CN107768551B - 掩膜板及掩膜组件 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种掩膜板，属于显示技术领域。所述掩膜板包括：掩膜板主体，所述掩膜板主体上设置有镂空区域，所述掩膜板主体的边缘向外延伸有n个凸起，n≥3。本发明解决了在焊接掩膜板与掩膜框架的过程中，掩膜板会在由焊接产生的应力的作用下发生形变，进而导致掩模板中的镂空区域也会发生形变的问题。本发明用于制造掩膜组件。

Description

掩膜板及掩膜组件

技术领域

本发明涉及显示技术领域，特别涉及一种掩膜板及掩膜组件。

背景技术

有机发光二极管(英文：Organic Light-Emitting Diode，简称：OLED)显示装置因其具有主动发光、响应速度快等诸多优点而应用越来越广泛，且通常会使用掩膜组件制造OLED显示装置。

示例的，掩膜组件通常包括：掩膜框架、掩膜板以及精细金属掩膜。其中，掩膜板的边缘与掩膜框架焊接，掩膜板上设置有镂空区域，精细金属掩膜覆盖在该镂空区域上，精细金属掩膜上形成有镂空图案。请参考图1，在制作掩膜组件时，需要将掩膜板101的边缘与掩膜框架102焊接。在焊接的过程中掩膜板上焊接的部位会产生应力F1，且在该应力F1的作用下掩膜板101会发生形变，掩膜板101中的镂空区域也会发生形变。

由于掩膜板中的镂空区域会发生形变，因此，使用该掩膜板制造的OLED显示装置会出现结构错位或显示失真等不良。

发明内容

本发明提供了一种掩膜板，可以解决相关技术中在焊接掩膜板与掩膜框架的过程中，掩膜板会在由焊接产生的应力的作用下发生形变，进而导致掩模板中的镂空区域也会发生形变的问题，所述技术方案如下：

第一方面，提供了一种掩膜板，所述掩膜板包括：掩膜板主体，所述掩膜板主体上设置有镂空区域，所述掩膜板主体的边缘向外延伸有n个凸起，n≥3。

可选的，所述掩膜板主体的边缘向外延伸有m个缓冲部，每个所述缓冲部的表面凹凸不平，m≥1。

可选的，所述掩膜板还包括：连接框，所述掩膜板主体套接在所述连接框内，且所述凸起和所述缓冲部均与所述连接框连接。

可选的，所述掩膜板主体上设置有呈矩阵状排列的多个镂空区域，任意相邻的两行镂空区域相互靠近一侧的距离为S，所述凸起的宽度方向平行于所述掩膜板主体，所述n个凸起的宽度均为W，0.5S＜W＜S，每个所述凸起的高度与所述连接框的宽度之差均小于预设差值阈值。

可选的，所述掩膜板主体呈矩形，且所述矩形的每个顶角处均设置有两个第一凸起，所述两个第一凸起的高度方向分别垂直于构成所述每个顶角的两条边；所述多个镂空区域的行方向平行于所述矩形的第一边，所述多个镂空区域的列方向平行于所述矩形的第二边，所述第一边上任意相邻的两列镂空区域之间的位置设置有一个第二凸起，所述第二边上任意相邻的两行镂空区域之间的位置设置有一个第二凸起。

可选的，所述m＝4，所述每个顶角处的两个第一凸起之间设置有一个所述缓冲部。

可选的，所述n个凸起中任意两个相邻的凸起之间设置有一个所述缓冲部。

可选的，所述n＝8，所述掩膜板主体呈矩形，且所述矩形的每个顶角处均设置有两个第一凸起，所述两个第一凸起的高度方向分别垂直于构成所述每个顶角的两条边；所述矩形的每条边上均等间距排布有多个所述缓冲部，且每个所述缓冲部对应两行镂空区域或两列镂空区域。

可选的，所述每个顶角处设置的两个第一凸起之间设置有一个所述缓冲部。

第二方面，提供了一种掩膜组件，所述掩膜组件包括：第一方面所述的掩膜板。

本发明提供的技术方案带来的有益效果是：

在本发明实施例中提供的掩膜板中，掩膜板主体可以通过边缘的凸起与掩膜框架连接。在焊接掩膜板与掩膜框架时，凸起上会产生应力，由于凸起的面积较小，且凸起将掩膜板主体与掩膜框架隔离，因此，掩膜板主体受到的应力以及受到应力的区域均较小，减弱了镂空区域的形变程度，减弱了采用该掩膜板制造的装置结构错位或显示失真的程度。

附图说明

为了更清楚地说明本公开的实施例，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为一种相关技术提供的一种掩膜组件的结构示意图；

图2为本发明实施例提供的一种掩膜板的结构示意图；

图3为本发明实施例提供的另一种掩膜板的结构示意图；

图4为本发明实施例提供的又一种掩膜板的结构示意图；

图5为本发明实施例提供的再一种掩膜板的结构示意图；

图6为本发明实施例提供的再一种掩膜板的结构示意图；

图7为本发明实施例提供的再一种掩膜板的结构示意图；

图8为本发明实施例提供的再一种掩膜板的结构示意图；

图9为本发明实施例提供的再一种掩膜板的结构示意图；

图10为本发明实施例提供的一种掩膜组件的结构示意图。

具体实施方式

为了使本公开的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本公开作进一步地详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本公开一部份实施例，而不是全部的实施例。基于本公开中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本公开保护的范围。

OLED显示装置的应用越来越广泛，且通常会使用掩膜组件制造OLED显示装置。示例的，请参考图1，掩膜组件10可以包括：掩膜板101、掩膜框架102以及精细金属掩膜(图1中未示出)，其中，掩膜板101的边缘与掩膜框架102焊接。在焊接的过程中掩膜板上焊接的部位会产生应力F1，且在该应力F1的作用下掩膜板101会发生形变，掩膜板101中的镂空区域也会发生形变。

相关技术中，为了抵消该应力F1，通常会在焊接掩膜板101和掩膜框架102的过程中，向掩膜框架102施加与应力F1方向相同的对抗力CF1。在焊接完毕后，可以停止向掩膜框架102施加对抗力CF1，此时，掩膜框架102上会产生与对抗力CF1方向相反的反弹力(图1中未示出)，该反弹力可以抵消部分或者全部的应力F1。由于在焊接掩膜板101和掩膜框架102的过程中，掩膜板101会在应力F1和对抗力CF1的作用下发生变形，从而导致掩膜板101中的镂空区域103变形及位置发生偏移。

此外，由于相关技术中通常会在高温真空腔室内制造OLED显示装置，因此掩膜框架102会产生热变形和热应力，由于掩膜板101和掩膜框架102直接接触，因此掩膜板101会在掩膜框架102的热应力传导作用下发生变形，进而导致掩膜板101中的镂空区域103发生变形以及位置发生偏移。

也即是，相关技术中在焊接掩膜框架与掩膜板的过程中，掩膜板101中的镂空区域103会在应力F1和对抗力CF1的作用下发生较大程度的变形。在高温真空腔室内制造OLED显示装置时，掩膜板101中的镂空区域103会在掩膜框架102的热应力传导作用下也会发生较大程度的变形。本发明实施例提供了一种掩膜板，在焊接掩膜边框与掩膜板过程以及制造OLED显示装置的过程中，掩膜板中镂空区域的变形程度较小。

图2为本发明实施例提供的一种掩膜板的结构示意图，如图2所示，该掩膜板可以包括：掩膜板主体201，该掩膜板主体201上设置有镂空区域2011，且掩膜板主体201的边缘向外延伸有n个凸起202。n≥3，图2中以n＝3为例，实际应用中，设置在掩模板上凸起的数量还可以为其他数值(如n＝4)，本发明实施例对此不作限定。

在焊接掩膜框架与图2所示的掩膜板时，工作人员可以先将掩膜框架放置在工作台上，并调整掩膜板的空间位置，使掩模板中的每个凸起202均与掩膜框架接触，然后将凸起202与掩膜框架焊接在一起，从而将掩膜板固定在掩膜框架上。

需要说明的是，掩膜板主体上设置的镂空区域的形状可以为任何形状，如圆形、椭圆形或矩形，本发明实施例中以镂空区域的形状为圆形为例。该掩膜板主体的形状也可以为任何形状，如圆形、椭圆形或矩形，本发明实施例中仅以掩膜板主体的形状为矩形为例。

综上所述，在本发明实施例中提供的掩膜板中，掩膜板主体可以通过边缘的凸起与掩膜框架连接。在焊接掩膜板与掩膜框架时，凸起上会产生应力，由于凸起的面积较小，且凸起将掩膜板主体与掩膜框架隔离，因此，掩膜板主体受到的应力以及受到应力的区域均较小，减弱了镂空区域的形变程度，减弱了采用该掩膜板制造的装置结构错位或显示失真的程度。

图3为本发明实施例提供的另一种掩膜板的结构示意图，如图3所示，在图2的基础上，掩膜板主体201的边缘向外延伸有m个缓冲部203，该缓冲部203的表面是凹凸不平的。m≥1，图3中以m＝1为例，实际应用中，掩膜板中缓冲部203的个数还可以为其他数值(如m＝4)，本发明实施例对此不作限定。

缓冲部203的表面是凹凸不平的，也即是，缓冲部203上可以刻蚀有图案。示例的，该缓冲部203上可以刻蚀有网状图案，实际应用中，缓冲部203上刻蚀的图案还可以为与网状图案不同的其他图案，本发明实施例对此不作限定。

需要说明的是，缓冲部203上的图案可以为半刻蚀得到的图案或全刻蚀得到的图案。其中，当缓冲部203上的图案为半刻蚀得到的图案时，图案中被刻蚀的区域为盲孔；当缓冲部203上的图案为全刻蚀得到的图案时，图案中被刻蚀的区域为通孔。本发明实施例中仅以缓冲部203上的图案为全刻蚀得到的图案为例。

掩膜板主体201可以通过缓冲部203与掩膜框架连接。在焊接掩膜框架与图3所示的掩膜板时，不仅可以将凸起与掩膜框架焊接，还可以将缓冲部203与掩膜框架焊接。此时，由于缓冲部203的表面是凹凸不平的，因此缓冲部203能够分散掩膜板边缘产生的应力，在缓冲部203和凸起202的共同作用下，进一步减少掩膜板主体201受到的应力。

图4为本发明实施例提供的又一种掩膜板的结构示意图，如图4所示，在图3的基础上，该掩膜板还可以包括连接框204。掩膜板主体201套接在连接框204内，且凸起202和缓冲部203均与连接框204连接。

在焊接掩膜框架与图4所示的掩膜板的过程中，可以将连接框204直接和掩膜框架焊接在一起，在连接框204、缓冲部203和凸起202的共同作用下，进一步的隔离了掩膜板主体201和掩膜框架，减小了掩膜板主体201受到的应力。

请继续参考图4，掩膜板主体201上可以设置有呈矩阵状排列的多个镂空区域2011，任意相邻的两行镂空区域2011相互靠近一侧的距离为S，凸起202的宽度方向平行于掩膜板主体201，该掩膜板中所有凸起202的高度可以均为L且宽度可以均为W。本发明实施例中，为了在减弱掩膜板主体上镂空区域的形变程度的前提下，保证掩膜板主体201和连接框204的连接强度，需要将凸起202的宽度W和高度L限制在一定范围内。例如，凸起202的宽度W需要满足满足0.5S＜W＜S，且凸起202的高度L与连接框204的宽度K之差小于预设差值阈值，示例的，该预设差值阈值可以0.5K。

图5为本发明实施例提供的再一种掩膜板的结构示意图，如图5所示，当掩膜板主体201呈矩形时，在掩膜板主体201的每个顶角处均可以设置有两个第一凸起2021，且该两个第一凸起2021的高度方向分别垂直于该每个顶角的两条边。例如，图5中掩膜板主体201右下角的顶角具有第一边T和第二边Y，且第一边T和第二边Y相互垂直，该右下角的顶角处设置的两个第一凸起的高度方向可以分别与第一边T和第二边Y相互垂直。

掩膜板主体201上设置的多个镂空区域2011的行方向可以平行于掩模板主体201的第一边T，该多个镂空区域的列方向可以平行于掩膜板主体201第二边Y。第一边T上任意相邻的两列镂空区域2011之间的位置可以设置有一个第二凸起2022，第二边Y上任意相邻的两行镂空区域2011之间的位置可以设置有一个第二凸起2022。通过这样的设置方式，在焊接掩膜板和掩膜框架时，若第二凸起向掩膜板主体传入应力，则该应力可以传导至镂空区域之间的位置，从而避免第二凸起2022上产生的应力传递到镂空区域2011，从而进一步减小了镂空区域2011的变形程度。

图6为本发明实施例提供的再一种掩膜板的结构示意图，如图6所示，在图5的基础上，掩膜板主体201的每个顶角处的两个第一凸起2021之间可以设置有一个缓冲部203。

图7为本发明实施例提供的再一种掩膜板的结构示意图，如图7所示，在图5的基础上，任意两个相邻的凸起202之间均可以设置有一个缓冲部203。

图8为本发明实施例提供的再一种掩膜板的结构示意图，如图8所示，掩膜板主体201呈矩形，掩膜板主体201的每个顶角处均设置有两个第一凸起2021，且在掩膜板主体201的每条边上均等间距排布有多个缓冲部203。示例的，每个缓冲部203可以对应两行或两列镂空区域2011。掩膜板主体201的每条边上相邻的两个缓冲部203之间留有缝隙205，且该缝隙205位于掩膜主体201的每条边上相邻的两行或两列镂空区域2011之间的位置。

图9为本发明实施例提供的再一种掩膜板的结构示意图，如图9所示，在图8的基础上，掩膜板主体201的每个顶角处的两个第一凸起2021之间也可以设置有缓冲部203。

需要说明的是，在制造本发明实施例提供的掩膜板(如图2至图9任一所示的掩膜板)时，可以首先提供一个掩膜材质板。然后，对该掩膜材质板进行刻蚀处理，以得到本发明实施例提供的掩膜板。示例的，若需要制造的掩膜板不包括缓冲部，或者需要制造的掩膜板包括缓冲部，且该缓冲部上的图案为通过全刻蚀的方式形成的，则在对掩膜材质板进行刻蚀处理时，可以对该掩膜板进行一次全刻蚀处理。若需要制造的掩膜板包括缓冲部，且该缓冲部上的图案为通过半刻蚀的方式形成的，则在对掩膜材质板进行刻蚀处理时，可以对该掩膜板进行一次全刻蚀处理，以及一次半刻蚀处理。

在焊接掩膜框架和图2至图9任一所示的掩膜板时，由于凸起能够将掩膜板主体与掩膜框架隔离，掩膜板主体不会直接接触掩模框架，因此不会直接在掩膜板主体上产生应力，进而在焊接的过程中无需对掩膜框架施加对抗力，从而减小了掩膜板的变形程度，进而减小了掩膜板中镂空区域的变形程度。

在使用图2至图9任一所示的掩膜板制造OLED显示装置时，由于凸起能够将掩膜板主体与掩膜板框架隔离，因此在掩膜框架产生热变形和热应力时，掩膜框架上的热应力不会直接传导至掩膜板主体上，从而减小了掩膜板的变形程度，进而减小了掩膜板中镂空区域的变形程度。

综上所述，在本发明实施例中提供的掩膜板中，掩膜板主体可以通过边缘的凸起与掩膜框架连接。在焊接掩膜板与掩膜框架时，凸起能够将掩膜板主体与掩膜框架隔离，因此，掩膜板主体受到的应力较小，减弱了镂空区域的形变程度，避免了采用该掩膜板所在的掩膜组件制造的装置的出现结构错位或显示失真等不良。

本发明实施例提供了一种掩膜组件，该掩膜组件可以包括图2至图9任一所述的掩膜板。

示例的，图10为本发明实施例提供的一种掩膜组件的结构示意图，如图10所述，该掩膜组件可以包括掩膜板20，以及位于掩膜板20一侧的掩膜框架21。掩膜框架21的内侧可以设置有多个内凸起211，该掩膜板20可以为图7所示的掩膜板。

在焊接掩膜板20和掩膜框架21时，工作人员可以先将掩膜框架21放置在工作台上，然后将掩膜板20放置在掩膜框架21上，并使掩膜板20中的连接框204与掩膜框架21内侧的每个内凸起211接触，最后将连接框204和各个内凸起211焊接在一起。

综上所述，在本发明实施例中提供的掩膜组件中，掩膜板中的掩膜板主体可以通过边缘的凸起与掩膜框架连接。在焊接掩膜板与掩膜框架时，凸起能够将掩膜板主体与掩膜框架隔离，因此，掩膜板主体受到的应力较小，减弱了镂空区域的形变程度，避免了采用该掩膜板所在的掩膜组件制造的装置的出现结构错位或显示失真等不良。

本领域技术人员在考虑说明书及实践这里公开的发明后，将容易想到本公开的其它实施方案。本申请旨在涵盖本公开的任何变型、用途或者适应性变化，这些变型、用途或者适应性变化遵循本公开的一般性原理并包括本公开未公开的本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。说明书和实施例仅被视为示例性的，本公开的真正范围和精神由权利要求指出。

应当理解的是，本公开并不局限于上面已经描述并在附图中示出的精确结构，并且可以在不脱离其范围进行各种修改和改变。本公开的范围仅由所附的权利要求来限制。

Claims (9)

1.一种掩膜板，其特征在于，所述掩膜板包括：掩膜板主体，

所述掩膜板主体上设置有镂空区域，所述掩膜板主体的边缘向外延伸有n个凸起，n≥3，

所述掩膜板主体的边缘向外延伸有m个缓冲部，每个所述缓冲部的表面凹凸不平，m≥1。

2.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述掩膜板还包括：连接框，

所述掩膜板主体套接在所述连接框内，且所述凸起和所述缓冲部均与所述连接框连接。

3.根据权利要求2所述的掩膜板，其特征在于，所述掩膜板主体上设置有呈矩阵状排列的多个镂空区域，

任意相邻的两行镂空区域相互靠近一侧的距离为S，所述凸起的宽度方向平行于所述掩膜板主体，所述n个凸起的宽度均为W，0.5S＜W＜S，每个所述凸起的高度与所述连接框的宽度之差均小于预设差值阈值。

4.根据权利要求3所述的掩膜板，其特征在于，

所述掩膜板主体呈矩形，且所述矩形的每个顶角处均设置有两个第一凸起，所述两个第一凸起的高度方向分别垂直于构成所述每个顶角的两条边；

所述多个镂空区域的行方向平行于所述矩形的第一边，所述多个镂空区域的列方向平行于所述矩形的第二边，所述第一边上任意相邻的两列镂空区域之间的位置设置有一个第二凸起，所述第二边上任意相邻的两行镂空区域之间的位置设置有一个第二凸起。

5.根据权利要求4所述的掩膜板，其特征在于，所述m＝4，所述每个顶角处的两个第一凸起之间设置有一个所述缓冲部。

6.根据权利要求4所述的掩膜板，其特征在于，所述n个凸起中任意两个相邻的凸起之间设置有一个所述缓冲部。

7.根据权利要求3所述的掩膜板，其特征在于，所述n＝8，

所述掩膜板主体呈矩形，且所述矩形的每个顶角处均设置有两个第一凸起，所述两个第一凸起的高度方向分别垂直于构成所述每个顶角的两条边；

所述矩形的每条边上均等间距排布有多个所述缓冲部，且每个所述缓冲部对应两行镂空区域或两列镂空区域。

8.根据权利要求7所述的掩膜板，其特征在于，所述每个顶角处设置的两个第一凸起之间设置有一个所述缓冲部。

9.一种掩膜组件，其特征在于，所述掩膜组件包括权利要求1至8任一所述的掩膜板。