JP6930658B2 - 蒸着マスク中間体、蒸着マスク、および、蒸着マスクの製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、蒸着マスク中間体、蒸着マスク、および、蒸着マスクの製造方法に関する。

蒸着マスクは、表面と裏面とを備える矩形板状を有している。蒸着マスクは、表面から裏面までを貫通する複数の貫通孔を有している。各貫通孔は、表面に開口した第１開口と、裏面に開口した第２開口とを有している。各貫通孔は、蒸着材料の通路である。蒸着マスクを用いて対象物への蒸着が行われる際には、蒸着材料は、第１開口から貫通孔に入ることによって、第２開口の形状および位置に対応するパターンを対象物に形成する。貫通孔を区画する壁面が蒸着材料の通過を妨げることを抑える目的で、５０μｍ以下の厚さを有した蒸着マスクが提案されている（例えば、特許文献１を参照）。

特許第６３１９５０５号

ところで、蒸着マスクの使用時には、蒸着マスクが支持フレームに固定される。この際に、蒸着マスクは、蒸着マスクの長手方向に沿う張力が加えられた状態で、フレームに固定される。蒸着マスクは非常に薄いため、蒸着マスクがフレームに固定される際に、張力の印加によって皺や捻れなどの変形が蒸着マスクに生じることがある。それゆえに、蒸着マスクの使用時において、蒸着マスクの変形を抑えることが求められている。

本発明は、蒸着マスクの使用時における蒸着マスクの変形を抑えることを可能とした蒸着マスク中間体、蒸着マスク、および、蒸着マスクの製造方法を提供することを目的とする。

上記課題を解決するための蒸着マスク中間体は、蒸着マスクを製造するための金属製のシートを含む。前記蒸着マスクは、一対の第１縁部と一対の第２縁部とに囲まれた帯状を有し、各第２縁部は、前記第１縁部よりも短く、切り欠きを備え、前記切り欠きは、前記第１縁部が延びる方向である長手方向に窪むＵ字状部分を有し、前記Ｕ字状部分の底部が曲線状である。前記蒸着マスク中間体は、前記蒸着マスクの縁に追従した形状を有する帯状部と、前記帯状部の縁に追従した形状を有する内側縁を有して前記帯状部を囲む枠状部と、前記帯状部の前記縁を前記枠状部の内側縁に接続する複数の架橋部と、を備える。前記帯状部は、各架橋部の切断によって前記蒸着マスクを形成する。前記帯状部の前記縁には、前記切り欠きの前記底部に追従した形状を有する湾曲部が設けられている。各架橋部は、前記帯状部の前記縁のなかで前記湾曲部以外の部位に接続されている。

上記課題を解決するための蒸着マスクは、金属製のシートを含む蒸着マスク中間体の帯状部である蒸着マスクであって、前記蒸着マスク中間体は、一対の第１縁部と一対の第２縁部とに囲まれた帯状部と、当該帯状部を囲む枠状部と、前記帯状部と前記枠状部とに接続された複数の架橋部とを備え、前記帯状部は前記蒸着マスク中間体から前記架橋部の切断によって取り外されるように構成されている。各第２縁部は、前記第１縁部よりも短く、切り欠きを備え、前記切り欠きは、前記第１縁部が延びる方向である長手方向に窪むＵ字状部分を有し、前記Ｕ字状部分の底部が曲線状である。前記蒸着マスクの縁には、前記切り欠きの前記底部である湾曲部が設けられている。前記架橋部の切断によって、前記蒸着マスクの前記縁のなかで前記湾曲部以外の部位に架橋痕が形成される。

上記課題を解決するための蒸着マスクの製造方法は、一対の第１縁部と一対の第２縁部とに囲まれた帯状を有し、各第２縁部は、前記第１縁よりも短く、切り欠きを備え、前記切り欠きは、前記第１縁部の延びる方向である長手方向に窪むＵ字状部分を有し、前記Ｕ字状部分の底部が曲線状である蒸着マスクを製造する方法である。金属製のシートを含む蒸着マスク中間体であって、前記蒸着マスクの縁に追従した形状を有する帯状部と、前記帯状部の縁に追従した内側縁を有して前記帯状部を囲む枠状部と、前記帯状部の前記縁を前記枠状部の前記内側縁に接続する複数の架橋部とを備える蒸着マスク中間体を形成することと、各架橋部の切断によって、前記帯状部から蒸着マスクを形成することと、を備える。前記帯状部から蒸着マスクを形成することにおいて、前記帯状部の前記縁には前記切り欠きの前記底部に追従した形状を有する湾曲部が設けられ、かつ、各架橋部は前記帯状部の前記縁のなかで前記湾曲部以外の部位に接続される。

上記構成によれば、帯状部から形成される蒸着マスクが、Ｕ字状部分を含みかつＵ字状部分の底部が曲線状である切り欠きを備える。そのため、各第２縁部における切り欠きの両側を、一対の第２縁部が互いから離れる方向に引っ張ることによって蒸着マスクに張力を与えた場合に、切り欠きに作用した力が、切り欠きが有する形状によって分散される。これにより、蒸着マスクの使用時に、蒸着マスクに皺や捻れなどの変形が生じることが抑えられる。

また、帯状部を枠状部に接続させる架橋部が、帯状部の縁のなかで、湾曲部以外の部位に接続する。そのため、架橋部の切断によって形成された蒸着マスクにおいて、切り欠きの湾曲部に架橋部の一部が残されたり、湾曲部の一部が欠けたりすることが抑えられる。これにより、湾曲部の形状が、蒸着マスクに与えられた張力を分散することが可能な形状に維持される。そのため、蒸着マスクの使用時に、蒸着マスクに変形が生じることが抑えられる。

上記蒸着マスク中間体において、前記帯状部の前記縁は、前記一対の第１縁部と前記一対の第２縁部とを含み、前記帯状部の各第２縁部は、前記複数の架橋部によって前記枠状部に接続される接続部位を有してもよい。

蒸着マスク中間体が作製される際には、蒸着マスク中間体に対して長手方向に沿う張力が与えられている状態で、蒸着マスク中間体が搬送される。上記構成によれば、帯状部の第２縁部が架橋部によって枠状部に接続されているため、蒸着マスク中間体の作製に際して蒸着マスク中間体が搬送されるときに、帯状部における長手方向の両端部が、枠状部によって支持され続ける。これにより、長手方向に沿う張力の大きさが、長手方向の一方の端部と他方の端部とにおいてばらついたとしても、帯状部の変形を抑えることができる。

上記蒸着マスク中間体において、前記帯状部の各第２縁部は、前記蒸着マスクの前記切り欠きに追従した形状を有する切り欠きを備え、前記帯状部の各切り欠きは、前記接続部位に挟まれていてもよい。

上記構成によれば、切り欠きの両側が架橋部によって枠状部に接続される。そのため、切り欠きの両側のうちの一方のみが架橋部によって枠状部に接続される場合に比べて、蒸着マスク中間体の作製において蒸着マスク中間体が長手方向に沿って搬送されるときに、帯状部が枠状部に支持され続ける。また、切り欠きの両側のうちの一方のみが架橋部によって枠状部に接続される場合に比べて、枠状部に対して帯状部が変位しにくい。そのため、蒸着マスク中間体の作製において蒸着マスク中間体が長手方向に沿って搬送されるときに、帯状部が例えば搬送機構などに接触することによって、帯状部の一部が折れ曲がることが抑えられる。

上記蒸着マスク中間体において、前記帯状部の第２縁部は、前記蒸着マスクの前記切り欠きに追従した形状を有する切り欠きを備え、前記枠状部の内側縁は、前記帯状部の前記切り欠きに追従した形状を有する突状縁を備え、前記帯状部の各切り欠きは、前記湾曲部と、前記湾曲部から前記長手方向に延びる一対の直線部を含み、各直線部は、前記架橋部によって前記突状縁に接続されていてもよい。

帯状部のなかで切り欠きを挟む部分は、帯状部のなかの他の部分と比べて、長手方向と直交する方向での幅が小さい。上記構成によれば、各直線部が突状縁に接続されることによって、各直線部と突状縁との剛性が高められる。これにより、帯状部の変形が抑えられる。加えて、突状縁が帯状部に対して折れ曲がることが抑えられる。結果として、蒸着マスク中間体の搬送時に、帯状部の一部や突状縁が搬送機構などに引っかかることが抑えられる。

上記蒸着マスク中間体において、前記帯状部の前記縁は、前記一対の第１縁部と前記一対の第２縁部を含み、前記帯状部の各第１縁部は、前記複数の架橋部によって前記枠状部に接続されていてもよい。上記構成によれば、蒸着マスク中間体の搬送時において、帯状部の第１縁部が枠状部に支持され続ける。そのため、各第１縁部が折れ曲がることが抑えられて、帯状部の変形が抑えられる。

上記蒸着マスク中間体において、前記帯状部の各第２縁部は、前記蒸着マスクの前記切り欠きに追従した形状を有し、前記湾曲部を含む切り欠きを備え、前記帯状部の各第１縁部は、第１接続部位において前記枠状部に接続されており、前記帯状部の各第２縁部は、第２接続部位において前記複数の架橋部によって前記枠状部に接続されており、前記枠状部に比べて、前記第１接続部位は前記長手方向において前記第２接続部位寄りに位置してもよい。

帯状部のなかで第１縁部と第２縁部とによって形成される角部は、第２縁部の中央や第１縁部の中央と比べて、枠状部から浮き上がりやすい。また、帯状部のなかで切り欠きを挟む部分は、切り欠きが位置する分だけ、他の部分と比べて剛性が低い。上記構成によれば、第１接続部位が、湾曲部よりも第２接続部位寄りに位置するため、帯状部の角部が枠状部に対して浮き上がることが抑えられる。そのため、蒸着マスク中間体の作製において蒸着マスク中間体が長手方向に沿って搬送されるときに、角部が搬送機構などに引っかかることが抑えられる。

上記蒸着マスク中間体において、前記帯状部は、複数の貫通孔を含むマスク部を含み、前記帯状部の各第１縁部は、前記長手方向において、前記マスク部と重ならない部位で前記架橋部によって前記枠状部に接続されていてもよい。

上記構成によれば、長手方向において、架橋部とマスク部とが並ぶ場合と比べて、蒸着マスク中間体の作製において蒸着マスク中間体が長手方向に沿って搬送されるときに、架橋部を通じてマスク部に作用する力が緩和される。それゆえに、マスク部が有する貫通孔の変形が抑えられる。

上記蒸着マスク中間体において、前記枠状部は、前記枠状部の前記内側縁から前記枠状部の外側縁に向かう方向に沿って延びる線状を有した脆弱部を備え、前記脆弱部の機械的な強度は、前記枠状部における前記脆弱部以外の部分における機械的な強度よりも低くてもよい。

上記構成によれば、脆弱部の機械的な強度が、枠状部における脆弱部以外の部分における機械的な強度よりも低いため、枠状部が脆弱部に沿って切断されやすい。しかも、脆弱部における一方の端部が枠状部の内側縁に位置するため、枠状部から帯状部を取り外す際に内側縁が形成する環を切断することができる。これにより、架橋部の切断が行いやすくなる。

本発明によれば、蒸着マスクの使用時における蒸着マスクの変形を抑えることができる。

蒸着マスク中間体の構造を示す平面図。 （ａ）帯状部が備える切り欠きの第１例を示す平面図、（ｂ）帯状部が備える切り欠きの第２例を示す平面図。 （ａ）〜（ｃ）架橋部と、帯状部において架橋部が接続される部位と、枠状部において架橋部が接続される部位とを拡大して示す平面図。 （ａ）マスク部が備える貫通孔の第１例を示す断面図、（ｂ）マスク部が備える貫通孔の第２例を示す断面図。 蒸着マスク中間体の第１例における構造を示す平面図。 蒸着マスク中間体の第２例における構造を示す平面図。 蒸着マスク中間体の第３例における構造を示す平面図。 蒸着マスク中間体の第４例における構造を示す平面図。 蒸着マスク中間体の第５例における構造を示す平面図。 蒸着マスク中間体の第６例における構造を示す平面図。 蒸着マスク中間体の第７例における構造を示す平面図。 蒸着マスク中間体の第８例における構造を示す平面図。 蒸着マスク中間体の第９例における構造を示す平面図。 蒸着マスクを備えるマスク装置の構造を示す平面図。 （ａ）〜（ｃ）蒸着マスクが備える架橋痕を拡大して示す平面図。 蒸着マスクの製造方法を説明するためのフローチャート。 蒸着マスク中間体の変更例における構造を示す平面図。 図１７における領域Ａを拡大して示す部分拡大平面図。 図１７における領域Ｂを拡大して示す部分拡大平面図。 図１７における領域Ｃを拡大して示す部分拡大平面図。

図１から図１６を参照して、蒸着マスク中間体、蒸着マスク、および、蒸着マスクの製造方法の一実施形態を説明する。以下では、蒸着マスク中間体の構成、マスク装置の構成、および、蒸着マスクの製造方法を順に説明する。

［蒸着マスク中間体の構成］
図１から図１３を参照して、蒸着マスク中間体の構成を説明する。
図１が示す蒸着マスク中間体１０は、蒸着マスクを製造するための金属板、すなわち金属シートである。図１が示すように、蒸着マスク中間体１０は、長手方向に延びる帯状を有している。蒸着マスクの製造時において、蒸着マスク中間体１０は、長手方向に沿って、搬送ローラーなどの搬送機構によって搬送される。蒸着マスクは、一対の第１縁部と一対の第２縁部とに囲まれた帯状を有する。各第２縁部は、第１縁部よりも短く、切り欠きを備える。該切り欠きは、第１縁部が延びる方向である長手方向に窪むＵ字状部分を有し、Ｕ字状部分の底部が曲線である。第１縁部の延びる長手方向は、蒸着マスク中間体１０の長手方向すなわち搬送方向と平行である。

図１が示すように、蒸着マスク中間体１０は、帯状部１１、枠状部１２、および、複数の架橋部１３を備えている。帯状部１１は、蒸着マスクの縁に追従した形状を有している。帯状部１１の縁１１Ｅは、一対の第１縁部１１Ｌと一対の第２縁部１１Ｗとから構成されている。枠状部１２は、帯状部１１の縁１１Ｅに追従した内側縁１２Ｅを有して帯状部１１を囲んでいる。架橋部１３は、帯状部１１の縁１１Ｅを枠状部１２の内側縁１２Ｅに接続する。帯状部１１は、各架橋部１３の切断によって蒸着マスクを形成する。帯状部１１の各第２縁部１１Ｗは、切り欠き１１Ｎを備える。切り欠き１１Ｎは、蒸着マスクの切り欠きに追従したＵ字状部分を有し、Ｕ字状部分の底部は曲線である。切り欠き１１Ｎの縁は、蒸着マスクの切り欠きに追従した形状を有する凹状縁である。内側縁１２Ｅは、切り欠き１１Ｎに追従した形状を有する突状縁１２Ｅ１を備えている。切り欠き１１Ｎは、蒸着マスクが有する切り欠きの底部に追従した湾曲部１１Ｎ１を含んでいる。各架橋部１３は、帯状部１１の縁１１Ｅのなかで湾曲部１１Ｎ１以外の部位に接続されている。

こうした蒸着マスク中間体１０によれば、帯状部１１から形成される蒸着マスクが、Ｕ字状部分を有し、かつ、Ｕ字状部分の底部が曲線である切り欠きを備える。そのため、各第２縁部における切り欠きの両側を、一対の第２縁部が互いから離れる方向に引っ張ることによって蒸着マスクに張力を与えた場合に、切り欠きに作用した力が、切り欠きが有する形状によって分散される。これにより、蒸着マスクの使用時に、蒸着マスクに皺や捻れなどの変形が生じることが抑えられる。

また、帯状部１１を枠状部１２に接続する架橋部１３が、帯状部１１の縁１１Ｅのなかで、湾曲部１１Ｎ１以外の部位に接続される。そのため、架橋部１３の切断によって形成された蒸着マスクにおいて、切り欠きの湾曲部に架橋部１３の一部が残されたり、湾曲部の一部が欠けたりすることが抑えられる。これにより、湾曲部の形状が、蒸着マスクに与えられた張力を分散することが可能な形状に維持される。そのため、蒸着マスクの使用時に、蒸着マスクに変形が生じることが抑えられる。

帯状部１１は、複数のマスク部１１Ｍを含んでいる。各マスク部１１Ｍには、帯状部１１を貫通する貫通孔が複数形成されている。複数のマスク部１１Ｍは、長手方向ＤＬに沿って間隔を空けて並んでいる。なお、図１に示される帯状部１１は、３つのマスク部１１Ｍを含んでいるが、各帯状部１１が含むマスク部１１Ｍの個数は、１以上の個数に任意に変更可能である。

帯状部１１の縁１１Ｅは、架橋部１３によって枠状部１２に接続される接続部位を含む架橋領域Ｒ１３と、該接続部位を含まない非架橋領域ＲＮとから構成されている。図１に示される帯状部１１には、架橋領域Ｒ１３と非架橋領域ＲＮとの区別を明確にする目的で、架橋領域Ｒ１３に沿ってドットが付されている。

架橋領域Ｒ１３は、一対の第１縁部１１Ｌ、各第２縁部１１Ｗのなかで切り欠き１１Ｎ以外の領域、および、各切り欠き１１Ｎにおける湾曲部１１Ｎ１以外の領域から構成されている。架橋領域Ｒ１３に含まれる各領域は、長手方向ＤＬに沿って延びる形状を有する、もしくは、幅方向ＤＷに沿って延びる形状を有する。幅方向ＤＷは、長手方向ＤＬに直交する方向である。非架橋領域ＲＮは、各湾曲部１１Ｎ１から構成されている。各湾曲部１１Ｎ１は、長手方向ＤＬに沿って延びる形状、および、幅方向ＤＷに沿って延びる形状のいずれも有しない領域である。

複数の架橋部１３は、架橋領域Ｒ１３に沿って位置することが可能である。各架橋部１３は、架橋領域Ｒ１３の一部を枠状部１２に接続する。なお、図１では、架橋部１３が配置されることが可能な位置を列挙する便宜上、架橋部１３が破線で示されている。

図２は、第２縁部１１Ｗが有する切り欠き１１Ｎの形状における２つの例を示している。図２（ａ）は、切り欠き１１Ｎの第１例を示し、図２（ｂ）は、切り欠き１１Ｎの第２例を示している。

図２（ａ）が示すように、切り欠き１１Ｎの第１例では、切り欠き１１Ｎが、湾曲部１１Ｎ１と、湾曲部１１Ｎ１から長手方向ＤＬに延びる一対の直線部１１Ｎ２とから構成されている。各直線部１１Ｎ２は長手方向ＤＬに延び、かつ、一対の直線部１１Ｎ２は、幅方向ＤＷにおいて間隔を空けて並んでいる。湾曲部１１Ｎ１は、当該湾曲部１１Ｎ１を含む切り欠き１１Ｎから他の切り欠き１１Ｎに向かう方向に凹となる円弧状を有している。切り欠き１１Ｎの第１例では、一対の直線部１１Ｎ２が架橋領域Ｒ１３に含まれる。これに対して、湾曲部１１Ｎ１が非架橋領域ＲＮに含まれる。

図２（ｂ）が示すように、切り欠き１１Ｎの第２例は、略放物線状を有している。切り欠き１１Ｎの第２例は、一対の曲線部１１Ｎ３から構成されている。一対の曲線部１１Ｎ３は、切り欠き１１Ｎの底部を通り、かつ、長手方向ＤＬに延びる直線に対して互いに対称な形状を有している。各曲線部１１Ｎ３は、長手方向ＤＬに対して交差する方向に沿って延びている。切り欠き１１Ｎの第２例では、切り欠き１１Ｎの全体が湾曲部である。そのため、切り欠き１１Ｎの全体が、非架橋領域ＲＮに含まれる。

図３には、蒸着マスク中間体１０において、１つの架橋部１３と、当該架橋部１３によって接続される帯状部１１の一部および枠状部１２の一部とが、拡大して示されている。なお、図３には、帯状部１１の縁１１Ｅのなかで、幅方向ＤＷに沿って延びる領域の一部を枠状部１２に接続する架橋部１３が示されている。

図３（ａ）が示すように、架橋部１３は、枠状部１２から帯状部１１までにわたって延びる形状を有している。本実施形態では、架橋部１３は矩形状を有している。なお、架橋部１３の形状は、枠状部１２から帯状部１１までにわたって延びる形状であれば、矩形状以外の任意の形状に変更することが可能である。帯状部１１の縁１１Ｅは、架橋用窪み１１ＥＤを有している。１つの架橋用窪み１１ＥＤには、１つの架橋部１３が接続されている。架橋用窪み１１ＥＤ内では、幅方向ＤＷにおける架橋部１３の両側において、架橋部１３と帯状部１１との間に隙間が形成されている。架橋用窪み１１ＥＤは、矩形状の窪みである。架橋用窪み１１ＥＤの形状は、矩形状に限らず、例えば円弧状でもよい。

架橋部１３において、帯状部１１に接続された端部が基端部であり、枠状部１２に接続された端部が先端部である。基端部は、先端部よりも機械的な強度が低い脆弱部１３Ａを有する。脆弱部１３Ａは、例えば、幅方向ＤＷにおける基端部の一部にハーフエッチング加工が施された部位である。脆弱部１３Ａは、ハーフエッチング加工された複数の部位が、基端部に沿って間隔を空けて並ぶ部位でもよい。なお、架橋部１３は、脆弱部１３Ａを有しなくてもよい。

幅方向ＤＷにおける架橋用窪み１１ＥＤの幅は、例えば１ｍｍ以上３ｍｍ以下である。長手方向ＤＬにおける架橋用窪み１１ＥＤの幅は、例えば０．１ｍｍ以上０．３ｍｍ以下である。架橋部１３の厚さは、加工前の金属シートであって、蒸着マスク中間体を形成するための金属シートの厚さに等しい。幅方向ＤＷにおける架橋部１３の幅は、例えば、幅方向ＤＷにおける架橋用窪み１１ＥＤの幅に対して７０％以上８０％以下に設定される。

図３（ａ）が示す例では、架橋部１３の脆弱部１３Ａが、１つのハーフエッチング部から構成される。ハーフエッチング部は、架橋部１３のなかでハーフエッチング加工された部位である。この場合には、幅方向ＤＷにおける脆弱部１３Ａの幅は、例えば、幅方向ＤＷにおける架橋部１３の幅に対する５０％以上８０％以下に設定される。長手方向ＤＬにおける脆弱部１３Ａの幅は、例えば、長手方向ＤＬにおける架橋用窪み１１ＥＤの幅に対する２５％以上５０％以下に設定される。

架橋部１３が脆弱部１３Ａを有することによって、架橋部１３の折り曲げによって架橋部１３を切断する場合には、架橋部１３が脆弱部１３Ａを有しない場合と比べて、架橋部１３の切断が容易である。また、架橋部１３の切断が容易であるため、架橋部１３が切断された痕である切断痕の形状にばらつきが生じにくくなる。また、架橋部１３が基端部に脆弱部１３Ａを有することによって、架橋部１３の一部が蒸着マスクに残りにくくなる。そのため、蒸着マスクの長手方向に沿って蒸着マスクに張力を加えた場合に、蒸着マスクにおける架橋部１３の残部を基点として、蒸着マスクに皺や捻れなどの変形が生じにくくなる。

また、脆弱部１３Ａが架橋用窪み１１ＥＤ内に位置することによって、架橋部１３の折り曲げによって架橋部１３を切断した場合に、架橋部１３の残部が、蒸着マスクの縁における残部以外の他の部分よりも外側に飛び出ることが抑えられる。また、脆弱部１３Ａが架橋用窪み１１ＥＤ内に位置することによって、蒸着マスク中間体１０の搬送時に、脆弱部１３Ａが、縁１１Ｅのなかで架橋用窪み１１ＥＤを区画する領域によって、外部から保護される。これにより、蒸着マスク中間体１０の搬送時に、架橋部１３が帯状部１１から切断されることが抑えられる。

なお、図３（ｂ）が示すように、帯状部１１の縁１１Ｅは、架橋用窪み１１ＥＤを有しなくてもよい。この場合には、架橋部１３は、帯状部１１の縁１１Ｅであって、幅方向ＤＷに沿って延びる形状を有する部分に接続される。また、脆弱部１３Ｂは、幅方向ＤＷに沿って並ぶ複数の貫通孔を有してもよい。

さらに、図３（ｃ）が示すように、脆弱部１３Ｃは、複数の貫通孔１３Ｃ１と、複数のハーフエッチング部１３Ｃ２とを有してもよい。この場合には、脆弱部１３Ｃにおいて、貫通孔１３Ｃ１とハーフエッチング部１３Ｃ２とが、幅方向ＤＷにおいて交互に並んでいる。

なお、帯状部１１の縁１１Ｅが架橋用窪み１１ＥＤを有する場合でも、脆弱部は複数の貫通孔を有してもよいし、脆弱部において、貫通孔とハーフエッチング部とが交互に並んでもよい。また、帯状部１１の縁１１Ｅが架橋用窪み１１ＥＤを有しない場合でも、脆弱部は、１つのハーフエッチング部から構成されてもよい。また、脆弱部は、複数のハーフエッチング部を備え、複数のハーフエッチング部が、脆弱部の延在する方向に沿って間隔を空けて並んでいてもよい。

図４は、蒸着マスク中間体１０の表面に直交する平面であって、かつ、長手方向ＤＬに沿って延びる平面に沿うマスク部１１Ｍの断面構造を示している。図４（ａ）は、マスク部１１Ｍの第１例における断面構造を示している。図４（ｂ）は、マスク部１１Ｍの第２例における断面構造を示している。

図４（ａ）が示すように、蒸着マスク中間体１０は、表面１０Ｆと、表面１０Ｆとは反対側の面である裏面１０Ｒとを備えている。表面１０Ｆは、蒸着マスクが蒸着装置に取り付けられた状態で、蒸着装置の蒸着源と対向する。裏面１０Ｒは、蒸着マスクが蒸着装置に取り付けられた状態で、ガラス基板などの蒸着対象と対向する。マスク部１１Ｍは、蒸着マスク中間体１０を貫通する複数の貫通孔１１Ｈを有する。貫通孔１１Ｈの壁面は、蒸着マスク中間体１０の厚さ方向に対して、断面視において傾きを有する。貫通孔１１Ｈの壁面の形状は、断面視において、貫通孔１１Ｈの外側に向けて張り出す半円弧状である。なお、貫通孔１１Ｈの壁面の形状は、断面視において、複数の屈曲点を有する複雑な曲線状であってもよい。

マスク部１１Ｍの厚さは、例えば１５μｍ以下である。マスク部１１Ｍの厚さが１５μｍ以下であるため、マスク部１１Ｍに形成される貫通孔１１Ｈの深さを１５μｍ以下とすることが可能である。このように、薄い蒸着マスク中間体１０であれば、貫通孔１１Ｈが有する壁面の面積そのものを小さくすることが可能であり、また、蒸着マスク中間体１０の厚さが薄いために蒸着物質が貫通孔１１Ｈ内を飛ぶ距離が短い。これによって、貫通孔１１Ｈの壁面に付着する蒸着物質の量を減らすことが可能である。なお、蒸着マスク中間体１０において、マスク部１１Ｍ以外の部分における厚さは、例えば２５μｍ以下である。蒸着マスク中間体１０において、マスク部１１Ｍ以外の部分における厚さは、加工前の金属シート、すなわち、帯状部１１、枠状部１２、および、架橋部１３が形成される前の金属シートの厚さに等しい。

表面１０Ｆは、貫通孔１１Ｈの開口である第１開口Ｈ１を含んでいる。裏面１０Ｒは、貫通孔１１Ｈの開口である第２開口Ｈ２を含んでいる。第１開口Ｈ１は、表面１０Ｆと対向する平面視において、第２開口Ｈ２よりも大きい。各貫通孔１１Ｈは、蒸着源から昇華した蒸着物質が通る通路である。蒸着源から昇華した蒸着物質は、第１開口Ｈ１から第２開口Ｈ２に向けて進む。貫通孔１１Ｈにおいて、第１開口Ｈ１が第２開口Ｈ２よりも大きいため、第１開口Ｈ１から貫通孔１１Ｈに入る蒸着物質の量を増やすことが可能である。なお、表面１０Ｆに沿う断面での貫通孔１１Ｈの面積は、第２開口Ｈ２から第１開口Ｈ１に向けて、第２開口Ｈ２から第１開口Ｈ１まで単調に増大してもよいし、第２開口Ｈ２から第１開口Ｈ１までの途中でほぼ一定となる部位を備えてもよい。

図４（ｂ）が示すように、第１開口Ｈ１は、表面１０Ｆと対向する平面視において、第２開口Ｈ２よりも大きい。貫通孔１１Ｈは、第１開口Ｈ１を有する大孔１１ＬＨと、第２開口Ｈ２を有する小孔１１ＳＨとから構成される。大孔１１ＬＨの断面積は、第１開口Ｈ１から裏面１０Ｒに向けて、単調に減少する。小孔１１ＳＨの断面積は、第２開口Ｈ２から表面１０Ｆに向けて、単調に減少する。貫通孔１１Ｈの壁面は、断面視において、大孔１１ＬＨと小孔１１ＳＨとが接続する部位、すなわち、蒸着マスク中間体１０の厚さ方向の中間で、貫通孔１１Ｈの内側に向けて突き出た形状を有する。貫通孔１１Ｈの壁面にて突き出た部位と、裏面１０Ｒとの間の距離は、ステップハイトＳＨである。

なお、マスク部１１Ｍの第１例では、ステップハイトＳＨがゼロである。第２開口Ｈ２に到達する蒸着物質の量を確保する観点では、ステップハイトＳＨがゼロであることが好ましい。帯状部１１がマスク部１１Ｍの第１例を備える場合には、加工前の金属シートにおける厚さは、金属シートを片面からウェットエッチングすることによって貫通孔１１Ｈが形成される程度に薄い。加工前の金属シートにおける厚さは、上述したように、例えば２５μｍ以下である。なお、帯状部１１がマスク部１１Ｍの第２例を備える場合には、マスク部１１Ｍの厚さは、例えば２５μｍ以下である。また、この場合には、加工前の金属シートの厚さは、例えば５０μｍ以下である。

［蒸着マスク中間体の例］
以下、図５から図１３を参照して、蒸着マスク中間体１０における９つの例を説明する。蒸着マスク中間体１０における９つの例では、帯状部１１の縁１１Ｅのなかで、架橋部１３によって枠状部１２に接続される領域が互いに異なっている。なお、各例の蒸着マスク中間体１０において、帯状部１１は、切り欠き１１Ｎの第１例を備えている。しかしながら、以下に説明する蒸着マスク中間体１０の第１例（図５を参照）、第２例（図６を参照）、および、第４例から第６例（図８から図１０を参照）、および、第９例（図１３を参照）において、帯状部１１は、第２例の切り欠き１１Ｎを備えてもよい。

［第１例］
図５が示すように、帯状部１１の各第２縁部１１Ｗは、複数の架橋部１３によって枠状部１２に接続されている。蒸着マスク中間体１０が作製される際には、蒸着マスク中間体１０に対して長手方向ＤＬに沿う張力が与えられている状態で、蒸着マスク中間体１０が搬送される。本例では、帯状部１１の第２縁部１１Ｗが架橋部１３によって枠状部１２に接続されている。そのため、蒸着マスク中間体１０の作製に際して蒸着マスク中間体１０が搬送されるときに、帯状部１１における長手方向ＤＬの両端部が、枠状部１２によって支持され続ける。これにより、長手方向ＤＬに沿う張力の大きさが、長手方向ＤＬの一方の端部と他方の端部とにおいてばらついたとしても、帯状部１１の変形を抑えることができる。

特に、帯状部１１の第２縁部１１Ｗが枠状部１２に支持され続ける構成であれば、蒸着マスク中間体１０の搬送時に、第２縁部１１Ｗが折れ曲がる、もしくはカールすることが抑えられ、帯状部１１の変形が抑えられる。

帯状部１１の各切り欠き１１Ｎは、第２縁部１１Ｗが延びる方向において、架橋部１３が接続する接続部位に挟まれている。これにより、幅方向ＤＷにおける切り欠き１１Ｎの両側が架橋部１３によって枠状部１２に接続される。そのため、幅方向ＤＷにおける切り欠き１１Ｎの両側のうちの一方のみが架橋部１３によって枠状部１２に接続される場合に比べて、蒸着マスク中間体１０の搬送時に、帯状部１１が枠状部１２に支持され続ける。また、幅方向ＤＷにおける切り欠き１１Ｎの両側のうちの一方のみが架橋部１３によって枠状部１２に接続される場合に比べて、枠状部１２に対して帯状部１１が変位しにくい。そのため、蒸着マスク中間体１０の搬送時に、帯状部１１が例えば搬送機構などに接触することによって、帯状部１１の一部が折れ曲がることが抑えられる。

幅方向ＤＷにおいて、切り欠き１１Ｎは一対の第２縁要素によって挟まれている。各第２縁要素は、幅方向ＤＷに沿って延びている。各第２縁部１１Ｗにおいて、接続部位は、各第２縁要素に位置している一方で、切り欠き１１Ｎの直線部１１Ｎ２には位置していない。

幅方向ＤＷにおける切り欠き１１Ｎの両側には、接続部位が複数ずつ位置することが好ましい。接続部位が１つである場合と比べて、第２縁部１１Ｗの折れ曲がりを抑える効果が、第２縁部１１Ｗの全体で得られやすくなる。さらには、幅方向ＤＷにおける切り欠き１１Ｎの両側には、接続部位が、複数かつ同数ずつ位置することが好ましい。これにより、幅方向ＤＷにおける切り欠き１１Ｎの両側において、帯状部１１が枠状部１２によって支持される部位の数が互いに異なる場合と比べて、１つの接続部位において支持される加重の偏りが抑えられる。それゆえに、加重の偏りが、幅方向ＤＷにおける切り欠き１１Ｎの両側において、互いに異なる変形を生じさせることが抑えられる。

幅方向ＤＷにおける切り欠き１１Ｎの両側において、複数の接続部位は、等しい間隔を空けて位置することが好ましい。これにより、他の部分に比べて接続部位の密度が低い部分において、第２縁部１１Ｗが撓むことが抑えられる。

一対の第２縁部１１Ｗのうち、一方の第２縁部１１Ｗに接続された複数の架橋部１３が第１の架橋部群を構成し、他方の第２縁部１１Ｗに接続された複数の架橋部１３が第２の架橋部群を構成する。幅方向ＤＷにおいて、第１の架橋部群に属する各架橋部１３の位置は、第２の架橋部群に属する１つの架橋部１３の位置と等しいことが好ましい。これにより、幅方向ＤＷにおける接続部位の数や位置が、一対の第２縁部１１Ｗにおいて互いに異なる場合と比べて、１つの接続部位において支持される加重の偏りが抑えられる。それゆえに、加重の偏りが、一対の第２縁部１１Ｗにおいて、互いに異なる変形を生じさせることが抑えられる。

［第２例］
図６が示すように、蒸着マスク中間体１０の第２例では、各第２縁部１１Ｗに加えて、各第１縁部１１Ｌが、複数の架橋部１３によって枠状部１２に接続されている。そのため、蒸着マスク中間体１０の搬送時において、各第１縁部１１Ｌが折れ曲がることが抑えられ、帯状部１１の変形が抑えられる。各第１縁部１１Ｌに接続される複数の架橋部１３は、長手方向ＤＬにおいて等しい間隔を空けて位置する架橋部１３を含むことが好ましい。これにより、第１縁部１１Ｌにおける撓みの度合いが、互いに隣り合う架橋部１３間の領域ごとに異なることが抑えられる。結果として、蒸着マスク中間体１０の搬送時に、長手方向ＤＬに沿って一定の張力が蒸着マスク中間体１０に加えられた場合に、蒸着マスク中間体１０の形状が、長手方向ＤＬにおいてばらつくことが抑えられる。

一対の第１縁部１１Ｌは、互いに同数の架橋部１３によって枠状部１２に接続されることが好ましい。一対の第１縁部１１Ｌのうち、一方の第１縁部１１Ｌに接続された複数の架橋部１３が第１の架橋部群を構成し、他方の第１縁部１１Ｌに接続された複数の架橋部１３が第２の架橋部群を構成する。長手方向ＤＬにおいて、第１の架橋部群に属する各架橋部１３の位置は、第２の架橋部群に属する１つの架橋部１３の位置と等しいことが好ましい。これにより、長手方向ＤＬにおける接続部位の数や位置が、一対の第１縁部１１Ｌにおいて互いに異なる場合と比べて、１つの接続部位において支持される加重の偏りが抑えられる。それゆえに、加重の偏りが、一対の第１縁部１１Ｌにおいて、互いに異なる変形を生じさせることが抑えられる。

第１の架橋部群、および、第２の架橋部群の各々は、長手方向ＤＬにおいて、各切り欠き１１Ｎの底部よりも当該切り欠き１１Ｎを含む第２縁部１１Ｗが接続された端寄りに位置する架橋部１３を含むことが好ましい。すなわち、帯状部１１の各第１縁部１１Ｌは、第１接続部位において枠状部１２に接続され、帯状部１１の各第２縁部１１Ｗは、第２接続部位において枠状部に接続されている。第１接続部位は、長手方向ＤＬにおいて湾曲部１１Ｎ１に比べて第２接続部位寄りに位置することが好ましい。言い換えれば、第１接続部位は、長手方向ＤＬにおいて湾曲部１１Ｎ１よりも外側に位置することが好ましい。

帯状部１１のなかで第２縁部１１Ｗと第１縁部１１Ｌとによって形成される角部は、第２縁部１１Ｗの中央や第１縁部１１Ｌの中央と比べて、枠状部１２から浮き上がりやすい。また、帯状部１１のなかで切り欠き１１Ｎを挟む部分は、切り欠き１１Ｎが位置する分だけ、他の部分と比べて剛性が低い。切り欠き１１Ｎの底部よりも端寄りで第１縁部１１Ｌが枠状部１２に接続される構成であれば、第２縁部１１Ｗと第１縁部１１Ｌとによって形成される角部が、枠状部１２に対して折れ曲がることが抑えられる。そのため、蒸着マスク中間体１０の搬送時に、角部が搬送機構などに引っかかることが抑えられる。

言い換えれば、第１接続部位が、湾曲部１１Ｎ１よりも第２接続部位寄りに位置するため、帯状部１１の角部が枠状部１２に対して浮き上がることが抑えられる。そのため、蒸着マスク中間体１０の作製において蒸着マスク中間体１０が長手方向ＤＬに沿って搬送されているときに、角部が搬送機構などに引っかかることが抑えられる。

各第１縁部１１Ｌは、長手方向ＤＬにおいて、マスク部１１Ｍと重ならない部位で架橋部１３によって枠状部１２に接続されている。長手方向ＤＬにおいて、互いに隣り合うマスク部１１Ｍ間の領域が、非蒸着領域である。第１縁部１１Ｌが含む接続部位は、幅方向ＤＷに沿って非蒸着領域を延長した領域に含まれる。そのため、長手方向ＤＬにおいて、架橋部１３とマスク部１１Ｍとが並ぶ場合と比べて、蒸着マスク中間体１０の搬送時に、架橋部１３を通じてマスク部１１Ｍに作用する力が緩和される。それゆえに、マスク部１１Ｍが有する貫通孔１１Ｈの変形が抑えられる。

［第３例］
図７が示すように、蒸着マスク中間体１０の第３例では、一対の第２縁部１１Ｗおよび一対の第１縁部１１Ｌに加えて、各切り欠き１１Ｎが、架橋部１３によって枠状部１２に接続されている。各切り欠き１１Ｎでは、各直線部１１Ｎ２が、切り欠き１１Ｎに入り込む枠状部１２の突状縁１２Ｅ１に、架橋部１３によって接続されている。帯状部１１のなかで切り欠き１１Ｎを挟む部分は、帯状部１１のなかの他の部分と比べて、長手方向ＤＬと直交する方向での幅が小さい。各直線部１１Ｎ２が枠状部１２に接続されることによって、各直線部１１Ｎ２と突状縁１２Ｅ１との剛性が高められて、各直線部１１Ｎ２が枠状部１２に対して折れ曲がることが抑えられる。これにより、帯状部１１の変形が抑えられる。加えて、枠状部１２の内側縁１２Ｅにおける突状縁１２Ｅ１が帯状部１１に対して折れ曲がることが抑えられる。これにより、蒸着マスク中間体１０の搬送時に、枠状部１２の一部が搬送機構などに引っかかることが抑えられる。

各直線部１１Ｎ２は、複数の接続部位を含むことが好ましい。接続部位が１つである場合と比べて、各直線部１１Ｎ２の折れ曲がりを抑える効果が得られる領域が、直線部１１Ｎ２において拡張される。各直線部１１Ｎ２における複数の接続部位は、長手方向ＤＬにおいて等しい間隔を空けて並ぶことが好ましい。これにより、直線部１１Ｎ２における撓みの度合いが、互いに隣り合う接続部位間の領域ごとに異なることが抑えられる。

一対の直線部１１Ｎ２は、互いに同数の架橋部１３によって枠状部１２に接続されることが好ましい。一対の直線部１１Ｎ２のうち、一方の直線部１１Ｎ２に接続された複数の架橋部１３が第１の架橋部群を構成し、他方の直線部１１Ｎ２に接続された複数の架橋部１３が第２の架橋部群を構成する。幅方向ＤＷにおいて、第１の架橋部群に属する各架橋部１３の位置は、第２の架橋部群に属する１つの架橋部１３の位置と等しいことが好ましい。これにより、長手方向ＤＬにおいて、直線部１１Ｎ２が枠状部１２によって支持される部位の数や位置が、一対の直線部１１Ｎ２において互いに異なる場合と比べて、１つの接続部位において支持される加重の偏りが抑えられる。それゆえに、加重の偏りが、一対の直線部１１Ｎ２において、互いに異なる変形を生じさせることが抑えられる。

各第１縁部１１Ｌは、長手方向ＤＬにおいて、各切り欠き１１Ｎの底部よりも当該切り欠き１１Ｎを含む第２縁部１１Ｗが接続された端寄りには、接続部位を有しない。本例では、各切り欠き１１Ｎにおいて、一対の直線部１１Ｎ２が枠状部１２に接続されているため、各第１縁部１１Ｌにおいて、各切り欠き１１Ｎの底部よりも当該切り欠き１１Ｎを含む第２縁部１１Ｗが接続された端寄りに位置する接続部位を割愛することが可能である。このように、直線部１１Ｎ２が含む接続部位によれば、１つの接続部位が、枠状部１２の内側縁１２Ｅのなかで、切り欠き１１Ｎに追従する領域が折れ曲がることの抑制と、帯状部１１における端部の支持とを行うことができる。

第２縁部１１Ｗは、幅方向ＤＷにおいて切り欠き１１Ｎを挟む一対の第２縁要素を含んでいる。各直線部１１Ｎ２における接続部位の単位長さ当たりの個数すなわち密度は、各第２縁要素における接続部位の密度よりも高いことが好ましい。

［第４例］
図８が示すように、蒸着マスク中間体１０の第４例では、一対の第２縁部１１Ｗに加えて、一対の第１縁部１１Ｌが架橋部１３によって枠状部１２に接続されている。各第１縁部１１Ｌは、長手方向ＤＬにおいて湾曲部１１Ｎ１よりも当該湾曲部１１Ｎ１を含む第２縁部１１Ｗが接続された端寄りで架橋部１３によって枠状部１２に接続されている。

各第１縁部１１Ｌは、複数の架橋部１３によって枠状部１２に接続され、かつ、複数の架橋部１３が、長手方向ＤＬにおいて湾曲部１１Ｎ１よりも当該湾曲部１１Ｎ１を含む第２縁部１１Ｗが接続された端寄りに位置することが好ましい。これにより、長手方向ＤＬでの帯状部１１の加重を、各第１縁部１１Ｌの端寄りに偏在する複数の架橋部１３によって支持することが可能である。そのため、長手方向ＤＬにおいて、一対の切り欠き１１Ｎに挟まれる領域に位置する架橋部１３を割愛することが可能である。それゆえに、蒸着マスク中間体１０の搬送時に、外力が、架橋部１３を通じてマスク部１１Ｍに作用することが抑えられる。結果として、マスク部１１Ｍが有する貫通孔１１Ｈの変形を抑えることができる。

なお、各第１縁部１１Ｌが、長手方向ＤＬにおいて湾曲部１１Ｎ１よりも当該湾曲部１１Ｎ１を含む第２縁部１１Ｗが接続された端寄りで枠状部１２に接続されることにより、蒸着マスク中間体１０の第２例と同様、第２縁部１１Ｗと第１縁部１１Ｌとによって形成される角部が、枠状部１２に対して浮き上がることが抑えられる。

各第１縁部１１Ｌは、同数の架橋部１３によって枠状部１２に接続されることが好ましい。一対の第１縁部１１Ｌにおいて、一方の第１縁部１１Ｌを接続する複数の架橋部１３が第１の架橋部群を構成し、他方の第１縁部１１Ｌを接続する複数の架橋部１３が第２の架橋部群を構成する。長手方向ＤＬにおいて、第１の架橋部群に属する各架橋部１３の位置は、第２の架橋部群に属する１つの架橋部１３の位置と等しいことが好ましい。これにより、長手方向ＤＬにおいて、枠状部１２によって支持される部位の数や位置が、一対の第１縁部１１Ｌにおいて互いに異なる場合と比べて、１つの接続部位において支持される加重の偏りが抑えられる。それゆえに、加重の偏りが、一対の第１縁部１１Ｌにおいて、互いに異なる変形を生じさせることが抑えられる。

［第５例］
図９が示すように、蒸着マスク中間体１０の第５例では、帯状部１１が、一対の第１縁部１１Ｌのみにおいて架橋部１３によって枠状部１２に接続されている。各第１縁部１１Ｌは、長手方向ＤＬにおいて湾曲部１１Ｎ１よりも当該湾曲部１１Ｎ１を含む第２縁部１１Ｗが接続された端寄りに接続部位を含んでいる。各第１縁部１１Ｌは、さらに、長手方向ＤＬにおいて、湾曲部１１Ｎ１と重なる位置にも接続部位を含んでいる。

このように、各第１縁部１１Ｌは、切り欠き１１Ｎの底部から当該切り欠き１１Ｎを含む第２縁部１１Ｗが接続された端までの間において、複数の架橋部１３によって枠状部１２に接続されている。これにより、長手方向ＤＬおよび幅方向ＤＷでの帯状部１１の加重を、各第１縁部１１Ｌの端寄りに偏在する複数の架橋部１３によって支持することが可能である。そのため、本例では、長手方向ＤＬにおいて、一対の切り欠き１１Ｎに挟まれる領域に位置する架橋部１３を割愛することが可能である。それゆえに、蒸着マスク中間体１０の搬送時に、外力が、架橋部１３を通じてマスク部１１Ｍに作用することが抑えられる。結果として、マスク部１１Ｍが有する貫通孔１１Ｈの変形を抑えることができる。

なお、各第１縁部１１Ｌが、長手方向ＤＬにおいて湾曲部１１Ｎ１よりも当該湾曲部１１Ｎ１を含む第２縁部１１Ｗが接続された端寄りで枠状部１２に接続されることにより、蒸着マスク中間体１０の第２例と同様、第２縁部１１Ｗと第１縁部１１Ｌとによって形成される角部が、枠状部１２に対して浮き上がることが抑えられる。

一対の第１縁部１１Ｌのうち、一方の第１縁部１１Ｌに接続された複数の架橋部１３が第１の架橋部群を構成し、他方の第１縁部１１Ｌに接続された複数の架橋部１３が第２の架橋部群を構成する。長手方向ＤＬにおいて、第１の架橋部群に属する各架橋部１３の位置は、第２の架橋部群に属する１つの架橋部１３の位置と等しいことが好ましい。これにより、長手方向ＤＬにおいて、枠状部１２によって支持される部位の数や位置が、一対の第１縁部１１Ｌにおいて互いに異なる場合と比べて、１つの接続部位において支持される加重の偏りが抑えられる。それゆえに、加重の偏りが、一対の第１縁部１１Ｌにおいて、互いに異なる変形を生じさせることが抑えられる。

［第６例］
図１０が示すように、蒸着マスク中間体１０の第６例では、帯状部１１が、一対の第１縁部１１Ｌに加えて、一対の第２縁部１１Ｗにおいて架橋部１３によって枠状部１２に接続されている。各第２縁部１１Ｗは、第２縁要素と直線部１１Ｎ２とによって形成される角部に１つの接続部位を含んでいる。

これにより、帯状部１１のなかで、第２縁要素と直線部１１Ｎ２とによって形成される角部が、枠状部１２によって支持される。そのため、第２縁要素と直線部１１Ｎ２とによって形成される角部が、枠状部１２に対して浮き上がることが抑えられる。それゆえに、蒸着マスク中間体１０の搬送時において、蒸着マスク中間体１０が変形することがさらに抑えられる。

［第７例］
図１１が示すように、蒸着マスク中間体１０の第７例では、帯状部１１が、一対の第１縁部１１Ｌに加えて、一対の直線部１１Ｎ２において架橋部１３によって枠状部１２に接続されている。各直線部１１Ｎ２は、長手方向ＤＬにおける直線部１１Ｎ２の中央部よりも、当該直線部１１Ｎ２を備える切り欠き１１Ｎを含む第２縁部１１Ｗの第２縁要素寄りに位置する１つの接続部位を含んでいる。

これにより、帯状部１１のなかで、第２縁要素と直線部１１Ｎ２とによって形成される角部の近傍が、枠状部１２によって支持される。そのため、第２縁要素と直線部１１Ｎ２とによって形成される角部が、枠状部１２に対して浮き上がることが抑えられる。それゆえに、蒸着マスク中間体１０の搬送時において、蒸着マスク中間体１０が変形することがさらに抑えられる。

［第８例］
図１２が示すように、蒸着マスク中間体１０の第８例では、帯状部１１が、一対の第１縁部１１Ｌに加えて、一対の直線部１１Ｎ２において架橋部１３によって枠状部１２に接続されている。各直線部１１Ｎ２は、複数の接続部位を含んでいる。複数の接続部位は、長手方向ＤＬにおける直線部１１Ｎ２の中央部よりも、当該直線部１１Ｎ２を備える切り欠き１１Ｎを含む第２縁部１１Ｗの第２縁要素寄りに位置する接続部位を含む。

これにより、帯状部１１のなかで、第２縁要素と直線部１１Ｎ２とによって形成される角部の近傍が、枠状部１２によって支持される。そのため、第２縁要素と直線部１１Ｎ２とによって形成される角部が、枠状部１２に対して浮き上がることが抑えられる。

加えて、本例では、第７例に比べて、直線部１１Ｎ２のなかで、湾曲部１１Ｎ１寄りにも接続部位が位置している。これにより、枠状部１２の突状縁１２Ｅ１が帯状部１１によって支持される。そのため、突状縁１２Ｅ１が、帯状部１１に対して浮き上がることが抑えられる。

［第９例］
図１３が示すように、蒸着マスク中間体１０の第９例では、各第２縁部１１Ｗが、複数の切り欠き１１Ｎを含んでいる。各第２縁部１１Ｗにおいて、複数の切り欠き１１Ｎは、等間隔で並んでいる。そのため、複数の切り欠き１１Ｎが不規則に並ぶ場合と比べて、帯状部１１から形成された蒸着マスクを一対の第２縁部１１Ｗを互いから離すように引っ張ることによって、長手方向に沿う張力が作用した場合に、蒸着マスクの幅方向において蒸着マスクに作用する張力がばらつくことが抑えられる。それゆえに、蒸着マスクに皺や捻れなどの変形が生じることが抑えられる。

第２縁部１１Ｗのなかで、幅方向ＤＷに沿って延びる領域が第２縁要素である。帯状部１１は、第２縁要素において架橋部１３によって枠状部１２に接続されている。第２縁部１１Ｗにおいて、各第２縁要素が、１つ以上の接続部位を有することが好ましい。各第２縁要素が、複数かつ同数の接続部位を有することが好ましい。これにより、幅方向ＤＷにおいて第２縁部１１Ｗに撓みが生じることが抑えられる。

一対の第２縁部１１Ｗにおいて、一方の第２縁部１１Ｗに接続された複数の架橋部１３が第１の架橋部群を構成し、他方の第２縁部１１Ｗに接続された複数の架橋部１３が第２の架橋部群を構成する。幅方向ＤＷにおいて、第１の架橋部群に属する各架橋部１３の位置は、第２の架橋部群に属する１つの架橋部１３の位置と等しいことが好ましい。これにより、幅方向ＤＷにおいて、枠状部１２によって支持される部位の数が、一対の第２縁部１１Ｗにおいて互いに異なる場合と比べて、１つの接続部位において支持される加重の偏りが抑えられる。それゆえに、加重の偏りが、一対の第２縁部１１Ｗにおいて、互いに異なる変形を生じさせることが抑えられる。

蒸着マスク中間体１０の第３例と同様、各第１縁部１１Ｌは、長手方向ＤＬにおいて、マスク部１１Ｍと重ならない部位で架橋部１３によって枠状部１２に接続されている。

［マスク装置の構成］
図１４および図１５を参照して、マスク装置の構成を説明する。
図１４が示すように、マスク装置２０は、メインフレーム２１と、複数の蒸着マスク３１とを備えている。メインフレーム２１は、複数の蒸着マスク３１を支持する矩形枠状を有し、蒸着を行うための蒸着装置に取り付けられる。メインフレーム２１は、各蒸着マスク３１が位置する範囲のほぼ全体にわたり、メインフレーム２１を貫通するメインフレーム孔２１Ｈを有している。

各蒸着マスク３１は、一対の第１縁部１１Ｌと一対の第２縁部１１Ｗとに囲まれた帯状部１１と、当該帯状部１１を囲む枠状部１２と、帯状部１１と枠状部１２とに接続された複数の架橋部１３とを備えた蒸着マスク中間体１０から、架橋部１３の切断によって取り外された帯状部１１である。蒸着マスク３１は、一対の第１縁部３１Ｌと一対の第２縁部３１Ｗとに囲まれた帯状を有している。各第２縁部３１Ｗは、第１縁部３１Ｌよりも短く、第１縁部３１Ｌの長手方向に窪むＵ字状であってＵ字の底部が曲線である切り欠き３１Ｎを備えている。蒸着マスク３１の縁３１Ｅは、切り欠き３１Ｎの底部である湾曲部３１Ｎ１を備えている。架橋部１３の切断された痕である架橋痕が蒸着マスク３１の縁３１Ｅのなかで位置する部位は、湾曲部３１Ｎ１以外の部位である。蒸着マスク３１は、蒸着マスク３１の長手方向に沿って並ぶ複数のマスク部３１Ｍを備えている。各蒸着マスク３１の第２縁部３１Ｗは、一対の第２縁部３１Ｗが互いから離れる方向の張力が加えられた状態で、メインフレーム２１に取り付けられている。なお、蒸着マスク３１の切り欠き３１Ｎは、蒸着マスク３１と対向する平面視において、メインフレーム２１よりも外側に位置してもよい。

なお、蒸着マスク３１における一対の第１縁部３１Ｌが、帯状部１１における一対の第１縁部１１Ｌに対応する。蒸着マスク３１における一対の第２縁部３１Ｗが、帯状部１１における一対の第２縁部１１Ｗに対応する。蒸着マスク３１の縁３１Ｅが、帯状部１１の縁１１Ｅに対応する。蒸着マスク３１における切り欠き３１Ｎが、帯状部１１における切り欠き１１Ｎに対応する。蒸着マスク３１における湾曲部３１Ｎ１が、帯状部１１における湾曲部１１Ｎ１に対応する。蒸着マスク３１のマスク部３１Ｍが、帯状部１１のマスク部１１Ｍに対応する。

図１５には、蒸着マスク３１が有する複数の架橋痕のうちの１つが拡大して示されている。なお、図１５（ａ）は、図３（ａ）を用いて先に説明した架橋部１３を備える場合の架橋痕を示している。これに対して、図１５（ｂ）は、図３（ｂ）を用いて先に説明した架橋部１３を備える場合の架橋痕を示している。図１５（ｃ）は、図３（ｃ）を用いて先に説明した架橋部１３を備える場合の架橋痕を示している。また、以下では、蒸着マスク３１が、蒸着マスク中間体１０の第１例から得られた蒸着マスクである場合について説明する。なお、蒸着マスク３１が蒸着マスク中間体１０の第２例から第９例のいずれかから得られた場合であっても、蒸着マスク３１は、以下に説明する架橋痕を備えることが可能である。

図１５（ａ）が示すように、第２縁部３１Ｗは、切り欠き３１Ｎが窪む方向と同じ方向に窪む窪み３１ＥＤを備えている。窪み３１ＥＤは、矩形状の窪みである。窪み３１ＥＤは、帯状部１１の第２縁部１１Ｗが有していた１つの架橋用窪み１１ＥＤに対応する。窪み３１ＥＤ内には、１つの架橋痕３１Ａが位置している。架橋痕３１Ａは、上述した脆弱部１３Ａに対応している。架橋痕３１Ａは、脆弱部１３Ａの一部が、蒸着マスク３１の表面に向けて屈曲した屈曲部である。屈曲部は、帯状部１１から架橋部１３を切断するときに、帯状部１１の接続部位が、帯状部１１の表面に向けて捲れ上がることによって形成される。

図１５（ｂ）が示すように、蒸着マスク３１の第２縁部３１Ｗが有する各架橋痕３１Ｂは、複数の円弧状を有した窪みと、複数の屈曲部とから構成されている。各架橋痕３１Ｂにおいて、窪みと屈曲部とが交互に並んでいる。屈曲部は、蒸着マスク３１の縁３１Ｅにおける一部が、蒸着マスク３１の表面に向けて屈曲した部位である。屈曲部は、帯状部１１から架橋部１３を切断するときに、帯状部１１の接続部位が、帯状部１１の表面に向けて捲れ上がることによって形成される。架橋痕３１Ｂの窪みが、脆弱部１３Ｂが有する貫通孔に対応している。これに対して、架橋痕３１Ｂの屈曲部が、架橋部１３の基端部における貫通孔以外の部位に対応している。

図１５（ｃ）が示すように、蒸着マスク３１の第２縁部３１Ｗが有する各架橋痕３１Ｃは、架橋痕３１Ｂと同様、複数の円弧状を有した窪みと、複数の屈曲部とから構成されている。ただし、架橋痕３１Ｃの屈曲部における屈曲量は、架橋痕３１Ｂの屈曲部における屈曲量よりも小さい。

なお、架橋痕３１Ａ，３１Ｂ，３１Ｃのように、架橋痕３１Ａ，３１Ｂ，３１Ｃが屈曲部を有する場合には、屈曲部は、蒸着マスク３１において、第１開口Ｈ１を含む面に向けて屈曲することが好ましい。これにより、架橋痕３１Ａ，３１Ｂ，３１Ｃが屈曲部を有しても、蒸着マスク３１が屈曲部の分だけメインフレーム２１から浮き上がることが抑えられる。

なお、蒸着マスク３１は、縁３１Ｅの外側に向けて突出し、かつ、蒸着マスク３１が広がる平面に沿って延びる架橋痕を有してもよい。あるいは、蒸着マスク３１は、縁３１Ｅの内側に向けて窪む架橋痕を有してもよい。

［蒸着マスクの製造方法］
蒸着マスク３１の製造方法は、金属シートを準備すること、帯状部１１、枠状部１２、および、架橋部１３を蒸着マスク中間体１０に形成すること、および、蒸着マスク３１を形成することを備えている。金属シートを準備することは、例えば、鉄‐ニッケル系合金によって形成された金属シートを準備する。金属シートは、鉄‐ニッケル系合金のなかでもインバーによって形成された金属シートであることが好ましい。

帯状部１１、枠状部１２、および、架橋部１３を蒸着マスク中間体１０に形成することは、蒸着マスク３１の縁３１Ｅに追従した形状を有する帯状部１１と、蒸着マスク３１の縁３１Ｅに追従した内側縁１２Ｅを有して帯状部１１を囲む枠状部１２と、帯状部１１の縁１１Ｅと枠状部１２の内側縁１２Ｅとを接続する複数の架橋部１３とを形成する。蒸着マスク３１を形成することは、各架橋部１３の切断によって、帯状部１１から蒸着マスク３１を形成する。

蒸着マスク中間体１０に帯状部１１を形成することは、切り欠き３１Ｎの底部に追従した湾曲部１１Ｎ１を備える縁１１Ｅを有した帯状部１１を形成する。蒸着マスク中間体１０に架橋部１３を形成することは、帯状部１１の縁１１Ｅのなかで湾曲部１１Ｎ１以外の部位に各架橋部１３を接続する。図１６を参照して、蒸着マスク３１の製造方法をより詳しく説明する。なお、以下では、帯状部１１がマスク部１１Ｍの第１例を備える場合における蒸着マスク３１の製造方法を説明する。

図１６が示すように、蒸着マスク３１の製造方法では、まず、金属シートを準備する（ステップＳ１１）。金属シートを準備する工程では、電解を用いて金属シートを準備してもよいし、圧延および研磨などを用いて金属シートを準備してもよい。金属シートを準備する工程において準備される金属シートは、帯状を有した金属シートが巻き取られたロール状を有している。次いで、金属シートが有する対象面の１つにレジスト層を形成し（ステップＳ１２）、その後に、レジスト層に対する露光および現像を行うことによって、対象面にレジストマスクを形成する（ステップＳ１３）。

次に、レジストマスクを用いた対象面のウェットエッチングによって、金属シートに複数の貫通孔１１Ｈを形成する（ステップＳ１４）。この際に、複数の貫通孔１１Ｈを形成すると同時に、帯状部１１、枠状部１２、および、複数の架橋部１３を形成する。また、複数の架橋部１３が脆弱部１３Ａを有する場合には、脆弱部１３Ａも貫通孔１１Ｈと同時に形成する。これにより、蒸着マスク中間体１０を得る。すなわち、蒸着マスク中間体１０に、帯状部１１、枠状部１２、および、複数の架橋部１３を形成することが可能である。蒸着マスク中間体１０には、複数の帯状部１１が、間隔を空けて並ぶように形成される。

次いで、レジストマスクを対象面から除去することによって、上述したマスク部１１Ｍが形成される（ステップＳ１５）。次に、ロール状の蒸着マスク中間体１０を幅方向に沿って切断する。これにより、複数の帯状部１１を有した中間体シートを得る（ステップＳ１６）。そして、帯状部１１に接続された複数の架橋部１３を切断することによって、上述した蒸着マスク３１を得ることができる（ステップＳ１７）。架橋部１３を切断する際には、帯状部１１に対して枠状部１２を折り曲げることによって、脆弱部１３Ａを切断することができる。

なお、帯状部１１がマスク部１１Ｍの第２例を備える場合には、上述したステップＳ１２からステップＳ１５までの工程が、裏面１０Ｒに施され、これによって、小孔１１ＳＨが形成される。次いで、小孔１１ＳＨを保護するための保護層が小孔１１ＳＨに充填される。続いて、上述したステップＳ１２からステップＳ１５までの工程が、表面１０Ｆに施され、これによって、大孔１１ＬＨが形成される。これにより、マスク部１１Ｍの第２例を得ることができる。大孔１１ＬＨの形成に用いたレジストマスクは、小孔１１ＳＨの形成に用いたレジストマスクと同時に除去してもよい。

なお、帯状部１１がマスク部１１Ｍの第２例を備え、かつ、脆弱部１３Ａをハーフエッチング加工によって形成する場合には、脆弱部１３Ａは、ステップＳ１２からステップＳ１５までの工程が裏面１０Ｒに施されるときに形成されてもよい。あるいは、脆弱部１３Ａは、ステップＳ１２からステップＳ１５までの工程が表面１０Ｆに施されるときに形成されてもよい。

以上説明したように、蒸着マスク中間体、蒸着マスク、および、蒸着マスクの製造方法の一実施形態によれば、以下に記載の効果を得ることができる。
（１）帯状部１１から形成される蒸着マスク３１が、Ｕ字状部分を含みかつＵ字状部分の底部が曲線状である切り欠き３１Ｎを備える。そのため、各第２縁部３１Ｗにおける切り欠き３１Ｎの両側を、一対の第２縁部３１Ｗが互いから離れる方向に引っ張ることによって蒸着マスク３１に張力を加えた場合に、切り欠き３１Ｎに作用した力が、切り欠き３１Ｎが有する形状によって分散される。これにより、蒸着マスク３１の使用時に、蒸着マスク３１に皺や捻れなどの変形が生じることが抑えられる。

（２）帯状部１１を枠状部１２に接続させる架橋部１３が、帯状部１１の縁１１Ｅのなかで、湾曲部１１Ｎ１以外の部位に接続する。そのため、架橋部１３の切断によって形成された蒸着マスク３１において、切り欠き３１Ｎの湾曲部３１Ｎ１に架橋部１３の一部が残されたり、湾曲部３１Ｎ１の一部が欠けたりすることが抑えられる。これにより、湾曲部３１Ｎ１の形状が、蒸着マスク３１に加えられた張力を分散することが可能な形状に維持される。そのため、蒸着マスク３１の使用時に、蒸着マスク３１に変形が生じることが抑えられる。

（３）蒸着マスク中間体１０の搬送時に、帯状部１１の第２縁部１１Ｗが枠状部１２に支持され続ける。そのため、各第２縁部１１Ｗが枠状部１２から浮き上がることが抑えられて、帯状部１１の変形が抑えられる。

（４）切り欠き１１Ｎの両側が架橋部１３によって枠状部１２に接続される。そのため、切り欠き１１Ｎの両側のうちの一方のみが架橋部１３によって枠状部１２に接続される場合に比べて、蒸着マスク中間体１０の搬送時に、帯状部１１が枠状部１２に支持され続ける。また、切り欠き１１Ｎの両側のうちの一方のみが架橋部１３によって枠状部１２に接続される場合に比べて、枠状部１２に対して帯状部１１が変位しにくい。そのため、蒸着マスク中間体１０の搬送時に、帯状部１１が例えば搬送機構などに接触することによって、帯状部１１の一部が折れ曲がることが抑えられる。

（５）各直線部１１Ｎ２が突状縁１２Ｅ１に接続されることによって、各直線部１１Ｎ２と突状縁１２Ｅ１との剛性が高められる。これにより、帯状部１１の変形が抑えられる。加えて、突状縁１２Ｅ１が帯状部１１に対して折れ曲がることが抑えられる。結果として、蒸着マスク中間体１０の搬送時に、帯状部１１の一部や突状縁１２Ｅ１が搬送機構などに引っかかることが抑えられる。

（６）蒸着マスク中間体１０の搬送時において、帯状部１１の第１縁部１１Ｌが枠状部１２に支持され続ける。そのため、各第１縁部１１Ｌが折れ曲がることが抑えられて、帯状部１１の変形が抑えられる。

（７）湾曲部１１Ｎ１よりも端寄りで第１縁部１１Ｌが枠状部１２に接続されるため、帯状部１１の角部が枠状部１２に対して浮き上がることが抑えられる。そのため、蒸着マスク中間体１０の搬送時に、角部が搬送機構などに引っかかることが抑えられる。

（８）長手方向ＤＬにおいて、架橋部１３とマスク部１１Ｍとが並ぶ場合と比べて、蒸着マスク中間体１０の搬送時に、架橋部１３を通じてマスク部１１Ｍに作用する力が緩和される。それゆえに、マスク部１１Ｍが有する貫通孔１１Ｈの変形が抑えられる。

なお、上述した実施形態は、以下のように適宜変更して実施することができる。
［接続部位の位置］
・一対の第１縁部１１Ｌ、または、一対の第２縁部１１Ｗに対して１つずつ対応付けられた２つの架橋部群は、以下のように変更されてもよい。すなわち、第１の架橋部群に属する各架橋部の位置は、第１の架橋部群に属する複数の架橋部が並ぶ方向において、第２の架橋部群に属する複数の架橋部の位置とは等しくなくてもよい。

・接続部位は、枠状部１２によって帯状部１１を支持することが可能であれば、一対の第１縁部１１Ｌのうちで、一方の第１縁部１１Ｌのみに位置してもよいし、一対の第２縁部１１Ｗのうちで、一方の第２縁部１１Ｗのみに位置してもよい。

［架橋痕］
・蒸着マスク３１が備える複数の架橋痕には、第１の形状を有する架橋痕と、第１の形状とは異なる第２の形状を有する架橋痕とが含まれてもよい。

［架橋部］
・帯状部１１と枠状部１２とは、上述した脆弱部が帯状部１１と枠状部１２との間に位置することによって、脆弱部によって互いに接続されてもよい。この場合には、脆弱部に含まれる金属シートの一部が架橋部である。言い換えれば、脆弱部における貫通孔以外の部分が架橋部である。

例えば、図３（ａ）を参照して説明したように、脆弱部１３Ａが１つのハーフエッチング部によって構成される場合には、脆弱部１３Ａの全体が架橋部である。また、図３（ｂ）を参照して説明したように、脆弱部１３Ｂが複数の貫通孔を有する場合には、脆弱部１３Ｂのなかで貫通孔間に位置する部分が架橋部である。また、図３（ｃ）を参照して説明したように、脆弱部１３Ｃが複数の貫通孔１３Ｃ１と複数のハーフエッチング部１３Ｃ２とを含み、貫通孔１３Ｃ１とハーフエッチング部１３Ｃ２とが交互に並ぶ場合には、ハーフエッチング部１３Ｃ２が架橋部である。また、脆弱部において、複数のハーフエッチング部が間隔を空けて並ぶ場合には、脆弱部の全体が架橋部である。

［線状脆弱部］
・図１７が示すように、枠状部１２は、枠状部１２の内側縁１２Ｅから枠状部１２の外側縁１２Ｆに向かう方向に沿って延びる線状脆弱部１２Ａを備えることができる。図１７が示す例では、線状脆弱部１２Ａは、長手方向ＤＬに交差する方向に沿って延びている。また、線状脆弱部１２Ａの一端部は、内側縁１２Ｅのなかで、長手方向ＤＬに沿って延びる部分に位置し、線状脆弱部１２Ａの他端部は、枠状部１２の内部に位置している。

蒸着マスク中間体１０は、複数の線状脆弱部１２Ａを備えている。複数の線状脆弱部１２Ａは、蒸着マスク中間体１０の搬送方向において、マスク部１１Ｍよりも上流に位置する上流側脆弱部１２ＡＵと、マスク部１１Ｍよりも下流に位置する下流側脆弱部１２ＡＤとを含んでいる。上流側脆弱部１２ＡＵにおいて、上流側脆弱部１２ＡＵの一端部は、内側縁１２Ｅのなかで、長手方向ＤＬに沿って延び、かつ、マスク部１１Ｍよりも上流に位置する部分に繋がっている。一方で、下流側脆弱部１２ＡＤにおいて、下流側脆弱部１２ＡＤの一端部は、内側縁１２Ｅのなかで、長手方向ＤＬに沿って延び、かつ、マスク部１１Ｍよりも下流に位置する部分に繋がっている。

蒸着マスク中間体１０は、幅方向ＤＷにおける２つの帯状部１１の間に、２つの上流側脆弱部１２ＡＵと２つの下流側脆弱部１２ＡＤとを有している。２つの上流側脆弱部１２ＡＵは、幅方向ＤＷにおいて並び、内側縁１２Ｅのなかで、互いに異なる帯状部１１を囲む部分に向けて延びている。２つの下流側脆弱部１２ＡＤは、幅方向ＤＷにおいて並び、内側縁１２Ｅのなかで、互いに異なる帯状部１１を囲む部分に向けて延びている。

また、蒸着マスク中間体１０は、幅方向ＤＷにおいて２つの帯状部１１を挟む一対の上流側脆弱部１２ＡＵと、幅方向ＤＷにおいて２つの帯状部１１を挟む一対の下流側脆弱部１２ＡＤとを有している。なお、蒸着マスク中間体１０は、これらの線状脆弱部１２Ａのうちの少なくとも１つを備えていればよい。

線状脆弱部１２Ａの機械的な強度は、枠状部１２における線状脆弱部１２Ａ以外の部分における機械的な強度よりも低い。そのため、枠状部１２が線状脆弱部１２Ａに沿って切断されやすい。しかも、線状脆弱部１２Ａにおける一方の端部が枠状部１２の内側縁１２Ｅに位置するため、枠状部１２から帯状部１１を取り外す際に内側縁１２Ｅが形成する環を切断することができる。これにより、架橋部１３の切断が行いやすくなる。

帯状部１１から蒸着マスクを形成する際には、まず、長手方向ＤＬにおける所定の位置において、蒸着マスク中間体１０を幅方向ＤＷに沿って切断する。これにより、幅方向ＤＷに沿って並ぶ２つの帯状部１１のみを有した蒸着マスク中間体１０を得る。次いで、線状脆弱部１２Ａに沿って枠状部１２を切断することによって、帯状部１１を取り囲む内側縁１２Ｅの環を切断する。そして、架橋部１３を折り曲げることによって帯状部１１から架橋部１３を切断する。これにより、帯状部１１から蒸着マスクを形成することができる。

図１８は、図１７に示される領域Ａを拡大して示し、また、図１９は、図１７に示される領域Ｂを拡大して示している。図２０は、図１７に示される領域Ｃを拡大して示している。なお、領域Ａは、２つの上流側脆弱部１２ＡＵにおける上流端部を含み、また、領域Ｂは、２つの下流側脆弱部１２ＡＤにおける下流端部を含んでいる。領域Ｃは、下流側脆弱部１２ＡＤの上流端部と内側縁１２Ｅにおいて上流端部が接続する部分とを含んでいる。

図１８が示すように、各上流側脆弱部１２ＡＵの上流端部は、枠状部１２を貫通する上流側貫通部１２ＢＵに接続されている。２つの上流側貫通部１２ＢＵは、幅方向ＤＷにおいて、所定の間隔を開けて並んでいる。帯状部１１から蒸着マスク３１を形成する際には、例えば、枠状部１２を切断可能な器具によって、枠状部１２のなかで、幅方向ＤＷにおいて２つの上流側貫通部１２ＢＵによって挟まれる部分を切断し、これによって、切断片を形成する。次いで、蒸着マスク中間体１０が広がる平面とは交差する方向に向けて切断片を引き上げることによって、２つの上流側脆弱部１２ＡＵを切断する力を、２つの上流側脆弱部１２ＡＵに対して同時に作用させることが可能である。

なお、幅方向ＤＷにおいて２つの帯状部１１を挟む一対の上流側脆弱部１２ＡＵの各々においても、上流端部が上流側貫通部１２ＢＵに接続されている。

図１９が示すように、枠状部１２は、下流側脆弱部１２ＡＤの下流端部に連なる被把持片１２Ｃと、被把持片１２Ｃを囲む下流側貫通部１２ＢＤとを備えている。これにより、下流側脆弱部１２ＡＤの下流端部を器具によって把持したり、人の指によって把持したりすることが可能であるため、下流側脆弱部１２ＡＤを切断する力を下流側脆弱部１２ＡＤに作用させやすい。蒸着マスク中間体１０が広がる平面とは交差する方向に向けて被把持片１２Ｃを引き上げることによって、２つの下流側脆弱部１２ＡＤを切断する力を、２つの下流側脆弱部１２ＡＤに対して同時に作用させることが可能である。

なお、幅方向ＤＷにおいて２つの帯状部１１を挟む一対の下流側脆弱部１２ＡＤの各々においても、下流端部が被把持片１２Ｃに接続され、かつ、被把持片１２Ｃが下流側貫通部１２ＢＤに囲まれている。

また、図２０が示すように、枠状部１２の内側縁１２Ｅは、当該内側縁１２Ｅが取り囲む枠状部１２の第１縁部１１Ｌから離れる方向に窪む窪み１２ＥＡを有してもよい。窪み１２ＥＡは、蒸着マスク中間体１０の表面１０Ｆと対向する方向から見て、矩形状を有している。下流側脆弱部１２ＡＤの上流端部は、内側縁１２Ｅにおける窪み１２ＥＡに接続している。なお、下流側脆弱部１２ＡＤの上流端部は、窪み１２ＥＡのなかでも、最も下流側に位置する辺において一端から他端に向かう途中に接続することが可能である。

内側縁１２Ｅが窪み１２ＥＡを有し、かつ、下流側脆弱部１２ＡＤが窪み１２ＥＡに接続することによって、下流側脆弱部１２ＡＤに沿って枠状部１２が切断される際に、枠状部１２を切断するための外力が帯状部１１に作用することが抑えられる。これによって、帯状部１１が有するマスク部１１Ｍに外力が作用することが抑えられる。また、上流端部が、窪み１２ＥＡのなかで、最も下流側に位置する辺における一端と他端以外の部分に位置することによって、下流側脆弱部１２ＡＤが切断されやすくなる。

なお、内側縁１２Ｅは、各下流側脆弱部１２ＡＤが接続する箇所に限らず、各上流側脆弱部１２ＡＵが接続する箇所にも窪み１２ＥＡを有することが可能であり、これによって、上述した窪み１２ＥＡによる効果に準じた効果を得ることが可能である。

図１８から図２０が示す例では、線状脆弱部１２Ａが、間隔を空けて並ぶ複数の貫通部１２Ａ１を有している。線状脆弱部１２Ａは、１つのハーフエッチング部によって形成されてもよいし、間隔を空けて並ぶ複数のハーフエッチング部を有してもよい。または、線状脆弱部１２Ａは、複数のハーフエッチング部と複数の貫通孔とを有し、線状脆弱部１２Ａにおいて、ハーフエッチング部と貫通部とが交互に並んでもよい。

また、上流側脆弱部１２ＡＵの上流端部が接続される上流側貫通部１２ＢＵは、下流側脆弱部１２ＡＤが接続される被把持片１２Ｃ、および、被把持片１２Ｃを囲む下流側貫通部１２ＢＤに変更されてもよい。あるいは、下流側脆弱部１２ＡＤの下流端部が接続される被把持片１２Ｃ、および、被把持片１２Ｃを囲む下流側貫通部１２ＢＤは、上流側脆弱部１２ＡＵの上流端部が接続される上流側貫通部１２ＢＵに変更されてもよい。

［蒸着マスク中間体］
・蒸着マスク中間体は、金属シートに加えて、金属シートに積層された樹脂層を備えてもよい。この場合には、蒸着マスク中間体から形成された蒸着マスクも、金属シートと樹脂層とから形成される。あるいは、蒸着マスク中間体は、２枚の金属シートと、蒸着マスク中間体の厚さ方向において、２枚の金属シートに挟まれた樹脂層とを備えてもよい。この場合には、蒸着マスク中間体から形成された蒸着マスクも、２枚の金属シート、および、２枚の金属シートに挟まれた樹脂層から形成される。これらのいずれの場合にも、樹脂層を形成する合成樹脂は、例えば、ポリイミド樹脂であってよい。なお、樹脂層に対するレーザー光線の照射によって、これら蒸着マスク中間体が備える貫通孔を形成することが可能である。

［蒸着マスクの製造方法］
・帯状部１１、枠状部１２、および、複数の架橋部１３は、マスク部１１Ｍの貫通孔１１Ｈが形成される工程とは異なる工程にて形成されてもよい。この場合には、各架橋部１３が有する脆弱部１３Ａは、マスク部１１Ｍの貫通孔１１Ｈが形成される工程にて形成されてもよいし、帯状部１１、枠状部１２、および、複数の架橋部１３が形成される工程にて形成されてもよい。

これらの場合において、帯状部１１、枠状部１２、架橋部１３、および、脆弱部１３Ａは、マスク部１１Ｍの貫通孔１１Ｈと同様、ウェットエッチングによって形成されてもよい。また、帯状部１１、枠状部１２、および、複数の架橋部１３が形成される工程と、脆弱部１３Ａが形成される工程とが異なる場合には、帯状部１１、枠状部１２、および、複数の架橋部１３がレーザー加工によって形成される一方で、脆弱部１３Ａがウェットエッチングによって形成されてもよい。あるいは、帯状部１１、枠状部１２、架橋部１３、および、脆弱部１３Ａが、レーザー加工によって形成されてもよい。あるいは、帯状部１１、枠状部１２、および、複数の架橋部１３がプレス加工によって形成される一方で、脆弱部１３Ａが、ウェットエッチングまたはレーザー加工によって形成されてもよい。

なお、帯状部１１、枠状部１２、架橋部１３、および、脆弱部１３Ａが同一の工程で形成される場合にも、これらはレーザー加工によって形成されてもよい。

１０…蒸着マスク中間体、１０Ｆ…表面、１０Ｒ…裏面、１１…帯状部、１１Ｅ，３１Ｅ…縁、１１ＥＤ…架橋用窪み、１１Ｈ，１３Ｃ１…貫通孔、１１Ｌ，３１Ｌ…第１縁部、１１ＬＨ…大孔、１１Ｍ，３１Ｍ…マスク部、１１Ｎ，３１Ｎ…切り欠き、１１Ｎ１，３１Ｎ１…湾曲部、１１Ｎ２…直線部、１１Ｎ３…曲線部、１１ＳＨ…小孔、１１Ｗ，３１Ｗ…第２縁部、１２…枠状部、１２Ａ…線状脆弱部、１２Ａ１…貫通部、１２ＡＤ…下流側脆弱部、１２ＡＵ…上流側脆弱部、１２ＢＤ…下流側貫通部、１２ＢＵ…上流側貫通部、１２Ｃ…被把持部、１２Ｅ…内側縁、１２Ｅ１…突状縁、１２ＥＡ，３１ＥＤ…窪み、１２Ｆ…外側縁、１３…架橋部、１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃ…脆弱部、１３Ｃ２…ハーフエッチング部、２０…マスク装置、２１…メインフレーム、２１Ｈ…メインフレーム孔、３１…蒸着マスク、３１Ａ，３１Ｂ，３１Ｃ…架橋痕、Ｈ１…第１開口、Ｈ２…第２開口、Ｒ１３…架橋領域、ＲＮ…非架橋領域、ＳＨ…ステップハイト。

Claims (12)

1. 蒸着マスクを製造するための金属製のシートを含む蒸着マスク中間体であって、
   前記蒸着マスクは、一対の第１縁部と一対の第２縁部とに囲まれた帯状を有し、
   各第２縁部は、前記第１縁部よりも短く、切り欠きを備え、前記切り欠きは、前記第１縁部が延びる方向である長手方向に窪むＵ字状部分を有し、前記Ｕ字状部分の底部が曲線状であり、
   前記蒸着マスク中間体は、
   前記蒸着マスクの縁に追従した形状を有する帯状部と、
   前記帯状部の縁に追従した形状を有する内側縁を有して前記帯状部を囲む枠状部と、
   前記帯状部の前記縁を前記枠状部の前記内側縁に接続する複数の架橋部と、を備え、
   前記帯状部は、各架橋部の切断によって前記蒸着マスクを形成し、
   前記帯状部の前記縁には、前記切り欠きの前記底部に追従した形状を有する湾曲部が設けられており、
   各架橋部は前記帯状部の前記縁のなかで前記湾曲部以外の部位に接続され、
   前記帯状部の前記縁は、前記一対の第１縁部と前記一対の第２縁部とを含み、
   前記帯状部の各第２縁部は、前記複数の架橋部によって前記枠状部に接続されている接続部位を有し、
   前記帯状部の各第２縁部は、前記蒸着マスクの前記切り欠きに追従した形状を有する切り欠きを備え、
   前記枠状部の内側縁は、前記帯状部の前記切り欠きに追従した形状を有する突状縁を備え、
   前記帯状部の各切り欠きは、前記湾曲部と、前記湾曲部から前記長手方向に延びる一対の直線部とを含み、
   各直線部は、前記架橋部によって前記突状縁に接続された前記接続部位を含む
   蒸着マスク中間体。
2. 蒸着マスクを製造するための金属製のシートを含む蒸着マスク中間体であって、
   前記蒸着マスクは、一対の第１縁部と一対の第２縁部とに囲まれた帯状を有し、
   各第２縁部は、前記第１縁部よりも短く、切り欠きを備え、前記切り欠きは、前記第１縁部が延びる方向である長手方向に窪むＵ字状部分を有し、前記Ｕ字状部分の底部が曲線
   状であり、
   前記蒸着マスク中間体は、
   前記蒸着マスクの縁に追従した形状を有する帯状部と、
   前記帯状部の縁に追従した形状を有する内側縁を有して前記帯状部を囲む枠状部と、
   前記帯状部の前記縁を前記枠状部の前記内側縁に接続する複数の架橋部と、を備え、
   前記帯状部は、各架橋部の切断によって前記蒸着マスクを形成し、
   前記帯状部の前記縁には、前記切り欠きの前記底部に追従した形状を有する湾曲部が設けられており、
   各架橋部は前記帯状部の前記縁のなかで前記湾曲部以外の部位に接続され、
   前記帯状部の前記縁は、前記一対の第１縁部と前記一対の第２縁部とを含み、
   前記帯状部の各第１縁部は、前記複数の架橋部によって前記枠状部に接続され、
   前記帯状部の各第２縁部は、前記蒸着マスクの前記切り欠きに追従した形状を有し、前記湾曲部を含む切り欠きを備え、
   前記帯状部の各第１縁部は、第１接続部位において前記枠状部に接続されており、
   前記帯状部の各第２縁部は、第２接続部位において前記複数の架橋部によって前記枠状部に接続されており、
   前記湾曲部に比べて、前記第１接続部位は前記長手方向において前記第２接続部位寄りに位置する
   蒸着マスク中間体。
3. 前記接続部位は、第１接続部位であり、
   前記帯状部の各第２縁部は、第２接続部位を有し、
   前記帯状部の各切り欠きは、前記第２接続部位に挟まれている
   請求項１に記載の蒸着マスク中間体。
4. 前記帯状部の各切り欠きは、前記第２接続部位に挟まれている
   請求項２に記載の蒸着マスク中間体。
5. 前記枠状部の内側縁は、前記帯状部の前記切り欠きに追従した形状を有する突状縁を備え、
   前記帯状部の各切り欠きは、前記湾曲部と、前記湾曲部から前記長手方向に延びる一対の直線部とを含み、
   各直線部は、前記架橋部によって前記突状縁に接続されている
   請求項２に記載の蒸着マスク中間体。
6. 前記帯状部は、複数の貫通孔を含むマスク部を含み、
   前記帯状部の各第１縁部は、前記長手方向において、前記マスク部と重ならない部位で前記架橋部によって前記枠状部に接続されている
   請求項１から５のいずれか一項に記載の蒸着マスク中間体。
7. 蒸着マスクを製造するための金属製のシートを含む蒸着マスク中間体であって、
   前記蒸着マスクは、一対の第１縁部と一対の第２縁部とに囲まれた帯状を有し、
   各第２縁部は、前記第１縁部よりも短く、切り欠きを備え、前記切り欠きは、前記第１縁部が延びる方向である長手方向に窪むＵ字状部分を有し、前記Ｕ字状部分の底部が曲線状であり、
   前記蒸着マスク中間体は、
   前記蒸着マスクの縁に追従した形状を有する帯状部と、
   前記帯状部の縁に追従した形状を有する内側縁を有して前記帯状部を囲む枠状部と、
   前記帯状部の前記縁を前記枠状部の前記内側縁に接続する複数の架橋部と、を備え、
   前記帯状部は、各架橋部の切断によって前記蒸着マスクを形成し、
   前記帯状部の前記縁には、前記切り欠きの前記底部に追従した形状を有する湾曲部が設けられており、
   各架橋部は前記帯状部の前記縁のなかで前記湾曲部以外の部位に接続され、
   前記枠状部は、前記枠状部の前記内側縁から前記枠状部の外側縁に
   向かう方向に沿って延びる線状を有した脆弱部を備え、
   前記脆弱部の機械的な強度は、前記枠状部における前記脆弱部以外の部分における機械的な強度よりも低い
   蒸着マスク中間体。
8. 金属製のシートを含む蒸着マスク中間体の帯状部である蒸着マスクであって、前記蒸着マスク中間体は、一対の第１縁部と一対の第２縁部とに囲まれた帯状部と、当該帯状部を囲む枠状部と、前記帯状部と前記枠状部とに接続された複数の架橋部とを備え、前記帯状部は前記蒸着マスク中間体から前記架橋部の切断によって取り外されるように構成されており、
   各第２縁部は、前記第１縁部よりも短く、切り欠きを備え、前記切り欠きは、前記第１縁部が延びる方向である長手方向に窪むＵ字状部分を有し、前記Ｕ字状部分の底部が曲線状であり、
   前記蒸着マスクの縁には、前記切り欠きの前記底部である湾曲部が設けられており、
   前記架橋部の切断によって、前記蒸着マスクの前記縁のなかで前記湾曲部以外の部位に複数の架橋痕が形成され、
   各切り欠きは、前記湾曲部と、前記湾曲部から前記長手方向に延びる一対の直線部とを含み、
   前記複数の架橋痕は、各直線部に位置する前記架橋痕を含む
   蒸着マスク。
9. 金属製のシートを含む蒸着マスク中間体の帯状部である蒸着マスクであって、前記蒸着マスク中間体は、一対の第１縁部と一対の第２縁部とに囲まれた帯状部と、当該帯状部を囲む枠状部と、前記帯状部と前記枠状部とに接続された複数の架橋部とを備え、前記帯状部は前記蒸着マスク中間体から前記架橋部の切断によって取り外されるように構成されており、
   各第２縁部は、前記第１縁部よりも短く、切り欠きを備え、前記切り欠きは、前記第１縁部が延びる方向である長手方向に窪むＵ字状部分を有し、前記Ｕ字状部分の底部が曲線状であり、
   前記蒸着マスクの縁には、前記切り欠きの前記底部である湾曲部が設けられており、
   前記架橋部の切断によって、前記蒸着マスクの前記縁のなかで前記湾曲部以外の部位に複数の架橋痕が形成され、
   前記蒸着マスクの各第１縁部は、第１接続部位に前記架橋痕を有し、
   前記蒸着マスクの各第２縁部は、第２接続部位に複数の前記架橋痕を有し、
   前記湾曲部に比べて、前記第１接続部位は前記長手方向において前記第２接続部位寄りに位置する
   蒸着マスク。
10. 一対の第１縁部と一対の第２縁部とに囲まれた帯状を有し、各第２縁部は、前記第１縁部よりも短く、切り欠きを備え、前記切り欠きは、前記第１縁部が延びる方向である長手方向に窪むＵ字状部分を有し、前記Ｕ字状部分の底部が曲線状である蒸着マスクを製造する方法であって、
    金属製のシートを含む蒸着マスク中間体であって、前記蒸着マスクの縁に追従した形状を有する帯状部と、前記帯状部の縁に追従した内側縁を有して前記帯状部を囲む枠状部と、前記帯状部の前記縁を前記枠状部の前記内側縁に接続する複数の架橋部とを備える蒸着マスク中間体を形成することと、
    各架橋部の切断によって、前記帯状部から蒸着マスクを形成することと、を備え、
    前記帯状部の前記縁には、前記切り欠きの前記底部に追従した形状を有する湾曲部が設けられており、
    各架橋部は前記帯状部の前記縁のなかで前記湾曲部以外の部位に接続され、
    前記帯状部の前記縁は、前記一対の第１縁部と前記一対の第２縁部とを含み、
    前記帯状部の各第２縁部は、前記複数の架橋部によって前記枠状部に接続されている接続部位を有し、
    前記帯状部の各第２縁部は、前記蒸着マスクの前記切り欠きに追従した形状を有する切り欠きを備え、
    前記枠状部の内側縁は、前記帯状部の前記切り欠きに追従した形状を有する突状縁を備え、
    前記帯状部の各切り欠きは、前記湾曲部と、前記湾曲部から前記長手方向に延びる一対の直線部とを含み、
    各直線部は、前記架橋部によって前記突状縁に接続された前記接続部位を含む
    蒸着マスクの製造方法。
11. 一対の第１縁部と一対の第２縁部とに囲まれた帯状を有し、各第２縁部は、前記第１縁部よりも短く、切り欠きを備え、前記切り欠きは、前記第１縁部が延びる方向である長手方向に窪むＵ字状部分を有し、前記Ｕ字状部分の底部が曲線状である蒸着マスクを製造する方法であって、
    金属製のシートを含む蒸着マスク中間体であって、前記蒸着マスクの縁に追従した形状を有する帯状部と、前記帯状部の縁に追従した内側縁を有して前記帯状部を囲む枠状部と、前記帯状部の前記縁を前記枠状部の前記内側縁に接続する複数の架橋部とを備える蒸着マスク中間体を形成することと、
    各架橋部の切断によって、前記帯状部から蒸着マスクを形成することと、を備え、
    前記帯状部の前記縁には、前記切り欠きの前記底部に追従した形状を有する湾曲部が設けられており、
    各架橋部は前記帯状部の前記縁のなかで前記湾曲部以外の部位に接続され、
    前記帯状部の前記縁は、前記一対の第１縁部と前記一対の第２縁部とを含み、
    前記帯状部の各第１縁部は、前記複数の架橋部によって前記枠状部に接続され、
    前記帯状部の各第２縁部は、前記蒸着マスクの前記切り欠きに追従した形状を有し、前記湾曲部を含む切り欠きを備え、
    前記帯状部の各第１縁部は、第１接続部位において前記枠状部に接続されており、
    前記帯状部の各第２縁部は、第２接続部位において前記複数の架橋部によって前記枠状部に接続されており、
    前記湾曲部に比べて、前記第１接続部位は前記長手方向において前記第２接続部位寄りに位置する
    蒸着マスクの製造方法。
12. 一対の第１縁部と一対の第２縁部とに囲まれた帯状を有し、各第２縁部は、前記第１縁部よりも短く、切り欠きを備え、前記切り欠きは、前記第１縁部が延びる方向である長手方向に窪むＵ字状部分を有し、前記Ｕ字状部分の底部が曲線状である蒸着マスクを製造する方法であって、
    金属製のシートを含む蒸着マスク中間体であって、前記蒸着マスクの縁に追従した形状を有する帯状部と、前記帯状部の縁に追従した内側縁を有して前記帯状部を囲む枠状部と、前記帯状部の前記縁を前記枠状部の前記内側縁に接続する複数の架橋部とを備える蒸着マスク中間体を形成することと、
    各架橋部の切断によって、前記帯状部から蒸着マスクを形成することと、を備え、
    前記帯状部の前記縁には、前記切り欠きの前記底部に追従した形状を有する湾曲部が設けられており、
    各架橋部は前記帯状部の前記縁のなかで前記湾曲部以外の部位に接続され、
    前記枠状部は、前記枠状部の前記内側縁から前記枠状部の外側縁に向かう方向に沿って延びる線状を有した脆弱部を備え、
    前記脆弱部の機械的な強度は、前記枠状部における前記脆弱部以外の部分における機械的な強度よりも低い
    蒸着マスクの製造方法。

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