KR20210054069A

KR20210054069A - 증착 마스크의 인장 방법, 프레임이 구비된 증착 마스크의 제조 방법, 유기 반도체 소자의 제조 방법, 및 인장 장치

Info

Publication number: KR20210054069A
Application number: KR1020217013692A
Authority: KR
Inventors: 가츠나리 오바타; 히데유키 오카모토; 요시유키 혼마; 도시히코 다케다
Original assignee: 다이니폰 인사츠 가부시키가이샤
Priority date: 2014-03-31
Filing date: 2015-03-30
Publication date: 2021-05-12
Also published as: US20170092862A1; US9705083B2; CN110724904B; WO2015152136A1; US10084134B2; TW201542353A; JP2015200019A; TW202043510A; TW201940716A; TWI704242B; CN106029939A; KR102432234B1; CN106029939B; JP6511908B2; KR20160138252A; US20170256713A1; TWI737451B; TWI673162B; CN110724904A

Abstract

간편한 방법으로 증착 마스크를 인장할 수 있는 증착 마스크의 인장 방법, 및 이 인장 방법을 사용한 프레임이 구비된 증착 마스크의 제조 방법, 및 유기 반도체 소자를 고정밀도로 제조할 수 있는 유기 반도체 소자의 제조 방법이나, 이들 방법에 사용되는 인장 장치를 제공하는 것. 슬릿(15)이 형성된 금속 마스크(10)와, 당해 슬릿과 겹치는 위치에 증착 제작하는 패턴에 대응하는 개구부(25)가 형성된 수지 마스크(20)가 적층되어 이루어지는 증착 마스크(100)의 인장 방법에 있어서, 증착 마스크(100)의 한쪽 면 위에 인장 보조 부재(50)를 겹치고, 증착 마스크(100)의 한쪽 면과 인장 보조 부재(50)가 겹치는 부분의 적어도 일부에 있어서, 증착 마스크에 인장 보조 부재를 고정하고, 증착 마스크(100)에 고정되어 있는 인장 보조 부재(50)를 인장함으로써, 당해 인장 보조 부재(50)에 고정되어 있는 증착 마스크를 인장함으로써 상기 과제를 해결한다.

Description

증착 마스크의 인장 방법, 프레임이 구비된 증착 마스크의 제조 방법, 유기 반도체 소자의 제조 방법, 및 인장 장치{METHOD FOR STRETCHING DEPOSITION MASK, METHOD FOR PRODUCING FRAME-ATTACHED DEPOSITION MASK, METHOD FOR PRODUCING ORGANIC SEMICONDUCTOR ELEMENT, AND STRETCHING DEVICE}

본 발명은, 증착 마스크의 인장 방법, 프레임이 구비된 증착 마스크의 제조 방법, 유기 반도체 소자의 제조 방법, 및 인장 장치에 관한 것이다.

유기 EL 소자를 사용한 제품의 대형화 또는 기판 사이즈의 대형화에 수반하여, 증착 마스크에 대해서도 대형화의 요청이 높아지고 있다. 그리고, 금속으로 구성되는 증착 마스크의 제조에 사용되는 금속판도 대형화되고 있다. 그러나, 현재의 금속 가공 기술에서는, 대형의 금속판에 개구부를 고정밀도로 형성하는 것은 곤란하여, 개구부의 고정밀화에 대한 대응은 불가능하다. 또한, 금속만을 포함하는 증착 마스크로 했을 경우에는, 대형화에 수반하여 그 질량도 증대되고, 프레임을 포함한 총 질량도 증대되는 점에서 취급에 지장을 초래하게 된다.

이러한 상황 하, 특허문헌 1에는, 슬릿이 형성된 금속 마스크와, 금속 마스크의 표면에 위치하며 증착 제작하는 패턴에 대응된 개구부가 종횡으로 복수 열 배치된 수지 마스크가 적층되어 이루어지는 증착 마스크가 제안되어 있다. 특허문헌 1에 제안되어 있는 증착 마스크에 의하면, 대형화된 경우에도 고정밀화와 경량화의 양쪽을 만족할 수 있고, 또한, 고정밀의 증착 패턴의 형성을 행할 수 있다고 되어 있다.

일본 특허 제5288072호 공보

본 발명은, 상기 특허문헌 1에 기재되어 있는 바와 같은 증착 마스크를 간편한 방법으로 인장할 수 있는 증착 마스크의 인장 방법, 당해 인장 방법을 사용한 프레임이 구비된 증착 마스크의 제조 방법, 나아가, 증착 마스크를 사용한 유기 반도체 소자의 제조 방법이나, 이들 방법에 사용되는 인장 장치를 제공하는 것을 주된 과제로 한다.

상기 과제를 해결하기 위한 본 발명은, 슬릿이 형성된 금속 마스크와, 당해 슬릿과 겹치는 위치에 증착 제작하는 패턴에 대응하는 개구부가 형성된 수지 마스크가 적층되어 이루어지는 증착 마스크의 인장 방법에 있어서, 상기 증착 마스크의 한쪽 면 위에 인장 보조 부재를 겹치고, 상기 증착 마스크의 한쪽 면과 상기 인장 보조 부재가 겹치는 부분의 적어도 일부에 있어서, 상기 증착 마스크에 상기 인장 보조 부재를 고정하는 인장 보조 부재 고정 공정과, 상기 증착 마스크에 고정되어 있는 상기 인장 보조 부재를 인장함으로써, 당해 인장 보조 부재에 고정되어 있는 증착 마스크를 인장하는 제1 인장 공정을 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 증착 마스크의 인장 방법에 있어서, 상기 제1 인장 공정 전에, 상기 증착 마스크를 제1 방향으로 인장하는 제2 인장 공정을 더 포함하고, 상기 제1 인장 공정에서는, 상기 증착 마스크에 고정되어 있는 상기 인장 보조 부재를 인장함으로써, 당해 인장 보조 부재에 고정되어 있는 증착 마스크를, 상기 제1 방향과는 상이한 제2 방향으로 인장해도 된다.

또한, 상기 과제를 해결하기 위한 본 발명은, 프레임이 구비된 증착 마스크의 제조 방법이며, 슬릿이 형성된 금속 마스크와, 당해 슬릿과 겹치는 위치에 증착 제작하는 패턴에 대응하는 개구부가 형성된 수지 마스크가 적층되어 이루어지는 증착 마스크를 준비하는 준비 공정과, 상기 증착 마스크의 한쪽 면 위에 인장 보조 부재를 겹치고, 상기 증착 마스크의 한쪽 면과 상기 인장 보조 부재가 겹치는 부분의 적어도 일부에 있어서, 상기 증착 마스크에 상기 인장 보조 부재를 고정하는 인장 보조 부재 고정 공정과, 상기 증착 마스크에 고정되어 있는 상기 인장 보조 부재를 인장함으로써, 당해 인장 보조 부재에 고정되어 있는 증착 마스크를 인장하는 제1 인장 공정과, 관통 구멍이 형성된 프레임에, 상기 제1 인장 공정에 있어서 인장된 상태의 상기 증착 마스크를 고정하는 프레임 고정 공정을 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 프레임이 구비된 증착 마스크의 제조 방법에 있어서, 상기 제1 인장 공정 전에, 상기 증착 마스크를 제1 방향으로 인장하는 제2 인장 공정을 더 포함하고, 상기 제1 인장 공정에서는, 상기 증착 마스크에 고정되어 있는 상기 인장 보조 부재를 인장함으로써, 당해 인장 보조 부재에 고정되어 있는 증착 마스크를, 상기 제1 방향과는 상이한 제2 방향으로 인장해도 된다.

또한, 상기 프레임이 구비된 증착 마스크의 제조 방법에 있어서, 상기 프레임이 구비된 증착 마스크는, 상기 프레임에 복수의 상기 증착 마스크가 배열되어 고정되어 이루어지는 프레임이 구비된 증착 마스크이며, 당해 프레임이 구비된 증착 마스크의 제조 단계에 있어서, 상기 복수의 증착 마스크 중 적어도 하나의 증착 마스크는, 상기 인장 보조 부재 고정 공정, 상기 제1 인장 공정, 상기 프레임 고정 공정을 거침으로써 상기 프레임에 고정되고, 상기 제1 인장 공정에서는, 상기 하나의 증착 마스크에 고정되어 있는 상기 인장 보조 부재를 인장함으로써, 당해 인장 보조 부재에 고정되어 있는 하나의 증착 마스크를, 당해 하나의 증착 마스크와 인접하는 증착 마스크의 방향으로 인장해도 된다.

또한, 상기 프레임이 구비된 증착 마스크의 제조 방법에 있어서, 상기 제1 인장 공정을 행하기 전에, 상기 하나의 증착 마스크를, 상기 인접하는 증착 마스크의 방향과는 상이한 방향으로 인장하는 제2 인장 공정을 더 포함하고 있어도 된다.

또한, 상기 과제를 해결하기 위한 본 발명은, 유기 반도체 소자의 제조 방법이며, 프레임에 증착 마스크가 고정된 프레임이 구비된 증착 마스크를 사용하여 증착 대상물에 증착 패턴을 형성하는 공정을 포함하고, 상기 증착 패턴을 형성하는 공정에 있어서, 상기 프레임에 고정되는 상기 증착 마스크가, 복수의 슬릿이 형성된 금속 마스크와 당해 슬릿과 겹치는 위치에 증착 제작하는 패턴에 대응하는 개구부가 형성된 수지 마스크가 적층되어 이루어지는 증착 마스크를 준비하는 공정과, 상기 증착 마스크의 한쪽 면 위에 인장 보조 부재를 겹치고, 상기 증착 마스크의 한쪽 면과 상기 인장 보조 부재가 겹치는 부분의 적어도 일부에 있어서, 상기 증착 마스크에 상기 인장 보조 부재를 고정하는 인장 보조 부재 고정 공정과, 상기 증착 마스크에 고정되어 있는 상기 인장 보조 부재를 인장함으로써, 당해 인장 보조 부재에 고정되어 있는 증착 마스크를 인장하는 제1 인장 공정과, 관통 구멍이 형성된 프레임에, 상기 제1 인장 공정에 있어서 인장된 상태의 상기 증착 마스크를 고정하는 프레임 고정 공정을 포함하는 공정에 의해 제조된 프레임이 구비된 증착 마스크인 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 과제를 해결하기 위한 본 발명은, 슬릿이 형성된 금속 마스크와, 당해 슬릿과 겹치는 위치에 증착 제작하는 패턴에 대응하는 개구부가 형성된 수지 마스크가 적층되어 이루어지는 증착 마스크를 인장하기 위한 인장 장치이며, 인장 보조 부재와, 당해 인장 보조 부재를 인장하기 위한 구동 수단을 구비하고, 상기 인장 보조 부재는, 상기 증착 마스크의 한쪽 면과 겹쳤을 때, 당해 증착 마스크의 한쪽 면과 겹치는 부분의 적어도 일부에서 고정 가능하게 되어 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 증착 마스크의 인장 방법이나 인장 장치에 의하면, 대형화된 경우에도 고정밀화와 경량화의 양쪽을 만족하는 증착 마스크를, 간편한 방법으로 인장할 수 있다. 또한, 본 발명의 프레임이 구비된 증착 마스크의 제조 방법에 의하면, 증착 대상물에 고정밀도로 증착 패턴을 형성 가능한 프레임이 구비된 증착 마스크를 얻을 수 있다. 또한, 본 발명의 유기 반도체 소자의 제조 방법에 의하면, 품질이 우수한 유기 반도체 소자를 수율 높게 제조할 수 있다.

도 1은 준비 공정에서 준비되는 증착 마스크의 일례를 도시하는 도면이고, (a)는 금속 마스크측에서 본 정면도이며, (b)는 (a)의 A-A 단면도이다.
도 2는 준비 공정에서 준비되는 실시 형태 (A)의 증착 마스크를 금속 마스크측에서 본 정면도이다.
도 3은 준비 공정에서 준비되는 실시 형태 (A)의 증착 마스크를 금속 마스크측에서 본 정면도이다.
도 4는 준비 공정에서 준비되는 실시 형태 (A)의 증착 마스크를 금속 마스크측에서 본 정면도이다.
도 5는 준비 공정에서 준비되는 실시 형태 (A)의 증착 마스크를 금속 마스크측에서 본 정면도이다.
도 6은 준비 공정에서 준비되는 실시 형태 (B)의 증착 마스크를 금속 마스크측에서 본 정면도이다.
도 7은 준비 공정에서 준비되는 실시 형태 (B)의 증착 마스크를 금속 마스크측에서 본 정면도이다.
도 8은 인장 보조 부재 고정 공정을 설명하기 위한 도면이며, 증착 마스크를 수지 마스크측에서 본 정면도이다.
도 9는 인장 보조 부재 고정 공정을 설명하기 위한 도면이며, (a) 내지 (e)는 증착 마스크를 수지 마스크측에서 본 정면도이다.
도 10은 제1 인장 공정을 설명하기 위한 도면이며, (a) 내지 (c)는 증착 마스크를 수지 마스크측에서 본 정면도이다.
도 11은 제1 인장 공정을 설명하기 위한 도면이며, (a) 내지 (c)는 증착 마스크를 수지 마스크측에서 본 정면도이다.
도 12는 제1 인장 공정을 설명하기 위한 도면이며, (a) 내지 (c)는 증착 마스크를 수지 마스크측에서 본 정면도이다.
도 13은 제1 인장 공정을 설명하기 위한 도면이며, (a) 내지 (c)는 증착 마스크를 수지 마스크측에서 본 정면도이다.
도 14는 제1 인장 공정을 설명하기 위한 도면이며, (a), (b)는 증착 마스크를 수지 마스크측에서 본 정면도이다.
도 15는 프레임이 구비된 증착 마스크의 일례를 도시하는 정면도이다.
도 16은 프레임이 구비된 다면 증착 마스크의 일례를 도시하는 정면도이다.
도 17의 (a) 내지 (c)는 프레임의 일례를 도시하는 정면도이다.
도 18은 프레임이 구비된 다면 증착 마스크의 고정 방법의 일례를 도시하는 정면도이다.
도 19의 (a) 내지 (g)는 증착 마스크에 인장 보조 부재를 고정한 상태를 도시하는 개략 단면도이다.
도 20은 제1 인장 공정을 설명하기 위한 도면이며, (a), (b)는 증착 마스크를 수지 마스크측에서 본 정면도이다.

본 발명의 일 실시 형태의 프레임이 구비된 증착 마스크의 제조 방법에 대하여 도면을 사용하여 구체적으로 설명한다.

<<프레임이 구비된 증착 마스크의 제조 방법>>

일 실시 형태의 프레임이 구비된 증착 마스크의 제조 방법은, 슬릿이 형성된 금속 마스크와, 당해 슬릿과 겹치는 위치에 증착 제작하는 패턴에 대응하는 개구부가 형성된 수지 마스크가 적층되어 이루어지는 증착 마스크를 준비하는 준비 공정과, 증착 마스크의 한쪽 면 위에 인장 보조 부재를 겹치고, 증착 마스크의 한쪽 면과 인장 보조 부재가 겹치는 부분의 적어도 일부에 있어서, 증착 마스크에 인장 보조 부재를 고정하는 인장 보조 부재 고정 공정과, 증착 마스크에 고정되어 있는 인장 보조 부재를 인장함으로써, 당해 인장 보조 부재에 고정되어 있는 증착 마스크를 인장하는 제1 인장 공정과, 관통 구멍이 형성된 프레임에, 제1 인장 공정에 있어서 인장된 상태의 증착 마스크를 고정하는 프레임 고정 공정을 포함하는 것을 특징으로 하고 있다. 이하, 각 공정에 대하여 설명한다.

<준비 공정>

본 공정은, 도 1의 (a), (b)에 도시하는 바와 같이, 복수의 슬릿(15)이 형성된 금속 마스크(10)와 당해 슬릿과 겹치는 위치에 증착 제작하는 패턴에 대응하는 개구부(25)가 형성된 수지 마스크(20)가 적층되어 이루어지는 증착 마스크(100)를 준비하는 공정이다.

(수지 마스크)

도 1에 도시하는 바와 같이, 수지 마스크(20)에는, 복수의 개구부(25)가 형성되어 있다. 도 1의 (a)는, 일 실시 형태의 증착 마스크를 금속 마스크측에서 본 정면도이며, 도 1의 (b)는 도 1의 (a)의 A-A 개략 단면도이다.

도시하는 형태에서는, 개구부(25)의 개구 형상은, 직사각 형상을 나타내고 있지만, 개구 형상에 대하여 특별히 한정은 없고, 개구부(25)의 개구 형상은, 마름모꼴, 다각 형상이어도 되며, 원이나, 타원 등의 곡률을 갖는 형상이어도 된다. 또한, 직사각형이나, 다각 형상의 개구 형상은, 원이나 타원 등의 곡률을 갖는 개구 형상과 비교하여 발광 면적을 크게 취할 수 있는 점에서, 바람직한 개구부(25)의 개구 형상이라고 할 수 있다.

수지 마스크(20)의 재료에 대하여 한정은 없고, 예를 들어 레이저 가공 등에 의해 고정밀의 개구부(25)의 형성이 가능하며, 열이나 시간 경과에 따른 치수 변화율이나 흡습률이 작고, 경량인 재료를 사용하는 것이 바람직하다. 이러한 재료로서는, 폴리이미드 수지, 폴리아미드 수지, 폴리아미드이미드 수지, 폴리에스테르 수지, 폴리에틸렌 수지, 폴리비닐알코올 수지, 폴리프로필렌 수지, 폴리카르보네이트 수지, 폴리스티렌 수지, 폴리아크릴로니트릴 수지, 에틸렌아세트산 비닐 공중합체 수지, 에틸렌-비닐알코올 공중합체 수지, 에틸렌-메타크릴산 공중합체 수지, 폴리 염화 비닐 수지, 폴리 염화 비닐리덴 수지, 셀로판, 아이오노머 수지 등을 들 수 있다. 상기에 예시한 재료 중에서도, 열팽창 계수가 16ppm/℃ 이하인 수지 재료가 바람직하고, 흡습률이 1.0％ 이하인 수지 재료가 바람직하며, 이 양쪽 조건을 구비하는 수지 재료가 특히 바람직하다. 이 수지 재료를 사용한 수지 마스크로 함으로써, 개구부(25)의 치수 정밀도를 향상시킬 수 있고, 또한 열이나 시간 경과에 따른 치수 변화율이나 흡습률을 작게 할 수 있다.

수지 마스크(20)의 두께에 대하여 특별히 한정은 없지만, 셰도우 발생의 억제 효과를 더욱 향상시킬 경우에는, 수지 마스크(20)의 두께는, 25㎛ 이하인 것이 바람직하고, 10㎛ 미만인 것이 보다 바람직하다. 하한값의 바람직한 범위에 대하여 특별히 한정은 없지만, 수지 마스크(20)의 두께가 3㎛ 미만인 경우에는, 핀 홀 등의 결함이 발생하기 쉽고, 또한 변형 등의 리스크가 높아진다. 특히, 수지 마스크(20)의 두께를, 3㎛ 이상 10㎛ 미만, 보다 바람직하게는 4㎛ 이상 8㎛ 이하로 함으로써, 400ppi를 초과하는 고정밀 패턴을 형성할 때의 셰도우의 영향을 더 효과적으로 방지할 수 있다. 또한, 수지 마스크(20)와 후술하는 금속 마스크(10)는, 직접적으로 접합되어 있어도 되고, 점착제층을 개재하여 접합되어 있어도 되지만, 점착제층을 개재하여 수지 마스크(20)와 금속 마스크(10)가 접합될 경우에는, 수지 마스크(20)와 점착제층의 합계의 두께가 상기 바람직한 두께의 범위 내인 것이 바람직하다. 또한, 셰도우란, 증착원으로부터 방출된 증착재의 일부가, 금속 마스크의 슬릿이나, 수지 마스크의 개구부의 내벽면에 충돌하여 증착 대상물에 도달하지 않음에 따라, 목적으로 하는 증착막 두께보다도 얇은 막 두께가 되는 미증착 부분이 발생하는 현상을 말한다.

개구부(25)의 단면 형상에 대해서도 특별히 한정은 없고, 개구부(25)를 형성하는 수지 마스크의 마주보는 단부면끼리 대략 평행해도 되지만, 도 1의 (b)에 도시하는 바와 같이, 개구부(25)는 그 단면 형상이, 증착원을 향하여 확대되는 형상인 것이 바람직하다. 환언하면, 금속 마스크(10)측을 향하여 확대되는 테이퍼면을 갖고 있는 것이 바람직하다. 테이퍼 각에 대해서는, 수지 마스크(20)의 두께 등을 고려하여 적절히 설정할 수 있지만, 수지 마스크의 개구부에 있어서의 하부 바닥 선단과, 동일하게 수지 마스크의 개구부에 있어서의 상부 바닥 선단을 연결한 직선과, 수지 마스크 저면과의 이루는 각도, 환언하면, 수지 마스크(20)의 개구부(25)를 구성하는 내벽면의 두께 방향 단면에 있어서, 개구부(25)의 내벽면과 수지 마스크(20)의 금속 마스크(10)와 접하지 않는 측의 면(도시하는 형태에서는, 수지 마스크의 하면)과의 이루는 각도는, 5° 내지 85°의 범위 내인 것이 바람직하고, 15° 내지 75°의 범위 내인 것이 보다 바람직하며, 25° 내지 65°의 범위 내인 것이 더욱 바람직하다. 특히, 이 범위 내 중에서도, 사용하는 증착기의 증착 각도보다도 작은 각도인 것이 바람직하다. 또한, 도시하는 형태에서는, 개구부(25)를 형성하는 단부면은 직선 형상을 나타내고 있지만, 이것에 한정되지는 않고, 외부로 볼록한 만곡 형상으로 되어 있어도, 즉 개구부(25)의 전체 형상이 사발 형상으로 되어 있어도 된다.

(금속 마스크)

도 1의 (b)에 도시하는 바와 같이, 수지 마스크(20)의 한쪽 면 위에는, 금속 마스크(10)가 적층되어 있다. 금속 마스크(10)는 금속으로 구성되고, 세로 방향 또는 가로 방향으로 연장되는 슬릿(15)이 배치되어 있다. 슬릿(15)은 개구와 동의이다. 슬릿의 배치 예에 대하여 특별히 한정은 없고, 세로 방향 및 가로 방향으로 연장되는 슬릿이, 세로 방향 및 가로 방향으로 복수 열 배치되어 있어도 되고, 세로 방향으로 연장되는 슬릿이, 가로 방향으로 복수 열 배치되어 있어도 되며, 가로 방향으로 연장되는 슬릿이 세로 방향으로 복수 열 배치되어 있어도 된다. 또한, 세로 방향, 또는 가로 방향으로 1열만 배치되어 있어도 된다. 또한, 본원 명세서에서 말하는 「세로 방향」, 「가로 방향」이란, 도면의 상하 방향, 좌우 방향을 가리키고, 증착 마스크, 수지 마스크, 금속 마스크의 길이 방향, 폭 방향 중 어느 방향이어도 된다. 예를 들어, 증착 마스크, 수지 마스크, 금속 마스크의 길이 방향을 「세로 방향」으로 해도 되고, 폭 방향을 「세로 방향」으로 해도 된다. 또한, 본원 명세서에서는, 증착 마스크를 평면에서 보았을 때의 형상이 직사각 형상인 경우를 예로 들어 설명하고 있지만, 이 이외의 형상, 예를 들어 원 형상이나, 마름모꼴 형상 등의 다각형 형상으로 해도 된다. 이 경우, 대각선의 길이 방향이나, 직경 방향, 또는, 임의의 방향을 「길이 방향」이라 하고, 이 「길이 방향」에 직교하는 방향을, 「폭 방향(짧은 방향이라고 하는 경우도 있음)」으로 하면 된다.

금속 마스크(10)의 재료에 대하여 특별히 한정은 없고, 증착 마스크의 분야에서 종래 공지된 것을 적절히 선택하여 사용할 수 있으며, 예를 들어, 스테인리스강, 철 니켈 합금, 알루미늄 합금 등의 금속 재료를 들 수 있다. 그 중에서도, 철 니켈 합금인 인바재는 열에 의한 변형이 적으므로 적절하게 사용할 수 있다.

금속 마스크(10)의 두께에 대해서도 특별히 한정은 없지만, 셰도우의 발생을 보다 효과적으로 방지하기 위해서는, 100㎛ 이하인 것이 바람직하고, 50㎛ 이하인 것이 보다 바람직하며, 35㎛ 이하인 것이 특히 바람직하다. 또한, 5㎛보다 얇게 했을 경우, 파단이나 변형의 리스크가 높아짐과 함께 핸들링이 곤란해지는 경향이 있다.

또한, 도 1의 (a)에 도시하는 형태에서는, 슬릿(15)을 평면에서 보았을 때의 개구 형상은, 직사각 형상을 나타내고 있지만, 개구 형상에 대하여 특별히 한정은 없고, 슬릿(15)의 개구 형상은, 사다리꼴 형상, 원 형상 등 어떠한 형상이어도 된다.

금속 마스크(10)에 형성되는 슬릿(15)의 단면 형상에 대해서도 특별히 한정되지는 않지만, 도 1의 (b)에 도시하는 바와 같이 증착원을 향하여 확대되는 형상인 것이 바람직하다. 보다 구체적으로는, 금속 마스크(10)의 슬릿(15)에 있어서의 하부 바닥 선단과, 동일하게 금속 마스크(10)의 슬릿(15)에 있어서의 상부 바닥 선단을 연결한 직선과, 금속 마스크(10)의 저면과의 이루는 각도, 환언하면, 금속 마스크(10)의 슬릿(15)을 구성하는 내벽면의 두께 방향 단면에 있어서, 슬릿(15)의 내벽면과 금속 마스크(10)의 수지 마스크(20)와 접하는 측의 면(도시하는 형태에서는, 금속 마스크의 하면)과의 이루는 각도는, 5° 내지 85°의 범위 내인 것이 바람직하고, 15° 내지 80°의 범위 내인 것이 보다 바람직하며, 25° 내지 65°의 범위 내인 것이 더욱 바람직하다. 특히, 이 범위 내 중에서도, 사용하는 증착기의 증착 각도보다도 작은 각도인 것이 바람직하다.

수지 마스크 위에 금속 마스크(10)를 적층하는 방법에 대하여 특별히 한정은 없고, 수지 마스크(20)와 금속 마스크(10)를 각종 점착제를 사용하여 접합해도 되며, 자기 점착성을 갖는 수지 마스크를 사용해도 된다. 수지 마스크(20)와 금속 마스크(10)의 크기는 동일해도 되고, 상이한 크기여도 된다. 또한, 이후에 임의로 행해지는 프레임에 대한 고정을 고려하여, 수지 마스크(20)의 크기를 금속 마스크(10)보다도 작게 하여, 금속 마스크(10)의 외주 부분이 노출된 상태로 해 두면, 금속 마스크(10)와 프레임의 용접이 용이하게 되어 바람직하다.

이하, 본 공정에서 준비되는 바람직한 증착 마스크의 형태에 대하여 실시 형태 (A) 및 실시 형태 (B)를 예로 들어 설명한다.

<실시 형태 (A)의 증착 마스크>

도 2에 도시하는 바와 같이, 실시 형태 (A)의 증착 마스크(100)는, 복수 화면분의 증착 패턴을 동시에 형성하기 위한 증착 마스크이며, 수지 마스크(20)의 한쪽 면 위에 복수의 슬릿(15)이 형성된 금속 마스크(10)가 적층되어 이루어지고, 수지 마스크(20)에는, 복수 화면을 구성하기 위해 필요한 개구부(25)가 형성되고, 각 슬릿(15)이 적어도 1화면 전체와 겹치는 위치에 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.

실시 형태 (A)의 증착 마스크(100)는, 복수 화면분의 증착 패턴을 동시에 형성하기 위해 사용되는 증착 마스크이며, 하나의 증착 마스크(100)로, 복수의 제품에 대응하는 증착 패턴을 동시에 형성할 수 있다. 실시 형태 (A)의 증착 마스크에서 말하는 「개구부」란, 실시 형태 (A)의 증착 마스크(100)를 사용하여 제작하고자 하는 패턴을 의미하고, 예를 들어 당해 증착 마스크를 유기 EL 디스플레이에 있어서의 유기층의 형성에 사용하는 경우에는, 개구부(25)의 형상은 당해 유기층의 형상이 된다. 또한, 「1화면」이란, 하나의 제품에 대응하는 개구부(25)의 집합체를 포함하고, 당해 하나의 제품이 유기 EL 디스플레이일 경우에는, 하나의 유기 EL 디스플레이를 형성하는 데 필요한 유기층의 집합체, 즉, 유기층이 되는 개구부(25)의 집합체가 「1화면」이 된다. 그리고, 실시 형태 (A)의 증착 마스크(100)는, 복수 화면분의 증착 패턴을 동시에 형성하기 위해, 수지 마스크(20)에는, 상기 「1화면」이, 소정의 간격을 두고 복수 화면분 배치되어 있다. 즉, 수지 마스크(20)에는, 복수 화면을 구성하기 위해 필요한 개구부(25)가 형성되어 있다.

실시 형태 (A)의 증착 마스크는, 수지 마스크의 한쪽 면 위에, 복수의 슬릿(15)이 형성된 금속 마스크(10)가 설치되고, 각 슬릿은, 각각 적어도 1화면 전체와 겹치는 위치에 형성되어 있는 점을 특징으로 한다. 환언하면, 1화면을 구성하는 데 필요한 개구부(25) 사이에 있어서, 가로 방향으로 인접하는 개구부(25) 사이에, 슬릿(15)의 세로 방향의 길이와 동일한 길이이며, 금속 마스크(10)와 동일한 두께를 갖는 금속선 부분이나, 세로 방향에 인접하는 개구부 사이(25)에, 슬릿(15)의 가로 방향의 길이와 동일한 길이이며, 금속 마스크(10)와 동일한 두께를 갖는 금속선 부분이 존재하고 있지 않은 것을 특징으로 한다. 이하, 슬릿(15)의 세로 방향 길이와 동일한 길이이며, 금속 마스크(10)와 동일한 두께를 갖는 금속선 부분이나, 슬릿(15)의 가로 방향의 길이와 동일한 길이이며, 금속 마스크(10)와 동일한 두께를 갖는 금속선 부분을 총칭하여, 간단히 금속선 부분이라고 하는 경우가 있다.

실시 형태 (A)의 증착 마스크(100)에 의하면, 1화면을 구성하는 데 필요한 개구부(25)의 크기나, 1화면을 구성하는 개구부(25) 사이의 피치를 좁게 했을 경우, 예를 들어 400ppi를 초과하는 화면의 형성을 행하기 위해, 개구부(25)의 크기나, 개구부(25) 사이의 피치를 매우 미소하게 한 경우에도, 금속선 부분에 의한 간섭을 방지할 수 있어, 고정밀의 화상의 형성이 가능해진다. 또한, 1화면이, 복수의 슬릿에 의해 분할되어 있는 경우, 환언하면, 1화면을 구성하는 개구부(25) 사이에 금속 마스크(10)와 동일한 두께를 갖는 금속선 부분이 존재하고 있을 경우에는, 1화면을 구성하는 개구부(25) 사이의 피치가 좁아져 감에 수반하여, 개구부(25) 사이에 존재하는 금속선 부분이 증착 대상물에 증착 패턴을 형성할 때의 지장이 되어 고정밀의 증착 패턴의 형성이 곤란해진다. 환언하면, 1화면을 구성하는 개구부(25) 사이에 금속 마스크(10)와 동일한 두께를 갖는 금속선 부분이 존재하고 있을 경우에는, 프레임이 구비된 증착 마스크로 했을 때, 당해 금속선 부분이, 셰도우의 발생을 야기하여 고정밀의 화면의 형성이 곤란해진다.

이어서, 도 2 내지 도 6을 참조하여, 1화면을 구성하는 개구부(25)의 일례에 대하여 설명한다. 또한, 도시하는 형태에 있어서 파선으로 둘러싸인 영역이 1화면으로 되어 있다. 도시하는 형태에서는, 설명의 편의상 소수의 개구부(25)의 집합체를 1화면으로 하고 있지만, 이 형태에 한정되는 것은 아니며, 예를 들어 하나의 개구부(25)를 1화소로 했을 때, 1화면에 수백만 화소의 개구부(25)가 존재하고 있어도 된다.

도 2에 도시하는 형태에서는, 세로 방향, 가로 방향으로 복수의 개구부(25)가 형성되어 이루어지는 개구부(25)의 집합체에 의해 1화면이 구성되어 있다. 도 3에 도시하는 형태에서는, 가로 방향으로 복수의 개구부(25)가 형성되어 이루어지는 개구부(25)의 집합체에 의해 1화면이 구성되어 있다. 또한, 도 4에 도시하는 형태에서는, 세로 방향으로 복수의 개구부(25)가 형성되어 이루어지는 개구부(25)의 집합체에 의해 1화면이 구성되어 있다. 그리고, 도 2 내지 도 4에서는, 1화면 전체와 겹치는 위치에 슬릿(15)이 형성되어 있다.

상기에서 설명한 바와 같이, 슬릿(15)은 1화면과만 겹치는 위치에 형성되어 있어도 되고, 도 5의 (a), (b)에 도시하는 바와 같이, 2 이상의 화면 전체와 겹치는 위치에 형성되어 있어도 된다. 도 5의 (a)에서는, 도 2에 도시하는 수지 마스크(10)에 있어서, 가로 방향으로 연속되는 2화면 전체와 겹치는 위치에 슬릿(15)이 형성되어 있다. 도 5의 (b)에서는, 세로 방향으로 연속되는 3화면 전체와 겹치는 위치에 슬릿(15)이 형성되어 있다.

이어서, 도 2에 도시하는 형태를 예로 들어, 1화면을 구성하는 개구부(25) 사이의 피치, 화면 사이의 피치에 대하여 설명한다. 1화면을 구성하는 개구부(25) 사이의 피치나, 개구부(25)의 크기에 대하여 특별히 한정은 없고, 증착 제작하는 패턴에 따라서 적절히 설정할 수 있다. 예를 들어, 400ppi의 고정밀의 증착 패턴의 형성을 행하는 경우에는, 1화면을 구성하는 개구부(25)에 있어서 인접하는 개구부(25)의 가로 방향의 피치(P1), 세로 방향의 피치(P2)는 60㎛ 정도가 된다. 또한, 개구부의 크기는, 500㎛² 내지 1000㎛² 정도가 된다. 또한, 하나의 개구부(25)는 1화소에 대응하고 있는 것에 한정되지 않고, 예를 들어, 화소 배열에 따라서는, 복수 화소를 합해서 하나의 개구부(25)로 할 수도 있다.

화면 사이의 가로 방향의 피치(P3), 세로 방향의 피치(P4)에 대해서도 특별히 한정은 없지만, 도 2에 도시하는 바와 같이, 하나의 슬릿(15)이, 1화면 전체와 겹치는 위치에 형성되는 경우에는, 각 화면 사이에 금속선 부분이 존재하게 된다. 따라서, 각 화면 사이의 세로 방향의 피치(P4), 가로 방향의 피치(P3)가, 1화면 내에 형성되어 있는 개구부(25)의 세로 방향의 피치(P2), 가로 방향의 피치(P1)보다도 작은 경우, 또는 대략 동등할 경우에는, 각 화면 사이에 존재하고 있는 금속선 부분이 단선되기 쉬워진다. 따라서, 이 점을 고려하면, 화면 사이의 피치(P3, P4)는, 1화면을 구성하는 개구부(25) 사이의 피치(P1, P2)보다도 넓은 것이 바람직하다. 화면 사이의 피치(P3, P4)의 일례로서는, 1㎜ 내지 100㎜ 정도이다. 또한, 화면 사이의 피치란, 하나의 화면과, 당해 하나의 화면과 인접하는 다른 화면에 있어서, 인접하고 있는 개구부 사이의 피치를 의미한다. 이것은, 후술하는 실시 형태 (B)의 증착 마스크에 있어서의 개구부(25)의 피치, 화면 사이의 피치에 대해서도 마찬가지이다.

또한, 도 5에 도시하는 바와 같이, 하나의 슬릿(15)이, 2개 이상의 화면 전체와 겹치는 위치에 형성되는 경우에는, 하나의 슬릿(15) 내에 설치되어 있는 복수의 화면 사이에는, 슬릿의 내벽면을 구성하는 금속선 부분이 존재하지 않게 된다. 따라서, 이 경우, 하나의 슬릿(15)과 겹치는 위치에 설치되어 있는 2개 이상의 화면 사이의 피치는, 1화면을 구성하는 개구부(25) 사이의 피치와 대략 동등해도 된다.

또한, 수지 마스크(20)에는, 수지 마스크(20)의 세로 방향, 또는 가로 방향으로 길어지는 홈(도시 생략)이 형성되어 있어도 된다. 증착 시에 열이 가해졌을 경우, 수지 마스크(20)가 열팽창하고, 이에 의해 개구부(25)의 치수나 위치에 변화가 발생할 가능성이 있지만, 홈을 형성함으로써 수지 마스크의 팽창을 흡수할 수 있어, 수지 마스크의 각처에서 발생하는 열팽창이 누적됨으로써 수지 마스크(20)가 전체적으로 소정의 방향으로 팽창하여 개구부(25)의 치수나 위치가 변화하는 것을 방지할 수 있다. 홈의 형성 위치에 대하여 한정은 없고, 1화면을 구성하는 개구부(25) 사이나, 개구부(25)와 겹치는 위치에 형성되어 있어도 되지만, 화면 사이에 형성되어 있는 것이 바람직하다. 또한, 홈은, 수지 마스크의 한쪽 면, 예를 들어 금속 마스크와 접하는 측의 면에만 형성되어 있어도 되고, 금속 마스크와 접하지 않는 측의 면에만 형성되어 있어도 된다. 또는, 수지 마스크(20)의 양면에 형성되어 있어도 된다.

또한, 인접하는 화면 사이에 세로 방향으로 연장되는 홈으로 해도 되고, 인접하는 화면 사이에 가로 방향으로 연장되는 홈을 형성해도 된다. 나아가, 이것들을 조합한 형태에서 홈을 형성하는 것도 가능하다.

홈의 깊이나 그 폭에 대해서는 특별히 한정은 없지만, 홈의 깊이가 너무 깊은 경우나, 폭이 너무 넓을 경우에는, 수지 마스크(20)의 강성이 저하되는 경향이 있는 점에서, 이 점을 고려하여 설정할 필요가 있다. 또한, 홈의 단면 형상에 대해서도 특별히 한정되는 일 없이 U자 형상이나 V자 형상 등, 가공 방법 등을 고려하여 임의로 선택하면 된다. 실시 형태 (B)의 증착 마스크에 대해서도 마찬가지이다.

<실시 형태 (B)의 증착 마스크>

다음으로 실시 형태 (B)의 증착 마스크에 대하여 설명한다. 도 6에 도시하는 바와 같이, 실시 형태 (B)의 증착 마스크는, 증착 제작하는 패턴에 대응한 개구부(25)가 복수 형성된 수지 마스크(20)의 한쪽 면 위에, 하나의 슬릿(하나의 구멍(16))이 형성된 금속 마스크(10)가 적층되어 이루어지고, 당해 복수의 개구부(25)의 전부가, 금속 마스크(10)에 형성된 하나의 구멍과 겹치는 위치에 형성되어 있는 점을 특징으로 한다.

실시 형태 (B)의 증착 마스크에서 말하는 개구부(25)란, 증착 대상물에 증착 패턴을 형성하기 위해 필요한 개구부를 의미하고, 증착 대상물에 증착 패턴을 형성하기 위해 필요하지 않은 개구부는, 하나의 구멍(16)과 겹치지 않는 위치에 형성되어 있어도 된다. 또한, 도 6은 실시 형태 (B)의 증착 마스크의 일례를 나타내는 증착 마스크를 금속 마스크측에서 본 정면도이다.

실시 형태 (B)의 증착 마스크(100)는, 복수의 개구부(25)를 갖는 수지 마스크(20) 위에, 하나의 구멍(16)을 갖는 금속 마스크(10)가 형성되어 있고, 또한, 복수의 개구부(25)의 전부는, 당해 하나의 구멍(16)과 겹치는 위치에 형성되어 있다. 이 구성을 갖는 실시 형태 (B)의 증착 마스크(100)에서는, 개구부(25) 사이에, 금속 마스크의 두께와 동일한 두께, 또는, 금속 마스크의 두께보다 두꺼운 금속선 부분이 존재하고 있지 않은 점에서, 상기 실시 형태 (A)의 증착 마스크에서 설명한 바와 같이, 금속선 부분에 의한 간섭을 받는 일 없이 수지 마스크(20)에 형성되어 있는 개구부(25)의 치수대로 고정밀의 증착 패턴을 형성하는 것이 가능해진다.

또한, 실시 형태 (B)의 증착 마스크에 의하면, 금속 마스크(10)의 두께를 두껍게 해 나간 경우에도, 셰도우의 영향을 거의 받는 일이 없는 점에서, 금속 마스크(10)의 두께를, 내구성이나, 핸들링성을 충분히 충족시킬 수 있을 때까지 두껍게 할 수 있고, 고정밀의 증착 패턴의 형성을 가능하게 하면서도, 내구성이나, 핸들링성을 향상시킬 수 있다.

(수지 마스크)

실시 형태 (B)의 증착 마스크에 있어서의 수지 마스크(20)는, 수지로 구성되고, 도 6에 도시하는 바와 같이, 하나의 구멍(16)과 겹치는 위치에 증착 제작하는 패턴에 대응한 개구부(25)가 복수 형성되어 있다. 개구부(25)는, 증착 제작하는 패턴에 대응하고 있고, 증착원으로부터 방출된 증착재가 개구부(25)를 통과함으로써, 증착 대상물에는, 개구부(25)에 대응하는 증착 패턴이 형성된다. 또한, 도시하는 형태에서는, 개구부가 종횡으로 복수 열 배치된 예를 들어 설명하고 있지만, 세로 방향, 또는 가로 방향으로만 배치되어 있어도 된다.

실시 형태 (B)의 증착 마스크(100)에 있어서의 「1화면」이란, 하나의 제품에 대응하는 개구부(25)의 집합체를 의미하고, 당해 하나의 제품이 유기 EL 디스플레이일 경우에는, 하나의 유기 EL 디스플레이를 형성하는 데 필요한 유기층의 집합체, 즉, 유기층이 되는 개구부(25)의 집합체가 「1화면」이 된다. 실시 형태 (B)의 증착 마스크는, 「1화면」만을 포함하는 것이어도 되고, 당해 「1화면」이 복수 화면분 배치된 것이어도 되지만, 「1화면」이 복수 화면분 배치될 경우에는, 화면 단위마다 소정의 간격을 두고 개구부(25)가 형성되어 있는 것이 바람직하다(실시 형태 (A)의 증착 마스크의 도 5 참조). 「1화면」의 형태에 대하여 특별히 한정은 없고, 예를 들어 하나의 개구부(25)를 1화소로 했을 때, 수백만개의 개구부(25)에 의해 1화면을 구성할 수도 있다.

(금속 마스크)

실시 형태 (B)의 증착 마스크(100)에 있어서의 금속 마스크(10)는, 금속으로 구성되고 하나의 구멍(16)을 갖고 있다. 그리고, 본 발명에서는, 당해 하나의 구멍(16)은, 금속 마스크(10)의 정면에서 보았을 때, 모든 개구부(25)와 겹치는 위치, 환언하면, 수지 마스크(20)에 배치된 모든 개구부(25)가 보이는 위치에 배치되어 있다.

금속 마스크(10)를 구성하는 금속 부분, 즉 하나의 구멍(16) 이외의 부분은, 도 6에 도시하는 바와 같이 증착 마스크(100)의 외측 테두리를 따라서 형성되어 있어도 되고, 도 7에 도시하는 바와 같이 금속 마스크(10)의 크기를 수지 마스크(20)보다도 작게 하여, 수지 마스크(20)의 외주 부분을 노출시켜도 된다. 또한, 금속 마스크(10)의 크기를 수지 마스크(20)보다도 크게 하여, 금속 부분의 일부를, 수지 마스크의 가로 방향 외측, 또는 세로 방향 외측으로 돌출시켜도 된다. 또한, 어느쪽 경우라도, 하나의 구멍(16)의 크기는, 수지 마스크(20)의 크기보다도 작게 구성되어 있다.

도 6에 도시되는 금속 마스크(10)의 하나의 구멍(16)의 벽면을 이루는 금속 부분의 가로 방향의 폭(W1)이나, 세로 방향의 폭(W2)에 대하여 특별히 한정은 없지만, W1, W2의 폭이 좁아져 감에 따라, 내구성이나, 핸들링성이 저하되어 가는 경향이 있다. 따라서, W1, W2는, 내구성이나, 핸들링성을 충분히 충족시킬 수 있는 폭으로 하는 것이 바람직하다. 금속 마스크(10)의 두께에 따라서 적절한 폭을 적절히 설정할 수 있지만, 바람직한 폭의 일례로서는, 실시 형태 (A)의 증착 마스크에 있어서의 금속 마스크와 마찬가지로, W1, W2 모두 1㎜ 내지 100㎜ 정도이다.

이하, 본 공정에서 준비되는 일 실시 형태의 증착 마스크의 제조 방법에 대하여 일례를 들어 설명한다. 일 실시 형태의 증착 마스크(100)는, 수지판의 한쪽 면 위에 슬릿(15)이 형성된 금속 마스크(10)가 적층된 수지판이 구비된 금속 마스크를 준비하고, 이어서, 수지판이 구비된 금속 마스크에 대하여, 금속 마스크(10)측으로부터 슬릿(15)을 통하여 레이저를 조사하여, 수지판에 증착 제작하는 패턴에 대응하는 개구부(25)를 형성함으로써 얻을 수 있다.

수지판이 구비된 금속 마스크의 형성 방법으로서는, 수지판의 한쪽 면 위에 슬릿(15)이 형성된 금속 마스크(10)를 적층한다. 수지판은, 상기 수지 마스크(20)에서 설명한 재료를 사용할 수 있다.

슬릿(15)이 형성된 금속 마스크(10)의 형성 방법으로서는, 금속판의 표면에 마스킹 부재, 예를 들어 레지스트재를 도포 시공하고, 소정의 지점을 노광하여, 현상함으로써, 최종적으로 슬릿(15)이 형성되는 위치를 남긴 레지스트 패턴을 형성한다. 마스킹 부재로서 사용하는 레지스트재로서는 처리성이 좋고, 원하는 해상성이 있는 것이 바람직하다. 이어서, 이 레지스트 패턴을 내(耐)에칭 마스크로서 사용해서 에칭법에 의해 에칭 가공한다. 에칭이 종료된 후, 레지스트 패턴을 세정 제거한다. 이에 의해, 슬릿(15)이 형성된 금속 마스크(10)가 얻어진다. 슬릿(15)을 형성하기 위한 에칭은, 금속판의 편면측으로부터 행해도 되고, 양면으로부터 행해도 된다. 또한, 금속판에 수지판이 설치된 적층체를 사용하여, 금속판에 슬릿(15)을 형성하는 경우에는, 금속판의 수지판과 접하지 않는 측의 표면에 마스킹 부재를 도포 시공하고, 편면측으로부터의 에칭에 의해 슬릿(15)이 형성된다. 또한, 수지판이, 금속판의 에칭재에 대하여 내에칭성을 갖는 경우에는, 수지판의 표면을 마스킹할 필요는 없지만, 수지판이, 금속판의 에칭재에 대한 내성을 갖지 않는 경우에는, 수지판의 표면에 마스킹 부재를 도포 시공해 둘 필요가 있다. 또한, 상기에서는, 마스킹 부재로서 레지스트재를 중심으로 설명을 행했지만, 레지스트재를 도포 시공하는 대신 드라이 필름 레지스트를 라미네이트하여, 마찬가지의 패터닝을 행해도 된다.

상기 방법에 있어서, 수지판이 구비된 금속 마스크를 구성하는 수지판은, 판상의 수지뿐만 아니라, 코팅에 의해 형성된 수지층이나 수지막이어도 된다. 즉, 수지판은, 미리 준비된 것이어도 되고, 금속판 위에 종래 공지된 코팅법 등에 의해, 최종적으로 수지 마스크가 되는 수지층, 또는 수지막을 형성할 수도 있다.

개구부(25)는, 상기에서 준비된 수지판이 구비된 금속 마스크에 대하여, 레이저 가공법, 정밀 프레스 가공, 포트리소 가공 등을 사용하여 형성할 수 있다. 개구부를 형성함으로써, 증착 제작하는 패턴에 대응하는 개구부(25)가 형성된 수지 마스크(20)의 한쪽 면 위에 슬릿(15)이 형성된 금속 마스크(10)가 적층된 일 실시 형태의 증착 마스크(100)를 얻는다. 또한, 고정밀의 개구부(25)를 용이하게 형성할 수 있는 점에서는, 개구부(25)의 형성에는, 레이저 가공법을 사용하는 것이 바람직하다.

<인장 보조 부재 고정 공정>

인장 보조 부재 고정 공정은, 도 8의 (a) 내지 (c)에 도시하는 바와 같이, 증착 마스크(100)의 한쪽 면(도시하는 형태에서는, 수지 마스크(20)의 면) 위에 인장 보조 부재(50)를 겹치고, 증착 마스크(100)의 한쪽 면과 인장 보조 부재(50)가 겹치는 부분의 적어도 일부(도면 중의 부호 X)에 있어서, 증착 마스크(100)에 인장 보조 부재(50)를 고정하는 공정이다. 도 8은 증착 마스크의 한쪽 면과 인장 보조 부재(50)를 고정한 상태를 도시하는 정면도이며, 도시하는 형태에서는, 증착 마스크(100)의 수지 마스크(20)의 표면과 인장 보조 부재(50)가 겹치는 부분의 전체, 또는 겹치는 부분의 일부에 있어서, 당해 수지 마스크(20)와 인장 보조 부재(50)가 고정되어 있다. 환언하면, 증착 마스크(100)를 평면에서 보았을 때, 즉, 증착 마스크(100)의 두께 방향에 있어서, 당해 증착 마스크의 한쪽 면과 겹치도록 인장 보조 부재(50)가 배치되고, 당해 겹치는 부분 전체, 또는 겹치는 부분의 일부에 있어서, 증착 마스크(100)의 한쪽 면과 인장 보조 부재(50)는 고정되어 있다. 또한, 도 8에서는, 수지 마스크(20)에 형성되어 있는 개구부의 기재는 생략하고, 복수의 개구부로 구성되는 1화면을 기재하고 있다. 「1화면」에 대해서는, 상기 실시 형태 (A)의 증착 마스크나, 실시 형태 (B)의 증착 마스크에서 설명한 바와 같다.

본 공정에서는, 증착 마스크(100)의 한쪽 면에 인장 보조 부재(50)를 겹치고, 증착 마스크의 한쪽 면과 인장 보조 부재(50)가 겹치는 부분의 적어도 일부에 있어서 증착 마스크(100)와 인장 보조 부재(50)를 고정하고 있다. 즉, 증착 마스크의 면과 겹칠 수 있다는 조건을 만족하는 위치라면, 어떠한 위치에 있어서도, 인장 보조 부재(50)를 고정할 수 있다. 따라서, 종래 공지된 파지 수단, 예를 들어 증착 마스크의 단부를 물도록 하여 고정하는 클램프와는 상이하게, 인장 보조 부재를 고정하는 위치에 대하여 한정되는 일 없이, 임의의 위치에 있어서 증착 마스크(100)에 고정할 수 있다. 또한, 증착 마스크의 단부 등을 파지하여 고정하는 클램프 등은, 본원 명세서에서 말하는 인장 보조 부재(50)로부터는 제외된다.

또한, 각 도면에 나타내는 형태에서는, 증착 마스크(100)의 한쪽 면과 인장 보조 부재(50)가 겹치는 부분의 적어도 일부(도면 중의 부호 X)에 있어서, 증착 마스크(100)에 인장 보조 부재(50)가 고정되어 있지만, 증착 마스크(100)의 한쪽 면과 인장 보조 부재(50)가 겹치는 모든 부분에서 증착 마스크(100)와 인장 보조 부재(50)를 고정해도 된다.

인장 보조 부재는, 도시한 바와 같이 수지 마스크(20) 위에 고정되어 있어도 되고, 금속 마스크(10) 위에 고정되어 있어도 된다. 또한, 최종적으로 얻어지는 프레임이 구비된 증착 마스크는, 통상, 당해 증착 마스크(100)의 금속 마스크(10)와, 프레임이 대향하도록 고정된다. 따라서, 이 점을 고려하면, 인장 보조 부재(50)는, 수지 마스크(20)측의 면과 겹치는 적어도 일부에서 고정되어 있는 것이 바람직하다. 또한, 증착 마스크를 프레임에 고정한 후에, 인장 보조 부재(50)를 증착 마스크의 표면으로부터 분리할 수 있으면, 금속 마스크(10)측의 면과 겹치는 적어도 일부에서 고정되어 있어도 문제는 없다.

인장 보조 부재(50)는, 어떠한 수단에 의해 증착 마스크(100)의 한쪽 면과 겹치는 부분의 적어도 일부에 있어서 증착 마스크(100)의 한쪽 면 위에 고정되어 있으면 되고, 그 재료에 대하여 어떠한 한정도 되지 않는다. 예를 들어, 인장 보조 부재(50)는, 수지 재료나, 금속 재료로 구성되는 것이어도 되고, 이 이외의 재료, 예를 들어 유리 재료나, 세라믹 재료, 종이 재료 등으로 구성되는 것이어도 된다.

인장 보조 부재(50)의 형상에 대하여 한정은 없고, 증착 마스크(100)의 한쪽 면과, 인장 보조 부재의 표면을 어떠한 수단에 의해 고정할 수 있는 형상을 나타내는 것이면 된다. 즉, 인장 보조 부재(50)는, 어떠한 형상이어도 된다. 일례로서의 인장 보조 부재(50)는, 시트형, 원기둥형, 각기둥형 등을 나타내고 있다. 또한, 각 도면에 도시하는 형태에서는, 인장 보조 부재(50)로서 시트형 인장 보조 부재를 사용하여, 증착 마스크(100)의 인장을 행하고 있지만 이 형태에 한정되는 것은 아니다. 또한, 인장 보조 부재(50)의 크기나, 두께에 대하여 어떠한 한정도 되지 않는다. 예를 들어, 시트형 인장 보조 부재(50)를 사용하는 경우에 있어서, 그 두께 등에 대하여 어떠한 한정도 되지 않는다. 인장 보조 부재(50)의 표면과 증착 마스크는, 직접적으로, 또는 간접적으로 접하는데, 이 접하는 형태에 대하여 특별히 한정은 없고, 인장 보조 부재(50)의 표면과 증착 마스크는, 직접적으로, 또는 간접적으로 면으로 접하고 있어도 되고, 선이나, 점으로 접하고 있어도 된다. 예를 들어, 시트형 인장 보조 부재를 사용한 경우에는, 당해 인장 보조 부재(50)와 증착 마스크(100)의 한쪽 면과는, 직접적으로, 또는 간접적으로 면으로 접하게 된다. 또한, 원기둥형의 인장 보조 부재를 사용한 경우에는, 당해 인장 보조 부재(50)의 원주면과 증착 마스크의 한쪽 면과는 직접적으로, 또는 간접적으로 선으로 접하게 된다.

일례로서의 인장 보조 부재(50)는, 구동 수단과 연결되어 있고, 구동 수단을 작동시켜서 인장 보조 부재(50)를 인장함으로써, 당해 인장 보조 부재와 고정되어 있는 증착 마스크(100)의 인장이 행해진다. 구동 수단에 대해서는, 종래 공지된 것을 적절히 선택할 수 있고, 예를 들어 모터, 에어 실린더, 전동 액추에이터 등을 들 수 있다. 또한, 구동 수단을 사용하는 일 없이, 인장 보조 부재(50)와 고정되어 있는 증착 마스크(100)를 인장할 수도 있다. 예를 들어, 손을 사용하여 인장 보조 부재(50)를 인장함으로써, 인장 보조 부재(50)와 고정되어 있는 증착 마스크를 인장할 수도 있다. 이 경우에는, 인장 보조 부재(50)는 구동 수단과 연결되어 있지 않아도 된다.

증착 마스크(100)의 한쪽 면과 인장 보조 부재(50)는, (i) 직접적으로 접한 상태에서 고정되어 있어도 되고, (ii) 간접적으로 접하는 상태에서 고정되어 있어도 된다.

증착 마스크(100)의 한쪽 면과 인장 보조 부재(50)가, (i) 직접적으로 접한 상태에서 고정되는 형태로서는, 인장 보조 부재(50)로서, 자성을 갖는 재료를 사용하는 형태, 자기 점착성을 갖는 재료를 사용하는 형태, 자기 흡착성 및 재박리성을 갖는 재료를 사용하는 형태, 증착 마스크(100)의 한쪽 면과 인장 보조 부재(50)를 정전 흡착 등을 사용하여 고정하는 형태를 들 수 있다. 예를 들어, 인장 보조 부재(50)로서 자성을 갖는 재료를 사용한 경우에는, 증착 마스크(100)를 구성하는 금속 마스크를 이용하여, 인장 보조 부재(50)와 금속 마스크(10)가 겹치는 위치에 있어서, 자력을 사용하여 증착 마스크(100)와 인장 보조 부재(50)를 끌어당겨서 고정할 수 있다. 또한, 인장 보조 부재(50)로서 자기 흡착성 및 재박리성을 갖는 재료를 사용한 경우에는, 그 자기 흡착성을 이용하여, 인장 보조 부재(50)와 증착 마스크의 표면이 겹치는 위치에 있어서 인장 보조 부재(50)를 고정할 수 있다. 자기 흡착성 및 재박리성을 갖는 재료에 의하면, 두께 방향에 있어서 금속 마스크(10)와 겹치지 않는 위치에 있어서도, 증착 마스크(100)의 표면에 인장 보조 부재(50)를 고정할 수 있다.

그 중에서도, 자성을 갖는 재료나, 자기 흡착성 및 재박리성을 갖는 재료는, 반복 사용이 가능한 점에서 바람직한 재료라고 할 수 있다. 인장 보조 부재의 자기 흡착성이란, 증착 마스크와 접했을 때, 공기를 물리치면서 밀착할 수 있는 성질을 의미한다. 인장 보조 부재의 재박리성이란, 증착 마스크와 고정되어 있는 인장 보조 부재의 일단부를 들어올림으로써, 박리가 주변으로 확산되어 인장 보조 부재 전체를 분리할 수 있는 성질을 의미한다. 상기 자기 흡착성 및 박리성을 갖는 재료로서는, 실리콘 수지계, 폴리올레핀 수지계, 폴리우레탄계의 열가소성 엘라스토머계 등의 자기 점착성 수지, 고무계, 폴리 염화 비닐 수지계를 들 수 있다. 자기 흡착성 및 재박리성을 갖는 재료로서는, 예를 들어 스미토모카가쿠(주)의 상품명 스미론S나 파낙(주)의 상품명 올레핀겔폴리머시트, 후지코피안(주)의 상품명 FIXFILM 등의 시판품을 사용할 수도 있다. 자성을 갖는 재료나, 자기 흡착성 및 재박리성을 갖는 재료는 조합하여 사용할 수도 있다. 인장 보조 부재(50)는, 단일의 부재로 구성한 것을 사용해도 되고, 복수의 부재를 조합하여 구성한 것을 사용할 수도 있다. 또한, 복수의 부재를 조합하여 인장 보조 부재를 구성하는 경우에 있어서의 조합의 방법에 대하여 한정은 없고, 복수의 부재를, 방향을 막론하고 배열하여 이루어지는 인장 보조 부재(50)로 해도 되고, 복수의 부재를 겹쳐서 이루어지는 인장 보조 부재(50)로 해도 된다. 예를 들어, 자기 흡착성을 갖는 재료 위에 자성을 갖는 재료를 조합한 인장 보조 부재(50)로 했을 경우에는, 자성을 갖는 재료의 특성을 살려서 금속 마스크와 후술하는 보조 프레임(65)을 임시 고정하면서, 증착 마스크(100)를 인장할 수 있다. 또한, 복수의 인장 보조 부재(50)를 사용하는 경우에 있어서, 각각의 인장 보조 부재를 구성하는 부재나, 재료는, 동일한 것이어도 되고, 상이한 것이어도 된다.

증착 마스크(100)의 한쪽 면과 인장 보조 부재(50)가, (ii) 간접적으로 접한 상태에서 고정되는 형태로서는, 증착 마스크(100)와 인장 보조 부재(50)를, 소정의 부재를 사용하여 간접적으로 고정하는 형태를 들 수 있다. 소정의 부재로서는, 예를 들어 점착제나, 점착 시트, 또는, 상기 인장 보조 부재(50)의 재료로서 예시한, 자성을 갖는 재료나, 자기 흡착성 및 재박리성을 갖는 재료를 들 수 있다. 소정의 부재는, 증착 마스크와 인장 보조 부재(50)를 간접적으로 연결하기 위한 부재, 즉, 인장 보조 부재(50)를 구성하지 않는 것이어도 되고, 후술하는 인장 보조 부재 본체부(50A)로서 사용할 수 있다(도 19의 (a) 내지 (d), (f)의 인장 보조 부재 본체부(50A) 참조). 후자의 경우에는, 소정의 부재가 인장 보조 부재 본체부(50A)를 구성하고, 여기에서 설명하는 인장 보조 부재(50)는, 인장 보조 부재 연장부(50B)를 구성한다. 소정의 부재는, 인장 보조 부재(50)를 인장했을 때의 신장률이 작은 재료로 구성된 것이 바람직하다. 보다 구체적으로는, 증착 마스크와 인장 보조 부재(50)를 간접적으로 연결하는 소정의 부재의 재료는, 증착 마스크(100)의 수지 마스크(10)를 구성하는 재료보다도 신장률이 작은 재료인 것이 바람직하다. 이러한 부재에 의해, 증착 마스크와 인장 보조 부재(50)를 간접적으로 고정함으로써, 인장 보조 부재를 인장했을 때, 소정의 부재가 늘어나는 것을 억제할 수 있고, 보다 고정밀도로, 증착 마스크를 인장할 수 있다. 또한, 소정의 부재의 재료가 수지 마스크(10)를 구성하는 재료와 신장률이 동등, 또는 이것보다도 신장률이 큰 재료인 경우에는, 소정의 부재의 재료로서 신장률이 작은 재료를 사용한 경우와 비교하여, 증착 마스크를 인장할 때의 정밀도는 낮아지는 경향이 있기는 하지만, 인장 보조 부재(50)를 인장할 때, 소정의 부재가 신축되는 등, 소정의 부재의 신축 자유도를 크게 할 수 있다. 증착 마스크와 인장 보조 부재(50)를 간접적으로 연결하는 소정의 부재의 신축 자유도를 크게 한 경우에는, 인장 보조 부재(50)에 의해 증착 마스크를 인장한 상태에서, 당해 증착 마스크를 프레임에 고정하는 경우 등에 발생하는 외력을, 소정의 부재에 의해 흡수시킬 수 있다. 즉, 외력에 의해, 증착 마스크에 변형 등이 발생하는 일이나, 증착 마스크에 위치 어긋남이 발생하는 일 등을 소정의 부재에 의해 억제할 수 있다. 또한, 여기에서 말하는 신장률이란, JIS K 7127(1999)에 준거한 인장 신장률을 의미한다.

또한, (ii)의 형태에서는, 소정의 부재의 두께만큼, 증착 마스크(100)의 표면으로부터 인장 보조 부재(50)의 표면까지의 거리를 띄울 수 있고, 증착 마스크(100)와 인장 보조 부재(50)가 간접적으로 접하고 있는 고정 지점 이외의 지점에 있어서, 인장 보조 부재(50)가 증착 마스크(100)의 표면과 직접적으로 접하는 것을 억제할 수 있다. 예를 들어, 증착 마스크의 한쪽 면의 중앙 근방에 있어서, 인장 보조 부재(50)와 증착 마스크(100)를 상기 (i)의 고정 형태로 고정했을 경우에는, 당해 인장 보조 부재(50)를 인장했을 때, 인장 보조 부재(50)와 증착 마스크가 고정되어 있는 영역 이외의 영역, 즉, 중앙부 근방 이외의 영역에서도, 증착 마스크의 표면과 인장 보조 부재(50)가 접하게 되고, 인장 보조 부재(50)의 재질 등에 따라서는, 증착 마스크의 표면에 흠집을 내어 버리는 경우 등이 있다. 구체적으로는, 인장 보조 부재(50)와 고정되는 증착 마스크의 면이 수지 마스크(20)측의 면이며, 수지 마스크의 재료보다도 단단한 금속 재료 등을 포함하는 인장 보조 부재(50)가 고정 개소 이외의 영역에서 수지 마스크의 표면과 접하고 있을 경우에는, 인장 보조 부재(50)를 인장했을 때, 당해 인장 보조 부재(50)가 고정 개소 이외의 수지 마스크의 표면에 흠집을 내어 버리는 경우가 있다.

동일하게, 복수의 증착 마스크가 폭 방향으로 복수 나란히 배치되어 있는 경우에 있어서, 복수의 증착 마스크 중 하나의 증착 마스크의 한쪽 면과 직접적으로 고정되어 있는 인장 보조 부재(50)를 인장함으로써, 당해 인장 보조 부재와 고정되어 있는 하나의 증착 마스크를 당해 증착 마스크의 폭 방향으로 인장할 때, 인장 보조 부재(50)는, 하나의 증착 마스크와 폭 방향에 있어서 인접하는 다른 증착 마스크의 한쪽 면의 표면과도 접하게 된다. 인장 보조 부재(50)의 재질 등에 따라서는, 하나의 증착 마스크와 고정되어 있는 인장 보조 부재(50)가, 다른 증착 마스크의 표면과 접했을 경우에, 다른 증착 마스크의 표면에 흠집을 내어 버리는 경우 등이 있다. 따라서, 상기 (i)의 고정 형태로 고정을 행하는 경우에는, 증착 마스크의 표면에 흠집내지 않는 재료, 예를 들어 수지 등의 재료를 포함하는 인장 보조 부재(50)를 사용하는 것이 바람직하다. 수지 등의 재료를 포함하는 인장 보조 부재(50)를 사용한 경우에는, 하나의 증착 마스크와 고정되어 있는 인장 보조 부재(50)가, 다른 증착 마스크의 표면과 접했다고 하더라도, 특별한 문제는 발생하지 않는다.

또한, 인장 보조 부재(50)로서, 수지 등의 재료를 포함하는 인장 보조 부재(50)를 사용한 경우에는, 당해 인장 보조 부재(50)에 활성이 부여되고, 하나의 증착 마스크와 고정되어 있는 인장 보조 부재(50)가, 다른 증착 마스크의 표면과 접한 경우에도, 다른 증착 마스크의 표면에 흠집을 내는 일 없이, 하나의 증착 마스크의 한쪽 면 위에 고정되어 있는 인장 보조 부재(50)를 용이하게 인장할 수 있다. 바람직한 형태의 일례로서는, 상기 (ii)의 고정 형태로, 인장 보조 부재(50)가 증착 마스크(100)에 고정되어 있고, 인장 보조 부재(50)로서, 신장률이 작은 재료, 예를 들어 금속 재료로 구성되어 있는 인장 보조 부재(50)가 사용되고 있다. 이 형태에 의하면, 인장 보조 부재(50)가, 증착 마스크(100)의 표면에 접하는 것을 억제하면서, 인장 보조 부재(50)를 인장했을 때, 인장 보조 부재(50) 자체가 늘어나 버리는 것을 억제할 수 있고, 보다 고정밀도로, 인장 보조 부재에 고정되어 있는 증착 마스크를 인장할 수 있다. 또한, (i)의 고정 형태로 하는 경우에도, 후술하는 바와 같이, 인장 보조 부재(50)를 절곡함으로써(도 19의 (e), (g) 참조), 인장 보조 부재(50)가 증착 마스크(100)의 표면에 접하는 것을 억제할 수도 있다.

상기에서는, (i)의 고정 형태나, (ii)의 고정 형태를 예로 들어, 인장 보조 부재(50)의 바람직한 실시 형태에 대하여 설명했지만, 인장 보조 부재(50)를, 인장 보조 부재 본체부(50A)와 인장 보조 부재 연장부(50B)로 구성함으로써, 인장 보조 부재(50)를 인장했을 때 발생할 수 있는 각종 문제를 억제할 수도 있다.

인장 보조 부재 본체부(50A)는, 증착 마스크(100)의 표면과 접하고, 당해 인장 보조 부재 본체부(50A)와 증착 마스크(100)의 표면이 겹치는 적어도 일부에 있어서, 증착 마스크(100)와 고정되는 인장 보조 부재이며, 인장 보조 부재 연장부(50B)는, 인장 보조 부재 본체부(50A)와 연결되며, 증착 마스크(100)의 표면과 고정되지 않는 인장 보조 부재이다.

일례로서의 인장 보조 부재(50)는, 인장 보조 부재 연장부(50B)가, 증착 마스크의 표면에 흠집을 내기 어려운 재료, 예를 들어 수지 등의 재료를 포함한다. 도 19의 (a), (f)는, 인장 보조 부재 본체부(50A)와 인장 보조 부재 연장부(50B)로 구성되는 인장 보조 부재(50)와, 하나의 증착 마스크(100)를, 인장 보조 부재 본체부(50A)와 증착 마스크(100)의 표면이 겹치는 적어도 일부에 있어서 고정한 상태의 일례를 도시하는 개략 단면도이다. 도 19의 (a), (f)에 도시하는 형태에서는, 하나의 증착 마스크(100)의 폭 방향에는, 당해 하나의 증착 마스크(100)와 인접하는 다른 증착 마스크(100A)가 위치하고 있으며, 인장 보조 부재 연장부(50B)는, 다른 증착 마스크(100A)의 표면과 접하고 있다. 도시하는 형태에서는, 인장 보조 부재 연장부(50B)는, 구동 수단(55)과 접속되어 있고, 구동 수단(55)을 작동시킴으로써, 인장 보조 부재(50)와 고정되어 있는 하나의 증착 마스크(100)의 인장이 행해진다. 도 19의 (a), (f)에 도시하는 형태로 하는 경우에는, 인장 보조 부재 연장부(50B)로서, 증착 마스크의 표면에 흠집을 내기 어려운 재료로 구성되는 인장 보조 부재 연장부(50B)로 하는 것이 바람직하다. 이러한 인장 보조 부재 연장부(50B)를 사용함으로써 인장 보조 부재(50)를 인장했을 때, 당해 인장 보조 부재 연장부(50B)와, 다른 증착 마스크(100A)의 표면이 접한 경우에도, 다른 증착 마스크(100A)의 표면에 흠집이 나 버리는 것을 억제할 수 있다.

도 19의 (b) 내지 (d)는, 인장 보조 부재 본체부(50A)와 인장 보조 부재 연장부(50B)로 구성되는 인장 보조 부재(50)와, 하나의 증착 마스크(100)를, 인장 보조 부재 본체부(50A)와 증착 마스크(100)의 표면이 겹치는 부분의 적어도 일부에 있어서 고정한 상태의 다른 일례를 도시하는 개략 단면도이다. 도 19의 (a), (f)와 마찬가지로, 하나의 증착 마스크(100)의 폭 방향에는, 당해 하나의 증착 마스크(100)와 인접하는 다른 증착 마스크(100A)가 위치하고 있다. 도 19의 (b)에 도시하는 형태에서는, 하나의 증착 마스크(100)와 인접하는 다른 증착 마스크(100A)의 표면과, 인장 보조 부재 연장부(50B)는 접하고 있지 않다. 또한, 도 19의 (c), (d)에 도시하는 형태에서는, 인장 보조 부재 본체부(50A)와 인장 보조 부재 연장부(50B)로 구성되는 인장 보조 부재(50)는, 전체적으로, 단면 형상으로 계단 형상을 나타내고 있으며, 하나의 증착 마스크(100)와 인접하는 다른 증착 마스크(100A)의 표면과, 인장 보조 부재 연장부(50B)는 접하고 있지 않다. 따라서, 도 19의 (b) 내지 (d)에 도시하는 형태에 의하면, 인장 보조 부재 연장부(50B)의 재료에 관계없이, 다른 증착 마스크(100A)의 표면에 흠집을 내는 것을 억제할 수 있다. 다른 증착 마스크(100A)의 표면과, 인장 보조 부재 연장부(50B)가 접하지 않는 형태로 할 경우에는, 인장 보조 부재 연장부(50B)로서, 신장률이 작은 재료, 예를 들어 금속 재료 등을 사용하는 것이 바람직하다. 금속 재료 등으로 구성되는 인장 보조 부재 연장부(50B)로 함으로써, 인장 보조 부재(50)를 인장했을 때의, 인장 보조 부재(50) 자체의 늘어남을 억제할 수 있어, 보다 고정밀도로, 증착 마스크를 인장할 수 있다.

도 19의 (f)에 도시하는 형태에서는, 인장 보조 부재 연장부(50B)의 단면 형상을 계단 형상으로 하고, 인장 보조 부재 연장부(50B)와, 인접하는 다른 증착 마스크(100A)의 표면이 접하는 면적을 작게 하고 있다. 이 형태에 의하면, 인장 보조 부재 연장부(50B)의 재료에 관계없이, 다른 증착 마스크(100A)의 표면에 흠집을 내는 것을 억제할 수 있다. 또한, 인장 보조 부재(50)와 다른 증착 마스크(100A)가 접함으로써, 다른 증착 마스크(100A)의 위치가 변동되는 것도 억제할 수 있다.

도 19의 (c), (d), (f)의 형태로 하는 경우에 있어서의 인장 보조 부재 연장부(50B)의 재료로서는, 절곡 가능하며, 당해 절곡한 형상을 유지할 수 있는 재료, 예를 들어 금속의 박판 등을 사용할 수 있다. 구체적인 예로서는, 판 스프링이나, 브래킷 등을 들 수 있다.

도 19의 (a) 내지 (d), (f)에서는, 인장 보조 부재 본체부(50A)와, 인장 보조 부재 연장부(50B)의 두께를 대략 동등한 두께로 하고 있지만, 상이한 두께로 해도 된다. 또한, 인장 보조 부재 본체부(50A)의 폭은, 인장 보조 부재 연장부(50B)의 폭보다도 커도 되고, 작아도 되며, 동일해도 된다(도시하는 형태에서는 동일한 폭으로 되어 있음). 또한, 인장 보조 부재 본체부(50A)와, 인장 보조 부재 연장부(50B)의 형상은 상이한 형상이어도 된다. 예를 들어, 도 19의 (a)에 도시하는 형태에 있어서, 인장 보조 부재 본체부(50A)를 시트형으로 하고, 인장 보조 부재 연장부(50B)를 원기둥형으로 함으로써, 하나의 증착 마스크와 인장 보조 부재 본체부(50A)가 접하는 면적을 크게 하여 고정 강도를 높이면서도, 하나의 증착 마스크(100)와 인접하는 다른 증착 마스크(100A)와 인장 보조 부재 연장부(50B)가 접하는 면적을 작게 할 수 있어, 인장 보조 부재(50)가 하나의 증착 마스크(100)와 인접하는 다른 증착 마스크(100A)에 주는 영향을 작게 할 수 있다. 인장 보조 부재 본체부(50A)와 증착 마스크(100)는 직접적으로 고정되어 있어도 되고, 간접적으로 고정되어 있어도 된다.

또한, 도 19의 (e), (g)에 도시하는 바와 같이, 단면 형상이 계단 형상으로 되도록 인장 보조 부재(50)를 절곡하여, 하나의 증착 마스크(100)와 인접하는 다른 증착 마스크(100A)의 표면과 인장 보조 부재(50)가 접하지 않거나, 혹은 접하는 면적을 작게 할 수도 있다. 도 19의 (e), (g)에 도시하는 인장 보조 부재(50)는, 하나의 인장 보조 부재를 절곡한 형태이다.

도 19에서는, 복수의 증착 마스크가 당해 증착 마스크의 폭 방향으로 복수 배치되어 있는 경우에 있어서의 하나의 증착 마스크(100)와, 당해 하나의 증착 마스크(100)와 인접하는 다른 증착 마스크(100A), 및 인장 보조 부재(50)와의 관계에 대하여 설명을 행했지만, 하나의 증착 마스크의 중앙부 근방에 있어서, 인장 보조 부재(50)를 당해 하나의 증착 마스크의 표면과 접하는 부분의 적어도 일부에서 고정하는 경우에 있어서도, 도 19에서 설명한 각종 형태를 적절히 선택하여 사용할 수 있다. 도 19를 사용하여 설명한 형태는, 인장 보조 부재(50)와 증착 마스크(100)가 고정되어 있는 위치로부터, 구동 수단(55)까지의 거리가 긴 경우, 즉, 인장 보조 부재(50)와 증착 마스크의 표면이 접하는 면적이 커지는 경우의 유효한 형태이다. 또한, 인장 보조 부재(50)와 증착 마스크(100)가 고정되어 있는 위치로부터, 구동 수단(55)까지의 거리가 짧은 경우, 즉, 증착 마스크의 표면과 인장 보조 부재가 접하는 면적이 작은 경우에는, 상기에서 설명한 바람직한 형태를 적용하는 일 없이, 인장 보조 부재(50)와 증착 마스크(100)를, 당해 인장 보조 부재와 증착 마스크의 한쪽 면이 겹치는 부분의 적어도 일부에서 고정하여, 당해 인장 보조 부재를 인장하면 된다.

증착 마스크(100)의 한쪽 면과 인장 보조 부재(50)의 고정 위치에 대하여 어떠한 한정도 되는 일 없이, 임의의 위치에서 고정할 수 있다. 특히, 본 발명은, 증착 마스크의 단부를 파지하는 파지 수단과는 상이하게, 인장 보조 부재와 증착 마스크가 겹치는 임의의 위치에서의 고정이 가능하며, 증착 마스크 표면 중 어느 위치에 있어서도, 증착 마스크(100)와 인장 보조 부재(50)를 고정할 수 있다. 또한, 인장 보조 부재의 재료나, 점착제 등의 도포 면적 등을 적절히 설정함으로써, 인장 보조 부재(50)와 증착 마스크가 고정되어 있는 부분의 면적 등도 자유롭게 설정할 수 있다. 고정 위치에 대해서는, 후술하는 제1 인장 공정에 있어서, 구체적인 예를 들어서 상세하게 설명한다.

또한, 후술하는 프레임 고정 공정에 있어서, 증착 마스크는 인장된 상태에서 프레임(60)에 고정되는 점에서, 인장 보조 부재(50)와 증착 마스크의 한쪽 면의 고정은, 프레임에 대한 증착 마스크의 고정을 방해하지 않는 위치에서 고정되어 있는 것이 바람직하다. 프레임과 증착 마스크의 고정을 방해하지 않는 위치에서 고정하는 형태로서는, 증착 마스크와 프레임이 고정되는 예정 위치를 피하여, 증착 마스크의 한쪽 면 위에 인장 보조 부재(50)를 고정하는 형태, 레이저광을 흡수하지 않는 인장 보조 부재(50)를 사용하는 형태를 들 수 있다.

전자의 형태로서는, 도 9의 (a) 내지 (e)에 나타내는 형태 등을 들 수 있다. 도 9의 (a), (b)에서는, 프레임과의 고정 예정 위치보다도 외측에서, 증착 마스크(100)의 한쪽 면과 인장 보조 부재(50)를 고정하고 있으며, 도 9의 (c) 내지 (e)에서는, 프레임과의 고정 예정 위치에 대응하는 인장 보조 부재(50)의 일부가 제거되어 있다. 인장 보조 부재(50)의 제거는, 도 9의 (c), (d)에 도시하는 바와 같이, 인장 보조 부재(50)를 절결하도록 하여 행해도 되고, 도 9의 (e)에 도시하는 바와 같이, 인장 보조 부재를 도려내도록 하여 행해도 된다. 인장 보조 부재(50)의 일부를 제거하기 위한 절결 형상이나, 도려낸 형상은 도시하는 형태에 한정되는 것은 아니며, 어떠한 형상이어도 된다. 예를 들어, 도 9의 (e)에서는, 인장 보조 부재를 원형상으로 도려내고 있지만, 다각 형상, 또는 이 이외의 형상으로 도려내도 된다. 절결 형상에 대해서도 마찬가지이다. 또한, 도시하지 않지만, 복수의 인장 보조 부재(50)로 인장하는 경우에도, 프레임과의 고정 예정 위치를 피하여 증착 마스크의 한쪽 면 위에 인장 보조 부재(50)를 고정하는 형태를 취할 수 있다.

일반적으로, 프레임과 증착 마스크의 고정은, 레이저광을 사용한 용접 고정법이 사용된다. 따라서, 후자의 형태와 같이, 투명성의 재료를 사용하여 형성된 인장 보조 부재(50), 즉, 레이저광을 흡수하지 않는 인장 보조 부재(50)를 사용함으로써, 증착 마스크와 프레임이 고정되는 예정 위치와 겹치는 부분에, 인장 보조 부재가 위치하고 있는 경우에도, 당해 인장 보조 부재(50)를 통하여, 레이저광을 조사해서, 증착 마스크와 프레임을 고정할 수 있다. 또한, 이 형태에서는, 투명성의 재료를 사용하여 형성된 인장 보조 부재(50)가 사용되는 점에서, 증착 마스크와 프레임이 고정되는 예정 위치의 시인성을 방해하는 일 없이, 프레임과의 고정 예정 위치를 보면서 증착 마스크와 프레임을 고정할 수 있는 점에서 바람직한 형태이다.

증착 마스크(100)와 인장 보조 부재(50)의 고정 강도에 대하여 특별히 한정은 없고, 후술하는 제1 인장 공정에 있어서, 인장 보조 부재(50)를 인장할 때의 장력 등에 따라서 적절히 설정하면 된다. 구체적으로는, 인장 보조 부재(50)를 인장할 때의 장력에 의해, 증착 마스크(100)로부터 인장 보조 부재(50)가 빗나가지 않는 정도의 강도로 고정되어 있으면 된다.

<제1 인장 공정>

제1 인장 공정은, 상기 인장 보조 부재 고정 공정에 있어서, 증착 마스크(100)의 표면과 겹치는 부분의 적어도 일부에서 고정되어 있는 인장 보조 부재(50)를 인장함으로써, 당해 인장 보조 부재(50)에 고정되어 있는 증착 마스크(100)를 인장하는 공정이다. 인장 보조 부재(50)를 인장하는 방향에 대하여 한정은 없고, 증착 마스크(100)의 길이 방향(예를 들어, 도 1에서 표시되는 가로 방향), 폭 방향(예를 들어, 도 1에서 표시되는 세로 방향), 또는 이 이외의 방향, 예를 들어 경사 방향 등 중 어느 방향으로 인장해도 된다. 특히, 본 발명에서는, 인장 보조 부재(50)와 증착 마스크를, 당해 증착 마스크의 한쪽 면의 임의의 위치에서 고정할 수 있고, 종래의 증착 마스크의 단부를 파지하는 클램프 등을 사용한 인장 수단에서는 곤란한 증착 마스크의 길이 방향, 폭 방향 이외의 방향에 대해서도 용이하게 인장할 수 있다. 또한, 본원 명세서에서 말하는 「증착 마스크를 인장한다」란, 증착 마스크에 고정되어 있는 인장 보조 부재(50)를 인장하여, 당해 인장 보조 부재(50)와 고정되어 있는 증착 마스크(100)를 늘리는 방향으로 외력(장력)을 가하는 것을 의미한다. 환언하면, 「증착 마스크를 인장한다」란, 인장 보조 부재(50)를 이용하여, 당해 인장 보조 부재(50)와 고정되어 있는 증착 마스크(100)를 늘리는 방향으로 외력(장력)을 가하는 것을 의미한다. 여기에서 말하는 증착 마스크를 늘리는 방향이란, 증착 마스크의 수지 마스크에 형성된 개구부(25)를 늘리는 방향뿐만 아니라, 증착 마스크의 수지 마스크에 형성된 개구부(25)를 줄이는 방향도 포함하는 개념이다. 예를 들어, 도 8의 (a), (b)에 도시하는 형태에서는, 각각의 인장 보조 부재(50)를 증착 마스크(100)의 외측으로 인장함으로써, 증착 마스크(100)의 수지 마스크의 1화면 내에 형성되어 있는 개구부(도시 생략)는 각각 폭 방향으로 늘어나게 된다. 한편, 도 8의 (c)에 도시하는 형태에서는, 각각의 인장 보조 부재(50)를 증착 마스크의 외측으로 인장함으로써, 증착 마스크(100)의 수지 마스크의 1화면 내에 형성되어 있는 개구부(도시 생략)는 폭 방향으로 줄어들게 된다. 또한, 상기한 바와 같이, 늘리는 방향뿐만 아니라, 줄어드는 방향으로도 조정할 수 있는 점에서, 인장된 상태의 증착 마스크 전체나 1화면 또는 개구부의 치수를 유지한 상태로 위치 조정할 수도 있다. 또한, 인장 보조 부재(50)를 인장하여, 개구부(25)의 치수 자체를 거의 변화시키는 일 없이, 개구부(25)의 위치 조정이나, 수지 마스크(20)에 발생하고 있는 변형이나 휨 등을 해소할 수도 있다.

증착 마스크의 위치 정렬이 가능하다면, 증착 마스크(100)의 면과, 인장 보조 부재를 인장하는 방향의 축이 이루는 각은, 특별히 지정되지 않지만, 바람직한 형태의 제1 인장 공정에서는, 증착 마스크(100)의 면과, 인장 보조 부재를 인장하는 방향의 축이 이루는 각이 0°±89°, 바람직하게는 0°±45°, 보다 바람직하게는 0°±10°의 범위 내가 되도록 증착 마스크에 고정되어 있는 인장 보조 부재(50)를 인장하고 있다. 이 형태에 의하면, 인장 보조 부재(50)를 인장했을 때, 인장 보조 부재(50)와 고정되어 있는 증착 마스크(100)에 변형, 휨 등이 발생하는 것을 억제할 수 있다. 즉, 제1 인장 공정 후의 증착 마스크에 변형이나, 휨 등이 발생하는 것을 억제할 수 있다. 또한, 여기에서 말하는, 증착 마스크의 면이란, 증착 마스크(100)를 평면에서 보았을 때, 인장 보조 부재(50)와 겹치는 영역에 대응하는 증착 마스크의 면을 의미한다.

또한, 도 8의 (b) 등에 도시하는 바와 같이, 증착 마스크(100)의 면 위에, 복수의 인장 보조 부재(50)를 고정하고, 복수의 인장 보조 부재(50) 각각을 인장할 경우에는, 증착 마스크(100)의 면과, 인장 보조 부재를 인장하는 방향의 축이 이루는 각이 0°±89°, 바람직하게는 0°±45°, 보다 바람직하게는 0°±10°의 범위 내이며, 또한 기준 각도에 대하여, ±10°, 바람직하게는 ±5°의 범위에서, 각각의 인장 보조 부재(50)를 인장하는 것이 바람직하다. 또한, 여기에서 말하는 기준 각도란, 임의의 각도이며, 예를 들어 기준 각도를 30°로 했을 경우에는, 인장 보조 부재(50)를 인장하는 방향의 축과 증착 마스크의 면이 이루는 각도가 30°±10°, 특히 30°±5°가 되도록, 각각의 인장 보조 부재(50)를 인장하는 것이 바람직하다. 이와 같이, 각각의 인장 보조 부재(50)를, 기준 각도에 대하여, ±10°, 바람직하게는 ±5°가 되도록, 상기 바람직한 범위 내의 각도로 인장함으로써 증착 마스크(50)의 변형이나, 휨 등의 발생을 억제한 상태에서, 증착 마스크(100)를 인장할 수 있다. 또한, 인장 보조 부재(50)를 인장할 때의 각도를 고려하지 않고, 복수의 인장 보조 부재(50) 각각을 랜덤한 각도로 인장했을 경우에는, 인장된 상태의 증착 마스크에 변형이나, 휨 등이 발생하기 쉬워지는 경향이 있다. 또한, 제1 인장 공정을 행하기 전의 단계에서, 인장 보조 부재(50)에 고정되는 증착 마스크에 변형이나, 휨 등이 발생하고 있을 경우에는, 이 변형이나, 휨을 고려하여, 각각의 인장 보조 부재(50)를 인장하는 각도가, 상기 바람직한 범위가 되도록 조정하는 것이 바람직하다.

이어서, 구체적인 예를 들어, 증착 마스크(100)와 인장 보조 부재(50)의 고정 위치에 대하여 언급하면서, 제1 인장 공정에 대하여 설명한다.

도 10은, 일 실시 형태의 제1 인장 공정을 도시하는 정면도이며, 도 10의 (a)에서는, 증착 마스크의 한쪽 면 위이며, 당해 증착 마스크의 대향하는 2변(도시하는 형태에서는 폭 방향의 변)의 근방에, 인장 보조 부재를 하나씩 고정하고, 고정한 인장 보조 부재(50)를, 각각 증착 마스크의 외측(도면 중의 화살표 방향)으로 인장함으로써, 당해 인장 보조 부재(50)와 고정되어 있는 증착 마스크를 인장하고 있다. 도 10의 (b)에서는, 증착 마스크의 한쪽 면 위이며, 당해 증착 마스크의 대향하는 2변(도시하는 형태에서는 길이 방향의 변)의 근방에, 인장 보조 부재(50)를 하나씩 고정하고, 고정한 인장 보조 부재(50)를 증착 마스크의 외측(도면 중의 화살표 방향)으로 인장함으로써, 당해 인장 보조 부재(50)와 고정되어 있는 증착 마스크를 인장하고 있다. 도 10의 (c)는 도 10의 (a), (b)를 조합한 형태이다. 도 10의 (a) 내지 (c)는, 종래 공지된 클램프 등 대신에, 인장 보조 부재(50)를 이용하여, 당해 인장 보조 부재(50)와 고정되어 있는 증착 마스크(100)를 인장하고 있는 형태이다.

또한, 도 10에 도시하는 형태 대신에, 도 11에 도시하는 바와 같이, 증착 마스크의 한쪽 면 위의 단부 근방에 복수의 인장 보조 부재(50)를 고정하고, 인장 보조 부재(50)를 이용하여, 당해 인장 보조 부재(50)와 고정되어 있는 증착 마스크(100)를 인장해도 된다. 도 11에 도시하는 형태에 의하면, 증착 마스크의 한쪽 면 위의 단부 근방에 복수의 인장 보조 부재(50)가 고정되어 있는 점에서, 보다 고정밀도로 증착 마스크를 인장할 수 있다. 예를 들어, 도 11의 (a), (c)에 도시하는 형태에서는, 증착 마스크(100)의 폭 방향(도면의 상하 방향)에 있어서, 1화면과 겹치는 위치, 및 1화면과 겹치지 않는 위치의 양쪽에 인장 보조 부재(50)가 고정되어 있고, 각각의 인장 보조 부재를 인장할 때의 장력값, 또는 인장량을 적절히 설정함으로써, 보다 고정밀도로, 증착 마스크를 인장할 수 있다. 또한, 도 11의 (a)에서는, 증착 마스크의 한쪽 면 위이며, 당해 증착 마스크의 대향하는 2변(도시하는 형태에서는 폭 방향의 변)의 단부 근방에, 복수의 인장 보조 부재(50)를 고정하고, 각 인장 보조 부재(50)를 증착 마스크의 외측(도면 중의 화살표 방향)으로 인장함으로써 증착 마스크를 인장하고 있다. 도 11의 (b)에서는, 증착 마스크의 한쪽 면 위이며, 당해 증착 마스크의 대향하는 2변(도시하는 형태에서는 길이 방향의 변)의 단부 근방에, 복수의 인장 보조 부재(50)를 고정하고, 각 인장 보조 부재를 도면 중의 화살표 방향으로 인장함으로써 증착 마스크를 인장하고 있다. 도 11의 (c)는 도 11의 (a), (b)를 조합한 형태이다. 또한, 도 10, 도 11에 도시하는 형태를 적절히 조합한 형태로 할 수도 있다. 도 20의 (a), (b)는 도 11의 (a)의 변형 형태이며, 도 20의 (a)에서는, 증착 마스크(100)의 폭 방향(도면의 상하 방향)에 있어서, 1화면과 겹치는 위치에 인장 보조 부재(50)가 고정되어 있고, 도 20의 (b)에서는, 증착 마스크(100)의 폭 방향(도면의 상하 방향)에 있어서, 1화면과 겹치지 않는 위치에 인장 보조 부재(50)가 고정되어 있다. 도 20에 도시하는 변형 형태는, 각 도면에 나타내는 형태, 예를 들어 도 11의 (c)에 도시하는 형태와 조합한 형태로 할 수도 있다. 또한, 도 11의 (a), (c)에 도시하는 형태는, 1화면을 구성하는 개구부(25)에 발생한 형상이나, 치수의 변동을 고정밀도로 해소할 수 있는 점에서 바람직한 형태이다.

도 10, 도 11에 도시하는 형태에서는, 증착 마스크(100)의 한쪽 면 위이며, 당해 증착 마스크의 대향하는 2변의 단부 근방에 인장 보조 부재(50)를 각각 고정하고 있지만, 증착 마스크(100)의 한쪽 면 위이며, 당해 증착 마스크의 대향하는 2변 중 1변의 단부 근방에만 인장 보조 부재를 고정하고, 증착 마스크를 인장해도 된다. 즉, 대향하는 2변 중 1변을 고정 단부로 하고, 다른 1변의 단부 근방에 인장 보조 부재(50)를 고정하여, 당해 인장 보조 부재를 인장하는 것으로 해도 된다. 또한, 대향하는 2변 중 1변을, 종래 공지된 클램프 등의 파지 수단으로 파지하고, 다른 1변의 단부 근방의 증착 마스크의 한쪽 면 위에 인장 보조 부재(50)를 고정해도 된다.

인장 보조 부재(50)를 사용한 제1 인장 공정은, 클램프 등의 파지 수단과 조합하여 행해도 된다. 도 12의 (a)는 증착 마스크(100)의 대향하는 2변의 단부(도시하는 형태에서는 길이 방향의 단부)를, 클램프 등의 파지 수단(80)으로 보유 지지하고, 당해 파지 수단에 연결되어 있는 구동 수단을 작동시켜서, 증착 마스크를 제1 방향(도시하는 형태에서는, 증착 마스크의 길이 방향)으로 인장한 상태를 도시하는 정면도이다. 파지 수단에 연결되어 있는 구동 수단으로서는, 모터, 에어 실린더, 전동 액추에이터 등을 들 수 있다. 또한, 도 12의 (a)에 도시하는 바와 같이, 증착 마스크(100)를 제1 방향(도시하는 형태에서는, 증착 마스크의 길이 방향)으로만 인장했을 경우에는, 증착 마스크의 수축 등에 의해, 증착 마스크에 변형 등이 발생하고, 증착 마스크의 수지 마스크(20)에 형성된 개구부의 치수나, 형상이 변동되어 버리는 경우가 있다. 또한, 도 12의 (a)는, 증착 마스크(100)를 제1 방향(도시하는 형태에서는, 증착 마스크의 길이 방향)으로 인장했을 때 발생하는 증착 마스크의 수축 등에 의해, 1화면 내에 배치되는 개구부(도시 생략)의 형상이나, 치수에 변동이 발생하고 있는 상태를 나타내고 있으며, 도시하는 형태에서는, 개구부의 형상이나, 치수에 변동이 발생하고 있는 것을 모식적으로 도시하기 위해, 1화면의 형상을 변형된 형상으로서 기재하고 있다. 또한, 도 12의 (c)에 있어서 직사각 형상의 1화면으로 되어 있는 영역은, 제1 인장 공정을 거침으로써, 당해 1화면 내에 배치되는 개구부의 형상이나, 치수의 변동이 해소되어 있는 것을 의미한다.

증착 마스크(100)를 제1 방향(도시하는 형태에서는, 증착 마스크의 길이 방향)으로 인장했을 때 발생할 수 있는 개구부의 형상이나, 치수의 변동을 해소하기 위해, 제1 인장 공정에서는, 도 12의 (b)에 도시하는 바와 같이, 파지 수단 등을 사용하여 증착 마스크를 제1 방향으로 인장한 후에, 증착 마스크(100)의 한쪽 면에 고정된 인장 보조 부재(50)를, 당해 제1 방향과는 상이한 제2 방향(도시하는 형태에서는, 증착 마스크의 폭 방향)으로 인장하고 있고, 도 12의 (c)에 도시하는 바와 같이, 제1 방향으로 인장함으로써 발생한 개구부의 형상이나, 치수의 변동을 해소하고 있다. 인장 보조 부재(50)를 사용한 증착 마스크의 인장은, 상기한 바와 같이 파지 수단을 사용하여 증착 마스크를 제1 방향으로 인장한 후에 행해도 되고, 파지 수단을 사용하여 증착 마스크를 제1 방향으로 인장함과 함께 행해도 된다. 여기에서 말하는, 제1 방향에 대하여 특별히 한정은 없지만, 종래 공지된 파지 수단 등을 사용하여 증착 마스크를 인장하는 경우에는, 제1 방향은, 통상, 증착 마스크(100)의 길이 방향, 또는 폭 방향이 된다. 또한, 제1 방향은, 어떤 방향이어도 된다. 즉, 일 실시 형태의 프레임이 구비된 증착 마스크의 제조 방법은, 제1 인장 공정을 행하기 전에, 또는, 제1 인장 공정과 동시에, 종래 공지된 파지 수단 등을 사용하여, 증착 마스크를 미리 인장해 두는 제2 인장 공정을 포함하고 있어도 된다.

또한, 클램프 등의 파지 수단을 사용하지 않고, 인장 보조 부재(50)만을 사용하여, 상기 제1 방향의 인장 및, 제2 방향의 인장을 행해도 된다(도 11의 (c) 참조). 또한, 인장 보조 부재(50)를 사용한 제1 방향으로의 인장, 및 제2 방향으로의 인장은, 동시에 행해도 되고, 인장 보조 부재(50)를 사용한 제1 방향으로의 인장을 행한 후에, 인장 보조 부재(50)를 사용한 제2 방향으로의 인장을 행해도 된다.

도 15, 도 16은, 본 발명의 일 실시 형태의 프레임이 구비된 증착 마스크의 일례를 도시하는 정면도이다. 도 15에 도시하는 프레임이 구비된 증착 마스크(200)는, 프레임(60)에, 하나의 증착 마스크(100)가 고정되어 이루어진다. 도 16에 도시하는 형태의 프레임이 구비된 증착 마스크(200)는, 프레임(60)에, 복수의 증착 마스크(도시하는 형태에서는 4개의 증착 마스크)가 길이 방향, 또는 폭 방향으로 배열하여 고정(도시하는 형태에서는, 폭 방향으로 배열하여 고정)되어 이루어진다.

도 15에 도시되는 프레임이 구비된 증착 마스크는, 하나의 증착 마스크만이, 프레임에 고정되는 점에서, 도 13의 (a)에 도시하는 바와 같이, 증착 마스크의 길이 방향 단부나, 폭 방향 단부를 파지 수단에 의해 용이하게 파지할 수 있고, 길이 방향 및 폭 방향의 양쪽 방향에 대하여 증착 마스크를 용이하게 인장할 수 있다. 또한, 도 13의 (a)에서는, 증착 마스크의 일부의 영역(도면 중의 부호 A로 표시하는 1화면 내)에 있어서, 당해 일부의 영역 내에 위치하는 전부, 또는 일부의 개구부 형상이나, 치수에 변동이 발생하고 있으며, 이 개구부의 형상이나 치수의 변동을 해소하기 위해, 도 13의 (b)에서는, 증착 마스크(100)의 한쪽 면 위이며, 당해 개구부의 변동이 발생하고 있는 영역의 근방(도시하는 형태에서는, 부호 A로 표시되는 1화면과, 당해 부호 A로 표시되는 1화면과 인접하는 다른 1화면과의 사이)에, 인장 보조 부재(50)를 고정하고, 당해 인장 보조 부재(50)를 인장함으로써, 당해 인장 보조 부재(50)와 고정되어 있는 증착 마스크를 인장하여, 이러한 개구부의 변동을 해소하고 있다. 도 13의 (a)는, 제1 인장 공정 전에, 파지 수단을 사용하여 증착 마스크를 인장하는 제2 인장 공정을 행했을 때의 증착 마스크의 일례를 도시하는 정면도이다. 도 13의 (b)는, 제2 인장 공정 후에, 인장 보조 부재 고정 공정을 행한 상태의 일례를 도시하는 증착 마스크의 정면도이다. 도 13의 (c)는, 제1 인장 공정에 의해, 개구부의 변동이 해소된 증착 마스크의 일례를 도시하는 정면도이다.

도 13의 (b)에 도시하는 형태에서는, 증착 마스크(100)의 한쪽 면 위에 있어서, 1화면 사이와 인장 보조 부재(50)가 겹치는 부분의 전부, 또는 일부에서, 증착 마스크(100)의 한쪽 면과 인장 보조 부재(50)를 고정하고 있지만, 증착 마스크(100)의 한쪽 면 위에 있어서, 1화면을 구성하는 영역과 인장 보조 부재(50)가 겹치는 부분의 전부, 또는 일부에서, 증착 마스크(100)의 한쪽 면과 인장 보조 부재(50)를 고정할 수도 있다(도시 생략). 즉, 1화면 내에서 증착 마스크(100)의 한쪽 면과 인장 보조 부재(50)를 고정할 수도 있다. 구체적으로는, 도 2 내지 도 7 등에서 도시되는 증착 마스크(100)에 있어서, 수지 마스크(20)측의 면 위에 있어서, 1화면 내에 형성되어 있는 복수의 개구부(25) 중 인접하는 개구부(25) 사이와 인장 보조 부재(50)가 겹치는 부분의 전부, 또는 일부에서, 증착 마스크(100)의 한쪽 면과 인장 보조 부재(50)를 고정할 수도 있다. 이 경우에는, 1화면 내에 형성되어 있는 개구부(25)의 근방을 인장하여, 당해 개구부(25)에 발생하고 있는 형상이나, 치수의 변동을 개별로 해소할 수 있다. 즉, 증착 마스크의 한쪽 면과 인장 보조 부재를 고정하는 고정 위치는, 증착 마스크 전체를 인장하는 형태, 1화면 전체를 인장하는 형태, 1화면 내에 형성되어 있는 개구부의 복수를 합하여 인장하는 형태, 또는, 1화면 내에 형성되어 있는 개구부(25)를 개별로 인장하는 형태 등에 따라서 적절히 설정할 수 있고, 그 고정 위치에 대하여 어떠한 한정도 되는 일은 없다.

한편, 도 16에 도시하는 바와 같이, 프레임(60)에 복수의 증착 마스크를, 당해 증착 마스크의 길이 방향, 또는 폭 방향으로 배열하여 고정해서 이루어지는(도시하는 형태에서는, 증착 마스크의 폭 방향으로 배열하여 고정하는) 프레임이 구비된 증착 마스크(이하, 프레임이 구비된 다면 증착 마스크라고 하는 경우가 있음)로 하는 경우에는, 증착 마스크의 길이 방향, 또는 폭 방향의 단부(도시하는 형태에서는 증착 마스크의 길이 방향의 단부)에 대해서는 파지 수단에 의해 용이하게 파지할 수 있기는 하지만, 하나의 증착 마스크와 인접하고 있는 증착 마스크의 존재에 의해, 당해 인접하는 방향에 있는 단부(도시하는 형태에서는 증착 마스크의 폭 방향의 단부)를 파지 수단에 의해 파지하는 것은 곤란하다. 즉, 파지 수단을 사용하여 증착 마스크를, 길이 방향 및 폭 방향의 양쪽 방향으로 인장하여, 프레임이 구비된 다면 증착 마스크를 얻는 것은 곤란하게 되었다.

본 발명의 일 실시 형태의 프레임이 구비된 증착 마스크의 제조 방법은, 상기에서 설명한 바와 같이, 증착 마스크의 한쪽 면에 인장 보조 부재(50)를 겹치고, 당해 증착 마스크의 한쪽 면과 인장 보조 부재(50)가 겹치는 부분의 적어도 일부에 있어서, 인장 보조 부재(50)를 증착 마스크의 한쪽 면에 고정하고, 인장 보조 부재(50)를 이용하여, 즉, 이 고정된 인장 보조 부재(50)를 인장함으로써, 당해 인장 보조 부재에 고정되어 있는 증착 마스크를 인장하고 있다. 따라서, 도 14에 도시하는 바와 같이, 하나의 증착 마스크(100)와, 당해 하나의 증착 마스크와 인접하는 다른 증착 마스크(100A)의 사이에 간극이 없거나, 또는 간극이 작은 경우에도, 당해 하나의 증착 마스크의 한쪽 면에 고정되어 이루어지는 인장 보조 부재(50)를, 인접하는 증착 마스크 방향측으로도 인장할 수 있고, 프레임이 구비된 다면 구비 증착 마스크를 형성할 때에 있어서도, 증착 마스크의 길이 방향 및 폭 방향의 2축 인장을 행할 수 있다. 환언하면, 본 발명의 일 실시 형태의 제조 방법에 의하면, 프레임이 구비된 다면 증착 마스크로 할 때, 인접하는 증착 마스크의 간격을 매우 작게 할 수 있다. 또한, 도시하는 형태에서는, 설명의 편의상, 증착 마스크(100) 이외의 증착 마스크는, 도면 중의 부호 Y의 개소에 있어서 프레임에 고정된 것으로서 기재하고 있다. 또한, 도 14의 (a)에서는, 제1 인장 공정 전에, 파지 수단을 사용하여 증착 마스크(100)를 제1 방향(도시하는 형태에서는 증착 마스크의 길이 방향)으로 인장하는 제2 인장 공정이 행해지고 있고, 제2 인장 공정에 의해, 증착 마스크(100)의 1화면을 구성하는 개구부에 형상이나 치수의 변동이 발생하고 있지만, 제1 인장 공정에 의해, 인장 보조 부재(50)를 제2 방향(도시하는 형태에서는, 인접하는 증착 마스크 방향측(증착 마스크의 폭 방향))으로 인장함으로써, 도 14의 (b)에 도시하는 바와 같이, 개구부에 발생하고 있었던 형상이나, 치수의 변동이 해소되게 된다. 또한, 인접하는 증착 마스크 방향이란, 상기 제1 방향과 직교하는 방향에 한정되는 것은 아니며, 당해 직교하는 방향의 축에 대하여, 어느 정도의 각도, 예를 들어 0°±45°, 0°±30°, 0°±5° 정도의 각도를 가지고 있어도 된다.

<프레임 고정 공정>

프레임 고정 공정은, 도 15, 도 16에 도시하는 바와 같이 관통 구멍이 형성된 프레임(60)에, 당해 프레임(60)의 프레임 부분과, 상기 제1 인장 공정에 있어서 인장된 상태의 증착 마스크의 금속 마스크(10)가 대향하도록 중첩하고, 상기 제1 인장 공정에 있어서 인장된 상태의 증착 마스크(100)를 프레임(60)에 고정하는 공정이다. 프레임(60)과 증착 마스크(100)의 고정은, 프레임(60)과, 증착 마스크의 금속 부분이 접하는 위치에 대하여 행해지고, 그 위치에 대하여 특별히 한정은 없다. 도 15는, 프레임(60)에 하나의 증착 마스크가 고정된 프레임이 구비된 증착 마스크를, 수지 마스크측에서 본 정면도이다. 도 16은, 프레임(60)에 복수의 증착 마스크(100)가 길이 방향, 또는 폭 방향으로 배열하여 고정(도시하는 형태에서는 폭 방향으로 배열하여 고정)된 프레임이 구비된 다면 증착 마스크(200)를, 수지 마스크측에서 본 정면도이다.

(프레임)

프레임(60)은, 대략 직사각형 형상의 프레임 부재이며, 최종적으로 고정되는 증착 마스크(100)의 수지 마스크(20)에 형성된 개구부(25)를 증착원측에 노출시키기 위한 관통 구멍을 갖는다. 프레임의 재료에 대하여 특별히 한정은 없지만, 강성이 큰 금속 재료, 예를 들어 SUS, 인바재, 세라믹 재료 등을 사용할 수 있다. 그 중에서도, 금속 프레임은, 증착 마스크의 금속 마스크와의 용접이 용이하고, 변형 등의 영향이 작은 점에서 바람직하다. 이하의 보강 프레임(65)의 재료에 대해서도 마찬가지이다.

프레임의 두께에 대해서도 특별히 한정은 없지만, 강성 등의 점에서 10㎜ 내지 30㎜ 정도인 것이 바람직하다. 프레임의 개구의 내주 단부면과, 프레임의 외주 단부면 사이의 폭은, 당해 프레임과, 증착 마스크의 금속 마스크를 고정할 수 있는 폭이라면 특별히 한정은 없고, 예를 들어 10㎜ 내지 200㎜ 정도의 폭을 예시할 수 있다.

또한, 도 17의 (a) 내지 (c)에 도시하는 바와 같이, 증착 마스크(100)를 구성하는 수지 마스크(20)의 개구부(25)의 노출을 방해하지 않는 범위에서, 관통 구멍의 영역에 보강 프레임(65) 등이 설치된 프레임(60)을 사용해도 된다. 보강 프레임(65)을 설치함으로써, 당해 보강 프레임(65)을 이용하여, 프레임(60)과 증착 마스크(100)를 고정할 수 있다. 프레임(60)과 보강 프레임(65)은 동일한 재료여도 되고, 상이한 재료여도 된다.

이하, 보강 프레임(65)을 이용한 고정 방법의 일례에 대하여 설명한다.

예를 들어, 도 16에 도시하는 형태의 프레임이 구비된 증착 마스크를, 상기에서 설명한 제1 인장 공정을 거쳐서 형성하는 경우에 있어서는, 제1 방향 및 제2 방향의 인장을 동시에 행한 후에, 당해 인장된 상태의 증착 마스크를 고정할 필요가 있다. 이것은, 제1 방향(예를 들어, 증착 마스크의 길이 방향)으로의 인장을 행한 후이며, 당해 제1 방향과는 상이한 제2 방향(예를 들어, 증착 마스크의 폭 방향)으로 인장을 행하기 전에, 프레임(60)에 당해 제1 방향으로의 인장이 행해진 증착 마스크를 고정했을 경우에는, 이 단계에서, 프레임(60)과 증착 마스크(100)가 완전히 고정되어 버려, 그 후, 제1 방향으로의 인장에 의해 발생할 수 있는 개구부의 형상이나, 치수의 변동을 해소하기 위해, 당해 제1 방향과는 상이한 제2 방향으로의 인장을 행했다고 하더라도, 제2 방향으로의 인장이 행해진 상태를 유지하여, 프레임(60)에 증착 마스크(100)를 고정할 수 없음에 따른 것이다.

한편, 보강 프레임(65)이 설치된 프레임(60)을 사용한 경우에는, 제1 방향(예를 들어, 증착 마스크의 길이 방향)으로 증착 마스크를 인장하고, 프레임(60)의 본체부에 제1 방향으로의 인장이 행해진 증착 마스크(100)를 고정한 후에 있어서도, 당해 보강 프레임(65)을 사용하여, 다시, 프레임(60)과 증착 마스크(100)를 고정하는 것이 가능해진다(도 18 참조). 구체적으로는, 복수의 증착 마스크의 일부, 또는 전부에 대하여, 소정의 방법을 사용하여, 제1 방향으로의 인장을 행하고, 프레임(60)의 본체부에 증착 마스크(100)를 고정한 후에, 상기에서 설명한 제1 인장 공정에 의해, 당해 제1 방향과는 상이한 제2 방향에 대하여 인장을 행한 후에 있어서도, 당해 제1 인장 공정에 의해 인장이 행해진 상태의 증착 마스크를, 보강 프레임(65)을 사용하여 고정하는 것이 가능해진다. 즉, 보강 프레임을 갖는 프레임을 사용함으로써, 일단, 프레임(60)의 본체부에 증착 마스크를 고정하여 이루어지는 프레임이 구비된 증착 마스크를 얻은 후에, 개구부의 형상이나, 치수에 변동이 발생하고 있는 영역의 근방에, 인장 보조 부재(50)를 고정하고, 당해 인장 보조 부재(50)를 인장함으로써, 인장이 행해진 증착 마스크를, 보강 프레임(65)을 사용하여 고정할 수 있다. 환언하면, 개구부의 형상이나, 치수의 변동이 해소된 증착 마스크를, 보강 프레임(65)을 사용하여 고정할 수 있다. 이 방법에서는, 상기 인장 보조 부재 고정 공정이나, 제1 인장 공정을, 프레임이 구비된 증착 마스크를 얻은 후에 발생할 수 있는 개구부의 변동을 미세 조정하는 방법으로서도 적용할 수 있다. 개구부 변동의 미세 조정은, 개구부(25)를 늘리는 방향으로 인장함으로써 행해도 되고, 개구부(25)를 줄이는 방향으로 인장함으로써 행해도 된다. 또한, 여기에서 말하는 프레임의 본체부란, 보강 프레임(65)과는 상이한 부분, 즉 외측 프레임을 의미한다.

상기에서는, 증착 마스크(100)를 제1 방향으로 인장한 상태에서 프레임(60)의 본체부에 당해 증착 마스크(100)를 고정하고, 이어서, 상기에서 설명한 제1 인장 공정을 사용하여, 고정된 증착 마스크를 또한, 제1 방향과는 상이한 제2 방향으로 인장하여, 프레임(60)의 보강 프레임(65)에 증착 마스크(100)를 고정하고 있지만, 이 형태 대신에, 처음에 상기에서 설명한 제1 인장 공정을 사용해서 증착 마스크를 인장하여, 프레임(60)의 보강 프레임(65)에 증착 마스크(100)를 고정하고, 이어서, 보강 프레임(65)에 고정된 증착 마스크를, 먼저 인장한 방향과는 상이한 방향으로 인장함으로써, 프레임(60)의 본체부에 증착 마스크를 고정해도 된다. 또한, 제1 방향과, 제2 방향으로의 인장을 행한 후에, 증착 마스크를, 프레임(60)의 본체부 및 보강 프레임(65)에 고정해도 된다.

제1 방향으로의 인장, 제2 방향으로의 인장은, 제1 인장 공정에 의해 행해도 되고, 어느 한쪽 방향으로의 인장을 제1 인장 공정에 의해 행해도 된다. 예를 들어, 제1 방향으로의 인장을, 상기 파지 수단 등을 사용한 제2 인장 공정에 의해 행하고, 제2 방향으로의 인장을 상기 제1 인장 공정에 의해 행해도 된다. 또한, 제1 방향으로의 인장을 상기 제1 인장 공정에 의해 행하고, 제2 방향으로의 인장을 제2 인장 공정에 의해 행해도 된다. 일례로서는, 제1 인장 공정을 행하기 전의 단계에서, 상기 파지 수단 등을 사용한 제2 인장 공정에 의해, 증착 마스크를 제1 방향으로 인장하고, 제2 인장 공정 후에, 제1 인장 공정에 의해, 인장 보조 부재를 인장함으로써, 당해 인장 보조 부재에 고정되어 있는 증착 마스크를 제2 방향으로 인장하고 있다. 또한, 다른 일례로서는, 파지 수단 등을 사용한 제2 인장 공정에 의한 제1 방향으로의 인장과, 제1 인장 공정에 의한 제2 방향으로의 인장을 동시에 행하고 있다.

보강 프레임(65)이 설치된 프레임(60)은, 예를 들어 프레임(60)의 본체부와 프레임(60)의 보강 프레임(65)을 일체로 형성함으로써 얻어진 것이어도 되고, 본체부만을 갖는 프레임에, 보강 프레임(65)을 고정함으로써 얻어진 것이어도 된다. 또한, 도 17의 (c)에 도시하는 바와 같은 격자 형상의 보강 프레임(65)은, 예를 들어 금속판 등을 가공한 일체형의 것이어도 되고, 복수의 보강 프레임(65)을 종횡으로 내장한 것 있어도 된다. 후자의 경우에는, 복수의 증착 마스크를 프레임(60)의 폭 방향(도 17의 (c)의 가로 방향)으로 배열하여 배치했을 때, 인접하는 증착 마스크의 방향(도면 중의 가로 방향)과 직교하는 방향(도면 중의 세로 방향)으로 연장되는 보강 프레임(65)이 증착 마스크와 접하도록, 환언하면, 인접하는 증착 마스크의 방향과 직교하는 방향으로 연장되는 보강 프레임(65)이 상측에 위치하도록 내장하는 것이 바람직하다. 또한, 도 17의 (c)에서는, 인접하는 증착 마스크의 방향으로 연장되는 보강 프레임(65)이, 인접하는 증착 마스크의 방향과 직교하는 방향으로 연장되는 보강 프레임(65)보다도 상측에 위치하도록 내장되어 있다. 또한, 보강 프레임(65)은, 도시하는 형태에 한정되는 것은 아니며, 랜덤한 방향으로 연장되는 복수의 보강 프레임(65)이 조합된 형태여도 된다.

또한, 상기 제1 인장 공정은, 증착 마스크(100)를 프레임(60)의 본체부, 또는 보강 프레임(65)에 임시 고정한 상태에서 행할 수도 있다. 임시 고정은, 프레임(60)의 증착 마스크(100)와 접하지 않는 측의 면, 또는, 증착 마스크(100)의 프레임과 접하지 않는 측의 면 위에 자성을 갖는 부재, 예를 들어 자성판이나, 마그네트 시트 등을 배치하고, 증착 마스크(100)와 프레임(60)의 본체부, 또는 보강 프레임(65)을 끌어당김으로써 행할 수 있다. 예를 들어, 제1 방향으로의 인장을 행한 후에, 당해 제1 방향의 인장이 행해진 상태의 증착 마스크를, 프레임(60)의 본체부, 또는 보강 프레임(65)에 임시 고정하고, 제1 인장 공정에 의해, 임시 고정된 상태의 증착 마스크를 인장하여, 제1 인장 공정 후에, 프레임(60)과 증착 마스크를 용접 고정함으로써, 프레임이 구비된 증착 마스크를 얻을 수도 있다. 또한, 자성을 갖는 재료로 구성되는 인장 보조 부재(50)나, 자성을 갖는 재료와 다른 재료, 예를 들어 자기 흡착성을 갖는 재료를 조합한 인장 보조 부재(50)를 사용하는 경우에는, 별도의 자성판이나, 마그네트 시트 등을 사용하는 일 없이, 인장 보조 부재(50) 자체의 자성을 이용하여, 프레임(60)의 보강 프레임(65)과 증착 마스크(100)를 임시 고정하면서, 인장 보조 부재(50)에 의해, 증착 마스크(100)를 인장할 수도 있다. 즉, 이 경우의 인장 보조 부재(50)는, 증착 마스크와 프레임을 임시 고정하는 역할과, 증착 마스크를 인장하는 역할의 양쪽 역할을 한다. 임시 고정을 행함으로써, 증착 마스크를 인장함으로써 발생할 수 있는 위치 어긋남 등을 억제할 수 있고, 보다 고정밀도로 증착 마스크를 인장할 수 있다. 또한, 상기에서 예시한 방법 대신에, 제1 방향으로의 인장을 행한 후에, 당해 제1 방향의 인장이 행해진 상태의 증착 마스크를, 프레임(60)의 본체부에 용접 고정하고, 이어서, 프레임(60)의 본체부에 용접 고정된 증착 마스크를, 보강 프레임(65)에 임시 고정하고, 그 후, 프레임(60)의 본체부에 대한 용접 고정 및 보조 프레임(65)에 대한 임시 고정이 행해진 증착 마스크에 대하여, 제1 인장 공정을 행할 수도 있다. 이 방법에 의해서도, 임시 고정에 의해, 증착 마스크를 인장함으로써 발생할 수 있는 위치 어긋남 등을 억제할 수 있고, 보다 고정밀도로, 증착 마스크를 인장할 수 있다.

도 17의 (c)에 도시하는 형태의 격자 형상의 보강 프레임(65)으로 할 때의, 각 보강 프레임(65)의 폭에 대하여 특별히 한정은 없고, 모든 보강 프레임(65)의 폭을 동일한 크기로 해도 되고, 보강 프레임(65)마다 폭을 변화시킬 수도 있다. 또한, 복수의 증착 마스크를 배열하여 배치할 때, 프레임에 할당되는 증착 마스크의 수를 많게 하기 위해서는, 인접하는 증착 마스크의 간격을 작게 해 갈 필요가 있다. 인접하는 증착 마스크의 간격을 작게 해 갔을 경우에는, 이에 수반하여, 인접하는 증착 마스크의 방향과 직교하는 방향으로 연장되는 보강 프레임(65)의 폭도 작게 할 필요가 있다. 그런데, 보강 프레임(65)의 폭을 작게 해 갔을 경우에는, 인접하는 증착 마스크의 방향과 직교하는 방향으로 연장되는 보강 프레임(65)의 강성은 저하되어 가고, 인접하는 증착 마스크의 방향과 직교하는 방향으로 연장되는 보강 프레임(65)에 증착 마스크를 고정했을 때 변형 등이 발생하기 쉬워진다.

이 점을 고려하면, 인접하는 증착 마스크의 방향과 직교하는 방향으로 연장되는 보강 프레임(65)의 폭을 작게 할 경우에는, 이 폭보다도, 인접하는 증착 마스크의 방향으로 연장되는 보강 프레임(65)의 폭을 크게 하는 것이 바람직하다. 인접하는 증착 마스크의 방향으로 연장되는 보강 프레임(65)의 폭을 크게 함으로써, 보강 프레임(65) 전체로서의 강성을 높일 수 있고, 보강 프레임(65)에 증착 마스크를 고정했을 때, 보강 프레임(65)에 변형 등이 발생하는 것을 억제할 수 있다. 즉, 바람직한 형태의 보강 프레임은, 인접하는 증착 마스크의 방향과 직교하는 방향으로 연장되는 보강 프레임(65)의 폭보다도, 인접하는 증착 마스크의 방향으로 연장되는 보강 프레임(65)의 폭이 크게 되어 있다. 일례로서는, 인접하는 증착 마스크의 방향과 직교하는 방향으로 연장되는 보강 프레임(65)의 폭은, 0.5㎜ 내지 50㎜ 정도이고, 인접하는 증착 마스크의 방향으로 연장되는 보강 프레임(65)의 폭은, 0.5㎜ 내지 50㎜ 정도이다. 바람직한 형태의 보강 프레임(65)은, 인접하는 증착 마스크의 방향과 직교하는 방향으로 연장되는 보강 프레임(65)의 폭, 및 인접하는 증착 마스크의 방향으로 연장되는 보강 프레임(65)의 폭이 상기에서 예시한 폭의 범위 내이며, 또한 인접하는 증착 마스크의 방향과 직교하는 방향으로 연장되는 보강 프레임(65)의 폭보다도, 인접하는 증착 마스크의 방향으로 연장되는 보강 프레임(65)의 폭이 크다는 관계를 만족하고 있다. 보강 프레임(65)의 두께의 일례로서는, 0.01㎜ 내지 30㎜ 정도이다.

또한, 보강 프레임(65)과 겹치는 프레임(60)의 본체부에 홈을 형성하고, 당해 홈과 보강 프레임(65)을 끼워 맞춤으로써, 본체부와, 보강 프레임(60)의 면 위치를 맞출 수도 있다. 또한, 복수의 보강 프레임(65)을 내장하여 격자 형상의 보강 프레임(65)으로 하는 경우에는, 각각의 보강 프레임(65)의 면 위치가 동일해지도록, 적절히 보강 프레임(65)에 홈 등을 형성해 둘 수도 있다.

고정 방법에 대하여 특별히 한정은 없고, 레이저 용접, 아크 용접, 전기 저항 용접, 전자 빔 용접법 등의 종래 공지된 각종 용접법이나, 접착제, 나사 고정 등을 사용하여 고정할 수 있다.

그리고, 상기 프레임 고정 공정이 종료된 후, 증착 마스크(100)의 한쪽 면 위에 고정되어 이루어지는 인장 보조 부재(50)를, 증착 마스크로부터 분리함으로써 프레임에 증착 마스크가 고정되어 이루어지는 프레임이 구비된 증착 마스크를 얻는다.

<<증착 마스크의 인장 방법>>

이어서, 본 발명의 일 실시 형태의 증착 마스크의 인장 방법에 대하여 설명한다. 본 발명의 일 실시 형태의 증착 마스크의 인장 방법은, 슬릿이 형성된 금속 마스크와, 당해 슬릿과 겹치는 위치에 증착 제작하는 패턴에 대응하는 개구부가 형성된 수지 마스크가 적층되어 이루어지는 증착 마스크의 인장 방법이며, 증착 마스크의 한쪽 면 위에 인장 보조 부재를 겹치고, 증착 마스크의 한쪽 면과 인장 보조 부재가 겹치는 부분의 적어도 일부에 있어서, 증착 마스크에 인장 보조 부재를 고정하는 인장 보조 부재 고정 공정과, 증착 마스크에 고정되어 있는 인장 보조 부재를 인장함으로써, 당해 인장 보조 부재에 고정되어 있는 증착 마스크를 인장하는 제1 인장 공정을 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명의 일 실시 형태의 증착 마스크의 인장 방법에 의하면, 간편한 방법으로, 증착 마스크를 인장할 수 있고, 또한, 당해 증착 마스크에, 다른 증착 마스크가 인접하고 있는 상황에 있어서도, 당해 다른 증착 마스크의 방향측으로, 당해 인장 보조 부재에 고정되어 있는 증착 마스크를 인장할 수 있다.

또한, 일 실시 형태의 증착 마스크의 인장 방법에서는, 상기 제1 인장 공정을, 미리 파지 수단 등을 사용하여 증착 마스크를, 제1 방향, 예를 들어 증착 마스크의 길이 방향, 또는 폭 방향으로 인장한 후에 행하고 있으며, 제1 인장 공정에서는, 인장 보조 부재를, 미리 인장한 상기 제1 방향과는 상이한 제2 방향, 예를 들어 제1 방향과 직교하는 방향으로 인장하고 있다. 즉, 제1 인장 공정 전에, 파지 수단 등을 사용하여 증착 마스크를 제1 방향으로 인장하는 제2 인장 공정을 더 포함하고 있어도 된다. 또한, 제1 인장 공정과, 제2 인장 공정을 동시에 행해도 된다.

인장 보조 부재 고정 공정, 제1 인장 공정은, 상기 본 발명의 일 실시 형태의 프레임이 구비된 증착 마스크에서 설명한 인장 보조 부재 고정 공정, 제1 인장 공정을 그대로 적용할 수 있고, 여기에서의 상세한 설명은 생략한다.

<<유기 반도체 소자의 제조 방법>>

이어서, 본 발명의 일 실시 형태의 유기 반도체 소자의 제조 방법에 대하여 설명한다. 본 발명의 일 실시 형태의 유기 반도체 소자의 제조 방법은, 프레임이 구비된 증착 마스크를 사용한 증착법에 의해 증착 패턴을 형성하는 공정을 갖고, 당해 유기 반도체 소자를 제조하는 공정에 있어서 상기 본 발명의 제조 방법에 의해 제조되는 일 실시 형태의 프레임이 구비된 증착 마스크가 사용되는 점에 특징을 갖는다.

프레임이 구비된 증착 마스크를 사용한 증착법에 의해 증착 패턴을 형성하는 공정을 갖는 일 실시 형태의 유기 반도체 소자의 제조 방법은, 기판 위에 전극을 형성하는 전극 형성 공정, 유기층 형성 공정, 대향 전극 형성 공정, 밀봉층 형성 공정 등을 갖고, 각 임의의 공정에 있어서 프레임이 구비된 증착 마스크를 사용한 증착법에 의해 기판 위에 증착 패턴이 형성된다. 예를 들어, 유기 EL 디바이스의 R, G, B 각 색의 발광층 형성 공정에, 프레임이 구비된 증착 마스크를 사용한 증착법을 각각 적용하는 경우에는, 기판 위에 각 색발광층의 증착 패턴이 형성된다. 또한, 본 발명의 일 실시 형태의 유기 반도체 소자의 제조 방법은, 이들 공정에 한정되는 것은 아니며, 증착법을 사용하는 종래 공지된 유기 반도체 소자의 제조에 있어서의 임의의 공정에 적용 가능하다.

본 발명의 일 실시 형태의 유기 반도체 소자의 제조 방법은, 상기 증착 패턴을 형성하는 공정에 있어서 사용되는 프레임이 구비된 증착 마스크가, 상기에서 설명한 본 발명의 제조 방법에 의해 제조되는 일 실시 형태의 프레임이 구비된 증착 마스크인 것을 특징으로 한다.

프레임이 구비된 증착 마스크에 대해서는, 상기에서 설명한 본 발명의 일 실시 형태의 프레임이 구비된 증착 마스크로 제조된 것을 그대로 사용할 수 있고, 여기에서의 상세한 설명은 생략한다. 상기에서 설명한 본 발명의 일 실시 형태의 프레임이 구비된 증착 마스크로 제조되어 이루어지는 프레임이 구비된 증착 마스크를 사용한 유기 반도체 소자의 제조 방법에 의하면, 증착 마스크의 개구부의 형상이나, 치수의 변동이 억제된 당해 프레임이 구비된 증착 마스크를 사용하는 점에서, 고정밀의 패턴을 갖는 유기 반도체 소자를 형성할 수 있다. 본 발명의 일 실시 형태의 제조 방법으로 제조되는 유기 반도체 소자로서는, 예를 들어 유기 EL 소자의 유기층, 발광층이나, 캐소드 전극 등을 들 수 있다. 특히, 본 발명의 일 실시 형태의 유기 반도체 소자의 제조 방법은, 고정밀의 패턴 정밀도가 요구되는 유기 EL 소자의 R, G, B 발광층의 제조에 적절하게 사용할 수 있다.

<<인장 장치>>

이어서, 본 발명의 일 실시 형태의 인장 장치에 대하여 설명한다. 본 발명의 일 실시 형태의 인장 장치는, 슬릿이 형성된 금속 마스크와, 당해 슬릿과 겹치는 위치에 증착 제작하는 패턴에 대응하는 개구부가 형성된 수지 마스크가 적층되어 이루어지는 증착 마스크를 인장하기 위한 인장 장치이며, 인장 보조 부재와, 당해 인장 보조 부재를 인장하기 위한 구동 수단을 구비하고, 인장 보조 부재는, 증착 마스크의 한쪽 면과 겹쳤을 때, 당해 증착 마스크의 한쪽 면과 겹치는 부분의 적어도 일부에서 고정 가능하게 되어 있는 것을 특징으로 하고 있다.

인장 장치를 구성하는 인장 보조 부재 및 구동 수단은, 상기 일 실시 형태의 프레임이 구비된 증착 마스크의 인장 방법에서 설명한 인장 보조 부재(50), 구동 수단(55)을 적절히 선택하여 사용할 수 있으며, 여기에서의 상세한 설명은 생략한다. 본 발명의 일 실시 형태의 인장 장치에 의하면, 인장 보조 부재를, 증착 마스크의 한쪽 면에 겹치고, 당해 증착 마스크의 한쪽 면과 겹치는 부분의 적어도 일부에서 증착 마스크와 인장 보조 부재를 고정하여, 당해 인장 보조 부재에 연결된 구동 수단을 작동시킴으로써, 증착 마스크를 인장할 수 있다.

이상 설명한, 각종 형태의 본 발명은, 인장 대상인 증착 마스크로서, 슬릿이 형성된 금속 마스크와, 당해 슬릿과 겹치는 위치에 증착 제작하는 패턴에 대응하는 개구부가 형성된 수지 마스크가 적층되어 이루어지는 증착 마스크를 사용하는 경우에 특히 적합하다. 이것은, 물성이 상이한 2개 마스크, 즉, 수지 마스크와 금속 마스크를 적층한 증착 마스크를, 소정의 방법, 예를 들어 파지 수단 등을 사용하여 인장했을 경우에는, 금속 마스크만으로 구성되는 증착 마스크나, 수지 마스크만으로 구성되는 증착 마스크를 인장했을 경우와 비교하여, 증착 제작하는 패턴에 대응하는 개구부의 치수나, 위치에 변동이 발생하기 쉬운 것에 따른 것이다. 각종 형태의 본 발명에서는, 개구부의 치수나, 위치에 변동이 발생한 경우에도, 인장 보조 부재(50)를 이용하여, 증착 마스크를 인장함으로써 이들 변동을 용이하게 해소할 수 있다.

<<변형 형태>>

변형 형태의 증착 마스크의 인장 방법, 프레임이 구비된 증착 마스크의 제조 방법, 유기 반도체 소자의 제조 방법, 인장 장치에서는, 인장 대상인 증착 마스크로서, 상기 슬릿이 형성된 금속 마스크와, 당해 슬릿과 겹치는 위치에 증착 제작하는 패턴에 대응하는 개구부가 형성된 수지 마스크가 적층되어 이루어지는 증착 마스크와는 상이한 증착 마스크(이하, 상이한 증착 마스크라고 함)가 사용되고, 인장 보조 부재(50)를 이용하여, 상이한 증착 마스크의 인장이 행해진다. 상기 상이한 증착 마스크로서는, 금속 재료로 구성되는 금속 마스크만을 포함하는 증착 마스크, 수지 재료로 구성되는 수지 마스크만을 포함하는 증착 마스크, 또는, 금속이나, 수지 재료 이외의 재료로 구성되는 증착 마스크를 들 수 있다. 또한, 본 발명에 있어서의 각 실시 형태와, 변형 형태는, 인장하는 대상인 증착 마스크만이 상이하며, 그 이외에는 일치하고 있다. 변형예의 증착 마스크 중에서도, 수지 재료로 구성되는 수지 마스크만을 포함하는 증착 마스크는, 금속 재료로 구성되는 증착 마스크와 비교하여, 파지 수단 등을 사용하여 증착 마스크를 인장했을 때, 증착 제작하는 패턴에 대응하는 개구부의 형상이나, 치수에 변동이 발생하기 쉬운 점에서, 인장 보조 부재(50)를 이용한 인장 방법을 적절하게 사용할 수 있다. 또한, 두께가 20㎛ 이하의 개소를 갖는 금속 마스크만을 포함하는 증착 마스크도, 상기 수지 마스크만으로 구성되는 증착 마스크와 마찬가지로, 파지 수단 등을 사용하여 증착 마스크를 인장했을 때, 증착 제작하는 패턴에 대응하는 개구부의 형상이나, 치수에 변동이 발생하기 쉬운 점에서, 인장 보조 부재(50)를 이용한 인장 방법을 적절하게 사용할 수 있다.

10: 금속 마스크
15: 슬릿
20: 수지 마스크
25: 개구부
50: 인장 보조 부재
50A: 인장 보조 부재 본체부
50B: 인장 보조 부재 연장부
55: 구동 수단
60: 프레임
65: 보강 프레임
100: 증착 마스크
200: 프레임이 구비된 증착 마스크

Claims

증착 마스크의 인장 방법에 있어서,
상기 증착 마스크의 한쪽 면 위에 인장 보조 부재를 겹치고, 상기 증착 마스크의 한쪽 면과 상기 인장 보조 부재가 겹치는 부분의 적어도 일부에 있어서, 상기 증착 마스크에 상기 인장 보조 부재를 고정하는 인장 보조 부재 고정 공정과,
상기 증착 마스크에 고정되어 있는 상기 인장 보조 부재를 인장함으로써, 당해 인장 보조 부재에 고정되어 있는 증착 마스크를 인장하는 제1 인장 공정을 포함하고,
상기 인장 보조 부재가, 상기 증착 마스크의 한쪽 면의 임의의 위치에서 상기 증착 마스크에 고정될 수 있고, 또한 상기 증착 마스크를 임의의 방향으로 인장할 수 있는 것을 특징으로 하는 증착 마스크의 인장 방법.
제1항에 있어서,
상기 제1 인장 공정 전에, 상기 증착 마스크를 제1 방향으로 인장하는 제2 인장 공정을 더 포함하고,
상기 제1 인장 공정에서는, 상기 증착 마스크에 고정되어 있는 상기 인장 보조 부재를 인장함으로써, 당해 인장 보조 부재에 고정되어 있는 증착 마스크를, 상기 제1 방향과는 상이한 제2 방향으로 인장하는 것을 특징으로 하는 증착 마스크의 인장 방법.
프레임이 구비된 증착 마스크의 제조 방법이며,
증착 마스크를 준비하는 준비 공정과,
상기 증착 마스크의 한쪽 면 위에 인장 보조 부재를 겹치고, 상기 증착 마스크의 한쪽 면과 상기 인장 보조 부재가 겹치는 부분의 적어도 일부에 있어서, 상기 증착 마스크에 상기 인장 보조 부재를 고정하는 인장 보조 부재 고정 공정과,
상기 증착 마스크에 고정되어 있는 상기 인장 보조 부재를 인장함으로써, 당해 인장 보조 부재에 고정되어 있는 증착 마스크를 인장하는 제1 인장 공정과,
관통 구멍이 형성된 프레임에, 상기 제1 인장 공정에 있어서 인장된 상태의 상기 증착 마스크를 고정하는 프레임 고정 공정을 포함하고,
상기 인장 보조 부재가, 상기 증착 마스크의 한쪽 면의 임의의 위치에서 상기 증착 마스크에 고정될 수 있고, 또한 상기 증착 마스크를 임의의 방향으로 인장할 수 있는 것을 특징으로 하는 프레임이 구비된 증착 마스크의 제조 방법.
제3항에 있어서,
상기 제1 인장 공정 전에, 상기 증착 마스크를 제1 방향으로 인장하는 제2 인장 공정을 더 포함하고,
상기 제1 인장 공정에서는, 상기 증착 마스크에 고정되어 있는 상기 인장 보조 부재를 인장함으로써, 당해 인장 보조 부재에 고정되어 있는 증착 마스크를, 상기 제1 방향과는 상이한 제2 방향으로 인장하는 것을 특징으로 하는 프레임이 구비된 증착 마스크의 제조 방법.
제3항에 있어서,
상기 프레임이 구비된 증착 마스크는, 상기 프레임에 복수의 상기 증착 마스크가 배열하여 고정되어 이루어지는 프레임이 구비된 증착 마스크이며,
상기 복수의 증착 마스크 중 적어도 하나의 증착 마스크는, 상기 인장 보조 부재 고정 공정, 상기 제1 인장 공정, 상기 프레임 고정 공정을 거침으로써 상기 프레임에 고정되고,
상기 제1 인장 공정에서는, 상기 하나의 증착 마스크에 고정되어 있는 상기 인장 보조 부재를 인장함으로써, 당해 인장 보조 부재에 고정되어 있는 하나의 증착 마스크를, 당해 하나의 증착 마스크와 인접하는 증착 마스크의 방향으로 인장하는 것을 특징으로 하는 프레임이 구비된 증착 마스크의 제조 방법.
제5항에 있어서,
상기 제1 인장 공정을 행하기 전에, 상기 하나의 증착 마스크를, 상기 인접하는 증착 마스크의 방향과는 상이한 방향으로 인장하는 제2 인장 공정을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프레임이 구비된 증착 마스크의 제조 방법.
유기 반도체 소자의 제조 방법이며,
프레임에 증착 마스크가 고정된 프레임이 구비된 증착 마스크를 사용하여 증착 대상물에 증착 패턴을 형성하는 공정을 포함하고,
상기 증착 패턴을 형성하는 공정에서 사용하는 상기 프레임이 구비된 증착 마스크가, 제3항 내지 제6항 중 어느 한 항의 프레임이 구비된 증착 마스크의 제조방법으로 제조된 프레임이 구비된 증착 마스크인 것을 특징으로 하는 유기 반도체 소자의 제조 방법.
증착 마스크를 인장하기 위한 인장 장치이며,
인장 보조 부재와, 당해 인장 보조 부재를 인장하기 위한 구동 수단을 구비하고,
상기 인장 보조 부재는, 상기 증착 마스크의 한쪽 면과 겹쳤을 때, 당해 증착 마스크의 한쪽 면과 겹치는 부분의 적어도 일부에서 고정 가능하게 되어 있고,
상기 인장 보조 부재가, 상기 증착 마스크의 한쪽 면의 임의의 위치에서 상기 증착 마스크에 고정될 수 있고, 또한 상기 증착 마스크를 임의의 방향으로 인장할 수 있는 것을 특징으로 하는 인장 장치.