나 클 수 있다. 이에 따라, 틈새 스틱(GT)이 먼저 제2 홈(GH)에 배치되고, 스틱(GT)이 제1 홈(SH)에 배치되더라도 스틱(ST) 및 틈새 스틱(GT)의 두께로 인한 단차는 상쇄될 수 있다. 이에 따라, 증착 기판(M-OP, 도 1 참조)은 마스크(MS) 상에 평평한 상태로 배치될 수 있으며, 증착 공정의 정확도가 향상된 마스크 어셈블리(MSA)를 제공할 수 있다.

마스크(MS)는 프레임(FR) 상에 배치될 수 있다. 마스크(MS)는 복수로 제공되어 제1 방향(DR1)을 따라 이격 배열되고, 각각이 제2 방향(DR2)을 따라 연장될 수 있다. 이하, 하나의 마스크(MS)를 기준으로 설명하며, 이에 관한 설명은 복수의 마스크들에 적용될 수 있다.

마스크(MS)는 증착부(SM) 및 증착부(SM)의 외측에 배치된 비증착부(NSM)를 포함할 수 있다. 증착부(SM)는 마스크(MS)의 상면에서부터 마스크(MS)의 배면을 향하는 방향으로 관통된 복수의 메인 증착 개구부들(DP-OP)을 포함할 수 있다. 증착 소스(ES, 도 1 참조)에서 분출된 증착 물질은 메인 증착 개구부들(DP-OP)을 통해 증착 기판(M-OP, 도 1 참조)에 증착될 수 있다. 본 실시예에서 마스크(MS)는 인바(invar)를 포함할 수 있다.

증착부(SM)는 제1 방향(DR1)으로 연장된 단변부(SS), 제2 방향(DR2)으로 연장된 장변부(LS), 및 단변부(SS)와 장변부(LS) 사이에 배치되고 단변부(SS)와 장변부(LS)를 연결하는 코너부(CS)를 포함할 수 있다. 코너부(CS)는 소정의 곡률을 포함할 수 있다.

비증착부(NSM)는 증착부(SM)의 외측에 배치될 수 있다. 예를 들어, 비증착부(NSM)의 일 부분은 증착부(SM)와 경계를 정의하며 증착부(SM)로부터 연장되고, 나머지 일 부분은 증착부(SM)와 소정의 공간을 두고 이격될 수 있다.

비증착부(NSM)에는 제1 얼라인 홀(AL1)이 정의될 수 있다. 마스크(MS)는 제1 얼라인 홀(AL1)을 통해 프레임(FR)상의 설정된 위치에 정렬 시킨 후, 용접 용역(WA)에 용접을 진행하여 마스크(MS)와 프레임(FR)을 결합시킬 수 있다. 용접 용역(WA)을 기준으로 프레임(FR)의 외부로 돌출된 부분은 증착 공정이 진행되기 전 마스크(MS)로부터 제거될 수 있다.

제1 얼라인 홀(AL1)은 마스크(MS)의 상면에서부터 마스크(MS)의 배면을 향하는 방향으로 적어도 일부가 제거되어 형성될 수 있다. 본 실시예에 따르면, 제1 얼라인 홀(AL1)은 복수로 제공되고, 제1 방향(DR1)을 따라 이격 배열될 수 있다. 평면상에서 제1 얼라인 홀들(AL1)은 스틱(ST)과 비중첩할 수 있다.

본 실시예에 따르면, 마스크(MS)에는 증착부(SM)과 비증착부(NSM)와 이격된 공간은 결합 개구부(N-OPA)로 정의될 수 있다. 결합 개구부(N-OPA)는 마스크(MS)의 상면에서부터 마스크(MS)의 배면을 향하는 방향으로 관통되어 형성될 수 있다.

결합 개구부(N-OPA)에는 후술할 스틱(ST)의 패턴부(PM)가 배치되는 공간일 수 있다. 결합 개구부(N-OPA)는 복수로 제공될 수 있다. 본 실시예서 결합 개구부(N-OPA)는 증착부(SM)의 코너부(CS) 및 코너부(CS)와 마주하는 비증착부(NSM) 사이에 정의될 수 있다. 본 실시예에서 마스크(MS)에는 네 개의 결합 개구부들(N-OPA)이 정의될 수 있으나, 증착 레시피에 따라 결합 개구부들(N-OPA) 중 어느 하나가 생략될 수 있으며, 어느 하나의 실시예로 한정되지 않는다.

스틱(ST)은 프레임(FR)의 제1 홀(SH)에 결합되고, 틈새 스틱(GT)과 마스크(MS) 사이에 배치될 수 있다. 스틱(ST)은 복수로 제공되어 각각이 스틱(ST)은 제1 방향(DR1)으로 연장되고, 스틱들(ST)은 제2 방향(DR2)을 따라 서로 이격될 수 있다. 따라서, 스틱들(ST)은 제1 방향(DR1)으로 배열된 마스크들(MS)이 프레임(FR)의 하부로 처지지 않도록 마스크들(MS)을 지지할 수 있다.

스틱(ST)은 양 끝단을 클램프로 인장시킨 뒤, 제2 얼라인 홀(AL2)을 통해 정렬 시킨 후, 프레임(FR) 상에 결합시킬 수 있다.

본 실시예에서 어느 하나의 스틱(ST)은 마스크(MS)의 어느 하나의 단변부(SS)와 인접한 비증착부(NSM)와 중첩하도록 배치되고, 다른 하나의 스틱(ST)은 마스크(MS)의 다른 하나의 단변부(SS)와 인접한 비증착부(NSM)와 중첩하도록 배치될 수 있다. 이하, 하나의 스틱(ST)을 기준으로 설명하도록 한다.

스틱(ST)에는 제2 얼라인 홀(AL2)이 정의될 수 있다. 제2 얼라인 홀(AL2)은 스틱(ST)의 상면에서부터 스틱(ST)의 배면을 향하는 방향으로 적어도 일부가 제거되어 형성될 수 있다. 스틱(ST)은 제2 얼라인 홀(AL2)을 통해 프레임(FR)상의 설정된 위치에 정렬 시킨 후, 스틱(ST)과 프레임(FR)을 결합시킬 수 있다.

본 실시예에서 스틱(ST)은 지지부(SP), 지지부(SP)로부터 돌출된 패턴부(PM)를 포함할 수 있다. 지지부(SP)는 제1 방향(DR1)으로 연장된 제1 부분(T1) 및 제1 부분(T1)으로부터 제2 방향(DR2)으로 연장된 제2 부분(T2)을 포함할 수 있다. 스틱(ST)은 스테인레스 스틸을 포함할 수 있다.

제1 부분(T1)은 제1 방향(DR1)을 따라 배열된 마스크들(MS) 각각의 비증착부(NSM)와 중첩할 수 있다. 예를 들어, 제1 부분(T1)은 비증착부(NSM) 중 증착부(SM)의 단변부(SS)와 인접한 비증착부(NSM)에 중첩할 수 있다. 제1 부분(T1)의 양 끝단은 프레임(FR)의 제1 홀(SH)에 배치될 수 있다.

제2 부분(T2)은 인접한 마스크들(MS) 각각의 비증착부(NSM)와 중첩할 수 있다. 예를 들어, 제2 부분(T2)은 비증착부(NSM) 중 증착부(SM)의 장변부(LS)와 인접한 비증착부(NSM)에 중첩할 수 있다.

본 실시예에서 패턴부(PM)는 제1 부분(T1) 및 제2 부분(T2)으로부터 돌출되고, 마스크(MS)의 결합 개구부(N-OPA)와 중첩할 수 있다.

도 6a 및 도 6b를 참조하여 마스크(MS)와 스틱(ST)의 배치 관계를 상세히 설명하도록 한다. 도 6a는 마스크 어셈블리(MSA)가 결합된 상태에서 마스크들(MS1, MS2, MS3)과 스틱(ST)의 일 부분을 확대한 것이고, 나머지 구성들은 생략되었다.

패턴부(PM)는 마스크들(MS1, MS2, MS3) 각각에 정의된 결합 개구부(N-OPA)에 배치될 수 있다. 따라서, 패턴부(PM)는 증착부(SM)의 코너부(CS)와 비증착부(NSM) 사이에 배치될 수 있다. 본 실시예에 따르면 스틱(ST)의 패턴부(PM)는 스틱(ST)의 상면에서부터 스틱(ST)의 배면을 향하는 방향으로 관통된 복수의 서브 증착 개구부들(SP-OP)을 포함할 수 있다. 본 실시예에서 서브 증착 개구부들(SP-OP)의 면적은 메인 증착 개구부들(DP-OP)과 상이할 수 있다.

도 6b를 참조하면, 본 실시예에 따르면, 메인 증착 개구부들(DP-OP)의 면적은 서브 증착 개구부들(SP-OP)의 면적보다 작을 수 있다. 증착 개구부들의 면적은 증착 물질이 증착 기판(M-DP, 도 1 참조)에 증착 되는 면적과 대응될 수 있다.

메인 증착 개구부들(DP-OP) 각각을 정의하는 증착부(SM)의 내측면은 제1 곡면(D1) 및 제2 곡면(D2)을 포함할 수 있다. 제1 곡면(D1)은 증착부(SM)의 상면과 연결되고, 제2 곡면(D2)은 증착부(SM)의 배면 및 제1 곡면(D1) 사이에 배치될 수 있다. 제1 곡면(D1)과 제2 곡면(D2) 사이의 내각은 예각일 수 있다.

서브 증착 개구부들(SP-OP) 각각을 정의하는 패턴부(PM)의 내측면은 제1 곡면(S1) 및 제2 곡면(S2)을 포함할 수 있다. 제1 곡면(S1)은 패턴부(PM)의 상면과 연결되고, 제2 곡면(S2)은 패턴부(PM)의 배면 및 제1 곡면(S1) 사이에 배치될 수 있다. 제1 곡면(S1)과 제2 곡면(S2) 사이의 내각은 예각일 수 있다.

마스크들(MS1, MS2)과 스틱(ST)은 결합된 상태에서 동일 평면을 정의할 수 있다. 예를 들어, 마스크들(MS1, MS2) 각각의 상면(M-U)은 스틱(ST)의 상면(S-U)과 동일 평면을 정의할 수 있다. 마스크들(MS1, MS2) 각각의 상면(M-U)과 스틱(ST)의 상면(S-U) 상에는 증착 기판(M-DP, 점선 표기)이 배치되고, 증착 기판(M-OP)은 마스크 어셈블리(MSA)의 평탄면 상에 배치될 수 있다.

본 실시예에 따르면, 마스크들(MS1, MS2) 각각의 상면(M-U)과 스틱(ST)의 상면(S-U)이 평탄면을 형성하기 위해 스틱(ST) 중 지지부(SP)는 스틱(ST)의 상면(S-U)에서부터 스틱(ST)의 배면을 향하는 방향으로 일부가 제거된 하프 에칭 부분(HE)이 정의될 수 있다.

스틱(ST) 중 지지부(SP)는 하프 에칭 부분(HE)에 해당되고, 패턴부(PM)는 제거되지 않은 영역일 수 있다, 따라서, 마스크(MS)에 정의된 결합 구개부(N-OPA)에는 패턴부(PM)가 결합되고, 스틱(ST) 중 일부가 제거된 부분 내에 배치될 수 있다. 따라서, 마스크(MS-A)의 상면(M-U)과 동일 평면을 정의하는 스틱(ST)의 상면(S-U)은 실질적으로 패턴부(PM)의 상면일 수 있다.

스틱(ST)에서 제거된 부분의 두께는 마스크(MS)의 최소 두께와 같거나 클 수 있다. 스틱(ST)의 두께(TH2)는 50um 이상 내지 150um 이하일 수 있다. 이때, 스틱(ST)의 두께는 하프 에칭 부분(HE)이 형성되지 않은 패턴부(PM)의 두께일 수 있다. 마스크(MS)의 두께(HT2)는 10um 이상 내지 30um 이하일 수 있다.

도 5a 내지 도 6b에서 설명한 마스크 어셈블리(MSA)는 도 3a 내지 도 3c에서 설명한 표시 장치(DD)의 표시 패널(DP)에 포함된 발광 패턴들을 증착하는데 사용될 수 있다.

도 3c에서 설명한 메인 발광영역들(PXA-RM, PXA-GM, PXA-BM) 및 서브 발광영역들(PXA-RS, PXA-GS, PXA-BS) 각각의 형상 및 면적은 마스크 어셈블리(MSA)를 통해 증착되는 발광 패턴들 각각의 형상 및 면적과 대응될 수 있다.

도 3a 내지 도 3c에서 설명한 것과 같이, 표시 패널(DP)의 제2 표시영역(DA2)에 배치된 발광 패턴들은 제1 표시영역(DA1)에 배치된 발광 패턴들과 상이한 면적(형상)으로 패터닝될 수 있다. 따라서, 제2 표시영역(DA2)과 제1 표시영역(DA1)을 포함하는 표시 패널(DP)의 발광 패턴들을 증착하기 위해서는 이종의 면적(형상)을 갖는 개구부들이 정의되어야 한다.

본 실시예에 따른 마스크 어셈블리(MSA)는, 마스크(MS)의 증착부(SM)에 정의된 메인 증착 개구부들(DP-OP)을 통해 제1 표시영역(DA1, 메인 증착 영역)에 배치될 발광 패턴들을 증착하고, 스틱(ST)의 패턴부(PM)에 정의된 서브 증착 개구부들(SP-OP)을 통해 제2 표시영역(DA2) 중 제1 내지 제4 코너 표시영역(DA2_C1~DA2_C4, 서브 증착 영역)에 배치될 발광 패턴들을 증착하는데 사용될 수 있다.

즉, 도 3c에서 설명한 메인 발광영역들(PXA-RM, PXA-GM, PXA-BM)에 배치된 발광 패턴들은 대응되는 메인 증착 개구부들(DP-OP)에 의해 증착되고, 서브 발광영역들(PXA-RS, PXA-GS, PXA-BS)에 배치된 발광 패턴들은 대응되는 서브 증착 개구부들(SP-OP)에 의해 증착될 수 있다.

본 발명에 따르면, 마스크(MS)와 스틱(ST)에 서로 다른 면적을 갖는 증착 개구부들 정의하고, 마스크(MS)와 스틱(ST)이 결합되어 증착 기판(M-DP)이 배치되는 면을 평탄면으로 제공함에 따라, 표시 패널(DP)의 서로 다른 영역에 증착되는 이종의 발광 패턴들을 용이하게 증착할 수 있다. 또한, 하나의 마스크에 서로 다른 면적을 갖는 개구부들을 형성하기 위한 마스크 패터닝 공정이 생략될 수 있다.

도 7a는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 어셈블리의 평면도이다. 도 7b는 도 7a의 PP'영역을 확대한 평면도이다. 도 1 내지 도 6b에서 설명한 구성과 동일/유사한 구성에 대해 동일/유사한 참조 부호를 사용하며, 중복된 설명은 생략한다.

도 7a 및 도 7b를 참조하면, 일 실시예에 따른 마스크 어셈블리(MSA-1)는 프레임(FR-1), 스틱(ST-1), 및 마스크(MS-1)를 포함할 수 있다. 프레임(FR-1)은 도 5a에서 설명한 프레임(FR)과 대응될 수 있다.

본 실시예에 따른 스틱(ST-1)은 제1 부분(T1) 및 제2 부분(T2)을 포함하는 지지부(SP-1), 제1 패턴부(PM-1), 및 제2 패턴부(PM-S)를 포함할 수 있다.

제1 부분(T1)은 제1 방향(DR1)을 따라 배열된 마스크들(MS-1) 각각의 비증착부(NSM)와 중첩할 수 있다. 제2 부분(T2)은 인접한 마스크들(MS-1) 각각의 비증착부(NSM)와 중첩할 수 있다.

본 실시예에서 제1 패턴부(PM-1)는 제1 부분(T1) 및 제2 부분(T2)으로부터 돌출되고, 마스크(MS-1)의 제1 결합 개구부(N-OPA)와 중첩할 수 있다. 제1 패턴부(PM-1)에는 서브 증착 개구부들(SP-OP)이 정의될 수 있다.

본 실시예에 따른 스틱(ST-1)은 제1 부분(T1)을 중심으로 제1 패턴부(PM-1)와 대칭되는 제2 패턴부(PM-S)를 더 포함할 수 있다. 제2 패턴부(PM-S)는 제1 부분(T1) 및 제2 부분(T2)으로부터 돌출되고, 마스크(MS)의 비증착부(NSM)과 중첩할 수 있다. 제2 패턴부(PM-S)는 제1 패턴부(PM-1)와 달리 개구부들이 정의되지 않을 수 있다.

도 7b를 참조하면, 스틱(ST-1) 중 제1 부분(T1) 및 제2 부분(T2)은 도 6b에서 설명한 하프 에칭 부분(HE)과 같이 스틱(ST-1)의 상면에서부터 스틱(ST-1)의 배면을 향하는 방향으로 적어도 일부가 제거될 수 있다.

스틱(ST-1) 중 제1 패턴부(PM-1)는 제1 결합 개구부(N-OPA)에 배치되고, 제1 패턴부(PM-1)의 상면과 마스크(MS-1)의 상면은 증착 기판(M-DP)이 배치되는 평탄면을 제공할 수 있다.

스틱(ST-1) 중 제2 패턴부(PM-2)는 제2 결합 개구부(S-OPA)에 배치되고, 제2 패턴부(PM-S)의 상면과 마스크(MS-1)의 상면은 동일 평면을 정의하고, 증착 기판(M-DP, 도 1 참조)이 배치되는 평탄면을 제공할 수 있다.

본 실시예에서 마스크(MS-1)는 증착부(SM) 및 비증착부(NSM)을 포함할 수 있다. 증착부(SM)에는 메인 증착 개구부들(DP-OP)이 정의될 수 있다. 메인 증착 개구부들(DP-OP)의 면적은 서브 증착 개구부들(SP-OP)의 면적보다 작을 수 있다.

증착부(SM)와 비증착부(NSM) 사이에는 제1 결합 개구부(N-OPA)가 정의될 수 있다. 제1 결합 개구부(N-OPA)에는 스틱(ST-1)의 제1 패턴부(PM-1)가 배치될 수 있다.

본 실시예에서 비증착부(NSM)에는 제2 결합 개구부(S-OPA)가 정의될 수 있다. 제2 결합 개구부(S-OPA)에는 제2 패턴부(PM-S)가 배치될 수 있다.

본 실시예에 따르면, 스틱(ST-1)은 지지부(SP-1)의 연장 방향인 제1 방향(DR1)을 기준으로 대칭인 제1 패턴부(PM-1) 및 제2 패턴부(PM-2)를 포함함에 따라, 스틱(ST-1)의 인장 시, 특정 영역에 인장 응력이 집중되는 현상을 방지할 수 있다.

본 실시예에 따르면, 마스크(MS-1) 상에 형성된 용접 돌기(WP)를 더 포함할 수 있다. 용접 돌기(WP)는 마스크(MS-1)의 비증착부(NSM) 중 스틱(ST-1)과 중첩하는 영역에 형성될 수 있다. 용접 돌기(WP)는 마스크(MS-1)와 스틱(ST-1)을 용접 공정에 의해 결합함에 따라 형성된 것일 수 있다. 용접 돌기(WP)가 배치되는 위치 및 개수는 비증착부(NSM) 중 스틱(ST-1)과 중첩하는 영역이면 어느 하나로 한정되지 않는다.

도 8a는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 어셈블리의 평면도이다. 도 8b는 도 8a의 QQ'영역을 확대한 평면도이다. 도 1 내지 도 6b에서 설명한 구성과 동일/유사한 구성에 대해 동일/유사한 참조 부호를 사용하며, 중복된 설명은 생략한다.

도 8a 및 도 8b를 참조하면, 일 실시예에 따른 마스크 어셈블리(MSA-2)는 프레임(FR-2), 스틱(ST-2), 및 마스크(MS-2)를 포함할 수 있다. 프레임(FR-2)은 도 5a에서 설명한 프레임(FR)과 대응될 수 있다.

본 실시예에 따른 스틱(ST-2)은 제1 부분(T1) 및 제2 부분(T2)을 포함하는 지지부(SP-2) 및 패턴부(PM-2)를 포함할 수 있다.

본 실시예에서 제1 부분(T1)은 제2 방향(DR2)으로 연장되고 인접한 마스크들(MS-2) 사이에 배치될 수 있다. 예를 들어, 제1 부분(T1)은 인접한 두 개의 마스크들(MS-2) 각각의 비증착부(NSM)과 중첩할 수 있다.

제2 부분(T2)은 제1 부분(T1)에서부터 제1 방향(DR1)으로 연장될 수 있다. 제2 부분(T2)은 비증착부(NSM)와 중첩할 수 있다.

본 실시예에서 패턴부(PM-2)는 제1 부분(T1) 및 제2 부분(T2)으로부터 돌출되고, 마스크(MS-2)의 결합 개구부(N-OPA)와 중첩할 수 있다. 패턴부(PM-2)에는 서브 증착 개구부들(SP-OP)이 정의될 수 있다.

도 8b를 참조하면, 스틱(ST-2) 중 제1 부분(T1) 및 제2 부분(T2)은 도 6b에서 설명한 하프 에칭 부분(HE)과 같이 스틱(ST-2)의 상면에서부터 스틱(ST-2)의 배면을 향하는 방향으로 적어도 일부가 제거될 수 있다. 스틱(ST-2) 중 하프 에칭 부분(HE)에 해당하는 부분을 빗금 해칭으로 도시하였다.

스틱(ST-2) 중 패턴부(PM-2)는 결합 개구부(N-OPA)에 배치되고, 패턴부(PM-2)의 상면과 마스크(MS-2)의 상면은 동일 평면을 정의하고, 증착 기판(M-DP, 도 1 참조)이 배치되는 평탄면을 제공할 수 있다.

본 실시예에서 마스크(MS-2)는 증착부(SM) 및 비증착부(NSM)을 포함할 수 있다. 증착부(SM)에는 메인 증착 개구부들(DP-OP)이 정의될 수 있다. 메인 증착 개구부들(DP-OP)의 면적은 서브 증착 개구부들(SP-OP)의 면적보다 작을 수 있다.

증착부(SM)와 비증착부(NSM) 사이에는 결합 개구부(N-OPA)가 정의될 수 있다. 결합 개구부(N-OPA)에는 스틱(ST-2)의 패턴부(PM-2)가 배치될 수 있다.

본 실시예에 따르면, 도 5b에서 설명한 제2 방향(DR2)으로 연장된 스틱(ST)은 생략되고, 마스크들(MS-2) 사이에 배치되는 스틱(ST-2)에 패턴부(MP-2)를 형성함에 따라, E 도 5b의 스틱(ST)을 정렬 및 고정시키는 단계를 생략할 수 있으며, 프레임(FR-2)에서 제1 홀(SH, 도 1 참조)를 형성하는 과정을 생략할 수 있다.

도 9a는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 어셈블리의 결합 사시도이다. 도 9b는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 어셈블리의 분해 사시도이다. 도 10a는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 어셈블리의 일 영역을 확대한 평면도이다. 도 10b는 도 10a의 II-II'를 따라 절단한 단면도이다. 도 1 내지 도 6b에서 설명한 구성과 동일/유사한 구성에 대해 동일/유사한 참조 부호를 사용하며, 중복된 설명은 생략한다.

도 9a 및 도 9b를 참조하면, 일 실시예에 따른 마스크 어셈블리(MSA-A)는 프레임(FR-A), 마스크(MS-A), 및 스틱(ST-A)을 포함할 수 있다. 본 실시예에 따르면, 프레임(FR-A) 상에 스틱(ST-A)이 배치되고, 스틱(ST-A) 상에 마스크(MS-A)가 배치될 수 있다.

프레임(FR-A)은 복수로 제공된 마스크들(MS-A)을 지지할 수 있다. 프레임(FR-A)에는 프레임 개구부(F-OP)가 정의될 수 있다. 증착 설비(EDA, 도 1 참조)를 통해 증착 공정이 진행되는 동안 증착 소스(ES)에서 분출된 증착 물질은 프레임 개구부(F-OP)를 투과하여 마스크(MS-A)로 전달될 수 있다. 마스크 어셈블리(MSA-A) 중 프레임(FR-A)은 증착 소스(ES, 도 1 참조)와 가장 인접하게 배치될 수 있다.

프레임(FR-A)에는 스틱(ST-A)이 배치될 수 있는 홈(GH)이 정의될 수 있다. 홈(GH)은 프레임(FR-A)의 상면에서부터 프레임(FR-A)의 배면을 향하는 방향으로 일부가 제거되어 형성된 것일 수 있다.

본 실시예에서 마스크(MS-A)는 프레임(FR-A) 상에 배치될 수 있다. 마스크(MS-A)는 복수로 제공되어 제1 방향(DR1)을 따라 이격 배열되고, 각각이 제2 방향(DR2)을 따라 연장될 수 있다. 이하, 하나의 마스크(MS-A)를 기준으로 설명하며, 이에 관한 설명은 복수의 마스크들에 적용될 수 있다.

마스크(MS-A)는 증착부(SM) 및 증착부(SM)의 외측에 배치된 비증착부(NSM)를 포함할 수 있다. 증착부(SM)는 마스크(MS-A)의 상면에서부터 마스크(MS-A)의 배면을 향하는 방향으로 관통된 복수의 메인 증착 개구부들(DP-OP)을 포함할 수 있다. 증착 소스(ES, 도 1 참조)에서 분출된 증착 물질은 메인 증착 개구부들(DP-OP)을 통해 증착 기판(M-OP, 도 1 참조)에 증착될 수 있다. 본 실시예에서 마스크(MS-A)는 인바(invar)를 포함할 수 있다.

비증착부(NSM)에는 제1 얼라인 홀(AL1)이 정의될 수 있다. 마스크(MS-A)는 제1 얼라인 홀(AL1)을 통해 프레임(FR-A)상의 설정된 위치에 정렬 시킨 후, 용접 용역(WA)에 용접을 진행하여 마스크(MS-A)와 프레임(FR-A)을 결합시킬 수 있다. 용접 용역(WA)을 기준으로 프레임(FR-A)의 외부로 돌출된 부분은 증착 공정이 진행되기 전 마스크(MS-A)로부터 제거될 수 있다.

제1 얼라인 홀(AL1)은 마스크(MS-A)의 상면에서부터 마스크(MS-A)의 배면을 향하는 방향으로 적어도 일부가 제거되어 형성될 수 있다. 본 실시예에 따르면, 제1 얼라인 홀(AL1)은 복수로 제공되고, 제1 방향(DR1)을 따라 이격 배열될 수 있다. 평면상에서 제1 얼라인 홀들(AL1)은 스틱(ST-A)과 비중첩할 수 있다.

본 실시예에 따르면, 마스크(MS-A)에는 증착부(SM)과 비증착부(NSM)와 이격된 공간은 결합 개구부(P-OPA)로 정의될 수 있다. 결합 개구부(P-OPA)는 마스크(MS-A)의 상면에서부터 마스크(MS-A)의 배면을 향하는 방향으로 관통되어 형성될 수 있다.

결합 개구부(P-OPA)에는 후술할 스틱(ST-A)의 패턴부(PM-A)가 배치되는 공간일 수 있다. 결합 개구부(P-OPA)는 복수로 제공될 수 있다. 본 실시예서 결합 개구부(P-OPA)는 증착부(SM)의 장변부(LS) 및 장변부(LS)와 마주하는 비증착부(NSM) 사이 및 코너부(CS) 및 코너부(CS)와 마주하는 비증착부(NSM) 사이에 정의될 수 있다.

본 실시예에서 마스크(MS-A)에는 두 개의 결합 개구부들(P-OPA)이 정의될 수 있으나, 증착 레시피에 따라 결합 개구부들(P-OPA) 중 어느 하나가 생략될 수 있으며, 어느 하나의 실시예로 한정되지 않는다.

스틱(ST-A)은 프레임(FR-A)의 제1 홀(SH)에 결합될 수 있다. 스틱(ST-A)은 복수로 제공되어 각각이 스틱(ST-A)은 제2 방향(DR2)으로 연장되고, 스틱들(ST-A)은 제1 방향(DR1)을 따라 서로 이격될 수 있다. 따라서, 스틱들(ST-A)은 인접한 두 개의 마스크들(MS-A) 사이에 배치되어 프레임(FR-A)의 하부로 처지지 않도록 마스크들(MS-A)을 지지할 수 있다. 스틱(ST-A)은 양 끝단을 클램프로 인장시킨 뒤, 프레임(FR-A) 상에 결합시킬 수 있다.

본 실시예에서 어느 하나의 스틱(ST-A)은 마스크(MS-A)의 어느 하나의 장변부(LS)와 인접한 비증착부(NSM)와 중첩하도록 배치되고, 다른 하나의 스틱(ST-A)은 마스크(MS-A)의 다른 하나의 장변부(LS)와 인접한 비증착부(NSM)와 중첩하도록 배치될 수 있다. 이하, 하나의 스틱(ST-A)을 기준으로 설명하도록 한다.

본 실시예에서 스틱(ST-A)은 지지부(SP-A), 지지부(SP-A)로부터 돌출된 패턴부(PM-A)를 포함할 수 있다. 지지부(SP-A)는 제2 방향(DR2)으로 연장된 제1 부분(T3) 및 제1 부분(T3)으로부터 제1 방향(DR1)으로 연장된 제2 부분(T4)을 포함할 수 있다. 스틱(ST-A)은 스테인레스 스틸을 포함할 수 있다.

제1 부분(T3)은 비증착부(NSM) 중 증착부(SM)의 장변부(LS)와 인접한 비증착부(NSM)에 중첩할 수 있다. 제1 부분(T3)의 양 끝단은 프레임(FR-A)의 홀(GH)에 배치될 수 있다.

제2 부분(T4)은 비증착부(NSM) 중 증착부(SM)의 코너부(CS)와 인접한 비증착부(NSM)에 중첩할 수 있다.

본 실시예에서 패턴부(PM-A)는 제1 부분(T3) 및 제2 부분(T4)으로부터 돌출되고, 증착부(SM)의 장변부(LS) 및 코너부(CS)와 인접할 수 있다. 패턴부(PM-A)는 제2 방향(DR2)을 따라 연장될 수 있다. 패턴부(PM-A)는 마스크(MS-A)의 결합 개구부(P-OPA)와 중첩할 수 있다.

도 10a 및 도 10b를 참조하여 마스크(MS-A)와 스틱(ST-A)의 배치 관계를 상세히 설명하도록 한다. 도 10a는 마스크 어셈블리(MSA-A)가 결합된 상태에서 마스크들(MS1, MS2, MS3)과 스틱(ST-A)의 일 부분을 확대한 것이고, 나머지 구성들은 생략되었다.

패턴부(PM-A)는 마스크들(MS1, MS2, MS3) 각각에 정의된 결합 개구부(P-OPA)에 배치될 수 있다. 따라서, 패턴부(PM-A)는 증착부(SM)의 장변부(LS)와 비증착부(NSM) 사이 및 증착부(SM)의 코너부(CS)와 비증착부(NSM) 사이에 배치될 수 있다. 본 실시예에 따르면 스틱(ST-A)의 패턴부(PM-A)는 스틱(ST-A)의 상면에서부터 스틱(ST-A)의 배면을 향하는 방향으로 관통된 복수의 서브 증착 개구부들(SP-OP)을 포함할 수 있다. 본 실시예에서 서브 증착 개구부들(SP-OP)의 면적은 메인 증착 개구부들(DP-OP)과 상이할 수 있다.

도 10b를 참조하면, 본 실시예에 따르면, 메인 증착 개구부들(DP-OP)의 면적은 서브 증착 개구부들(SP-OP)의 면적보다 작을 수 있다. 증착 개구부들의 면적은 증착 물질이 증착 기판(M-DP, 도 1 참조)에 증착 되는 면적과 대응될 수 있다.

서브 증착 개구부들(SP-OP) 각각을 정의하는 패턴부(PM-A)의 내측면은 제1 곡면(S1) 및 제2 곡면(S2)을 포함할 수 있다. 제1 곡면(S1)은 패턴부(PM-A)의 상면과 연결되고, 제2 곡면(S2)은 패턴부(PM-A)의 배면 및 제1 곡면(S1) 사이에 배치될 수 있다. 제1 곡면(S1)과 제2 곡면(S2) 사이의 내각은 예각일 수 있다.

마스크(MS2)와 스틱(ST-A)은 결합된 상태에서 동일 평면을 정의할 수 있다. 예를 들어, 마스크(MS2)의 상면(M-U)은 스틱(ST-A)의 상면(S-U)과 동일 평면을 정의할 수 있다. 마스크(MSA2)의 상면(M-U)과 스틱(ST-A)의 상면(S-U) 상에는 증착 기판(M-DP, 도 1 참조)이 배치되고, 증착 기판(M-OP)은 마스크 어셈블리(MSA-A)의 평탄면 상에 배치될 수 있다.

본 실시예에 따르면, 마스크(MS2)의 상면(M-U)과 스틱(ST-A)의 상면(S-U)이 평탄면을 형성하기 위해 스틱(ST-A) 중 지지부(SP-A)는 스틱(ST-A)의 상면(S-U)에서부터 스틱(ST-A)의 배면을 향하는 방향으로 일부가 제거(하프 에칭 부분(HE, 도 6b 참조))될 수 있다.

스틱(ST-A) 중 지지부(SP-A)는 스틱(ST-A)의 일 부분이 두께 방향으로 제거되고, 패턴부(PM-A)는 제거되지 않은 영역일 수 있다, 따라서, 마스크(MS-A)에 정의된 결합 구개부(P-OPA)에는 패턴부(PM-A)가 결합되고, 마스크(MS-A)의 비증착부(NSM)는 스틱(ST-A) 중 일부가 제거된 부분 내에 배치될 수 있다. 따라서, 마스크(MS-A)의 상면(M-U)과 동일 평면을 정의하는 스틱(ST-A)의 상면(S-U)은 실질적으로 패턴부(PM-A)의 상면일 수 있다.

스틱(ST-A)에서 제거된 부분의 두께는 마스크(MS-A)의 최소 두께와 같거나 클 수 있다.

도 9a 내지 도 10b에서 설명한 마스크 어셈블리(MSA-A)는 도 4a 내지 도 4c에서 설명한 표시 장치(DD-A)의 표시 패널(DP)에 포함된 발광 패턴들을 증착하는데 사용될 수 있다.

도 4c에서 설명한 메인 발광영역들(PXA-RM, PXA-GM, PXA-BM) 및 서브 발광영역들(PXA-RS, PXA-GS, PXA-BS) 각각의 형상 및 면적은 마스크 어셈블리(MSA-A)를 통해 증착되는 발광 패턴들 각각의 형상 및 면적과 대응될 수 있다.

도 4a 내지 도 4c에서 설명한 것과 같이, 표시 패널(DP)의 제2 표시영역(DA2)에 배치된 발광 패턴들은 제1 표시영역(DA1)에 배치된 발광 패턴들과 상이한 면적(형상)으로 패터닝될 수 있다. 따라서, 제2 표시영역(DA2)과 제1 표시영역(DA1)을 포함하는 표시 패널(DP)의 발광 패턴들을 증착하기 위해서는 이종의 면적(형상)을 갖는 개구부들이 정의되어야 한다.

본 실시예에 따른 마스크 어셈블리(MSA-A)는, 마스크(MS-A)의 증착부(SM)에 정의된 메인 증착 개구부들(DP-OP)을 통해 제1 표시영역(DA1, 메인 증착 영역)에 배치될 발광 패턴들을 증착하고, 스틱(ST-A)의 패턴부(PM-A)에 정의된 서브 증착 개구부들(SP-OP)을 통해 제2 표시영역(DA2, 서브 증착 영역)에 배치될 발광 패턴들을 증착하는데 사용될 수 있다.

즉, 도 4c에서 설명한 메인 발광영역들(PXA-RM, PXA-GM, PXA-BM)에 배치된 발광 패턴들은 대응되는 메인 증착 개구부들(DP-OP)에 의해 증착되고, 서브 발광영역들(PXA-RS, PXA-GS, PXA-BS)에 배치된 발광 패턴들은 대응되는 서브 증착 개구부들(SP-OP)에 의해 증착될 수 있다.

본 발명에 따르면, 마스크(MS-A)와 스틱(ST-A)에 서로 다른 면적을 갖는 증착 개구부들 정의하고, 마스크(MS-A)와 스틱(ST-A)이 결합되어 증착 기판(M-DP)이 배치되는 면을 평탄면으로 제공함에 따라, 표시 패널(DP)의 서로 다른 영역에 증착되는 이종의 발광 패턴들을 용이하게 증착할 수 있다. 또한, 하나의 마스크에 서로 다른 면적을 갖는 개구부들을 형성하기 위한 마스크 패터닝 공정이 생략될 수 있다.

이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술 분야에 통상의 지식을 갖는 자라면, 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허청구범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.

EDA: 증착 설비
CB: 챔저
MSA: 마스크 어셈블리
MS: 마스크
SM: 증착부
NSM: 비증착부
N-OPA, P-OPA: 결합 개구부
DP-OP: 메인 증착 개구부들
ST: 스틱
SP: 지지부
PM: 패턴부
SP-OP: 서브 증착 개구부들

Claims

프레임 개구부가 정의된 프레임;
상기 프레임 개구부에 대응되는 메인 증착 개구부들이 정의된 증착부, 상기 증착부의 외측에 배치된 비증착부를 포함하고, 상기 증착부와 상기 비증착부 사이에 결합 개구부가 정의되고, 상기 프레임 상에 배치된 마스크; 및
상기 비증착부와 중첩하는 지지부 및 상기 지지부로부터 돌출되고 서브 증착 개구부들이 정의되고 상기 결합 개구부에 중첩하는 패턴부를 포함하고, 상기 마스크와 상기 프레임 사이에 배치되는 스틱을 포함하는 마스크 어셈블리.
제1 항에 있어서,
상기 서브 증착 개구부들의 면적은 상기 메인 증착 개구부들의 면적보다 큰 마스크 어셈블리.
제1 항에 있어서,
상기 지지부는 상기 스틱의 상면에서부터 상기 스틱의 배면을 향하는 방향으로 일부가 제거되고, 상기 제거된 부분의 두께는 상기 마스크의 최소 두께 이상이고,
상기 마스크의 두께는 10um 이상 내지 30um 이하이고,
상기 스틱의 두께는 50um 이상 내지 150um 이하인 마스크 어셈블리.
제1 항에 있어서,
상기 마스크의 상면과 상기 스틱의 상기 상면은 동일 평면을 정의하는 마스크 어셈블리.
제1 항에 있어서,
상기 결합 개구부는 상기 증착부의 모서리와 인접하고,
평면상에서, 상기 패턴부는 상기 결합 개구부와 대응되는 형상을 갖는 마스크 어셈블리.
제1 항에 있어서,
상기 증착부는 상기 제1 방향으로 연장된 단변부, 상기 단변부로부터 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장된 장변부, 및 상기 단변부과 상기 장변부 사이를 연결하는 코너부를 포함하고,
상기 결합 개구부는 상기 비증착부와 상기 장변부 사이 및 비증착부와 상기 코너부 사이에 정의되고,
평면상에서, 상기 패턴부는 상기 결합 개구부와 대응되는 형상을 갖는 마스크 어셈블리.
제1 항에 있어서,
단면상에서, 상기 메인 증착 개구부들 중 하나의 메인 증착 개구부를 정의하는 상기 증착부의 내측면은, 상기 증착부의 상면과 연결된 제1 곡면 및 상기 제1 곡면과 상기 증착부 의 배면 사이에 배치된 제2 곡면을 포함하는 마스크 어셈블리.
제1 항에 있어서,
단면상에서, 상기 서브 증착 개구부들 중 하나의 서브 증착 개구부를 정의하는 상기 패턴부의 내측면은, 상기 패턴부의 상면과 연결된 제3 곡면 및 상기 제3 곡면과 상기 패턴부의 배면 사이에 배치된 제4 곡면을 포함하는 마스크 어셈블리.
제1 항에 있어서,
상기 증착부는 상기 제1 방향으로 연장된 단변부, 상기 단변부로부터 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장된 장변부, 및 상기 단변부과 상기 장변부 사이를 연결하는 코너부를 포함하고,
상기 스틱은 상기 제1 방향을 따라 연장되고, 상기 제2 방향을 따라 이격되어 상기 단변부와 인접한 비증착부와 중첩하는 마스크 어셈블리.
제9 항에 있어서,
상기 스틱 및 상기 프레임 사이에 배치되고, 각각이 상기 제2 방향을 따라 연장되고, 상기 제1 방향을 따라 이격되어 상기 장변부와 인접한 비증착부와 중첩하는 틈새 스틱을 더 포함하는 마스크 어셈블리.
제10 항에 있어서,
상기 프레임에는, 각각이 상기 프레임의 상면에서부터 상기 프레임의 배면을 향하는 방향으로 일부가 제거되고, 상기 스틱이 배치되는 제1 홈 및 상기 틈새 스틱이 배치되는 제2 홈이 정의되고,
상기 제2 홈의 깊이는, 상기 스틱의 두께 및 상기 틈새 스틱의 두께의 합과 동일한 마스크 어셈블리.
제1 항에 있어서,
상기 마스크는 인바(invar)를 포함하고,
상기 스틱은 스테인레스 스틸을 포함하는 마스크 어셈블리.
제1 항에 있어서,
상기 마스크에는 상기 스틱과 비중첩하고 상기 비증착부의 적어도 일부가 제거된 제1 얼라인 홀이 정의된 마스크 어셈블리.
제1 항에 있어서,
상기 증착부는 상기 제1 방향으로 연장된 단변부, 상기 단변부로부터 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장된 장변부, 및 상기 단변부과 상기 장변부 사이를 연결하는 코너부를 포함하고,
상기 스틱은 상기 제2 방향에서 볼 때 상기 단변부의 중심과 일치하고, 상기 제2 방향에서 상기 스틱의 폭의 중심으로부터 적어도 일부가 제거된 제2 얼라인 홀이 정의된 마스크 어셈블리.
제1 항에 있어서,
상기 패턴부는 상기 지지부의 일측에 배치되고 상기 결합 개구부와 중첩하는 제1 패턴부 및 지지부의 타측에 배치되고 상기 비증착부와 중첩하는 제2 패턴부를 포함하고,
상기 비증착부에는 상기 제2 패턴부와 중첩하는 추가 결합 개구부가 정의된 마스크 어셈블리.
제1 항에 있어서,
상기 마스크는 상기 패턴부와 인접하고, 상기 지지부 상에 배치된 용접 돌기를 더 포함하는 마스크 어셈블리.
증착 챔버;
프레임 개구부가 정의된 프레임, 상기 프레임 상에 배치된 마스크, 및 상기 마스크와 상기 프레임 사이에 배치된 스틱을 포함하고, 상기 증착 챔버 내부에 배치된 마스크 어셈블리;
상기 마스크 어셈블리 상에 배치되고, 메인 증착 영역 및 서브 증착 영역을 포함하는 증착 기판;
상기 프레임 개구부로 증착 물질을 분사하는 증착 소스을 포함하고,
상기 마스크는,
상기 메인 증착 영역과 중첩하는 메인 증착 개구부들이 정의된 증착부 및 상기 증착부의 외측에 배치된 비증착부를 포함하고, 상기 증착부와 상기 비증착부 사이에 결합 개구부가 정의되고,
상기 스틱은,
상기 비증착부와 중첩하는 지지부 및 상기 지지부로부터 돌출되고 상기 서브 증착 영역과 중첩하는 서브 증착 개구부들이 정의되고 상기 결합 개구부에 배치된 패턴부를 포함하는 증착 설비.
제17 항에 있어서,
상기 서브 증착 개구부들의 면적은 상기 메인 증착 개구부들의 면적보다 큰 증착 설비.
제18 항에 있어서,
상기 결합 개구부는 상기 증착부의 모서리와 인접하고,
평면상에서, 상기 패턴부는 상기 결합 개구부와 대응되는 형상을 갖는 마스크 어셈블리.
제18 항에 있어서,
상기 증착부는 상기 제1 방향으로 연장된 단변부, 상기 단변부로부터 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장된 장변부, 및 상기 단변부과 상기 장변부 사이를 연결하는 코너부를 포함하고,
상기 결합 개구부는 상기 비증착부와 상기 장변부 사이 및 비증착부와 상기 코너부 사이에 정의되고,
평면상에서, 상기 패턴부는 상기 결합 개구부와 대응되는 형상을 갖는 증착 설비.