KR101659960B1 - 살대형 오픈 마스크 시트, 이를 이용한 오픈 마스크 조립체 제조 방법, 제조 장치 및 오픈 마스크 조립체 - Google Patents

Abstract

본 발명은 살대형 오픈 마스크 시트, 이를 이용한 마스크 조립체 제조 방법, 제조 장치 및 마스크 조립체에 관한 것이다. 이는 박막 공정용 오픈 마스크 조립체의 마스크 프레임에 소정 인장력이 가해진 상태로 접합되며, 복수의 박막 공정용 단위 개구부들을 구비하는 오픈 마스크 시트로서, 상기 오픈 마스크 시트의 표면에서 정의되는 서로 직교하는 2개의 방향에서 각각 연장되며, 상기 오픈 마스크 시트의 서로 직교하는 2개의 중심축에 대해 서로 대칭적으로 배치되는, 복수의 살대를 포함하여 정의되는 가상 격자; 및 상기 가상 격자의 살대 각각의 양 단부에서 서로 반대 방향으로 돌출된 복수의 돌출단을 포함한다.

Description

살대형 오픈 마스크 시트, 이를 이용한 오픈 마스크 조립체 제조 방법, 제조 장치 및 오픈 마스크 조립체{GRID OPEN MASK SHEET FOR THIN FILM DEPOSITION, MANUFACTURING APPARATUS OF OPEN MASK ASSEMBLY, AND OPEN MASK ASSEMBLY THEREFROM}

본 발명은 박막 공정용 마스크 조립체에 관한 것으로서, 더 상세하게는 소정 오픈 마스크 패턴을 구비하는 박막의 오픈 마스크 시트를 마스크 프레임에 접합하는 박막 공정용 마스크 조립체 제조 기술에 관한 것이다.

근래 널리 제조되고 있는 유기 발광 표시 장치(OLED, Organic Light-Emitting Diode)는, 텔레비젼, 퍼스널 컴퓨터(PC), 태블릿 PC, 스마트폰, 스마트워치 및 차량 계기판 등에 구비되는 디스플레이 장치로서 널리 이용되고 있다. OLED는 빛을 내는 층이 유기 화합물로 이루어진 박막 발광 다이오드이다. OLED 제조시 전극층, 유기 발광층, 절연막 등의 다수의 박막층을 적층하고 패터닝하는 박막 공정이 필요하다. 박막 공정은 각각 대응하는 패턴이 구비된 마스크 조립체를 이용하게 되며, 예컨대 화학적 기상증착(CVD, chemical vapor deposition), 스퍼터링(sputtering), 이온 플레이팅(ion plating), 진공 증착(evaporation) 등이 포함된다.

특히 OLED 제조 공정에서 사용되는 마스크 조립체 중 오픈 마스크 조립체는, 제조하고 있는 기판 상에서, 개별 디스플레이 면적 전체에 동일한 재질의 박막층을 적층하기 위해 사용되는 마스크이다. 이러한 오픈 마스크 조립체는 상대적으로 튼튼한 구조의 마스크 프레임 상에 상대적으로 얇은 박막의 오픈 마스크 시트를 접합한 구조를 가진다. 마스크 프레임의 경우 약 5 ~ 80 mm 정도의 두께를 가지는 창틀 또는 문틀 형태의 프레임 구조이며 마스크 조립체의 모양을 안정적으로 유지시키기 위한 기능을 한다. 오픈 마스크 시트는 약 0.01 ~ 5.00 mm 정도의 두께를 가지는 박막 금속 시트 또는 스트립 상에, 증착시 이용될 오픈 마스크 패턴을 형성한 것이다. 오픈 마스크 패턴은 기판 상의 각 OLED 디스플레이 레이아웃 형상과 수에 대응하는 형상과 수의 단위 개구부들을 포함한다. 일반적으로 오픈 마스크 시트 및 마스크 프레임은 예컨대 인바합금(Invar-36 Alloy)과 같이 온도 변화에 따른 열팽창계수가 매우 작은 금속을 이용하여 제조된다. 나아가, 패턴의 정밀성이 크게 요구되지 않는 경우, 비용 절감을 위해 마스크 프레임을 예컨대 SUS420과 같은 열에 강한 스테인레스 금속을 이용하여 제작하는 경우도 있다.

일반적으로, 오픈 마스크 조립체를 포함하여, 마스크 조립체가 이용되고 있는 박막 공정은 높은 온도에서 실시된다. 근래의 OLED 제조 공정에 따르면, 일반적으로 하나의 마스크 조립체에 대해 적어도 수천개 이상의 기판에 대한 박막 공정이 연속적으로 반복된다. 이렇게 박막 공정이 진행됨에 따라, 마스크 조립체는 지속적으로 높은 온도에 노출되며, 따라서 점차로 열에 의해 마스크 패턴에 변형이 발생하게 된다. 이는 전체 공정의 수율에 악영향을 미치는 새도우(Shadow) 현상의 주요 원인 중 하나이다. 또한 OLED 제조 공정에서 OLED 제조용 기판 각각에 대응하여 수십 개의 다양한 마스크 조립체가 사용되므로, 각 마스크 조립체에 발생하는 열변형에 따른 새도우 현상은 수십번 중첩되어 더욱 수율을 저하시키게 된다.

근래에는 폴더블(foldable) 디스플레이 기기 등과 같이 휴대용 기기의 디스플레이 면적이 기존 5인치 정도에서 10인치 정도로 급격히 증가될 것이 예상된다. 이 경우 오픈 마스크 조립체에 형성되는 단위 개구부의 크기가 커지게 되므로, 종래보다 높은 정밀도의 오픈 마스크 조립체가 요구되고 있으며, 이에 따라 마스크 조립체의 열변형을 감소시켜 마스크 조립체의 정밀도를 높여야 한다는 절실한 기술적 요구가 있다.

삭제

삭제

삭제

삭제

삭제

대한민국 공개특허 제10-2015-0071321호 (2015.06.26 공개) 대한민국 공개특허 제10-2014-0000737호 (2014.01.06 공개) 대한민국 공개특허 제10-2012-0079725호 (2012.07.13 공개) 대한민국 공개특허 제10-2011-0069466호 (2011.06.23 공개) 대한민국 등록특허 제10-0658762호 (2006.12.11 등록)

본 발명자는, 오픈 마스크 조립체의 열변형을 감소시키기 위한 기술을 찾는 과정에서, 특히 기존에 오픈 마스크 시트가 일정한 장력을 유지하도록 인장된 후 마스크 프레임 상에 접합되며, 이러한 인장에 의해 긴장되어 있는 오픈 마스크 시트에 추가적으로 열에 의해 발생하는 응력이 가해짐으로써 특이한 변형 패턴이 나타나고 있다는 사실에 주목하였다.

일반적으로 오픈 마스크 시트는 대체로 직사각형의 형상이며 그 4개의 모서리 즉 가장자리에서 마스크 프레임에 접합됨으로써 지지된다. 그러므로, 오픈 마스크 시트의 중앙부 즉 마스크 프레임에 의해 지지되고 있지 않은 중앙 부분은 중력에 의해 밑으로 쳐지는 문제가 발생하게 된다. 이 문제를 해소하기 위해 오픈 마스크 시트는 일반적으로 그 가장자리에서 인장력을 가해 팽팽하게 만든 상태로 마스크 프레임 상에 접합시킴으로써 오픈 마스크 시트에는 수평면 상에서 서로 수직하는 방향으로 장력이 유지된다. 그리고, 오픈 마스크 시트를 기판에 밀착시키기 위해 추가적으로 자력을 이용하게 된다. 따라서 마스크 조립체의 오픈 마스크 시트는 박막이 형성될 기판의 표면에 밀착되어 정밀한 패터닝 공정이 이루어질 수 있다.

그렇지만, 박막 공정이 오랜 시간 동안 지속되면서 오픈 마스크 조립체에는 열변형 현상이 나타나게 된다. 이러한 열에 의해 발생된 변형 패턴을 관찰하면, 마스크 프레임의 상부면에 의해 정의되는 평면상에서 오픈 마스크 시트는 전체적으로 아래위로 굽이쳐 울퉁불퉁하게 변형되고 있는 특이한 변형 패턴을 보이고 있다. 이러한 변형 패턴은, 이미 팽팽하게 당겨져 있는 오픈 마스크 시트 자체가 열에 의해 열화되면서 다시 인장되는 방향으로 추가 응력이 발생하는 반면에, 마스크 프레임에서 발생한 열응력이 오픈 마스크 시트에 전달되어 오픈 마스크 시트를 중앙부를 향해 압축시키는 방향으로 응력을 가하게 됨을 예상할 수 있다. 이에 따라 오픈 마스크 시트는 그 가장자리로부터 서로 반대 방향으로 압력을 받고, 이로 인해 오픈 마스크 시트에 물리적인 변형이 발생되는 결과로, 전체적으로 아래위로 굽이쳐 울퉁불퉁하게 변형되고 있는 특이한 변형 패턴이 나타났음을 알 수 있다.

이에 본 발명자는 특히 '박막 공정 시간 경과에 따른 오픈 마스크 조립체에서 발생하는 열변형 문제'를 해결하기 위해서, 오픈 마스크 시트를 마스크 프레임에 접착시킬 때, 만약 마스크 프레임과 오픈 마스크 시트 각각에서 발생한 열응력이 서로 상호간에 전달되는 현상을 최소화할 수 있도록 한다면, 오픈 마스크 시트의 열변형을 크게 감소시킬 수 있고 따라서 박막 공정 시간 경과에 따른 새도우 현상의 증가를 최소화할 수 있다는 점을 깨달았다.

나아가, 본 발명자는 만약 오픈 마스크 시트에 장력을 유지시키기 위해 가하는 인장력을 감소시킬 수 있다면, 오픈 마스크 시트가 고온에 지속적으로 노출되더라 하더라도 열에 의해 발생된 응력을 대부분 흡수할 수 있어 변형 현상을 더 크게 감소시킬 수 있다는 점을 깨달았다.

본 발명은 상술한 본 발명자의 깨달음에 기초한 것으로서, 박막 공정에서 사용되는 오픈 마스크 조립체에 있어서, 오픈 마스크 시트의 메인 평면을 예컨대 서로 직교하는 2개의 방향에서 가로지르는 복수의 살대를 정의하고, 각 살대의 양 단부를 패턴시트 가장자리로부터 돌출 형성하고, 이들 살대 각각을 인장시켜 그 양 단부를 마스크 프레임 상에 접합하는 방식으로 제조함으로써, 오픈 마스크 시트에 장력을 부여하기 위한 인장력이 감소될 수 있으면서도, 이와 동시에 서로 다른 재질에 기인한 또는 서로 다른 형상에 기인한 오픈 마스크 시트와 마스크 프레임 사이의 열응력 전이를 최소화할 수 있도록 한 새로운 살대형 오픈 마스크 시트, 이를 이용한 오픈 마스크 조립체 제조 방법, 제조 장치 및 오픈 마스크 조립체를 제공하는 것을 목적으로 한다.

또한 본 발명에 있어서, 오픈 마스크 시트는 서로 직교하는 2방향에서 정의되는 복수의 살대들로 이루어진 가상 격자 영역이 정의되며, 이 가상 격자 중 솔리드 영역 내에는 오픈 마스크 시트 두께를 전부 식각한 관통홀 및/또는 부분 식각한 요홈 등의 버퍼 구조물을 구비하도록 함으로써, 오픈 마스크 시트 자체의 표면적을 증가시키고, 오픈 마스크 시트와 웨이퍼 기판 사이에 접촉면적을 최소화할 뿐만 아니라, 오픈 마스크 시트에서 발생되는 변형이 관통홀이나 요홈 구조에 의해 흡수되도록 하는 새로운 살대형 오픈 마스크 시트, 이를 이용한 오픈 마스크 조립체 제조 방법, 제조 장치 및 오픈 마스크 조립체를 제공하는 것을 목적으로 한다.

이러한 목적은 본 발명에 따라 제공되는 살대형 오픈 마스크 시트, 이를 이용한 오픈 마스크 조립체 제조 방법, 제조 장치, 및 이를 이용하여 제조한 오픈 마스크 조립체에 의해 달성된다.

본 발명의 일 양상에 따라 제공되는 살대형 오픈 마스크 시트는, 박막 공정용 오픈 마스크 조립체의 마스크 프레임에 소정 인장력이 가해진 상태로 접합되며, 복수의 박막 공정용 단위 개구부들을 구비하는 오픈 마스크 시트로서, 상기 오픈 마스크 시트의 표면에서 정의되는 서로 직교하는 2개의 방향에서 각각 연장되며, 상기 오픈 마스크 시트의 서로 직교하는 2개의 중심축에 대해 서로 대칭적으로 배치되는, 복수의 살대를 포함하여 정의되는 가상 격자; 및 상기 가상 격자의 살대 각각의 양 단부에서 서로 반대 방향으로 돌출된 복수의 돌출단을 포함한다.

상기 복수의 돌출단은, 각각의 살대 양단에서 서로 동일한 폭과 길이를 가지며; 상기 오픈 마스크 시트의 서로 직교하는 2개의 중심축에 대해 서로 대칭적인 형상으로 배치될 수 있다.

상기 복수의 돌출단 각각의 영역은, 상기 마스크 프레임에 접합되는 접합영역; 및 상기 접합영역과 상기 가상 격자를 이어주면서 상기 마스크 프레임에 접합되지 않는 브릿지영역을 구비할 수 있다.

상기 접합영역은 일정한 폭(W)을 가지며, 상기 브릿지영역의 폭은 상기 접합영역의 폭 크기에서부터 상기 가상 격자로 갈수록 점차적으로 또는 단계적으로 증가할 수 있다.

상기 돌출단을 제외한 살대의 영역은, 상기 오픈 마스크 시트 영역 중에서 상기 복수의 박막 공정용 단위 개구부 이외의 영역에 의해 정의될 수 있다.

상기 돌출단을 제외한 살대의 영역은, 상기 오픈 마스크 시트 영역 중에서 상기 복수의 박막 공정용 단위 개구부 영역을 부분적으로 포함하여 정의될 수 있다.

상기 돌출단을 제외한 살대의 영역은, 상기 오픈 마스크 시트 두께가 완전히 제거된 관통 구조 및 상기 오픈 마스크 시트 두께가 부분적으로 제거된 요홈 구조 중 적어도 하나를 포함하는 열버퍼 구조물이 형성될 수 있다.

상기 복수의 돌출단 외측에, 상기 복수의 돌출단의 단부들에 그 내측이 연결되고, 상기 오픈 마스크 시트의 영역을 둘러싸는 형태의 가드 스트립이 더 구비될 수 있다.

상기 가드 스트립과 상기 복수의 돌출단들과 연결된 부위에는 절단하기 쉽게 하기 위해 상기 오픈 마스크 시트 두께가 적어도 부분적으로 제거되어 형성되는 절단라인이 구비될 수 있다.

본 발명의 다른 양상에 따라 제공되는 살대형 오픈 마스크 시트를 이용한 오픈 마스크 조립체 제조 방법은, 박막 공정용 오픈 마스크 조립체의 제조 방법으로서, 마스크 프레임에 소정 인장력이 가해진 상태로 접합되며, 복수의 박막 공정용 단위 개구부를 구비하는 오픈 마스크 시트로서, 상기 오픈 마스크 시트의 표면에서 정의되는 서로 직교하는 2개의 방향에서 각각 연장되며, 상기 오픈 마스크 시트의 서로 직교하는 2개의 중심축에 대해 서로 대칭적으로 배치되는, 복수의 살대를 포함하여 정의되는 가상 격자; 및 상기 가상 격자의 살대 각각의 양 단부에서 서로 반대 방향으로 돌출된 복수의 돌출단을 구비하는 살대형 오픈 마스크 시트를 제작하는 시트 제작단계; 상기 오픈 마스크 시트에 형성된 돌출단들을 이용하여 상기 가상 격자의 살대들 각각을 서로 대향하는 양방향으로 인장하는 인장 단계; 상기 인장된 상태에서 상기 돌출단 각각의 영역 중 적어도 일부를 마스크 프레임에 접합하는 접합 단계를 포함한다.

상기 접합 단계는, 상기 돌출단이 그로부터 돌출되어 있는 상기 패턴 시트의 가장자리 라인이 상기 마스크 프레임의 내부면과 소정 간격을 가지고 떨어진 상태로 배치된 상태에서 상기 돌출단의 일부만을 상기 마스크 프레임 상에 접합할 수 있다.

상기 마스크 프레임은 상기 오픈 마스크 시트의 돌출단이 삽입되어 접합되도록 하는 살대홈을 구비하고, 상기 접합 단계에서, 상기 오픈 마스크 시트의 돌출단은 상기 살대홈에 삽입된 후 접합될 수 있다.

상기 복수의 돌출단 외측에, 상기 복수의 돌출단의 단부들에 그 내측이 연결되고 상기 오픈 마스크 시트의 영역을 둘러싸는 형태의 가드 스트립이 더 구비되며, 상기 인장 단계에서, 상기 가드 스트립을 통하여 상기 돌출단들 사이의 살대들 각각을 서로 대향하는 양방향으로 인장하고, 상기 접합 단계에서 상기 돌출단을 접합한 후 상기 가드 스트립을 절단할 수 있다.

본 발명의 또 다른 양상에 따라 제공되는 살대형 오픈 마스크 시트를 이용한 오픈 마스크 조립체 제조 장치는, 박막 공정용 오픈 마스크 조립체의 제조 장치로서, 마스크 프레임에 소정 인장력이 가해진 상태로 접합되며, 복수의 박막 공정용 단위 개구부를 구비하는 오픈 마스크 시트로서, 상기 오픈 마스크 시트의 표면에서 정의되는 서로 직교하는 2개의 방향에서 각각 연장되며, 상기 오픈 마스크 시트의 서로 직교하는 2개의 중심축에 대해 서로 대칭적으로 배치되는, 복수의 살대를 포함하여 정의되는 가상 격자; 및 상기 가상 격자의 살대 각각의 양 단부에서 서로 반대 방향으로 돌출된 복수의 돌출단을 구비하는 살대형 오픈 마스크 시트에서, 상기 돌출단들을 이용하여 상기 가상 격자의 살대들 각각을 서로 대향하는 양방향으로 인장하는 인장부; 상기 인장된 상태에서 상기 돌출단 각각의 영역 중 적어도 일부를 마스크 프레임에 접합하는 접합부를 포함한다.

상기 접합부는, 상기 돌출단이 그로부터 돌출되어 있는 상기 오픈 마스크 시트의 가장자리 라인이 상기 마스크 프레임의 내부면과 소정 간격을 가지고 떨어진 상태로 배치된 상태에서 상기 돌출단의 일부만을 상기 마스크 프레임 상에 접합할 수 있다.

본 발명의 또 다른 양상에 따라 제공되는 살대형 오픈 마스크 시트를 포함한 오픈 마스크 조립체는, 박막 공정용 오픈 마스크 조립체로서, 마스크 프레임에 소정 인장력이 가해진 상태로 접합되며, 복수의 박막 공정용 단위 패턴들을 구비하는 오픈 마스크 시트로서, 상기 오픈 마스크 시트의 표면에서 정의되는 서로 직교하는 2개의 방향에서 각각 연장되며, 상기 오픈 마스크 시트의 서로 직교하는 2개의 중심축에 대해 서로 대칭적으로 배치되는, 복수의 살대를 포함하여 정의되는 가상 격자; 및 상기 가상 격자의 살대 각각의 양 단부에서 서로 반대 방향으로 돌출된 복수의 돌출단을 구비하는 살대형 오픈 마스크 시트와, 상기 살대형 오픈 마스크 시트의 살대 양단에 형성된 돌출단을 이용하여 상기 가상 격자의 살대들 각각을 서로 대향하는 양방향으로 인장하고, 상기 인장된 살대의 돌출단을 접합한 마스크 프레임을 포함한다.

상기 복수의 돌출단 각각의 영역은, 상기 마스크 프레임에 접합되는 접합영역; 및 상기 접합영역과 상기 가상 격자를 이어주면서 상기 마스크 프레임에 접합되지 않는 브릿지영역을 구비하며, 상기 브릿지영역에 의해 상기 오픈 마스크 시트의 가장자리가 상기 마스크 프레임의 내부면과 소정 간격을 가지고 떨어진 상태로 되도록, 상기 돌출단의 접합영역만이 상기 마스크 프레임 상에 접합될 수 있다.

상기 마스크 프레임은 살대홈을 구비하고, 상기 오픈 마스크 시트의 돌출단은 상기 살대홈에 삽입된 후 접합될 수 있다.

상기 돌출단을 제외한 살대의 영역은, 상기 오픈 마스크 시트 두께가 완전히 제거된 관통 구조 및 상기 오픈 마스크 시트 두께가 부분적으로 제거된 요홈 구조 중 적어도 하나를 포함하는 열버퍼 구조물이 형성될 수 있다.

상기 돌출단을 제외한 살대의 영역은, 상기 오픈 마스크 시트 영역 중에서 상기 복수의 박막 공정용 단위 개구부 이외의 영역에 의해 정의되거나; 또는 상기 오픈 마스크 시트 영역 중에서 상기 복수의 박막 공정용 단위 개구부 영역을 부분적으로 포함하여 정의될 수 있다.

본 발명에 따르면, 박막 공정에서 사용되는 오픈 마스크 조립체에 있어서, 오픈 마스크 시트의 메인 평면을 예컨대 서로 직교하는 2개의 방향에서 가로지르는 복수의 살대를 정의하고, 각 살대의 양 단부를 오픈 마스크 시트 가장자리로부터 돌출 형성하고, 이들 살대 각각을 인장시켜 그 양 단부를 마스크 프레임 상에 접합하는 방식으로 제조할 수 있도록 구성한 살대형 오픈 마스크 시트를 제공한다.

이러한 본 발명에 따르면, 오픈 마스크 시트는 서로 2개의 방향에서 직교하는 일종의 가상적인 살대들로 이루어진 가상 격자로 정의되는 특징을 제공한다. 나아가, 본 발명에 따르면 오픈 마스크 시트의 가장 격자를 형성하는 살대들만이 인장된다는 특징을 제공한다. 더 나아가, 본 발명에 따르면 오직 오픈 마스크 시트의 살대 단부 영역에서 마스크 프레임에 접합된다는 특징이 제공된다.

본 발명에 따라 오픈 마스크 시트 상에서 정의되는 가상 격자(vertual grid)는 예컨대 XY평면상에서 X방향의 하나 이상의 가상 살대와 이에 직교하는 Y방향의 하나 이상의 가상 살대들에 의해 형성된다고 생각될 수 있다. 동일 방향의 살대들은 서로 평행하게 배열된다. 이 가상 격자를 이루는 가상 살대는 오픈 마스크 시트 상에 형성되어 있는 각각의 단위 패턴부(즉, 박막 패턴 형성을 위한)의 위치와는 상관없이 정의될 수 있다. 다시 말해서, 가장 격자를 형성하는 살대들은 오픈 마스크 시트의 단위 패턴부들 사이의 영역에서 정의될 수 있고, 나아가 오픈 마스크 시트의 단위 패턴부 영역을 가로지르는 것으로도 정의될 수 있다.

그러므로, 본 발명에 따라 '살대'에 대응하는 영역은 오픈 마스크 시트를 이루는 금속 재질이 물리적으로 연속되어 있는 솔리드 영역뿐만 아니라 오픈 마스크 시트를 이루는 금속 재질이 물리적으로 없는 공간 영역을 포함할 수 있다.

본 발명에 따르면, 오픈 마스크 시트의 인장시, 오픈 마스크 시트의 가장자리 전체가 아니라, 가상 격자를 이루는 살대 부분만이 인장된다. 그러므로 오픈 마스크 시트의 가장자리의 모든 포인트에 인장력이 가해지는 기존 경우보다, 훨씬 적은 영역에 대해 인장력이 가해지는 것으로 충분하다. 이에 따라 오픈 마스크 시트는, 기존보다 약 70% 정도의 인장력을 가하는 것으로 충분한 장력을 유지시킬 수 있다.

일반적으로 금속의 탄성력은 인장되면 될수록 약해진다. 그러므로, 상대적으로 적은 인장력을 가하는 본 발명에 따른 오픈 마스크 시트는 기존의 상대적으로 큰 인장력을 가하는 경우 보다 훨씬 큰 탄성력을 유지할 수 있고 이에 따라 열충격에 대해 보다 강한 마스크 조립체를 구성할 수 있게 한다.

나아가 본 발명에 따르면, 오픈 마스크 시트의 가장자리를 따라 연속적으로 마스크 프레임 상에 접합되는 것이 아니라, 가장자리 영역 중 단지 가상격자의 살대의 단부에서 돌출된 영역(또는 돌출단)만이 마스크 프레임 상에 접합된다. 그리고 오픈 마스크 시트의 살대 돌출단이 형성되어 있지 않은 가장자리 부분은 마스크 프레임과 직접 접촉되지 않도록 간격을 가지게 배치될 수 있다. 이 경우 마스크 프레임에 대해 오픈 마스크 시트의 가장자리 중 살대 돌출단 부분만이 접하게 된다. 그러므로, 마스크 프레임 및 오픈 마스크 시트에서 발생되는 열응력은 살대 돌출단을 통해서만 상호간 전이될 수 있으므로, 전체적으로 열응력 전이 현상이 최소화될 수 있다.

더 나아가 본 발명에 따르면, 오픈 마스크 시트의 가상 격자의 솔리드 영역에는 오픈 마스크 시트 두께를 전부 식각한 관통홀 및/또는 부분 식각한 요홈 등과 같은 열버퍼 구조물을 더 구비하도록 제조된다. 이러한 관통홀 및 요홈 구조는, 오픈 마스크 시트 자체의 표면적을 증가시키고, 오픈 마스크 시트와 기판 사이에 접촉면적을 최소화할 뿐만 아니라, 오픈 마스크 시트에서 발생되는 변형이 관통홀이나 요홈 구조에 의해 흡수되도록 한다. 이에 따라 열충격에 대해 보다 강한 마스크 조립체를 구성할 수 있게 한다.

더 나아가 본 발명에 따르면, 오픈 마스크 시트의 가장자리에서 돌출된 상대적으로 폭이 좁은 살대 돌출단 만이 마스크 프레임 상에 접합되면 충분하다. 그러므로 마스크 프레임의 형상에 따라 살대 돌출단의 길이와 폭을 쉽게 적응시킬 수 있어, 단순한 공정에 의해 경제적으로 효율적으로 마스크 조립체를 제공할 수 있다는 장점이 제공된다.

도 1은 종래 오픈 마스크 조립체를 설명하기 위한 개략적인 평면도.
도 2는 종래 오픈 마스크 조립체에서 인장된 오픈 마스크 시트의 가장자리와 중앙부의 변형 상태를 보여주는 그래프.
도 3은 종래 오픈 마스크 조립체에 구비된 오픈 마스크 시트의 단위 개구부의 배열 형태를 예시하는 개략도.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 살대형 오픈 마스크 시트의 구조를 보여주는 개략도.
도 5는 도 4에 도시된 실시예에 따른 살대형 오픈 마스크 시트의 살대 인장 방식을 설명하기 위한 개략도.
도 6은 도 4에 도시된 실시예에 따른 살대형 오픈 마스크 시트의 제조 방법을 예시하는 흐름도.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 살대형 오픈 마스크 시트의 구조를 보여주는 개략도.
도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 살대형 오픈 마스크 시트의 구조를 보여주는 개략도.
도 9는 도 7 및 도 8에 도시된 실시예들에 따른 살대형 오픈 마스크 시트의 제조 방법을 예시하는 흐름도.
도 10은 본 발명의 실시예에 따른 살대형 오픈 마스크 시트를 인장하여 마스크 프레임에 부착하는 과정을 보여주는 개략도.
도 11은 본 발명의 실시예에 따른 살대형 오픈 마스크 시트를 인장하여 마스크 프레임에 부착하는 과정에서 살대 돌출단 부착 과정을 더 상세히 보여주는 개략도.
도 12는 본 발명의 실시예에 따른 살대형 오픈 마스크 시트가 마스크 프레임에 부착된 상태의 마스크 조립체를 보여주는 개략도.
도 13은 본 발명의 실시예에 따른 살대형 오픈 마스크 시트를 인장하여 마스크 프레임에 부착하여 마스크 조립체를 제조하는 과정을 보여주는 흐름도.
도 14는 본 발명의 실시예에 따른 살대형 오픈 마스크 시트를 인장하여 마스크 프레임에 부착하여 마스크 조립체를 제조하는 장치의 구성을 보여주는 블록도.

이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시예들을 설명한다. 참고로 이하의 기재사항 및 도면은 본 발명의 이해를 돕기 위한 예시일 뿐 발명의 기술범위를 한정하는 것이 아니다. 다시 말해, 아래에서 설명되는 실시예들은 현장에서 구현할 때 다양한 변형이 가능하며, 이들 변형이 본 발명의 기술사상 내에 있다면 본 발명에 속한다고 해야 할 것인 바, 본 발명의 기술사상은 이하의 설명을 통해 해상 기술 분야의 지식을 가진 자에게 쉽게 이해될 것이다.

도 1은 종래 마스크 조립체를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.

도 1을 참조하면, 마스크 프레임(12)에, 오픈 마스크 패턴(18)을 구비한 오픈 마스크 시트(16)를 접합한 형태의 오픈 마스크 조립체(10)가 도시된다. 이러한 마스크 조립체(10)는 예컨대 스마트폰 또는 스마트 워치 등에 구비되는 OLED 디스플레이를 제조하기 위한 웨이퍼 기판 상에 전극층, 발광층, 절연층 등의 박막을 적층하고 패턴화하기 위한 박막 공정에서 사용된다. 박막 공정에서, 적층될 금속, 유기물, 또는 절연물 등의 입자는 오픈 마스크 조립체(10)의 마스크 패턴 즉 개구부(18)들을 통과한 후, 마스크 조립체(10)와 접해 있는 기판 상에 적층될 수 있다.

정밀한 박막 패턴 형성을 위해 오픈 마스크 조립체(10)는 기판에 균일하게 밀착되어야 한다. 마스크 프레임(12)은 단지 오픈 마스크 시트(16)의 가장자리만을 지지한다. 그러므로 오픈 마스크 시트(16)의 중심부가 하중에 의해 쳐지는 현상이 방지되도록 하기 위해, 오픈 마스크 시트(16)는 가장자리(16a, 16b, 16c 및 16d)를 도시된 화살표 방향으로 각각 인장하여 팽팽하게 된 상태로 마스크 프레임(12) 상에, 예컨대 레이저 스폿 용접 방식으로, 접합되어 고정된다. 나아가 웨이퍼 기판 건너편에서 자력을 이용하여 오픈 마스크 시트(16)를 잡아당겨 웨이퍼 기판 상으로 밀착시킨다.

이에 따라, 마스크 프레임(12)의 내부 가장자리 라인(14)(도면에서 점선으로 표시된 라인)과 오픈 마스크 시트(16)의 가장자리(16a, 16b, 16c 및 16d) 라인 사이의 직사각형 프레임 형태의 영역(19)에서, 오픈 마스크 시트(16)는 마스크 프레임(12) 상에 연속적으로 접촉되고 지지된다.

그러나 이와 같은 종래의 오픈 마스크 조립체(10)는 박막 공정이 진행됨에 따라 오랫동안 고온에 노출되면서 발생되는 열변형에 의해 기판과의 밀착성이 떨어지게 되며, 이에 따른 새도우 현상으로 수율이 크게 감소되는 문제를 해결하지 못하고 있다.

도 2는 종래 오픈 마스크 조립체에서 인장된 오픈 마스크 시트의 가장자리와 중앙부의 변형 상태를 보여주는 그래프이다.

도 2를 참조하면, 예컨대 도 1에 도시된 바와 같은 형태의, 오픈 마스크 조립체에서 발생될 수 있는 변형 패턴(20)을 예시한다. 이 예에서, 오픈 마스크 조립체(10)는 0.1~0.2 mm 두께의 인바 합금으로 제조한 오픈 마스크 시트(16)와 스테인레스(SUS420)로 제조한 900 mm X 800 mm X 23 mm의 마스크 프레임(12)을 가장자리를 따라 연속적으로 레이져 스폿 용접하여 접합한 것이다.

예시된 바와 같이, 변형 패턴(20)의 중앙 부분(24)은 전체적으로 밑으로 쳐져 있는 형상을 보여준다. 이는 그 중앙 부분이 마스크 프레임에 의해 지지되지 않으므로 발생된다. 그런데 전체적으로 아래위로 굽이쳐 울퉁불퉁하게 변형되고 있는 특이 패턴을 보이고 있음을 알 수 있다. 이러한 특이 패턴은, 마스크 시트부에 장력을 부여하기 위하여 가하는 인장력에 의해 변형이 발생한 것이다.

도시된 것에서 알 수 있는 바와 같이, 비록 미세하기는 하지만, 장력 유지를 위해 인장력을 가함으로써 이미 변형이 시작되어 있는 상태에서, 파인 메탈 마스크 조립체가 오랜 박막 공정의 지속에 의해 고온에 계속해서 노출된다면, 이러한 변형 상태가 더욱 확대될 것은 자명하다.

그러므로 특히 오픈 마스크 조립체에서 발생하는 열변형 문제를 해결하기 위해서, 오픈 마스크 시트에 가하는 인장력을 감소시키고, 마스크 프레임과 오픈 마스크 시트 사이에 전이되는 열응력을 최소화할 수 있도록 구성한다면, 마스크 조립체의 열변형 특히 오픈 마스크 시트의 열변형을 크게 감소시킬 수 있을 것으로 예상된다.

도 3은 종래 마스크 조립체에 구비된 오픈 마스크 시트의 패턴 형태를 예시하는 개략도이다.

도 3을 참조하면, 도 3의 (a)는 예컨대 스마트폰을 위한 것과 같이 직사각형의 단위 개구부(33)가 격자형으로 규칙적으로 배열된 오픈 마스크 시트(32)를 보여준다. 도 3의 (b)는 예컨대 차량 계기판을 위한 것과 같이 부채꼴의 단위 개구부(35)가 격자형으로 규칙적으로 배열된 오픈 마스크 시트(34)를 보여준다. 한편 도 3의 (c)는 예컨대 스마트워치를 위한 것과 같이 원형의 단위 개구부(37)가 격자형으로 규칙적으로 배열된 오픈 마스크 시트(32)를 보여준다. 이외에도 단위 패턴 자체의 형태는, 예컨대 차량 내부의 계기판이나 디스플레이 패널 등과 같이, 대칭적이지 않은 형상을 가질 수 있다.

통상 OLED용 기판 하나는 약 30 ~ 250개의 OLED 디스플레이에 대응하는 크기의 증착면을 가지며, 이를 위해 하나의 오픈 마스크 시트(32, 34, 36)도 약 30 ~ 250개의 OLED 디스플레이에 대응하는 단위 개구부(33, 35, 37)을 가진다. 이러한 복수의 단위 개구부(33, 35, 37)들이 오픈 마스크 시트(32, 34, 36) 상에 반드시 격자형으로 배열될 필요는 없지만, 제조 및 가공의 편의성 때문에 제조 및 가공의 편의성 때문에 대개 n행 X m열의 행렬(n,m은 1 이상의 정수)로 배열되는 것이 일반적이다.

마스크 조립체 상에 오픈 마스크 시트(32, 34, 36)의 가장자리를 인장하여 접합할 때, 오픈 마스크 시트(32, 34, 36)의 중심부를 중력에 대항하도록 팽팽하게 당겨지도록 하는 장력을 유지시키는 주요 부분은, 그저 공간일 뿐인 단위 개구부(33, 35, 37) 영역 자체라기보다, 실질적으로는 단위 개구부(33, 35, 37)들 사이의 금속 재질이 연속되어 있는 영역이라고 생각할 수 있다.

그러므로 본 발명은 이러한 오픈 마스크 시트(32, 34, 36)에서 각 단위 개구부(33, 35, 37)들 사이의 영역(예컨대, 도 3에서 수평 및 수직 방향 화살표로 표시)들을 전체적으로 하나의 가상 격자(vertual grid)라고 가정한다. 그리고 이 가상 격자를 이루는 수평 및 수직의 '살대'들을 인장시킨다면 전체 오픈 마스크 시트(32, 34, 36)를 충분히 팽팽하게 인장시킬 수 있다는 새로운 아이디어를 제안한다.

이러한 본 발명의 가상 격자 및 살대의 개념은, 가장 격자의 살대의 양 단부만을 마스크 프레임에 접촉시킬 수 있게 함으로써, 마스크 프레임과 오픈 마스크 시트 사이의 접촉 영역을 최소화할 수 있도록 하는 새로운 구조를 제안할 수 있게 한다. 이러한 새로운 구조에 의하면, 오픈 마스크 시트의 가장자리들 전체가 연속적으로 마스크 프레임에 접촉하는 것이 아니라, 단지 오픈 마스크 시트의 가장자리에서 돌출되도록 연장된 가상 격자의 살대의 단부만을 마스크 프레임에 접촉되도록 할 수 있다. 이에 따라, 마스크 프레임과 오픈 마스크 시트 사이의 접촉 영역을 최소화할 수 있고, 그 결과 마스크 프레임의 열응력이 오픈 마스크 시트로 전달되는 현상이 최소화될 수 있다.

이하에서, 도 4 내지 도 14를 참조하여, 상술한 가상 격자 및 살대 개념에 따라 구성한 살대형 오픈 마스크 시트, 이를 이용한 오픈 마스크 조립체, 및 그 제조 방법과 장치가 설명된다.

도 4는 본 발명의 실시예에 따른 살대형 오픈 마스크 시트의 구조를 보여주는 개략도이다.

도 4를 참조하면, 살대형 오픈 마스크 시트(40)가 도시된다. 이하에서 설명의 편의를 위해, 도면에 표시된 X축과 평행한 방향을 수평방향(또는 좌우방향)이라고도 칭하고, 동일 평면에서 이에 직각인 Y축과 평행한 방향을 수직방향(또는 상하방향)으로도 지칭한다. X축과 Y축은 오픈 마스크 시트(40)의 중심축들이다.

본 발명에 따라 오픈 마스크 시트(40) 내에서 가정되는 '가상 격자' 및 이 가상 격자를 이루는 가상적인 '살대'들은 X축 및 Y축을 중심으로 대칭적으로 배치된다. 여기서 '대칭적'이라 함은, 살대들 사이의 간격, 살대의 두께(즉, 그 길이방향에 대해 수직한 방향의 길이), 살대 양단의 돌출단의 크기와 형태 등에 있어서, X축 및 Y축을 중심으로 대칭적이라는 것을 포함하는 의미로 사용될 수 있다. 이는 대체로 직사각형의 오픈 마스크 시트(40)에 대해 전체적으로 균일한 인장력을 가할 수 있게 하기 위해서이다.

오픈 마스크 시트(40)는 수평방향의 가상 격자의 살대(42)와 수직방향의 가상 격자의 살대(44)로 이루어지는 가상 격자를 포함한다. 가상 격자는 전체적으로 오픈 마스크 시트(40) 내에 형성된 단위 개구부(46)들 사이의 영역에 대응하는 형태를 가질 수 있다.

이하에서는 비록 가상격자의 살대들이, 전체 오픈 마스크 시트(40)의 영역 중에서, 단위 패턴부(46)들을 제외한, 솔리드 영역에서 정의되지만, 본 발명이 반드시 이러한 형태의 살대만을 정의하는 것은 아니다. 예컨대 단위 패턴부 각각이 규모가 크고 불규칙한 경우와 같이, 단위 패턴부들 사이의 솔리드 영역으로는 충분한 수의 살대를 정의할 수 없는 경우에, 단위 패턴부를 통과하는 형태의 살대를 추가로 정의하는 것도 가능하다.

각각의 살대(42, 44)의 양 단부(43, 45)는 오픈 마스크 시트(40)의 가장자리를 따라 돌출된다. 각각의 살대(42, 44)의 단부(43, 45)는, 각 살대와 동일한 방향에서, 서로 반대 방향으로 동일 폭과 동일 길이를 가진 동일 형상으로 쌍으로 구비된다. 오픈 마스크 시트(40)의 살대(42, 44)에 의해 대체로 직사각형의 단위 개구부(46)가 한정된다. 단위 개구부(46)는 단순히 아무것도 없는 전체적으로 개방된 공간이며, 각각의 단위 개구부(46)에 의해 한정되는 영역은 웨이퍼 기판 상에서 각각의 하나의 디스플레이 영역을 정의한다.

도시된 예에서 오픈 마스크 시트(40)는 수평방향으로 평행한 5개의 수평 살대(42)와 수직방향으로 평행한 9개의 수직 살대(44)를 구비한다. 살대(42 또는 44) 각각의 양 단부는 각각 수평 또는 수직의 서로 다른 방향으로 연장하는 돌출단(43 또는 45)의 쌍을 구비한다. 각 돌출단(43 또는 45)의 폭(W)과 길이(L)는 동일할 필요가 없지만, 하나의 살대 양단에 있는 돌출단 쌍은 동일한 폭과 길이를 가진다. 각각의 돌출단(43, 45)의 전체 영역은 마스크 프레임 상에, 예컨대 레이저 스폿 용접 방식으로 접합되는 접합영역(43a) 및 접합되지 않는 브릿지영역(43b)으로 분리될 수 있다. 브릿지영역(43b)은 접합영역(43a)과 오픈 마스크 시트(40)의 가장자리를 이어주는 영역이다.

비록 도시된 예에서, 오픈 마스크 시트는 특정한 갯수의 수평 살대와 수직 살대를 가지며 살대들에 의해 한정된 대체로 직사각형의 단위 개구부를 포함하는 것으로 설명되었으나, 이는 단지 예시에 불과하며, 본 발명은 가상적으로 격자 형태를 가지는 단위 개구부 사이 영역을 구비하는 오픈 마스크 시트인 경우라면 충분하며, 본 발명이 예시된 형태의 오픈 마스크 시트로 제한될 필요는 없음은 당업자에게 자명하다.

도 5는 도 4에 도시된 실시예에 따른 살대형 오픈 마스크 시트의 살대 인장 방식을 설명하기 위한 개략도이다.

도 5를 참조하면, 오픈 마스크 시트(50)는 수평방향의 서로 평행한 복수의 살대(52), 수직방향의 서로 평행한 복수의 살대(54), 및 이들 살대(52, 54)에 의해 둘러싸인 복수의 단위 개구부(56)를 포함한다. 오픈 마스크 시트(50)의 각 살대 양 단부는 오픈 마스크 시트(50)의 가장자리에서 돌출된다.

도시된 바와 같이, 수평 살대(52) 각각은 그것의 길이 방향 즉 수평방향에서 서로 반대로 연장한 두 개의 돌출단(53-1, 53-2)를 가진다. 이 두 개의 돌출단(53-1, 53-2)는 해당 살대에 대해 연장 방향이 서로 반대이고 크기와 형태가 동일한 쌍을 이룬다. 마찬가지로 수직 살대(54) 각각은 그것의 길이 방향 즉 수직방향에서 서로 반대로 연장한 두 개의 돌출단(55-1, 55-2)를 가진다. 이 두 개의 돌출단(55-1, 55-2)는 해당 살대에 대해 연장 방향이 서로 반대이고 크기와 형태가 동일한 쌍을 이룬다.

그러므로 이러한 구조에서, 각각의 살대에 대해 양단의 돌출단 쌍을 잡고 양방향으로 인장함으로써 각각의 살대를 인장할 수 있다.

도 6은 도 4에 도시된 실시예에 따른 살대형 오픈 마스크 시트의 제조 방법을 예시하는 흐름도이다.

도 6을 참조하면, 먼저 예컨대 인바 합금으로 된 금속 시트를 준비한다. 본 발명에 따른 살대형 오픈 마스크 시트는, 도시된 습식 식각 방식의 경우, 이 금속 시트에 소정 마스크 패턴 및 살대의 돌출단를 위한 패턴을 형성한 후 소정 에칭액을 이용하여 에칭함으로써 제조될 수 있다. 이 외에도, 살대형 오픈 마스크 시트는 건식 식각 방식, 레이저 가공 방식 등으로도 제조될 수 있다.

도시된 예에서 먼저, 금속 시트 상에 에칭액에 대해 반응하지 않는 재질의 보호층을 형성한다(61). 보호층에는 예컨대 레이저를 이용하여 최종적인 마스크 패턴 및 살대 패턴을 위한 에칭 패턴을 형성한다(63). 에칭 패턴은 보호층의 일부를 제거함으로써 형성된다. 그런 다음, 에칭액으로 처리함으로써 에칭 처리한다(65). 그러면, 금속 시트 중에서 보호층이 덮여 있는 부분을 제외하고, 보호층이 제거된 금속 시트 부분이 에칭액에 의해 녹아 제거된다. 이후 보호층을 제거하면(67), 최종적으로, 예컨대 도 4에 도시된 오픈 마스크 시트, 즉 단위 개구부(46) 및 돌출단(43, 45)이 형성된, 살대형 오픈 마스크 시트(40)의 제조가 완료된다(69).

상술한 살대형 오픈 마스크 시트 제조과정은 통상적인 습식 식각 방식으로 마스크 패턴을 형성한 마스크 시트의 제조 과정과 유사하며, 단지 돌출단이 더 형성되는 것만이 상이하다. 그러므로 본 발명에 따른 살대형 오픈 마스크 시트 제조 방법은 기존 통상적인 오픈 마스크 시트를 제조하는 과정을 통해 제조될 수 있다는 장점을 제공한다.

도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 살대형 오픈 마스크 시트의 구조를 보여주는 개략도이다.

도 7을 참조하면, 도 4의 살대형 오픈 마스크 시트(40) 중 살대 영역에 관통홀과 요홈 등의 열버퍼 구조물이 추가 형성된 살대형 오픈 마스크 시트(70)가 도시된다.

본 발명에 따라 오픈 마스크 시트(70)는 상술한 도 4의 오픈 마스크 시트(40)와 유사하게 수평방향의 가상 격자의 살대(72)와 수직방향의 가상 격자의 살대(74)로 이루어지는 가상 격자를 포함하고, 살대(72, 74)에 의해 둘러싸인 단위 개구부(76)를 포함한다. 살대(72 또는 74) 각각의 양 단에는 각각 수평 또는 수직의 서로 다른 방향으로 연장하는 돌출단(73 또는 75)의 쌍을 구비한다.

도시된 예에서, 오픈 마스크 시트(70)는 상술한 도 4의 오픈 마스크 시트(40)의 구성에 추가하여, 각각의 살대(72, 74)에 관통홀(77) 및/또는 요홈(78)이 추가로 형성된다. 관통홀(77)은 오픈 마스크 시트(70)의 두께를 완전히 관통한 구멍이며, 요홈(78)은 절반 정도 깍아낸 오목부이다. 이들 관통홈(77)과 요홈(78)은, 박막 공정 중 오픈 마스크 시트(70)와 기판 사이의 접촉면적을 최소화하면서도, 오픈 마스크 시트(70)의 표면적을 증가시켜 열확산을 증가시키도록 하고, 나아가 오픈 마스크 시트(70)에서 발생되는 열변형 현상이 흡수될 수 있도록 하는 버퍼 역할을 할 수 있다.

이러한 관통홀(77)은 단위 개구부(76)를 형성하기 위한 에칭 공정과 함께 이루어질 수 있다. 요홈(78)의 경우, 하프 에칭 공정에 의해 이루어질 수 있다. 하프 에칭 공정은, 관통홀(77) 및 단위 개구부(76)를 형성하기 위한 에칭 공정과 동일한 에칭액과 과정을 이용하여 수행될 수 있다.

도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 살대형 오픈 마스크 시트의 구조를 보여주는 개략도이다.

도 8을 참조하면, 도 7의 살대형 오픈 마스크 시트(70) 중 돌출단 외측으로 가드 스트립이 형성된 살대형 오픈 마스크 시트(80)가 도시된다.

본 발명에 따라 오픈 마스크 시트(80)는 상술한 도 4 또는 도 7의 오픈 마스크 시트(40, 70)와 유사하게 수평방향의 가상 격자의 살대(82)와 수직방향의 가상 격자의 살대(84)로 이루어지는 가상 격자를 포함하고, 살대(82, 84)에 의해 둘러싸인 단위 개구부(86)를 포함한다. 살대(82 또는 84) 각각의 양 단에는 각각 수평 또는 수직의 서로 다른 방향으로 연장하는 돌출단의 쌍을 구비한다.

돌출단(83, 85) 외측에 형성된 가드 스트립(88)은, 돌출단(83, 85)을 보호하는 역할을 할 수 있지만, 각 돌출단(83, 85)을 인장하기 위해 인장 장치에 연결할 때 용이하게 연결하기 위한 보조 도구의 역할을 담당할 수 있다.

가드 스트립(88)은 오픈 마스크 시트(80)를 마스크 프레임에 접합한 후에는 필요없으므로 절단하여 제거한다. 가드 스트립(88)의 제거를 용이하게 하기 위하여, 가드 스트립(88)과 돌출단(83, 85) 사이에 절단 라인(89)이 형성될 수 있다. 일 예에서, 절단 라인(89)은 금속 시트의 두께를 절반 정도 깍아낸 형태이며, 이 경우 손으로 가드 스트립(88)을 잡고 접는 단순한 동작에 의해, 쉽게 가드 스트립(88)을 떼어낼 수 있다.

도시된 예에서, 가드 스트립(88)은 오픈 마스크 시트(80)를 제조하기 위한 금속 시트의 가장자리 부분에 의해 형성된다. 가드 스트립(88)은 가드 스트립(88)과 돌출단(83, 85) 사이의 영역을 제거함으로써 형성될 수 있으므로, 단위 개구부(86)를 형성하기 위한 에칭 공정과 함께 제조될 수 있다. 절단 라인(89)의 경우, 하프 에칭 공정에 의해 이루어질 수 있다. 하프 에칭 공정은, 상술한 바와 같이 가드 스트립(88) 및 단위 개구부(86)를 형성하기 위한 에칭 공정과 동일한 에칭액과 과정을 이용하여 수행될 수 있다.

도 9는 도 7 및 도 8에 도시된 실시예들에 따른 살대형 오픈 마스크 시트의 제조 방법을 예시하는 흐름도이다.

도 9를 참조하면, 먼저 예컨대 인바 합금으로 된 금속 시트를 준비한다. 도 7 및 도 8에 도시된 예에 따른 살대형 오픈 마스크 시트는 이 금속 시트에 소정 마스크 패턴, 가드 스트립 및 살대의 돌출단을 위한 풀 에칭 패턴, 및 요홈이나 절단 라인 등을 형성하기 위한 하프 에칭 패턴을 형성한 후 에칭 처리함으로써 제조될 수 있다.

이를 위해 먼저, 금속 시트 상에 에칭액에 대해 반응하지 않는 재질의 보호층을 형성한다(91). 보호층에는 마스크 패턴 및 살대 패턴, 관통홀, 및/또는 가드 스트립을 위한 에칭 패턴과, 절단 라인 및/또는 요홈을 위한 하프-에칭 패턴을 형성한다(93). 그런 다음, 에칭 패턴과 하프-에칭 패턴을 형성한 것을 에칭액으로 소정 시간 처리함으로써 에칭 및 하프-에칭처리한다(95). 그러면, 금속 시트 중에서 에칭 패턴과 하프-에칭 패턴에 대응하는 금속 시트 부분이 에칭액에 의해 녹아 제거되거나 두께 중 절반이 깍여진다. 이후 보호층을 제거하면(97), 최종적으로, 예컨대 도 7 또는 도 8에 도시된 오픈 마스크 시트(70, 80)가 제조된다(99).

상술한 살대형 오픈 마스크 시트 제조과정은 통상적인 에칭으로 마스크 패턴을 형성한 마스크 시트의 제조 과정과 유사하며, 단지 돌출단, 이에 연결되는 가드 스트립, 가상 격자 영역에 형성되는 관통홀 및/또는 요홈, 및/또는 절단 라인 등의 패턴 요소들이 더 형성되는 것만이 상이하다. 그러므로 본 발명에 따른 살대형 오픈 마스크 시트 제조 방법은 기존 통상적인 마스크 시트를 제조하는 과정을 통해 유사한 방식으로 제조될 수 있다는 장점을 제공한다.

도 10은 본 발명의 실시예에 따른 살대형 오픈 마스크 시트를 인장하여 마스크 프레임에 부착하는 과정을 보여주는 개략도이다.

도 10을 참조하면, 상술한 바와 같은 구조를 가지는 살대형 오픈 마스크 시트(104)의 각 가상 격자의 살대의 돌출단(105)을 쌍으로 인장하여 마스크 프레임(102)에 접합하는 과정으로 직관적으로 보여준다.

도면에서, 각각의 화살표는 각 돌출단(105) 쌍 사이의 살대들을 동시에 인장하는 방향과 위치를 나타낸다. 실질적으로, 이러한 인장 방향 및 인장 위치는, 예컨대 도 1을 참조하여 상술한 바와 같은, 기존에 소정 박막 패턴용 개구부 패턴이 형성된 한 장의 오픈 마스크 시트의 가장자리를 인장하여 마스크 프레임에 그 가장자리를 접합하는 과정과 전체적으로는 매우 유사하다.

그러나, 종래에는 오픈 마스크 시트의 가장자리를 전체적으로 또는 띄엄띄엄한 위치들에서 붙잡고 오픈 마스크 시트의 전체 영역에 인장력을 가하는 것에 비하여, 본 발명은 패턴 시트(104) 영역에서 2개의 직교하는 가상 살대로 이루어진 가상 격자를 정의하고, 이 가상 격자의 각각의 살대를 인장한다는 점에서 차이가 있다. 즉 본 발명에 따르면 패턴 시트의 가장자리 중 띄엄띄엄 떨어진 위치에서 서로 반대방향으로 돌출되어 있는 돌출단(105) 쌍 사이에 있는 각 살대에 인장력을 가한다.

나아가, 종래에는 오픈 마스크 시트의 가장자리를 따라 연속으로 마스크 프레임 상에 접합하는 것에 비하여, 본 발명은 오픈 마스크 시트(104) 영역 내에서 임의로 가상 격자를 정의하고, 이 가상 격자의 각각의 살대의 양단, 즉 오픈 마스크 시트의 가장자리 중 띄엄띄엄 떨어진 위치에서 돌출된 돌출단(105)의 적어도 일부만을, 마스크 프레임(102)에 접합한다는 점에서 차이가 있다.

이에 따르면, 본 발명에 따른 오픈 마스크 시트의 인장 및 접합 과정은 기존의 한 장의 마스크 시트의 가장자리를 인장하여 마스크 프레임에 그 가장자리를 접합하는 과정과 매우 유사하기 때문에, 기존에 사용하던 제조 과정과 제조 장치를 큰 변경없이 대체로 매우 유사한 과정을 통해 이용할 수 있다는 장점을 제공한다.

나아가, 본 발명은, 마스크 시트의 가장자리 전체를 마스크 프레임에 접합하는 기존 방식에 비하여, 단지 오픈 마스크 시트의 돌출단 쌍들만을 마스크 프레임에 접합하기 때문에, 마스크 프레임과 오픈 마스크 시트 사이의 접촉 영역이 최소화될 수 있다는 장점을 제공한다.

더 나아가, 본 발명에 따르면, 마스크 시트의 가장자리 전체를 균일하게 인장하여 마스크 프레임에 접합하는 기존 방식에 비하여, 단지 오픈 마스크 시트의 돌출단 쌍들만을 균일하게 인장하여 마스크 프레임에 접합하기 때문에, 상대적으로 더 적은 인장력으로도 충분한 장력을 제공할 수 있다는 장점이 제공될 수 있다.

도시된 예에서, 마스크 프레임(102)은 오픈 마스크 시트(104)의 돌출단(105)이 접합되기 용이하도록 내부 가장자리를 따라 형성된 돌출 영역(103)을 구비한다. 오픈 마스크 시트(104)의 돌출단(105)은 돌출 영역(103) 상에 형성된 살대홈에 삽입된 상태로 용접될 수 있다.

도 11은 도 10에 도시된 본 발명의 실시예에 따른 살대형 오픈 마스크 시트를 인장하여 마스크 프레임에 부착하는 과정에서 살대 돌출단 부착 과정을 더 상세히 보여주는 개략도이다.

도 11을 참조하면, 오픈 마스크 시트의 살대 단부 즉 돌출단(116)는 살대홈(114)에 삽입된 상태로 예컨대 레이저 스폿 용접될 수 있다. 살대홈(114)은 마스크 프레임(110)의 내부 가장자리를 따라 형성된 돌출 영역(112)(도 10의 돌출 영역(103)에 대응) 중에 돌출단(116)이 접합될 부분을 부분적으로 깍아내어 형성될 수 있다. 이 경우, 오픈 마스크 시트의 상부면(즉, 돌출단(116)의 상부면)이 마스크 프레임(110)의 상부면과 동일면에 놓일 수 있다는 장점이 제공된다.

도 12는 본 발명의 실시예에 따른 살대형 오픈 마스크 시트가 마스크 프레임에 부착된 상태의 마스크 조립체를 보여주는 개략도이다.

도 12를 참조하면, 마스크 프레임(122)에 살대형 오픈 마스크 시트(124)를 접합한 마스크 조립체(120)가 예시된다. 도시된 예에서, 오픈 마스크 시트(124)는 다수의 수평 살대(1242) 및 다수의 수직 살대(1244)로 이루어진 가상 격자를 구비하며, 이들에 의해 한정되는 다수의 단위 개구부(1246)를 구비한다.

도시된 바와 같이, 오픈 마스크 시트(124)의 수직 살대(1244)의 돌출단(1245) 중 일부인 접합영역(1245a) 만이 마스크 프레임(122)의 살대홈에 접합된다. 한편 돌출단(1245) 중 나머지 일부인 브릿지영역(1245b)은 마스크 프레임(122)에 접합되지 않는다. 그 결과, 마스크 프레임(122)의 내부 가장자리 라인(1221)과 오픈 마스크 시트(124)의 가장자리가 서로 공간적으로 간격(128)을 가지고 떨어져 배치될 수 있다. 이러한 구조는 유사하게 수평 살대(1242)의 돌출단(1243)에 대해서도 적용된다.

이에 따라, 오픈 마스크 시트(124)가 훨씬 적은 인장력에 의해 충분한 장력을 유지할 수 있으면서도 동시에 마스크 프레임(122)과 오픈 마스크 시트(124)의 접촉 영역이 매우 작게 될 수 있다. 그 결과 마스크 프레임(122)과 오픈 마스크 시트(124)가 서로 다른 재질 또는 동일 재질이라도 서로 다른 형태로 만들어져 있기 때문에, 동일 온도에서 서로 다른 열변형이 발생할 때, 마스크 프레임(122)과 오픈 마스크 시트(124) 사이에서 열응력이 전이되는 현상이 최소화될 수 있다.

도 13은 살대형 오픈 마스크 시트를 이용하여 마스크 조립체를 제조하는 과정을 보여주는 흐름도이다.

도 13을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체의 제조 방법(140)이 예시된다. 먼저, 살대홈을 형성한 마스크 프레임을 제작하는 단계(131)와 상술한 본 발명에 따른 살대형 오픈 마스크 시트를 제작하는 단계(133)가 진행된다. 두 단계는 서로 다른 순서로 또는 동시에 진행될 수 있다.

이 경우, 마스크 프레임은 대체로 직사각형의 개구부를 둘러싸는 직사각형의 프레임 부분을 포함한다. 이러한 마스크 프레임은 예컨대 약 5 ~ 80 mm의 두께를 가진 인바합금 또는 스테인레스(SUS420)으로 제조될 수 있다. 마스크 프레임의 직사각형 프레임 중 내부면측으로 형성된 돌출영역 상에 다수의 살대홈이 형성될 수 있다. 본 예에서 마스크 프레임은 살대홈을 구비하지만, 본 발명이 반드시 살대홈을 구비한 마스크 프레임을 사용해야 하는 것은 아니며, 살대홈이 없는 마스크 프레임을 이용할 수 있음은 자명하다.

한편, 오픈 마스크 시트에는 증착을 위한 단위 개구부 및 살대 양단의 돌출단 및/또는 기타 부속 구조들이 형성된다. 이들 개구부 패턴, 돌출단 및/또는 기타 부속 구조들은 예컨대 습식 식각, 건식 식각, 또는 레이저 가공에 의해 형성될 수 있다. 오픈 마스크 시트는 예컨대 인바합금으로 형성될 수 있고, 두께는 약 0.01 ~ 5 mm일 수 있다.

이와 같이 마스크 프레임과 살대형 오픈 마스크 시트가 준비되면, 그 다음에 마스크 프레임에 살대형 오픈 마스크 시트를 인장하여 접합한다. 먼저, 인장 단계(135)에서 살대형 오픈 마스크 시트의 가장자리를 따라 돌출된 살대의 돌출단 쌍들을 서로 반대 방향으로 잡아당겨, 각 돌출단 쌍들 사이의 살대들을 인장시킨다.

최종적으로, 접합 단계(137)에서 수직 및 수평방향의 살대들이 인장된 결과 팽팽하게 장력이 가해진 오픈 마스크 시트 중, 그 가장자리를 따라 돌출단들을 마스크 프레임의 살대홈들에 삽입하여 예컨대 레이저 스폿 용접에 의해 접합한다.

도 14는 본 발명의 실시예에 따른 살대형 오픈 마스크 시트를 이용하여 마스크 조립체를 제조하는 장치의 구성을 보여주는 블록도이다.

도 14를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체 제조 장치(140)의 구성이 예시된다. 도시된 예에서, 마스크 조립체의 제조 장치(140)는, 미리 제조되어 있는 오픈 마스크 시트 및 마스크 프레임을 이용하여 마스크 조립체를 제조하는 조립 장치이다. 이 장치는 오픈 마스크 시트를 인장하여 마스크 프레임 상에 접합하는 한편, 정렬 마크를 마킹하는 장치이다. 이를 위하여, 제조 장치(140)는 제어부(141), 인장부(143), 접합부(145), 및 마킹부(147)를 포함하여 구성될 수 있다.

제어부(141)는 각부를 제어하는 제어 컴포넌트이다. 비록 도시되어 있지 않지만, 제어부(141)는 각부를 제어하는 프로세싱 디바이스 뿐만 아니라, 사용자가 장치를 조작하고 필요한 명령 또는 설계 데이터를 입력하기 위한 입출력 디바이스와, 각부의 제어 동작에 필요한 프로그램과 데이터를 저장하는 저장 디바이스, 및 정렬 마크의 위치를 결정하기 위하여 마스크 조립체의 적어도 일부를 센싱하는 센서(예컨대, 카메라 모듈 등) 등 부가적인 디바이스를 더 포함할 수 있다.

인장부(143)는 본 발명에 따라 제조된 오픈 마스크 시트의 가장자리를 따라 형성된 돌출단 쌍을 인장하는 컴포넌트이다. 인장부(143)는 종래 한 장의 마스크 시트의 가장자리를 인장할 때 사용하는 인장 장치를 이용하여 유사하게 구성될 수 있다. 본 발명에 따른 인장부(143)는 특히 오픈 마스크 시트의 가장자리를 따라 형성된 돌출단 쌍을 각각 고정하여 반대방향으로 인장력을 부여하도록 구성된다.

접합부(145)는 마스크 프레임 상에, 또는 마스크 프레임 상에 형성된 살대홈에 인장된 복수의 돌출단을 삽입한 상태로 접합하는 컴포넌트이다. 예컨대 마스크 프레임 상에 오픈 마스크 시트를 레이저 스폿 용접하는 레이저 용접기를 포함할 수 있다. 접합부(145)는 종래 마스크 조립체를 제조할 때 사용하는 접합 장치를 이용하여 유사하게 구성될 수 있다. 이 경우, 종래의 레이저 용접기는 오픈 마스크 시트의 가장자리를 따라 스폿 용접하는 것임에 비하여, 본 발명에 따른 레이저 용접기는 오픈 마스크 시트의 돌출단을 따라 용접하는 것만이 상이하다.

이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였으나, 본 발명은 전술한 실시예에 한정되지 않고 다양한 형태로 변형 또는 수정되어 실시될 수 있고, 변형 또는 수정된 실시예도 후술하는 특허청구범위에 개시된 본 발명의 기술적 사상을 포함한다면 본 발명의 권리범위에 속함은 물론이다.

Claims (20)

1. 박막 공정용 오픈 마스크 조립체의 마스크 프레임에 소정 인장력이 가해진 상태로 접합되며, 복수의 박막 공정용 단위 개구부들을 구비하는 오픈 마스크 시트로서,
   상기 오픈 마스크 시트의 표면에서 정의되는 서로 직교하는 2개의 방향에서 각각 연장되며, 상기 오픈 마스크 시트의 서로 직교하는 2개의 중심축에 대해 서로 대칭적으로 배치되는, 복수의 살대를 포함하여 정의되는 가상 격자;
   상기 가상 격자의 살대 각각의 양 단부에서 서로 반대 방향으로 돌출된 복수의 돌출단; 및
   상기 복수의 돌출단 외측에, 상기 복수의 돌출단의 단부들에 그 내측이 연결되고, 상기 오픈 마스크 시트의 영역을 둘러싸는 형태의 가드 스트립을
   포함하는 살대형 오픈 마스크 시트.
   
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 복수의 돌출단은,
   각각의 살대 양단에서 서로 동일한 폭과 길이를 가지며;
   상기 오픈 마스크 시트의 서로 직교하는 2개의 중심축에 대해 서로 대칭적인 형상으로 배치되는 살대형 오픈 마스크 시트.
   
3. 제 2 항에 있어서,
   상기 복수의 돌출단 각각의 영역은,
   상기 마스크 프레임에 접합되는 접합영역; 및
   상기 접합영역과 상기 가상 격자를 이어주면서 상기 마스크 프레임에 접합되지 않는 브릿지영역을 구비하는 살대형 오픈 마스크 시트.
   
4. 제 3 항에 있어서,
   상기 접합영역은 일정한 폭(W)을 가지며,
   상기 브릿지영역의 폭은 상기 접합영역의 폭 크기에서부터 상기 가상 격자로 갈수록 점차적으로 또는 단계적으로 증가하는 살대형 오픈 마스크 시트.
   
5. 제 1 항에 있어서,
   상기 돌출단을 제외한 살대의 영역은,
   상기 오픈 마스크 시트 영역 중에서 상기 복수의 박막 공정용 단위 개구부 이외의 영역에 의해 정의되는 살대형 오픈 마스크 시트.
   
6. 제 1 항에 있어서,
   상기 돌출단을 제외한 살대의 영역은,
   상기 오픈 마스크 시트 영역 중에서 상기 복수의 박막 공정용 단위 개구부 영역을 부분적으로 포함하여 정의되는 살대형 오픈 마스크 시트.
   
7. 제 1 항에 있어서,
   상기 돌출단을 제외한 살대의 영역은,
   상기 오픈 마스크 시트 두께가 완전히 제거된 관통 구조 및 상기 오픈 마스크 시트 두께가 부분적으로 제거된 요홈 구조 중 적어도 하나를 포함하는 열버퍼 구조물이 형성되는 살대형 오픈 마스크 시트.
   
8. 삭제
9. 제 1 항에 있어서,
   상기 가드 스트립과 상기 복수의 돌출단들과 연결된 부위에는 절단하기 쉽게 하기 위해 상기 오픈 마스크 시트 두께가 적어도 부분적으로 제거되어 형성되는 절단라인이 구비되는 살대형 오픈 마스크 시트.
   
10. 마스크 프레임 상에 복수의 박막 공정용 단위 개구부들을 구비하는 오픈 마스크 시트를 접합함으로써 박막 공정용 오픈 마스크 조립체를 제조하는 방법으로서,
    상기 마스크 프레임에 소정 인장력이 가해진 상태로 접합되는 상기 오픈 마스크 시트로서, 상기 오픈 마스크 시트의 표면에서 정의되는 서로 직교하는 2개의 방향에서 각각 연장되며, 상기 오픈 마스크 시트의 서로 직교하는 2개의 중심축에 대해 서로 대칭적으로 배치되는, 복수의 살대를 포함하여 정의되는 가상 격자; 상기 가상 격자의 살대 각각의 양 단부에서 서로 반대 방향으로 돌출된 복수의 돌출단; 및 상기 복수의 돌출단 외측에, 상기 복수의 돌출단의 단부들에 그 내측이 연결되고, 상기 오픈 마스크 시트의 영역을 둘러싸는 형태의 가드 스트립을 구비하는 살대형 오픈 마스크 시트를 제작하는 시트 제작단계;
    상기 가드 스트립을 통하여 상기 돌출단들 사이의 살대들 각각을 서로 대향하는 양방향으로 인장하는 인장 단계;
    상기 인장된 상태에서 상기 돌출단 각각의 영역 중 적어도 일부를 마스크 프레임에 접합한 후 상기 가드 스트립을 절단하는 접합 단계를
    포함하는, 살대형 오픈 마스크 시트를 이용한 오픈 마스크 조립체 제조 방법.
    
11. 제 10 항에 있어서,
    상기 접합 단계는,
    상기 돌출단이 그로부터 돌출되어 있는 상기 오픈 마스크 시트의 가장자리 라인이 상기 마스크 프레임의 내부면과 소정 간격을 가지고 떨어진 상태로 배치된 상태에서 상기 돌출단의 일부만을 상기 마스크 프레임 상에 접합하는, 살대형 오픈 마스크 시트를 이용한 오픈 마스크 조립체 제조 방법.
    
12. 제 10 항에 있어서,
    상기 마스크 프레임은 상기 오픈 마스크 시트의 돌출단이 삽입되어 접합되도록 하는 살대홈을 구비하고,
    상기 접합 단계에서, 상기 오픈 마스크 시트의 돌출단은 상기 살대홈에 삽입된 후 접합되는, 살대형 오픈 마스크 시트를 이용한 오픈 마스크 조립체 제조 방법.
    
13. 삭제
14. 마스크 프레임 상에 복수의 박막 공정용 단위 개구부들을 구비하는 오픈 마스크 시트를 접합함으로써 박막 공정용 오픈 마스크 조립체를 제조하는 장치로서,
    상기 마스크 프레임에 소정 인장력이 가해진 상태로 접합되며, 상기 오픈 마스크 시트의 표면에서 정의되는 서로 직교하는 2개의 방향에서 각각 연장되며, 상기 오픈 마스크 시트의 서로 직교하는 2개의 중심축에 대해 서로 대칭적으로 배치되는, 복수의 살대를 포함하여 정의되는 가상 격자; 상기 가상 격자의 살대 각각의 양 단부에서 서로 반대 방향으로 돌출된 복수의 돌출단; 및 상기 복수의 돌출단 외측에, 상기 복수의 돌출단의 단부들에 그 내측이 연결되고, 상기 오픈 마스크 시트의 영역을 둘러싸는 형태의 가드 스트립을 구비하는 살대형 오픈 마스크 시트에서, 상기 가드 스트립을 통하여 상기 돌출단들 사이의 살대들 각각을 서로 대향하는 양방향으로 인장하는 인장부;
    상기 인장된 상태에서 상기 돌출단 각각의 영역 중 적어도 일부를 마스크 프레임에 접합한 후 상기 가드 스트립을 절단하는 접합부를
    포함하는, 살대형 오픈 마스크 시트를 이용한 오픈 마스크 조립체 제조 장치.
    
15. 제 14 항에 있어서,
    상기 접합부는,
    상기 돌출단이 그로부터 돌출되어 있는 상기 오픈 마스크 시트의 가장자리 라인이 상기 마스크 프레임의 내부면과 소정 간격을 가지고 떨어진 상태로 배치된 상태에서 상기 돌출단의 일부만을 상기 마스크 프레임 상에 접합하는, 살대형 오픈 마스크 시트를 이용한 오픈 마스크 조립체 제조 장치.
    
16. 마스크 프레임 상에 복수의 박막 공정용 단위 개구부들을 구비하는 오픈 마스크 시트를 접합한 박막 공정용 오픈 마스크 조립체로서,
    상기 오픈 마스크 시트는, 상기 마스크 프레임에 소정 인장력이 가해진 상태로 접합되며, 상기 오픈 마스크 시트의 표면에서 정의되는 서로 직교하는 2개의 방향에서 각각 연장되며, 상기 오픈 마스크 시트의 서로 직교하는 2개의 중심축에 대해 서로 대칭적으로 배치되는, 복수의 살대를 포함하여 정의되는 가상 격자; 및 상기 가상 격자의 살대 각각의 양 단부에서 서로 반대 방향으로 돌출된 복수의 돌출단; 및 상기 복수의 돌출단 외측에, 상기 복수의 돌출단의 단부들에 그 내측이 연결되고, 상기 오픈 마스크 시트의 영역을 둘러싸는 형태의 가드 스트립을 구비하는 살대형 오픈 마스크 시트로서 제조되고,
    상기 살대형 오픈 마스크 시트의 상기 가드 스트립을 통하여 상기 가상 격자의 살대들 각각이 서로 대향하는 양방향으로 인장된 후, 상기 인장된 살대의 돌출단이 상기 마스크 프레임 상에 접합된 후 상기 가드 스트립이 절단되는 방식으로 상기 살대형 오픈 마스크 시트가 상기 마스크 프레임 상에 접합된
    것을 특징으로 하는, 살대형 오픈 마스크 시트를 포함하는 오픈 마스크 조립체.
    
17. 제 16 항에 있어서,
    상기 복수의 돌출단 각각의 영역은, 상기 마스크 프레임에 접합되는 접합영역; 및 상기 접합영역과 상기 가상 격자를 이어주면서 상기 마스크 프레임에 접합되지 않는 브릿지영역을 구비하며,
    상기 브릿지영역에 의해 상기 오픈 마스크 시트의 가장자리가 상기 마스크 프레임의 내부면과 소정 간격을 가지고 떨어진 상태로 되도록, 상기 돌출단의 접합영역만이 상기 마스크 프레임 상에 접합된, 살대형 오픈 마스크 시트를 포함하는 오픈 마스크 조립체.
    
18. 제 16 항에 있어서,
    상기 마스크 프레임은 살대홈을 구비하고, 상기 오픈 마스크 시트의 돌출단은 상기 살대홈에 삽입된 후 접합된, 살대형 오픈 마스크 시트를 포함하는 오픈 마스크 조립체.
    
19. 제 16 항에 있어서,
    상기 돌출단을 제외한 살대의 영역은,
    상기 오픈 마스크 시트 두께가 완전히 제거된 관통 구조 및 상기 오픈 마스크 시트 두께가 부분적으로 제거된 요홈 구조 중 적어도 하나를 포함하는 열버퍼 구조물이 형성되는, 살대형 오픈 마스크 시트를 포함하는 오픈 마스크 조립체.
    
20. 제 16 항에 있어서,
    상기 돌출단을 제외한 살대의 영역은,
    상기 오픈 마스크 시트 영역 중에서 상기 복수의 박막 공정용 단위 개구부 이외의 영역에 의해 정의되거나; 또는
    상기 오픈 마스크 시트 영역 중에서 상기 복수의 박막 공정용 단위 개구부 영역을 부분적으로 포함하여 정의되는,
    살대형 오픈 마스크 시트를 포함하는 오픈 마스크 조립체.

Images