CN215887199U - 蒸镀掩模中间体、蒸镀掩模以及掩模装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及蒸镀掩模中间体、蒸镀掩模及掩模装置。蒸镀掩模中间体具备：带状部；框状部，包围所述带状部；以及连结部，位于带状部与框状部之间，将带状部连结于框状部，带状部具备具有一对长边和一对短边的边缘、具有多个掩模孔的掩模部、以及包围掩模部的周边部，长边的延伸方向为带状部的长边方向，周边部之中，在长边方向上的掩模部与短边之间存在有脆弱部，该脆弱部具有从一方的长边朝向另一方的长边延伸的形状的。

Description

蒸镀掩模中间体、蒸镀掩模以及掩模装置

技术领域

本实用新型涉及蒸镀掩模中间体、蒸镀掩模以及掩模装置。

背景技术

有机EL显示装置所具备的显示元件的制造时利用使用了蒸镀掩模的真空蒸镀。真空蒸镀所使用的蒸镀掩模是具有带状的金属制的薄板。蒸镀掩模具备掩模部及包围掩模部的周边部，该掩模部具有用于形成显示元件的多个掩模孔。蒸镀掩模具备由一对长边和一对短边形成的边缘(例如参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2017/014172号

蒸镀掩模在被固定于支撑蒸镀掩模的框架后，与框架一起被搭载于真空蒸镀装置。在蒸镀掩模被固定于框架时，长边方向上的各端部被向从另一方的端部离开的方向拉引，因而蒸镀掩模被作用沿着蒸镀掩模的长边方向的张力。蒸镀掩模以被作用张力的状态被固定于框架。此时，周边部之中的比短边靠掩模部的部分被固定于框架，因此蒸镀掩模中包含短边的部分从框架的外侧边缘伸出。

出于减小蒸镀掩模的设置面积、抑制将蒸镀掩模向真空蒸镀装置搭载的作业中等时蒸镀掩模钩挂到其他构件的目的，蒸镀掩模之中从框架伸出的部分被从蒸镀掩模除去。因此，从提高使用蒸镀掩模进行的蒸镀的效率的观点出发，希望在将蒸镀掩模固定到框架后将蒸镀掩模的端部除去的作业更加容易。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种蒸镀掩模中间体、蒸镀掩模以及掩模装置，能够使将蒸镀掩模固定到框架后的将蒸镀掩模的端部除去的作业容易。

本实用新型的一方面涉及蒸镀掩模中间体，其特征在于，具备：带状部；框状部，包围所述带状部；以及连结部，位于所述带状部与所述框状部之间，将所述带状部连结于所述框状部，所述带状部具备具有一对长边和一对短边的边缘、具有多个掩模孔的掩模部、以及包围所述掩模部的周边部，所述长边的延伸方向为所述带状部的长边方向，所述周边部之中，在所述长边方向上的所述掩模部与所述短边之间存在有脆弱部，该脆弱部具有从一方的所述长边朝向另一方的所述长边延伸的形状。

本实用新型的蒸镀掩模中间体也可以是，所述脆弱部包含多个半蚀刻部，所述多个半蚀刻部沿着从一方的所述长边朝向另一方的所述长边的方向以锯齿状排列。

本实用新型的蒸镀掩模中间体也可以是，所述周边部以及所述框状部具有第1板厚，所述连结部包含沿着所述带状部的所述边缘的半蚀刻线、以及沿着所述带状部的所述边缘排列的多个半蚀刻部中的至少一方，所述半蚀刻线以及所述半蚀刻部具有比所述第1板厚薄的第2板厚。

本实用新型的蒸镀掩模中间体也可以是，所述长边包含不被连结于所述框状部的非连结部，所述非连结部包含在所述带状部的宽度方向上与所述掩模部相邻的部分，在所述非连结部与所述框状部之间存在有狭缝。

本实用新型的蒸镀掩模中间体也可以是，所述脆弱部为第1脆弱部，所述框状部包含包围所述带状部的内侧边缘、以及形成所述框状部的外形的外侧边缘，在所述框状部中还具备第2脆弱部，该第2脆弱部具有从所述狭缝朝向相对于所述狭缝而与所述带状部相反的一侧延伸的线状。

本实用新型的蒸镀掩模中间体也可以是，所述狭缝包含沿着所述带状部的所述边缘延伸的延伸部、以及从所述延伸部朝向相对于所述延伸部而与所述带状部相反的一侧突出的突出部，所述第2脆弱部被连接于所述突出部。

本实用新型的蒸镀掩模中间体也可以是，所述非连结部在所述带状部的所述长边方向上延伸到比所述掩模部靠所述短边的位置，所述连结部将所述长边中的所述非连结部以外的部分连结于所述框状部，所述突出部从所述狭缝的端部朝向相对于所述延伸部而与所述带状部相反的一侧突出，所述第1脆弱部在所述带状部的所述长边方向上位于比所述突出部靠所述掩模部的位置。

本实用新型的蒸镀掩模中间体也可以是，所述周边部以及所述框状部具有第1板厚，所述连结部为多个连结部之中的1个，所述多个连结部沿着所述带状部的所述边缘隔开间隔而存在，各连结部具有所述第1板厚，沿着所述带状部的所述边缘之中的与所述连结部连接的部分以外的部分，存在有狭缝。

本实用新型的蒸镀掩模中间体也可以是，所述长边包含不被连结于所述框状部的非连结部，所述非连结部包含在所述带状部的宽度方向上与所述掩模部相邻的部分。

本实用新型的蒸镀掩模中间体也可以是，所述脆弱部为第1脆弱部，所述框状部包含包围所述带状部的内侧边缘、以及形成所述框状部的外形的外侧边缘，所述狭缝之中的沿着所述长边的部分为狭缝部，在所述框状部中还具备第2脆弱部，该第2脆弱部具有从所述狭缝部朝向相对于所述狭缝部而与所述带状部相反的一侧延伸的线状。

本实用新型的蒸镀掩模中间体也可以是，所述狭缝部包含沿着所述带状部的所述边缘延伸的延伸部、以及从所述延伸部朝向相对于所述延伸部而与所述带状部相反的一侧突出的突出部，所述第2脆弱部被连接于所述突出部。

本实用新型的蒸镀掩模中间体也可以是，所述狭缝部包含在所述带状部的所述长边方向上位于比所述掩模部靠所述短边的位置的部分，所述突出部在所述带状部的所述长边方向上位于比所述掩模部靠所述短边的位置，所述第1脆弱部在所述带状部的所述长边方向上位于比所述突出部靠所述掩模部的位置。

本实用新型的另一方面涉及蒸镀掩模，具有带状，其特征在于，具备：边缘，具有一对长边和一对短边；掩模部，具有多个掩模孔；以及周边部，包围所述掩模部，所述周边部之中，在所述蒸镀掩模的长边方向上的所述掩模部与所述短边之间存在有脆弱部，该脆弱部具有从一方的所述长边朝向另一方的所述长边延伸的形状。

本实用新型的又一方面涉及掩模装置，其特征在于，具备：上述的蒸镀掩模；以及框架，支撑所述蒸镀掩模，所述蒸镀掩模包含表面和与所述表面相反的一侧的背面，所述脆弱部包含在所述表面开口的半蚀刻部，所述表面的一部分被安装于所述框架。

根据上述的蒸镀掩模中间体、蒸镀掩模及掩模装置，通过切断脆弱部，能够将带状部之中的包含短边的两端部从带状部之中的包含掩模部的部分切离。因此，在将从带状部形成的蒸镀掩模安装到框架后，能够容易地将蒸镀掩模的端部除去。

附图说明

图1是表示第1实施方式中的蒸镀掩模中间体的构造的俯视图。

图2是表示掩模部的构造的截面图。

图3是将第1脆弱部的构造的第1例与第1脆弱部的周围的构造一起表示的截面图。

图4是将第1脆弱部的构造的第2例与第1脆弱部的周围的构造一起表示的截面图。

图5是将图1所示的蒸镀掩模中间体的构造的一部分放大表示的俯视图。

图6是将图5所示的区域A放大表示的俯视图。

图7是将图5所示的区域A放大表示的俯视图。

图8是将图5所示的区域B放大表示的俯视图。

图9是将蒸镀掩模中间体的搬运方向上的第2脆弱部的下游端的构造放大表示的俯视图。

图10是表示蒸镀掩模被固定于框架的状态的俯视图。

图11是表示从蒸镀掩模将蒸镀掩模的端部除去后的状态的俯视图。

图12是将从与蒸镀掩模的背面对置的视点观察的、蒸镀掩模的端部的构造放大表示的局部放大俯视图。

图13是将从与蒸镀掩模的背面对置的视点观察的、蒸镀掩模的端部的构造放大表示的局部放大俯视图。

图14是表示试验例1的蒸镀掩模所具备的第1脆弱部的构造的俯视图。

图15是表示试验例2的蒸镀掩模所具备的第1脆弱部的构造的俯视图。

图16是表示试验例3的蒸镀掩模所具备的第1脆弱部的构造的俯视图。

图17是表示试验例4的蒸镀掩模所具备的第1脆弱部的构造的俯视图。

图18是表示第2实施方式中的蒸镀掩模中间体的构造的俯视图。

图19是将第2实施方式中与图5所示的区域A相当的部分放大表示的俯视图。

图20是将第2实施方式中与图5所示的区域A相当的部分放大表示的俯视图。

图21是表示变更例中的掩模部的构造的截面图。

附图标记的说明

10、30……蒸镀掩模中间体

10S、30S……狭缝

10S1、S11……延伸部

10S2、S12……突出部

11……带状部

11a……掩模部

11b……周边部

11c……第1脆弱部

11e……边缘

11e1……长边

11e2……短边

11h……掩模孔

11M……蒸镀掩模

12……框状部

12a、32a……第2脆弱部

12e1……内侧边缘

12e2……外侧边缘

13、33……连结部

30S1……狭缝部

具体实施方式

[第1实施方式]

参照图1至图13说明蒸镀掩模中间体以及蒸镀掩模的第1实施方式。以下，依次说明蒸镀掩模中间体的构造以及掩模装置的构造。

[蒸镀掩模中间体的构造]

参照图1至图9说明蒸镀掩模中间体的构造。

如图1所示那样，蒸镀掩模中间体10具备带状部11、框状部12以及连结部13。框状部12包围带状部11。连结部13位于带状部11与框状部12之间，将带状部11连结于框状部12。图1中，蒸镀掩模中间体10之中的连结部13所位于的部分被施加了点。带状部11的延伸方向是带状部11的长边方向DL，与长边方向DL正交的方向是带状部11的宽度方向DW。在图1所示的例子中，在蒸镀掩模中间体10中，2个带状部11沿着宽度方向DW排列。另外，在蒸镀掩模中间体10中，各带状部11也可以在宽度方向DW上不与其他带状部11排列。或者，在蒸镀掩模中间体10中，也可以是，3个以上的带状部11在宽度方向DW上排列。

带状部11具备边缘11e、掩模部11a以及周边部11b。边缘11e具有一对长边11e1和一对短边11e2。在图1所示的例子中，短边11e2具备具有U字状的切缺e21。另外，短边11e2也可以不具有切缺e21。各长边11e1沿着长边方向DL延伸，各短边11e2沿着宽度方向DW延伸。一对长边11e1相互平行，一对短边11e2相互平行。

掩模部11a具有多个掩模孔11h。周边部11b包围掩模部11a。图1所示的例子中，带状部11具备沿着长边方向DL排列的多个掩模部11a。因此，周边部11b具有包围多个掩模部11a的梯子状。另外，带状部11也可以仅具有1个掩模部11a。此外，带状部11也可以具备沿着宽度方向DW排列的多个掩模部11a。

周边部11b之中的、长边方向DL上的掩模部11a与短边11e2之间，存在有具有从一方的长边11e1朝向另一方的长边11e1延伸的形状的第1脆弱部11c。第1脆弱部11c是比周边部11b中的第1脆弱部11c以外的部分更容易被切断的部分。即，第1脆弱部11c的机械强度比周边部11b中的第1脆弱部11c以外的部分的机械强度低。这样，由于在周边部11b存在有第1脆弱部11c，因而通过将第1脆弱部11c切断，能够将带状部11之中的包含短边11e2的两端部从带状部11之中的包含掩模部11a的部分切离。

长边11e1包含不与框状部12连结的非连结部。非连结部包含在带状部11的宽度方向DW上与掩模部11a相邻的部分。在非连结部与框状部12之间，存在有狭缝10S。因此，在通过将连结部13切断而将带状部11从框状部12切离时，抑制了由于为了将连结部13切断而作用于连结部13的力导致在掩模部11a产生褶皱等变形。

狭缝10S是在与蒸镀掩模中间体10所延展的平面对置的俯视时，带状部11与框状部12之间的、用于形成蒸镀掩模中间体10的金属薄板被除去后的部分。另外，在本实施方式中，虽然在长边11e1之中的宽度方向DW上的不与掩模部11a相邻的部分也存在有狭缝10S，但狭缝10S具有在宽度方向DW上至少与掩模部11a相邻的形状即可。此外，在图1所示的例子中，由切缺e21包围的区域是贯穿蒸镀掩模中间体10的贯穿部。

图2示出了与带状部11所延展的平面正交且沿着宽度方向DW的、掩模部11a的截面构造。

如图2所示那样，掩模部11a具有多个掩模孔11h。各掩模孔11h具有大孔11hL和小孔11hS。大孔11hL在蒸镀掩模中间体10的表面10F开口。大孔11hL具有从蒸镀掩模中间体10的表面10F朝向背面10R而变细的形状。小孔11hS在蒸镀掩模中间体10的背面10R开口。小孔11hS具有从蒸镀掩模中间体10的背面10R朝向表面10F而变细的形状。

在本实施方式中，在带状部11的宽度方向DW上，各掩模孔11h的大孔11hL与相互相邻的掩模孔11h的大孔11hL相接。另一方面，在带状部11的宽度方向DW上，各掩模孔11h的小孔11hS与相互相邻的掩模孔11h的小孔11hS分离。另外，在带状部11的宽度方向DW上，各掩模孔11h的大孔11hL也可以与相互相邻的掩模孔11h的大孔11hL分离。

蒸镀掩模中间体10所具有的面之中，表面10F包含在从带状部11形成的蒸镀掩模被搭载到蒸镀装置上时在蒸镀掩模中与蒸镀源对置的部分。与此相对，背面10R包含在蒸镀掩模被搭载到蒸镀装置上时与蒸镀对象对置的部分。在蒸镀对象中形成具有与大孔11hL与小孔11hS的连接部对应的形状的蒸镀图案。

图3以及图4示出了与蒸镀掩模中间体10的表面10F正交且沿着宽度方向DW的、第1脆弱部11c的截面构造的一个例子。

第1脆弱部11c可以具有半蚀刻线，也可以具有隔开间隔而排列的多个半蚀刻(half-etched)部。半蚀刻线以及半蚀刻部具有第2板厚。第2板厚比第1板厚薄。或者，第1脆弱部11c也可以具有隔开间隔而排列的多个贯穿孔。在第1脆弱部11c具有多个半蚀刻部的情况下，多个半蚀刻部可以沿着宽度方向DW以直线状排列，也可以沿着宽度方向DW以锯齿状(千鸟状)排列。

此外，或者，第1脆弱部11c也可以具有半蚀刻线和在半蚀刻线之上沿着半蚀刻线的延伸方向排列的多个贯穿孔。此外，或者，第1脆弱部11c也可以具有沿着带状部11的宽度方向DW排列的半蚀刻部和贯穿孔。该情况下，半蚀刻部与贯穿孔交替排列。

第1脆弱部11c的半蚀刻线以及半蚀刻部具有第2板厚。与此相对，带状部11所具有的周边部11b之中的、不存在有半蚀刻线或者半蚀刻部的部分具有第1板厚。

图3示出了第1脆弱部11c具有半蚀刻线的情况下的第1脆弱部11c的截面构造。

如图3所示那样，第1脆弱部11c具有沿着带状部11的宽度方向DW延伸的半蚀刻线11c1。在本实施方式中，半蚀刻线11c1是在蒸镀掩模中间体10的表面10F形成的具有线状的凹陷。另外，半蚀刻线11c1也可以形成于蒸镀掩模中间体10的背面10R。半蚀刻线11c1具有第2板厚T2，带状部11所具有的周边部11b之中的半蚀刻线11c1以外的部分具有第1板厚T1。

在第1脆弱部11c具有半蚀刻线11c1的情况下，半蚀刻线11c1的宽度可以在带状部11的宽度方向DW上恒定。或者，半蚀刻线11c1的宽度也可以包含多个大小。半蚀刻线11c1的宽度是沿着带状部11的长边方向DL的、半蚀刻线11c1的粗细。

图4示出了第1脆弱部11c具有半蚀刻线、以及在半蚀刻线之上沿着半蚀刻线延伸的方向排列的多个贯穿孔的情况下的、第1脆弱部11c的截面构造。

如图4所示那样，第1脆弱部11c具有沿着带状部11的宽度方向DW延伸的半蚀刻线11c1、以及在半蚀刻线11c1上沿着宽度方向DW隔开间隔排列的贯穿孔11c2。在本实施方式中，多个贯穿孔11c2在宽度方向DW上以等间隔排列，但是多个贯穿孔11c2也可以在宽度方向DW上不规则地排列。

半蚀刻线11c1的宽度可以在在带状部11的宽度方向DW上恒定，也可以包含多个大小。此外，贯穿孔11c2的宽度可以在带状部11的宽度方向DW上恒定，也可以是在多个贯穿孔11c2中包括具有相互不同宽度的贯穿孔11c2。半蚀刻线11c1的宽度与贯穿孔11c2的宽度可以相等，也可以相互不同。

另外，在本实施方式中，连结部13包含沿着带状部11的边缘11e的半蚀刻线以及沿着带状部11的边缘11e排列的多个半蚀刻部的至少一方。半蚀刻线以及半蚀刻部具有比第1板厚T1薄的第2板厚T2。连结部13具有与参照图3以及图4先前说明过的第1脆弱部11c同样的构造。由此，能够将连结部13之中的至少形成了半蚀刻线或者半蚀刻部的部分容易地切断。

图5放大示出了图1所示的蒸镀掩模中间体10的平面构造的一部分。另外，蒸镀掩模中间体10在从金属薄板制造蒸镀掩模中间体10的期间由辊对辊装置搬运。金属薄板以及蒸镀掩模中间体10的搬运方向是与带状部11的长边方向DL平行的方向。图5示出了带状部11的端部之中、位于蒸镀掩模中间体10的搬运方向上的上游的端部。

如图5所示那样，框状部12包含包围带状部11的内侧边缘12e1、以及形成框状部12的外形的外侧边缘12e2。内侧边缘12e1由与连结部13的边界、以及与狭缝10S的边界形成。蒸镀掩模中间体10具备第2脆弱部12a。第2脆弱部12a具有在框状部12中从狭缝10S朝向相对于狭缝10S而与带状部11相反的一侧延伸的线状。由此，能够沿着第2脆弱部12a将框状部12切断，因此从框状部12将带状部11切离的作业变得容易。

在本实施方式中，蒸镀掩模中间体10具有多个第2脆弱部12a。各第2脆弱部12a具有沿着与带状部11的长边方向DL交叉的方向、从带状部11的搬运方向上的上游朝向下游延伸的形状。蒸镀掩模中间体10针对1个带状部11具有4个第2脆弱部12a。4个第2脆弱部12a之中，2个第2脆弱部12a在带状部11的搬运方向上位于比带状部11的中央靠上游的位置。与此相对，其他2个第2脆弱部12a在带状部11的搬运方向上位于比带状部11的中央靠下游的位置。另外，位于下游的一对第2脆弱部12a虽然在图5中未图示，但是相对于从长边方向DL上的带状部11的中央穿过且沿着宽度方向DW延伸的对称轴而言，配置在与位于上游的一对第2脆弱部12a具有线对称的关系的位置。

针对1个带状部11，位于上游的一对第2脆弱部12a在带状部11的宽度方向DW上夹着带状部11。此外，针对1个带状部11，位于下游的一对第2脆弱部12a在带状部11的宽度方向DW上夹着带状部11。

第2脆弱部12a与第1脆弱部11c同样，可以具有半蚀刻线，也可以具有隔开间隔排列的多个半蚀刻部。此外，或者，第2脆弱部12a也可以具有半蚀刻线、以及在半蚀刻线之上沿着半蚀刻线的延伸方向排列的多个贯穿孔。此外，或者，第2脆弱部12a也可以具有沿着第2脆弱部12a的延伸方向排列的半蚀刻部和贯穿孔。该情况下，半蚀刻部与贯穿孔交替地排列较好。另外，在第2脆弱部12a具有半蚀刻线或者半蚀刻部的情况下，半蚀刻线或者半蚀刻部能够在蒸镀掩模中间体10的背面10R凹陷。

图6以及图7放大示出了图5所示的区域A。即，图6以及图7放大示出了包含狭缝10S与第2脆弱部12a的连接部的区域。图6示出了狭缝10S所具有的形状的一个例子，而图7示出了狭缝10S所具有的形状的其他例子。

如图6所示那样，狭缝10S包含延伸部10S1和突出部10S2。延伸部10S1是沿着带状部11的长边11e1延伸的部分。突出部10S2是从延伸部10S1朝向相对于延伸部10S1而与带状部11相反的一侧突出的部分。在图6所示的例子中，突出部10S2的外形具有沿着与延伸部10S1的延伸方向正交的方向延伸的矩形状。第2脆弱部12a被连接于突出部10S2。

由于第2脆弱部12a被连接于突出部10S2，因而与第2脆弱部12a被连接于延伸部10S1的情况相比，能够增大第2脆弱部12a的端部与带状部11之间的距离。由此，抑制了由于用于切断第2脆弱部12a的力导致在带状部11产生褶皱等变形。

突出部10S2之中，与延伸部10S1连接的端部是基端，与基端相反一侧的端部是前端。第2脆弱部12a被连接于从突出部10S2的基端朝向前端的中途。另外，第2脆弱部12a也可以被连接于突出部10S2的前端。

长边11e1的非连结部在带状部11的长边方向DL上延伸到比掩模部11a靠短边11e2的位置。即，沿着长边11e1的狭缝10S延伸到比掩模部11a靠短边11e2的位置。连结部13将长边11e1中的非连结部以外的部分连结于框状部12。突出部10S2从狭缝10S的端部朝向相对于延伸部10S1而与带状部11相反的一侧延伸。第1脆弱部11c在带状部11的长边方向DL上位于比突出部10S2靠掩模部11a的位置。

由此，与在带状部11的宽度方向DW上第1脆弱部11c与突出部10S2排列的情况相比，抑制了在用于切断第2脆弱部12a的力作用到了第2脆弱部12a上时第1脆弱部11c与第2脆弱部12a一起被切断。

此外，狭缝10S与连结部13的连接部有时被设定于在为了从框状部12拆下带状部11而切断连结部13时的切断的起点。该情况下，在狭缝10S与连结部13的连接部作用切断连结部13所需的力。因此，在带状部11的宽度方向DW上突出部10S2与第1脆弱部11c排列的情况下，即，第1脆弱部11c被连接于延伸部10S1的端部的情况下，与连结部13的切断同时，有时第1脆弱部11c被切断。关于该点，根据本实施方式的蒸镀掩模中间体10，在带状部11的长边方向DL上突出部10S2的位置与第1脆弱部11c的位置是错开的，因此，抑制了在连结部13的切断时第1脆弱部11c被切断。

如图7所示那样，突出部10S2位于长边方向DL上的延伸部10S1的端部。突出部10S2具有朝向相对于延伸部10S1而与带状部11相反的一侧突出的形状。在图7所示的例子中，突出部10S2的外形具有梯形状。在突出部10S2所划分的梯形中，将上底与下底连结的斜边与在连结部13中沿着长边方向DL延伸的部分所形成的角度是第2角度θ2。第2角度θ2优选为20°以上50°以下。第2脆弱部12a被连接于突出部10S2所划分的梯形之中斜边和下底所形成的顶点。沿着长边方向DL从下底延长的直线与第2脆弱部12a所形成的角度是第1角度θ1。第1角度θ1优选比第2角度θ2小。

另外，如上述那样，在框状部12，针对1个带状部11，形成有位于搬运方向上的上游的一对第2脆弱部12a、以及位于下游的一对第2脆弱部12a。被连接于各第2脆弱部12a的突出部10S2可以具有参照图6所说明的形状，也可以具有参照图7所说明的形状。

图8放大示出了图5所示的区域B。即，图8放大示出了包含第2脆弱部12a中的上游侧的端部的区域。

如图8所示那样，各第2脆弱部12a的上游端部被连接于贯穿框状部12的上游侧贯穿部12h1。2个上游侧贯穿部12h1在宽度方向DW上隔开规定的间隔排列。在从带状部11形成蒸镀掩模时，例如，通过能够切断框状部12的器具，将框状部12之中在宽度方向DW上由2个上游侧贯穿部12h1夹着的部分切断，由此形成切断片。接着，朝向与蒸镀掩模中间体10所延展的平面交叉的方向将切断片拉起，由此能够使切断2个第2脆弱部12a的力同时作用于2个第2脆弱部12a。

另外，在宽度方向DW上夹着2个带状部11的一对第2脆弱部12a各自中也是，上游端部被连接于上游侧贯穿部12h1。此外，在框状部12，形成有与该上游侧贯穿部12h1成为一对的其他上游侧贯穿部12h1。这些2个上游侧贯穿部12h1沿着宽度方向DW排列。

图9示出了包含第2脆弱部12a中的下游侧的端部的区域。

如图9所示那样，框状部12具有与2个第2脆弱部12a的下游端部相连的被把持片12b、以及包围被把持片12b的下游侧贯穿部12h2。由此，能够用器具来把持或者用人的手指来把持与第2脆弱部12a的下游端部相连的被把持片12b，因此，容易对第2脆弱部12a作用切断第2脆弱部12a的力。通过朝向与蒸镀掩模中间体10所延展的平面交叉的方向将被把持片12b拉起，能够使切断2个第2脆弱部12a的力同时作用于2个第2脆弱部12a。

另外，在宽度方向DW上夹着2个带状部11的一对第2脆弱部12a的各自中也是，下游端部被连接于被把持片12b，并且，被把持片12b被下游侧贯穿部12h2包围。在被把持片12b连接有1个第2脆弱部12a中的下游端部。

[蒸镀掩模的构造]

参照图10至图13说明蒸镀掩模的构造。

如图10所示那样，蒸镀掩模11M与带状部11同样，具有长边方向DL和宽度方向DW。蒸镀掩模11M的长边方向DL对应于带状部11的长边方向DL，蒸镀掩模11M的宽度方向DW对应于带状部11的宽度方向DW。蒸镀掩模11M具有沿着长边方向DL延伸的带状。通过蒸镀掩模中间体10所具有的连结部13的切断而带状部11被从框状部12拆下，由此，能够从带状部11形成蒸镀掩模11M。

掩模装置20具备蒸镀掩模11M和框架21。蒸镀掩模11M以使蒸镀掩模11M所具有的掩模部11a位于由框架21包围的区域内的方式被安装于框架21。蒸镀掩模11M之中的包含第1脆弱部11c的部分被安装于框架21。蒸镀掩模11M可以通过粘合剂安装于框架21，也可以通过紧固构件安装于框架，还可以通过焊接安装于框架21。

在蒸镀掩模11M被安装于框架21时，蒸镀掩模11M的短边11e2被朝向远离其他短边11e2的方向拉引，由此，在要将沿着长边方向DL的尺寸拉长的张力作用于蒸镀掩模11M的状态下，蒸镀掩模11M被安装于框架21。

另外，在图10所示的例子中，掩模装置20具备2个蒸镀掩模11M，但掩模装置20也可以仅具备1个蒸镀掩模11M，也可以具备3个以上蒸镀掩模11M。无论掩模装置20所具备的蒸镀掩模11M的个数如何都是，在蒸镀掩模11M中包含第1脆弱部11c的部分被安装于框架21。

在蒸镀掩模11M被安装于框架21时，蒸镀掩模11M的表面11F中的一部分被安装于框架。由此，掩模孔11h中的大孔11hL朝向由框架21包围的区域开口。此外，第1脆弱部11c所具备的半蚀刻线或者半蚀刻部朝向框架21开口。

如图11所示那样，在蒸镀掩模11M被安装于框架21后，通过第1脆弱部11c被切断，蒸镀掩模11M之中的比第1脆弱部11c靠短边11e2的部分被除去。蒸镀掩模11M在长边方向DL的两端部分别具有通过第1脆弱部11c的切断而形成的切断痕11cm。

图12以及图13放大示出了图11所示的区域D。另外，图12以及图13示出了对区域D从与蒸镀掩模11M的背面11R对置的视点观察的情况下的切断痕11cm的构造。图12示出了在参照图3先前说明过的那样第1脆弱部11c具备半蚀刻线11c1的情况下形成的切断痕11cm。与此相对，图13示出了第1脆弱部11c在参照图4先前说明过的那样第1脆弱部11c具备半蚀刻线11c1和在半蚀刻线之上沿着半蚀刻线11c1的延伸方向排列的多个贯穿孔11c2的情况下形成的切断痕11cm。

如图12所示那样，在第1脆弱部11c具备半蚀刻线11c1的情况下，切断痕11cm在蒸镀掩模11M的宽度方向DW整体上具有从蒸镀掩模11M的表面11F朝向背面11R卷起的部分。在第1脆弱部11c被切断时，以第1脆弱部11c成为折弯部的方式，蒸镀掩模11M被折弯。此时，蒸镀掩模11M中的表面11F的一部分被安装于框架，因此，以蒸镀掩模11M的背面11R的一部分与该背面11R的其他一部分对置的方式，蒸镀掩模11M折弯。

如图13所示那样，在第1脆弱部11c具备半蚀刻线11c1和多个贯穿孔11c2的情况下，切断痕11cm具备多个卷边cm1和多个凹陷cm2。在切断痕11cm的延伸方向上，卷边cm1与凹陷cm2交替排列。在切断痕11cm中，多个卷边cm1是通过半蚀刻线11c1被切断而形成的部分。在切断痕11cm中，各凹陷cm2是与各贯穿孔11c2对应的部分。各卷边cm1从蒸镀掩模11M的表面11F朝向背面11R卷起。

在本实施方式的蒸镀掩模11M中，半蚀刻线11c1在表面10F开口，因此，在从蒸镀掩模中间体10形成的蒸镀掩模11M被粘贴到了框架21的情况下，半蚀刻线11c1朝向框架21开口。因此，与半蚀刻线11c1在背面10R开口的情况相比，在以背面10R的一部分与该背面10R的其他一部分对置的方式将蒸镀掩模11M折弯了的情况下，沿着第1脆弱部11c将蒸镀掩模11M折弯所需的力较小即可。由此，能够减少蒸镀掩模11M的折弯所需的负荷。此外，能够缩短沿着第1脆弱部11c切断蒸镀掩模11M所需的时间。另外，在第1脆弱部11c包含半蚀刻部的情况下也能够得到与包含半蚀刻线11c1情况同等的效果。

[试验例]

形成了第1脆弱部11c的构造相互不同的试验例1至试验例4的蒸镀掩模11M。另外，以下参照的图14至图17示出了与蒸镀掩模11M的表面11F对置的俯视时的第1脆弱部11c的构造。各第1脆弱部11c位于蒸镀掩模11M的表面11F。在图14至图17中对半蚀刻线或者半蚀刻部施加了点。

[试验例1]

如图14所示那样，在试验例1中，由沿着宽度方向DW延伸的半蚀刻线11c1形成了第1脆弱部11c。

[试验例2]

如图15所示那样，在试验例2中，通过将试验例1的半蚀刻线11c1在宽度方向DW以及长边方向DL的双方上以等间隔进行分割，从而由多个半蚀刻部11c3形成了第1脆弱部11c。此时，在宽度方向DW上，隔开间隔GW排列了多个半蚀刻部11c3。此外，在长边方向DL上，隔开间隔GL排列了2个半蚀刻部11c3。另外，将各半蚀刻部11c3的宽度设定为试验例1的宽度W的1/3的长度，并且，将间隔GL设定为宽度W的1/3的长度。

[试验例3]

如图16所示那样，在试验例3中，由沿着宽度方向DW以等间隔排列的多个半蚀刻部11c3形成了第1脆弱部11c。将各半蚀刻部11c3的形状设定为长方形。在宽度方向DW上，使半蚀刻部11c3间的间隔GW比试验例2的间隔GW大。

[试验例4]

如图17所示那样，在试验例4中，与试验例3同样，由多个半蚀刻部11c3形成了第1脆弱部11c。将各半蚀刻部11c3的形状设定成了与试验例3的半蚀刻部11c3相同的形状。另一方面，将多个半蚀刻部11c3以锯齿状进行了排列。此时，关于在宽度方向DW上相互相邻的2个半蚀刻部11c3，在长边方向DL上，相对于一方的半蚀刻部11c3的位置而言的、另一方的半蚀刻部11c3的位置错开了半蚀刻部11c3的宽度W的量。此外，将在宽度方向DW上相互相邻的2个半蚀刻部11c3间的间隔GW设定成与试验例3相同。

[评价方法以及评价方法]

通过将各试验例的蒸镀掩模11M所具有的表面11F的一部分粘贴于框架21而形成了掩模装置20。接着，沿着第1脆弱部11c切断了各蒸镀掩模11M。对蒸镀掩模11M沿着第1脆弱部11c被切断所需的折弯次数进行了计数，结果，在试验例1、3、4中确认到，通过对蒸镀掩模11M进行2次折弯，蒸镀掩模11M沿着第1脆弱部11c被切断。与此相对，在试验例2中确认到，通过对蒸镀掩模11M进行4次折弯，蒸镀掩模11M沿着第1脆弱部11c被切断。这样，可以确认到，根据试验例1、3、4的蒸镀掩模11M，与试验例2的蒸镀掩模11M相比，通过较小次数的折弯就能够切断蒸镀掩模11M。

另外，在试验例4的蒸镀掩模11M中，与试验例2、3的蒸镀掩模11M相比长边方向DL上的半蚀刻部11c3间的间隔较长，因此，在蒸镀掩模中间体10的搬运时不易产生所不希望的第1脆弱部11c的切断。关于该点，试验例4的蒸镀掩模11M比试验例2、3的蒸镀掩模11M更优。

如以上说明那样，根据蒸镀掩模中间体以及蒸镀掩模的第1实施方式，能够得到以下记载的效果。

(1-1)由于在周边部11b存在有第1脆弱部11c，因此，通过切断第1脆弱部11c，能够将带状部11之中的包含切缺e21的两端部从带状部11之中的包含掩模部11a的部分切离。

(1-2)通过切断连结部13而将带状部11从框状部12切离时，抑制了由于为了切断连结部13而作用于连结部13的力导致在掩模部11a产生褶皱等变形。

(1-3)能够将连结部13之中的至少形成了半蚀刻线或者半蚀刻部的部分容易地切断。

(1-4)由于能够沿着第2脆弱部12a切断框状部12，因此能够容易地进行从框状部12将带状部11切离的作业。

(1-5)由于第2脆弱部12a被连接于突出部10S2，因此与第2脆弱部12a被连接于延伸部10S1的情况相比，能够增大第2脆弱部12a的端部与带状部11之间的距离。由此，抑制了由于用于切断第2脆弱部12a的力导致在带状部11产生褶皱等变形。

(1-6)与在带状部11的宽度方向DW上第1脆弱部11c与突出部10S2排列的情况相比，抑制了用于切断第2脆弱部12a的力作用于第2脆弱部12a时第1脆弱部11c与第2脆弱部12a一起被切断。

[第2实施方式]

参照图18至图20说明蒸镀掩模中间体以及蒸镀掩模的第2实施方式。在第2实施方式中，连结部的构造不同于第1实施方式中的连结部的构造。因此以下，详细地说明这样的不同点，而对于第2实施方式中与第1实施方式共同的部分，赋予与第1实施方式相同的附图标记并省略该部分的详细说明。以下说明蒸镀掩模中间体的构造。

[蒸镀掩模中间体的构造]

参照图18至图20说明蒸镀掩模中间体的构造。

如图18所示那样，蒸镀掩模中间体30与第1实施方式的蒸镀掩模中间体10同样，具备带状部11以及框状部12。蒸镀掩模中间体30具备多个连结部33。带状部11由连结部33连结于框状部12。

在蒸镀掩模中间体30中，周边部11b以及框状部12具有第1板厚。多个连结部33沿着带状部11的边缘11e隔开间隔而存在，各连结部33具有第1板厚。沿着带状部11的边缘11e之中的与连结部33连接的部分以外的部分，存在有狭缝30S。由于沿着带状部11的边缘11e之中的与连结部33连接的部分以外的部分而存在有狭缝30S，因此切断连结部33的作业变得容易。

长边11e1包含不被连结于框状部12的非连结部。非连结部包含在带状部11的宽度方向DW上与掩模部11a相邻的部分。因此，在通过切断连结部33而将带状部11从框状部12切离时，抑制了由于为了切断连结部33而作用于连结部33的力导致在掩模部11a产生褶皱等变形。

连结部33优选将带状部11的边缘11e之中的具有U字状的切缺e21的底部以外的部分连结于框状部12。由此，在从带状部11形成的蒸镀掩模的安装时，在蒸镀掩模被作用张力的情况下，抑制了由于连结部33的切断痕而在蒸镀掩模产生褶皱。

图19以及图20放大示出了蒸镀掩模中间体30之中的与图5中的区域A相当的部分。图19示出了狭缝30S所具有的形状的一个例子，而图20示出了狭缝30S所具有的形状的其他例子。

如图19所示那样，狭缝30S之中的沿着长边11e1的部分是狭缝部30S1。蒸镀掩模中间体30与第1实施方式的蒸镀掩模中间体10同样，在框状部12，具备具有从狭缝部30S1朝向相对于狭缝部30S1而与带状部11相反的一侧延伸的线状的第2脆弱部32a。由此，能够沿着第2脆弱部32a切断框状部12，因此，变得容易进行从框状部12将带状部11切离的作业。

狭缝部30S1包含沿着带状部11的边缘11e延伸的延伸部S11、以及从延伸部S11朝向相对于延伸部S11而与带状部11相反的一侧突出的突出部S12。在图19所示的例子中，突出部S12的外形具有沿着与延伸部S11的延伸方向正交的方向延伸的矩形状。第2脆弱部32a被连接于突出部S12。由于第2脆弱部32a被连接于突出部S12，因此与第2脆弱部32a被连接于狭缝30S之中的沿着带状部11的部分的情况相比，能够增大第2脆弱部32a的端部与带状部11之间的距离。由此，抑制了由于用于切断第2脆弱部32a的力导致在带状部11产生褶皱等变形。

狭缝部30S1包含在带状部11的长边方向DL上比掩模部11a靠短边11e2的位置的部分。突出部S12在带状部11的长边方向DL上位于比掩模部11a靠短边11e2的位置。第1脆弱部11c在带状部11的长边方向DL上位于比突出部S12靠掩模部11a的位置。与在带状部11的宽度方向DW上第1脆弱部11c与突出部S12排列的情况相比，抑制了用于切断第2脆弱部32a的力作用于第2脆弱部32a时第1脆弱部11c与第2脆弱部32a一起被切断。

突出部S12之中，与延伸部S11连接的端部为基端，与基端相反的一侧的端部为前端。第2脆弱部32a被连接于从突出部S12的基端朝向前端的中途。另外，第2脆弱部32a也可以被连接于突出部S12的前端。

如图20所示那样，突出部S12位于延伸部S11沿着长边方向DL延伸的中途。突出部S12具有朝向相对于延伸部S11而与带状部11相反的一侧突出的形状。在图20所示的例子中，突出部S12的外形具有梯形状。在突出部S12所划分的梯形中，将上底与下底连结的斜边和延伸部S11所形成的角度是第4角度θ4。第4角度θ4优选为20°以上50°以下。第2脆弱部32a被连接于突出部S12所划分的梯形之中的斜边和下底所形成的顶点。沿着长边方向DL从下底延长的直线与第2脆弱部32a所形成的角度为第3角度θ3。第3角度θ3优选比第4角度θ4小。

如上述所述，在框状部12中，针对1个带状部11，形成有位于搬运方向上的上游的一对第2脆弱部32a、以及位于下游的一对第2脆弱部32a。与各第2脆弱部32a连接的突出部S12也可以具有参照图19所说明过的形状，也可以具有参照图20所说明过的形状。

如以上说明那样，根据蒸镀掩模中间体以及蒸镀掩模的第2实施方式，除了上述的(1-1)之外还能够获得以下记载的效果。

(2-1)由于沿着带状部11的边缘11e之中的与连结部33连接的部分以外的部分而存在有狭缝30S，因此，变得容易进行切断连结部33的作业。

(2-2)在通过切断连结部33而将带状部11从框状部12切离时，抑制了由于为了切断连结部33而作用于连结部33的力导致在掩模部11a产生褶皱等变形。

(2-3)由于能够沿着第2脆弱部32a切断框状部12，因此变得容易进行从框状部12切离带状部11的作业。

(2-4)由于第2脆弱部32a被连接于突出部S12，因此与第2脆弱部32a被连接于狭缝30S之中的沿着带状部11的部分的情况相比，能够增大第2脆弱部32a的端部与带状部11之间的距离。由此，抑制了由于用于切断第2脆弱部32a的力导致在带状部11产生褶皱等变形。

(2-5)与在带状部11的宽度方向DW上第1脆弱部11c与突出部S12排列的情况相比，抑制了用于切断第2脆弱部32a的力作用于第2脆弱部32a时第1脆弱部11c与第2脆弱部32a一起被切断。

[变更例]

另外，各实施方式能够以下那样变更而实施。

[狭缝]

·突出部10S2、S12可以在带状部11的宽度方向DW上与第1脆弱部11c并列，也可以在带状部11的宽度方向DW上位于比第1脆弱部11c靠掩模部11a的位置。如上述那样，从抑制第2脆弱部12a、32a的切断时第1脆弱部11c被切断的观点出发，突出部10S2、S12优选在带状部11的宽度方向DW上不与第1脆弱部11c并列。此外，从增大第2脆弱部12a、32a与掩模部11a之间的距离来抑制掩模部11a中的褶皱等变形的观点出发，突出部10S2、S12优选比第1脆弱部11c靠短边11e2。

·狭缝10S、30S也可以具备沿着长边11e1延伸的延伸部10S1、S11而不具备突出部10S2、S12。该情况下，第2脆弱部12a、32a被连接于延伸部10S1、S11即可。该情况下也是，通过蒸镀掩模中间体10、30具备第2脆弱部12a、32a，能够获得依照上述的(1-4)、(2-3)的效果。

·在各实施方式中，也可以是，狭缝10S、30S之中的沿着长边11e1的部分，在带状部11的宽度方向DW上与掩模部11a相邻，而在带状部11的长边方向DL上位于比掩模部11a靠短边11e2的位置。该情况下，第2脆弱部12a、32a在狭缝10S、30S之中从沿长边11e1延伸的部分中的任意部位朝向相对于狭缝10S、30S而与带状部11相反的一侧延伸即可。

[第2脆弱部]

·也可以是，取代蒸镀掩模中间体10、30所具有的被把持片12b以及下游侧贯穿部12h2，而应用上游侧贯穿部12h1。即，也可以是，在位于下游侧的第2脆弱部12a、32a的下游端部，应用具有与上游侧贯穿部12h1同等的构造的贯穿部。此外，也可以是，取代蒸镀掩模中间体10、30所具有的上游侧贯穿部12h1，而应用被把持片12b以及下游侧贯穿部12h2。即，也可以是，在位于上游侧的第2脆弱部12a、32a的上游端部，应用具有与被把持片12b同等的构造的被把持片以及具有与下游侧贯穿部12h2同等的构造的贯穿部。哪个情况下都是，通过蒸镀掩模中间体10、30具有第2脆弱部12a、32a，能够获得依照上述的(1-4)、(2-3)的效果。

·蒸镀掩模中间体10、30也可以不具有与第2脆弱部12a、32a的上游端部连接的上游侧贯穿部12h1。该情况下也是，通过蒸镀掩模中间体10、30具有第2脆弱部12a、32a，能够获得依照上述的(1-4)、(2-3)的效果。

·蒸镀掩模中间体10、30也可以不具有与第2脆弱部12a、32a的下游端部连接的被把持片12b以及下游侧贯穿部12h2。该情况下也是，通过蒸镀掩模中间体10、30具有第2脆弱部12a、32a，能够获得依照上述的(1-4)、(2-3)的效果。

·第2脆弱部12a、32a只要被连接于突出部10S2、S12中的从基端至前端之间的任意位置即可。该情况下也是，通过第2脆弱部12a、32a被连接于突出部10S2、S12，能够获得依照上述的(1-5)、(2-4)的效果。

·蒸镀掩模中间体10、30也可以不具有第2脆弱部12a、32a。该情况下也是，通过蒸镀掩模中间体10、30具备第1脆弱部11c，能够获得依照上述的(1-1)的效果。

[连结部]

·连结部13、33也可以将长边11e1之中的在带状部11的宽度方向DW上与掩模部11a相邻的部分连结于框状部12。该情况下也是，通过蒸镀掩模中间体10、30具有第1脆弱部11c，能够获得依照上述的(1-1)的效果。另外，如上述那样，从抑制由于连结部13、33的切断而在带状部11产生褶皱等变形的观点出发，优选为，长边11e1之中的在宽度方向DW上与掩模部11a相邻的部分不被连结于框状部12。

·第2实施方式的连结部33也可以由沿着带状部11的边缘11e中的一部分且具有第1板厚T1的部分、以及在该部分之上排列的多个贯穿孔来形成。该情况下也是，能够获得依照上述的(2-1)的效果。

·连结部13、33也可以将带状部11的边缘11e的整周连接于框状部12。例如，在第1实施方式的蒸镀掩模中间体10中，可以是半蚀刻线沿着带状部11的边缘11e的整周而形成，也可以是半蚀刻线和沿着半蚀刻线的多个贯穿孔沿着带状部11的边缘11e的整周而形成。此外，例如，在第1实施方式的蒸镀掩模中间体10中，也可以是，半蚀刻部沿着带状部11的边缘11e的整周隔开间隔而形成。例如，在第2实施方式的蒸镀掩模中间体30中，也可以是，沿着带状部11的边缘11e的整周隔开间隔而形成多个贯穿孔。

·在第1实施方式中，也可以是，连结部13所具有的半蚀刻线或者半蚀刻部在蒸镀掩模中间体10的表面10F开口。换言之，连结部13也可以在表面10F具备半蚀刻线或者半蚀刻部。该情况下也是，能够获得依照上述的(1-3)的效果。

[第1脆弱部]

·第1脆弱部11c只要从一方的长边11e1朝向另一方的长边11e1延伸即可，也可以沿着与带状部11的宽度方向DW交叉的方向延伸。该情况下也是，由于蒸镀掩模中间体10、30具有第1脆弱部11c，因此能够获得依照上述的(1-1)的效果。

·如上述那样，第1脆弱部11c所具有的半蚀刻线11c1也可以在蒸镀掩模中间体10、30的背面10R开口。换言之，半蚀刻线11c1也可以在背面10R凹陷。该情况下也是，由于蒸镀掩模中间体10、30具有第1脆弱部11c，因此能够获得依照上述的(1-1)的效果。

·蒸镀掩模中间体10、30具有在带状部11的长边方向DL上夹着掩模部11a的一对第1脆弱部11c，但是也可以具有两对以上第1脆弱部11c。该情况下也是，由于蒸镀掩模中间体10、30具有第1脆弱部11c，因此能够获得依照上述的(1-1)的效果。

[掩模孔]

·如图21所示那样，也可以是，掩模孔11h在与蒸镀掩模中间体10的表面10F正交的截面上，具有从表面10F朝向背面10R凹陷的弧状，并且，具有在表面10F开口的表面开口11hF和在背面10R开口的背面开口11hR。

[掩模装置]

·在掩模装置20中，也可以是，蒸镀掩模11M的背面11R被安装于框架21。该情况下也是，由于蒸镀掩模中间体10、30具有第1脆弱部11c，因此能够获得依照上述的(1-1)的效果。

Claims (14)

1.一种蒸镀掩模中间体，其特征在于，具备：

带状部；

框状部，包围所述带状部；以及

连结部，位于所述带状部与所述框状部之间，将所述带状部连结于所述框状部，

所述带状部具备具有一对长边和一对短边的边缘、具有多个掩模孔的掩模部、以及包围所述掩模部的周边部，

所述长边的延伸方向为所述带状部的长边方向，

所述周边部之中，在所述长边方向上的所述掩模部与所述短边之间存在有脆弱部，该脆弱部具有从一方的所述长边朝向另一方的所述长边延伸的形状。

2.根据权利要求1记载的蒸镀掩模中间体，其特征在于，

所述脆弱部包含多个半蚀刻部，

所述多个半蚀刻部沿着从一方的所述长边朝向另一方的所述长边的方向以锯齿状排列。

3.根据权利要求1或2记载的蒸镀掩模中间体，其特征在于，

所述周边部以及所述框状部具有第1板厚，

所述连结部包含沿着所述带状部的所述边缘的半蚀刻线、以及沿着所述带状部的所述边缘排列的多个半蚀刻部中的至少一方，所述半蚀刻线以及所述半蚀刻部具有比所述第1板厚薄的第2板厚。

4.根据权利要求1或2记载的蒸镀掩模中间体，其特征在于，

所述长边包含不被连结于所述框状部的非连结部，所述非连结部包含在所述带状部的宽度方向上与所述掩模部相邻的部分，

在所述非连结部与所述框状部之间存在有狭缝。

5.根据权利要求4记载的蒸镀掩模中间体，其特征在于，

所述脆弱部为第1脆弱部，

所述框状部包含包围所述带状部的内侧边缘、以及形成所述框状部的外形的外侧边缘，

在所述框状部中还具备第2脆弱部，该第2脆弱部具有从所述狭缝朝向相对于所述狭缝而与所述带状部相反的一侧延伸的线状。

6.根据权利要求5记载的蒸镀掩模中间体，其特征在于，

所述狭缝包含沿着所述带状部的所述边缘延伸的延伸部、以及从所述延伸部朝向相对于所述延伸部而与所述带状部相反的一侧突出的突出部，

所述第2脆弱部被连接于所述突出部。

7.根据权利要求6记载的蒸镀掩模中间体，其特征在于，

所述非连结部在所述带状部的所述长边方向上延伸到比所述掩模部靠所述短边的位置，

所述连结部将所述长边中的所述非连结部以外的部分连结于所述框状部，

所述突出部从所述狭缝的端部朝向相对于所述延伸部而与所述带状部相反的一侧突出，

所述第1脆弱部在所述带状部的所述长边方向上位于比所述突出部靠所述掩模部的位置。

8.根据权利要求1或2记载的蒸镀掩模中间体，其特征在于，

所述周边部以及所述框状部具有第1板厚，

所述连结部为多个连结部之中的1个，所述多个连结部沿着所述带状部的所述边缘隔开间隔而存在，各连结部具有所述第1板厚，

沿着所述带状部的所述边缘之中的与所述连结部连接的部分以外的部分，存在有狭缝。

9.根据权利要求8记载的蒸镀掩模中间体，其特征在于，

所述长边包含不被连结于所述框状部的非连结部，所述非连结部包含在所述带状部的宽度方向上与所述掩模部相邻的部分。

10.根据权利要求9记载的蒸镀掩模中间体，其特征在于，

所述脆弱部为第1脆弱部，

所述框状部包含包围所述带状部的内侧边缘、以及形成所述框状部的外形的外侧边缘，

所述狭缝之中的沿着所述长边的部分为狭缝部，

在所述框状部中还具备第2脆弱部，该第2脆弱部具有从所述狭缝部朝向相对于所述狭缝部而与所述带状部相反的一侧延伸的线状。

11.根据权利要求10记载的蒸镀掩模中间体，其特征在于，

所述狭缝部包含沿着所述带状部的所述边缘延伸的延伸部、以及从所述延伸部朝向相对于所述延伸部而与所述带状部相反的一侧突出的突出部，

所述第2脆弱部被连接于所述突出部。

12.根据权利要求11记载的蒸镀掩模中间体，其特征在于，

所述狭缝部包含在所述带状部的所述长边方向上位于比所述掩模部靠所述短边的位置的部分，

所述突出部在所述带状部的所述长边方向上位于比所述掩模部靠所述短边的位置，

所述第1脆弱部在所述带状部的所述长边方向上位于比所述突出部靠所述掩模部的位置。

13.一种蒸镀掩模，具有带状，其特征在于，具备：

边缘，具有一对长边和一对短边；

掩模部，具有多个掩模孔；以及

周边部，包围所述掩模部，

所述周边部之中，在所述蒸镀掩模的长边方向上的所述掩模部与所述短边之间存在有脆弱部，该脆弱部具有从一方的所述长边朝向另一方的所述长边延伸的形状。

14.一种掩模装置，其特征在于，具备：

权利要求13记载的蒸镀掩模；以及

框架，支撑所述蒸镀掩模，

所述蒸镀掩模包含表面和与所述表面相反的一侧的背面，

所述脆弱部包含在所述表面开口的半蚀刻部，

所述表面的一部分被安装于所述框架。

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