KR20160150209A - 마스크 프레임 조립체 및 그 제조방법 - Google Patents

마스크 프레임 조립체 및 그 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명의 일 실시예는 프레임의 제1변에 용접되는 블로킹부재 및, 프레임의 제2변에 용접되는 마스크부재를 포함하는 마스크 프레임 조립체를 개시한다.

Description

마스크 프레임 조립체 및 그 제조방법 {Mask frame assembly and the manufacturing method thereof}
본 발명은 박막 증착용 마스크 프레임 조립체에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 분할 마스크를 사용하는 마스크 프레임 조립체 및 그 제조방법에 관한 것이다.
예컨대 디스플레이 장치들 중 유기 발광 표시 장치는 시야각이 넓고, 컨트라스트가 우수할 뿐만 아니라, 응답 속도가 빠르다는 장점을 가지고 있다.
이러한 유기 발광 표시 장치의 발광층과 같은 박막층들은 마스크 프레임 조립체를 이용한 증착 공정을 통해 형성할 수 있다.
본 발명의 실시예들은 마스크 프레임 조립체 및 그 제조방법을 제공한다.
본 발명의 실시예는 개구부가 형성된 프레임과, 상기 프레임의 제1변에 용접되며 상기 개구부에 대응하는 위치에 관통홀이 형성된 블로킹부재 및, 상기 프레임의 상기 제1변과 이격된 제2변에 용접되며 상기 개구부에 대응하는 위치에 패턴홀이 형성된 마스크부재를 포함하는 마스크 프레임 조립체를 제공한다.
상기 프레임은 중앙에 상기 개구부가 있는 사각틀이며, 상기 제1변과 상기 제2변은 서로 수직 방향으로 연결될 수 있다.
상기 블로킹부재는 상기 개구부를 제1방향으로 가로질러서 상기 제1변에 용접되고, 상기 마스크부재는 상기 개구부를 상기 제1방향과 수직인 제2방향을 가로질러서 상기 제2변에 용접될 수 있다.
상기 관통홀은 원형이고, 상기 패턴홀이 형성된 영역은 비원형일 수 있다.
상기 패턴홀이 형성된 영역의 면적이 상기 관통홀 면적 보다 클 수 있다.
상기 패턴홀이 형성된 영역 중 상기 관통홀과 겹치는 위치의 패턴홀을 통해 증착패턴이 만들어질 수 있다.
상기 블로킹부재는 상기 제1변에 서로 인접해서 나란하게 용접되는 다수 개의 스틱 형상 부재일 수 있다.
상기 마스크부재는 상기 제2변에 서로 인접해서 나란하게 용접되는 다수 개의 스틱 형상 부재일 수 있다.
상기 블로킹부재는 상기 프레임과 상기 마스크부재 사이에 위치될 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예는 개구부가 형성된 프레임을 준비하는 단계와, 상기 개구부에 대응하는 위치에 관통홀이 형성된 블로킹부재를 상기 프레임의 제1변에 용접하는 제1용접단계 및, 상기 개구부에 대응하는 위치에 패턴홀이 형성된 마스크부재를 상기 프레임의 상기 제1변과 이격된 제2변에 용접하는 제2용접단계를 포함하는 마스크 프레임 조립체의 제조방법을 제공한다.
상기 제1용접단계는 상기 블로킹부재의 양단부를 제1방향으로 당겨서 인장시키는 단계와, 상기 제1변에 상기 블로킹부재를 용접하여 고정시키는 단계 및, 상기 블로킹부재의 양단부에서 상기 프레임 바깥으로 나온 잉여부를 절단하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 제2용접단계는 상기 마스크부재의 양단부를 상기 제1방향과 다른 제2방향으로 당겨서 인장시키는 단계와, 상기 제2변에 상기 마스크부재를 용접하여 고정시키는 단계 및, 상기 마스크부재의 양단부에서 상기 프레임 바깥으로 나온 잉여부를 절단하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 프레임은 중앙에 상기 개구부가 있는 사각틀이며, 상기 제1변과 상기 제2변은 서로 수직 방향으로 연결될 수 있다.
상기 블로킹부재는 상기 개구부를 상기 제1방향으로 가로지르게 배치해서 상기 제1변에 용접하고, 상기 마스크부재는 상기 개구부를 상기 제1방향과 수직인 상기 제2방향으로 가로지르게 배치해서 상기 제2변에 용접할 수 있다.
상기 관통홀은 원형이고, 상기 패턴홀이 형성된 영역은 비원형일 수 있다.
상기 패턴홀이 형성된 영역의 면적이 상기 관통홀 면적 보다 클 수 있다.
상기 패턴홀이 형성된 영역 중 상기 관통홀과 겹치는 위치의 패턴홀을 통해 증착패턴이 만들어질 수 있다.
상기 블로킹부재는 상기 제1변에 서로 인접해서 나란하게 용접되는 다수 개의 스틱 형상 부재일 수 있다.
상기 마스크부재는 상기 제2변에 서로 인접해서 나란하게 용접되는 다수 개의 스틱 형상 부재일 수 있다.
상기 블로킹부재를 상기 프레임과 상기 마스크부재 사이에 위치시킬 수 있다.
전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점이 이하의 도면, 특허청구범위 및 발명의 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다.
본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 조립체와 그 제조방법에 따르면, 블로킹부재와 마스크부재를 각각 프레임에 용접할 때 각각의 용접부에 의한 상호 간섭이 없어지게 되므로 돌출된 용접부를 연마하는 번거로운 과정을 거칠 필요가 없어지게 되어 제조공정을 간소화할 수 있으며, 따라서 생산성을 크게 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 조립체를 이용한 증착 과정을 보인 도면이다.
도 2는 도 1에 도시된 마스크 프레임 조립체를 도시한 분리사시도이다.
도 3은 도 2의 평면도이다.
도 4a 내지 도 4d는 도 3에 도시된 마스크 프레임 조립체의 제조과정을 순차적으로 도시한 평면도이다.
도 5는 도 1의 증착 공정을 통해 제조될 수 있는 대상체의 예로서 유기 발광 표시 장치의 구조를 보인 단면도이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
이하의 실시예에서, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
이하의 실시예에서, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다.
이하의 실시예에서, 막, 영역, 구성 요소 등의 부분이 다른 부분 위에 또는 상에 있다고 할 때, 다른 부분의 바로 위에 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 있는 경우도 포함한다.
도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수 있다.
도 2 및 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 프레임 조립체(100)를 도시한 것이고, 도 1은 그 마스크 프레임 조립체(100)를 증착챔버(500)에 설치하여 증착작업을 수행하는 상황을 묘사한 것이다.
먼저, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 본 실시예의 마스크 프레임 조립체(100)는, 개구부(121)가 형성된 프레임(120)과, 그 프레임(120)의 서로 마주하는 변에 양단부가 고정된 복수의 블로킹부재(130) 및 마스크부재(110)들을 구비하고 있다. 이하에는 상기 블로킹부재(130)의 양단부가 고정되는 프레임(120)의 변을 제1변(120a)이라 하고, 상기 마스크부재(110)의 양단부가 고정되는 프레임(120)의 변을 제2변(120b)이라 칭하기로 한다.
그리고, 도 2에서는 설명의 편의 상 개구부(121)와 블로킹부재(130)를 보이기 위해 몇 개의 분할 마스크(110) 만을 도시하였으나, 실제 제조 완료 후에는 도 3과 같이 개구부(121) 영역 내의 블로킹부재(130) 위를 마스크부재(110)들이 모두 덮게 된다.
이중에서 상기 프레임(120)은 마스크 프레임 조립체(100)의 외곽 틀을 형성하는 것으로, 중앙에 개구부(121)가 형성된 사각틀 모양을 하고 있다.
이 프레임(120)의 제1변(120a)에 상기 블로킹부재(130)들의 양단부가 스폿 용접으로 고정되며, 제1변(120a)과 수직으로 이어진 제2변(120b)에 상기 마스크부재(110)들의 양단부가 스폿 용접으로 고정된다. 참조부호 132가 상기 블로킹부재(130)들의 용접부를 나타내며, 참조부호 112가 상기 마스크부재(110)들의 용접부를 나타낸다.
여기서 알 수 있듯이, 상기 블로킹부재(130)들의 용접부(132)와 상기 마스크부재(110)들의 용접부(112)는 서로 간섭되지 않는 위치에 형성된다. 즉, 블로킹부재(130)들은 프레임(120)의 개구부(121)를 제1방향(X)으로 가로질러서 상기 프레임(120)의 제1변(120a)에 용접되고, 마스크부재(110)들은 프레임(120)의 개구부(121)를 상기 제1방향(X)과 수직인 제2방향(Y)으로 가로질러서 상기 프레임(120)의 제2변(120b)에 용접되므로, 각각의 용접부(132)(112)들에 의한 간섭이 일어나지 않게 된다. 이것은 마스크 프레임 조립체의 제조공정을 간소화하는데 매우 유리한 구조가 된다. 그 이유에 대해서는 뒤에서 제조과정을 자세히 설명하면서 다시 언급하기로 한다.
상기 블로킹부재(130)들은 길쭉한 스틱 형상의 부재들로서, 내부에 원형 모양의 관통홀(131)들이 다수 개 형성되어 있다. 이 스틱 형상의 블로킹부재(130)들이 서로 인접해서 프레임(120)에 설치됨으로써 상기 개구부(121)를 메우게 된다.
그리고, 상기 마스크부재(110)들 역시 길쭉한 스틱 형상의 부재들로서, 상기 개구부(121) 영역 안에 위치되는 패턴홀(111a)들이 다수 개 형성되어 있다. 상기 패턴홀(111a)들이 형성된 패턴영역(111)은 상기 관통홀(131)과 같은 원형이 아니라 상기 개구부(121)를 제2방향(Y)으로 가로지르며 연속적으로 형성되어 있다. 따라서, 상기 패턴영역(111)의 패턴홀(111a)들 중에 상기 관통홀(131)과 겹쳐지는 영역이 실제 증착패턴이 된다. 즉, 패턴영역(111)과 관통홀(131)이 겹치는 부분만 증착원(400:도 1 참조)의 증착 가스가 통과할 수 있고 다른 부분은 블로킹부재(130)에 의해 막히기 때문에, 이 겹쳐진 영역이 증착패턴이 되는 것이고, 증착대상체(200:도 1 참조)에 그 증착패턴에 대응하는 박막층이 형성된다.
상기 마스크부재(110)와 블로킹부재(130)는 예컨대 니켈, 니켈 합금, 니켈-코발트 합금 등으로 형성할 수 있다.
이와 같은 구조의 마스크 프레임 조립체(100)를 도 1과 같이 증착챔버(500) 안에 설치하고 증착 작업을 진행하면, 증착원(400)에서 발생된 증착 가스가 마스크부재(110)의 패턴영역(111)과 블로킹부재(130)의 관통홀(131)이 겹쳐진 영역을 통과하여 증착대상체(200)에 증착되면서 박막층을 형성하게 된다. 참조부호 300은 마스크 프레임 조립체(100)가 증착대상체(200)에 밀착되도록 자력을 작용시키는 마그넷을 나타낸다.
한편, 상기 증착대상체(200)는 예컨대 도 5에 도시된 유기 발광 표시 장치의 기판(210)이 될 수 있다. 참고로 이 기판(210)을 포함한 유기 발광 표시 장치의 단면 구조를 간략히 살펴보면 다음과 같다.
상기 기판(210) 상에는 박막트랜지스터(241)와 EL소자(242) 등이 구비되어 있다. 좀 더 자세히 살펴보면, 상기 기판(210)상의 버퍼층(241a) 상부에 활성층(241f)이 형성되어 있고, 이 활성층(241f)은 N형 또는 P형 불순물이 고농도로 도핑된 소스 및 드레인 영역을 갖는다. 이 활성층(241f)을 산화물 반도체로 형성할 수도 있다. 예를 들어, 산화물 반도체는 아연(Zn), 인듐(In), 갈륨(Ga), 주석(Sn) 카드뮴(Cd), 게르마늄(Ge), 또는 하프늄(Hf) 과 같은 12, 13, 14족 금속 원소 및 이들의 조합에서 선택된 물질의 산화물을 포함할 수 있다. 예를 들면 활성층(241f)은 G-I-Z-O[(In2O3)a(Ga2O3)b(ZnO)c](a, b, c는 각각 a≥0, b≥0, c＞0의 조건을 만족시키는 실수)을 포함할 수 있다. 활성층(141f)의 상부에는 게이트 절연막(241b)을 개재하여 게이트 전극(241g)이 형성되어 있다. 게이트 전극(241g)의 상부에는 소스 전극(241h)과 드레인 전극(241i)이 형성되어 있다. 게이트 전극(241g)과 소스전극(241h) 및 드레인 전극(241i)의 사이에는 층간 절연막(241c)이 구비되어 있고, 소스전극(241h) 및 드레인 전극(241i)과 EL소자(242)의 애노드 전극(242a) 사이에는 패시베이션막(241d)이 개재되어 있다.
상기 애노드 전극(242a)의 상부로는 아크릴 등에 의해 절연성 평탄화막(241e)이 형성되어 있고, 이 평탄화막(241e)에 소정의 개구부(242d)를 형성한 후, EL 소자(242)를 형성한다.
상기 EL 소자(242)는 전류의 흐름에 따라 적, 녹, 청색의 빛을 발광하여 소정의 화상 정보를 표시하는 것으로, 박막트랜지스터(241)의 드레인 전극(241i)에 연결되어 이로부터 플러스 전원을 공급받는 애노드 전극(242a)과, 전체 화소를 덮도록 구비되어 마이너스 전원을 공급하는 캐소드 전극(242c), 및 이 두 전극(242a)(242c)의 사이에 배치되어 발광하는 발광층(242b)으로 구성된다.
이 발광층(242b)과 인접하여 홀 주입층(HIL: Hole Injection Layer), 홀 수송층(HTL: Hole Transport Layer), 전자 수송층(ETL: Electron Transport Layer), 전자 주입층(EIL: Electron Injection Layer) 등이 적층될 수도 있다.
참고로 이 발광층(242b)은 적색, 녹색, 청색의 빛을 방출하는 화소들이 모여서 하나의 단위 픽셀을 이루도록 각 화소마다 분리돼서 형성될 수 있다. 또는, 화소의 위치에 관계없이 전체 화소 영역에 걸쳐서 공통으로 발광층이 형성될 수도 있다. 이때, 발광층은 예컨대 적색, 녹색 및 청색의 빛을 방출하는 발광 물질을 포함하는 층이 수직으로 적층되거나 혼합되어 형성될 수 있다. 물론, 백색광을 방출할 수 있다면 다른 색의 조합이 가능함은 물론이다. 또한, 상기 방출된 백색광을 소정의 컬러로 변환하는 색변환층이나, 컬러 필터를 더 구비할 수 있다.
이 발광층(242b)은 수분에 매우 취약한 특성이 있어서, 예컨대 유기막과 무기막이 교대로 적층된 박막봉지층(미도시)을 캐소드 전극(242c) 위에 형성하여 발광층(242b)을 보호할 수 있다.
이러한 유기 발광 표시 장치에서 예컨대 상기 발광층(242b) 등을 상기 마스크 프레임 조립체(100)를 이용한 증착 공정을 통해 형성할 수 있다.
이와 같은 마스크 프레임 조립체(100)는 다음과 같은 제조과정을 통해 만들 수 있다.
먼저, 도 4a와 같이 중앙에 개구부(121)가 있는 사각틀 모양의 프레임(120)을 준비하고, 그 위에 블로킹부재(130)들을 하나씩 용접해나간다. 용접할 때에는 각 블로킹부재(130)의 양단부(133)를 잡고 제1방향(X)으로 팽팽하게 당겨서 인장시킨 후 프레임(120)의 제1변(120a)에 스폿 용접시킨다. 이렇게 용접이 완료되어 용접부(132) 들이 형성되고 나면, 프레임(120) 밖으로 돌출된 블로킹부재(130) 양단부(133)는 잘라낸다. 이렇게 잘려나가는 양단부(133)는 상기한 인장 과정을 위해 마련된 잉여부로서, 용접 후에는 위와 같이 잘라서 제거해낸다.
그리고, 같은 과정을 반복하여 도 4b와 같이 프레임(120)의 개구부(121)가 다 메워지도록 다수의 블로킹부재(130)들을 서로 인접되게 설치한다.
이렇게 블로킹부재(130)들이 다 설치되고 나면, 이어서 도 4c와 같이 마스크부재(110)들을 설치한다.
즉, 각 마스크부재(110)의 양단부(113)를 잡고 제2방향(Y)으로 팽팽하게 당겨서 인장시킨 후 프레임(120)의 제2변(120b)에 스폿 용접시킨다. 이렇게 용접이 완료되어 용접부(112) 들이 형성되고 나면, 프레임(120) 밖으로 돌출된 마스크부재(110) 양단부(113)는 잘라낸다. 이렇게 잘려나가는 양단부(113)는 상기한 인장 과정을 위해 마련된 잉여부로서, 용접 후에는 위와 같이 잘라서 제거해낸다.
그런데, 여기서 알 수 있듯이, 블로킹부재(130)의 용접부(132)와 마스크부재(110)의 용접부(112)는 서로 간섭되지 않는 위치에 형성된다. 따라서, 이 용접부(132)(112)들을 처리하기 위한 별도의 추가 공정이 필요 없게 된다.
즉, 상기 용접부(132)(112)들은 스폿 용접에 의해 위로 돌출된 형상이 되기 때문에, 예를 들어서 만일 상기 블로킹부재(130)의 용접부(132)들이 마스크부재(110)와 간섭되는 위치에 형성되어 있다면, 이를 연마해서 평탄하게 만들기 위한 작업을 수행해야 한다. 그렇지 않으면 이 용접부(132)들에 의해 마스크부재(110)들의 들뜸 현상이 발생하여 견고한 결합구조가 만들어지지 않게 된다.
그러나, 본 실시예와 같이 블로킹부재(130)의 용접부(132)와 마스크부재(110)의 용접부(112)를 서로 간섭되지 않는 위치에 형성하게 되면, 이러한 문제가 근복적으로 방지되므로, 이 용접부(132)(112)들을 처리하기 위한 별도의 추가 공정이 필요 없게 되고, 따라서 제조공정을 간소화할 수 있다
그리고, 이와 같은 마스크부재(110)의 용접 과정을 반복하여 프레임(120)의 개구부(121)가 다 메워지도록 다수의 마스크부재(130)들을 서로 인접되게 설치하면, 도 4d와 같이 마스크 프레임 조립체(100)가 완성된다.
그러므로, 이와 같은 구조의 마스크 프레임 조립체와 제조방법을 이용하면 블로킹부재(130)와 마스크부재(110)를 각각 프레임(120)에 용접할 때 각각의 용접부(132)(112)에 의한 상호 간섭이 없어지게 되므로 돌출된 용접부(132)(112)를 연마하는 번거로운 과정을 거칠 필요가 없어지게 되어 제조공정을 간소화할 수 있으며, 따라서 생산성을 크게 향상시킬 수 있다.
또한, 마스크부재(110)와 블로킹부재(130)가 모두 다수개로 분할된 스틱 형상 부재들로 이루어져 있기 때문에, 전체가 한 판으로 이루어진 구조에 비해 자중이 줄어서, 자중에 의한 처짐 현상도 억제할 수 있다.
이와 같이 본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 하여 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 실시예의 변형이 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
100: 마스크 프레임 조립체 110: 마스크부재
120: 프레임 130: 블로킹부재
200: 증착대상체 300: 마그넷
400: 증착원 500: 증착챔버

Claims (20)

  1. 개구부가 형성된 프레임과,
    상기 프레임의 제1변에 용접되며 상기 개구부에 대응하는 위치에 관통홀이 형성된 블로킹부재 및,
    상기 프레임의 상기 제1변과 이격된 제2변에 용접되며 상기 개구부에 대응하는 위치에 패턴홀이 형성된 마스크부재를 포함하는 마스크 프레임 조립체.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 프레임은 중앙에 상기 개구부가 있는 사각틀이며, 상기 제1변과 상기 제2변은 서로 수직 방향으로 연결된 마스크 프레임 조립체.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 블로킹부재는 상기 개구부를 제1방향으로 가로질러서 상기 제1변에 용접되고,
    상기 마스크부재는 상기 개구부를 상기 제1방향과 수직인 제2방향을 가로질러서 상기 제2변에 용접되는 마스크 프레임 조립체.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 관통홀은 원형이고, 상기 패턴홀이 형성된 영역은 비원형인 마스크 프레임 조립체.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 패턴홀이 형성된 영역의 면적이 상기 관통홀 면적 보다 큰 마스크 프레임 조립체.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 패턴홀이 형성된 영역 중 상기 관통홀과 겹치는 위치의 패턴홀을 통해 증착패턴이 만들어지는 마스크 프레임 조립체.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 블로킹부재는 상기 제1변에 서로 인접해서 나란하게 용접되는 다수 개의 스틱 형상 부재인 마스크 프레임 조립체.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 마스크부재는 상기 제2변에 서로 인접해서 나란하게 용접되는 다수 개의 스틱 형상 부재인 마스크 프레임 조립체.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 블로킹부재는 상기 프레임과 상기 마스크부재 사이에 위치되는 마스크 프레임 조립체.
  10. 개구부가 형성된 프레임을 준비하는 단계와,
    상기 개구부에 대응하는 위치에 관통홀이 형성된 블로킹부재를 상기 프레임의 제1변에 용접하는 제1용접단계 및,
    상기 개구부에 대응하는 위치에 패턴홀이 형성된 마스크부재를 상기 프레임의 상기 제1변과 이격된 제2변에 용접하는 제2용접단계를 포함하는 마스크 프레임 조립체의 제조방법.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 제1용접단계는 상기 블로킹부재의 양단부를 제1방향으로 당겨서 인장시키는 단계와, 상기 제1변에 상기 블로킹부재를 용접하여 고정시키는 단계 및, 상기 블로킹부재의 양단부에서 상기 프레임 바깥으로 나온 잉여부를 절단하는 단계를 포함하는 마스크 프레임 조립체의 제조방법.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 제2용접단계는 상기 마스크부재의 양단부를 상기 제1방향과 다른 제2방향으로 당겨서 인장시키는 단계와, 상기 제2변에 상기 마스크부재를 용접하여 고정시키는 단계 및, 상기 마스크부재의 양단부에서 상기 프레임 바깥으로 나온 잉여부를 절단하는 단계를 포함하는 마스크 프레임 조립체의 제조방법.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 프레임은 중앙에 상기 개구부가 있는 사각틀이며, 상기 제1변과 상기 제2변은 서로 수직 방향으로 연결된 마스크 프레임 조립체의 제조방법.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 블로킹부재는 상기 개구부를 상기 제1방향으로 가로지르게 배치해서 상기 제1변에 용접하고,
    상기 마스크부재는 상기 개구부를 상기 제1방향과 수직인 상기 제2방향으로 가로지르게 배치해서 상기 제2변에 용접하는 마스크 프레임 조립체의 제조방법.
  15. 제 10 항에 있어서,
    상기 관통홀은 원형이고, 상기 패턴홀이 형성된 영역은 비원형인 마스크 프레임 조립체의 제조방법.
  16. 제 10 항에 있어서,
    상기 패턴홀이 형성된 영역의 면적이 상기 관통홀 면적 보다 큰 마스크 프레임 조립체의 제조방법.
  17. 제 16 항에 있어서,
    상기 패턴홀이 형성된 영역 중 상기 관통홀과 겹치는 위치의 패턴홀을 통해 증착패턴이 만들어지는 마스크 프레임 조립체의 제조방법.
  18. 제 10 항에 있어서,
    상기 블로킹부재는 상기 제1변에 서로 인접해서 나란하게 용접되는 다수 개의 스틱 형상 부재인 마스크 프레임 조립체의 제조방법.
  19. 제 10 항에 있어서,
    상기 마스크부재는 상기 제2변에 서로 인접해서 나란하게 용접되는 다수 개의 스틱 형상 부재인 마스크 프레임 조립체의 제조방법.
  20. 제 10 항에 있어서,
    상기 블로킹부재를 상기 프레임과 상기 마스크부재 사이에 위치시키는 마스크 프레임 조립체의 제조방법.
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