CN210711709U - 蒸镀掩模中间体及蒸镀掩模 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及蒸镀掩模中间体及蒸镀掩模。蒸镀掩模中间体具备具有追随蒸镀掩模的边缘的形状的带状部、具备具有追随带状部的边缘的形状的内侧边缘且包围带状部的框状部、以及将带状部的边缘与框状部的内侧边缘连接的多个跨接部。带状部通过各跨接部的切断而形成蒸镀掩模。在带状部的边缘设置有具有追随缺口的底部的形状的弯曲部，各跨接部与带状部的边缘中的除弯曲部以外的部位连接。

Description

蒸镀掩模中间体及蒸镀掩模

技术领域

本实用新型涉及蒸镀掩模中间体及蒸镀掩模。

背景技术

蒸镀掩模具有具备表面及背面的矩形板状。蒸镀掩模具有从表面贯通至背面的多个贯通孔。各贯通孔具有在表面开口的第1开口、以及在背面开口的第2开口。各贯通孔是蒸镀材料的通路。在使用蒸镀掩模向对象物进行蒸镀时，蒸镀材料从第1开口进入贯通孔，由此在对象物上形成与第2开口的形状及位置对应的图案。为了抑制划分贯通孔的壁面妨碍蒸镀材料的通过，提出了具有50μm以下的厚度的蒸镀掩模(例如，参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第6319505号

然而，在使用蒸镀掩模时，蒸镀掩模被固定于支承框架。此时，蒸镀掩模在被施加沿着蒸镀掩模的长度方向的张力的状态下被固定于框架。蒸镀掩模非常薄，因此在将蒸镀掩模被固定于框架时，有时因张力的施加而导致蒸镀掩模产生褶皱或扭曲等变形。因此，在使用蒸镀掩模时，要求抑制蒸镀掩模的变形。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种能够抑制蒸镀掩模的使用时的蒸镀掩模的变形的蒸镀掩模中间体及蒸镀掩模。

用于解决上述问题的蒸镀掩模中间体包含用于制造蒸镀掩模的金属制片材，其中，所述蒸镀掩模具有由一对第1边缘部和一对第2边缘部包围的带状，各第2边缘部比所述第1边缘部短，且具备缺口，所述缺口具有向所述第1边缘部延伸的方向即长度方向凹陷的U字状部分，所述U字状部分的底部为曲线状，所述蒸镀掩模中间体具备：带状部，具有追随所述蒸镀掩模的边缘的形状；框状部，具备具有追随所述带状部的边缘的形状的内侧边缘，且包围所述带状部；以及多个跨接部，将所述带状部的所述边缘与所述框状部的所述内侧边缘连接，所述带状部通过各跨接部的切断而形成所述蒸镀掩模，在所述带状部的所述边缘设置有具有追随所述缺口的所述底部的形状的弯曲部，各跨接部与所述带状部的所述边缘中的除所述弯曲部以外的部位连接。

用于解决上述问题的蒸镀掩模为包含金属制片材的蒸镀掩模中间体的带状部，其中，所述蒸镀掩模中间体具备由一对第1边缘部和一对第2边缘部包围的带状部、包围该带状部的框状部、以及与所述带状部及所述框状部连接的多个跨接部，所述带状部通过所述跨接部的切断而被从所述蒸镀掩模中间体拆下，各第2边缘部比所述第1边缘部短，且具备缺口，所述缺口具有向所述第1边缘部延伸的方向即长度方向凹陷的U字状部分，所述U字状部分的底部为曲线状，在所述蒸镀掩模的边缘设置有作为所述缺口的所述底部的弯曲部，通过所述跨接部的切断，在所述蒸镀掩模的所述边缘中的除所述弯曲部以外的部位形成有跨接痕。

根据上述构成，由带状部形成的蒸镀掩模具备包含U字状部分且U字状部分的底部为曲线状的缺口。因此，在通过对各第2缘部的缺口的两侧向一对第2缘部彼此远离的方向进行拉拽而对蒸镀掩模施加了张力的情况下，作用于缺口的力通过缺口所具有的形状而被分散。由此，在使用蒸镀掩模时，可抑制蒸镀掩模产生褶皱或扭曲等变形。

另外，将带状部与框状部连接的跨接部与带状部的边缘中的除弯曲部以外的部位连接。因此，在通过切断部的切断而形成的蒸镀掩模中，能够抑制在缺口的弯曲部残留有跨接部的一部分、或者弯曲部的一部分缺损。由此，弯曲部的形状被维持为能够使施加于蒸镀掩模的张力分散的形状。因此，在使用蒸镀掩模时，可抑制蒸镀掩模产生变形。

也可以是，在上述掩模中间体中，所述带状部的所述边缘包括所述一对第1边缘部及所述一对第2边缘部，所述带状部的各第2边缘部具有通过所述多个跨接部而与所述框状部连接的连接部位。

在制作蒸镀掩模中间体时，在对蒸镀掩模中间体赋予沿着长度方向的张力的状态下，蒸镀掩模中间体被输送。根据上述构成，由于带状部的第2缘部通过跨接部与框状部连接，因此在制作蒸镀掩模中间体时输送蒸镀掩模中间体时，带状部的长度方向的两端部持续被框状部支承。由此，即使沿着长度方向的张力的大小在长度方向的一方的端部与另一方的端部存在偏差，也能够抑制带状部的变形。

也可以是，在上述掩模中间体中，所述带状部的各第2边缘部具备具有追随所述蒸镀掩模的所述缺口的形状的缺口，所述带状部的各缺口被所述连接部位夹着。

根据上述构成，缺口的两侧通过跨接部与框状部连接。因此，与缺口的两侧中的仅一方通过跨接部而与框状部连接的情况相比，在蒸镀掩模中间体的制作中沿着长度方向输送蒸镀掩模中间体时，带状部持续被框状部支承。另外，与缺口的两侧中的仅一方通过跨接部而与框状部连接的情况相比，带状部相对于框状部不易位移。因此，在蒸镀掩模中间体的制作中沿着长度方向输送蒸镀掩模中间体时，抑制由于带状部与例如输送机构等接触而导致带状部的一部分弯曲。

也可以是，在上述掩模中间体中，所述带状部的各第2边缘部具备具有追随所述蒸镀掩模的所述缺口的形状的缺口，所述框状部的内侧边缘具备具有追随所述带状部的所述缺口的形状的突状边缘，所述带状部的各缺口包括所述弯曲部及从所述弯曲部沿所述长度方向延伸的一对直线部，各直线部通过所述跨接部而与所述突状边缘连接。

带状部中的夹着缺口的部分与带状部中的其他部分相比，在与长度方向正交的方向上的宽度较小。根据上述构成，通过使各直线部与突状边缘连接，能够提高各直线部与突状部的刚性。由此，可抑制带状部的变形。此外，可抑制突状边缘相对于带状部弯折。结果，在输送蒸镀掩模中间体时，能够抑制带状部的一部分或突状边缘被输送机构等钩挂。

也可以是，在上述蒸镀掩模中间体中，所述带状部的所述边缘包括所述一对第1边缘部及所述一对第2边缘部，所述带状部的各第1边缘部通过所述多个跨接部而与所述框状部连接。根据上述构成，在输送蒸镀掩模中间体时，带状部的第1缘部持续被框状部支承。因此，能够抑制各第1边缘部弯折，从而抑制带状部的变形。

也可以是，在上述蒸镀掩模中间体中，所述带状部的各第2边缘部具备具有追随所述蒸镀掩模的所述缺口的形状、且包含所述弯曲部的缺口，所述带状部的各第1边缘部在第1连接部位与所述框状部连接，所述带状部的各第2边缘部在第2连接部位通过所述多个跨接部而与所述框状部连接，与所述弯曲部相比，所述第1连接部位在所述长度方向上位于更靠近所述第2连接部位的位置。

在带状部中由第1缘部及第2缘部形成的角部相比于第2缘部的中央、第1缘部的中央，容易从框状部浮起。另外，在带状部中夹着缺口的部分相比于其他部分，刚性低与缺口存在相当的量。根据上述构成，第1连接部位位于比弯曲部靠近第2连接部位的位置，因此能够抑制带状部的角部相对于框状部浮起。因此，在蒸镀掩模中间体的制作中沿着长度方向输送蒸镀掩模中间体时，能够抑制角部被输送机构等钩挂。

也可以是，在上述蒸镀掩模中间体中，所述带状部包括具有多个贯通孔的掩模部，所述带状部的各第1边缘部在所述长度方向上，在不与所述掩模部重叠的部位，通过所述跨接部而与所述框状部连接。

根据上述构成，与在长度方向上跨接部与掩模部排列的情况相比，在蒸镀掩模中间体的制作中沿着长度方向输送蒸镀掩模中间体时，经由跨接部作用于掩模部的力得到缓和。因此，能够抑制掩模部所具有的贯通孔的变形。

也可以是，在上述蒸镀掩模中间体中，所述框状部具备脆弱部，该脆弱部具有沿着从所述框状部的所述内侧边缘朝向所述框状部的外侧边缘的方向延伸的线状，所述脆弱部的机械强度比所述框状部中的除所述脆弱部以外的部分的机械强度低。

根据上述构成，在框状部中，脆弱部的机械强度比框状部的除脆弱部之外的部分的机械强度低，因此，框状部容易沿着脆弱部被切断。而且，脆弱部的一个端部位于框状部的内侧边缘，因此，在从框状部拆下带状部时能够将内侧边缘所形成的环切断。由此，容易进行跨接部的切断。

实用新型效果

根据本实用新型，能够抑制蒸镀掩模的使用时的蒸镀掩模的变形。

附图说明

图1是表示蒸镀掩模中间体的构成的俯视图。

图2(a)是表示带状部具备的缺口的第1例的俯视图，图2(b)是表示带状部具备的缺口的第2例的俯视图。

图3(a)、图3(b)、图3(c)是将跨接部、在带状部中连接有跨接部的部位、以及在框状部中连接有跨接部的部位放大表示的俯视图。

图4(a)是表示掩模部所具备的贯通孔的第1例的剖视图，图4(b)是表示掩模部所具备的贯通孔的第2例的剖视图。

图5是表示蒸镀掩模中间体的第1例的构造的俯视图。

图6是表示蒸镀掩模中间体的第2例的构造的俯视图。

图7是表示蒸镀掩模中间体的第3例的构造的俯视图。

图8是表示蒸镀掩模中间体的第4例的构造的俯视图。

图9是表示蒸镀掩模中间体的第5例的构造的俯视图。

图10是表示蒸镀掩模中间体的第6例的构造的俯视图。

图11是表示蒸镀掩模中间体的第7例的构造的俯视图。

图12是表示蒸镀掩模中间体的第8例的构造的俯视图。

图13是表示蒸镀掩模中间体的第9例的构造的俯视图。

图14是表示具备蒸镀掩模的掩模装置的构造的俯视图。

图15(a)、图15(b)、图15(c)是将蒸镀掩模所具备的跨接痕放大表示的俯视图。

图16是表示蒸镀掩模中间体的变更例的构成的俯视图。

图17是将图16中的区域A放大表示的局部放大俯视图。

图18是将图16中的区域B放大表示的局部放大俯视图。

图19是将图16中的区域C放大表示的局部放大俯视图。

符号说明

10…蒸镀掩模中间体，10F…表面，10R…背面，11…带状部，11E、31E…边缘，11ED…跨接用凹陷，11H、13C1…贯通孔，11L、31L…第1边缘部，11LH…大孔、11M、31M…掩模部，11N、31N…缺口，11N1、31N1…弯曲部，11N2…直线部，11N3…曲线部，11SH…小孔，11W、31W…第2边缘部，12…框状部，12A…线状脆弱部，12A1…贯通部，12AD…下游侧脆弱部，12AU…上游侧脆弱部，12BD…下游侧贯通部，12BU…上游侧贯通部，12E…内侧边缘，12E1…突状边缘，12EA…突状边缘，31ED…凹陷，12F…外侧边缘，13…跨接部，13A、13B、13C…脆弱部，13C2…半蚀刻部，20…掩模装置、21…主框架，21H…主框架孔，31…蒸镀掩模，31A、31B、31C…跨接痕，H1…第1开口，H2…第2开口，R13…跨接区域，RN…非跨接区域，SH…台阶高度。

具体实施方式

参照图1至图16，对蒸镀掩模中间体及蒸镀掩模的一实施方式进行说明。以下，依次说明蒸镀掩模中间体的构成、掩模装置的构成。

[蒸镀掩模中间体的构成]

参照图1至图13对蒸镀掩模中间体的构成进行说明。

图1所示的蒸镀掩模中间体10是用于制造蒸镀掩模的金属板、即金属片。如图1所示，蒸镀掩模中间体10具有沿长度方向延伸的带状。在制造蒸镀掩模时，蒸镀掩模中间体10沿着长度方向由输送辊等输送机构输送。蒸镀掩模具有被一对第1边缘部及一对第2边缘部包围的带状。各第2边缘部比第1边缘部短，具备缺口。该缺口具有在第1缘部延伸的方向即长度方向上凹陷的U字状部分，U字状部分的底部为曲线。第1边缘部延伸的长度方向与蒸镀掩模中间体10的长度方向即输送方向平行。

如图1所示，蒸镀掩模中间体10具备带状部11、框状部12以及多个跨接部13。带状部11具有追随蒸镀掩模的边缘的形状。带状部11的边缘11E由一对第1边缘部11L及一对第2边缘部11W构成。框状部12具有追随带状部11的边缘11E的内侧边缘12E而包围带状部11。跨接部13将带状部11的边缘11E与框状部12的内侧边缘12E连接。带状部11通过各跨接部13的切断而形成蒸镀掩模。带状部11的各第2边缘部11W具有缺口11N。缺口11N具有追随蒸镀掩模的缺口的U字状部分，U字状部分的底部为曲线。缺口11N的边缘是具有追随蒸镀掩模的缺口的形状的凹状边缘。内侧边缘12E具备具有追随缺口11N的形状的突状边缘12E1。缺口11N包括追随蒸镀掩模所具有的缺口的底部的弯曲部11N1。各跨接部13与带状部11的边缘11E中的除弯曲部11N1以外的部位连接。

根据这样的蒸镀掩模中间体10，由带状部11形成的蒸镀掩模具有U字状部分，且U字状部分的底部具备作为曲线的缺口。因此，在通过将各第2缘部的缺口的两侧向一对第2缘部相互远离的方向拉伸而对蒸镀掩模施加了张力的情况下，作用于缺口的力通过缺口所具有的形状而被分散。由此，在使用蒸镀掩模时，可抑制蒸镀掩模产生褶皱或扭曲等变形。

另外，用于将带状部11与框状部12连接的跨接部13与带状部11的边缘11E中的除弯曲部11N1以外的部位连接。因此，在通过跨接部13的切断而形成的蒸镀掩模中，能够抑制在缺口的弯曲部残留有跨接部13的一部分、或者弯曲部的一部分缺损。由此，弯曲部的形状被维持为能够使施加于蒸镀掩模的张力分散的形状。因此，在使用蒸镀掩模时，可抑制蒸镀掩模产生变形。

带状部11包括多个掩模部11M。在各掩模部11M形成有贯通带状部11的多个贯通孔。多个掩模部11M沿着长度方向DL隔着间隔排列。另外，图1所示的带状部11包括3个掩模部11M，但各带状部11所包含的掩模部11M的个数能够任意地变更为1个以上的个数。

带状部11的边缘11E由包含通过跨接部13而与框状部12连接的连接部位的跨接区域R13、以及不包含该连接部位的非跨接区域RN构成。在图1所示的带状部11中，出于明确跨接区域R13与非跨接区域RN的区别的目的，沿着跨接区域R13实施了点状阴影。

跨接区域R13由一对第1缘部11L、各第2缘部11W中的除缺口11N以外的区域、以及各缺口11N中的除弯曲部11N1以外的区域构成。跨接区域R13中所包含的各区域具有沿着长度方向DL延伸的形状，或者具有沿着宽度方向DW延伸的形状。宽度方向DW是与长度方向DL正交的方向。非跨接区域RN由各弯曲部11N1构成。各弯曲部11N1是不具有沿着长度方向DL延伸的形状及沿着宽度方向DW延伸的形状中的任一方的区域。

多个跨接部13能够沿着跨接区域R13而配设。各跨接部13将跨接区域R13的一部分与框状部12连接。另外，在图1中，为了方便列举跨接部13可配置的位置，用虚线表示跨接部13。

图2(a)及图2(b)表示第2边缘部11W所具有的缺口11N的形状中的2个例子。图2(a)表示缺口11N的第1例，图2(b)表示缺口11N的第2例。

如图2(a)所示，在缺口11N的第1例中，缺口11N由弯曲部11N1及从弯曲部11N1沿长度方向DL延伸的一对直线部11N2构成。各直线部11N2在长度方向DL上延伸，并且，一对直线部11N2在宽度方向DW上隔开间隔排列。弯曲部11N1具有在从包含该弯曲部11N1的缺口11N朝向其他缺口11N的方向上凹陷的圆弧状。在缺口11N的第1例中，一对直线部11N2被包含于跨接区域R13。与此相对，弯曲部11N1被包含于非跨接区域RN。

如图2(b)所示，缺口11N的第2例具有大致抛物线状。缺口11N的第2例由一对曲线部11N3构成。一对曲线部11N3具有相对于从缺口11N的底部穿过且沿长度方向DL延伸的直线而相互对称的形状。各曲线部11N3沿着与长度方向DL交叉的方向延伸。在缺口11N的第2例中，缺口11N的整体为弯曲部。因此，缺口11N的整体被包含于非跨接区域RN。

在图3(a)、图3(b)、图3(c)中，在蒸镀掩模中间体10中，将1个跨接部13、以及通过该跨接部13连接的带状部11的一部分与框状部12的一部分放大表示。另外，在图3(a)、图3(b)、图3(c)中示出了将带状部11的边缘11E中的沿着宽度方向DW延伸的区域的一部分与框状部12连接的跨接部13。

如图3(a)所示，跨接部13具有从框状部12延伸到带状部11的形状。在本实施方式中，跨接部13具有矩形状。另外，跨接部13的形状只要是从框状部12延伸到带状部11的形状即可，能够变更为矩形状以外的任意的形状。带状部11的边缘11E具有跨接用凹陷11ED。在1个跨接用凹陷11ED连接有1个跨接部13。在跨接用凹陷11ED内，在宽度方向DW上的跨接部13的两侧，在跨接部13与带状部11之间形成有间隙。跨接用凹陷11ED是矩形的凹陷。跨接用凹陷11ED的形状不限于矩形状，例如也可以是圆弧状。

在跨接部13中，与带状部11连接的端部为基端部，与框状部12连接的端部为前端部。基端部具有机械强度比前端部低的脆弱部13A。脆弱部13A例如是对宽度方向DW上的基端部的一部分实施了半蚀刻加工的部位。脆弱部13A也可以是半蚀刻加工后的多个部位沿着基端部隔开间隔地排列的部位。另外，跨接部13也可以不具有脆弱部13A。

宽度方向DW上的跨接用凹陷11ED的宽度例如为1mm以上3mm以下。长度方向DL上的跨接用凹陷11ED的宽度例如为0.1mm以上0.3mm以下。跨接部13的厚度是加工前的金属片，与用于形成蒸镀掩模中间体的金属片的厚度相等。宽度方向DW上的跨接部13的宽度例如相对于宽度方向DW上的跨接用凹陷11ED的宽度而设定为70％以上80％以下。

在图3(a)所示的例子中，跨接部13的脆弱部13A由1个半蚀刻部构成。半蚀刻部是跨接部13中的被进行了半蚀刻加工的部位。在该情况下，宽度方向DW上的脆弱部13A的宽度例如相对于宽度方向DW上的跨接部13的宽度设定为50％以上80％以下。长度方向DL上的脆弱部13A的宽度例如相对于长度方向DL上的跨接用凹陷11ED的宽度设定为25％以上且50％以下。

通过使跨接部13具有脆弱部13A，在通过跨接部13的弯折来切断跨接部13的情况下，与跨接部13不具有脆弱部13A的情况相比，跨接部13的切断容易。另外，由于跨接部13的切断容易，所以跨接部13被切断后的痕迹即切断痕的形状不易产生偏差。另外，通过使跨接部13在基端部具有脆弱部13A，从而使得跨接部13的一部分不易残留于蒸镀掩模。因此，在沿着蒸镀掩模的长度方向对蒸镀掩模施加了张力的情况下，不易以蒸镀掩模中的跨接部13的残留部分为基点而在蒸镀掩模产生褶皱或扭曲等变形。

另外，通过使脆弱部13A位于跨接用凹陷11ED内，从而使得在通过跨接部13的弯折而切断了跨接部13的情况下，能够抑制跨接部13的残留部分比蒸镀掩模的边缘中的除残留部分以外的其他部分向外侧突出。另外，通过使脆弱部13A位于跨接用凹陷11ED内，从而使得在输送蒸镀掩模中间体10时，脆弱部13A被在边缘11E中划分跨接用凹陷11ED的区域相对于外部进行保护。由此，在输送蒸镀掩模中间体10时，能够抑制跨接部13从带状部11被切断。

此外，如图3(b)所示，带状部11的边缘11E也可以不具有跨接用凹陷11ED。在该情况下，跨接部13与带状部11的边缘11E、且具有沿着宽度方向DW延伸的形状的部分连接。另外，脆弱部13B也可以具有沿着宽度方向DW排列的多个贯通孔。

并且，也可以如图3(c)所示，脆弱部13C具有多个贯通孔13C1及多个半蚀刻部13C2。在该情况下，在脆弱部13C中，贯通孔13C1与半蚀刻部13C2在宽度方向DW上交替排列。

另外，即使在带状部11的边缘11E具有跨接用凹陷11ED的情况下，也可以是脆弱部具有多个贯通孔，还可以是，在脆弱部，贯通孔与半蚀刻部交替排列。另外，即使在带状部11的边缘11E不具有跨接用凹陷11ED的情况下，也可以是脆弱部由1个半蚀刻部构成。此外，也可以是，脆弱部具备多个半蚀刻部，多个半蚀刻部沿着脆弱部的延伸方向隔开间隔而排列。

图4(a)、图4(b)示出了沿着与蒸镀掩模中间体10的表面正交且沿长度方向DL延伸的平面的、掩模部11M的剖面构造。图4(a)示出了掩模部11M的第1例的剖面构造。图4(b)示出了掩模部11M的第2例的剖面构造。

如图4(a)所示，蒸镀掩模中间体10具备表面10F、以及作为与表面10F相反侧的面的背面10R。表面10F在蒸镀掩模被安装于蒸镀装置的状态下与蒸镀装置的蒸镀源对置。背面10R在蒸镀掩模被安装于蒸镀装置的状态下与玻璃基板等蒸镀对象对置。掩模部11M具有贯通蒸镀掩模中间体10的多个贯通孔11H。贯通孔11H的壁面相对于蒸镀掩模中间体10的厚度方向在剖视时具有倾斜度。贯通孔11H的壁面的形状是在剖视时朝向贯通孔11H的外侧展开的半圆弧状。此外，贯通孔11H的壁面的形状也可以是在剖视时具有多个折点的复杂的曲线状。

掩模部11M的厚度例如为15μm以下。由于掩模部11M的厚度为15μm以下，因此能够使形成于掩模部11M的贯通孔11H的深度为15μm以下。这样，如果是薄的蒸镀掩模中间体10，则能够减小贯通孔11H所具有的壁面的面积本身，另外，蒸镀掩模中间体10的厚度薄，因此蒸镀物质在贯通孔11H内飞行的距离短。由此，能够减少附着于贯通孔11H的壁面的蒸镀物质的量。另外，在蒸镀掩模中间体10中，掩模部11M以外的部分的厚度例如为25μm以下。在蒸镀掩模中间体10中，掩模部11M以外的部分的厚度与加工前的金属片、即形成带状部11、框状部12以跨接部13之前的金属片的厚度相等。

表面10F包括作为贯通孔11H的开口的第1开口H1。背面10R包括作为贯通孔11H的开口的第2开口H2。第1开口H1在与表面10F对置的俯视时比第2开口H2大。各贯通孔11H是从蒸镀源升华的蒸镀物质通过的通路。从蒸镀源升华的蒸镀物质从第1开口H1向第2开口H2前进。在贯通孔11H中，第1开口H1比第2开口H2大，因此能够增加从第1开口H1进入贯通孔11H的蒸镀物质的量。另外，在沿着表面10F的截面上的贯通孔11H的面积可以是从第2开口H2朝向第1开口H1而从第2开口H2至第1开口H1单调地增大，也可以是在从第2开口H2至第1开口H1的中途具有大致恒定的部位。

如图4(b)所示，在与表面10F对置的俯视时，第1开口H1比第2开口H2大。贯通孔11H由具有第1开口H1的大孔11LH及具有第2开口H2的小孔11SH构成。大孔11LH的截面积从第1开口H1朝向背面10R单调地减少。小孔11SH的截面积从第2开口H2朝向表面10F单调地减少。贯通孔11H的壁面在剖视时具有在大孔11LH与小孔11SH连接的部位、即蒸镀掩模中间体10的厚度方向的中间朝向贯通孔11H的内侧突出的形状。在贯通孔11H的壁面突出的部位与背面10R之间的距离为台阶高度SH。

另外，在掩模部11M的第1例中，台阶高度SH为零。从确保到达第2开口H2的蒸镀物质的量的观点出发，优选台阶高度SH为零。在带状部11具备掩模部11M的第1例的情况下，加工前的金属片的厚度薄至能够通过从单面对金属片进行湿式蚀刻来形成贯通孔11H的程度。如上所述，加工前的金属片的厚度例如为25μm以下。另外，在带状部11具备掩模部11M的第2例的情况下，掩模部11M的厚度例如为25μm以下。另外，在该情况下，加工前的金属片的厚度例如为50μm以下。

[蒸镀掩模中间体的例子]

以下，参照图5至图13，对蒸镀掩模中间体10中的9个例子进行说明。在蒸镀掩模中间体10中的9个例子中，带状部11的边缘11E中的通过跨接部13而与框状部12连接的区域互不相同。另外，在各例的蒸镀掩模中间体10中，带状部11具备缺口11N的第1例。然而，在以下说明的蒸镀掩模中间体10的第1例(参照图5)、第2例(参照图6)以及第4例～第6例(参照图8至图10)以及第9例(参照图13)中，也可以是带状部11具备第2例的缺口11N。

[第1例]

如图5所示，带状部11的各第2边缘部11W通过多个跨接部13而与框状部12连接。在制作蒸镀掩模中间体10时，在对蒸镀掩模中间体10施加了沿着长度方向DL的张力的状态下，蒸镀掩模中间体10被输送。在本例中，带状部11的第2缘部11W通过跨接部13而与框状部12连接。因此，在制作蒸镀掩模中间体10时而蒸镀掩模中间体10被输送时，带状部11的长度方向DL的两端部持续被框状部12支承。由此，即使沿着长度方向DL的张力的大小在长度方向DL的一方的端部与另一方的端部存在偏差，也能够抑制带状部11的变形。

特别是，如果是带状部11的第2边缘部11W持续被框状部12支承的构成，则在输送蒸镀掩模中间体10时，可抑制第2边缘部11W弯折或卷曲，抑制带状部11的变形。

带状部11的各缺口11N在第2边缘部11W延伸的方向上被跨接部13进行连接的连接部位夹着。由此，宽度方向DW上的缺口11N的两侧通过跨接部13与框状部12连接。因此，与宽度方向DW上的缺口11N的两侧中的仅一方通过跨接部13而与框状部12连接的情况相比，在输送蒸镀掩模中间体10时，带状部11持续被框状部12支承。另外，与宽度方向DW上的缺口11N的两侧中的仅一方通过跨接部13而与框状部12连接的情况相比，带状部11相对于框状部12不易位移。因此，在输送蒸镀掩模中间体10时，能够抑制由于带状部11与例如输送机构等接触而导致带状部11的一部分弯折。

在宽度方向DW上，缺口11N被一对第2边缘要素夹持。各第2边缘要素沿着宽度方向DW延伸。在各第2边缘部11W中，连接部位位于各第2边缘要素，而不位于缺口11N的直线部11N2。

优选的是，在宽度方向DW上的缺口11N的两侧各配置多个连接部位。与连接部位为1个的情况相比，容易在第2边缘部11W整体获得抑制第2边缘部11W的弯折的效果。并且，优选的是，在宽度方向DW上的缺口11N的两侧，连接部位分别配设有多个且为相同数量。由此，与带状部11被框状部12支承的部位的数量在宽度方向DW上的缺口11N的两侧互不相同的情况相比，能够抑制1个连接部位所支承的载荷产生偏差。因此，能够抑制载荷的偏差在宽度方向DW上的缺口11N的两侧产生互不相同的变形。

优选的是，在宽度方向DW上的缺口11N的两侧，多个连接部位隔开相等间隔而配设。由此，与其他部分相比，在连接部位的密度较低的部分，可抑制第2边缘部11W挠曲。

与一对第2缘部11W中的一方的第2缘部11W连接的多个跨接部13构成第1跨接部群，与另一方的第2缘部11W连接的多个跨接部13构成第2跨接部群。优选的是，在宽度方向DW上，隶属于第1跨接部群的各跨接部13的位置与隶属于第2跨接部群的1个跨接部13的位置相等。由此，与宽度方向DW上的连接部位的数量、位置在一对第2缘部11W中彼此不同的情况相比，能够抑制1个连接部位所支承的载荷产生偏差。因此，能够抑制载荷的偏差在一对第2边缘部11W中产生相互不同的变形。

[第2例]

如图6所示，在蒸镀掩模中间体10的第2例中，除各第2边缘部11W以外，各第1边缘部11L也通过多个跨接部13而与框状部12连接。因此，在输送蒸镀掩模中间体10时，能够抑制各第1边缘部11L弯折，抑制带状部11的变形。优选的是，与各第1边缘部11L连接的多个跨接部13包含在长度方向DL上隔开相等间隔而配设的跨接部13。由此，能够抑制第1边缘部11L的挠曲的程度在彼此相邻的跨接部13间的每个区域不同。结果，在输送蒸镀掩模中间体10时，在沿着长度方向DL对蒸镀掩模中间体10施加了一定的张力的情况下，能够抑制蒸镀掩模中间体10的形状在长度方向DL上产生偏差。

优选的是，一对第1边缘部11L通过彼此相同数量的跨接部13而与框状部12连接。与一对第1缘部11L中的一方的第1缘部11L连接的多个跨接部13构成第1跨接部群，与另一方的第1缘部11L连接的多个跨接部13构成第2跨接部群。优选的是，在长度方向DL上，隶属于第1跨接部群的各跨接部13的位置与隶属于第2跨接部群的1个跨接部13的位置相等。由此，与长度方向DL上的连接部位的数量、位置在一对第1缘部11L相互不同的情况相比，能够抑制1个连接部位所支承的载荷产生偏差。因此，能够抑制载荷的偏差在一对第1边缘部11L中产生相互不同的变形。

优选的是，第1跨接部群及第2跨接部群各自包含在长度方向DL上位于比各缺口11N的底部更靠近包含该缺口11N的第2边缘部11W被连接的端部的位置的跨接部13。即，带状部11的各第1边缘部11L在第1连接部位与框状部12连接，带状部11的各第2边缘部11W在第2连接部位与框状部连接。优选的是，第1连接部位在长度方向DL上位于比弯曲部11N1更靠近第2连接部位的位置。换言之，优选的是，第1连接部位在长度方向DL上位于比弯曲部11N1靠外侧的位置。

在带状部11中，由第2边缘部11W及第1边缘部11L形成的角部与第2边缘部11W的中央、第1边缘部11L的中央相比，容易从框状部12浮起。另外，带状部11中的夹着缺口11N的部分与其他部分相比刚性低与缺口11N的存在相当的量。只要是在比缺口11N的底部靠端部的位置将第1缘部11L与框状部12连接的构成，则能够抑制由第2缘部11W及第1缘部11L形成的角部相对于框状部12弯折。因此，在输送蒸镀掩模中间体10时，能够抑制角部被输送机构等钩挂。

换言之，由于第1连接部位位于比弯曲部11N1更靠近第2连接部位的位置，因此能够抑制带状部11的角部相对于框状部12浮起。因此，在蒸镀掩模中间体10的制作中将蒸镀掩模中间体10沿长度方向DL输送时，能够抑制角部被输送机构等钩挂。

各第1边缘部11L在长度方向DL上，在不与掩模部11M重叠的部位，通过跨接部13而与框状部12连接。在长度方向DL上，相互相邻的掩模部11M之间的区域是非蒸镀区域。第1边缘部11L所包含的连接部位被包含于沿着宽度方向DW延长了非蒸镀区域的区域。因此，与在长度方向DL上跨接部13与掩模部11M排列的情况相比，在输送蒸镀掩模中间体10时，经由跨接部13作用于掩模部11M的力得到缓和。因此，能够抑制掩模部11M所具有的贯通孔11H的变形。

[第3例]

如图7所示，在蒸镀掩模中间体10的第3例中，除一对第2缘部11W及一对第1缘部11L以外，各缺口11N也通过跨接部13而与框状部12连接。在各缺口11N，各直线部11N2通过跨接部13而与进入缺口11N中的框状部12的突状边缘12E1连接。带状部11中的夹着缺口11N的部分与带状部11中的其他部分相比，在与长度方向DL正交的方向上的宽度较小。通过将各直线部11N2与框状部12连接，能够提高各直线部11N2与突状边缘12E1的刚性，抑制各直线部11N2相对于框状部12弯折。由此，可抑制带状部11的变形。此外，能够抑制框状部12的内侧边缘12E的突状边缘12E1相对于带状部11弯折。由此，在输送蒸镀掩模中间体10时，能够抑制框状部12的一部分被输送机构等钩挂。

优选的是，各直线部11N2包含多个连接部位。与连接部位为1个的情况相比，使得可获得抑制各直线部11N2弯折的效果的区域在直线部11N2扩大。优选的是，各直线部11N2中的多个连接部位在长度方向DL上隔开相等的间隔排列。由此，能够抑制直线部11N2中的挠曲程度在彼此相邻的连接部位间的每个区域中不同的情况。

优选的是，一对直线部11N2通过彼此相同数量的跨接部13而与框状部12连接。与一对直线部11N2中的一方的直线部11N2连接的多个跨接部13构成第1跨接部群，与另一方的直线部11N2连接的多个跨接部13构成第2跨接部群。优选的是，在宽度方向DW上，隶属于第1跨接部群的各跨接部13的位置与隶属于第2跨接部群的1个跨接部13的位置相等。由此，与在长度方向DL上直线部11N2被框状部12支承的部位的数量、位置在一对直线部11N2中互不相同的情况相比，能够抑制1个连接部位所支承的载荷产生偏差。因此，能够抑制在一对直线部11N2中产生相互不同的变形。

各第1边缘部11L在长度方向DL上，在比各缺口11N的底部更靠近包含该缺口11N的第2边缘部11W被连接的端部的位置不具有连接部位。在本例中，在各缺口11N，由于一对直线部11N2与框状部12连接，因此在各第1边缘部11L中，能够省略比各缺口11N的底部更靠近包含该缺口11N的第2边缘部11W被连接的端部的位置的连接部位。这样，根据直线部11N2所包含的连接部位，1个连接部位在框状部12的内侧边缘12E能够实现追随缺口11N的区域弯折的抑制、以及带状部11的端部的支承。

第2边缘部11W包含在宽度方向DW上夹着缺口11N的一对第2边缘要素。优选的是，各直线部11N2中的连接部位的每单位长度的个数即密度比各第2边缘要素中的连接部位的密度高。

[第4例]

如图8所示，在蒸镀掩模中间体10的第4例中，除一对第2边缘部11W以外，一对第1边缘部11L也通过跨接部13而与框状部12连接。各第1边缘部11L在长度方向DL上比弯曲部11N1更靠近包含该弯曲部11N1的第2边缘部11W被连接的端部的位置，通过跨接部13而与框状部12连接。

优选的是，各第1边缘部11L通过多个跨接部13而与框状部12连接，并且，多个跨接部13在长度方向DL上位于比弯曲部11N1更靠近包含该弯曲部11N1的第2边缘部11W被连接的端部的位置。由此，能够通过偏靠各第1边缘部11L的端部的位置的多个跨接部13来支承长度方向DL上的带状部11的载荷。因此，能够省略在长度方向DL上位于被一对缺口11N夹着的区域的跨接部13。因此，在输送蒸镀掩模中间体10时，能够抑制外力经由跨接部13作用于掩模部11M。结果，能够抑制掩模部11M所具有的贯通孔11H的变形。

另外，各第1边缘部11L在长度方向DL上比弯曲部11N1更靠近包含该弯曲部11N1的第2边缘部11W被连接的端部的位置与框状部12连接，由此，与蒸镀掩模中间体10的第2例同样，可抑制由第2边缘部11W及第1边缘部11L形成的角部相对于框状部12浮起。

优选的是，各第1边缘部11L通过相同数量的跨接部13与框状部12连接。在一对第1缘部11L中，连接一方的第1缘部11L的多个跨接部13构成第1跨接部群，连接另一方的第1缘部11L的多个跨接部13构成第2跨接部群。优选的是，在长度方向DL上，隶属于第1跨接部群的各跨接部13的位置与隶属于第2跨接部群的1个跨接部13的位置相等。由此，与在长度方向DL上被框状部12支承的部位的数量、位置在一对第1缘部11L中相互不同的情况相比，能够抑制1个连接部位所支承的载荷产生偏差。因此，能够抑制载荷的偏差在一对第1边缘部11L中产生相互不同的变形。

[第5例]

如图9所示，在蒸镀掩模中间体10的第5例中，带状部11仅在一对第1缘部11L通过跨接部13与框状部12连接。各第1边缘部11L包括在长度方向DL上比弯曲部11N1更靠近包含该弯曲部11N1的第2边缘部11W被连接的端部的连接部位。各第1边缘部11L还在长度方向DL上在与弯曲部11N1重叠的位置也包含连接部位。

这样，各第1边缘部11L在从缺口11N的底部起到包含该缺口11N的第2边缘部11W被连接的端部为止之间，通过多个跨接部13而与框状部12连接。由此，能够通过偏靠各第1边缘部11L的端部的位置的多个跨接部13来支承长度方向DL及宽度方向DW上的带状部11的载荷。因此，在本例中，能够省略在长度方向DL上位于被一对缺口11N夹着的区域的跨接部13。因此，在输送蒸镀掩模中间体10时，能够抑制外力经由跨接部13作用于掩模部11M。结果，能够抑制掩模部11M所具有的贯通孔11H的变形。

另外，各第1边缘部11L在长度方向DL上比弯曲部11N1更靠近包含该弯曲部11N1的第2边缘部11W被连接的端部的位置与框状部12连接，由此，与蒸镀掩模中间体10的第2例同样，可抑制由第2边缘部11W及第1边缘部11L形成的角部相对于框状部12浮起。

与一对第1缘部11L中的一方的第1缘部11L连接的多个跨接部13构成第1跨接部群，与另一方的第1缘部11L连接的多个跨接部13构成第2跨接部群。优选的是，在长度方向DL上，隶属于第1跨接部群的各跨接部13的位置与隶属于第2跨接部群的1个跨接部13的位置相等。由此，与在长度方向DL上被框状部12支承的部位的数量、位置在一对第1缘部11L中相互不同的情况相比，能够抑制1个连接部位所支承的载荷产生偏差。因此，能够抑制载荷的偏差在一对第1边缘部11L中产生相互不同的变形。

[第6例]

如图10所示，在蒸镀掩模中间体10的第6例中，带状部11在一对第1边缘部11L的基础上，还在一对第2边缘部11W通过跨接部13与框状部12连接。各第2边缘部11W在由第2边缘要素及直线部11N2形成的角部包含1个连接部位。

由此，在带状部11中，由第2边缘要素及直线部11N2形成的角部被框状部12支承。因此，能够抑制由第2边缘要素及直线部11N2形成的角部相对于框状部12浮起。因此，在输送蒸镀掩模中间体10时，进一步抑制蒸镀掩模中间体10变形。

[第7例]

如图11所示，在蒸镀掩模中间体10的第7例中，带状部11除一对第1边缘部11L以外，还在一对直线部11N2通过跨接部13与框状部12连接。各直线部11N2包括位于比长度方向DL上的直线部11N2的中央部更靠近包含具备该直线部11N2的缺口11N的第2边缘部11W的第2边缘要素的位置的1个连接部位。

由此，在带状部11中，由第2边缘要素及直线部11N2形成的角部的附近被框状部12支承。因此，能够抑制由第2边缘要素及直线部11N2形成的角部相对于框状部12浮起。因此，在输送蒸镀掩模中间体10时，进一步抑制蒸镀掩模中间体10变形。

[第8例]

如图12所示，在蒸镀掩模中间体10的第8例中，带状部11除一对第1边缘部11L以外，还在一对直线部11N2通过跨接部13与框状部12连接。各直线部11N2包括多个连接部位。多个连接部位包括位于比长度方向DL上的直线部11N2的中央部更靠近包含具备该直线部11N2的缺口11N的第2边缘部11W的第2边缘要素的位置的连接部位。

由此，在带状部11中，由第2边缘要素及直线部11N2形成的角部的附近被框状部12支承。因此，能够抑制由第2边缘要素及直线部11N2形成的角部相对于框状部12浮起。

此外，在本例中，与第7例相比，在直线部11N2中，在靠近弯曲部11N1的位置也配设连接部位。由此，框状部12的突状边缘12E1由带状部11支承。因此，可抑制突状边缘12E1相对于带状部11浮起。

[第9例]

如图13所示，在蒸镀掩模中间体10的第9例中，各第2边缘部11W包含多个缺口11N。在各第2边缘部11W中，多个缺口11N以等间隔排列。因此，与多个缺口11N不规则地排列的情况相比，在通过将由带状部11形成的蒸镀掩模以使一对第2缘部11W相互离开的方式进行拉拽、而作用了沿着长度方向的张力的情况下，能够抑制在蒸镀掩模的宽度方向上作用于蒸镀掩模的张力产生偏差。因此，可抑制蒸镀掩模产生褶皱或扭曲等变形。

在第2边缘部11W中，沿着宽度方向DW延伸的区域是第2边缘要素。带状部11在第2边缘要素通过跨接部13与框状部12连接。优选的是，在第2边缘部11W，各第2边缘要素具有1个以上的连接部位。优选的是，各第2边缘要素具有多个且相同数量的连接部位。由此，能够抑制在宽度方向DW上第2边缘部11W产生挠曲。

与一对第2缘部11W中的一方的第2缘部11W连接的多个跨接部13构成第1跨接部群，与另一方的第2缘部11W连接的多个跨接部13构成第2跨接部群。优选的是，在宽度方向DW上，隶属于第1跨接部群的各跨接部13的位置与隶属于第2跨接部群的1个跨接部13的位置相等。由此，与在宽度方向DW上被框状部12支承的部位的数量在一对第2缘部11W中彼此不同的情况相比，能够抑制1个连接部位所支承的载荷产生偏差。因此，能够抑制载荷的偏差在一对第2边缘部11W中产生相互不同的变形。

与蒸镀掩模中间体10的第3例同样，各第1边缘部11L在长度方向DL上，在不与掩模部11M重叠的部位通过跨接部13与框状部12连接。

[掩模装置的构成]

参照图14及图15(a)、图15(b)、图15(c)，对掩模装置的构成进行说明。

如图14所示，掩模装置20具备主框架21及多个蒸镀掩模31。主框架21具有支承多个蒸镀掩模31的矩形框状，安装于用于进行蒸镀的蒸镀装置。主框架21在各蒸镀掩模31所位于的范围的大致整体上具有贯通主框架21的主框架孔21H。

各蒸镀掩模31是从蒸镀掩模中间体10、通过跨接部13的切断而拆下的带状部11，该蒸镀掩模中间体10具备由一对第1边缘部11L及一对第2边缘部11W包围的带状部11、包围该带状部11的框状部12、以及与带状部11及框状部12连接的多个跨接部13。蒸镀掩模31具有由一对第1边缘部31L及一对第2边缘部31W包围的带状。各第2边缘部31W比第1边缘部31L短，且具备向第1边缘部31L的长度方向凹陷的U字状的缺口31N，U字状部分的底部为曲线。蒸镀掩模31的边缘31E具备作为缺口31N的底部的弯曲部31N1。跨接部13的被切断的痕迹即跨接痕在蒸镀掩模31的边缘31E中所存在的部位是弯曲部31N1以外的部位。蒸镀掩模31具备沿着蒸镀掩模31的长度方向排列的多个掩模部31M。各蒸镀掩模31的第2边缘部31W在被施加一对第2边缘部31W彼此远离的方向的张力的状态下安装于主框架21。另外，蒸镀掩模31的缺口31N也可以在与蒸镀掩模31对置的俯视时位于比主框架21靠外侧的位置。

另外，蒸镀掩模31中的一对第1边缘部31L与带状部11中的一对第1边缘部11L对应。蒸镀掩模31中的一对第2边缘部31W与带状部11中的一对第2边缘部11W对应。蒸镀掩模31中的边缘31E与带状部11中的边缘11E对应。蒸镀掩模31中的缺口31N与带状部11中的缺口11N对应。蒸镀掩模31中的弯曲部31N1与带状部11中的弯曲部11N1对应。蒸镀掩模31的掩模部31M与带状部11的掩模部11M对应。

图15(a)、图15(b)、图15(c)中放大示出了蒸镀掩模31所具有的多个跨接痕中的1个。需要说明的是，图15(a)示出了具备使用图3(a)在先说明的跨接部13的情况下的跨接痕。与此相对，图15(b)示出了具备使用图3(b)在先说明的跨接部13的情况下的跨接痕。图15(c)示出了具备使用图3(c)在先说明的跨接部13的情况下的跨接痕。另外，以下，对蒸镀掩模31为从蒸镀掩模中间体10的第1例得到的蒸镀掩模的情况进行说明。另外，在蒸镀掩模31由蒸镀掩模中间体10的第2例至第9例的任意一个得到的情况下，蒸镀掩模31也能够具备以下说明的跨接痕。

如图15(a)所示，第2边缘部31W具备向与缺口31N凹陷的方向相同的方向凹陷的凹陷31ED。凹陷31ED是矩形的凹陷。凹陷31ED与带状部11的第2边缘部11W所具有的1个跨接用凹陷11ED对应。1个跨接痕31A位于凹陷31ED内。跨接痕31A与上述的脆弱部13A对应。跨接痕31A是脆弱部13A的一部分朝向蒸镀掩模31的表面折弯的折弯部。折弯部通过在从带状部11切断跨接部13时，带状部11的连接部位朝向带状部11的表面卷起而形成。

如图15(b)所示，蒸镀掩模31的第2边缘部31W所具有的各跨接痕31B由具有多个圆弧状的凹陷、以及多个折弯部构成。在各跨接痕31B中，凹陷及折弯部交替排列。折弯部是蒸镀掩模31的边缘31E的一部分朝向蒸镀掩模31的表面折弯的部位。折弯部通过在从带状部11切断跨接部13时带状部11的连接部位朝向带状部11的表面卷起而形成。跨接痕31B的凹陷与脆弱部13B所具有的贯通孔对应。与此相对，跨接痕31B的折弯部与跨接部13的基端部的除贯通孔以外的部位对应。

如图15(c)所示，蒸镀掩模31的第2边缘部31W所具有的各跨接痕31C与跨接痕31B同样，由具有多个圆弧状的凹陷、以及多个折弯部构成。但是，跨接痕31C的折弯部的折弯量比跨接痕31B的折弯部的折弯量小。

另外，如跨接痕31A、31B、31C那样，在跨接痕31A、31B、31C具有折弯部的情况下，优选折弯部在蒸镀掩模31中朝向包含第1开口H1的面折弯。由此，即使跨接痕31A、31B、31C具有折弯部，也能够抑制蒸镀掩模31从主框架21浮起与折弯部相当的量。

另外，蒸镀掩模31也可以具有朝向边缘31E的外侧突出且沿着蒸镀掩模31所延展的平面延伸的跨接痕。或者，蒸镀掩模31也可以具有朝向边缘31E的内侧凹陷的跨接痕。

如以上说明的那样，根据蒸镀掩模中间体及蒸镀掩模的一实施方式，能够得到以下记载的效果。

(1)由带状部11形成的蒸镀掩模31具备包含U字状部分且U字状部分的底部为曲线状的缺口31N。因此，在通过对各第2边缘部31W中的缺口31N的两侧向一对第2边缘部31W彼此远离的方向进行拉拽而对蒸镀掩模31施加了张力的情况下，作用于缺口31N的力通过缺口31N所具有的形状而被分散。由此，在使用蒸镀掩模31时，能够抑制在蒸镀掩模31产生褶皱或扭曲等变形。

(2)使带状部11与框状部12连接的跨接部13在带状部11的边缘11E中与弯曲部11N1以外的部位连接。因此，在通过跨接部13的切断而形成的蒸镀掩模31中，能够抑制在缺口31N的弯曲部31N1残留有跨接部13的一部分、或者弯曲部31N1的一部分缺损。由此，弯曲部31N1的形状被维持为能够使施加于蒸镀掩模31的张力分散的形状。因此，在使用蒸镀掩模31时，可抑制在蒸镀掩模31产生变形。

(3)在输送蒸镀掩模中间体10时，带状部11的第2边缘部11W持续被框状部12支承。因此，能够抑制各第2边缘部11W从框状部12浮起，抑制带状部11的变形。

(4)缺口11N的两侧通过跨接部13与框状部12连接。因此，与缺口11N的两侧中的仅一方通过跨接部13与框状部12连接的情况相比，在搬运蒸镀掩模中间体10时，带状部11持续被框状部12支承。另外，与缺口11N的两侧中的仅一方通过跨接部13与框状部12连接的情况相比，带状部11不易相对于框状部12位移。因此，在输送蒸镀掩模中间体10时，能够抑制由于带状部11与例如输送机构等接触而导致带状部11的一部分弯折。

(5)通过将各直线部11N2与突状边缘12E1连接，能够提高各直线部11N2与突状边缘12E1的刚性。由此，可抑制带状部11的变形。此外，可抑制突状边缘12E1相对于带状部11弯折。结果，在输送蒸镀掩模中间体10时，可抑制带状部11的一部分或突状边缘12E1被搬送机构等钩挂。

(6)在输送蒸镀掩模中间体10时，带状部11的第1边缘部11L持续被框状部12支承。因此，能够抑制各第1边缘部11L弯折，抑制带状部11的变形。

(7)第1缘部11L在比弯曲部11N1更靠近端部的位置与框状部12连接，因此能够抑制带状部11的角部相对于框状部12浮起。因此，在输送蒸镀掩模中间体10时，能够抑制角部被输送机构等钩挂。

(8)与在长度方向DL上跨接部13及掩模部11M排列的情况相比，在输送蒸镀掩模中间体10时，经由跨接部13作用于掩模部11M的力被缓和。因此，能够抑制掩模部11M所具有的贯通孔11H的变形。

另外，上述的实施方式能够如以下那样适当变更而实施。

[连接部位的位置]

·关于与一对第1边缘部11L、或者一对第2边缘部11W分别建立了对应的2个跨接部群，也可以如以下那样变更。即，也可以是，隶属于第1跨接部群的各跨接部的位置在隶属于第1跨接部群的多个跨接部排列的方向上，与隶属于第2跨接部群的多个跨接部的位置不相等。

·连接部位只要能够通过框状部12支承带状部11即可，可以位于一对第1缘部11L中的仅一方的第1缘部11L，也可以位于一对第2缘部11W中的仅一方的第2缘部11W。

[跨接痕]

·也可以是，蒸镀掩模31所具备的多个跨接痕中包含具有第1形状的跨接痕、以及具有与第1形状不同的第2形状的跨接痕。

[跨接部]

·也可以是，通过上述的脆弱部位于带状部11与框状部12之间，从而，带状部11与框状部12通过脆弱部而彼此连接。该情况下，脆弱部中所包含的金属片材的一部分为跨接部。换言之，脆弱部中的除贯通孔以外的部分为跨接部。

例如参照图3(a)所说明的那样脆弱部13A由1个半蚀刻部构成的情况下，脆弱部13A整体为跨接部。此外，如参照图3(b)所说明的那样脆弱部13B具有多个贯通孔的情况下，脆弱部13B之中位于贯通孔之间的部分为跨接部。此外，如参照图3(c)所说明的那样脆弱部13C包括多个贯通孔13C1和多个半蚀刻部部13C2、且贯通孔13C1与半蚀刻部部13C2交替排列的情况下，半蚀刻部部13C2为跨接部。此外，在脆弱部中多个半蚀刻部部隔开间隔而排列的情况下，脆弱部整体为跨接部。

[线状脆弱部]

·如图16所示，框状部12能够具备沿着从框状部12的内侧边缘12E朝向框状部12的外侧边缘12F的方向延伸的线状脆弱部12A。在图16所示的例子中，线状脆弱部12A沿着与长度方向DL交叉的方向延伸。另外，线状脆弱部12A的一端部位于内侧边缘12E中的沿着长度方向DL延伸的部分，线状脆弱部12A的另一端部位于框状部12的内部。

蒸镀掩模中间体10具备多个线状脆弱部12A。多个线状脆弱部12A包括在蒸镀掩模中间体10的输送方向上位于比掩模部11M靠上游的位置的上游侧脆弱部12AU及位于比掩模部11M靠下游的位置的下游侧脆弱部12AD。在上游侧脆弱部12AU中，上游侧脆弱部12AU的一端部与内侧边缘12E中的沿着长度方向DL延伸且位于比掩模部11M靠上游的位置的部分相连。另一方面，在下游侧脆弱部12AD中，下游侧脆弱部12AD的一端部与内侧边缘12E中的沿着长度方向DL延伸且位于比掩模部11M靠下游的位置的部分相连。

蒸镀掩模中间体10在宽度方向DW上的2个带状部11之间具有2个上游侧脆弱部12AU及2个下游侧脆弱部12AD。2个上游侧脆弱部12AU在宽度方向DW上排列，朝向内侧边缘12E中的包围互不相同的带状部11的部分延伸。2个下游侧脆弱部12AD在宽度方向DW上排列，向内侧边缘12E中的包围互不相同的带状部11的部分延伸。

另外，蒸镀掩模中间体10具有在宽度方向DW上夹着2个带状部11的一对上游侧脆弱部12AU及在宽度方向DW上夹着2个带状部11的一对下游侧脆弱部12AD。另外，蒸镀掩模中间体10只要具备这些线状脆弱部12A中的至少1个即可。

线状脆弱部12A的机械强度比框状部12中的除线状脆弱部12A以外的部分的机械强度低。因此，框状部12容易沿着线状脆弱部12A切断。而且，由于线状脆弱部12A的一方的端部位于框状部12的内侧边缘12E，因此在从框状部12拆下带状部11时能够使内侧边缘12E形成的环切断。由此，容易进行跨接部13的切断。

在从带状部11形成蒸镀掩模时，首先，在长度方向DL上的规定的位置，沿着宽度方向DW将蒸镀掩模中间体10切断。由此，得到仅具有沿着宽度方向DW排列的2个带状部11的蒸镀掩模中间体10。接着，通过沿着线状脆弱部12A使框状部12切断，从而使包围带状部11的内侧边缘12E的环切断。然后，通过弯折跨接部13而从带状部11切断跨接部13。由此，能够从带状部11形成蒸镀掩模。

图17放大示出了图16所示的区域A，另外，图18放大示出了图16所示的区域B。图19放大示出了图16所示的区域C。另外，区域A包含2个上游侧脆弱部12AU的上游端部，另外，区域B包含2个下游侧脆弱部12AD的下游端部。区域C包含下游侧脆弱部12AD的上游端部、以及内侧边缘12E中的与上游端部连接的部分。

如图17所示，各上游侧脆弱部12AU的上游端部与贯通框状部12的上游侧贯通部12BU连接。2个上游侧贯通部12BU在宽度方向DW上隔开规定的间隔排列。在从带状部11形成蒸镀掩模31时，例如利用能够将框状部12切断的器具，切断框状部12中的在宽度方向DW上被2个上游侧贯通部12BU夹着的部分，由此形成切断片。接着，通过朝向与蒸镀掩模中间体10延展的平面交叉的方向提拉切断片，能够使切断2个上游侧脆弱部12AU的力同时作用于2个上游侧脆弱部12AU。

另外，在宽度方向DW上夹着2个带状部11的一对上游侧脆弱部12AU各自中，上游端部也与上游侧贯通部12BU连接。

如图18所示，框状部12具备与下游侧脆弱部12AD的下游端部相连的被把持片12C及包围被把持片12C的下游侧贯通部12BD。由此，能够通过器具或者通过人的手指把持下游侧脆弱部12AD的下游端部，因此容易使切断下游侧脆弱部12AD的力作用于下游侧脆弱部12AD。通过朝向与蒸镀掩模中间体10延展的平面交叉的方向提起被把持片12C，能够使切断2个下游侧脆弱部12AD的力同时作用于2个下游侧脆弱部12AD。

另外，在宽度方向DW上夹着2个带状部11的一对下游侧脆弱部12AD的各自中，下游端部也与被把持片12C连接，并且被把持片12C也被下游侧贯通部12BD包围。

此外，如图19所示，也可以是，框状部12的内侧边缘12E具有向该内侧边缘12E所包围的框状部12的从第1边缘部11L离开的方向凹陷的凹陷12EA。在从与蒸镀掩模中间体10的表面10F对置的方向观察时，凹陷12EA具有矩形状。下游侧脆弱部12AD的上游端部与内侧边缘12E的凹陷12EA连接。另外，下游侧脆弱部12AD的上游端部能够与凹陷12EA之中、位于最下游侧的边的从一端朝向另一端的中途连接。

通过内侧边缘12E具有凹陷12EA、且下游侧脆弱部12AD与凹陷12EA连接，从而，在沿着下游侧脆弱部12AD切断框状部12时，能够抑制用于切断框状部12的外力作用于带状部11。由此，抑制了带状部11所具有的掩模部11M被作用外力。此外，上游端部位于凹陷12EA之中位于最下游侧的边的除一端和另一端以外的部分，由此，容易切断下游侧脆弱部12AD。

另外，内侧边缘12E不限于在与各下游侧脆弱部12AD连接的部位、也能够在与各上游侧脆弱部12AU连接的部位也具有凹陷12EA，由此，能够得到与上述的由凹陷12EA带来的效果同等的效果。

在图17至图19所示的例子中，线状脆弱部12A具有隔开间隔排列的多个贯通部12A1。线状脆弱部12A可以由1个半蚀刻部形成，也可以具有隔开间隔排列的多个半蚀刻部。或者，线状脆弱部12A也可以具有多个半蚀刻部及多个贯通孔，在线状脆弱部12A中，半蚀刻部与贯通部交替排列。

另外，与上游侧脆弱部12AU的上游端部连接的上游侧贯通部12BU也可以变更为与下游侧脆弱部12AD连接的被把持片12C以及包围被把持片12C的下游侧贯通部12BD。或者，与下游侧脆弱部12AD的下游端部连接的被把持片12C以及包围被把持片12C的下游侧贯通部12BD也可以变更为与上游侧脆弱部12AU的上游端部连接的上游侧贯通部12BU。

[蒸镀掩模中间体]

·蒸镀掩模中间体除金属片以外，还可以具备层叠于金属片的树脂层。在该情况下，由蒸镀掩模中间体形成的蒸镀掩模也由金属片及树脂层形成。或者，蒸镀掩模中间体可以具备2张金属片及在蒸镀掩模中间体的厚度方向上被2张金属片夹着的树脂层。在该情况下，由蒸镀掩模中间体形成的蒸镀掩模也由2张金属片以及被2张金属片夹着的树脂层形成。在这些情况中的任一种情况下，形成树脂层的合成树脂例如可以是聚酰亚胺树脂。另外，通过对树脂层照射激光光线，能够形成这些蒸镀掩模中间体所具备的贯通孔。

Claims (9)

1.一种蒸镀掩模中间体，包含用于制造蒸镀掩模的金属制片材，其中，

所述蒸镀掩模具有由一对第1边缘部和一对第2边缘部包围的带状，

各第2边缘部比所述第1边缘部短，且具备缺口，所述缺口具有向所述第1边缘部延伸的方向即长度方向凹陷的U字状部分，所述U字状部分的底部为曲线状，

所述蒸镀掩模中间体具备：

带状部，具有追随所述蒸镀掩模的边缘的形状；

框状部，具备具有追随所述带状部的边缘的形状的内侧边缘，且包围所述带状部；以及

多个跨接部，将所述带状部的所述边缘与所述框状部的所述内侧边缘连接，

所述带状部通过各跨接部的切断而形成所述蒸镀掩模，

在所述带状部的所述边缘设置有具有追随所述缺口的所述底部的形状的弯曲部，

各跨接部与所述带状部的所述边缘中的除所述弯曲部以外的部位连接。

2.如权利要求1所述的蒸镀掩模中间体，其中，

所述带状部的所述边缘包括所述一对第1边缘部及所述一对第2边缘部，

所述带状部的各第2边缘部具有通过所述多个跨接部而与所述框状部连接的连接部位。

3.如权利要求2所述的蒸镀掩模中间体，其中，

所述带状部的各第2边缘部具备具有追随所述蒸镀掩模的所述缺口的形状的缺口，

所述带状部的各缺口被所述连接部位夹着。

4.如权利要求2所述的蒸镀掩模中间体，其中，

所述带状部的各第2边缘部具备具有追随所述蒸镀掩模的所述缺口的形状的缺口，

所述框状部的内侧边缘具备具有追随所述带状部的所述缺口的形状的突状边缘，

所述带状部的各缺口包括所述弯曲部及从所述弯曲部沿所述长度方向延伸的一对直线部，

各直线部通过所述跨接部而与所述突状边缘连接。

5.如权利要求1所述的蒸镀掩模中间体，其中，

所述带状部的所述边缘包括所述一对第1边缘部及所述一对第2边缘部，

所述带状部的各第1边缘部通过所述多个跨接部而与所述框状部连接。

6.如权利要求5所述的蒸镀掩模中间体，其中，

所述带状部的各第2边缘部具备具有追随所述蒸镀掩模的所述缺口的形状、且包含所述弯曲部的缺口，

所述带状部的各第1边缘部在第1连接部位与所述框状部连接，

所述带状部的各第2边缘部在第2连接部位通过所述多个跨接部而与所述框状部连接，

与所述弯曲部相比，所述第1连接部位在所述长度方向上位于更靠近所述第2连接部位的位置。

7.如权利要求5或6所述的蒸镀掩模中间体，其中，

所述带状部包括具有多个贯通孔的掩模部，

所述带状部的各第1边缘部在所述长度方向上，在不与所述掩模部重叠的部位，通过所述跨接部而与所述框状部连接。

8.如权利要求1至6中任一项所述的蒸镀掩模中间体，其中，

所述框状部具备脆弱部，该脆弱部具有沿着从所述框状部的所述内侧边缘朝向所述框状部的外侧边缘的方向延伸的线状，

所述脆弱部的机械强度比所述框状部中的除所述脆弱部以外的部分的机械强度低。

9.一种蒸镀掩模，该蒸镀掩模为包含金属制片材的蒸镀掩模中间体的带状部，其中，

所述蒸镀掩模中间体具备由一对第1边缘部和一对第2边缘部包围的带状部、包围该带状部的框状部、以及与所述带状部及所述框状部连接的多个跨接部，所述带状部通过所述跨接部的切断而被从所述蒸镀掩模中间体拆下，

各第2边缘部比所述第1边缘部短，且具备缺口，所述缺口具有向所述第1边缘部延伸的方向即长度方向凹陷的U字状部分，所述U字状部分的底部为曲线状，

在所述蒸镀掩模的边缘设置有作为所述缺口的所述底部的弯曲部，

通过所述跨接部的切断，在所述蒸镀掩模的所述边缘中的除所述弯曲部以外的部位形成有跨接痕。

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