JP2022121540A - 蒸着マスク中間体、蒸着マスク、マスク装置、および、蒸着マスクの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】蒸着マスクをフレームに固定した後における蒸着マスクの端部を取り除く作業を容易とすることを可能とした蒸着マスク中間体、蒸着マスク、および、蒸着マスクの製造方法を提供する。【解決手段】帯状部１１と、帯状部１１を囲む枠状部１２と、帯状部１１と枠状部１２との間に位置し、帯状部１１を枠状部１２に連結する連結部１３とを備える。帯状部１１は、一対の長辺１１ｅ１と一対の短辺１１ｅ２とを有した縁１１ｅと、複数のマスク孔１１ｈを有したマスク部１１ａと、マスク部１１ａを囲む周辺部１１ｂとを備える。周辺部１１ｂのうちで、帯状部１１の長手方向ＤＬにおけるマスク部１１ａと短辺１１ｅ２との間には、一方の長辺１１ｅ１から他方の長辺１１ｅ１に向けて延びる形状を有した第１脆弱部１１ｃが位置する。【選択図】図１

Description

本発明は、蒸着マスク中間体、蒸着マスク、マスク装置、および、蒸着マスクの製造方法に関する。

有機ＥＬ表示装置が備える表示素子の製造には、蒸着マスクを用いた真空蒸着が用いられている。真空蒸着に用いられる蒸着マスクは、帯状を有した金属製の薄板である。蒸着マスクは、表示素子を形成するためのマスク孔を複数有したマスク部と、マスク部を囲む周辺部とを備えている。蒸着マスクは帯状を有し、一対の長辺と一対の短辺とによって形成される縁を備えている（例えば、特許文献１を参照）。

国際公開第２０１７／０１４１７２号

蒸着マスクは、蒸着マスクを支持するフレームに固定された後に、フレームとともに真空蒸着装置に搭載される。蒸着マスクがフレームに固定される際には、長手方向における各端部が、他方の端部から離れる方向に引っ張られることによって、蒸着マスクの長手方向に沿う張力が蒸着マスクに与えられる。蒸着マスクは、張力を与えられた状態でフレームに固定される。この際に、周辺部のうちで、短辺よりもマスク部寄りの部分がフレームに固定されるため、蒸着マスクにおいて短辺を含む部分は、フレームの外側縁からはみ出している。

蒸着マスクの設置面積を小さくすることや、蒸着マスクを真空蒸着装置に搭載する作業中などに蒸着マスクが他の部材に引っ掛かることを抑える目的で、蒸着マスクのうちでフレームからはみ出した部分は、蒸着マスクから取り除かれる。そのため、蒸着マスクを用いた蒸着の効率を高める観点から、蒸着マスクをフレームに固定した後に蒸着マスクの端部を取り除く作業がより容易であることが求められている。

本発明は、蒸着マスクをフレームに固定した後における蒸着マスクの端部を取り除く作業を容易とすることを可能とした蒸着マスク中間体、蒸着マスク、マスク装置、および、蒸着マスクの製造方法を提供することを目的とする。

上記課題を解決するための蒸着マスク中間体は、帯状部と、前記帯状部を囲む枠状部と、前記帯状部と前記枠状部との間に位置し、前記帯状部を前記枠状部に連結する連結部と、を備える。前記帯状部は、一対の長辺と一対の短辺を有した縁と、複数のマスク孔を有したマスク部と、前記マスク部を囲む周辺部とを備える。前記周辺部のうちで、前記帯状部の長手方向における前記マスク部と前記短辺との間には、一方の前記長辺から他方の前記長辺に向けて延びる形状を有した脆弱部が位置する。

上記課題を解決するための蒸着マスクは、帯状を有した蒸着マスクであって、一対の長辺と一対の短辺を有した縁と、複数のマスク孔を有したマスク部と、前記マスク部を囲む周辺部と、を備える。前記周辺部のうちで、前記蒸着マスクの長手方向における前記マスク部と前記短辺との間には、一方の前記長辺から他方の前記長辺に向けて延びる形状を有した脆弱部が位置する。

上記課題を解決するための蒸着マスクの製造方法は、帯状部、前記帯状部を囲む枠状部、および、前記帯状部と前記枠状部との間に位置し、前記帯状部を前記枠状部に連結する連結部を形成すること、および、前記連結部を切断して、前記枠状部から前記帯状部を切り離すことによって蒸着マスクを得ること、を含む。前記帯状部は、一対の長辺と一対の短辺を有した縁を備える。前記帯状部は、複数のマスク孔を有したマスク部と、前記マスク部を囲む周辺部とを備える。前記周辺部のうちで、前記帯状部の長手方向における前記マスク部と前記短辺との間には、一方の前記長辺から他方の前記長辺に向けて延びる形状を有した脆弱部が位置する。

上記蒸着マスク中間体、蒸着マスク、および、蒸着マスクの製造方法によれば、脆弱部を切断することによって、帯状部のうち、短辺を含む両端部を、帯状部のうちでマスク部を含む部分から切り離すことが可能である。そのため、帯状部から形成された蒸着マスクをフレームに取り付けた後に、蒸着マスクの端部を取り除くことが容易である。

上記蒸着マスク中間体において、前記脆弱部は、複数のハーフエッチング部を含み、前記複数のハーフエッチング部は、一方の前記長辺から他方の前記長辺に向かう方向に沿って千鳥状に並んでいてもよい。

上記蒸着マスク中間体によれば、脆弱部が延びる方向において複数のエッチング部が直線状に等間隔で並ぶ場合に比べて、脆弱部が延びる方向において隣り合うエッチング部の間隔を長くすることが可能である。これにより、蒸着マスク中間体の搬送時において、脆弱部の意図しない切断が生じにくくなる。

上記蒸着マスク中間体において、前記周辺部および前記枠状部は、第１板厚を有し、前記連結部は、前記帯状部の前記縁に沿うハーフエッチング線、および、前記帯状部の前記縁に沿って並ぶ複数のハーフエッチング部の少なくとも一方を含み、前記ハーフエッチング線および前記ハーフエッチング部は、前記第１板厚よりも薄い第２板厚を有してもよい。この蒸着マスク中間体によれば、連結部のうち、少なくともハーフエッチング線あるいはハーフエッチング部が形成された部分を切断されやすくすることができる。

上記蒸着マスク中間体において、前記長辺は、前記枠状部に連結されない非連結部を含み、前記非連結部は、前記帯状部の幅方向において前記マスク部と隣り合う部分を含み、前記非連結部と前記枠状部との間には、スリットが位置してもよい。

上記蒸着マスク中間体によれば、連結部を切断することによって帯状部を枠状部から切り離す際に、連結部を切断するために連結部に作用させた力に起因してマスク部にしわなどの変形が生じることが抑えられる。

上記蒸着マスク中間体において、前記脆弱部は、第１脆弱部であり、前記枠状部は、前記帯状部を囲む内側縁と、前記枠状部の外形を形成する外側縁とを含み、前記枠状部において、前記スリットから前記スリットに対して前記帯状部とは反対側に向けて延びる線状を有した第２脆弱部をさらに備えてもよい。この蒸着マスク中間体によれば、第２脆弱部に沿って枠状部を切断することができるため、枠状部から帯状部を切り離す作業が行いやすくなる。

上記蒸着マスク中間体において、前記スリットは、前記帯状部の前記縁に沿って延びる延在部と、前記延在部から前記延在部に対して前記帯状部とは反対側に向けて突出する突出部を含み、前記第２脆弱部は、前記突出部に接続されていてもよい。

上記蒸着マスク中間体によれば、第２脆弱部が突出部に接続されるため、第２脆弱部が延在部に接続される場合に比べて、第２脆弱部の端部と帯状部との間の距離を長くすることが可能である。これにより、第２脆弱部を切断するための力に起因して帯状部にしわなどの変形が生じることが抑えられる。

上記蒸着マスク中間体において、前記非連結部は、前記帯状部の前記長手方向において、前記マスク部よりも前記短辺寄りの位置まで延び、前記連結部は、前記長辺における前記非連結部以外の部分を前記枠状部に連結し、前記突出部は、前記スリットの端部から前記延在部に対して前記帯状部とは反対側に向けて突出し、前記第１脆弱部は、前記帯状部の前記長手方向において、前記突出部よりも前記マスク部寄りに位置してもよい。

上記蒸着マスク中間体によれば、帯状部の幅方向において第１脆弱部と突出部とが並ぶ場合に比べて、第２脆弱部を切断するための力が第２脆弱部に作用した際に、第１脆弱部が第２脆弱部とともに切断されることが抑えられる。

上記蒸着マスク中間体において、前記周辺部および前記枠状部は、第１板厚を有し、前記連結部は、複数の連結部のうちの１つであり、前記複数の連結部は、前記帯状部の前記縁に沿って間隔を空けて位置し、各連結部は前記第１板厚を有し、前記帯状部の前記縁のうち前記連結部が接続した部分以外の部分に沿って、スリットが位置してもよい。この蒸着マスク中間体によれば、帯状部の縁のうち連結部が接続した部分以外の部分に沿ってスリットが位置するため、連結部を切断する作業が行いやすい。

上記蒸着マスク中間体において、前記長辺は、前記枠状部に連結されない非連結部を含み、前記非連結部は、前記帯状部の幅方向において前記マスク部と隣り合う部分を含んでもよい。

上記蒸着マスク中間体によれば、連結部を切断することによって帯状部を枠状部から切り離す際に、連結部を切断するために連結部に作用させた力に起因してマスク部にしわなどの変形が生じることが抑えられる。

上記蒸着マスク中間体において、前記脆弱部は、第１脆弱部であり、前記枠状部は、前記帯状部を囲む内側縁と、前記枠状部の外形を形成する外側縁とを含み、前記スリットのうちで前記長辺に沿う部分がスリット部であり、前記枠状部において、前記スリット部から前記スリット部に対して前記帯状部とは反対側に向けて延びる線状を有した第２脆弱部をさらに備えてもよい。この蒸着マスク中間体によれば、第２脆弱部に沿って枠状部を切断することができるため、枠状部から帯状部を切り離す作業が行いやすくなる。

上記蒸着マスク中間体において、前記スリット部は、前記帯状部の前記縁に沿って延びる延在部と、前記延在部から前記延在部に対して前記帯状部とは反対側に向けて突出する突出部を含み、前記第２脆弱部は、前記突出部に接続されていてもよい。

上記蒸着マスク中間体によれば、第２脆弱部が突出部に接続されるため、第２脆弱部がスリットのうちで帯状部に沿う部分に接続される場合に比べて、第２脆弱部の端部と帯状部との間の距離を長くすることが可能である。これにより、第２脆弱部を切断するための力に起因して帯状部にしわなどの変形が生じることが抑えられる。

上記蒸着マスク中間体において、前記スリット部は、前記帯状部の前記長手方向において、前記マスク部よりも前記短辺寄りに位置する部分を含み、前記突出部は、前記帯状部の前記長手方向において、前記マスク部よりも前記短辺寄りに位置し、前記第１脆弱部は、前記帯状部の前記長手方向において、前記突出部よりも前記マスク部寄りに位置してもよい。

上記蒸着マスク中間体によれば、帯状部の幅方向において第１脆弱部と突出部とが並ぶ場合に比べて、第２脆弱部を切断するための力が第２脆弱部に作用した際に、第１脆弱部が第２脆弱部とともに切断されることが抑えられる。

上記課題を解決するためのマスク装置は、上記蒸着マスクと、前記蒸着マスクを支持するフレームと、を備える。前記蒸着マスクは、表面と前記表面とは反対側の裏面とを含み、前記脆弱部は、前記表面に開口するハーフエッチング部を含み、前記表面の一部が、前記フレームに取り付けられている。

上記マスク装置によれば、ハーフエッチング部がフレームに向けて開口するため、ハーフエッチング部が裏面に開口する場合に比べて、裏面の一部と、当該裏面の他の一部とが対向するように蒸着マスクを折り曲げる場合に、第１脆弱部に沿って蒸着マスクを折り曲げるために必要な力が小さくてすむ。

本発明によれば、蒸着マスクをフレームに固定した後における蒸着マスクの端部を取り除く作業を容易とすることができる。

第１実施形態における蒸着マスク中間体の構造を示す平面図。 マスク部の構造を示す断面図。 第１脆弱部の構造における第１例を第１脆弱部の周囲における構造とともに示す断面図。 第１脆弱部の構造における第２例を第１脆弱部の周囲における構造とともに示す断面図。 図１が示す蒸着マスク中間体の構造における一部を拡大して示す平面図。 図５が示す領域Ａを拡大して示す平面図。 図５が示す領域Ａを拡大して示す平面図。 図５が示す領域Ｂを拡大して示す平面図。 蒸着マスク中間体の搬送方向における第２脆弱部の下流端における構造を拡大して示す平面図。 蒸着マスクがフレームに固定された状態を示す平面図。 蒸着マスクから蒸着マスクの端部が取り除かれた状態を示す平面図。 蒸着マスクの裏面と対向する視点から見た蒸着マスクにおける端部の構造を拡大して示す部分拡大平面図。 蒸着マスクの裏面と対向する視点から見た蒸着マスクにおける端部の構造を拡大して示す部分拡大平面図。 試験例１の蒸着マスクが備える第１脆弱部の構造を示す平面図。 試験例２の蒸着マスクが備える第１脆弱部の構造を示す平面図。 試験例３の蒸着マスクが備える第１脆弱部の構造を示す平面図。 試験例４の蒸着マスクが備える第１脆弱部の構造を示す平面図。 第２実施形態における蒸着マスク中間体の構造を示す平面図。 第２実施形態において図５が示す領域Ａに相当する部分を拡大して示す平面図。 第２実施形態において図５が示す領域Ａに相当する部分を拡大して示す平面図。 変更例におけるマスク部の構造を示す断面図。

［第１実施形態］
図１から図１３を参照して、蒸着マスク中間体、蒸着マスク、および、蒸着マスクの製造方法における第１実施形態を説明する。以下では、蒸着マスク中間体の構造、および、マスク装置の構造を順に説明する。

［蒸着マスク中間体の構造］
図１から図９を参照して、蒸着マスク中間体の構造を説明する。
図１が示すように、蒸着マスク中間体１０は、帯状部１１、枠状部１２、および、連結部１３を備えている。枠状部１２は、帯状部１１を囲んでいる。連結部１３は、帯状部１１と枠状部１２との間に位置し、帯状部１１を枠状部１２に連結している。図１では、蒸着マスク中間体１０のうちで、連結部１３が位置する部分にドットが付されている。帯状部１１が延びる方向が、帯状部１１の長手方向ＤＬであり、長手方向ＤＬと直交する方向が、帯状部１１の幅方向ＤＷである。図１が示す例では、蒸着マスク中間体１０において、２つの帯状部１１が幅方向ＤＷに沿って並んでいる。なお、蒸着マスク中間体１０において、各帯状部１１は、幅方向ＤＷにおいて他の帯状部１１と並んでいなくてもよい。あるいは、蒸着マスク中間体１０において、３つ以上の帯状部１１が幅方向ＤＷにおいて並んでいてもよい。

帯状部１１は、縁１１ｅ、マスク部１１ａ、および、周辺部１１ｂを備えている。縁１１ｅは、一対の長辺１１ｅ１と一対の短辺１１ｅ２とを有している。図１が示す例では、短辺１１ｅ２は、Ｕ字状を有した切り欠きｅ２１を備えている。なお、短辺１１ｅ２は、切り欠きｅ２１を有しなくてもよい。各長辺１１ｅ１は長手方向ＤＬに沿って延び、各短辺１１ｅ２は幅方向ＤＷに沿って延びている。一対の長辺１１ｅ１は互いに平行であり、一対の短辺１１ｅ２は互いに平行である。

マスク部１１ａは、複数のマスク孔１１ｈを有している。周辺部１１ｂは、マスク部１１ａを囲んでいる。図１が示す例では、帯状部１１が、長手方向ＤＬに沿って並ぶ複数のマスク部１１ａを備えている。そのため、周辺部１１ｂは、複数のマスク部１１ａを囲むはしご状を有している。なお、帯状部１１は、１つのマスク部１１ａのみを備えてもよい。また、帯状部１１は、幅方向ＤＷに沿って並ぶ複数のマスク部１１ａを備えてもよい。

周辺部１１ｂのうちで、長手方向ＤＬにおけるマスク部１１ａと短辺１１ｅ２との間には、一方の長辺１１ｅ１から他方の長辺１１ｅ１に向けて延びる形状を有した第１脆弱部１１ｃが位置している。第１脆弱部１１ｃは、周辺部１１ｂにおける第１脆弱部１１ｃ以外の部分よりも切断されやすい部分である。すなわち、第１脆弱部１１ｃの機械的強度は、周辺部１１ｂにおける第１脆弱部１１ｃ以外の部分における機械的強度よりも低い。このように、周辺部１１ｂに第１脆弱部１１ｃが位置するため、第１脆弱部１１ｃを切断することによって、帯状部１１のうち、短辺１１ｅ２を含む両端部を、帯状部１１のうちでマスク部１１ａを含む部分から切り離すことが可能である。

長辺１１ｅ１は、枠状部１２に連結されない非連結部を含んでいる。非連結部は、帯状部１１の幅方向ＤＷにおいてマスク部１１ａと隣り合う部分を含んでいる。非連結部と枠状部１２との間には、スリット１０Ｓが位置している。そのため、連結部１３を切断することによって帯状部１１を枠状部１２から切り離す際に、連結部１３を切断するために連結部１３に作用させた力に起因してマスク部１１ａにしわなどの変形が生じることが抑えられる。

スリット１０Ｓは、蒸着マスク中間体１０が広がる平面と対向する平面視において、帯状部１１と枠状部１２との間のなかで、蒸着マスク中間体１０を形成するための金属薄板が除去された部分である。なお、本実施形態では、長辺１１ｅ１のうちで、幅方向ＤＷにおいてマスク部１１ａと隣り合わない部分にもスリット１０Ｓが位置しているが、スリット１０Ｓは、幅方向ＤＷにおいて少なくともマスク部１１ａと隣り合う形状を有していればよい。また、図１が示す例では、切り欠きｅ２１によって囲まれる領域が、蒸着マスク中間体１０を貫通する貫通部である。

図２は、帯状部１１が広がる平面に直交し、かつ、幅方向ＤＷに沿うマスク部１１ａの断面構造を示している。
図２が示すように、マスク部１１ａは、複数のマスク孔１１ｈを有している。各マスク孔１１ｈは、大孔１１ｈＬと小孔１１ｈＳとを備えている。大孔１１ｈＬは、蒸着マスク中間体１０の表面１０Ｆに開口し、蒸着マスク中間体１０の表面１０Ｆから裏面１０Ｒに向けて先細る形状を有している。小孔１１ｈＳは、蒸着マスク中間体１０の裏面１０Ｒに開口し、蒸着マスク中間体１０の裏面１０Ｒから表面１０Ｆに向けて先細る形状を有している。

本実施形態では、帯状部１１の幅方向ＤＷにおいて、各マスク孔１１ｈの大孔１１ｈＬは、互いに隣り合うマスク孔１１ｈの大孔１１ｈＬに接している。一方で、帯状部１１の幅方向ＤＷにおいて、各マスク孔１１ｈの小孔１１ｈＳは、互いに隣り合うマスク孔１１ｈの小孔１１ｈＳから離れている。なお、帯状部１１の幅方向ＤＷにおいて、各マスク孔１１ｈの大孔１１ｈＬは、互いに隣り合うマスク孔１１ｈの大孔１１ｈＬから離れていてもよい。

蒸着マスク中間体１０が有する面のうち、表面１０Ｆが、帯状部１１から形成された蒸着マスクが蒸着装置に搭載された際に、蒸着マスクにおいて蒸着源と対向する面を含む。これに対して、裏面１０Ｒは、蒸着マスクが蒸着装置に搭載された際に、蒸着対象と対向する面を含む。蒸着対象には、大孔１１ｈＬと小孔１１ｈＳとの接続部に応じた形状を有した蒸着パターンが形成される。

図３および図４は、蒸着マスク中間体１０の表面１０Ｆに直交し、かつ、幅方向ＤＷに沿う第１脆弱部１１ｃの断面構造における一例を示している。
第１脆弱部１１ｃは、ハーフエッチング線を有してもよいし、間隔を空けて並ぶ複数のハーフエッチング部を有してもよい。ハーフエッチング線およびハーフエッチング部は、第２板厚を有している。第２板厚は、第１板厚よりも薄い。または、第１脆弱部１１ｃは、間隔を空けて並ぶ複数の貫通孔を有してもよい。第１脆弱部１１ｃが複数のハーフエッチング部を有する場合には、複数のハーフエッチング部は、幅方向ＤＷに沿って直線状に並んでもよいし、幅方向ＤＷに沿って千鳥状に並んでもよい。

またあるいは、第１脆弱部１１ｃは、ハーフエッチング線と、ハーフエッチング線上においてハーフエッチング線の延びる方向に沿って並ぶ複数の貫通孔とを有してもよい。またあるいは、第１脆弱部１１ｃは、帯状部１１の幅方向ＤＷに沿って並ぶハーフエッチング部と貫通孔とを有してもよい。この場合には、ハーフエッチング部と貫通孔とが交互に並んでよい。

第１脆弱部１１ｃのハーフエッチング線およびハーフエッチング部は、第２板厚を有している。これに対して、帯状部１１が有する周辺部１１ｂのうちでハーフエッチング線が位置しない部分は、第１板厚を有している。

図３は、第１脆弱部１１ｃがハーフエッチング線を有する場合における第１脆弱部１１ｃの断面構造を示している。
図３が示すように、第１脆弱部１１ｃは、帯状部１１の幅方向ＤＷに沿って延びるハーフエッチング線１１ｃ１を有している。本実施形態において、ハーフエッチング線１１ｃ１は、蒸着マスク中間体１０の表面１０Ｆに形成された線状を有した窪みである。なお、ハーフエッチング線１１ｃ１は、蒸着マスク中間体１０の裏面１０Ｒに形成されてもよい。ハーフエッチング線１１ｃ１は第２板厚Ｔ２を有し、帯状部１１が有する周辺部１１ｂのうちでハーフエッチング線１１ｃ１以外の部分は、第１板厚Ｔ１を有している。

第１脆弱部１１ｃがハーフエッチング線１１ｃ１を有する場合には、ハーフエッチング線１１ｃ１の幅は、帯状部１１の幅方向ＤＷにおいて一定であってもよいし、複数の大きさを含んでもよい。ハーフエッチング線１１ｃ１の幅は、帯状部１１の長手方向ＤＬに沿うハーフエッチング線１１ｃ１の太さである。

図４は、第１脆弱部１１ｃが、ハーフエッチング線と、ハーフエッチング線上においてハーフエッチング線が延びる方向に沿って並ぶ複数の貫通孔とを有する場合における第１脆弱部１１ｃの断面構造を示している。

図４が示すように、第１脆弱部１１ｃは、帯状部１１の幅方向ＤＷに沿って延びるハーフエッチング線１１ｃ１と、ハーフエッチング線１１ｃ１上において、幅方向ＤＷに沿って間隔を空けて並ぶ貫通孔１１ｃ２とを有している。本実施形態では、複数の貫通孔１１ｃ２は、幅方向ＤＷにおいて等間隔で並んでいるが、複数の貫通孔１１ｃ２は、幅方向ＤＷにおいて不規則に並んでいてもよい。

ハーフエッチング線１１ｃ１の幅は、帯状部１１の幅方向ＤＷにおいて一定であってもよいし、複数の大きさを含んでもよい。また、貫通孔１１ｃ２の幅は、帯状部１１の幅方向ＤＷにおいて一定であってもよいし、複数の貫通孔１１ｃ２には、互いに異なる幅を有した貫通孔１１ｃ２が含まれてもよい。ハーフエッチング線１１ｃ１の幅と貫通孔１１ｃ２の幅とは等しくてもよいし、互いに異なってもよい。

なお、本実施形態において、連結部１３は、帯状部１１の縁１１ｅに沿うハーフエッチング線、および、帯状部１１の縁１１ｅに沿って並ぶ複数のハーフエッチング部の少なくとも一方を含んでいる。ハーフエッチング線およびハーフエッチング部は、第１板厚Ｔ１よりも薄い第２板厚Ｔ２を有している。連結部１３は、図３および図４を参照して先に説明した第１脆弱部１１ｃと同様の構造を有している。これにより、連結部１３のうち、少なくともハーフエッチング線あるいはハーフエッチング部が形成された部分を切断されやすくすることができる。

図５は、図１が示す蒸着マスク中間体１０の平面構造における一部を拡大して示している。なお、蒸着マスク中間体１０は、金属薄板から蒸着マスク中間体１０が製造される間において、ロールツーロール装置によって搬送される。金属薄板および蒸着マスク中間体１０の搬送方向は、帯状部１１の長手方向ＤＬと平行な方向である。図５には、帯状部１１の端部のうちで、蒸着マスク中間体１０の搬送方向における上流に位置する端部が示されている。

図５が示すように、枠状部１２は、帯状部１１を囲む内側縁１２ｅ１と、枠状部１２の外形を形成する外側縁１２ｅ２とを含んでいる。内側縁１２ｅ１は、連結部１３との境界と、スリット１０Ｓとの境界とによって形成されている。蒸着マスク中間体１０は、第２脆弱部１２ａを備えている。第２脆弱部１２ａは、枠状部１２において、スリット１０Ｓからスリット１０Ｓに対して帯状部１１とは反対側に向けて延びる線状を有している。これにより、第２脆弱部１２ａに沿って枠状部１２を切断することができるため、枠状部１２から帯状部１１を切り離す作業が行いやすくなる。

本実施形態では、蒸着マスク中間体１０は、複数の第２脆弱部１２ａを有している。各第２脆弱部１２ａは、帯状部１１の長手方向ＤＬと交差する方向に沿って、帯状部１１の搬送方向における上流から下流に向けて延びる形状を有している。蒸着マスク中間体１０は、１つの帯状部１１について４つの第２脆弱部１２ａを有している。４つの第２脆弱部１２ａのうち、２つの第２脆弱部１２ａが、帯状部１１の搬送方向において、帯状部１１の中央よりも上流に位置している。これに対して、他の２つの第２脆弱部１２ａが、帯状部１１の搬送方向において、帯状部１１の中央よりも下流に位置している。なお、下流に位置する一対の第２脆弱部１２ａは、図５には図示されていないが、長手方向ＤＬにおける帯状部１１の中央を通り、かつ、幅方向ＤＷに沿って延びる対称軸に対して、上流に位置する一対の第２脆弱部１２ａと線対称の関係を有する位置に配置されている。

１つの帯状部１１について、上流に位置する一対の第２脆弱部１２ａが、帯状部１１の幅方向ＤＷにおいて帯状部１１を挟んでいる。また、１つの帯状部１１について、下流に位置する一対の第２脆弱部１２ａが、帯状部１１の幅方向ＤＷにおいて帯状部１１を挟んでいる。

第２脆弱部１２ａは、第１脆弱部１１ｃと同様、ハーフエッチング線を有してもよいし、間隔を空けて並ぶ複数のハーフエッチング部を有してもよい。またあるいは、第２脆弱部１２ａは、ハーフエッチング線と、ハーフエッチング線上において、ハーフエッチング線の延びる方向に沿って並ぶ複数の貫通孔とを有してもよい。また、あるいは、第２脆弱部１２ａは、第２脆弱部１２ａの延在方向に沿って並ぶハーフエッチング部と貫通孔とを有してもよい。この場合には、ハーフエッチング部と貫通孔とが交互に並んでよい。なお、第２脆弱部１２ａがハーフエッチング線またはハーフエッチング部を有する場合には、ハーフエッチング線またはハーフエッチング部は、蒸着マスク中間体１０の裏面１０Ｒにおいて窪むことが可能である。

図６および図７は、図５が示す領域Ａを拡大して示している。すなわち、図６および図７は、スリット１０Ｓと第２脆弱部１２ａとの接続部を含む領域を拡大して示している。図６はスリット１０Ｓが有する形状における一例を示す一方で、図７はスリット１０Ｓが有する形状における他の例を示している。

図６が示すように、スリット１０Ｓは、延在部１０Ｓ１と、突出部１０Ｓ２とを含んでいる。延在部１０Ｓ１は、帯状部１１の長辺１１ｅ１に沿って延びる部分である。突出部１０Ｓ２は、延在部１０Ｓ１から延在部１０Ｓ１に対して帯状部１１とは反対側に向けて突出する部分である。図６が示す例では、突出部１０Ｓ２の外形が、延在部１０Ｓ１が延びる方向に対して直交する方向に沿って延びる矩形状を有している。第２脆弱部１２ａは、突出部１０Ｓ２に接続されている。

第２脆弱部１２ａが突出部１０Ｓ２に接続されるため、第２脆弱部１２ａが延在部１０Ｓ１に接続される場合に比べて、第２脆弱部１２ａの端部と帯状部１１との間の距離を長くすることが可能である。これにより、第２脆弱部１２ａを切断するための力に起因して帯状部１１にしわなどの変形が生じることが抑えられる。

突出部１０Ｓ２のうち、延在部１０Ｓ１に接続する端部が基端であり、基端とは反対側の端部が先端である。第２脆弱部１２ａは、突出部１０Ｓ２の基端から先端に向かう途中に接続されている。なお、第２脆弱部１２ａは、突出部１０Ｓ２の先端に接続されてもよい。

長辺１１ｅ１の非連結部は、帯状部１１の長手方向ＤＬにおいて、マスク部１１ａよりも短辺１１ｅ２寄りの位置まで延びている。すなわち、長辺１１ｅ１に沿うスリット１０Ｓが、マスク部１１ａよりも短辺１１ｅ２寄りの位置まで延びている。連結部１３は、長辺１１ｅ１における非連結部以外の部分を枠状部１２に連結している。突出部１０Ｓ２は、スリット１０Ｓの端部から延在部１０Ｓ１に対して帯状部１１とは反対側に向けて延びている。第１脆弱部１１ｃは、帯状部１１の長手方向ＤＬにおいて、突出部１０Ｓ２よりもマスク部１１ａ寄りに位置している。

これにより、帯状部１１の幅方向ＤＷにおいて第１脆弱部１１ｃと突出部１０Ｓ２とが並ぶ場合に比べて、第２脆弱部１２ａを切断するための力が第２脆弱部１２ａに作用した際に、第１脆弱部１１ｃが第２脆弱部１２ａとともに切断されることが抑えられる。

また、スリット１０Ｓと連結部１３との接続部は、枠状部１２から帯状部１１を取り外すために連結部１３を切断する際に、切断の始点に設定される場合がある。この場合には、スリット１０Ｓと連結部１３との接続部に、連結部１３を切断するために必要な力が作用する。そのため、帯状部１１の幅方向ＤＷにおいて突出部１０Ｓ２と第１脆弱部１１ｃが並ぶ場合、すなわち、第１脆弱部１１ｃが延在部１０Ｓ１の端部に接続されている場合には、連結部１３の切断と同時に、第１脆弱部１１ｃが切断される場合がある。この点、本実施形態の蒸着マスク中間体１０によれば、帯状部１１の長手方向ＤＬにおいて、突出部１０Ｓ２の位置と第１脆弱部１１ｃの位置とがずれているため、連結部１３の切断時に第１脆弱部１１ｃが切断されることが抑えられる。

図７が示すように、突出部１０Ｓ２は、長手方向ＤＬにおける延在部１０Ｓ１の端部に位置している。突出部１０Ｓ２は、延在部１０Ｓ１に対して帯状部１１とは反対側に向けて突出する形状を有している。図７が示す例では、突出部１０Ｓ２の外形は、台形状を有している。突出部１０Ｓ２が区画する台形において、上底と下底とを結ぶ斜辺と、連結部１３において長手方向ＤＬに沿って延びる部分とが形成する角度が、第２角度θ２である。第２角度θ２は、２０°以上５０°以下であってよい。第２脆弱部１２ａは、突出部１０Ｓ２が区画する台形のうちで、斜辺と下底とが形成する頂点に接続されている。長手方向ＤＬに沿って下底から延長した直線と、第２脆弱部１２ａとが形成する角度が第１角度θ１である。第１角度θ１は、第２角度θ２よりも小さくてよい。

なお、上述したように、枠状部１２には、１つの帯状部１１について、搬送方向における上流に位置する一対の第２脆弱部１２ａと、下流に位置する一対の第２脆弱部１２ａとが形成されている。各第２脆弱部１２ａに接続される突出部１０Ｓ２は、図６を参照して説明した形状を有してもよいし、図７を参照して説明した形状を有してもよい。

図８は、図５が示す領域Ｂを拡大して示している。すなわち、図８は、第２脆弱部１２ａにおける上流側の端部を含む領域を拡大して示している。
図８が示すように、各第２脆弱部１２ａの上流端部は、枠状部１２を貫通する上流側貫通部１２ｈ１に接続されている。２つの上流側貫通部１２ｈ１は、幅方向ＤＷにおいて、所定の間隔を開けて並んでいる。帯状部１１から蒸着マスクを形成する際には、例えば、枠状部１２を切断可能な器具によって、枠状部１２のなかで、幅方向ＤＷにおいて２つの上流側貫通部１２ｈ１によって挟まれる部分を切断し、これによって、切断片を形成する。次いで、蒸着マスク中間体１０が広がる平面とは交差する方向に向けて切断片を引き上げることによって、２つの第２脆弱部１２ａを切断する力を、２つの第２脆弱部１２ａに対して同時に作用させることが可能である。

なお、幅方向ＤＷにおいて２つの帯状部１１を挟む一対の第２脆弱部１２ａの各々においても、上流端部が上流側貫通部１２ｈ１に接続されている。また、枠状部１２には、当該上流側貫通部１２ｈ１と対となる他の上流側貫通部１２ｈ１が形成されている。これら２つの上流側貫通部１２ｈ１は、幅方向ＤＷに沿って並んでいる。

図９は、第２脆弱部１２ａにおける下流側の端部を含む領域を示している。
図９が示すように、枠状部１２は、２つの第２脆弱部１２ａの下流端部に連なる被把持片１２ｂと、被把持片１２ｂを囲む下流側貫通部１２ｈ２とを備えている。これにより、第２脆弱部１２ａの下流端部に連なる被把持片１２ｂを器具によって把持したり、人の指によって把持したりすることが可能であるため、第２脆弱部１２ａを切断する力を第２脆弱部１２ａに作用させやすい。蒸着マスク中間体１０が広がる平面とは交差する方向に向けて被把持片１２ｂを引き上げることによって、２つの第２脆弱部１２ａを切断する力を、２つの第２脆弱部１２ａに対して同時に作用させることが可能である。

なお、幅方向ＤＷにおいて２つの帯状部１１を挟む一対の第２脆弱部１２ａの各々においても、下流端部が被把持片１２ｂに接続され、かつ、被把持片１２ｂが下流側貫通部１２ｈ２に囲まれている。被把持片１２ｂには、１つの第２脆弱部１２ａにおける下流端部が接続されている。

［蒸着マスクの構造］
図１０から図１３を参照して、蒸着マスクの構造を説明する。
図１０が示すように、蒸着マスク１１Ｍは、帯状部１１と同様、長手方向ＤＬと幅方向ＤＷとを有している。蒸着マスク１１Ｍの長手方向ＤＬが帯状部１１の長手方向ＤＬに対応し、蒸着マスク１１Ｍの幅方向ＤＷが帯状部１１の幅方向ＤＷに対応する。蒸着マスク１１Ｍは、長手方向ＤＬに沿って延びる帯状を有している。蒸着マスク中間体１０が有する連結部１３の切断によって枠状部１２から帯状部１１が取り外され、これによって、帯状部１１から蒸着マスク１１Ｍを形成することが可能である。

マスク装置２０は、蒸着マスク１１Ｍとフレーム２１とを備えている。蒸着マスク１１Ｍは、蒸着マスク１１Ｍが有するマスク部１１ａが、フレーム２１が取り囲む領域内に位置するようにフレーム２１に取り付けられる。蒸着マスク１１Ｍのうち、第１脆弱部１１ｃを含む部分が、フレーム２１に取り付けられる。蒸着マスク１１Ｍは、接着剤によってフレーム２１に取り付けられてもよいし、締結部材によってフレームに取り付けられてもよいし、溶接によってフレーム２１に取り付けられてもよい。

蒸着マスク１１Ｍがフレーム２１に取り付けられる際には、蒸着マスク１１Ｍの短辺１１ｅ２が、他の短辺１１ｅ２から離れる方向に向けて引っ張られ、これにより、長手方向ＤＬに沿う寸法を引き延ばすような張力が蒸着マスク１１Ｍに与えられた状態で、蒸着マスク１１Ｍがフレーム２１に取り付けられる。

なお、図１０が示す例では、マスク装置２０は２つの蒸着マスク１１Ｍを備えているが、マスク装置２０は、蒸着マスク１１Ｍを１つのみ備えてもよいし、３つ以上の蒸着マスク１１Ｍを備えてもよい。マスク装置２０が備える蒸着マスク１１Ｍの個数に限らず、蒸着マスク１１Ｍにおいて、第１脆弱部１１ｃを含む部分が、フレーム２１に取り付けられる。

蒸着マスク１１Ｍがフレーム２１に取り付けられる際には、蒸着マスク１１Ｍの表面１１Ｆにおける一部が、フレームに取り付けられる。これにより、マスク孔１１ｈにおける大孔１１ｈＬが、フレーム２１が取り囲む領域に向けて開口している。また、第１脆弱部１１ｃが備えるハーフエッチング線またはハーフエッチング部は、フレーム２１に向けて開口している。

図１１が示すように、蒸着マスク１１Ｍがフレーム２１に取り付けられた後に、第１脆弱部１１ｃが切断されることによって、蒸着マスク１１Ｍのうちで、第１脆弱部１１ｃよりも短辺１１ｅ２寄りの部分が取り除かれる。蒸着マスク１１Ｍは、長手方向ＤＬの両端部の各々に、第１脆弱部１１ｃの切断によって形成された切断痕１１ｃｍを有している。

図１２および図１３は、図１１が示す領域Ｄを拡大して示している。なお、図１２および図１３は、領域Ｄを蒸着マスク１１Ｍの裏面１１Ｒと対向する視点から見た場合の切断痕１１ｃｍの構造を示している。図１２は、図３を参照して先に説明したように、第１脆弱部１１ｃがハーフエッチング線１１ｃ１を備える場合に形成される切断痕１１ｃｍを示している。これに対して図１３は、第１脆弱部１１ｃが、図４を参照して先に説明したように、第１脆弱部１１ｃが、ハーフエッチング線１１ｃ１と、ハーフエッチング線上において、ハーフエッチング線１１ｃ１の延びる方向に沿って並ぶ複数の貫通孔１１ｃ２を備える場合に形成される切断痕１１ｃｍを示している。

図１２が示すように、第１脆弱部１１ｃがハーフエッチング線１１ｃ１を備える場合には、切断痕１１ｃｍは、蒸着マスク１１Ｍの表面１１Ｆから裏面１１Ｒに向けて捲れあがった部分を蒸着マスク１１Ｍの幅方向ＤＷにわたって有している。第１脆弱部１１ｃが切断される際には、第１脆弱部１１ｃが折り曲げ部となるように、蒸着マスク１１Ｍが折り曲げられる。この際に、蒸着マスク１１Ｍにおける表面１１Ｆの一部がフレームに取り付けられているため、蒸着マスク１１Ｍの裏面１１Ｒの一部と、当該裏面１１Ｒの他の一部とが対向するように、蒸着マスク１１Ｍが折り曲げられる。

図１３が示すように、第１脆弱部１１ｃがハーフエッチング線１１ｃ１と複数の貫通孔１１ｃ２とを備える場合には、切断痕１１ｃｍは、複数の捲れｃｍ１と複数の窪みｃｍ２とを備えている。切断痕１１ｃｍが延びる方向において、捲れｃｍ１と窪みｃｍ２とが交互に並んでいる。切断痕１１ｃｍにおいて、複数の捲れｃｍ１は、ハーフエッチング線１１ｃ１が切断されることによって形成された部分である。切断痕１１ｃｍにおいて、各窪みｃｍ２は、各貫通孔１１ｃ２に対応する部分である。各捲れｃｍ１は、蒸着マスク１１Ｍの表面１１Ｆから裏面１１Ｒに向けて捲れあがっている。

本実施形態の蒸着マスク１１Ｍでは、ハーフエッチング線１１ｃ１が表面１０Ｆに開口するから、蒸着マスク中間体１０から形成された蒸着マスク１１Ｍがフレーム２１に貼り付けられた場合に、ハーフエッチング線１１ｃ１がフレーム２１に向けて開口する。そのため、ハーフエッチング線１１ｃ１が裏面１０Ｒに開口する場合に比べて、裏面１０Ｒの一部と、当該裏面１０Ｒの他の一部とが対向するように蒸着マスク１１Ｍを折り曲げる場合に、第１脆弱部１１ｃに沿って蒸着マスク１１Ｍを折り曲げるために必要な力が小さくてすむ。これにより、蒸着マスク１１Ｍの折り曲げに要する負荷を軽減することができる。また、第１脆弱部１１ｃに沿って蒸着マスク１１Ｍを切断するために必要な時間を短くすることもできる。なお、第１脆弱部１１ｃがハーフエッチング部を含む場合にも、ハーフエッチング線１１ｃ１を含む場合と同等の効果を得ることができる。

［試験例］
第１脆弱部１１ｃの構造が互いに異なる試験例１から試験例４の蒸着マスク１１Ｍを形成した。なお、以下に参照する図１４から図１７は、蒸着マスク１１Ｍの表面１１Ｆと対向する平面視における第１脆弱部１１ｃの構造を示している。各第１脆弱部１１ｃは、蒸着マスク１１Ｍの表面１１Ｆに位置している。

［試験例１］
図１４が示すように、試験例１では、幅方向ＤＷに沿って延びるハーフエッチング線１１ｃ１によって第１脆弱部１１ｃを形成した。

［試験例２］
図１５が示すように、試験例２では、試験例１のハーフエッチング線１１ｃ１を、幅方向ＤＷおよび長手方向ＤＬの両方において等間隔で分割することにより、第１脆弱部１１ｃを複数のハーフエッチング部１１ｃ３によって形成した。この際に、幅方向ＤＷにおいて、間隔ＧＷを空けて複数のハーフエッチング部１１ｃ３を並べた。また、長手方向ＤＬにおいて、間隔ＧＬを空けて２つのハーフエッチング部１１ｃ３を並べた。なお、各ハーフエッチング部１１ｃ３の幅を試験例１の幅Ｗの１／３の長さに設定し、かつ、間隔ＧＬを幅Ｗの１／３の長さに設定した。

［試験例３］
図１６が示すように、試験例３では、幅方向ＤＷに沿って等間隔で並ぶ複数のハーフエッチング部１１ｃ３によって第１脆弱部１１ｃを形成した。各ハーフエッチング部１１ｃ３の形状を長方形状に設定した。幅方向ＤＷにおいて、ハーフエッチング部１１ｃ３間の間隔ＧＷを試験例２の間隔ＧＷよりも小さくした。

［試験例４］
図１７が示すように、試験例４では、試験例３と同様に、複数のハーフエッチング部１１ｃ３によって第１脆弱部１１ｃを形成した。各ハーフエッチング部１１ｃ３の形状を試験例３のハーフエッチング部１１ｃ３と同一の形状に設定した。一方で、複数のハーフエッチング部１１ｃ３を千鳥状に配列した。この際に、幅方向ＤＷにおいて互いに隣り合う２つのハーフエッチング部１１ｃ３について、長手方向ＤＬにおいて、一方のハーフエッチング部１１ｃ３の位置に対する他方のハーフエッチング部１１ｃ３の位置をハーフエッチング部１１ｃ３の幅Ｗ分だけずらした。また、幅方向ＤＷにおいて互いに隣り合う２つのハーフエッチング部１１ｃ３の間の間隔ＧＷを試験例３と同一に設定した。

［評価方法および評価方法］
各試験例の蒸着マスク１１Ｍが有する表面１１Ｆの一部をフレーム２１に貼り付けることによって、マスク装置２０を形成した。次いで、第１脆弱部１１ｃに沿って各蒸着マスク１１Ｍを切断した。蒸着マスク１１Ｍが第１脆弱部１１ｃに沿って切断されるまでに必要な折り曲げの回数を計数したところ、試験例１，３，４では、蒸着マスク１１Ｍを２回折り曲げることによって、蒸着マスク１１Ｍが第１脆弱部１１ｃに沿って切断されることが認められた。これに対して、試験例２では、蒸着マスク１１Ｍを４回折り曲げることによって、蒸着マスク１１Ｍが第１脆弱部１１ｃに沿って切断されることが認められた。このように、試験例１，３，４の蒸着マスク１１Ｍによれば、試験例２の蒸着マスク１１Ｍに比べて、少ない回数の折り曲げによって蒸着マスク１１Ｍを切断することが可能であることが認められた。

なお、試験例４の蒸着マスク１１Ｍでは、試験例２，３の蒸着マスク１１Ｍに比べて、長手方向ＤＬにおけるハーフエッチング部１１ｃ３間の間隔が長いから、蒸着マスク中間体１０の搬送時において第１脆弱部１１ｃの意図しない切断が生じにくい。この点において、試験例４の蒸着マスク１１Ｍは、試験例２，３の蒸着マスク１１Ｍよりも好ましい。

以上説明したように、蒸着マスク中間体、蒸着マスク、および、蒸着マスクの製造方法における第１実施形態によれば、以下に記載の効果を得ることができる。
（１‐１）周辺部１１ｂに第１脆弱部１１ｃが位置するため、第１脆弱部１１ｃを切断することによって、帯状部１１のうち、切り欠きｅ２１を含む両端部を、帯状部１１のうちでマスク部１１ａを含む部分から切り離すことが可能である。

（１‐２）連結部１３を切断することによって帯状部１１を枠状部１２から切り離す際に、連結部１３を切断するために連結部１３に作用させた力に起因してマスク部１１ａにしわなどの変形が生じることが抑えられる。

（１‐３）連結部１３のうち、少なくともハーフエッチング線あるいはハーフエッチング部が形成された部分を切断されやすくすることができる。
（１‐４）第２脆弱部１２ａに沿って枠状部１２を切断することができるため、枠状部１２から帯状部１１を切り離す作業が行いやすくなる。

（１‐５）第２脆弱部１２ａが突出部１０Ｓ２に接続されるため、第２脆弱部１２ａが延在部１０Ｓ１に接続される場合に比べて、第２脆弱部１２ａの端部と帯状部１１との間の距離を長くすることが可能である。これにより、第２脆弱部１２ａを切断するための力に起因して帯状部１１にしわなどの変形が生じることが抑えられる。

（１‐６）帯状部１１の幅方向ＤＷにおいて第１脆弱部１１ｃと突出部１０Ｓ２とが並ぶ場合に比べて、第２脆弱部１２ａを切断するための力が第２脆弱部１２ａに作用した際に、第１脆弱部１１ｃが第２脆弱部１２ａとともに切断されることが抑えられる。

［第２実施形態］
図１８から図２１を参照して、蒸着マスク中間体、蒸着マスク、および、蒸着マスクの製造方法における第２実施形態を説明する。第２実施形態では、連結部の構造が第１実施形態における連結部の構造と異なっている。そのため以下では、こうした相違点を詳しく説明する一方で、第２実施形態において第１実施形態と共通する部分には第１実施形態と同一の符号を付すことによって、当該部分の詳しい説明を省略する。以下では、蒸着マスク中間体の構造を説明する。

［蒸着マスク中間体の構造］
図１８から図２１を参照して、蒸着マスク中間体の構造を説明する。
図１８が示すように、蒸着マスク中間体３０は、第１実施形態の蒸着マスク中間体１０と同様、帯状部１１および枠状部１２を備えている。蒸着マスク中間体３０は、複数の連結部３３を備えている。帯状部１１は、連結部３３によって枠状部１２に連結されている。

蒸着マスク中間体３０において、周辺部１１ｂおよび枠状部１２は、第１板厚を有している。複数の連結部３３は、帯状部１１の縁１１ｅに沿って間隔を空けて位置し、各連結部３３は第１板厚を有している。帯状部１１の縁１１ｅのうち連結部３３が接続した部分以外の部分に沿って、スリット３０Ｓが位置している。帯状部１１の縁１１ｅのうち連結部３３が接続した部分以外の部分に沿ってスリット３０Ｓが位置するため、連結部３３を切断する作業が行いやすい。

長辺１１ｅ１は、枠状部１２に連結されない非連結部を含んでいる。非連結部は、帯状部１１の幅方向ＤＷにおいてマスク部１１ａと隣り合う部分を含んでいる。そのため、連結部３３を切断することによって帯状部１１を枠状部１２から切り離す際に、連結部３３を切断するために連結部３３に作用させた力に起因してマスク部１１ａにしわなどの変形が生じることが抑えられる。

連結部３３は、帯状部１１の縁１１ｅのうちで、Ｕ字状を有した切り欠きｅ２１の底部以外の部分を枠状部１２に連結することが好ましい。これにより、帯状部１１から形成された蒸着マスクの取り付けに際して、蒸着マスクに張力が与えられた場合に、連結部３３の切断痕に起因して、蒸着マスクにしわが生じることが抑えられる。

図１９および図２０は、蒸着マスク中間体３０のうちで、図５における領域Ａに相当する部分を拡大して示している。図１９はスリット３０Ｓが有する形状における一例を示す一方で、図２０はスリット３０Ｓが有する形状における他の例を示している。

図１９が示すように、スリット３０Ｓのうちで長辺１１ｅ１に沿う部分がスリット部３０Ｓ１である。蒸着マスク中間体３０は、第１実施形態の蒸着マスク中間体１０と同様、枠状部１２において、スリット部３０Ｓ１からスリット部３０Ｓ１に対して帯状部１１とは反対側に向けて延びる線状を有した第２脆弱部３２ａを備えている。これにより、第２脆弱部３２ａに沿って枠状部１２を切断することができるため、枠状部１２から帯状部１１を切り離す作業が行いやすくなる。

スリット部３０Ｓ１は、帯状部１１の縁１１ｅに沿って延びる延在部Ｓ１１と、延在部Ｓ１１から延在部Ｓ１１に対して帯状部１１とは反対側に向けて突出する突出部Ｓ１２を含んでいる。図１９が示す例では、突出部Ｓ１２の外形が、延在部Ｓ１１が延びる方向に対して直交する方向に沿って延びる矩形状を有している。第２脆弱部３２ａは、突出部Ｓ１２に接続されている。第２脆弱部３２ａが突出部Ｓ１２に接続されるため、第２脆弱部３２ａがスリット３０Ｓのうちで帯状部１１に沿う部分に接続される場合に比べて、第２脆弱部３２ａの端部と帯状部１１との間の距離を長くすることが可能である。これにより、第２脆弱部３２ａを切断するための力に起因して帯状部１１にしわなどの変形が生じることが抑えられる。

スリット部３０Ｓ１は、帯状部１１の長手方向ＤＬにおいて、マスク部１１ａよりも短辺１１ｅ２寄りに位置する部分を含んでいる。突出部Ｓ１２は、帯状部１１の長手方向ＤＬにおいて、マスク部１１ａよりも短辺１１ｅ２寄りに位置している。第１脆弱部１１ｃは、帯状部１１の長手方向ＤＬにおいて、突出部Ｓ１２よりもマスク部１１ａ寄りに位置している。帯状部１１の幅方向ＤＷにおいて第１脆弱部１１ｃと突出部Ｓ１２とが並ぶ場合に比べて、第２脆弱部３２ａを切断するための力が第２脆弱部３２ａに作用した際に、第１脆弱部１１ｃが第２脆弱部３２ａとともに切断されることが抑えられる。

突出部Ｓ１２のうち、延在部Ｓ１１に接続する端部が基端であり、基端とは反対側の端部が先端である。第２脆弱部３２ａは、突出部Ｓ１２の基端から先端に向かう途中に接続されている。なお、第２脆弱部３２ａは、突出部Ｓ１２の先端に接続されてもよい。

図２０が示すように、突出部Ｓ１２は、延在部Ｓ１１が長手方向ＤＬに沿って延びる途中に位置している。突出部Ｓ１２は、延在部Ｓ１１に対して帯状部１１とは反対側に向けて突出する形状を有している。図２０が示す例では、突出部Ｓ１２の外形は、台形状を有している。突出部Ｓ１２が区画する台形において、上底と下底とを結ぶ斜辺と、延在部Ｓ１１とが形成する角度が第４角度θ４である。第４角度θ４は、２０°以上５０°以下であってよい。第２脆弱部３２ａは、突出部Ｓ１２が区画する台形のうちで、斜辺と下底とが形成する頂点に接続されている。長手方向ＤＬに沿って下底から延長した直線と、第２脆弱部３２ａとが形成する角度が第３角度θ３である。第３角度θ３は、第４角度θ４よりも小さくてよい。

上述したように、枠状部１２には、１つの帯状部１１について、搬送方向における上流に位置する一対の第２脆弱部３２ａと、下流に位置する一対の第２脆弱部３２ａとが形成されている。各第２脆弱部３２ａに接続される突出部Ｓ１２は、図１９を参照して説明した形状を有してもよいし、図２０を参照して説明した形状を有してもよい。

以上説明したように、蒸着マスク中間体、蒸着マスク、および、蒸着マスクの製造方法における第２実施形態によれば、上述した（１‐１）に加えて、以下に記載の効果を得ることができる。

（２‐１）帯状部１１の縁１１ｅのうち連結部３３が接続した部分以外の部分に沿ってスリット３０Ｓが位置するため、連結部３３を切断する作業が行いやすい。
（２‐２）連結部３３を切断することによって帯状部１１を枠状部１２から切り離す際に、連結部３３を切断するために連結部３３に作用させた力に起因してマスク部１１ａにしわなどの変形が生じることが抑えられる。

（２‐３）第２脆弱部３２ａに沿って枠状部１２を切断することができるため、枠状部１２から帯状部１１を切り離す作業が行いやすくなる。
（２‐４）第２脆弱部３２ａが突出部Ｓ１２に接続されるため、第２脆弱部３２ａがスリット３０Ｓのうちで帯状部１１に沿う部分に接続される場合に比べて、第２脆弱部３２ａの端部と帯状部１１との間の距離を長くすることが可能である。これにより、第２脆弱部３２ａを切断するための力に起因して帯状部１１にしわなどの変形が生じることが抑えられる。

（２‐５）帯状部１１の幅方向ＤＷにおいて第１脆弱部１１ｃと突出部Ｓ１２とが並ぶ場合に比べて、第２脆弱部３２ａを切断するための力が第２脆弱部３２ａに作用した際に、第１脆弱部１１ｃが第２脆弱部３２ａとともに切断されることが抑えられる。

［変更例］
なお、各実施形態は、以下のように変更して実施することができる。
［スリット］
・突出部１０Ｓ２，Ｓ１２は、帯状部１１の幅方向ＤＷにおいて第１脆弱部１１ｃと並んでもよいし、帯状部１１の幅方向ＤＷにおいて第１脆弱部１１ｃよりもマスク部１１ａ寄りに位置してもよい。上述したように、第２脆弱部１２ａ，３２ａの切断時に第１脆弱部１１ｃが切断されることを抑える観点では、突出部１０Ｓ２，Ｓ１２は、帯状部１１の幅方向ＤＷにおいて、第１脆弱部１１ｃとは並ばないことが好ましい。また、第２脆弱部１２ａ，３２ａとマスク部１１ａとの間の距離を大きくし、これによって、マスク部１１ａにおけるしわなどの変形を抑える観点では、突出部１０Ｓ２，Ｓ１２は、第１脆弱部１１ｃよりも短辺１１ｅ２寄りに位置することが好ましい。

・スリット１０Ｓ，３０Ｓは、長辺１１ｅ１に沿って延びる延在部１０Ｓ１，Ｓ１１を備える一方で、突出部１０Ｓ２，Ｓ１２を備えなくてもよい。この場合には、第２脆弱部１２ａ，３２ａは、延在部１０Ｓ１，Ｓ１１に接続されればよい。この場合であっても、蒸着マスク中間体１０，３０が第２脆弱部１２ａ，３２ａを備えることによって、上述した（１‐４）、（２‐３）に準じた効果を得ることは可能である。

・各実施形態において、スリット１０Ｓ，３０Ｓのうちで長辺１１ｅ１に沿う部分は、帯状部１１の幅方向ＤＷにおいてマスク部１１ａと隣り合う一方で、帯状部１１の長手方向ＤＬにおいてマスク部１１ａよりも短辺１１ｅ２寄りには位置しなくてもよい。この場合には、第２脆弱部１２ａ，３２ａは、スリット１０Ｓ，３０Ｓのうちで、長辺１１ｅ１に延びる部分におけるいずれかの部位から、スリット１０Ｓ，３０Ｓに対して帯状部１１とは反対側に向けて延びていればよい。

［第２脆弱部］
・蒸着マスク中間体１０，３０が有する被把持片１２ｂおよび下流側貫通部１２ｈ２に代えて、上流側貫通部１２ｈ１が適用されてもよい。すなわち、下流側に位置する第２脆弱部１２ａ，３２ａの下流端部には、上流側貫通部１２ｈ１と同等の構造を有した貫通部が適用されてもよい。また、蒸着マスク中間体１０，３０が有する上流側貫通部１２ｈ１に代えて、被把持片１２ｂおよび下流側貫通部１２ｈ２が適用されてもよい。すなわち、上流側に位置する第２脆弱部１２ａ，３２ａの上流端部には、被把持片１２ｂと同等の構造を有した被把持片、および、下流側貫通部１２ｈ２と同等の構造を有した貫通部が適用されてもよい。いずれの場合であっても、蒸着マスク中間体１０，３０が第２脆弱部１２ａ，３２ａを有することによって、上述した（１‐４）、（２‐３）に準じた効果を得ることは可能である。

・蒸着マスク中間体１０，３０は、第２脆弱部１２ａ，３２ａの上流端部が接続される上流側貫通部１２ｈ１を有しなくてもよい。この場合であっても、蒸着マスク中間体１０，３０が第２脆弱部１２ａ，３２ａを有することによって、上述した（１‐４）、（２‐３）に準じた効果を得ることは可能である。

・蒸着マスク中間体１０，３０は、第２脆弱部１２ａ，３２ａの下流端部が接続される被把持片１２ｂ、および、下流側貫通部１２ｈ２を有しなくてもよい。この場合であっても、蒸着マスク中間体１０，３０が第２脆弱部１２ａ，３２ａを有することによって、上述した（１‐４）、（２‐３）に準じた効果を得ることは可能である。

・第２脆弱部１２ａ，３２ａは、突出部１０Ｓ２，Ｓ１２における基端から先端までのいずれかの位置に接続されていればよい。この場合であっても、第２脆弱部１２ａ，３２ａが突出部１０Ｓ２，Ｓ１２に接続されることによって、上述した（１‐５）、（２‐４）に準じた効果を得ることはできる。

・蒸着マスク中間体１０，３０は、第２脆弱部１２ａ，３２ａを有しなくてもよい。この場合であっても、蒸着マスク中間体１０，３０が第１脆弱部１１ｃを備えることによって、上述した（１‐１）に準じた効果を得ることは可能である。

［連結部］
・連結部１３，３３は、長辺１１ｅ１のうちで、帯状部１１の幅方向ＤＷにおいてマスク部１１ａと隣り合う部分を枠状部１２に連結してもよい。この場合であっても、蒸着マスク中間体１０，３０が第１脆弱部１１ｃを有することによって、上述した（１‐１）に準じた効果を得ることはできる。なお、上述したように、連結部１３，３３の切断によって帯状部１１にしわなどの変形が生じることを抑える観点では、長辺１１ｅ１のうちで、幅方向ＤＷにおいてマスク部１１ａと隣り合う部分は、枠状部１２に連結されていないことが好ましい。

・第２実施形態の連結部３３は、帯状部１１の縁１１ｅにおける一部に沿い、かつ、第１板厚Ｔ１を有する部分と、当該部分上に並ぶ複数の貫通孔とから形成されてもよい。この場合であっても、上述した（２‐１）に準じた効果を得ることはできる。

・連結部１３，３３は、帯状部１１の縁１１ｅの全周を枠状部１２に接続してもよい。例えば、第１実施形態の蒸着マスク中間体１０では、ハーフエッチング線が、帯状部１１の縁１１ｅの全周に沿って形成されてもよいし、ハーフエッチング線と、ハーフエッチング線に沿う複数の貫通孔とが、帯状部１１の縁１１ｅの全周に沿って形成されてもよい。また例えば、第１実施形態の蒸着マスク中間体１０では、ハーフエッチング部が、帯状部１１の縁１１ｅの全周に沿って間隔を空けて形成されてもよい。例えば、第２実施形態の蒸着マスク中間体３０では、帯状部１１の縁１１ｅの全周に沿って、複数の貫通孔が間隔を空けて形成されてもよい。

・第１実施形態において、連結部１３が有するハーフエッチング線またはハーフエッチング部は、蒸着マスク中間体１０の表面１０Ｆに開口してもよい。言い換えれば、連結部１３は、表面１０Ｆにおいて窪むハーフエッチング線またはハーフエッチング部を備えてもよい。この場合であっても、上述した（１‐３）に準じた効果を得ることは可能である。

［第１脆弱部］
・第１脆弱部１１ｃは、一方の長辺１１ｅ１から他方の長辺１１ｅ１に向けて延びていれば、帯状部１１の幅方向ＤＷに交差する方向に沿って延びてもよい。この場合であっても、蒸着マスク中間体１０，３０が第１脆弱部１１ｃを有するため、上述した（１‐１）に準じた効果を得ることは可能である。

・上述したように、第１脆弱部１１ｃが有するハーフエッチング線１１ｃ１は、蒸着マスク中間体１０，３０の裏面１０Ｒに開口してもよい。言い換えれば、ハーフエッチング線１１ｃ１は、裏面１０Ｒにおいて窪んでいてもよい。この場合であっても、蒸着マスク中間体１０，３０が第１脆弱部１１ｃを有するため、上述した（１‐１）に準じた効果を得ることは可能である。

・蒸着マスク中間体１０，３０は、帯状部１１の長手方向ＤＬにおいて、マスク部１１ａを挟む一対の第１脆弱部１１ｃを有しているが、二対以上の第１脆弱部１１ｃを有してもよい。この場合であっても、蒸着マスク中間体１０，３０が第１脆弱部１１ｃを有するため、上述した（１‐１）に準じた効果を得ることは可能である。

［マスク孔］
・図２１が示すように、マスク孔１１ｈは、蒸着マスク中間体１０の表面１０Ｆと直交する断面において、表面１０Ｆから裏面１０Ｒに向けて窪む弧状を有し、かつ、表面１０Ｆに開口する表面開口１１ｈＦと、裏面１０Ｒに開口する裏面開口１１ｈＲとを有してもよい。

［マスク装置］
・マスク装置２０において、蒸着マスク１１Ｍの裏面１１Ｒが、フレーム２１に取り付けられてもよい。この場合であっても、蒸着マスク中間体１０，３０が第１脆弱部１１ｃを有するため、上述した（１‐１）に準じた効果を得ることはできる。

１０，３０…蒸着マスク中間体
１０Ｓ，３０Ｓ…スリット
１０Ｓ１，Ｓ１１…延在部
１０Ｓ２，Ｓ１２…突出部
１１…帯状部
１１ａ…マスク部
１１ｂ…周辺部
１１ｃ…第１脆弱部
１１ｅ…縁
１１ｅ１…長辺
１１ｅ２…短辺
１１ｈ…マスク孔
１１Ｍ…蒸着マスク
１２…枠状部
１２ａ，３２ａ…第２脆弱部
１２ｅ１…内側縁
１２ｅ２…外側縁
１３，３３…連結部
３０Ｓ１…スリット部

Claims (15)

1. 帯状部と、
   前記帯状部を囲む枠状部と、
   前記帯状部と前記枠状部との間に位置し、前記帯状部を前記枠状部に連結する連結部と、を備え、
   前記帯状部は、一対の長辺と一対の短辺とを有した縁と、複数のマスク孔を有したマスク部と、前記マスク部を囲む周辺部とを備え、
   前記周辺部のうちで、前記帯状部の長手方向における前記マスク部と前記短辺との間には、一方の前記長辺から他方の前記長辺に向けて延びる形状を有した脆弱部が位置する
   蒸着マスク中間体。
2. 前記脆弱部は、複数のハーフエッチング部を含み、
   前記複数のハーフエッチング部は、一方の前記長辺から他方の前記長辺に向かう方向に沿って千鳥状に並んでいる
   請求項１に記載の蒸着マスク中間体。
3. 前記周辺部および前記枠状部は、第１板厚を有し、
   前記連結部は、前記帯状部の前記縁に沿うハーフエッチング線、および、前記帯状部の前記縁に沿って並ぶ複数のハーフエッチング部の少なくとも一方を含み、前記ハーフエッチング線および前記ハーフエッチング部は、前記第１板厚よりも薄い第２板厚を有する
   請求項１または２に記載の蒸着マスク中間体。
4. 前記長辺は、前記枠状部に連結されない非連結部を含み、前記非連結部は、前記帯状部の幅方向において前記マスク部と隣り合う部分を含み、
   前記非連結部と前記枠状部との間には、スリットが位置する
   請求項１から３のいずれか一項に記載の蒸着マスク中間体。
5. 前記脆弱部は、第１脆弱部であり、
   前記枠状部は、前記帯状部を囲む内側縁と、前記枠状部の外形を形成する外側縁とを含み、
   前記枠状部において、前記スリットから前記スリットに対して前記帯状部とは反対側に向けて延びる線状を有した第２脆弱部をさらに備える
   請求項４に記載の蒸着マスク中間体。
6. 前記スリットは、前記帯状部の前記縁に沿って延びる延在部と、前記延在部から前記延在部に対して前記帯状部とは反対側に向けて突出する突出部を含み、
   前記第２脆弱部は、前記突出部に接続されている
   請求項５に記載の蒸着マスク中間体。
7. 前記非連結部は、前記帯状部の前記長手方向において、前記マスク部よりも前記短辺寄りの位置まで延び、
   前記連結部は、前記長辺における前記非連結部以外の部分を前記枠状部に連結し、
   前記突出部は、前記スリットの端部から前記延在部に対して前記帯状部とは反対側に向けて突出し、
   前記第１脆弱部は、前記帯状部の前記長手方向において、前記突出部よりも前記マスク部寄りに位置する
   請求項６に記載の蒸着マスク中間体。
8. 前記周辺部および前記枠状部は、第１板厚を有し、
   前記連結部は、複数の連結部のうちの１つであり、前記複数の連結部は、前記帯状部の前記縁に沿って間隔を空けて位置し、各連結部は前記第１板厚を有し、
   前記帯状部の前記縁のうち前記連結部が接続した部分以外の部分に沿って、スリットが位置する
   請求項１または２に記載の蒸着マスク中間体。
9. 前記長辺は、前記枠状部に連結されない非連結部を含み、前記非連結部は、前記帯状部の幅方向において前記マスク部と隣り合う部分を含む
   請求項８に記載の蒸着マスク中間体。
10. 前記脆弱部は、第１脆弱部であり、
    前記枠状部は、前記帯状部を囲む内側縁と、前記枠状部の外形を形成する外側縁とを含み、
    前記スリットのうちで前記長辺に沿う部分がスリット部であり、
    前記枠状部において、前記スリット部から前記スリット部に対して前記帯状部とは反対側に向けて延びる線状を有した第２脆弱部をさらに備える
    請求項９に記載の蒸着マスク中間体。
11. 前記スリット部は、前記帯状部の前記縁に沿って延びる延在部と、前記延在部から前記延在部に対して前記帯状部とは反対側に向けて突出する突出部を含み、
    前記第２脆弱部は、前記突出部に接続されている
    請求項１０に記載の蒸着マスク中間体。
12. 前記スリット部は、前記帯状部の前記長手方向において、前記マスク部よりも前記短辺寄りに位置する部分を含み、
    前記突出部は、前記帯状部の前記長手方向において、前記マスク部よりも前記短辺寄りに位置し、
    前記第１脆弱部は、前記帯状部の前記長手方向において、前記突出部よりも前記マスク部寄りに位置する
    請求項１１に記載の蒸着マスク中間体。
13. 帯状を有した蒸着マスクであって、
    一対の長辺と一対の短辺を有した縁と、
    複数のマスク孔を有したマスク部と、
    前記マスク部を囲む周辺部と、を備え、
    前記周辺部のうちで、前記蒸着マスクの長手方向における前記マスク部と前記短辺との間には、一方の前記長辺から他方の前記長辺に向けて延びる形状を有した脆弱部が位置する
    蒸着マスク。
14. 請求項１３に記載の蒸着マスクと、
    前記蒸着マスクを支持するフレームと、を備え、
    前記蒸着マスクは、表面と前記表面とは反対側の裏面とを含み、
    前記脆弱部は、前記表面に開口するハーフエッチング部を含み、
    前記表面の一部が、前記フレームに取り付けられている
    マスク装置。
15. 帯状部、前記帯状部を囲む枠状部、および、前記帯状部と前記枠状部との間に位置し、前記帯状部を前記枠状部に連結する連結部を形成すること、および、
    前記連結部を切断して、前記枠状部から前記帯状部を切り離すことによって蒸着マスクを得ること、を含み、
    前記帯状部は、一対の長辺と一対の短辺を有した縁を備え、
    前記帯状部は、複数のマスク孔を有したマスク部と、前記マスク部を囲む周辺部とを備え、
    前記周辺部のうちで、前記帯状部の長手方向における前記マスク部と前記短辺との間には、一方の前記長辺から他方の前記長辺に向けて延びる形状を有した脆弱部が位置する
    蒸着マスクの製造方法。

Images