JP5151004B2 - メタルマスクユニット及びその製造方法 - Google Patents
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Images
Description
11 メタルマスク
12 マスク部
13 フレーム
14 開口
15 易切断線
17、18 金属テープ
20 掘り込み
23 クランプ
24 駆動手段(エアシリンダ)
30、32、34 スポット溶接部
Claims (5)
- 窓枠形状のフレームと、該フレームの表面に、縦方向及び横方向の少なくとも一方のテンションを付加した状態で取り付けられたメタルマスクと、前記フレームの裏面に、長手方向にテンションを付加した状態で且つ前記メタルマスクに付加したテンションの方向に平行に取り付けられた金属テープを有することを特徴とするメタルマスクユニット。
- 前記メタルマスクが複数のマスク部を備えると共に縦方向及び横方向のテンションを付加されており、前記金属テープが窓枠形状のフレームの4辺にそれぞれ取り付けられていることを特徴とする請求項1記載のメタルマスクユニット。
- 前記金属テープが、その両端近傍をスポット溶接で前記フレームに固定されていることを特徴とする請求項1又は2記載のメタルマスクユニット。
- 窓枠形状のフレームの表面に、該フレームよりも大きいサイズのメタルマスクを、該メタルマスクに縦方向及び横方向の少なくとも一方のテンションを付加した状態で取り付ける工程と、前記フレームに取り付けたメタルマスクの周縁の不要部分を除去する工程と、前記フレームの裏面に、該フレームよりも長い長さの金属テープを、長手方向にテンションを付加した状態で、前記メタルマスクに付加したテンションの方向に平行に取り付ける工程と、前記フレームに取り付けた金属テープ両端の不要部分を除去する工程を有するメタルマスクユニットの製造方法。
- 請求項1から3のいずれか1項記載のメタルマスクユニットを用いて、有機EL素子の有機層又はカソード電極を蒸着することを特徴とする、有機EL素子材料の蒸着方法。
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