KR102068222B1

KR102068222B1 - 증착용 마스크 제조방법

Info

Publication number: KR102068222B1
Application number: KR1020130018206A
Authority: KR
Inventors: 이상윤
Original assignee: 삼성디스플레이 주식회사
Priority date: 2013-02-20
Filing date: 2013-02-20
Publication date: 2020-01-21
Also published as: US20140230219A1; KR20140104250A; US9376743B2

Abstract

본 기재의 증착용 마스크 제조방법은, 개구부를 둘러싸는 한 쌍의 제1 지지부 및 한 쌍의 제2 지지부를 구비하며, 상기 제1 지지부는 일면에 형성되는 접합면 및 외측 모서리 일부에 음각 형성된 체결홈을 포함하는 프레임을 마련하는 단계, 상기 체결홈에 대응하는 형상으로 형성된 끼움 블록을 상기 체결홈에 삽입하는 단계, 개구 패턴을 구비하는 마스크 스트립을 인장하면서 상기 마스크 스트립의 양단을 상기 접합면에 접합하는 단계, 및 상기 체결홈으로부터 상기 끼움 블록을 제거하는 단계를 포함한다.

Description

증착용 마스크 제조방법{METHOD OF MANUFACTURING MASK FOR DEPOSITION}

본 발명은 증착용 마스크 제조방법에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 인장력이 가해진 단위 마스크 스트립을 프레임에 접합하는 증착용 마스크를 제조하는 방법에 관한 것이다.

유기 발광 표시장치(organic light emitting diode display)는 정공 주입 전극과 전자 주입 전극 그리고 이들 사이에 형성되어 있는 유기 발광층을 포함하며, 애노드에서 주입되는 정공과 캐소드에서 주입되는 전자가 유기 발광층에서 재결합하여 소멸하면서 빛을 내는 자발광형 표시장치이다. 또한, 유기 발광 표시장치는 낮은 소비 전력, 높은 휘도, 넓은 시야 각도 및 높은 반응 속도 등의 고품위 특성을 나타내므로 휴대용 전자 기기의 차세대 표시장치로 주목받고 있다.

유기 발광 표시장치는 박막 트랜지스터와 유기 발광 소자(OLED, organic light emitting diode)가 형성된 표시 기판을 포함하는 유기 발광 표시 패널을 포함한다. 유기 발광 소자는 애노드, 캐소드 및 유기 발광층을 포함하여, 애노드와 캐소드로부터 각각 주입된 정공 및 전자가 여기자를 형성하고, 여기자가 바닥 상태로 전이하면서 발광이 이루어지게 된다.

유기 발광 표시장치와 같은 평판 표시장치에서 유기물이나 전극으로 사용되는 금속 등은 박막 증착 장치를 이용하여 진공 분위기에서 해당 물질을 증착하여 평판 상에 박막을 형성하는 진공 증착법을 사용한다. 진공 증착법은 박막 증착 장치의 진공챔버 내부에 유기 박막을 성막시킬 기판을 위치시키고, 증착소스 유닛을 이용하여 유기물을 증발 또는 승화시켜 기판에 증착시키는 방법으로 행해진다.

기판상에 원하는 형태의 유기막을 형성하기 위하여 증착용 마스크가 사용된다. 일정 크기 이상의 대형 기판에 유기물을 증착하는 경우, 마스크는 원하는 패턴의 안정적인 유기물 증착을 위하여 높은 내구성과 강도를 갖는 메탈 마스크가 사용될 수 있다. 이러한 메탈 마스크를 이용한 증착 기술은 대형 유기 발광 표시장치 등의 제조를 위한 유기물 증착과 캐소드 전극 형성 공정에 이용될 수 있다.

고정세 메탈 마스크(fine metal mask, FMM)는 대형 기판에 고정세 패턴의 유기물을 증착하기 위한 마스크이다. 고정세 메탈 마스크를 이용하면, 기판의 정해진 위치에 다수개의 원하는 고정세 패턴의 유기물을 한 번에 형성할 수 있다. 원하는 패턴의 유기물 증착을 위해 고정세 메탈 마스크는 유기물이 통과하는 복수의 직방형 슬롯들을 구비하거나 스트라이프 형태의 슬릿들과 같은 개구 패턴을 구비할 수 있다.

유기물이 통과하는 개구 패턴이 형성된 복수개의 단위 마스크 스트립을 프레임에 고정할 때 일정 방향으로 균일하게 인장력이 가한다. 그런데 단위 마스크 스트립이 접합되는 프레임의 일면에는 증착 장치의 고정부에 장착하기 위한 체결홈이 형성되어 있다. 이로 인해 접합하는 단위 마스크 스트립이 뒤틀리거나 변형되는 문제점이 발생하였다.

본 발명의 일측면은 단위 마스크 프레임이 뒤틀리거나 변형되지 않고 프레임에 접합될 수 있는 증착용 마스크 제조방법을 제공하는 것이다.

본 발명의 일 실시예에 따른 증착용 마스크 제조방법은, 개구부를 둘러싸는 한 쌍의 제1 지지부 및 한 쌍의 제2 지지부를 구비하며, 상기 제1 지지부는 일면에 형성되는 접합면 및 외측 모서리 일부에 음각 형성된 체결홈을 포함하는 프레임을 마련하는 단계, 상기 체결홈에 대응하는 형상으로 형성된 끼움 블록을 상기 체결홈에 삽입하는 단계, 개구 패턴을 구비하는 마스크 스트립을 인장하면서 상기 마스크 스트립의 양단을 상기 접합면에 접합하는 단계, 및 상기 체결홈으로부터 상기 끼움 블록을 제거하는 단계를 포함한다.

상기 체결홈에 삽입된 끼움 블록은 상기 접합면과 동일한 높이를 가질 수 있다.

상기 체결홈은 제1 지지부를 따라 복수개가 일정 간격으로 형성되며, 상기 끼움 블록은 상기 각 체결홈마다 삽입될 수 있다.

상기 마스크 스트립은 개구 패턴을 구비하는 스트립 본체 및 상기 스트립 본체의 양단에 길이 방향으로 연장형성된 클램핑부를 포함하고, 상기 마스크 스트립을 접합하는 단계는 상기 크램핑부를 파지하여 상기 마스크 스트립을 인장하면서 상기 스트립 본체 양단을 상기 접합면에 접합할 수 있다.

상기 마스크 스트립을 접합하는 단계 이후, 상기 클램핑부를 절단하여 제거하는 단계를 더 포함할 수 있다.

본 발명의 다른 실시예에 따른 증착용 마스크 제조방법은, 개구부를 둘러싸는 한 쌍의 제1 지지부 및 한 쌍의 제2 지지부를 구비하며, 상기 제1 지지부는 일면에 형성되는 접합면, 상기 접합면의 외측에 상기 접합면보다 낮은 높이로 형성되는 단차면 및 외측 모서리 일부에 음각 형성된 체결홈을 포함하는 프레임을 마련하는 단계, 상기 단차면을 따라 형성된 끼움 블록을 상기 단차면 상에 배치하는 단계, 개구 패턴을 구비하는 마스크 스트립을 인장하여 상기 마스크 스트립의 양단을 상기 접합면에 접합하는 단계, 및 상기 단차면으로부터 상기 끼움 블록을 제거하는 단계를 포함한다.

상기 끼움 블록의 두께는 상기 접합면과 상기 단차면의 높이 차이와 동일하게 형성할 수 있다.

본 발명의 실시예들에 따르면 단위 마스크 프레임이 뒤틀리거나 변형되지 않고 프레임에 접합될 수 있다. 이를 통해 증착 공정시 증착용 마스크가 기판에 밀착할 수 있게 되어 증착용 마스크와 기판 사이에 유기 물질이 침투하는 쉐도우 현상을 줄일 수 있다.

또한 본 발명의 실시예들에 따르면 균일한 박막을 형성할 수 있으며, 유기 발광 표시장치 제조시 유기 발광층의 패턴의 정밀도를 높여 표시 품질을 향상시킬 수 있다.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 증착용 마스크 제조방법에 의해 제조되는 증착용 마스크를 나타내는 사시도이다.
도 2a 내지 도 2c는 본 발명의 제1 실시예에 따른 증착용 마스크 제조방법을 순차적으로 나타내는 도면이다.
도 3a 내지 도 3c는 본 발명의 제2 실시예에 따른 증착용 마스크 제조방법을 순차적으로 나타내는 도면이다.
도 4는 본 발명의 실시예들에 따른 증착용 마스크 제조방법에 의해 제조된 증착용 마스크를 유기막을 증착하기 위한 증착 장치를 개략적으로 도시한 측면도이다.

이하에서는 도면을 참조하면서 본 발명에 따른 증착용 마스크 제조방법에 관하여 구체적으로 설명한다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다.

또한, 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 “포함” 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. 또한, 명세서 전체에서, “~상에”라 함은 대상 부분의 위 또는 아래에 위치함을 의미하는 것이며, 반드시 중력 방향을 기준으로 상 측에 위치하는 것을 의미하는 것은 아니다.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 증착용 마스크 제조방법에 의해 제조되는 증착용 마스크를 나타내는 사시도이며, 도 2a 내지 도 2c는 본 발명의 제1 실시예에 따른 증착용 마스크 제조방법을 순차적으로 나타내는 도면이다.

도면을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 증착용 마스크 제조방법은 프레임 마련단계, 끼움 블록 삽입 단계, 마스크 스트립 접합 단계, 끼움 블록 탈락 단계를 포함한다.

먼저, 마스크 스트립(120)을 고정하기 위한 프레임(110)을 마련한다. 프레임(110)은 개구부(102)를 둘러싸는 한 쌍의 제1 지지부(112a) 및 한 쌍의 제2 지지부(112b)를 구비한다. 한 쌍의 제1 지지부(112a)는 개구부(102)를 사이에 두고 마스크 스트립(120)의 길이 방향(y축 방향)을 따라 서로 마주한다. 한 쌍의 제2 지지부(112b)는 제1 지지부(112a)와 교차하는 방향으로 형성되며, 개구부(102)를 사이에 두고 마스크 스트립(120)의 폭 방향(x축 방향)을 따라 서로 마주한다. 프레임(110)은 단위 마스크 스트립들(120)이 인장된 상태로 지지되므로, 프레임(110)은 충분한 강성을 가지며, 기판과 증착용 마스크의 밀착시 간섭을 일으키지 않은 구조 중에서 어느 것이나 가능하다.

제1 지지부(112a)와 제2 지지부(112b)는 같은 길이로 형성되거나 다른 길이로 형성될 수 있다. 본 실시예에서는 제1 지지부(112a)가 제2 지지부(112b)보다 길게 형성되어 제1 지지부(112a)가 프레임(110)의 장변을 구성하고 제2 지지부(112b)가 프레임(110)의 단변을 구성하는 경우를 예시로 한다. 한 쌍의 제1 지지부(112a) 및 한 쌍의 제2 지지부가 연결되어 직사각형 형태의 개구부(102)를 형성된다.

제1 지지부(112a)는 판상의 마스크 스트립(120)이 접합할 수 있도록, 평평한 면으로 형성되는 접합면(116)을 갖는다. 그리고 제1 지지부(112a)의 접합면(116) 및 외측 모서리 일부에 체결홈(114)이 음각으로 형성된다. 체결홈(114)은 증착용 마스크(100)를 증착 장치에 설치할 때 증착용 마스크(100)를 마스크 고정부에 고정하기 위해 접합면(116)에 형성된다. 체결홈(114)은 직육면체에 해당하는 형상으로 음각될 수 있다. 체결홈(114)은 제1 지지부(112a)를 따라 복수개가 일정 간격으로 형성될 수 있다.

마스크 스트립(120)을 프레임(110)에 접합할 때, 마스크 스트립(120)을 길이 방향(y축 방향)으로 인장할 뿐 아니라, 마스크 스트립(120)과 프레임(110)의 사이의 접촉력을 높이기 위해 도 1에 도시된 바와 같이 마스크 스트립(120)을 프레임(110) 쪽(z축 방향)으로 소정 각도(θ)를 하향한 방향(A, A' 방향)으로도 인장할 수 있다. 이 때 접합면(116)에 형성된 체결홈(114)으로 인해 마스크 스트립(120)이 균일하게 인장되지 못하면서 뒤틀릴 수 있다.

이러한 상황을 방지하기 위해 도 2a에 도시된 바와 같이 체결홈(114)에 끼움 블록(130)을 삽입한다. 끼움 블록(130)은 체결홈(114)에 대응하는 형상으로 형성되며, 마스크 스트립(120)을 인장하여 접합시 체결홈(114)으로 인해 마스크 스트립(120)이 뒤틀리는 것을 방지한다. 끼움 블록(130)은 상기 제1 지지부(112a)의 접합면(116)과 동일한 높이를 갖는 것이 바람직하다. 끼움 블록(130)은 체결홈(114)에 대응하여 직육면체 형상으로 형성될 수 있다. 체결홈(114)이 복수개 형성되는 경우, 끼움 블록(130)은 각 체결홈(114)마다 삽입될 수 있다.

그리고 나서 도 2b에 도시된 바와 같이 마스크 스트립(120)을 인장하면서 마스크 스트립(120)의 양단을 접합면(116)에 접합시킨다.

마스크 스트립(120)은 일 방향(y축 방향)으로 연장 형성된 박판 형태로 구성되며, 복수의 마스크 스트립들(120)이 길이 방향으로 나란하게 프레임(110)에 고정된다. 마스크 스트립(120)은 기판 상에 유기막의 패턴을 형성하기 위한 부재로서, 유기물의 증착을 차단하는 차단 영역 사이에 개구 패턴이 형성되어 개구 패턴을 통해 기판 상에 유기물을 증착시킨다. 마스크 스트립(120)은 탄성력 및 강성을 갖는 금속 소재로 구성될 수 있는데, 니켈, 니켈 합금, 니켈-코발트 합금 등으로 형성할 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 탄성력 및 강성을 갖는 다양한 금속 중에서 선택될 수 있다.

마스크 스트립(120)은 개구 패턴을 구비하는 스트립 본체(122) 및 스트립 본체(122)의 양단에서 길이 방향으로 연장형성된 클램핑부(124a, 124b)를 포함하여 구성될 수 있다. 클램핑부(124a, 124b)는 마스크 스트립(120)을 인장기로 인장할 때, 파지하기 위한 부분으로서, 마스크 스트립(120)을 프레임(110)에 접합한 후에는 절단하여 제거할 수 있다.

마스크 스트립(120)은 양단은 한 쌍의 제1 지지부(112a)의 접합면(116)에 각각 접합되며, 구체적으로는 스트립 본체(122) 양단을 접합면(116)에 접합한다. 이때 스트립 본체(122)가 체결홈(114)에 중첩되지 않도록 함으로써, 클램핑부(124a, 124b)를 제거하면 체결홈(114)이 드러나도록 할 수 있다.

앞서 설명한 바와 같이 마스크 스트립(120)을 프레임(110) 쪽(z축 방향)으로 소정 각도(θ)를 하향한 방향(A, A' 방향)으로도 인장하더라도, 체결홈(114) 내에 삽입된 끼움 블록(130)에 의해 마스크 스트립(120)이 뒤틀리는 것을 방지할 수 있다.

마스크 스트립(120)을 프레임(110)에 접합한 후, 체결홈(114)으로부터 끼움 블록(130)을 제거한다. 이와 같은 방법으로 증착용 마스크(100)를 제조하여, 유기 발광층을 형성하기 위한 증착 장치에 설치한다.

도 3a 내지 도 3c는 본 발명의 제2 실시예에 따른 증착용 마스크 제조방법을 순차적으로 나타내는 도면이다.

제2 실시예에 따른 증착용 마스크 제조방법은 프레임 및 끼움 블록의 형상이 변형된 것을 제외하고는 전술한 제1 실시예의 증착용 마스크 제조방법과 동일한 구성 및 공정으로 이루어진다. 제1 실시예와 중복되는 구성 및 공정에 대해서는 설명을 생략하며, 제1 실시예와 같은 부재에 대해서는 같은 도면 부호를 사용한다.

제2 실시예에 따른 프레임(210)은 제1 지지부(212a)를 제외하고 제1 실시예에서와 동일하므로, 제1 지지부(212a)를 중심으로 설명한다.

제1 지지부(212a)는 도 3a에 도시된 바와 같이, 일면에 형성되는 접합면(216), 접합면(216)의 외측에 접합면(216)보다 낮은 높이로 형성되는 단차면(218), 외측 모서리 일부에 음각 형성된 체결홈(214)을 포함한다.

마스크 스트립(120)을 프레임(110)에 접합할 때, 마스크 스트립(120)을 프레임(210) 쪽(z축 방향)으로 소정 각도를 하향한 방향으로도 인장하므로, 접합면(216)과 단차면(218)의 높이 차이로 인해 마스크 스트립(120)이 균일하게 인장되지 못하면서 뒤틀릴 수 있다.

이러한 상황을 방지하기 위해 도 3b에 도시된 바와 같이 단차면(218) 상에 끼움 블록(230)을 배치한다. 끼움 블록(230)은 단차면(218)을 따라 연장 형성된 판상 부재로서, 끼움 블록(230)의 두께는 접합면(216)과 단차면(218)의 높이 차이와 동일하게 형성될 수 있다.

마스크 스트립(120)을 프레임(210)에 접합한 후, 단차면(218) 상으로부터 끼움 블록(230)을 제거한다. 이와 같은 방법으로 증착용 마스크(100)를 제조하여, 유기 발광층을 형성하기 위한 증착 장치에 설치한다.

도 4는 본 발명의 실시예들에 따른 증착용 마스크 제조방법에 의해 제조된 증착용 마스크를 유기막을 증착하기 위한 증착 장치를 개략적으로 도시한 측면도이다.

도 4를 참조하면, 증착용 마스크(100)를 이용하여 유기 발광 디스플레이 장치의 박막 즉, 적색(R), 녹색(G), 청색(B)의 유기 발광층을 증착하기 위해서는 적절한 진공도가 유지되는 진공 챔버(미도시)에 내에 증착원(400)을 배치한다. 본 실시예에서는 유기 발광 표시장치의 전극과 발광층을 형성하는데 사용되는 것으로 예시하나, 이에 한정되지 않으며, 증착용 마스크(100)는 다른 평판 표시장치의 전극 등을 형성하는데 적용될 수 있다.

진공 챔버에는 진공 챔버 내부의 기체를 배출시켜 진공 챔버 내부의 압력을 낮추는 진공 펌프(미도시)와 진공 챔버 내부로 일정한 기체를 주입하여 진공 챔버 내부의 압력을 높이는 벤팅 수단(미도시) 등의 구성이 더 구비될 수 있다.

증착원(400)은 증착 물질을 방출하여 기판(S)에 증착시키는 수단으로서, 내부에 유기물과 같은 증착 물질을 수납할 수 있는 공간(미도시)이 구비되며, 유기 물을 기화하여 기판(S)으로 분사한다. 증착원(400)은 경우에 따라 점 증착원, 선형 증착원 등 다양한 형태로 형성될 수 있다.

기판(S)은 기판 고정부(미도시)에 의해 증착원(400)에 대향하도록 고정되는데, 기판 고정부는 기판(S)에 증착 물질에 의한 박막을 형성하는 동안에 기판(S)을 안정적으로 고정시키고, 처리가 완료된 후에는 기판(S)을 외부로 배출하여야 하므로 기판(S)을 용이하게 탈장착할 수 있는 구조를 가진다. 기판 고정부의 구성은 통상의 증착 장치에서 사용되는 구성과 동일하므로 이에 대한 자세한 설명은 생략한다.

기판(S)과 증착원(400) 사이에는 프레임(110)과 마스크 스트립(120)으로 구성된 증착용 마스크(100)를 배치한다. 이 때 증착용 마스크(100)는 마스크 고정부(500)에 고정시키는데, 마스크 고정부(500)의 고정부재(미도시)가 증착용 마스크(100) 프레임(120)의 체결홈(114, 214)에 체결된다. 그리고 증착용 마스크(100)를 기판(S)에 밀착시키기 위한 마그네트 유니트(300)를 구동시켜 증착용 마스크(100)가 기판(S)에 밀착되도록 한다. 기판(S)과 증착용 마스크(100)를 원하는 위치에 정렬한 후, 증착원(400)내부를 가열하여 증착원(400) 내부에 수납된 유기물을 기화하여 기판(S)에 증착한다.

본 실시예 및 본 명세서에 첨부된 도면은 본 발명에 포함되는 기술적 사상의 일부를 명확하게 나타내고 있는 것에 불과하며, 본 발명의 명세서 및 도면에 포함된 기술적 사상의 범위 내에서 당업자가 용이하게 유추할 수 있는 다양한 변형 예와 구체적인 실시 예는 모두 본 발명의 권리범위에 포함되는 것이 자명하다고 할 것이다.

100 : 증착용 마스크 110, 210: 프레임
112a : 제1 지지부 112b: 제2 지지부
114, 214 : 체결홈 116, 216 : 접합면
120 : 마스크 스트립 122 : 스트립 본체
124a, 124b : 클램핑부 130, 230 : 끼움 블록

Claims

개구부를 둘러싸는 한 쌍의 제1 지지부 및 한 쌍의 제2 지지부를 구비하며, 상기 제1 지지부는 일면에 형성되는 접합면 및 외측 모서리 일부에 음각 형성된 체결홈을 포함하는 프레임을 마련하는 단계;
상기 체결홈에 대응하는 형상으로 형성된 끼움 블록을 상기 체결홈에 삽입하는 단계;
개구 패턴을 구비하는 마스크 스트립을 인장하면서 상기 마스크 스트립의 양단을 상기 제1 지지부의 접합면에 접합하는 단계;
상기 체결홈으로부터 상기 끼움 블록을 제거하는 단계;
를 포함하고,
상기 마스크 스트립은 개구 패턴을 구비하는 스트립 본체 및 상기 스트립 본체의 양단에 길이 방향으로 연장형성된 클램핑부를 포함하고,
상기 끼움 블록을 제거하는 단계는 상기 마스크 스트립의 스트립 본체 양단이 상기 제1 지지부 각각의 접합면에 접합된 상태에서 수행되고,
상기 스트립 본체는 상기 체결홈과 중첩하지 않는 증착용 마스크 제조방법.
제1항에 있어서,
상기 체결홈에 삽입된 끼움 블록은 상기 접합면과 동일한 높이를 갖는 증착용 마스크 제조방법.
제1항에 있어서,
상기 체결홈은 제1 지지부를 따라 복수개가 일정 간격으로 형성되며,
상기 끼움 블록은 상기 각 체결홈마다 삽입되는 증착용 마스크 제조방법.
제1항에 있어서,
상기 마스크 스트립을 접합하는 단계는 상기 클램핑부를 파지하여 상기 마스크 스트립을 인장하면서 상기 스트립 본체 양단을 상기 접합면에 접합하는 증착용 마스크 제조방법.
제4항에 있어서,
상기 마스크 스트립을 접합하는 단계 이후, 상기 클램핑부를 절단하여 제거하는 단계를 더 포함하는 증착용 마스크 제조방법.
개구부를 둘러싸는 한 쌍의 제1 지지부 및 한 쌍의 제2 지지부를 구비하며, 상기 제1 지지부는 일면에 형성되는 접합면, 상기 접합면의 외측에 상기 접합면보다 낮은 높이로 형성되는 단차면 및 외측 모서리 일부에 음각 형성된 체결홈을 포함하는 프레임을 마련하는 단계;
상기 단차면을 따라 형성된 끼움 블록을 상기 단차면 상에 배치하는 단계;
개구 패턴을 구비하는 마스크 스트립을 인장하여 상기 마스크 스트립의 양단을 상기 접합면에 접합하는 단계;
상기 단차면으로부터 상기 끼움 블록을 제거하는 단계;
를 포함하고
상기 마스크 스트립은 개구 패턴을 구비하는 스트립 본체 및 상기 스트립 본체의 양단에 길이 방향으로 연장 형성된 클램핑부를 포함하고,
상기 끼움 블록을 제거하는 단계는 상기 마스크 스트립의 스트립 본체 양단이 상기 제1 지지부 각각의 접합면에 접합된 상태에서 수행되고,
상기 스트립 본체는 상기 체결홈과 중첩하지 않는 증착용 마스크 제조방법.
제6항에 있어서,
상기 끼움 블록의 두께는 상기 접합면과 상기 단차면의 높이 차이와 동일한 증착용 마스크 제조방법.
제6항에 있어서,
상기 마스크 스트립을 접합하는 단계는 상기 클램핑부를 파지하여 상기 마스크 스트립을 인장하면서 상기 스트립 본체 양단을 상기 접합면에 접합하는 증착용 마스크 제조방법.
제8항에 있어서,
상기 마스크 스트립을 접합하는 단계 이후, 상기 클램핑부를 절단하여 제거하는 단계를 더 포함하는 증착용 마스크 제조방법.