KR20220110313A - 증착 마스크 중간체, 증착 마스크, 마스크 장치, 및 증착 마스크의 제조 방법 - Google Patents

Abstract

띠상부와, 띠상부를 둘러싸는 프레임상부와, 띠상부와 프레임상부 사이에 위치하고, 띠상부를 프레임상부에 연결하는 연결부를 구비한다. 띠상부는, 1 쌍의 장변과 1 쌍의 단변을 갖는 가장자리와, 복수의 마스크 구멍을 갖는 마스크부와, 마스크부를 둘러싸는 주변부를 구비한다. 장변이 연장되는 방향이, 띠상부의 길이 방향이다. 주변부 중에서, 길이 방향에 있어서의 마스크부와 단변 사이에는, 일방의 장변으로부터 타방의 장변을 향하여 연장되는 형상을 갖는 취약부가 위치한다.

Description

증착 마스크 중간체, 증착 마스크, 마스크 장치, 및 증착 마스크의 제조 방법

본 발명은, 증착 마스크 중간체, 증착 마스크, 마스크 장치, 및 증착 마스크의 제조 방법에 관한 것이다.

유기 EL 표시 장치가 구비하는 표시 소자의 제조에는, 증착 마스크를 사용한 진공 증착이 사용되고 있다. 진공 증착에 사용되는 증착 마스크는, 띠상을 갖는 금속제의 박판이다. 증착 마스크는, 표시 소자를 형성하기 위한 마스크 구멍을 복수 갖는 마스크부와, 마스크부를 둘러싸는 주변부를 구비하고 있다. 증착 마스크는, 1 쌍의 장변과 1 쌍의 단변에 의해 형성되는 가장자리를 구비하고 있다 (예를 들어, 특허문헌 1 을 참조).

국제 공개 제2017/014172호

증착 마스크는, 증착 마스크를 지지하는 프레임에 고정된 후에, 프레임과 함께 진공 증착 장치에 탑재된다. 증착 마스크가 프레임에 고정될 때에는, 길이 방향에 있어서의 각 단부 (端部) 가, 타방의 단부로부터 멀어지는 방향으로 끌어당겨짐으로써, 증착 마스크의 길이 방향을 따른 장력이 증착 마스크에 부여된다. 증착 마스크는, 장력이 부여된 상태에서 프레임에 고정된다. 이 때에, 주변부 중에서, 단변보다 마스크부 근처의 부분이 프레임에 고정되기 때문에, 증착 마스크에 있어서 단변을 포함하는 부분은, 프레임의 외측연으로부터 비어져 나와 있다.

증착 마스크의 설치 면적을 작게 하는 것이나, 증착 마스크를 진공 증착 장치에 탑재하는 작업 중 등에 증착 마스크가 다른 부재에 걸리는 것을 억제할 목적으로, 증착 마스크 중에서 프레임으로부터 비어져 나온 부분은, 증착 마스크로부터 제거된다. 그 때문에, 증착 마스크를 사용한 증착의 효율을 높이는 관점에서, 증착 마스크를 프레임에 고정한 후에 증착 마스크의 단부를 제거하는 작업이 보다 용이한 것이 요구되고 있다.

본 발명은, 증착 마스크를 프레임에 고정한 후에 있어서의 증착 마스크의 단부를 제거하는 작업을 용이하게 하는 것을 가능하게 한 증착 마스크 중간체, 증착 마스크, 마스크 장치, 및 증착 마스크의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 과제를 해결하기 위한 증착 마스크 중간체는, 띠상부와, 상기 띠상부를 둘러싸는 프레임상부와, 상기 띠상부와 상기 프레임상부 사이에 위치하고, 상기 띠상부를 상기 프레임상부에 연결하는 연결부를 구비한다. 상기 띠상부는, 1 쌍의 장변과 1 쌍의 단변을 갖는 가장자리와, 복수의 마스크 구멍을 갖는 마스크부와, 상기 마스크부를 둘러싸는 주변부를 구비한다. 상기 주변부 중에서, 상기 띠상부의 길이 방향에 있어서의 상기 마스크부와 상기 단변 사이에는, 일방의 상기 장변으로부터 타방의 상기 장변을 향하여 연장되는 형상을 갖는 취약부가 위치한다.

상기 과제를 해결하기 위한 증착 마스크는, 띠상을 갖는 증착 마스크로서, 1 쌍의 장변과 1 쌍의 단변을 갖는 가장자리와, 복수의 마스크 구멍을 갖는 마스크부와, 상기 마스크부를 둘러싸는 주변부를 구비한다. 상기 주변부 중에서, 상기 증착 마스크의 길이 방향에 있어서의 상기 마스크부와 상기 단변 사이에는, 일방의 상기 장변으로부터 타방의 상기 장변을 향하여 연장되는 형상을 갖는 취약부가 위치한다.

상기 과제를 해결하기 위한 증착 마스크의 제조 방법은, 띠상부, 상기 띠상부를 둘러싸는 프레임상부, 및 상기 띠상부와 상기 프레임상부 사이에 위치하고, 상기 띠상부를 상기 프레임상부에 연결하는 연결부를 형성하는 것, 및 상기 연결부를 절단하여, 상기 프레임상부로부터 상기 띠상부를 떼어냄으로써 증착 마스크를 얻는 것을 포함한다. 상기 띠상부는, 1 쌍의 장변과 1 쌍의 단변을 갖는 가장자리를 구비한다. 상기 띠상부는, 복수의 마스크 구멍을 갖는 마스크부와, 상기 마스크부를 둘러싸는 주변부를 구비한다. 상기 주변부 중에서, 상기 띠상부의 길이 방향에 있어서의 상기 마스크부와 상기 단변 사이에는, 일방의 상기 장변으로부터 타방의 상기 장변을 향하여 연장되는 형상을 갖는 취약부가 위치한다.

상기 증착 마스크 중간체, 증착 마스크, 및 증착 마스크의 제조 방법에 의하면, 취약부를 절단함으로써, 띠상부 중, 단변을 포함하는 양 단부를, 띠상부 중에서 마스크부를 포함하는 부분으로부터 떼어내는 것이 가능하다. 그 때문에, 띠상부로부터 형성된 증착 마스크를 프레임에 장착한 후에, 증착 마스크의 단부를 제거하는 것이 용이하다.

도 1 은, 제 1 실시형태에 있어서의 증착 마스크 중간체의 구조를 나타내는 평면도이다.
도 2 는, 마스크부의 구조를 나타내는 단면도이다.
도 3 은, 제 1 취약부의 구조에 있어서의 제 1 예를 제 1 취약부의 주위에 있어서의 구조와 함께 나타내는 단면도이다.
도 4 는, 제 1 취약부의 구조에 있어서의 제 2 예를 제 1 취약부의 주위에 있어서의 구조와 함께 나타내는 단면도이다.
도 5 는, 도 1 이 나타내는 증착 마스크 중간체의 구조에 있어서의 일부를 확대하여 나타내는 평면도이다.
도 6 은, 도 5 가 나타내는 영역 A 를 확대하여 나타내는 평면도이다.
도 7 은, 도 5 가 나타내는 영역 A 를 확대하여 나타내는 평면도이다.
도 8 은, 도 5 가 나타내는 영역 B 를 확대하여 나타내는 평면도이다.
도 9 는, 증착 마스크 중간체의 반송 방향에 있어서의 제 2 취약부의 하류단에 있어서의 구조를 확대하여 나타내는 평면도이다.
도 10 은, 증착 마스크가 프레임에 고정된 상태를 나타내는 평면도이다.
도 11 은, 증착 마스크로부터 증착 마스크의 단부가 제거된 상태를 나타내는 평면도이다.
도 12 는, 증착 마스크의 이면과 대향하는 시점에서 본 증착 마스크에 있어서의 단부의 구조를 확대하여 나타내는 부분 확대 평면도이다.
도 13 은, 증착 마스크의 이면과 대향하는 시점에서 본 증착 마스크에 있어서의 단부의 구조를 확대하여 나타내는 부분 확대 평면도이다.
도 14 는, 시험예 1 의 증착 마스크가 구비하는 제 1 취약부의 구조를 나타내는 평면도이다.
도 15 는, 시험예 2 의 증착 마스크가 구비하는 제 1 취약부의 구조를 나타내는 평면도이다.
도 16 은, 시험예 3 의 증착 마스크가 구비하는 제 1 취약부의 구조를 나타내는 평면도이다.
도 17 은, 시험예 4 의 증착 마스크가 구비하는 제 1 취약부의 구조를 나타내는 평면도이다.
도 18 은, 제 2 실시형태에 있어서의 증착 마스크 중간체의 구조를 나타내는 평면도이다.
도 19 는, 제 2 실시형태에 있어서 도 5 가 나타내는 영역 A 에 상당하는 부분을 확대하여 나타내는 평면도이다.
도 20 은, 제 2 실시형태에 있어서 도 5 가 나타내는 영역 A 에 상당하는 부분을 확대하여 나타내는 평면도이다.
도 21 은, 변경예에 있어서의 마스크부의 구조를 나타내는 단면도이다.

[제 1 실시형태]

도 1 내지 도 13 을 참조하여, 증착 마스크 중간체, 증착 마스크, 및 증착 마스크의 제조 방법에 있어서의 제 1 실시형태를 설명한다. 이하에서는, 증착 마스크 중간체의 구조, 및 마스크 장치의 구조를 순서대로 설명한다.

[증착 마스크 중간체의 구조]

도 1 내지 도 9 를 참조하여, 증착 마스크 중간체의 구조를 설명한다.

도 1 이 나타내는 바와 같이, 증착 마스크 중간체 (10) 는, 띠상부 (11), 프레임상부 (12), 및 연결부 (13) 를 구비하고 있다. 프레임상부 (12) 는, 띠상부 (11) 를 둘러싸고 있다. 연결부 (13) 는, 띠상부 (11) 와 프레임상부 (12) 사이에 위치하고, 띠상부 (11) 를 프레임상부 (12) 에 연결하고 있다. 도 1 에서는, 증착 마스크 중간체 (10) 중에서, 연결부 (13) 가 위치하는 부분에 도트가 부여되어 있다. 띠상부 (11) 가 연장되는 방향이, 띠상부 (11) 의 길이 방향 (DL) 이고, 길이 방향 (DL) 과 직교하는 방향이, 띠상부 (11) 의 폭 방향 (DW) 이다. 도 1 이 나타내는 예에서는, 증착 마스크 중간체 (10) 에 있어서, 2 개의 띠상부 (11) 가 폭 방향 (DW) 을 따라 늘어서 있다. 또한, 증착 마스크 중간체 (10) 에 있어서, 각 띠상부 (11) 는, 폭 방향 (DW) 에 있어서 다른 띠상부 (11) 와 늘어서 있지 않아도 된다. 혹은, 증착 마스크 중간체 (10) 에 있어서, 3 개 이상의 띠상부 (11) 가 폭 방향 (DW) 에 있어서 늘어서 있어도 된다.

띠상부 (11) 는, 가장자리 (11e), 마스크부 (11a), 및 주변부 (11b) 를 구비하고 있다. 가장자리 (11e) 는, 1 쌍의 장변 (11e1) 과 1 쌍의 단변 (11e2) 을 가지고 있다. 도 1 이 나타내는 예에서는, 단변 (11e2) 은, U 자상을 갖는 노치 (e21) 를 구비하고 있다. 또한, 단변 (11e2) 은, 노치 (e21) 를 가지지 않아도 된다. 각 장변 (11e1) 은 길이 방향 (DL) 을 따라 연장되고, 각 단변 (11e2) 은 폭 방향 (DW) 을 따라 연장되어 있다. 1 쌍의 장변 (11e1) 은 서로 평행하고, 1 쌍의 단변 (11e2) 은 서로 평행하다.

마스크부 (11a) 는, 복수의 마스크 구멍 (11h) 을 가지고 있다. 주변부 (11b) 는, 마스크부 (11a) 를 둘러싸고 있다. 도 1 이 나타내는 예에서는, 띠상부 (11) 가, 길이 방향 (DL) 을 따라 늘어서는 복수의 마스크부 (11a) 를 구비하고 있다. 그 때문에, 주변부 (11b) 는, 복수의 마스크부 (11a) 를 둘러싸는 사다리상을 가지고 있다. 또한, 띠상부 (11) 는, 1 개의 마스크부 (11a) 만을 구비해도 된다. 또, 띠상부 (11) 는, 폭 방향 (DW) 을 따라 늘어서는 복수의 마스크부 (11a) 를 구비해도 된다.

주변부 (11b) 중에서, 길이 방향 (DL) 에 있어서의 마스크부 (11a) 와 단변 (11e2) 사이에는, 일방의 장변 (11e1) 으로부터 타방의 장변 (11e1) 을 향하여 연장되는 형상을 갖는 제 1 취약부 (11c) 가 위치하고 있다. 제 1 취약부 (11c) 는, 주변부 (11b) 에 있어서의 제 1 취약부 (11c) 이외의 부분보다 절단되기 쉬운 부분이다. 즉, 제 1 취약부 (11c) 의 기계적 강도는, 주변부 (11b) 에 있어서의 제 1 취약부 (11c) 이외의 부분에 있어서의 기계적 강도보다 낮다. 이와 같이, 주변부 (11b) 에 제 1 취약부 (11c) 가 위치하기 때문에, 제 1 취약부 (11c) 를 절단함으로써, 띠상부 (11) 중, 단변 (11e2) 을 포함하는 양 단부를, 띠상부 (11) 중에서 마스크부 (11a) 를 포함하는 부분으로부터 떼어내는 것이 가능하다.

장변 (11e1) 은, 프레임상부 (12) 에 연결되지 않는 비연결부를 포함하고 있다. 비연결부는, 띠상부 (11) 의 폭 방향 (DW) 에 있어서 마스크부 (11a) 와 이웃하는 부분을 포함하고 있다. 비연결부와 프레임상부 (12) 사이에는, 슬릿 (10S) 이 위치하고 있다. 그 때문에, 연결부 (13) 를 절단함으로써 띠상부 (11) 를 프레임상부 (12) 로부터 떼어낼 때에, 연결부 (13) 를 절단하기 위해서 연결부 (13) 에 작용시킨 힘에 기인하여 마스크부 (11a) 에 주름 등의 변형이 발생하는 것이 억제된다.

슬릿 (10S) 은, 증착 마스크 중간체 (10) 가 펼쳐지는 평면과 대향하는 평면에서 보아, 띠상부 (11) 와 프레임상부 (12) 사이 중에서, 증착 마스크 중간체 (10) 를 형성하기 위한 금속 박판이 제거된 부분이다. 또한, 본 실시형태에서는, 장변 (11e1) 중에서, 폭 방향 (DW) 에 있어서 마스크부 (11a) 와 이웃하지 않는 부분에도 슬릿 (10S) 이 위치하고 있지만, 슬릿 (10S) 은, 폭 방향 (DW) 에 있어서 적어도 마스크부 (11a) 와 이웃하는 형상을 가지고 있으면 된다. 또, 도 1 이 나타내는 예에서는, 노치 (e21) 에 의해 둘러싸이는 영역이, 증착 마스크 중간체 (10) 를 관통하는 관통부이다.

도 2 는, 띠상부 (11) 가 펼쳐지는 평면에 직교하고, 또한, 폭 방향 (DW) 을 따른 마스크부 (11a) 의 단면 구조를 나타내고 있다.

도 2 가 나타내는 바와 같이, 마스크부 (11a) 는, 복수의 마스크 구멍 (11h) 을 가지고 있다. 각 마스크 구멍 (11h) 은, 대구멍 (11hL) 과 소구멍 (11hS) 을 구비하고 있다. 대구멍 (11hL) 은, 증착 마스크 중간체 (10) 의 표면 (10F) 에 개구되어 있다. 대구멍 (11hL) 은, 증착 마스크 중간체 (10) 의 표면 (10F) 으로부터 이면 (10R) 을 향하여 갈수록 가늘어지는 형상을 가지고 있다. 소구멍 (11hS) 은, 증착 마스크 중간체 (10) 의 이면 (10R) 에 개구되어 있다. 소구멍 (11hS) 은, 증착 마스크 중간체 (10) 의 이면 (10R) 으로부터 표면 (10F) 을 향하여 갈수록 가늘어지는 형상을 가지고 있다.

본 실시형태에서는, 띠상부 (11) 의 폭 방향 (DW) 에 있어서, 각 마스크 구멍 (11h) 의 대구멍 (11hL) 은, 서로 이웃하는 마스크 구멍 (11h) 의 대구멍 (11hL) 에 접하고 있다. 한편, 띠상부 (11) 의 폭 방향 (DW) 에 있어서, 각 마스크 구멍 (11h) 의 소구멍 (11hS) 은, 서로 이웃하는 마스크 구멍 (11h) 의 소구멍 (11hS) 으로부터 떨어져 있다. 또한, 띠상부 (11) 의 폭 방향 (DW) 에 있어서, 각 마스크 구멍 (11h) 의 대구멍 (11hL) 은, 서로 이웃하는 마스크 구멍 (11h) 의 대구멍 (11hL) 으로부터 떨어져 있어도 된다.

증착 마스크 중간체 (10) 가 갖는 면 중, 표면 (10F) 이, 띠상부 (11) 로부터 형성된 증착 마스크가 증착 장치에 탑재되었을 때에, 증착 마스크에 있어서 증착원과 대향하는 부분을 포함한다. 이에 대하여, 이면 (10R) 은, 증착 마스크가 증착 장치에 탑재되었을 때에, 증착 대상과 대향하는 부분을 포함한다. 증착 대상에는, 대구멍 (11hL) 과 소구멍 (11hS) 의 접속부에 따른 형상을 갖는 증착 패턴이 형성된다.

도 3 및 도 4 는, 증착 마스크 중간체 (10) 의 표면 (10F) 에 직교하고, 또한, 폭 방향 (DW) 을 따른 제 1 취약부 (11c) 의 단면 구조에 있어서의 일례를 나타내고 있다.

제 1 취약부 (11c) 는, 하프 에칭선을 가져도 되고, 간격을 두고 늘어서는 복수의 하프 에칭부를 가져도 된다. 하프 에칭선 및 하프 에칭부는, 제 2 판두께를 가지고 있다. 제 2 판두께는, 제 1 판두께보다 얇다. 또는, 제 1 취약부 (11c) 는, 간격을 두고 늘어서는 복수의 관통공을 가져도 된다. 제 1 취약부 (11c) 가 복수의 하프 에칭부를 갖는 경우에는, 복수의 하프 에칭부는, 폭 방향 (DW) 을 따라 직선상으로 늘어서도 되고, 폭 방향 (DW) 을 따라 지그재그상으로 늘어서도 된다.

또 혹은, 제 1 취약부 (11c) 는, 하프 에칭선과, 하프 에칭선 상에 있어서 하프 에칭선의 연장되는 방향을 따라 늘어서는 복수의 관통공을 가져도 된다. 또 혹은, 제 1 취약부 (11c) 는, 띠상부 (11) 의 폭 방향 (DW) 을 따라 늘어서는 하프 에칭부와 관통공을 가져도 된다. 이 경우에는, 하프 에칭부와 관통공이 교대로 늘어서도 된다.

제 1 취약부 (11c) 의 하프 에칭선 및 하프 에칭부는, 제 2 판두께를 가지고 있다. 이에 대하여, 띠상부 (11) 가 갖는 주변부 (11b) 중에서 하프 에칭선 또는 하프 에칭부가 위치하지 않는 부분은, 제 1 판두께를 가지고 있다.

도 3 은, 제 1 취약부 (11c) 가 하프 에칭선을 갖는 경우에 있어서의 제 1 취약부 (11c) 의 단면 구조를 나타내고 있다.

도 3 이 나타내는 바와 같이, 제 1 취약부 (11c) 는, 띠상부 (11) 의 폭 방향 (DW) 을 따라 연장되는 하프 에칭선 (11c1) 을 가지고 있다. 본 실시형태에 있어서, 하프 에칭선 (11c1) 은, 증착 마스크 중간체 (10) 의 표면 (10F) 에 형성된 선상을 갖는 패임부이다. 또한, 하프 에칭선 (11c1) 은, 증착 마스크 중간체 (10) 의 이면 (10R) 에 형성되어도 된다. 하프 에칭선 (11c1) 은 제 2 판두께 (T2) 를 갖고, 띠상부 (11) 가 갖는 주변부 (11b) 중에서 하프 에칭선 (11c1) 이외의 부분은, 제 1 판두께 (T1) 를 가지고 있다.

제 1 취약부 (11c) 가 하프 에칭선 (11c1) 을 갖는 경우에는, 하프 에칭선 (11c1) 의 폭은, 띠상부 (11) 의 폭 방향 (DW) 에 있어서 일정해도 된다. 혹은, 하프 에칭선 (11c1) 의 폭은, 복수의 크기를 포함해도 된다. 하프 에칭선 (11c1) 의 폭은, 띠상부 (11) 의 길이 방향 (DL) 을 따른 하프 에칭선 (11c1) 의 굵기이다.

도 4 는, 제 1 취약부 (11c) 가, 하프 에칭선과, 하프 에칭선 상에 있어서 하프 에칭선이 연장되는 방향을 따라 늘어서는 복수의 관통공을 갖는 경우에 있어서의 제 1 취약부 (11c) 의 단면 구조를 나타내고 있다.

도 4 가 나타내는 바와 같이, 제 1 취약부 (11c) 는, 띠상부 (11) 의 폭 방향 (DW) 을 따라 연장되는 하프 에칭선 (11c1) 과, 하프 에칭선 (11c1) 상에 있어서, 폭 방향 (DW) 을 따라 간격을 두고 늘어서는 관통공 (11c2) 을 가지고 있다. 본 실시형태에서는, 복수의 관통공 (11c2) 은, 폭 방향 (DW) 에 있어서 등간격으로 늘어서 있지만, 복수의 관통공 (11c2) 은, 폭 방향 (DW) 에 있어서 불규칙하게 늘어서 있어도 된다.

하프 에칭선 (11c1) 의 폭은, 띠상부 (11) 의 폭 방향 (DW) 에 있어서 일정해도 되고, 복수의 크기를 포함해도 된다. 또, 관통공 (11c2) 의 폭은, 띠상부 (11) 의 폭 방향 (DW) 에 있어서 일정해도 되고, 복수의 관통공 (11c2) 에는, 서로 상이한 폭을 갖는 관통공 (11c2) 이 포함되어도 된다. 하프 에칭선 (11c1) 의 폭과 관통공 (11c2) 의 폭은 동일해도 되고, 서로 상이해도 된다.

또한, 본 실시형태에 있어서, 연결부 (13) 는, 띠상부 (11) 의 가장자리 (11e) 를 따른 하프 에칭선, 및 띠상부 (11) 의 가장자리 (11e) 를 따라 늘어서는 복수의 하프 에칭부의 적어도 일방을 포함하고 있다. 하프 에칭선 및 하프 에칭부는, 제 1 판두께 (T1) 보다 얇은 제 2 판두께 (T2) 를 가지고 있다. 연결부 (13) 는, 도 3 및 도 4 를 참조하여 먼저 설명한 제 1 취약부 (11c) 와 동일한 구조를 가지고 있다. 이로써, 연결부 (13) 중, 적어도 하프 에칭선 혹은 하프 에칭부가 형성된 부분을 절단되기 쉽게 할 수 있다.

도 5 는, 도 1 이 나타내는 증착 마스크 중간체 (10) 의 평면 구조에 있어서의 일부를 확대하여 나타내고 있다. 또한, 증착 마스크 중간체 (10) 는, 금속 박판으로부터 증착 마스크 중간체 (10) 가 제조되는 동안에 있어서, 롤 투 롤 장치에 의해 반송된다. 금속 박판 및 증착 마스크 중간체 (10) 의 반송 방향은, 띠상부 (11) 의 길이 방향 (DL) 과 평행한 방향이다. 도 5 에는, 띠상부 (11) 의 단부 중에서, 증착 마스크 중간체 (10) 의 반송 방향에 있어서의 상류에 위치하는 단부가 나타나 있다.

도 5 가 나타내는 바와 같이, 프레임상부 (12) 는, 띠상부 (11) 를 둘러싸는 내측연 (12e1) 과, 프레임상부 (12) 의 외형을 형성하는 외측연 (12e2) 을 포함하고 있다. 내측연 (12e1) 은, 연결부 (13) 와의 경계와, 슬릿 (10S) 과의 경계에 의해 형성되어 있다. 증착 마스크 중간체 (10) 는, 제 2 취약부 (12a) 를 구비하고 있다. 제 2 취약부 (12a) 는, 프레임상부 (12) 에 있어서, 슬릿 (10S) 으로부터 슬릿 (10S) 에 대해 띠상부 (11) 와는 반대측을 향하여 연장되는 선상을 가지고 있다. 이로써, 제 2 취약부 (12a) 를 따라 프레임상부 (12) 를 절단할 수 있기 때문에, 프레임상부 (12) 로부터 띠상부 (11) 를 떼어내는 작업을 실시하기 쉬워진다.

본 실시형태에서는, 증착 마스크 중간체 (10) 는, 복수의 제 2 취약부 (12a) 를 가지고 있다. 각 제 2 취약부 (12a) 는, 띠상부 (11) 의 길이 방향 (DL) 과 교차하는 방향을 따라, 띠상부 (11) 의 반송 방향에 있어서의 상류로부터 하류를 향하여 연장되는 형상을 가지고 있다. 증착 마스크 중간체 (10) 는, 1 개의 띠상부 (11) 에 대해 4 개의 제 2 취약부 (12a) 를 가지고 있다. 4 개의 제 2 취약부 (12a) 중, 2 개의 제 2 취약부 (12a) 가, 띠상부 (11) 의 반송 방향에 있어서, 띠상부 (11) 의 중앙보다 상류에 위치하고 있다. 이에 대하여, 다른 2 개의 제 2 취약부 (12a) 가, 띠상부 (11) 의 반송 방향에 있어서, 띠상부 (11) 의 중앙보다 하류에 위치하고 있다. 또한, 하류에 위치하는 1 쌍의 제 2 취약부 (12a) 는, 도 5 에는 도시되어 있지 않지만, 길이 방향 (DL) 에 있어서의 띠상부 (11) 의 중앙을 통과하고, 또한, 폭 방향 (DW) 을 따라 연장되는 대칭축에 대해, 상류에 위치하는 1 쌍의 제 2 취약부 (12a) 와 선대칭의 관계를 갖는 위치에 배치되어 있다.

1 개의 띠상부 (11) 에 대해, 상류에 위치하는 1 쌍의 제 2 취약부 (12a) 가, 띠상부 (11) 의 폭 방향 (DW) 에 있어서 띠상부 (11) 를 사이에 두고 있다. 또, 1 개의 띠상부 (11) 에 대해, 하류에 위치하는 1 쌍의 제 2 취약부 (12a) 가, 띠상부 (11) 의 폭 방향 (DW) 에 있어서 띠상부 (11) 를 사이에 두고 있다.

제 2 취약부 (12a) 는, 제 1 취약부 (11c) 와 동일하게, 하프 에칭선을 가져도 되고, 간격을 두고 늘어서는 복수의 하프 에칭부를 가져도 된다. 또 혹은, 제 2 취약부 (12a) 는, 하프 에칭선과, 하프 에칭선 상에 있어서, 하프 에칭선의 연장되는 방향을 따라 늘어서는 복수의 관통공을 가져도 된다. 또, 혹은, 제 2 취약부 (12a) 는, 제 2 취약부 (12a) 의 연장 방향을 따라 늘어서는 하프 에칭부와 관통공을 가져도 된다. 이 경우에는, 하프 에칭부와 관통공이 교대로 늘어서도 된다. 또한, 제 2 취약부 (12a) 가 하프 에칭선 또는 하프 에칭부를 갖는 경우에는, 하프 에칭선 또는 하프 에칭부는, 증착 마스크 중간체 (10) 의 이면 (10R) 에 있어서 움푹 패이는 것이 가능하다.

도 6 및 도 7 은, 도 5 가 나타내는 영역 A 를 확대하여 나타내고 있다. 즉, 도 6 및 도 7 은, 슬릿 (10S) 과 제 2 취약부 (12a) 의 접속부를 포함하는 영역을 확대하여 나타내고 있다. 도 6 은 슬릿 (10S) 이 갖는 형상에 있어서의 일례를 나타내는 한편, 도 7 은 슬릿 (10S) 이 갖는 형상에 있어서의 다른 예를 나타내고 있다.

도 6 이 나타내는 바와 같이, 슬릿 (10S) 은, 연장부 (10S1) 와, 돌출부 (10S2) 를 포함하고 있다. 연장부 (10S1) 는, 띠상부 (11) 의 장변 (11e1) 을 따라 연장되는 부분이다. 돌출부 (10S2) 는, 연장부 (10S1) 로부터 연장부 (10S1) 에 대해 띠상부 (11) 와는 반대측을 향하여 돌출하는 부분이다. 도 6 이 나타내는 예에서는, 돌출부 (10S2) 의 외형이, 연장부 (10S1) 가 연장되는 방향에 대해 직교하는 방향을 따라 연장되는 직사각 형상을 가지고 있다. 제 2 취약부 (12a) 는, 돌출부 (10S2) 에 접속되어 있다.

제 2 취약부 (12a) 가 돌출부 (10S2) 에 접속되기 때문에, 제 2 취약부 (12a) 가 연장부 (10S1) 에 접속되는 경우에 비해, 제 2 취약부 (12a) 의 단부와 띠상부 (11) 사이의 거리를 길게 하는 것이 가능하다. 이로써, 제 2 취약부 (12a) 를 절단하기 위한 힘에 기인하여 띠상부 (11) 에 주름 등의 변형이 발생하는 것이 억제된다.

돌출부 (10S2) 중, 연장부 (10S1) 에 접속하는 단부가 기단이고, 기단과는 반대측의 단부가 선단이다. 제 2 취약부 (12a) 는, 돌출부 (10S2) 의 기단으로부터 선단을 향하는 도중에 접속되어 있다. 또한, 제 2 취약부 (12a) 는, 돌출부 (10S2) 의 선단에 접속되어도 된다.

장변 (11e1) 의 비연결부는, 띠상부 (11) 의 길이 방향 (DL) 에 있어서, 마스크부 (11a) 보다 단변 (11e2) 근처의 위치까지 연장되어 있다. 즉, 장변 (11e1) 을 따른 슬릿 (10S) 이, 마스크부 (11a) 보다 단변 (11e2) 근처의 위치까지 연장되어 있다. 연결부 (13) 는, 장변 (11e1) 에 있어서의 비연결부 이외의 부분을 프레임상부 (12) 에 연결하고 있다. 돌출부 (10S2) 는, 슬릿 (10S) 의 단부로부터 연장부 (10S1) 에 대해 띠상부 (11) 와는 반대측을 향하여 연장되어 있다. 제 1 취약부 (11c) 는, 띠상부 (11) 의 길이 방향 (DL) 에 있어서, 돌출부 (10S2) 보다 마스크부 (11a) 근처에 위치하고 있다.

이로써, 띠상부 (11) 의 폭 방향 (DW) 에 있어서 제 1 취약부 (11c) 와 돌출부 (10S2) 가 늘어서는 경우에 비해, 제 2 취약부 (12a) 를 절단하기 위한 힘이 제 2 취약부 (12a) 에 작용했을 때에, 제 1 취약부 (11c) 가 제 2 취약부 (12a) 와 함께 절단되는 것이 억제된다.

또, 슬릿 (10S) 과 연결부 (13) 의 접속부는, 프레임상부 (12) 로부터 띠상부 (11) 를 떼어내기 위해서 연결부 (13) 를 절단할 때에, 절단의 시점 (始點) 에 설정되는 경우가 있다. 이 경우에는, 슬릿 (10S) 과 연결부 (13) 의 접속부에, 연결부 (13) 를 절단하기 위해서 필요한 힘이 작용한다. 그 때문에, 띠상부 (11) 의 폭 방향 (DW) 에 있어서 돌출부 (10S2) 와 제 1 취약부 (11c) 가 늘어서는 경우, 즉, 제 1 취약부 (11c) 가 연장부 (10S1) 의 단부에 접속되어 있는 경우에는, 연결부 (13) 의 절단과 동시에, 제 1 취약부 (11c) 가 절단되는 경우가 있다. 이 점, 본 실시형태의 증착 마스크 중간체 (10) 에 의하면, 띠상부 (11) 의 길이 방향 (DL) 에 있어서, 돌출부 (10S2) 의 위치와 제 1 취약부 (11c) 의 위치가 어긋나 있기 때문에, 연결부 (13) 의 절단시에 제 1 취약부 (11c) 가 절단되는 것이 억제된다.

도 7 이 나타내는 바와 같이, 돌출부 (10S2) 는, 길이 방향 (DL) 에 있어서의 연장부 (10S1) 의 단부에 위치하고 있다. 돌출부 (10S2) 는, 연장부 (10S1) 에 대해 띠상부 (11) 와는 반대측을 향하여 돌출하는 형상을 가지고 있다. 도 7 이 나타내는 예에서는, 돌출부 (10S2) 의 외형은, 사다리꼴 형상을 가지고 있다. 돌출부 (10S2) 가 구획하는 사다리꼴에 있어서, 상 바닥과 하 바닥을 연결하는 사변 (斜邊) 과, 연결부 (13) 에 있어서 길이 방향 (DL) 을 따라 연장되는 부분이 형성하는 각도가, 제 2 각도 (θ2) 이다. 제 2 각도 (θ2) 는, 20°이상 50°이하여도 된다. 제 2 취약부 (12a) 는, 돌출부 (10S2) 가 구획하는 사다리꼴 중에서, 사변과 하 바닥이 형성하는 정점에 접속되어 있다. 길이 방향 (DL) 을 따라 하 바닥으로부터 연장된 직선과, 제 2 취약부 (12a) 가 형성하는 각도가 제 1 각도 (θ1) 이다. 제 1 각도 (θ1) 는, 제 2 각도 (θ2) 보다 작아도 된다.

또한, 상기 서술한 바와 같이, 프레임상부 (12) 에는, 1 개의 띠상부 (11) 에 대해, 반송 방향에 있어서의 상류에 위치하는 1 쌍의 제 2 취약부 (12a) 와, 하류에 위치하는 1 쌍의 제 2 취약부 (12a) 가 형성되어 있다. 각 제 2 취약부 (12a) 에 접속되는 돌출부 (10S2) 는, 도 6 을 참조하여 설명한 형상을 가져도 되고, 도 7 을 참조하여 설명한 형상을 가져도 된다.

도 8 은, 도 5 가 나타내는 영역 B 를 확대하여 나타내고 있다. 즉, 도 8 은, 제 2 취약부 (12a) 에 있어서의 상류측의 단부를 포함하는 영역을 확대하여 나타내고 있다.

도 8 이 나타내는 바와 같이, 각 제 2 취약부 (12a) 의 상류 단부는, 프레임상부 (12) 를 관통하는 상류측 관통부 (12h1) 에 접속되어 있다. 2 개의 상류측 관통부 (12h1) 는, 폭 방향 (DW) 에 있어서, 소정의 간격을 두고 늘어서 있다. 띠상부 (11) 로부터 증착 마스크를 형성할 때에는, 예를 들어 프레임상부 (12) 를 절단 가능한 기구에 의해, 프레임상부 (12) 중에서, 폭 방향 (DW) 에 있어서 2 개의 상류측 관통부 (12h1) 에 의해 사이에 끼워지는 부분을 절단하고, 이로써, 절단편을 형성한다. 이어서, 증착 마스크 중간체 (10) 가 펼쳐지는 평면과는 교차하는 방향을 향하여 절단편을 끌어 올림으로써, 2 개의 제 2 취약부 (12a) 를 절단하는 힘을, 2 개의 제 2 취약부 (12a) 에 대해 동시에 작용시키는 것이 가능하다.

또한, 폭 방향 (DW) 에 있어서 2 개의 띠상부 (11) 를 사이에 두는 1 쌍의 제 2 취약부 (12a) 의 각각에 있어서도, 상류 단부가 상류측 관통부 (12h1) 에 접속되어 있다. 또, 프레임상부 (12) 에는, 당해 상류측 관통부 (12h1) 와 쌍이 되는 다른 상류측 관통부 (12h1) 가 형성되어 있다. 이들 2 개의 상류측 관통부 (12h1) 는, 폭 방향 (DW) 을 따라 늘어서 있다.

도 9 는, 제 2 취약부 (12a) 에 있어서의 하류측의 단부를 포함하는 영역을 나타내고 있다.

도 9 가 나타내는 바와 같이, 프레임상부 (12) 는, 2 개의 제 2 취약부 (12a) 의 하류 단부에 연속되는 피파지편 (被把持片) (12b) 과, 피파지편 (12b) 을 둘러싸는 하류측 관통부 (12h2) 를 구비하고 있다. 이로써, 제 2 취약부 (12a) 의 하류 단부에 연속되는 피파지편 (12b) 을 기구에 의해 파지하거나, 사람의 손가락에 의해 파지하거나 하는 것이 가능하기 때문에, 제 2 취약부 (12a) 를 절단하는 힘을 제 2 취약부 (12a) 에 작용시키기 쉽다. 증착 마스크 중간체 (10) 가 펼쳐지는 평면과는 교차하는 방향을 향하여 피파지편 (12b) 을 끌어 올림으로써, 2 개의 제 2 취약부 (12a) 를 절단하는 힘을, 2 개의 제 2 취약부 (12a) 에 대해 동시에 작용시키는 것이 가능하다.

또한, 폭 방향 (DW) 에 있어서 2 개의 띠상부 (11) 를 사이에 두는 1 쌍의 제 2 취약부 (12a) 의 각각에 있어서도, 하류 단부가 피파지편 (12b) 에 접속되고,또한, 피파지편 (12b) 이 하류측 관통부 (12h2) 에 둘러싸여 있다. 피파지편 (12b) 에는, 1 개의 제 2 취약부 (12a) 에 있어서의 하류 단부가 접속되어 있다.

[증착 마스크의 구조]

도 10 내지 도 13 을 참조하여, 증착 마스크의 구조를 설명한다.

도 10 이 나타내는 바와 같이, 증착 마스크 (11M) 는, 띠상부 (11) 와 동일하게, 길이 방향 (DL) 과 폭 방향 (DW) 을 가지고 있다. 증착 마스크 (11M) 의 길이 방향 (DL) 이 띠상부 (11) 의 길이 방향 (DL) 에 대응하고, 증착 마스크 (11M) 의 폭 방향 (DW) 이 띠상부 (11) 의 폭 방향 (DW) 에 대응한다. 증착 마스크 (11M) 는, 길이 방향 (DL) 을 따라 연장되는 띠상을 가지고 있다. 증착 마스크 중간체 (10) 가 갖는 연결부 (13) 의 절단에 의해 프레임상부 (12) 로부터 띠상부 (11) 가 떼어내지고, 이로써, 띠상부 (11) 로부터 증착 마스크 (11M) 를 형성하는 것이 가능하다.

마스크 장치 (20) 는, 증착 마스크 (11M) 와 프레임 (21) 을 구비하고 있다. 증착 마스크 (11M) 는, 증착 마스크 (11M) 가 갖는 마스크부 (11a) 가, 프레임 (21) 이 둘러싸는 영역 내에 위치하도록 프레임 (21) 에 장착된다. 증착 마스크 (11M) 중, 제 1 취약부 (11c) 를 포함하는 부분이, 프레임 (21) 에 장착된다. 증착 마스크 (11M) 는, 접착제에 의해 프레임 (21) 에 장착되어도 되고, 체결 부재에 의해 프레임에 장착되어도 되고, 용접에 의해 프레임 (21) 에 장착되어도 된다.

증착 마스크 (11M) 가 프레임 (21) 에 장착될 때에는, 증착 마스크 (11M) 의 단변 (11e2) 이, 다른 단변 (11e2) 으로부터 멀어지는 방향을 향하여 끌어당겨지고, 이로써, 길이 방향 (DL) 을 따른 치수를 늘이는 장력이 증착 마스크 (11M) 에 부여된 상태에서, 증착 마스크 (11M) 가 프레임 (21) 에 장착된다.

또한, 도 10 이 나타내는 예에서는, 마스크 장치 (20) 는 2 개의 증착 마스크 (11M) 를 구비하고 있지만, 마스크 장치 (20) 는, 증착 마스크 (11M) 를 1 개만 구비해도 되고, 3 개 이상의 증착 마스크 (11M) 를 구비해도 된다. 마스크 장치 (20) 가 구비하는 증착 마스크 (11M) 의 개수에 한정되지 않고, 증착 마스크 (11M) 에 있어서, 제 1 취약부 (11c) 를 포함하는 부분이, 프레임 (21) 에 장착된다.

증착 마스크 (11M) 가 프레임 (21) 에 장착될 때에는, 증착 마스크 (11M) 의 표면 (11F) 에 있어서의 일부가, 프레임에 장착된다. 이로써, 마스크 구멍 (11h) 에 있어서의 대구멍 (11hL) 이, 프레임 (21) 이 둘러싸는 영역을 향하여 개구되어 있다. 또, 제 1 취약부 (11c) 가 구비하는 하프 에칭선 또는 하프 에칭부는, 프레임 (21) 을 향하여 개구되어 있다.

도 11 이 나타내는 바와 같이, 증착 마스크 (11M) 가 프레임 (21) 에 장착된 후에, 제 1 취약부 (11c) 가 절단됨으로써, 증착 마스크 (11M) 중에서, 제 1 취약부 (11c) 보다 단변 (11e2) 근처의 부분이 제거된다. 증착 마스크 (11M) 는, 길이 방향 (DL) 의 양 단부의 각각에, 제 1 취약부 (11c) 의 절단에 의해 형성된 절단 흔적 (11cm) 을 가지고 있다.

도 12 및 도 13 은, 도 11 이 나타내는 영역 (D) 을 확대하여 나타내고 있다. 또한, 도 12 및 도 13 은, 영역 (D) 을 증착 마스크 (11M) 의 이면 (11R) 과 대향하는 시점에서 본 경우의 절단 흔적 (11cm) 의 구조를 나타내고 있다. 도 12 는, 도 3 을 참조하여 먼저 설명한 바와 같이, 제 1 취약부 (11c) 가 하프 에칭선 (11c1) 을 구비하는 경우에 형성되는 절단 흔적 (11cm) 을 나타내고 있다. 이에 대하여 도 13 은, 제 1 취약부 (11c) 가, 도 4 를 참조하여 먼저 설명한 바와 같이, 제 1 취약부 (11c) 가, 하프 에칭선 (11c1) 과, 하프 에칭선 상에 있어서, 하프 에칭선 (11c1) 의 연장되는 방향을 따라 늘어서는 복수의 관통공 (11c2) 을 구비하는 경우에 형성되는 절단 흔적 (11cm) 을 나타내고 있다.

도 12 가 나타내는 바와 같이, 제 1 취약부 (11c) 가 하프 에칭선 (11c1) 을 구비하는 경우에는, 절단 흔적 (11cm) 은, 증착 마스크 (11M) 의 표면 (11F) 으로부터 이면 (11R) 을 향하여 말려 올려진 부분을 증착 마스크 (11M) 의 폭 방향 (DW) 에 걸쳐서 가지고 있다. 제 1 취약부 (11c) 가 절단될 때에는, 제 1 취약부 (11c) 가 절곡부가 되도록, 증착 마스크 (11M) 가 절곡된다. 이 때에, 증착 마스크 (11M) 에 있어서의 표면 (11F) 의 일부가 프레임에 장착되어 있기 때문에, 증착 마스크 (11M) 의 이면 (11R) 의 일부와, 당해 이면 (11R) 의 다른 일부가 대향하도록, 증착 마스크 (11M) 가 절곡된다.

도 13 이 나타내는 바와 같이, 제 1 취약부 (11c) 가 하프 에칭선 (11c1) 과 복수의 관통공 (11c2) 을 구비하는 경우에는, 절단 흔적 (11cm) 은, 복수의 말림 (cm1) 과 복수의 패임 (cm2) 을 구비하고 있다. 절단 흔적 (11cm) 이 연장되는 방향에 있어서, 말림 (cm1) 과 패임 (cm2) 이 교대로 늘어서 있다. 절단 흔적 (11cm) 에 있어서, 복수의 말림 (cm1) 은, 하프 에칭선 (11c1) 이 절단됨으로써 형성된 부분이다. 절단 흔적 (11cm) 에 있어서, 각 패임 (cm2) 은, 각 관통공 (11c2) 에 대응하는 부분이다. 각 말림 (cm1) 은, 증착 마스크 (11M) 의 표면 (11F) 으로부터 이면 (11R) 을 향하여 말려 올려져 있다.

본 실시형태의 증착 마스크 (11M) 에서는, 하프 에칭선 (11c1) 이 표면 (10F) 에 개구되기 때문에, 증착 마스크 중간체 (10) 로부터 형성된 증착 마스크 (11M) 가 프레임 (21) 에 첩부된 경우에, 하프 에칭선 (11c1) 이 프레임 (21) 을 향하여 개구된다. 그 때문에, 하프 에칭선 (11c1) 이 이면 (10R) 에 개구되는 경우에 비해, 이면 (10R) 의 일부와, 당해 이면 (10R) 의 다른 일부가 대향하도록 증착 마스크 (11M) 를 절곡하는 경우에, 제 1 취약부 (11c) 를 따라 증착 마스크 (11M) 를 절곡하기 위해서 필요한 힘이 작아도 된다. 이로써, 증착 마스크 (11M) 의 절곡에 필요로 하는 부하를 경감할 수 있다. 또, 제 1 취약부 (11c) 를 따라 증착 마스크 (11M) 를 절단하기 위해서 필요한 시간을 짧게 할 수도 있다. 또한, 제 1 취약부 (11c) 가 하프 에칭부를 포함하는 경우에도, 하프 에칭선 (11c1) 을 포함하는 경우와 동등한 효과를 얻을 수 있다.

[시험예]

제 1 취약부 (11c) 의 구조가 서로 상이한 시험예 1 내지 시험예 4 의 증착 마스크 (11M) 를 형성하였다. 또한, 이하에 참조하는 도 14 내지 도 17 은, 증착 마스크 (11M) 의 표면 (11F) 과 대향하는 평면에서 보아 제 1 취약부 (11c) 의 구조를 나타내고 있다. 각 제 1 취약부 (11c) 는, 증착 마스크 (11M) 의 표면 (11F) 에 위치하고 있다. 도 14 내지 도 17 에서는, 하프 에칭선 혹은 하프 에칭부에 도트가 부여되어 있다.

[시험예 1]

도 14 가 나타내는 바와 같이, 시험예 1 에서는, 폭 방향 (DW) 을 따라 연장되는 하프 에칭선 (11c1) 에 의해 제 1 취약부 (11c) 를 형성하였다.

[시험예 2]

도 15 가 나타내는 바와 같이, 시험예 2 에서는, 시험예 1 의 하프 에칭선 (11c1) 을, 폭 방향 (DW) 및 길이 방향 (DL) 의 양방에 있어서 등간격으로 분할함으로써, 제 1 취약부 (11c) 를 복수의 하프 에칭부 (11c3) 에 의해 형성하였다. 이 때에, 폭 방향 (DW) 에 있어서, 간격 (GW) 을 두고 복수의 하프 에칭부 (11c3) 를 늘어놓았다. 또, 길이 방향 (DL) 에 있어서, 간격 (GL) 을 두고 2 개의 하프 에칭부 (11c3) 를 늘어놓았다. 또한, 각 하프 에칭부 (11c3) 의 폭을 시험예 1 의 폭 (W) 의 1/3 의 길이로 설정하고, 또한, 간격 (GL) 을 폭 (W) 의 1/3 의 길이로 설정하였다.

[시험예 3]

도 16 이 나타내는 바와 같이, 시험예 3 에서는, 폭 방향 (DW) 을 따라 등간격으로 늘어서는 복수의 하프 에칭부 (11c3) 에 의해 제 1 취약부 (11c) 를 형성하였다. 각 하프 에칭부 (11c3) 의 형상을 장방 형상으로 설정하였다. 폭 방향 (DW) 에 있어서, 하프 에칭부 (11c3) 사이의 간격 (GW) 을 시험예 2 의 간격 (GW) 보다 크게 하였다.

[시험예 4]

도 17 이 나타내는 바와 같이, 시험예 4 에서는, 시험예 3 과 동일하게, 복수의 하프 에칭부 (11c3) 에 의해 제 1 취약부 (11c) 를 형성하였다. 각 하프 에칭부 (11c3) 의 형상을 시험예 3 의 하프 에칭부 (11c3) 와 동일한 형상으로 설정하였다. 한편, 복수의 하프 에칭부 (11c3) 를 지그재그상으로 배열하였다. 이 때에, 폭 방향 (DW) 에 있어서 서로 이웃하는 2 개의 하프 에칭부 (11c3) 에 대해, 길이 방향 (DL) 에 있어서, 일방의 하프 에칭부 (11c3) 의 위치에 대한 타방의 하프 에칭부 (11c3) 의 위치를 하프 에칭부 (11c3) 의 폭 (W) 분만큼 비키어 놓았다. 또, 폭 방향 (DW) 에 있어서 서로 이웃하는 2 개의 하프 에칭부 (11c3) 의 사이의 간격 (GW) 을 시험예 3 과 동일하게 설정하였다.

[평가 방법 및 평가 방법]

각 시험예의 증착 마스크 (11M) 가 갖는 표면 (11F) 의 일부를 프레임 (21) 에 첩부함으로써, 마스크 장치 (20) 를 형성하였다. 이어서, 제 1 취약부 (11c) 를 따라 각 증착 마스크 (11M) 를 절단하였다. 증착 마스크 (11M) 가 제 1 취약부 (11c) 를 따라 절단될 때까지 필요한 절곡의 횟수를 계수한 결과, 시험예 1, 3, 4 에서는, 증착 마스크 (11M) 를 2 회 절곡함으로써, 증착 마스크 (11M) 가 제 1 취약부 (11c) 를 따라 절단되는 것이 확인되었다. 이에 대하여, 시험예 2 에서는, 증착 마스크 (11M) 를 4 회 절곡함으로써, 증착 마스크 (11M) 가 제 1 취약부 (11c) 를 따라 절단되는 것이 확인되었다. 이와 같이, 시험예 1, 3, 4 의 증착 마스크 (11M) 에 의하면, 시험예 2 의 증착 마스크 (11M) 에 비해, 적은 횟수의 절곡에 의해 증착 마스크 (11M) 를 절단하는 것이 가능한 것이 확인되었다.

또한, 시험예 4 의 증착 마스크 (11M) 에서는, 시험예 2, 3 의 증착 마스크 (11M) 에 비해, 길이 방향 (DL) 에 있어서의 하프 에칭부 (11c3) 사이의 간격이 길기 때문에, 증착 마스크 중간체 (10) 의 반송시에 있어서 제 1 취약부 (11c) 의 의도하지 않은 절단이 잘 발생하지 않는다. 이 점에 있어서, 시험예 4 의 증착 마스크 (11M) 는, 시험예 2, 3 의 증착 마스크 (11M) 보다 바람직하다.

이상 설명한 바와 같이, 증착 마스크 중간체, 증착 마스크, 및 증착 마스크의 제조 방법에 있어서의 제 1 실시형태에 의하면, 이하에 기재된 효과를 얻을 수 있다.

(1-1) 주변부 (11b) 에 제 1 취약부 (11c) 가 위치하기 때문에, 제 1 취약부 (11c) 를 절단함으로써, 띠상부 (11) 중, 노치 (e21) 를 포함하는 양 단부를, 띠상부 (11) 중에서 마스크부 (11a) 를 포함하는 부분으로부터 떼어내는 것이 가능하다.

(1-2) 연결부 (13) 를 절단함으로써 띠상부 (11) 를 프레임상부 (12) 로부터 떼어낼 때에, 연결부 (13) 를 절단하기 위해서 연결부 (13) 에 작용시킨 힘에 기인하여 마스크부 (11a) 에 주름 등의 변형이 발생하는 것이 억제된다.

(1-3) 연결부 (13) 중, 적어도 하프 에칭선 혹은 하프 에칭부가 형성된 부분을 절단되기 쉽게 할 수 있다.

(1-4) 제 2 취약부 (12a) 를 따라 프레임상부 (12) 를 절단할 수 있기 때문에, 프레임상부 (12) 로부터 띠상부 (11) 를 떼어내는 작업을 실시하기 쉬워진다.

(1-5) 제 2 취약부 (12a) 가 돌출부 (10S2) 에 접속되기 때문에, 제 2 취약부 (12a) 가 연장부 (10S1) 에 접속되는 경우에 비해, 제 2 취약부 (12a) 의 단부와 띠상부 (11) 사이의 거리를 길게 하는 것이 가능하다. 이로써, 제 2 취약부 (12a) 를 절단하기 위한 힘에 기인하여 띠상부 (11) 에 주름 등의 변형이 발생하는 것이 억제된다.

(1-6) 띠상부 (11) 의 폭 방향 (DW) 에 있어서 제 1 취약부 (11c) 와 돌출부 (10S2) 가 늘어서는 경우에 비해, 제 2 취약부 (12a) 를 절단하기 위한 힘이 제 2 취약부 (12a) 에 작용했을 때에, 제 1 취약부 (11c) 가 제 2 취약부 (12a) 와 함께 절단되는 것이 억제된다.

[제 2 실시형태]

도 18 내지 도 20 을 참조하여, 증착 마스크 중간체, 증착 마스크, 및 증착 마스크의 제조 방법에 있어서의 제 2 실시형태를 설명한다. 제 2 실시형태에서는, 연결부의 구조가 제 1 실시형태에 있어서의 연결부의 구조와 상이하다. 그 때문에 이하에서는, 이러한 차이점을 상세하게 설명하는 한편, 제 2 실시형태에 있어서 제 1 실시형태와 공통되는 부분에는 제 1 실시형태와 동일한 부호를 붙임으로써, 당해 부분의 상세한 설명을 생략한다. 이하에서는, 증착 마스크 중간체의 구조를 설명한다.

[증착 마스크 중간체의 구조]

도 18 내지 도 20 을 참조하여, 증착 마스크 중간체의 구조를 설명한다.

도 18 이 나타내는 바와 같이, 증착 마스크 중간체 (30) 는, 제 1 실시형태의 증착 마스크 중간체 (10) 와 동일하게, 띠상부 (11) 및 프레임상부 (12) 를 구비하고 있다. 증착 마스크 중간체 (30) 는, 복수의 연결부 (33) 를 구비하고 있다. 띠상부 (11) 는, 연결부 (33) 에 의해 프레임상부 (12) 에 연결되어 있다.

증착 마스크 중간체 (30) 에 있어서, 주변부 (11b) 및 프레임상부 (12) 는, 제 1 판두께를 가지고 있다. 복수의 연결부 (33) 는, 띠상부 (11) 의 가장자리 (11e) 를 따라 간격을 두고 위치하고, 각 연결부 (33) 는 제 1 판두께를 가지고 있다. 띠상부 (11) 의 가장자리 (11e) 중 연결부 (33) 가 접속된 부분 이외의 부분을 따라, 슬릿 (30S) 이 위치하고 있다. 띠상부 (11) 의 가장자리 (11e) 중 연결부 (33) 가 접속된 부분 이외의 부분을 따라 슬릿 (30S) 이 위치하기 때문에, 연결부 (33) 를 절단하는 작업을 실시하기 쉽다.

장변 (11e1) 은, 프레임상부 (12) 에 연결되지 않는 비연결부를 포함하고 있다. 비연결부는, 띠상부 (11) 의 폭 방향 (DW) 에 있어서 마스크부 (11a) 와 이웃하는 부분을 포함하고 있다. 그 때문에, 연결부 (33) 를 절단함으로써 띠상부 (11) 를 프레임상부 (12) 로부터 떼어낼 때에, 연결부 (33) 를 절단하기 위해서 연결부 (33) 에 작용시킨 힘에 기인하여 마스크부 (11a) 에 주름 등의 변형이 발생하는 것이 억제된다.

연결부 (33) 는, 띠상부 (11) 의 가장자리 (11e) 중에서, U 자상을 갖는 노치 (e21) 의 바닥부 이외의 부분을 프레임상부 (12) 에 연결하는 것이 바람직하다. 이로써, 띠상부 (11) 로부터 형성된 증착 마스크의 장착시에, 증착 마스크에 장력이 부여된 경우에, 연결부 (33) 의 절단 흔적에 기인하여, 증착 마스크에 주름이 발생하는 것이 억제된다.

도 19 및 도 20 은, 증착 마스크 중간체 (30) 중에서, 도 5 에 있어서의 영역 (A) 에 상당하는 부분을 확대하여 나타내고 있다. 도 19 는 슬릿 (30S) 이 갖는 형상에 있어서의 일례를 나타내는 한편, 도 20 은 슬릿 (30S) 이 갖는 형상에 있어서의 다른 예를 나타내고 있다.

도 19 가 나타내는 바와 같이, 슬릿 (30S) 중에서 장변 (11e1) 을 따른 부분이 슬릿부 (30S1) 이다. 증착 마스크 중간체 (30) 는, 제 1 실시형태의 증착 마스크 중간체 (10) 와 동일하게, 프레임상부 (12) 에 있어서, 슬릿부 (30S1) 로부터 슬릿부 (30S1) 에 대해 띠상부 (11) 와는 반대측을 향하여 연장되는 선상을 갖는 제 2 취약부 (32a) 를 구비하고 있다. 이로써, 제 2 취약부 (32a) 를 따라 프레임상부 (12) 를 절단할 수 있기 때문에, 프레임상부 (12) 로부터 띠상부 (11) 를 떼어내는 작업을 실시하기 쉬워진다.

슬릿부 (30S1) 는, 띠상부 (11) 의 가장자리 (11e) 를 따라 연장되는 연장부 (S11) 와, 연장부 (S11) 로부터 연장부 (S11) 에 대해 띠상부 (11) 와는 반대측을 향하여 돌출되는 돌출부 (S12) 를 포함하고 있다. 도 19 가 나타내는 예에서는, 돌출부 (S12) 의 외형이, 연장부 (S11) 가 연장되는 방향에 대해 직교하는 방향을 따라 연장되는 직사각 형상을 가지고 있다. 제 2 취약부 (32a) 는, 돌출부 (S12) 에 접속되어 있다. 제 2 취약부 (32a) 가 돌출부 (S12) 에 접속되기 때문에, 제 2 취약부 (32a) 가 슬릿 (30S) 중에서 띠상부 (11) 를 따른 부분에 접속되는 경우에 비해, 제 2 취약부 (32a) 의 단부와 띠상부 (11) 사이의 거리를 길게 하는 것이 가능하다. 이로써, 제 2 취약부 (32a) 를 절단하기 위한 힘에 기인하여 띠상부 (11) 에 주름 등의 변형이 발생하는 것이 억제된다.

슬릿부 (30S1) 는, 띠상부 (11) 의 길이 방향 (DL) 에 있어서, 마스크부 (11a) 보다 단변 (11e2) 근처에 위치하는 부분을 포함하고 있다. 돌출부 (S12) 는, 띠상부 (11) 의 길이 방향 (DL) 에 있어서, 마스크부 (11a) 보다 단변 (11e2) 근처에 위치하고 있다. 제 1 취약부 (11c) 는, 띠상부 (11) 의 길이 방향 (DL) 에 있어서, 돌출부 (S12) 보다 마스크부 (11a) 근처에 위치하고 있다. 띠상부 (11) 의 폭 방향 (DW) 에 있어서 제 1 취약부 (11c) 와 돌출부 (S12) 가 늘어서는 경우에 비해, 제 2 취약부 (32a) 를 절단하기 위한 힘이 제 2 취약부 (32a) 에 작용했을 때에, 제 1 취약부 (11c) 가 제 2 취약부 (32a) 와 함께 절단되는 것이 억제된다.

돌출부 (S12) 중, 연장부 (S11) 에 접속하는 단부가 기단이고, 기단과는 반대측의 단부가 선단이다. 제 2 취약부 (32a) 는, 돌출부 (S12) 의 기단으로부터 선단을 향하는 도중에 접속되어 있다. 또한, 제 2 취약부 (32a) 는, 돌출부 (S12) 의 선단에 접속되어도 된다.

도 20 이 나타내는 바와 같이, 돌출부 (S12) 는, 연장부 (S11) 가 길이 방향 (DL) 을 따라 연장되는 도중에 위치하고 있다. 돌출부 (S12) 는, 연장부 (S11) 에 대해 띠상부 (11) 와는 반대측을 향하여 돌출되는 형상을 가지고 있다. 도 20 이 나타내는 예에서는, 돌출부 (S12) 의 외형은, 사다리꼴 형상을 가지고 있다. 돌출부 (S12) 가 구획하는 사다리꼴에 있어서, 상 바닥과 하 바닥을 연결하는 사변과, 연장부 (S11) 가 형성하는 각도가 제 4 각도 (θ4) 이다. 제 4 각도 (θ4) 는, 20°이상 50°이하여도 된다. 제 2 취약부 (32a) 는, 돌출부 (S12) 가 구획하는 사다리꼴 중에서, 사변과 하 바닥이 형성하는 정점에 접속되어 있다. 길이 방향 (DL) 을 따라 하 바닥으로부터 연장된 직선과, 제 2 취약부 (32a) 가 형성하는 각도가 제 3 각도 (θ3) 이다. 제 3 각도 (θ3) 는, 제 4 각도 (θ4) 보다 작아도 된다.

상기 서술한 바와 같이, 프레임상부 (12) 에는, 1 개의 띠상부 (11) 에 대해, 반송 방향에 있어서의 상류에 위치하는 1 쌍의 제 2 취약부 (32a) 와, 하류에 위치하는 1 쌍의 제 2 취약부 (32a) 가 형성되어 있다. 각 제 2 취약부 (32a) 에 접속되는 돌출부 (S12) 는, 도 19 를 참조하여 설명한 형상을 가져도 되고, 도 20 을 참조하여 설명한 형상을 가져도 된다.

이상 설명한 바와 같이, 증착 마스크 중간체, 증착 마스크, 및 증착 마스크의 제조 방법에 있어서의 제 2 실시형태에 의하면, 상기 서술한 (1-1) 에 더하여, 이하에 기재된 효과를 얻을 수 있다.

(2-1) 띠상부 (11) 의 가장자리 (11e) 중 연결부 (33) 가 접속된 부분 이외의 부분을 따라 슬릿 (30S) 이 위치하기 때문에, 연결부 (33) 를 절단하는 작업을 실시하기 쉽다.

(2-2) 연결부 (33) 를 절단함으로써 띠상부 (11) 를 프레임상부 (12) 로부터 떼어낼 때에, 연결부 (33) 를 절단하기 위해서 연결부 (33) 에 작용시킨 힘에 기인하여 마스크부 (11a) 에 주름 등의 변형이 발생하는 것이 억제된다.

(2-3) 제 2 취약부 (32a) 를 따라 프레임상부 (12) 를 절단할 수 있기 때문에, 프레임상부 (12) 로부터 띠상부 (11) 를 떼어내는 작업을 실시하기 쉬워진다.

(2-4) 제 2 취약부 (32a) 가 돌출부 (S12) 에 접속되기 때문에, 제 2 취약부 (32a) 가 슬릿 (30S) 중에서 띠상부 (11) 를 따른 부분에 접속되는 경우에 비해, 제 2 취약부 (32a) 의 단부와 띠상부 (11) 사이의 거리를 길게 하는 것이 가능하다. 이로써, 제 2 취약부 (32a) 를 절단하기 위한 힘에 기인하여 띠상부 (11) 에 주름 등의 변형이 발생하는 것이 억제된다.

(2-5) 띠상부 (11) 의 폭 방향 (DW) 에 있어서 제 1 취약부 (11c) 와 돌출부 (S12) 가 늘어서는 경우에 비해, 제 2 취약부 (32a) 를 절단하기 위한 힘이 제 2 취약부 (32a) 에 작용했을 때에, 제 1 취약부 (11c) 가 제 2 취약부 (32a) 와 함께 절단되는 것이 억제된다.

[변경예]

또한, 각 실시형태는, 이하와 같이 변경하여 실시할 수 있다.

[슬릿]

·돌출부 (10S2, S12) 는, 띠상부 (11) 의 폭 방향 (DW) 에 있어서 제 1 취약부 (11c) 와 늘어서도 되고, 띠상부 (11) 의 폭 방향 (DW) 에 있어서 제 1 취약부 (11c) 보다 마스크부 (11a) 근처에 위치해도 된다. 상기 서술한 바와 같이, 제 2 취약부 (12a, 32a) 의 절단시에 제 1 취약부 (11c) 가 절단되는 것을 억제하는 관점에서는, 돌출부 (10S2, S12) 는, 띠상부 (11) 의 폭 방향 (DW) 에 있어서, 제 1 취약부 (11c) 와는 늘어서지 않는 것이 바람직하다. 또, 제 2 취약부 (12a, 32a) 와 마스크부 (11a) 사이의 거리를 크게 하고, 이로써, 마스크부 (11a) 에 있어서의 주름 등의 변형을 억제하는 관점에서는, 돌출부 (10S2, S12) 는, 제 1 취약부 (11c) 보다 단변 (11e2) 근처에 위치하는 것이 바람직하다.

·슬릿 (10S, 30S) 은, 장변 (11e1) 을 따라 연장되는 연장부 (10S1, S11) 를 구비하는 한편, 돌출부 (10S2, S12) 를 구비하지 않아도 된다. 이 경우에는, 제 2 취약부 (12a, 32a) 는, 연장부 (10S1, S11) 에 접속되면 된다. 이 경우라도, 증착 마스크 중간체 (10, 30) 가 제 2 취약부 (12a, 32a) 를 구비함으로써, 상기 서술한 (1-4), (2-3) 에 준한 효과를 얻는 것은 가능하다.

·각 실시형태에 있어서, 슬릿 (10S, 30S) 중에서 장변 (11e1) 을 따른 부분은, 띠상부 (11) 의 폭 방향 (DW) 에 있어서 마스크부 (11a) 와 이웃하는 한편, 띠상부 (11) 의 길이 방향 (DL) 에 있어서 마스크부 (11a) 보다 단변 (11e2) 근처에는 위치하지 않아도 되다. 이 경우에는, 제 2 취약부 (12a, 32a) 는, 슬릿 (10S, 30S) 중에서, 장변 (11e1) 에 연장되는 부분에 있어서의 어느 부위로부터, 슬릿 (10S, 30S) 에 대해 띠상부 (11) 와는 반대측을 향하여 연장되어 있으면 된다.

[제 2 취약부]

·증착 마스크 중간체 (10, 30) 가 갖는 피파지편 (12b) 및 하류측 관통부 (12h2) 대신에, 상류측 관통부 (12h1) 가 적용되어도 된다. 즉, 하류측에 위치하는 제 2 취약부 (12a, 32a) 의 하류 단부에는, 상류측 관통부 (12h1) 와 동등한 구조를 갖는 관통부가 적용되어도 된다. 또, 증착 마스크 중간체 (10, 30) 가 갖는 상류측 관통부 (12h1) 대신에, 피파지편 (12b) 및 하류측 관통부 (12h2) 가 적용되어도 된다. 즉, 상류측에 위치하는 제 2 취약부 (12a, 32a) 의 상류 단부에는, 피파지편 (12b) 과 동등한 구조를 갖는 피파지편, 및 하류측 관통부 (12h2) 와 동등한 구조를 갖는 관통부가 적용되어도 된다. 어느 경우라도, 증착 마스크 중간체 (10, 30) 가 제 2 취약부 (12a, 32a) 를 가짐으로써, 상기 서술한 (1-4), (2-3) 에 준한 효과를 얻는 것은 가능하다.

·증착 마스크 중간체 (10, 30) 는, 제 2 취약부 (12a, 32a) 의 상류 단부가 접속되는 상류측 관통부 (12h1) 를 가지지 않아도 된다. 이 경우라도, 증착 마스크 중간체 (10, 30) 가 제 2 취약부 (12a, 32a) 를 가짐으로써, 상기 서술한 (1-4), (2-3) 에 준한 효과를 얻는 것은 가능하다.

·증착 마스크 중간체 (10, 30) 는, 제 2 취약부 (12a, 32a) 의 하류 단부가 접속되는 피파지편 (12b), 및 하류측 관통부 (12h2) 를 가지지 않아도 된다. 이 경우라도, 증착 마스크 중간체 (10, 30) 가 제 2 취약부 (12a, 32a) 를 가짐으로써, 상기 서술한 (1-4), (2-3) 에 준한 효과를 얻는 것은 가능하다.

·제 2 취약부 (12a, 32a) 는, 돌출부 (10S2, S12) 에 있어서의 기단으로부터 선단까지의 어느 위치에 접속되어 있으면 된다. 이 경우라도, 제 2 취약부 (12a, 32a) 가 돌출부 (10S2, S12) 에 접속됨으로써, 상기 서술한 (1-5), (2-4) 에 준한 효과를 얻을 수는 있다.

·증착 마스크 중간체 (10, 30) 는, 제 2 취약부 (12a, 32a) 를 가지지 않아도 된다. 이 경우라도, 증착 마스크 중간체 (10, 30) 가 제 1 취약부 (11c) 를 구비함으로써, 상기 서술한 (1-1) 에 준한 효과를 얻는 것은 가능하다.

[연결부]

·연결부 (13, 33) 는, 장변 (11e1) 중에서, 띠상부 (11) 의 폭 방향 (DW) 에 있어서 마스크부 (11a) 와 이웃하는 부분을 프레임상부 (12) 에 연결해도 된다. 이 경우라도, 증착 마스크 중간체 (10, 30) 가 제 1 취약부 (11c) 를 가짐으로써, 상기 서술한 (1-1) 에 준한 효과를 얻을 수는 있다. 또한, 상기 서술한 바와 같이, 연결부 (13, 33) 의 절단에 의해 띠상부 (11) 에 주름 등의 변형이 발생하는 것을 억제하는 관점에서는, 장변 (11e1) 중에서, 폭 방향 (DW) 에 있어서 마스크부 (11a) 와 이웃하는 부분은, 프레임상부 (12) 에 연결되어 있지 않은 것이 바람직하다.

·제 2 실시형태의 연결부 (33) 는, 띠상부 (11) 의 가장자리 (11e) 에 있어서의 일부를 따라, 또한, 제 1 판두께 (T1) 를 갖는 부분과, 당해 부분 상에 늘어서는 복수의 관통공으로부터 형성되어도 된다. 이 경우라도, 상기 서술한 (2-1) 에 준한 효과를 얻을 수는 있다.

·연결부 (13, 33) 는, 띠상부 (11) 의 가장자리 (11e) 의 전체 둘레를 프레임상부 (12) 에 접속해도 된다. 예를 들어, 제 1 실시형태의 증착 마스크 중간체 (10) 에서는, 하프 에칭선이, 띠상부 (11) 의 가장자리 (11e) 의 전체 둘레를 따라 형성되어도 되고, 하프 에칭선과, 하프 에칭선을 따른 복수의 관통공이, 띠상부 (11) 의 가장자리 (11e) 의 전체 둘레를 따라 형성되어도 된다. 또 예를 들어, 제 1 실시형태의 증착 마스크 중간체 (10) 에서는, 하프 에칭부가, 띠상부 (11) 의 가장자리 (11e) 의 전체 둘레를 따라 간격을 두고 형성되어도 된다. 예를 들어, 제 2 실시형태의 증착 마스크 중간체 (30) 에서는, 띠상부 (11) 의 가장자리 (11e) 의 전체 둘레를 따라, 복수의 관통공이 간격을 두고 형성되어도 된다.

·제 1 실시형태에 있어서, 연결부 (13) 가 갖는 하프 에칭선 또는 하프 에칭부는, 증착 마스크 중간체 (10) 의 표면 (10F) 에 개구되어도 된다. 바꿔 말하면, 연결부 (13) 는, 표면 (10F) 에 있어서 움푹 패이는 하프 에칭선 또는 하프 에칭부를 구비해도 된다. 이 경우라도, 상기 서술한 (1-3) 에 준한 효과를 얻는 것은 가능하다.

[제 1 취약부]

·제 1 취약부 (11c) 는, 일방의 장변 (11e1) 으로부터 타방의 장변 (11e1) 을 향하여 연장되어 있으면, 띠상부 (11) 의 폭 방향 (DW) 에 교차하는 방향을 따라 연장되어도 된다. 이 경우라도, 증착 마스크 중간체 (10, 30) 가 제 1 취약부 (11c) 를 갖기 때문에, 상기 서술한 (1-1) 에 준한 효과를 얻는 것은 가능하다.

·상기 서술한 바와 같이, 제 1 취약부 (11c) 가 갖는 하프 에칭선 (11c1) 은, 증착 마스크 중간체 (10, 30) 의 이면 (10R) 에 개구되어도 된다. 바꿔 말하면, 하프 에칭선 (11c1) 은, 이면 (10R) 에 있어서 움푹 패여 있어도 된다. 이 경우라도, 증착 마스크 중간체 (10, 30) 가 제 1 취약부 (11c) 를 갖기 때문에, 상기 서술한 (1-1) 에 준한 효과를 얻는 것은 가능하다.

·증착 마스크 중간체 (10, 30) 는, 띠상부 (11) 의 길이 방향 (DL) 에 있어서, 마스크부 (11a) 를 사이에 두는 1 쌍의 제 1 취약부 (11c) 를 가지고 있지만, 2 쌍 이상의 제 1 취약부 (11c) 를 가져도 된다. 이 경우라도, 증착 마스크 중간체 (10, 30) 가 제 1 취약부 (11c) 를 갖기 때문에, 상기 서술한 (1-1) 에 준한 효과를 얻는 것은 가능하다.

[마스크 구멍]

·도 21 이 나타내는 바와 같이, 마스크 구멍 (11h) 은, 증착 마스크 중간체 (10) 의 표면 (10F) 과 직교하는 단면에 있어서, 표면 (10F) 으로부터 이면 (10R) 을 향하여 움푹 패인 호상 (弧狀) 을 갖고, 또한, 표면 (10F) 에 개구되는 표면 개구 (11hF) 와, 이면 (10R) 에 개구되는 이면 개구 (11hR) 를 가져도 된다.

[마스크 장치]

·마스크 장치 (20) 에 있어서, 증착 마스크 (11M) 의 이면 (11R) 이, 프레임 (21) 에 장착되어도 된다. 이 경우라도, 증착 마스크 중간체 (10, 30) 가 제 1 취약부 (11c) 를 갖기 때문에, 상기 서술한 (1-1) 에 준한 효과를 얻을 수는 있다.

10, 30 : 증착 마스크 중간체
10S, 30S : 슬릿
10S1, S11 : 연장부
10S2, S12 : 돌출부
11 : 띠상부
11a : 마스크부
11b : 주변부
11c : 제 1 취약부
11e : 가장자리
11e1 : 장변
11e2 : 단변
11h : 마스크 구멍
11M : 증착 마스크
12 : 프레임상부
12a, 32a : 제 2 취약부
12e1 : 내측연
12e2 : 외측연
13, 33 : 연결부
30S1 : 슬릿부

Claims (15)

1. 띠상부와,
   상기 띠상부를 둘러싸는 프레임상부와,
   상기 띠상부와 상기 프레임상부 사이에 위치하고, 상기 띠상부를 상기 프레임상부에 연결하는 연결부를 구비하고,
   상기 띠상부는, 1 쌍의 장변과 1 쌍의 단변을 갖는 가장자리와, 복수의 마스크 구멍을 갖는 마스크부와, 상기 마스크부를 둘러싸는 주변부를 구비하고,
   상기 장변이 연장되는 방향이, 상기 띠상부의 길이 방향이고,
   상기 주변부 중에서, 상기 길이 방향에 있어서의 상기 마스크부와 상기 단변 사이에는, 일방의 상기 장변으로부터 타방의 상기 장변을 향하여 연장되는 형상을 갖는 취약부가 위치하는 증착 마스크 중간체.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 취약부는, 복수의 하프 에칭부를 포함하고,
   상기 복수의 하프 에칭부는, 일방의 상기 장변으로부터 타방의 상기 장변을 향하는 방향을 따라 지그재그상으로 늘어서 있는 증착 마스크 중간체.
3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
   상기 주변부 및 상기 프레임상부는, 제 1 판두께를 갖고,
   상기 연결부는, 상기 띠상부의 상기 가장자리를 따른 하프 에칭선, 및 상기 띠상부의 상기 가장자리를 따라 늘어서는 복수의 하프 에칭부의 적어도 일방을 포함하고, 상기 하프 에칭선 및 상기 하프 에칭부는, 상기 제 1 판두께보다 얇은 제 2 판두께를 갖는 증착 마스크 중간체.
4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 장변은, 상기 프레임상부에 연결되지 않는 비연결부를 포함하고, 상기 비연결부는, 상기 띠상부의 폭 방향에 있어서 상기 마스크부와 이웃하는 부분을 포함하고,
   상기 비연결부와 상기 프레임상부 사이에는, 슬릿이 위치하는 증착 마스크 중간체.
5. 제 4 항에 있어서,
   상기 취약부는, 제 1 취약부이고,
   상기 프레임상부는, 상기 띠상부를 둘러싸는 내측연과, 상기 프레임상부의 외형을 형성하는 외측연을 포함하고,
   상기 프레임상부에 있어서, 상기 슬릿으로부터 상기 슬릿에 대해 상기 띠상부와는 반대측을 향하여 연장되는 선상을 갖는 제 2 취약부를 추가로 구비하는 증착 마스크 중간체.
6. 제 5 항에 있어서,
   상기 슬릿은, 상기 띠상부의 상기 가장자리를 따라 연장되는 연장부와, 상기 연장부로부터 상기 연장부에 대해 상기 띠상부와는 반대측을 향하여 돌출하는 돌출부를 포함하고,
   상기 제 2 취약부는, 상기 돌출부에 접속되어 있는 증착 마스크 중간체.
7. 제 6 항에 있어서,
   상기 비연결부는, 상기 띠상부의 상기 길이 방향에 있어서, 상기 마스크부보다 상기 단변 근처의 위치까지 연장되고,
   상기 연결부는, 상기 장변에 있어서의 상기 비연결부 이외의 부분을 상기 프레임상부에 연결하고,
   상기 돌출부는, 상기 슬릿의 단부로부터 상기 연장부에 대해 상기 띠상부와는 반대측을 향하여 돌출하고,
   상기 제 1 취약부는, 상기 띠상부의 상기 길이 방향에 있어서, 상기 돌출부보다 상기 마스크부 근처에 위치하는 증착 마스크 중간체.
8. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
   상기 주변부 및 상기 프레임상부는, 제 1 판두께를 갖고,
   상기 연결부는, 복수의 연결부 중 하나이며, 상기 복수의 연결부는, 상기 띠상부의 상기 가장자리를 따라 간격을 두고 위치하고, 각 연결부는 상기 제 1 판두께를 갖고,
   상기 띠상부의 상기 가장자리 중 상기 연결부가 접속된 부분 이외의 부분을 따라, 슬릿이 위치하는 증착 마스크 중간체.
9. 제 8 항에 있어서,
   상기 장변은, 상기 프레임상부에 연결되지 않는 비연결부를 포함하고, 상기 비연결부는, 상기 띠상부의 폭 방향에 있어서 상기 마스크부와 이웃하는 부분을 포함하는 증착 마스크 중간체.
10. 제 9 항에 있어서,
    상기 취약부는, 제 1 취약부이고,
    상기 프레임상부는, 상기 띠상부를 둘러싸는 내측연과, 상기 프레임상부의 외형을 형성하는 외측연을 포함하고,
    상기 슬릿 중에서 상기 장변을 따른 부분이 슬릿부이고,
    상기 프레임상부에 있어서, 상기 슬릿부로부터 상기 슬릿부에 대해 상기 띠상부와는 반대측을 향하여 연장되는 선상을 갖는 제 2 취약부를 추가로 구비하는 증착 마스크 중간체.
11. 제 10 항에 있어서,
    상기 슬릿부는, 상기 띠상부의 상기 가장자리를 따라 연장되는 연장부와, 상기 연장부로부터 상기 연장부에 대해 상기 띠상부와는 반대측을 향하여 돌출하는 돌출부를 포함하고,
    상기 제 2 취약부는, 상기 돌출부에 접속되어 있는 증착 마스크 중간체.
12. 제 11 항에 있어서,
    상기 슬릿부는, 상기 띠상부의 상기 길이 방향에 있어서, 상기 마스크부보다 상기 단변 근처에 위치하는 부분을 포함하고,
    상기 돌출부는, 상기 띠상부의 상기 길이 방향에 있어서, 상기 마스크부보다 상기 단변 근처에 위치하고,
    상기 제 1 취약부는, 상기 띠상부의 상기 길이 방향에 있어서, 상기 돌출부보다 상기 마스크부 근처에 위치하는 증착 마스크 중간체.
13. 띠상을 갖는 증착 마스크로서,
    1 쌍의 장변과 1 쌍의 단변을 갖는 가장자리와,
    복수의 마스크 구멍을 갖는 마스크부와,
    상기 마스크부를 둘러싸는 주변부를 구비하고,
    상기 주변부 중에서, 상기 증착 마스크의 길이 방향에 있어서의 상기 마스크부와 상기 단변 사이에는, 일방의 상기 장변으로부터 타방의 상기 장변을 향하여 연장되는 형상을 갖는 취약부가 위치하는 증착 마스크.
14. 제 13 항에 기재된 증착 마스크와,
    상기 증착 마스크를 지지하는 프레임을 구비하고,
    상기 증착 마스크는, 표면과 상기 표면과는 반대측의 이면을 포함하고,
    상기 취약부는, 상기 표면에 개구되는 하프 에칭부를 포함하고,
    상기 표면의 일부가, 상기 프레임에 장착되어 있는 마스크 장치.
15. 띠상부, 상기 띠상부를 둘러싸는 프레임상부, 및 상기 띠상부와 상기 프레임상부 사이에 위치하고, 상기 띠상부를 상기 프레임상부에 연결하는 연결부를 형성하는 것, 및
    상기 연결부를 절단하여, 상기 프레임상부로부터 상기 띠상부를 떼어냄으로써 증착 마스크를 얻는 것을 포함하고,
    상기 띠상부는, 1 쌍의 장변과 1 쌍의 단변을 갖는 가장자리를 구비하고,
    상기 띠상부는, 복수의 마스크 구멍을 갖는 마스크부와, 상기 마스크부를 둘러싸는 주변부를 구비하고,
    상기 주변부 중에서, 상기 띠상부의 길이 방향에 있어서의 상기 마스크부와 상기 단변 사이에는, 일방의 상기 장변으로부터 타방의 상기 장변을 향하여 연장되는 형상을 갖는 취약부가 위치하는 증착 마스크의 제조 방법.

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