KR20110069466A - 평판 표시장치의 박막 증착용 마스크 조립체 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 일 실시예는 분할 마스크의 인장력에 의한 형태 왜곡을 보정하는 평판 표시장치의 박막 증착용 마스크 조립체에 관한 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시장치의 박막 증착용 마스크 조립체는, 관통 개구부를 형성하는 프레임, 상기 개구부를 가로질러 배치되고, 상기 개구부에서 상기 프레임을 부분적으로 절개하여 형성되는 자유단부에 고정되며 쌍으로 이루어지는 제1 변형보상부재와 제2 변형보상부재, 및 상기 제1 변형보상부재 및 제2 변형보상부재의 상면에서 상기 제1 변형보상부재 및 제2 변형보상부재와 교차하는 방향으로 배치되며 상기 개구부의 양측에 고정되어 길이 방향으로 인장력을 받고, 상기 제1 변형보상부재와 제2 변형보상부재에 고정되어 폭 방향으로 인장력을 받으며, 패턴 개구부를 형성하는 복수의 분할 마스크를 포함한다.
변형보상부재, 분할 마스크, 자유단부, 절개공간, 마이크로미터

Description

평판 표시장치의 박막 증착용 마스크 조립체 {MASK ASSEMBLY FOR THIN FILM VAPOR DEPOSITION OF FLAT PANEL DISPLAY}
본 발명의 일 실시예는 평판 표시장치의 박막 증착용 마스크 조립체에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 마스크 프레임에 분할 마스크를 고정하는 평판 표시장치의 박막 증착용 마스크 조립체에 관한 것이다.
알려진 바에 따르면, 평판 표시장치는 유기발광 표시장치(organic light emitting display), 액정 표시장치(liquid crystal display) 및 플라즈마 디스플레이 패널(plasma display panel)을 포함한다. 유기발광 표시장치를 제조하는데, 전극과 유기 발광층을 특정 패턴의 박막으로 형성하는 공정이 있다. 이 박막 증착 공정에 마스크 조립체가 이용된다.
예를 들면, 마스크 조립체는 개구부를 형성하는 마스크 프레임과, 길이 방향으로 인장력이 가해진 상태로 마스크 프레임에 고정되는 띠 모양의 분할 마스크들 및 이웃하는 분할 마스크들 사이를 막는 보조 마스크들을 포함한다. 분할 마스크는 원장기판에 복수의 유기발광 표시장치를 제작할 수 있도록 복수의 패턴 개구부를 구비한다. 패턴 개구부는 하나의 유기발광 표시장치에 대응하며, 유기발광 표시장 치에 형성할 전극 또는 유기 발광층과 같은 패턴으로 형성된다.
마스크 조립체가 대형화됨에 따라 분할 마스크의 길이가 증가된다. 따라서 중력에 의한 분할 마스크의 처짐이 증가되어, 분할 마스크와 마스크 프레임 및 마스크 조립체와 원장기판의 얼라인이 어려워진다. 분할 마스크의 처짐 감소를 위하여, 분할 마스크에 인장력을 증가시킨다. 따라서 프레임의 양측에 인장력이 크게 작용하여, 인장력의 수직 방향에서 마스크 프레임이 중심으로 휘어지는 변형을 일으킨다. 즉 마스크 조립체에서 형태 왜곡, 예를 들면, 새들(saddle) 형태의 왜곡이 발생된다. 마스크 조립체의 형태 왜곡은 분할 마스크의 패턴 개구부에서 패턴의 위치 오차를 발생시키고 또한 오차를 증대시킨다.
본 발명의 일 실시예는 분할 마스크의 인장력에 의한 형태 왜곡을 보정하는 평판 표시장치의 박막 증착용 마스크 조립체에 관한 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시장치의 박막 증착용 마스크 조립체는, 관통 개구부를 형성하는 프레임, 상기 개구부를 가로질러 배치되고, 상기 개구부에서 상기 프레임을 부분적으로 절개하여 형성되는 자유단부에 고정되며 쌍으로 이루어지는 제1 변형보상부재와 제2 변형보상부재, 및 상기 제1 변형보상부재 및 상기 제2 변형보상부재의 상면에서 상기 제1 변형보상부재 및 상기 제2 변형보상부재와 교차하는 방향으로 배치되며 상기 개구부의 양측에 고정되어 길이 방향으로 인장력 을 받고, 상기 제1 변형보상부재와 상기 제2 변형보상부재에 고정되어 폭 방향으로 인장력을 받으며, 패턴 개구부를 형성하는 복수의 분할 마스크를 포함한다.
상기 자유단부는, 상기 제1 변형보상부재와 상기 제2 변형보상부재의 길이 방향으로 이루어지는 상기 프레임의 변형을 보상하도록 상기 개구부에서 상기 분할 마스크의 길이 방향으로 형성되는 제1 절개공간과, 상기 제1 절개공간에서 상기 분할 마스크의 길이 방향으로 형성되는 제2 절개공간으로 구획될 수 있다.
상기 자유단부는, 상기 제1 변형보상부재와 상기 제2 변형보상부재의 양단에 대응하여 상기 프레임의 양측에 형성되는 제1 자유단부와 제2 자유단부를 포함할 수 있다.
상기 제1 자유단부 및 상기 제2 자유단부 각각은, 상기 제1 변형보상부재와 상기 제2 변형보상부재 각각에 연결되는 제3 자유단부와 제4 자유단부를 포함할 수 있다.
상기 제3 자유단부와 상기 제4 자유단부는, 상기 제1 절개공간을 공유하고, 상기 제2 절개공간을 서로 연결하여 설정될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시장치의 박막 증착용 마스크 조립체는, 상기 자유단부에 일단이 연결되고, 상기 제2 절개공간을 건너 상기 프레임에 장착되어 상기 제2 절개공간의 간극을 조절하는 마이크로미터를 포함할 수 있다.
상기 마이크로미터는, 상기 제1 변형보상부재와 상기 제2 변형보상부재의 양단에 대응하여 상기 프레임의 양측에 형성되는 제1 자유단부와 제2 자유단부에 각각 구비되는 제1 마이크로미터와 제2 마이크로미터를 포함할 수 있다.
상기 마이크로미터는, 상기 제1 변형보상부재와 상기 제2 변형보상부재 각각에 연결되는 제3 자유단부와 제4 자유단부에 각각 구비되는 제3 마이크로미터와 제4 마이크로미터를 포함할 수 있다.
상기 자유단부는, 상기 제1 변형보상부재와 상기 제2 변형보상부재의 각 양단을 고정하는 수용홈을 형성하고, 상기 수용홈의 깊이는, 상기 변형보상부재의 두께와 동일할 수 있다.
이와 같이 본 발명의 일 실시예에 따르면, 프레임의 개구부에 자유단부를 개재하여 제1, 제2 변형보상부재를 설치하고, 분할 마스크를 프레임에 고정하여 길이 방향으로 인장하며, 동시에 제1, 제2 변형보상부재에 고정하여 폭 방향으로 인장하므로 분할 마스크의 길이 방향 인장력에 의한 프레임의 형태 왜곡에도 불구하고, 분할 마스크의 폭 방향 형태 왜곡을 보정하는 효과가 있다. 따라서 분할 마스크의 패턴 개구부에서 패턴의 위치 오차가 방지될 수 있다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.
도1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 평판 표시장치의 박막 증착용 마스크 조립체의 분해 사시도이고, 도2는 도1의 평판 표시장치의 박막 증착용 마스크 조립체 의 평면도이며, 도3은 도2의 Ⅲ-Ⅲ 선을 따라 자른 단면도이다.
도1 내지 도3을 참조하면, 제1 실시예에 따른 평판 표시장치의 박막 증착용 마스크 조립체(100)(편의상, 이하에서 "마스크 조립체"라 한다)는 관통된 개구부(201)를 구비하는 프레임(20)과, 프레임(20)에 고정 설치되며 적어도 1쌍으로 이루어지는 제1, 제2 변형보상부재(31, 32), 및 증착을 위한 복수의 패턴 개구부(401)를 구비하여 프레임(20)과 제1, 제2 변형보상부재(31, 32)에 고정되는 복수의 분할 마스크들(40)을 포함한다.
일례를 들면, 프레임(20)은 피증착체인 원장기판(14)(도9 참조)에 대응하여 사각형으로 형성되며, 원장기판(14)에 증착 공정을 수행할 수 있도록 사각형의 개구부(201)를 중앙에 구비한다. 즉 프레임(20)은 전체적으로 사각형의 테 상태로 형성된다.
분할 마스크(40)가 인장력을 받으면서 프레임(20)에 고정 설치된다. 따라서 프레임(20)은 분할 마스크(40)의 길이 방향(x축 방향)으로 인정력의 반작용인 압축력을 받게 된다. 예를 들면, 프레임(20)은 압축력에 의한 변형을 최소화하기 위하여 강성이 큰 금속 재료로 형성될 수 있다.
1쌍의 제1, 제2 변형보상부재(31, 32)는 개구부(201)를 가로질러 프레임(20)에 고정된다. 제1 실시예에서 제1, 제2 변형보상부재(31, 32)는 서로 나란한 상태로 프레임(20)의 전후 방향(y축 방향)으로 배치된다.
제1, 제2 변형보상부재(31, 32)는 프레임(20)의 크기에 따라 분할 마스크(40)의 길이 방향(x축 방향)으로 간격을 두고 배치되는 복수의 셋트로 이루어질 수 있다. 본 실시예에서 1쌍을 1세트로 하여, 제1, 제2 변형보상부재(31, 32)는 3세트로 구성되어, 프레임(20)에 용접된다.
분할 마스크(40)는 y축 방향으로 설정되는 폭과 x축 방향으로 설정되는 길이를 가지는 띠 형상으로 형성되며, 단위 유기발광 표시장치(미도시)를 제작하는 패턴 개구부들(401)을 구비한다. 패턴 개구부들(401)은 분할 마스크(40)의 길이 방향(x축 방향)을 따라 배치된다. 분할 마스크들(40)은 y축 방향을 따라 반복적으로 배치되어, 프레임(20)의 개구부(201) 전체를 덮는다.
마스크 조립체(100)에 대하여 복수로 구성되는 분할 마스크들(40)은 증착 과정에서 일어날 수 있는 열팽창에 의한 분할 마스크(40)의 변형과 패턴 개구부(401)의 왜곡을 억제할 수 있고, 길이 방향(x축 방향)을 따라 균일한 인장력을 받기 때문에 분할 마스크(40)의 특정 부위에 변형량이 집중하는 것을 최소화할 수 있다.
분할 마스크(40)에 구비된 패턴 개구부(401)는 하나의 표시장치에 대응하며, 마스크 조립체(100)는 분할 마스크(40)의 길이 방향(x축 방향) 및 폭 방향(y축 방향)을 따라 복수의 패턴 개구부(401)를 구비한다. 패턴 개구부(401)는 유기발광 표시장치에 형성될 전극 또는 발광층과 동일한 모양으로 형성된다.
분할 마스크(40)는 제1, 제2 변형보상부재(31, 32)의 상면에서 고정되고, 또한 개구부(201)의 양측에서 프레임(20)에 고정된다. 이때, 분할 마스크들(40)은 길이 방향(x축 방향)으로 인장력을 받으면서 프레임(20)에 고정되고, 폭 방향(y축 방향)으로 인장력을 받으면서 1쌍의 제1, 제2 변형보상부재(31, 32)에 고정된다.
프레임(20)은 x축 방향으로 받는 압축력에 의하여 y축 방향으로 형태 왜곡이 발생함에도 불구하고, 프레임(20)에 고정된 분할 마스크(40)의 폭 방향(y축 방향) 형태 왜곡을 보정하도록 개구부(201)에서 부분적으로 절개하여 형성되는 자유단부(202)를 구비한다. 자유단부(202)는 프레임(20)의 개구부(201) 전방 또는 후방에 구비될 수도 있고, 도1에서와 같이 프레임(20)의 개구부(201) 전방과 후방에 함께 구비될 수 있다.
즉 자유단부(202)는 제1, 제2 변형보상부재(31, 32)의 양단에 대응하여, 프레임(20)의 전방에 구비되는 제1 자유단부(이하, "전방 자유단부"라 한다)(203)와, 전방 자유단부(203)의 반대측인 프레임(20)의 후방에 구비되는 제2 자유단부(이하, "후방 자유단부")(204)를 포함한다. 또한 전방 자유단부(203)와 후방 자유단부(204)는 1쌍의 제1, 제2 변형보상부재(31, 32) 중 일측의 제1 변형보상부재(31)에 연결되는 제3 자유단부(이하, "좌측 자유단부"라 한다)(205)와 다른측 제2 변형보상부재(32)에 연결되는 제4 자유단부(이하, "우측 자유단부"라 한다)(206)를 포함한다. 제1 변형보상부재(31)는 좌측 자유단부(205)에 스팟 용접(SP5)되고, 제2 변형보상부재(32)는 우측 자유단부(206)에 스팟 용접(SP6)된다(도6 참조).
도4는 마스크 프레임에 제1 변형보상부재와 제2 변형보상부재를 고정시킨 부분의 분해 사시도이고, 도5는 마스크 프레임에 제1 변형보상부재와 제2 변형보상부재를 용접한 상태의 사시도이다. 도4 및 도5를 참조하면, 자유단부(202)는 제1, 제2 변형보상부재(31, 32)의 길이 방향(y축 방향)으로 이루어지는 프레임(20)의 변형을 보상하도록 개구부(201)에서 분할 마스크(40)의 폭 방향(y축 방향)으로 형성되는 제1 절개공간(S1)과, 제1 절개공간(S1)에서 분할 마스크(40)의 길이 방향(x축 방향)으로 형성되는 제2 절개공간(S2)으로 구획된다. 편의상, 전방 자유단부(203)를 예로 들어 설명한다.
좌측 자유단부(205)와 우측 자유단부(206)는 서로의 사이에 형성되는 제1 절개공간(S1)을 공유하고, 제2 절개공간(S2)을 서로 연결하여 설정된다. 좌측, 우측 자유단부는 제1 절개공간과 제2 절개공간을 각각 독립적으로 형성하여 설정될 수 있다(미도시). 또한 좌측 자유단부(205) 및 우측 자유단부(206)는 제1, 제2 변형보상부재(31, 32)의 양단을 수용하여 고정하는 수용홈(207, 208)을 각각 구비한다(도4 참조). 수용홈(207, 208)의 깊이(H)는 제1, 제2 변형보상부재(31, 32)의 두께(T)와 동일하게 형성된다. 제1, 제2 변형보상부재(31, 32)를 수용홈(207, 208)에 고정 설치할 때, 제1, 제2 변형보상부재(31, 32)의 상부 표면과 프레임(20)의 상부 표면이 수평면을 형성한다. 따라서 분할 마스크(40)가 수평 상태로 설치될 수 있다(도5 참조).
도6은 마스크 프레임에서 제1 변형보상부재와 제2 변형보상부재의 보상 작용을 도시한 상태도이다. 도6을 참조하면, 분할 마스크들(40)은 x축 방향으로 인장력을 받으면서 프레임(20)의 양측에 스팟 용접(SP1, SP2)으로 고정되고, 동시에 y축 방향으로 인장력을 받으면서 제1, 제2 변형보상부재(31, 32)에 각각 스팟 용접(SP3, SP4)으로 고정된다. 이때, 분할 마스크(40)의 y축 방향 후방 부분이 좌측의 제1 변형보상부재(31)에 스팟 용접(SP3)되고, y축 방향으로 인장된 상태에서 전방 부분이 우측의 제2 변형보상부재(32)에 스팟 용접(SP4)된다. 따라서 분할 마스크(40)는 y축 방향으로 인장력을 받는다. 분할 마스크(40)는 양단이 프레임(20)의 상면과 겹치도록 위치한 상태에서 용접으로 고정되며, 상면에 고정된다. 이후 분할 마스크(40)의 용접점 외측 부위는 절단된다.
도5를 참조하면, 분할 마스크들(40)이 y축 방향으로 인장력을 받아 y축 방향으로 폭이 넓어짐에 따라, 프레임(20)의 y축 방향 형태 왜곡(D1)으로 분할 마스크들(40)의 y축 방향 폭이 감소하려는 것을 보상한다. 즉 프레임(20)의 왜곡(D1)에 대하여 분할 마스크들(40)의 폭이 반대 방향으로 변형되므로 분할 마스크(40)의 y축 방향의 왜곡이 보상된다(D2). 이때, 좌측 자유단부(205) 및 우측 자유단부(206)는 실선 상태에서 가상선 상태로 후퇴하면서 y축 방향의 왜곡을 보상한다(D2). 따라서 분할 마스크(40)에서 패턴 개구부(401)의 위치 오차가 감소될 수 있다.
이하에서 본 발명의 다른 실시예를 설명한다. 제1 실시예와 비교하여 동일한 구성에 대해 설명을 생략하고, 서로 다른 구성에 대해 설명한다.
도7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 평판 표시장치의 박막 증착용 마스크 조립체에서, 마스크 프레임에 제1 변형보상부재와 제2 변형보상부재를 고정시킨 부분의 분해 사시도이고, 도8은 마스크 프레임에서 마이크로미터의 장착 상태도이다.
제1 실시예는 제1, 제2 변형보상부재(31, 32)를 고정하도록 프레임(20) 자유단부(202)를 구비한다. 따라서 제1 실시예는 자유단부(202)를 형성하는 제2 절개공간(S2)의 범위 내에서 자유단부(202)의 자체 탄성으로 y축 방향 왜곡을 보상한다.
이에 비하여, 제2 실시예는 자유단부(302)에서 제2 절개공간(S2)을 적극적으로 조절하여 자유단부(302)의 y축 방향 왜곡을 보상할 수 있도록 구성한다. 제2 실시예의 마스크 조립체(200)는 자유단부(302)에 마이크로미터(501)를 더 포함한다. 마이크로미터(501)는 자유단부(302)에 일단이 연결되고, 제2 절개공간(S2)을 건너 프레임(20)에 장착되어 제2 절개공간(S2)의 간극을 조절하도록 구성된다.
마이크로미터(501)는 제1, 제2 변형보상부재(31, 32)의 양단에 대응하여 프레임(20)의 y축 방향 양측에 형성되는 전방 자유단부(303)와 후방 자유단부(304)에 각각 구비되는 제1 마이크로미터(이하, "전방 마이크로미터"라 한다)(502)와 제2 마이크로미터(이하 "후방 마이크로미터"라 한다)(503)를 포함한다. 전방 마이크로미터(502)와 후방 마이크로미터(503)는 각각 1쌍의 제1, 제2 변형보상부재(31, 32) 각각에 연결되는 좌측 자유단부(305)와 우측 자유단부(306)에 각각 구비되는 제3 마이크로미터(이하, "좌측 마이크로미터"라 한다)(504)와 제4 마이크로미터(이하, "우측 마이크로미터"라 한다)(505)를 포함한다.
프레임(20)에서 전방 자유단부(303) 및 후방 자유단부(304) 각각의 좌측 자유단부(305)와 우측 자유단부(306)에 제1, 제2 변형보상부재(31, 32)를 스팟 용접(SP5, SP6)으로 고정한다. X축 방향으로 인장력을 가하여 분할 마스크(40)를 프레임(20)의 x축 방향 양측에 스팟 용접(SP1, SP2)으로 고정하고, y축 방향으로 인장력을 가하여 분할 마스크(40)를 제1, 제2 변형보상부재(31, 32)에 스팟 용접(SP3, SP4)으로 고정한다.
그리고 전방, 후방 자유단부(303, 304) 각각의 좌측, 우측 자유단부(305, 306)에 구비된 좌측, 우측 마이크로미터(504, 505)를 조절한다. 따라서 분할 마스크(40)의 인장력에 의한 프레임(20)의 왜곡(D1) 에 대하여 분할 마스크들(40)의 폭이 반대 방향으로 변형되어 분할 마스크(40)의 y축 방향 왜곡이 보상된다(D2). 이 때, 좌측 자유단부(305) 및 우측 자유단부(306)는 실선 상태에서 가상선 상태로 후퇴하면서 y축 방향의 왜곡을 보상한다(D2).
도9는 본 발명 실시예들의 평판 표시장치의 박막 증착용 마스크 조립체를 이용하여 평판 표시장치의 증착 과정을 나타낸 개략도이다. 도9를 참고하면, 마스크 조립체(100)는 증착 설비 내의 프레임 홀더(12)에 고정된다. 복수의 분할 마스크(40)의 위쪽에 원장기판(14)이 놓인다. 이 상태에서 증착원(16)으로부터 전극 재료 또는 발광층 재료가 증발하면, 패턴 개구부(401)를 통해 원장기판(14)에 패턴 개구부(401)와 동일한 형상으로 재료가 증착된다. 이와 같이 마스크 조립체(100)를 이용하여 한 장의 원장기판(14)에 복수의 평판 표시장치, 일례로 복수의 유기발광 표시장치를 제작할 수 있다.
본 실시예에서는 마스크 조립체(100)가 유기발광 표시장치의 전극과 유기발광층을 형성하는데 사용되는 것으로 기재하였으나, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 마스크 조립체(100)는 다른 평판 표시장치의 전극 등을 형성하는데 유효하게 적용될 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예들에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.
도1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 평판 표시장치의 박막 증착용 마스크 조립체의 분해 사시도이다.
도2는 도1의 평판 표시장치의 박막 증착용 마스크 조립체의 평면도이다.
도3은 도2의 Ⅲ-Ⅲ 선을 따라 자른 단면도이다.
도4는 마스크 프레임에 제1 변형보상부재와 제2 변형보상부재를 고정시킨 부분의 분해 사시도이다.
도5는 마스크 프레임에 제1 변형보상부재와 제2 변형보상부재를 용접한 상태의 사시도이다.
도6은 마스크 프레임에서 제1 변형보상부재와 제2 변형보상부재의 보상 작용을 도시한 상태도이다.
도7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 평판 표시장치의 박막 증착용 마스크 조립체에서, 마스크 프레임에 제1 변형보상부재와 제2 변형보상부재를 고정시킨 부분의 분해 사시도이다.
도8은 마스크 프레임에서 마이크로미터의 장착 상태도이다.
도9는 본 발명 실시예들의 평판 표시장치의 박막 증착용 마스크 조립체를 이용하여 평판 표시장치의 증착 과정을 나타낸 개략도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 참조 부호의 설명>
12 : 프레임 홀더 14 : 원장기판
16 : 증착원 20 : 프레임
31, 32 : 변형보상부재 40 : 분할 마스크
100, 200 : 마스크 조립체 201 : 개구부
202, 302 : 자유단부 203, 303: 제1 자유단부
204, 304 : 제2 자유단부 205 : 제3 자유단부
206 : 제4 자유단부 207, 208 : 수용홈
302 : 자유단부 401 : 패턴 개구부
501 : 마이크로미터 502 : 제1 마이크로미터
503 : 제2 마이크로미터 504 : 제3 마이크로미터
505 : 제4 마이크로미터 D1 : 왜곡
D2 : 보상 H : 깊이
S1, S2 : 제1, 제2 절개공간 T : 두께

Claims (9)

  1. 관통 개구부를 형성하는 프레임;
    상기 개구부를 가로질러 배치되고, 상기 개구부에서 상기 프레임을 부분적으로 절개하여 형성되는 자유단부에 고정되며 쌍으로 이루어지는 제1 변형보상부재와 제2 변형보상부재; 및
    상기 제1 변형보상부재 및 상기 제2 변형보상부재의 상면에서 상기 제1 변형보상부재 및 상기 제2 변형보상부재와 교차하는 방향으로 배치되며 상기 개구부의 양측에 고정되어 길이 방향으로 인장력을 받고, 상기 제1 변형보상부재와 상기 제2 변형보상부재에 고정되어 폭 방향으로 인장력을 받으며, 패턴 개구부를 형성하는 복수의 분할 마스크를 포함하는 평판 표시장치의 박막 증착용 마스크 조립체.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 자유단부는,
    상기 제1 변형보상부재와 상기 제2 변형보상부재의 길이 방향으로 이루어지는 상기 프레임의 변형을 보상하도록 상기 개구부에서 상기 분할 마스크의 폭 방향으로 형성되는 제1 절개공간과,
    상기 제1 절개공간에서 상기 분할 마스크의 길이 방향으로 형성되는 제2 절개공간으로 구획되는 평판 표시장치의 박막 증착용 마스크 조립체.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 자유단부는,
    상기 제1 변형보상부재와 상기 제2 변형보상부재의 양단에 대응하여 상기 프레임의 양측에 형성되는 제1 자유단부와 제2 자유단부를 포함하는 평판 표시장치의 박막 증착용 마스크 조립체.
  4. 제3 항에 있어서,
    상기 제1 자유단부 및 상기 제2 자유단부 각각은,
    상기 제1 변형보상부재와 상기 제2 변형보상부재 각각에 연결되는 제3 자유단부와 제4 자유단부를 포함하는 평판 표시장치의 박막 증착용 마스크 조립체.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제3 자유단부와 상기 제4 자유단부는,
    상기 제1 절개공간을 공유하고, 상기 제2 절개공간을 서로 연결하여 설정되는 평판 표시장치의 박막 증착용 마스크 조립체.
  6. 제2 항에 있어서,
    상기 자유단부에 일단이 연결되고, 상기 제2 절개공간을 건너 상기 프레임에 장착되어 상기 제2 절개공간의 간극을 조절하는 마이크로미터를 포함하는 평판 표시장치의 박막 증착용 마스크 조립체.
  7. 제6 항에 있어서,
    상기 마이크로미터는,
    상기 제1 변형보상부재와 상기 제2 변형보상부재의 양단에 대응하여 상기 프레임의 양측에 형성되는 제1 자유단부와 제2 자유단부에 각각 구비되는 제1 마이크로미터와 제2 마이크로미터를 포함하는 평판 표시장치의 박막 증착용 마스크 조립체.
  8. 제7 항에 있어서,
    상기 마이크로미터는,
    상기 제1 변형보상부재와 상기 제2 변형보상부재 각각에 연결되는 제3 자유단부와 제4 자유단부에 각각 구비되는 제3 마이크로미터와 제4 마이크로미터를 포함하는 평판 표시장치의 박막 증착용 마스크 조립체.
  9. 제1 항에 있어서,
    상기 자유단부는,
    상기 제1 변형보상부재와 상기 제2 변형보상부재의 각 양단을 고정하는 수용홈을 형성하고,
    상기 수용홈의 깊이는,
    상기 변형보상부재의 두께와 동일한 평판 표시장치의 박막 증착용 마스크 조 립체.
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