KR102371486B1

KR102371486B1 - 파인메탈 마스크

Info

Publication number: KR102371486B1
Application number: KR1020210133675A
Authority: KR
Inventors: 유명훈; 김재범; 최민형; 차지웅
Original assignee: 풍원정밀(주)
Priority date: 2021-10-08
Filing date: 2021-10-08
Publication date: 2022-03-07
Also published as: CN118077332A; WO2023058890A1

Abstract

파인메탈 마스크의 일 실시예는, 베이스시트, 베이스시트에 형성되고, 셀들이 형성되는 패턴영역을 갖는 마스크시트, 및 베이스시트와 마스크시트 사이에 형성되는 절단영역을 포함하고, 절단영역은, 복수로 구비되는 절단라인, 복수의 절단라인 각각의 양단에 배치되고, 각각 서로 이격되어 복수로 구비되고, 베이스시트와 마스크시트를 연결하는 브릿지를 포함할 수 있다.

Description

파인메탈 마스크{FINE METAL MASK}

본 발명은 파인메탈 마스크에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 디스플레이 소자의 제조에 사용되는 파인메탈 마스크에 관한 것이다.

이 부분에 기술된 내용은 단순히 본 발명에 대한 배경 정보를 제공할 뿐 종래기술을 구성하는 것은 아니다.

디스플레이 소자 예를 들어, OLED 소자는 유기물을 발광층으로 사용하며, 하부 전극과 상부 전극 사이에 여러 층의 유기물층을 성막하고, 하부 전극과 상부 전극 사이에 전압을 인가하면 전자와 정공이 음극과 양극으로부터 주입되어 유기물층에서 재결합하여 빛을 발생시키는 원리를 이용한다.

OLED 소자의 제조를 위해 투명 절연성 기판 상에 유기물 다층막을 증착할 때, 기판의 소자 형성 영역 상에만 유기물 다층막을 증착하고, 기판의 나머지 영역 상에 다층막을 증착하지 않도록 하기 위해, 파인메탈 마스크(Fine Metal Mask, FMM) 즉, 새도우 마스크(Shadow mask)를 사용하는 것이 일반적이다. 이러한 새도우 마스크는 OLED 소자의 품위와 전체 수율에 상당히 큰 영향을 미치므로 새도우 마스크의 중요성이 더욱 높아지고 있다.

파인메탈 마스크에는 디스플레이 소자의 제조에 사용되는 마스크시트가 형성되고, 이는 파인메탈 마스크로부터 분리되어 제작될 수 있다.

마스크시트 상에는 패턴영역이 형성된다. 패턴영역에는 다수의 셀이 간격을 이루어 형성된다. 또한, 마스크시트를 파인메탈 마스크로부터 분리하기 위해, 마스크시트의 둘레에는 트림라인 또는 절단라인이 형성된다.

절단라인은 마스크 제조 공정에서 레이저 절단 장치 등을 사용하여 절단이 이루어지는 라인이다. 이에 따라 절단라인을 따라 절단이 이루어지는 경우 마스크시트는 파인메탈 마스크에서 분리될 수 있다.

한편, 파인메탈 마스크는 여러단계의 제조공정을 거치게 된다. 하나의 공정으로부터 다른공정으로 이동하기 위해, 파임메탈 마스크는 예를 들어, 롤러장치 등에 감겨 이동할 수 있다.

따라서, 이러한 제조공정이 진행되는 과정에서 파인메탈 마스크는 벤딩(bending)되거나 변형될 수 있다. 파인메탈 마스크는 전체적으로 박막으로 형성되므로, 이러한 변형으로 인해, 파인메탈 마스크는 파손될 수 있다.

특히, 파인메탈 마스크에 부착된 마스크시트가 파손되는 경우에 이는 제품불량으로 이어질 수 있다. 따라서, 제조과정에서 파인메탈 마스크의 변형으로 인한 마스크시트 파손을 억제할 수 있는 해결책이 필요하다.

따라서, 본 발명의 목적은 제조과정에서 변형으로 인한 파손을 억제할 수 있는 구조를 가진 파인메탈 마스크를 제공하는 것이다.

또한 본 발명의 목적은 파인메탈 마스크의 변형에도 마스크시트의 파손이 억제될 수 있는 구조를 가진 파인메탈 마스크를 제공하는 것이다.

본 발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 본 발명의 다른 목적 및 장점들은 하기의 설명에 의해서 이해될 수 있고, 본 발명의 실시예에 의해 보다 분명하게 이해될 것이다. 또한, 본 발명의 목적 및 장점들은 특허 청구 범위에 나타낸 수단 및 그 조합에 의해 실현될 수 있음을 쉽게 알 수 있을 것이다.

절단라인은 파인메탈 마스크를 관통하도록 구비될 수 있다.

절단라인은 파인메탈 마스크에 하프에칭되어 형성될 수 있다.

파인메탈 마스크의 일 실시예는, 길이방향이 파인메탈 마스크와 나란한 방향으로 배치되고, 베이스시트와 마스크시트를 분리하는 슬릿홀, 및 슬릿홀과 이격된 위치에 배치되는 클램핑홀을 더 포함할 수 있다.

절단영역은, 슬릿홀로부터 연장되고, 길이방향이 슬릿홀의 길이방향과 나란하도록 형성되는 제1영역, 제1영역의 단부로부터 연장되고, 길이방향이 제1영역의 길이방향과 교차하도록 형성되는 제2영역, 클램핑홀로부터 연장되고, 제2영역의 단부와 만나도록 배치되고, 길이방향이 제2영역의 길이방향과 교차하도록 형성되는 제3영역, 및 제2영역과 제3영역의 단부로부터 연장되고, 길이방향이 제2영역의 길이방향과 나란하고 제3영역의 길이방향과 교차하도록 형성되는 제4영역을 포함할 수 있다.

파인메탈 마스크의 일 실시예는, 베이스시트를 관통하도록 구비되고, 제1영역으로부터 연장되고, 길이방향이 제1영역의 길이방향과 나란하고 제2영역의 길이방향과 교차하는 제1라인을 더 포함할 수 있다.

제1영역과 제2영역에 구비되는 절단라인은, 절단라인의 단부에 절곡되도록 형성되고, 브릿지의 길이를 연장하는 절곡부를 포함할 수 있다.

브릿지에는, 양단이 서로 이웃하는 절곡부에 연결되는 하프에칭라인이 형성될 수 있다.

제1영역과 제2영역에서는, 절단라인의 폭이 브릿지의 폭보다 더 길게 구비될 수 있다.

제3영역과 제4영역에서는 절단라인의 폭과 브릿지의 폭이 동일한 길이로 구비될 수 있다.

파인메탈 마스크의 다른 실시예는, 베이스시트를 관통하도록 구비되고, 제1영역으로부터 연장되고, 길이방향이 제1영역의 길이방향과 나란하고 제2영역의 길이방향과 교차하는 제2라인, 및 베이스시트를 관통하도록 구비되고, 제3영역으로부터 연장되고, 길이방향이 제3영역의 길이방향과 나란하고 제2영역의 길이방향과 교차하는 제3라인을 더 포함할 수 있다.

제3영역에서는, 절단라인의 폭이 브릿지의 폭보다 더 짧게 구비될 수 있다.

제4영역에서는, 절단라인의 폭과 브릿지의 폭이 동일한 길이로 구비될 수 있다.

본 발명에 따른 파인메탈 마스크에서, 제1라인, 제2라인 및 제3라인은 베이스시트와 마스크시트 상호간의 변형의 영향을 줄일 수 있다. 따라서, 베이스시트의 변형에 의해 마스크시트가 변형되어 파손되는 것을 효과적으로 억제할 수 있다.

또한 본 발명에 따른 파인메탈 마스크에서, 절곡부와 하프에칭라인은 베이스시트의 변형에 의해 마스크시트가 변형되어 파손되는 것을 효과적으로 억제할 수 있다.

또한 본 발명에 따른 파인메탈 마스크에서, 브릿지보다 상대적으로 폭이 길게 구비되는 절단라인은 베이스시트와 마스크시트 상호간의 변형의 영향을 줄일 수 있다. 따라서, 베이스시트의 변형에 의해 마스크시트가 변형되어 파손되는 것을 효과적으로 억제할 수 있다.

상술한 효과와 더불어 본 발명의 구체적인 효과는 이하 발명을 실시하기 위한 구체적인 사항을 설명하면서 함께 기술한다.

도 1은 일 실시예에 따른 파인메탈 마스크를 나타낸 평면도이다.
도 2는 도 1의 파인메탈 마스크에서 분리된 마스크시트를 나타낸 평면도이다.
도 3은 다른 실시예에 따른 파인메탈 마스크를 나타낸 평면도이다.
도 4는 도 3의 A부분을 나타낸 사진이다.
도 5는 도 3의 B부분을 나타낸 사진이다.
도 6은 또 다른 실시예에 따른 파인메탈 마스크를 나타낸 평면도이다.
도 7은 도 6의 C부분을 나타낸 사진이다.
도 8은 도 6의 D부분을 나타낸 사진이다.

전술한 목적, 특징 및 장점은 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 후술되며, 이에 따라 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 기술적 사상을 용이하게 실시할 수 있을 것이다. 본 발명을 설명함에 있어서 본 발명과 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 상세한 설명을 생략한다. 이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 도면에서 동일한 참조부호는 동일 또는 유사한 구성요소를 가리키는 것으로 사용된다.

비록 제1, 제2 등이 다양한 구성요소들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 구성요소들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 구성요소를 다른 구성요소와 구별하기 위하여 사용하는 것으로, 특별히 반대되는 기재가 없는 한, 제1 구성요소는 제2 구성요소일 수도 있음은 물론이다.

명세서 전체에서, 특별히 반대되는 기재가 없는 한, 각 구성요소는 단수일 수도 있고 복수일 수도 있다.

본 명세서에서 사용되는 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "구성된다" 또는 "포함한다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 여러 구성 요소들, 또는 여러 단계들을 반드시 모두 포함하는 것으로 해석되지 않아야 하며, 그 중 일부 구성 요소들 또는 일부 단계들은 포함되지 않을 수도 있고, 또는 추가적인 구성 요소 또는 단계들을 더 포함할 수 있는 것으로 해석되어야 한다.

명세서 전체에서, "A 및/또는 B" 라고 할 때, 이는 특별한 반대되는 기재가 없는 한, A, B 또는 A 및 B 를 의미하며, "C 내지 D" 라고 할 때, 이는 특별한 반대되는 기재가 없는 한, C 이상이고 D 이하인 것을 의미한다.

도 1은 일 실시예에 따른 파인메탈 마스크를 나타낸 평면도이다. 도 2는 도 1의 파인메탈 마스크에서 분리된 마스크시트(200)를 나타낸 평면도이다. 파인메탈 마스크는 금속재질로 구비되고, 박막의 판형으로 형성될 수 있다. 일 실시예에 따른 파인메탈 마스크는 베이스시트(100), 마스크시트(200) 및 절단영역(300)을 포함할 수 있다.

베이스시트(100)는 상기 마스크시트(200)의 제조에 사용될 수 있다. 마스크시트(200)는 베이스시트(100)에 부착된 상태에서 제조될 수 있다. 마스크시트(200)와 베이스시트(100)는 일체로 형성되고, 이후에 마스크시트(200)는 베이스시트(100)로부터 분리되에 제작이 완료될 수 있다.

마스크시트(200)는 상기 베이스시트(100)에 형성되고, 셀들이 형성되는 패턴영역(210)을 가질 수 있다. 마스크시트(200)는 디스플레이 소자의 제작에 사용될 수 있다. 파인메탈 마스크의 제작이 완료된 후, 마스크시트(200)는 베이스시트(100)로 분리될 수 있다.

패턴영역(210)은 예를 들어, 직사각 형상으로 구비될 수 있다. 상기 패턴영역(210)에 형성되는 셀들은 예를 들어 매쉬(mesh) 형상을 가질 수 있고, 상기 셀들을 이용하여 디스플레이 소자을 제조하기 위한 마스킹 공정이 진행될 수 있다.

절단영역(300)은 상기 베이스시트(100)와 상기 마스크시트(200) 사이에 형성되고, 파인메탈 마스크의 제작이 완료된 후, 마스크시트(200)는 상기 절단영역(300)에서 절단되어, 도 2에 도시된 형상으로 제작이 완료될 수 있다.

일 실시예에 따른 파인메탈 마스크는 슬릿홀(400)과 클램핑홀(500)을 더 포함할 수 있다.

슬릿홀(400)은 길이방향이 상기 파인메탈 마스크와 나란한 방향으로 배치되고, 상기 베이스시트(100)와 상기 마스크시트(200)를 분리할 수 있다. 상기 슬릿홀(400)은 한 쌍으로 구비될 수 있다.

마스크시트(200)의 일부는 슬릿홀(400)에 의해 처음부터 베이스시트(100)와 분리되어 제조될 수 있다. 따라서, 파인메탈 마스크가 제작완료된 후, 작업자는 절단영역(300)이 형성된 부분만 절단하여 마스크시트(200)를 분리할 수 있다. 따라서, 슬릿홀(400)은 마스크시트(200)의 분리작업을 용이하게 하고, 절단작업 중 마스크시트(200)가 파손되는 것을 줄일 수 있다.

클램핑홀(500)은 상기 슬릿홀(400)과 이격된 위치에 배치되고, 예를 들어 일부가 곡선부위를 가지는 통공으로 형성될 수 있다. 마스크시트(200)를 베이스시트(100)로부터 분리한 후, 상기 클램핑홀(500)에 클램핑 기구를 삽입하여 마스크시트(200)를 고정하여 마스킹 공정을 진행할 수 있다.

파인메탈 마스크는 여러단계의 제조공정을 거치게 된다. 하나의 공정으로부터 다른공정으로 이동하기 위해, 파임메탈 마스크는 예를 들어, 롤러장치 등에 감겨 이동할 수 있다.

특히, 파인메탈 마스크에 부착된 마스크시트(200)가 파손되는 경우에 이는 제품불량으로 이어질 수 있다. 이하에서는 제조과정 중 파인메탈 마스크의 벤딩 등의 변형으로 인해 마스크시티가 파손되는 것을 억제할 수 있는 파인메탈 마스크의 구조에 대해 구체적으로 설명한다.

도 3은 다른 실시예에 따른 파인메탈 마스크를 나타낸 평면도이다. 도 4는 도 3의 A부분을 나타낸 사진이다. 도 5는 도 3의 B부분을 나타낸 사진이다.

절단영역(300)은 절단라인(310)과 브릿지(320)를 포함할 수 있다. 절단라인(310)은 절단영역(300)에 복수로 구비될 수 있다. 각각의 절단라인(310)의 브릿지(320)에 의해 서로 이격되도록 구비될 수 있다.

절단라인(310)은 슬릿홀(400)과 연결될 수 있다. 마스크시트(200)를 베이스시트(100)로부터 분리하는 경우, 절단라인(310)을 따라 마스크시트(200)가 분리되므로, 절단라인(310)은 슬릿홀(400)과 함께 완성된 마스크시트(200)의 외형을 이루는 형상을 가질 수 있다.

일 실시예에 따른 절단라인(310)은 상기 파인메탈 마스크를 관통하도록 구비될 수 있다. 관통된 구조의 절단라인(310)은 마스크시트(200)를 분리하는 경우에 절단라인(310)과 함께 배열되는 브릿지(320)만 절단되어, 마스크시트(200)는 베이스시트(100)로부터 분리될 수 있다.

다른 실시예에 따른 절단라인(310)은 상기 파인메탈 마스크에 하프에칭되어 형성될 수 있다. 하프에칭 구조의 절단라인(310)은 마스크시트(200)를 분리하는 경우에 상대적으로 얇은 두께를 가지는 절단라인(310)에서 용이하게 절단되고, 브릿지(320)도 함께 절단됨으로써, 마스크시트(200)는 베이스시트(100)로부터 분리될 수 있다.

브릿지(320)는 복수의 상기 절단라인(310) 각각의 양단에 배치되고, 각각 서로 이격되어 복수로 구비되고, 상기 베이스시트(100)와 상기 마스크시트(200)를 연결할 수 있다. 브릿지(320)는 베이스시트(100)와 마스크시트(200)가 서로 결합되도록 하여 파인메탈 마스크를 제작하는 과정에서 외력이 가해지더라도 마스크시트(200)가 쉽게 베이스시트(100)로부터 분리되지 않도록 할 수 있다.

절단영역(300)은 복수의 절단라인(310)과 브릿지(320)가 교대로 배열되어 형성될 수 있다. 마스크시트(200)를 분리하는 경우, 상기 브릿지(320)를 절단하여 마스크시트(200)의 분리를 완료할 수 있다.

절단영역(300)은 클램핑홀(500)을 중심으로 파인메탈 시트의 길이방향과 교차하는 방향으로 대칭되도록 형성될 수 있다. 또한, 클램핑홀(500)은 파인메탈 시트의 길이방향으로 양단부에 각각 형성되므로, 절단영역(300)은 파인메탈 시트의 중앙을 기준으로 서로 대칭되도록 형성될 수 있다.

한편, 도 1 및 도 3을 참조하면, 절단영역(300)은 제1영역(301), 제2영역(302), 제3영역(303) 및 제4영역(304)을 포함할 수 있다. 상기 제1영역(301) 내지 제4영역(304) 각각은 절단라인(310)과 브릿지(320)가 서로 교대로 배열되는 구조로 구비될 수 있다.

제1영역(301)은 상기 슬릿홀(400)로부터 연장되고, 길이방향이 상기 슬릿홀(400)의 길이방향과 나란하도록 형성될 수 있다. 제2영역(302)은 상기 제1영역(301)의 단부로부터 연장되고, 길이방향이 상기 제1영역(301)의 길이방향과 교차하도록 형성될 수 있다.

제3영역(303)은 상기 클램핑홀(500)로부터 연장되고, 상기 제2영역(302)의 단부와 만나도록 배치되고, 길이방향이 상기 제2영역(302)의 길이방향과 교차하도록 형성될 수 있다.

제4영역(304)은 상기 제2영역(302)과 상기 제3영역(303)의 단부로부터 연장되고, 길이방향이 상기 제2영역(302)의 길이방향과 나란하고 상기 제3영역(303)의 길이방향과 교차하도록 형성될 수 있다.

도 4에 도시된 바와 같이, 파인메탈 마스크는 상기 제1영역(301)으로부터 연장되고, 길이방향이 상기 제1영역(301)의 길이방향과 나란하고 상기 제2영역(302)의 길이방향과 교차하는 제1라인(610)을 더 포함할 수 있다. 제1라인(610)은 한 쌍으로 구비될 수 있다.

제1라인(610)은 파인메탈 마스크를 관통하도록 구비될 수 있다. 제1라인(610)은 베이스시트(100)에 형성되어 제1라인(610)에 의해 분리되는 베이스시트(100)들 상호간 변형의 영향을 줄일 수 있다.

또한, 제1라인(610)은 베이스시트(100)와 마스크시트(200) 상호간의 변형의 영향을 줄일 수 있다. 따라서, 베이스시트(100)의 변형에 의해 마스크시트(200)가 변형되어 파손되는 것을 효과적으로 억제할 수 있다.

상기 제1영역(301)과 상기 제2영역(302)에 구비되는 상기 절단라인(310)은, 상기 절단라인(310)의 단부에 절곡되도록 형성되고, 상기 브릿지(320)의 길이(L1)를 연장하는 절곡부(311)를 포함할 수 있다.

도 4 및 도 5를 참조하면, 상기 절곡부(311)는 절단라인(310)으로부터 연장되도록 형성되고, 절단라인(310)의 다른 부위에 비해 넓은 폭을 가질 수 있다. 상기 절곡부(311)로 인해, 브릿지(320)의 길이(L1)은 길어질 수 있다.

한편, 상기 브릿지(320)는 양단이 서로 이웃하는 절곡부(311)에 연결되는 하프에칭라인(321)이 형성될 수 있다. 하프에칭라인(321)은 브릿지(320)의 다른 부위에 비해 상대적으로 얇게 형성되므로, 브릿지(320)의 절단시 상기 하프에칭라인(321)에서 깨끗하게 절단되어 마스크시트(200)의 파손 등 제품불량 발생을 줄일 수 있다.

브릿지(320)의 길이가 길어짐으로 인해, 브릿지(320)에 의해 연결되는 베이스시트(100)와 마스크시트(200) 상호간 변형의 영향을 줄일 수 있다. 또한, 브릿지(320)에 과도한 변형이 발생하는 경우에 하프에칭라인(321)에서 절단이 발생함으로써, 베이스시트(100)에서 발생하는 변형이 상기 브릿지(320)를 통해 마스크시트(200)로 전달되는 것이 억제될 수 있다.

따라서, 절곡부(311)와 하프에칭라인(321)은 베이스시트(100)의 변형에 의해 마스크시트(200)가 변형되어 파손되는 것을 효과적으로 억제할 수 있다.

상기 제1영역(301)과 상기 제2영역(302)에서는 상기 절단라인(310)의 폭(W1)이 상기 브릿지(320)의 폭(W2)보다 더 길게 구비될 수 있다. 브릿지(320)보다 상대적으로 폭이 길게 구비되는 절단라인(310)은 베이스시트(100)와 마스크시트(200) 상호간의 변형의 영향을 줄일 수 있다. 따라서, 베이스시트(100)의 변형에 의해 마스크시트(200)가 변형되어 파손되는 것을 효과적으로 억제할 수 있다.

상기 제3영역(303)과 상기 제4영역(304)에서는 상기 절단라인(310)의 폭과 상기 브릿지(320)의 폭이 동일한 길이로 구비될 수 있다. 제1영역(301)과 제4영역(304)에서는 파인메탈 시트가 외력에 의해 변형되는 경우, 브릿지(320)가 절단될 수 있다. 이때, 브릿지(320)가 절단되더라도 파인메탈 시트의 제작공정은 계속 진행될 수 있다.

그러나, 마스크시트(200)를 분리하는 공정을 진행하기 전까지는, 마스크시트(200)와 베이스시트(100)는 적어도 일부에서는 결합을 유지해야 한다. 따라서, 마스크시트(200) 분리공정을 진행하기 전까지 제3영역(303)과 제4영역(304)에서는 브릿지(320)가 외력에 의해 절단되지 않도록 할 필요가 있다.

이를 위해, 상기 제3영역(303)과 상기 제4영역(304)에서는 브릿지(320)와 절단라인(310)의 폭이 동일하게 구비됨으로써 브릿지(320)와 절단라인(310)이 차지하는 면적을 동일하게 하여 브릿지(320)가 견고한 구조를 가지도록 할 수 있다.

이러한 구조로 인해, 제3영역(303)과 제4영역(304)에서는 마스크시트(200) 분리공정의 진행전에 브릿지(320)가 외력에 의해 절단되는 것이 억제될 수 있다.

도 6은 또 다른 실시예에 따른 파인메탈 마스크를 나타낸 평면도이다. 도 7은 도 6의 C부분을 나타낸 사진이다. 도 8은 도 6의 D부분을 나타낸 사진이다. 이하에서 전술한 설명과 중복되는 부분은 설명을 생략한다.

파인메탈 마스크는 제2라인(620)과 제3라인(630)을 더 포함할 수 있다. 제2라인(620)과 제3라인(630)은 각각 한 쌍으로 구비될 수 있다. 제2라인(620) 및 제3라인(630)은 파인메탈 마스크를 관통하도록 구비될 수 있다.

제2라인(620)은 상기 베이스시트(100)를 관통하도록 구비되고, 상기 제1영역(301)으로부터 연장되고, 길이방향이 상기 제1영역(301)의 길이방향과 나란하고 상기 제2영역(302)의 길이방향과 교차하도록 구비될 수 있다.

제3라인(630)은 상기 베이스시트(100)를 관통하도록 구비되고, 상기 제3영역(303)으로부터 연장되고, 길이방향이 상기 제3영역(303)의 길이방향과 나란하고 상기 제2영역(302)의 길이방향과 교차하도록 구비될 수 있다.

제2라인(620)과 제3라인(630)은 베이스시트(100)에 형성되어 제2라인(620)과 제3라인(630)에 의해 분리되는 베이스시트(100)들 상호간 변형의 영향을 줄일 수 있다.

또한, 제2라인(620)과 제3라인(630)은 베이스시트(100)와 마스크시트(200) 상호간의 변형의 영향을 줄일 수 있다. 따라서, 베이스시트(100)의 변형에 의해 마스크시트(200)가 변형되어 파손되는 것을 효과적으로 억제할 수 있다.

상기 제3영역(303)에서는 상기 절단라인(310)의 폭이 상기 브릿지(320)의 폭보다 더 짧게 구비될 수 있다. 또한, 상기 제4영역(304)에서는 상기 절단라인(310)의 폭과 상기 브릿지(320)의 폭이 동일한 길이로 구비될 수 있다.

전술한 바와 같이, 마스크시트(200)를 분리하는 공정을 진행하기 전까지는, 마스크시트(200)와 베이스시트(100)는 적어도 일부에서는 결합을 유지해야 한다. 따라서, 마스크시트(200) 분리공정을 진행하기 전까지 제3영역(303)과 제4영역(304)에서는 브릿지(320)가 외력에 의해 절단되지 않도록 할 필요가 있다.

이를 위해, 상기 제3영역(303)에서는 브릿지(320)의 폭이 절단라인(310)에 비해 상대적으로 길게 구비됨으로써, 브릿지(320)가 견고한 구조를 가지도록 할 수 있다. 또한, 상기 제4영역(304)에서는 브릿지(320)와 절단라인(310)의 폭이 동일하게 구비됨으로써 브릿지(320)와 절단라인(310)이 차지하는 면적을 동일하게 하여 브릿지(320)가 견고한 구조를 가지도록 할 수 있다.

한편, 도 3과 도 6에 도시된 제1영역(301) 내지 제4영역(304)은 서로 다양한 경우로 조합되어 더욱 다양한 실시예를 만들어낼 수 있다.

이상과 같이 본 발명에 대해서 예시한 도면을 참조로 하여 설명하였으나, 본 명세서에 개시된 실시 예와 도면에 의해 본 발명이 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술사상의 범위 내에서 통상의 기술자에 의해 다양한 변형이 이루어질 수 있음은 자명하다. 아울러 앞서 본 발명의 실시 예를 설명하면서 본 발명의 구성에 따른 작용 효과를 명시적으로 기재하여 설명하지 않았을 지라도, 해당 구성에 의해 예측 가능한 효과 또한 인정되어야 함은 당연하다.

100: 베이스시트
200: 마스크시트
210: 패턴영역
300: 절단영역
310: 절단라인
311: 절곡부
320: 브릿지
321: 하프에칭라인
301: 제1영역
302: 제2영역
303: 제3영역
304: 제4영역
400: 슬릿홀
500: 클램핑홀
610: 제1라인
620: 제2라인
630: 제3라인

Claims

베이스시트;
상기 베이스시트에 형성되고, 셀들이 형성되는 패턴영역을 갖는 마스크시트;
상기 베이스시트와 상기 마스크시트 사이에 형성되는 절단영역;
길이방향이 파인메탈 마스크와 나란한 방향으로 배치되고, 상기 베이스시트와 상기 마스크시트를 분리하는 슬릿홀; 및
상기 슬릿홀과 이격된 위치에 배치되는 클램핑홀
을 포함하는 파인메탈 마스크에 있어서,
상기 절단영역은,
복수로 구비되는 절단라인;
복수의 상기 절단라인 각각의 양단에 배치되고, 각각 서로 이격되어 복수로 구비되고, 상기 베이스시트와 상기 마스크시트를 연결하는 브릿지;
상기 슬릿홀로부터 연장되고, 길이방향이 상기 슬릿홀의 길이방향과 나란하도록 형성되는 제1영역;
상기 제1영역의 단부로부터 연장되고, 길이방향이 상기 제1영역의 길이방향과 교차하도록 형성되는 제2영역;
상기 클램핑홀로부터 연장되고, 상기 제2영역의 단부와 만나도록 배치되고, 길이방향이 상기 제2영역의 길이방향과 교차하도록 형성되는 제3영역; 및
상기 제2영역과 상기 제3영역의 단부로부터 연장되고, 길이방향이 상기 제2영역의 길이방향과 나란하고 상기 제3영역의 길이방향과 교차하도록 형성되는 제4영역
을 포함하는,
파인메탈 마스크.
제1항에 있어서,
상기 절단라인은 상기 파인메탈 마스크를 관통하도록 구비되는,
파인메탈 마스크.
제1항에 있어서,
상기 절단라인은 상기 파인메탈 마스크에 하프에칭되어 형성되는,
파인메탈 마스크.
삭제
제1항에 있어서,
상기 베이스시트를 관통하도록 구비되고, 상기 제1영역으로부터 연장되고, 길이방향이 상기 제1영역의 길이방향과 나란하고 상기 제2영역의 길이방향과 교차하는 제1라인
을 더 포함하는,
파인메탈 마스크.
제5항에 있어서,
상기 제1영역과 상기 제2영역에 구비되는 상기 절단라인은,
상기 절단라인의 단부에 절곡되도록 형성되고, 상기 브릿지의 길이를 연장하는 절곡부를 포함하는,
파인메탈 마스크.
제6항에 있어서,
상기 브릿지에는,
양단이 서로 이웃하는 절곡부에 연결되는 하프에칭라인이 형성되는,
파인메탈 마스크.
제5항에 있어서,
상기 제1영역과 상기 제2영역에서는,
상기 절단라인의 폭이 상기 브릿지의 폭보다 더 길게 구비되는,
파인메탈 마스크.
제5항에 있어서,
상기 제3영역과 상기 제4영역에서는,
상기 절단라인의 폭과 상기 브릿지의 폭이 동일한 길이로 구비되는,
파인메탈 마스크.
제1항에 있어서,
상기 베이스시트를 관통하도록 구비되고, 상기 제1영역으로부터 연장되고, 길이방향이 상기 제1영역의 길이방향과 나란하고 상기 제2영역의 길이방향과 교차하는 제2라인; 및
상기 베이스시트를 관통하도록 구비되고, 상기 제3영역으로부터 연장되고, 길이방향이 상기 제3영역의 길이방향과 나란하고 상기 제2영역의 길이방향과 교차하는 제3라인
을 더 포함하는,
파인메탈 마스크.
제10항에 있어서,
상기 제1영역과 상기 제2영역에서는,
상기 절단라인의 폭이 상기 브릿지의 폭보다 더 길게 구비되는,
파인메탈 마스크.
제10항에 있어서,
상기 제3영역에서는,
상기 절단라인의 폭이 상기 브릿지의 폭보다 더 짧게 구비되는,
파인메탈 마스크.
제10항에 있어서,
상기 제4영역에서는,
상기 절단라인의 폭과 상기 브릿지의 폭이 동일한 길이로 구비되는,
파인메탈 마스크.