KR101029999B1 - 마스크, 마스크 제조 방법 및 마스크 제조 장치 - Google Patents

마스크, 마스크 제조 방법 및 마스크 제조 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR101029999B1
KR101029999B1 KR1020090125024A KR20090125024A KR101029999B1 KR 101029999 B1 KR101029999 B1 KR 101029999B1 KR 1020090125024 A KR1020090125024 A KR 1020090125024A KR 20090125024 A KR20090125024 A KR 20090125024A KR 101029999 B1 KR101029999 B1 KR 101029999B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
mask member
mask
pattern
buffer
disposed
Prior art date
Application number
KR1020090125024A
Other languages
English (en)
Inventor
이충호
오윤찬
최승호
정석원
이정수
Original Assignee
삼성모바일디스플레이주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성모바일디스플레이주식회사 filed Critical 삼성모바일디스플레이주식회사
Priority to KR1020090125024A priority Critical patent/KR101029999B1/ko
Priority to US12/969,365 priority patent/US8778115B2/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101029999B1 publication Critical patent/KR101029999B1/ko

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
    • C23C14/042—Coating on selected surface areas, e.g. using masks using masks
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/08—Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
    • B23K26/083—Devices involving movement of the workpiece in at least one axial direction
    • B23K26/0838—Devices involving movement of the workpiece in at least one axial direction by using an endless conveyor belt
    • B23K26/0846—Devices involving movement of the workpiece in at least one axial direction by using an endless conveyor belt for moving elongated workpieces longitudinally, e.g. wire or strip material
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass

Abstract

대형의 마스크를 용이하게 형성할 수 있도록, 본 발명은 복수의 슬릿을 갖는 제1 패턴부, 상기 제1 패턴부와 이격된 제1 버퍼부 및 상기 제1 패턴부와 상기 제1 버퍼부를 연결하는 제1 접합부를 구비하는 제1 마스크 부재를 준비하는 단계, 복수의 슬릿을 갖는 제2 패턴부, 상기 제2 패턴부와 이격된 제2 버퍼부 및 상기 제2 패턴부와 상기 제2 버퍼부를 연결하는 제2 접합부를 구비하는 제2 마스크 부재를 준비하는 단계, 상기 제1 마스크 부재에 인장력을 가하고, 상기 제2 마스크 부재에 인장력을 가한 상태에서 상기 제1 접합부와 상기 제2 접합부를 접합하여 상기 제1 마스크 부재와 상기 제2 마스크 부재를 연결하는 마스크 제조 방법을 제공한다.

Description

마스크, 마스크 제조 방법 및 마스크 제조 장치{Mask, method of manufacturing mask and apparatus for manufacturing mask}
본 발명은 마스크, 마스크 제조 방법 및 마스크 제조 장치에 관한 것으로 더 상세하게는 대형의 마스크를 용이하게 제조할 수 있는 마스크, 마스크 제조 방법 및 마스크 제조 장치에 관한 것이다.
표시 장치들 중, 유기 발광 표시 장치는 시야각이 넓고 콘트라스트가 우수할 뿐만 아니라 응답속도가 빠르다는 장점을 가지고 있어 차세대 표시 장치로서 주목을 받고 있다.
일반적으로, 유기 발광 표시 장치는 애노드 전극과 캐소드 전극에서 주입되는 정공과 전자가 유기 발광층에서 재결합하여 발광하여 가시 광선을 구현할 수 있다.
한편, 유기 발광 표시 장치의 전극들, 유기 발광층 및 유기층은 여러 방법으로 형성될 수 있는데, 그 중 한 방법이 증착이다. 증착 방법을 이용하여 유기 발광 표시 장치를 제작하기 위해서는, 박막 등이 형성될 기판 면에, 형성될 박막 등의 패턴과 동일한 패턴을 가지는 파인 메탈 마스크(fine metal mask: FMM)를 밀착시키 고 박막 등의 재료를 증착하여 소정 패턴의 박막을 형성한다. 즉 증착 방법으로 원하는 박막 패턴을 형성하려면 유기 발광 표시 장치와 적어도 동일한 크기의 마스크가 필요하다.
그러나 정밀한 패턴을 갖는 대형 마스크를 제조하는데 한계가 있다. 또한 근래에는 표시 장치의 대형화가 더 요구됨에 따라 유기 발광 표시 장치도 대형화되어야 할 필요가 있는데, 정밀한 패턴을 갖는 대형 마스크를 제조하기가 용이하지 않아 원하는 박막 특성을 갖는 대형의 유기 발광 표시 장치를 제조하는데 한계가 있다.
본 발명은 대형의 마스크를 용이하게 제조할 수 있는 마스크, 마스크 제조 방법 및 마스크 제조 장치를 제공한다.
본 발명은 대형의 마스크를 용이하게 형성할 수 있도록, 본 발명은 복수의 슬릿을 갖는 제1 패턴부, 상기 제1 패턴부와 이격된 제1 버퍼부 및 상기 제1 패턴부와 상기 제1 버퍼부를 연결하는 제1 접합부를 구비하는 제1 마스크 부재를 준비하는 단계, 복수의 슬릿을 갖는 제2 패턴부, 상기 제2 패턴부와 이격된 제2 버퍼부 및 상기 제2 패턴부와 상기 제2 버퍼부를 연결하는 제2 접합부를 구비하는 제2 마스크 부재를 준비하는 단계, 상기 제1 마스크 부재에 인장력을 가하고, 상기 제2 마스크 부재에 인장력을 가한 상태에서 상기 제1 접합부와 상기 제2 접합부를 접합 하여 상기 제1 마스크 부재와 상기 제2 마스크 부재를 연결하는 마스크 제조 방법을 개시한다.
본 발명에 있어서 상기 제1 마스크 부재에 가해진 상기 인장력은 상기 제1 마스크 부재의 상기 제1 패턴부가 배치된 일단 및 상기 일단과 마주보고 상기 제1 버퍼부가 배치된 상기 제1 마스크 부재의 타단에 작용할 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 제2 마스크 부재에 가해진 상기 인장력은 상기 제2 마스크 부재의 상기 제2 패턴부가 배치된 일단 및 상기 일단과 마주보고 상기 제2 버퍼부가 배치된 상기 제2 마스크 부재의 타단에 작용할 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 제1 마스크 부재와 상기 제2 마스크 부재는 용접 방법으로 연결할 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 제1 마스크 부재와 상기 제2 마스크 부재를 연결한 후에 상기 제1 버퍼부 및 상기 제2 버퍼부를 제거할 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 제1 패턴부의 폭과 상기 제2 패턴부의 폭은 동일할 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 제1 마스크 부재에 상기 인장력을 가할 때 상기 제1 패턴부와 상기 제1 버퍼부가 동일하지 않는 평면상에 배치될 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 제1 마스크 부재에 상기 인장력을 가할 때 상기 제1 접합부와 상기 제1 버퍼부가 인접하는 영역에 대응하도록 제1 롤러 부재를 배치하고, 상기 제1 롤러 부재를 중심으로 상기 제1 패턴부와 상기 제1 버퍼부가 동일하지 않는 평면상에 배치될 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 제2 마스크 부재에 상기 인장력을 가할 때 상기 제2 패턴부와 상기 제2 버퍼부가 동일하지 않는 평면상에 배치될 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 제2 마스크 부재에 상기 인장력을 가할 때 상기 제2 접합부와 상기 제2 버퍼부가 인접하는 영역에 대응하도록 제2 롤러 부재를 배치하고, 상기 제2 롤러 부재를 중심으로 상기 제2 패턴부와 상기 제2 버퍼부가 동일하지 않는 평면상에 배치될 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 제1 마스크 부재의 상기 제1 패턴부 및 상기 제2 마스크 부재의 상기 제2 패턴부를 중력이 작용하는 방향과 평행한 방향으로 배치한 후 상기 제1 마스크 부재에 인장력을 가하고, 상기 제2 마스크 부재에 인장력을 가한 상태에서 상기 제1 마스크 부재와 상기 제2 마스크 부재를 연결할 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 제1 마스크 부재와 상기 제2 마스크 부재를 소정의 패턴이 형성된 베이스 기판 상에 배치한 후 상기 제1 마스크 부재 및 상기 제2 마스크 부재에 상기 인장력을 가하여 연결할 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 베이스 기판에는 상기 제1 마스크 부재의 폭보다 큰 관통공이 형성되고, 상기 제1 마스크 부재의 상기 제1 버퍼부의 일단은 상기 관통공을 관통하도록 배치될 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 제1 패턴부의 상기 슬릿들과 상기 제2 패턴부의 상기 슬릿들이 상기 베이스 기판의 패턴과 정렬된 상태에서 상기 제1 마스크 부재와 상기 제2 마스크 부재를 연결할 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 제1 패턴부 상부에 상기 제1 버퍼부가 배치되고 상기 제1 버퍼부 상부에 상기 제2 패턴부가 배치되도록 상기 제1 마스크 부재 상에 상기 제2 마스크 부재를 배치하고, 상기 제1 패턴부와 상기 제2 버퍼부는 가장자리로 갈수록 서로 멀어지도록 배치하고 상기 제2 패턴부와 상기 제1 버퍼부는 가장자리로 갈수록 서로 멀어지도록 배치하고, 상기 제1 마스크 부재에 인장력을 가하고 상기 제2 마스크 부재에 인장력을 가한 상태에서 상기 제1 접합부와 상기 제2 접합부를 접합하여 상기 제1 마스크 부재와 상기 제2 마스크 부재를 연결할 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 제1 마스크 부재와 상기 제2 마스크 부재를 연결한 후에 상기 제1 패턴부와 상기 제2 패턴부가 동일 평면상에 배치될 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 제1 항의 제1 마스크 부재의 상기 제1 접합부는 상기 제1 패턴부보다 얇게 형성되고, 상기 제2 마스크 부재의 상기 제2 접합부는 상기 제2 패턴부보다 얇게 형성될 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 제1 접합부 및 상기 제2 접합부는 에칭에 의하여 두께가 감소될 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 제1 접합부 및 상기 제2 접합부의 두께의 합은 상기 제1 패턴부의 두께 또는 상기 제2 패턴부의 두께와 같을 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 제1 마스크 부재의 상기 제1 패턴부, 상기 제1 접합부 및 상기 제1 버퍼부가 일체로 형성되고, 상기 제2 마스크 부재의 상기 제2 패턴부, 상기 제2 접합부 및 상기 제2 버퍼부가 일체로 형성될 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 제1 마스크 부재의 상기 제1 접합부는 상기 제1 패턴부와 별도로 형성한 후 상기 제1 마스크에 결합될 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 제1 패턴부와 상기 제1 접합부는 용접 방법에 의하여 결합될 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 제1 접합부와 상기 제1 버퍼부는 일체로 형성될 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 제1 접합부는 상기 제1 패턴부와 중첩되는 영역이 존재하도록 상기 제1 패턴부 하부에 배치되고, 상기 제1 접합부의 영역 중 상기 제1 패턴부와 중첩되지 않는 영역에 상기 제2 마스크 부재가 연결될 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 제2 패턴부, 상기 제2 접합부 및 상기 제2 버퍼부는 일체로 형성될 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 따르면 본 발명의 제조 방법에 의하여 제조된 마스크를 개시한다.
본 발명의 또 다른 측면에 따르면 제1 마스크 부재와 제2 마스크 부재를 배치할 수 있고 소정의 패턴이 형성된 베이스 기판, 상기 제1 마스크 부재와 상기 제2 마스크 부재를 인장할 수 있는 인장 부재, 상기 제1 마스크 부재와 상기 제2 마스크 부재의 인장 방향을 변환할 수 있는 롤러 부재 및 상기 제1 마스크 부재와 상기 제2 마스크 부재를 인장한 상태에서 상기 제1 마스크 부재와 상기 제2 마스크 부재를 연결하는 용접 부재를 포함하는 마스크 제조 장치를 개시한다.
본 발명에 있어서 상기 베이스 기판은 제1 마스크 부재의 폭보다 큰 폭을 갖는 관통공을 구비하고, 상기 제1 마스크 부재의 일단은 상기 관통공을 관통하도록 배치될 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 베이스 기판의 패턴에 따라 상기 제1 마스크 부재 및 상기 제2 마스크부재를 정렬한 후 상기 제1 마스크 부재와 상기 제2 마스크 부재를 연결할 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 관통공의 내측면은 경사면으로 형성될 수 있다.
본 발명에 관한 마스크, 마스크 제조 방법 및 마스크 제조 장치는 대형의 마스크를 용이하게 형성할 수 있다.
이하 첨부된 도면들에 도시된 본 발명에 관한 실시예를 참조하여 본 발명의 구성 및 작용을 상세히 설명한다.
도 1 내지 도 9는 본 발명의 일 실시예에 관한 마스크 제조 방법을 도시한 도면들이다.
우선 도 1 및 도 2를 참조하면 제1 마스크 부재(110) 및 제2 마스크(120)를 준비한다. 도 2는 도 1의 단면도이다.
제1 마스크 부재(110)는 제1 패턴부(111), 제1 접합부(112) 및 제1 버퍼부(113)를 포함한다.
제1 패턴부(111)는 복수의 슬릿(111a)을 구비한다. 슬릿(111a)은 예를 들면 증착 물질이 통과하는 부분으로 원하는 박막 증착 패턴에 따라 형성된다. 제1 패턴부(111)의 일단에는 제1 접합부(112)가 연결되어 있다. 제1 접합부(112)는 제1 패턴부(111)보다 얇게 형성되는데 에칭 공정을 통하여 제1 패턴부(111)의 두께를 감 소할 수 있다. 제1 접합부(112)의 제1 패턴부(111)와 인접하지 않는 일단에 제1 버퍼부(113)가 배치된다. 즉 제1 패턴부(111)와 제1 버퍼부(113)사이에 제1 접합부(112)가 배치된다.
제1 마스크 부재(110)는 폭(MW1)을 갖는다. 즉 제1 패턴부(111), 제1 접합부(112) 및 제1 버퍼부(113)가 동일한 폭(MW1)을 갖는다. 제1 마스크 부재(110)는 다양한 방법에 의하여 제조될 수 있는데 제1 패턴부(111), 제1 접합부(112) 및 제1 버퍼부(113)를 일체로 형성하여 제1 마스크 부재(110)를 제조할 수 있다. 즉 금속 소재의 박판을 패터닝하여 복수의 슬릿(111a)이 형성된 제1 패턴부(111), 두께가 감소된 제1 접합부(112) 및 제1 버퍼부(113)를 형성할 수 있다.
제2 마스크 부재(120)는 제2 패턴부(121), 제2 접합부(122) 및 제2 버퍼부(123)를 포함한다.
제2 패턴부(121)는 복수의 슬릿(121a)을 구비한다. 슬릿(121a)은 증착 물질이 통과하는 부분으로서 원하는 박막 증착 패턴에 따라 형성된다. 제2 패턴부(121)의 일단에는 제2 접합부(122)가 연결되어 있다. 제2 접합부(122)는 제2 패턴부(121)보다 얇게 형성되는데 에칭 공정을 통하여 제2 패턴부(121)의 두께를 감소할 수 있다. 제2 접합부(122)의 제2 패턴부(121)와 인접하지 않는 일단에 제2 버퍼부(123)가 배치된다. 즉 제2 패턴부(121)와 제2 버퍼부(123)사이에 제2 접합부(122)가 배치된다.
제2 마스크 부재(120)는 폭(MW2)을 갖는다. 즉 제2 패턴부(121), 제2 접합부(122) 및 제2 버퍼부(123)가 동일한 폭(MW2)을 갖는다. 이 때 제1 마스크 부 재(110)의 폭(MW1)과 제2 마스크 부재(120)의 폭(MW2)이 갖도록 하는 것이 바람직하다. 특히 제1 패턴부(111)와 제2 패턴부(112)의 폭은 같다.
제2 마스크 부재(120)는 다양한 방법에 의하여 제조될 수 있는데 제2 패턴부(121), 제2 접합부(122) 및 제2 버퍼부(123)를 일체로 형성하여 제2 마스크 부재(120)를 제조할 수 있다. 즉 금속 소재의 박판을 패터닝하여 복수의 슬릿(121a)이 형성된 제2 패턴부(121), 두께가 감소된 제2 접합부(122) 및 제2 버퍼부(123)를 형성할 수 있다.
그리고 나서 도 3을 참조하면 제1 마스크 부재(110)에 인장력을 가한다. 제1 마스크 부재(110)의 양단, 즉 제1 패턴부(111)를 향하는 일단 및 이와 마주보고 제1 버퍼부(113)를 향하는 타단에 인장력을 가한다. 이를 위하여 인장력을 가할 수 있는 인장 부재(미도시)가 배치된다. 그리고 이 때 양단에 가해지는 인장력은 F1으로 동일하다.
이 때 제1 패턴부(111)와 제1 버퍼부(113)가 동일한 평면에 놓이지 않은 상태에서 인장력을 가한다. 이를 위하여 제1 접합부(112)와 제1 버퍼부(113)가 인접하는 영역에 대응되도록 제1 롤러 부재(141)가 배치된다. 제1 패턴부(111)는 수평한 방향으로 배치되고, 제1 버퍼부(113)는 경사지도록 배치된다. 제1 접합부(112)는 제1 패턴부(111)와 동일 평면에 배치되도록 한다.
또한 제1 마스크 부재(110)는 베이스 기판(130)에 배치된다. 베이스 기판(130)에는 소정의 패턴이 형성되어 있는데, 제1 패턴부(111) 및 제2 패턴부(121)의 슬릿들과 같은 형태의 패턴이 형성될 수 있다.
또한 베이스 기판(130)은 관통공(130a)을 구비하는데, 제1 마스크 부재(110)의 제1 패턴부(111)는 베이스 기판(130)의 상부에 놓이고 제1 마스크 부재(110)의 제1 버퍼부(113)는 관통공(130a)을 통하여 베이스 기판(130)의 하부에 놓이게 된다.
그리고 나서 도 4를 참조하면 제2 마스크 부재(120)에 인장력을 가한다. 제2 마스크 부재(120)를 제1 마스크 부재(110)상에 배치하는데, 제2 버퍼부(123)는 제1 패턴부(111)를 향하고 제2 패턴부(121)는 제1 버퍼부(113)를 향하도록 하고 제1 접합부(112)와 제2 접합부(122)는 중첩되도록 한다.
제2 마스크 부재(120)에 인장력을 가할 때 제2 마스크 부재(120)의 양단, 즉 제2 패턴부(121)를 향하는 일단 및 이와 마주보고 제2 버퍼부(123)를 향하는 타단에 인장력을 가한다. 이를 위하여 인장력을 가할 수 있는 인장 부재(미도시)가 배치된다. 그리고 이 때 양단에 가해지는 인장력은 F2으로 동일하다.
이 때 제2 패턴부(121)와 제2 버퍼부(123)가 동일한 평면에 놓이지 않은 상태에서 인장력을 가한다. 이를 위하여 제2 접합부(122)와 제2 버퍼부(123)가 인접하는 영역에 대응되도록 제2 롤러 부재(142)가 배치된다. 제2 패턴부(121)는 수평한 방향으로 배치되고, 제2 버퍼부(123)는 경사지도록 배치된다. 이 때 제2 접합부(122)는 제2 패턴부(121)와 동일한 평면상에 배치되는 것이 바람직하다.
또한 제2 마스크 부재(120)는 베이스 기판(130)에 배치된다. 제1 버퍼부(113)는 관통공(130a)을 통하여 베이스 기판(130)의 하부에 놓이므로 자연스럽게 제2 마스크 부재(120)의 제2 패턴부(121)와 상이한 방향을 향할 수 있다. 또한 제2 버퍼부(123)는 제2 롤러 부재(142)를 통하여 제1 패턴부(111)과 상이한 방향을 향하도록 할 수 있다.
베이스 기판(130)에는 소정의 패턴이 형성되어 있는데 구체적으로 최종적으로 제조되어야 할 마스크의 슬릿에 대응하는 패턴들이 형성되어 있다. 그리고 제1 마스크 부재(110)의 제1 패턴부(111)와 제2 마스크 부재(120)의 제2 패턴부(121)의 슬릿들을 베이스 기판(130)의 패턴에 정렬되도록 한 상태에서 인장력을 가한다. 즉 제1 패턴부(111)의 슬릿(111a)들과 제2 패턴부(121)의 슬릿(121a)들이 베이스 기판(130)의 패턴들과 정렬된 상태에서 후속 공정에서 제1 마스크 부재(110)와 제2 마스크 부재(120)를 연결하고, 이를 통하여 원하는 패턴을 갖는 마스크를 최종적으로 제조할 수 있다.
그리고 나서 도 5 내지 도 8을 참조하면 용접 부재(150)를 이용하여 제1 마스크 부재(110)와 제2 마스크 부재(120)를 연결한다. 도 6은 도 5의 사시도이고, 도 7은 도 5의 베이스 기판(130)의 관통공(130a)을 구체적으로 설명하기 위한 도면이고, 도 8은 제2 롤러 부재(142)를 구체적으로 설명하기 위한 도면이다.
구체적으로 제1 마스크 부재(110)의 제1 접합부(112)와 제2 마스크 부재(120)의 제2 접합부(122)를 용접 방법으로 연결한다. 용접 부재(150)는 레이저 장치일 수 있는데 이 때 용접 부재(150)는 레이저(150a)를 제2 접합부(122)사이에 조사한다. 그러나 본 발명은 이에 한정되지 않고 다양한 레이저 이외의 다양한 용접 부재(150)를 이용할 수 있다.
용접 부재(150)의 용이한 작동을 위하여 제2 롤러 부재(142)를 용접 부 재(150)와 중첩되지 않도록 배치한다. 즉 용접 부재(150)로 제1 접합부(112)와 용접할 영역을 피하도록 제2 롤러 부재(142)를 배치한다.
베이스 기판(130)의 관통공(130a)은 제1 마스크 부재(110)가 통과할 수 있도록 제1 마스크 부재(110)의 폭(MW1)보다 큰 폭(W1)을 갖는다. 또한 관통공(130a)의 길이(d)는 공정 조건에 따라 다양하게 결정되나 최소화하는 것이 바람직하다.
또한 제1 마스크 부재(110)의 제1 버퍼부(113)의 진입 및 인장을 용이하게 하도록 관통공(130a)의 내측면(s)은 경사면으로 형성하는 것이 바람직하다.
제2 롤러 부재(142)는 폭(W2)을 갖는데 제1 마스크 부재(110)의 폭(MW1) 및 제2 마스크 부재(120)의 폭(MW2)보다 큰 것이 바람직하다. 또한 제2 롤러 부재(142)는 마찰력이 작을수록 좋고, 제2 롤러 부재(142)의 반경(R)은 제2 마스크 부재(120)에 영구 변형이 일어날 정도로 작은 것이 바람직한데 구체적으로 2mm 내지 5mm일 수 있다.
제2 롤러 부재(142)의 일단에는 지지부(143)가 연결될 수도 있다. 도시하지 않았으나 제1 롤러 부재(141)도 제2 롤러 부재(142)와 동일한 형태로 형성할 수 있다. 또한 지지부(143)는 용접 부재(150)와 이격되도록 배치되는데 이를 위하여 지지부(143)를 경사지도록 제2 롤러 부재(142)와 연결할 수 있다.
그리고 나서 도 9를 참조하면 제1 마스크 부재(110)와 제2 마스크 부재(120)가 연결되어 최종적으로 마스크(100)가 제조된다. 제1 접합부(112)와 제2 접합부(122)를 연결하도록 용접점(105)이 형성되어 있다. 그리고 제1 버퍼부(113)와 제2 버퍼부(123)는 제거되어 있다. 도 9에는 용접점(105)이 한 개 도시되어 있으나 본 발명은 이에 한정되지 않고 복수의 용접점(105)이 형성될 수 있다.
제1 접합부(112) 및 제2 접합부(122)의 두께의 합이 제1 마스크 부재(110) 또는 제2 마스크 부재(120)의 두께와 같으므로 제1 마스크 부재(110)와 제2 마스크 부재(120)의 연결 부위가 매끄럽다.
본 실시예에서는 제1 마스크 부재(110) 및 제2 마스크 부재(120)를 연결하여 한 개의 대형의 마스크(100)를 용이하게 제조할 수 있다. 이 때 제1 마스크 부재(110)를 양 방향으로 인장하고, 제2 마스크 부재(120)도 마찬가지로 양 방향으로 인장한 상태로 연결하여 제1 마스크 부재(110)와 제2 마스크 부재(120)의 접합 특성을 향상하고, 최종적으로 원하는 패턴의 슬릿을 정밀하게 형성한 마스크(100)의 제조가 용이해진다.
그리고 제1 마스크 부재(110) 및 제2 마스크 부재(120)는 제1, 2 롤러 부재(141, 142)를 이용하여 인장 방향을 제어하여 제1 마스크 부재(110)상에 제2 마스크 부재(120)가 배치될 때 제1 패턴부(111)와 제2 버퍼부(123)가 가장자리로 갈수록 서로 멀어지도록 하고, 제2 패턴부(121)와 제1 버퍼부(113)가 가장자리로 갈수록 서로 멀어지도록 한다. 이를 통하여 제1 마스크 부재(110)의 제1 접합부(112)와 제2 마스크 부재(120)의 제2 접합부(122)가 용이하게 접합되고, 제1 패턴부(111)와 제2 패턴부(121)를 동일 평면상에 용이하게 배치할 수 있다.
또한 본 실시예에서는 제1 마스크 부재(110) 및 제2 마스크 부재(120)를 베이스 기판(130)상에 배치한 채 연결한다. 베이스 기판(130)의 패턴에 따라 제1 마스크 부재(110) 및 제2 마스크 부재(120)를 정렬한 상태에서 연결하므로 원하는 패 턴을 갖는 대형의 마스크(100)를 용이하게 제조할 수 있다.
그리고 베이스 기판(130)에는 관통공(130a)이 형성되어 있어 관통공(130a)으로 제1 버퍼부(113)의 일단이 투입되도록 하여 마스크 부재(110, 120)들간의 연결 공정의 공간적 편의성이 증대된다.
또한 제1 마스크 부재(110)의 제1 버퍼부(113) 및 제2 마스크 부재(120)의 제2 버퍼부(123)의 일단에 인장력을 가할 수 있으므로 인장력을 가하는 공정이 용이하게 진행된다. 또한 제1 버퍼부(113) 및 제2 버퍼부(123)는 제1 마스크 부재(110)와 제2 마스크 부재(120)를 연결한 후에 제거되므로 인장력을 가하는 공정 중 제1 마스크 부재(110) 및 제2 마스크 부재(120)의 취급이 용이하다.
또한 본 실시예에서는 제1 접합부(112) 및 제2 접합부(122)의 두께의 합을 제1 패턴부(111) 또는 제2 패턴부(121)의 두께와 같도록 하여 매끄러운 연결 형태를 갖는 마스크(100)를 용이하게 제조할 수 있다.
도 10은 본 발명의 다른 실시예에 관한 마스크 제조 방법을 도시한 도면이다. 설명의 편의를 위하여 전술한 실시예와 상이한 점을 설명하기로 한다.
본 실시예는 전술한 실시예와 비교할 때 마스크 부재(110, 120)의 인장 방향만이 상이하다.
도 10의 화살표(g)는 중력이 작용하는 방향을 도시한 것이다. 도 10을 참조하면 제1 패턴부(111) 및 제2 패턴부(112)를 중력(g)이 작용하는 방향으로 배치한 채로 제1 마스크 부재(110) 및 제2 마스크 부재(120)에 인장력을 가하여 제1 마스크 부재(110)와 제2 마스크 부재(120)를 연결한다.
마스크를 이용하여 피증착재에 증착 공정을 진행할 때 피증착재 및 마스크를 지면과 수직으로 배치하는 경우, 즉 피증착재와 마스크를 중력이 작용하는 방향과 평행하게 배치하는 경우가 있다. 특히 피증착재와 마스크가 대형인 경우에 이러한 배치를 적용한다.
이러한 배치에서 증착 공정을 진행할 경우 중력에 의하여 마스크가 점차 변형되고, 이로 인하여 피증착재의 박막 특성이 감소하게 된다.
본 실시예에서는 제1 마스크 부재(110)의 제1 패턴부(111) 및 제2 마스크 부재(120)의 제2 패턴부(121)를 중력이 작용하는 방향과 평행하도록 배치한 채 인장력을 가하여 제1 마스크 부재(110) 및 제2 마스크 부재(120)를 연결하여 마스크(100)를 제조한다. 이를 통하여 마스크(100) 및 피증착재를 중력이 작용하는 방향으로 배치하고 증착 공정을 진행할 때 중력의 작용을 보상할 수 있어서 마스크(100)의 변형을 방지할 수 있다.
도 11 내지 도 17은 본 발명의 또 다른 실시예에 관한 마스크 제조 방법을 도시한 도면들이다.
도 11 내지 도 14를 참조하면 제1 마스크 부재(210) 및 제2 마스크 부재(220)를 준비한다. 도 14는 도 13의 단면도이다.
제1 마스크 부재(210)는 제1 패턴부(211), 제1 접합부(212) 및 제1 버퍼부(213)를 포함한다.
제1 패턴부(211)는 복수의 슬릿(211a)을 구비한다. 슬릿(211a)은 예를 들면 증착 물질이 통과하는 부분으로 원하는 박막 증착 패턴에 따라 형성된다.
제1 패턴부(211)의 일단에는 제1 접합부(212)가 연결되어 있다. 제1 접합부(212)는 제1 패턴부(211)과 별도로 형성되고, 용접 방법으로 제1 접합부(212)와 제1 패턴부(211)를 연결한다. 제1 접합부(212)는 제1 패턴부(211)의 하부에 놓이고 제1 패턴부(211)와 중첩되도록 배치한 후에 중첩된 부분에 용접점(214)을 형성하여 제1 패턴부(211)와 연결된다. 이 때 제1 접합부(212)와 제1 패턴부(211)가 중첩되는 부분의 양단, 즉 제1 마스크 부재(110)의 길이 방향과 수직한 방향으로 인장력(f)을 가한 상태에서 용접 공정을 진행한다. 이를 통하여 제1 패턴부(211)와 제1 접합부(212)의 접합 특성을 향상한다. 용접점(214)은 복수로 형성하는 것이 바람직하다.
제1 접합부(212)의 일단에 제1 버퍼부(213)가 배치된다. 제1 버퍼부(213)는 제1 접합부(212)의 일단이 연장된 형태로 형성된다. 즉 제1 접합부(212)와 제1 버퍼부(213)는 일체로 형성된다. 이를 통하여 제1 패턴부(211)와 제1 버퍼부(213)사이에 제1 접합부(212)가 배치된다.
제2 마스크 부재(220)는 제2 패턴부(221), 제2 접합부(222) 및 제2 버퍼부(223)를 포함한다.
제2 패턴부(221)는 복수의 슬릿(221a)을 구비한다. 제2 패턴부(221)의 일단에는 제2 접합부(222)가 연결되고, 제2 접합부(222)의 제2 패턴부(221)와 인접하지 않는 일단에 제2 버퍼부(223)가 배치된다. 즉 제2 패턴부(221)와 제2 버퍼부(223)사이에 제2 접합부(222)가 배치된다. 이 때 제2 패턴부(221), 제2 접합부(222) 및 제2 버퍼부(223)는 일체로 형성되는 것이 바람직하다.
그리고 나서 도 15를 참조하면 제1 마스크 부재(210)에 인장력을 가한다. 제1 마스크 부재(210)의 양단, 즉 제1 패턴부(211)의 일단 및 이와 마주보는 제1 버퍼부(213)의 일단에 인장력을 가한다. 양단에 가해지는 인장력은 F1으로 동일하다.
이 때 제1 패턴부(211)와 제1 버퍼부(213)가 동일한 평면에 놓이지 않은 상태에서 인장력을 가한다. 이를 위하여 제1 접합부(212)와 제1 버퍼부(213)가 인접하는 영역에 대응되도록 제1 롤러 부재(241)가 배치된다. 제1 패턴부(211)는 수평한 방향으로 배치되고, 제1 버퍼부(213)는 경사지도록 배치된다.
또한 제1 마스크 부재(210)는 소정의 패턴이 표시된 베이스 기판(230)에 배치된다. 구체적으로 베이스 기판(230)은 관통공(230a)을 구비한다.
그리고 나서 도 16을 참조하면 제2 마스크 부재(220)에 인장력을 가한다. 제2 마스크 부재(220)를 제1 마스크 부재(210)상에 배치하는데, 제2 버퍼부(223)는 제1 패턴부(211)를 향하고 제2 패턴부(221)는 제1 버퍼부(213)를 향하도록 하고 제1 접합부(212)와 제2 접합부(222)는 중첩되도록 한다.
제2 마스크 부재(220)의 양단, 즉 제2 패턴부(221)를 향하는 일단 및 이와 마주보고 제2 버퍼부(223)를 향하는 타단에 인장력을 가한다. 이 때 양단에 가해지는 인장력은 F2로 동일하다.
이 때 제2 패턴부(221)와 제2 버퍼부(223)가 동일한 평면에 놓이지 않은 상태에서 인장력을 가한다. 이를 위하여 제2 접합부(222)와 제2 버퍼부(223)가 인접하는 영역에 대응되도록 제2 롤러 부재(242)가 배치된다. 제2 패턴부(221)는 수평한 방향으로 배치되고, 제2 버퍼부(223)는 경사지도록 배치된다.
또한 제2 마스크 부재(220)는 베이스 기판(230)에 배치된다.
그리고 나서 용접 부재(250)를 이용하여 제1 마스크 부재(210)와 제2 마스크 부재(220)를 연결한다. 구체적으로 제1 마스크 부재(210)의 제1 접합부(212)와 제2 마스크 부재(220)의 제2 접합부(222)를 용접 방법으로 연결한다. 용접 부재(250)는 레이저(250a)를 조사하는 레이저 장치일 수 있다.
그리고 나서 도 17을 참조하면 제1 마스크 부재(210)와 제2 마스크 부재(220)가 연결되어 최종적으로 마스크(200)가 제조된다. 제1 접합부(212)와 제2 접합부(222)를 연결하도록 용접점(205)이 형성되어 있다. 그리고 제1 버퍼부(213)와 제2 버퍼부(223)는 제거되어 있다.
상기 제1 패턴부(211)와 상기 제2 패턴부(221)가 동일 평면 상에 놓이도록 하여 매끄러운 연결 형태를 갖는 마스크(200)를 제조한다.
도시하지 않았으나 본 실시예를 그대로 도 10에 도시한 것과 같이 중력이 작용하는 방향으로 배치할 수 있음은 물론이다.
또한 베이스 기판(230), 제1, 2 롤러 부재(241, 242)의 구성은 전술한 실시예와 동일하므로 구체적인 설명은 생략한다.
본 실시예에서는 대형의 마스크(200)를 용이하게 제조할 수 있다. 이 때 제1 마스크 부재(210)를 양 방향으로 인장하고, 제2 마스크 부재(220)도 마찬가지로 양 방향으로 인장한 상태에서 연결하므로 접합 특성이 향상되고 정밀한 패턴의 마스크(200)의 제조가 용이해진다.
또한 제1, 2 롤러 부재(241, 242)를 이용하여 인장 방향을 제어하여 제1 패 턴부(211)와 제2 패턴부(221)를 동일 평면상에 용이하게 배치할 수 있고, 공정의 효율성이 향상된다.
또한 베이스 기판(230)을 이용하여 원하는 패턴을 갖는 대형의 마스크(200)를 용이하게 제조할 수 있고, 베이스 기판(230)에 형성된 관통공(230a)으로 인하여 연결 공정의 공간적 편의성이 증대된다.
또한 제1 버퍼부(213) 및 제2 버퍼부(223)에 인장력을 가하고, 후에 제거하여 공정 효율성이 증가한다.
또한 본 실시예에서는 제1 접합부(212)를 제1 패턴부(211)에 별도로 연결하는 공정을 통하여 제1 마스크 부재(210)을 용이하게 준비할 수 있다. 그리고 제1 접합부(212)와 제1 패턴부(211)가 중첩되도록 한 후 제1 접합부(212)와 제1 패턴부(211)를 연결하고, 제1 접합부(212)의 영역 중 제1 패턴부(211)와 중첩되지 않는 영역에 제2 마스크 부재(220)의 제2 접합부(222)를 연결하여 제1 패턴부(211)와 제2 패턴부(221)가 동일 평면 상에 놓이는 마스크(200)를 용이하게 제조할 수 있다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
도 1 내지 도 9는 본 발명의 일 실시예에 관한 마스크 제조 방법을 도시한 도면들이다.
도 10은 본 발명의 다른 실시예에 관한 마스크 제조 방법을 도시한 도면이다.
도 11 내지 도 17은 본 발명의 또 다른 실시예에 관한 마스크 제조 방법을 도시한 도면들이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 간단한 설명>
100, 200: 마스크 110, 210: 제1 마스크 부재
111, 211: 제1 패턴부 112, 212: 제1 접합부
113, 213: 제1 버퍼부 120, 220: 제2 마스크 부재
121, 221: 제2 패턴부 122, 222: 제2 접합부
123, 223: 제2 버퍼부 130, 230: 베이스 플레이트
141, 241: 제1 롤러 부재 142, 242: 제2 롤러 부재
150, 250: 용접 부재

Claims (30)

  1. 복수의 슬릿을 갖는 제1 패턴부, 상기 제1 패턴부와 이격된 제1 버퍼부 및 상기 제1 패턴부와 상기 제1 버퍼부를 연결하는 제1 접합부를 구비하는 제1 마스크 부재를 준비하는 단계;
    복수의 슬릿을 갖는 제2 패턴부, 상기 제2 패턴부와 이격된 제2 버퍼부 및 상기 제2 패턴부와 상기 제2 버퍼부를 연결하는 제2 접합부를 구비하는 제2 마스크 부재를 준비하는 단계;
    상기 제1 마스크 부재에 인장력을 가하고, 상기 제2 마스크 부재에 인장력을 가한 상태에서 상기 제1 접합부와 상기 제2 접합부를 접합하여 상기 제1 마스크 부재와 상기 제2 마스크 부재를 연결하는 마스크 제조 방법.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 마스크 부재에 가해진 상기 인장력은 상기 제1 마스크 부재의 상기 제1 패턴부가 배치된 일단 및 상기 일단과 마주보고 상기 제1 버퍼부가 배치된 상기 제1 마스크 부재의 타단에 작용하는 마스크 제조 방법.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 제2 마스크 부재에 가해진 상기 인장력은 상기 제2 마스크 부재의 상기 제2 패턴부가 배치된 일단 및 상기 일단과 마주보고 상기 제2 버퍼부가 배치된 상 기 제2 마스크 부재의 타단에 작용하는 마스크 제조 방법.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 마스크 부재와 상기 제2 마스크 부재는 용접 방법으로 연결하는 마스크 제조 방법.
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 마스크 부재와 상기 제2 마스크 부재를 연결한 후에 상기 제1 버퍼부 및 상기 제2 버퍼부를 제거하는 마스크 제조 방법.
  6. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 패턴부의 폭과 상기 제2 패턴부의 폭은 동일한 마스크 제조 방법.
  7. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 마스크 부재에 상기 인장력을 가할 때 상기 제1 패턴부와 상기 제1 버퍼부가 동일하지 않는 평면상에 배치되는 마스크 제조 방법.
  8. 제7 항에 있어서,
    상기 제1 마스크 부재에 상기 인장력을 가할 때 상기 제1 접합부와 상기 제1버퍼부가 인접하는 영역에 대응하도록 제1 롤러 부재를 배치하고, 상기 제1 롤러 부재를 중심으로 상기 제1 패턴부와 상기 제1 버퍼부가 동일하지 않는 평면상에 배치되는 마스크 제조 방법.
  9. 제1 항에 있어서,
    상기 제2 마스크 부재에 상기 인장력을 가할 때 상기 제2 패턴부와 상기 제2 버퍼부가 동일하지 않는 평면상에 배치되는 마스크 제조 방법.
  10. 제9 항에 있어서,
    상기 제2 마스크 부재에 상기 인장력을 가할 때 상기 제2 접합부와 상기 제2버퍼부가 인접하는 영역에 대응하도록 제2 롤러 부재를 배치하고, 상기 제2 롤러 부재를 중심으로 상기 제2 패턴부와 상기 제2 버퍼부가 동일하지 않는 평면상에 배치되는 마스크 제조 방법.
  11. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 마스크 부재의 상기 제1 패턴부 및 상기 제2 마스크 부재의 상기 제2 패턴부를 중력이 작용하는 방향과 평행한 방향으로 배치한 후 상기 제1 마스크 부재에 인장력을 가하고, 상기 제2 마스크 부재에 인장력을 가한 상태에서 상기 제1 마스크 부재와 상기 제2 마스크 부재를 연결하는 마스크 제조 방법.
  12. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 마스크 부재와 상기 제2 마스크 부재를 소정의 패턴이 형성된 베이스 기판 상에 배치한 후 상기 제1 마스크 부재 및 상기 제2 마스크 부재에 상기 인장력을 가하여 연결하는 마스크 제조 방법.
  13. 제12 항에 있어서,
    상기 베이스 기판에는 상기 제1 마스크 부재의 폭보다 큰 관통공이 형성되고,
    상기 제1 마스크 부재의 상기 제1 버퍼부의 일단은 상기 관통공을 관통하도록 배치되는 마스크 제조 방법.
  14. 제12 항에 있어서,
    상기 제1 패턴부의 상기 슬릿들과 상기 제2 패턴부의 상기 슬릿들이 상기 베이스 기판의 패턴과 정렬된 상태에서 상기 제1 마스크 부재와 상기 제2 마스크 부재를 연결하는 마스크 제조 방법.
  15. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 패턴부 상부에 상기 제1 버퍼부가 배치되고 상기 제1 버퍼부 상부에 상기 제2 패턴부가 배치되도록 상기 제1 마스크 부재 상에 상기 제2 마스크 부재를 배치하고,
    상기 제1 패턴부와 상기 제2 버퍼부는 가장자리로 갈수록 서로 멀어지도록 배치하고 상기 제2 패턴부와 상기 제1 버퍼부는 가장자리로 갈수록 서로 멀어지도록 배치하고,
    상기 제1 마스크 부재에 인장력을 가하고 상기 제2 마스크 부재에 인장력을 가한 상태에서 상기 제1 접합부와 상기 제2 접합부를 접합하여 상기 제1 마스크 부재와 상기 제2 마스크 부재를 연결하는 마스크 제조 방법.
  16. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 마스크 부재와 상기 제2 마스크 부재를 연결한 후에 상기 제1 패턴부와 상기 제2 패턴부가 동일 평면상에 배치되는 마스크 제조 방법.
  17. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 항의 제1 마스크 부재의 상기 제1 접합부는 상기 제1 패턴부보다 얇게 형성되고, 상기 제2 마스크 부재의 상기 제2 접합부는 상기 제2 패턴부보다 얇게 형성되는 마스크 제조 방법.
  18. 제17 항에 있어서,
    상기 제1 접합부 및 상기 제2 접합부는 에칭에 의하여 두께가 감소된 마스크 제조 방법.
  19. 제17 항에 있어서,
    상기 제1 접합부 및 상기 제2 접합부의 두께의 합은 상기 제1 패턴부의 두께 또는 상기 제2 패턴부의 두께와 같은 마스크 제조 방법.
  20. 제17 항에 있어서,
    상기 제1 마스크 부재의 상기 제1 패턴부, 상기 제1 접합부 및 상기 제1 버퍼부가 일체로 형성되고,
    상기 제2 마스크 부재의 상기 제2 패턴부, 상기 제2 접합부 및 상기 제2 버퍼부가 일체로 형성되는 마스크 제조 방법.
  21. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 마스크 부재의 상기 제1 접합부는 상기 제1 패턴부와 별도로 형성한 후 상기 제1 마스크에 결합되는 마스크 제조 방법.
  22. 제21 항에 있어서,
    상기 제1 패턴부와 상기 제1 접합부는 용접 방법에 의하여 결합되는 마스크 제조 방법.
  23. 제21 항에 있어서,
    상기 제1 접합부와 상기 제1 버퍼부는 일체로 형성된 마스크 제조 방법.
  24. 제21 항에 있어서,
    상기 제1 접합부는 상기 제1 패턴부와 중첩되는 영역이 존재하도록 상기 제1 패턴부 하부에 배치되고, 상기 제1 접합부의 영역 중 상기 제1 패턴부와 중첩되지 않는 영역에 상기 제2 마스크 부재가 연결되는 마스크 제조 방법.
  25. 제21 항에 있어서,
    상기 제2 패턴부, 상기 제2 접합부 및 상기 제2 버퍼부는 일체로 형성되는 마스크 제조 방법.
  26. 제1 항 내지 제25 항 중 어느 하나의 항의 방법에 의하여 제조된 마스크.
  27. 제1 마스크 부재와 제2 마스크 부재를 배치할 수 있고 소정의 패턴이 형성된 베이스 기판;
    상기 제1 마스크 부재와 상기 제2 마스크 부재를 인장할 수 있는 인장 부재;
    상기 제1 마스크 부재와 상기 제2 마스크 부재의 인장 방향을 변환할 수 있는 롤러 부재; 및
    상기 제1 마스크 부재와 상기 제2 마스크 부재를 인장한 상태에서 상기 제1 마스크 부재와 상기 제2 마스크 부재를 연결하는 용접 부재를 포함하는 마스크 제조 장치.
  28. 제27 항에 있어서
    상기 베이스 기판은 제1 마스크 부재의 폭보다 큰 폭을 갖는 관통공을 구비하고, 상기 제1 마스크 부재의 일단은 상기 관통공을 관통하도록 배치되는 마스크 제조 장치.
  29. 제27 항에 있어서
    상기 베이스 기판의 패턴에 따라 상기 제1 마스크 부재 및 상기 제2 마스크부재를 정렬한 후 상기 제1 마스크 부재와 상기 제2 마스크 부재를 연결하는 마스크 제조 장치.
  30. 제28 항에 있어서
    상기 관통공의 내측면은 경사면으로 형성된 마스크 제조 장치.
KR1020090125024A 2009-12-15 2009-12-15 마스크, 마스크 제조 방법 및 마스크 제조 장치 KR101029999B1 (ko)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020090125024A KR101029999B1 (ko) 2009-12-15 2009-12-15 마스크, 마스크 제조 방법 및 마스크 제조 장치
US12/969,365 US8778115B2 (en) 2009-12-15 2010-12-15 Mask, method of manufacturing mask and apparatus for manufacturing mask

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020090125024A KR101029999B1 (ko) 2009-12-15 2009-12-15 마스크, 마스크 제조 방법 및 마스크 제조 장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101029999B1 true KR101029999B1 (ko) 2011-04-20

Family

ID=44050301

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020090125024A KR101029999B1 (ko) 2009-12-15 2009-12-15 마스크, 마스크 제조 방법 및 마스크 제조 장치

Country Status (2)

Country Link
US (1) US8778115B2 (ko)
KR (1) KR101029999B1 (ko)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101309864B1 (ko) * 2010-02-02 2013-09-16 엘지디스플레이 주식회사 마스크 어셈블리
KR101784467B1 (ko) * 2011-01-10 2017-10-12 삼성디스플레이 주식회사 분할 마스크 및 그것을 이용한 마스크 프레임 조립체의 조립방법
KR101813549B1 (ko) * 2011-05-06 2018-01-02 삼성디스플레이 주식회사 분할 마스크와 그 분할 마스크를 포함한 마스크 프레임 조립체의 조립장치
JP6701543B2 (ja) * 2015-07-10 2020-05-27 大日本印刷株式会社 蒸着マスクおよび蒸着マスクの製造方法
KR20220010687A (ko) * 2020-07-17 2022-01-26 삼성디스플레이 주식회사 마스크 및 마스크 제조방법

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20030026223A (ko) * 2001-09-25 2003-03-31 세이코 엡슨 가부시키가이샤 마스크 및 그 제조 방법, 일렉트로루미네선스 장치 및 그제조 방법, 및 전자 기기
KR20030076885A (ko) * 2002-03-23 2003-09-29 엘지.필립스 엘시디 주식회사 배향막 인쇄용 마스크의 제조방법, 그 방법에 의해 제조된배향막 인쇄용 마스크, 및 마스크를 이용한 배향막 인쇄장치
KR20070011150A (ko) * 2005-07-20 2007-01-24 세이코 엡슨 가부시키가이샤 마스크, 마스크의 제조 방법, 성막 방법, 전기 광학 장치의제조 방법 및 전자 기기
KR20080054741A (ko) * 2006-12-13 2008-06-19 엘지디스플레이 주식회사 유기전계발광소자용 프레임 마스크 조립체 및 이의제작방법

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW558914B (en) * 2001-08-24 2003-10-21 Dainippon Printing Co Ltd Multi-face forming mask device for vacuum deposition
KR100490534B1 (ko) * 2001-12-05 2005-05-17 삼성에스디아이 주식회사 유기 전자 발광 소자의 박막 증착용 마스크 프레임 조립체
KR100647576B1 (ko) 2002-03-16 2006-11-17 삼성에스디아이 주식회사 텐션 마스크 프레임 조립체의 제조방법 및 그 제조장치
JP3785509B2 (ja) 2002-08-30 2006-06-14 平井精密工業株式会社 金属マスクとその製造方法
JP2005042133A (ja) 2003-07-22 2005-02-17 Seiko Epson Corp 蒸着マスク及びその製造方法、表示装置及びその製造方法、表示装置を備えた電子機器
JP2007025611A (ja) 2005-06-17 2007-02-01 Seiko Epson Corp 電気光学装置及びその製造方法、並びに電子機器
JP4438710B2 (ja) 2005-07-20 2010-03-24 セイコーエプソン株式会社 マスク、マスクチップ、マスクの製造方法及びマスクチップの製造方法
KR101322130B1 (ko) 2006-12-22 2013-10-25 엘지디스플레이 주식회사 대면적 증착용 마스크 및 대면적 증착용 마스크의 제조방법
KR101450728B1 (ko) * 2008-05-28 2014-10-14 삼성디스플레이 주식회사 마스크 조립체 및 그의 제조 방법

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20030026223A (ko) * 2001-09-25 2003-03-31 세이코 엡슨 가부시키가이샤 마스크 및 그 제조 방법, 일렉트로루미네선스 장치 및 그제조 방법, 및 전자 기기
KR20030076885A (ko) * 2002-03-23 2003-09-29 엘지.필립스 엘시디 주식회사 배향막 인쇄용 마스크의 제조방법, 그 방법에 의해 제조된배향막 인쇄용 마스크, 및 마스크를 이용한 배향막 인쇄장치
KR20070011150A (ko) * 2005-07-20 2007-01-24 세이코 엡슨 가부시키가이샤 마스크, 마스크의 제조 방법, 성막 방법, 전기 광학 장치의제조 방법 및 전자 기기
KR20080054741A (ko) * 2006-12-13 2008-06-19 엘지디스플레이 주식회사 유기전계발광소자용 프레임 마스크 조립체 및 이의제작방법

Also Published As

Publication number Publication date
US20110139357A1 (en) 2011-06-16
US8778115B2 (en) 2014-07-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101784467B1 (ko) 분할 마스크 및 그것을 이용한 마스크 프레임 조립체의 조립방법
JP5544785B2 (ja) マスク組立体及びこれを利用した平板表示装置用蒸着装置
US11313027B2 (en) Vapor deposition mask, vapor deposition mask production method, and organic semiconductor element production method
JP6511908B2 (ja) 蒸着マスクの引張方法、フレーム付き蒸着マスクの製造方法、有機半導体素子の製造方法、及び引張装置
US8925480B2 (en) Mask stick and method of assembling a mask frame assembly by using the mask stick
KR101029999B1 (ko) 마스크, 마스크 제조 방법 및 마스크 제조 장치
JP5879109B2 (ja) 薄膜蒸着用マスクフレーム組立体及びその製造方法
JP6304412B2 (ja) 金属フレーム付き蒸着マスクの製造方法、有機半導体素子の製造方法、パターンの形成方法
US20150101536A1 (en) Mask assembly and deposition apparatus using the same for flat panel display
KR102330330B1 (ko) 마스크 프레임 조립체 및 그 제조방법
JP4167248B2 (ja) シャドウマスクの付着方法
JP6090009B2 (ja) 金属フレーム付き蒸着マスクの製造方法、有機半導体素子の製造方法
KR102068222B1 (ko) 증착용 마스크 제조방법
KR20120125038A (ko) 분할 마스크와 그 분할 마스크를 포함한 마스크 프레임 조립체의 조립장치
US10741763B2 (en) Division mask with clamping portion
US20180074394A1 (en) Division mask
KR20150078272A (ko) 박막 증착용 마스크 프레임 조립체
KR20060114463A (ko) 유기전계발광표시소자용 마스크 장치 및 그 제조방법
KR20200065142A (ko) 마스크 조립체 및 이의 제조 방법
JP6844646B2 (ja) 蒸着マスクの引張方法、フレーム付き蒸着マスクの製造方法、有機半導体素子の製造方法、及び引張装置
US20220152748A1 (en) Mask assembly and method of manufacturing the same
KR20130031444A (ko) 마스크 프레임 조립체 및 그 제조 방법
KR20230162882A (ko) 마스크 어셈블리 및 마스크 교체 방법
JP2012064564A (ja) 成膜マスク及び有機ｅｌ表示装置の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140401

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160329

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180403

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190401

Year of fee payment: 9