CN103938153A - 一种蒸镀用掩模组件及相应的掩模板安装方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种蒸镀用掩模组件，包括外框、若干数量的支撑，所述外框为两组对边形成的中空四边形结构，所述外框包括蒸镀面和掩模板安装面,所述蒸镀面为所述外框面对蒸镀源的一面，所述掩模板安装面为所述外框背离蒸镀源的一面；所述支撑数量大于等于1，所述支撑跨过所述外框中空区域且两端分别固定安装在所述外框一组对边上。采用本发明的蒸镀用掩模组件可以克服掩模板下垂导致掩模板上的掩模图案变形的问题，提高蒸镀质量，进而提高OLED显示器的质量。

Description

一种蒸镀用掩模组件及相应的掩模板安装方法

技术领域

本发明属于电子印刷领域，涉及一种蒸镀用掩模组件及相应的掩模板安装方法。

背景技术

有机电致发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，OLED)，与传统的液晶显示（Liquid Crystal Display, LCD）相比具有制造成本低（只有TFT-LCD的30%—40%）、可视范围宽（170度以上的视角）、反应时间快、使用温度范围广（-40°～80°）等突出优点，使得利用OLED技术所制成的显示器成为人们广泛关注的产品之一。

制造OLED显示器关键环节是将有机材料选择性地蒸镀到衬底上，因此需要蒸镀用的掩模组件，使有机材料淀积的图案与设计的图案相对应。目前小尺寸的OLED显示器的制作技术已经很成熟，而通过同时制作多个OLED显示器实现产量的提高，以及大尺寸的OLED显示器的制作，需要增大传统衬底的尺寸，相应的就需要增大掩模组件的尺寸。

传统技术中，制作大尺寸的OLED显示器的掩模组件如图1～图3所示，图1所示为传统蒸镀用掩模组件的组装示意图，10为掩模板，11为外框，101为掩模板上的掩模图案，对掩模板10施加张力的同时将掩模板焊接到外框11上，如图2所示为传统蒸镀用掩膜组件平面结构示意图，是将掩模板10焊接到外框11上的平面结构示意图，20为焊点。由于掩模板受到自身重力的影响，会产生下垂，导致掩膜组件整体结构发生变形，进而引起掩模图案101的变形，从而影响到蒸镀的质量，如图3所示为传统蒸镀用掩膜组件因掩模板下垂导致掩模组件变形的平面结构示意图。 

有鉴于此，有必要提出一种掩膜组件，以克服掩模板下垂导致掩模板上的掩模图案变形的问题，提高蒸镀质量，进而提高OLED显示器的质量。

 

发明内容

有鉴于此，需要克服现有技术中的上述缺陷中的至少一个。本发明提供了一种蒸镀用掩模组件，包括外框、若干数量的支撑，其特征在于：

所述外框为两组对边形成的中空四边形结构，所述外框包括蒸镀面和掩模板安装面，所述蒸镀面为所述外框面对蒸镀源的一面，所述掩模板安装面为所述外框背离蒸镀源的一面；

所述支撑数量大于等于1，所述支撑跨过所述外框中空区域且两端分别固定安装在所述外框一组对边上。

根据本发明背景技术中对现有技术所述，如图1-3所示，由于掩模板受到自身重力的影响，会产生下垂，导致掩膜组件整体结构发生变形，进而引起掩模图案的变形，从而影响到蒸镀的质量；而采用本发明的蒸镀用掩模组件在使用过程中，由于所述支撑具有中间凸起两端低的弯曲结构特征，在掩模板受到自身重力作用出现下垂时，所述支撑能够具有良好的支撑作用，凸起部分能够对下垂起到补偿的作用，使掩模板在蒸镀过程中呈平整状态，而弯曲的各项参数则需要实验来具体确定。

另外，根据本发明公开的蒸镀用掩模组件还具有如下附加技术特征：

进一步地，所述支撑为中间凸起两端低的弯曲结构。

进一步地，所述外框和所述支撑是一体成型结构或拼接结构。

所述外框和所述支撑可以是使用机械加工或铸造等方法形成一体结构，所述外框和所述支撑也可以是独立个体，两者拼接形成的整体。

进一步地，所述外框是两组对边拼接结构或一体成型结构。

拼接结构可以使整体设计结构更加简单，但安装过程中，则可能造成精度上的损失。

进一步地，所述蒸镀面开口形状和所述掩模板安装面开口形状相似，且所述蒸镀面开口形状尺寸大于所述掩模板安装面开口形状尺寸。

优选地，联接所述蒸镀面与所述掩模板安装面之间为斜面或过渡曲面。

进一步地，所述支撑横截面为一端大于另一端的一端小一端大结构，小端与大端之间为斜线段或过渡曲线。。

在所述支撑靠近蒸镀源的一侧尺寸小于远离蒸镀源一侧的尺寸，这样在蒸镀工序中可以避免蒸镀源的遮蔽现象，提高蒸镀质量。

进一步地，所述外框放置所述支撑的一组对边上有缺口，所述支撑安装在所述缺口中。

缺口的增加可以使所述支撑更加稳固。

进一步地，所述蒸镀用掩模组件还包括掩模板，所述掩模板是整体一块或是数量大于等于1的可分拆组合的掩模板单元构成。

本发明还提供了一种采用所述蒸镀用掩模组件的掩模板安装方法，包括：

S1绷网定位：将掩模板进行绷网，并根据所述掩模板与所述蒸镀用掩膜组件的尺寸进行定位，以获得合格的产品；所述掩模板包括掩模图案，所述掩模图案透过所述外框与所述支撑形成的中空区域，避免蒸镀材料被遮挡。

S2安装：将所述掩模板固定联接在所述蒸镀掩膜组件上。

进一步地，所述掩模板是一整块掩模板，将所述掩模板整体固定联接在所述外框和所述支撑上；

或是一组掩模板单元构成的掩模板，将与所述外框对应的外侧掩模板单元与所述外框对应的对边和所述支撑固定联接，将与所述外框对应的内侧掩模板单元与所述支撑固定联接。

进一步地，所述固定联接方式是焊接联接结构或粘结联接结构。

本发明附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

 

附图说明

本发明的上述和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1为传统蒸镀用掩模组件的组装示意图；

图2为传统蒸镀用掩膜组件平面结构示意图；

图3为传统蒸镀用掩膜组件因掩模板下垂导致掩模组件变形的平面结构示意图；

图4为掩模框整体结构示意图；

图5为掩模框面向蒸镀源一面的平面结构示意图；

图6为将掩模板焊接到掩模框上的平面结构示意图；

图7所示为一种掩模组件组装示意图；

图8所示为一种掩模组件的平面结构示意图；

图9所示为支撑形变补偿的平面结构示意图；

图10所示为图9中沿A-A方向截面放大示意图；

图11所示为图9中沿A-A方向截面放大示意图；

图12所示为图9中沿A-A方向截面放大示意图；

图13所示为图9中沿A-A方向截面放大示意图；

图14所示为图9中沿A-A方向截面放大示意图；

图1中，10为掩模板，11为外框，101为掩模板上的掩模图案；

图2中，20为焊点；

图4中，40为掩模框，401为支撑，41为掩模板安装面,402为外框；

图5中，50为蒸镀面，50′为倾斜面；

图6中，60为掩模板，601为掩模图案，61为焊点；

图7中，70、71为掩模单元，701为掩模图案；

图8中，80为掩模部之间的缝隙；

图9中，A-A为待解剖方向，90为与掩模板焊接的一面，91为朝向蒸镀源的一侧，91′为倾斜面；

图10中，91′为朝向蒸镀源的倾斜面；

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能解释为对本发明的限制。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语 “上”、“下”、“底”、“顶”、“前”、“后”、“内”、“外”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“联接”、“连通”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，一体地连接，也可以是可拆卸连接；可以是两个元件内部的连通；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

本发明的发明构思如下，如技术背景所述，由于掩模板受到自身重力的影响，会产生下垂，导致掩模组件整体结构发生变形，进而引起掩模图案的变形，从而影响到蒸镀的质量；而采用本发明的蒸镀用掩模组件在使用过程中，由于所述支撑具有中间凸起两端低的弯曲结构特征，在掩模板受到自身重力作用出现下垂时，所述支撑能够具有良好的支撑作用，凸起部分能够对下垂起到补偿的作用，使掩模板在蒸镀过程中呈平整状态，而弯曲的各项参数则需要实验来具体确定。

下面将参照附图来描述本发明的蒸镀用掩模组件，其中图4为掩模框整体结构示意图，图5为掩模框面向蒸镀源一面的平面结构示意图，图6为将掩模板焊接到掩模框上的平面结构示意图，图7所示为一种掩模组件组装示意图，图8所示为一种掩模组件的平面结构示意图，图9所示为支撑形变补偿的平面结构示意图，图10所示为图9中沿A-A方向截面放大示意图，图11所示为图9中沿A-A方向截面放大示意图，图12所示为图9中沿A-A方向截面放大示意图，图13所示为图9中沿A-A方向截面放大示意图，图14所示为图9中沿A-A方向截面放大示意图。

根据本发明的实施例，如图4-14所示，本发明提供了一种蒸镀用掩模组件，包括外框402、若干数量的支撑401，如图4、5所示，所述外框402为两组对边形成的中空四边形结构，所述外框402包括蒸镀面50和掩模板安装面41，所述蒸镀面50为所述外框402面对蒸镀源的一面，所述掩模板安装面41为所述外框402背离蒸镀源的一面；

所述支撑401数量大于等于1，所述支撑401跨过所述外框402中空区域且两端分别固定安装在所述外框402一组对边上。

根据本发明的一些实施例，所述支撑401为中间凸起两端低的弯曲结构，如图9所示（弯曲幅度实际上很小，图9只是示意图）。

根据本发明的一些实施例，所述外框402和所述支撑401是一体成型结构或拼接结构。

根据本发明的一些实施例，所述外框402和所述支撑401可以是使用机械加工或铸造等方法形成一体结构，所述外框402和所述支撑401也可以是独立个体，两者拼接形成的整体。

根据本发明的一些实施例，所述外框402是两组对边拼接结构或一体成型结构。

拼接结构可以使整体设计结构更加简单，但安装过程中，则可能造成精度上的损失。

根据本发明的一些实施例，所述蒸镀面50开口形状和所述掩模板安装面41开口形状相似，且所述蒸镀面50开口形状尺寸大于所述掩模板安装面41开口形状尺寸，如图5所示。

优选地，所述蒸镀面50与所述掩模板安装面41之间为斜面或过渡曲面，如图5中的面50′。

根据本发明的一些实施例，所述支撑401横截面为一端大于另一端的一端小一端大结构，小端与大端之间为斜线段或过渡曲线，如图10-14所示。

根据本发明的一个实施例，所述支撑401横截面为三角形，如图10所示。

根据本发明的一个实施例，所述支撑401横截面为上端大，下端小，上述两者之间为内凹过渡曲线构成，如图11所示。

进一步地，下端的头部为圆滑曲线构成，如图11所示。

根据本发明的一个实施例，所述支撑401横截面为类似梯形结构，左右两边为凸起过渡曲线，如图12所示。

根据本发明的一个实施例，所述支撑401横截面为梯形结构，如图13所示。

根据本发明的一个实施例，所述支撑401横截面为类似梯形结构，左右两边为凹下过渡曲线，如图14所示。

在所述支撑靠近蒸镀源的一侧尺寸小于远离蒸镀源一侧的尺寸，在蒸镀过程中，可以尽可能的减少对蒸镀材料的遮蔽可能。

根据本发明的一些实施例，所述外框402放置所述支撑401的一组对边上有缺口，所述支撑401安装在所述缺口中。

缺口的增加可以使所述支撑401更加稳固。

根据本发明的一个实施例，所述蒸镀用掩模组件还包括掩模板60，所述掩模板60是整体一块或是数量大于等于1的可分拆组合的掩模板单元70、71构成。所述掩模板60上包括掩模图案601、701，如图6-8所示。

本发明还提供了一种采用所述蒸镀用掩模组件的掩模板安装方法，包括：

S1绷网定位：将掩模板60进行绷网，并根据所述掩模板60与所述蒸镀用掩膜组件的尺寸进行定位，以获得合格的产品；所述掩模板60包括掩模图案601、701，所述掩模图案601、701透过所述外框402与所述支撑401形成的中空区域，避免蒸镀材料被遮挡。

S2安装：将所述掩模板60固定联接在所述蒸镀掩模组件上。

根据本发明的一些实施例，所述掩模板60是一整块掩模板，将所述掩模板整体固定联接在所述外框402和所述支撑401上；

将掩模板60绷网，使掩模板具有一定的张力（与图1所示绷网方式类似），同时将掩模板焊接到掩模框40上，如图6所示为将掩模板焊接到掩模框上的平面结构示意图，图6中，60为掩模板，601为掩模图案，61为焊点，掩模板是一体成型的结构。在绷网焊接的同时还要进行对位，使掩模板上的掩模图案与外框402和支撑围成的中空区域相对应，使掩模板上掩模图案之间的间隙部分与支撑相对应，焊接时掩模板60的周边与外框402连接（可以是焊接、粘接等方式）在一起，掩模板上掩模图案601的间隙部分可以选择性地与支撑401进行焊接，焊点过多易使焊点附近的掩模图案601变形，焊点过少则掩模板焊接不牢固，所以在焊接过程中，尽量使掩模板固定到外框和支撑上同时又不至于使掩模图案变形。最佳焊接点的位置及数量可以通过实验来确定。   

根据本发明的另一些实施例，一组掩模板单元构成的掩模板60，将与所述外框402对应的掩模板单元70、71与所述外框402对应的对边和所述支撑401固定联接。

如图7所示，为一种掩模组件组装示意图，70、71为掩模单元，701为掩模单元上的掩模图案，掩模板是由分立的掩模单元组成，分别对掩模单元（70、71）进行绷网固定，绷网的同时进行对位，使掩模单元70、71的左右两边无掩模图案的区域分别与相邻的支撑和外框部分重合，并且掩模图案与支撑401和外框402围成的中空区域相对应，绷网同时先将掩模单元70、71上下两端焊接（或粘接）到掩模框的外框402的上下边框上，再将掩模单元的左右两边焊接到支撑和外框上。掩模单元71为靠近外框402的掩模单元，对应与外框相邻的一边要比与支撑相邻的一边无掩模图案的区域稍宽，如此可以增大外框402对掩模单元71的支撑作用，同时也方便将71焊接到外框上。焊点过多易使焊点附近的掩模图案701变形，焊点过少则掩模单元焊接不牢固，所以在焊接过程中，尽量使掩模单元固定到外框和支撑上同时又不至于使掩模图案变形。最佳焊接点的位置及数量可以通过实验来确定。

根据本发明的一些实施例，所述固定联接方式是焊接联接结构或粘结联接结构。

根据本发明的一些实施例，图8所示为一种掩模组件的平面结构示意图（为图7所示掩模组件组装完成后的平面结构示意图），80为掩模单元之间的缝隙。其中支撑401除了对掩模单元70、71起到支撑的作用外，还起到拦截蒸镀源通过缝隙80蒸镀到衬底上，避免在衬底上淀积出不必要的图案，影响蒸镀质量。

根据本发明的一些实施例，在掩模板因自身重力产生下垂的同时支撑401也会产生下垂（因自身重力和掩模板的压力而下垂），因此有必要在将掩模板组装到掩模框之前对支撑401施加一定的力致使支撑产生向上的形变（此形变很小），如图9所示（变形幅度很小，图9是示意图），在蒸镀时可以补偿掩模板和支撑因自身重力产生的下垂，即掩模板和支撑本身产生的下垂，可以由支撑向上的形变来抵消掉，使整个蒸镀过程中掩模板呈平整状态，没有下垂。

由于支撑产生的形变量很小，在支撑的两端与外框连接的部分，面90与面41几乎在同一平面，蒸镀时由于下垂量与支撑向上弯曲的形变量相互抵消，掩模板整体呈平整状态。支撑401的长度可以与外框宽度尺寸一致如图4、图8所示，也可以比外框的宽度尺寸小，如图6所示。

尽管参照本发明的多个示意性实施例对本发明的具体实施方式进行了详细的描述，但是必须理解，本领域技术人员可以设计出多种其他的改进和实施例，这些改进和实施例将落在本发明原理的精神和范围之内。具体而言，在前述公开、附图以及权利要求的范围之内，可以在零部件和/或者从属组合布局的布置方面作出合理的变型和改进，而不会脱离本发明的精神。除了零部件和/或布局方面的变型和改进，其范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (11)

1.一种蒸镀用掩模组件，包括外框、若干数量的支撑，其特征在于：

所述外框为两组对边形成的中空四边形结构，所述外框包括蒸镀面和掩模板安装面,所述蒸镀面为所述外框面对蒸镀源的一面，所述掩模板安装面为所述外框背离蒸镀源的一面；

所述支撑数量大于等于1，所述支撑跨过所述外框中空区域且两端分别固定安装在所述外框一组对边上。

2.根据权利要求1所述的蒸镀用掩模组件，其特征在于，所述支撑为中间凸起两端低的弯曲结构。

3.根据权利要求1所述的蒸镀用掩模组件，其特征在于，所述外框和所述支撑是一体成型结构或拼接结构。

4.根据权利要求1所述的蒸镀用掩模组件，其特征在于，所述外框是两组对边拼接结构或一体成型结构。

5.根据权利要求1所述的蒸镀用掩模组件，其特征在于，所述蒸镀面开口形状和所述掩模板安装面开口形状相似，且所述蒸镀面开口形状尺寸大于所述掩模板安装面开口形状尺寸。

6.根据权利要求1所述的蒸镀用掩模组件，其特征在于，所述支撑横截面为一端大于另一端的一端大一端小的结构，小端与大端之间为斜线段或过渡曲线。

7.根据权利要求1所述的蒸镀用掩模组件，其特征在于，所述外框放置所述支撑的一组对边上有缺口，所述支撑安装在所述缺口中。

8.根据权利要求1所述的蒸镀用掩模组件，其特征在于，所述蒸镀用掩模组件还包括掩模板，所述掩模板是整体一块或是数量大于等于1的可分拆组合的掩模板单元构成。

9.一种采用所述蒸镀用掩模组件的掩模板安装方法，其特征在于，包括：

S1绷网定位：将掩模板进行绷网，并根据所述掩模板与所述蒸镀用掩膜组件的尺寸进行定位，以获得合格的产品；所述掩模板包括掩模图案，所述掩模图案透过所述外框与所述支撑形成的中空区域，避免蒸镀材料被遮挡;

S2安装：将所述掩模板固定联接在所述蒸镀掩模组件上。

10.根据权利要求9所述的采用所述蒸镀用掩模组件的掩模板安装方法，其特征在于，所述掩模板是一整块掩模板，将所述掩模板整体固定联接在所述外框和所述支撑上；

或是一组掩模板单元构成的掩模板，将与所述外框对应的外侧掩模板单元与所述外框对应的对边和所述支撑固定联接，将与所述外框对应的内侧掩模板单元与所述支撑固定联接。

11.根据权利要求9、10所述的采用所述蒸镀用掩模组件的掩模板安装方法，其特征在于，所述固定联接方式是焊接联接结构或粘结联接结构。