JP5809892B2 - マスクユニット - Google Patents

Description

本発明はマスクユニットに関し、より詳細には、１つ以上の単位マスクを含むマスクユニットに関する。

最近、表示装置として、有機発光表示装置（ｏｒｇａｎｉｃ ｌｉｇｈｔ ｅｍｉｔｔｉｎｇ ｄｉｏｄｅ ｄｉｓｐｌａｙ）や液晶表示装置（ｌｉｑｕｉｄ ｃｒｙｓｔａｌ ｄｉｓ ｐｌａｙａｙ）のような代表的な平板表示装置が注目を集めている。

平板表示装置は多数の薄膜工程を経て製作される。また、大部分の薄膜工程には多様なマスクが用いられる。そのうち、パターンが形成された複数の単位マスクをフレームに固定したマスクユニットが多く用いられている。マスクユニットの単位マスクは、両方向に引張力が加えられるようにフレームに固定される。

しかし、単位マスクは両端部が引っ張られるため、フレームに引っ張られて固定された単位マスクにカーリング（ｃｕｒｌｉｎｇ）またはウェーブ（ｗａｖｅ）のような構造的な変形が生じるという問題点がある。

本発明は、上述したような問題点を解決するために案出されたものであって、構造的な変形を抑制して工程精密度を向上させることができるマスクユニットを提供する。

本発明の実施形態によれば、マスクユニットは、長さ方向に沿って配列された複数のパターン領域と、前記複数のパターン領域の間に配置されたダミー領域とを有する１つ以上の単位マスクと、前記単位マスクの長さ方向に引張力が加えられるように、前記単位マスクの長さ方向の両側端部を引っ張って固定するマスクフレームと、前記単位マスクの前記ダミー領域に結合し、前記単位マスクの長さ方向と交差する方向に形成され、前記単位マスクの長さ方向と交差する方向に前記単位マスクに引張力を加える交差引張部材とを含む。

前記交差引張部材は、前記単位マスクの長さ方向の両側端部の間の中央部に結合されてもよい。

前記交差引張部材の両端部は、前記マスクフレームに結合されてもよい。

前記交差引張部材と結合する前記マスクフレームの一領域には、フレーム結合溝が形成されてもよい。

前記交差引張部材と前記マスクフレームは、溶接によって結合されてもよい。

前記マスクフレームは、前記単位マスクの両端部を固定するクランプ（ｃｌａｍｐ）部を含んでもよい。

前記マスクユニットにおいて、前記交差引張部材と結合する前記単位マスクの前記ダミー領域には、マスク結合溝が形成されてもよい。

前記交差引張部材と前記単位マスクは、溶接（ｗｅｌｄｉｎｇ）によって結合されてもよい。

本発明の実施形態によれば、マスクユニットは、構造的な変形を抑制し、マスクユニットを用いた工程の精密度を向上させることができる。

本発明の一実施形態に係るマスクユニットを示す斜視図である。 図１のマスクユニットを示す平面図である。 図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿って切断した断面図である。

以下、添付の図面を参照しながら、本発明の実施形態について、本発明が属する技術分野において通常の知識を有する者が容易に実施できるように詳しく説明する。本発明は多様に相違した形態で実現され、ここで説明する実施形態に限定されるものではない。

図面は概略的であり、縮尺に適合するように示されていないことを明らかにする。図面に存在する部分の相対的なサイズおよび比率は、図面における明確性および便宜のためにその大きさを誇張もしくは減少して示しており、任意のサイズは例示的なものに過ぎず、限定的なものではない。また、図面に示されている２つ異常の同一する構造物、要素、または部品には、同一する参照符号が類似した特徴を示すために用いられる。また、ある部分が他の部分の「上に」または「上部に」存在するとする場合、これは他の部分のすぐ上に存在することもあるし、その間に他の部分が伴うこともある。

本発明の実施形態は、本発明の理想的な実施形態を具体的に示す。その結果、図解の多様な変形が予想される。したがって、実施形態は、図に示した領域の特定形態に限定されるものではなく、例えば製造による形態の変形も含む。

以下、図１を参照しながら、本発明の一実施形態に係るマスクユニット１０１を説明する。

図１に示すように、本発明の第１実施形態に係るマスクユニット１０１は、１つ以上の単位マスク１１０と、マスクフレーム２００と、交差引張部材３１０とを含む。また、マスクフレーム２００は、単位マスク１１０の両端部を固定するクランプ（ｃｌａｍｐ）部２５０を含む。

単位マスク１１０は、ストリップ形状の薄板で形成される。また、図２に示すように、単位マスク１１０は、長さ方向に沿って配列された複数のパターン領域１１１と、複数のパターン領域１１１の間に配置されたダミー領域１１９とを含む。パターン領域１１１には、図３に示すような微細な開口パターンが形成される。微細な開口パターンは、薄板に形成されたドット（ｄｏｔ）またはスリット（ｓｌｉｔ）であってもよい。１つの単位マスク１１０ごとに、パターン領域１１１には、微細な開口パターンが一列または複数列に配列されてもよい。

また、図２では、単位マスク１１０が一対のパターン領域１１１の間に位置した１つのダミー領域１１９を有するものと示されているが、本発明の一実施形態がこれに限定されるものではない。すなわち、単位マスク１１０は、３つ以上のパターン領域１１１と２つ以上のダミー領域１１９を有してもよい。

また、単位マスク１１０の長さ方向の両側端部は、マスクフレーム２００と結合する結合領域１１５となる。

マスクフレーム２００は、単位マスク１１０の長さ方向に引張力が加えられるように、単位マスク１１０の長さ方向の両側端部を引っ張って固定する。したがって、マスクフレーム２００は、単位マスク１１０に十分な引張力を提供することができる程度の強度を有さなければならない。このとき、マスクフレーム２００のクランプ部２５０は、引っ張られた単位マスク１１０の両側端部を固定する。これにより、マスクフレーム２００に固定された単位マスク１１０は、単位マスク１１０の長さ方向に引張力を有するようになる。

交差引張部材３１０は、単位マスク１１０の長さ方向と交差する方向に単位マスク１１０に引張力を加える。交差引張部材３１０は、単位マスク１１０の長さ方向と交差する方向に横切るリブ（ｒｉｂ）形態で形成されてもよい。また、交差引張部材３１０は、単位マスク１１０のダミー領域１１９に結合する。具体的に、交差引張部材３１０は、単位マスク１１０の長さ方向の両側端部の間の中央部に位置するダミー領域１１９に結合する。しかし、本発明の一実施形態がこれに限定されるものではなく、交差引張部材３１０は、中央部以外のダミー領域１１９に結合してもよい。さらに、交差引張部材３１０は、１つ以上が配置されてもよい。

また、図３に示すように、交差引張部材３１０と結合する単位マスク１１０のダミー領域１１９には、マスク結合溝１１９３が形成されてもよい。また、交差引張部材３１０の一部は、マスク結合溝１１９３に嵌合して結合する。これにより、交差引張部材３１０による干渉を最小化することができる。さらに、交差引張部材３１０は、溶接（ｗｅｌｄｉｎｇ）によって単位マスク１１０と結合してもよい。

本発明の一実施形態において、交差引張部材３１０は、単位マスク１１０を単純に支持するのではなく、単位マスク１１０に引張力を加える。すなわち、交差引張部材３１０は、単位マスク１１０の長さ方向と交差する方向に単位マスク１１０を引っ張る。

したがって、単位マスク１１０がマスクフレーム２００によって単位マスク１１０の長さ方向に引っ張られるとき、単位マスク１１０にカーリング（ｃｕｒｌｉｎｇ）またはウェーブ（ｗａｖｅ）のような構造的な変形が生じることを、交差引張部材３１０が単位マスク１１０の長さ方向と交差する方向に引っ張ることによって抑制することができる。

このとき、マスクフレーム２００が加える引張力による構造的な変形は、単位マスク１１０の両側端部の間の中央部で主に発生する。これにより、交差引張部材３１０は、単位マスク１１０の長さ方向の両側端部の間の中央部に位置したダミー領域１１９に結合することが最も効果的である。

単位マスク１１０にカーリングまたはウェーブのような構造的な変形が生じれば、単位マスク１１０と工程対象基板の間のギャップ（ｇａｐ）が発生したり整列が乱れ、不良発生の原因となる。

また、交差引張部材３１０の両端部は、マスクフレーム２００と結合する。交差引張部材３１０と結合するマスクフレーム２００の一領域には、フレーム結合溝２０３（図１に示す）が形成されてもよい。フレーム結合溝２０３は、マスク結合溝１１９３と同じ構造的原理で形成されてもよい。また、交差引張部材３１０の両端部は、溶接によってマスクフレーム２００に結合されてもよい。

最終的に、マスクフレーム２００の互いに対向する両側フレームは単位マスク１１０の両側端部と結合し、マスクフレーム２００の互いに対向する他の両側フレームは交差引張部材３１０の両端部と結合する。

このような構成により、本発明の一実施形態に係るマスクユニット１０１は、構造的な変形を抑制し、マスクユニット１０１を用いた工程の精密度を向上させることができる。

すなわち、本発明の一実施形態に係るマスクユニット１０１の単位マスク１１０は、単位マスク１１０の長さ方向に引張力を有するようにマスクフレーム２００に固定され、単位マスク１１０の長さ方向と交差する方向に引張力を有するように交差引張部材３１０と結合する。

これにより、マスクユニット１０１は、図２の矢印で示すように、単位マスク１０１の長さ方向および長さ方向と交差する方向すべてに引張力を加えることができる。

したがって、単位マスク１１０が引張力によって弛まないように支持されるだけでなく、単位マスク１１０が４方向に引っ張られることにより、構造的な変形が生じることを効果的に抑制することができる。

本発明を上述したような好ましい実施形態によって説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、添付の特許請求の範囲の概念と範囲を逸脱しない限り、多様な修正および変形が可能であるということは、本発明が属する技術分野に従事する者であれば容易に理解できるであろう。

１０１：マスクユニット
１１０：単位マスク
２００：マスクフレーム
２５０：クランプ部
３１０：交差引張部材

Claims (6)

1. 長さ方向に沿って配列された複数のパターン領域と、前記複数のパターン領域の間に配置されたダミー領域とを有する１つ以上の単位マスク、
   前記単位マスクの長さ方向に引張力が加えられるように、前記単位マスクの長さ方向の両側端部を引っ張って固定するマスクフレーム、および
   前記単位マスクの前記ダミー領域に結合し、前記単位マスクの長さ方向と交差する方向に形成され、前記単位マスクの長さ方向と交差する方向に前記単位マスクに引張力を加える交差引張部材、
   を含み、前記交差引張部材と結合する前記単位マスクの前記ダミー領域には、マスク結合溝が形成され、前記交差引張部材と前記単位マスクは、溶接（ｗｅｌｄｉｎｇ）によって結合されるマスクユニット。
2. 前記交差引張部材は、前記単位マスクの長さ方向の両側端部の間の中央部に結合する、請求項１に記載のマスクユニット。
3. 前記交差引張部材の両端部は、前記マスクフレームに結合する、請求項１に記載のマスクユニット。
4. 前記交差引張部材と結合する前記マスクフレームの一領域には、フレーム結合溝が形成される、請求項３に記載のマスクユニット。
5. 前記交差引張部材と前記マスクフレームは、溶接によって結合される、請求項３に記載のマスクユニット。
6. 前記マスクフレームは、前記単位マスクの両端部を固定するクランプ（ｃｌａｍｐ）部を含む、請求項１に記載のマスクユニット。

Images